KR20010093637A - 자기전사방법 및 자기전사장치 - Google Patents

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KR20010093637A
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고마츠가즈노리
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니시카와마사카주
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무네유키 가코우
후지 샤신 필름 가부시기가이샤
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Abstract

자기전사에 의해서, 자기패턴의 위치에 따르지 않고 고품위의 전사패턴을 자기전사용 마스터담체로부터 슬레이브매체로 전사한다.
자극의 축에 대칭인 자계를 보유하는 단일 영구자석을 자석의 축을 슬레이브매체면에 수직하게 슬레이브매체를 사이에 두고 동극끼리를 대향시켜서 배치한 한쌍의 영구자석을, 인접하는 자석의 극성이 다른 형태로 두쌍을 인접하여 배치하고, 슬레이브매체 또는 두쌍의 영구자석을 트랙방향으로 회전시켜서 슬레이브매체면의 트랙방향으로 자계를 인가하므로써, 미리 슬레이브매체자화를 트랙방향으로 초기직류자화한 후, 자기전사용 마스터담체와 상기 초기직류자화한 슬레이브매체를 밀착시키고 슬레이브매체면의 초기직류자화방향과 역방향의 트랙방향으로 전사용 자계를 인가시켜, 자기전사를 행하는 자기전사방법.

Description

자기전사방법 및 자기전사장치{METHOD AND APPARATUS FOR MAGNETIC TRANSFER}
본 발명은, 자기기록매체에 많은 정보를 한번에 기록하는 방법에 관한 것으로, 특히 대용량, 고기록밀도의 자기기록매체로의 기록정보의 전사방법에 관한 것이다.
디지털화상의 이용의 진보 등으로, 퍼스컴 등으로 취급하는 정보량이 비약적으로 증가하고 있다. 정보량의 증가에 의해서, 정보를 기록하는 대용량이고 싼가격이며, 또한 기록, 판독시간이 짧은 자기기록매체가 요구되고 있다.
하드디스크 등의 고밀도기록매체나, ZIP(아이오메가사)에 대표되는 고밀도의 플로피디스크형 자기기록매체에서는, 일반적인 플로피디스크에 비해서 정보기록영역이 좁은 트랙으로 구성되어 있고, 좁은 트랙폭에 정확하게 자기헤드를 주사하고, 신호의 기록과 재생을 고S/N비로 행하기 위해서는, 트래킹서보기술을 이용하여 정확한 주사를 행할 필요가 있다.
그래서, 하드디스크, 리무벌형 자기기록매체와 같은 대용량 자기기록매체에서는, 디스크의 한바퀴 내의 간격으로 트래킹용 서보신호나 어드레스정보신호, 재생신호 등이 기록된, 소위 프리포맷이 이루어져 있다.
자기헤드는 이 프리포맷의 신호를 읽으므로써 자신의 위치를 수정하는 것이므로 정확하게 트랙 상을 주행하는 것이 가능하게 되어 있다.
현재의 프리포맷은 디스크를 전용 서보기록장치를 이용하여, 1장씩, 1트랙씩기록하여 제작된다. 서보기록장치는 고가이고, 프리포맷제작에 장시간을 필요로 하기 때문에 제조에 장시간이 필요하고, 제조비용에도 영향을 미친다라는 문제가 있다.
그래서, 1트랙씩 프리포맷을 행하지 않고 자기전사로 행하는 방식도 제안되고 있다. 예컨대, 일본 특개소63-183623호 공보, 일본 특개평10-40544호 공보, 및 일본 특개평10-269566호 공보에 전사기술이 소개되어 있다. 그러나, 자기전사방법에 있어서 전사시에 인가하는 자계의 조건 및 그 자계를 발생하기 위한 구체적인 수단을 비롯해서, 실제에 입각한 제안은 행해져 오고 있지 않다.
또한, 이러한 종래의 문제점을 해결하는 기록방법으로서, 일본 특개소63-183623호 공보나 일본 특개평10-40544호 공보에 있어서, 기본체의 표면에 정보신호에 대응하는 요철형상이 형성되고, 요철형상의 적어도 볼록부표면에 강자성박막이 형성된 자기전사용 마스터담체의 표면을, 강자성박막 또는 강자성분말도포층이 형성된 시트형상 또는 디스크형상 자기기록매체의 표면에 접촉, 또는 교류바이어스자계, 또는 직류자계를 인가하여 볼록부표면을 구성하는 강자성재료를 여자하므로써, 요철형상에 대응하는 자화패턴을 자기기록매체에 기록하는 방법이 제안되어 있다.
이 방법에서는, 자기전사용 마스터담체의 볼록부표면을 프리포맷해야할 자기기록매체, 즉 슬레이브매체에 소정의 프리포맷을 형성하는 전사에 의한 방법이고, 자기전사용 마스터담체와 슬레이브매체와의 상대적인 위치를 변화시킴이 없이 정적으로 기록을 행할 수 있고, 정확한 프리포맷기록이 가능하다라는 특징을 가지고 있다. 게다가 기록에 필요한 시간도 극히 단시간이라는 특징으로 가지고 있다. 즉,상기 자기헤드로부터 기록하는 방법에서는, 통상 수분에서 수십분은 필요하고, 또한 기록용량에 비례해서 전사에 필요한 시간은 더욱 길게 된다라는 문제가 있다. 이 자기전사법이면, 기록용량이나 기록밀도에 관계없이 1초이하에서 전사를 완료시킬 수 있다라는 특징을 가지고 있다.
도 1을 참조하여, 자기전사용 마스터담체에 있어서의 프리포맷용 패턴의 전사를 설명한다. 도 1의 (A)는 자기전사용 마스터담체의 자성층면을 모식적으로 설명한 평면도이고, 도 1의 (B)는 전사과정을 설명하는 단면도이다.
자기전사용 마스터담체(1)의 트랙의 소정의 영역에, 전사해야할 트래킹용 서보신호나 어드레스신호의 패턴을 형성한 프리포맷영역(2)과 데이터영역(3)이 형성되어 있고, 자기전사용 마스터담체(1)와 슬레이브매체(4)를 밀착시켜서 트랙방향 (5)의 전사용 외부자계(6)를 가하므로써 프리포맷정보를 슬레이브매체측에 기록정보(7)로서 전사할 수 있으므로, 효율적으로 슬레이브매체를 제조할 수 있는 것이다.
그런데, 이와 같은 방법에 의해서 전사를 행한 경우에는, 정보신호품위가 나쁜 것이 생기는 경우가 있고, 서보동작이 부정확하게 되는 것이 생기는 경우가 있는 것이 밝혀지게 되었다.
본 발명은, 자기전사용 마스터담체와 슬레이브매체를 밀착시켜서 외부자계를 인가하여 프리포맷패턴의 전사에 의해서 제작한 슬레이브매체의 서보동작이 부정확하게 되는 것을 방지하여 안정적인 전사방법 및 장치를 제공하는 것을 과제로 하는것이다.
도 1은, 자기전사용 마스터담체에 있어서의 프리포맷용 패턴의 전사를 설명하는 도이다.
도 2는, 슬레이브매체면에 수직하게 슬레이브매체를 사이에 두고, 두쌍의 자석을 인접하여 배치한 영구자석을 이용한 자계의 인가방법을 설명하는 도이다.
도 3은, 자기전사용 마스터담체로부터 슬레이브매체로의 전사방법을 설명하는 도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
1 ㆍㆍㆍ 자기전사용 마스터담체 2 ㆍㆍㆍ 프리포맷영역
3 ㆍㆍㆍ 데이터영역 4 ㆍㆍㆍ 슬레이브매체
5 ㆍㆍㆍ 트랙방향 6 ㆍㆍㆍ 전사용 외부자계
6a ㆍㆍㆍ 볼록부분으로 흡수되는 자계 7 ㆍㆍㆍ 기록정보
8a, 8b, 8c, 8d ㆍㆍㆍ 영구자석 9 ㆍㆍㆍ 자계
10 ㆍㆍㆍ 피크 11 ㆍㆍㆍ 밀착체
12 ㆍㆍㆍ 전사자계 13 ㆍㆍㆍ 강도가 작은 피크
14 ㆍㆍㆍ 강도가 큰 피크
본 발명은, 기판의 표면의 정보신호에 대응하는 부분에 자성층이 형성된 자기전사용 마스터담체와 전사를 받는 자기기록매체로 이루어지는 슬레이브매체를 밀착시켜서, 전사용 자계를 인가하는 자기전사방법에 있어서, 자극의 축에 대칭인 자계를 보유하는 단일 영구자석을, 자극의 축을 슬레이브매체면에 수직하게 슬레이브매체를 사이에 두고 동극끼리를 대향시켜서 배치한 한쌍의 영구자석을, 인접하는 자석의 극성이 다르도록 두쌍을 인접하여 배치하고, 슬레이브매체 또는 두쌍의 영구자석을 트랙방향으로 회전시켜서 슬레이브매체면의 트랙방향으로 자계를 인가하므로써, 미리 슬레이브매체자화를 트랙방향으로 초기직류자화한 후, 자기전사용 마스터담체와 상기 초기직류자화한 슬레이브매체를 밀착시켜서, 슬레이브매체면의 초기직류자화방향과 역방향의 트랙방향으로 전사용 자계를 인가시켜 자기전사를 행하는 자기전사방법.
기판의 표면의 정보신호에 대응하는 부분에 자성층이 형성된 자기전사용 마스터담체와 전사를 받는 자기기록매체로 이루어지는 슬레이브매체를 밀착시켜서 전사용 자계를 인가하는 자기전사방법에 있어서, 슬레이브매체면의 트랙방향으로 자계를 인가하고, 미리 슬레이브매체담체자화를 트랙방향으로 초기직류자화한 후, 자극의 축에 대칭인 자계를 보유하는 단일 영구자석을 자극의 축을 자기전사용 마스터담체와 슬레이브매체를 밀착한 밀착체면에 수직하게 밀착체를 사이에 두고 동극끼리를 대향시켜서 배치한 한쌍의 영구자석을, 인접하는 자석의 극성이 다르도록두쌍을 인접하여 배치하고, 두쌍의 영구자석 또는 자기전사용 마스터담체와 슬레이브매체의 밀착체를 트랙방향으로 회전시키고, 초기직류자화방향과 역방향의 트랙방향의 전사용 자계를 인가시켜, 자기전사를 행하는 자기전사방법.
자극의 축에 대칭인 자계를 보유하는 단일 영구자석을 자극의 축을 자기전사용 마스터담체와 슬레이브매체의 밀착체면에 수직하게 밀착체를 사이에 두고 동극끼리를 대향시켜서 배치한 한쌍의 영구자석을, 인접하는 자석의 극성이 다르도록 두쌍을 인접하여 배치하였을 때에 발생하는 자계의 트랙방향에 있어서의 자계강도분포가 슬레이브매체의 보자력(HCS)이상의 자계강도부분을 트랙방향위치에서 1개소이상 보유하는 자기전사방법.
자극의 축에 대칭인 자계를 보유하는 단일 영구자석을 자극의 축을 슬레이브매체면에 수직하게 슬레이브매체를 사이에 두고 동극끼리를 대향시켜서 배치한 한쌍의 영구자석을, 인접하는 자석의 극성이 다르도록 두쌍을 인접하여 배치하였을 때에 발생하는 자계의 트랙방향에 있어서의 자계강도분포가, 슬레이브매체의 보자력(HCS)이상의 자계강도부분을 트랙방향위치에서 한방향으로만 보유하고 있고, 역방향의 자계강도는 모든 트랙방향위치에서 슬레이브매체의 보자력(HCS)미만인 상기 자기전사방법이다.
자극의 축에 대칭인 자계를 보유하는 단일 영구자석을 자극의 축을 슬레이브매체면에 수직하게 슬레이브매체를 사이에 두고 동극끼리를 대향시켜서 배치한 한쌍의 영구자석을, 인접하는 자석의 극성이 다르도록 두쌍을 인접하여 배치하였을때에 발생하는 자계의 트랙방향 자계강도분포에 있어서, 최적전사자계강도범위의 최대치를 넘는 자계강도가 모든 트랙방향위치에서 존재하지 않고, 최적전사자계강도범위 내의 자계강도로 되는 부분이 한개의 트랙방향에서 1개소이상 존재하고, 이것과 역방향의 트랙방향의 자계강도가 모든 트랙방향위치에 있어서, 최적전사자계강도범위의 최소치미만인 상기 자기전사방법이다.
최적전사자계강도가, 슬레이브매체의 보자력(HCS)에 대해서 0.6×HCS내지 1.3×HCS인 상기 자기전사방법이다.
기판의 표면의 정보신호에 대응하는 부분에 자성층이 형성된 자기전사용 마스터담체와 전사를 받는 자기기록매체로 이루어지는 슬레이브매체를 밀착시켜서 전사용 자계를 인가하는 자기전사장치에 있어서, 자극의 축에 대칭인 자계를 보유하는 단일 영구자석을 자극의 축을 슬레이브매체면에 수직하게 슬레이브매체를 사이에 두고 동극끼리를 대향시켜서 배치한 한쌍의 영구자석을, 인접하는 자석의 극성이 다르도록 두쌍을 인접하여 배치하고, 슬레이브매체 또는 두쌍의 영구자석을 트랙방향으로 회전시켜, 슬레이브매체면의 트랙방향으로 자계를 인가하므로써, 미리 슬레이브매체자화를 트랙방향으로 초기직류자화하는 초기직류자화수단, 자기전사용 마스터담체와 상기 초기직류자화한 슬레이브매체를 밀착시키는 밀착수단, 슬레이브매체면의 초기직류자화방향과 역방향의 트랙방향으로 전사용 자계를 인가시키는 전사자계인가수단으로 이루어지는 자기전사장치이다.
기판의 표면의 정보신호에 대응하는 부분에 자성층이 형성된 자기전사용 마스터담체와 전사를 받는 자기기록매체로 이루어지는 슬레이브매체를 밀착시켜서 전사용 자계를 인가하는 자기전사장치에 있어서, 슬레이브매체면의 트랙방향으로 자계를 인가하고 미리 슬레이브매체자화를 트랙방향으로 초기직류자화하는 초기직류자화수단, 자기전사용 마스터담체와 상기 초기직류자화한 슬레이브매체를 밀착시키는 밀착수단, 자극의 축에 대칭인 자계를 보유하는 단일 영구자석을 자극의 축을 슬레이브매체면에 수직하게 슬레이브매체와 자기전사용 마스터담체와의 밀착체를 사이에 두고 동극끼리를 대향시켜서 배치한 한쌍의 영구자석을, 인접하는 자석의 극성이 다르도록 두쌍을 인접하여 배치하고, 슬레이브매체 또는 두쌍의 영구자석을 트랙방향으로 회전시켜서, 초기직류자화방향과 역방향의 트랙방향의 전사용 자계를 인가시키는 자기전사수단을 보유하는 자기전사장치이다.
자극의 축에 대칭인 자계를 보유하는 단일 영구자석을 자극의 축을 슬레이브매체면에 수직하게 슬레이브매체를 사이에 두고 동극끼리를 대향시켜서 배치한 한쌍의 영구자석을, 인접하는 자석의 극성이 다르도록 두쌍을 인접하여 배치하였을 때에 발생하는 자계의 트랙방향에 있어서의 자계강도분포가 슬레이브매체의 보자력(HCS)이상의 자계강도부분을 트랙방향위치에서 1개소이상 보유하는 상기 자기전사장치이다.
자극의 축에 대칭인 자계를 보유하는 단일 영구자석을 자극의 축을 슬레이브매체면에 수직하게 슬레이브매체와 자기전사용 마스터담체의 밀착체를 사이에 두고 동극끼리를 대향시켜서 배치한 한쌍의 영구자석을, 인접하는 자석의 극성이 다르도록 두쌍을 인접하여 배치하였을 때에 발생하는 자계의 트랙방향에 있어서의 자계강도분포가, 슬레이브매체의 보자력(HCS)이상의 자계강도부분을 트랙방향위치에서 한방향으로만 보유하고 있고, 역방향의 자계강도는 모든 트랙방향위치에서, 슬레이브매체의 보자력(HCS)미만인 상기 자기전사장치이다.
자극의 축에 대칭인 자계를 보유하는 단일 영구자석을 자극의 축을 슬레이브매체면에 수직하게 슬레이브매체를 사이에 두고 동극끼리를 대향시켜서 배치한 한쌍의 영구자석을, 인접하는 자석의 극성이 다르도록 두쌍을 인접하여 배치하였을 때에 발생하는 자계의 트랙방향자계강도분포에 있어서, 최적전사자계강도범위의 최대치를 넘는 자계강도가 모든 트랙방향위치에서 존재하지 않고, 최적전사자계강도범위 내의 자계강도로 되는 부분이 하나의 트랙방향에서 1개소이상 존재하고, 이것과 역방향의 트랙방향의 자계강도가 모든 트랙방향위치에 있어서, 최적전사자계강도범위의 최소치미만인 상기 자기전사장치이다.
최적전사자계강도가 슬레이브매체의 보자력(HCS)에 대해서 0.6×HCS내지 1.3×HCS인 것을 특징으로 하는 자기전사장치.
본 발명자들은, 마스터담체와 슬레이브매체를 밀착시켜서 외부로부터 전사용 자계를 인가하였을 때에, 전사가 불안정하고 신호품위가 저하한 부분이 생기는 것은, 전사시에 인가하는 자계가 적절하지 않기 때문에 신호품위가 저하는 것이 원인인 것을 찾아내어 본 발명을 생각하기에 이르렀다.
자기전사용 마스터담체로부터 슬레이브매체로의 자기전사에 있어서는, 슬레이브매체의 보자력(HCS)보다도 높은 외부자계를 인가하면, 슬레이브의 자화상태가 모두 인가한 방향으로 자화하고, 이 때문에 본래 전사해야할 패턴의 기록이 행해지지 않는 것으로 일반적으로는 생각되어 왔다. 예컨대, 일본 특개평10-40544호 공보에 있어서도, 단락번호0064에 있어서, 자기기록매체의 보자력과 동일한 정도이하로 하는 것이 바람직하다라는 것이 기록되어 있다.
그러나, 본 발명자들의 검토에 의해서 본 방식에 있어서의 자기전사의 원리는 도 1에 나타내는 바와 같이, 자기전사용 마스터담체(1)의 슬레이브본체(4)에 실질적으로 접촉하고 있는 볼록한 자성층부분에서는 전사용 외부자계(6)는, 그 볼록부분으로 흡수되는 자계(6a)로 되고, 접촉하고 있는 슬레이브본체(4)의 자성층에서는 기록할 수 있는 자계강도로 되지 않지만, 자기전사용 마스터담체(1)의 슬레이브본체 (4)에 접촉하고 있지 않은 오목한 부분에 대응하는 슬레이브매체(4)의 자성층에서는 기록할 수 있는 자계강도로 되고, 도면의 7에서 나타내는 바와 같이 전사용 외부자계(6)의 방향으로 자화되고, 자기전사용 마스터담체(1)의 프리포맷용 패턴을 슬레이브매체(4)로 기록정보(7)로서 전사할 수 있는 것을 판명하였다.
따라서, 자기전사용 마스터담체로부터 슬레이브매체로의 전사의 있어서는, 슬레이브매체와 접촉하고 있는 부분은 많은 자계가 자기전사용 마스터담체의 패턴부에 들어가기 때문에, 슬레이브매체에는, 보자력(HCS)보다도 높은 전사자계를 인가하여도 반전하지 않는 것으로 생각된다. 게다가, 슬레이브매체의 보자력(HCS)과 비교하여 특정의 관계의 강도를 보유하는 전사용 자계를 적용하므로써 신호품위가 높은 슬레이브본체를 얻을 수 있다.
명료한 전사를 어떠한 패턴에 있어서도 실현하기 위해서는, 슬레이브매체를 미리 한방향으로 슬레이브매체를 충분히 큰 자계로, 보자력(HCS)이상, 바람직하게는 HCS의 1.2배이상으로 초기직류자화하여 두고, 특정의 강도의 전사용 자계, 즉 최적전사자계강도범위의 자계를 인가하는 것이고, 바람직한 전사자계는
0.6×HCS≤전사용 자계≤1.3×HCS
이고, 그 방향은 초기직류자화의 방향과 역방향으로 인가하는 것이다.
또한, 전사용 자계는 보다 바람직하게는 0.8 내지 1.2HCS이고, 더욱 바람직하게는 1 내지 1.1HCS이다.
또한, 서보용 프리포맷을 행하는 자기기록매체는, 원반형상의 기록매체이고, 회전의 중심으로부터 동심원상으로 그려진 트랙을 따라서 정보를 기록하고 있다. 이와 같은 원반형상 자기기록매체에 있어서, 방사형상의 패턴을 전사하는 자계인가방법은, 슬레이브매체면의 트랙방향, 즉 임의의 트랙방향위치에서 원호의 접선방향으로 자계를 인가하고 미리 슬레이브매체자화를 트랙방향으로 초기직류자화한다.
다음으로, 자기전사용 마스터담체와 상기 초기직류자화한 슬레이브매체를 밀착시켜서 슬레이브매체면의 트랙방향으로 전사용 자계를 인가시켜 자기전사를 행하지만, 미리 슬레이브매체에 트랙방향자계를 인가하고 초기직류자화시킨 방향과 자기전사를 행하기 위하여 인가하는 전사용 자계가 슬레이브매체면에 있어서 역방향인 것이 필요하다.
따라서 원반형상 매체의 전체면에 걸쳐서 상기 인가자계조건의 자계를 인가하기 위해서는, 슬레이브매체의 보자력(HCS)이상의 자계강도부분을 트랙방향위치에서 적어도 1개소이상 보유하는 다양한 자계강도분포의 자계를 트랙방향의 일부분에서 발생시키고, 슬레이브매체 또는 자계를 트랙방향으로 한바퀴의 회전을 시키므로써 초기직류자화를 실현할 수 있다.
또한, 슬레이브매체의 보자력(HCS)이상의 자계강도부분을 트랙방향위치에서 한방향으로만 보유하고 있고, 역방향의 자계강도는 모든 트랙방향위치에서 슬레이브매체의 보자력(HCS)미만인 다양한 자계강도분포의 자계를 트랙방향의 일부분에서 발생시키고, 슬레이브매체 또는 자계를 트랙방향으로 1회전시키므로써, 미리 슬레이브매체자화를 트랙방향으로 초기직류자화하기 위한 자계를 인가할 수 있다.
게다가, 최적전사자계강도범위의 최대치를 넘는 자계강도가 모든 트랙방향위치에서 존재하지 않고, 최적전사자계강도범위 내의 자계강도로 되는 부분이 한개의 트랙방향에서 적어도 1개소이상 존재하고, 이것과 역방향의 트랙방향의 자계강도가 모든 트랙방향위치에 있어서 최적전사자계강도범위의 최소치미만인 다양한 자계강도분포의 자계를 트랙방향의 일부분에서 발생시키고, 자기전사용 마스터담체와 초기직류자화한 슬레이브매체를 밀착시킨 상태에서 트랙방향으로 회전시키거나 또는 자계를 트랙방향으로 회전시키므로써, 슬레이브매체면의 트랙방향으로 전사용 자계를 인가하는 것에 의해서도 실현가능하다.
또한, 초기직류자화 및 자기전사에 이용하는 영구자석은, 슬레이브매체의 일단의 트랙으로부터 타단의 트랙까지의 거리와 동일한 정도의 크기, 또는 그 거리보다도 큰 것이 바람직하고, 원반형상의 슬레이브매체에 있어서는 슬레이브매체의 최외주 트랙으로부터 최내주트랙까지의 반경방향거리와 동일 정도의 크기 또는 그 거리보다도 큰 것이 바람직하다. 이와 같은 크기의 것을 이용하므로써 슬레이브매체, 슬레이브매체와 자기전사용 마스터담체의 밀착체, 또는 영구자석 중 어느 하나를 트랙 전체길이에 걸쳐서 한방향으로 이동시키거나 한바퀴의 회전을 하는 것만으로 슬레이브매체면에 균일한 자계를 주는 것이 가능하게 된다.
또한, 영구자석을 이용하여 인가하는 자계강도는 전체 트랙위치에 있어서 균일한 것이 요구되고, 그 분산의 크기는 전체 트랙위치에서 ±5%이내가 바람직하고, 더욱 바람직하게는 ±2.5%이내로 하는 것이 보다 바람직하다.
이하에 도면을 참조하여, 전사방법 및 전사장치에 관해서 설명한다.
도 2는, 슬레이브매체면에 수직하게 슬레이브매체를 사이에 두고, 두쌍의 자석을 인접하여 배치한 영구자석을 이용한 자계의 인가방법을 설명하는 도이다.
도 2의 (A)는, 슬레이브매체(4)의 상면 및 하면에, 자극의 축에 대해서 대칭인 자계를 보유하는 한쌍의 영구자석(8a, 8b)을 동종의 자극을 대향시켜서 배치하고, 또한 이것에 인접하여 자극이 반대의 극성으로 되도록, 또 한쌍의 영구자석 (8c, 8d)을 배치한 것이다. 이와 같이 배치한 상태에서 슬레이브매체(4)를 회전하는 예를 나타내고 있다.
슬레이브매체(4)의 상면 또는 하면에 단일 영구자석(8a, 8b)을 동극끼리를대향하여 배치한 것이므로, 도 2(B)에 나타내는 바와 같이, 8a 및 8b의 자계는 서로 반발을 하고, 영구자석(8a)의 자계는 인접하는 또 한쌍의 영구자석 중 영구자석 (8c)으로 향하며, 또한 영구자석(8b)의 자계는 인접하는 또 한쌍의 영구자석 중, 영구자석(8d)으로 향하는 자계가 생기고, 슬레이브매체(4)의 면에 대해서, 자계(9)가 주어진다.
도 2(C)는, 슬레이브매체에 주어지는 자계강도를 나타내는 도이다. 슬레이브매체에 주어지는 자계에는, 슬레이브매체의 보자력(HCS)을 넘는 피크(10)가 존재하고 있고, 슬레이브매체를 회전시키던가 또는 자석을 회전시키므로써 슬레이브매체를 초기직류자화할 수 있다.
인접하여 배치된 대향하는 자석의 사이의 거리는, 인접하는 자석에 의해서 형성되는 자계가 슬레이브매체에 대해서 슬레이브매체의 보자력이상의 강도의 자계를 주는 것이 가능한 거리로 배치되면 좋다.
도 3은, 자기전사용 마스터담체로부터 슬레이브매체로의 전사방법을 설명하는 도이다.
도 3의 (A)는, 슬레이브매체와 자기전사용 마스터담체와 밀착체로의 자계의 인가를 설명하는 도이고, 도 3의 (B)는, 도 3의 (A)의 자계의 인가에 의해서 주어지는 자계의 강도를 설명하는 도이다.
슬레이브매체(4)를 자기전사용 마스터담체(1)와 밀착시킨 밀착체(11)의 상면 및 하면에, 자극의 축에 대칭인 자계를 보유하는 한쌍의 영구자석(8a, 8b)을 동종의 자극을 대향시켜서 배치하고, 게다가 이것에 인접하여 인접하는 자극이 반대의 극성으로 되도록, 영구자석(8c, 8d)을 배치한 것이다. 이와 같이 배치한 상태에서, 밀착체(11)를 회전하는 예를 나타내고 있다.
밀착체(11)의 상면 및 하면에 설치한 단일 영구자석(8a, 8b)에 동극끼리를 대향하여 배치한 것이므로, 영구자석(8a, 8b)의 자계는 서로 반발을 하고, 영구자석(8a)의 자계는 인접하는 또 한쌍의 영구자석 중, 영구자석(8c)으로 향하고, 또한, 영구자석(8b)의 자계는 인접하는 또 한쌍의 영구자석 중, 영구자석(8d)으로 향하는 자계가 생기는 밀착체(11)에 대해서, 전사자계(12)가 주어진다.
도 3의 (B)는, 자기전사용 마스터담체와 밀착한 슬레이브매체에 주어지는 자계강도를 나타내는 도이다.
슬레이브매체에 주어지는 자계 중 강도가 작은 피크(13)는, 최적전사자계강도범위에 비해서 훨씬 작은 것이므로 자기전사용 마스터담체로부터 슬레이브매체로의 패턴의 전사에는 어떠한 영향도 주지 않고, 강도가 큰 피크(14)만이, 자기전사에 기여하는 것으로 된다. 또한, 강도가 큰 피크(14)는, 자기전사용 마스터담체로부터 슬레이브매체로의 최전전사자계강도범위에 포함되는 자계를 주므로써 패턴의 형상에 관계없이 양호한 패턴을 형성하는 것이 가능하게 된다.
또한, 도 2 및 도 3에서 나타낸 자기전사방법에 이용하는 장치에는, 슬레이브매체면과 영구자석과의 거리, 및 인접하는 한쌍의 영구자석의 사이의 거리를 임의로 조정할 수 있는 기구가 설치되어 있고, 슬레이브매체와 영구자석과의 사이의 거리, 한쌍의 영구자석 간의 거리를 조정하므로써, 슬레이브매체면에서 원하는 자계강도가 얻어진다.
본 발명의 자기전사에 사용하는 자기전사용 마스터담체의 제조방법에 관해서 설명한다.
자기전사용 마스터담체용 기판으로서는, 실리콘, 석영판, 유리, 알루미늄 등의 비자성금속 또는 금속, 세라믹, 합성수지 등의 표면이 평활한 판형상체이고, 에칭, 성막공정에서의 온도 등의 처리환경에 내성을 가지는 것을 이용할 수 있다.
표면이 평활한 기판에 프리포맷을 도포하고, 프리포맷의 패턴에 따른 포토마스크를 이용하여 노광, 현상하거나, 또는 포토레지스트를 직접 스크래칭 등의 방법에 의해서 포토레지스트에 프리포맷의 정보에 따른 패턴을 형성한다.
다음으로, 에칭공정에 있어서, 반응성 에칭, 아르곤플라즈마를 이용한 물리적인 에칭, 액체를 이용한 에칭 등의 기판에 따른 에칭수단에 의해서, 패턴에 따라서 기판의 에칭을 행한다.
에칭에 의해서 형성하는 구멍의 깊이는, 전사정보기록부로서 형성하는 자성층의 두께에 상당하는 깊이로 하지만, 20nm이상 1000nm이하인 것이 바람직하다. 너무 두꺼우면 자계의 넓어지는 폭이 크게 되는 것에서 바람직하지 않다.
형성하는 구멍은, 바닥면이 기판의 표면에 평행한 평면에서 형성되는 깊이가 균등한 구멍을 형성하는 것이 바람직하다.
또한, 구멍의 형상은, 면에 수직인 트랙방향의 단면이 직사각형인 것이 바람직하다.
다음으로, 자성재료를 진공증착법, 스패터링법, 이온도금법 등의 진공성막수단, 도금법에 의해 형성한 구멍에 대응한 두께로 기판의 표면까지 자성재료를 성막한다. 전사정보기록부의 자기특성을, 항자력(Hc)은 199kA/m(2500Ｏe)이하, 바람직하게는 0.4 내지 119kA/m(5 내지 1500Ｏe)이고, 포화자속밀도(Bs)로서는, 0.3T(테슬라)이상, 바람직하게는 0.5T이상이다.
다음으로, 포토레지스트를 리프트오프법으로 제거하고, 표면을 연마하여, 버가 있는 것은 제거함과 아울러, 표면을 평탄화한다.
이상의 설명에서는, 기판에 구멍을 형성하고, 형성한 구멍에 자성재료를 성막하는 방법에 관해서 상술하였지만, 포토퍼블리케이션법에 의해서 기판 상의 소정의 개소에, 자성재료를 성막하여 전사정보기록부의 볼록부를 형성한 후에, 볼록부의 사이에 비자성재료를 성막 또는 충전하고, 전사정보기록부와 비자성재료부의 표면을 동일 평면으로 하여도 좋다.
또한, 자성층에 이용할 수 있는 자성재료로서는, 자속밀도가 큰 코발트, 철 또는 이들의 합금을 이용할 수 있다. 구체적으로는, Co, CoPtCr, CoCr, CoPtCrTa, CoPtCrNbTa, CoCrB, CoNi, Fe, FeCo, FePt 등을 둘 수 있다.
또한, 자성층의 두께로서는, 20 내지 1000nm이고, 바람직하게는 30 내지 500nm이다. 너무 두꺼우면 기록분해능력이 저하한다.
특히, 자속밀도가 크고, 슬레이브매체와 동일 방향, 예컨대 면내 기록의 경우에는 면내방향, 수직기록의 경우에는 수직방향의 자기이방성을 보유하고 있는 것이 명료한 전사가 행하기 위해서는 바람직하다. 자성재료는, 가느다란 자기입자 또는 비결정성 구조를 보유하고 있는 것이 예리한 모서리가 형성가능한 점에서도 바람직하다.
또한, 자기재료에 자기이방성을 형성하기 위해서는, 비자성의 하지층을 설치하는 것이 바람직하고, 결정구조와 격자상수를 자성층과 마찬가지의 것으로 하는 것이 필요하다. 구체적으로는, 그와 같은 하지층으로서는, Cr, CrTi, CoCr, CrTa, CrMo, NiAl, Ru 등을 스패터링에 의해서 성막하는 것이 가능하다.
또한, 자성층의 상에 다이아몬드상 탄소막 등의 보호막을 설치하여도 좋고, 윤활제를 설치하여도 좋다. 보호막으로서 5 내지 30nm의 다이아몬드상 탄소막과 윤활제가 존재하는 것이 더욱 바람직하다. 그 위에 윤활제가 설치되어 있는 것이 필요한 이유는, 슬레이브와의 접촉과정에서 생기는 어긋남을 보정할 때에 마찰이 생기고, 윤활제층이 없으면 내구성이 부족하기 때문이다.
본 발명의 자기전사용 마스터담체는, 하드디스크, 대용량 리무버블형 자기기록매체 등의 디스크형 자기기록매체로의 자기기록정보의 전사뿐만 아니라, 카드형 자기기록매체, 테이프형 자기기록매체로의 자기기록정보의 전사에도 이용하는 것이 가능하다.
(실시예)
이하에 실시예를 나타내며, 본 발명을 설명한다.
실시예 1 및 비교예 1
(자기전사용 마스터담체의 제작)
진공성막장치에 있어서, 실온에서 1.33×10-5Pa(10-7Torr)까지 감압한 후에,아르곤을 도입하여 0.4Pa(3×10-3Torr)로 한 조건 하에서, 실리콘기판 상에 두께 (200nm)의 FeCo막을 형성하고, 3.5형의 원반형상의 자기전사용 마스터담체로 하였다.
보자력(Hc)은 8kA/m(100Ｏe), 자속밀도(Ms)는 28.9T(23000Gauss)이었다.
원반형상 패턴을 원반중심에서 반경방향 20mm 내지 40mm의 위치까지의 폭(10μ)의 등간격의 방사형상 라인, 라인간격은 반경방향 20mm의 최내주위치에서 10㎛ 간격으로 하였다.
(슬레이브매체의 제작)
진공성막장치에 있어서, 실온에서 1.33×10-5Pa(10-7Torr)까지 감압한 후에, 아르곤을 도입하여 0.4Pa(3×10-3Torr)로 한 조건 하에서, 유리기판을 200℃로 가열하고, CoCrPt 25nm, Ms:5.7T(4500Gauss), 보자력(HCS):199kA/m(2500Ｏe)인 3.5형의 원반형상 자기기록매체를 제작하였다.
(초기직류자화방법)
피크자계강도가 슬레이브매체의 표면에 있어서, 슬레이브매체의 보자력(HCS)의 2배의 388kA/m(5000Ｏe)로 되도록, 도 2에서 나타내는 바와 같이 영구자석을 배치하여, 슬레이브매체의 초기직류자화를 행하였다.
(자기전사시험방법)
초기직류자화한 슬레이브매체와 자기전사용 마스터담체를 밀착시켜서, 도 3의 (A)에 나타낸 양면에 영구자석을 보유하는 장치를 이용하여 슬레이브매체의 자화와는 역의 방향으로 인가하여 자기전사를 행하였다. 또한, 자기전사용 마스터담체와 슬레이브매체의 밀착은, 고무판을 사이에 두고 알루미늄판 상으로부터 가압하였다.
(전자변환특성평가방법)
전자변환특성측정장치(쿄오도덴시제 SS-60)에 의해 슬레이브매체의 전사신호의 평가를 행하였다. 헤드에는, 재생헤드간극:0.32㎛, 재생트랙폭:3.0㎛, 기록헤드간극:0.4㎛, 기록트랙폭:4.0㎛인 MR헤드를 사용하였다.
판독신호를 스팩트로분석기로 주파수분해하고, 1차신호의 피크강도(C)와 외부삽입한 매체노이즈(N)의 차(C/N)를 측정하였다. 각 자장강도에서의 C/N 중, 최대치를 0dB로 하고, 상대치(△C/N)에서 평가를 행하고, 표 1에 나타내었다. 또한, C/N값이 -20dB이하의 경우, 자기전사의 신호품위가 실용레벨이 아니기 때문에 *로 표시하였다.
실시예2 및 비교예 2
보자력(HCS)이 199kA/m(2500Ｏe)의 슬레이브매체에, 피크자계강도가 239kA/m (3000Ｏe), 즉 슬레이브매체의 보자력의 HCS의 1.2배의 자계강도에서 슬레이브매체의 초기직류자화를 행하고, 다음에 초기직류자화한 슬레이브매체와 자기전사용 마스터담체를 밀착시켜서 자기전사를 행한 점을 제외하고 실시예1과 마찬가지로 하여 자기전사를 행한 후에, 실시예1과 마찬가지로 하여 자기전사패턴의 현상을 행하여 측정하고, 그 결과를 표 2에 나타낸다. 전사용 자계의 피크강도는, 도 3에서 나타내는 자계강도분포의 피크를 나타낸다.
비교예3
보자력(HCS)이 199kA/m(2500Ｏe)의 슬레이브매체에, 피크자계강도가 159kA/m (2000Ｏe), 즉 슬레이브매체의 보자력의 HCS의 0.8배의 자계강도에서 슬레이브매체의 초기직류자화를 행하고, 다음에 초기직류자화한 슬레이브매체와 자기전사용 마스터담체를 밀착시켜서 자기전사를 행한 점을 제외하고 실시예1과 마찬가지로 하여 자기전사를 행한 후에, 실시예1과 마찬가지로 하여 측정하고, 그 결과를 표 3에 나타낸다. 전사용 자계의 피크강도는, 도 3의 자계강도분포의 피크를 나타낸다.
실시예3 및 비교예4
실시예1과 마찬가지로 하여 제작한 보자력(HCS)이 159kA/m(2000Ｏe)의 슬레이브매체에, 피크자계강도가 318kA/m(4000Ｏe), 즉 슬레이브매체의 보자력의 HCS의 2배의 자계강도에서 슬레이브매체의 초기직류자화를 행하고, 다음에 초기직류자화한 슬레이브매체와 자기전사용 마스터담체를 밀착시켜서 도 3에서 나타낸 장치를 이용하여 자기전사를 행한 점을 제외하고 실시예1과 마찬가지로 하여 자기전사를 행한 후에, 실시예1과 마찬가지로 하여 측정하고, 그 결과를 표 4에 나타낸다. 전사용 자계의 피크강도는, 도 3의 자계강도분포의 피크를 나타낸다.
실시예4 및 비교예5
보자력(HCS)이 159kA/m(2000Ｏe)의 슬레이브매체에 피크자계강도가 191kA/m (2400Ｏe), 즉 슬레이브매체의 보자력의 HCS의 1.2배의 자계강도에서 슬레이브매체의 초기직류자화를 행한 점을 제외하고, 실시예4와 마찬가지로 초기직류자화한 슬레이브매체와 자기전사용 마스터담체를 밀착시켜서 자기전사를 행한 후에, 실시예1과 마찬가지로 측정하고, 그 결과를 표 5에 나타낸다. 전사용 자계의 피크강도는, 도 3의 자계강도분포의 피크를 나타낸다.
비교예6
실시예1과 마찬가지로 하여 제작한 보자력(HCS)이 159kA/m(2000Ｏe)의 슬레이브매체에, 피크자계강도가 127kA/m(1600Ｏe), 즉 슬레이브매체의 보자력의 HCS의 0.8배의 자계강도에서 슬레이브매체의 초기직류자화를 행하고, 다음에 초기직류자화한 슬레이브매체와 자기전사용 마스터담체를 밀착시켜서 도 3에서 나타낸 장치를 이용하여 자기전사를 행한 점을 제외하고 실시예1과 마찬가지로 하여 자기전사를 행한 후에, 실시예1과 마찬가지로 측정하고, 그 결과를 표 6에 나타낸다. 전사용 자계의 피크강도는, 도 3의 자계강도분포의 피크를 나타낸다.
자기전사용 마스터담체로부터, 슬레이브매체로의 자기전사에 있어서, 슬레이브매체의 HCS에 대해서 특정의 강도의 전사용 자계를 주므로써 패턴의 위치나 형상에 따르지 않고 고품위의 전사패턴을 보유하는 슬레이브매체를 얻을 수 있다.

Claims (12)

  1. 기판의 표면의 정보신호에 대응하는 부분에 자성층이 형성된 자기전사용 마스터담체와 전사를 받는 자기기록매체로 이루어지는 슬레이브매체를 밀착시켜서 전사용 자계를 인가하는 자기전사방법에 있어서, 자극의 축에 대칭인 자계를 보유하는 단일 영구자석을, 자극의 축을 슬레이브매체면에 수직하게 슬레이브매체를 사이에 두고 동극끼리를 대향시켜서 배치한 한쌍의 영구자석을, 인접하는 자석의 극성이 다르도록 두쌍을 인접하여 배치하고, 슬레이브매체 또는 두쌍의 영구자석을 트랙방향으로 회전시켜서 슬레이브매체면의 트랙방향으로 자계를 인가하므로써, 미리 슬레이브매체담체자화를 트랙방향으로 초기직류자화한 후, 자기전사용 마스터담체와 상기 초기직류자화한 슬레이브매체를 밀착시켜서 슬레이브매체면의 초기직류자화방향과 역방향의 트랙방향으로 전사용 자계를 인가시켜 자기전사를 행하는 것을 특징으로 하는 자기전사방법.
  2. 기판의 표면의 정보신호에 대응하는 부분에 자성층이 형성된 자기전사용 마스터담체와 전사를 받는 자기기록매체로 이루어지는 슬레이브매체를 밀착시켜서 전사용 자계를 인가하는 자기전사방법에 있어서, 슬레이브매체면의 트랙방향으로 자계를 인가하고, 미리 슬레이브매체담체자화를 트랙방향으로 초기직류자화한 후, 자극의 축에 대칭인 자계를 보유하는 단일 영구자석을 자극의 축을 마스터담체와 슬레이브매체를 밀착한 밀착체면에 수직하게 밀착체를 사이에 두고 동극끼리를 대향시켜서 배치한 한쌍의 영구자석을, 인접하는 자석의 극성이 다르도록 두쌍을 인접하여 배치하고, 두쌍의 영구자석 또는 자기전사용 마스터담체와 슬레이브매체의 밀착체를 트랙방향으로 회전시키고, 초기직류자화방향과 역방향의 트랙방향의 전사용 자계를 인가시켜, 자기전사를 행하는 것을 특징으로 하는 자기전사방법.
  3. 제 1항에 있어서, 자극의 축에 대칭인 자계를 보유하는 단일 영구자석을 자극의 축을 자기전사용 마스터담체와 슬레이브매체의 밀착체면에 수직하게 밀착체를 사이에 두고 동극끼리를 대향시켜서 배치한 한쌍의 영구자석을, 인접하는 자석의 극성이 다르도록 두쌍을 인접하여 배치하였을 때에 발생하는 자계의 트랙방향에 있어서의 자계강도분포가 슬레이브매체의 보자력(HCS)이상의 자계강도부분을 트랙방향위치에서 1개소이상 보유하는 것을 특징으로 하는 자기전사방법.
  4. 제 1항에 있어서, 자극의 축에 대칭인 자계를 보유하는 단일 영구자석을 자극의 축을 슬레이브매체면에 수직하게 슬레이브매체를 사이에 두고 동극끼리를 대향시켜서 배치한 한쌍의 영구자석을, 인접하는 자석의 극성이 다르도록 두쌍을 인접하여 배치하였을 때에 발생하는 자계의 트랙방향에 있어서의 자계강도분포가, 슬레이브매체의 보자력(HCS)이상의 자계강도부분을 트랙방향위치에서 한방향으로만 보유하고 있고, 역방향의 자계강도는 모든 트랙방향위치에서 슬레이브매체의 보자력(HCS)미만인 것을 특징으로 하는 자기전사방법.
  5. 제 2항에 있어서, 자극의 축에 대칭인 자계를 보유하는 단일 영구자석을 자극의 축을 슬레이브매체면에 수직하게 슬레이브매체를 사이에 두고 동극끼리를 대향시켜서 배치한 한쌍의 영구자석을, 인접하는 자석의 극성이 다르도록 두쌍을 인접하여 배치하였을 때에 발생하는 자계의 트랙방향 자계강도분포에 있어서, 최적전사자계강도범위의 최대치를 넘는 자계강도가 모든 트랙방향위치에서 존재하지 않고, 최적전사자계강도범위 내의 자계강도로 되는 부분이 한개의 트랙방향에서 1개소이상 존재하고, 이것과 역방향의 트랙방향의 자계강도가 모든 트랙방향위치에서, 최적전사자계강도범위의 최소치미만인 것을 특징으로 하는 자기전사방법.
  6. 제 5항에 있어서, 최적전사자계강도가, 슬레이브매체의 보자력(HCS)에 대해서 0.6×HCS내지 1.3×HCS인 것을 특징으로 하는 자기전사방법.
  7. 기판의 표면의 정보신호에 대응하는 부분에 자성층이 형성된 자기전사용 마스터담체와 전사를 받는 자기기록매체로 이루어지는 슬레이브매체를 밀착시켜서 전사용 자계를 인가하는 자기전사장치에 있어서, 자극의 축에 대칭인 자계를 보유하는 단일 영구자석을 자극의 축을 슬레이브매체면에 수직하게 슬레이브매체를 사이에 두고 동극끼리를 대향시켜서 배치한 한쌍의 영구자석을, 인접하는 자석의 극성이 다르도록 두쌍을 인접하여 배치하고, 슬레이브매체 또는 두쌍의 영구자석을 트랙방향으로 회전시켜, 슬레이브매체면의 트랙방향으로 자계를 인가하므로써 미리 슬레이브매체자화를 트랙방향으로 초기직류자화하는 초기직류자화수단, 자기전사용 마스터담체와 상기 초기직류자화한 슬레이브매체를 밀착시키는 밀착수단, 슬레이브매체면의 초기직류자화방향과 역방향의 트랙방향으로 전사용 자계를 인가시키는 전사자계인가수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기전사장치.
  8. 기판의 표면의 정보신호에 대응하는 부분에 자성층이 형성된 자기전사용 마스터담체와 전사를 받는 자기기록매체로 이루어지는 슬레이브매체를 밀착시켜서 전사용 자계를 인가하는 자기전사장치에 있어서, 슬레이브매체면의 트랙방향으로 자계를 인가하고 미리 슬레이브매체자화를 트랙방향으로 초기직류자화하는 초기직류자화수단, 자기전사용 마스터담체와 상기 초기직류자화한 슬레이브매체를 밀착시키는 밀착수단, 자극의 축에 대칭인 자계를 보유하는 단일 영구자석을 자극의 축을 슬레이브매체면에 수직하게 슬레이브매체와 자기전사용 마스터담체와의 밀착체를 사이에 두고 동극끼리를 대향시켜서 배치한 한쌍의 영구자석을, 인접하는 자석의 극성이 다르도록 두쌍을 인접하여 배치하고, 슬레이브매체 또는 두쌍의 영구자석을 트랙방향으로 회전시켜, 초기직류자화방향과 역방향의 트랙방향의 전사용 자계를 인가시키는 자기전사수단을 보유하는 것을 특징으로 하는 자기전사장치.
  9. 제 7항에 있어서, 자극의 축에 대칭인 자계를 보유하는 단일 영구자석을 자극의 축을 슬레이브매체면에 수직하게 슬레이브매체를 사이에 두고 동극끼리를 대향시켜서 배치한 한쌍의 영구자석을, 인접하는 자석의 극성이 다르도록 두쌍을 인접하여 배치하였을 때에 발생하는 자계의 트랙방향에 있어서의 자계강도분포가 슬레이브매체의 보자력(HCS)이상의 자계강도부분을 트랙방향위치에서 1개소이상 보유하는 것을 특징으로 하는 자기전사장치.
  10. 제 7항에 있어서, 자극의 축에 대칭인 자계를 보유하는 단일 영구자석을 자극의 축을 슬레이브매체면에 수직하게 슬레이브매체와 자기전사용 마스터담체의 밀착체를 사이에 두고 동극끼리를 대향시켜서 배치한 한쌍의 영구자석을, 인접하는 자석의 극성이 다르도록 두쌍을 인접하여 배치하였을 때에 발생하는 자계의 트랙방향에 있어서의 자계강도분포가, 슬레이브매체의 보자력(HCS)이상의 자계강도부분을 트랙방향위치에서 한방향으로만 보유하고 있고, 역방향의 자계강도는 모든 트랙방향위치에서, 슬레이브매체의 보자력(HCS)미만인 것을 특징으로 하는 자기전사장치.
  11. 제 8항에 있어서, 자극의 축에 대칭인 자계를 보유하는 단일 영구자석을 자극의 축을 슬레이브매체면에 수직하게 슬레이브매체를 사이에 두고 동극끼리를 대향시켜서 배치한 한쌍의 영구자석을, 인접하는 자석의 극성이 다르도록 두쌍을 인접하여 배치하였을 때에 발생하는 자계의 트랙방향자계강도분포에 있어서, 최적전사자계강도범위의 최대치를 넘는 자계강도가 모든 트랙방향위치에서 존재하지 않고, 최적전사자계강도범위 내의 자계강도로 되는 부분이 하나의 트랙방향에서 1개소이상 존재하고, 이것과 역방향의 트랙방향의 자계강도가 모든 트랙방향위치에서, 최적전사자계강도범위의 최소치미만인 것을 특징으로 하는 자기전사장치.
  12. 제 11항에 있어서, 최적전사자계강도가 슬레이브매체의 보자력(HCS)에 대해서 0.6×HCS내지 1.3×HCS인 것을 특징으로 하는 자기전사장치.
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