DE60226093T2

DE60226093T2 - Urmedium-Reinigungsmethode

Info

Publication number: DE60226093T2
Application number: DE60226093T
Authority: DE
Inventors: Akito Odawara-shi Kamatani; Masakazu Odawara-shi Nishikawa
Original assignee: Fujifilm Corp
Current assignee: Fujifilm Corp
Priority date: 2001-05-18
Filing date: 2002-05-17
Publication date: 2009-06-10
Anticipated expiration: 2022-05-18
Also published as: SG118134A1; EP1258885A2; EP1258885A3; EP1258885B1; KR20020088389A; US20020170665A1; DE60226093D1; CN1387183A; MY128221A; CN1240058C; US6802321B2

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG:
Gebiet der Erfindung:
Die vorliegende Erfindung betrifft im allgemeinen ein Reinigungsverfahren für ein Mastermedium, und insbesondere ein Verfahren zum Reinigen von magnetischen Transfer-Mastermedien, die zur Durchführung von magnetischen Transfers/Übertragungen verwendet werden, oder zum Reinigen von optischen Disk-Mastermedien, die bei der Herstellung optischer Disks verwendet werden.
Beschreibung verwandter Techniken:
Ein magnetisches Transfer(Übertragungs)-Verfahren ist ein Verfahren, das die Schritte umfasst: Bringen eines Mastermediums, auf dem ein Transfer(Übertragungs)-Muster gebildet worden ist, in engen Kontakt mit einem Slavemedium, das mit einem magnetischen Aufzeichnungsbereich zur Aufnahme der Übertragung/des Transfers versehen worden ist, um einen aneinander angrenzenden Körper zu bilden; und Anlegen eines Transfer-Magnetfeldes an den aneinander angrenzenden Körper, um so das magnetische Muster, das den Transfer-/Übertragungsdaten entspricht (wie z. B. Servosignale) auf das Slavemedium zu übertragen und hierauf aufzuzeichnen. Dieses magnetische Transferverfahren ist z. B. in den ungeprüften japanischen Patentveröffentlichungen Nrn. 63(1988)-183623 , 10(1998)-40544 und 10(1999)-269566 beschrieben worden.
Das beim magnetischen Transfer eingesetzte Mastermedium wird aus einem Siliciumsubstrat oder einem Glassubstrat gebildet, z. B. indem auf dessen Oberfläche ein unebenes Muster, das sich aus einem magnetischen Körper zusammensetzt, unter Verwendung eines fotolithografischen Prozesses, eines Sputterprozesses, eines Ätzprozesses oder dergleichen gebildet worden ist. Ferner können magnetische Transfer-Mastermedien auch durch Verwendung lithografischer Techniken hergestellt werden, wie sie z. B. bei der Herstellung von Halbleiern eingesetzt werden, oder durch eine Presstechnik (stamping), wie sie z. B. bei der Herstellung optische Disks eingesetzt wird.
Um die Qualität des vorstehend beschriebenen magnetischen Transfers zu verbessern, ist es notwendig, dass das Slavemedium und das Mastermedium so aneinander angrenzen, dass überhaupt keine Lücke zwischen ihnen existiert. Dies heisst, dass Bereiche auftreten, auf denen kein magnetischer Transfer durchgeführt werden kann, wenn Mängel im Kontakt zwischen ihnen bestehen; wenn ein magnetischer Transfer nicht durchgeführt werden kann, fehlen Signale in den magnetischen Daten, die auf das Slavemedium übertragen werden, und dessen Signalqualität wird verringert, und wenn die übertragenen Daten Servosignale sind, kann keine adäquate Tracking-Funktion erhalten werden, wodurch sich das Problem ergibt, dass die Zuverlässigkeit verschlechtert wird.
Wenn jedoch die magnetischen Transfers gemäss dem vorstehend beschriebenen, magnetischen Transferverfahren durchgeführt werden, wird die Oberfläche des Mastermediums mit Fremdmaterial, das hieran durch dessen wiederholte Verwendung anhaftet, verschmutzt. Dieses Fremdmaterial kann aus Staub, Faserstücken und anderen Materialien bestehen, die aus der Umgebung stammen.
Wenn ein magnetischer Transfer durchgeführt wird, wenn Staub oder andere Verunreinigungen vorliegen, die an der Oberfläche des Mastermediums anhaften, kann ein adäquater Kontakt zwischen dem Oberflächenbereich des Mastermediums, der um den hieran anhaftenden Staub oder die Verunreinigungen zentriert ist, und dessen nähere Umgebung, und dem entsprechenden Bereich des Slavemediums nicht sichergestellt werden; hierdurch kann ein Muster mit vorbestimmter Signalstärke nicht übertragen werden, und hierdurch wird die Übertragungsqualität verschlechtert. Durch wiederholtes enges In-Kontakt-Bringen eines Mastermediums, auf dessen Oberfläche Fremdmaterial anhaftet, mit Slavemedien wird die Verbindungsfestigkeit des Fremdmaterials an die Oberfläche des Mastermediums erhöht; wodurch Mängel beim Mustertransfer gleicher oder grösserer Grössenordnung während der Durchführung des magnetischen Transfers auf Slavemedien, die anschliessend in engen Kontakt mit dem Mastermedium gebracht werden, wiederholt werden, und das Fremdmaterial wird zur Ursache vieler fehlerhafter Produkte. Ferner wird die Oberfläche des Mastermediums durch das anhaftende Fremdmaterial deformiert, und es ergibt sich das Problem, dass deren geeignete Funktionalität verloren geht.
Diesbezüglich ist z. B. in der ungeprüften japanischen Patentveröffentlichung Nr. 2000-285637 eine Reinigungstechnologie vorgeschlagen worden, worin eine Reinigungsdisk, mit der ein Reinigungspad verbunden ist, rotiert wird, während sie in Kontakt mit der Oberfläche des Mastermediums steht, um Staub und Fremdmaterial, die hieran anhaften, zu entfernen.
Jedoch ist bei Durchführung der Reinigung unter Verwendung der Reinigungstechnologie, wie sie z. B. vorstehend beschrieben ist, es bei Fällen, bei denen das auf der datentragenden Oberfläche des Mastermediums gebildete Muster als ungleichmässige Form vorgesehen ist, schwierig, Fremdmaterial zu entfernen, das sich in dessen Vertiefungsteilen eingenistet hat. Ferner gibt es Fälle, wie z. B. solche, in denen Fremdmaterial, das aus der Umgebung stammt, in die Vertiefungsteile eingebettet wird, Fälle, in denen die Oberfläche des Mastermediums aufgrund des Fremdmaterials beschädigt oder zerkratzt wird, und Fälle, bei denen es nicht möglich ist, kleines teilchenförmiges Fremdmaterial zu entfernen, das an der Oberfläche des Mediums anhaftet, die zu der Befürchtung führen, dass Übertragungsmängel, die hierdurch verursacht werden, aufgrund der mangelnden Eignung des Reinigungsprozesses nicht korrigiert werden. Weil Mastermedien teuer sind, ist es insbesondere angesichts der Kosten vorteilhaft, dass das Mastermedium wiederverwendbar ist und eine lange Lebensdauer besitzt.
Ferner können auch Reinigungsverfahren in Betracht gezogen werden, die vor dem magnetischen Transfer-/Übertragungsprozess durchgeführt werden, um Fremdmaterial, das an der Oberfläche des Mastermediums anhaftet, zu entfernen, wie z. B. durch Ultraschallreinigung unter Verwendung einer Reinigungsflüssigkeit, Reinigung durch Abwischen oder dergleichen. Jedoch ist es möglich, dass nach Durchführung der Reinigung durch eines dieser Verfahren das entfernte Fremdmaterial wiederum anhaftet, dass die Entfernung des Fremdmaterials unzureichend ist, dass auf der Oberfläche des Mastermediums ein Wasserzeichen gebildet wird, wenn die Reinigungsflüssigkeit getrocknet ist, oder dass die Oberfläche des Mastermediums aufgrund des Abriebs durch das Wischmaterial beschädigt oder zerkratzt wird, was zu der Befürchtung führt, dass diese zu einer Beschädigung des Mastermediums führen, und dass beim übertragenen Signal Übertragungsmängel auftauchen. Anders ausgedrückt gibt es Fälle, in denen Fremdmaterial in Form von Waschflüssigkeit, die auf der Oberfläche des Mastermediums verbleibt, oder Fremdmaterial von dem Wischmaterial an der Oberfläche des Mastermediums anhaftet, sogar wenn das an die Oberfläche des Mastermediums anhaftende Fremdmaterial zwischenzeitlich durch Verwendung einer Reinigungsflüssigkeit, eines Wischmaterials oder dergleichen entfernt wurde; insbesondere ist es nicht möglich, einen Teil des kleinen teilchenförmigen Fremdmaterials, das an der Oberfläche des Mediums anhaftet, zu entfernen.
Wenn der magnetische Transfer durchgeführt wird, werden das Mastermedium und das Slavemedium in engen Kontakt miteinander gebracht und es wird ein Magnetfeld an die Medien angelegt, um die Form des Musters des Mastermediums auf das Slavemedium magnetisch zu übertragen. Falls in diesem Prozess etwas zwischen dem Mastermedium und dem Slavemedium verbleibt, wird zwischen den Medien eine Luftlücke gebildet und es treten Übertragungsmängel auf. Dies wurde entdeckt, indem das Mastermedium inspiziert wurde, das nach dem Waschen durch das vorstehend erwähnte Reinigungsverfahren wiederverwendet wurde. Das heisst, es wurde entdeckt, dass die Anzahl an Oberflächendefekten durch das Reinigungsverfahren erhöht wurde. Es gibt Fälle, in denen Signal-Fehlstellen, die aufgrund von Fremdmaterial auftreten, das an die Oberfläche des Mastermediums während der vorstehend beschriebenen magnetischen Übertragung angehaftet wurde, von deren Anfangszustand an vorliegen, wenn Slavemedien eines nach dem anderen ausgetauscht werden und die magnetische Übertragung nacheinander viele Male durchgeführt wird. Es wurde bestimmt, dass dies durch das Fremdmaterial verursacht wird, das an die Oberfläche des Mastermediums während dessen Herstellung angehaftet worden ist. Ferner hat eine Analyse des anhaftenden Fremdmaterials ergeben, dass das Fremdmaterial aus organischen Substanzen zusammengesetzt ist; es wurde bestimmt, dass das Fremdmaterial aus der gleichen Materialquelle gebildet ist wie das Beschichtungsmaterial, das für die Schutzschicht verwendet wird, die über dem Muster des Substrats des Mastermediums vorgesehen wird.
Spezifischer ist, wie vorstehend beschrieben, ein Muster, das den Übertragungs-/Transfersignalen entspricht, auf der Oberfläche des Mastermediums gebildet, und es ist eine magnetische Schicht über dem Muster gebildet; weil der Prozess zur Bildung des Musters und der Prozess zur Bildung der magnetischen Schicht separat durchgeführt werden, wird eine Schutzbeschichtung, die aus organischem Material gebildet wird, über das Muster aufgetragen, um das Anhaften von Fremdmaterial oder eine Beschädigung der Oberfläche des Mastermediums während der Durchführung dieser Prozesse zu vermeiden.
Wenn eine magnetische Schicht gebildet werden soll, wird dann die Schutzschicht von der Oberfläche des Musters, das auf dem Substrat gebildet ist, abgelöst, und die magnetische Schicht wird hierauf unter Verwendung eines Sputterverfahrens gebildet; jedoch verbleibt sogar nachdem die Schutzschicht abgelöst worden ist ein Teil hiervon auf der Oberfläche des Musters, und dieser verbleibende Teil der Schutzschicht wird während des Prozesses zur Bildung der magnetischen Schicht in der Luft dispergiert und haftet danach an deren Oberfläche an, wodurch das Auftreten von Signal-Fehlstellen aufgrund von Kontaktmängeln verursacht wird. Ferner verursacht das Material der Schutzschicht, das zwischen dem Substrat und der magnetischen Schicht verbleibt, eine Verringerung der Kontakteigenschaften von sowohl dem Substrat als auch der magnetischen Schicht, was zu einer Ursache für das Ablösen der magnetischen Schicht von dem Substrat wird, was zu einem Problem hinsichtlich der Verringerung der Haltbarkeit des Mastermediums führt.
Andererseits sind Pressverfahren (stamping methods), die bei der Herstellung von optischen Disks eingesetzt werden, Verfahren zur Bildung einer Harzschicht auf dem unebenen Muster der datentragenden Oberfläche eines optischen Disk-Mastermediums (sogenannter Stamper). Dann wird die Oberfläche der optischen Disk, die eine Harzschicht mit einer den Transferdaten entsprechenden unebenen Form umfasst, mit einem dünnen Film beschichtet, der aus einem reflektierenden Material gebildet ist, und ferner wird eine Schutzschicht vorgesehen.
Weil die optischen Disk-Mastermedien in kontinuierlicher Weise hergestellt werden, wobei kein Reinigungsverfahren während deren Herstellung durchgeführt wird, haftet daher Fremdmaterial an die Oberfläche der optischen Disks auf die gleiche Weise wie bei den magnetischen Transfer-Mastermedien an, nachdem die Anzahl der hergestellten Disks 1.000 überschreitet; dies führt zu einem Anstieg der Fehlerrate der optischen Disks, wodurch es schwierig wird, optische Disks mit grosser Zuverlässigkeit herzustellen.
Angesichts des Vorstehenden werden Reinigungsverfahren, wie z. B. eine Elektrolyt-Entfettungsreinigung oder eine Ultraschallreinigung, bei der ein flüssiges Spülmittel verwendet wird, oder eine Ozon-Reinigungsvorrichtung eingesetzt, um die optischen Disk-Mastermedien zu reinigen; jedoch gibt es Fälle, in denen es nicht möglich ist, Partikel zu entfernen, die sich fest mit der Oberfläche der optischen Disk verbunden haben. Es war besonders schwierig, Fremdmaterial aus den Vertiefungsteilen des unebenen Musters vollständig zu entfernen, was zu Bildungsmängeln führt.
FR 2 751 128 beschreibt ein Reinigungsverfahren für eine Metalloberfläche mit funktionellen Mikrovertiefungen, das die Behandlung mit Mikrowellen-generiertem, chemisch reinem Plasma umfasst. In diesem Zusammenhang wird auf optische Disks verwiesen. Bevorzugt wird die Behandlung 1 bis 10 (insbesondere 5) mal wiederholt und umfasst einen ersten Schritt, in dem ein oxidierendes Gasplasma (bevorzugt ein Sauerstoff/Argon-, CF₄-, CF₄/Argon- oder insbesondere Sauerstoffplasma) eingesetzt wird, und einen zweiten Schritt, in dem ein desoxidierendes Gasplasma (bevorzugt ein Argon-, Argon/Ammoniak- oder insbesondere Ammoniakplasma) eingesetzt wird. Die Metalloberfläche besteht bevorzugt aus Nickel, Cadmium, Tantal oder einer Mischung dieser Metalle, insbesondere Nickel.
US 5 810 941 beschreibt ein Verfahren zur Reinigung von optischen Hochpräzisionsgeräten. Dieses Verfahren umfasst das Auftragen einer härtbaren Beschichtung auf eine optische oder optisch bildende Oberfläche, die mit unerwünschtem Fremdmaterial kontaminiert worden ist, dann Trocknen der Beschichtung, um einen nachgiebigen getrockneten Film zu bilden, und dann entfernen des getrockneten Films, um zusammen hiermit die unerwünschten Fremdbestandteile zu entfernen, die die optische Oberfläche kontaminiert hatten. Bevorzugt wird die härtbare Beschichtung aus einer wässrigen Polyurethanemulsion gebildet.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG:
Die vorliegende Erfindung ist angesichts der vorstehenden Probleme entwickelt worden, und es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, bereitzustellen: ein Reinigungsverfahren für ein magnetisches Transfer-Mastermedium, worin das Fremdmaterial, das an der Oberfläche des Mastermediums anhaftet und das aus der Schutzschicht stammt, die auf dem Substrat des Mastermediums vorgesehen worden ist, entfernt wird, um einen hochqualitativen magnetischen Transfer auf das Mastermedium zu ermöglichen, das hierdurch gereinigt worden ist.
Ferner ist es eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Reinigungsverfahren für ein Mastermedium zur Reinigung eines magnetischen Transfer-Mastermediums oder eines optischen Disk-Mastermediums bereitzustellen, worin das Fremdmaterial, das sich in den Vertiefungsteilen des unebenen Musters des magnetischen Transfer-Mastermediums oder des optischen Disk-Mastermediums eingenistet hat, einschliesslich der kleinen teilchenförmigen Fremdbestandeile, vollständig entfernt wird und ein hochqualitativer magnetischer Transfer mit dem magnetischen Transfer-Mastermedium durchgeführt werden kann oder die Herstellung von optischen Disks durch Verwendung des optischen Disk-Mastermediums möglich ist, die hierdurch gereinigt worden sind.
Das erfindungsgemässe Mastermedium-Reinigungsverfahren ist ein Verfahren zur Entfernung von Fremdmaterial, das an die datentragende Oberfläche, auf der ein unebenes Muster entsprechend den Daten gebildet worden ist, eines Mastermediums anhaftet, umfassend die Schritte: Vorsehen eines Films/einer Folie über der datentragenden Oberfläche des Mastermediums und Entfernen des Fremdmaterials, das an der datentragenden Oberfläche des Mastermediums anhaftet, zusammen mit dem Film/der Folie, dadurch gekennzeichnet, dass der Film/die Folie auf der entsprechenden datentragenden Oberfläche des Mastermediums neu gebildet wird und das Mastermedium wiederverwendet wird.
Der Film/die Folie kann z. B. eine Kohlenstoffschicht sein, wobei diese Kohlenstoffschicht durch Verwendung von Plasma entfernt wird, wenn das Reinigungsverfahren durchgeführt wird. Ferner kann der Film/die Folie ein(e) Polymerfilm bzw. -folie sein, wobei diese(r) Polymerfilm/-folie durch Verwendung eines Lösungsmittels oder Plasmas entfernt wird, wenn das Reinigungsverfahren durchgeführt wird. Die Entfernung des Films/der Folie kann auch durch Verwendung von Ultraschallreinigung durchgeführt werden, die verursacht, dass sich der Film/die Folie von der Oberfläche des Mastermediums ablöst. Der Film/die Folie kann auf der Oberfläche des Mastermediums durch Verwendung irgendeines einer Vielzahl von Film/Folien-Bildungsverfahren gebildet werden: ein Sputterverfahren, in dem ein Material, das Kohlenstoff enthält, auf die Oberfläche des Mastermediums gesputtert wird; ein Film/Folien-Bildungsverfahren, bei dem CVD eingesetzt wird; ein Gasabscheidungsverfahren zur Abscheidung eines polymeren Materials auf der Oberfläche des Mastermediums; usw. Bei einer Film-/Foliendicke von weniger als oder gleich 40 nm können vorteilhafte magnetische Transfereigenschaften und Filmbildungseigenschaften sichergesellt werden. Wenn der Film/die Folie dicker als 40 nm ist, wird der Abstand zwischen der Oberfläche des Musters und dem Slavemedium erhöht, was, wenn eine magnetische Übertragung durchgeführt werden soll, eine Verschlechterung der Transfereigenschaften und eine Verringerung der Auflösung verursacht, und wenn eine optische Disk gebildet werden soll, wird die Veränderung in den Dimensionen der Diskbildung gross.
Da das magnetische Transfer-Mastermedium oder das optische Disk-Mastermedium wiederverwendet wird, nachdem es dem Reinigungsprozess unterworfen worden ist, wird der Film/die Folie auf der entsprechenden datentragenden Oberfläche hiervon neu gebildet und das Mastermedium wird wiederverwendet.
Ferner kann im Fall eines magnetischen Transfer-Mastermediums der Film/die Folie die magnetische Schicht sein, die auf der Musteroberfläche des Substrats gebildet wird. Wenn das Reinigungsverfahren durchgeführt werden soll, wird die magnetische Schicht entfernt, und wenn das Mastermedium wiederverwendet wird, wird die magnetische Schicht durch ein Sputterverfahren oder dergleichen wieder gebildet.
Es ist vorteilhaft, dass die Reinigung im Zusammenhang mit dem magnetischen Transfer oder der optischen Diskherstellung für jeden magnetischen Transfer (Diskbildungsprozess) oder nachdem der magnetische Transfer (Bildung) für eine vorbestimmte Anzahl von Malen durchgeführt worden ist, durchgeführt wird. Alternativ ist es bevorzugt, dass das magnetische Transfer-Mastermedium oder das optische Disk-Mastermedium aus der magnetischen Transfervorrichtung bzw. der Diskbildungsvorrichtung entfernt wird, wenn Transfermängel oder Bildungsmängel aufgrund von anhaftendem Fremdmaterial auftreten, und dann das Reinigungsverfahren durchgeführt wird. Zu diesem Zeitpunkt ist die Effizienz wünschenswert, die durch Herstellung einer Vielzahl von Mastermedien und wiederholte Durchführung von sukzessivem magnetischem Transfer- oder Diskbildungs- und Reinigungsprozessen erhalten wird.
Indem ein Film/eine Folie auf der datentragenden Oberfläche des magnetischen Transfer- oder optischen Disk-Mastermediums vorgesehen wird, um so das Fremdmaterial, das an der Musteroberfläche des Mastermediums anhaftet, zusammen mit dem Film/der Folie zu entfernen, wenn das Reinigungsverfahren durchgeführt wird, kann das Fremdmaterial, das sogar kleine teilchenförmige Bestandeile umfasst, in positiver Weise entfernt werden. Weil sich die Kanalbreite der Vertiefungsteile bei der Entfernung des Films/der Folie von dessen Seitenwänden vergrössert, kann insbesondere bei Fremdmaterial, das sich in die Vertiefungsteile der unebenen Musteroberfläche eingenistet hat, das hierin eingebettete Fremdmaterial leicht entfernt werden, die Ursachen von Transfermängeln und Bildungsmängeln werden eliminiert, das Mastermedium wird wiederverwendbar, es können magnetische Übertragungen mit eine stabilen Übertragungsqualität durchgeführt und deren Zuverlässigkeit erhöht werden, und die Lebensdauer des Mastermediums kann verlängert werden.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN:
1 ist eine Querschnittsansicht des Hauptteils eines Mastermediums;
2 ist eine Querschnittsansicht eines magnetischen Transfer-Mastermediums gemäss einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung im Zustand, bevor es dem Reinigungsverfahren unterworfen worden ist;
3 ist eine Querschnittsansicht eines magnetischen Transfer-Matermediums von 2 im Zustand, nachdem es dem Reinigungsverfahren unterworfen worden ist; und
4 ist eine Querschnittsansicht einer anderen Ausführungsform des magnetischen Transfer-Mastermediums von 2.
BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN:
Nachstehend werden die bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die anhängenden Zeichnungen erklärt.
Als nächstes wird das erfindungsgemässe Reinigungsverfahren erklärt. 1 ist eine Querschnittsansicht des Hauptteils eines Mastermediums. Wie in 1 gezeigt, umfasst das magnetische Transfer-Mastermedium (2) ein Substrat (21), auf dessen Oberfläche ein unebenes Mikromuster gebildet worden ist, das den zu übertragenden Daten entspricht; und eine magnetische Schicht (22) (eine weiche magnetische Schicht), die über dem Muster unter Verwendung eines Sputterprozesses oder dergleichen gebildet ist.
2 ist eine Querschnittsansicht eines magnetischen Transfer-Mastermediums gemäss einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung im Zustand bevor es den Reinigungsprozessen unterzogen wurde. 3 ist eine Querschnittsansicht eines magnetischen Transfer- Mastermediums von 2 im Zustand nachdem es dem Reinigungsprozess unterzogen wurde. Ferner ist jede Zeichnung eine Modellzeichnung; die tatsächlichen Dimensionen der hierin gezeigten Teile sind von unterschiedlichem Massstab.
Es wird ein scheibenförmiges magnetisches Transfer- oder optisches Disk-Mastermedium (2) gebildet, worin eine Oberfläche hiervon mit einem unebenen Mikromuster versehen ist, das aus den hervorstehenden Teilen (2a) und den Vertiefungsteilen (2b) gebildet ist, die den Transferdaten (z. B. Servosignalen) oder den Bildungsdaten entsprechen. Im Fall des magnetischen Transfer-Mastermediums, wie im Detail in 1 gezeigt, wird die oberste Oberfläche der hervorstehenden Teile (2a) durch eine magnetische Schicht gebildet. Ferner bilden im Fall des optischen Disk-Mastermediums die Vertiefungsteile (2b) die Vertiefungen (hervorstehende Teile) der optischen Disk.
Dann wird ein(e) Reinigungsfilm/-folie (23) über der unebenen Musteroberfläche der datentragenden Oberfläche gebildet. Der Film/die Folie (23) bedeckt die obere Oberfläche der hervorstehenden Teile (2a), die Seitenoberflächen der hervorstehenden Teile (2a), d. h. die Wandoberflächen der Vertiefungsteile (2b), und die Bodenoberfläche der Vertiefungseile (2b).
Während des wiederholten Zusammenbringens mit Slavemedien, um die magnetischen Übertragungen durchzuführen, oder während der wiederholten Bildung von Harzschichten wird der Film/die Folie (23) des entsprechenden magnetischen Transfer-Mastermediums (2) oder des optischen Disk-Mastermediums (2) durch anhaftendes Fremdmaterial (P1, P2), bestehend aus Faserstücken, kleinem teilchenförmigen Material und dergleichen, verschmutzt. Zum Beispiel wird das faserförmige anhaftende Material (P1) in die Oberfläche eines hervorstehenden Teils (2a) eingedrückt, ein teilchenförmiges anhaftendes Material (P2) wird innerhalb eines Vertiefungsteils (2b) zwischen zwei hervorstehenden Teilen (2a) eingebettet, und wegen dessen Grösse nistet es sich im Vertiefungsteil (2b) ein.
Das Verfahren zur Reinigung des anhaftenden Materials (P1, P2) von der Oberfläche des Mastermediums (2) ist ein Verfahren zur Entfernung des anhaftenden Materials (P1, P2) zusammen mit dem Film/der Folie (23), um ein gereinigtes Mastermedium (2), wie z. B. das in 3 gezeigte, zu erhalten. Auf diese Weise wird das anhaftende Material (P1), das an der Oberfläche des hervorstehenden Teils (2a) anhaftet, abgetrennt und von der Oberfläche zusammen mit der Entfernung des Films/der Folie (23) entfernt. Das anhaftende Material (P2), das sich innerhalb der Vertiefungsteile (2b) eingenistet hat, wird hiervon durch Erweitern des Kanals des Vertiefungsteils (2b) durch Entfernung des Films/der Folie (23) von der Oberfläche der Wände des Vertiefungsteils (2b) entfernt.
Der Film/die Folie (23) ist eine Kohlenstoffschicht, wobei diese Kohlenstoffschicht durch Verwendung von Plasma entfernt wird, wenn der Reinigungsprozess durchgeführt wird. Der Film/die Folie (23) kann auf der Oberfläche des Mastermediums (2) durch irgendeines einer Vielzahl von Film-/Folien-Bildungsverfahren gebildet werden: ein Sputterverfahren zum Sputtern eines Materials, das Kohlenstoff enthält, auf die Oberfläche des Mastermediums; ein Film-/Folien-Bildungsverfahren, bei dem CVD eingesetzt wird; usw. Der Film/die Folie (23) wird so gebildet, dass dessen Dicke weniger als oder gleich 40 nm (bevorzugt 5 bis 30 nm) auf der Oberfläche der hervorstehenden Teile (2a) beträgt. Auf diese Weise kann eine vorteilhafte Übertragungsauflösung sichergestellt werden, wenn die Oberfläche der hervorstehenden Teile (2a) nahe zum Slavemedium gebracht wird, um eine magnetische Übertragung durchzuführen; wenn eine optische Disk gebildet werden soll, kann deren Bildungseigenschaft sichergesellt werden. Wenn der Film/die Folie (23) dicker als 40 nm ist, wird dann, wenn eine magnetische Übertragung durchgeführt werden soll, der Abstand zwischen der Musteroberfläche und dem Slavemedium vergrössert, was eine Verschlechterung der Übertragungseigenschaften und eine Verringerung der Übertragungsauflösung verursacht, und wenn eine optische Disk gebildet werden soll, wird die Veränderung der Diskbildungsdimensionen gross.
Ferner ist ein Plasma-Reinigungsverfahren ein Verfahren, in dem eine Plasmaentladung ausgenutzt wird, das in einer evakuierten reaktiven Gasumgebung durchgeführt wird, worin der Film/die Folie (23) und das anhaftende Material (P1, P2) verbrannt und hierdurch von der Musteroberfläche des Substrats (21) entfernt werden. Die Plasmareinigung (reaktives Plasmaätzen) wird z. B. unter Einsatz einer Reinigungsvorrichtung durchgeführt, worin: ein Mastermedium, das von einer magnetischen Übertragungsvorrichtung oder einer Vorrichtung zur Bildung einer optischen Disk entfernt worden ist, in einer Vakuumkammer der Reinigungsvorrichtung plaziert wird; ein reaktives Gas in das Innere der Kammer eingeführt wird; und eine Plasmaentladung zwischen der Elektrode und dem Mastermedium (2) generiert wird. Das reaktive Gas kann eine Zusammensetzung sein, die Ar, O₂, CCl₄ und dergleichen enthält.
Ferner kann als alternative Ausführungsform der Film/die Folie (23) ein(e) Polymerfilm/-folie sein, wobei diese(r) Polymerfilm/-folie mit einem Lösungsmittel gelöst werden kann oder durch die Verwendung des vorstehend beschriebenen Plasma-Reinigungsverfahrens entfernt werden kann, wenn das Reinigungsverfahren durchgeführt werden soll. Der/die Polymerfilm/-folie kann auf der Oberfläche des Mastermediums unter Verwendung eines Gasabscheidungs-Filmbildungsverfahrens oder dergleichen gebildet werden. Alternativ kann die Entfernung des Films/der Folie (23) auch durchgeführt werden, indem das Mastermedium (2) einer Ultraschallreinigung unterzogen wird, wodurch der Film/die Folie (23) von der Oberfläche des Mastermediums durch Einwirkung von Ultraschallvibrationen hierauf abgelöst wird.
Da das Mastermedium (2) wiederverwendet wird, um wiederum magnetische Übertragungen oder die Bildung optischer Disks durchzuführen, nachdem es dem Reinigungsverfahren unterzogen worden ist, wird der Film/die Folie (23) wieder auf der entsprechenden datentragenden Oberfläche hiervon gebildet, wie in 4 gezeigt, und das Mastermedium (2) wird wiederverwendet.
In Fällen, in denen der Film/die Folie (23) über der Oberfläche der Seitenwände der Vertiefungsteile (2b) der datentragenden Oberfläche eines optischen Disk-Mastermediums (2) vorgesehen wird, ist es bevorzugt, dass die Breite der Vertiefungsteile (2b) um eine Dicke, die der Dicke des Films/der Folie (23) entspricht, grösser eingerichtet wird als die Breite der Vertiefungen (Vertiefungsdurchmesser) der gebildeten optischen Disks, weil die optischen Disks gemäss der Form des unebenen Musters gebildet werden. Es wird angemerkt, dass dies in den Fällen nicht erforderlich ist, in denen der Film/die Folie (23) durch Verwendung eines Sputterprozesses oder dergleichen vorgesehen wird, worin, wie in 4 gezeigt, der Film/die Folie (23) über die obere Oberfläche der hervorstehenden Teile (2a) und die Bodenoberfläche der Vertiefungsteile (2b) vorgesehen wird und nicht auf der Oberfläche der Seitenwände der Vertiefungsteile (2b) vorgesehen wird. Obwohl in diesem Fall das anhaftende Material (P1), das an der Oberfläche der hervorstehenden Teile (2a) anhaftet, zusammen mit dem Film/der Folie (23) entfernt wird, ist es schwierig, das anhaftende Material (P1), das sich in den Vertiefungsteilen (2b) eingenistet hat, zu entfernen. Unter Berücksichtigung dieses Umstands ist es, wie vorstehend beschrieben, effektiver, wenn der Film/die Folie (23) durch Verwendung eines CVD-Prozesses oder dergleichen vorgesehen wird, so dass er auch die Oberfläche der Seitenwände der Vertiefungsteile (2b) bedeckt.
Ferner kann im Fall eines magnetischen Transfer-Mastermediums der Film/die Folie (23), der/die entfernt wird, wenn der Reinigungsprozess durchgeführt wird, die magnetische Schicht (22) sein, die auf der Musteroberfläche des Substrats (21) gebildet ist. Wenn der Reinigungsprozess durchgeführt wird, werden die anhaftenden Materialien (P1, P2) zusammen mit der magnetischen Schicht (22) entfernt, und wenn das Mastermedium (2) wiederverwendet wird, wird die magnetische Schicht wiederum durch einen Sputterprozess oder dergleichen gebildet. Weil die magnetische Schicht (22) auf der oberen Oberfläche der hervorstehenden Teile (2a) relativ dick gebildet wird, kann auch in vorteilhafter Weise die Entfernung des anhaftenden Materials (P2), das sich in den Vertiefungsteilen (2b) eingenistet hat, durchgeführt werden.
Es wird angemerkt, dass das Slavemedium, falls erforderlich, einem Reinigungsprozess unterzogen werden kann, in dem ein Gleitkopfreiniger (glide head cleaner), ein Schleifmittel oder dergleichen eingesetzt wird, um mikroskopische Beschädigungen auf der Oberfläche hiervon oder das hieran anhaftende Fremdmaterial zu entfernen, bevor es mit dem magnetischen Transfer-Mastermedium (2) zusammengebracht wird. Andererseits ist es bevorzugt, dass das Mastermedium (2) einem Reinigungsprozess vor dem Prozess des Zusammenbringens im Fall eines magnetischen Transfers oder dem Harz-Injektionsprozess im Fall der Bildung einer optischen Disk unterzogen wird, worin der Film/die Folie (23) nicht entfernt wird und das Fremdmaterial entfernt wird.
Es ist vorteilhaft, dass die Reinigung des Mastermediums (2) im Zusammenhang mit dem magnetischen Transfer oder der Herstellung einer optischen Disk für jeden magnetischen Transfer (Diskbildungsprozess) durchgeführt wird; das Mastermedium (2) wird von der magnetischen Übertragungsvorrichtung (Diskbildungsvorrichtung) entfernt, nachdem die magnetische Übertragung (Diskbildung) eine vorbestimmte Anzahl Male durchgeführt worden ist oder wenn Transfermängel (Bildungsmängel) aufgrund von Fremdmaterial, das an der Oberfläche des Mastermediums anhaftet, auftauchen, und der Reinigungsprozess wird durchgeführt. Zu diesem Zeitpunkt ist es wünschenswert, dass zuvor eine Vielzahl von Mastermedien (2) hergestellt wurde und dass wiederholt und sukzessive die magnetischen Übertragungen (Diskbildungen) und Reinigungsprozesse durchgeführt werden.
Gemäss dem Vorstehenden wird ein Film/eine Folie (23) auf der unebenen Musteroberfläche der datentragenden Oberfläche des magnetischen Transfer- oder optischen Disk-Mastermediums (2) vorgesehen: Das Mastermedium (2), an dessen Musteroberfläche im Verlauf der wiederholten magnetischen Übertragung oder der Diskbildungshandlungen Fremdmaterial angehaftet wurde, wird aus der magnetischen Übertragungsvorrichtung oder der Diskbildungsvorrichtung entfernt; das Fremdmaterial, das sich an die Oberfläche des Mastermediums angehaftet hat, wird zusammen mit dem Film/der Folie (23) mit einer Reinigungsvorrichtung entfernt, bei der ein Plasma-Reinigungsprozess oder dergleichen eingesetzt wird; wodurch das Fremdmaterial, einschliesslich Fremdmaterial, das sich innerhalb der Vertiefungsteile eingenistet hat, teilchenförmigem Material und sogar kleinem teilchenförmigen Material, in positiver Weise entfernt werden kann, ohne die Oberfläche zu beschädigen, die Leistungsfähigkeit von vorteilhaften magnetischen Transfer- und Diskbildungshandlungen beibehalten werden kann und die Lebensdauer des Mastermediums verlängert werden kann, indem dessen Wiederverwendung ermöglicht wird.

Claims

Reinigungsverfahren für ein Master-Medium, welches ein Verfahren zum Entfernen von Fremdmaterial ist, das an die datentragende Oberfläche eines Master-Mediums anhaftet, auf der ein unebenes Muster, das den Daten entspricht, gebildet worden ist, umfassend die Schritte: Vorsehen eines Films/einer Folie über die datentragende Oberfläche des Master-Mediums und Entfernen des Fremdmaterials, das an die datentragende Oberfläche des Master-Mediums anhaftet, zusammen mit dem Film/der Folie, dadurch gekennzeichnet, daß der Film/die Folie auf der entsprechenden datentragenden Oberfläche des Master-Mediums neu gebildet wird und das Master-Medium wiederverwendet wird.
Reinigungsverfahren für ein Master-Medium gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Film/die Folie eine Dicke von 40 nm oder kleiner aufweist.
Reinigungsverfahren für ein Master-Medium gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Master-Medium ein magnetisches Transfer-Master-Medium ist, das ein aus einer magnetischen Schicht gebildetes unebenes Muster umfaßt, und der Film über der magnetischen Schicht gebildet wird.
Reinigungsverfahren für ein Master-Medium gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Master-Medium ein optisches Disk-Master-Medium ist, das ein unebenes Muster zum Bilden von Vertiefungen einer optischen Disk umfasst.
Reinigungsverfahren für ein Master-Medium gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Film/die Folie eine Kohlenstoffschicht ist und die Kohlenstoffschicht durch die Verwendung von Plasmaentladung entfernt wird, die in einer evakuierten Reaktivgasumgebung durchgeführt wird.
Reinigungsverfahren für ein Master-Medium gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Film/die Folie ein Polymerfilm/eine Polymerfolie ist und der polymere Film/die polymere Folie mit einem Lösungsmittel oder durch die Verwendung von Plasmaentladung entfernt wird.
Reinigungsverfahren für ein Master-Medium gemäß Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Film/die Folie die magnetische Schicht ist, die über der Musteroberfläche des Substrats vorgesehen ist, wobei die magnetische Schicht entfernt wird, wenn der Reinigungsprozeß durchgeführt wird, und der magnetische Film/die magnetische Folie wiederum auf der Musteroberfläche des Substrats gebildet wird, wenn das Master-Medium wiederverwendet werden soll.