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HINTERGRUND DER ERFINDUNG:
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Gebiet der Erfindung:
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Die
vorliegende Erfindung betrifft im allgemeinen ein Reinigungsverfahren
für ein
Mastermedium, und insbesondere ein Verfahren zum Reinigen von magnetischen
Transfer-Mastermedien,
die zur Durchführung
von magnetischen Transfers/Übertragungen
verwendet werden, oder zum Reinigen von optischen Disk-Mastermedien,
die bei der Herstellung optischer Disks verwendet werden.
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Beschreibung verwandter Techniken:
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Ein
magnetisches Transfer(Übertragungs)-Verfahren
ist ein Verfahren, das die Schritte umfasst: Bringen eines Mastermediums,
auf dem ein Transfer(Übertragungs)-Muster
gebildet worden ist, in engen Kontakt mit einem Slavemedium, das
mit einem magnetischen Aufzeichnungsbereich zur Aufnahme der Übertragung/des
Transfers versehen worden ist, um einen aneinander angrenzenden
Körper zu
bilden; und Anlegen eines Transfer-Magnetfeldes an den aneinander angrenzenden
Körper,
um so das magnetische Muster, das den Transfer-/Übertragungsdaten entspricht
(wie z. B. Servosignale) auf das Slavemedium zu übertragen und hierauf aufzuzeichnen.
Dieses magnetische Transferverfahren ist z. B. in den ungeprüften
japanischen Patentveröffentlichungen
Nrn. 63(1988)-183623 ,
10(1998)-40544 und
10(1999)-269566 beschrieben
worden.
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Das
beim magnetischen Transfer eingesetzte Mastermedium wird aus einem
Siliciumsubstrat oder einem Glassubstrat gebildet, z. B. indem auf dessen
Oberfläche
ein unebenes Muster, das sich aus einem magnetischen Körper zusammensetzt, unter
Verwendung eines fotolithografischen Prozesses, eines Sputterprozesses,
eines Ätzprozesses oder
dergleichen gebildet worden ist. Ferner können magnetische Transfer-Mastermedien
auch durch Verwendung lithografischer Techniken hergestellt werden,
wie sie z. B. bei der Herstellung von Halbleiern eingesetzt werden,
oder durch eine Presstechnik (stamping), wie sie z. B. bei der Herstellung
optische Disks eingesetzt wird.
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Um
die Qualität
des vorstehend beschriebenen magnetischen Transfers zu verbessern,
ist es notwendig, dass das Slavemedium und das Mastermedium so aneinander
angrenzen, dass überhaupt keine
Lücke zwischen
ihnen existiert. Dies heisst, dass Bereiche auftreten, auf denen
kein magnetischer Transfer durchgeführt werden kann, wenn Mängel im
Kontakt zwischen ihnen bestehen; wenn ein magnetischer Transfer
nicht durchgeführt
werden kann, fehlen Signale in den magnetischen Daten, die auf das
Slavemedium übertragen
werden, und dessen Signalqualität
wird verringert, und wenn die übertragenen
Daten Servosignale sind, kann keine adäquate Tracking-Funktion erhalten
werden, wodurch sich das Problem ergibt, dass die Zuverlässigkeit
verschlechtert wird.
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Wenn
jedoch die magnetischen Transfers gemäss dem vorstehend beschriebenen,
magnetischen Transferverfahren durchgeführt werden, wird die Oberfläche des
Mastermediums mit Fremdmaterial, das hieran durch dessen wiederholte
Verwendung anhaftet, verschmutzt. Dieses Fremdmaterial kann aus
Staub, Faserstücken
und anderen Materialien bestehen, die aus der Umgebung stammen.
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Wenn
ein magnetischer Transfer durchgeführt wird, wenn Staub oder andere
Verunreinigungen vorliegen, die an der Oberfläche des Mastermediums anhaften,
kann ein adäquater
Kontakt zwischen dem Oberflächenbereich
des Mastermediums, der um den hieran anhaftenden Staub oder die
Verunreinigungen zentriert ist, und dessen nähere Umgebung, und dem entsprechenden
Bereich des Slavemediums nicht sichergestellt werden; hierdurch kann
ein Muster mit vorbestimmter Signalstärke nicht übertragen werden, und hierdurch
wird die Übertragungsqualität verschlechtert.
Durch wiederholtes enges In-Kontakt-Bringen eines Mastermediums,
auf dessen Oberfläche
Fremdmaterial anhaftet, mit Slavemedien wird die Verbindungsfestigkeit
des Fremdmaterials an die Oberfläche
des Mastermediums erhöht;
wodurch Mängel
beim Mustertransfer gleicher oder grösserer Grössenordnung während der
Durchführung
des magnetischen Transfers auf Slavemedien, die anschliessend in
engen Kontakt mit dem Mastermedium gebracht werden, wiederholt werden,
und das Fremdmaterial wird zur Ursache vieler fehlerhafter Produkte.
Ferner wird die Oberfläche
des Mastermediums durch das anhaftende Fremdmaterial deformiert,
und es ergibt sich das Problem, dass deren geeignete Funktionalität verloren
geht.
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Diesbezüglich ist
z. B. in der ungeprüften
japanischen Patentveröffentlichung
Nr. 2000-285637 eine Reinigungstechnologie vorgeschlagen
worden, worin eine Reinigungsdisk, mit der ein Reinigungspad verbunden
ist, rotiert wird, während
sie in Kontakt mit der Oberfläche des
Mastermediums steht, um Staub und Fremdmaterial, die hieran anhaften,
zu entfernen.
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Jedoch
ist bei Durchführung
der Reinigung unter Verwendung der Reinigungstechnologie, wie sie
z. B. vorstehend beschrieben ist, es bei Fällen, bei denen das auf der
datentragenden Oberfläche des
Mastermediums gebildete Muster als ungleichmässige Form vorgesehen ist,
schwierig, Fremdmaterial zu entfernen, das sich in dessen Vertiefungsteilen
eingenistet hat. Ferner gibt es Fälle, wie z. B. solche, in denen
Fremdmaterial, das aus der Umgebung stammt, in die Vertiefungsteile
eingebettet wird, Fälle,
in denen die Oberfläche
des Mastermediums aufgrund des Fremdmaterials beschädigt oder
zerkratzt wird, und Fälle,
bei denen es nicht möglich
ist, kleines teilchenförmiges
Fremdmaterial zu entfernen, das an der Oberfläche des Mediums anhaftet, die
zu der Befürchtung
führen,
dass Übertragungsmängel, die hierdurch
verursacht werden, aufgrund der mangelnden Eignung des Reinigungsprozesses
nicht korrigiert werden. Weil Mastermedien teuer sind, ist es insbesondere
angesichts der Kosten vorteilhaft, dass das Mastermedium wiederverwendbar
ist und eine lange Lebensdauer besitzt.
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Ferner
können
auch Reinigungsverfahren in Betracht gezogen werden, die vor dem
magnetischen Transfer-/Übertragungsprozess
durchgeführt werden,
um Fremdmaterial, das an der Oberfläche des Mastermediums anhaftet,
zu entfernen, wie z. B. durch Ultraschallreinigung unter Verwendung
einer Reinigungsflüssigkeit,
Reinigung durch Abwischen oder dergleichen. Jedoch ist es möglich, dass
nach Durchführung
der Reinigung durch eines dieser Verfahren das entfernte Fremdmaterial
wiederum anhaftet, dass die Entfernung des Fremdmaterials unzureichend
ist, dass auf der Oberfläche des
Mastermediums ein Wasserzeichen gebildet wird, wenn die Reinigungsflüssigkeit
getrocknet ist, oder dass die Oberfläche des Mastermediums aufgrund
des Abriebs durch das Wischmaterial beschädigt oder zerkratzt wird, was
zu der Befürchtung
führt,
dass diese zu einer Beschädigung
des Mastermediums führen,
und dass beim übertragenen
Signal Übertragungsmängel auftauchen.
Anders ausgedrückt
gibt es Fälle,
in denen Fremdmaterial in Form von Waschflüssigkeit, die auf der Oberfläche des
Mastermediums verbleibt, oder Fremdmaterial von dem Wischmaterial
an der Oberfläche
des Mastermediums anhaftet, sogar wenn das an die Oberfläche des
Mastermediums anhaftende Fremdmaterial zwischenzeitlich durch Verwendung
einer Reinigungsflüssigkeit,
eines Wischmaterials oder dergleichen entfernt wurde; insbesondere
ist es nicht möglich,
einen Teil des kleinen teilchenförmigen
Fremdmaterials, das an der Oberfläche des Mediums anhaftet, zu
entfernen.
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Wenn
der magnetische Transfer durchgeführt wird, werden das Mastermedium
und das Slavemedium in engen Kontakt miteinander gebracht und es
wird ein Magnetfeld an die Medien angelegt, um die Form des Musters
des Mastermediums auf das Slavemedium magnetisch zu übertragen.
Falls in diesem Prozess etwas zwischen dem Mastermedium und dem
Slavemedium verbleibt, wird zwischen den Medien eine Luftlücke gebildet
und es treten Übertragungsmängel auf.
Dies wurde entdeckt, indem das Mastermedium inspiziert wurde, das
nach dem Waschen durch das vorstehend erwähnte Reinigungsverfahren wiederverwendet
wurde. Das heisst, es wurde entdeckt, dass die Anzahl an Oberflächendefekten
durch das Reinigungsverfahren erhöht wurde. Es gibt Fälle, in
denen Signal-Fehlstellen, die aufgrund von Fremdmaterial auftreten,
das an die Oberfläche
des Mastermediums während
der vorstehend beschriebenen magnetischen Übertragung angehaftet wurde,
von deren Anfangszustand an vorliegen, wenn Slavemedien eines nach
dem anderen ausgetauscht werden und die magnetische Übertragung nacheinander
viele Male durchgeführt
wird. Es wurde bestimmt, dass dies durch das Fremdmaterial verursacht
wird, das an die Oberfläche
des Mastermediums während
dessen Herstellung angehaftet worden ist. Ferner hat eine Analyse
des anhaftenden Fremdmaterials ergeben, dass das Fremdmaterial aus
organischen Substanzen zusammengesetzt ist; es wurde bestimmt, dass
das Fremdmaterial aus der gleichen Materialquelle gebildet ist wie
das Beschichtungsmaterial, das für
die Schutzschicht verwendet wird, die über dem Muster des Substrats
des Mastermediums vorgesehen wird.
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Spezifischer
ist, wie vorstehend beschrieben, ein Muster, das den Übertragungs-/Transfersignalen
entspricht, auf der Oberfläche
des Mastermediums gebildet, und es ist eine magnetische Schicht über dem
Muster gebildet; weil der Prozess zur Bildung des Musters und der
Prozess zur Bildung der magnetischen Schicht separat durchgeführt werden, wird
eine Schutzbeschichtung, die aus organischem Material gebildet wird, über das
Muster aufgetragen, um das Anhaften von Fremdmaterial oder eine
Beschädigung
der Oberfläche
des Mastermediums während
der Durchführung
dieser Prozesse zu vermeiden.
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Wenn
eine magnetische Schicht gebildet werden soll, wird dann die Schutzschicht
von der Oberfläche
des Musters, das auf dem Substrat gebildet ist, abgelöst, und
die magnetische Schicht wird hierauf unter Verwendung eines Sputterverfahrens gebildet;
jedoch verbleibt sogar nachdem die Schutzschicht abgelöst worden
ist ein Teil hiervon auf der Oberfläche des Musters, und dieser
verbleibende Teil der Schutzschicht wird während des Prozesses zur Bildung der
magnetischen Schicht in der Luft dispergiert und haftet danach an
deren Oberfläche
an, wodurch das Auftreten von Signal-Fehlstellen aufgrund von Kontaktmängeln verursacht
wird. Ferner verursacht das Material der Schutzschicht, das zwischen dem
Substrat und der magnetischen Schicht verbleibt, eine Verringerung
der Kontakteigenschaften von sowohl dem Substrat als auch der magnetischen Schicht,
was zu einer Ursache für
das Ablösen
der magnetischen Schicht von dem Substrat wird, was zu einem Problem
hinsichtlich der Verringerung der Haltbarkeit des Mastermediums
führt.
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Andererseits
sind Pressverfahren (stamping methods), die bei der Herstellung
von optischen Disks eingesetzt werden, Verfahren zur Bildung einer Harzschicht
auf dem unebenen Muster der datentragenden Oberfläche eines
optischen Disk-Mastermediums
(sogenannter Stamper). Dann wird die Oberfläche der optischen Disk, die
eine Harzschicht mit einer den Transferdaten entsprechenden unebenen Form
umfasst, mit einem dünnen
Film beschichtet, der aus einem reflektierenden Material gebildet
ist, und ferner wird eine Schutzschicht vorgesehen.
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Weil
die optischen Disk-Mastermedien in kontinuierlicher Weise hergestellt
werden, wobei kein Reinigungsverfahren während deren Herstellung durchgeführt wird,
haftet daher Fremdmaterial an die Oberfläche der optischen Disks auf
die gleiche Weise wie bei den magnetischen Transfer-Mastermedien an,
nachdem die Anzahl der hergestellten Disks 1.000 überschreitet;
dies führt
zu einem Anstieg der Fehlerrate der optischen Disks, wodurch es
schwierig wird, optische Disks mit grosser Zuverlässigkeit herzustellen.
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Angesichts
des Vorstehenden werden Reinigungsverfahren, wie z. B. eine Elektrolyt-Entfettungsreinigung
oder eine Ultraschallreinigung, bei der ein flüssiges Spülmittel verwendet wird, oder
eine Ozon-Reinigungsvorrichtung eingesetzt, um die optischen Disk-Mastermedien
zu reinigen; jedoch gibt es Fälle,
in denen es nicht möglich
ist, Partikel zu entfernen, die sich fest mit der Oberfläche der
optischen Disk verbunden haben. Es war besonders schwierig, Fremdmaterial
aus den Vertiefungsteilen des unebenen Musters vollständig zu
entfernen, was zu Bildungsmängeln
führt.
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FR 2 751 128 beschreibt
ein Reinigungsverfahren für
eine Metalloberfläche
mit funktionellen Mikrovertiefungen, das die Behandlung mit Mikrowellen-generiertem,
chemisch reinem Plasma umfasst. In diesem Zusammenhang wird auf
optische Disks verwiesen. Bevorzugt wird die Behandlung 1 bis 10 (insbesondere
5) mal wiederholt und umfasst einen ersten Schritt, in dem ein oxidierendes
Gasplasma (bevorzugt ein Sauerstoff/Argon-, CF
4-,
CF
4/Argon- oder insbesondere Sauerstoffplasma)
eingesetzt wird, und einen zweiten Schritt, in dem ein desoxidierendes
Gasplasma (bevorzugt ein Argon-, Argon/Ammoniak- oder insbesondere
Ammoniakplasma) eingesetzt wird. Die Metalloberfläche besteht
bevorzugt aus Nickel, Cadmium, Tantal oder einer Mischung dieser
Metalle, insbesondere Nickel.
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US 5 810 941 beschreibt
ein Verfahren zur Reinigung von optischen Hochpräzisionsgeräten. Dieses Verfahren umfasst
das Auftragen einer härtbaren
Beschichtung auf eine optische oder optisch bildende Oberfläche, die
mit unerwünschtem
Fremdmaterial kontaminiert worden ist, dann Trocknen der Beschichtung,
um einen nachgiebigen getrockneten Film zu bilden, und dann entfernen
des getrockneten Films, um zusammen hiermit die unerwünschten Fremdbestandteile
zu entfernen, die die optische Oberfläche kontaminiert hatten. Bevorzugt
wird die härtbare
Beschichtung aus einer wässrigen
Polyurethanemulsion gebildet.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG:
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Die
vorliegende Erfindung ist angesichts der vorstehenden Probleme entwickelt
worden, und es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, bereitzustellen:
ein Reinigungsverfahren für
ein magnetisches Transfer-Mastermedium,
worin das Fremdmaterial, das an der Oberfläche des Mastermediums anhaftet
und das aus der Schutzschicht stammt, die auf dem Substrat des Mastermediums
vorgesehen worden ist, entfernt wird, um einen hochqualitativen
magnetischen Transfer auf das Mastermedium zu ermöglichen,
das hierdurch gereinigt worden ist.
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Ferner
ist es eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Reinigungsverfahren
für ein Mastermedium
zur Reinigung eines magnetischen Transfer-Mastermediums oder eines
optischen Disk-Mastermediums bereitzustellen, worin das Fremdmaterial,
das sich in den Vertiefungsteilen des unebenen Musters des magnetischen
Transfer-Mastermediums
oder des optischen Disk-Mastermediums eingenistet hat, einschliesslich
der kleinen teilchenförmigen
Fremdbestandeile, vollständig
entfernt wird und ein hochqualitativer magnetischer Transfer mit
dem magnetischen Transfer-Mastermedium durchgeführt werden kann oder die Herstellung
von optischen Disks durch Verwendung des optischen Disk-Mastermediums
möglich
ist, die hierdurch gereinigt worden sind.
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Das
erfindungsgemässe
Mastermedium-Reinigungsverfahren ist ein Verfahren zur Entfernung
von Fremdmaterial, das an die datentragende Oberfläche, auf
der ein unebenes Muster entsprechend den Daten gebildet worden ist,
eines Mastermediums anhaftet, umfassend die Schritte: Vorsehen eines
Films/einer Folie über
der datentragenden Oberfläche
des Mastermediums und Entfernen des Fremdmaterials, das an der datentragenden
Oberfläche
des Mastermediums anhaftet, zusammen mit dem Film/der Folie, dadurch
gekennzeichnet, dass der Film/die Folie auf der entsprechenden datentragenden
Oberfläche
des Mastermediums neu gebildet wird und das Mastermedium wiederverwendet
wird.
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Der
Film/die Folie kann z. B. eine Kohlenstoffschicht sein, wobei diese
Kohlenstoffschicht durch Verwendung von Plasma entfernt wird, wenn das
Reinigungsverfahren durchgeführt
wird. Ferner kann der Film/die Folie ein(e) Polymerfilm bzw. -folie sein,
wobei diese(r) Polymerfilm/-folie durch Verwendung eines Lösungsmittels
oder Plasmas entfernt wird, wenn das Reinigungsverfahren durchgeführt wird.
Die Entfernung des Films/der Folie kann auch durch Verwendung von
Ultraschallreinigung durchgeführt
werden, die verursacht, dass sich der Film/die Folie von der Oberfläche des
Mastermediums ablöst. Der
Film/die Folie kann auf der Oberfläche des Mastermediums durch
Verwendung irgendeines einer Vielzahl von Film/Folien-Bildungsverfahren
gebildet werden: ein Sputterverfahren, in dem ein Material, das
Kohlenstoff enthält,
auf die Oberfläche
des Mastermediums gesputtert wird; ein Film/Folien-Bildungsverfahren,
bei dem CVD eingesetzt wird; ein Gasabscheidungsverfahren zur Abscheidung
eines polymeren Materials auf der Oberfläche des Mastermediums; usw.
Bei einer Film-/Foliendicke von weniger als oder gleich 40 nm können vorteilhafte
magnetische Transfereigenschaften und Filmbildungseigenschaften
sichergesellt werden. Wenn der Film/die Folie dicker als 40 nm ist,
wird der Abstand zwischen der Oberfläche des Musters und dem Slavemedium erhöht, was,
wenn eine magnetische Übertragung durchgeführt werden
soll, eine Verschlechterung der Transfereigenschaften und eine Verringerung
der Auflösung
verursacht, und wenn eine optische Disk gebildet werden soll, wird
die Veränderung
in den Dimensionen der Diskbildung gross.
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Da
das magnetische Transfer-Mastermedium oder das optische Disk-Mastermedium
wiederverwendet wird, nachdem es dem Reinigungsprozess unterworfen
worden ist, wird der Film/die Folie auf der entsprechenden datentragenden
Oberfläche hiervon
neu gebildet und das Mastermedium wird wiederverwendet.
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Ferner
kann im Fall eines magnetischen Transfer-Mastermediums der Film/die Folie die
magnetische Schicht sein, die auf der Musteroberfläche des
Substrats gebildet wird. Wenn das Reinigungsverfahren durchgeführt werden
soll, wird die magnetische Schicht entfernt, und wenn das Mastermedium wiederverwendet
wird, wird die magnetische Schicht durch ein Sputterverfahren oder
dergleichen wieder gebildet.
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Es
ist vorteilhaft, dass die Reinigung im Zusammenhang mit dem magnetischen
Transfer oder der optischen Diskherstellung für jeden magnetischen Transfer
(Diskbildungsprozess) oder nachdem der magnetische Transfer (Bildung)
für eine
vorbestimmte Anzahl von Malen durchgeführt worden ist, durchgeführt wird.
Alternativ ist es bevorzugt, dass das magnetische Transfer-Mastermedium
oder das optische Disk-Mastermedium aus der magnetischen Transfervorrichtung
bzw. der Diskbildungsvorrichtung entfernt wird, wenn Transfermängel oder
Bildungsmängel
aufgrund von anhaftendem Fremdmaterial auftreten, und dann das Reinigungsverfahren durchgeführt wird.
Zu diesem Zeitpunkt ist die Effizienz wünschenswert, die durch Herstellung
einer Vielzahl von Mastermedien und wiederholte Durchführung von
sukzessivem magnetischem Transfer- oder Diskbildungs- und Reinigungsprozessen
erhalten wird.
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Indem
ein Film/eine Folie auf der datentragenden Oberfläche des
magnetischen Transfer- oder optischen Disk-Mastermediums vorgesehen wird, um so
das Fremdmaterial, das an der Musteroberfläche des Mastermediums anhaftet,
zusammen mit dem Film/der Folie zu entfernen, wenn das Reinigungsverfahren
durchgeführt
wird, kann das Fremdmaterial, das sogar kleine teilchenförmige Bestandeile
umfasst, in positiver Weise entfernt werden. Weil sich die Kanalbreite
der Vertiefungsteile bei der Entfernung des Films/der Folie von
dessen Seitenwänden vergrössert, kann
insbesondere bei Fremdmaterial, das sich in die Vertiefungsteile
der unebenen Musteroberfläche
eingenistet hat, das hierin eingebettete Fremdmaterial leicht entfernt
werden, die Ursachen von Transfermängeln und Bildungsmängeln werden eliminiert,
das Mastermedium wird wiederverwendbar, es können magnetische Übertragungen
mit eine stabilen Übertragungsqualität durchgeführt und
deren Zuverlässigkeit
erhöht
werden, und die Lebensdauer des Mastermediums kann verlängert werden.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN:
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1 ist
eine Querschnittsansicht des Hauptteils eines Mastermediums;
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2 ist
eine Querschnittsansicht eines magnetischen Transfer-Mastermediums
gemäss
einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung im Zustand, bevor es dem Reinigungsverfahren
unterworfen worden ist;
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3 ist
eine Querschnittsansicht eines magnetischen Transfer-Matermediums
von 2 im Zustand, nachdem es dem Reinigungsverfahren
unterworfen worden ist; und
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4 ist
eine Querschnittsansicht einer anderen Ausführungsform des magnetischen
Transfer-Mastermediums
von 2.
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BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN:
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Nachstehend
werden die bevorzugten Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die anhängenden
Zeichnungen erklärt.
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Als
nächstes
wird das erfindungsgemässe Reinigungsverfahren
erklärt. 1 ist
eine Querschnittsansicht des Hauptteils eines Mastermediums. Wie
in 1 gezeigt, umfasst das magnetische Transfer-Mastermedium (2)
ein Substrat (21), auf dessen Oberfläche ein unebenes Mikromuster
gebildet worden ist, das den zu übertragenden
Daten entspricht; und eine magnetische Schicht (22) (eine
weiche magnetische Schicht), die über dem Muster unter Verwendung
eines Sputterprozesses oder dergleichen gebildet ist.
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2 ist
eine Querschnittsansicht eines magnetischen Transfer-Mastermediums
gemäss
einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung im Zustand bevor es den Reinigungsprozessen
unterzogen wurde. 3 ist eine Querschnittsansicht
eines magnetischen Transfer- Mastermediums
von 2 im Zustand nachdem es dem Reinigungsprozess
unterzogen wurde. Ferner ist jede Zeichnung eine Modellzeichnung;
die tatsächlichen
Dimensionen der hierin gezeigten Teile sind von unterschiedlichem Massstab.
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Es
wird ein scheibenförmiges
magnetisches Transfer- oder optisches Disk-Mastermedium (2)
gebildet, worin eine Oberfläche
hiervon mit einem unebenen Mikromuster versehen ist, das aus den
hervorstehenden Teilen (2a) und den Vertiefungsteilen (2b) gebildet
ist, die den Transferdaten (z. B. Servosignalen) oder den Bildungsdaten
entsprechen. Im Fall des magnetischen Transfer-Mastermediums, wie
im Detail in 1 gezeigt, wird die oberste
Oberfläche
der hervorstehenden Teile (2a) durch eine magnetische Schicht
gebildet. Ferner bilden im Fall des optischen Disk-Mastermediums die
Vertiefungsteile (2b) die Vertiefungen (hervorstehende
Teile) der optischen Disk.
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Dann
wird ein(e) Reinigungsfilm/-folie (23) über der unebenen Musteroberfläche der
datentragenden Oberfläche
gebildet. Der Film/die Folie (23) bedeckt die obere Oberfläche der
hervorstehenden Teile (2a), die Seitenoberflächen der
hervorstehenden Teile (2a), d. h. die Wandoberflächen der
Vertiefungsteile (2b), und die Bodenoberfläche der
Vertiefungseile (2b).
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Während des
wiederholten Zusammenbringens mit Slavemedien, um die magnetischen Übertragungen
durchzuführen,
oder während
der wiederholten Bildung von Harzschichten wird der Film/die Folie
(23) des entsprechenden magnetischen Transfer-Mastermediums
(2) oder des optischen Disk-Mastermediums (2) durch anhaftendes
Fremdmaterial (P1, P2), bestehend aus Faserstücken, kleinem teilchenförmigen Material
und dergleichen, verschmutzt. Zum Beispiel wird das faserförmige anhaftende
Material (P1) in die Oberfläche
eines hervorstehenden Teils (2a) eingedrückt, ein
teilchenförmiges
anhaftendes Material (P2) wird innerhalb eines Vertiefungsteils
(2b) zwischen zwei hervorstehenden Teilen (2a)
eingebettet, und wegen dessen Grösse nistet
es sich im Vertiefungsteil (2b) ein.
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Das
Verfahren zur Reinigung des anhaftenden Materials (P1, P2) von der
Oberfläche
des Mastermediums (2) ist ein Verfahren zur Entfernung
des anhaftenden Materials (P1, P2) zusammen mit dem Film/der Folie
(23), um ein gereinigtes Mastermedium (2), wie
z. B. das in 3 gezeigte, zu erhalten. Auf
diese Weise wird das anhaftende Material (P1), das an der Oberfläche des
hervorstehenden Teils (2a) anhaftet, abgetrennt und von
der Oberfläche
zusammen mit der Entfernung des Films/der Folie (23) entfernt.
Das anhaftende Material (P2), das sich innerhalb der Vertiefungsteile
(2b) eingenistet hat, wird hiervon durch Erweitern des
Kanals des Vertiefungsteils (2b) durch Entfernung des Films/der
Folie (23) von der Oberfläche der Wände des Vertiefungsteils (2b)
entfernt.
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Der
Film/die Folie (23) ist eine Kohlenstoffschicht, wobei
diese Kohlenstoffschicht durch Verwendung von Plasma entfernt wird,
wenn der Reinigungsprozess durchgeführt wird. Der Film/die Folie (23)
kann auf der Oberfläche
des Mastermediums (2) durch irgendeines einer Vielzahl
von Film-/Folien-Bildungsverfahren gebildet werden: ein Sputterverfahren
zum Sputtern eines Materials, das Kohlenstoff enthält, auf
die Oberfläche
des Mastermediums; ein Film-/Folien-Bildungsverfahren, bei dem CVD
eingesetzt wird; usw. Der Film/die Folie (23) wird so gebildet,
dass dessen Dicke weniger als oder gleich 40 nm (bevorzugt 5 bis
30 nm) auf der Oberfläche
der hervorstehenden Teile (2a) beträgt. Auf diese Weise kann eine
vorteilhafte Übertragungsauflösung sichergestellt
werden, wenn die Oberfläche
der hervorstehenden Teile (2a) nahe zum Slavemedium gebracht wird,
um eine magnetische Übertragung
durchzuführen;
wenn eine optische Disk gebildet werden soll, kann deren Bildungseigenschaft
sichergesellt werden. Wenn der Film/die Folie (23) dicker
als 40 nm ist, wird dann, wenn eine magnetische Übertragung durchgeführt werden
soll, der Abstand zwischen der Musteroberfläche und dem Slavemedium vergrössert, was
eine Verschlechterung der Übertragungseigenschaften
und eine Verringerung der Übertragungsauflösung verursacht,
und wenn eine optische Disk gebildet werden soll, wird die Veränderung
der Diskbildungsdimensionen gross.
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Ferner
ist ein Plasma-Reinigungsverfahren ein Verfahren, in dem eine Plasmaentladung
ausgenutzt wird, das in einer evakuierten reaktiven Gasumgebung
durchgeführt
wird, worin der Film/die Folie (23) und das anhaftende
Material (P1, P2) verbrannt und hierdurch von der Musteroberfläche des
Substrats (21) entfernt werden. Die Plasmareinigung (reaktives
Plasmaätzen)
wird z. B. unter Einsatz einer Reinigungsvorrichtung durchgeführt, worin:
ein Mastermedium, das von einer magnetischen Übertragungsvorrichtung oder
einer Vorrichtung zur Bildung einer optischen Disk entfernt worden
ist, in einer Vakuumkammer der Reinigungsvorrichtung plaziert wird;
ein reaktives Gas in das Innere der Kammer eingeführt wird;
und eine Plasmaentladung zwischen der Elektrode und dem Mastermedium
(2) generiert wird. Das reaktive Gas kann eine Zusammensetzung
sein, die Ar, O2, CCl4 und
dergleichen enthält.
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Ferner
kann als alternative Ausführungsform der
Film/die Folie (23) ein(e) Polymerfilm/-folie sein, wobei
diese(r) Polymerfilm/-folie mit einem Lösungsmittel gelöst werden kann
oder durch die Verwendung des vorstehend beschriebenen Plasma-Reinigungsverfahrens
entfernt werden kann, wenn das Reinigungsverfahren durchgeführt werden
soll. Der/die Polymerfilm/-folie kann auf der Oberfläche des
Mastermediums unter Verwendung eines Gasabscheidungs-Filmbildungsverfahrens
oder dergleichen gebildet werden. Alternativ kann die Entfernung des
Films/der Folie (23) auch durchgeführt werden, indem das Mastermedium
(2) einer Ultraschallreinigung unterzogen wird, wodurch
der Film/die Folie (23) von der Oberfläche des Mastermediums durch Einwirkung
von Ultraschallvibrationen hierauf abgelöst wird.
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Da
das Mastermedium (2) wiederverwendet wird, um wiederum
magnetische Übertragungen
oder die Bildung optischer Disks durchzuführen, nachdem es dem Reinigungsverfahren
unterzogen worden ist, wird der Film/die Folie (23) wieder
auf der entsprechenden datentragenden Oberfläche hiervon gebildet, wie in 4 gezeigt,
und das Mastermedium (2) wird wiederverwendet.
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In
Fällen,
in denen der Film/die Folie (23) über der Oberfläche der
Seitenwände
der Vertiefungsteile (2b) der datentragenden Oberfläche eines optischen
Disk-Mastermediums
(2) vorgesehen wird, ist es bevorzugt, dass die Breite
der Vertiefungsteile (2b) um eine Dicke, die der Dicke
des Films/der Folie (23) entspricht, grösser eingerichtet wird als
die Breite der Vertiefungen (Vertiefungsdurchmesser) der gebildeten
optischen Disks, weil die optischen Disks gemäss der Form des unebenen Musters
gebildet werden. Es wird angemerkt, dass dies in den Fällen nicht
erforderlich ist, in denen der Film/die Folie (23) durch
Verwendung eines Sputterprozesses oder dergleichen vorgesehen wird,
worin, wie in 4 gezeigt, der Film/die Folie
(23) über
die obere Oberfläche
der hervorstehenden Teile (2a) und die Bodenoberfläche der
Vertiefungsteile (2b) vorgesehen wird und nicht auf der
Oberfläche
der Seitenwände
der Vertiefungsteile (2b) vorgesehen wird. Obwohl in diesem
Fall das anhaftende Material (P1), das an der Oberfläche der
hervorstehenden Teile (2a) anhaftet, zusammen mit dem Film/der
Folie (23) entfernt wird, ist es schwierig, das anhaftende
Material (P1), das sich in den Vertiefungsteilen (2b) eingenistet
hat, zu entfernen. Unter Berücksichtigung
dieses Umstands ist es, wie vorstehend beschrieben, effektiver,
wenn der Film/die Folie (23) durch Verwendung eines CVD-Prozesses
oder dergleichen vorgesehen wird, so dass er auch die Oberfläche der
Seitenwände
der Vertiefungsteile (2b) bedeckt.
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Ferner
kann im Fall eines magnetischen Transfer-Mastermediums der Film/die Folie (23), der/die
entfernt wird, wenn der Reinigungsprozess durchgeführt wird,
die magnetische Schicht (22) sein, die auf der Musteroberfläche des
Substrats (21) gebildet ist. Wenn der Reinigungsprozess
durchgeführt wird,
werden die anhaftenden Materialien (P1, P2) zusammen mit der magnetischen
Schicht (22) entfernt, und wenn das Mastermedium (2)
wiederverwendet wird, wird die magnetische Schicht wiederum durch
einen Sputterprozess oder dergleichen gebildet. Weil die magnetische
Schicht (22) auf der oberen Oberfläche der hervorstehenden Teile
(2a) relativ dick gebildet wird, kann auch in vorteilhafter
Weise die Entfernung des anhaftenden Materials (P2), das sich in
den Vertiefungsteilen (2b) eingenistet hat, durchgeführt werden.
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Es
wird angemerkt, dass das Slavemedium, falls erforderlich, einem
Reinigungsprozess unterzogen werden kann, in dem ein Gleitkopfreiniger
(glide head cleaner), ein Schleifmittel oder dergleichen eingesetzt
wird, um mikroskopische Beschädigungen auf
der Oberfläche
hiervon oder das hieran anhaftende Fremdmaterial zu entfernen, bevor
es mit dem magnetischen Transfer-Mastermedium (2) zusammengebracht
wird. Andererseits ist es bevorzugt, dass das Mastermedium (2)
einem Reinigungsprozess vor dem Prozess des Zusammenbringens im Fall
eines magnetischen Transfers oder dem Harz-Injektionsprozess im
Fall der Bildung einer optischen Disk unterzogen wird, worin der
Film/die Folie (23) nicht entfernt wird und das Fremdmaterial
entfernt wird.
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Es
ist vorteilhaft, dass die Reinigung des Mastermediums (2)
im Zusammenhang mit dem magnetischen Transfer oder der Herstellung
einer optischen Disk für
jeden magnetischen Transfer (Diskbildungsprozess) durchgeführt wird;
das Mastermedium (2) wird von der magnetischen Übertragungsvorrichtung
(Diskbildungsvorrichtung) entfernt, nachdem die magnetische Übertragung
(Diskbildung) eine vorbestimmte Anzahl Male durchgeführt worden
ist oder wenn Transfermängel
(Bildungsmängel)
aufgrund von Fremdmaterial, das an der Oberfläche des Mastermediums anhaftet,
auftauchen, und der Reinigungsprozess wird durchgeführt. Zu
diesem Zeitpunkt ist es wünschenswert,
dass zuvor eine Vielzahl von Mastermedien (2) hergestellt
wurde und dass wiederholt und sukzessive die magnetischen Übertragungen
(Diskbildungen) und Reinigungsprozesse durchgeführt werden.
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Gemäss dem Vorstehenden
wird ein Film/eine Folie (23) auf der unebenen Musteroberfläche der datentragenden
Oberfläche
des magnetischen Transfer- oder optischen Disk-Mastermediums (2) vorgesehen:
Das Mastermedium (2), an dessen Musteroberfläche im Verlauf
der wiederholten magnetischen Übertragung
oder der Diskbildungshandlungen Fremdmaterial angehaftet wurde,
wird aus der magnetischen Übertragungsvorrichtung
oder der Diskbildungsvorrichtung entfernt; das Fremdmaterial, das
sich an die Oberfläche
des Mastermediums angehaftet hat, wird zusammen mit dem Film/der
Folie (23) mit einer Reinigungsvorrichtung entfernt, bei
der ein Plasma-Reinigungsprozess oder dergleichen eingesetzt wird;
wodurch das Fremdmaterial, einschliesslich Fremdmaterial, das sich
innerhalb der Vertiefungsteile eingenistet hat, teilchenförmigem Material
und sogar kleinem teilchenförmigen
Material, in positiver Weise entfernt werden kann, ohne die Oberfläche zu beschädigen, die
Leistungsfähigkeit von
vorteilhaften magnetischen Transfer- und Diskbildungshandlungen
beibehalten werden kann und die Lebensdauer des Mastermediums verlängert werden
kann, indem dessen Wiederverwendung ermöglicht wird.