JP6465947B2 - デバイスの集積回路を試験するためのシステム及びその使用方法 - Google Patents
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Description
602 カートリッジフレーム
604 ピストン
606 ピストン調節システム
616 分配ボード
618 接触器ボード
Claims (19)
- デバイスの集積回路を試験する方法であって、
保持具の表面に対してデバイスを保持する段階と、
前記保持具に対して接触器ボードアセンブリを移動し、該接触器ボードアセンブリの端子を前記デバイス上の接点と接触させる段階と、
流体ラインを通る空気にアクチュエータの第1及び第2の部分の間に形成された容積のサイズを変えさせ、それによって該アクチュエータの該第1及び第2の部分を作動させ、装置フレームに対して接触器支持構造体を移動させて該デバイス上の接点に対して該接触器支持構造体上の前記端子を押圧する段階と、
前記端子及び接点を通じて集積回路に信号を供給する段階と、
前記流体ラインの前記空気の圧力が所定の値に到達した時に、圧力逃がし弁を通して該流体ラインから空気を自動的に放出する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記流体ラインの前記圧力の増加が、前記容積の前記サイズを増大させることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記アクチュエータの前記第1及び第2の部分は、それぞれ、シリンダ及びピストンであり、該ピストンは、該シリンダ及び該ピストンが共同で前記容積を形成するように該シリンダ内に位置し、
前記容積の圧力を変えて前記シリンダに対して前記ピストンを移動させる段階、
を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記シリンダに対して前記ピストンを水平にするために、該シリンダに該ピストンを接続する少なくとも1つのバネの力を調節する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項3に記載の方法。 - 前記アクチュエータは、膨張可能かつ収縮可能な空気袋を含み、該アクチュエータの前記第1及び第2の部分は、該空気袋の対向する側であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記接触器ボードアセンブリがその一部を形成するカートリッジのカートリッジフレームを前記装置フレームに取り外し可能に装着する段階と、
コネクタインタフェースの表面を接触器インタフェースの表面に接続する段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記カートリッジは、共通サブアセンブリと第1の固有の接触器サブアセンブリを含み、
前記第1の固有の接触器サブアセンブリを第2の固有の接触器サブアセンブリで置換する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項6に記載の方法。 - 前記共通サブアセンブリと前記第2の固有の接触器サブアセンブリの間の区域の圧力を低減する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項7に記載の方法。 - デバイスの集積回路を試験するための装置であって、
装置フレームと、
前記装置フレームに固定されたデバイスのための保持具と、
接触器支持構造体と、
前記接触器支持構造体によって保持された複数の端子と、
前記装置フレームと前記接触器支持構造体の間に接続されて、互いに対して移動可能である第1及び第2の部分と、該第1及び第2の部分の間に形成された容積と、該容積に接続されて該容積を空気が通るのを可能にし、それによって該容積のサイズを変えて該装置フレームに対して該接触器支持構造体を移動し、前記端子が前記デバイスの接点に対して押圧されるように該装置フレームに対してかつ前記保持具の表面に向けて該接触器支持構造体を移動する流体ラインとを有するアクチュエータと、
前記容積に接続されて該容積を空気が通るのを可能にし、それによって該容積のサイズを変え、前記端子が前記デバイスの接点に対して押圧されるように前記装置フレームに対して前記保持具に向けて前記接触器支持構造体を移動させる流体ラインと、
前記流体ラインの前記空気の圧力が所定の値に到達した時に、該流体ラインから圧力逃がし弁を通して空気を自動的に放出するように該流体ラインに接続された圧力逃がし弁と、
電源と、
前記支持構造体によって保持された前記端子の電源端子に前記電源を接続する電力電路と、
信号源と、
前記支持構造体によって保持された前記端子のそれぞれの信号端子に前記信号源を各々が接続する複数の信号電路と、
を含むことを特徴とする装置。 - 前記流体ラインの前記圧力の増加が、前記容積の前記サイズを増大させることを特徴とする請求項9に記載の装置。
- 前記アクチュエータの前記第1及び第2の部分は、それぞれ、シリンダ及びピストンであり、該ピストンは、該シリンダ及び該ピストンが共同で容積を形成するように該シリンダ内に位置し、
前記容積の圧力を変えて前記シリンダに対して前記ピストンを移動させるために該容積に接続された前記流体ライン、
を更に含むことを特徴とする請求項9に記載の装置。 - バネと、
前記ピストンに固定された第1の部分と前記バネに接続した第2の部分とを有し、該バネの力を調節して前記シリンダに対して該ピストンを水平にするように調節可能であるバネ調節機構と、
を更に含むことを特徴とする請求項11に記載の装置。 - 前記アクチュエータは、膨張可能かつ収縮可能な空気袋を含み、該アクチュエータの前記第1及び第2の部分は、該空気袋の対向する側であることを特徴とする請求項9に記載の装置。
- 前記接触器支持構造体と、前記端子と、補償部分の輪郭表面以外に該接触器ボードアセンブリの表面の平面度を改善する輪郭表面を有する補償部分とを有する接触器ボードアセンブリを更に含むことを特徴とする請求項9に記載の装置。
- 前記装置フレームに取り外し可能に装着可能なカートリッジフレームを含み、前記接触器ボードがその一部を形成するカートリッジと、
前記接触器支持構造体上の接触器インタフェースと、
前記接触器インタフェースの表面に接続するための表面を有するコネクタインタフェースと、
を更に含むことを特徴とする請求項9に記載の装置。 - 前記カートリッジは、共通サブアセンブリと、第2の固有の接触器サブアセンブリと互換的である第1の固有の接触器サブアセンブリとを含むことを特徴とする請求項15に記載の装置。
- 前記共通サブアセンブリと前記第2の固有の接触器サブアセンブリの間の区域と連通し、かつ前記カートリッジの外側に出口を有する減圧通路と、
前記共通サブアセンブリと前記第2の固有の接触器サブアセンブリの間の前記区域の圧力を低減するために前記減圧通路の前記出口に接続されたポンプと、
を更に含むことを特徴とする請求項16に記載の装置。 - カートリッジフレームと、
固定された位置で装置フレームに前記カートリッジフレームを装着するための該カートリッジフレーム上の構造と、
接触器支持構造体と、
前記接触器支持構造体によって保持された複数の端子と、
前記カートリッジフレームと前記接触器支持構造体の間に接続されて、互いに対して移動可能である第1及び第2の部分と、該第1及び第2の部分の間に形成された容積と、該容積に接続されて該容積を空気が通るのを可能にし、それによって該容積のサイズを変え、該カートリッジフレームに対して該接触器支持構造体を移動させ、前記端子がデバイスの接点に対して押圧されるように該接触器支持構造体を前記装置フレームに対してかつ保持具の表面に向けて移動させる流体ラインとを有するアクチュエータと、
前記容積に接続されて該容積を空気が通るのを可能にし、それによって該容積のサイズを変え、前記端子が前記デバイスの接点に対して押圧されるように前記接触器支持構造体を前記保持具に向けて前記装置フレームに対して移動させる流体ラインと、
前記流体ラインの前記空気の圧力が所定の値に到達した時に、圧力逃がし弁を通して該流体ラインから空気を自動的に放出するために該流体ラインに接続された圧力逃がし弁と、
前記接触器支持構造体によって保持されてインタフェースを前記端子に接続する複数の導体と、
を含むことを特徴とするカートリッジ。 - 前記流体ラインの前記圧力の増加が、前記容積の前記サイズを増大させることを特徴とする請求項18に記載のカートリッジ。
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