JP3308346B2 - 基板検査装置用のエアプローブピンボード - Google Patents
基板検査装置用のエアプローブピンボードInfo
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はインサーキットテスタ
ー、ファンクションテスター等の基板検査装置用の複数
のプローブを立設した支持体からなるピンボードに関す
る。
ー、ファンクションテスター等の基板検査装置用の複数
のプローブを立設した支持体からなるピンボードに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、実装基板即ち多数の電子部品を半
田付けしたプリント基板はインサーキットテスターを用
い、その基板の必要な各測定点にプローブの先端を接触
して、各部品の電気的測定によって基板の良否の判定を
行っている。このようなインサーキットテスターには種
々のものがあるが、プレス式では測定に際し、図１１に
示すような検査治具たる複数のプローブ１０を立設した
樹脂製の支持体１２からなるピンボード１４を用い、実
装基板１６をそのピンボード１４の上に載せ、上方から
矢印方向にプレスして固定する。すると、各プローブ１
０は基板１６に押されて縮み、先端がそのストローク
（後退量）に比例した接触圧で、基板１６に実装された
電子部品の電極やそこに設けられているパターン等の測
定点と電気的に接続する。なお、各プローブ１０は例え
ばプランジャ１８、バレル２０、圧縮スプリング、リー
ド線２２等からなり、そのプランジャ１８にはバレル２
０の内部に収納されている圧縮スプリングにより突出方
向（上方）にスプリング力が作用するため、プランジャ
１８がバレル２０の内部を摺動可能になっている。又、
各プローブ１０の立設に際しては支持体１２の適切な位
置にそれぞれ貫通孔を開け、そこに挿通して固定する。
又、基板１６は水平方向に移動しないように固定する。
田付けしたプリント基板はインサーキットテスターを用
い、その基板の必要な各測定点にプローブの先端を接触
して、各部品の電気的測定によって基板の良否の判定を
行っている。このようなインサーキットテスターには種
々のものがあるが、プレス式では測定に際し、図１１に
示すような検査治具たる複数のプローブ１０を立設した
樹脂製の支持体１２からなるピンボード１４を用い、実
装基板１６をそのピンボード１４の上に載せ、上方から
矢印方向にプレスして固定する。すると、各プローブ１
０は基板１６に押されて縮み、先端がそのストローク
（後退量）に比例した接触圧で、基板１６に実装された
電子部品の電極やそこに設けられているパターン等の測
定点と電気的に接続する。なお、各プローブ１０は例え
ばプランジャ１８、バレル２０、圧縮スプリング、リー
ド線２２等からなり、そのプランジャ１８にはバレル２
０の内部に収納されている圧縮スプリングにより突出方
向（上方）にスプリング力が作用するため、プランジャ
１８がバレル２０の内部を摺動可能になっている。又、
各プローブ１０の立設に際しては支持体１２の適切な位
置にそれぞれ貫通孔を開け、そこに挿通して固定する。
又、基板１６は水平方向に移動しないように固定する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなプローブ１０付きのピンボード１４を用いると、基
板１６の測定点に凹凸があれば、先端が凹の測定点に接
触した時と、凸の測定点に接触した時とで同一のプロー
ブ１０でもストロークが変わり、接触圧も変わる。それ
故、接触抵抗も変わって測定点の凹凸が測定結果に影響
を与えるため問題がある。しかも、基板１６をプレスし
てプローブ１０の先端に押し付けても、接触圧が静圧の
ため半田付け箇所にできるフラックス膜を突き破れない
場合がある。又、プローブ１０は構造が複雑であり、バ
レル２０にスプリングを内蔵するため、外形が太くな
り、プローブ同士を接近させても微細な測定点間のピッ
チに対応できない。
うなプローブ１０付きのピンボード１４を用いると、基
板１６の測定点に凹凸があれば、先端が凹の測定点に接
触した時と、凸の測定点に接触した時とで同一のプロー
ブ１０でもストロークが変わり、接触圧も変わる。それ
故、接触抵抗も変わって測定点の凹凸が測定結果に影響
を与えるため問題がある。しかも、基板１６をプレスし
てプローブ１０の先端に押し付けても、接触圧が静圧の
ため半田付け箇所にできるフラックス膜を突き破れない
場合がある。又、プローブ１０は構造が複雑であり、バ
レル２０にスプリングを内蔵するため、外形が太くな
り、プローブ同士を接近させても微細な測定点間のピッ
チに対応できない。
【０００４】本発明はこのような従来の問題点に着目し
てなされたものであり、微細なピッチにも対応可能で、
半田付け箇所のフラックス膜を破り易く、接触圧を基板
上の測定点の凹凸に関係なく一定にでき、正確な測定結
果が得易い基板検査装置用のエアプローブピンボードを
提供することを目的とする。
てなされたものであり、微細なピッチにも対応可能で、
半田付け箇所のフラックス膜を破り易く、接触圧を基板
上の測定点の凹凸に関係なく一定にでき、正確な測定結
果が得易い基板検査装置用のエアプローブピンボードを
提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による基板検査装置用のエアプローブピンボ
ード２４には複数のエアプローブ２６を立設した支持体
２８を用いる。そして、それ等の各エアプローブ２６と
して、先端側を大径部３０、後端側を小径部３２に形成
し、その大径部３０と小径部３２との間を円錐台状の段
付部３８に形成して、後端に小径部３２の径より拡大し
たストッパー３４を備えた細長い棒状体を用い、支持体
２８の内部に各エアプローブ２６の中間部を収納する複
数のエアプローブ２６に共通の配管連結孔５０付き空気
室５２を設け、その空気室５２で分けられた支持体２８
の一方の側部分に各エアプローブ２６の大径部３０より
僅かに大きな径を有する大径部挿通孔４８をそれぞれ設
け、他方の側部分に各エアプローブ２６の小径部３２よ
り僅かに大きな径を有する小径部挿通孔５４をそれぞれ
設ける
に、本発明による基板検査装置用のエアプローブピンボ
ード２４には複数のエアプローブ２６を立設した支持体
２８を用いる。そして、それ等の各エアプローブ２６と
して、先端側を大径部３０、後端側を小径部３２に形成
し、その大径部３０と小径部３２との間を円錐台状の段
付部３８に形成して、後端に小径部３２の径より拡大し
たストッパー３４を備えた細長い棒状体を用い、支持体
２８の内部に各エアプローブ２６の中間部を収納する複
数のエアプローブ２６に共通の配管連結孔５０付き空気
室５２を設け、その空気室５２で分けられた支持体２８
の一方の側部分に各エアプローブ２６の大径部３０より
僅かに大きな径を有する大径部挿通孔４８をそれぞれ設
け、他方の側部分に各エアプローブ２６の小径部３２よ
り僅かに大きな径を有する小径部挿通孔５４をそれぞれ
設ける
【０００６】又は、支持体７６の内部に各エアプローブ
７４の中間部をそれぞれ収納する空気室８２を設け、そ
れ等の空気室８２を配管連結孔８４付き空気分配孔８６
を介して連結する。
７４の中間部をそれぞれ収納する空気室８２を設け、そ
れ等の空気室８２を配管連結孔８４付き空気分配孔８６
を介して連結する。
【０００７】
【作用】上記のように構成し、支持体２８の内部に各エ
アプローブ２６の中間部を収納する複数のエアプローブ
２６に共通の配管連結孔５０付き空気室５２を設け、そ
の空気室５２で分けられた支持体２８の一方の側部分に
各エアプローブ２６の大径部３０より僅かに大きな径を
有する大径部挿通孔４８をそれぞれ設け、他方の側部分
に各エアプローブ２６の小径部３２より僅かに大きな径
を有する小径部挿通孔５４をそれぞれ設けると、圧縮空
気を配管から連結孔５０を通じて空気室５２の内部に供
給し、或いは空気室５２から連結孔５０を通じ、配管を
経て排気できる。
アプローブ２６の中間部を収納する複数のエアプローブ
２６に共通の配管連結孔５０付き空気室５２を設け、そ
の空気室５２で分けられた支持体２８の一方の側部分に
各エアプローブ２６の大径部３０より僅かに大きな径を
有する大径部挿通孔４８をそれぞれ設け、他方の側部分
に各エアプローブ２６の小径部３２より僅かに大きな径
を有する小径部挿通孔５４をそれぞれ設けると、圧縮空
気を配管から連結孔５０を通じて空気室５２の内部に供
給し、或いは空気室５２から連結孔５０を通じ、配管を
経て排気できる。
【０００８】それ故、供給した圧縮空気が空気室５２に
充満すると、大径部３０と小径部３２との間に形成した
円錐台状段付部３８の斜面に圧縮空気圧が作用し、大径
部３０、小径部３２が共に対応する挿通孔４８、５４の
内部をそれぞれ摺動して先端方向に素早く突出を開始す
る。一旦、突出を開始すると圧縮空気圧は大径部３０の
断面積から小径部３２の断面積を除いた面積に直接作用
する。しかも、大径部３０と小径部３２の周囲の僅かな
隙間から圧縮空気が大気側に洩れ、プローブ２６が支持
体２８の内壁から浮き上がって非接触状態となる。する
と、摺動抵抗は空気層のせん断抵抗となり、無視できる
程度の微小な値となる。そこで、各エアプローブ２６の
突出方向に少し離して被検査基板７０を設置し、固定し
ておけば、各エアプローブ２６の先端を基板７０上の測
定点にそれぞれ接触できる。このような各エアプローブ
２６の接触圧（静圧）は測定点の凹凸に基づくストロー
クに関係なく、供給する圧縮空気圧により定まり、各エ
アプローブ２６の先端が基板７０に衝突する衝突圧（動
圧）は圧縮空気の流量によって定まる。そして、各エア
プローブ２６の最大突出量は後端に備えたストッパー３
４の位置により定まる。なお、空気室５２から排気する
と、段付部３８の斜面に吸引作用が及ぶため、各エアプ
ローブ２６が素早く後退する。
充満すると、大径部３０と小径部３２との間に形成した
円錐台状段付部３８の斜面に圧縮空気圧が作用し、大径
部３０、小径部３２が共に対応する挿通孔４８、５４の
内部をそれぞれ摺動して先端方向に素早く突出を開始す
る。一旦、突出を開始すると圧縮空気圧は大径部３０の
断面積から小径部３２の断面積を除いた面積に直接作用
する。しかも、大径部３０と小径部３２の周囲の僅かな
隙間から圧縮空気が大気側に洩れ、プローブ２６が支持
体２８の内壁から浮き上がって非接触状態となる。する
と、摺動抵抗は空気層のせん断抵抗となり、無視できる
程度の微小な値となる。そこで、各エアプローブ２６の
突出方向に少し離して被検査基板７０を設置し、固定し
ておけば、各エアプローブ２６の先端を基板７０上の測
定点にそれぞれ接触できる。このような各エアプローブ
２６の接触圧（静圧）は測定点の凹凸に基づくストロー
クに関係なく、供給する圧縮空気圧により定まり、各エ
アプローブ２６の先端が基板７０に衝突する衝突圧（動
圧）は圧縮空気の流量によって定まる。そして、各エア
プローブ２６の最大突出量は後端に備えたストッパー３
４の位置により定まる。なお、空気室５２から排気する
と、段付部３８の斜面に吸引作用が及ぶため、各エアプ
ローブ２６が素早く後退する。
【０００９】又、支持体７６の内部に各エアプローブ７
４の中間部をそれぞれ収納する空気室８２を設け、それ
等の空気室８２を配管連結孔８４付き空気分配孔８６を
介して連結すると、圧縮空気圧が作用する面積が各空気
室８２と空気分配孔８６の内面となって小さくなるた
め、機械的強度が大きくなる。
４の中間部をそれぞれ収納する空気室８２を設け、それ
等の空気室８２を配管連結孔８４付き空気分配孔８６を
介して連結すると、圧縮空気圧が作用する面積が各空気
室８２と空気分配孔８６の内面となって小さくなるた
め、機械的強度が大きくなる。
【００１０】
【実施例】以下、添付図面に基づいて、本発明の実施例
を説明する。図１は本発明を適用したインサーキットテ
スタの測定前のエアプローブピンボードを示す縦断面
図、図２はその一点鎖線円内に対応する拡大図である。
図中、２４はピンボード、２６（２６ａ、２６ｂ、２６
ｃ）はそのエアプローブ、２８はそれ等のエアプローブ
２６を立設した樹脂製の支持体である。これ等のエアプ
ローブ２６はいずれも金属性の細長い棒状体にし、先端
側を大径部３０、後端側を小径部３２に形成し、後端に
大径部３０の径とほぼ等しい太さのストッパー３４を備
える。しかも、大径部３０の端部３６は円錐状に形成
し、大径部３０と小径部３２との間の段付部３８は面取
りして円錐台状に形成する。なお、ストッパー３４には
リード線（図示なし）を接続する。このように、各エア
プローブ２６を細長い棒状体にすると、先端同士を互い
に至近距離に近付けることができるため、微細ピッチに
対応可能になる。又、支持体２８は２枚の方形状平板４
０、４２を上下に合わせ、それ等の端部の所定位置をボ
ルト４４（４４ａ、４４ｂ）、ナット４６（４６ａ、４
６ｂ）等を用いて一体に結合して形成する。因みに、上
下板４０、４２は接着して結合してもよい。
を説明する。図１は本発明を適用したインサーキットテ
スタの測定前のエアプローブピンボードを示す縦断面
図、図２はその一点鎖線円内に対応する拡大図である。
図中、２４はピンボード、２６（２６ａ、２６ｂ、２６
ｃ）はそのエアプローブ、２８はそれ等のエアプローブ
２６を立設した樹脂製の支持体である。これ等のエアプ
ローブ２６はいずれも金属性の細長い棒状体にし、先端
側を大径部３０、後端側を小径部３２に形成し、後端に
大径部３０の径とほぼ等しい太さのストッパー３４を備
える。しかも、大径部３０の端部３６は円錐状に形成
し、大径部３０と小径部３２との間の段付部３８は面取
りして円錐台状に形成する。なお、ストッパー３４には
リード線（図示なし）を接続する。このように、各エア
プローブ２６を細長い棒状体にすると、先端同士を互い
に至近距離に近付けることができるため、微細ピッチに
対応可能になる。又、支持体２８は２枚の方形状平板４
０、４２を上下に合わせ、それ等の端部の所定位置をボ
ルト４４（４４ａ、４４ｂ）、ナット４６（４６ａ、４
６ｂ）等を用いて一体に結合して形成する。因みに、上
下板４０、４２は接着して結合してもよい。
【００１１】そして、上板４０には中央部の所定位置に
各エアプローブ２６の大径部３０が嵌まる上下に貫通し
た大径部挿通孔４８と、外部の配管が連結する上下に貫
通した配管連結孔５０をそれぞれ設けたものを用いる。
又、下板４２には中央部の上面に広く、板厚のほぼ半分
に達する均一深さの空気室の主要部を形成する空気溜め
用の凹所５２と、その凹所５２の所定位置に各エアプロ
ーブ２６の小径部３２が嵌まる上下に貫通した小径部挿
通孔５４とをそれぞれ設けたものを用いる。しかも、大
径部挿通孔４８はエアプローブ２６の大径部３０より僅
かに径を大きくし、小径部挿通孔５４はエアプローブ２
６の小径部３２より僅かに径を大きくする。すると、図
２に示すように挿通孔４８の内壁と大径部３０との間及
び挿通孔５４の内壁と小径部３２との間に、Δｒ例えば
１０〜５０μｍの隙間をそれぞれ形成することができ
る。なお、５６（５６ａ、５６ｂ）は上下板４０、４２
の位置を正確に合わせるためのノックピンである。
各エアプローブ２６の大径部３０が嵌まる上下に貫通し
た大径部挿通孔４８と、外部の配管が連結する上下に貫
通した配管連結孔５０をそれぞれ設けたものを用いる。
又、下板４２には中央部の上面に広く、板厚のほぼ半分
に達する均一深さの空気室の主要部を形成する空気溜め
用の凹所５２と、その凹所５２の所定位置に各エアプロ
ーブ２６の小径部３２が嵌まる上下に貫通した小径部挿
通孔５４とをそれぞれ設けたものを用いる。しかも、大
径部挿通孔４８はエアプローブ２６の大径部３０より僅
かに径を大きくし、小径部挿通孔５４はエアプローブ２
６の小径部３２より僅かに径を大きくする。すると、図
２に示すように挿通孔４８の内壁と大径部３０との間及
び挿通孔５４の内壁と小径部３２との間に、Δｒ例えば
１０〜５０μｍの隙間をそれぞれ形成することができ
る。なお、５６（５６ａ、５６ｂ）は上下板４０、４２
の位置を正確に合わせるためのノックピンである。
【００１２】このようにして、上下板４０、４２を一体
に結合した支持体２８の所定位置に各エアプローブ２６
をそれぞれ装着してピンボード２４を構成すると、支持
体２８の内部に各エアプローブ２６の中間部を収納する
３本のエアプローブ２６に共通の配管連結孔５０を有す
る空気室５２ができる（空気室にも空気溜め用凹所と同
一番号を付す）。そこで、ピンボード２４の配管連結孔
５０に図３に示すような給、排気配管路を接続する。図
中、５８は配管連結孔５０と結合する配管の連結部、６
０は圧縮空気源、６２は真空源、６４はその圧縮空気源
６０からの配管路と真空源６２からの配管路とを切り換
える３ポート電磁弁、６６、６８はその圧縮空気源６０
から３ポート電磁弁６４に至る配管路に介在する減圧
弁、速度制御弁である。
に結合した支持体２８の所定位置に各エアプローブ２６
をそれぞれ装着してピンボード２４を構成すると、支持
体２８の内部に各エアプローブ２６の中間部を収納する
３本のエアプローブ２６に共通の配管連結孔５０を有す
る空気室５２ができる（空気室にも空気溜め用凹所と同
一番号を付す）。そこで、ピンボード２４の配管連結孔
５０に図３に示すような給、排気配管路を接続する。図
中、５８は配管連結孔５０と結合する配管の連結部、６
０は圧縮空気源、６２は真空源、６４はその圧縮空気源
６０からの配管路と真空源６２からの配管路とを切り換
える３ポート電磁弁、６６、６８はその圧縮空気源６０
から３ポート電磁弁６４に至る配管路に介在する減圧
弁、速度制御弁である。
【００１３】測定に際してはピンボード２４に対し、先
ず被検査基板７０を各エアプローブ２６の突出方向に少
し離して設置し、いずれの方向にも動かないように固定
する。そして、３ポート電磁弁６４に通電する。する
と、電磁弁６４が図３の位置から切り換わり、圧縮空気
が配管から連結孔５０を通じて空気室５２の内部に供給
される。室内に充満すると、円錐台状段付部３８の斜面
に圧縮空気圧が作用し、各エアプローブ２６の大径部３
０、小径部３２が対応する挿通孔４８、５４の内部をそ
れぞれ先端方向に素早く突出を開始する。一旦、突出を
開始すると圧縮空気圧は大径部３０の断面積から小径部
３２の断面積を除いた面積に直接作用する。しかも、プ
ローブ２６は内壁との隙間から空気が大気側に洩れ非接
触状態となっているので、摺動抵抗は空気層のせん断抵
抗となり、無視できる程度の微小な値となる。
ず被検査基板７０を各エアプローブ２６の突出方向に少
し離して設置し、いずれの方向にも動かないように固定
する。そして、３ポート電磁弁６４に通電する。する
と、電磁弁６４が図３の位置から切り換わり、圧縮空気
が配管から連結孔５０を通じて空気室５２の内部に供給
される。室内に充満すると、円錐台状段付部３８の斜面
に圧縮空気圧が作用し、各エアプローブ２６の大径部３
０、小径部３２が対応する挿通孔４８、５４の内部をそ
れぞれ先端方向に素早く突出を開始する。一旦、突出を
開始すると圧縮空気圧は大径部３０の断面積から小径部
３２の断面積を除いた面積に直接作用する。しかも、プ
ローブ２６は内壁との隙間から空気が大気側に洩れ非接
触状態となっているので、摺動抵抗は空気層のせん断抵
抗となり、無視できる程度の微小な値となる。
【００１４】すると、図４に示すように各エアプローブ
２６の先端を基板７０上の測定点にそれぞれ接触でき
る。その際、測定点がパターンや半田付け箇所等で凹凸
があり、各エアプローブ２６のストローク（突出量）が
変わっても、接触圧（静圧）は供給する圧縮空気圧によ
り定まるため、圧縮空気圧が一定だと接触圧が一定にな
る。それ故、接触抵抗も一定になり、測定点の凹凸が測
定結果に影響を与えない。なお、減圧弁６６を制御する
と、圧縮空気圧を変えて接触圧を調節できる。又、各エ
アプローブ２６の先端が基板７０の測定点に衝突する衝
突圧（動圧）は圧縮空気の流量により定まる。それ上、
速度制御弁６８を制御すると、圧縮空気の流量を変えて
衝突圧を調節できる。なお、被検査基板７０がない状態
で各エアプローブ２６が突出しても、その最大ストロー
クは図５に示すように後端に備えたストッパー３４の位
置により定まり、支持体２８より抜けない。
２６の先端を基板７０上の測定点にそれぞれ接触でき
る。その際、測定点がパターンや半田付け箇所等で凹凸
があり、各エアプローブ２６のストローク（突出量）が
変わっても、接触圧（静圧）は供給する圧縮空気圧によ
り定まるため、圧縮空気圧が一定だと接触圧が一定にな
る。それ故、接触抵抗も一定になり、測定点の凹凸が測
定結果に影響を与えない。なお、減圧弁６６を制御する
と、圧縮空気圧を変えて接触圧を調節できる。又、各エ
アプローブ２６の先端が基板７０の測定点に衝突する衝
突圧（動圧）は圧縮空気の流量により定まる。それ上、
速度制御弁６８を制御すると、圧縮空気の流量を変えて
衝突圧を調節できる。なお、被検査基板７０がない状態
で各エアプローブ２６が突出しても、その最大ストロー
クは図５に示すように後端に備えたストッパー３４の位
置により定まり、支持体２８より抜けない。
【００１５】測定終了後、電磁弁６４への通電を切る
と、電磁弁６４が図３の位置に戻って真空源６２が配管
を介し、ピンボード２４の連結孔５０に接続されるた
め、空気室５２から連結孔５０を通じ、配管を経て排気
できる。すると、空気室５４内の圧力が大気圧より低く
なるため各エアプローブ２６の段付部３８の斜面が吸引
される等して、図１の位置まで素早く後退する。なお、
エアプローブ２６の測定点に対する１回の衝突でフラッ
クス膜が突き破れない場合は、電磁弁６４への通電のオ
ンオフを繰り返し、何回か衝突させることにより良好な
電気的接触を得る。
と、電磁弁６４が図３の位置に戻って真空源６２が配管
を介し、ピンボード２４の連結孔５０に接続されるた
め、空気室５２から連結孔５０を通じ、配管を経て排気
できる。すると、空気室５４内の圧力が大気圧より低く
なるため各エアプローブ２６の段付部３８の斜面が吸引
される等して、図１の位置まで素早く後退する。なお、
エアプローブ２６の測定点に対する１回の衝突でフラッ
クス膜が突き破れない場合は、電磁弁６４への通電のオ
ンオフを繰り返し、何回か衝突させることにより良好な
電気的接触を得る。
【００１６】図６は本発明を適用したインサーキットテ
スタの測定前の他のエアプローブピンボードを示す縦断
面図である。図中、７２はピンボード、７４（７４ａ、
７４ｂ、７４ｃ）はそのエアプローブ、７６はそれ等の
エアプローブ７４を中央部の所定位置に立設した上下板
７８、８０からなる樹脂製の支持体である。このピンボ
ード７２は上記実施例のピンボード２４と比べ、支持体
７６の内部に各エアプローブ７４の中間部をそれぞれ収
納する空気室８２（８２ａ、８２ｂ、８２ｃ）を設け、
それ等の空気室８２を配管連結孔８４付きの空気分配孔
８６を介して連結する点が異なる。しかし、その他の構
造はほぼ等しい。
スタの測定前の他のエアプローブピンボードを示す縦断
面図である。図中、７２はピンボード、７４（７４ａ、
７４ｂ、７４ｃ）はそのエアプローブ、７６はそれ等の
エアプローブ７４を中央部の所定位置に立設した上下板
７８、８０からなる樹脂製の支持体である。このピンボ
ード７２は上記実施例のピンボード２４と比べ、支持体
７６の内部に各エアプローブ７４の中間部をそれぞれ収
納する空気室８２（８２ａ、８２ｂ、８２ｃ）を設け、
それ等の空気室８２を配管連結孔８４付きの空気分配孔
８６を介して連結する点が異なる。しかし、その他の構
造はほぼ等しい。
【００１７】図７はそのような支持体７６を構成する上
板７８の中央部８８を示す平面図、図８は図７のＸ−Ｘ
断面図である。この上板７８は上記実施例の上板４０と
同一構造を備えている。図中、９０（９０ａ、…９０
ｈ）は各エアプローブ７４の大径部９２が挿通する大径
部挿通孔である。因みに、大径部挿通孔９０（９０ｄ、
…９０ｈ）にはそれぞれ対応する同様の各エアプローブ
７４（７４ｄ、…７４ｈ）の大径部９２が挿通する。但
し、エアプローブ７４（７４ｄ、…７４ｈ）は図示して
いない。
板７８の中央部８８を示す平面図、図８は図７のＸ−Ｘ
断面図である。この上板７８は上記実施例の上板４０と
同一構造を備えている。図中、９０（９０ａ、…９０
ｈ）は各エアプローブ７４の大径部９２が挿通する大径
部挿通孔である。因みに、大径部挿通孔９０（９０ｄ、
…９０ｈ）にはそれぞれ対応する同様の各エアプローブ
７４（７４ｄ、…７４ｈ）の大径部９２が挿通する。但
し、エアプローブ７４（７４ｄ、…７４ｈ）は図示して
いない。
【００１８】図９はそのような支持体７６を構成する下
板８０の中央部９４を示す平面図、図１０は図９のＹ−
Ｙ断面図である。この下板８０は上記実施例の下板４２
と異なる構造を備えている。図中、９６（９６ａ、…９
６ｈ）は各エアプローブ７４の小径部９８が挿通する小
径部挿通孔、１００が下板８０の上面の配管連結孔８４
と同一位置に設けた空気中継用の凹所である。この空気
中継用凹所１００は配管連結孔８４と、空気分配孔８６
（８６ａ、８６ｂ）の主要部となる空気分配溝とをつな
ぐ部分であり、各空気分配溝８６より円形状に広くする
（空気分配溝にも空気分配孔と同一番号を付す）。因み
に、小径部挿通孔９６（９６ｄ、…９６ｈ）にはそれぞ
れ対応する各エアプローブ７４（７４ｄ、…７４ｈ）の
小径部９８が挿通し、空気室８２（８２ｄ、…８２ｈ）
にはそれぞれ対応する各エアプローブ７４（７４ｄ、…
７４ｈ）の中間部を収納する。又、空気分配孔８６ａは
３個の空気室８２（８２ａ、８２ｂ、８２ｃ）を連結
し、空気分配孔８６ｂは５個の空気室８２（８２ｄ、…
８２ｈ）を連結する。
板８０の中央部９４を示す平面図、図１０は図９のＹ−
Ｙ断面図である。この下板８０は上記実施例の下板４２
と異なる構造を備えている。図中、９６（９６ａ、…９
６ｈ）は各エアプローブ７４の小径部９８が挿通する小
径部挿通孔、１００が下板８０の上面の配管連結孔８４
と同一位置に設けた空気中継用の凹所である。この空気
中継用凹所１００は配管連結孔８４と、空気分配孔８６
（８６ａ、８６ｂ）の主要部となる空気分配溝とをつな
ぐ部分であり、各空気分配溝８６より円形状に広くする
（空気分配溝にも空気分配孔と同一番号を付す）。因み
に、小径部挿通孔９６（９６ｄ、…９６ｈ）にはそれぞ
れ対応する各エアプローブ７４（７４ｄ、…７４ｈ）の
小径部９８が挿通し、空気室８２（８２ｄ、…８２ｈ）
にはそれぞれ対応する各エアプローブ７４（７４ｄ、…
７４ｈ）の中間部を収納する。又、空気分配孔８６ａは
３個の空気室８２（８２ａ、８２ｂ、８２ｃ）を連結
し、空気分配孔８６ｂは５個の空気室８２（８２ｄ、…
８２ｈ）を連結する。
【００１９】このように、支持体７６の内部に各エアプ
ローブ７４の中間部をそれぞれ収納する空気室８２を設
け、それ等の空気室８２を配管連結孔８４付きの空気中
継用凹所１００を有する空気分配孔８６を介して連結す
ると、圧縮空気圧が作用する面積が各空気室８２、各空
気分配孔８６、空気中継用凹所１００の内面となって小
さくなり、機械的強度が大きくなる。それ故、支持体７
６の下板８０が圧縮空気圧に耐え易くなる。
ローブ７４の中間部をそれぞれ収納する空気室８２を設
け、それ等の空気室８２を配管連結孔８４付きの空気中
継用凹所１００を有する空気分配孔８６を介して連結す
ると、圧縮空気圧が作用する面積が各空気室８２、各空
気分配孔８６、空気中継用凹所１００の内面となって小
さくなり、機械的強度が大きくなる。それ故、支持体７
６の下板８０が圧縮空気圧に耐え易くなる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明した本発明によれば、請求項１
記載の発明では複数の各エアプローブの大径部と小径部
との間に形成した円錐台状段付部の斜面に圧縮空気圧を
作用させ、円滑な摺動により素早く突出させて、各エア
プローブの先端を基板上の測定点にそれぞれ接触でき
る。又、排気によって突出した各エアプローブの円錐台
状段付部の斜面に吸引作用が及ぶため、各エアプローブ
を素早く後退させることができる。それ故、検査時間を
短縮化できる。しかも、各エアプローブを細長い棒状体
にすると、先端同士を互いに至近距離に近付けることが
でき、微細の測定間ピッチに対応可能になる。又、エア
プローブの測定点に対する１回の衝突でフラックス膜が
破れない場合は、圧縮空気の供給と排気を繰り返すこと
により、何回か衝突させるとフラックス膜が破れるた
め、良好な電気的接触が得られる。又、各エアプローブ
の接触圧は測定点の凹凸に基づくストロークに関係な
く、供給する圧縮空気圧により定まるため、圧縮空気圧
を一定にすると、各エアプローブの接触抵抗も一定にな
り、正確な測定結果が得られる。
記載の発明では複数の各エアプローブの大径部と小径部
との間に形成した円錐台状段付部の斜面に圧縮空気圧を
作用させ、円滑な摺動により素早く突出させて、各エア
プローブの先端を基板上の測定点にそれぞれ接触でき
る。又、排気によって突出した各エアプローブの円錐台
状段付部の斜面に吸引作用が及ぶため、各エアプローブ
を素早く後退させることができる。それ故、検査時間を
短縮化できる。しかも、各エアプローブを細長い棒状体
にすると、先端同士を互いに至近距離に近付けることが
でき、微細の測定間ピッチに対応可能になる。又、エア
プローブの測定点に対する１回の衝突でフラックス膜が
破れない場合は、圧縮空気の供給と排気を繰り返すこと
により、何回か衝突させるとフラックス膜が破れるた
め、良好な電気的接触が得られる。又、各エアプローブ
の接触圧は測定点の凹凸に基づくストロークに関係な
く、供給する圧縮空気圧により定まるため、圧縮空気圧
を一定にすると、各エアプローブの接触抵抗も一定にな
り、正確な測定結果が得られる。
【００２１】又、請求項２記載の発明では圧縮空気圧が
作用する面積が小さくなるため、機械的強度が大きく、
支持体が圧縮空気圧に耐え易くなるので、そのエアプロ
ーブ立設面の面積を大きくすることができる。
作用する面積が小さくなるため、機械的強度が大きく、
支持体が圧縮空気圧に耐え易くなるので、そのエアプロ
ーブ立設面の面積を大きくすることができる。
【図１】本発明を適用したインサーキットテスタの測定
前のエアプローブピンボードを示す縦断面図である。
前のエアプローブピンボードを示す縦断面図である。
【図２】図１の一点鎖線円内に対応する拡大図である。
【図３】同エアプローブピンボードの配管連結孔に接続
する給、排気配管路を示す図である。
する給、排気配管路を示す図である。
【図４】同インサーキットテスタの測定時のエアプロー
ブピンボードを示す縦断面図である。
ブピンボードを示す縦断面図である。
【図５】同エアプローブピンボードの被検査基板非設置
時におけるプローブ最大突出状態を示す縦断面図であ
る。
時におけるプローブ最大突出状態を示す縦断面図であ
る。
【図６】本発明を適用したインサーキットテスタの測定
前の他のエアプローブピンボードを示す縦断面図であ
る。
前の他のエアプローブピンボードを示す縦断面図であ
る。
【図７】同エアプローブピンボードの支持体を構成する
上板の中央部を示す平面図である。
上板の中央部を示す平面図である。
【図８】図７のＸ−Ｘ断面図である。
【図９】同エアプローブピンボードの支持体を構成する
下板の中央部を示す平面図である。
下板の中央部を示す平面図である。
【図１０】図９のＹ−Ｙ断面図である。
【図１１】従来のインサーキットテスタの測定時のプロ
ーブピンボードを示す縦断面図である。
ーブピンボードを示す縦断面図である。
２４、７２…エアプローブピンボード ２６、７４…エ
アプローブ ２８、７６…支持体 ３０、９２…大径部
３２、９８…小径部 ３４…ストッパー ３８…段付
部 ４０、７８…上板 ４２、８０…下板 ４８、９０
…大径部挿通孔 ５０、８４…配管連結孔 ５２、８２…空気室 ５４、
９６…小径部挿通孔 ５８…配管の連結部 ６０…圧縮
空気源 ６２…真空源 ６４…３ポート電磁弁 ６６…減圧弁 ６８…速度制御弁 ７０…被検査基板
８６…空気分配孔 １００…空気中継用凹所
アプローブ ２８、７６…支持体 ３０、９２…大径部
３２、９８…小径部 ３４…ストッパー ３８…段付
部 ４０、７８…上板 ４２、８０…下板 ４８、９０
…大径部挿通孔 ５０、８４…配管連結孔 ５２、８２…空気室 ５４、
９６…小径部挿通孔 ５８…配管の連結部 ６０…圧縮
空気源 ６２…真空源 ６４…３ポート電磁弁 ６６…減圧弁 ６８…速度制御弁 ７０…被検査基板
８６…空気分配孔 １００…空気中継用凹所
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−234079（ＪＰ，Ａ) 実開 昭49−7451（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−203461（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−109657（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 1/06 - 1/073
Claims (2)
- 【請求項１】 複数のエアプローブを立設した支持体か
らなる基板検査装置用のエアプローブピンボードにおい
て、上記各エアプローブとして、先端側を大径部、後端
側を小径部に形成し、その大径部と小径部との間を円錐
台状の段付部に形成して、後端に小径部の径より拡大し
たストッパーを備えた細長い棒状体を用い、支持体の内
部に各エアプローブの中間部を収納する複数のエアプロ
ーブに共通の配管連結孔付き空気室を設け、その空気室
で分けられた支持体の一方の側部分に各エアプローブの
大径部より僅かに大きな径を有する大径部挿通孔をそれ
ぞれ設け、他方の側部分に各エアプローブの小径部より
僅かに大きな径を有する小径部挿通孔をそれぞれ設ける
ことを特徴とする基板検査装置用のエアプローブピンボ
ード。 - 【請求項２】 複数のエアプローブを立設した支持体か
らなる基板検査装置用のエアプローブピンボードにおい
て、上記各エアプローブとして、先端側を大径部、後端
側を小径部に形成し、その大径部と小径部との間を円錐
台状の段付部に形成して、後端に小径部の径より拡大し
たストッパーを備えた細長い棒状体を用い、支持体の内
部に各エアプローブの中間部をそれぞれ収納する空気室
を設け、それ等の空気室を配管連結孔付き空気分配孔を
介して連結し、それ等の空気室で分けられた支持体の一
方の側部分に各エアプローブの大径部より僅かに大きな
径を有する大径部挿通孔をそれぞれ設け、他方の側部分
に各エアプローブの小径部より僅かに大きな径を有する
小径部挿通孔をそれぞれ設けることを特徴とする基板検
査装置用のエアプローブピンボード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16425293A JP3308346B2 (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | 基板検査装置用のエアプローブピンボード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16425293A JP3308346B2 (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | 基板検査装置用のエアプローブピンボード |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06347477A JPH06347477A (ja) | 1994-12-22 |
| JP3308346B2 true JP3308346B2 (ja) | 2002-07-29 |
Family
ID=15789573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16425293A Expired - Fee Related JP3308346B2 (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | 基板検査装置用のエアプローブピンボード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3308346B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7762822B2 (en) | 2005-04-27 | 2010-07-27 | Aehr Test Systems | Apparatus for testing electronic devices |
| KR100911660B1 (ko) * | 2007-07-11 | 2009-08-10 | (주)엠투엔 | 프로브 카드의 기판 조립체 및 이를 포함하는 프로브 카드 |
| US8030957B2 (en) | 2009-03-25 | 2011-10-04 | Aehr Test Systems | System for testing an integrated circuit of a device and its method of use |
| US10466292B2 (en) | 2016-01-08 | 2019-11-05 | Aehr Test Systems | Method and system for thermal control of devices in an electronics tester |
| CN110383092B (zh) | 2017-03-03 | 2022-04-01 | 雅赫测试系统公司 | 电子测试器 |
| EP4226165A1 (en) | 2020-10-07 | 2023-08-16 | AEHR Test Systems | Electronics tester |
-
1993
- 1993-06-08 JP JP16425293A patent/JP3308346B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06347477A (ja) | 1994-12-22 |
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