CN219369844U - 一种通用型探针摆针治具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种通用型探针摆针治具,包括底座和两个活动块,所述底座中间设有若干平行分布的插针槽,活动块位于插针槽两侧,且活动块上设有长槽孔,通过螺钉安装在底座上,且活动块朝向插针槽一侧设有倾斜面。本实用新型在底座上设有不同宽度的插针槽,利用长槽孔来改变活动块的位置,从而与不同规格的探针相适配,通用性好,使用寿命长。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体器件测试技术领域,特别涉及一种通用型探针摆针治具。
背景技术
晶圆在进行探针测试时,需要通过探针卡与测试仪器相连通,利用探针卡上的探针与晶圆上的压焊点接触,从而进行电信号的传输。探针卡是一种带有很多细针的印刷电路板,测试生产需要的探针卡,需根据晶圆芯片上的压焊点布局和间距来设计。探针卡上可多达上千根探针,任何一根探针针头扎针不准,都可能导致对应的待测晶圆检测失效。
因此,探针卡上的探针要事先在摆针治具上摆放好,再涂上树脂固定。由于不同晶圆对应的探针卡不同,其对应的摆针治具也是根据单个产品特别设计的。摆针过程中,需要将探针前端的弯折部插入插针槽内,且不同探针前端的弯折角度,需要搭配倾角不同的治具。每个产品生产完后,其对应的摆针治具也搁置了,十分浪费。
实用新型内容
为了解决上述问题,本实用新型提供了一种通用型探针摆针治具,可与多种晶圆的探针卡适配,使用时限长。
为此,本实用新型的技术方案是:一种通用型探针摆针治具,包括底座和两个活动块,所述底座中间设有若干平行分布的插针槽,活动块位于插针槽两侧,且活动块上设有长槽孔,通过螺钉安装在底座上,且活动块朝向插针槽一侧设有倾斜面。
使用前,需要根据探针的形状,调节活动块的位置,使得活动块上倾斜面与探针相匹配;使用时,探针前端插入插针槽内,探针上方通过压框固定,再将树脂浇入压框内,树脂凝固后,探针固定成型,方便后期装配到探针卡上。
优选地,所述活动块为片状结构,一侧设有若干长槽孔,另一侧设有倾斜面,活动块底面与插针槽的槽口齐平,倾斜面的最低点位于插针槽上。活动块上设置长槽孔,活动块可以在长槽孔范围内调节位置,从而适配不同规格的探针。
优选地,所述活动块上倾斜面与底面的夹角为8~10度。
优选地,所述底座为矩形板状结构,底座上设有两排螺纹孔,螺纹孔位于插针槽两侧;所述活动块上的长槽孔与螺纹孔位置相对,通过螺钉固定连接。
优选地,所述底座上的插针槽为矩形槽,且各个插针槽的槽宽各不相同。插针槽的槽宽不一致,可以插入不同规格的探针,通用性更好。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:在底座上设有不同宽度的插针槽,利用长槽孔来改变活动块的位置,从而与不同规格的探针相适配,通用性好,使用寿命长;底座上的插针槽比较长,可以同时在底座上摆放多组探针,同时涂抹树脂,进行批量生产,提高探针卡的加工效率。
附图说明
以下结合附图和本实用新型的实施方式来作进一步详细说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型的结构俯视图;
图3为本实用新型的结构侧视图;
图4为图3的局部放大图;
图5为本实用新型底座的结构示意图;
图6为本实用新型活动块的结构示意图;
图7为本实用新型的工作示意图;
图8为图7的结构侧视图。
图中标记为:底座1、插针槽11、螺纹孔12、活动块2、长槽孔21、倾斜面22、螺钉3、探针4、压框5。
具体实施方式
在本实用新型的描述中,需要说明的是,对于方位词,如有术语“中心”,“横向(X)”、“纵向(Y)”、“竖向(Z)”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示方位和位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于叙述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定方位构造和操作,不能理解为限制本实用新型的具体保护范围。
此外,如有术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或隐含指明技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”特征可以明示或者隐含包括一个或者多个该特征,在本实用新型描述中,“数个”、“若干”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
参见附图。本实施例所述通用型探针摆针治具,包括底座1和两个活动块2,底座1为矩形板状结构,所述底座1中间设有若干互相平行的插针槽11,插针槽11呈水平设置,插针槽11为矩形槽,即插针槽11的截面为矩形结构,且各个插针槽11的槽宽各不相同;槽宽小的插针槽位于中间,然后两边插针槽的槽宽逐渐增大。插针槽11的槽宽不一致,可以插入不同规格的探针,通用性更好。底座1上设有两排螺纹孔12,螺纹孔12位于插针槽11两侧。
两个活动块2相向设置,所述活动块2为片状结构,活动块一侧设有若干长槽孔21,活动块2安装在底座1上,活动块2上的长槽孔21与底座1上的螺纹孔12数量一致,位置相对,通过螺钉3将活动块2固定在底座1上,活动块2可以在长槽孔21范围内调节位置,从而适配不同规格的探针。
所述活动块2底面与插针槽11的槽口齐平,位于插针槽两侧,且活动块2朝向插针槽一侧设有倾斜面22,活动块上倾斜面与底面的夹角A为8度,倾斜面22的最低点位于任一插针槽11上。
使用前,需要根据探针的形状,调节活动块2的位置,使得活动块2上倾斜面22与探针4的形状相匹配;使用时,探针4前端插入插针槽11内,探针4上方通过压框5固定,再将树脂浇入压框内,树脂凝固后,探针4固定成型,方便后期装配到探针卡上。
由于底座上的插针槽足够长,摆针治具上可以摆放多组探针,同时浇筑树脂,提高加工效率。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例,凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种通用型探针摆针治具,其特征在于:包括底座和两个活动块,所述底座中间设有若干平行分布的插针槽,活动块位于插针槽两侧,且活动块上设有长槽孔,通过螺钉安装在底座上,且活动块朝向插针槽一侧设有倾斜面。
2.如权利要求1所述的一种通用型探针摆针治具,其特征在于:所述活动块为片状结构,一侧设有若干长槽孔,另一侧设有倾斜面,活动块底面与插针槽的槽口齐平,倾斜面的最低点位于插针槽上。
3.如权利要求2所述的一种通用型探针摆针治具,其特征在于:所述活动块上倾斜面与底面的夹角为8~10度。
4.如权利要求1所述的一种通用型探针摆针治具,其特征在于:所述底座为矩形板状结构,底座上设有两排螺纹孔,螺纹孔位于插针槽两侧;所述活动块上的长槽孔与螺纹孔位置相对,通过螺钉固定连接。
5.如权利要求1所述的一种通用型探针摆针治具,其特征在于:所述底座上的插针槽为矩形槽,且各个插针槽的槽宽各不相同。
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CN202223108190.8U Active CN219369844U (zh) | 2022-11-21 | 2022-11-21 | 一种通用型探针摆针治具 |
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2022
- 2022-11-21 CN CN202223108190.8U patent/CN219369844U/zh active Active
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