CN215728759U - 一种用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及探针卡技术领域，公开了一种用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置，通过模拟探针卡在测试时上机的固定状态，即以探针卡PCB具有针尖的一面（bottom面）作为基准面，对探针卡针尖共面性进行调整，使得调整探针卡针尖共面性时的基准面与探针卡安装在测试探针台上使用时的基准面相一致，有效保证了探针卡的测试精度，从而有效解决了调整探针卡针尖共面性时的基准面与探针卡实际使用时的基准面不一致的问题，且结构简单，使用方便，实用性强。

Description

一种用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置

技术领域

本实用新型涉及探针卡技术领域，特别涉及一种用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置。

背景技术

探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试。探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程，如果能在封装前进行芯片测试，发现有不良品存在晶圆当中，即进行标记，直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃，可省下不必要的封装成本。因此，探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。

在探针卡制作完成后，需要通过测量装置对探针卡上的针尖进行共面性测量和调针，使探针卡的针尖均位于同一平面上，即保证针尖共面性，从而保证探针卡的测试精度。探针卡在共面性调针时，探针卡的针尖是朝上的，即探针卡的带有针尖的一面（bottom面）朝上，以便于测量和调针。

然而，目前，现有的用于探针卡调针测量的安装固定装置大多是以探针卡的PCB板的上表面（即TOP面）为承托基准面来调整探针卡针尖共面性，但是，探针卡在实际使用时是以探针卡的Bottom面为承托基准固定在测试探针台上，即存在调整探针卡针尖共面性时的基准面与实际探针卡使用时的基准面不一致的问题。由于探针卡的PCB板的TOP面和Bottom面是不完全平行的，因此，造成采用TOP面作为承托基准面调针时，存在针尖共面性在设计要求内，但在实际探针卡使用时针尖不共面的问题，容易影响探针卡的测试精度，需要进一步地改进。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出一种用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置，旨在解决现有的用于探针卡调针测量的安装固定装置针尖共面性调整的基准面与探针卡安装在测试探针台上的基准面不一致，容易影响探针卡的测试精度的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提出的用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置，包括活动盖、底板、侧板、承托基准板以及压板，所述活动盖呈U形结构设置，所述侧板分别平行地设置于所述底板的下端壁的两侧，所述侧板和压板均呈L形结构设置，所述承托基准板分别通过螺钉可拆卸的固定于所述侧板的下端壁上，所述侧板的下端部的内侧壁分别凸设有一支撑台阶，所述压板分别可拆卸的设置于所述支撑台阶的上端壁上，所述压板的下端壁与所述承托基准板的上端壁之间形成一探针卡夹持口，所述侧板均可活动的设置于所述活动盖内，且所述底板的两端的下端壁分别与所述活动盖的两端的上端壁抵接设置，所述承托基准板的下端壁与所述活动盖的内底壁间隔连接，所述侧板的外侧壁分别与所述活动盖的两端的内侧壁滑动抵接设置。

进一步地，还包括第一紧固螺钉，所述压板的两端分别凹设有一第一通孔，所述支撑台阶的上端壁的两端分别凹设有一与所述第一通孔相对应的第一螺纹孔，所述第一紧固螺钉分别穿设于所述第一通孔，并旋于所述第一螺纹孔内设置，所述底板的两端分别凹设有一与所述第一通孔一一对应的第二通孔，且所述第二通孔均呈椭圆形结构设置。

进一步地，所述支撑台阶的上端壁分别凹设有一限位槽，所述压板的内顶壁分别凸设有一与所述限位槽相适配的限位凸起，且所述限位凸起分别可拆卸的嵌设于所述限位槽内设置。

进一步地，还包括第二紧固螺钉，所述底板的两端分别凹设有多个第三通孔，所述侧板的上端壁的两端分别凹设有多个与所述第三通孔一一对应的第二螺纹孔，所述第二紧固螺钉分别穿设于所述第三通孔，并旋于所述第二螺纹孔内设置。

进一步地，所述底板的中间凹设有一透光孔。

采用本实用新型的技术方案，具有以下有益效果：本实用新型的技术方案，通过模拟探针卡在测试时上机的固定状态，即以探针卡PCB具有针尖的一面（bottom面）作为基准面，对探针卡针尖共面性进行调整，使得调整探针卡针尖共面性时的基准面与探针卡安装在测试探针台上使用时的基准面相一致，有效保证了探针卡的测试精度，从而有效解决了调整探针卡针尖共面性时的基准面与探针卡实际使用时的基准面不一致的问题，且结构简单，使用方便，实用性强。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本实用新型提出的一种用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置的整体结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置的分解结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置的探针卡安装状态示意图；

图4为本实用新型提出的一种用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置的另一视角的探针卡安装状态示意图；

图5为本实用新型提出的一种用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置的探针卡测试状态示意图。

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示（诸如上、下、左、右、前、后……）仅用于解释在某一特定姿态（如附图所示）下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

本实用新型提出一种用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置。

如图1至图5所示，在本实用新型的一实施例中，该用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置，包括活动盖101、底板102、侧板103、承托基准板104以及压板105，所述活动盖101呈U形结构设置，所述侧板103分别平行地设置于所述底板102的下端壁的两侧，所述侧板103和压板105均呈L形结构设置，所述承托基准板104分别通过螺钉可拆卸的固定于所述侧板103的下端壁上，所述侧板103的下端部的内侧壁分别凸设有一支撑台阶1031，所述压板105分别可拆卸的设置于所述支撑台阶1031的上端壁上，所述压板105的下端壁与所述承托基准板104的上端壁之间形成一探针卡夹持口106，所述侧板103均可活动的设置于所述活动盖101内，且所述底板102的两端的下端壁分别与所述活动盖101的两端的上端壁抵接设置，所述承托基准板104的下端壁与所述活动盖101的内底壁间隔连接，所述侧板103的外侧壁分别与所述活动盖101的两端的内侧壁滑动抵接设置。

具体地，还包括第一紧固螺钉107，所述压板105的两端分别凹设有一第一通孔1051，所述支撑台阶1031的上端壁的两端分别凹设有一与所述第一通孔1051相对应的第一螺纹孔1032，所述第一紧固螺钉107分别穿设于所述第一通孔1051，并旋于所述第一螺纹孔1032内设置，所述底板102的两端分别凹设有一与所述第一通孔1051一一对应的第二通孔1021，且所述第二通孔1021均呈椭圆形结构设置，螺丝刀从第二通孔伸进去拧紧第一紧固螺钉，使压板压紧探针卡，或者拧松第一紧固螺钉，便于探针卡卸料。

具体地，所述支撑台阶1031的上端壁分别凹设有一限位槽1033，所述压板105的内顶壁分别凸设有一与所述限位槽1033相适配的限位凸起1052，且所述限位凸起1052分别可拆卸的嵌设于所述限位槽1033内设置。

具体地，还包括第二紧固螺钉108，所述底板102的两端分别凹设有多个第三通孔1022，所述侧板103的上端壁的两端分别凹设有多个与所述第三通孔1022一一对应的第二螺纹孔1034，所述第二紧固螺钉108分别穿设于所述第三通孔1022，并旋于所述第二螺纹孔1034内设置。

具体地，所述底板102的中间凹设有一透光孔1023。

具体调针时，如图3至图5所示，首先将底板朝上、活动盖朝下放置，探针卡200具有针尖的一面（bottom面）朝下，然后将探针卡200放置在承托基准板上，螺丝刀穿过底板上的第二通孔将压板上的第一紧固螺钉拧紧，通过压板使探针卡200固定在承托基准板上，完成探针卡200的装夹；然后将活动盖翻转180°朝上放置，底板朝下放置，将底板固定在测试探针台上，调针时将活动盖拿掉，使探针卡200的针尖的一面朝上，从而方便调整探针卡针尖的共面性，调针完成后，螺丝刀穿过底板上的第二通孔将压板上的第一紧固螺钉拧松，完成探针卡的卸料。

具体地，本实用新型通过模拟探针卡在测试时上机的固定状态，即以探针卡PCB具有针尖的一面（bottom面）作为基准面，对探针卡针尖共面性进行调整，使得调整探针卡针尖共面性时的基准面与探针卡安装在测试探针台上使用时的基准面相一致，有效保证了探针卡的测试精度，从而有效解决了调整探针卡针尖共面性时的基准面与探针卡实际使用时的基准面不一致的问题，且结构简单，使用方便，实用性强。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的实用新型构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (5)

1.一种用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置，其特征在于，包括活动盖、底板、侧板、承托基准板以及压板，所述活动盖呈U形结构设置，所述侧板分别平行地设置于所述底板的下端壁的两侧，所述侧板和压板均呈L形结构设置，所述承托基准板分别通过螺钉可拆卸的固定于所述侧板的下端壁上，所述侧板的下端部的内侧壁分别凸设有一支撑台阶，所述压板分别可拆卸的设置于所述支撑台阶的上端壁上，所述压板的下端壁与所述承托基准板的上端壁之间形成一探针卡夹持口，所述侧板均可活动的设置于所述活动盖内，且所述底板的两端的下端壁分别与所述活动盖的两端的上端壁抵接设置，所述承托基准板的下端壁与所述活动盖的内底壁间隔连接，所述侧板的外侧壁分别与所述活动盖的两端的内侧壁滑动抵接设置。

2.根据权利要求1所述的用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置，其特征在于，还包括第一紧固螺钉，所述压板的两端分别凹设有一第一通孔，所述支撑台阶的上端壁的两端分别凹设有一与所述第一通孔相对应的第一螺纹孔，所述第一紧固螺钉分别穿设于所述第一通孔，并旋于所述第一螺纹孔内设置，所述底板的两端分别凹设有一与所述第一通孔一一对应的第二通孔，且所述第二通孔均呈椭圆形结构设置。

3.根据权利要求1所述的用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置，其特征在于，所述支撑台阶的上端壁分别凹设有一限位槽，所述压板的内顶壁分别凸设有一与所述限位槽相适配的限位凸起，且所述限位凸起分别可拆卸的嵌设于所述限位槽内设置。

4.根据权利要求1所述的用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置，其特征在于，还包括第二紧固螺钉，所述底板的两端分别凹设有多个第三通孔，所述侧板的上端壁的两端分别凹设有多个与所述第三通孔一一对应的第二螺纹孔，所述第二紧固螺钉分别穿设于所述第三通孔，并旋于所述第二螺纹孔内设置。

5.根据权利要求1所述的用于探针卡针尖共面性测量和调针的安装装置，其特征在于，所述底板的中间凹设有一透光孔。

Images