JP5735350B2 - 半導体メモリチップ、半導体集積回路、半導体パッケージ、半導体メモリ装置、半導体装置パッケージの製造方法、および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
110,120,130,140…チップ、
111…回路パターン、
112,122,132,142…チップの第1面、
114,124,134,144…チップの第2面、
116a,116b…マスターチップの電極パッド、
150…印刷回路基板(PCB)、
152a,152b…基板の電極、
154a, 154b, 160, 160a~160j, 1914, 1914a, 2014, 2014a, 2200…貫通電極(TSV)、
156a,156b…基板配線、
158a,158b…ソルダバンプ、
170a,170b,1912,1912a,1916,1916a,2012,2012a,2016,2016a…バンプ、
200…半導体メモリ装置、
205…メモリセルアレイ・ブロック、
210,212,226,228,230,232,240…入力/出力バッファ、
213,233,234…フリップフロップ、
214…シリアル・ツー・パラレル変換部、
216…書き込みデータ整列部、
220…データ入出力駆動部/センスアンプ部、
222…読み取りデータ整列部(読み取りFiFo)、
224…パラレル・ツー・シリアル変換部、
235…アドレスバッファ、
236…コマンドバッファ及びコマンド・デコーダ、
237…ロウ・デコーダ、
238…カラム・デコーダ、
242…クロック発生部及びバッファ部、
250…バッファ制御及びクロックゲーティング部、
260…遅延同期回路、
262…レイテンシ制御部、
700…カウンタ、
710,720…読み取りFiFo制御部、
712,722…第1 MUX部、
714,724…第2 MUX部、
716,726…第3 MUX部、
718,728…ORゲート、
717,727…バッファ、
1000…グローバル制御回路、
1110,1120…グローバルチップ選択信号発生回路、
1210,1220…グローバルコマンド発生回路、
1300…ローカル読み取り制御経路、
1350…グローバル読み取り制御経路、
1400…TSV I/Oモジュール、
1500…ロジック回路、
1710,1730…ドライバ、
1720,1740…入力バッファ部、
2110,2120…分離膜、
2302…プローブパッド、
2304…MUX部、
CaseI〜CaseV…TSV位置バウンダリ。
Claims (77)
- 半導体メモリチップであって、
データチップパッドと、
前記データチップパッドに連結されるデータ入力バッファと、
前記データ入力バッファに連結され、前記データ入力バッファから出力されるデータをラッチするラッチと、
メモリセル・アレイと、を具備し、
前記データ入力バッファと前記ラッチは、前記データチップパッドから前記メモリセル・アレイまでの第1データ書き込み経路の部分であり、
前記半導体メモリチップは、前記第1データ書き込み経路の電気的なノードに電気的に連結され、前記第1データ書き込み経路の一部分を含む第2データ書き込み経路を形成する貫通電極をさらに具備し、
前記第2データ書き込み経路は、前記データチップパッドとは異なるチップ・ターミナルから、前記メモリセル・アレイまで拡張されることを特徴とする半導体メモリチップ。 - 前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記データチップパッドを含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリチップ。
- 前記貫通電極は、前記データチップパッドと接触することを特徴とする請求項1または2に記載の半導体メモリチップ。
- 前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記第1データ書き込み経路内の前記データ入力バッファと前記ラッチとの間に配されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体メモリチップ。
- 前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記第1データ書き込み経路内の前記ラッチと前記メモリセル・アレイとの間に配されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体メモリチップ。
- 前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記第1データ書き込み経路内の前記データチップパッドと前記データ入力バッファとの間に配されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体メモリチップ。
- 前記半導体メモリチップは、
前記ラッチに連結され、nビットデータのmピースを順次に受信し、前記nビットデータのmピースをmXnビット並列データとして出力するデシリアライザと、
前記デシリアライザから出力される前記mXnビット並列データを受信するために連結され、前記メモリセル・アレイの行(row)についての前記mXnビット並列データの位置を調整する書き込みデータ整列回路と、
前記mXnビットデータを受信し、前記mXnビットデータを増幅するローカル・センスアンプと、
前記ローカル・センスアンプから前記増幅されたmXnビットデータを受信するために連結され、前記増幅されたmXnビットデータを前記メモリセル・アレイに提供するローカル入出力データバスと、を具備することを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリチップ。 - 前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記ローカル・センスアンプと前記ラッチとの間に配されることを特徴とする請求項7に記載の半導体メモリチップ。
- 前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記ローカル・センスアンプと前記書き込みデータ整列回路との間に配されることを特徴とする請求項7に記載の半導体メモリチップ。
- 前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記デシリアライザと前記ラッチとの間に連結されることを特徴とする請求項7に記載の半導体メモリチップ。
- 前記貫通電極は、前記ローカル入出力データバスに電気的に連結されることを特徴とする請求項7に記載の半導体メモリチップ。
- 半導体メモリチップであって、
データチップパッドと、
前記データチップパッドに連結されるデータ出力バッファと、
メモリセル・アレイと、
前記メモリセル・アレイに連結され、前記メモリセル・アレイから出力されるデータをラッチし、前記ラッチされたデータを前記データ出力バッファに提供するラッチと、を具備し、
前記ラッチと前記データ出力バッファは、前記メモリセル・アレイから前記データチップパッドまでの第1データ読み取り経路の部分であり、
前記半導体メモリチップは、前記第1データ読み取り経路の電気的なノードに電気的に連結され、前記第1データ読み取り経路の一部分を含む第2データ読み取り経路を形成する貫通電極をさらに具備し、
前記第2データ読み取り経路は、前記データチップパッドとは異なるチップ・ターミナルから、前記メモリセル・アレイまで拡張されることを特徴とする半導体メモリチップ。 - 前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記データチップパッドを含むことを特徴とする請求項12に記載の半導体メモリチップ。
- 前記貫通電極は、前記データチップパッドと接触することを特徴とする請求項12または13に記載の半導体メモリチップ。
- 前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記第1データ読み取り経路内の前記ラッチと前記メモリセル・アレイとの間に配されることを特徴とする請求項12〜14のいずれか一項に記載の半導体メモリチップ。
- 前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記ラッチのデータノードであることを特徴とする請求項12〜14のいずれか一項に記載の半導体メモリチップ。
- 前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記第1データ読み取り経路内の前記ラッチと前記データ出力バッファとの間に配されることを特徴とする請求項12〜14のいずれか一項に記載の半導体メモリチップ。
- 前記半導体メモリチップは、
前記メモリセル・アレイから受信されるnビットデータのmピースを受信するために連結されるローカル入出力データバスと、
前記nビットデータのmピースを受信して増幅し、前記増幅されたnビットデータのmピースを前記ラッチに提供するローカル・センスアンプと、
前記ラッチに連結され、前記nビットデータのmピースを受信し、前記nビットデータのmピースの順序で、前記nビットデータのmピースを出力するシリアライザと、を具備することを特徴とする請求項12に記載の半導体メモリチップ。 - 前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記第1データ読み取り経路内の前記ローカル・センスアンプと前記ラッチとの間に配されることを特徴とする請求項18に記載の半導体メモリチップ。
- 前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記第1データ読み取り経路内の前記ラッチと前記シリアライザとの間に配されることを特徴とする請求項18に記載の半導体メモリチップ。
- 前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記第1データ読み取り経路内の前記シリアライザと前記データ出力バッファとの間に連結されることを特徴とする請求項18に記載の半導体メモリチップ。
- 前記貫通電極は、前記ローカル入出力データバスに電気的に連結されることを特徴とする請求項18に記載の半導体メモリチップ。
- 半導体メモリチップであって、
チップパッドと、
前記チップパッドに連結される入力バッファと、
前記入力バッファに連結され、前記入力バッファのデータをラッチするラッチと、
メモリセル・アレイと、
前記メモリセル・アレイの選択された行にアクセスするロウ・デコーダと、
前記メモリセル・アレイの選択された列(column)にアクセスするカラム・デコーダと、を具備し、
前記入力バッファと前記ラッチは、前記チップパッドから第1デコーダまでの第1情報入力経路の部分であり、前記第1デコーダは、前記ロウ・デコーダまたは前記カラム・デコーダによって構成され、
前記第1情報入力経路は、アドレス経路とコマンド経路のうち少なくとも一つで構成され、
前記半導体メモリチップは、前記第1情報入力経路の電気的なノードに電気的に連結され、前記第1情報入力経路の一部分を含む第2情報入力経路を形成する貫通電極をさらに具備し、
前記第2情報入力経路は、前記チップパッドとは異なるチップ・ターミナルから、前記第1デコーダまで拡張されることを特徴とする半導体メモリチップ。 - 前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記チップパッドを含むことを特徴とする請求項23に記載の半導体メモリチップ。
- 前記貫通電極は、前記チップパッドと接触することを特徴とする請求項23または24に記載の半導体メモリチップ。
- 前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記第1情報入力経路内の前記入力バッファと前記ラッチとの間に配されることを特徴とする請求項23〜25のいずれか一項に記載の半導体メモリチップ。
- 前記半導体メモリチップは、
前記ラッチに連結され、前記ラッチからコマンド情報を受信し、前記第1デコーダを制御する出力を含むコマンド・デコーダをさらに具備し、
前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記第1情報入力経路内の前記ラッチと前記コマンド・デコーダとの間に配されることを特徴とする請求項23〜25のいずれか一項に記載の半導体メモリチップ。 - 前記半導体メモリチップは、
前記ラッチに連結され、前記ラッチからアドレス情報を受信し、前記第1デコーダを制御する出力を含むアドレスバッファをさらに具備し、
前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記第1情報入力経路内の前記ラッチと前記アドレスバッファとの間に配されることを特徴とする請求項23〜25のいずれか一項に記載の半導体メモリチップ。 - 前記半導体メモリチップは、
前記ラッチに連結され、前記ラッチからコマンド情報を受信し、前記第1デコーダを制御する出力を含むコマンド・デコーダをさらに具備し、
前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記第1情報入力経路内の前記コマンド・デコーダと前記第1デコーダとの間に配されることを特徴とする請求項23〜25のいずれか一項に記載の半導体メモリチップ。 - 前記半導体メモリチップは、
前記ラッチに連結され、前記ラッチからアドレス情報を受信し、前記第1デコーダを制御する出力を含むアドレスバッファをさらに具備し、
前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記第1情報入力経路内の前記アドレスバッファと前記第1デコーダとの間に配されることを特徴とする請求項23〜25のいずれか一項に記載の半導体メモリチップ。 - 前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記第1情報入力経路内の前記第1デコーダと前記メモリセル・アレイ間に配されることを特徴とする請求項23〜25のいずれか一項に記載の半導体メモリチップ。
- 半導体メモリチップであって、
クロックチップパッドと、
前記クロックチップパッドに連結される入力を有するクロックバッファと、
前記クロックバッファの出力に連結される入力を有し、内部クロック信号を提供する出力を有する内部クロック発生部と、
前記内部クロック発生部から出力される前記内部クロック信号を受信する入力を有するコマンド・デコーダと、
メモリセル・アレイと、
前記コマンド・デコーダに応答し、前記メモリセル・アレイの選択された行にアクセスするロウ・デコーダと、
前記コマンド・デコーダに応答し、前記メモリセル・アレイの選択された列にアクセスするカラム・デコーダと、を具備し、
前記クロックバッファと前記内部クロック発生部は、前記クロックチップパッドから前記コマンド・デコーダまでの第1クロック経路を構成し、
前記半導体メモリチップは、前記第1クロック経路の電気的なノードに電気的に連結され、前記第1クロック経路の一部分を含む第2クロック経路を形成する貫通電極をさらに具備し、
前記第2クロック経路は、前記クロックチップパッドとは異なるチップ・ターミナルから、前記コマンド・デコーダまで拡張されることを特徴とする半導体メモリチップ。 - 前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記クロックチップパッドを含むことを特徴とする請求項32に記載の半導体メモリチップ。
- 前記貫通電極は、前記クロックチップパッドと接触することを特徴とする請求項32または33に記載の半導体メモリチップ。
- 前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記第1クロック経路内の前記クロックバッファと前記内部クロック発生部との間に配されることを特徴とする請求項32〜34のいずれか一項に記載の半導体メモリチップ。
- 前記貫通電極に電気的に連結される前記電気的なノードは、前記第1クロック経路内の前記内部クロック発生部と前記コマンド・デコーダとの間に配されることを特徴とする請求項32〜34のいずれか一項に記載の半導体メモリチップ。
- 半導体集積回路であって、
チップパッドと、
メモリセル・アレイと、
前記メモリセル・アレイのセルを選択するデコーダと、
前記チップパッドと、前記メモリセル・アレイと前記デコーダとのうち少なくとも一つとの間に拡張される第1情報経路と、
前記チップパッドとは異なるチップ・ターミナルから、前記第1情報経路のノードまで拡張され、前記第1情報経路の一部分を含む第2情報経路を形成する貫通電極と、
前記半導体集積回路がマスターチップであるかスレーブチップであるかを識別するチップ識別出力を有するチップ識別プログラマブル回路と、
前記半導体集積回路がマスターチップであることを示すチップ識別出力に応答し、前記集積回路に対する外部通信のための通信経路として、前記チップパッドを含む前記第1情報経路を選択し、前記半導体集積回路がスレーブチップであることを示すチップ識別出力に応答し、前記集積回路に対する外部通信のための通信経路として、前記貫通電極を含む前記第2情報経路を選択する選択回路と、を具備することを特徴とする半導体集積回路。 - 前記選択回路は、一回に前記第1情報経路と前記第2情報経路とのうちいずれか一方だけを選択することを特徴とする請求項37に記載の半導体集積回路。
- 前記チップパッドは、データパッドであり、前記第1情報経路は、前記チップパッドから前記メモリセル・アレイまでのデータ入力経路であることを特徴とする請求項37または38に記載の半導体集積回路。
- 前記チップパッドは、データパッドであり、前記第1情報経路は、前記メモリセル・アレイから前記データパッドまでのデータ出力経路であることを特徴とする請求項37または38に記載の半導体集積回路。
- 前記チップパッドは、コマンドパッドであり、前記第1情報経路は、前記コマンドパッドから前記デコーダまでのコマンド経路であることを特徴とする請求項37または38に記載の半導体集積回路。
- 前記チップパッドは、アドレスパッドであり、前記第1情報経路は、前記アドレスパッドから前記デコーダまでのアドレス経路であることを特徴とする請求項37または38に記載の半導体集積回路。
- 前記選択回路は、マルチプレクサによって構成され、情報入力と前記マルチプレクサの第1情報出力は、第1情報経路の部分であり、前記情報入力と前記マルチプレクサの第2情報出力は、第2情報経路の部分であり、前記マルチプレクサの制御入力は、前記半導体集積回路がスレーブチップであることを示すチップ識別出力に応答し、前記情報入力を前記第1情報出力と前記第2情報出力とのうちいずれか一つと連結させることを特徴とする請求項37に記載の半導体集積回路。
- 前記貫通電極は、前記マルチプレクサの前記第2情報出力を構成するノードに直接連結されることを特徴とする請求項43に記載の半導体集積回路。
- 前記選択回路は入力、出力そしてハイ・インピーダンス制御入力を有するtri−stateドライバによって構成され、前記tri−stateドライバの入力と出力は、前記第1情報経路の部分を形成し、前記制御入力は、前記チップ識別出力に応答し、前記tri−stateドライバの出力をハイ・インピーダンス状態にすることを特徴とする請求項37に記載の半導体集積回路。
- 前記チップ識別プログラマブル回路は、一つ以上のヒューズから構成されることを特徴とする請求項37〜45のいずれか一項に記載の半導体集積回路。
- 前記チップ識別プログラマブル回路は、外部コマンドによってプログラムされるモードレジスタ・セットによって構成されることを特徴とする請求項37〜45のいずれか一項に記載の半導体集積回路。
- 半導体パッケージであって、
第2チップとスタックされた少なくとも1つの第1チップを具備し、前記第1チップ及び第2チップは、同じチップ設計がされ、前記第1チップ及び第2チップそれぞれは、
チップパッドと、
メモリセル・アレイと、
前記メモリセル・アレイのセルを選択するデコーダと、
前記チップパッドと、前記メモリセル・アレイと前記デコーダとのうち少なくとも一つとの間に拡張される第1情報経路と、
前記チップパッドとは異なるチップ・ターミナルから、前記第1情報経路のノードまで拡張され、前記第1情報経路の一部分を含む第2情報経路を形成する貫通電極と、
前記チップがマスターチップであるかスレーブチップであるかを識別するチップ識別出力を有するチップ識別プログラマブル回路と、を具備し、
前記第1チップの前記貫通電極は、前記第2チップの貫通電極と連結され、前記半導体パッケージの貫通電極連結を構成し、
前記第1チップの前記チップ識別プログラマブル回路は、前記第1チップが前記マスターチップであることを示し、
前記第2チップの前記第2チップ識別プログラマブル回路は、前記第2チップが前記スレーブチップであることを示し、前記スレーブチップは、前記貫通電極連結によって受信される信号によって、前記マスターチップに応答することを特徴とする半導体パッケージ。 - 前記第1チップ及び第2チップそれぞれの前記チップ識別プログラマブル回路は、ヒューズ・セットであることを特徴とする請求項48に記載の半導体パッケージ。
- 前記第1チップ及び第2チップそれぞれの前記チップ識別プログラマブル回路は、モードレジスタ・セットであることを特徴とする請求項48に記載の半導体パッケージ。
- 前記第1チップ及び第2チップそれぞれは、
複数個のデータチップパッドと、
複数個のデータ入力バッファと、
複数個のデータラッチと、を具備し、
それぞれのデータチップパッドは、該当するデータ入力バッファに連結され、それぞれのデータ入力バッファは、データ入力経路の第1部分で、該当するデータラッチに連結され、
前記パッケージは、複数個の第1貫通電極連結をさらに具備し、それぞれの貫通電極連結は、前記第2チップの貫通電極と連結される前記第1チップの貫通電極によって構成され、前記それぞれの貫通電極連結は、前記第1チップの前記データ入力経路の該当する第1部分と、前記第2チップの前記データ入力経路の該当する第1部分とに連結されることを特徴とする請求項48に記載の半導体パッケージ。 - 前記第1チップ及び第2チップそれぞれは、
複数個のデータチップパッドと、
複数個のデータ入力バッファと、
複数個のデータラッチと、
データ・ストローブパッドと、
前記データ・ストローブパッドと連結される入力と、前記複数個のデータラッチの入力を制御するために連結される出力とを有するデータストローブバッファと、を具備し、
それぞれのデータチップパッドは、該当するデータ入力バッファに連結され、それぞれのデータ入力バッファは、該当するデータラッチに連結され、
前記パッケージは、貫通電極連結をさらに具備し、前記それぞれの貫通電極連結は、前記第1チップの前記データストローブバッファの出力と、前記第2チップの前記データストローブバッファの出力とを連結することを特徴とする請求項48に記載の半導体パッケージ。 - 前記第1チップ及び第2チップそれぞれは、
クロックパッドと、
前記クロックパッドに連結されるクロックバッファと、
前記クロックバッファの出力に連結される入力を有する内部クロック発生部と、を具備し、
前記パッケージは、貫通電極連結をさらに具備し、前記貫通電極連結は、前記第1チップの前記クロックバッファの出力と、前記第2チップの前記クロックバッファの出力とを連結することを特徴とする請求項48に記載の半導体パッケージ。 - 前記第1チップ及び第2チップそれぞれは、
複数個のアドレスチップパッドと、
複数個のアドレス入力バッファと、
複数個のアドレスラッチと、
クロックパッドと、
前記クロックパッドに連結される入力と、前記複数個のアドレスラッチの入力を制御するために連結される出力とを有するクロックバッファと、を具備し、
それぞれのアドレスチップパッドは、該当するアドレス入力バッファと連結され、それぞれのアドレス入力バッファは、アドレス経路の第1部分で、該当するアドレスラッチと連結され、
前記パッケージは、複数個の貫通電極連結をさらに具備し、それぞれの貫通電極連結は、前記第2チップの貫通電極と連結される前記第1チップの貫通電極によって構成され、前記それぞれの貫通電極連結は、前記第1チップの前記アドレス経路の該当する部分と、前記第2チップの前記アドレス経路の対応する第1部分とが連結されることを特徴とする請求項48に記載の半導体パッケージ。 - 前記第1チップ及び第2チップそれぞれは、
コマンドパッドと、
前記コマンドパッドに連結されるバッファと、
前記バッファの出力に連結される入力を有するコマンド・デコーダと、を具備し、
前記パッケージの貫通電極連結は、前記第1チップの前記バッファの出力と、前記第2チップの前記バッファの出力とを連結することを特徴とする請求項48に記載の半導体パッケージ。 - 前記第1チップ及び第2チップそれぞれは、
前記メモリセル・アレイから出力されるデータをラッチするために連結される複数個のデータラッチを具備し、
前記パッケージは、複数個の貫通電極連結をさらに具備し、それぞれの貫通電極連結は、前記第2チップの貫通電極と連結される前記第1チップの貫通電極によって構成され、前記それぞれの貫通電極連結は、前記第1チップの該当するデータラッチのデータノードと、前記第2チップの該当するデータラッチの対応するデータノードとを連結することを特徴とする請求項48に記載の半導体パッケージ。 - 前記第1チップ及び第2チップそれぞれは、
前記メモリセル・アレイからデータを受信する入力を有し、第1信号ラインと連結される第1出力を有し、第2信号ラインと連結される第2出力を有し、前記チップ識別出力に応答して信号を受信するために連結される制御入力を有し、前記チップ識別出力によって、前記チップがマスターチップとして識別されるとき、前記第1出力を選択し、前記チップ識別出力によって、前記チップがスレーブチップとして識別されるとき、前記第2出力を選択するデマルチブレクサと、
前記第1信号ラインに連結される第1入力を有し、前記第2信号ラインに連結される第2入力を有し、データラッチに連結される出力を有するマルチプレクサと、を具備し、
前記パッケージの貫通電極連結は、前記第1チップと前記第2チップとの前記第2信号ラインを連結することを特徴とする請求項48に記載の半導体パッケージ。 - 半導体装置であって、
第1貫通電極と、第1半導体チップの第1表面に前記第1貫通電極に連結されるビアパッドとを有する前記第1半導体チップと、
第2半導体チップの前記第1表面上に、第1距離だけ拡張された第2貫通電極を有する前記第2半導体チップと、
バンプと、を具備し、
前記第1半導体チップは、前記第2半導体チップに積層され、前記第1半導体チップの前記第1表面は、前記第2半導体チップの前記第1表面と対向し、
前記第1半導体チップの前記バンプと前記パッドは、前記第1貫通電極と前記第2貫通電極とを連結させ、
前記バンプの高さは、前記第1距離より小さいことを特徴とする半導体メモリ装置。 - 前記第1距離に対する前記バンプの高さの比は、0.5より小さいことを特徴とする請求項58に記載の半導体メモリ装置。
- 前記第1半導体チップは、チップパッドと、前記チップパッドに連結されるバンプとを具備し、
前記チップパッドに連結される前記バンプの高さは、前記第1距離より小さいことを特徴とする請求項58に記載の半導体メモリ装置。 - 前記チップパッドに対する前記バンプの高さの比は、0.5より小さいことを特徴とする請求項60に記載の半導体メモリ装置。
- 前記チップパッドに連結される前記バンプは、前記第1半導体チップ外部の電気的なコンポーネントに連結されないことを特徴とする請求項60に記載の半導体メモリ装置。
- 前記チップパッドに連結される前記バンプは、絶縁物質によって、前記第2半導体チップの前記第1表面と分離されることを特徴とする請求項60に記載の半導体メモリ装置。
- 前記絶縁物質は、前記チップパッドに連結される前記バンプを取り囲むアンダーフィル物質であることを特徴とする請求項63に記載の半導体メモリ装置。
- 前記絶縁物質は、空気であることを特徴とする請求項63に記載の半導体メモリ装置。
- 半導体装置パッケージの製造方法であって、
第1貫通電極、前記第1貫通電極に電気的に連結されるビアパッド、および前記ビアパッド上にバンプを含む第1半導体チップを提供する段階と、
第2貫通電極を含む第2半導体チップを提供する段階と、
前記ビアパッドと前記バンプとを利用し、前記第1貫通電極と第2貫通電極とを連結することを含んで前記第1半導体チップと、前記第2半導体チップとを連結する段階と、を含み、
前記連結する段階で、前記バンプの高さと前記ビアパッドの高さとの比は、1より小さいことを特徴とする半導体装置パッケージの製造方法。 - 前記第1半導体チップは、前記第1半導体チップのような表面に、前記ビアパッドとしてチップパッドと、前記チップパッド上のバンプとをさらに具備し、前記連結する段階後に、前記チップパッド上の前記バンプは、前記第2半導体チップと分離されることを特徴とする請求項66に記載の半導体装置パッケージの製造方法。
- 前記チップパッドの幅は、前記ビアパッドの幅より大きいことを特徴とする請求項67に記載の半導体装置パッケージの製造方法。
- 前記第1半導体チップと前記第2半導体チップは、同じ設計がされていることを特徴とする請求項67に記載の半導体装置パッケージの製造方法。
- 前記第1半導体チップと前記第2半導体チップは、対応するパッドのパッド位置が、同一であることを特徴とする請求項67に記載の半導体装置パッケージの製造方法。
- 前記半導体装置パッケージの製造方法は
前記第1半導体チップの前記チップパッドと、前記バンプの相対的な位置に対応する第2チップパッドと、前記第2チップパッド上のバンプとを利用し、前記第2半導体チップをパッケージ基板に電気的に連結する段階をさらに含むことを特徴とする請求項70に記載の半導体装置パッケージの製造方法。 - 前記半導体装置パッケージの製造方法は
第2チップパッドと、前記第2チップパッド上のバンプとを利用し、前記第2半導体チップをパッケージ基板に電気的に連結する段階をさらに含み、
前記第2半導体チップを電気的に連結する段階後に、前記第2半導体チップの第2ビアパッド上のバンプは、前記半導体基板と分離されることを特徴とする請求項67に記載の半導体装置パッケージの製造方法。 - 半導体チップであって、
第1コードと第2コードのうちいずれか1つの入力を有し、前記半導体チップは、前記第1コードに応答し、前記半導体チップをマスターチップとして動作させ、前記第2コードに応答し、前記半導体チップをスレーブチップとして動作させるプログラム部と、
前記プログラム部の出力を受信するスイッチと、
前記スイッチに連結されるテストパッドと、を具備し、
前記スイッチは、前記テストパッドが第1状態であるとき、前記プログラム部の前記出力を中継するように連結され、前記テストパッドが第2状態であるとき、第3コードを中継するように連結され、前記第3コードに応答し、前記半導体チップは、前記半導体チップを、マスターとスレーブとのうちいずれか一つで動作させることを特徴とする半導体チップ。 - 前記第3コードは、前記第1コードと同一であることを特徴とする請求項73に記載の半導体チップ。
- 前記第3コードは、前記第2コードと同一であることを特徴とする請求項73に記載の半導体チップ。
- 半導体装置の製造方法であって、
第1コードと第2コードとのうちいずれか一つで半導体チップをプログラムするが、前記半導体チップは、前記第1コードに応答し、前記半導体チップがマスターチップとして動作し、前記第2コードに応答し、前記半導体チップがスレーブチップとして動作するようにプログラムする段階と、
前記半導体チップをプログラムした後、前記プログラム段階でプログラムされた前記コードにかかわらず、マスターとして前記半導体チップを動作させ、前記プログラム段階でプログラムされたコードがプログラムされたままである間、半導体チップをテストする段階と、
前記テスト段階後に、前記半導体チップをパッケージする段階と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記半導体チップは、マスターまたはスレーブとして動作させるノードの信号に応答し、前記半導体チップをプログラミングした結果による信号を、前記半導体チップがマスターとして動作するように設定された信号に替える前記テスト段階であることを特徴とする請求項76に記載の半導体装置の製造方法。
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