JP2018153809A5 - - Google Patents

Claims (17)

1. 基板上に材料層を形成するためのシステムであって、前記システムは、
   複数のコーティングシステムと、
   基板を保持するように構成された基板ハンドラと
   を備え、
   各コーティングシステムは、
   前記基板の表面上に材料を堆積させるように構成された印刷システムを備える印刷ゾーンと、
   前記材料から固体層を形成するように前記基板の前記表面上に堆積させられた前記材料を処置するように構成された処置システムを備える処置ゾーンと、
   前記印刷ゾーンと前記処置ゾーンとの間で前記基板を移送するように構成された基板運搬装置と
   を備え、
   前記基板ハンドラは、前記複数のコーティングシステムの各々に前記基板をローディングすること、および前記複数のコーティングシステムの各々から前記基板をアンローディングすることを行うように選択的に位置付け可能である、システム。
2. 前記印刷ゾーンは、さらに、ガスクッションを分散させることにより前記基板を浮揚させるように構成された基板支持装置を備える、請求項１に記載のシステム。
3. 前記処置ゾーンは、さらに、ガスクッションを分散させることにより前記基板を浮揚させるように構成された基板支持装置を備える、請求項１に記載のシステム。
4. 前記基板運搬装置は、前記印刷ゾーンと前記処置ゾーンとの間での運搬中に前記基板を浮揚させるように構成されている、請求項１に記載のシステム。
5. 前記基板ハンドラを収納する移送モジュールをさらに備え、前記移送モジュールは、制御された環境を維持するように構成されており、前記複数のコーティングシステムの各々は、制御された環境を維持するように構成されたエンクロージャ内に収納され、前記移送モジュールは、前記複数のコーティングシステムの各々が内部に収納されている前記エンクロージャに作用可能に連結される、請求項１に記載のシステム。
6. 前記複数のコーティングシステムの各々が内部に収納されている前記エンクロージャと前記移送モジュールとに作用可能に連結された１つ以上の基板保持モジュールをさらに備える、請求項５に記載のシステム。
7. 前記１つ以上の基板保持モジュールの各々は、積層配列の複数の基板保持領域を備える、請求項６に記載のシステム。
8. 前記１つ以上の基板保持モジュールの各々は、基板を浮揚させるのに十分なガスクッションを分散させるように構成されている、請求項６に記載のシステム。
9. 前記処置システムは、前記基板上に堆積させられた前記材料から前記固体層を形成するための乾燥、焼き付け、および化学反応のうちの少なくとも１つから選択された処置プロセスを実行するように構成されている、請求項１に記載のシステム。
10. 前記基板ハンドラは、トラックに沿って平行移動するように構成されている、請求項１に記載のシステム。
11. 基板上に材料層を形成するためのシステムであって、前記システムは、
    印刷ゾーンと、
    処置ゾーンと、
    保持ゾーンと、
    基板ハンドラと
    を備え、
    前記印刷ゾーンは、
    前記基板の表面上に材料を堆積させるように構成された印刷システムと、
    前記基板を支持するためのガスクッションを確立するように構成された第１の基板浮揚構造と
    を備え、
    前記処置ゾーンは、
    前記基板上に固体層を形成するように前記基板の前記表面上に堆積させられた前記材料を処置するように構成された処置システムと、
    前記基板を支持するためのガスクッションを確立するように構成された第２の基板浮揚構造と
    を備え、
    前記保持ゾーンは、前記基板を保持するように構成されており、前記印刷ゾーンと前記処置ゾーンとに作用可能に連結され、前記保持ゾーンは、前記基板を支持するためのガスクッションを確立するように構成された第３の基板浮揚構造を備え、
    前記基板ハンドラは、前記印刷ゾーン、前記処置ゾーン、および前記保持ゾーンのうちの１つ以上に前記基板をローディングすること、ならびに前記印刷ゾーン、前記処置ゾーン、および前記保持ゾーンのうちの１つ以上から前記基板をアンローディングすることを行うように選択的に位置付け可能である、システム。
12. 前記印刷ゾーンと、前記保持ゾーンおよび前記処置ゾーンのうちの少なくとも１つとの間で前記基板を回転可能に運搬するように位置付けられた回転可能構造をさらに備える、請求項１１に記載のシステム。
13. 前記印刷ゾーン、前記保持ゾーン、および前記処置ゾーンは、前記基板ハンドラによってアクセス可能な円弧に沿って前記基板ハンドラから半径方向外向きに位置している、請求項１１に記載のシステム。
14. 前記保持ゾーンは、積層配列の複数の保持領域を備え、前記複数の保持領域は、前記印刷ゾーンと同一の平面内で前記複数の保持領域のうちの１つを選択的に整列させるために下降または上昇させられるように構成されている、請求項１１に記載のシステム。
15. 前記印刷ゾーンと前記処置ゾーンとは、互いに異なる高度に位置している、請求項１１に記載のシステム。
16. 前記印刷ゾーン、前記保持ゾーン、および前記処置ゾーンは、Ｕ字形状に配列されており、前記印刷ゾーンおよび前記処置ゾーンは、前記Ｕ字形状のレッグとして配列されており、前記保持ゾーンは、前記印刷ゾーンおよび前記処置ゾーンを接続し、
    前記基板ハンドラは、前記保持ゾーンと反対側で前記Ｕ字形状の端に配置されている、請求項１１に記載のシステム。
17. 前記印刷ゾーン、前記保持ゾーン、および前記処置ゾーンは、線形配列で直列に位置しており、
    前記基板ハンドラは、トラックに沿って平行移動することにより前記印刷ゾーン、前記保持ゾーン、および前記処置ゾーンの各々にアクセスするように構成されている、請求項１１に記載のシステム。