KR20220005790A - 약액 토출 장치 - Google Patents

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양진혁
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Abstract

약액 토출 장치는 스테이지, 약액 토출부, 및 방향 전환부를 포함할 수 있다. 상기 스테이지는 제1 방향으로 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 배치되는 제1 픽셀 및 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 배치되는 제2 픽셀이 한 장에 형성되는 기판이 놓이도록 구비될 수 있다. 상기 약액 토출부는 상기 제1 픽셀의 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 상기 제1 방향으로 상기 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 상기 방향 전환부는 상기 제2 픽셀이 상기 제2 방향으로부터 상기 제1 방향으로 배치되게 상기 스테이지에 놓이는 상기 기판의 방향을 전환시키도록 구비될 수 있다.

Description

약액 토출 장치{APPARATUS FOR DISPENSING DROPLET}
본 발명은 약액 토출 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 서로 다른 방향으로 배치되는 픽셀들이 한 장에 형성되는 기판에 약액을 토출하는 약액 토출 장치에 관한 것이다.
유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자로 제조하기 위한 기판은 대면적화 되어 가고 있는 추세에 있다.
대면적화 추세에 있는 기판은 한 장의 기판으로부터 보다 많은 패널들을 획득하기 위하여 한 장의 기판에 서로 다른 크기를 갖는 패널들이 배치되도록 디자인될 수 있다. 일예로, 한 장의 기판에 65인치 패널들 및 32인치 패널들이 배치되도록 디자인될 수 있다.
서로 다른 크기를 갖는 패널들에는 서로 다른 방향을 갖는 픽셀들이 배치될 수 있다. 즉, 65인치 패널들에서의 픽셀들 및 32인치 패널들에서의 픽셀들이 서로 다른 방향을 갖도록 배치될 수 있는 것이다.
이와 같이, 대면적화 추세에 있는 한 장의 기판에는 서로 다른 방향을 갖는 픽셀들이 함께 배치될 수 있는 것이다.
그리고 서로 다른 방향으로 배치되는 픽셀들 각각에는 적어도 두 군데에 약액이 토출될 수 있다. 예를 들면, 65인치 패널들에서의 픽셀들에는 제1 방향으로 적어도 두 군데에 약액이 토출될 수 있고, 32인치 패널들에서의 픽셀들에는 제2 방향으로 적어도 두 군데에 약액이 토출될 수 있다.
그러나 약액 토출 장치에서의 약액 토출부는 어느 한 방향으로만 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 즉, 약액 토출부는 언급한 제1 방향으로만 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 구비되거나 또는 제2 방향으로만 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 구비될 수 있다.
이에, 한 장의 기판에 서로 다른 방향을 갖는 픽셀들에 약액을 토출하는 공정을 수행하기 위해서 종래에는 제1 방향으로만 적어도 두 군데에 약액을 토출하는 약액 토출부가 구비되는 약액 토출 장치 및 제2 방향으로만 적어도 두 군데에 약액을 토출하는 약액 토출부가 구비되는 약액 토출 장치 각각을 마련해야 할 것이다.
본 발명의 일 과제는 한 대만으로도 대면적화 추세에 있는 한 장의 기판에 함께 배치되는 서로 다른 방향을 갖는 픽셀들 각각에 용이하게 약액을 토출할 수 있는 약액 토출 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 스테이지, 약액 토출부, 및 방향 전환부를 포함할 수 있다. 상기 스테이지는 제1 방향으로 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 배치되는 제1 픽셀 및 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 배치되는 제2 픽셀이 한 장에 형성되는 기판이 놓이도록 구비될 수 있다. 상기 약액 토출부는 상기 제1 픽셀의 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 상기 제1 방향으로 상기 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 상기 방향 전환부는 상기 제2 픽셀이 상기 제2 방향으로부터 상기 제1 방향으로 배치되게 상기 스테이지에 놓이는 상기 기판의 방향을 전환시키도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 방향 전환부는 상기 스테이지에 놓이는 상기 기판의 이면 일부를 파지할 수 있게 상기 스테이지의 일부 영역에 구비되는 파지부, 및 상기 파지부를 회전시키는 회전부로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 파지부는 상기 기판의 파지시 상기 기판의 이면 일부를 진공 흡인하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 파지부는 상기 기판의 파지시 상기 기판의 이면 일부를 진공 흡인 및 에어 분사가 함께 이루어지도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 기판의 방향 전환시 상기 스테이지를 벗어나는 상기 기판의 가장자리 영역이 아래로 처지는 것을 방지할 수 있게 상기 스테이지를 벗어나는 상기 기판의 가장자리 영역이 지나가는 상기 스테이지의 바깥쪽 영역에 처짐 방지부를 더 구비할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 처짐 방지부는 상기 스테이지를 벗어나는 상기 기판의 가장자리 영역 이면으로 에어를 분사하도록 구비될 수 있다.
본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 다른 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 스테이지, 이송부, 약액 토출부, 및 방향 전환부를 포함할 수 있다. 상기 스테이지는 제1 방향으로 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 배치되는 제1 픽셀 및 상기 제1 방향과는 수직하는 제2 방향으로 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 배치되는 제2 픽셀이 한 장에 형성되는 장변 및 단변을 갖는 직사각형의 기판이 놓이도록 구비될 수 있다. 상기 이송부는 상기 기판의 장변 단부 또는 상기 기판의 단변 단부를 파지하여 상기 스테이지를 따라 상기 기판을 이송시키도록 구비될 수 있다. 상기 약액 토출부는 상기 이송부에 의해 이송되는 상기 기판의 제1 픽셀의 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 상기 제1 방향으로 상기 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 상기 방향 전환부는 상기 제2 픽셀이 상기 제2 방향으로부터 상기 제1 방향으로 배치되게 상기 스테이지에 놓이는 상기 기판의 방향을 수직 전환시키도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 방향 전환부는 상기 스테이지에 놓이는 상기 기판의 이면 중심 영역을 진공 흡인으로 파지할 수 있게 상기 기판의 이면 중심 영역과 마주하는 상기 스테이지의 일부 영역에 구비되는 파지부, 및 상기 파지부를 회전시키는 회전부로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 방향 전환부는 상기 스테이지에 놓이는 상기 기판의 이면 외곽 영역을 진공 흡인으로 파지할 수 있게 상기 기판의 이면 외곽 영역과 마주하는 상기 스테이지의 일부 영역에 구비되는 파지부, 및 상기 파지부를 회전시키는 회전부로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 기판의 이면 외곽 영역은 상기 기판의 중심 영역으로부터 연장되는 장축 또는 단축의 선상에 위치할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 파지부는 상기 기판의 파지시 상기 진공 흡인 및 에어 분사가 함께 이루어지도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 기판의 방향을 전환시킴에 따라 상기 이송부에 파지되는 상기 기판의 장변 단부가 상기 기판의 단변 단부로 변환되거나 또는 상기 기판의 단변 단부가 상기 기판의 장변 단부로 변환됨으로써 상기 변환된 기판의 장변 단부 또는 상기 변환된 기판의 단변 단부가 상기 이송부로부터 벗어날 경우 상기 변환된 기판의 장변 단부 또는 상기 변환된 기판의 단변 단부가 상기 이송부에 파지될 수 있게 상기 기판과 상기 이송부의 위치를 조정하는 위치 조정부를 더 구비할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 위치 조정부는 상기 기판을 상기 이송부 쪽으로 위치시킬 수 있게 상기 기판 이면에 접촉하여 회전하는 롤러로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 기판의 방향 전환시 상기 스테이지를 벗어나는 상기 기판의 가장자리 영역이 아래로 처지는 것을 방지할 수 있게 상기 스테이지를 벗어나는 상기 기판의 가장자리 영역이 지나가는 상기 스테이지의 바깥쪽 영역에 에어를 분사하도록 이루어지는 처짐 방지부를 더 구비할 수 있다.
본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 또 다른 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 부상 스테이지, 이송부, 약액 토출부, 및 방향 전환부를 포함할 수 있다. 상기 부상 스테이지는 제1 방향으로 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 배치되는 제1 픽셀 및 상기 제1 방향과는 수직하는 제2 방향으로 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 배치되는 제2 픽셀이 한 장에 형성되는 장변 및 단변을 갖는 직사각형의 기판이 부상될 수 있게 놓이도록 구비될 수 있다. 상기 이송부는 상기 기판의 장변 단부 또는 상기 기판의 단변 단부를 파지하여 상기 부상 스테이지를 따라 상기 기판을 이송시키도록 구비될 수 있다. 상기 약액 토출부는 상기 이송부에 의해 이송되는 상기 기판의 제1 픽셀의 적어도 두 군데에 약액이 토출될 수 있게 상기 제1 방향으로 상기 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 상기 방향 전환부는 상기 제2 픽셀이 상기 제2 방향으로부터 상기 제1 방향으로 배치될 수 있게 상기 기판의 중심 영역으로부터 연장되는 장축 또는 단축의 선상을 따라 상기 기판의 장변으로부터의 이격 거리와 상기 기판의 단변으로부터의 이격 거리가 같은 곳에서 상기 기판의 이면 일부를 파지하여 회전하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 이송부는 상기 기판의 일측 이면 단부를 진공 흡인할 수 있게 상기 부상 스테이지의 일측 단부에만 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액 토출부는 상기 부상 스테이지를 따라 이송되는 상기 기판의 상부에서 상기 기판으로 약액을 토출할 수 있게 갠트리 및 상기 갠트리에 배치되는 잉크젯 헤드로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 방향 전환부는 상기 스테이지에 놓이는 상기 기판의 이면 일부 영역을 진공 흡인으로 파지할 수 있게 상기 기판의 이면 일부 영역과 마주하는 상기 스테이지의 일부 영역에 구비되는 파지부, 및 상기 파지부와 직접 연결되는 직결형 모터로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 파지부는 상기 기판의 파지시 상기 진공 흡인 및 에어 분사가 함께 이루어지도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 기판의 방향 전환시 상기 스테이지를 벗어나는 상기 기판의 가장자리 영역이 아래로 처지는 것을 방지할 수 있게 상기 스테이지를 벗어나는 상기 기판의 가장자리 영역이 지나가는 상기 스테이지의 바깥쪽 영역에 에어를 분사하도록 이루어지는 처짐 방지부를 더 구비할 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 스테이지에 놓이는 기판의 방향을 전환시키도록 구비됨으로써 한 대의 약액 토출 장치만을 사용하여도 서로 다른 방향으로 픽셀들이 함께 배치되는 한 장의 기판을 대상으로 약액 토출 공정을 용이하게 수행할 수 있을 것이다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 직사각형 구성을 갖는 기판의 회전으로 인하여 기판을 이송시키는 이송 부재와의 정렬에 에러가 발생하여도 기판과 이송 부재 사이에서의 위치 조정을 수행할 수 있기 때문에 기판과 이송 부재 사이에의 정렬을 보다 용이하게 달성할 수 있을 것이다.
또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 기판을 편심 회전을 시킬 수 있기 때문에 직사각형 구성을 갖는 기판을 회전시킴에도 불구하고 기판을 이송시키는 이송 부재와의 정렬에 에러가 발생하지 않을 것이고, 이에 정렬을 위한 정렬 부재를 없앨 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치에 적용되는 기판을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 도 2의 A 부분을 확대한 도면이다.
도 4는 도 2의 B 부분을 확대한 도면이다.
도 5 내지 도 9는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치에 구비되는 방향 전환부를 설명하기 위한 도면들이다.
도 10 내지 도 12는 도 8에서의 방향 전환부를 사용하여 기판의 방향을 전환시키는 상황을 설명하기 위한 도면들이다.
도 13 및 도 14는 도 9에서의 방향 전환부를 사용하여 기판의 방향을 전환시키는 상황을 설명하기 위한 도면들이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조시 기판(10)에 약액을 토출하기 위한 것으로써, 특히 기판(10)에 형성되는 픽셀들 각각에 약액을 토출하기 위한 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에는 스테이지(11), 약액 토출부(13) 등이 구비될 수 있다.
스테이지(11)는 약액의 토출시 기판(10)이 위치하는 것으로써, 기판(10)이 놓이도록 구비될 수 있다. 스테이지(11)는 기판(10)을 수용할 수 있는 크기를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 기판(10)의 반입시 뿐만 아니라 후술하는 기판(10)의 방향을 전환시킨 이후에도 기판(10)을 수용할 수 있는 크기를 갖도록 구비될 수 있다. 스테이지(11)는 약액의 토출시 기판(10)이 부상되는 상태로 놓이도록 구비될 수 있는 것으로써, 부상 스테이지일 수 있다. 스테이지(11)는 약액이 토출되는 구간에 구비되기 때문에 기판(10)이 부상되는 높이를 보다 정밀하게 제어해야 할 필요가 있다. 이에, 스테이지(11)는 스테이지(11)에 놓이는 기판(10)을 향하여 에어 분사 및 진공 흡인을 함께 공급할 수 있는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
약액 토출부(13)는 스테이지(11)에 놓이는 기판(10)에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 약액 토출부(13)는 후술하는 이송부(19)에 의해 스테이지(11)를 따라 이송되는 기판(10)에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 약액 토출부(13)는 스테이지(11)를 따라 이송되는 기판(10) 상부에서 기판(10)을 향하여 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 이에, 약액 토출부(13)는 기판(10) 상부에 고정되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 갠트리(15) 및 갠트리(15)에 배치되는 잉크젯 헤드(17)로 이루어질 수 있다.
갠트리(15)는 기판(10)이 이송되는 방향과 수직하는 방향으로 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 잉크젯 헤드(17) 또한 갠트리(15)가 배치되는 방향과 동일한 방향으로 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 특히, 잉크젯 헤드(17)는 갠트리(15)가 배치되는 방향과 동일한 방향으로 적어도 두 군데에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 즉, 기판(10)이 이송되는 방향을 y 방향(이하, '제2 방향'이라 한다)이라 할 때 갠트리(15) 및 잉크젯 헤드(17)는 x 방향(이하, '제1 방향'이라 한다)으로 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 그리고 잉크젯 헤드(17)는 제1 방향으로 적어도 두 군데에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다.
언급한 바에 따르면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에는 제1 방향으로 적어도 두 군데에 약액을 토출하는 약액 토출부(13)가 구비될 수 있는 것이다.
그리고 잉크젯 헤드(17)는 갠트리(15)를 따라 이동하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 잉크젯 헤드(17)는 갠트리(15)에서 제1 방향을 따라 이동하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 스테이지(11)에 놓임과 아울러 스테이지(11)를 따라 이송되는 기판(10)을 향하여 기판(10) 상부에 구비되는 약액 토출부(13)로부터 제1 방향으로 적어도 두 군데에 약액을 토출하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
다만, 언급한 바에 따르면 제1 방향을 기준으로 제2 방향이 수직 방향인 것에 대해서만 설명하고 있지만 이에 한정되지는 않는다. 즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에서는 제1 방향을 기준으로 제2 방향이 다른 방향을 가질 경우를 모두 포함할 수 있다.
이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치에 적용되는 기판에 대하여 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치에 적용되는 기판을 설명하기 위한 도면이고, 도 3은 도 2의 A 부분을 확대한 도면이고, 도 4는 도 2의 B 부분을 확대한 도면이다.
먼저 도 2를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에 적용되는 기판(10)은 사각형 구조인 것으로써, 특히 장변 및 단변을 갖는 직사각형 구조일 수 있다.
기판(10)은 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자에서의 패널들을 획득하기 위한 것으로써, 한 장의 기판에는 단일 크기를 갖는 패널들이 배치되도록 디자인되는 것이 아니라 최근 대면적화 추세에 맞게 한 장의 기판으로부터 보다 많은 패널들을 획득하기 위하여 한 장의 기판에는 서로 다른 크기를 갖는 패널들이 배치되도록 디자인될 수 있다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에 적용되는 기판(10)은 한 장에 65인치 패널들과 같은 제1 패널(10a)들 및 32인치 패널들과 같은 제2 패널(10b)들이 배치되도록 디자인될 수 있을 것이다.
그리고 기판(10)은 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자에서의 패널들로 형성하기 위한 것이기에 패널들 각각에는 픽셀들이 형성될 수 있다.
특히, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에 적용되는 기판(10)에서의 서로 다른 크기를 갖는 패널들에는 서로 다른 방향을 갖는 픽셀들이 배치될 수 있다. 즉, 언급한 제1 패널들에서의 제1 픽셀(31)들 및 제2 패널들에서의 제2 픽셀(41)들이 서로 다른 방향을 갖도록 배치될 수 있을 것이다.
도 3을 참조하면, 제1 패널들에서의 제1 픽셀(31)들은 장변이 제1 방향을 향하고 단변이 제2 방향을 향하는 직사각형 구조를 갖도록 형성될 수 있다. 제1 픽셀(31)들 각각은 R 픽셀, G 픽셀, 및 B 픽셀이 하나의 팩 단위로 서로 이웃하게 나열되게 배치될 수 있다.
도 4를 참조하면, 제2 패널들에서의 제2 픽셀(41)들은 장변이 제2 방향을 향하고 단변이 제1 방향을 향하는 직사각형 구조를 갖도록 형성될 수 있다. 마찬가지로, 제2 픽셀(41)들 각각은 R 픽셀, G 픽셀, 및 B 픽셀이 하나의 팩 단위로 서로 이웃하게 나열되게 배치될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에서는 제1 픽셀(31)들 및 제2 픽셀(41)들 각각을 직사각형 구조로 한정하고 있지만, 이와 다르게 제1 픽셀(31)들은 장축이 제1 방향을 향하고 단축이 제2 방향을 향하는 타원형 구조 또는 긴 대각선이 제1 방향을 향하고 짧은 대각선이 제2 방향을 향하는 마름모 구조를 갖도록 형성될 수도 있고, 제2 픽셀(41)들은 장축이 제2 방향을 향하고 단축이 제1 방향을 향하는 타원형 구조 또는 긴 대각선이 제2 방향을 향하고 짧은 대각선이 제1 방향을 향하는 마름모 구조를 갖도록 형성될 수도 있다.
다시 도 1을 참조하면, 약액 토출부(13)는 언급한 바와 같이 제1 방향으로 적어도 두 군데에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다.
따라서 약액 토출부(13)는 제1 픽셀에 제1 방향으로 적어도 두 군데에 약액을 토출할 수는 있을 것이다. 이는, 제1 픽셀이 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 배치되도록 디자인되어 있기 때문이다.
그러나 제2 픽셀이 제2 방향으로 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 배치되도록 디자인되어 있기 때문에 제1 방향으로 적어도 두 군데에 약액을 토출하도록 구비되는 약액 토출부(13)를 사용하여 제2 픽셀에 약액을 토출할 경우 토출 불량이 발생할 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에서는 약액 토출부(13)가 고정되게 구비되기 때문에 제2 픽셀의 배치 방향을 제2 방향으로부터 제1 방향을 갖도록 전환시킬 필요가 있다.
이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치에서의 제2 픽셀의 배치 방향을 전환시키는 구성에 대하여 설명하기로 한다.
도 5 내지 도 9는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치에 구비되는 방향 전환부를 설명하기 위한 도면들이다.
먼저 도 1 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 기판(10)의 방향을 전환시킬 수 있는 방향 전환부(51)를 구비할 수 있다.
방향 전환부(51)는 스테이지(11)에 놓이는 기판(10)의 방향을 전환시키도록 구비되는 것으로써, 제2 픽셀이 제2 방향으로부터 제1 방향으로 배치되게 기판(10)의 방향을 전환시키도록 구비될 수 있다.
그리고 도 1, 도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 방향 전환부(51)는 파지부(53), 및 회전부(55)로 이루어지게 구비될 수 있다.
파지부(53)는 스테이지(11)에 놓이는 기판(10)의 이면 일부를 파지할 수 있게 스테이지(11)의 일부 영역에 구비될 수 있다. 특히 파지부(53)는 스테이지(11)의 일부 영역을 차지하는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 스테이지(11)의 일부 영역에 형성하는 홀 구조를 갖는 영역을 차지하도록 구비될 수 있다.
회전부(55)는 파지부(53)를 회전시키도록 구비될 수 있는 것으로써, 파지부(53)에 상대적으로 높은 회전력을 제공할 수 있게 파지부(53)와 직접 연결되는 구조를 갖는 직결형 모터로 이루어지도록 구비될 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 방향 전환부(51)는 스테이지(11)의 일부 영역에서 스테이지(11)에 놓이는 기판(10)의 이면을 파지한 상태에서 기판(10)을 회전시킴에 의해 스테이지(11)에 놓이는 기판(10)의 방향을 전환시키도록 구비될 수 있고, 나아가 제2 픽셀이 제2 방향으로부터 제1 방향으로 배치되게 기판(10)의 방향을 전환시키도록 구비될 수 있다.
마찬가지로, 언급한 바에 따르면 제1 픽셀의 제1 방향을 기준으로 제2 픽셀의 제2 방향이 수직 방향인 것에 대해서만 설명하고 있지만 이에 한정되지는 않는다. 따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에서는 제1 픽셀의 제1 방향을 기준으로 제2 픽셀의 제2 방향이 다른 방향을 가질 경우를 모두 포함할 수 있다.
도 1, 도 5 및 도 7을 참조하면, 스테이지(11)의 일부 영역에 형성되는 파지부(53)는 기판(10)의 이면 일부를 진공 흡인에 의해 파지하도록 구비될 수 있다.
따라서 파지부(53)는 기판(10)의 파지시 기판(10)의 이면으로 진공 흡인력을 제공할 수 있는 진공 펌프 등과 같은 부재가 연결되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
다만, 기판(10)의 파지시 기판(10)의 이면으로 진공 흡인력만을 제공할 경우 파지가 이루어지는 기판(10)의 이면에 파지로 인한 데미지가 가해할 수도 있을 것이다.
이에, 파지부(53)는 기판(10)의 파지시 기판(10)의 이면 일부를 진공 흡인과 함께 에어 분사가 이루어지도록 구비될 수 있다. 즉, 파지부(53)는 기판(10)의 이면 일부를 진공 흡인 및 에어 분사에 의해 파지하도록 구비될 수 있는 것이다.
따라서 파지부(53)는 기판(10)의 파지시 기판(10)의 이면으로 진공 흡인력을 제공할 수 있는 진공 펌프 등과 같은 부재와 함께 에어 분사력을 제공할 수 있는 에어 컴퓨레서 등과 같은 부재가 연결되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에서는 기판(10)의 파지로 인하여 기판(10)에 가해지는 데미지 정도를 고려하여 진공 흡인만을 이용하여 기판(10)을 파지할 수도 있고, 또는 진공 흡인 및 에어 분사를 함께 이용하여 기판(10)을 파지할 수도 있다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 스테이지(11) 자체의 회전을 통하여 기판(10)의 방향을 전환시키는 것이 아니라 스테이지(11)의 일부 영역을 차지하도록 구비되는 방향 전환부(51)를 사용하는 기판(10) 자체의 회전을 통하여 기판(10)의 방향을 전환시키는 것이다.
이는, 스테이지(11) 또한 대면적화 추세에 있는 기판(10)을 수용할 수 있는 크기를 갖기 때문에 스테이지(11) 자체를 회전시키는 것이 용이하지 않기 때문이다.
그리고 스테이지(11)가 부상 스테이지로 이루어질 경우 부상 스테이지는 기판(10)의 방향 전환시 방향 전환부(51)에 대응하는 기판(10)의 이면을 제외한 영역에는 기판(10)의 이면으로 에어 분사가 이루어지도록 제어될 수 있을 것이다. 즉, 부상 스테이지는 약액의 토출시에는 기판(10)의 이면을 향하여 에어 분사 및 진공 흡인이 함께 이루어지도록 하지만 기판(10)의 방향 전환시에는 기판(10)이 스테이지(11) 쪽으로 처지는 것을 방지하기만 하면 되기 때문에 기판(10)의 이면으로 에어 분사만이 단독으로 이루어지도록 제어될 수 있을 것이다.
언급한 바에 따르면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 제1 픽셀에 제1 방향으로 적어도 두 군데에 약액을 토출하고, 제2 픽셀이 제2 방향으로부터 제1 방향으로 배치되게 기판(10)의 방향을 전환시킨 후, 제2 픽셀에 제1 방향으로 적어도 두 군데에 약액을 토출할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 스테이지(11)에 놓이는 기판(10)의 방향을 전환시키도록 구비됨으로써 한 대의 약액 토출 장치(100)만을 사용하여도 서로 다른 방향으로 픽셀들이 함께 배치되는 한 장의 기판을 대상으로 약액 토출 공정을 용이하게 수행할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 방향 전환부(51)는 구비되는 위치를 달리할 수도 있다.
먼저 도 8을 참조하면, 방향 전환부(51)는 스테이지(11)에 놓이는 기판(10)의 이면 중심 영역을 파지하도록 구비될 수 있다.
언급한 기판(10)의 이면 중심 영역은 기판(10)이 직사각형으로 이루어질 때 서로 마주하는 장변 및 단변 각각의 중심을 연결하는 연결선이 서로 중첩하는 영역이거나 또는 서로 마주하는 모서리를 연결하는 대각선이 서로 중첩하는 영역일 수 있다.
그리고 방향 전환부(51)는 스테이지(11)에 놓이는 기판(10)의 이면 중심 영역을 진공 흡인으로 파지할 수 있게 기판(10)의 이면 중심 영역과 마주하는 스테이지(11)의 일부 영역에 구비되는 파지부(53), 그리고 파지부(53)를 회전시키는 회전부(55)로 이루어질 수 있다.
방향 전환부(51)는 외부로부터 스테이지(11)로 반입되어 스테이지(11)에 놓이는 곳에서 기판(10)의 이면 중심 영역을 파지할 수 있게 스테이지(11)의 일부 영역에 구비될 수 있을 것이다.
이와 달리, 방향 전환부(51)는 제1 픽셀들에 모두에 약액을 토출한 후, 기판(10)이 스테이지(11)의 설정 위치에 놓이는 곳에서 기판(10)의 이면 중심 영역을 파지할 수 있게 스테이지(11)의 일부 영역에 구비될 수 있을 것이다.
그리고 도 9를 참조하면, 방향 전환부(51)는 스테이지(11)에 놓이는 기판(10)의 이면 외곽 영역을 파지하도록 구비될 수 있다.
언급한 기판(10)의 이면 외곽 영역은 기판(10)이 직사각형으로 이루어질 때 기판(10)의 중심 영역으로부터 장변 쪽으로 직선으로 연장되는 장축 또는 기판(10)의 중심 영역으로부터 단변 쪽으로 연장되는 단축의 선상일 수 있다.
특히, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따르면, 방향 전환부(51)가 기판(10)의 이면 외곽 영역을 파지하도록 구비될 경우 방향 전환부(51)는 언급한 장축 또는 단축의 선상을 따라 기판(10)의 장변으로부터의 이격 거리(d2)와 기판(10)의 단변으로부터의 이격 거리(d1)가 같은 곳에 위치할 수도 있을 것이다.
그리고 방향 전환부(51)는 스테이지(11)에 놓이는 기판(10)의 이면 외곽 영역을 진공 흡인으로 파지할 수 있게 기판(10)의 이면 외곽 영역과 마주하는 스테이지(11)의 일부 영역에 구비되는 파지부(53), 그리고 파지부(53)를 회전시키는 회전부(55)로 이루어질 수 있다.
방향 전환부(51)는 외부로부터 스테이지(11)로 반입되어 스테이지(11)에 놓이는 곳에서 기판(10)의 이면 외곽 영역을 파지할 수 있게 스테이지(11)의 일부 영역에 구비될 수 있을 것이다.
이와 달리, 방향 전환부(51)는 제1 픽셀들에 모두에 약액을 토출한 후, 기판(10)이 스테이지(11)의 설정 위치에 놓이는 곳에서 기판(10)의 이면 외곽 영역을 파지할 수 있게 스테이지(11)의 일부 영역에 구비될 수 있을 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 방향 전환부(51)는 기판(10)의 이면 중심 영역, 또는 기판(10)의 이면 외곽 영역을 파지하도록 구비될 수 있다.
또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 방향 전환부(51)는 스테이지(11)의 일부 영역에 고정되는 구조를 갖도록 구비되거나, 또는 기판(10)의 방향 전환시 상부로 구동하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
다만, 부상 스테이지일 경우 방향 전환부(51)는 부상 스테이지의 일부 영역에 고정되는 구조를 갖도록 구비되고, 약액 토출시에는 기판(10)의 이면으로 진공 흡인 및 에어 분사를 함께 공급하게 제어되는 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 기판(10)의 방향 전환시에는 기판(10)의 이면으로 진공 흡인만을 공급하거나 또는 진공 흡인 및 에어 분사를 함께 공급하게 제어되는 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
특히, 부상 스테이지일 경우 약액 토출시에는 방향 전환부(51)로부터 공급되는 진공 흡인력 및 에어 분사력이 부상 스테이지로부터 공급되는 진공 흡인력 및 에어 분사력과 동일하게 제어되도록 구비될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 기판(10)을 이송시키면서 기판(10)에 약액을 토출할 수 있기에 기판(10)을 이송시키는 이송부(19)를 구비할 수 있다.
이송부(19)는 제2 방향으로 기판(10)을 이송시키도록 구비되는 것으로써, 스테이지(11)의 일측에서 기판(10)의 단부를 파지한 상태로 스테이지(11)를 따라 기판(10)을 이송시키도록 구비될 수 있다. 즉, 스테이지(11)의 일측에서 기판(10)의 장변 단부 또는 기판(10)의 단변 단부를 파지한 상태로 스테이지(11)를 따라 기판(10)을 이송시키도록 구비될 수 있다.
이송부(19)는 스테이지(11)의 일측에서 제2 방향을 따라 형성되는 가이드 레일, 기판(10)의 단부를 파지하는 파지 부재, 가이드 레일을 따라 파지 부재를 구동시키는 구동 부재 등으로 이루어질 수 있다. 다만, 파지 부재는 기판(10)의 단부 이면을 진공 흡인하는 부재로 이루어질 수 있을 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)를 사용하는 약액 토출 공정의 수행에서는 이송부(19)에 의해 기판(10)의 장변 단부 또는 기판(10)의 단변 단부가 파지되어야 한다.
그러나 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 기판(10)이 직사각형 구조를 가질 수 있기 때문에 기판(10)의 방향을 전환시킬 경우 기판(10)의 장변 단부 또는 기판(10)의 단변 단부가 이송부(19)로부터 벗어나는 상황이 발생할 수 있다. 즉, 기판(10)의 방향을 전환시킴에 따라 이송부(19)에 파지되는 기판(10)의 장변 단부가 기판(10)의 단변 단부로 변환될 경우 기판(10)의 단변 단부가 이송부(19)로부터 벗어나는 상황이 발생할 수 있거나, 또는 기판(10)의 방향을 전환시킴에 따라 이송부(19)에 파지되는 기판(10)의 단변 단부가 기판(10)의 장변 단부로 변환될 경우 기판(10)의 장변 단부가 이송부(19)로부터 벗어나는 상황이 발생할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 기판(10)의 방향 전환으로 인하여 기판(10)의 단부가 이송부(19)로부터 벗어날 경우 기판(10)의 단부가 이송부(19)에 파지될 수 있게 기판(10)과 이송부(19)의 위치를 조정하는 위치 조정부(23)를 구비할 수 있다.
위치 조정부(23)는 기판(10)의 방향 전환으로 인하여 변환된 기판(10)의 장변 단부 또는 변환된 기판(10)의 단변 단부가 이송부(19)로부터 벗어날 경우 변환된 기판(10)의 장변 단부 또는 변환된 기판(10)의 단변 단부가 이송부(19)에 파지될 수 있게 기판(10)과 이송부(19) 사이에서의 위치를 조정하도록 구비될 수 있다.
위치 조정부(23)는 기판(10)의 방향 전환으로 인하여 변환된 기판(10)의 장변 단부 또는 기판(10)의 단변 단부가 이송부(19) 쪽으로 움직이도록 구비될 수 있는 것으로써, 기판(10)을 이송부(19) 쪽으로 위치시킬 수 있게 기판(10)의 이면에 접촉하여 회전하는 롤러로 이루어질 수 있다.
기판(10)의 방향 전환으로 인하여 변환된 기판(10)의 장변 단부 또는 기판(10)의 단변 단부는 스테이지(11)의 단부 바깥쪽에 주로 위치하기 때문에 위치 조정부(23) 또한 스테이지(11)의 단부 바깥쪽에 위치하도록 구비될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 직사각형 구성을 갖는 기판(10)의 방향 전환시 기판(10)의 회전으로 인하여 기판(10)을 이송시키는 이송부(19)와의 정렬에 에러가 발생하여도 기판(10)과 이송부(19) 사이에서의 위치 조정을 수행할 수 있기 때문에 기판(10)과 이송부(19) 사이에의 정렬을 보다 용이하게 달성할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 기판(10)의 방향 전환시 기판(10)의 가장자리 영역이 스테이지(11)를 벗어나는 상황이 발생할 수 있는데, 특히 기판(10)이 직사각형 구조를 가질 경우에는 기판(10)의 방향 전환시 기판(10)의 가장자리 영역이 스테이지(11)를 벗어나는 상황이 보다 빈번하게 발생할 수 있을 것이다.
특히, 스테이지(11)를 벗어나는 기판(10)의 가장자리 영역은 스테이지(11)로부터의 에어 분사력을 제공받지 못하기 때문에 아래로 처짐으로써 기판(10)의 휘어지는 불량이 발생할 수 있고, 심할 경우 기판(10)이 파손되는 상황까지도 발생할 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 기판(10)의 방향 전환시 스테이지(11)를 벗어나는 기판(10)의 가장자리 영역이 아래로 처지는 것을 방지하도록 처짐 방지부(21)를 구비할 수 있다.
처짐 방지부(21)는 기판(10)의 방향 전환시 스테이지(11)를 벗어나는 기판(10)의 가장자리 영역이 지나가는 스테이지(11)의 바깥쪽 영역에 에어를 분사하도록 구비될 수 있는 것으로써, 주로 스테이지(11)의 일측 단부 또는 양측 단부 쪽에 배치되게 구비될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 기판(10)의 방향 전환만으로로 제1 방향의 제1 픽셀 및 제2 방향의 제2 픽셀이 한 장에 형성되는 기판(10)에 용이하게 약액을 토출할 수 있을 뿐만 아니라 기판(10)의 방향 전환으로 인하여 발생할 수 있는 기판(10)과 이송부(19) 사이에서의 정렬, 스테이지(11)를 벗어나는 기판(10) 가장자리의 처짐 등과 같은 문제점을 사전에 차단할 수 있을 것이다.
이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 사용하는 약액 토출 공정에 대하여 설명하기로 한다.
먼저 도 8에서와 같이 스테이지에 놓이는 기판의 이면 중심 영역을 파지하는 방향 전환부를 구비하는 약액 토출 장치를 사용하는 약액 토출 공정에 대하여 설명하기로 한다.
도 10 내지 도 12는 도 8에서의 방향 전환부를 사용하여 기판의 방향을 전환시키는 상황을 설명하기 위한 도면들이다.
도 8 및 도 10을 참조하면, 외부로부터 약액 토출 장치(100)의 스테이지(11)로 기판(10)이 반입될 수 있다. 외부로부터 스테이지(11)로의 기판(10)의 반입은 주로 기판(10)의 이면을 지지하는 로봇암에 의해 달성될 수 있다.
스테이지(11)로 반입됨에 의해 스테이지(11)에 놓이는 기판(10)은 스테이지(11)로부터 상승되는 지지핀들에 의해 지지될 수 있는데, 로봇암은 지지핀들 사이를 구동하는 경로를 갖도록 제어될 수 있다.
그리고 지지핀들이 스테이지(11)로부터 하강됨과 아울러 스테이지(11)에 놓이는 기판(10)의 위치를 정렬하는 공정이 이루어질 수 있다.
계속해서, 기판(10)의 위치가 정렬되면 이송부(19)는 도 8에서와 같이 기판(10)의 장변 단부를 파지할 수 있다,
그리고 부상 스테이지일 경우 기판(10)이 부상되게 기판(10)의 이면을 향하여 진공 흡인력 및 에어 분사력을 공급할 수 있고, 방향 전환부(51)에서도 기판(10)의 이면을 향하여 진공 흡인력 및 에어 분사력을 공급할 수 있을 것이다.
이어서, 이송부(19)를 사용하여 기판(10)을 제1 방향으로 적어도 두 군데에 약액 토출하도록 구비되는 약액 토출부(13) 아래로 이송되게 함으로써 제1 방향으로 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 배치되는 제1 픽셀들에 약액을 토출하는 공정을 수행할 수 있다.
그리고 제1 픽셀들에 대한 약액 토출 공정이 완료되면 기판(10)을 반입이 이루어지는 위치 또는 설정 위치로 이송시킬 수 있다.
계속해서 도 10 및 11을 참조하면, 방향 전환부(51)를 사용하여 기판(10)의 이면 중심 영역을 파지하여 제2 픽셀이 제1 방향으로 배치되게 기판(10)의 방향을 전환시킨다.
그리고 부상 스테이지일 경우 기판(10)의 이면으로 에어 분사력을 공급할 수 있을 것이다.
아울러, 기판(10)의 방향 전환시 기판(10)의 가장자리가 스테이지(11)를 벗어날 수도 있기 때문에 처짐 방지부(21)를 사용하여 스테이지(11)를 벗어나는 기판(10)의 가장자리에도 에어 분사력을 공급할 수 있을 것이다.
계속적으로 기판(10)의 방향을 전환함에 따라 이송부(19) 쪽으로는 기판(10)의 장변 단부로부터 기판(10)의 단변 단부가 위치할 수 있을 것이지만, 변환된 기판(10)의 단변 단부는 이송부(19)로부터 벗어날 수 있을 것이다.
이에 도 12을 참조하면, 변환된 기판(10)의 단변 단부가 이송부(19)에 위치하도록 위치 조정부(23)를 사용하여 기판(10)의 위치를 조정할 수 있고, 그 결과 기판(10)의 단변 단부는 이송부(19)에 위치하여 파지될 수 있을 것이다.
이어서, 이송부(19)를 사용하여 기판(10)을 제1 방향으로 적어도 두 군데에 약액 토출하도록 구비되는 약액 토출부(13) 아래로 이송되게 함으로써 방향이 제1 방향으로 전환된 제2 픽셀에도 제1 방향으로 적어도 두 군데에 약액을 토출하는 공정을 수행할 수 있다.
마찬가지로, 부상 스테이지일 경우 기판(10)이 부상되게 기판(10)의 이면을 향하여 진공 흡인력 및 에어 분사력을 공급할 수 있고, 방향 전환부(51)에서도 기판(10)의 이면을 향하여 진공 흡인력 및 에어 분사력을 공급할 수 있을 것이다.
계속해서, 언급한 지지핀들 및 로봇암을 사용하여 기판(10)을 외부로 반출시킴으로써 약액 토출 공정을 달성할 수 있을 것이다.
그리고 도 8에서와 같이 스테이지에 놓이는 기판의 이면 외곽 영역, 특히 기판의 중심 영역을 기준으로 장축 또는 단축의 선상을 따라 기판의 장변으로부터의 이격 거리와 기판의 단변으로부터의 이격 거리가 같은 곳을 파지하는 방향 전환부를 구비하는 약액 토출 장치를 사용하는 약액 토출 공정에 대하여 설명하기로 한다.
도 13 및 도 14는 도 9에서의 방향 전환부를 사용하여 기판의 방향을 전환시키는 상황을 설명하기 위한 도면들이다.
그리고 기판의 반입, 반출, 부상 스테이지의 적용, 약액의 토출, 처짐 방지부의 사용 등은 언급한 도 10 내지 도 12에서와 동일하기 때문에 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 9 및 도 13을 참조하면, 제1 방향의 제1 픽셀들에 대한 약액 토출 공정을 수행한 후 방향 전환부(51)를 사용하여 기판(10)의 이면 외곽 영역, 특히 기판(10)의 장변으로부터의 이격 거리(d2)와 기판(10)의 단변으로부터의 이격 거리(d1)가 같은 곳을 파지하여 제2 픽셀이 제1 방향으로 배치되게 기판(10)의 방향을 전환시킨다.
그리고 도 14를 참조하면, 기판(10)의 장변으로부터의 이격 거리(d2)와 기판(10)의 단변으로부터의 이격 거리(d1)가 같은 곳을 파지할 경우 기판(10)의 장변 단부로부터 기판(10)의 단변 단부가 이송부(19)에 바로 위치할 수 있을 것이다.
즉, 기판(10)의 장변으로부터의 이격 거리(d2)와 기판(10)의 단변으로부터의 이격 거리(d1)가 같은 곳에서의 편심 회전을 통하여 기판(10)의 방향을 전환할 경우에는 기판(10)의 장변 단부로부터 기판(10)의 단변 단부가 이송부(19)에 바로 위치할 수 있는 것이다.
이와 같이, 기판(10)의 장변으로부터의 이격 거리(d2)와 기판(10)의 단변으로부터의 이격 거리(d1)가 같은 곳을 파지하도록 방향 전환부(51)가 구비될 경우에는 기판(10)의 방향을 전환시킴에도 불구하고 기판(10)의 장변 단부로부터 기판(10)의 단변 단부가 이송부(19)에 바로 위치할 수 있기 때문에 위치 조정부(23)를 생략할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 픽셀들에 약액을 토출하는 공정에 적용할 수 있기 때문에 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 기판 11 : 스테이지
13 : 약액 토출부 15 : 갠트리
17 : 잉크젯 헤드 19 : 이송부
21 : 처짐 방지부 23 : 위치 조정부
31 : 제1 픽셀 41 : 제2 픽셀
51 : 방향 전환부 53 : 파지부
55 : 회전부 100 : 약액 토출 장치

Claims (20)

  1. 제1 방향으로 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 배치되는 제1 픽셀 및 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 배치되는 제2 픽셀이 한 장에 형성되는 기판이 놓이는 스테이지;
    상기 제1 픽셀의 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 상기 제1 방향으로 상기 약액을 토출하는 약액 토출부; 및
    상기 제2 픽셀이 상기 제2 방향으로부터 상기 제1 방향으로 배치되게 상기 스테이지에 놓이는 상기 기판의 방향을 전환시키는 방향 전환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 방향 전환부는 상기 스테이지에 놓이는 상기 기판의 이면 일부를 파지할 수 있게 상기 스테이지의 일부 영역에 구비되는 파지부, 및 상기 파지부를 회전시키는 회전부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 파지부는 상기 기판의 파지시 상기 기판의 이면 일부를 진공 흡인하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 파지부는 상기 기판의 파지시 상기 기판의 이면 일부를 진공 흡인 및 에어 분사가 함께 이루어지도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 기판의 방향 전환시 상기 스테이지를 벗어나는 상기 기판의 가장자리 영역이 아래로 처지는 것을 방지할 수 있게 상기 스테이지를 벗어나는 상기 기판의 가장자리 영역이 지나가는 상기 스테이지의 바깥쪽 영역에 처짐 방지부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 처짐 방지부는 상기 스테이지를 벗어나는 상기 기판의 가장자리 영역 이면으로 에어를 분사하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  7. 제1 방향으로 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 배치되는 제1 픽셀 및 상기 제1 방향과는 수직하는 제2 방향으로 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 배치되는 제2 픽셀이 한 장에 형성되는 장변 및 단변을 갖는 직사각형의 기판이 놓이는 스테이지;
    상기 기판의 장변 단부 또는 상기 기판의 단변 단부를 파지하여 상기 스테이지를 따라 상기 기판을 이송시키는 이송부;
    상기 이송부에 의해 이송되는 상기 기판의 제1 픽셀의 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 상기 제1 방향으로 상기 약액을 토출하는 약액 토출부; 및
    상기 제2 픽셀이 상기 제2 방향으로부터 상기 제1 방향으로 배치되게 상기 스테이지에 놓이는 상기 기판의 방향을 수직 전환시키는 방향 전환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 방향 전환부는 상기 스테이지에 놓이는 상기 기판의 이면 중심 영역을 진공 흡인으로 파지할 수 있게 상기 기판의 이면 중심 영역과 마주하는 상기 스테이지의 일부 영역에 구비되는 파지부, 및 상기 파지부를 회전시키는 회전부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  9. 제7 항에 있어서,
    상기 방향 전환부는 상기 스테이지에 놓이는 상기 기판의 이면 외곽 영역을 진공 흡인으로 파지할 수 있게 상기 기판의 이면 외곽 영역과 마주하는 상기 스테이지의 일부 영역에 구비되는 파지부, 및 상기 파지부를 회전시키는 회전부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 기판의 이면 외곽 영역은 상기 기판의 중심 영역으로부터 연장되는 장축 또는 단축의 선상에 위치하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  11. 제8 항 또는 제9 항에 있어서,
    상기 파지부는 상기 기판의 파지시 상기 진공 흡인 및 에어 분사가 함께 이루어지도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  12. 제7 항에 있어서,
    상기 기판의 방향을 전환시킴에 따라 상기 이송부에 파지되는 상기 기판의 장변 단부가 상기 기판의 단변 단부로 변환되거나 또는 상기 기판의 단변 단부가 상기 기판의 장변 단부로 변환됨으로써 상기 변환된 기판의 장변 단부 또는 상기 변환된 기판의 단변 단부가 상기 이송부로부터 벗어날 경우 상기 변환된 기판의 장변 단부 또는 상기 변환된 기판의 단변 단부가 상기 이송부에 파지될 수 있게 상기 기판과 상기 이송부의 위치를 조정하는 위치 조정부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 위치 조정부는 상기 기판을 상기 이송부 쪽으로 위치시킬 수 있게 상기 기판 이면에 접촉하여 회전하는 롤러로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  14. 제7 항에 있어서,
    상기 기판의 방향 전환시 상기 스테이지를 벗어나는 상기 기판의 가장자리 영역이 아래로 처지는 것을 방지할 수 있게 상기 스테이지를 벗어나는 상기 기판의 가장자리 영역이 지나가는 상기 스테이지의 바깥쪽 영역에 에어를 분사하도록 이루어지는 처짐 방지부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  15. 제1 방향으로 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 배치되는 제1 픽셀 및 상기 제1 방향과는 수직하는 제2 방향으로 적어도 두 군데에 약액이 토출되게 배치되는 제2 픽셀이 한 장에 형성되는 장변 및 단변을 갖는 직사각형의 기판이 부상될 수 있게 놓이는 부상 스테이지;
    상기 기판의 장변 단부 또는 상기 기판의 단변 단부를 파지하여 상기 부상 스테이지를 따라 상기 기판을 이송시키는 이송부;
    상기 이송부에 의해 이송되는 상기 기판의 제1 픽셀의 적어도 두 군데에 약액이 토출될 수 있게 상기 제1 방향으로 상기 약액을 토출하는 약액 토출부; 및
    상기 제2 픽셀이 상기 제2 방향으로부터 상기 제1 방향으로 배치될 수 있게 상기 기판의 중심 영역으로부터 연장되는 장축 또는 단축의 선상을 따라 상기 기판의 장변으로부터의 이격 거리와 상기 기판의 단변으로부터의 이격 거리가 같은 곳에서 상기 기판의 이면 일부를 파지하여 회전하도록 구비되는 방향 전환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 이송부는 상기 기판의 일측 이면 단부를 진공 흡인할 수 있게 상기 부상 스테이지의 일측 단부에만 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  17. 제15 항에 있어서,
    상기 약액 토출부는 상기 부상 스테이지를 따라 이송되는 상기 기판의 상부에서 상기 기판으로 약액을 토출할 수 있게 갠트리 및 상기 갠트리에 배치되는 잉크젯 헤드로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  18. 제15 항에 있어서,
    상기 방향 전환부는 상기 스테이지에 놓이는 상기 기판의 이면 일부 영역을 진공 흡인으로 파지할 수 있게 상기 기판의 이면 일부 영역과 마주하는 상기 스테이지의 일부 영역에 구비되는 파지부, 및 상기 파지부와 직접 연결되는 직결형 모터로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 파지부는 상기 기판의 파지시 상기 진공 흡인 및 에어 분사가 함께 이루어지도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  20. 제15 항에 있어서,
    상기 기판의 방향 전환시 상기 스테이지를 벗어나는 상기 기판의 가장자리 영역이 아래로 처지는 것을 방지할 수 있게 상기 스테이지를 벗어나는 상기 기판의 가장자리 영역이 지나가는 상기 스테이지의 바깥쪽 영역에 에어를 분사하도록 이루어지는 처짐 방지부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
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