JP2022014893A - 薬液供給装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記保持部材は、前記基板の底面の一部に真空吸引を提供する。
前記薬液供給装置は、更に、前記基板の方向を変えるとき、前記ステージからずれる前記基板の縁部が下方に撓むことを防止するための撓み防止部材を含む。
本発明の他の様態によると、ステージと、移送部材と、薬液吐出部材と、方向転換部材とを含む薬液供給装置が提供される。相対的に長い辺及び相対的に短い辺を有する基板は、前記ステージ上に置かれる。前記移送部材は、前記基板の相対的に長い辺の端部又は前記基板の相対的に短い辺の端部を保持して、前記基板を移送させる。前記薬液吐出部材は、第1の方向に、第1のピクセルのための前記基板の少なくとも2つの第1の領域上に薬液を供給し、前記第1の方向に直交する第2の方向に、第2のピクセルのための前記基板の少なくとも2つの第2の領域上に前記薬液を供給する。前記方向転換部材は、前記第2の方向から前記第1の方向へ前記基板の方向を変える。
前記方向転換部材は、前記基板の底面の周辺部に真空吸引を提供する保持部材と、前記保持部材を回転させる回転部材とを含む。ここで、前記基板の底面の周辺部は、前記基板の相対的に長い辺及び前記基板の相対的に短い辺から、同一距離に位置する。
前記薬液供給装置は、更に、前記基板が回転して、前記移送部材が前記基板の相対的に長い辺の端部の代わりに、前記基板の相対的に短い辺の端部を把持するか、前記移送部材が前記基板の相対的に短い辺の端部の代わりに、前記基板の相対的に長い辺の端部を把持する場合、前記回転された基板の相対的に長い辺の端部、又は前記回転された基板の相対的に短い辺の端部が、前記移送部材からずれると、前記移送部材が前記回転された基板の相対的に長い辺の端部、又は前記回転された基板の相対的に短い辺の端部を把持するように、前記基板の位置又は前記移送部材の位置を調整する位置調整部材を含む。
前記薬液供給装置は、更に、前記基板の方向を変えるとき、前記ステージからずれる前記基板の縁部が下方に撓むことを防止するために、前記ステージからずれる前記基板の縁部に、エア噴射を提供する撓み防止部材を含む。
前記薬液吐出部材は、前記浮上ステージの上部から移送される前記基板上に、前記薬液を吐出するために、ガントリー及びインクジェットヘッドを含む。
前記保持部材は、前記基板の底面の一部に、前記真空吸引とエア噴射を同時に提供する。
図1に示しているように、本発明の実施例による薬液供給装置100は、液晶表示装置、有機発光表示装置などのようなディスプレイ装置を製造するための工程において、基板上に所定の薬液を供給するために用いられる。例えば、前記薬液供給装置100は、前記基板上に前記表示装置のピクセルを形成するための工程において、前記基板上に前記薬液を供給することができる。
基板10は、前記ステージ11上に配置され、前記ステージ11は、前記基板10上に前記薬液を供給する間に、前記基板10を保持する。前記ステージ11は、前記基板10の寸法よりも大きい寸法を有する。例えば、前記ステージ11は、前記基板10をその上部に十分収容可能なサイズを有する。そこで、前記基板10が前記薬液供給装置100内に搬入される場合、及び前記薬液供給装置100内で前記基板10が所定の角度で回転する場合にも、前記ステージ11が前記基板10を安定して支持することができる。
図2は、本発明の実施例による薬液供給装置から前記薬液が供給される基板の構成を説明するための平面図である。図3は、図2における「I」部分の拡大図であり、図4は、図2における「II」部分の拡大図である。
図5は、本発明の実施例による薬液供給装置の方向転換部材を説明する概略的な平面図である。図6は、図5の方向転換部材を説明するための斜視図である。図7は、図5の方向転換部材の保持部材を説明するための概略的な断面図である。図8は、本発明の実施例による方向転換部材の位置を説明するための概略的な平面図である。図9は、本発明の他の実施例による方向転換部材の位置を説明するための概略的な平面図である。
前記方向転換部材51は、前記ステージ11上に置かれる前記基板10の方向を変える。例えば、前記方向転換部材51は、前記第2のピクセル41のための前記基板10の第2の領域の配列を、前記第2の方向から前記第1の方向に変えることができる。
本発明の実施例において、前記薬液吐出装置100の方向転換部材51は、前記ステージ11の一部に固定されるか、前記基板10の方向転換に際して、前記ステージ11の上部で動作する構成を有する。他の実施例において、前記ステージ11が前記浮上ステージである場合、前記方向転換部材51は、前記浮上ステージの一部に固定され、前記基板10上に前記薬液が供給されるときは、前記基板10の底面に真空吸引及びエア噴射を同時に与えるように制御され、前記基板10の方向転換時には、前記基板10の底面に真空吸引のみを与えるか、真空吸引及びエア噴射を同時に与えるように制御される。この場合、前記基板10上に前記薬液が供給される間、前記方向転換部材51から前記基板10の底面に与えられる吸引力及び噴射力が、前記浮上ステージから前記基板10の底面に与えられる吸引力及び噴射力と実質的に同一である。
前記ステージ11上に置かれる前記基板10の底面の中心部を把持する前記方向転換部材51を含む、図8の薬液供給装置100を用いる薬液を吐出する方法について、説明する。
図8及び図10に示しているように、前記基板10が外部から前記薬液吐出装置100のステージ11上に載せられる。このような基板10の積載は、前記基板10の底面を支持するロボット腕により行われる。
前記ステージ11上に置かれる前記基板10の周辺部を把持する前記方向転換部材51を含む図9の薬液供給装置100を用いる薬液を吐出する方法について、説明する。ここで、前記基板10の周辺部は、前記基板10の相対的に長い辺から離隔する第1の距離(d1)、及び前記基板10の相対的に短い辺から離隔される第2の距離(d2)が実質的に同一部分となる。
図9及び図13に示しているように、前記第1の方向に、前記第1のピクセル31のための前記基板10の第1の領域上に前記薬液を供給した後、前記方向転換部材51を用いて、前記基板10の周辺部を把持し、前記基板10の方向を変える。
Claims (20)
- 基板が置かれるステージと、
第1の方向に、第1のピクセルのための前記基板の少なくとも2つの第1の領域上に薬液を供給し、第2の方向に、第2のピクセルのための前記基板の少なくとも2つの第2の領域上に前記薬液を供給する薬液吐出部材と、
前記第2の方向から前記第1の方向へ前記基板の方向を変える方向転換部材とを含むことを特徴とする薬液供給装置。 - 前記方向転換部材は、前記基板の底面の一部を保持する保持部材と、前記保持部材を回転する回転部材とを含むことを特徴とする請求項1に記載の薬液供給装置。
- 前記保持部材は、前記基板の底面の一部に真空吸引を提供することを特徴とする請求項2に記載の薬液供給装置。
- 前記保持部材は、前記基板の底面の一部に真空吸引及びエア噴射を同時に提供することを特徴とする請求項2に記載の薬液供給装置。
- 更に、前記基板の方向を変えるとき、前記ステージからずれる前記基板の縁部が下方に撓むことを防止するための撓み防止部材を含むことを特徴とする請求項1に記載の薬液供給装置。
- 前記撓み防止部材は、前記ステージからずれる前記基板の縁部に、エア噴射を提供することを特徴とする請求項5に記載の薬液供給装置。
- 相対的に長い辺及び相対的に短い辺を有する基板が置かれるステージと、
前記基板の相対的に長い辺の端部又は前記基板の相対的に短い辺の端部を保持して、前記基板を移送させる移送部材と、
第1の方向に、第1のピクセルのための前記基板の少なくとも2つの第1の領域上に薬液を供給し、前記第1の方向に直交する第2の方向に、第2のピクセルのための前記基板の少なくとも2つの第2の領域上に前記薬液を供給する薬液吐出部材と、
前記第2の方向から前記第1の方向へ前記基板の方向を変える方向転換部材とを含むことを特徴とする薬液供給装置。 - 前記方向転換部材は、前記基板の底面の中心部に真空吸引を提供する保持部材と、前記保持部材を回転させる回転部材とを含むことを特徴とする請求項7に記載の薬液供給装置。
- 前記方向転換部材は、前記基板の底面の周辺部に真空吸引を提供する保持部材と、前記保持部材を回転させる回転部材とを含むことを特徴とする請求項7に記載の薬液供給装置。
- 前記基板の底面の周辺部は、前記基板の相対的に長い辺及び前記基板の相対的に短い辺から、同一距離に位置することを特徴とする請求項9に記載の薬液供給装置。
- 前記保持部材は、前記基板の底面に前記真空吸引とエア噴射を同時に提供することを特徴とする請求項8又は9に記載の薬液供給装置。
- 更に、前記基板が回転して、前記移送部材が前記基板の相対的に長い辺の端部の代わりに、前記基板の相対的に短い辺の端部を把持するか、前記移送部材が前記基板の相対的に短い辺の端部の代わりに、前記基板の相対的に長い辺の端部を把持する場合、前記回転された基板の相対的に長い辺の端部、又は前記回転された基板の相対的に短い辺の端部が、前記移送部材からずれると、前記移送部材が前記回転された基板の相対的に長い辺の端部、又は前記回転された基板の相対的に短い辺の端部を把持するように、前記基板の位置又は前記移送部材の位置を調整する位置調整部材を含むことを特徴とする請求項7に記載の薬液供給装置。
- 前記位置調整部材は、前記基板が前記移送部材に向かって移動するように、前記基板の底面に接触されるローラを含むことを特徴とする請求項12に記載の薬液供給装置。
- 更に、前記基板の方向を変えるとき、前記ステージからずれる前記基板の縁部が下方に撓むことを防止するために、前記ステージからずれる前記基板の縁部に、エア噴射を提供する撓み防止部材を含むことを特徴とする請求項7に記載の薬液供給装置。
- 相対的に長い辺及び相対的に短い辺を有する基板を上部に浮かせるための浮上ステージと、
前記基板の相対的に長い辺の端部又は前記基板の相対的に短い辺の端部を保持して、前記基板を移送させる移送部材と、
第1の方向に、第1のピクセルのための前記基板の少なくとも2つの第1の領域上に薬液を供給し、前記第1の方向に直交する第2の方向に、第2のピクセルのための前記基板の少なくとも2つの第2の領域上に前記薬液を供給する薬液吐出部材と、
前記基板の相対的に長い辺及び前記基板の相対的に短い辺から、同一距離に位置する前記基板の周辺部を把持して、前記第2の方向から前記第1の方向に前記基板の方向を変える方向転換部材とを含むことを特徴とする薬液供給装置。 - 前記移送部材は、前記基板の底面の一部に真空吸引を提供することを特徴とする請求項15に記載の薬液供給装置。
- 前記薬液吐出部材は、前記浮上ステージの上部から移送される前記基板上に、前記薬液を吐出するために、ガントリー及びインクジェットヘッドを含むことを特徴とする請求項15に記載の薬液供給装置。
- 前記方向転換部材は、前記基板の底面の一部に真空吸引を提供するための保持部材と、前記保持部材と直接連結される直結型モータとを含むことを特徴とする請求項15に記載の薬液供給装置。
- 前記保持部材は、前記基板の底面の一部に、前記真空吸引とエア噴射を同時に提供することを特徴とする請求項18に記載の薬液供給装置。
- 更に、前記基板の方向が変わるとき、前記ステージからずれる前記基板の縁部が下方に撓むことを防止するために、前記ステージからずれる前記基板の縁部にエア噴射を提供するための撓み防止部材を含むことを特徴とする請求項15に記載の薬液供給装置。
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