KR101202456B1 - 코팅 영역에서 기판을 안정적으로 이송시키기 위한 리니어 모션 가이드 구조, 및 이를 구비한 기판 이송 장치 및 코팅 장치 - Google Patents

코팅 영역에서 기판을 안정적으로 이송시키기 위한 리니어 모션 가이드 구조, 및 이를 구비한 기판 이송 장치 및 코팅 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 코팅 영역에서 기판을 안정적으로 이송시키기 위한 리니어 모션 가이드 구조, 및 이를 구비한 기판 이송 장치 및 코팅 장치를 개시한다.
본 발명의 실시예에 따른 코팅 영역에서 기판을 안정적으로 이송시키기 위한 리니어 모션 가이드 구조, 및 이를 구비한 기판 이송 장치 및 코팅 장치에서는 기판을 부상 방식으로 이송하면서 코팅액을 도포할 경우 코팅 영역에서 리니어 모션 가이드를 구성하는 가이드 레일에 일정 높이의 단차부(step)가 형성되어 있다.
상술한 본 발명에서는 단차부에 의해 기판은 코팅 영역으로 진입 시 및 코팅 영역에서 진출 시 부상 높이의 하강 및 상승이 정밀하고 용이하게 이루어진다.
또한, 본 발명에서는 기판의 일정한 이송 속도의 유지가 가능하여 기판 상에 코팅액의 일정 두께 도포, 및 얼룩 발생 가능성이 현저하게 감소되어 코팅 품질이 향상된다.

Description

코팅 영역에서 기판을 안정적으로 이송시키기 위한 리니어 모션 가이드 구조, 및 이를 구비한 기판 이송 장치 및 코팅 장치{A Structure of Linear Motion Guide for Transferring Substrate Stably in Coating Region, and A Substrate Transferring Device and A Coating Apparatus Having the Same}
본 발명은 코팅 영역에서 기판을 안정적으로 이송시키기 위한 리니어 모션 가이드 구조, 및 이를 구비한 기판 이송 장치 및 코팅 장치에 관한 것이다.
좀 더 구체적으로, 본 발명은 PDP 패널 또는 LCD 패널 등과 같은 평판 패널 디스플레이(Flat Panel Display: 이하 "FPD"라 합니다) 제조용 기판을 부상 방식으로 이송하면서 코팅액을 도포할 경우 코팅 영역에서 리니어 모션 가이드를 구성하는 가이드 레일에 일정 높이의 단차부(step)를 형성함으로써 기판이 코팅 영역으로 진입 시 및 코팅 영역에서 진출 시 부상 높이의 하강 및 상승이 정밀하고 용이하게 이루어지며, 기판의 일정한 이송 속도의 유지가 가능하여 코팅 품질이 향상되는, 코팅 영역에서 기판을 안정적으로 이송시키기 위한 리니어 모션 가이드 구조, 및 이를 구비한 기판 이송 장치 및 코팅 장치에 관한 것이다.
일반적으로 FPD와 같은 전자소자를 제조하기 위해서는 글래스 기판(이하 "기판"이라 합니다)과 같은 작업물(work piece) 상에 코팅액의 도포가 요구되며, 이를 위해 노즐 디스펜서(nozzle dispenser) 또는 슬릿 다이(이하 노즐 디스펜서 및 슬릿 다이를 통칭하여 "노즐 장치"라 합니다)를 구비한 코팅 장치가 사용된다. 이러한 코팅 장치는 기판을 스테이지 상에 위치시킨 후 갠트리(gantry)에 부착된 노즐 장치를 수평방향으로 이동시키면서 다양한 코팅액의 도포 동작을 수행한다. 이러한 코팅액의 도포 동작의 예로는, LCD 패널을 제조하는 경우 LCD 패널 기판 상에 포토레지스트(photoresist: PR), 블랙 매트릭스(Black Matrix: B.M), 컬럼 스페이스(column space: C.S) 등을 형성하기 위해 감광성 코팅액을 도포할 수 있다. 또한, PDP 패널을 제조하는 경우 PDP 패널 기판 상에 상유전체, 하유전체, 격벽을 형성하기 위해 코팅액 또는 감광성 코팅액을 도포할 수 있다.
그러나, 상술한 종래 기술에서는 기판을 스테이지 상에 위치시킨 후 스테이지를 코팅 위치로 이동한 상태에서 기판의 상부에 설치되는 노즐 장치 및 노즐 장치가 부착되는 갠트리가 기판 상에서 이동하는 노즐 이동 방식 구조이기 때문에 코팅 장치의 정밀 구동이 어려워지며 또한 복잡하다. 좀 더 구체적으로, 큰 중량의 대형 노즐 장치, 갠트리 및 스테이지의 이동을 위해서는 막대한 에너지가 필요하다. 또한, 코팅액 도포 후에는 원래의 위치로 복귀하여 상술한 동작을 반복하여야 하므로 코팅액 도포 동작의 효율성이 저하된다는 문제가 발생한다. 또한, 대면적 FPD의 요구에 따라 노즐 장치 및 갠트리도 대형화되어야 한다. 대형화된 갠트리의 중량은 대략 1톤 내지 2톤에 달하여, 이러한 거대 중량의 갠트리를 이동시키면서 정밀하게 가속시키거나 감속시키는 피딩 장치의 구현이 어려워진다.
상술한 종래 기술의 노즐 이동 방식의 코팅 장치의 문제점을 해소하기 위한 방안의 하나로 에어의 분사 또는 분사 및 흡인을 통해 기판을 부상시켜 이송하면서 기판의 표면에 코팅액을 도포하는 부상방식의 기판 이송 장치가 제안되었다.
도 1a는 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 도포 장치의 사시도를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 1b는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 도포 장치의 정면도를 개략적으로 도시한 도면이다. 이러한 도 1a 및 도 1b에 도시된 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 도포 장치는 예를 들어 예를 들어 2007년 5월 25일자에 동경 엘렉트론 주식회사에 의해 "도포방법 및 도포장치"라는 발명의 명칭으로 한국 특허출원 제 2007-50812호로 출원되어, 2007년 11월 29일자에 공개된 대한민국 공개 특허 제 2007-114034호에 상세히 개시되어 있다.
다시 도 1a 및 도 1b를 참조하면, 종래 기술에 따른 도포장치(40)는 부상방식의 기판 이송 장치(84)를 구비한다. 기판(G)은 예를 들어 이송 암(transfer arm: 미도시)에 의해 스테이지(76)의 로딩 영역(도 1b의 M1 영역) 상으로 이송된다. 그 후, 스테이지(76)의 로딩 영역(M1 영역)의 하부에 제공되는 리프트 장치(미도시)에 의해 복수개의 리프트핀(lift pin: 86)이 상승하여 기판(G)을 지지한다. 그 후, 복수개의 리프트핀(86)이 하강하면 기판(G)은 한 쌍의 가이드 레일(96) 상에서 이동 가능한 한 쌍의 이동 가이드(98)에 제공되는 기판 지지부재(102) 상의 흡착 패드(104) 상에 진공 흡착 방식으로 장착된다. 로딩 영역(M1 영역) 상에는 복수개의 에어 분출구(88)만이 제공된다. 로딩 영역(M1 영역) 상에서 자중(self-weight)에 의해 아래로 휘어진 기판(G)은 에어 분출구(88)를 통해 분출되는 에어에 의해 대략 150 내지 250㎛ 범위의 로딩 부상 높이(Ha)로 부상한 상태에서 부상방식의 기판 이송 장치(84)에 의해 제 1 인터페이스 영역(M2 영역)을 거쳐 코팅 영역(도 1b에 도시된 M3 영역) 상으로(즉, X 방향으로) 이송된다. 제 1 인터페이스 영역(M2 영역) 내에는 진공 펌핑 장치(미도시)와 연결된 에어 흡입구(90)가 부분적으로 설치되어 있다. 기판(G)이 제 1 인터페이스 영역(M2 영역)으로 진입하면, 에어 분출구(88)의 분출력이 에어 흡입구(90)의 흡입력에 의해 일부 상쇄되어 기판(G)은 그 부상 높이가 점차 낮아지면서 코팅 영역(M3 영역)으로 진입한다. 코팅 영역(M3 영역)에서는 에어 흡입구(90)의 수가 제 1 인터페이스 영역(M2 영역)에 비해 더 많이 제공되어 기판(G)을 대략 50㎛의 코팅 높이(Hb)로 부상한 상태를 유지하면서 X축 방향으로 이송한다. 이러한 코팅 영역(M3 영역)에서는 노즐 장치(78)가 코팅액(R: 예를 들어 레지스트액)을 공급관(94)을 통해 공급받아 기판(G) 상에 도포한다.
그 후, 코팅액이 도포된 기판(G)은 제 2 인터페이스 영역(M4 영역)으로 이송된다. 제 2 인터페이스 영역(M4 영역)은 제 1 인터페이스 영역(M2 영역)과 마찬가지로 진공 펌핑 장치(미도시)와 연결된 에어 흡입구(90)가 부분적으로 설치되어 있다(도 1a 참조). 기판(G)이 제 2 인터페이스 영역(M4 영역)으로 진입하면, 에어 분출구(88)의 분출력이 에어 흡입구(90)의 흡입력에 의해 일부만 상쇄되어 기판(G)은 대략 150 내지 250㎛ 범위의 언로딩 부상 높이(Ha)로 그 부상 높이가 점차 높아진다. 그 후, 기판(G)은 언로딩 영역(M5 영역)으로 진입하고, 언로딩 영역(M5 영역)은 로딩 영역(M1 영역)과 마찬가지로 복수개의 에어 분출구(88)만이 제공된다. 따라서, 기판(G)은 언로딩 영역(M5 영역)에 제공된 복수개의 에어 분출구(88)를 통해 분출되는 에어에 의해 대략 150 내지 250㎛ 범위의 부상 높이(Hc)로 부상한 상태에서 기판(G)은 흡착 패드(104)로부터 제공되는 진공 흡착이 해제된다. 그 후, 언로딩 영역(M5 영역)의 스테이지(76) 하부에 제공되는 리프팅 장치(미도시)에 의해 복수개의 리프트핀(86)이 상승하여 기판(G)을 상승시킨 후, 로봇 암(미도시)에 의해 다음 공정 위치로 이송된다.
상술한 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치(84) 및 이를 구비한 도포장치(40)는 기판(G)을 부상 방식으로 이동시킨다는 점에서 노즐 이동 방식의 코팅 장치의 단점을 대부분 해소할 수 있다는 장점이 달성된다.
도 1c는 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 도포장치의 개략적인 단면도이고, 도 1d는 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치의 개략적인 부분 단면도이다.
도 1c 및 도 1d를 도 1a 및 도 1b와 함께 참조하면, 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치(84)는 스테이지(76)의 좌우 양측에 평행하게 배치된 한 쌍의 가이드 레일(96), 각 가이드 레일(96) 상에 축방향 (X방향)으로 이동 가능하게 장착된 이동 가이드(98), 각 가이드 레일(96) 상에서 이동 가이드(98)를 직선 이동시키는 구동부재(100), 및 각 이동 가이드(98)로부터 스테이지(76)의 중심부로 향해 연장되며 기판(G)의 좌우 양측 주변부를 탈착 가능하게 지지하는 기판 지지부재(102)를 구비하고 있다. 구동부재(100)는 예를 들어 리니어 모터로 구현될 수 있다. 여기서, 기판 지지부재(102)는 기판(G)이 좌우 양측 주변부의 하면에 진공 흡착 방식으로 장착되는 복수의 흡착 패드(104), 및 상기 복수의 흡착 패드(104)를 지지하며, 상기 복수의 흡착 패드(104)의 높이를 변경할 수 있도록 탄성변형 가능한 패드 지지부재(106)를 구비하고 있다. 패드 지지부재(106)는 복수의 흡착 패드(104)를 독립적으로 지지하고 있다. 그에 따라 각각의 복수의 흡착 패드(104) 및 패드 지지부재(106)는 서로 독립적인 높이 위치에서 기판(G)을 안정적으로 유지할 수 있다.
또한, 패드 지지부재(106)는 이동 가이드(98)의 내측면에 승강 가능하게 장착된 판 형상의 패드 승강 부재(108)에 장착되어 있다. 이동 가이드(98)에 장착되는 패드 액추에이터(미도시)는 패드 승강 부재(108)를 기판(G)의 부상 높이 위치보다 낮은 원래 위치와 기판(G)의 부상 높이에 대응하는 부상 위치 사이에서 승강 이동시킨다.
상술한 바와 같이 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치(84)는 기판(G)을 평탄한 가이드 레일(96) 상에서 부상 방식으로 지지하면서 이송한다. 이 때, 기판(G)은 도 1b에 도시된 바와 같이 제 1 인터페이스 영역(M2 영역)을 통과하면서 대략 150 내지 250㎛ 범위의 로딩 부상 높이(Ha)에서 대략 50㎛의 코팅 높이(Hb)로 하강하고, 제 2 인터페이스 영역(M4 영역)을 통과하는 대략 50㎛의 코팅 높이(Hb)에서 대략 150 내지 250㎛ 범위의 언로딩 부상 높이(Ha)로 상승하여야 한다. 이 경우, 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치(84)에 사용되는 가이드 레일(96)은 평탄한 상태이므로, 기판(G)의 로딩 및 언로딩 부상 높이(Ha)와 코팅 높이(Hb)를 정밀하게 유지하기 위해서는 제 1 및 제 2 인터페이스 영역(M2 및 M4 영역)과 코팅 영역(M3 영역)에서 복수의 에어 분출구(88) 및 복수의 에어 흡입구(90)의 수를 상이하게 형성하거나 또는 복수의 에어 분출구(88) 및 복수의 에어 흡입구(90)에 의해 제공되는 분출력 및 흡입력을 정밀하게 제어하여야 한다.
그러나, 상술한 종래 기술에서는 기판(G)의 로딩 및 언로딩 부상 높이(Ha)와 코팅 높이(Hb)를 일정하게 유지하기 위해 복수의 에어 분출구(88) 및 복수의 에어 흡입구(90)의 수를 상이하게 조정하거나, 또는 복수의 에어 분출구(88) 및 복수의 에어 흡입구(90)가 일정한 분출력 및 흡입력을 제공하도록 각각 제어하는 것은 상당히 어렵다.
특히, 상이한 기판(G)의 사이즈에 따라 복수의 에어 분출구(88) 및 복수의 에어 흡입구(90)에 의해 제공되는 분출력 및 흡입력의 세기를 다르게 설정 및 제어하여야 한다. 이 경우, 복수의 에어 분출구(88)에 에어를 공급하도록 연결되는 에어 공급 장치(미도시) 및 복수의 에어 흡입구(90)로부터 에어를 흡입하도록 연결되는 진공 펌핑 장치(미도시)를 각각 정밀하게 제어하여야 한다. 그러나, 에어 공급 장치(미도시) 및 진공 펌핑 장치(미도시)를 각각 정밀하게 제어하는 것은 상당히 어려우며 또한 상당한 시간이 요구된다.
또한, 종래 기술에서는 기판(G)의 로딩 및 언로딩 부상 높이와 코팅 높이가 에어의 부상력(에어 분출력 - 에어 흡입력)의 차이에 의해 제어된다. 따라서, 에어의 부상력의 차이에 따라 기판의 이송 방향으로 유동이 발생하여 기판의 이송 속도가 불안정해질 수 있다. 특히 코팅 영역에서 기판에 유동이 발생하여 이동 속도가 불안정해지면(즉, 기판이 일정 이동 속도를 유지하지 못하면) 코팅액이 일정 두께로 도포되지 못하여 얼룩이 발생한다. 그 결과, 최종 제품의 불량 발생 가능성이 높아진다.
또한, 종래 기술에서는 복수의 흡착 패드(104)를 독립적으로 지지하기 위해 복수의 패드 지지부재(106), 복수의 패드 지지부재(106)를 이동 가이드(98)의 내측면을 따라 승강시키기 위한 패드 승강 부재(108), 및 패드 액추에이터(미도시)가 사용되어야 한다. 따라서, 종래 기술에 따른 기판 이송 장치(84)는 그 구성이 복잡하고, 다수의 구성요소로 인하여 제조 비용 및 조립 시간이 증가한다.
따라서, 상술한 문제점을 해결하기 위한 새로운 방안이 요구된다.
대한민국 공개 특허 제 2007-114034호
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위한 것으로, 평판 패널 디스플레이(FPD) 제조용 기판을 제조용 기판을 부상 방식으로 이송하면서 코팅액을 도포할 경우 코팅 영역에서 가이드 레일에 일정 높이의 단차(step)를 형성함으로써 기판이 코팅 영역으로 진입 시 및 코팅 영역에서 진출 시 부상 높이의 하강 및 상승이 정밀하고 용이하게 이루어지며, 기판의 일정한 이송 속도의 유지가 가능하여 코팅 품질이 향상되는, 코팅 영역에서 기판을 안정적으로 이송시키기 위한 리니어 모션 가이드 구조, 및 이를 구비한 기판 이송 장치 및 코팅 장치에 관한 것이다.
본 발명의 제 1 특징에 따른 코팅 영역에서 기판(G)을 안정적으로 이송시키기 위한 리니어 모션 가이드 구조는 가이드 레일; 및 상기 가이드 레일 상에 제공되는 이동 가이드를 포함하고, 상기 가이드 레일은 상기 기판(G)의 이송 방향을 따라 상기 코팅 영역에 대응되는 길이에 일정 높이의 단차부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 2 특징에 따른 기판 이송 장치는 로딩 영역을 제공하는 제 1 부상 유닛, 코팅 영역을 제공하는 제 2 부상 유닛, 및 언로딩 영역을 제공하는 제 3 부상 유닛으로 이루어진 부상 유닛의 좌우 양측에 평행하게 제공되는 한 쌍의 가이드 레일; 상기 한 쌍의 가이드 레일 상에 이동 가능하도록 장착되는 한 쌍의 이동 가이드; 상기 한 쌍의 이동 가이드 상에 장착되며, 기판(G)을 지지하는 한 쌍의 기판 지지부재; 및 상기 한 쌍의 기판 지지부재와 연결부재에 의해 연결되며, 상기 한 쌍의 기판 지지부재를 상기 한 쌍의 가이드 레일 상에서 이동시키도록 구동하는 한 쌍의 구동부재를 포함하고, 상기 한 쌍의 가이드 레일은 각각 상기 기판(G)의 이송 방향을 따라 상기 코팅 영역에 대응되는 길이에 일정 높이의 단차부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 3 특징에 따른 코팅장치는 로딩 영역을 제공하는 제 1 부상 유닛, 코팅 영역을 제공하는 제 2 부상 유닛, 및 언로딩 영역을 제공하는 제 3 부상 유닛으로 이루어진 부상 유닛; 상기 로딩 영역에서 상기 코팅 영역을 거쳐 상기 언로딩 영역으로 기판(G)을 이송하는 기판 이송 장치; 상기 코팅 영역 상에 제공되며, 상기 기판(G) 상에 코팅액을 도포하는 노즐 장치; 및 상기 노즐 장치가 장착되는 갠트리를 포함하고, 상기 기판 이송 장치는 상기 부상 유닛의 좌우 양측에 평행하게 제공되는 한 쌍의 가이드 레일; 상기 한 쌍의 가이드 레일 상에 이동 가능하도록 장착되는 한 쌍의 이동 가이드; 상기 한 쌍의 이동 가이드 상에 장착되며, 상기 기판(G)을 지지하는 기판 지지부재; 및 상기 한 쌍의 기판 지지부재와 연결되며, 상기 한 쌍의 기판 지지부재를 상기 한 쌍의 가이드 레일 상에서 이동시키도록 구동하는 한 쌍의 구동부재를 포함하며, 상기 한 쌍의 가이드 레일은 각각 상기 기판(G)의 이송 방향을 따라 상기 코팅 영역에 대응되는 길이에 일정 높이의 단차부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 코팅 영역에서 기판을 안정적으로 이송시키기 위한 리니어 모션 가이드 구조, 및 이를 구비한 기판 이송 장치 및 코팅 장치에서는 다음과 같은 장점이 달성된다.
1. 기판의 로딩 및 언로딩 부상 높이와 코팅 높이가 가이드 레일에 형성된 일정 단차(step)에 의해 자동으로 일정하게 유지될 수 있다.
2. 기판의 로딩 및 언로딩 부상 높이와 코팅 높이가 초기의 복수의 에어 분출구 및 복수의 에어 흡입구의 수 또는 에어 분출력 및 흡입력에 대한 설정에 의해 일정하게 유지되므로 전체 설비의 초기 설정 시간이 상당히 감소된다. 또한, 후속적으로 복수의 에어 분출구 및 복수의 에어 흡입구의 수를 조정하거나 또는 에어 분출력 및 흡입력에 대한 설정을 변경할 필요가 없으므로 전체 공정 시간(tact time)이 상당히 줄어든다.
3. 기판의 로딩 및 언로딩 부상 높이와 코팅 높이가 가이드 레일에 형성된 일정 단차(step)에 의해 자동으로 제어되므로, 기판의 이송 방향으로 발생할 수 있는 유동이 최소화되어 기판 이송 속도가 일정하게 유지될 수 있다.
4. 특히 코팅 영역에서 기판이 일정한 이송 속도로 유지할 수 있으므로, 기판 상에 코팅액이 일정 두께로 도포되어 얼룩 발생 가능성이 현저하게 감소된다. 그 결과, 최종 제품의 코팅 품질이 향상되어 불량 발생 가능성이 상당히 낮아진다.
5. 종래 기술과는 달리 복수의 흡착 패드(204)가 하나의 패드 지지부재(206) 상에 장착되므로, 종래 기술의 패드 승강 부재(108) 및 패드 액추에이터(미도시)의 사용이 불필요하거나 또는 선택 사양으로 사용될 수 있다. 따라서, 본 발명의 기판 이송 장치는 구성요소의 수가 감소되므로 그 구성이 간단해지고, 제조 비용 및 조립 시간이 감소된다.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.
도 1a는 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 도포 장치의 사시도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1b는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 도포 장치의 정면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1c는 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치 및 도포장치의 개략적인 단면도이다.
도 1d는 종래 기술에 따른 부상방식의 기판 이송 장치의 개략적인 부분 단면도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 영역에서 기판을 안정적으로 이송시키기 위한 리니어 모션 가이드 구조 및 코팅 장치의 개략적인 정단면도이다.
도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 평면도이다.
도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 측단면도이다.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
이하에서 기술되는 본 발명의 모든 실시예에서, 로딩 영역의 부상 유닛(276a) 및 언로딩 영역의 부상 유닛(276c)은 모두 복수의 에어 분출구(미도시)만을 구비하거나, 또는 복수의 에어 분출구(미도시) 및 복수의 에어 흡입구(미도시)를 구비하고 있으며, 이들의 동작은 도 1a 내지 도 1d를 참조하면 상세히 기술한 종래 기술의 경우와 동일 또는 유사하므로 이들에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 영역에서 기판을 안정적으로 이송시키기 위한 리니어 모션 가이드 구조 및 코팅 장치의 개략적인 정단면도이고, 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 평면도이며, 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 단면도이다. 도 2b 및 도 2c의 실시예에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 장치(240)에 사용되는 동일한 한 쌍의 기판 이송 장치 중 하나만이 도시되어 있다는 점에 유의하여야 한다.
도 2a 내지 도 2c를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 영역에서 기판(G)을 안정적으로 이송시키기 위한 리니어 모션 가이드 구조는 가이드 레일(296); 및 상기 가이드 레일(296) 상에 제공되는 이동 가이드(298)를 포함하고, 상기 가이드 레일(296)은 상기 기판(G)의 이송 방향을 따라 상기 코팅 영역에 대응되는 길이에 일정 높이(Hc)의 단차부(296a)를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(284)는 로딩 영역을 제공하는 제 1 부상 유닛(276a), 코팅 영역을 제공하는 제 2 부상 유닛(276b), 및 언로딩 영역을 제공하는 제 3 부상 유닛(276c)으로 이루어진 부상 유닛(276)의 좌우 양측에 평행하게 제공되는 한 쌍의 가이드 레일(296); 상기 한 쌍의 가이드 레일(296) 상에 이동 가능하도록 장착되는 한 쌍의 이동 가이드(298); 상기 한 쌍의 이동 가이드(298) 상에 장착되며, 기판(G)을 지지하는 한 쌍의 기판 지지부재(202); 및 상기 기판 지지부재(202)와 연결부재(212)에 의해 연결되며, 상기 기판 지지부재(202)를 상기 한 쌍의 가이드 레일(296) 상에서 이동시키도록 구동하는 구동부재(200)를 포함하고, 상기 한 쌍의 가이드 레일(296)은 각각 상기 기판(G)의 이송 방향을 따라 상기 코팅 영역에 대응되는 길이에 일정 높이(Hc)의 단차부(296a)를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 장치(240)는 로딩 영역을 제공하는 제 1 부상 유닛(276a), 코팅 영역을 제공하는 제 2 부상 유닛(276b), 및 언로딩 영역을 제공하는 제 3 부상 유닛(276c)으로 이루어진 부상 유닛(276); 상기 로딩 영역에서 상기 코팅 영역을 거쳐 상기 언로딩 영역으로 기판(G)을 이송하는 기판 이송 장치(284); 상기 코팅 영역 상에 제공되며, 상기 기판(G) 상에 코팅액을 도포하는 노즐 장치(278); 및 상기 노즐 장치(278)가 장착되는 갠트리(미도시)를 포함하고, 기판 이송 장치(284)는 상기 부상 유닛(276)의 좌우 양측에 평행하게 제공되는 한 쌍의 가이드 레일(296); 상기 한 쌍의 가이드 레일(296) 상에 이동 가능하도록 장착되는 한 쌍의 이동 가이드(298); 상기 한 쌍의 이동 가이드(298) 상에 장착되며, 상기 기판(G)을 지지하는 기판 지지부재(202); 및 상기 한 쌍의 기판 지지부재(202)와 연결되며, 상기 한 쌍의 기판 지지부재(202)를 상기 한 쌍의 가이드 레일(296) 상에서 이동시키도록 구동하는 한 쌍의 구동부재(200)를 포함하며, 상기 한 쌍의 가이드 레일(296)은 각각 상기 기판(G)의 이송 방향을 따라 상기 코팅 영역에 대응되는 길이에 일정 높이(Hc)의 단차부(296a)를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 영역에서 기판을 안정적으로 이송시키기 위한 리니어 모션 가이드 구조, 및 이를 구비한 기판 이송 장치(284) 및 코팅 장치(240)에서, 일정 높이(Hc)의 단차부(296a)는 기판(G)의 로딩/언로딩 부상 높이(Ha)와 코팅 높이(Hb)의 차이(즉, Hc = Ha - Hb)에 해당된다. 통상적으로 기판(G)의 로딩/언로딩 부상 높이(Ha)는 대략 150 내지 250㎛ 범위를 가지며, 코팅 높이(Hb)는 대략 50㎛이므로, 단차부(296a)의 일정 높이(Hc)는 대략 100 내지 200㎛ 범위를 갖는다. 여기서, 기판(G)의 로딩/언로딩 부상 높이(Ha) 및 코팅 높이(Hb)는 예시적인 것으로, 요구되는 기판(G)의 로딩/언로딩 부상 높이(Ha) 및 코팅 높이(Hb)의 사양에 따라 적절히 조정될 수 있다는 것을 당업자라면 충분히 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 대략 100 내지 200㎛ 범위를 갖는 단차부(296a)의 일정 높이(Hc)도 예시적인 것으로 당업자가 로딩/언로딩 부상 높이(Ha) 및 코팅 높이(Hb)의 사양에 따라 가변적일 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.
또한, 상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(284) 및 코팅 장치(240)에서, 기판 지지부재(202)는 기판(G)이 진공 흡착 방식으로 장착되는 복수의 흡착 패드(204), 및 상기 복수의 흡착 패드(204)를 지지하며, 이동 가이드(298) 상에 고정 장착되는 패드 지지부재(206)로 구성되어 있다. 또한, 구동부재(200)는 예를 들어, 선형 모터(linear motor)로 구현될 수 있다. 가이드 레일(296)은 베이스 부재(214)에 장착되어 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅장치(240)에서는 기판 이송 장치(284)에서는, 예를 들어 3,300mm x 3,000mm 사이즈의 기판(G)을 부상 방식으로 코팅하기 위한 리니어 모션 가이드 구조의 가이드 레일(296)이 일반적으로 7,000mm의 길이를 가지며, 기판(G) 이송 방향의 코팅 영역의 길이는 대략 3,300mm이다. 이 경우, 가이드 레일(296) 중 코팅 영역에 대응되는 길이를 따라 상술한 바와 같은 대략 100 내지 200㎛ 범위의 일정 높이(Hc)를 갖는 단차부(296a)는 공지의 초정밀 연마장치를 사용하면 대략 ± 10 ㎛의 평면도(flatness) 오차 범위를 갖도록 형성하는 것이 가능하다. 대안적으로, 가이드 레일(296)은 로딩 영역, 코팅 영역, 및 언로딩 영역에 대응하여 개별적으로 초정밀 가공하여 이어 붙이는 방법으로 제조될 수도 있다. 이 경우, 가이드 레일(296)의 로딩 영역 및 언로딩 영역에 대응되는 부분과 코팅 영역에 대응되는 부분의 높이 차이가 대략 100 내지 200㎛ 범위의 일정 높이(Hc)를 갖도록 가공된다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 영역에서 기판을 안정적으로 이송시키기 위한 리니어 모션 가이드 구조, 및 이를 구비한 기판 이송 장치(284) 및 코팅 장치(240)의 구체적인 구성 및 동작을 상세히 기술한다.
다시 도 2a 내지 도 2c를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅 영역에서 기판을 안정적으로 이송시키기 위한 리니어 모션 가이드 구조, 및 이를 구비한 기판 이송 장치(284) 및 코팅 장치(240)에서는, 먼저 기판(G)이 로딩 영역을 제공하는 제 1 부상 유닛(276a) 상으로 제공된다. 그 후, 기판(G)은 복수의 흡착 패드(204)에 의해 진공 흡착 방식으로 기판 지지부재(202) 상에 지지된다. 그 후, 구동 부재(200)에 의해 복수의 흡착 패드(204)와 패드 지지부재(206)로 구성되는 기판 지지부재(202)가 가이드 레일(296) 상에서 이동한다. 이 경우, 가이드 레일(296)에는 기판(G)의 이송 방향을 따라 코팅 영역에 대응되는 길이에 일정 높이(Hc)의 단차부(296a)가 형성되어 있으므로, 기판(G)은 로딩 영역을 제공하는 제 1 부상 유닛(276a) 상에서는 로딩 부상 높이(Ha)를 유지한다. 그 후, 기판(G)은 코팅 영역을 제공하는 제 2 부상 유닛(276b) 상으로 이송되면 코팅 영역 상에서 단차부(296a)에 의해 부상 높이가 낮아져 코팅 높이(Hb)를 유지한다. 그 후, 기판(G)은 언로딩 영역을 제공하는 제 3 부상 유닛(276c) 상으로 이송되면 부상 높이가 높아져 언로딩 부상 높이(Ha)를 유지한다. 이러한 부상 높이의 변화(즉, 로딩 부상 높이(Ha) -> 코팅 높이(Hb) -> 언로딩 부상 높이(Ha))는 가이드 레일(296) 상에 형성된 단차부(296a)에 의해 자동으로 이루어진다. 따라서, 기판(G)의 부상 높이 조정하기 위해, 제 1 내지 제 3 부상 유닛(276a,276b,276c) 상에 제공되는 복수의 에어 분출구(미도시) 또는 복수의 에어 분출구(미도시) 및 에어 흡입구(미도시)에 의해 제공되는 에어 분출력을 조정하거나 또는 에어 분출력과 에어 흡입력의 차이를 조정할 필요가 없다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 코팅 영역에서 기판을 안정적으로 이송시키기 위한 리니어 모션 가이드 구조, 및 이를 구비한 기판 이송 장치 및 코팅 장치를 사용하면, 기판의 로딩 및 언로딩 부상 높이와 코팅 높이가 가이드 레일에 형성된 일정 단차(step)에 의해 자동으로 일정하게 유지되고, 기판의 이송 방향으로 발생할 수 있는 유동이 최소화되어 기판 이송 속도가 일정하게 유지되며, 기판 상에 코팅액이 일정 두께로 도포되어 얼룩 발생 가능성이 현저하게 감소되어, 최종 제품의 코팅 품질이 향상된다.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.
40,240: 도포장치/코팅 장치 76; 스테이지
78,278: 노즐 장치 84,284: 기판 이송 장치
88: 에어 분출구 90: 에어 흡입구
96,296: 가이드 레일 296a: 단차부
98,298: 이동 가이드 100,200: 구동부재
102,202: 기판 지지부재 104,204: 흡착 패드
106,206: 패드 지지부재 212: 연결부재
276a,276b,276c,276: 부상 유닛

Claims (14)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 기판 이송 장치에 있어서,
    로딩 영역을 제공하는 제 1 부상 유닛, 코팅 영역을 제공하는 제 2 부상 유닛, 및 언로딩 영역을 제공하는 제 3 부상 유닛으로 이루어진 부상 유닛의 좌우 양측에 평행하게 제공되는 한 쌍의 가이드 레일;
    상기 한 쌍의 가이드 레일 상에 이동 가능하도록 장착되는 한 쌍의 이동 가이드;
    상기 한 쌍의 이동 가이드 상에 장착되며, 기판(G)을 지지하는 한 쌍의 기판 지지부재; 및
    상기 한 쌍의 기판 지지부재와 연결부재에 의해 연결되며, 상기 한 쌍의 기판 지지부재를 상기 한 쌍의 가이드 레일 상에서 이동시키도록 구동하는 한 쌍의 구동부재
    를 포함하고,
    상기 한 쌍의 가이드 레일은 각각 상기 기판(G)의 이송 방향을 따라 상기 코팅 영역에 대응되는 길이에 일정 높이의 단차부를 구비하며,
    상기 단차부의 상기 일정 높이는 상기 기판(G)의 로딩/언로딩 부상 높이(Ha)와 코팅 높이(Hb)의 차이에 대응되고,
    상기 로딩/언로딩 부상 높이(Ha)는 150 내지 250㎛ 범위를 가지는
    기판 이송 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 한 쌍의 기판 지지부재는
    상기 기판(G)이 진공 흡착 방식으로 장착되는 한 쌍의 복수의 흡착 패드; 및
    상기 복수의 흡착 패드를 지지하며, 상기 한 쌍의 이동 가이드 상에 고정 장착되는 한 쌍의 패드 지지부재
    로 구성되고,
    상기 한 쌍의 구동부재는 각각 선형 모터(linear motor)로 구현되는
    기판 이송 장치.
  7. 삭제
  8. 제 5항 또는 제 6항에 있어서,
    상기 코팅 높이(Hb)는 50㎛인
    기판 이송 장치.
  9. 제 5항 또는 제 6항에 있어서,
    상기 단차부가 ± 10㎛의 평면도 오차 범위를 갖도록 형성되는 기판 이송 장치.
  10. 코팅장치에 있어서,
    로딩 영역을 제공하는 제 1 부상 유닛, 코팅 영역을 제공하는 제 2 부상 유닛, 및 언로딩 영역을 제공하는 제 3 부상 유닛으로 이루어진 부상 유닛;
    상기 로딩 영역에서 상기 코팅 영역을 거쳐 상기 언로딩 영역으로 기판(G)을 이송하는 기판 이송 장치;
    상기 코팅 영역 상에 제공되며, 상기 기판(G) 상에 코팅액을 도포하는 노즐 장치; 및
    상기 노즐 장치가 장착되는 갠트리
    를 포함하고,
    기판 이송 장치는
    상기 부상 유닛의 좌우 양측에 평행하게 제공되는 한 쌍의 가이드 레일;
    상기 한 쌍의 가이드 레일 상에 이동 가능하도록 장착되는 한 쌍의 이동 가이드;
    상기 한 쌍의 이동 가이드 상에 장착되며, 상기 기판(G)을 지지하는 기판 지지부재; 및
    상기 한 쌍의 기판 지지부재와 연결되며, 상기 한 쌍의 기판 지지부재를 상기 한 쌍의 가이드 레일 상에서 이동시키도록 구동하는 한 쌍의 구동부재
    를 포함하며,
    상기 한 쌍의 가이드 레일은 각각 상기 기판(G)의 이송 방향을 따라 상기 코팅 영역에 대응되는 길이에 일정 높이의 단차부를 구비하고,
    상기 단차부의 상기 일정 높이는 상기 기판(G)의 로딩/언로딩 부상 높이(Ha)와 코팅 높이(Hb)의 차이에 대응되며,
    상기 로딩/언로딩 부상 높이(Ha)는 150 내지 250㎛ 범위를 가지는
    코팅 장치.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 한 쌍의 기판 지지부재는
    상기 기판(G)이 진공 흡착 방식으로 장착되는 한 쌍의 복수의 흡착 패드; 및
    상기 복수의 흡착 패드를 지지하며, 상기 한 쌍의 이동 가이드 상에 고정 장착되는 한 쌍의 패드 지지부재
    로 구성되고,
    상기 한 쌍의 구동부재는 각각 선형 모터(linear motor)로 구현되는
    코팅 장치.
  12. 삭제
  13. 제 10항 또는 제 11항에 있어서,
    상기 코팅 높이(Hb)는 50㎛인
    코팅 장치.
  14. 제 10항 또는 제 11항에 있어서,
    상기 단차부가 ± 10㎛의 평면도 오차 범위를 갖도록 형성되는 코팅 장치.
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JP2008132422A (ja) * 2006-11-28 2008-06-12 Tokyo Electron Ltd 塗布方法及び塗布装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003237563A (ja) * 2002-02-19 2003-08-27 Daifuku Co Ltd 吊り下げ搬送設備
JP2005247516A (ja) 2004-03-05 2005-09-15 Tokyo Electron Ltd 浮上式基板搬送処理装置
JP2008132422A (ja) * 2006-11-28 2008-06-12 Tokyo Electron Ltd 塗布方法及び塗布装置

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