KR100274126B1

KR100274126B1 - 기판반송장치

Info

Publication number: KR100274126B1
Application number: KR1019970013811A
Authority: KR
Inventors: 미쯔아키 요시타미
Original assignee: 이시다 아키라; 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤
Priority date: 1996-05-29
Filing date: 1997-04-15
Publication date: 2001-01-15
Also published as: JPH09321118A; JP3907745B2; KR970077469A

Abstract

기판의 휘어짐을 억제함과 동시에 기판표면의 건조의 불균일을 방지한다. 각형기판(13)을 반송할 때, 자세제어용 에어 실린더(13)를 구동하여, 제1기판지지부재(12) 및 제2 기판지지부재(20)와 함께 각형기판(13)전면을 수평자세에서 소정의 경사자세로 전환하기 때문에, 휘어짐 방향의 수평성분이 단축화되어 각형기판(13)의 휘어짐이 억제되고, 그 만큼, 각형기판(13)의 지나친 휘어짐에 의한 파손을 억제할 수 있다. 또한, 이와 같은 균일한 경사자세인 각형기판(13)의 상위측의 단연부를 따라 처리액공급부재(22)를 배치하고, 이 처리액공급부재(22)에서 처리액을 각형기판(13)의 위쪽 단연부에 공급하기 때문에, 처리액이 도중에 괴는 것과 같은 일도 없이 경사자세의 아래쪽 단부로 배출되므로, 각형기판(13)에 처리액의 중량이 경감되어 각형기판(13)의 휘어짐이 억제되고, 그만큼, 각형기판(13)의 지나친 휘어짐에 의한 파손도 억제할 수 있다.

Description

기판반송장치

제1도는 본 발명의 제1 실시형태에 있어서 기판반송장치를 포함하는 기판 건조장치의 정면도.

제2도는 제1도의 기판건조장치에 있어서 기판의 수평자세상태를 나타내는 AA′단면도.

제3도는 제1도의 기판건조장치의 평면도.

제4도는 제3도의 주요부 B의 확대도.

제5도는 제2도의 주요부 C의 확대도.

제6도는 제5도의 기판건조장치의 주요부 C의 측면도.

제7(a)도는 본 발명의 제2 실시형태에 있어서 기판반송장치의 로봇 암 전체를 경사지게 하여 각형기판을 경사자세로 한 상태를 나타내는 모식도,

제7(b)도는 제7(a)도의 로봇 암 전체를 수평으로 하여 각형기판을 수평자세로 한 상태를 나타내는 모식도.

제8(a)도는 본 발명의 제3 실시형태에 있어서 기판반송장치의 로봇 암위에 있는 각형기판의 경사상태를 나타내는 모식도.

제8(b)도는 제8(a)도의 로봇 암 위에 각형기판을 올려놓기 전의 상태를 나타내는 모식도.

제9도는 종래의 각형기판의 기판지지부재에 의한 6점 지지상태를 나타내는 사시도.

제10도는 종래의 각형기판의 기판지지부재에 의한 4점 지지상태를 나타내는 사시도.

제11도는 종래의 각형기판의 다른 기판지지부재에 의한 6점 지지상태를 나타내는 사시도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

2 : 로드레스 실린더 6 : 승강용 에어 실린더

7, 43 : 자세제어용 에어 실린더 9 : 제1 지지암

10 : 제1 연결암 11 : 제1 에어 실린더

12 : 제1 기판지지부재 13 : 각형기판

14,21 : 지지칼날 15,16 : 제2 지지암

17,18 : 제2 연결암 19 : 제2 에어 실린더

20 : 제2 기판지지부재 22 : 처리액 공급부재

22a : 처리액 공급관 41,51 : 기판지지부재

42,52 : 지지핀 44 : 축버팀부

45,55 : 걸림부

본 발명은 기판건조장치와 같은 것의 기판처리장치 등에 사용되며, 예컨대 유리기판이나 프리트기판 등의 기판류 및 반도체 웨이퍼 등의 판모양부재의 표면에 처리액을 공급하면서 그 기판류를 반송하는 기판반송장치에 관한 것이다.

종래에는, 예컨대 약액세정처리부등에서 건조처리부에 각형(角形)기판을 반송하는 경우, 이 각형기판의 표면이 반송도중에 건조하면, 앞 공정의 약액성분이 그 표면에 남아 얼룩으로 되어 파티클이 발생하는 요인이되므로, 각형기판의 표면에 순수 등의 린스액을 공급하여 세정하면서 기판반송장치로 반송했다. 이와 같이, 약액세정처리, 수세정처리 및 건조처리의 각 공정 중, 수세정처리와 기판반송처리를 동시에 함으로써, 처리공정의 시간적인 단축과 동시에, 약액세정처리후의 각형기판표면을 건조시키지 않고 각형기판을 반송했다.

이 기판반송장치로는, 예컨대 제9도에 나타난 바와 같이, 각형기판(71)의 대향하는 2변의 각 바깥둘레 부근을 한쌍의 기판지지부재(72)로 지지하는 동시에, 이들의 2변과 직교하는 2변의 각 바깥둘레 부근을 한쌍의 기판지지부재(73)로 지지하면서 반송하고 있다. 이때, 기판반송장치는, 기판지지부재(72,73)로 지지된 각형기판(71)의 중앙상부에 배치된 노즐 (도시 생략)에 의해, 각형기판(71)의 표면에 순수를 공급하여 세정하게 된다.

또한, 기판반송장치로는, 예컨대 제10도에 나타난 바와 같이, 각형기판(71)의 서로 대향하는 양쪽 각부를 한쌍의 기판지지부재(74)로 끼워넣어 지지하면서 반송하고 있다. 이 경우에도, 각 기판지지부재(74)로 양쪽 각부(角部)가 지지된 각형 기판(71)의 중앙상부에 노즐(도시생략)이 배치되어 있다.

게다가, 기판반송장치로는, 예컨대 제11도에 나타난 바와 같이, 각형 기판(71)의 대향하는 2변의 양쪽 바깥둘레의 하면측을 그의 전체길이에 걸쳐 기판지지부재(75)의 지지핀(76)상에 올려놓고 반송하고 있다. 이 경우에도, 각 기판지지부재(75)로 지지된 각형기판(71)의 중앙상부에 노즐(도시생략)이 배치되어 있다.

최근에 기판의 대형화나 박형화에 동반하여 기판의 중량에 의한 휘어짐이 발생하기 쉽게 되어 있고, 더불어 부분 건조방지를 위해 기판표면에 순수 등의 처리액을 공급하면서 반송하는 기판반송장치에서는, 기판표면에 공급되는 처리액의 잔류에 의한 중량으로, 더욱 기판의 휘어짐이 증대되어 기판이 파손되어 버릴 우려가 있다는 문제가 있었다. 예컨대, 제9도의 기판 단부의 6점 지지의 경우에는 각형기판(71)의 중앙부가, 또, 제10도의 기판단부의 4점 지지의 경우에는 각형기판(71)의 중앙 대각선부가, 또한, 제11도의 기판 이면부의 6점 지지의 경우에는 각형기판(71)의 중앙선부가 하방으로 휘어지게 되는데, 이 휘어짐이 클 경우에는 파손될 우려가 있었다. 또한, 기판반송중에 처리액을 공급하면, 기판반송방향으로 가속도가 작용하여 기판표면위의 처리액의 분포에 치우침이 발생하고, 이것에 의해서도 기판에 불균일한 휘어짐이 발생하기 쉽게 된다.

또한, 기판표면에는 처리액이 공급되어 있지만, 기판이 휘거나 기판의 휘어짐이 불균일하거나 하면, 종래는, 기판중앙부에서 처리액을 공급하고 있었기 때문에, 휘어진 기판의 위쪽 양단부 등에 처리액이 미치지 않는 부분이 발생할 뿐아니라, 지지 위치 등에 따라서는 기판이 휘어져 불균일하게 경사지는 등 때문에, 공급되는 처리액에 치우친 흐름이 발생하고, 기판표면에서 처리액이 접촉하고 있는 부분과 그렇지 않은 부분이 발생하여, 기판표면에 처리액의 불균일한 공급이 발생하고 있었다. 이와같이, 처리액이 기판표면 전체에 균일하게 공급되지 않고, 기판표면이 부분적으로 건조하면, 이 건조한 부분에 앞 세정공정의 약액성분 등이 그 표면에 남아, 이후에 세정하여도 용이하게 처리되지 않고 얼룩으로 남게 되어 이것이 파티클의 원인으로 된다는 문제를 가지고 있었다. 이 반송되는 기판이 소수성기판이라면, 이와같은 불균일한 건조는 현저하게 발생하게 된다.

이와같은 기판의 지나친 휘어짐을 방지하기 위해서는, 기판의 이면 중앙부 부근에도 기판지지부재를 배치하는 것이 고려되지만, 이 경우, 기판의 이면 중앙부를 오염시켜 버림과 동시에, 로봇 암인 기판지지부재의 기구도 복잡하게 되어 버린다는 문제를 갖고 있다. 또, 상기 얼룩의 대책으로서 처리액 공급노즐의 수를 기판 전체의 표면 상방에 분산시켜 복수로 배치하는 것도 고려되지만, 이 경우에는 처리액의 토출량이 대폭으로 많아지게 되어 버리므로, 처리 액의 중량에 의해 기판의 휘어짐이 더욱 증가하여 기판이 보다 파손되기 쉽게 된다는 문제를 갖고 있었다.

본 발명은, 상기 문제를 해결하는 것으로, 기판의 휘어짐을 억제할 수 있음과 동시에, 기판표면의 불균일한 건조를 방지하여 파티클의 발생을 억제할 수 있는 기판반송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 기판반송장치는, 기판을 기판지지부재로 지지하여 반송하는 기판반송장치에 있어서, 상기 기판지지부재는, 상기 기판에 마주접하여 기판전면을 경사자세로 지지하는 것을 특징으로 하는 것이다.

이 구성에 의해, 기판을 반송할 때, 기판의 전면을 소정의 경사자세로 지지하기 때문에, 휘는 방향의 수평성분이 단축화되어 기판의 휘어짐이 억제되고, 그 만큼, 기판의 지나친 휘어짐에 의한 파손도 억제된다. 또, 경사자세의 위쪽 단연부(端緣部)를 따라서 처리액을 공급하면, 처리액이 도중에 괴는 것과 같은 일이 없이 경사자세의 아래쪽 단연부로 배출되므로, 기판표면은 얇은 액막으로 덮혀짐으로써 기판에 처리액의 중량이 경감되어 기판의 휘어짐이 억제되고, 그 만큼, 기판의 지나친 휘어짐에 의한 파손도 억제된다. 게다가, 이와같이, 기판 전면을 한쪽 방향으로 경사지게 지지하는 것으로 휘어짐이 억제되기 때문에, 처리액을 공급하면서 기판반송을 하는 경우, 휘어짐의 변화가 없는 만큼, 처리액이 도중에 괴는 것과 같은 일없이 경사자세의 위쪽 일단연부에서 아래쪽 단연부로 균등하게 흐르게 된다. 이것에 의해, 기판표면에 처리액을 고르게 공급하는 것이 가능하게 되어 부분 건조 등의 문제도 해소될 수 있다.

또한, 본 발명의 기판반송장치는, 기판을 기판지지부재로 지지하여 반송하는 기판반송장치에 있어서, 상기 기판지지부재는, 상기 기판에 마주접하여 기판 전면을 경사자세로 지지함과 동시에, 기판지지부재로 경사 지지된 기판의 위쪽 위치의 측단연을 따라 배치되어, 기판의 표면에 처리액을 공급하는 처리액공급 부재를 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.

이 구성에 의해, 기판전면을 경사지게 하는 것으로 휘어지는 방향의 수평성분이 단축화됨과 동시에, 처리액이 도중에 괴는 것과 같은 일도 없게 되어 균등하게 흐르기 때문에, 기판표면은 얇은 액막으로 덮혀지게 되어 기판에 처리액의 중량이 경감되어 기판의 휘어짐이 억제되고, 그만큼, 기판의 지나친 휘어짐에 의한 파손도 억제된다. 또한, 기판전면을 소정의 경사자세로 지지하기 때문에, 처리액의 공급에 의해 거듭 휘어지는 변화가 발생하기 어렵고, 기판표면의 경사면 상태가 보다 안정화하고, 공급된 처리액은 기판표면의 위쪽 단연부측에서 아래쪽 단연부측으로 치우침 없이 균일하게 흐르게 된다. 이것에 의해, 기판표면 전면에 고르고 균일한 처리액의 공급이 가능해지므로, 처리액의 공급량을 보다 저감하는 것이 가능하게 됨과 동시에, 부분적인 처리액의 공급부족 등에 의한 종래와 같은 부분건조에 따른 파티클의 발생도 방지가능하게 된다. 특히, 처리액으로서 순수를 사용한 경우에는, 효율적으로 액치환이 행하여지므로, 항상 청정성을 보존할 수 있다.

보다 더, 바람직하게는, 본 발명의 기판반송장치에서 기판지지부재는 기판을 지지하는 기판지지핸드가 경사져 기판전면을 경사자세로 한다. 또한, 바람직하게는, 본 발명의 기판반송장치에서 기판지지부재는 기판을 공급 또는 취입(

)하는 경우의 기판의 수평자세와, 기판을 반송하는 경우의 기판의 경사자세를 전환하는 자세전환수단을 가지고 있다.

이 구성에 의해, 기판지지랜드로 기판을 수평자세로 공급 또는 취입하는 것이 용이하고, 기판을 경사자세로 반송하여 상기 기판의 휘어짐 억제효과 및 부분건조 방지 효과를 얻을 수 있게 된다.

보다 더, 바람직하게는 본 발명의 기판반송장치에서 기판지지부재는, 기판에 마주접하는 부재의 지지높이가 다른 것에 의해 기판을 경사 지지한다.

이 구성에 의해, 기판지지핸드가 경사지는 경우에 비해 기판지지핸드를 경사지게 하는 수단이 불필요해지므로 기판지지핸드의 구성이 간략화된다.

이하, 본 발명에 관한 기판반송장치의 실시형태에 대해 도면을 참조하여 설명한다.

[제1 실시형태]

제1도는 본 발명의 제1 실시형태에서 기판반송장치를 포함하는 기판건조장치의 정면도이고, 제2도는 제1도의 기판건조장치에서 기판이 수평자세인 상태를 나타내는 AA′ 단면도이다.

제1도 및 제2도에 있어서, 평행하게 배치된 상하 한쌍의 안내레일(1,1) 및, 그들의 사이에 배치된 로드레스 실린더(2)를 통해 지지 프레임(3)이 좌우 수평방향으로 왕복이동이 가능하게 설치되어 있다. 이 지지프레임(3)에는 좌우 수평방향으로 소정의 간격을 두고 기판반송용 지지체(4,4)가 각각 배치되어 있다. 이들의 기판반송용 지지체(4,4)는 각각, 상하방향으로 평행하게 배치된 좌우한쌍의 제2안내레일(5,5) 및, 이들의 사이에 배치된 승강용 에어 실린더(6)를 통해 승강이 자유롭게 구성되어 있다. 또, 기판반송용 지지체(4,4)는 각각 수평자세 또는 경사자세가 가능하게 구성되어 있고, 이들의 수평자세와 경사자세를 전환하는 에어 실린더(7)가, 제2안내레일(5)로 안내되는 가이드(8)위에 배치되어 있다.

제3도는 제1도의 기판건조장치의 평면도이고, 제4도는 제3도의 주요부(B)의 확대도이고, 제5도는 제2도의 기판반송장치의 주요부(C)의 확대도이고, 제6도는 제5도의 주요부(C)의 측면도이다.

제3도∼제6도에 있어서, 이들의 기판반송용 지지체(4,4)상에는 각각, 대향하여 설치된 한쌍의 제1 지지암(9,9)과, 이들의 지지암(9,9)의 한쪽 단부가 제각기, 제1 연결암(10,10)을 각각 통해 각각 연결된 각 제1의 에어 실린더(11,11)가 각각 배치되어 있고, 이들의 개별의 제1 에어 실린더(11,11)의 구동에 의해 한쌍의 제1 지지암(9,9)이 기판반송방향(D)의 상호 반대방향으로 이동하여 접근 또는 퇴피가 자유롭게 구성되어 있다. 이들의 한쌍의 제1 지지암(9,9)에는 각각, 하방으로 연장되는 상태로 한쌍의 제1 기판지지부재(12)가 각각 배치되어 있음과 동시에, 이들의 한쌍의 제1 기판지지부재(12)의 하단부에는 각각 각형기판(13)의 측단연 부근을 이면에서 받는 지지칼날(14)이 각각 배치되어 있다. 이들의 제1 기판지지부재(12,12)는, 각형기판(11)의 대향하는 2변을 양측에서 끼워넣음과 동시에, 이들의 2변의 측단연 부근을 이면에서 각 지지칼날(14)로 받도록하여 지지하는 구성이다.

또한, 기판반송용 지지체(4,4)위에는 각각, 평행하게 마련되며 길이가 다른 1조의 제2 지지암(15,16)과, 이들의 제2 지지암(15,16)의 한쪽 단부가 각각, 제2 연결함(17,18)을 각각 통해 연결된 각 제2 에어 실린더(19)가 배치되어 있고, 이 제2 에어 실린더(19)의 구동에 의해 1조의 제2 지지암(15,16)의 각 다른쪽단부가 기판반송방향(D)과 직교하는 방향으로 서로 반대방향으로 이동하며 접근 또는 퇴피가 자유롭게 구성되어 있다. 이들의 1조의 제2 지지암(15,16)의 다른쪽 단부에는 각각, 하방으로 연장되는 상태로 제2 기판지지부재(20)가 배치되어 있음과 동시에, 이 제2 기판지지부재(20)의 하단부에는 각각, 기판지지부재(12,12)로 지지된 각형기판(13)의 측단연과 직교하는 2변의 측단연 중앙부근을 이면에서 받는 지지칼날(20)이 각각 배치되어 있다. 이들의 제2 기판지지부재(20,20)는 각형기판(13)의 대향하는 2변을 끼워넣음과 동시에, 이들의 2변의 측단연 중앙부근을 이면에서 각 지지칼날(21)로 받도록하여 지지하는 구성이다.

게다가, 자세제어용 에어 실린더(7)는, 승강안내부재인 가이드(8)에 고정되어 배치되어 있고, 이 에어 실린더(7)의 로드선단은 지지체(4)에 연결되고, 자세 제어용 에어 실린더(7)를 구동시킴으로써 지지체(4)와 함께 각형기판(13)을 수평 자세 또는 경사 상태로 자유롭게 전환할 수 있다. 이와 같이, 각형기판(13)을 경사지게하는 경우는 기판반송의 경우이고, 각형기판(13)을 수평자세로 하는 경우는 기판을 공급 또는 취입하는 경우이다. 또한, 이와 같은 에어 실린더(7)는 그 제어회로와 함께 자세전환수단을 구성하고 있어서, 각형기판(13)의 경사자세와 수평자세를 전환제어하고 있다. 이 경우의 기판경사각도(θ)는 클수록 기판표면이 건조하기 쉽기 때문에, 처리액의 흐르는 방향이 규정되는 정도의 경사가 있으면 된다. 본 제1 실시형태의 경우는, 바람직한 기판경사각도(θ)로서 3도∼4도 정도로 설정하였다.

게다가, 기판이 경사시에 위쪽으로 되는 제2의 기관지지부재(20)에는 처리액공급부재(22)가, 이 제2의 기판지지부재(20)로 지지하는 각형기판(13)의 측단연의 길이 방향을 따라 배치되어 있다. 이 처리액공급부재(22)는, 원통모양으로 구성되며 그 양단부가 봉지(封止)되고, 처리액이 토출되는 토출구가 길이방향으로 소정의 간격(예컨대 4mm)마다 복수로 마련되어 있다. 이들의 각 토출구는 각형기판(13)의 단연부측을 향해 처리액이 토출하도록 뚫려져 있고, 처리액공급부재(22)의 중앙부에서 연결된 처리액공급관(22a)을 통해 각형기판(13)의 위쪽 단연부에 고르게 처리액을 공급하도록 되어 있다. 게다가, 이 처리액공급부재(22)는, 이 제2 기판지지부재(20)로 지지되어 고정되어 있고, 제2 기판지지부재(20)가 이동이 가능하도록 처리액공급관(22a)에 여유를 가지게 처리액 공급부재(22)와 연결하고 있다.

또한, 이들의 기판지지부재(12,20)에 의한 각형기판(13)의 반송경로의 소정 위치에는, 제3도 및 제4도에 나타난 바와 같은 기판유지수단(23)이 설치되어 있고, 각형기판(13)을 기판유지수단(23)위에 올려놓고 고정하여, 각형기판(13)을 회전시킴과 동시에, 각형기판(13)의 중앙부에 가스노즐(24)에서 질소가스를 분출시키는 것으로, 각형기판(13)위의 처리액을 원심력으로 제거해 건조시키는 구성이다. 이 때, 에어 실린더(25)를 구동시킴으로써 가스노즐(24)의 분출구를 각형기판(13)측에 대향시키도록 가스노즐(24)을 회전동작시키는 구성으로 되어 있다.

이 기판유지수단(23)의 기판고정기구는, 십자모양으로 구성된 기판올림암(26)이 배치되고, 이 기판올림암(26)의 각 선단부(先端部)에 각형기판(13)의 각부 이면측을 각각 지지하는 기판지지핀(27)이 배치되고, 또, 각형기판(13)의 4각부를 각각 2개의 핀으로 위치결정하는 위치결정핀(28)이 배치되어 있다. 또, 기판올림암(26)의 중앙부 뒤측에는 회전축이 마련되어 있고, 이 회전축이 제2도에 나타난 전동모터(29)의 구동축에 연결되어 있다.

이상의 로드레스 실린더(2), 승강용 실린더(6), 자세제어용 실린더(7), 제1 에어 실린더(11), 제2 에어 실린더(19), 제1 기판지지부재(12) 및 제2 기판지지부재(20)등에 처리액공급부재(22)를 더하여 기판반송장치가 구성되어 있고, 예컨대 약액세정처리부 등으로 부터 건조처리부에 각형기판(13)을, 그 표면에 순수 등의 린스액을 공급하여 세정하면서 반송하는 것이다.

상기 구성에 의해, 우선, 예컨대 약액세정처리를 끝낸 미건조의 각형기판(13)을, 대향하는 2변의 각각 2곳씩을 제1 기판지지부재(12)의 지지칼날(14)로 지지함과 동시에, 그들의 2변과 직교하는 2변 각각을 제2 기판지지부재(20)의 지지칼날(21)로 지지함으로써, 기판전체에서 4방향에서 끼워넣는 것처럼 6점으로 지지한 후, 자세제어용 에어 실린더(7)의 로드를 단축시켜 기판반송용 지지체(4)와 함께 각형기판(13)을 수평자세에서 소정의 경사자세로 전환한다. 게다가, 승강용 에어 실린더(6)의 로드를 신장시켜 기판반송용의 지지체(4)와 함께 각형기판(13)을 소정의 높이까지 상승시킨다. 이 때 동시에, 처리액공급부재(22)의 토출구에서 처리액을 각형기판(13)의 단연부의 길이 방향을 따라 고르게 토출시킨다. 또한, 이때, 각형기판(13)은 균일하게 경사져 있으므로, 그 알맞은 경사면을 따라 처리액이 치우침 없이 하단부까지 흐르게 된다. 또, 이 때의 경사자세로 전환하는 타이밍은 에어 실린더(6)에 의한 상승제어 전에 행해지지만, 상승제어 후에 반송전에 행하여도 된다. 중요한것은 각형기판(13)이 면적이 크고 판 두께가 얇은 경우와 같이 휘어지기 쉬운 경우에는, 본 제1 실시형태와 같이, 경사자세로 전환하는 타이밍은 에어 실린더(6)에 의한 상승제어 전에 행하는 편이 좋다.

다음에, 기판유지수단(23)의 위쪽까지 각형기판(13)을 경사지게 한 상태로 반송한다. 그 후, 자세제어용 에어 실린더(7)의 로드를 신장시켜서 기판반송용지지체(4)와 함께 각형기판(13)을 경사방향에서 수평방향으로 전환한다. 게다가, 승강용 에어 실린더(6)의 로드를 단축시켜서 기판반송용 지지체(4)와 함께 각형기판(13)을 하강시킴과 동시에, 처리액공급부재(22)의 토출구에서의 처리액의 공급을 정지하고, 지지핀(27)위에 각형기판(13)을 올려놓는다. 그 후, 각 에어 실린더(11,19)를 각각 구동시켜서 기판지지부재(12,20)를 각형기판(13)의 각측단연측에서 퇴피시킨 상태에서, 승강용 에어 실린더(6)를 신장시켜서 기판반송용 지지체(4)를 소정의 위치까지 상승시킨다. 게다가, 실린더(25)를 구동시킴으로써, 가스 노즐(24)의 토출구를 각형기판(13)측에 대향시키도록 바로 세움과 동시에, 각형기판(13)을 회전시키면서 가스 노즐(24)의 토출구에서 각형기판(13)의 표면측에 질소가스를 토출시키는 것으로 각형기판(13)의 건조가 이루어지게 되어 있다. 이와 같은 건조처리 후에는, 전술의 경우와는 반대 동작에 의해, 기판유지수단(23)에서 각형기판(13)을 꺼내어 후처리공정으로 반송하게 된다.

따라서, 각형기판(13)을 반송할 때, 제1 기판지지부재(12) 및 제2 기판지지부재(20)로 각형기판(13)의 전면을 소정의 경사자세로 지지하고 있으므로, 휘어진 방향의 수형성분이 단축화되어 각형기판(13)의 휘어짐이 억제되고, 그 만큼, 각형기판(13)의 지나친 휘어짐에 의한 파손을 억제할 수 있다. 이와 같은 균일한 경사자세의 각형기판(13)의 상위측의 단연부를 따라서 처리액공급부재(22)를 배치하고, 이 처리액공급부재(22)에서 처리액을 각형기판(13)의 상위단연부에 공급하기 때문에, 처리액이 도중에서 고이게 되는 것과 같은 일이 없이 경사자세의 하위단부로 배출되기 때문에, 각형기판(13)에 처리액의 중량이 경감되어 각형기판(13)의 휘어짐이 억제되고, 그 만큼, 각형기판(13)의 지나친 휘어짐에 의한 파손도 억제할 수 있다. 또한, 이와 같이, 각형기판(13)의 전면을 한쪽 방향으로 경사지게 지지함으로써 휘어짐이 억제되기 때문에, 처리액이 공급되는 각형기판(13)의 표면의 경사면 상태가 보다 안정화하고, 처리액을 공급하면서 각형기판(13)의 반송을 행하는 경우, 휘어짐 변화가 없는 만큼, 처리액이 도중에서 괴는 것과 같은 일도 없이 경사자세의 위쪽의 한쪽단연부에서 아래쪽의 다른 단연부로 균등하게 흐르게 된다. 이것에 의해, 각형기판(13)의 표면에 처리액을 고르게 공급하는 것이 가능하게 되어 부분건조등의 문제도 해소할 수 있다. 따라서, 처리액의 공급량을 저감할 수 있음과 동시에, 처리액이 미치지 않는 등에 의한 불균일한 건조에 따른 파티클의 발생을 억제할 수 있다.

[제2 실시형태]

상기 제1 실시형태에서는, 로봇 암으로서 제1 기판지지부재(12) 및 제2 기판지지부재(20)로 각형 기판(13)의 4변의 단연부를 각각 6점 지지하여 각형기판(13)을 수평으로 유지한 후, 소정의 경사자세로 되도록 로봇 암과 함께 각형기판(13)을 경사지도록 했지만, 본 제2 실시형태에서는, 제7(b)도의 모식도에 나타난 바와 같이, 각형기판(13)의 대향하는 2변의 양쪽 바깥둘레 하면측을 그 전체 길이에 걸쳐 각각, 로봇 암으로서 기판지지부재(41)와 높이가 동일한 지지핀(42)으로 전후의 단부와 그 중앙부의 3점에 각각 올려놓으면서 각형기판(13)을 수평으로 유지한 후, 자세제어용 에어 실린더(43)의 로드를 신장시키는 것과 같이 구동시켜, 제7(a)도의 모식도에 나타난 바와 같이 로봇 암과 함께 각형기판(13)을 소정의 경사자세로 되도록 축버팀부(44)를 중심으로 하여 회전동작시킨다. 이 때, 각형기판(13) 전면은 경사져 있고, 기판어긋남 방지용 측면지지기구로서 걸림부재(45)가 기판지지부재(41)위에 마련되어 있다. 게다가, 승강용 에어 실린더(6)의 로드를 신장시키는 것과 같이 구동시켜 로봇 암과 함께 각형기판(13)을 상승시켜서, 각형기판(13)의 최상위 단연부를 걸쳐서 처리액공급부재(22)에서 처리액을 공급하면서 경사자세의 각형기판(13)을 반송하도록 구성한다. 이 경우에도, 상기 제1 실시형태와 마찬가지로, 휘어짐 억제효과 및 불균일한 건조의 방지효과를 이룰 수 있다. 한편, 다른 부재 및 그 작용은 상기 제1 실시형태와 마찬가지로 구성할 수 있다.

[제3 실시형태]

상기 제1 실시형태에서는, 로봇 암으로서 제1 기판지지부재(12) 및 제2 기판지지부재(20)로 각형기판(13)의 4변의 단연부를 각각 6점 지지하여 각형기판(13)을 수평으로 유지한 후, 소정의 경사자세로 되도록 로봇 암과 함께 각형기판(13)을 경사지도록 했지만, 본 제3 실시형태에서는 제8(b)도의 모식도에 나타난 바와 같이, 각형기판(13)의 대향하는 2변의 양쪽 바깥둘레 하면측에 로봇 암으로서의 기판지지부재(51)를 위치시킨다. 이 때, 기판지지부재(51) 위에는, 각형기판(13)의 대향하는 2변의 양쪽 바깥둘레와 각각 대향하도록, 선단측만큼 낮은 높이가 다른 복수의 지지핀(52)(본 제3 실시형태에서는 각 3개)이 배치되어 있다. 다음에, 제8(a)도의 모식도에 나타난 바와 같이, 승강용 에어 실린더(6)의 로드를 신장시키는 것과 같이 구동시켜 로봇 암과 함께 각형기판(13)을 상승시켜서, 각형기판(13)의 대향하는 2변의 양쪽 바깥둘레 하면측의 전체길이에 걸쳐 각각, 높이가 다른 지지핀(52)으로 전후의 단부와 그의 중앙부의 3점에 각각 올려놓으면서 각형기판(13)을 소정의 경사자세로 유지하면서, 소정의 높이까지 로봇 암과 함께 각형기판(13)을 상승시킨다. 이때, 각형기판(13) 전면은 경사져 있고, 기판 어긋남 방지용 측면지지기구로서 걸림부재(55)가 기판지지부재(51)에 마련되어 있다. 게다가, 각형기판(13)의 최상위 단연부에 걸쳐서 처리액공급부재(22)에서 처리액을 공급하면서 경사자세의 각형기판(13)을 반송하도록 구성한다. 이 경우에도, 상기 제1 실시형태와 마찬가지로, 휘어짐 억제효과 및 불균일한 건조의 방지효과를 이룰 수 있다. 한편, 다른 부재 및 그 작용은 상기 제1실시형태와 동일하게 구성할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 기판전면을 소정의 경사자세로 지지하여 반송하기 때문에, 기판 위에 존재하는 처리액량이 적어짐과 동시에, 경사자세에 의해 휘어지는 방향의 수평성분이 단축화되어 기판의 휘어짐량을 대폭으로 저감시킬 수 있고, 기판의 지나친 휘어짐에 의한 깨어짐 등의 파손을 방지할 수 있다.

또한, 이와같이, 기판의 휘어짐 량을 대폭으로 저감시킴과 동시에, 경사자세의 기판의 위쪽 단연부를 따라서 처리액을 공급하기 때문에, 기판의 반송이나 처리액공급에 의해 기판이 휨상태로 변형되기 어렵게 되므로, 기판표면에 처리액을 고르고 균일하게 공급할 수 있고, 처리액의 공급량을 억제하면서, 또 처리액이 괴는 것이 없이 프레쉬한 처리액을 기판표면전면에 걸쳐 공급할 수 있다. 이것에 의해, 기판표면의 불균일한 건조를 방지할 수 있어 파티클의 발생을 억제할 수 있다.

Claims

기판을 기판지지부재로 지지하여 반송하는 기판반송장치에 있어서, 기판을 경사자세로 지지하는 기판지지부재와, 상기 기판지지부재를 반송방향으로 이동시킴으로써 기판지지부재로 지지하고 있는 기판을 경사진 상태로 반송하는 기구와, 상기 기판지지부재로 지지하고 있는 기판의 표면에 처리액을 공급하는 처리액공급부재를 구비한 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
제1항에 있어서, 상기 처리액공급부재는 상기 기판지지부재로 경사지지된 기판의 위쪽 위치 측단연의 기판의 표면에 처리액을 공급하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기판지지부재는, 상기 기판을 지지하는 기판지지핸드가 경사져 기판전면을 경사자세로 하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기판지지부재는, 상기 기판에 마주접하는 부재의 지지높이가 다른 것에 의해 기판을 경사지지하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기판을 수평자세로 지지하는 상태와, 경사자세로 지지하는 상태로, 상기 기판지지부재를 전환하는 자세전환수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기판반송장치는, 약액처리가 끝난 기판을 건조처리부로 반송하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
약액처리부에서 약액처리된 기판을 기판지지핸드에 의해 지지하여 건조처리부로 반송하는 기판반송방법에 있어서, 상기 기판지지핸드에 의해 상기 기판이 경사자세가 되도록 지지하고, 그 기판지지핸드에 의해 지지되고 있는 경사자세의 기판에 대하여 처리액을 공급하면서, 그 기판지지핸드를 건조처리부로 이동시켜 기판을 반송하는 것을 특징으로 하는 기판반송방법.
제7항에 있어서, 상기 처리액은 순수 등의 린스액인 것을 특징으로 하는 기판반송방법.