JPH09321118A - 基板搬送装置 - Google Patents

基板搬送装置

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JPH09321118A
JPH09321118A JP8135056A JP13505696A JPH09321118A JP H09321118 A JPH09321118 A JP H09321118A JP 8135056 A JP8135056 A JP 8135056A JP 13505696 A JP13505696 A JP 13505696A JP H09321118 A JPH09321118 A JP H09321118A
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rectangular
rectangular substrate
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板の撓みを抑制すると共に基板表面の乾燥
ムラを防止する。 【解決手段】 角形基板１３の搬送に際して、姿勢制御
用のエアーシリンダ１３を駆動して、第１の基板支持部
材１２および第２の基板支持部材２０と共に角形基板１
３全面を水平姿勢から所定の傾斜姿勢に切り替えるた
め、撓み方向の水平成分が短縮化されて角形基板１３の
撓みが抑制され、その分、角形基板１３の撓み過ぎによ
る破損を抑制することができる。また、このような均一
傾斜姿勢の角形基板１３の上位側の端縁部に沿って処理
液供給部材２２を配設し、この処理液供給部材２２から
処理液を角形基板１３の上位端縁部に供給するため、処
理液が途中で液溜まりとなるようなこともなく傾斜姿勢
の下位端縁部から排出されるので、角形基板１３への処
理液の自重が軽減されて角形基板１３の撓みが抑制さ
れ、その分、角形基板１３の撓み過ぎによる破損も抑制
することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板乾燥装置など
の基板処理装置などに用いられ、例えばガラス基板やプ
リント基板などの基板類および半導体ウエハなどの板状
部材の表面に処理液を供給しながらその基板類を搬送す
る基板搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば薬液洗浄処理部などから乾
燥処理部に角形基板を搬送する場合、この角形基板の表
面が搬送途中で乾燥すると、前工程の薬液成分がその表
面に残ってシミとなりパーティクルが発生する要因とな
るため、角形基板の表面に純水などのリンス液を供給し
て洗浄しながら基板搬送装置によって搬送していた。こ
のように、薬液洗浄処理、水洗浄処理および乾燥処理の
各工程のうちの水洗浄処理と基板搬送処理を同時にする
ことによって、処理工程の時間的な短縮と共に、薬液洗
浄処理後の角形基板表面を乾かすことなく角形基板を搬
送していた。
【０００３】この基板搬送装置としては、例えば図９に
示すように、角形基板７１の対向する２辺の各外周縁近
くを一対の基板支持部材７２で支持すると共に、これら
の２辺と直交する２辺の各外周縁近くを一対の基板支持
部材７３で支持しながら搬送していた。このとき、基板
搬送装置は、基板支持部材７２，７３で支持された角形
基板７１の中央上部に配設されたノズル（図示せず）に
より、角形基板７１の表面に純水を供給して洗浄するこ
とになる。
【０００４】また、基板搬送装置としては、例えば図１
０に示すように、角形基板７１の互いに対向する両角部
を一対の基板支持部材７４で挾み込んで支持しながら搬
送していた。この場合にも、各基板支持部材７４で両角
部が支持された角形基板７１の中央上部にノズル（図示
せず）が配設されている。
【０００５】さらに、基板搬送装置としては、例えば図
１１に示すように、角形基板７１の対向する２辺の両外
周縁下面側をその全長に亘って基板支持部材７５の支持
ピン７６上に載置しながら搬送していた。この場合に
も、各基板支持部材７５で支持された角形基板７１の中
央上部にノズル（図示せず）が配設されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】近年の基板の大型化や
薄型化に伴って基板の自重による撓みが生じ易くなって
おり、これに加えて、部分乾燥防止のために基板表面に
純水などの処理液を供給しながら搬送する基板搬送装置
では、基板表面に供給される処理液の液溜まりによる重
量で、益々、基板の撓みが増長されて基板が破損してし
まう虞があるという問題があった。例えば、図９の基板
端部の６点支持の場合には角形基板７１の中央部が、ま
た、図１０の基板端部の４点支持の場合には角形基板７
１の中央対角線部が、さらに、図１１の基板裏面部の６
点支持の場合には角形基板７１の中央線部が下方に撓む
ことになり、この撓みが大きい場合には破損する虞があ
った。また、基板搬送中に処理液を供給すると、基板搬
送方向に加速度が働いて基板表面上の処理液の分布に片
寄りが生じ、これによっても基板に不均一な撓みが生じ
易くなる。
【０００７】また、基板表面には処理液が供給されてい
るが、基板が撓んだり基板の撓みが不均一であったりす
ると、従来は、基板中央部から処理液を供給していたた
め、撓んだ基板の上位両端部などに処理液がかからない
部分が生じるばかりか、支持の位置などによっては基板
が撓んで不均一に傾斜するなどして供給される処理液に
片寄った流れが発生して、基板表面で処理液が接触して
いる部分とそうでない部分とが生じ、基板表面への処理
液の供給にムラが生じていた。このように、処理液が基
板表面全体に均一に供給されず、基板表面が部分的に乾
燥し、この乾燥した部分に前洗浄工程の薬液成分などが
その表面に残って、後で洗浄しても容易には取れないシ
ミとなりこれがパーティクルの原因になるという問題を
有していた。この搬送される基板が疎水性基板であれ
ば、このような乾燥ムラは顕著に生じることになる。
【０００８】このような基板の撓み過ぎを防止するため
には、基板の裏面中央部付近にも基板支持部材を配設す
ることが考えられるが、この場合、基板の裏面中央部を
汚染させてしまうと共に、ロボットアームである基板支
持部材の機構も複雑なものになってしまうという問題を
有していた。また、上記シミ対策として処理液供給ノズ
ルの数を基板全表面上方に分散させて複数配設すること
も考えられるが、この場合には、処理液の吐出量が大幅
に多くなってしまい、処理液の自重により基板の撓みが
さらに増加して基板がより破損し易くなるという問題を
有していた。
【０００９】本発明は、上記問題を解決するもので、基
板の撓みを抑制することができると共に、基板表面の乾
燥ムラを防止してパーティクルの発生を抑えることがで
きる基板搬送装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の基板搬送装置
は、基板を基板支持部材で支持して搬送する基板搬送装
置において、前記基板支持部材は、前記基板に当接して
基板全面を傾斜姿勢で支持することを特徴とするもので
ある。
【００１１】この構成により、基板搬送に際して、基板
全面を所定の傾斜姿勢で支持するので、撓み方向の水平
成分が短縮化されて基板の撓みが抑制され、その分、基
板の撓み過ぎによる破損も抑制される。また、傾斜姿勢
の上位端縁部に沿って処理液を供給すれば、処理液が途
中で液溜まりをつくるようなこともなく傾斜姿勢の下位
端縁部から排出されるので、基板表面は薄い液膜で覆わ
れることになり基板への処理液の自重が軽減されて基板
の撓みが抑制され、その分、基板の撓み過ぎによる破損
も抑制される。さらに、このように、基板全面を一方向
に傾斜支持することで撓みが抑制されるので、処理液を
供給しながら基板搬送をする場合、撓み変化がない分、
処理液が途中で液溜まりを作るようなこともなく傾斜姿
勢の上位一端縁部から下位端縁部に均等に流れることに
なる。これによって、基板表面に処理液を満遍なく供給
することが可能となり部分乾燥などの問題も解消され得
る。
【００１２】また、本発明の基板搬送装置は、基板を基
板支持部材で支持して搬送する基板搬送装置において、
前記基板支持部材は、前記基板に当接して基板全面を傾
斜姿勢で支持すると共に、基板支持部材で傾斜支持され
た基板の上位位置側端縁に沿って配設され、基板の表面
に処理液を供給する処理液供給部材を備えたことを特徴
とするものである。
【００１３】この構成により、基板全面を傾斜させるこ
とで撓み方向の水平成分が短縮化されると共に、処理液
が途中で液溜まりをつくるようなこともなくより均等に
流れるので、基板表面は薄い液膜で覆われることになり
基板への処理液の自重が軽減されて基板の撓みが抑制さ
れ、その分、基板の撓み過ぎによる破損も抑制される。
また、基板全面を所定の傾斜姿勢で支持するので、処理
液の供給による更なる撓み変化が生じにくく、基板表面
の傾斜面状態がより安定化し、供給された処理液は基板
表面の上位端縁側から下位端縁側に片寄らず均一に流れ
ることになる。これによって、基板表面全面に満遍なく
均一な処理液の供給が可能となるので、処理液の供給量
をより低減化することが可能となると共に、部分的な処
理液の供給不足などによる従来のような部分乾燥に伴っ
たパーティクルの発生も防止可能となる。特に、処理液
に純水を用いた場合には、効率よく液置換が行われるた
め、常に清浄性を保つことができる。
【００１４】さらに、好ましくは、本発明の基板搬送装
置における基板支持部材は、基板を支持する基板支持ハ
ンドが傾斜して基板全面を傾斜姿勢とする。また、好ま
しくは、本発明の基板搬送装置における基板支持部材
は、基板を供給または取り込む場合の基板の水平姿勢
と、基板を搬送する場合の基板の傾斜姿勢とを切り替え
る姿勢切り替え手段を有している。
【００１５】この構成により、基板支持ハンドで基板を
水平姿勢で供給または取り込みが容易であり、基板を傾
斜姿勢で搬送して上記基板撓み抑制効果および部分乾燥
防止効果が得られることになる。
【００１６】さらに、好ましくは、本発明の基板搬送装
置における基板支持部材は、基板に当接する部材の支持
高さが異なることにより基板を傾斜支持する。
【００１７】この構成により、基板支持ハンドが傾斜す
る場合に比べて基板支持ハンドを傾斜させる手段が不要
で基板支持ハンドの構成が簡略化する。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る基板搬送装置
の実施形態について図面を参照して説明する。
【００１９】（実施形態１）図１は本発明の実施形態１
における基板搬送装置を含む基板乾燥装置の正面図であ
り、図２は図１の基板乾燥装置における基板水平姿勢状
態を示すＡＡ′断面図である。
【００２０】図１および図２において、平行に配設され
た上下一対の案内レール１，１および、これらの間に配
設されたロッドレスシリンダ２を介して支持フレーム３
が左右水平方向に往復移動可能に設けられている。この
支持フレーム３には、左右水平方向に所定間隔置いて基
板搬送用の支持体４，４がそれぞれ配設されている。こ
れらの基板搬送用の支持体４，４はそれぞれ、上下方向
に平行に配設された左右一対の第２の案内レール５，５
および、これらの間に配設された昇降用のエアーシリン
ダ６を介して昇降自在に構成されている。また、基板搬
送用の支持体４，４はそれぞれ水平姿勢または傾斜姿勢
可能に構成されており、これらの水平姿勢と傾斜姿勢を
切り替えるエアーシリンダ７が、第２の案内レール５に
案内されるガイド８上に配設されている。
【００２１】図３は図１の基板乾燥装置の平面図であ
り、図４は図３の要部Ｂの拡大図であり、図５は図２の
基板搬送装置の要部Ｃの拡大図であり、図６は図５の要
部Ｃの側面図である。
【００２２】図３〜図６において、これらの基板搬送用
の支持体４，４上にはそれぞれ、対向して設けられた一
対の第１の支持アーム９，９と、これらの支持アーム
９，９の一方端部がそれぞれ、第１の連結アーム１０，
１０をそれぞれ介してそれぞれ連結された各第１のエア
ーシリンダ１１，１１とがそれぞれ配設されており、こ
れらの個別の第１のエアーシリンダ１１，１１に駆動に
よって一対の第１の支持アーム９，９が基板搬送方向Ｄ
の互いに反対方向に移動して接近または退避自在に構成
されている。これらの一対の第１の支持アーム９，９に
はそれぞれ、下方に延びる状態で一対の第１の基板支持
部材１２がそれぞれ配設されていると共に、これらの一
対の第１の基板支持部材１２の下端部にはそれぞれ角形
基板１３の側端縁付近を裏面から受ける支持鍔１４がそ
れぞれ配設されている。これらの第１の基板支持部材１
２，１２は、角形基板１１の対向する２辺を両側から挾
み込むと共に、これらの２辺の側端縁付近を裏面から各
支持鍔１４で受けるように支持する構成である。
【００２３】また、基板搬送用の支持体４，４上にはそ
れぞれ、平行に設けられ長さの異なる一組みの第２の支
持アーム１５，１６と、これらの第２の支持アーム１
５，１６の一方端部がそれぞれ、第２の連結アーム１
７，１８をそれぞれ介して連結された各第２のエアーシ
リンダ１９とが配設されており、この第２のエアーシリ
ンダ１９の駆動によって一組みの第２の支持アーム１
５，１６の各他方端部が基板搬送方向Ｄと直交する方向
で互いに反対方向に移動して接近または退避自在に構成
されている。これらの一組みの第２の支持アーム１５，
１６の他方端部にはそれぞれ、下方に延びる状態で第２
の基板支持部材２０が配設されていると共に、この第２
の基板支持部材２０の下端部にはそれぞれ、基板支持部
材１２，１２で支持した角形基板１３の側端縁と直交す
る２辺の側端縁中央付近を裏面から受ける支持鍔２０が
それぞれ配設されている。これらの第２の基板支持部材
２０，２０は角形基板１３の対向する２辺を挾み込むと
共に、これらの２辺の側端縁中央付近を裏面から各支持
鍔２１で受けるように支持する構成である。
【００２４】さらに、姿勢制御用のエアーシリンダ７
は、昇降案内部材としてのガイド８に固定されて配設さ
れており、このエアーシリンダ７のロッド先端は支持体
４に連結され、姿勢制御用のエアーシリンダ７を駆動さ
せることにより支持体４と共に角形基板１３を水平状態
または傾斜状態に自在に切り替えすることができる。こ
のように、角形基板１３を傾斜させる場合は基板搬送の
場合であり、角形基板１３を水平状態とする場合は基板
を供給または取り込みする場合である。また、このよう
なエアーシリンダ７はその制御回路と共に姿勢切り替え
手段を構成しており、角形基板１３の傾斜姿勢と水平姿
勢とを切り替え制御している。この場合の基板傾斜角度
θは大きいほど基板表面が乾きやすくなるので、処理液
の流れる方向が規定される程度の傾きがあればよい。本
実施形態１の場合、好ましい基板傾斜角度θとして３度
〜４度程度に設定した。
【００２５】さらに、基板傾斜時に上位側になる第２の
基板支持部材２０には、処理液供給部材２２が、この第
２の基板支持部材２０で支持する角形基板１３の側端縁
の長手方向に沿って配設されている。この処理液供給部
材２２は、筒状体で構成されその両端部が封止され、処
理液が吐出される吐出口が長手方向の所定間隔（例えば
４ｍｍ）毎に複数設けられている。これらの各吐出口は
角形基板１３の端縁部側に向けて処理液が吐出するよう
に開口しており、処理液供給部材２２の中央部で連結さ
れた処理液供給管２２ａを介して角形基板１３の上位端
縁部に満遍なく処理液を供給するようになっている。さ
らに、この処理液供給部材２２は、この第２の基板支持
部材２０に支持されて固定されており、第２の基板支持
部材２０が移動可能なように処理液供給管２２ａに余裕
を持たせて処理液供給部材２２と連結している。
【００２６】さらに、これらの基板支持部材１２，２０
による角形基板１３の搬送経路の所定位置には、図３お
よび図４に示すような基板保持手段２３が設けられてお
り、角形基板１３を基板保持手段２３上で載置して固定
し、角形基板１３を回転させると共に、角形基板１３の
中央部にガスノズル２４から窒素ガスを噴出させること
で、角形基板１３上の処理液を遠心力で振り切って乾燥
させる構成である。このとき、エアーシリンダ２５を駆
動させることによりガスノズル２４の噴出口を角形基板
１３側に対向させるようにガスノズル２４を回動させる
構成となっている。
【００２７】この基板保持手段２３の基板固定機構は、
十字状に構成された基板載置アーム２６が配設され、こ
の基板載置アーム２６の各先端部に角形基板１３の角部
裏面側をそれぞれ支持する基板支持ピン２７が配設さ
れ、かつ、角形基板１３の４角部をそれぞれ２個のピン
で位置決めする位置決めピン２８が配設されている。ま
た、基板載置アーム２６の中央部裏側には回転軸が設け
られており、この回転軸が図２に示す電動モータ２９の
駆動軸に連結されている。
【００２８】以上のロッドレスシリンダ２、昇降用のシ
リンダ６、姿勢制御用のシリンダ７、第１のエアーシリ
ンダ１１、第２のエアーシリンダ１９、第１の基板支持
部材１２および第２の基板支持部材２０などに処理液供
給部材２２を加えて基板搬送装置が構成されており、例
えば薬液洗浄処理部などから乾燥処理部に角形基板１３
を、その表面に純水などのリンス液を供給して洗浄しな
がら搬送するものである。
【００２９】上記構成により、まず、例えば薬液洗浄処
理を済ませた未乾燥の角形基板１３を、対向する２辺そ
れぞれの２個所づつを第１の基板支持部材１２の支持鍔
１４で支持すると共に、それらの２辺に直交する２辺そ
れぞれを第２の基板支持部材２０の支持鍔２１で支持す
ることで、基板全体として４方から挾み込むように６点
で支持した後、姿勢制御用のエアーシリンダ７のロッド
を短縮させて基板搬送用の支持体４と共に角形基板１３
を水平姿勢から所定の傾斜姿勢に切り替える。さらに、
昇降用のエアーシリンダ６のロッドを伸長させて基板搬
送用の支持体４と共に角形基板１３を所定の高さまで上
昇させる。このとき同時に、処理液供給部材２２の吐出
口から処理液を角形基板１３の端縁の長手方向に亘って
満遍なく吐出させる。また、このとき、角形基板１３は
均一に傾斜しており、その適度な傾斜面に沿って処理液
が片寄ることなく下端部まで流れることになる。なお、
このときの傾斜姿勢に切り替えるタイミングはエアーシ
リンダ６による上昇制御の前で行ったが、上昇制御の後
で搬送前に行ってもよい。要は、角形基板１３が大面積
で板厚が薄い場合のように撓みやすい場合には、本実施
形態１のように、傾斜姿勢に切り替えるタイミングはエ
アーシリンダ６による上昇制御の前で行う方がよい。
【００３０】次に、基板保持手段２３上方まで角形基板
１３を傾斜させた状態で搬送する。その後、姿勢制御用
のエアーシリンダ７のロッドを伸長させて基板搬送用の
支持体４と共に角形基板１３を傾斜方向から水平方向に
切り替える。さらに、昇降用のエアーシリンダ６のロッ
ドを短縮させて基板搬送用の支持体４と共に角形基板１
３を下降させると共に、処理液供給部材２２の吐出口か
らの処理液の供給を停止して、支持ピン２７上に角形基
板１３を載置させる。その後、各エアーシリンダ１１，
１９をそれぞれ駆動させて基板支持部材１２，２０を角
形基板１３の各側端縁側から退避させてた状態で、昇降
用のエアーシリンダ６を伸長させて基板搬送用の支持体
４を所定の位置まで上昇させる。さらに、シリンダ２５
を駆動させることにより、ガスノズル２４の噴出口を角
形基板１３側に対向させるように直立させると共に、角
形基板１３を回転させながらガスノズル２４の噴出口か
ら角形基板１３の表面側に窒素ガスを噴出させることで
角形基板１３の乾燥がなされることになっている。この
ような乾燥処理後においては、前述の場合とは逆の動作
によって、基板保持手段２３から角形基板１３を取り出
して後処理工程に搬送することになる。
【００３１】したがって、角形基板１３の搬送に際し
て、第１の基板支持部材１２および第２の基板支持部材
２０で角形基板１３全面を所定の傾斜姿勢で支持するた
め、撓み方向の水平成分が短縮化されて角形基板１３の
撓みが抑制され、その分、角形基板１３の撓み過ぎによ
る破損を抑制することができる。このような均一傾斜姿
勢の角形基板１３の上位側の端縁部に沿って処理液供給
部材２２を配設し、この処理液供給部材２２から処理液
を角形基板１３の上位端縁部に供給するため、処理液が
途中で液溜まりとなるようなこともなく傾斜姿勢の下位
端縁部から排出されるので、角形基板１３への処理液の
自重が軽減されて角形基板１３の撓みが抑制され、その
分、角形基板１３の撓み過ぎによる破損も抑制すること
ができる。また、このように、角形基板１３全面を一方
向に傾斜支持させることで撓みが抑制されるため、処理
液が供給される角形基板１３の表面の傾斜面状態がより
安定化し、処理液を供給しながら角形基板１３の搬送を
行う場合、撓み変化がない分、処理液が途中で液溜まり
をつくるようなこともなく傾斜姿勢の上位一端縁部から
下位他端縁部に均等に流れることになる。これによっ
て、角形基板１３の表面に処理液を満遍なく供給するこ
とが可能となり部分乾燥などの問題も解消することがで
きる。したがって、処理液の供給量を低減することがで
きると共に、処理液が当たりにくいことなどによる乾燥
ムラに伴ったパーティクルの発生を抑えることができ
る。
【００３２】（実施形態２）上記実施形態１では、ロボ
ットアームとしての第１の基板支持部材１２および第２
の基板支持部材２０で角形基板１３の４辺の端縁部をそ
れぞれ６点支持して角形基板１３を水平に保持した後、
所定の傾斜姿勢になるようにロボットアームと共に角形
基板１３を傾けるようにしたが、本実施形態２では、図
７ｂの模式図に示すように、角形基板１３の対向する２
辺の両外周縁下面側をその全長に亘ってそれぞれ、ロボ
ットアームとしての基板支持部材４１の高さ同一の支持
ピン４２で前後の端部とその中央部の３点でそれぞれ載
置しながら角形基板１３を水平に保持した後、姿勢制御
用のエアーシリンダ４３のロッドを伸長させるように駆
動させて、図７ａの模式図に示すようにロボットアーム
と共に角形基板１３を所定の傾斜姿勢になるように軸支
部４４を中心として回動させる。このとき、角形基板１
３全面は傾斜しており、基板ずれ防止用側面支持機構と
して係止部材４５が基板支持部材４１上に設けられてい
る。さらに、昇降用のエアーシリンダ６のロッドを伸長
させるように駆動させてロボットアームと共に角形基板
１３を上昇させ、角形基板１３の最上位端縁部に亘って
処理液供給部材２２から処理液を供給しつつ傾斜姿勢の
角形基板１３を搬送するように構成する。この場合に
も、上記実施形態１と同様に、撓み抑制効果および乾燥
ムラ防止効果を奏することができる。なお、他の部材お
よびその作用は上記実施形態１と同様に構成することが
できる。
【００３３】（実施形態３）上記実施形態１では、ロボ
ットアームとしての第１の基板支持部材１２および第２
の基板支持部材２０で角形基板１３の４辺の端縁部をそ
れぞれ６点支持して角形基板１３を水平に保持した後、
所定の傾斜姿勢になるようにロボットアームと共に角形
基板１３を傾けるようにしたが、本実施形態３では、図
８ｂの模式図に示すように、角形基板１３の対向する２
辺の両外周縁下面側にロボットアームとしての基板支持
部材５１を位置させる。このとき、基板支持部材５１上
には、角形基板１３の対向する２辺の両外周縁にそれぞ
れ対向するように、先端側ほど低い高さの異なる複数の
支持ピン５２（本実施形態３では各３個）が配設されて
いる。次に、図８ａの模式図に示すように、昇降用のエ
アーシリンダ６のロッドを伸長させるように駆動させて
ロボットアームと共に角形基板１３を上昇させて、角形
基板１３の対向する２辺の両外周縁下面側の全長に亘っ
てそれぞれ、高さの異なる支持ピン５２で前後の端部と
その中央部の３点でそれぞれ載置しながら角形基板１３
を所定の傾斜姿勢に保持しつつ、所定の高さまでロボッ
トアームと共に角形基板１３を上昇させる。このとき、
角形基板１３全面は傾斜しており、基板ずれ防止用側面
支持機構として係止部材５５が基板支持部材５１に設け
られている。さらに、角形基板１３の最上位端縁部に亘
って処理液供給部材２２から処理液を供給しつつ傾斜姿
勢の角形基板１３を搬送するように構成する。この場合
にも、上記実施形態１と同様に、撓み抑制効果および乾
燥ムラ防止効果を奏することとができる。なお、他の部
材およびその作用は上記実施形態１と同様に構成するこ
とができる。
【００３４】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、基板全面
を所定の傾斜姿勢で支持して搬送するため、基板上に存
在する処理液量が少なくなると共に、傾斜姿勢により撓
み方向の水平成分が短縮化されて基板の撓み量を大幅に
低減させることができて、基板の撓み過ぎによる割れな
どの破損を防止することができる。
【００３５】また、このように、基板の撓み量を大幅に
低減させると共に、傾斜姿勢の基板の上位端縁部に沿っ
て処理液を供給するため、基板の搬送や処理液供給によ
って基板の反り状態に変化が起こりにくいことから、基
板表面に処理液を満遍なく均一に供給することができ、
処理液の供給量を抑えつつ、かつ処理液が滞留すること
なくフレッシュな処理液を基板表面全面に亘って供給す
ることができる。これによって、基板表面の乾燥ムラを
防止することができてパーティクルの発生を抑えること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１における基板搬送装置を含
む基板乾燥装置の正面図である。
【図２】図１の基板乾燥装置における基板水平姿勢状態
を示すＡＡ′断面図である。
【図３】図１の基板乾燥装置の平面図である。
【図４】図３の要部Ｂの拡大図である。
【図５】図２の要部Ｃの拡大図である。
【図６】図５の基板乾燥装置の要部Ｃの側面図である。
【図７】ａは本発明の実施形態２における基板搬送装置
のロボットアーム全体を傾斜させて角形基板を傾斜姿勢
にした状態を示す模式図、ｂはａのロボットアーム全体
を水平にして角形基板を水平姿勢にした状態を示す模式
図である。
【図８】ａは本発明の実施形態３における基板搬送装置
のロボットアーム上の角形基板の傾斜状態を示す模式
図、ｂはａのロボットアーム上に角形基板を載置する前
の状態を示す模式図である。
【図９】従来の角形基板の基板支持部材による６点支持
状態を示す斜視図である。
【図１０】従来の角形基板の基板支持部材による４点支
持状態を示す斜視図である。
【図１１】従来の角形基板の他の基板支持部材による６
点支持状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
２ ロッドレスシリンダ ６ 昇降用のエアーシリンダ ７，４３ 姿勢制御用のエアーシリンダ ９ 第１の支持アーム １０ 第１の連結アーム １１ 第１のエアーシリンダ １２ 第１の基板支持部材 １３ 角形基板 １４，２１ 支持鍔 １５，１６ 第２の支持アーム １７，１８ 第２の連結アーム １９ 第２のエアーシリンダ ２０ 第２の基板支持部材 ２２ 処理液供給部材 ２２ａ 処理液供給管 ４１，５１ 基板支持部材 ４２，５２ 支持ピン ４４ 軸支部 ４５，５５ 係止部

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 基板を基板支持部材で支持して搬送する
    基板搬送装置において、前記基板支持部材は、前記基板
    に当接して基板全面を傾斜姿勢で支持することを特徴と
    する基板搬送装置。
  2. 【請求項２】 基板を基板支持部材で支持して搬送する
    基板搬送装置において、前記基板支持部材は、前記基板
    に当接して基板全面を傾斜姿勢で支持すると共に、前記
    基板支持部材で傾斜支持された基板の上位位置側端縁に
    沿って、基板の表面に処理液を供給する処理液供給部材
    を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
  3. 【請求項３】 前記基板支持部材は、前記基板を支持す
    る基板支持ハンドが傾斜して基板全面を傾斜姿勢とする
    ことを特徴とする請求項１または２記載の基板搬送装
    置。
  4. 【請求項４】 前記基板支持部材は、前記基板に当接す
    る部材の支持高さが異なることにより基板を傾斜支持す
    ることを特徴とする請求項１または２記載の基板搬送装
    置。
  5. 【請求項５】 前記基板支持部材は、前記基板を供給ま
    たは取り込む場合の基板の水平姿勢と、基板を搬送する
    場合の基板の傾斜姿勢とを切り替える姿勢切り替え手段
    を有することを特徴とする請求項１、２または３記載の
    基板搬送装置。
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