JP2011510348A5 - - Google Patents

Claims (17)

1. 基板を積層するプロセスであって、
   第一の基板の実質的に平らな表面と第二の基板の実質的に平らな表面の間に感圧接着剤層を配置することと、
   第一の基板と、感圧接着剤層と、第二の基板を真空チェンバー内に配置することと、
   真空チェンバーを真空排気することと、
   柔軟な部材に空気圧を印加することによって柔軟な部材を拡張し、それにより第一の基板と第二の基板の少なくとも一つに圧力を印加することと、
   を含み、
   第一の基板はディスプレイモニターからなる、
   プロセス。
2. 第一の基板の実質的に平らな表面と第二の基板の実質的に平らな表面の間に感圧接着剤層を配置することは、
   第一の基板の実質的に平らな表面と第二の基板の実質的に平らな表面の間に感圧接着剤のシートを配置することを更に含む、請求項１のプロセス。
3. 第一の基板と、感圧接着剤層と、第二の基板を真空チェンバー内に配置することは、
   位置合せ挿入を使って第一の基板の一部を第二の基板の一部と共同位置合せすることを更に含み、位置合せ挿入は真空チェンバーの内部から取り外し可能である、請求項１のプロセス。
4. 第一の基板と、感圧接着剤層と、第二の基板を真空チェンバー内に配置することは、
   サポートピンを使って第一の基板と第二の基板の少なくとも一つの少なくとも一部を感圧接着剤層から空間的に分離して維持することを更に含む、請求項１のプロセス。
5. 第一の基板と第二の基板の少なくとも一つをサポートピン上にサポートすることは、
   第一の基板と第二の基板の少なくとも一つを引き込み可能なサポートピン上にサポートすることと、
   第一の基板と第二の基板の少なくとも一つを変形可能なサポートピン上にサポートすることと、
   第一の基板と第二の基板の少なくとも一つを電磁気的サポートピン上にサポートすることと、
   の少なくとも１つを更に含む、請求項４のプロセス。
6. 真空チェンバーを真空排気することは、
   真空チェンバーの第一の部分を第一の圧力まで真空排気することと、
   真空チェンバーの第二の部分を第二の圧力まで真空排気すること、
   を更に含む、請求項１のプロセス。
7. 第一の基板と第二の基板の少なくとも一つの一部を柔軟な膜との接触からマスキングすること、
   を更に含む請求項１のプロセス。
8. サポートピンを引っ込めることと、
   変形可能なサポートを変形することと、
   電磁気的なサポートを駆動することと、
   の少なくとも１つを行うことによって、第一の基板の実質的に平らな表面と第二の基板の実質的に平らな表面の少なくとも一つを感圧接着剤層に接触させること、を更に含む、請求項５のプロセス。
9. ベース部分を含む真空チェンバーと、
   柔軟な膜であって、柔軟な膜は真空チェンバーを第一の区画と第二の区画に区分しているものと、
   基板サポートと、
   真空チェンバーのベース部分から取り外し可能な基板位置合せ挿入と、
   を含む、基板積層装置。
10. 柔軟な膜は、少なくとも１００％の伸長容量と、
    少なくとも３０ｐｓｉの引き裂き強度、
    の少なくとも１つを有する、請求項９の装置。
11. 基板サポートは、引き込み可能なサポートピンと、変形可能なサポートと、電磁気的サポートの少なくとも１つ
    を更に含む、請求項９の装置。
12. 真空ポンプと、
    コンプレッサーと、
    制御部と、を更に含み、
    制御部は、
    真空チェンバーを真空排気するステップと、
    第一の基板と第二の基板の少なくとも一つに圧力を印加するステップと、
    を行うことを制御するように構成されている、
    請求項９の装置。
13. 制御部は、
    第一の基板の実質的に平らな表面と第二の基板の実質的に平らな表面の間に感圧接着剤層を配置するステップと、
    真空チェンバー内に第一の基板と感圧接着剤層と第二の基板を配置するステップと、
    第一の基板の一部を第二の基板の一部と共同位置合せするステップと、
    第一の基板と第二の基板の少なくとも１つの少なくとも一部を感圧接着剤層から空間的に分離して維持するステップと、
    を行うことを制御するように構成されている、
    請求項１２の装置。
14. 複数の平らなアイテムの各平らなアイテムの少なくとも一つのデータについてのエッジ長を計算するのに好適なデータ計算機と、
    複数の平らなアイテムの各平らなアイテムの少なくとも一つのデータを検出し、複数の平らなアイテムについての適切な揃え位置を計算し、どのように工具補助を形成するかを工具システムに命令するのに好適な位置決定器を含む工具システムと、を含み、
    工具補助は、基板積層装置中に挿入された時に適切な揃え位置を提供するように基板積層装置中の複数の平らなアイテムを配置するのに好適な、工具システムによって形成されている、
    請求項９の装置。
15. 基準位置決めマーカーを検出することであって、基準位置決めマーカーは第一と第二の基板に取り付けられていることと、
    基準位置決めマーカーを光学的に揃えることにより第一と第二の基板を適切な揃え位置に位置決めすることと、
    第一と第二の基板を少なくとも部分的にマスク部材の開口部内に置くことであって、マスク部材は本体部を有し、本体部は第一と第二の基板の周縁部を越えて伸びている平らなアイテムの部分を保護するように構成されていることと、
    を更に含む請求項１のプロセス。
16. 第二の柔軟な部材に空気圧を印加することによって第二の柔軟な部材を拡張し、それにより第一の基板と第二の基板の少なくとも１つに第二の圧力を印加すること、
    を更に含む請求項１のプロセス。
17. 柔軟な部材によって提供された圧力と全体的に反対向きの方向に圧力を提供するように構成された第二の柔軟な部材、
    を更に含む請求項９の装置。