CN106739424B - 取下贴合装置及应用此装置的取下方法与贴合方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种取下贴合装置及应用此装置的取下方法与贴合方法。取下贴合装置适于将一第一基板自一第二基板取下，或将第一基板贴合至第二基板，取下贴合装置包含有一载台、一可挠性固定件及一支撑元件。载台用于固定第一基板。可挠性固定件用于固定第二基板。支撑元件连接载台及可挠性固定件，且载台及可挠性固定件间隔一距离。载台、可挠性固定件与支撑元件之间共同形成一第一可变压腔室。第一可变压腔室具有一第一进出气口。

Description

取下贴合装置及应用此装置的取下方法与贴合方法

技术领域

本发明涉及一种取下贴合装置及应用此装置的取下方法与贴合方法，特别是涉及一种适于将基板自另一基板上取下，或将基板贴合至另一基板的装置及应用此装置的方法。

背景技术

在软性电子元件工业中，元件的制备主要采取片对片(sheet to sheet)的方法制作。在完成制作工艺步骤后，必须面临的问题是如何顺利的将最终产品需要的基板取下，此外，取下的基板常常需要贴合保护膜或功能性薄膜，但在贴合的作业中，很容易遇到取下的基板因内应力而变形，导致贴合不均匀的问题。

一种作法为通过一软性件吸附于其中一欲取下的基板上，其软性件具有多个可变压隔间，可通过对这些可变压隔间抽气的方式使软性件产生挠曲变形。由此，固定于软性件上的基板会受软性件的变形而被拉起。此种方式虽然能将基板分离，但由于基板的内应力，基板取下后易翘曲变形，导致后续的保护膜贴合困难，此外，若基板间的附着力大，基板容易因受力过大而造成基板损伤，甚至，造成基板破裂的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种取下贴合装置，用于在取下或贴合基板的作业中，解决因受力过大而产生基板损伤问题，进而有助于提升取下的基板良率。

为达上述目的，本发明所公开的取下贴合装置，适于将一第一基板自一第二基板取下，或将第一基板贴合至第二基板。取下贴合装置包含有一载台、一可挠性固定件及一支撑元件。载台用于固定第一基板。可挠性固定件用于固定第二基板。支撑元件连接载台及可挠性固定件，且载台及可挠性固定件间隔一距离。载台、可挠性固定件与支撑元件之间共同形成一第一可变压腔室。第一可变压腔室具有一第一进出气口。

本发明所公开的取下方法，用以将一第一基板自一第二基板取下，其取下方法包含有以下步骤，提供如前所述的取下贴合装置，将第一基板固定于载台，将第二基板固定于可挠性固定件，增加第一可变压腔室内的一第一内压，令可挠性固定件朝远离载台的方向挠曲，以分离第一基板与第二基板。

本发明所公开的贴合方法，用以将一第一基板贴合至一第二基板，其贴合方法包含有以下步骤，提供如前所述的取下贴合装置，将第一基板固定于载台，将第二基板固定于可挠性固定件，降低第一可变压腔室内的一第一内压，令可挠性固定件朝接近载台的方向挠曲，以将第二基板贴合至第一基板。

本发明所公开的取下贴合装置及其方法，通过调整第一可变压腔室内的气体压力以让可挠性固定件的相对二侧产生压力差，使得可挠性固定件与基板可一并地挠曲，以进行取下或贴合的作业。

以上的关于本发明实施例内容的说明及以下的实施方式的说明用以示范与解释本发明的精神与原理，并且提供本发明的权利要求更进一步的解释。

附图说明

图1为本发明的第一实施例的取下贴合装置于将第二基板自第一基板取下前的剖面示意图；

图2为本发明的第一实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图；

图3为本发明的第一实施例的取下贴合装置中第二基板贴合至第一基板的过程的示意图；

图4为本发明的第二实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图；

图5A为本发明的第三实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下前的剖面示意图；

图5B为本发明的第三实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图；

图6为本发明的第四实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下前的过程的示意图；

图7A为本发明的第五实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下前的剖面示意图；

图7B为本发明的第五实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下前预先产生预裂口的示意图；

图8A为本发明的第六实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下前的剖面示意图；

图8B为本发明的第六实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图；

图9A～图9E为本发明的第六实施例的取下贴合装置中第一内压与第二内压的时序图；

图10为本发明的第七实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图；

图11为本发明的第八实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图；

图12为本发明的第九实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下前预先产生预裂口的示意图；

图13A～图13B为本发明的第十实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图；

图14为本发明的第十一实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图；

图15为本发明的第十二实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图；

图16A为本发明的第十三实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图；

图16B为本发明的图16A中限位件的局部放大示意图；

图17A为本发明的第十四实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下前的剖面示意图；

图17B为本发明的图17A中挠曲限位组件的上视图；

图17C为本发明的第十四实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图；

图17D为本发明的图17C的局部放大图；

图18A为本发明的第十五实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图；

图18B为本发明的图18A的局部放大图；

图19为本发明的第十六实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图；

图20A为本发明的第十七实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下前的示意图；

图20B为本发明的第十七实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图。

符号说明

91 第一基板

92 第二基板

100、200、300、400、500、600、700、800、900、1000、1100、1200a、1200b、1300、1400、1500、1600 取下贴合装置

110、210、310、410、510、610、710、810、910、1010、1110、1210、1310、1410、1510、1610 载台

110a、210a、310a、410a、510a、610a、710a、810a、910a、1010a、1110a、1210a、1310a、1410a、1510a、1610a 第一进出气口

110b、210b、310b、410b、510b、610b、710b、810b、910b、1010b、1110b、1210b、1310b、1410b、1510b、1610b 吸气口

120、220、320、420、520、620、720、820、920、1020、1120、1220、1320、1420、1520、1620 支撑元件

121、221、321、421、521、621、721、821、921、1021、1121、1221、1321、1421、1521、1621 侧墙部

130、230、330、430、530、630、730、830、930、1030、1130、1230、1330、1430、1530、1630 可挠性固定件

140、240、340、440、540、640、740、840、940、1040、1040、1240、1340、1440、1540、1640 第一可变压腔室

250 多孔性材料层

325、425、525、625、725、825、925、1025、1125、1225、1325、1425、1525、1625 上盖部

450、560、950 预剥离元件

550、650、750、1250、1350、1450、1550 第二可变压腔室

525a、625a、725a、825a、1225a、1325a、1425a、1521a、1625a 第二进出气口

561 连动杆

563 吸盘

760、860 吸附件

951 驱动件

953 楔型铲头

1050 高度调整机构

1023 底部

1060 环状密封件

1261 轨道件

1263、1265 限位件

1265a 贴合面

1265a1 凹面

1265a2 凸面

1360、1460 挠曲限位组件

1360a 硬件

1360b 软件

1460a 轴件

1460b 连接件

1560 位移监控模块

1561 位移监控器

1563 可挠式导电板

1631 可变压隔间

P1 第一内压

P2 第二内压

P3 内压

d1～d4 距离

T0～T4 时间点

具体实施方式

以下在实施方式中详细叙述本发明的内容，此内容足以使任何熟悉相关技术者了解本发明的技术内容并据以实施，且根据本说明书所揭露的内容、权利要求及附图，任何熟悉相关技术者可轻易地理解本发明的技术。以下的实施例进一步详细说明本发明的观点，但非以任何观点限制本发明的范畴。

请参照图1，为根据本发明的第一实施例的取下贴合装置于将第二基板自第一基板取下前的剖面示意图。图1绘示了一种取下贴合装置100，适用于将一第一基板91自一第二基板92取下，或将第一基板91贴合至第二基板92，但本发明并非以此为限。举例来说，在第一基板91与第二基板92位置相对调的其他实施例中，则可以理解为适用于将第二基板92自第一基板91取下，或将第二基板91贴合至第一基板91。这里所指的第一基板91与第二基板92可以但不限于保护膜层、软性面板层或玻璃材料层(板)。

在本实施例中，取下贴合装置100包含有一载台110、一支撑元件120及一可挠性固定件130。支撑元件120连接载台110与可挠性固定件130。具体来说，支撑元件120包含有多个侧墙部121，彼此相连且环绕竖立于载台110上。可挠性固定件130的相对两侧连接于支撑元件120的侧墙部121上，且与载台110间隔一距离d1。这里所述的可挠性固定件130可以但不限于以橡胶或硅胶等具有弹性变形能力或可挠曲的材质所构成。

进一步来说，载台110、支撑元件120的侧墙部121及可挠性固定件130之间共同围绕形成一第一可变压腔室140。第一可变压腔室140具有一第一进出气口110a，第一进出气口110a可连接于一压力调节装置(未绘示)。压力调节装置可经由对第一进出气口110a进气或抽气的方式来改变第一可变压腔室140的第一内压P1。在本实施例中，第一进出气口110a形成于载台110上，但本发明并非以第一进出气口110a的位置为限，只要是可将第一可变压腔室140连通于压力调节装置的设计，均属于本发明的范畴。例如，在其他实施例中，第一进出气口110a也可以形成于支撑元件120上。

更进一步来说，在本实施例中，第一基板91可以为软性面板层，且被叠设于载台110上。载台110上具有多个吸气口110b，第一基板91对应这些吸气口110b而设置于载台110上。吸气口110b可连接于前述的压力调节装置，或连接于另一压力调节装置(未绘示)，可对吸气口110b抽气以在吸气口110b处产生吸引气流，即对吸气口110b提供负压。由此，第一基板91可经由这些吸气口110b处的吸引气流而被吸附固定于载台110上。而第二基板92可以为玻璃材料层(板)，且可以但不限于以粘合的方式固定于可挠性固定件130上。但可理解的是，上述第一基板91与第二基板92的固定方式并非用以限制本发明，只要可将第一基板91与第二基板92分别稳固设置于载台110与可挠性固定件130的设计，均属于本发明的范畴。举例来说，在其他实施例中，第一基板91与第二基板92也可以是均以粘合的方式分别固定于载台110与可挠性固定件130上。或者，在其他实施例中，可挠性固定件130也可以具有类似于前述载台110上的吸气口110b的设计，并可经由外接压力调节装置来直接吸附第二基板92。此外，在其他实施例中，第一基板91也可以为玻璃材料层(板)，而第二基板92也可以为软性面板层，本发明并非以此为限。

接着，将介绍应用上述取下贴合装置100来进行取下作业的步骤。请参阅图2，其是根据本发明的第一实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图。

首先，通过上述压力调节装置对第一进出气口110a进气的方式以来增加第一可变压腔室140内的第一内压P1，并将第一内压P1升压至大于环境压力的程度，即使得第一内压P1大于第一可变压腔室140之外的外界压力(例如，大气压力)，用于使得第一可变压腔室140与外界环境之间产生压力差。在此情况下，第二基板92与可挠性固定件130会一并地受压力差的作用而向上挠曲，使得第二基板92与第一基板91相剥离。同时，在将第二基板92自第一基板91上取下的过程中，第一基板91与第二基板92相剥离的表面承受气体压力，即第一基板91的分离面受到均匀的向下气体压力，抵销部分第一基板91受第二基板92向上牵引的应力，可降低第一基板91的总应力。由此，有助于改善传统作法中基板于取下过程易因应力过大而产生基板损伤的问题。此外，依据模拟实验的结果，当本实施例的第一可变压腔室140的第一内压P1升压至20倍大气压力时所完成的取下制作工艺，其基板上的应力相较于现有技术的取下方式可至少降低20％以上。

接着，将介绍应用上述取下贴合装置100来进行贴合作业的步骤。请参阅图3，其为根据本发明的第一实施例的取下贴合装置中第二基板贴合至第一基板的过程的示意图。

与前述取下作业不同的是，在贴合作业中，在第一基板91与第二基板92相分离的状态下，将第一基板91固定于载台110，而将第二基板92固定于可挠性固定件130。接着，通过上述压力调节装置对第一进出气口110a抽气，以降低第一可变压腔室140内的第一内压P1，并将第一内压P1降压至小于环境压力的程度，即使得第一可变压腔室140与外界环境之间产生压力差，第二基板92与可挠性固定件130会一并地受压力差的作用而向下挠曲，以将第二基板92贴合至第一基板91上。

接着，以下将介绍本发明中同样可适用于将第一基板91自第二基板92取下，或将第一基板91贴合至第二基板92的取下贴合装置的其他实施态样。需要声明的是，以下实施例中关于第一基板91与第二基板92的叙述与第一实施例相同，请容不再赘述。此外，若无特别说明，以下实施例中关于取下作业与贴合作业的步骤大致上类似于第一实施例所描述。

举例来说，请参阅图4，其为根据本发明的第二实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下前的过程的示意图。

图4绘示了一种取下贴合装置200，其结构大致上与第一实施例所述的取下贴合装置100相似，其包含有一载台210、一支撑元件220、一可挠性固定件230。支撑元件220包含有多个侧墙部221，彼此相连且环绕竖立于载台210上。可挠性固定件230的相对两侧连接于支撑元件220的侧墙部221上，且与载台210间隔一距离d1。这里所述的可挠性固定件230可以但不限于以橡胶或硅胶等具有弹变形能力或挠曲性的材质所构成。

载台210、支撑元件220的侧墙部221与可挠性固定件230之间共同围绕形成一第一可变压腔室240。第一可变压腔室240具有位于载台210上的一第一进出气口210a，第一进出气口210a可连接于一压力调节装置(未绘示)，用以改变第一可变压腔室240的第一内压P1。载台210上具有多个吸气口210b，连接于前述的压力调节装置，用以在吸气口210b处产生吸引气流。第一基板91介于可挠性固定件230与载台210之间，而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可挠性固定件230上。

本实施例与第一实施例的主要差异在于，本实施例的取下贴合装置200还可包含有一多孔性材料层250，叠设置于载台210上，而第一基板91叠设于多孔性材料层250上，即多孔性材料层250介于载台210与可挠性固定件230之间。这里所述的多孔性材料层250可以但不限于由泡棉等具有多孔隙的材质所构成。详细来说，多孔性材料层250对应于多个吸气口210b而设置于载台210上，吸气口210b处所产生的吸引气流可通过流经多孔性材料层250上多孔隙的结构而被平均分散于第一基板91的表面。由此，第一基板91可经由多孔性材料层250被稳固的吸附于多孔性材料层250上。更详细来说，由于多孔性材料层250孔隙的尺寸远小于吸气口210b的尺寸，且数量远大于吸气口210b的数量，因此，吸气口210b的吸引气流可被均匀分散以布满于第一基板91的表面，可避免吸引气流吸附于第一基板92表面时产生应力集中的问题。

另外，在本实施例或其他实施例中，为了匹配第一基板91的尺寸外形，部分的多孔性材料层250可经由图案化加工程序而被遮盖住，以避免多孔性材料层250上的吸引气流自未被第一基板91覆盖的部分流逝，而降低了对第一基板91的吸附力。

接着，请参阅图5A～图5B，图5A为根据本发明的第三实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下前的剖面示意图，而图5B为根据本发明的第三实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图。

图5A绘示了一种取下贴合装置300，其结构大致上与第一实施例所述的取下贴合装置100相似，其包含有一载台310、一支撑元件320及一可挠性固定件330。支撑元件320包含有多个侧墙部321，彼此相连且环绕竖立于载台310上。可挠性固定件330的相对两侧连接于支撑元件320的侧墙部321上，且与载台310保持一距离d1。这里所述的可挠性固定件330可以但不限于以橡胶或硅胶等具有弹变形能力或挠曲性的材质所构成。

载台310、支撑元件320的侧墙部321及可挠性固定件330之间共同围绕形成一第一可变压腔室340。第一可变压腔室340具有位于载台310上的一第一进出气口310a，第一进出气口310a可连接于一压力调节装置(未绘示)，用以改变第一可变压腔室340的第一内压P1。载台310上具有多个吸气口310b，这些吸气口310b可连接于前述的压力调节装置，以通过对这些吸气口310b抽气的方式将第一基板91稳固的吸附于载台310上。而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可挠性固定件230上。

本实施例与第一实施例的主要差异在于，取下贴合装置300中的支撑元件320除了包含有多个侧墙部321之外，还可包含有一上盖部325。具体来说，上盖部325设置于侧墙部321上与载台310相对的一侧，即侧墙部321介于上盖部325与载台310之间。此外，上盖部325与可挠性固定件330保持一距离d2。如图5B所示可看出，在取下作业中，通过上盖部325的设置，可限制可挠性固定件330向上的挠曲变形量，以避免可挠性固定件330因过度挠曲，而使得贴附于其上的第二基板92因挠曲过度而发生弯曲碎裂的情形。

接着，请参阅图6，其为根据本发明的第四实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下前的过程的示意图。

图6绘示了一种取下贴合装置400，其结构大致上与第三实施例所述的取下贴合装置300相似，其包含有一载台410、一支撑元件420及一可挠性固定件430。支撑元件420包含有多个侧墙部421及一上盖部425。侧墙部421彼此相连且环绕竖立于载台410上，而上盖部425设置于侧墙部421上与载台410相对的一侧，即侧墙部421介于上盖部425与载台410之间。可挠性固定件430的相对两侧连接于支撑元件420的侧墙部421上，且与载台410间隔一距离d1。而上盖部425与可挠性固定件430保持一距离d2。但于本实施例中，上盖部425为选用，使用者可据实际需求而设置。这里所述的可挠性固定件430可以但不限于以橡胶或硅胶等具有弹变形能力或挠曲性的材质所构成。

载台410、支撑元件420的侧墙部421及可挠性固定件430之间共同围绕形成一第一可变压腔室440。第一可变压腔室440具有位于载台410上的一第一进出气口410a，第一进出气口410a可连接于一压力调节装置(未绘示)，用以改变第一可变压腔室440的第一内压P1。

载台410上具有多个吸气口410b，这些吸气口410b可连接于前述的压力调节装置，以通过对这些吸气口410b抽气的方式将第一基板91稳固的吸附于载台410上。而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可挠性固定件430上。

本实施例与第三实施例的主要差异在于，本实施例的取下贴合装置400还可包含有一预剥离元件450，设置于侧墙部421上。这里所述的预剥离元件450可为一个高压喷嘴。可通过将高压喷嘴450外接一气体产生装置(未绘示)的方式对第一可变压腔室440产生一具冲击力的气体流。由此，使用者可在进行取下作业前，预先以高压喷嘴450施加具冲击力的气体流于第一基板91与第二基板92相贴合处边缘，以于该贴合处产生一预裂口97。由此，有助于后续进行取下作业时，第二基板92可从预裂口97处开始剥离而更快的自第一基板91上被取下。

接着，请参阅图7A～图7B，图7A为根据本发明的第五实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下前的剖面示意图，而图7B为根据本发明的第五实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下前预先产生预裂口的示意图。

图7A绘示了一种取下贴合装置500，其结构大致上与第四实施例所述的取下贴合装置400相似，其包含有一载台510、一支撑元件520、一可挠性固定件530及一预剥离元件560。支撑元件520包含有多个侧墙部521及一上盖部525。侧墙部521彼此相连且环绕竖立于载台510上，而上盖部525设置于侧墙部521上与载台510相对的一侧，即侧墙部521介于上盖部525与载台510之间。可挠性固定件530的相对两侧连接于支撑元件520的侧墙部521上，且分别与载台510及上盖部525保持一距离d1与一距离d2。预剥离元件560设置于支撑元件520上。这里所述的可挠性固定件530可以但不限于以橡胶或硅胶等具有弹变形能力或挠曲性的材质所构成。

载台510、支撑元件520的侧墙部521及可挠性固定件530之间共同围绕形成一第一可变压腔室540。上盖部525与可挠性固定件530之间可共同围绕形成一第二可变压腔室550。第一可变压腔室540具有位于载台510上的一第一进出气口510a，第二可变压腔室550可具有位于上盖部525上的一第二进出气口525a。第一进出气口510a与第二进出气口525a均可连接于压力调节装置(未绘示)，用以改变第一可变压腔室540的第一内压P1与第二可变压腔室550的第二内压P2。但于本实施例中，第二进出气口525a为选用，使用者可据实际需求而设置。载台510上具有多个吸气口510b，这些吸气口510b可连接于前述的压力调节装置，用以将第一基板91稳固的吸附于载台510上。而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可挠性固定件530上。

本实施例与第四实施例的主要差异在于，本实施例的取下贴合装置500的预剥离元件560包含有一连动杆561及一吸盘563。具体来说，连动杆561其中一端可活动地设置于上盖部525，吸盘563连接于连动杆561，并吸附于可挠性固定件530上。由此，如图7B所示，在进行取下作业前，可预先以连动杆561连动吸盘563而向上运动，以带动可挠性固定件530连动第二基板92的一侧向上翘曲，用于在第二基板92与第一基板91之间产生一预裂口97。由此，在进行取下作业时，第二基板92可从预裂口97处开始脱离第一基板91而更快的自第一基板91上被取下。

但可理解的是，只要可让连动杆561连动吸盘563以使可挠性固定件530挠曲变形，预剥离元件560的位置并非以本实施例为限。举例来说，在其他实施例中，预剥离元件560的连动杆561也可选择设置于侧墙部521上。

接着，请参阅图8A～图8B，图8A为根据本发明的第六实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下前的剖面示意图，而图8B为根据本发明的第六实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图。而图9A～图9E为根据本发明的第六实施例的取下贴合装置中第一内压与第二内压的时序图。

图8A绘示了一种取下贴合装置600，其结构大致上与第三实施例所述的取下贴合装置300相似，其包含有一载台610、一支撑元件620及一可挠性固定件630。支撑元件620包含有多个侧墙部621及一上盖部625。侧墙部621彼此相连且环绕竖立于载台610上，而上盖部625设置于侧墙部621上与载台610相对的一侧，即侧墙部621介于上盖部625与载台610之间。可挠性固定件630的相对两侧连接于支撑元件620的侧墙部621上，且分别与载台610及上盖部625保持一距离d1与一距离d2。这里所述的可挠性固定件630可以但不限于以橡胶或硅胶等具有弹变形能力或挠曲性的材质所构成。

载台610、支撑元件620的侧墙部621及可挠性固定件630之间共同围绕形成一第一可变压腔室640。第一可变压腔室640具有位于载台610上的一第一进出气口610a。第一进出气口610a可连接于一压力调节装置(未绘示)，用以改变第一可变压腔室640的第一内压P1。载台610上具有多个吸气口610b，这些吸气口610b可连接于前述的压力调节装置，以通过对这些吸气口610b抽气的方式将第一基板91稳固的吸附于载台610上。而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可挠性固定件630上。

本实施例与第一实施例的主要差异在于，本实施例的取下贴合装置600中，上盖部625与可挠性固定件630之间可共同围绕形成一第二可变压腔室650。第二可变压腔室650具有位于上盖部625的一第二进出气口625a，第二进出气口625a可连接于压力调节装置，用以改变第二可变压腔室650的第二内压P2。

接着，将以取下贴合装置600应用于取下作业为例来说明，如图8B所示，与前述实施例不同的是，本实施例的取下贴合装置600还可通过对第二进出气口625a进气或抽气的方式以来调整第二可变压腔室650内的第二内压P2，用于精确的配置推抵于可挠性固定件630相对两侧的气体压力，以有效的掌控可挠性固定件630的挠曲变形，进而有助于掌控取下作业或贴合作业的进行。举例来说，在进行取下作业时，可经由降低第二内压P2的方式，将第二基板92维持于向上抬起的状态，避免第二基板92自第一基板91取下的部分掉落回第一基板91上，以提高取下作业的成功率。

更详细的说，如图9A～图9E所示，其为本实施例的取下贴合装置600在进行取下作业模拟实验后所绘示的内压时序图。

首先，如图9A所示，自时间点T0至时间点T1的过程中，第一内压P1与第二内压P2会先被同时升压，即同时增加第一可变压腔室640与第二可变压腔室650的压力。在时间点T1后，第一内压P1即转为缓慢升压的模式直到取下作业完成，而第二内压P2也转为缓慢升压的模式，但到了时间点T2时，第二内压P2会大幅度的降压。此时，第一内压P1与第二内压P2间会突然地产生一压力差，到时间点T3时，第二内压P1降压的幅度才较趋于缓和，使得两者间的压力差以较缓和的速度增加，以持续地将第二基板92自第一基板91取下。

接着，如图9B所示，其在时间点T0至时间点T1的过程中关于第一内压P1与第二内压P2的控制方式大致上与图9A相似，差异仅在于，时间点T1后，第二内压P2则转换为缓慢升压的模式直到取下作业完成，而第一内压P1会与第二内压P2一同自时间点T1缓慢升压至时间点T2后而突然的骤升，直到时间点T3才趋于缓和。

接着，如图9C所示，其关于第一内压P1的控制方式，以及在时间点T0至时间点T2过程中对于第二内压P2的控制方式大致上与图9A相似，差异仅在于，在时间点T2与时间点T3的过程中，第二内压P2会经由多种较为剧烈的压力变化，直到时间点T3后才趋于缓和。且到了时间点T3后，第二内压P2会转为缓慢升压的模式，但升压的幅度略为高于第一内压P1的升压幅度，用于逐渐地减小两者之间的压力差。

接着，如图9D所示，与前述时序图的差异在于，自时间点T0，第一内压P1与第二内压P2会先被同时升压，第二内压P2的升压幅度较小且仅持续至时间点T1，自时间点T1后，第二内压P2则会调整为缓慢升压的模式直到取下作业完成。而第一内压P1的升压幅度较大且持续至时间点T2，直到时间点T2后才趋于缓和，可理解的是，第一内压P1与第二内压P2之间自作业开始即产生压力差。接着，在时间点T3时第一内压P1骤降，以降低两者间的压力差，直到时间点T4时，第一内压P1调整为与第二内压P2相同的升压幅度。

接着，如图9E所示，其对于第一内压P1的控制方式大致上与图9D相似，差异仅在于，自开始取下作业，虽然第一内压P1与第二内压P2会被同时升压，但第二内压P2的升压幅度较大，即第二内压P2会大于第一内压P1，有助于在两基板开始相分离前稳固第二基板92的位置。

接着，请参阅图10，其为根据本发明的第七实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图。

图10绘示了一种取下贴合装置700，其结构大致上与第六实施例所述的取下贴合装置600相似，其包含有一载台710、一支撑元件720及一可挠性固定件730。支撑元件720包含有多个侧墙部721及一上盖部725。侧墙部721彼此相连且环绕竖立于载台710上，而上盖部725设置于侧墙部721上与载台710相对的一侧，即侧墙部721介于上盖部725与载台710之间。可挠性固定件730的相对两侧连接于支撑元件720的侧墙部721上，且分别与载台710及上盖部725保持一距离d1与一距离d2。这里所述的可挠性固定件730可以但不限于以橡胶或硅胶等具有弹变形能力或挠曲性的材质所构成。

载台710、支撑元件720的侧墙部721及可挠性固定件730之间共同围绕形成一第一可变压腔室740，上盖部725与可挠性固定件730之间可共同围绕形成一第二可变压腔室750。第一可变压腔室740具有位于载台710上的一第一进出气口710a，第二可变压腔室750可具有位于上盖部725上的一第二进出气口725a。第一进出气口710a与第二进出气口725a均可连接于一压力调节装置(未绘示)，用以改变第一可变压腔室740的第一内压P1与第二可变压腔室750的第二内压P2。但于本实施例中，第二进出气口725a为选用，使用者可据实际需求而设置。载台710上具有多个吸气口710b，这些吸气口710b可连接于前述的压力调节装置，以通过对这些吸气口710b抽气的方式将第一基板91稳固的吸附于载台710上。而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可挠性固定件730上。

本实施例与第六实施例的主要差异在于，本实施例的取下贴合装置700还可包含有多个吸附件760，固定于支撑元件720的上盖部725，且介于上盖部725与可挠性固定件730之间。这里所述的吸附件760可以但不限于吸盘。由此，在取下作业进行的过程中，可挠性固定件730可被吸附件760吸附，使得固定于可挠性固定件730上的第二基板92自第一基板91上取下后不会掉落回第一基板91，以提高取下作业的成功率。

接着，请参阅图11，为根据本发明的第八实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图。

图11绘示了一种取下贴合装置800，其结构大致上与第七实施例所述的取下贴合装置700相似，其包含有一载台810、一支撑元件820、一可挠性固定件830及多个吸附件860。支撑元件820包含有多个侧墙部821及一上盖部825。侧墙部821彼此相连且环绕竖立于载台810上，而上盖部825设置于侧墙部821上与载台810相对的一侧，即侧墙部821介于上盖部825与载台810之间。可挠性固定件830的相对两侧连接于支撑元件820的侧墙部821上，且分别与载台810及上盖部825保持一距离d1与一距离d2。吸附件860固定于支撑元件820的上盖部825，并介于上盖部825与可挠性固定件830之间，吸附元件860可由弹性材料制成，或由可随气压改变长度的结构构成，如类似手风琴的伸缩结构，并可排列成二维阵列。这里所述的可挠性固定件830可以但不限于以橡胶或硅胶等具有弹变形能力或挠曲性的材质所构成。而这里所述的吸附件860可以但不限于吸盘。

载台810、支撑元件820的侧墙部821及可挠性固定件830之间共同围绕形成一第一可变压腔室840。第一可变压腔室840具有位于载台810上的一第一进出气口810a，第一进出气口810a可连接于一压力调节装置(未绘示)，用以改变第一可变压腔室840的第一内压P1。载台810上具有多个吸气口810b，这些吸气口810b可连接于前述的压力调节装置，以通过对这些吸气口810b抽气的方式将第一基板91稳固的吸附于载台810上。而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可挠性固定件830上。

本实施例与第七实施例的主要差异在于，本实施例的取下贴合装置800的上盖部825还具有多个第二进出气口825a，这些第二进出气口825a分别对应且连通于前述的吸附件860。此外，第二进出气口825a可连接于前述的压力调节装置，压力调节装置可对第二进出气口825a进气或抽气，以分别控制吸附件860的吸附力，由于吸附件860由弹性材料或由可随气压改变长度的结构构成，当压力调节装置使吸附件860内部压力下降时，可同时使吸附件860缩短。因此，在进行取下作业或贴合作业时，压力调节装置可以有时序性的方式分别对第二进出气口825a进气或抽气，用于依序改变这些吸附件860的长度。即，以依序调整吸附件860的长度的方式来控制可挠性固定件830的挠曲，用于精确的掌控取下作业或贴合作业的进行。

接着，请参阅图12，其为根据本发明的第九实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下前预先产生预裂口的示意图。

图12绘示了一种取下贴合装置900，其结构大致上与第四实施例所述的取下贴合装置400相似，其包含有一载台910、一支撑元件920、一可挠性固定件930及一预剥离元件950。支撑元件920包含有多个侧墙部921及一上盖部925。侧墙部921彼此相连且环绕竖立于载台910上，而上盖部925设置于侧墙部921上与载台910相对的一侧，即侧墙部921介于上盖部925与载台910之间。可挠性固定件930的相对两侧连接于支撑元件920的侧墙部921上，且分别与载台910及上盖部925保持一距离d1与一距离d2。但于本实施例中，上盖部925为选用，使用者可据实际需求而设置。预剥离元件950设置于支撑元件920上。这里所述的可挠性固定件930可以但不限于以橡胶或硅胶等具有弹变形能力或挠曲性的材质所构成。

载台910、支撑元件920的侧墙部921及可挠性固定件930之间共同形成一第一可变压腔室940。第一可变压腔室940具有一第一进出气口910a，第一进出气口910a可连接于一压力调节装置(未绘示)，用以改变第一可变压腔室940的第一内压P1。载台910上具有多个吸气口910b，这些吸气口910b可连接于前述的压力调节装置，以通过对这些吸气口910b抽气的方式将第一基板91稳固的吸附于载台910上。而第二基板92可以但不限于以粘着剂粘着固定于可挠性固定件930上。

本实施例与第四实施例的主要差异在于，在本实施例的取下贴合装置900的预剥离元件950包含有一驱动件951及一楔型铲头953。具体来说，驱动件951设置于支撑元件920的侧墙部921上，楔型铲头953可活动地设至于驱动件951，楔型铲头953可通过驱动件951的推动而自侧墙部921朝第一可变压腔室940内部的方向突进。由此，可在进行取下作业前，预先以楔型铲头953对准于第一基板91与第二基板92相贴合处边缘，并通过楔型铲头953的突进而在第一基板91与第二基板92相贴合处产生一预裂口97。由此，有助于后续进行取下作业时，第二基板92可从预裂口97处开始剥离而更快的自第一基板91上被取下有助于后续取下作业的进行。

接着，请参阅图13A～图13B，其为根据本发明的第十实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图。

图13A绘示了一种取下贴合装置1000，其包含有一载台1010、一支撑元件1020、一可挠性固定件1030及一高度调整机构1050。支撑元件1020连接载台1010与可挠性固定件1030，而高度调整机构1050连接于支撑元件1020与载台1010之间。具体来说，支撑元件1020包含有多个侧墙部1021、多个底部1023及一上盖部1025，侧墙部1021彼此相连且环绕竖立于底部1023上，而上盖部1025设置于侧墙部1021上与底部1023相对的一侧，即侧墙部1021介于上盖部1025与底部1023之间。但于本实施例中，上盖部1025为选用，使用者可据实际需求而设置。载台1010连接于侧墙部1021之间，并与底部1023保持一距离d3。可挠性固定件1030的相对两侧连接于支撑元件1020的侧墙部1021上，且分别与上盖1025及载台1010间隔一距离d2与一距离d4。高度调整机构1050可活动地连接于底部1023与载台1010之间，用于调整载台1010与底部1023之间的距离d3，进而可调整可挠性固定件1030与载台1010的间隔的距离d4。这里所述的可挠性固定件1030可以但不限于以橡胶或硅胶等具有弹变形能力或挠曲性的材质所构成。而高度调整机构1050可以但不限于螺丝。

载台1010、支撑元件1020的侧墙部1021及可挠性固定件1030之间共同形成一第一可变压腔室1040。第一可变压腔室1040具有位于载台1010上的一第一进出气口1010a，第一进出气口1010a可连接于一压力调节装置(未绘示)，用以改变第一可变压腔室1040的第一内压P1。载台1010上具有多个吸气口1010b，可连接于前述的压力调节装置，用以产生吸引气流。

通过上述高度调整机构1050可调整可挠性固定件1030与载台1010的间隔的距离d4的设计，第一可变压腔室1040的容积可依据待作业的基板所堆叠的高度不同而进行调整。如图13A所示，取下贴合装置1000可以容置有第一基板91、第二基板92与一第三基板93所推叠贴合的三层板结构，在本实施例中，第一基板91与第三基板可以为玻璃材料层(板)，而第二基板92可以为软性面板层。第一基板91可被吸附固定于载台1010上，而第三基板93可被粘贴固定于可挠性固定件1030上

或者，如图13B所示，通过高度调整机构1050将可挠性固定件1030与载台1010的间隔的距离d4调小，以配合容置第一基板91与第二基板92所堆叠贴合的二层板结构。由此可知，通过高度调整机构1050的设置，取下贴合装置1000可对不同堆叠高度的基板进行取下作业。

除此之外，在本实施例中，取下贴合装置1000还包含有一环状密封件1060，设置于底部1023与载台1010之间。这里所述的环状密封件1060可以但不限于以橡胶等具有弹性变形能力的材质所构成。具体来说，环状密封件1060常态地被抵压于底部1023与载台1010之间。由此，在进行取下作业时，可确保在第一可变压腔室1040内的气体不会从载台1010与支撑元件1020之间的缝隙溢散至外界环境，在进行贴合作业时，可确保外界环境的气体不会从载台1010与支撑元件1020之间的缝隙进入第一可变压腔室1040。

接着，请参阅图14，其为根据本发明的第十一实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图。

图14绘示了一种取下贴合装置1100，其结构大致上与第三实施例所述的取下贴合装置300相似，其包含有一载台1110、一支撑元件1120及一可挠性固定件1130。支撑元件1120包含有多个侧墙部1121及一上盖部1125。侧墙部1121彼此相连且环绕竖立于载台1110上，而上盖部1125设置于侧墙部1121上与载台1110相对的一侧，即侧墙部1121介于上盖部1125与载台110之间。可挠性固定件1130介于上盖部1125与载台1110之间。这里所述的可挠性固定件1130可以但不限于以橡胶或硅胶等具有弹变形能力或挠曲性的材质所构成。

载台1110、支撑元件1120及可挠性固定件1130之间共同围绕形成一第一可变压腔室1140。第一可变压腔室1140具有位于载台1110上的一第一进出气口1110a，第一进出气口1110a可连接于一压力调节装置(未绘示)，用以改变第一可变压腔室1140的第一内压P1。载台1110上具有多个吸气口1110b，这些吸气口1110b可连接于前述的压力调节装置，以通过对这些吸气口1110b抽气的方式将第一基板91稳固的吸附于载台1110上。而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可挠性固定件1130上。

本实施例与第三实施例的差异处在于，本实施例的取下贴合装置1100的可挠性固定件1130一侧面粘贴固定于上盖部1125，而相对的另一侧面则用于固定第二基板92，即，可挠性固定件1130被夹持于上盖1125与第二基板92之间。因此，在取下作业时，第二基板92会向上挠曲而压缩可挠性固定件1130，在此情况下，由于可挠性固定件1130可被压缩的程度有限，可限制第二基板92向上挠曲的变形量，以避免第二基板92因过度挠曲而发生弯曲碎裂的情形发生。

接着，请参阅图15，图15为根据本发明的第十二实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图。

图15绘示了一种取下贴合装置1200a，其结构大致上与第六实施例所述的取下贴合装置600相似，其包含有一载台1210、一支撑元件1220及一可挠性固定件1230。支撑元件1220包含有多个侧墙部1221及一上盖部1225。侧墙部1221彼此相连且环绕竖立于载台1210上，而上盖部1225设置于侧墙部1221上与载台1210相对的一侧，即侧墙部1221介于上盖部1225与载台1210之间。可挠性固定件1230的相对两侧连接于支撑元件1220的侧墙部1221上，且分别与载台1210及上盖部1225保持一距离d1与一距离d2。这里所述的可挠性固定件1230可以但不限于以橡胶或硅胶等具有弹变形能力或挠曲性的材质所构成。

载台1210、支撑元件1220的侧墙部1221及可挠性固定件1230之间共同围绕形成一第一可变压腔室1240，上盖部1225与可挠性固定件1230之间共同围绕形成一第二可变压腔室1250。第一可变压腔室1240具有位于载台1210上的一第一进出气口1210a，第二可变压腔室1250可具有位于上盖部1225上的一第二进出气口1225a。第一进出气口1210a与第二进出气口1225a均可连接于一压力调节装置(未绘示)，用以改变第一可变压腔室1240的第一内压P1与第二可变压腔室1250的第二内压P2。但于本实施例中，第二进出气口1225a为选用，使用者可据实际需求而设置。载台1210上具有多个吸气口1210b，这些吸气口1210b可连接于前述的压力调节装置，以通过对这些吸气口1210b抽气的方式将第一基板91稳固的吸附于载台1210上。而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可挠性固定件1230上。

本实施例与第六实施例的主要差异在于，本实施例的取下贴合装置1200a还可包含有一轨道件1261及一限位件1263。具体来说，轨道件1261固定于上盖部1225，而限位件1263一端上装设有滚轮，而相对的另一端则可滑动地设置于轨道件1261上，可理解的是，轨道件1261可限制限位件1263于单一轴向上滑动。由此，当进行取下作业时，虽然可挠性固定件1230的挠曲变形可推动限位件1263的滚轮而驱使限位件1263于轨道件1261上滑动，但可挠性固定件1230会受限位件1263仅能于单一轴向上滑动的限制，因此，固定于可挠性固定件1230上的第二基板92仅能沿着单一轴向方向被取下。此外，在取下作业中，由于限位件1263设置有滚轮，可有效地控制可挠性固定件1230的挠曲曲率，进而可控制固定于可挠性固定件1230上的第二基板92的挠曲曲率，避免第二基板92因过度弯曲而碎裂的情形发生。类似的，在进行贴合作业时，通过轨道件1261及限位件1263的设置，可限制第二基板92仅沿单一轴向的方向贴合至第一基板91。

可理解的是，限位件1263的设计并非以上述实施例为限，只要有助于在取下作业或贴合作业时得以有效控制第二基板92的挠曲曲率的设计，均属于本发明的范畴。举例来说，请一并参阅图16A～图16B，图16为根据本发明的第十三实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图，而图16B为根据本发明的图16A中限位件的局部放大示意图。

第十三实施例提出了一种取下贴合装置1200b。需声明的是，本实施例的取下贴合装置1200b的结构大致上相似于第十二实施例的取下贴合装置1200a，其差异仅在于，本实施例的取下贴合装置1200b的限位件1265可为一凸块，且具有一贴合面1265a。具体来说，贴合面1265a由彼此相连的一凹面1265a1与一凸面1265a2所组成，凹面1265a1相较于凸面1265a2更远离载台1210。当进行取下作业时，挠曲变形的可挠性固定件1230会匹配于限位件1265的凹面1265a1与凸面1265a2所构成的形状，用于限制可挠性固定件1230于的适当的挠曲曲率，进而可将固定于可挠性固定件1230的第二基板92的挠曲曲率控制于一适当的范围内。

接着，请参阅图17A～图17D，图17A为根据本发明的第十四实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下前的剖面示意图，图17B为根据本发明的图17A中挠曲限位组件的上视图，图17C为根据本发明的第十四实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图，而图17D为根据本发明的图17C的局部放大图。

图17A绘示了一种取下贴合装置1300，其结构大致上与第六实施例所述的取下贴合装置600相似，其包含有一载台1310、一支撑元件1320及一可挠性固定件1330。支撑元件1320包含有多个侧墙部1321及一上盖部1325。侧墙部1321彼此相连且环绕竖立于载台1310上，而上盖部1325设置于侧墙部1321上与载台1310相对的一侧，即侧墙部1321介于上盖部1325与载台1310之间。可挠性固定件1330的相对两侧连接于支撑元件1320的侧墙部1321上，且分别与载台1310及上盖部1325保持一距离d1与一距离d2。但于本实施例中，上盖部1325为选用，使用者可据实际需求而设置。这里所述的可挠性固定件1330可以但不限于以橡胶或硅胶等具有弹变形能力或挠曲性的材质所构成。

载台1310、支撑元件1320的侧墙部1321及可挠性固定件1330之间共同围绕形成一第一可变压腔室1340，而上盖部1325与可挠性固定件1330之间可共同围绕形成一第二可变压腔室1350。第一可变压腔室1340具有位于载台1310上的一第一进出气口1310a，第二可变压腔室1350可具有位于上盖部1325上的一第二进出气口1325a。第一进出气口1310a与第二进出气口1325a均可连接于一压力调节装置(未绘示)，用以改变第一可变压腔室1340的第一内压P1与第二可变压腔室1350的第二内压P2。但于本实施例中，第二进出气口1325a为选用，使用者可据实际需求而设置。载台1310上具有多个吸气口1310b，这些吸气口1310b可连接于前述的压力调节装置，以通过对这些吸气口1310b抽气的方式将第一基板91稳固的吸附于载台1310上。而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可挠性固定件1330上。

本实施例与第六实施例的主要差异在于，本实施例的取下贴合装置1300还可包含有一挠曲限位组件1360，固定于可挠性固定件1330上。具体的说，如图17B所示，挠曲限位组件1360由多个硬件1360a与多个软件1360b交错相连所组成，各硬件1360a与各软件1360b的延伸方向水平于Z轴。此外，硬件1360a可为刚性材质所组成，具有不可挠曲的特性，而软件1360b为软性材质所组成，具有可挠曲的特性。由此，挠曲限位组件1360仅能沿着相同的挠曲轴向(例如，Z轴方向)挠曲变形。接着，如图17C～图17D所示，当应用上述取下贴合装置1300以进行取下作业时，可挠性固定件1330会受到挠曲限位组件1360的限制而仅能在相同的挠曲轴向上挠曲变形，因此，固定于第二基板92也会受到同样的限制而仅能于相同的挠曲轴向挠曲，由此，可避免第二基板92在取下的过程中同时以多轴挠曲轴向挠曲，而产生应力过大的问题。

可理解的是，挠曲限位组件1360的设计并非以上述实施例为限，只要有助于限制基板于相同的挠曲轴向挠曲，均属于本发明的范畴。举例来说，请一并参阅图18A～图18B，图18A为根据本发明的第十五实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图，而图18B为根据本发明的图18A的局部放大图。

第十五实施例提出了一种取下贴合装置1400。需声明的是，本实施例的取下贴合装置1400的结构大致上相似于第十四实施例的取下贴合装置1300，其差异仅在于，本实施例的取下贴合装置1400的挠曲限位组件1460由多个轴件1460a与多个连接件1460b交错相连所组成，每一轴件1460a可枢转的连接于二连接件1460b之间。

接着，请参阅图19，为根据本发明的第十六实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图。

图19绘示了一种取下贴合装置1500，其结构大致上与第六实施例所述的取下贴合装置600相似，其包含有一载台1510、一支撑元件1520及一可挠性固定件1530。支撑元件1520包含有多个侧墙部1521及一上盖部1525。侧墙部1521彼此相连且环绕竖立于载台1510上，而上盖部1525设置于侧墙部1521上与载台1510相对的一侧，即侧墙部1521介于上盖部1525与载台1510之间。可挠性固定件1530的相对两侧连接于支撑元件1520的侧墙部1521上，且分别与载台1510及上盖部1525保持一距离d1与一距离d2。这里所述的可挠性固定件1530可以但不限于以橡胶或硅胶等具有弹变形能力或挠曲性的材质所构成。

载台1510、支撑元件1520的侧墙部1521及可挠性固定件1530之间共同围绕形成一第一可变压腔室1540，而上盖部1525与可挠性固定件1530之间共同围绕形成一第二可变压腔室1550。第一可变压腔室1540可具有位于载台1510上的一第一进出气口1510a，第二可变压腔室1550可具有位一第二进出气口1521a。第一进出气口1510a与第二进出气口1521a均可连接于一压力调节装置(未绘示)，用以改变第一可变压腔室1540的第一内压P1与第二可变压腔室1550的第二内压P2。载台1510上具有多个吸气口1510b，这些吸气口1510b可连接于前述的压力调节装置，以通过对这些吸气口1510b抽气的方式将第一基板91稳固的吸附于载台1510上。而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可挠性固定件1530上。

本实施例与第六实施例的主要差异在于，本实施例的取下贴合装置1500中，第二进出气口1521a位于侧墙部1521。除此之外，取下贴合装置1500还可包含有一位移监控模块1560，其包含有一位移监控器1561及二可挠式导电板1563a与1563b。具体来说，位移监控器1561设置于上盖部1525上，可挠式导电板1563a、1563b位于第一可变压腔室1540内，可挠式导电板1563a设置于上盖部1525，而可挠式导电板1563b设置于可挠性固定件1530。位移监控器1561可用来侦测二可挠式导电板1563a与1563b之间的距离变化所产生的电容值变化。详细来说，在取下作业或贴合作业时，设置于可挠性固定件1530上的可挠式导电板1563b会随着可挠性固定件1530的挠曲而变形，二可挠式导电板1563a与1563b之间的距离d5会随着可挠性固定件1530的挠曲而改变，进而产生了电容值的变化，而位移监控器1561可通过侦测该电容值的变化而计算出实际上距离d5的变化，由此，可用来监测取下作业或贴合作业的情况。

接着，请参阅图20A～图20B，图20A为根据本发明的第十七实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下前的示意图，而图20B为根据本发明的第十七实施例的取下贴合装置中第二基板自第一基板取下的过程的示意图。

图20A绘示了一种取下贴合装置1600，其结构大致上与第十一实施例所述的取下贴合装置1100相似，其包含有一载台1610、一支撑元件1620及一可挠性固定件1630。支撑元件1620包含有多个侧墙部1621及一上盖部1625。侧墙部1621彼此相连且环绕竖立于载台1610上，而上盖部1625设置于侧墙部1621上与载台1610相对的一侧，即侧墙部1621介于上盖部1625与载台1610之间。可挠性固定件1630设置于上盖部1625，且介于上盖部1625与载台1610之间。这里所述的可挠性固定件1630可以但不限于以橡胶或硅胶等具有弹变形能力或挠曲性的材质所构成。

载台1610、支撑元件1620及可挠性固定件1630之间共同围绕形成一第一可变压腔室1640。第一可变压腔室1640具有位于载台1610上的一第一进出气口1610a，第一进出气口1610a可连接于一压力调节装置(未绘示)，可用以改变第一可变压腔室1640的第一内压P1。载台310上具有多个吸气口1610b，这些吸气口1610b可连接于前述的压力调节装置，以通过对这些吸气口1610b抽气的方式将第一基板91稳固的吸附于载台1610上。而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可挠性固定件1630上。

本实施例与第十一实施例的差异在于，本实施例的取下贴合装置1600的可挠性固定件1630可具有多个可变压隔间1631。除此之外，上盖部1625还可具有多个第二进出气口1625a，分别对应于可挠性固定件1630的多个可变压隔间1631。详细来说，这些第二进出气口1625a可连接于压力调节装置，压力调节装置可经由这些第二进出气口1625a进气或抽气的方式分别改变可挠性固定件1630中这些可变压隔间1631的内压P3。如图20B所示，在进行取下作业或贴合作业时，压力调节装置可以有时序性地对第二进出气口1625a进气或抽气，而依序改变这些可变压隔间1631的内压P3，由此，可精确的控制可挠性固定件1630相对两侧的气体压力，进而能精确的控制可挠性固定件1630的挠曲，而能有效地掌控取下作业或贴合作业的进行。

综合以上所述，本发明实施例的取下贴合装置及应用其的取下方法与贴合方法，通过调整第一可变压腔室内的气体压力以让可挠性固定件的相对二侧产生压力差，以使得可挠性固定件与基板可一并地挠曲，以进行取下或贴合的作业。

Claims (19)

1.一种取下贴合装置，适于将一第一基板自一第二基板取下，或将该第一基板贴合至该第二基板，该取下贴合装置包含有：

载台，具有一承载面、多个吸气口与一第一进出气口，该承载面用于承载该第一基板，该多个吸气口与该第一进出气口均形成于该载台的该承载面上，该多个吸气口位于该第一基板投影于该载台的投影区内，且该多个吸气口用于吸附承载于该承载面的该第一基板；

可挠性固定件，用于固定该第二基板；以及

支撑元件，连接该载台及该可挠性固定件，且该载台及该可挠性固定件间隔一距离，其中，该支撑元件包含多个侧墙部及一上盖部，该多个侧墙部介于该上盖部与该载台之间，该可挠性固定件固定于该多个侧墙部内部，且该可挠性固定件与该多个侧墙部及该上盖部的接合面保持一距离，其中该载台的该第一进出气口直接连通于该载台、该可挠性固定件与该支撑元件的该多个侧墙部之间共同形成的一第一可变压腔室。

2.如权利要求1所述的取下贴合装置，还包含至少一预剥离元件，用以于该第一基板与该第二基板之间产生一预裂口。

3.如权利要求2所述的取下贴合装置，其中该至少一预剥离元件为一高压喷嘴。

4.如权利要求2所述的取下贴合装置，其中该至少一预剥离元件包含有吸盘及连动杆，该连动杆连接于该支撑元件，而该吸盘可活动地设置于该连动杆上。

5.如权利要求2所述的取下贴合装置，其中该至少一预剥离元件包含有驱动件与楔型铲头，该楔型铲头可活动地设置于该驱动件。

6.如权利要求1所述的取下贴合装置，其中该支撑元件的该上盖部具有至少一第二进出气口，令该上盖部与该可挠性固定件之间形成一第二可变压腔室。

7.如权利要求1所述的取下贴合装置，还包括限位件及轨道件，该轨道件固定于该上盖部，该限位件可滑动地位于该轨道件上，以限制该第二基板的挠曲曲率。

8.如权利要求1所述的取下贴合装置，还包括位移监控模块，用以监控该可挠性固定件与该上盖部之间的距离变化。

9.如权利要求1所述的取下贴合装置，还包含多个吸附件，固定于该支撑元件的该上盖部，且介于该上盖部与该可挠性固定件之间，该支撑元件的该上盖部具有多个第二进出气口，对应于该多个吸附件，并以气压改变该多个吸附件的长度。

10.如权利要求1所述的取下贴合装置，还包括至少一高度调整机构，连接于该支撑元件与该载台之间，以调整该载台与该可挠性固定件之间的该距离。

11.如权利要求1所述的取下贴合装置，该可挠性固定件介于该上盖部与该载台之间，且该可挠性固定件的一侧面贴附于该上盖部，而相对的另一侧面用以固定该第二基板。

12.如权利要求11所述的取下贴合装置，其中该可挠性固定件具有多个可变压隔间，该上盖部具有多个第二进出气口，分别对应于该多个可变压隔间。

13.如权利要求1所述的取下贴合装置，还包括由多个硬件与多个软件交错相连的一挠曲限位组件，固定于该可挠性固定件上，用以限制该可挠性固定件于一挠曲轴向挠曲变形。

14.如权利要求1所述的取下贴合装置，还包括多个轴件与多个连接件交错相连的一挠曲限位组件，固定于该可挠性固定件上，该多个轴件可枢转的连接于该多个连接件，用以限制该可挠性固定件于一挠曲轴向挠曲变形。

15.一种取下方法，用以将一第一基板自一第二基板取下，其取下方法包含有：

提供如权利要求1所述的取下贴合装置；

将该第一基板固定于该载台，将该第二基板固定于该可挠性固定件；

增加该第一可变压腔室内的一第一内压，令该可挠性固定件朝远离该载台的方向挠曲，以分离该第一基板与该第二基板。

16.如权利要求15所述的取下方法，其中该上盖部与该可挠性固定件共同形成一第二可变压腔室，该第二可变压腔室具有一第二内压，且该第一内压大于该第二内压。

17.一种贴合方法，用以将一第一基板贴合至一第二基板，其贴合方法包含有：

提供如权利要求1所述的取下贴合装置；

将该第一基板固定于该载台，将该第二基板固定于该可挠性固定件；

降低该第一可变压腔室内的一第一内压，令该可挠性固定件朝接近该载台的方向挠曲，以将该第二基板贴合至该第一基板。

18.如权利要求17所述的贴合方法，其中该上盖部与该可挠性固定件共同形成一第二可变压腔室，该第二可变压腔室具有一第二内压，且该第一内压小于该第二内压。

19.一种取下装置，适于将一第一基板自一第二基板取下，该取下装置包含有：载台，具有一承载面、多个吸气口与一第一进出气口，该承载面用于承载该第一基板，该多个吸气口与该第一进出气口均形成于该载台的该承载面上，该多个吸气口位于该第一基板投影于该载台的投影区内，且该多个吸气口可提供负压而得以吸附承载于该承载面的该第一基板；

可挠性固定件，用于固定该第二基板；以及

支撑元件，连接该载台及该可挠性固定件，且该载台及该可挠性固定件间隔一距离，其中该载台的该第一进出气口直接连通于该载台、该可挠性固定件与该支撑元件之间共同形成的一第一可变压腔室，该第一进出气口可提供正压以改变该第一可变压腔室的压力。

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