CN106458742A - 玻璃膜的制造方法、以及包含该玻璃膜的电子设备的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明所涉及的玻璃膜(2)的制造方法包括：层叠体形成工序(S1)，通过将玻璃膜(2)和支承玻璃膜(2)的支承体(1)层叠并固定为能够剥离的程度，从而形成包含玻璃膜(2)的层叠体(3)；制造相关处理工序(S2)，对层叠体(3)实施制造相关处理；以及分离工序(S3)，在制造相关处理工序(S2)之后，通过将支承体(1)从玻璃膜(2)剥离而将层叠体(3)分离为玻璃膜(2)和支承体(1)。在分离工序(S3)中，仅对支承体(1)赋予外力(F)，而使支承体(1)朝向与玻璃膜(2)分离的方向弯曲，由此在玻璃膜(2)与支承体(1)之间形成成为开始剥离的起点的间隙(18)。

Description

玻璃膜的制造方法、以及包含该玻璃膜的电子设备的制造 方法

技术领域

本发明涉及玻璃膜的制造方法、以及包含该玻璃膜的电子设备的制造方法。

背景技术

近年来，从省空间化的观点出发，取代以往普及的CRT型显示器而普及有液晶显示器、等离子显示器、有机EL显示器、场致发射显示器等平板显示器。而且，在这些平板显示器中谋求进一步的薄型化。

尤其是在有机EL显示器、有机EL照明中，利用其厚度尺寸非常小(薄)这一点，使其能够具有可折叠、卷绕这样的功能。由此，不仅携带容易，而且除了能够以现有的平面状态使用之外，还能够以曲面状态进行使用，因此，期待在各种用途中的有效利用。因此，对于在这些电子设备中使用的玻璃基板、玻璃罩而言，要求进一步提高挠性。

为了对玻璃基板赋予挠性，使玻璃基板薄壁化是有效的。在此，例如专利文献1中提出有厚度尺寸为200μm以下的玻璃膜，由此，可对玻璃基板赋予能够以曲面状态进行使用这种程度的高挠性。

另一方面，对在平板显示器、太阳能电池等电子设备中使用的玻璃基板实施二次加工、清洗等各种电子设备制造相关的处理。然而，当使用于这些电子设备的玻璃基板薄壁化时，由于玻璃是脆性材料，因此，即便在稍许的应力变化的作用下也产生达到破损的情况，从而在进行电子设备制造相关处理时，存在处理非常困难的问题。此外，由于厚度尺寸为200μm以下的玻璃膜富含挠性，因此，还具有在实施各种制造相关处理时难以进行定位(例如在图案化时产生错位)的问题。

关于上述问题，例如如专利文献2所示，提出有通过层叠玻璃膜与支承该玻璃膜的支承玻璃并彼此进行固定而成的层叠体。若对这样构成的层叠体实施各种制造相关处理，则即便是使用了单体的情况下缺乏强度、刚性的玻璃膜，由于支承玻璃作为加强件发挥作用，因此，在进行各处理时，作为层叠体而言也能够容易地进行定位。另外，在处理结束后，通过将支承玻璃从玻璃膜剥离，从而最终能够仅获得实施了所希望的处理的玻璃膜。进一步说，通过使包含玻璃膜的层叠体的厚度尺寸与现有(既存)的玻璃基板的厚度尺寸相同，由此能够期待可将现有的玻璃基板用的制造生产线作为电子设备用制造生产线来使用(共用)的优点。

另一方面，在各种制造相关处理之中，还存在透明导电膜的成膜处理、密封处理等伴随加热的处理。在对上述构造的层叠体实施了伴随加热的处理的情况下，处于直接密接或借助树脂层、无机薄膜层等而间接密接的状态的支承玻璃与玻璃膜的固定力增加，因此，产生难以从支承玻璃将玻璃膜剥离这样的问题。

为了解决上述问题，例如专利文献3中提出有如下的方法：当从在玻璃基板上密接有固定于支承玻璃基板且具有易剥离性的树脂层的带有支承体的电子设备上将由支承玻璃基板和树脂层构成的支承体剥离时，向支承体的树脂层与玻璃基板的界面插入刀片，由此从包含玻璃基板的电子设备上将支承体剥离。

另外，为了解决上述问题，例如专利文献4中提出有如下的玻璃膜层叠体：以支承玻璃从玻璃膜超出的方式进行层叠，在支承玻璃的端边设有薄壁部，玻璃膜的端边的至少一部分在薄壁部上与支承玻璃分离。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-132531号公报

专利文献2：国际公开2011/048979号

专利文献3：日本特开2013-147325号公报

专利文献4：日本特开2012-131664号公报

发明内容

发明要解决的课题

在专利文献3中，通过向玻璃膜与支承体之间插入刀片而开始剥离，但在玻璃膜与支承体相互密接至端部为止的情况下，在玻璃膜与支承体的界面不存在插入刀片的间隙，需要以较强的力向界面压入刀片。在这样将刀片压入界面的情况下，由于作用于玻璃膜的压入力而产生使玻璃膜的端部破损的可能性，是不优选的。

另一方面，在专利文献4中，由于构成为在支承玻璃的端部设有薄壁部，并且在该薄壁部上使玻璃膜的端边的一部分与支承玻璃分离，因此，认为能够容易地把持玻璃膜，并且能够在不使玻璃膜破损的状态下比较容易地进行剥离。然而，若采用该方法，则需要预先对支承玻璃的一部分实施特殊的加工，加工成本增加。另外，在电子设备的制造相关处理中存在使用药液等溶剂的情况，当在层叠体的状态下在玻璃膜与支承玻璃之间存在间隙时，溶剂会浸入并固着于该间隙，由此具有在从支承玻璃将玻璃膜剥离时玻璃膜发生破损等问题，因此，存在可应用的范围有限的问题。

基于以上的情况，在本说明书中，本发明要解决的技术问题是，无论制造相关处理的种类如何，都容易且低成本地将玻璃膜从支承体剥离。

用于解决课题的方案

通过本发明所涉及的玻璃膜的制造方法来解决上述课题。即，该制造方法包括：层叠体形成工序，通过将玻璃膜和支承玻璃膜的支承体层叠并固定为能够剥离的程度，从而形成包含玻璃膜的层叠体；制造相关处理工序，对层叠体实施制造相关处理；以及分离工序，在制造相关处理工序之后，通过将支承体从玻璃膜剥离，从而将层叠体分离为玻璃膜和支承体，所述玻璃膜的制造方法的特征在于，在分离工序中，仅对支承体赋予外力，而使支承体朝向与玻璃膜分离的方向弯曲。需要说明的是，在此所说的“仅对支承体”是指，被赋予用于使支承体弯曲的外力的对象仅为支承体，并不妨碍以使支承体弯曲以外的目的而赋予的外力的作用点处于支承体以外的情况。另外，在此所说的“制造相关处理”，当然包含向玻璃膜直接实施任意加工的处理，还广泛地包含其他构件的安装、玻璃膜表面的清洗等用于间接地使玻璃膜或包含玻璃膜的设备接近最终产品(出厂状态)的处理。

这样，在进行玻璃膜与支承该玻璃膜的支承体的分离时，对支承体赋予外力而使支承体朝向与玻璃膜分离的方向弯曲，由此支承体从平坦的状态按照外力的方向弯曲。另一方面，由于玻璃膜固定于支承体，因此，玻璃膜要从平坦的状态与支承体一起弯曲。此时，支承体被外力限制了要返回到平坦状态的方向的移动，与此相对，玻璃膜上未作用这样的限制力，因此，仅作用要返回到平坦状态的力(复原力)。即，通过该限制力和复原力协同作用，作为使玻璃膜与支承体彼此分离的方向的力发挥作用，因此，即便支承体的弯曲不那么大，也能够比较容易地在玻璃膜的端部与支承体之间形成成为开始剥离的起点的间隙。另外，由于仅对支承体赋予外力而使该支承体弯曲，因此，不与玻璃膜接触就能够形成开始剥离的起点。由此，与以往那样将刀片压入到玻璃膜与支承体的界面而形成开始剥离的起点的情况相比，能够安全地形成开始剥离的起点。另外，能够以使支承体与玻璃膜在其整面上接触的方式平坦地形成该支承体，并且不用实施特殊的二次加工即可，因此能够避免加工成本的增加。当然，若以利用支承体来支承玻璃膜的整面的方式构成层叠体，则还能够避免药液等溶剂浸入到间隙这样的事态，因此，能够与制造相关处理无关地在进行广泛用途的玻璃膜的制造时应用本发明。

另外，本发明所涉及的玻璃膜的制造方法也可以是，在俯视观察层叠体的状态下，支承体从玻璃膜超出，在分离工序中，仅对支承体中的从玻璃膜超出的超出部赋予外力，而使支承体朝向与玻璃膜分离的方向弯曲。

这样，通过仅对支承体中的从玻璃膜超出的超出部分赋予外力，由此外力的作用点位于从支承体与玻璃膜的固定面(界面)分离的位置。因此，能够在支承体与玻璃膜的界面端部产生更大的弯曲力矩，能够以更小的弯曲量形成成为开始剥离的起点的间隙。另外，若向支承体与玻璃膜在厚度方向上重叠的区域赋予外力，则即便是向支承体的与玻璃膜相反的一侧的表面赋予了外力，也难以完全地排除该外力的影响作为集中载荷而波及到位于其正背面的玻璃膜的状况，但若向超出部赋予外力，则不用担心上述状况，故是优选的。

另外，本发明所涉及的玻璃膜的制造方法也可以是，玻璃膜和支承体均具有角部，并且在层叠体中，支承体在角部处从玻璃膜超出，在分离工序中，仅对支承体的角部处的超出部赋予外力，而使支承体朝向与玻璃膜分离的方向弯曲。

这样，能够对玻璃膜的角部的顶部优先且集中地赋予用于形成开始剥离的起点的力(作为上述的限制力的外力和复原力)。另外，随着剥离的进展而其剥离面积逐渐增大，因此，能够更顺畅地形成开始剥离的起点。即，虽说是开始剥离的起点，若考虑到形成该起点后的顺畅的剥离动作，则需要在某种程度的范围内在玻璃膜与支承体之间形成间隙。鉴于这种原因，优选如上述那样从角部的顶部起依次形成间隙的方式。

另外，本发明所涉及的玻璃膜的制造方法也可以是，对支承体的构成角部的两个边缘赋予同等的外力，而使支承体弯曲。

这样，能够使支承体的角部在俯视的状态下以等腰三角形的形式弯曲。因此，支承于该支承体的玻璃膜的角部也能够以等腰三角形的形式均等地形成成为开始剥离的起点的间隙，能够非强制且顺畅地使玻璃膜剥离。

另外，本发明所涉及的玻璃膜的制造方法也可以是，对支承体的与玻璃膜相反的一侧的表面赋予使支承体与玻璃膜分离的方向的吸附力来作为外力。或者也可以是，对支承体的超出部的玻璃膜侧的表面赋予使支承体与玻璃膜分离的方向的按压力来作为外力。

这样，若对支承体的与玻璃膜相反的一侧的表面赋予吸附力来作为外力，则即便没有超出部，也能够仅对支承体简单地赋予适当大小的外力而使支承体向规定的方向弯曲。另外，若存在超出部，则通过对支承体的超出部的玻璃膜侧的表面赋予按压力，而能够仅对支承体更简单地赋予适当大小的外力而使支承体向规定的方向弯曲。

另外，本发明所涉及的玻璃膜的制造方法也可以是，在分离工序中，在利用吸附构件从与支承体相反的一侧吸附着玻璃膜的状态下，仅对支承体赋予外力，而使支承体朝向与玻璃膜分离的方向弯曲。

这样，在使支承体弯曲时，成为如下的状态：在玻璃膜上除了赋予了使与支承体一起进行的弯曲返回到原始状态的力(复原力)之外，还利用吸附构件赋予了与复原力相同方向的吸附力。由此，即便处于使支承体朝向与玻璃膜分离的方向弯曲的状态，也能够将玻璃膜尽量维持在平坦状态。因此，几乎不使玻璃膜自身弯曲，能够更安全地形成成为开始剥离的起点的间隙。

另外，本发明所涉及的玻璃膜的制造方法也可以是，在利用吸附构件吸附着玻璃膜的状态且使支承体弯曲的状态下，使吸附构件朝向与支承体分离的方向移动。

这样，通过在吸附着玻璃膜的状态下使支承体弯曲，由此即便是在该时刻未充分地形成开始剥离的起点(未形成可通过之后公知的主剥离动作容易地进行剥离这种程度的大小的间隙)，通过从该状态起进一步使吸附构件朝向使玻璃膜与支承体分离的方向移动，从而也能够对玻璃膜赋予与支承体分离的方向的拉拽力。由此，能够在玻璃膜与支承体之间可靠地形成开始剥离的起点。需要说明的是，由于已通过使玻璃膜和处于吸附状态的吸附构件移动而对平坦状态的玻璃膜赋予上述分离的方向的拉拽力，因此，能够尽量非强制且不偏倚地对玻璃膜赋予拉拽力。另外，由于已在玻璃膜上作用有复原力，因此，即便不作用那么大的拉拽力，也能够形成成为开始剥离的起点的适当大小的间隙。基于以上的原因可知，导致玻璃膜破损的可能性非常小。

另外，本发明所涉及的玻璃膜的制造方法也可以是，玻璃膜和吸附构件的吸附部均具有角部，在分离工序中，在使吸附部的角部与玻璃膜的角部对合的状态下，利用吸附构件来吸附玻璃膜。

这样，能够最有效地对玻璃膜赋予吸附力，从而将玻璃膜直至其端部为止都尽量维持平坦状态。因此，能够尽可能地不使玻璃膜弯曲而形成成为开始剥离的起点的间隙。

另外，本发明所涉及的玻璃膜的制造方法也可以是，支承体为板状玻璃。另外，在该情况下，在层叠体中，板状玻璃与玻璃膜也可以直接密接。

通过这样将支承体设为板状玻璃，由此能够低成本地制造表面精度优良的支承体。另外，通过这样使表面精度优良的板状玻璃与玻璃膜直接密接，由此能够将玻璃膜不错位地固定于支承体，并且通过本发明能够可靠且安全地将玻璃膜从作为支承体的板状玻璃上剥离。

另外，通过本发明所涉及的电子设备的制造方法也能解决上述课题。即，该制造方法包括：层叠体形成工序，通过将玻璃膜和支承玻璃膜的支承体层叠并固定为能够剥离的程度，从而形成包含玻璃膜的层叠体；安装工序，在层叠体的玻璃膜上安装电子设备元件；以及分离工序，在安装工序之后，通过将支承体从玻璃膜剥离，从而将在层叠体上安装电子设备元件而成的带有支承体的电子设备分离为包含玻璃膜的电子设备和支承体，所述电子设备的制造方法的特征在于，在分离工序中，仅对支承体赋予外力，而使支承体朝向与玻璃膜分离的方向弯曲。

这样，在进行包含玻璃膜的电子设备和支承该电子设备的支承体的分离时，根据本发明，由于上述的限制力(外力)和复原力协同作用，作为使玻璃膜与支承体相互分离的方向的力发挥作用，因此，即便支承体的弯曲不那么大，也能够比较容易地在玻璃膜的端部与支承体之间形成成为开始剥离的起点的间隙。另外，由于仅对支承体赋予外力而使该支承体弯曲，因此，不与玻璃膜接触就能够形成开始剥离的起点。由此，与将刀片插入到玻璃膜与支承体的间隙而形成开始剥离的起点的情况相比，能够安全地形成开始剥离的起点。另外，能够以使支承体与玻璃膜在其整面上接触的方式平坦地形成该支承体，并且不用实施特殊的二次加工即可，因此能够避免加工成本的增加。当然，若以利用支承体来支承玻璃膜的整面的方式构成层叠体，则还能够避免药液等溶剂浸入到间隙这样的事态，因此，与电子设备元件的安装内容无关地，能够在进行广泛用途的电子设备的制造时应用本发明。

发明效果

如上所述，根据本发明，无论制造相关处理的种类如何，都能够容易且低成本地开始支承体与玻璃膜的剥离。

附图说明

图1是示出本发明的第一实施方式所涉及的电子设备的制造方法的步骤的流程图。

图2是包含玻璃膜的层叠体的剖视图。

图3是图2所示的层叠体的俯视图。

图4是通过在图2所示的层叠体上安装电子设备元件而成的带有支承体的电子设备的剖视图。

图5是用于形成玻璃膜与支承体的开始剥离的起点的起点形成装置的俯视图。

图6是构成外力赋予部的卡止部的立体图。

图7是图5所示的起点形成装置的主要部分剖视图。

图8是用于对使用图5所示的起点形成装置来形成开始剥离的起点的动作进行说明的主要部分剖视图。

图9是用于对使用图5所示的起点形成装置来形成开始剥离的起点的动作进行说明的主要部分立体图。

图10是本发明的第二实施方式所涉及的起点形成装置的主要部分剖视图。

图11是用于对使用图10所示的起点形成装置来形成开始剥离的起点的动作进行说明的主要部分剖视图。

图12是示出图10所示的起点形成装置的吸附构件的另一配置方式的主要部分俯视图。

图13是示出图10所示的起点形成装置的吸附构件的另一配置方式的主要部分剖视图。

图14是本发明的第三实施方式所涉及的起点形成装置的主要部分剖视图。

图15是本发明的第四实施方式所涉及的起点形成装置的主要部分剖视图。

图16是作为本发明的应用对象的电子设备而制造液晶面板时的带有支承体的液晶面板的剖视图。

具体实施方式

以下，参照图1～图9，对本发明所涉及的电子设备的制造方法的第一实施方式进行说明。需要说明的是，在本实施方式中，以下述情况为例进行说明：在制造作为电子设备的有机EL面板时，将带有支承体的状态的有机EL面板通过玻璃膜与支承体的剥离而分离为有机EL面板和支承体。

如图1所示，本发明的一实施方式所涉及的电子设备的制造方法包括：形成包含玻璃膜的层叠体的层叠体形成工序S1；伴随着对玻璃膜的加热而在玻璃膜上安装电子设备元件的安装工序S2；以及将安装有电子设备元件的层叠体分离成电子设备和支承体的分离工序S3。下面，对各工序详细进行说明。

(S1)层叠体形成工序

首先，如图2所示，在支承体1上层叠玻璃膜2而形成层叠体3。

在此，玻璃膜2例如由硅酸盐玻璃、二氧化硅玻璃等形成，优选由硼硅酸玻璃形成，更优选由无碱玻璃形成。当玻璃膜2中含有碱性成分时，在表面上产生阳离子的脱落，有可能引起所谓的出碱(ソ一ダ吹き)的现象。在该情况下，在玻璃膜2中产生结构上变粗的部分，因此，当在使该玻璃膜2弯曲的状态下使用时，由于经年劣化而有可能以变粗的部分为起点导致破损。根据以上的原因，在有可能以非平坦状态使用玻璃膜2的情况下，优选由无碱玻璃形成玻璃膜2。

需要说明的是，在此所说的无碱玻璃是指，实质上不包含碱性成分(碱金属氧化物)的玻璃，具体来说是指碱性成分为3000ppm以下的玻璃。当然，从尽量防止或减轻因上述原因而引起的经年劣化的观点出发，优选1000ppm以下的玻璃，更优选500ppm以下的玻璃，进一步优选300ppm以下的玻璃。

玻璃膜2的厚度尺寸设定为300μm以下，优选设定为200μm以下，更优选设定为100μm以下。关于厚度尺寸的下限值，虽可以不特别限制地进行设定，但若考虑成形后的处理性(与支承体1层叠时或者剥离时等)等，则设定为1μm以上，优选设定为5μm以上。

支承体1在本实施方式中为板状玻璃，与玻璃膜2同样由硅酸盐玻璃、二氧化硅玻璃、硼硅酸玻璃、无碱玻璃等公知的玻璃形成。其中，在伴随着加热的电子设备的制造相关处理(在本实施方式中为安装工序S2)中，从尽量防止因热变形的差异而引起的玻璃膜2的不必要的变形、破损这样的观点出发，以使支承体1与玻璃膜2在30℃～380℃之间的线膨胀系数之差为5×10^-7/℃以内的方式来选择玻璃的种类即可。在该情况下，优选以同一种类的玻璃形成支承体1和玻璃膜2。

支承体1的厚度尺寸没有特别限制，只要能够提高玻璃膜2的处理性即可，设定为与玻璃膜2的厚度尺寸同一等级或者该等级以上。具体来说，支承体1的厚度尺寸设定为400μm以上，优选设定为500μm以上。关于厚度尺寸的上限值，虽可以不特别限制地进行设定，但优选限于能受得住后述的支承体1的弯曲这一程度的厚度尺寸。具体来说可以设定为1000μm以下，优选设定为700μm以下。

另外，这些支承体1和玻璃膜2通过下拉法等公知的成形方法来成形，优选通过溢流下拉法来成形。另外，也能够通过浮法、流孔下拉法、压延法、上引法等来成形。需要说明的是，也能够根据需要实施二次加工(通过再拉使玻璃一次成形体伸展)，而设定为小于100μm的厚度尺寸。

在构成层叠体3的状态下，支承体1与玻璃膜2被固定为能够剥离的程度。作为固定方式可以采用任意的方式，在本实施方式中，通过使作为支承体1的板状玻璃与玻璃膜2不借助粘合剂等而直接密接，从而实现相互固定。

此时，玻璃膜2的支承体1侧的表面2a(就图2来说为下侧的表面)与支承体1的玻璃膜2侧的表面1a(就图2来说为上侧的表面)的表面粗糙度Ra均设定为2.0nm以下。通过将各表面1a，2a的表面粗糙度Ra设定为上述的范围，由此能够将支承体1与玻璃膜2以不错位而相互固定的状态进行层叠(形成层叠体3)。当然，从提高密接性的观点出发，优选为1.0nm以下，更优选为0.2nm以下。

另一方面，未特别限定玻璃膜2的与支承体1相反的一侧的表面2b的表面粗糙度Ra的大小，但在后述的安装工序S2中，由于作为实施成膜等电子设备相关处理的对象面，因此，优选该表面2b的表面粗糙度Ra为2.0nm以下，更优选为1.0nm以下，进一步优选为0.2nm以下。

另外，从保护玻璃膜2的端部的观点出发，在将玻璃膜2与支承体1层叠的状态下，支承体1从玻璃膜2超出(图2)。在该情况下，支承体1从玻璃膜2超出的超出量例如设定为0.5mm以上且10mm以下，优选设定为0.5mm以上且1.0mm以下。如上述那样，通过减小支承体1的超出量(最大为10mm的程度)，由此能够以整面有效地支承面积相对大的玻璃膜2。

在本实施方式中，如图3所示，支承体1在层叠体3的整个周缘上从玻璃膜2超出，由此，支承体1在支承体1的角部4处从玻璃膜2超出。需要说明的是，在本实施方式中例示了支承体1在层叠体3的四个边缘全部从玻璃膜2超出的方式，但当然也可以采用支承体1在三个边缘、两个边缘或一个边缘从玻璃膜2超出的方式。在该情况下，在未超出这一侧的边缘，优选玻璃膜2的端面与支承体1的端面一致。

需要说明的是，在形成上述的层叠体3时，也可以在减压的状态下进行层叠作业。由此，能够在将玻璃膜2层叠于支承体1上时使玻璃膜2与支承体1之间产生(残存的)气泡减少或消失。

(S2)安装工序

如上所述，在形成包含玻璃膜2的层叠体3之后，针对该层叠体3进行伴随加热的电子设备的制造相关处理，具体来说进行作为电子设备元件的有机EL元件5的安装。由此，如图4所示，在构成层叠体3的一部分的玻璃膜2的与支承体1相反的一侧的表面2b上形成有机EL元件5。然后，将玻璃罩6载置在有机EL元件5上，并将玻璃罩6的周缘固定于玻璃膜2，由此来密封有机EL元件5。由此，形成在有机EL面板7上固定有支承体1的状态的带有支承体的有机EL面板8。

玻璃罩6的厚度尺寸例如设定为300μm以下，优选设定为200μm以下，更优选设定为100μm以下。这样，通过设定玻璃罩6的厚度尺寸，能够使玻璃罩6具有适当的挠性。

另外，向玻璃膜2上安装有机EL元件5的安装方式是任意的，例如可以利用CVD法、溅射等公知的成膜方法，在玻璃膜2的与支承体1相反的一侧的表面2b上依次成膜形成阳极层、正孔输送层、发光层、电子输送层、阴极层等，由此来形成有机EL元件5(省略详细的图示)。另外，玻璃罩6向玻璃膜2固定的固定方式也是任意的，例如可以使用公知的激光密封技术来将玻璃罩6固定于玻璃膜2。在该情况下，基于CVD法或溅射等进行的成膜处理相当于伴随加热的电子设备的制造相关处理。因此，如上所述，通过将有机EL元件5形成在玻璃膜2的与支承体1相反的一侧的表面2b上，来对玻璃膜2进行加热。另外，由于该加热，而在玻璃膜2与支承体1之间形成新的结合，与层叠时(形成了层叠体3时)相比，玻璃膜2与支承体1的固定力提高。

需要说明的是，在图4所示的方式中，将玻璃罩6与玻璃膜2直接固定，但也可以适当利用公知的玻璃粉、分隔件(spacer)等(省略图示)来将玻璃罩6粘合固定于玻璃膜2。

(S3)分离工序

这样，在形成了带有支承体的有机EL面板8之后，通过从构成带有支承体的有机EL面板8的玻璃膜2剥离支承体1，由此将带有支承体的有机EL面板8分离成有机EL面板7和支承体1。图5示出在上述分离时，用于形成分离的开始起点的起点形成装置10的俯视图。该装置10主要具备：对包含玻璃膜2的层叠体3进行保持的保持台11；以及仅向支承体1赋予外力的外力赋予部12。需要说明的是，在图5之后的图中，省略了有机EL元件5以及玻璃罩6。

保持台11能够将层叠体3保持为平坦状态，在本实施方式中，保持台11具有：载置面13，其对支承体1的与玻璃膜2相反的一侧的表面1b进行载置；以及夹持部14，其设置在载置面13上，在夹持部14与载置面13之间沿厚度方向夹持支承体1的边缘部。在本实施方式中，夹持部14配设在能够将构成支承体1的角部4且彼此相邻的支承体1的两个边缘夹持在该夹持部14与载置面13之间的位置。

外力赋予部12设置于保持台11的一个角部15。在本实施方式中，该外力赋予部12构成保持台11的一个角部15，并且具有：能够沿着载置面13的法线方向进行升降的升降部16；以及设置于升降部16的上部，且伴随着升降部16的下降而与载置在载置面13上的支承体1的角部4卡止的卡止部17。

卡止部17设置成，与构成支承体1的角部4的两个边缘分别以等距离的量抵接(参照图5)。另外，在本实施方式中，卡止部17具有倾斜面17a(参照图6)。如后所述，该倾斜面17a用于调整将支承体1弯曲时的角部4的曲率(半径)，并且，通过调整该倾斜面17a的倾斜角度以及升降部16的下降量，由此能够将角部4的曲率(半径)控制为规定的大小。在本图示例子中，倾斜面17a以与支承体1的角部4的两个边缘分别抵接的方式设定在两处，各倾斜面17a设定为对应的倾斜角度，以使得角部4以规定的曲率(半径)弯曲时，角部4的上表面(玻璃膜2侧的表面1a)沿着两处倾斜面17a进行接触。当然，倾斜面17a也可以为图示那样的锥面，还可以根据上述原因而采用规定曲率的曲面。

接着，主要基于图5～图9来说明使用了上述结构的起点形成装置10的分离动作的一例。

首先，如图5所示，将带有支承体的有机EL面板8载置在起点形成装置10的载置面13上。此时，以支承体1的角部4与保持台11中的设置有外力赋予部12的一个角部15(图5中为左下的角部)对合的方式进行载置。如图7所示，在该状态下，支承体1的端面与卡止部17的侧面抵接，由此，支承体1以及具备该支承体1的带有支承体的有机EL面板8被在平面方向上定位。另外，通过向设于载置面13上的夹持部14与载置面13之间插入支承体1的两个边缘，使这两个边缘在厚度方向上被夹持，由此，将支承体1保持在载置面13上。需要说明的是，在将带有支承体的有机EL面板8载置并保持在载置面13上的状态下，支承体1与玻璃膜2均处于平坦状态(图7)。另外，升降部16的上表面16a在保持台11的角部15处与载置面13共面配置。

然后，使升降部16下降，将卡止部17压抵到支承体1的表面1a上。在压抵后继续使升降部16下降，从而对支承体1在该支承体1与卡止部17的接触点处赋予朝下的外力F(图8)，由此，支承体1向从玻璃膜2分离的方向弯曲(图9)。另一方面，由于玻璃膜2固定在支承体1上，因此，要从平坦的状态与支承体1一起进行弯曲(要从图8中实线所示的形态向点划线所示的形态变形)。此时，支承体1被外力F限制着要返回平坦状态的方向的移动，相对于此，在玻璃膜2上不作用这样的限制力，因此，仅作用要返回平坦状态的力(复原力G)。即，该限制力(外力F)与复原力G协同作用，作为使玻璃膜2与支承体1彼此分离的方向的力而发挥作用，因此，即便支承体1的弯曲不那么大，也能够比较容易地在玻璃膜2的端部与支承体1之间形成成为开始剥离的起点的间隙18(图8、图9)。只要形成具有相应大小的间隙18，之后仅通过把持支承体1或玻璃膜2并将一方朝向从另一方分离的方向拉拽，或者仅通过朝向间隙18喷吹空气等，就能够容易地将玻璃膜2与支承体1在其整个区域内剥离。另外，由于仅向支承体1赋予外力F而使支承体1弯曲，因此，能够不与玻璃膜2接触地形成开始剥离的起点(间隙18)。由此，与以往那样将刀片压入至玻璃膜2与支承体1的界面而形成开始剥离的起点的情况相比，能够安全地形成开始剥离的起点。

另外，在本实施方式中，通过向支承体1中的从玻璃膜2超出的部分赋予外力来使支承体1弯曲。通过这样赋予外力F，使外力F的作用点位于从支承体1与玻璃膜2的固定面(界面)端部离开的位置。因此，能够在支承体1与玻璃膜2的界面端部处产生更大的弯曲力矩，能够以更小的弯曲量形成成为开始剥离的起点的间隙18。另外，若向支承体1与玻璃膜2在厚度方向上重叠的区域赋予外力F，则即便是向支承体1的与玻璃膜2相反的一侧的表面1b赋予了外力F，也难以完全地排除该外力F的影响作为集中载荷而波及到位于其正背面的玻璃膜2的状况，但若向超出部赋予外力F，则不用担心上述状况，故是优选的。

另外，在本实施方式中，仅向支承体1的角部4处的超出部赋予外力F，使支承体1朝向与玻璃膜2分离的方向弯曲，因此，能够对玻璃膜2的角部9的顶部优先且集中地赋予用于形成开始剥离的起点的力(作为上述的限制力的外力F和复原力G)。另外，随着剥离的进展而其剥离面积逐渐增大，因此，能够非强制且顺畅地形成成为开始剥离的起点的间隙18。

以上，对本发明所涉及的包含玻璃膜的电子设备的制造方法的一实施方式(第一实施方式)进行了说明，但该制造方法当然可以在本发明的范围内采用任意的方式。

图10示出本发明的第二实施方式所涉及的起点形成装置10的主要部分剖视图。该起点形成装置10除了保持台11和外力赋予部12之外，还具备能够将玻璃膜2从与支承体1相反的一侧吸附的吸附构件19。该吸附构件19能够使设于其前端的垫状的吸附部20吸附到玻璃膜2的与支承体1相反的一侧的表面2b，并通过该吸附动作而能够对玻璃膜2赋予与支承体1分离的方向的力(吸附力H)。

因此，首先将带有支承体的有机EL面板8安置在保持台11的载置面13上，然后，如图10所示，使吸附部20抵接到玻璃膜2的表面2b上并通过抽真空等使吸附部20吸附于表面2b。在该状态下，使升降部16下降，将卡止部17压抵到支承体1的表面1a上，从而对支承体1赋予朝下的外力F(图11)。由此，支承体1朝与玻璃膜2分离的方向弯曲。此时，成为如下状态：在玻璃膜2上，除了赋予了使与支承体1一起进行的弯曲返回到原始状态的力(复原力G)之外，还利用吸附构件19赋予了与复原力G相同方向的吸附力H。因此，即便处于使支承体1朝与玻璃膜2分离的方向弯曲的状态，也能够将玻璃膜2尽量维持在平坦状态，并且还能够安全且有效地形成成为开始剥离的起点的间隙18。

需要说明的是，此时，如图12和图13所示，优选吸附部20在俯视的状态下呈大致矩形，并且在使吸附部20的角部20a与玻璃膜2的角部9对合的状态下进行吸附。通过这样进行吸附，由此吸附力H实质上达到玻璃膜2的角部9的顶部、即玻璃膜2与支承体1的界面的端部。因此，能够更容易地形成成为开始剥离的起点的间隙18。另外，通过使用硬度为50Hv以上的吸附部20，由此在支承体1发生弯曲时也能够维持玻璃膜2的保持状态，从而能够容易地形成成为开始剥离的起点的间隙18。

图14示出本发明的第三实施方式所涉及的起点形成装置10的主要部分剖视图。在本实施方式中，载置面13的一部分被置换为吸附板21，在与该吸附板21连接的真空泵(省略图示)的驱动下进行抽真空，由此将支承体1的与玻璃膜2相反的一侧的表面1b吸附保持于吸附板21。此时，当将吸附板21配设到保持台11与升降部16的交界时，在使升降部16下降而利用卡止部17压弯支承体1的角部4之际，有可能存在支承体1在角部4处无法自然弯曲(挠曲)的情况。由此，如图10那样，通过从保持台11与升降部16的交界隔开一定距离(例如50mm左右)地配设吸附板21，由此能够避免角部4受到不必要的限制而使角部4以所希望的曲率(半径)弯曲。若这样对支承体1进行吸附保持，则也可以不设置夹持部14。

图15示出本发明的第四实施方式所涉及的起点形成装置10的主要部分剖视图。在本实施方式中，升降部16的上表面16a的一部分被置换为吸附板22，在与该吸附板22连接的真空泵(省略图示)的驱动下进行抽真空，由此将支承体1的角部4处的表面1b吸附保持于吸附板21。这样，不利用卡止部17来下压支承体1就能使支承体1弯曲，因此，对支承体1带来的负担小(破损的可能性小)。需要说明的是，在该情况下，伴随着支承体1的弯曲，吸附板22也需要跟着发生变形，但若吸附板22的变形跟随性不够，则也可以将图10所示那样的垫状的吸附部20配置于支承体1的与玻璃膜2相反的一侧，使其吸附该相反侧的表面1b。

或者，虽然省略图示，但也可以取代吸附板21、22，在载置面13、升降部16的上表面16a设置吸附用的槽或孔来进行抽真空，由此将支承体1吸附保持于载置面13或升降部16的上表面16a。

另外，在上述实施方式中，例示出作为支承体1采用了板状玻璃、并且将该支承体1与玻璃膜2以直接密接的方式相互固定的情况，但当然也可以对利用除此以外的方式将玻璃膜2与支承体1固定而成的层叠体3应用本发明。例如，也可以对如下的层叠体(省略图示)应用本发明，该层叠体通过利用由丙烯酸系粘结层、硅酮薄膜层、无机薄膜层(ITO、氧化物、金属、碳)等非玻璃材料构成的层和板状玻璃来构成支承体1、并使非玻璃材料层与玻璃膜2密接而成。

另外，在以上的说明中，在使支承体1弯曲前的阶段，例如也可以以促成在玻璃膜2与支承体1的界面端部(角部9处的界面的顶部)形成成为开始剥离的起点的间隙18这样的程度，将锐利的刀尖抵接于界面顶部。或者，也可以在通过支承体1的弯曲而形成了成为开始剥离的起点的间隙18之后，向该间隙18中插入上述锐利的刀尖。这是因为，在上述任意的情况下，与形成实质上成为开始剥离的起点的间隙18的情况相比，都是仅通过施加非常小的力就可以了，导致玻璃膜2发生破损的可能性非常小。

另外，在以上的说明中，例示出作为电子设备而制造有机EL面板7的情况，但当然也可以对除此以外的电子设备的制造方法应用本发明。图16示出其一例所涉及的带有支承体的液晶面板23的剖视图。该面板23通过在作为最终产品的液晶面板24的两侧固定一对支承体1、1而成，且例如通过以下方式形成。即，首先，分别形成将支承体1与玻璃膜2层叠而成的一对层叠体3、3(层叠体形成工序S1)。然后，在一方的层叠体3的玻璃膜2的表面2b上形成对用于封入未图示的液晶的空间进行划分形成的分隔件25，在该分隔件25上固定另一方的层叠体3的玻璃膜2(安装工序S2)。这样在形成了带有支承体的液晶面板23之后，利用上述的剥离方法将支承体1逐张剥离，分离两张支承体1、1和液晶面板24(分离工序S3)。因而，即便是制造液晶面板24的情况也应用本发明，能够不使玻璃膜2发生破损而安全且容易地使支承体1与液晶面板24分离。

当然，在将玻璃膜2自身作为最终产品而获取(制造)的情况下，通过应用本发明，能够不使玻璃膜2发生破损而安全且容易地使支承体1与玻璃膜2分离。

附图标记说明

1 支承体

2 玻璃膜

3 层叠体

4 角部(支承体)

5 有机EL元件

6 玻璃罩

7 有机EL面板

8 带有支承体的有机EL面板

9 角部(玻璃膜)

10 起点形成装置

11 保持台

12 外力赋予部

13 载置面

14 夹持部

15 角部(保持台)

16 升降部

17 卡止部

18 间隙

19 吸附构件

20 吸附部

21、22 吸附板

23 带有支承体的液晶面板

24 液晶面板

25 分隔件

F 外力

G 复原力

H 吸附力

Claims (12)

1.一种玻璃膜的制造方法，其包括：

层叠体形成工序，通过将玻璃膜与支承该玻璃膜的支承体层叠并固定为能够剥离的程度，从而形成包含玻璃膜的层叠体；

制造相关处理工序，对所述层叠体实施制造相关处理；以及

分离工序，在所述制造相关处理工序之后，通过将所述支承体从所述玻璃膜剥离，从而将所述层叠体分离为所述玻璃膜和所述支承体，

所述玻璃膜的制造方法的特征在于，

在所述分离工序中，仅对所述支承体赋予外力，而使所述支承体朝向与所述玻璃膜分离的方向弯曲。

2.根据权利要求1所述的玻璃膜的制造方法，其特征在于，

在俯视观察所述层叠体的状态下，所述支承体从所述玻璃膜超出，

在所述分离工序中，仅对所述支承体中的从所述玻璃膜超出的超出部赋予外力，而使所述支承体朝向与所述玻璃膜分离的方向弯曲。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃膜的制造方法，其特征在于，

所述玻璃膜和所述支承体均具有角部，并且在所述层叠体中，所述支承体在所述角部处从所述玻璃膜超出，

在所述分离工序中，仅对所述支承体的角部处的所述超出部赋予外力，而使所述支承体朝向与所述玻璃膜分离的方向弯曲。

4.根据权利要求2或3所述的玻璃膜的制造方法，其特征在于，

对所述支承体的构成所述角部的两个边缘赋予同等的外力，而使所述支承体弯曲。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的玻璃膜的制造方法，其特征在于，

对所述支承体的与所述玻璃膜相反的一侧的表面赋予使所述支承体与所述玻璃膜分离的方向的吸附力来作为所述外力。

6.根据权利要求2至4中任一项所述的玻璃膜的制造方法，其特征在于，

对所述支承体的超出部的所述玻璃膜侧的表面赋予使所述支承体与所述玻璃膜分离的方向的按压力来作为所述外力。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的玻璃膜的制造方法，其特征在于，

在所述分离工序中，在利用吸附构件从与所述支承体相反的一侧吸附着所述玻璃膜的状态下，仅对所述支承体赋予外力，而使所述支承体朝向与所述玻璃膜分离的方向弯曲。

8.根据权利要求7所述的玻璃膜的制造方法，其特征在于，

在利用所述吸附构件吸附着所述玻璃膜的状态且使所述支承体弯曲的状态下，使所述吸附构件朝向使所述玻璃膜与所述支承体分离的方向移动。

9.根据权利要求7或8所述的玻璃膜的制造方法，其特征在于，

所述玻璃膜和所述吸附构件的吸附部均具有角部，

在所述分离工序中，在使所述吸附部的角部与所述玻璃膜的角部对合的状态下，利用所述吸附构件来吸附所述玻璃膜。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的玻璃膜的制造方法，其特征在于，

所述支承体是板状玻璃。

11.根据权利要求10所述的玻璃膜的制造方法，其特征在于，

在所述层叠体中，所述板状玻璃与所述玻璃膜直接密接。

12.一种电子设备的制造方法，其包括：

层叠体形成工序，通过将玻璃膜与支承该玻璃膜的支承体层叠并固定为能够剥离的程度，从而形成包含玻璃膜的层叠体；

安装工序，在所述层叠体的所述玻璃膜上安装电子设备元件；以及

分离工序，在所述安装工序之后，通过将所述支承体从所述玻璃膜剥离，从而将在所述层叠体上安装所述电子设备元件而成的带有支承体的电子设备分离为包含所述玻璃膜的电子设备和所述支承体，

所述电子设备的制造方法的特征在于，

在所述分离工序中，仅对所述支承体赋予外力，而使所述支承体朝向与所述玻璃膜分离的方向弯曲。