KR970018135A - 고 표면적 기판 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 고 표면 기판을 생성하기 위한 방법에 관한 것이다. 마스크는 피착 영역을 정하기 위해 기판 위에 배치된다(단계 31). 그 다음에 적어도 2개의 비유사 물질이 피착 영역 상에 마스크를 통하여 동시에 피착된다(단계 32). 다음에 피착된 물질들 중 하나가 고 표면적 피착 기판을 제공하기 위해 선택적으로 제거된다(단계 33).
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5도는 본 발명의 방법의 공정을 도시한 흐름도.
Claims (16)
- 고 표면 기판을 생성하는 방법에 있어서, 피착 영역을 정하도록 기판 위에 마스크를 배치하는 단계; 비유사 물질들을 상기 피착 영역 위에 동시에 피착하는 단계; 및 상기 비유사 물질들 중 하나를 선택적으로 제거하여 고 표면적 피착 기판을 제공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 비유사 물질들은 상기 기판 상에 플라즈마 분사되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제2항에 있어서, 상기 비유사 물질들은 분말 형태로 플라즈마 내로 유입되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 비유사 물질들은 분말 형태로 되어 있고, 상기 피착된 기판의 표면의 다공성은 분말 입자의 크기에 따라 다른 것을 특징으로 하는 방법.
- 제2항에 있어서, 상기 물질들은 입자가 5 내지 50미크론의 범위 내에 있는 미립자 형태로 되어 있는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 비유사 물질들은 알루미늄 및 니켈인 것을 특징으로 하는 방법.
- 제6항에 있어서, 상기 알루미늄은 우선적으로 제거되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서 상기 물질들 중 하나는 리칭, 전기화학적 용해, 부식 및 연소 중 하나에 의해 제거되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 고 표면 기판을 생성하는 방법에 있어서, 피착 영역을 정하도록 기판 위에 마스크를 배치하는 단계; 비유사 물질들을 상기 피착 영역 위에 동시에 피착하는 단계; 상기 비유사 물질들 중 하나를 선택적으로 제거하여 고 표면적 피착 기판을 제공하는 단계; 및 상기 고 표면 기판 위에 실리콘층을 피착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제9항에 있어서, 상기 비유사 물질들은 상기 기판 상에 플라즈마 분사되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제10항에 있어서, 상기 비유사 물질들은 분말 형태로 플라즈마 내로 유입되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제9항에 있어서, 상기 비유사 물질들은 분말 형태로 되어 있고, 상기 피착된 기판의 표면의 다공성은 분말 입자의 크기에 따라 다른 것을 특징으로 하는 방법.
- 제10항에 있어서, 상기 물질들은 입자가 5 내지 50미크론의 범위 내에 있는 미립자 형태로 되어 있는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제9항에 있어서, 2개의 상기 비유사 물질들은 알루미늄 및 니켈인 것을 특징으로 하는 방법.
- 제14항에 있어서, 상기 알루미늄은 우선적으로 제거되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제9항에 있어서, 상기 물질들 중 하나는 리칭, 전기화학적 용해, 부식 및 연소 중 하나에 의해 제거되는 것을 특징으로 하는 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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