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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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기판처리장치 및 기판처리방법
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기판 처리 장치를 세정하는 방법
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Asm Ip Holding B.V. |
Methods for forming a rhenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures
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エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
窒化ガリウムの選択的堆積を用いてデバイス構造体を形成する方法及びそのためのシステム
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(zh)
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2019-01-17 |
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荷蘭商Ａｓｍ 智慧財產控股公司 |
藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法
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(zh)
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2019-02-20 |
2024-06-21 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用來填充形成於基材表面內之凹部的循環沉積方法及設備
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KR102638425B1
(ko)
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2019-02-20 |
2024-02-21 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 표면 내에 형성된 오목부를 충진하기 위한 방법 및 장치
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KR20200102357A
(ko)
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2019-02-20 |
2020-08-31 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
3-d nand 응용의 플러그 충진체 증착용 장치 및 방법
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TWI842826B
(zh)
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2019-02-22 |
2024-05-21 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
基材處理設備及處理基材之方法
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CN113519071B
(zh)
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2019-02-28 |
2025-04-22 |
朗姆研究公司 |
利用侧壁清洁的离子束蚀刻
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(ko)
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2019-03-08 |
2025-02-04 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
SiOCN 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법
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KR102858005B1
(ko)
|
2019-03-08 |
2025-09-09 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체
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JP2020167398A
(ja)
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2019-03-28 |
2020-10-08 |
エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
ドアオープナーおよびドアオープナーが提供される基材処理装置
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KR102809999B1
(ko)
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2019-04-01 |
2025-05-19 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
반도체 소자를 제조하는 방법
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Asm Ip Holding B.V. |
Layer forming method and apparatus
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(ko)
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2019-04-24 |
2020-11-04 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
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KR102929471B1
(ko)
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2019-05-07 |
2026-02-20 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
딥 튜브가 있는 화학물질 공급원 용기
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JP7253972B2
(ja)
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2019-05-10 |
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東京エレクトロン株式会社 |
基板処理装置
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KR102929472B1
(ko)
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2019-05-10 |
2026-02-20 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조
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JP7598201B2
(ja)
|
2019-05-16 |
2024-12-11 |
エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
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JP7612342B2
(ja)
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2019-05-16 |
2025-01-14 |
エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
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USD947913S1
(en)
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2019-05-17 |
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Asm Ip Holding B.V. |
Susceptor shaft
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USD975665S1
(en)
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2019-05-17 |
2023-01-17 |
Asm Ip Holding B.V. |
Susceptor shaft
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KR20200141003A
(ko)
|
2019-06-06 |
2020-12-17 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
가스 감지기를 포함하는 기상 반응기 시스템
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KR102918757B1
(ko)
|
2019-06-10 |
2026-01-28 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
석영 에피택셜 챔버를 세정하는 방법
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KR20200143254A
(ko)
|
2019-06-11 |
2020-12-23 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조
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KR102911421B1
(ko)
|
2019-07-03 |
2026-01-12 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법
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JP7499079B2
(ja)
|
2019-07-09 |
2024-06-13 |
エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法
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CN112216646B
(zh)
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2019-07-10 |
2026-02-10 |
Asmip私人控股有限公司 |
基板支撑组件及包括其的基板处理装置
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KR102895115B1
(ko)
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2019-07-16 |
2025-12-03 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치
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KR20210010816A
(ko)
|
2019-07-17 |
2021-01-28 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법
|
|
KR102860110B1
(ko)
|
2019-07-17 |
2025-09-16 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법
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US11643724B2
(en)
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2019-07-18 |
2023-05-09 |
Asm Ip Holding B.V. |
Method of forming structures using a neutral beam
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KR102903090B1
(ko)
|
2019-07-19 |
2025-12-19 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
토폴로지-제어된 비정질 탄소 중합체 막을 형성하는 방법
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TWI851767B
(zh)
|
2019-07-29 |
2024-08-11 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於利用n型摻雜物及/或替代摻雜物選擇性沉積以達成高摻雜物併入之方法
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CN112309900B
(zh)
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2019-07-30 |
2025-11-04 |
Asmip私人控股有限公司 |
基板处理设备
|
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CN112309899B
(zh)
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2019-07-30 |
2025-11-14 |
Asmip私人控股有限公司 |
基板处理设备
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US12169361B2
(en)
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2019-07-30 |
2024-12-17 |
Asm Ip Holding B.V. |
Substrate processing apparatus and method
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US11587814B2
(en)
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2019-07-31 |
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Asm Ip Holding B.V. |
Vertical batch furnace assembly
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US11227782B2
(en)
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2019-07-31 |
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Asm Ip Holding B.V. |
Vertical batch furnace assembly
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US11587815B2
(en)
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2019-07-31 |
2023-02-21 |
Asm Ip Holding B.V. |
Vertical batch furnace assembly
|
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KR20210018759A
(ko)
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2019-08-05 |
2021-02-18 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
화학물질 공급원 용기를 위한 액체 레벨 센서
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KR20210018761A
(ko)
|
2019-08-09 |
2021-02-18 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
냉각 장치를 포함한 히터 어셈블리 및 이를 사용하는 방법
|
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KR102695104B1
(ko)
*
|
2019-08-16 |
2024-08-14 |
램 리써치 코포레이션 |
웨이퍼 내에서 차동 보우를 보상하기 위한 공간적으로 튜닝 가능한 증착 방법 및 장치
|
|
USD965524S1
(en)
|
2019-08-19 |
2022-10-04 |
Asm Ip Holding B.V. |
Susceptor support
|
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USD965044S1
(en)
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2019-08-19 |
2022-09-27 |
Asm Ip Holding B.V. |
Susceptor shaft
|
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JP7810514B2
(ja)
|
2019-08-21 |
2026-02-03 |
エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置
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KR20210024423A
(ko)
|
2019-08-22 |
2021-03-05 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
홀을 구비한 구조체를 형성하기 위한 방법
|
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USD979506S1
(en)
|
2019-08-22 |
2023-02-28 |
Asm Ip Holding B.V. |
Insulator
|
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KR102928101B1
(ko)
|
2019-08-23 |
2026-02-13 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
비스(디에틸아미노)실란을 사용하여 peald에 의해 개선된 품질을 갖는 실리콘 산화물 막을 증착하기 위한 방법
|
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US11286558B2
(en)
|
2019-08-23 |
2022-03-29 |
Asm Ip Holding B.V. |
Methods for depositing a molybdenum nitride film on a surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures including a molybdenum nitride film
|
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KR102868968B1
(ko)
|
2019-09-03 |
2025-10-10 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
칼코지나이드 막 및 상기 막을 포함한 구조체를 증착하기 위한 방법 및 장치
|
|
KR102806450B1
(ko)
|
2019-09-04 |
2025-05-12 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법
|
|
KR102733104B1
(ko)
|
2019-09-05 |
2024-11-22 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치
|
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US12469693B2
(en)
|
2019-09-17 |
2025-11-11 |
Asm Ip Holding B.V. |
Method of forming a carbon-containing layer and structure including the layer
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JP7274387B2
(ja)
*
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2019-09-24 |
2023-05-16 |
東京エレクトロン株式会社 |
成膜装置及び成膜方法
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US11562901B2
(en)
|
2019-09-25 |
2023-01-24 |
Asm Ip Holding B.V. |
Substrate processing method
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CN112593212B
(zh)
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2019-10-02 |
2023-12-22 |
Asm Ip私人控股有限公司 |
通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法
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TW202128273A
(zh)
|
2019-10-08 |
2021-08-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
氣體注入系統、及將材料沉積於反應室內之基板表面上的方法
|
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TWI846953B
(zh)
|
2019-10-08 |
2024-07-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
基板處理裝置
|
|
KR20210042810A
(ko)
|
2019-10-08 |
2021-04-20 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
활성 종을 이용하기 위한 가스 분배 어셈블리를 포함한 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
|
|
TWI846966B
(zh)
|
2019-10-10 |
2024-07-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
形成光阻底層之方法及包括光阻底層之結構
|
|
US12009241B2
(en)
|
2019-10-14 |
2024-06-11 |
Asm Ip Holding B.V. |
Vertical batch furnace assembly with detector to detect cassette
|
|
TWI834919B
(zh)
|
2019-10-16 |
2024-03-11 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
氧化矽之拓撲選擇性膜形成之方法
|
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US11637014B2
(en)
|
2019-10-17 |
2023-04-25 |
Asm Ip Holding B.V. |
Methods for selective deposition of doped semiconductor material
|
|
KR102845724B1
(ko)
|
2019-10-21 |
2025-08-13 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
막을 선택적으로 에칭하기 위한 장치 및 방법
|
|
KR20210050453A
(ko)
|
2019-10-25 |
2021-05-07 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
|
|
US11646205B2
(en)
|
2019-10-29 |
2023-05-09 |
Asm Ip Holding B.V. |
Methods of selectively forming n-type doped material on a surface, systems for selectively forming n-type doped material, and structures formed using same
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|
KR102890638B1
(ko)
|
2019-11-05 |
2025-11-25 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
도핑된 반도체 층을 갖는 구조체 및 이를 형성하기 위한 방법 및 시스템
|
|
US11501968B2
(en)
|
2019-11-15 |
2022-11-15 |
Asm Ip Holding B.V. |
Method for providing a semiconductor device with silicon filled gaps
|
|
KR102861314B1
(ko)
|
2019-11-20 |
2025-09-17 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템
|
|
CN112951697B
(zh)
|
2019-11-26 |
2025-07-29 |
Asmip私人控股有限公司 |
基板处理设备
|
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US11450529B2
(en)
|
2019-11-26 |
2022-09-20 |
Asm Ip Holding B.V. |
Methods for selectively forming a target film on a substrate comprising a first dielectric surface and a second metallic surface
|
|
CN120998766A
(zh)
|
2019-11-29 |
2025-11-21 |
Asm Ip私人控股有限公司 |
基板处理设备
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가스 분배 어셈블리 및 이를 사용하는 방법
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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타겟 토폴로지 프로파일을 갖는 층 구조를 제조하기 위한 방법
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
질소 함유 탄소 막을 형성하는 방법 및 이를 수행하기 위한 시스템
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크롬 나이트라이드 층을 형성하는 방법 및 크롬 나이트라이드 층을 포함하는 구조
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
냉각 가스 공급부를 포함한 수직형 배치 퍼니스 어셈블리
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2020-04-24 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
바나듐, 질소 및 추가 원소를 포함한 층을 증착하기 위한 방법 및 시스템
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
고체 소스 전구체 용기
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
Foup 핸들러를 이용한 foup의 빠른 교환
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
半導體處理系統
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同調回路を備える反応器システム
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(ko)
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2020-05-07 |
2021-11-17 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
불소계 라디칼을 이용하여 반응 챔버의 인시츄 식각을 수행하기 위한 장치 및 방법
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(ko)
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
반응기 시스템용 레이저 정렬 고정구
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
다수의 탄소 층을 포함한 구조체 및 이를 형성하고 사용하는 방법
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(ko)
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판을 처리하기 위한 플랜지 및 장치
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2020-05-22 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
과산화수소를 사용하여 박막을 증착하기 위한 장치
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2020-05-26 |
2021-12-06 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
붕소 및 갈륨을 함유한 실리콘 게르마늄 층을 증착하는 방법
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
處理基板之設備、形成膜之方法、及控制用於處理基板之設備之方法
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
붕소를 함유한 실리콘 게르마늄 층을 증착하는 방법
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
基板處理方法
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於光微影之結構、方法與系統
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2022-01-27 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
전이 금속층을 포함하는 구조체를 형성하기 위한 방법 및 시스템
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於沉積鉬層之方法及系統
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 상에 티타늄 알루미늄 카바이드 막 구조체 및 관련 반도체 구조체를 증착하는 방법
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표면을 세정하는 방법
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
形成金屬氧化矽層及金屬氮氧化矽層的方法
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2020-08-27 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
다중 패터닝 공정을 사용하여 패터닝된 구조체를 형성하기 위한 방법 및 시스템
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Asm Ip Holding B.V. |
Weighted lift pin
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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用于在特征的侧壁上形成氮化硅的方法和系统
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실리콘 함유 재료를 증착하기 위한 증착 방법 및 장치
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气体供应单元和包括气体供应单元的衬底处理设备
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
단차형 구조 상에 재료를 증착하는 방법
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
반도체 소자의 제조 방법, 및 ether-cat을 사용하는 기판 처리 장치
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統
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반도체 소자의 제조 장치 및 반도체 소자의 제조 방법
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치의 반응 챔버 내에 배열되도록 구성된 인젝터
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2020-12-02 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
샤워헤드 어셈블리용 세정 고정구
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
具有可旋轉台的晶圓處理設備
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
具匹配器的電漿處理裝置
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成
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(zh)
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2020-12-22 |
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
前驅物膠囊、前驅物容器、氣相沉積總成、及將固態前驅物裝載至前驅物容器中之方法
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USD1060598S1
(en)
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2021-12-03 |
2025-02-04 |
Asm Ip Holding B.V. |
Split showerhead cover
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JP7747418B2
(ja)
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2022-02-17 |
2025-10-01 |
東京エレクトロン株式会社 |
基板処理装置、および基板処理方法
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