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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 표면 내에 형성된 오목부를 충진하기 위한 방법 및 장치
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用來填充形成於基材表面內之凹部的循環沉積方法及設備
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3-d nand 응용의 플러그 충진체 증착용 장치 및 방법
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체
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기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
딥 튜브가 있는 화학물질 공급원 용기
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조
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エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
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エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
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Asm Ip Holding B.V. |
Susceptor shaft
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(ko)
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2019-06-06 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
배기 가스 분석을 포함한 기상 반응기 시스템을 사용하는 방법
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KR20200141931A
(ko)
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2019-06-10 |
2020-12-21 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
석영 에피택셜 챔버를 세정하는 방법
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KR20200143254A
(ko)
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2019-06-11 |
2020-12-23 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조
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KR20210005515A
(ko)
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2019-07-03 |
2021-01-14 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법
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同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法
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Asm Ip私人控股有限公司 |
基板支撑组件及包括其的基板处理装置
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법
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(ko)
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2019-07-17 |
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라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법
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实现高掺杂剂掺入的选择性沉积方法
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Asmip私人控股有限公司 |
基板处理设备
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Asmip私人控股有限公司 |
基板处理设备
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Vertical batch furnace assembly
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Asm Ip Holding B.V. |
Vertical batch furnace assembly
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Asm Ip私人控股有限公司 |
用于化学源容器的液位传感器
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CN112342526A
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2021-02-09 |
Asm Ip私人控股有限公司 |
包括冷却装置的加热器组件及其使用方法
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(ko)
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2019-08-16 |
2023-03-03 |
램 리써치 코포레이션 |
웨이퍼 내에서 차동 보우를 보상하기 위한 공간적으로 튜닝 가능한 증착
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USD965524S1
(en)
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2019-08-19 |
2022-10-04 |
Asm Ip Holding B.V. |
Susceptor support
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USD965044S1
(en)
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2019-08-19 |
2022-09-27 |
Asm Ip Holding B.V. |
Susceptor shaft
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(ja)
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2019-08-21 |
2021-03-01 |
エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． |
成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置
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USD979506S1
(en)
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2019-08-22 |
2023-02-28 |
Asm Ip Holding B.V. |
Insulator
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KR20210024423A
(ko)
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2019-08-22 |
2021-03-05 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
홀을 구비한 구조체를 형성하기 위한 방법
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US11286558B2
(en)
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2019-08-23 |
2022-03-29 |
Asm Ip Holding B.V. |
Methods for depositing a molybdenum nitride film on a surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures including a molybdenum nitride film
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KR20210024420A
(ko)
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2019-08-23 |
2021-03-05 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
비스(디에틸아미노)실란을 사용하여 peald에 의해 개선된 품질을 갖는 실리콘 산화물 막을 증착하기 위한 방법
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KR102806450B1
(ko)
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2019-09-04 |
2025-05-12 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법
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KR102733104B1
(ko)
|
2019-09-05 |
2024-11-22 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치
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US12469693B2
(en)
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2019-09-17 |
2025-11-11 |
Asm Ip Holding B.V. |
Method of forming a carbon-containing layer and structure including the layer
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JP7274387B2
(ja)
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2019-09-24 |
2023-05-16 |
東京エレクトロン株式会社 |
成膜装置及び成膜方法
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US11562901B2
(en)
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2019-09-25 |
2023-01-24 |
Asm Ip Holding B.V. |
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CN112593212B
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2019-10-02 |
2023-12-22 |
Asm Ip私人控股有限公司 |
通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法
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TWI846953B
(zh)
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2019-10-08 |
2024-07-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
基板處理裝置
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KR20210042810A
(ko)
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2019-10-08 |
2021-04-20 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
활성 종을 이용하기 위한 가스 분배 어셈블리를 포함한 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
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TW202128273A
(zh)
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2019-10-08 |
2021-08-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
氣體注入系統、及將材料沉積於反應室內之基板表面上的方法
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TWI846966B
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2019-10-10 |
2024-07-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
形成光阻底層之方法及包括光阻底層之結構
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US12009241B2
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2019-10-14 |
2024-06-11 |
Asm Ip Holding B.V. |
Vertical batch furnace assembly with detector to detect cassette
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TWI834919B
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2019-10-16 |
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
氧化矽之拓撲選擇性膜形成之方法
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US11637014B2
(en)
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2019-10-17 |
2023-04-25 |
Asm Ip Holding B.V. |
Methods for selective deposition of doped semiconductor material
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KR102845724B1
(ko)
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2019-10-21 |
2025-08-13 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
막을 선택적으로 에칭하기 위한 장치 및 방법
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KR20210050453A
(ko)
|
2019-10-25 |
2021-05-07 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
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US11646205B2
(en)
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2019-10-29 |
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Asm Ip Holding B.V. |
Methods of selectively forming n-type doped material on a surface, systems for selectively forming n-type doped material, and structures formed using same
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KR102890638B1
(ko)
|
2019-11-05 |
2025-11-25 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
도핑된 반도체 층을 갖는 구조체 및 이를 형성하기 위한 방법 및 시스템
|
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US11501968B2
(en)
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2019-11-15 |
2022-11-15 |
Asm Ip Holding B.V. |
Method for providing a semiconductor device with silicon filled gaps
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KR102861314B1
(ko)
|
2019-11-20 |
2025-09-17 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템
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CN112951697B
(zh)
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2019-11-26 |
2025-07-29 |
Asmip私人控股有限公司 |
基板处理设备
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KR20210065848A
(ko)
|
2019-11-26 |
2021-06-04 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
제1 유전체 표면과 제2 금속성 표면을 포함한 기판 상에 타겟 막을 선택적으로 형성하기 위한 방법
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CN112885693B
(zh)
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2019-11-29 |
2025-06-10 |
Asmip私人控股有限公司 |
基板处理设备
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CN120998766A
(zh)
|
2019-11-29 |
2025-11-21 |
Asm Ip私人控股有限公司 |
基板处理设备
|
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JP7527928B2
(ja)
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2019-12-02 |
2024-08-05 |
エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
基板処理装置、基板処理方法
|
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KR20210070898A
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Asm Ip Holding B.V. |
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Asm Ip Holding B.V. |
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東京エレクトロン株式会社 |
基板処理装置、および基板処理方法
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