JP5812606B2 - 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
しかしながら、枚葉装置は、1枚ずつ処理をするためスループットが低いという問題がある。
処理室内に設けられ、基板を支持する基板支持部と、前記基板支持部を移動する基板支持部移動機構と、前記処理室にガスを供給するガス供給部と、前記処理室のガスを排気する排気部と、前記基板支持部と対向するように設けられたプラズマ生成部と、を有する基板処理装置。
処理室内に設けられ、基板を支持する複数の基板支持部と、前記基板支持部を移動する基板支持部移動機構と、前記処理室にガスを供給するガス供給部と、前記処理室のガスを排気する排気部と、前記基板支持部と対向するように設けられたプラズマ生成部と、を有する基板処理装置を用いた半導体装置の製造方法であって、前記ガス供給部からガスを供給しつつ前記排気部からガスを排気するガス供給/排気工程と、前記ガス供給/排気工程の間、複数の前記基板支持部を移動する移動工程と、を有する半導体装置の製造方法。
以下、本発明に係る第一の実施形態を図面に即して説明する。
本実施形態において、本発明に係る基板処理装置10は、半導体集積回路装置(以下、半導体装置という)の製造方法において、半導体装置が形成される基板としての半導体ウエハ(以下、ウエハ18という)にプラズマ処理を施す基板処理装置として構成されている。
入口側予備室33には予備室ヒータ33Aが設けられ、筐体11に入る前に、ウエハ18を加熱する構成としている。また、出口側予備室34には予備室冷却機構34Aが設けられ、筐体11内で加熱されたウエハ18を冷却する構造としている。
なお、図2では説明の便宜上、各予備室33、34を省略している。
コンベア15は回転するローラ16を複数本備えており、各ローラ16の回転によって移動(搬送)対象物としてのウエハ18を支持した基板保持具17を搬送するように構成されている。コンベア15の幅は、基板保持具17の幅よりも大きく設定されている。
また、処理室12は複数枚、例えば4枚の基板保持具17を等しいピッチをもって並べて搬送し得る長さに設定されている。
プラズマ生成装置20は後述するように電極を有しており、電極に電力を投入することで、処理室12内に供給された処理ガスをプラズマ状態とする。
ガス排気管19bは、複数台のプラズマ生成装置20それぞれに対応するように設けられている。ガス排気管19bは下流で合流し、ガス排気管19bの合流した箇所には、上流から順に、圧力調整バルブ19cと、排気装置としての真空ポンプ19dとが設けられており、この圧力調整バルブ19cの開度を調整することで、処理室12内の圧力が所定の値に調整される。
圧力調整バルブ19cと真空ポンプ19dとは、制御部80と電気的に接続されており、制御部80により圧力調整制御される。
なお、図2では説明の便宜上、ガス排気部19を省略している。
プラズマ30は、各電極24、25の間であって、これらの電極24、25の延伸方向に生成される。
仮にウエハ18の進行方向と電極24、25を並行にした場合、ウエハ18上に進行方向と並行にプラズマ30が生成されるため、膜厚がまだらとなってしまう。
このように、くし型電極対23と処理室12との間に誘電体製のホルダ22が設けられるため、電極24、25がプラズマ30によって削られて生成される金属片による金属汚染を防止することができる。このとき、底壁22bは、プラズマ30を生成できる程度の厚みであって、ウエハ18への薄膜形成に支障のない厚みとする。
なお、プラズマ生成装置20、高周波電源26、整合器27、絶縁トランス28をプラズマ生成部と呼ぶ。
同様に、入口13から出口14に向かって、それぞれ隣接するプラズマ生成装置を、第一のプラズマ生成装置、第二のプラズマ生成装置、第三のプラズマ生成装置・・・と呼ぶ。
また、筐体11はガス排気部19及びガス供給部31の協働により、一定の圧力に維持されている。
この状態で、図3に示されているように、ガス供給部31からガスを供給した後、プラズマ生成装置20がプラズマ30を基板保持具17上に生成し、ウエハ18にプラズマ処理を施す。
このとき、入口側予備室33には次の第二の基板保持具17が待機している。
このとき、入口側予備室33に第三の基板保持具17を載置する。
各プラズマ生成装置20の下で順次処理することで、例えば、所望の膜厚を堆積することが可能となる。
まず、出口14に最も近いプラズマ生成装置20で所定の時間、ウエハ18が処理された後、出口14のゲート14Aが開放される。開放されたら、図示しない搬送機構によって出口側予備室34へ搬出される。搬出された後、ゲート14Aを閉じる。
このようにすることで、ウエハ18を素早く冷却することが可能となるため、高温状態のウエハ18を搬入できない他の装置にも、素早く移載することが可能となる。
ウエハ18を保持した基板保持具を連続的に移動させながらウエハ18にプラズマ処理を施すと、基板保持具を連続的に移動する場合、すなわち、移動することによって上部電極と下部電極の位置関係にズレが起きた場合に、平行平板電極間に生成されるプラズマの形成状態(体積や密度、電子温度など)が変化するので、ウエハ18にプラズマ処理を均一に施すことができない。
したがって、基板保持具17をコンベア15によって連続的に移動させても、ウエハ18に対してプラズマ処理を均一に施すことができる。更には、筐体11にて複数枚連続してウエハ18を処理することが可能であるので、従来の枚葉装置に比べスループットを高くすることができる。
図4は本発明の第二の実施形態を示している。
本実施形態が第一実施形態と異なる点は、くし型電極対23を保持するホルダ22Aが平板形状に形成されており、くし型電極対23がホルダ22Aの処理室12内側端面に配置されて、プラズマ30と接触するように構成されている点、である。他の構成においては、第一の実施例と同様の構成である。
また、供給するガスとして腐食性ガスを使用する場合には、くし型電極対23が劣化したりエッチングされたりする。そこで、炭化シリコン(SiC)等の材料を用いてくし型電極対23を構成することにより、寿命を延ばすことが可能となる。
図5は本発明の第三の実施形態を示している。
本実施形態が第一実施形態と異なる点は、プラズマ生成装置20に相当するプラズマ生成装置が誘導結合方式(誘導結合型装置20B)である点である。他の構成においては、第一の実施例と同様の構成である。
誘導結合型装置20Bは、ブラケット41を備えている。ブラケット41は筐体11の天井壁に建て込まれて固定されており、ブラケット41の枠内にはドーム42が嵌め込まれている。
ドーム42は、酸化アルミニウムまたは石英等の非金属材料が使用されてドーム形状に形成されている。ドーム42の外周にはコイル43が設置されており、コイル43には高周波電力を印加する高周波電源44が、整合器45及び絶縁トランス46を介して接続されている。
高周波電源44、整合器45及び絶縁トランス46は、筐体11の天井壁上に配置された図示しない配電盤に格納されている。
したがって、基板保持具17をコンベア15によって連続的に移動させても、ウエハ18に対してプラズマ処理を均一に施すことができる。更には、筐体11にて複数枚のウエハ18を連続して処理することが可能なので、従来の枚葉装置に比べスループットを高くすることができる。
図6から図11は本発明の第四の実施形態を示している。
本実施形態が第一の実施形態と異なる点は、基板処理装置がロータリー式に構成されている点である。
まず、本実施形態に係る基板処理装置100の構成について説明する。
図6は、第四実施形態に係る基板処理装置100の一部切断平面図である。
図7(A)は、本実施形態に係る基板処理装置100の側面断面図であり、図7(B)は、図7(A)のa−a'矢視図である。また、図7(A)は、図7(B)のb−b'矢視図である。
図8は、第一のシャワーヘッド133(あるいは第二のシャワーヘッド137)の拡大図である。
図9は、ウエハ18を載置した場合の説明図である。
図10は、基板処理装置100の排気系統を説明する説明図である。
図11は、基板処理装置100のガスの流れを説明する説明図である。
筐体51の側壁には入口53及び出口54が隣り合わせに開設されている。入口53はゲート53Aによって開閉されるように構成されており、出口54はゲート54Aによって開閉されるように構成されている。
入口側予備室57には予備室ヒータ57Aが設けられ、筐体51に入る前に、ウエハ18を加熱する構成としている。また、出口側予備室58には予備室冷却機構58Aが設けられ、筐体51内で加熱されたウエハ18を冷却する構造としている。
また、回転トレー120は回転駆動部119に連結されている。回転駆動部119が回転軸121を回転させることで回転トレー120が回転する。
ガス供給管200bは、第一のガス導入ポート135に接続しており、このガス供給管200bの上流から順に、ガス供給源200e、流量制御装置200d、バルブ200cが設けられている。バルブ200cを開閉することで、ガス供給管200bから処理室101内にガスが供給、又は供給停止される。
第一のガス供給部は、第一の処理ガス、例えばジクロロシラン(DCS)を供給する。
ガス供給管212bは、第二のガス導入ポート131に接続しており、このガス供給管212bには上流から順に、ガス供給源212e、流量制御装置212d、バルブ212c、リモートプラズマ機構212fが設けられている。バルブ212cを開閉することで、ガス供給管212bから処理室101内にガスが供給され、又は供給停止される。
第二のガス供給部は、第二の処理ガスであるアンモニアガスを供給する。本実施形態においては、リモートプラズマ機構212fによって活性化されたアンモニアラジカルを供給する。
第一の排気孔128a、第一の排気管104、第一の排気ポンプ107、及び第一のAPCバルブ204を含めて第一の排気部と呼ぶ。
第二の排気孔128b、第二の排気管105、第二の排気ポンプ108、及び第二のAPCバルブ206を含めて第二の排気部と呼ぶ。
このような構成とすることで、ウエハ18に対する下底152側のガスが晒される時間を、上底151側のガスが晒される時間に近づけることができる。好ましくは、孔の数を調整することで同等とすることができる。
上記のような構造とすることで、ウエハ18における、回転軸121に近い点の供給量と回転軸121に遠い点の供給量を近づけることができ、ウエハ18面に対して、均一な処理(例えば吸着)が可能となる。
この場合、回転軸121から遠い点において均一に吸着するような速度に合わせて回転させることによって、ウエハ18面内に均一に吸着することが可能となる。回転軸121に近い点では、ウエハ18に対するガス供給時間が長くなったとしても、セルフリミット現象によって均一に吸着されるためである。ここで、セルフリミット現象とは、処理ガス雰囲気であっても、それ以上膜が成長しない状態を言う。
しかしながら、遠い点における速度で吸着する回転速度に合わせた場合、スループットが低くなるという問題がある。
本実施形態のような構造とすることで、よりスループットの高い処理が可能となる。
ガス供給管202bは、ガス導入ポート136に接続しており、このガス供給管202bの上流から順に、ガス供給源202e、流量制御装置202d、バルブ202cが設けられている。バルブ202cを開閉することで、ガス供給管202bから処理室101内にガスが供給され、又は供給停止される。
シャワー板134は、ガス導入ポート136から供給された不活性ガス(例えば窒素)を、処理室101内に均等に供給する。
すなわち、第一のシャワーヘッド133、第二のシャワーヘッド137は、回転トレー120の回転軸121を中心として、水平方向に交互に配置されている(回転軸121の回転方向に対して交互に配置されている)。また、シャワー板134は、それぞれ各排気孔128a、128b内に間隙を設けるように配置されている。
次に、上述の基板処理装置100により実施される本実施形態に係る半導体装置(デバイス)の製造工程としての一工程として、基板上に絶縁膜を成膜するシーケンス例について説明する。なお、以下の説明において、上述の半導体製造装置の各部の動作は、制御部80により制御される。
まず、入口53のゲート53Aを開け、図示しない搬送装置により処理室101内に複数のウエハ18(ここでは4枚)を搬入して、回転軸121を中心として回転トレー120上に載置する。そして、ゲート53Aを閉じる。
次に、第一及び第二の排気ポンプ107、108を作動させ、第一及び第二のAPCバルブ204、206の開度を調整し、処理室101内が所望の圧力(成膜圧力)になるように制御する。
また、ヒータ106に電力を投入し、ウエハ18の温度(成膜温度)を所望の温度(例えば350 ℃)に維持するように制御する。
また、加熱しつつ回転トレー120を1[回転/秒]で回転させ、更にシャワー板134から不活性ガス(ここでは窒素)を供給する。
回転トレー120が回転された状態で、第一のシャワーヘッド133から第一の処理ガスであるDCSを処理室101に供給する。
DCSガスの供給により、第一のシャワーヘッド133の下を通過するウエハ18表面の下地膜上に、第一の元素としてのシリコンを含む第一の層が形成される(化学吸着する)。すなわち、ウエハ18上(下地膜上)に1原子層未満から数原子層のシリコン含有層としてのシリコン層(Si層)が形成される。シリコン含有層は、DCSの化学吸着(表面吸着)層であってもよい。なお、シリコンは、それ単独で固体となる元素である。
また、DCSの化学吸着層とは、DCS分子の連続的な化学吸着層の他、不連続な化学吸着層をも含む。
よって、シリコン含有層の厚さは1原子層未満から数原子層とするのが好ましい。
NH3ガスは反応温度が高く、上記のようなウエハ温度、処理室内圧力では反応しづらいので、プラズマ励起することにより活性種としてから流すようにしている。このためウエハ18の温度は上述のように設定した低い温度範囲のままでよい。そのため、ヒータ106の温度を変化させる必要がない。
なお、NH3ガスは熱で活性化させて供給すると、ソフトな反応を生じさせることができるが高温にする必要がある。
また、第一のガスによる処理温度(ウエハ温度)も上昇してしまうため、第一のガスによる処理が所望の温度範囲を超えてしまうことが考えられる。
そのため、熱によって活性化したガスを使用する場合は、高温処理でも可能なウエハであって、更には第一のガス処理が高温でも可能な処理であることが望ましい。
すなわち、第一のガスと第二のガスで処理するウエハ温度が異なる場合、いずれか低いウエハ温度に合わせてヒータ106を制御すればよい。
そのため、高温処理に弱いウエハにおいても処理が可能となる。
これによりシリコン含有層は窒化されて、シリコン(第一の元素)及び窒素(第二の元素)を含む第二の層、すなわち、シリコン窒化層(SiN層)へと改質される。
このように、第一のシャワーヘッド133及び第二のシャワーヘッド137の下をウエハ18が通過し、シリコン窒化膜が形成される処理をシリコン窒化膜形成処理とする。
このようなウエハ18上へのシリコン窒化膜形成処理を繰り返すことで、所望の膜厚のシリコン窒化膜を形成する。
第一のシャワーヘッド133から供給されたDCSガスは、ウエハ18上に晒された後、シャワー板134から供給される不活性ガスと共に、第一の排気孔128aから排気される。
また、第二のシャワーヘッド137から供給されたNH3ガスは、ウエハ18上に晒された後、シャワー板134から供給される不活性ガスと共に、第二の排気孔128bから排気される。
ガス導入ポート136のバルブ202cを引き続き開として、流量制御装置202dにより流量調整されたキャリアガス(不活性ガス)である窒素(N2)を処理室101内に供給する。
このとき、第一の排気管104及び第二の排気管105それぞれの第一のAPCバルブ204及び第二のAPCバルブ206は開状態を維持し、第一の排気ポンプ107、第二の排気ポンプ108により処理室101内が20 Pa以下となるよう、残ガスを排気する。
これにより、処理室101を窒素(N2)に置換する。
第一の排気管104及び第二の排気管105の第一のAPCバルブ204及び第二のAPCバルブ206は開状態を維持し、出口側予備室58と同程度の圧力(例えば、大気圧)に復帰させる。そして、上述の工程の逆工程により処理済みのウエハ18を処理室101内から搬出する。
本実施形態によれば、第一の排気部と第二の排気部との間に設けられた不活性ガスを供給する第三のガス供給部と、ガス供給孔及びガス排気孔の内少なくとも一組のガス供給孔及びガス排気孔とは、前記基板支持部の基板載置面より上に設けられているので、第一のガス供給部から供給される第一のガスと、第二の供給部から供給される第二のガスとの混合を防ぐことができる。
図12、図13は本発明の第五の実施形態を示している。
本実施形態が第四の実施形態と異なる点は、プラズマ源138によってNH3ガスをプラズマ状態とする点である。
本実施形態に係る基板処理装置100について、図12、13を用いて説明する。
なお、第四の実施形態と同様の番号は、本実施形態においても同様の機能を有する構成のため、説明を省略する。
図12(A)は、本実施形態に係る基板処理装置100の側面断面図である。図12(B)は、図12(A)のc−c'矢視図である。また、図12(A)は、図12(B)のd−d'矢視図である。
図13は、プラズマ源138の拡大図である。
本実施形態においては、第二のガス供給部として、第二のシャワーヘッド137に替わりプラズマ源138を設けている。プラズマ源138では、導電性材料で構成したくし型電極113を石英板111と石英ブロック112で挟むよう構成する。
くし型電極113の両端には電力供給端子130の一方がそれぞれ接続され、電力供給ポート130の他方は絶縁トランス114、整合器118を介して高周波電源117が接続される。
電極カバー143はつば127により、反応室壁103に気密を保持して取り付けられる。
次に、上述の基板処理装置100により実施される本実施形態に係る半導体装置(デバイス)の製造工程としての一工程として、ウエハ18上に絶縁膜を成膜するシーケンス例について説明する。
なお、以下の説明において、上述の基板処理装置100の各部の動作は、制御部80により制御される。
回転トレー120が回転された状態で、くし型電極113に高周波電力を供給する。
また、回転トレー120が回転された状態で、第一のシャワーヘッド133から第一の処理ガスであるDCSガスを処理室101に供給する。
供給されたアンモニアガスは、くし型電極113に印加された高周波電力によってプラズマ状態とされる。アンモニアプラズマは石英板111の表面(処理室101側)に生成される。
このため、ウエハ18の温度は上述のように設定した低い温度範囲のままでよい。プラズマ状態で改質する場合は、第四の実施形態のリモートプラズマ機構で生成した活性種に比べ、DCSとの反応性を高くすることができる。一方、反応性が高くなることで、よりDCSとNH3ガスの混合を抑制する必要がある。
これによりシリコン含有層は窒化されて、シリコン(第一の元素)及び窒素(第二の元素)を含む第二の層、すなわち、シリコン窒化層(SiN層)へと改質される。
このように、第一のシャワーヘッド133及びプラズマ源138の下をウエハ18が通過し、シリコン窒化膜が形成される処理をシリコン窒化膜形成処理とする。
このようなウエハ18上へのシリコン窒化膜形成処理を繰り返すことで、所望の膜厚のシリコン窒化膜を形成する。
第一のシャワーヘッド133から供給されたDCSガスは、ウエハ18上に晒された後、シャワー板134から供給される不活性ガスと共に、第一の排気孔128aから排気される。
また、プラズマ源138から供給されたアンモニアプラズマは、ウエハ18上に晒された後、シャワー板134から供給される不活性ガスと共に、第二の排気孔128bから排気される。
図14は、本発明の第六の実施形態を示している。
本実施形態が第四の実施形態と異なる点は、プラズマ生成装置20が4台設けられている点で異なる。
図14に示されているように、筐体51の天井壁には一対の電極を有するプラズマ生成装置20が4台、回転するトレー56の回転方向に等しいピッチすなわち90度の位相差をもってそれぞれ配置されている。
なお、プラズマ生成装置20は誘導結合型装置20B(図5参照)に置き換えることができる。
また、本実施形態においても、基板保持具17を移動台55によって連続的に移動させても、ウエハ18に対してプラズマ処理を均一に施すことができる。
続いて比較例について、説明する。
(1)比較例における基板処理装置の構成
比較例の基板処理装置300について、図15〜17を用いて説明する。なお、他の実施形態と同様の番号は、本実施形態においても同様の機能を有する構成のため、説明を省略する。
図16は、ウエハ18を載置した場合の説明図である。
図17は、比較例における基板処理装置300の排気系統を説明する図である。
g−g'矢視図は回転トレー120から処理室101の上側の構造を見た図で、h−h'矢視図は処理室101の中央部の断面図で回転トレー120及びヒータ106なども含めて示してある。
ヒータ106の上部には、回転トレー120が回転可能に設けてあり、回転駆動部119が回転トレー120と連結された回転軸121を回転する構造となっている。
処理室101の上部には、反応性ガスを供給するためのシャワーヘッド123、124が設けてあり、それぞれ別のガスを複数のガス吹き出し口126からシャワー状に供給することが可能で、また不活性ガスを供給するための一対のシャワーヘッド116が設けてある。
反応室壁103の側面には排気管115が設けてあり、処理室101内のガスを排気装置141(図17参照)で排気する構造となっている。
次に比較例の装置による基板処理のシーケンス例を説明する。
ここでは一例としてジクロロシラン(DCS)とリモートプラズマで励起したアンモニア(NH3)の活性種を交互に供給して窒化膜を一層ずつ形成するALD(Atomic Layer Deposition)法について説明する。
ウエハ18を図示しない搬送ロボットで回転トレー120上に載置する。またヒータ106に電力を投入して回転トレー120と共にウエハ18を350 ℃に加熱する。
この状態で二つのシャワーヘッド116からは窒素を供給し、別のシャワーヘッド123からDCSガスを供給し、もう一つのシャワーヘッド124からはリモートプラズマで励起したNH3ガスを供給する。
最初にジクロロシランの供給によりウエハ18にジクロロシラン分子が吸着し、その後窒素の供給で余分なジクロロシランが除去される。
しかし、処理室101に供給されたジクロロシランとアンモニアは反応室壁103の側面付近出混合し、排気管115を経由して排気装置141で排気される。
このため、処理室101内部の反応室壁103の特に排気管115の近くでジクロロシランとアンモニアが気相反応して塩化アンモニウム等の反応副生成物が生成され、反応室壁や排気経路に付着する。この塩化アンモニウムはやがて異物発生の原因となるため、これを除去する為に頻繁にメンテナンスが必要になる。
排気管115及び排気装置141にも反応性生物が付着するためこれを除去したり、あるいは排気装置141をオーバーホールしたりする為に、頻繁に装置を停止する必要が有る為、稼働率が低下しまたメンテナンス費用もかかる。
以下に、本発明の好ましい態様について付記する。
11 筐体
12 処理室
13 入口
14 出口
15 コンベア
16 ローラ
17 基板保持具
18 ウエハ
19 ガス排気部
20 プラズマ生成装置
23 型電極対
30 プラズマ
31 ガス供給部
32 ヒータ
33 入口側予備室
34 出口側予備室
48 ガス供給部
51 筐体
55 移動台
56 トレー
57 入口側予備室
58 出口側予備室
80 制御部
100 基板処理装置
101 処理室
103 反応室壁
104 第一の排気管
105 第二の排気管
107 第一の排気ポンプ
108 第二の排気ポンプ
119 回転駆動部
120 回転トレー
121 回転軸
133 第一のシャワーヘッド
134 シャワー板
137 第二のシャワーヘッド
138 プラズマ源
141 排気装置
Claims (5)
- 処理室内に設けられ、基板載置面に基板を支持する基板支持部と、
前記基板支持部を移動させる基板支持部移動機構と、
第一のガスを第一のガス供給孔から供給する第一のガス供給部と、
第二のガスを第二のガス供給孔から供給する第二のガス供給部と、
前記処理室に不活性ガスを第三のガス供給孔から供給する第三のガス供給部と、
前記第一のガスを第一のガス排気孔から排気する第一の排気部と、
前記第二のガスを第二のガス排気孔から排気する第二の排気部と、
前記基板支持部移動機構、前記第一のガス供給部、前記第二のガス供給部、前記第三のガス供給部及び前記排気部を少なくとも制御して、前記基板を処理する制御部と、
を有し、
前記第一のガス供給孔はシャワーヘッドにより構成され、
前記第二のガス供給部には、前記第二のガスを活性化するプラズマ源を構成する電極が設けられ、
前記第一のガス供給孔、前記第一のガス排気孔、前記第二のガス供給孔、及び前記第二のガス排気孔は、前記基板載置面よりも重力方向に対して上方であって、前記基板載置面と対向する位置に設けられ、
前記第一のガス排気孔は、前記第一のガス供給孔を構成するシャワーヘッドの外周に沿って全周を囲むように設けられ、
前記第二のガス排気孔は、前記第二のガス供給部の前記第二のガス供給孔及び前記電極の全周を囲み、且つ、前記電極の外周に沿うように設けられ、
前記第三のガス供給孔は、前記第一のガス排気孔及び前記第二のガス排気孔の間の領域に設けられ、
前記制御部は、前記基板支持部に載置された前記基板を移動させながら、前記基板に対して、前記第一のガスによる吸着と、前記不活性ガスによるパージと、前記プラズマ源により活性化された前記第二のガスによる改質を、前記第一のガスと前記第二のガスとの混合を防ぎつつ実行する基板処理装置。 - 前記第二のガス供給部には、リモートプラズマ機構が更に設けられている請求項1記載の基板処理装置。
- 前記プラズマ源は、ICPプラズマ源である請求項1記載の基板処理装置。
- 前記基板支持部は、回転軸を中心に回転し、
前記第一のガス供給部及び前記第二のガス供給部とは、前記回転軸の回転方向に対して交互に配置されるとともに、前記回転軸から離れるほどガス供給量が多くなるように構成されている請求項1記載の基板処理装置。 - 処理室内に設けられ、基板を支持する基板支持部と、
前記基板支持部を移動させる基板支持部移動機構と、
第一のガスを第一のガス供給孔から供給する第一のガス供給部と、
第二のガスを第二のガス供給孔から供給する第二のガス供給部と、
前記処理室に不活性ガスを第三のガス供給孔から供給する第三のガス供給部と、
前記第一のガスを第一のガス排気孔から排気する第一の排気部と、
前記第二のガスを第二のガス排気孔から排気する第二の排気部と、
前記基板支持部移動機構、前記第一のガス供給部、前記第二のガス供給部、前記第三のガス供給部及び前記排気部を少なくとも制御して、前記基板を処理する制御部と、を有し、
前記第一のガス供給孔はシャワーヘッドにより構成され、
前記第二のガス供給部には、前記第二のガスを活性化するプラズマ源を構成する電極が設けられ、
前記第一のガス供給孔、前記第一のガス排気孔、前記第二のガス供給孔、及び前記第二のガス排気孔は、前記基板載置面よりも重力方向に対して上方であって、前記基板載置面と対向する位置に設けられ、
前記第一のガス排気孔は、前記第一のガス供給孔を構成するシャワーヘッドの外周に沿って全周を囲むように設けられ、
前記第二のガス排気孔は、前記第二のガス供給部の前記第二のガス供給孔及び前記電極の全周を囲み、且つ、前記電極の外周に沿うように設けられ、
前記第三のガス供給孔は、前記第一のガス排気孔及び前記第二のガス排気孔の間の領域に設けられる基板処理装置を用いた半導体装置の製造方法であって、
各ガス供給部から各ガスを供給しつつ前記各排気部からガスを排気するガス供給/排気工程と、
前記ガス供給/排気工程の間、前記基板支持部を移動させる移動工程と、を有し、
前記移動工程においては、前記基板支持部に載置された前記基板を移動させながら、前記基板に対して、前記第一のガスによる吸着と、前記不活性ガスによるパージと、活性化された前記第二のガスによる改質が、前記第一のガスと前記第二のガスとの混合を防ぎつつ実行される半導体装置の製造方法。
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