JP2010103508A5 - 半導体装置 - Google Patents

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  1. 第1の半導体層上、第2の半導体層上、第3の半導体層上、及び第4の半導体層上に絶縁層を有し、
    前記絶縁層上に第1の金属層と第2の金属層と第3の金属層とを有し、
    前記第1の半導体層は、第1の領域と第2の領域とを有し、
    前記第1の半導体層は、前記第1の領域と前記第2の領域との間に第3の領域を有し、
    前記第2の半導体層は、第4の領域と第5の領域とを有し、
    前記第2の半導体層は、前記第4の領域と前記第5の領域との間に第6の領域を有し、
    前記第3の半導体層は、第7の領域と第8の領域とを有し、
    前記第3の半導体層は、前記第7の領域と前記第8の領域との間に第9の領域を有し、
    前記第4の半導体層は、第10の領域と第11の領域とを有し、
    前記第4の半導体層は、前記第10の領域と前記第11の領域との間に第12の領域を有し、
    前記絶縁層は、第1のコンタクトホールと第2のコンタクトホールと第3のコンタクトホールと第4のコンタクトホールと第5のコンタクトホールと第6のコンタクトホールと第7のコンタクトホールと第8のコンタクトホールとを有し、
    前記第1の金属層は、前記第1のコンタクトホールを介して、前記第1の領域と電気的に接続されており、
    前記第1の金属層は、前記第2のコンタクトホールを介して、前記第4の領域と電気的に接続されており、
    前記第2の金属層は、前記第3のコンタクトホールを介して、前記第2の領域と電気的に接続されており、
    前記第2の金属層は、前記第4のコンタクトホールを介して、前記第5の領域と電気的に接続されており、
    前記第2の金属層は、前記第5のコンタクトホールを介して、前記第7の領域と電気的に接続されており、
    前記第2の金属層は、前記第6のコンタクトホールを介して、前記第10の領域と電気的に接続されており、
    前記第3の金属層は、前記第7のコンタクトホールを介して、前記第8の領域と電気的に接続されており、
    前記第3の金属層は、前記第8のコンタクトホールを介して、前記第11の領域と電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
  2. 第1の半導体層上、第2の半導体層上、第3の半導体層上、第4の半導体層上、第5の半導体層上、及び第6の半導体層上に絶縁層を有し、
    前記絶縁層上に第1の金属層と第2の金属層と第3の金属層と第4の金属層とを有し、
    前記第1の半導体層は、第1の領域と第2の領域とを有し、
    前記第1の半導体層は、前記第1の領域と前記第2の領域との間に第3の領域を有し、
    前記第2の半導体層は、第4の領域と第5の領域とを有し、
    前記第2の半導体層は、前記第4の領域と前記第5の領域との間に第6の領域を有し、
    前記第3の半導体層は、第7の領域と第8の領域とを有し、
    前記第3の半導体層は、前記第7の領域と前記第8の領域との間に第9の領域を有し、
    前記第4の半導体層は、第10の領域と第11の領域とを有し、
    前記第4の半導体層は、前記第10の領域と前記第11の領域との間に第12の領域を有し、
    前記第5の半導体層は、第13の領域と第14の領域とを有し、
    前記第5の半導体層は、前記第13の領域と前記第14の領域との間に第15の領域を有し、
    前記第6の半導体層は、第16の領域と第17の領域とを有し、
    前記第6の半導体層は、前記第16の領域と前記第17の領域との間に第18の領域を有し、
    前記絶縁層は、第1のコンタクトホールと第2のコンタクトホールと第3のコンタクトホールと第4のコンタクトホールと第5のコンタクトホールと第6のコンタクトホールと第7のコンタクトホールと第8のコンタクトホールと第9のコンタクトホールと第10のコンタクトホールと第11のコンタクトホールと第12のコンタクトホールとを有し、
    前記第1の金属層は、前記第1のコンタクトホールを介して、前記第1の領域と電気的に接続されており、
    前記第1の金属層は、前記第2のコンタクトホールを介して、前記第4の領域と電気的に接続されており、
    前記第2の金属層は、前記第3のコンタクトホールを介して、前記第2の領域と電気的に接続されており、
    前記第2の金属層は、前記第4のコンタクトホールを介して、前記第5の領域と電気的に接続されており、
    前記第2の金属層は、前記第5のコンタクトホールを介して、前記第7の領域と電気的に接続されており、
    前記第2の金属層は、前記第6のコンタクトホールを介して、前記第10の領域と電気的に接続されており、
    前記第3の金属層は、前記第7のコンタクトホールを介して、前記第8の領域と電気的に接続されており、
    前記第3の金属層は、前記第8のコンタクトホールを介して、前記第11の領域と電気的に接続されており、
    前記第3の金属層は、前記第9のコンタクトホールを介して、前記第13の領域と電気的に接続されており、
    前記第3の金属層は、前記第10のコンタクトホールを介して、前記第16の領域と電気的に接続されており、
    前記第4の金属層は、前記第11のコンタクトホールを介して、前記第14の領域と電気的に接続されており、
    前記第4の金属層は、前記第12のコンタクトホールを介して、前記第17の領域と電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
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