DE69920281T2 - Mit hitze expandierter druckempfindlicher klebefilm - Google Patents

Mit hitze expandierter druckempfindlicher klebefilm Download PDF

Info

Publication number
DE69920281T2
DE69920281T2 DE69920281T DE69920281T DE69920281T2 DE 69920281 T2 DE69920281 T2 DE 69920281T2 DE 69920281 T DE69920281 T DE 69920281T DE 69920281 T DE69920281 T DE 69920281T DE 69920281 T2 DE69920281 T2 DE 69920281T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
heat
adhesive
film
expandable
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE69920281T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69920281D1 (de
Inventor
Kazuyuki Ibaraki-shi Kiuchi
Toshiyuki Ibaraki-shi Oshima
Akihisa Ibaraki-shi Murata
Yukio Ibaraki-shi Arimitsu
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nitto Denko Corp
Original Assignee
Nitto Denko Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nitto Denko Corp filed Critical Nitto Denko Corp
Application granted granted Critical
Publication of DE69920281D1 publication Critical patent/DE69920281D1/de
Publication of DE69920281T2 publication Critical patent/DE69920281T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6835Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61PSPECIFIC THERAPEUTIC ACTIVITY OF CHEMICAL COMPOUNDS OR MEDICINAL PREPARATIONS
    • A61P31/00Antiinfectives, i.e. antibiotics, antiseptics, chemotherapeutics
    • A61P31/12Antivirals
    • A61P31/14Antivirals for RNA viruses
    • A61P31/18Antivirals for RNA viruses for HIV
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J7/00Adhesives in the form of films or foils
    • C09J7/20Adhesives in the form of films or foils characterised by their carriers
    • C09J7/22Plastics; Metallised plastics
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J7/00Adhesives in the form of films or foils
    • C09J7/20Adhesives in the form of films or foils characterised by their carriers
    • C09J7/22Plastics; Metallised plastics
    • C09J7/26Porous or cellular plastics
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J7/00Adhesives in the form of films or foils
    • C09J7/20Adhesives in the form of films or foils characterised by their carriers
    • C09J7/29Laminated material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J7/00Adhesives in the form of films or foils
    • C09J7/30Adhesives in the form of films or foils characterised by the adhesive composition
    • C09J7/38Pressure-sensitive adhesives [PSA]
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J9/00Adhesives characterised by their physical nature or the effects produced, e.g. glue sticks
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6835Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
    • H01L21/6836Wafer tapes, e.g. grinding or dicing support tapes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2301/00Additional features of adhesives in the form of films or foils
    • C09J2301/20Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the structural features of the adhesive itself
    • C09J2301/208Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the structural features of the adhesive itself the adhesive layer being constituted by at least two or more adjacent or superposed adhesive layers, e.g. multilayer adhesive
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2301/00Additional features of adhesives in the form of films or foils
    • C09J2301/40Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the presence of essential components
    • C09J2301/412Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the presence of essential components presence of microspheres
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2400/00Presence of inorganic and organic materials
    • C09J2400/20Presence of organic materials
    • C09J2400/24Presence of a foam
    • C09J2400/243Presence of a foam in the substrate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2421/00Presence of unspecified rubber
    • C09J2421/006Presence of unspecified rubber in the substrate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2423/00Presence of polyolefin
    • C09J2423/006Presence of polyolefin in the substrate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2433/00Presence of (meth)acrylic polymer
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2467/00Presence of polyester
    • C09J2467/006Presence of polyester in the substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2221/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
    • H01L2221/67Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L2221/683Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L2221/68304Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
    • H01L2221/68327Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support used during dicing or grinding
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2221/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
    • H01L2221/67Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L2221/683Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L2221/68304Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
    • H01L2221/68327Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support used during dicing or grinding
    • H01L2221/68331Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support used during dicing or grinding of passive members, e.g. die mounting substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/1901Structure
    • H01L2924/1904Component type
    • H01L2924/19041Component type being a capacitor
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T156/00Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
    • Y10T156/10Methods of surface bonding and/or assembly therefor
    • Y10T156/1052Methods of surface bonding and/or assembly therefor with cutting, punching, tearing or severing
    • Y10T156/1062Prior to assembly
    • Y10T156/1064Partial cutting [e.g., grooving or incising]
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T156/00Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
    • Y10T156/10Methods of surface bonding and/or assembly therefor
    • Y10T156/1052Methods of surface bonding and/or assembly therefor with cutting, punching, tearing or severing
    • Y10T156/1082Partial cutting bonded sandwich [e.g., grooving or incising]
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T156/00Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
    • Y10T156/11Methods of delaminating, per se; i.e., separating at bonding face
    • Y10T156/1153Temperature change for delamination [e.g., heating during delaminating, etc.]
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/249921Web or sheet containing structurally defined element or component
    • Y10T428/249953Composite having voids in a component [e.g., porous, cellular, etc.]
    • Y10T428/249982With component specified as adhesive or bonding agent
    • Y10T428/249984Adhesive or bonding component contains voids
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/28Web or sheet containing structurally defined element or component and having an adhesive outermost layer
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/28Web or sheet containing structurally defined element or component and having an adhesive outermost layer
    • Y10T428/2839Web or sheet containing structurally defined element or component and having an adhesive outermost layer with release or antistick coating
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/28Web or sheet containing structurally defined element or component and having an adhesive outermost layer
    • Y10T428/2848Three or more layers
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/28Web or sheet containing structurally defined element or component and having an adhesive outermost layer
    • Y10T428/2852Adhesive compositions
    • Y10T428/2861Adhesive compositions having readily strippable combined with readily readhearable properties [e.g., stick-ons, etc.]

Landscapes

  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Virology (AREA)
  • Oncology (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Pharmacology & Pharmacy (AREA)
  • Communicable Diseases (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Tropical Medicine & Parasitology (AREA)
  • AIDS & HIV (AREA)
  • Adhesive Tapes (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
  • Dicing (AREA)

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen hitzeabziehbaren Klebefilm, der leicht von beklebten Gegenständen durch eine Hitzebehandlung abgezogen werden kann.
  • Ein mit Hitze abziehbarer Klebefilm, der einen Film mit hohem Modul umfasst, oder ein Foliensubstrat, das aus einem Plastik oder ähnlichem hergestellt ist, und darauf eine druckempfindliche Klebeschicht ausgebildet hat, die ein Treibmittel enthält, ist als eine Klebefolie bekannt, die zum Schneiden einer zu schneidenden Arbeit verwendet wird, wie einem Halbleiterwafer oder Mehrschichtkondensator, der in geschnittene Teile einer gegebenen Größe in einer solchen Weise geschnitten werden soll, dass die Klebefolie auf die zu schneidende Arbeit aufgetragen wird, und die geschnittenen Teile, z. B. Chips, leicht voneinander getrennt und davon zurückgewonnen werden (geprüfte japanische Patentveröffentlichungen Nr. 5-13878 und 51-24534, nicht geprüfte veröffentlichte japanische Patentanmeldungen Nr. 56-61468, 56-61469 und 60-252681, etc.). Diese hitzeabziehbare Klebefolie ist dafür vorgesehen, sowohl die Klebkraft, die es der Klebefolie ermöglicht, benachbartem Schneiden zu widerstehen, wie auch die leichte Trennung und Rückgewinnung der ausgebildeten geschnittenen Teile zu vermitteln. Tatsächlich hat diese Klebefolie das folgende Merkmal. Die Klebefolie hat eine hohe Klebkraft, wenn sie mit dem zu beklebenden Gegenstand in Kontakt steht. Jedoch wird zu dem Zeitpunkt, wenn die geschnittenen Teile zurück gewonnen werden sollen, die schäumbare, druckempfindliche Klebefolie aufgeschäumt oder durch Erhitzen expandiert, um dadurch eine aufgeraute Oberfläche zu bewerkstelligen. Bedingt durch die resultierende Verringerung in der Fläche, in welcher die Klebeschicht an dem zu verklebenden Gegenstand klebt, wird die Klebkraft verringert oder geht verloren und somit können die geschnittenen Teile leicht getrennt werden.
  • Jedoch sind in dem Falle der oben beschriebenen hitzeabziehbaren Klebefolie die geschnittenen Teile, die durch Schneiden des verklebten Gegenstandes erhalten werden, in geringen Abständen vorhanden. Es ist daher schwierig, in, z. B., Verfahren zur Herstellung elektronischer Bauteile, die Klebefolie für Rückgewinnungstechniken geschnittener Teile zu verwenden, in denen die geschnittenen Teile voneinander entfernt lokalisiert sein sollten, wie der Aufnahmerückgewinnungstechnik, in welcher Halbleiterchips an den Seiten derselben bei der Trennung und Rückgewinnung derselben derart gehalten werden, um zu verhindern, dass die Oberflächen der ICs beschädigt werden, und der Mehrschichtkondensatorchiprückgewinnungstechnik, in welcher die ausgebildeten Chips daran gehindert werden, wieder, bedingt durch das für die Formretention eines Keramikpulvers verwendeten Bindemittels, aneinander zu haften.
  • JP-A-10168401 offenbart eine Klebefolie, die ein Substrat, eine Klebeschicht, die expandierbare Mikrosphären enthält und eine Zwischenschicht, die zwischen dem Substrat und der Klebeschicht als Sandwich vorliegt, umfasst.
  • EP-A-0419020 offenbart eine Klebefolie, die ein Substrat umfasst und darauf eine Bindemittelcopolymerschicht, die Mikrosphären umfasst.
  • JP-A-8188756 betrifft einen doppelt klebebeschichteten Klebestreifen als Folie, der ein Substrat umfasst und darauf eine Klebeschicht, die ein Schäummittel in einem Basispolymer enthält.
  • Es war die Aufgabe der Erfindung, einen hitzeabziehbaren Klebefilm zur Verfügung zu stellen, der verwendet werden kann, um einen daran klebenden Gegenstand zu schneiden, um einen ausreichenden Raum zwischen den resultierenden, geschnittenen Teilen auszubilden und sicherzustellen, und der einer Hitzebehandlung zum Expandieren der wärmeexpandierbaren Schicht widerstehen kann.
  • Und es war des weiteren eine Aufgabe der Erfindung, eine hitzeabziehbare Klebefolie zur Verfügung zu stellen, die die Durchführungseffizienz und die Arbeitseffizienz in dem Schritt der Abtrennung und Rückgewinnung der geschnittenen Teile, die durch das Schneiden eines verklebten Gegenstandes ausgebildet werden, zu verbessern.
  • Diese Aufgabe wurde durch einen hitzeabziehbaren Klebefilm erreicht, der ein Substrat umfasst, und auf dem auf mindestens einer Seite davon eine hitzeexpandierbare Schicht ausgebildet ist, die hitzeexpandierbare Mikrosphären enthält, und eine Klebeschicht, die eine klebende Substanz umfasst, wobei besagtes Substrat eine Hitzewiderstandsfähigkeit, Dehnbarkeit und eine Dehnungsverlängerung am Bruchpunkt von 250% oder höher aufweist, wie mit JIS K 7113 oder JIS K 7127 gemessen wird.
  • Diese Aufgabe wird auch durch einen hitzeabziehbaren Klebefilm gelöst, der ein Substrat umfasst, und auf dem auf mindestens einer Seite davon eine hitzeexpandierbare Klebeschicht ausgebildet ist, die eine klebende Substanz umfasst und hitzeexpandierbare Mikrosphären enthält, wobei besagtes Substrat eine Hitzewiderstandsfähigkeit, Dehnbarkeit und eine Dehnungsverlängerung am Bruchpunkt von 250% oder höher aufweist.
  • 1 ist ein Diagrammquerschnitt, der eine Ausführungsform des hitzeabziehbaren Klebefilms der Erfindung illustriert. 2 ist ein Diagrammquerschnitt, der eine andere Ausführungsform des hitzeabziehbaren Klebefilms der Erfindung illustriert. 3 und 4 sind Ansichten, die den hitzeabziehbaren Klebefilm von 1 illustrieren, der verwendet wird.
  • In den Figuren bedeutet die Zahl 1 ein Substrat, 2 eine hitzeexpandierbare Klebeschicht, 3 ein Trennmittel, 4 eine Klebeschicht, 5 einen zu beklebenden Gegenstand, 6 eine Schnittlinie und 7 ein geschnittenes Stück.
  • Die Modi zur Durchführung der Erfindung werden unten im Detail durch Bezugnahme auf die Zeichnungen je nach Bedarf erklärt werden.
  • 1 ist eine Diagrammquerschnittsübersicht, die eine Ausführungsform des hitzeabziehbaren Klebefilms der Erfindung illustriert.
  • In dieser Ausführungsform wurde eine hitzeexpandierbare Klebeschicht 2 auf einer Seite eines Substrats 1 ausgebildet und ein Trennmittel 3 wurde weiter darauf aufgesetzt.
  • Das Substrat 1 dient als Unterstützung für die wärmeexpandierbare Klebeschicht 2, etc., und ist aus einem Material mit einer Dehnungsfunktion hergestellt und einem solchen Grad an Hitzewiderstandsfähigkeit, dass das Substrat in seiner mechanischen Stärke nicht durch eine Hitzebehandlung der hitzeexpandierbaren Klebeschicht 2 eingeschränkt wird. Beispiele von einem solchen Material umfassen einen flexiblen Vinylchloridfilm oder -folie, die einen Hitzestabilisator enthalten, einen dehnbaren Polyesterfilm oder -folie, einen flexiblen Polyolefinfilm oder -folie, eine gummiartige Polymerfolie, einen mehrschichtigen Film oder -folie, der jegliches dieser Substratmaterialien umfasst. Das Substrat 1 hat vorzugsweise die Eigenschaft, durch Schneidmittel geschnitten zu werden, wie einem Cutter, der zum Schneiden eines beklebten Gegenstands verwendet wird.
  • Beispiele des Hitzestabilisators in dem Hitzestabilisator-enthaltenen Vinylchloridfilm oder -folie umfassen Metallseifen wie dibasisches Bleistearat, Bleistearat, Calciumstearat, Bariumstearat, Zinnstearat und Magnesiumstearat; organische Zinnverbindungen wie Dialkylzinndilaurate, Dialkylzinnmaleate und Dialkylzinnmercaptide; anorganische Salze wie tribasisches Bleisulfat, Bleioxid, dibasisches Bleiphosphit und Bleiorthosilicat; und Epoxyverbindungen wie epoxydiertes Sojabohnenöl. Bevorzugt sind von diesen Metallseifen und organischen Zinnverbindungen.
  • Diese Hitzestabilisatoren können allein oder in Kombination von zwei oder mehreren davon verwendet werden. In dem Falle der Verwendung einer Kombination von zwei oder mehreren Hitzestabilisatoren umfassen bevorzugte Beispiele davon eine Kombination eines Dialkylzinndilaurats und eines Dialkylzinnmaleats, eine Kombination von Zinkstearat und Bariumstearat, eine Kombination von Calciumstearat und Zinkstearat, optional mit epoxidiertem Sojabohnenöl.
  • Die Zugabemenge des Hitzestabilisators beträgt z. B. 0,5 bis 10 Gewichtsanteile, vorzugsweise ungefähr 1 bis 5 Gewichtsanteile pro 100 Gewichtsanteile des Vinylchloridharzes. Neben dem Hitzestabilisator wird vorzugsweise ein Chelator wie ein Phosphorsäureester (Triphenylphosphit) oder ein anderer Chelator zu dem flexiblen Vinylchloridfilm oder -folie hinzugefügt. Die Zugabemenge des Chelators beträgt z. B. 0,1 bis 3 Gewichtsanteile, vorzugsweise ungefähr 0,3 bis 1,5 Gewichtsanteile pro 100 Gewichtsanteile des Vinylchloridharzes. Der flexible Vinylchloridfilm oder -folie kann andere Stabilisatoren wie z. B. Antioxidationsmittel, z. B. Alkylphenole (2,6-Di-t-butyl-p-cresol, etc.), ultraviolette Absobtionsmittel, z. B., Benzotriazol [2-(2'-Hydroxy-5-methylphenyl) Benzotriazol] enthalten.
  • Neben Homopolymeren aus Vinylchlorid umfassen Beispiele des Harzes, der den flexiblen Vinylchloridfilm oder die Folie ausmacht, der einen Hitzestabilisator enthält, Vinylchloridcopolymere wie Vinylchlorid/Vinylacetat-Copolymere, Vinylchlorid/Ethylen-Copolymere, Vinylchlorid/Propylen-Copolymere, Vinylchlorid/Acrylsäureester-Copolymere, Vinylchlorid/Vinylidenchlorid-Copolymere, Vinylchlorid/Acrylnitril-Copolymere, Vinylchlorid/Maleinester-Copolymere, EVA (Ethylen/Vinylacetat-Copolymer)/Vinylchlorid-Propf-Copolymere und Polyurethan/Vinylchlorid-Pfropf-Copolymere. In dem Fall, in dem ein nicht-wärmewiderstandsfähiger flexibler Vinylchloridfilm oder eine -folie, der keine Hitzestabilisatoren enthält, als ein Substrat verwendet wird, deformiert sich das Substrat nach Hitzebehandlung der Klebefolie, wodurch die Oberflächenglätte der Klebefolie selbst verändert wird, was zu einer erheblich verringerten Arbeitseffizienz bei der Wiedergewinnung des geschnittenen Teils führt.
  • Beispiele des dehnbaren Polyesterfilms oder der Folie umfassen Filme oder Folien, die aus Mischungen von gesättigtem Polyester (z. B. Poly(Ethylenterephthalat), Poly(Butylenterephthalat) mit einem modifizierten Polyolefin (z. B. einem Säure-modifizierten Polyolefin wie ein Acrylsäure-modifiziertes Polyethylen oder Alkylsäure-modifiziertes Polypropylen, ein Epoxy-modifiziertes Polyolefin) oder mit einem gummiartigen Polymer (z. B. ein thermoplastisches Elastomer wie ein Ethylen/Propylengummi, ein Polyesterelastomer oder ein Ethylen/Acrylsäuregummi) hergestellt werden, oder aus Poly(Ethylennaphthalat) hergestellt werden. Im Falle der Verwendung eines üblichen Poly(Ethylenterephthalat)films als ein Substrat, das nicht dehnbar ist, ist es schwer, ausreichend Raum zwischen den geschnittenen Teilen auszubilden und sicher zu stellen, dass ein ausreichender Abstand zwischen den durch Schneiden des beklebten Gegenstands erhaltenen Teilen besteht.
  • Beispiele des flexiblen Polyolefinfilms oder der Folie umfassen Filme oder Folien, die aus einem Harz mit harten Segmenten hergestellt werden, die aus Polypropylen bestehen, und weichen Segmenten, die aus einem Ethylen/Propylen-Copolymer bestehen, und Filme oder Folien, die aus flexiblem Polyethylen hergestellt werden.
  • Beispiele des gummiartigen Polymers, das die gummiartige Polymerfolie konstituiert, umfassen natürliches Gummi, Isoprengummi, Butadiengummi, 1,2-Polybutadien, Chlorprengummi, Styrol/Butadiengummi, Nitrilgummi, Butylgummi, Ethylen/Propylengummi, Acrylsäuregummis, Epichlorhydringummis, Silicongummis, Fluorgummis, Urethangummis, chlorsulfoniertes Polyethylen, Polysulfidgummis, chloriniertes Polyethylen, thermoplastische Elastomere (z. B. Styrol-basierende, Polyurethan-artige, Polyester-artige, Fluorpolymer-artige und Polyamid-artige thermoplastische Elastomere). Unter diesen werden z. B. häufig Acrylsäuregummis wie Alkylacrylat-/2-Chlorethylvinylether-Copolymere, Alkylacrylat-/Acrylnitril-Copolymere, Ethylen-/Vinylacetat-/Acrylsäureester-Copolymerelastomere und Ethylen-/Acrylsäurester-Copolymere; Silikongummis wie Dimethylsiloxan-basierende, Methylvinylsiloxan-basierende, Methylphenylvinylsiloxan-basierende und Methylfluoralkyl-enthaltende Silikongummis; Fluorgummis wie Hexafluorpropene-/Vinylidenfluorid-Copolymere, Hexafluorpropen-/Vinylidenfluorid-Tetrafluorethylen-Copolymere, Tetrafluorethylen-/Propylen-Copolymere und Tetrafluorethylen-/Perfluor(Methylvinylether)-Copolymere verwendet. Das das Substrat 1 ausbildende Polymer kann eine vernetzte Struktur aufweisen.
  • Das Substrat 1 kann eine Einzelschichtstruktur aufweisen, die aus einem oben beschriebenen Substratmaterial hergestellt wird, oder kann eine Mehrschichtstruktur sein, die eine geeignete Kombination der oben beschriebenen Substratmaterialien umfasst. Die Verwendung einer Mehrschichtstruktur, die eine Kombination der geeigneten Substratmaterialien umfasst, macht es möglich, eine mechanische Festigkeit auf das Substrats zu vermitteln, eine Verbesserung der Hitzewiderstandsfähigkeit des Substrats, eine Verbesserung der Haftung an die hitzeexpandierbare Klebeschicht 2 und an die Klebeschicht 4, die später beschrieben wird, eine Verbesserung der Arbeitseffizienz in dem Schritt des Schneidens des verklebten Gegenstands, etc.
  • Die Dehnungsverlängerung am Bruchpunkt [gemäß JIS K 7113 (Folie) oder JIS K 7127 (Film)] des Films oder der Folie, die das Substrat 1 ausmachen, beträgt 250% oder mehr vom Standpunkt der Erweiterung des Abstandes zwischen den geschnittenen Teilen, die aus dem Schneiden des verklebten Gegenstands resultieren. Obwohl die obere Grenze der Verlängerung am Bruchpunkt nicht sonderlich eingeschränkt ist, beträgt sie vorzugsweise 1000%, mehr bevorzugt ungefähr 800%, um das Substrat am Durchhängen, bedingt durch das Gewicht des verklebten Gegenstandes, zu hindern.
  • Die Dicke des Substrats 1 kann geeigneterweise in einem solchen Bereich ausgewählt werden, um nicht die Durchführungseffizienz und Arbeitseffzienz in den Schritten des Auftrags auf den zu verklebenden Gegenstand, das Schneiden des verklebten Gegenstands, die Trennung und Rückgewinnung der geschnittenen Teile, etc. zu beeinträchtigen. Im allgemeinen beträgt sie jedoch ungefähr 10 μm bis 10 mm. Die Oberflächen des Substrats 1 können eine übliche Oberflächenbehandlung durchlaufen haben, z. B. eine chemische oder physikalische Behandlung wie die Behandlung mit Chromsäure, Aussetzen in Ozon, Aussetzen an eine Flamme, Aussetzen gegenüber einem Hochspannungs-elektrischen Schock, Behandlung mit ionisierender Strahlung, eine Beschichtungsbehandlung mit einer Grundierung (z. B. einer haftende Substanz, die später beschrieben wird) zum Zwecke der Verstärkung der Haftung an die benachbarte Schicht, Haltekraft etc.
  • Die hitzeexpandierbare Klebeschicht 2 umfasst eine klebende Substanz zur Vermittlung der Klebkraft und hitzeexpandierbare Microsphären zur Vermittlung einer thermischen Ausdehnungsfähigkeit. Obwohl die einzelne Schicht (hitzeexpandierbare Klebeschicht 2) in der Ausführungsform, die in 1 gezeigt wird, die beiden Funktionen kombiniert, d. h. Klebkraft und Hitzeexpandierbarkeit, können diese zwei Funktionen in der Erfindung getrennt vorgesehen sein, um eine Klebeschicht mit Klebkraft und eine hitzeexpandierbare Schicht mit Wärmeexpandierbarkeit ausbilden. Zum Beispiel kann eine hitzeexpandierbare Schicht, die hitzeexpandierbare Microsphären enthält, und eine Klebschicht, die eine klebende Substanz umfasst, in dieser Reihenfolge auf mindestens einer Seite eines Substrats ausgebildet werden. In dieser Beschreibung ist diese Schicht bei der Erklärung der hitzeexpandierbaren Klebeschicht in jeder der hitzeexpandierbaren Schicht und der Klebeschicht mit umfasst, es sei denn, dieses wird anderweitig angezeigt.
  • Als die klebende Substanz kann ein üblicher Klebstoff verwendet werden. Im Allgemeinen wird jedoch ein hitzeaktivierbarer Klebstoff, ein mit Wasser aktivierbarer Klebstoff oder mit einem organischen Lösungsmittel aktivierbarer Klebstoff oder ein druckempfindlicher Klebstoff verwendet.
  • Beispiele des hitzeaktivierbaren Klebstoffes umfassen Heißschmelzklebstoffe, thermisch druckempfindliche Klebstoffe, die ein niedrig schmelzendes, hitzeschmelzbares Harz enthalten und die eine geringe Klebkraft bei einer üblichen Temperatur aufweisen, aber eine hohe Klebkraft nach Erhitzen erhalten (siehe z. B. die nicht geprüfte veröffentlichte japanische Patentanmeldung Nr. 56-13040, die geprüfte japanische Patentveröffentlichung Nr. 2-50146, etc.).
  • Beispiele des druckempfindlichen Klebstoffes umfassen Gummi-basierende, druckempfindliche Klebstoffe, Acrylsäure-druckempfindliche Klebstoffe, Styrol-/konjugierte Dienblock-Copolymer-artige druckempfindliche Klebstoffe, Silikon-basierende druckempfindliche Klebstoffe, ultraviolett-härtende druckempfindliche Klebstoffe, druckempfindliche Klebstoffe mit verbesserten Brucheigenschaften, die ein Hitze-schmelzbares Harz mit einem niedrigen Schmelzpunkt (insbesondere 200°C oder niedriger) enthalten (siehe z. B. die nicht geprüfte veröffentlichte japanische Patentanmeldung Nr. 56-61468, 61-174857, 63-17981 und 56-13040, etc.).
  • Beispiele von Gummi-basierenden druckempfindlichen Klebstoffen umfassen druckempfindliche Klebstoffe, die natürliches Gummi oder verschiedene synthetische Gummis als das Basispolymer enthalten, druckempfindliche Klebstoffe, die als das Basispolymer ein Silikongummi, das durch Dimethylpolysiloxan dargestellt wird, enthalten.
  • Beispiele von Acrylsäure-druckempfindlichen Klebstoffen umfassen druckempfindliche Klebstoffe, die als das Basispolymer ein Acrylsäurepolymer (Homopolymer oder Copolymer) enthalten, das unter Verwendung eines oder mehrerer Monomerinhaltsstoffe hergestellt wird, die aus Alkyl(meth)acrylaten (wie die Ester mit C1-20 Alkylen, wie z. B., der Methylester, Ethylester, Propylester, Isopropylester, Butylester, Isobutylester, s-Butylester, t-Butylester, Pentylester, Hexylester, Heptylester, Octylester, 2-Ethylhexylester, Isooctylester, Isodecylester, Dodecylester, Tridecylester, Pentadecylester, Hexadecylester, Heptadecylester, Octadecylester, Nonadecylester und Eicosylester) und Cycloalkyl (meth)acrylaten (wie die Ester mit C3-20 Cycloalkylen, wie z. B. der Cyclopentylester und Cyclohexylester) ausgewählt sind.
  • Als ein Acrylsäure-druckempfindliches Klebemittel kann auch ein druckempfindlicher Klebstoff verwendet werden, der als das Basispolymer ein Copolymer von einem oder mehreren solcher Alkyl (oder Cycloalkyl) (meth)acrylate mit einem oder mehreren anderen Monomeren enthält, die zur Abänderung der Klebstoffeigenschaften oder für einen anderen Zweck verwendet werden.
  • Beispiele solcher anderer Monomere umfassen Carbonyl-enthaltende Monomere wie Acrylsäure, Methacrylsäure, Carboxyethylacrylat, Carboxypentylacrylat, Itaconsäure, Maleinsäure, Fumarsäure und Crotonsäure; Säureanhydridmonomere wie Maleinsäureanhydrid und Itaconsäureanhydrid; Hydroxyl-enthaltende Monomere wie 2-Hydroxyethyl(meth)acrylat, 2-Hydroxypropyl(meth)acrylat und 4-Hydroxybutyl (meth)acrylat; Schwefel-enthaltende Monomere wie Styrolsulfonsäure, Allylsulfonsäure, 2-(Meth)acrylamido-2-methylpropansulfonsäure und (Meth)acrylamidopropansulfonsäure; Phosphat-enthaltende Monomere wie 2-Hydroxyethylacryloylphosphat; (N-substituierte) Amidmonomere wie (Meth)acrylamid, N-Butyl(meth)acrylamid, N-Methylol(meth)acrylamid und N-Methylolpropan(meth)acrylamid; Alkylaminoalkyl (meth)acrylatmonomere wie Aminoethyl(meth)acrylat und N,N-Dimethylaminoethyl (meth)acrylat; Alkoxyalkyl(meth)acrylatmonomere wie Methoxyethyl(meth)acrylat und Ethoxyethyl(meth)acrylat, Maleimidmonomere wie N-Cyclohexylmaleimid und N-Isopropylmaleimid; Itaconimidmonomere wie N-Methylitaconimid und N-Ethylitaconimid; Succinimidmonomere wie N-(meth)acryloyloxymethylensuccinimid und N-(meth)acryloyl-6-oxyhexamethylensuccinimid; Vinylmonomere wie Vinylacetat, Vinylpropionat, N-Vinylpyrrolidon, Methylvinylpyrrolidon, Styrol und α-Methylstyrol; Cyanoacrylatmonomere wie Acrylnitril und Methacrylnitril; Epoxy-enthaltene Acrylsäuremonomere wie Glycidyl(meth)acrylat; Acrylsäureglycolestermonomere wie Polyethylenglycol(meth)acrylat und Polypropylenglycol(meth)acrylat; Acrylsäureestermonomere mit einem oder mehreren Heterocyclen, Halogenatomen, Siliconatomen wie Tetrahydrofurfuryl(meth)acrylat, Fluor(meth)acrylate und Silikon(meth)acrylate; polyfunktionelle Monomere wie Hexandiol Di-(meth)acrylat, (Poly)ethylenglycoldi(meth)acrylat, (Poly)propylenglycoldi(meth)acrylat, Neopentylglycoldi(meth)acrylat, Pentaerythritoldi(meth)acrylat, Trimethylolpropan Tri(meth)acrylat, Pentaerythritol tri(meth)acrylat, Dipentaerythritolhexa(meth)acrylat, Epoxyacrylate, Polyesteracrylate und Urethanacrylate; Olefinmonomere wie Isopren, Butadien und Isobutylen; Vinylethermonomere wie Vinylether. Diese Monomere können allein oder zwei oder mehrere davon verwendet werden.
  • Bevorzugt unter den Klebstoffsubstanzen, die oben beschrieben werden, sind die druckempfindlichen Klebstoffe vom Standpunkt der Leichtigkeit des Auftrags auf den zu verklebenden Gegenstand. In dem Fall, in dem eine Klebstoffsubstanz und hitzeexpandierbare Microsphären in der gleichen Schicht enthalten sind, wie in der oben beschriebenen Ausführungsform, ist es wünschenswert, eine Klebstoffsubstanz auszuwählen und zu verwenden, die eine minimale Einschränkung bezüglich des Schäumens oder des Expwandierens der wärmeexpandierbaren Microsphären während dem Erhitzen vermitteln. Die Klebstoffsubstanzen, die oben gezeigt werden, können allein oder in Kombination von zwei oder mehreren davon verwendet werden.
  • Neben den Klebstoffsubstanzen können geeignete Additive in die Klebstoffschicht eingebracht werden, wie ein Vernetzungsmittel (z. B. ein Isocyanatvernetzungsmittel, Epoxy-Vernetzungsmittel, etc.), ein Haftmittel (z. B. ein Harzderivat, Polyterpenharz, Petroleumharz, öllösliches Phenolharz etc.), ein Weichmacher, ein Füllmittel und ein Antioxidanz.
  • Die hitzeexpandierbaren Microsphären können Microsphären sein, die durch das Umgeben einer Substanz, die leicht gasförmig wird und durch Erhitzen expandiert, wie z. B. Isobutan, Propan oder Pentan, in elastischen Hüllen ausgebildet werden. Die Hüllen werden üblicherweise aus einer thermoplastischen Substanz, einer hitzeschmelzbaren Substanz oder einer Substanz ausgebildet, die bedingt durch die thermische Expansion aufplatzt. Beispiele dieser Substanzen, die die Hüllen ausmachen, umfassen Vinylidenchlorid-/Acrylnitril-Copolymere, Poly(vinylalkohol), Poly(vinylbutyral), Poly(methylmethacrylat), Polyacrylonitril, Poly(vinylidenchlorid) und Polysulfone. Die hitzeexpandieraden Microsphären können durch ein übliches Verfahren wie z. B. das Koazervationsverfahren oder das Grenzflächenpolymerisationsverfahren hergestellt werden. Als die hitzeexpandieraden Microsphären kann auch ein kommerzielles Produkt wie Microsphere [Markenname; hergestellt durch Matsumoto Yushi-Seiyaku Co., Ltd.] verwendet werden.
  • Der durchschnittliche Partikeldurchmesser der hitzeexpandierbaren Microsphären beträgt vorzugsweise ungefähr z. B. 1 bis 50 μm vom Standpunkt der Dispergierbarkeit, Eignung für die Ausbildung dünner Filme, etc. Des weiteren, damit die hitzeexpandierbaren Microsphären effizient die Klebrigkeit der Klebeschicht, die eine klebende Substanz enthält, durch eine Hitzebehandlung verringert, haben die Microsphären vorzugsweise eine moderate Stärke, so dass sie nicht platzen, bevor ihr Grad an Volumenexpansion das 5-fache oder mehr erreicht hat, insbesondere das 10-fache oder mehr. In dem Falle der Verwendung von hitzeexpandierbaren Microsphären, die bei einem geringen Grad an Expansion aufbrechen oder bei Verwendung eines hitzeexpandierenden Mittels, das nicht microverkapselt wurde, kann die Fläche, an der die Klebschicht an dem beklebten Gegenstand anhaftet, nicht ausreichend verringert werden, und eine befriedigende Trennbarkeit ist schwierig zu erhalten.
  • Die Menge der hitzeexpandierbaren Microsphären, die verwendet werden sollen, variiert abhängig von der Art derselben. Jedoch ist die Menge davon zum Beispiel 10 bis 200 Gewichtsanteile, vorzugsweise 25 bis 125 Gewichtsanteile pro 100 Gewichtsanteile des Basispolymers, das die hitzeexpandierbare Klebeschicht 2 ausmacht. In dem Fall, in dem die hitzeexpandierbare Schicht auf eine Klebstoffschicht als getrennte Schichten ausgebildet werden, beträgt die verwendete Menge der hitzeexpandierbaren Microsphären z. B. 10 bis 98 Gew.-%, vorzugsweise 15 bis 95 Gew.-%, basierend auf der gesamten hitzeexpandierbaren Schicht.
  • Die hitzeexpandierbare Klebstoffschicht 2 kann durch jegliches übliches Verfahren wie z. B. ein Verfahren ausgebildet werden, in dem eine Beschichtungsflüssigkeit, die eine Klebstoffsubstanz und hitzeexpandierbare Microsphären umfasst und optional ein Lösungsmittel enthält, auf ein Substrat 1 aufgetragen wird, oder ein Verfahren, in dem die Beschichtungsflüssigkeit auf ein geeignetes Trennmittel aufgetragen wird (Freisetzungspapier), um eine hitzeexpandierbare Klebstoffschicht auszubilden und diese Schicht wird auf ein Substrat 1 transferiert.
  • In dem Fall, in dem eine hitzeexpandierbare Schicht und eine Klebstoffschicht als getrennte Schichten ausgebildet werden, kann die hitzeexpandierbare Schicht z. B. durch das Auftragen einer Beschichtungsflüssigkeit, die hitzeexpandierbare Microsphären und ein Bindemittel umfasst, auf einem Substrat 1 ausgebildet werden. Als das Bindemittel kann eine gummiartige, harzartige oder eine andere polymere Verbindung verwendet werden, die es den hitzeexpandierbaren Microsphären erlaubt, zu schäumen oder zu expandieren. Die Klebstoffschicht kann aus einer Beschichtungsflüssigkeit durch das gleiche Verfahren wie für die oben beschriebene hitzeexpandierbare Klebstoffschicht 2, die eine Klebstoffverbindung umfasst, ausgebildet werden.
  • Die Dicke der hitzeexpandierbaren Klebstoffschicht 2 beträgt z. B. 300 μm oder weniger (ungefähr 5 bis 300 μm), vorzugsweise ungefähr 10 bis 150 μm, von dem Standpunkt des Verhinderns, dass die Klebstoffschicht beim Verlassen des beklebten Gegenstandes einen Klebstoffrest hinterlässt, was aus dem Klebstoffversagen nach dem Schäumen oder Expandieren der hitzeexpandierbaren Microsphären resultiert. In dem Fall, in dem eine hitzeexpandierbare Schicht und eine Klebstoffschicht als getrennte Schichten ausgebildet werden, beträgt die Dicke der hitzeexpandierbaren Schicht z. B. 3 bis 300 μm, vorzugsweise 5 bis 150 μm und die Dicke der Klebstoffschicht beträgt z. B. 0,1 bis 100 μm, vorzugsweise ungefähr 0,5 bis 30 μm.
  • Als Trennmittel 3 kann z. B. ein Substrat verwendet werden, das mit einem Freisetzungsmittel oberflächenbeschichtet ist, das durch ein Silikonharz, ein langkettiges Alkylacrylatharz, ein Fluorharz, ein wenig klebendes Substrat, das aus einem nicht polaren Polymer wie Polyethylen oder Polypropylen hergestellt wurde, dargestellt wird. Das Trennmittel 3 kann als vorläufiger Träger beim Übertragen der hitzeexpandierbaren Klebeschicht 2 auf das Substrat 1, wie oben beschrieben, verwendet werden, oder es kann als Schutzmaterial zum Schutz der hitzeexpandierbaren Klebeschicht 2 verwendet werden, bis die Klebefolie der praktischen Verwendung zugeführt wird. Das Trennmittel 3 muss nicht immer entfernt werden.
  • Im Übrigen kann die hitzeexpandierbare Klebeschicht 2 (oder die hitzeexpandierbare Schicht und die Klebeschicht) nicht nur auf einer Seite des Substrats 1, sondern auch auf jeder Seite davon ausgebildet werden. Es ist auch möglich, die hitzeexpandierbare Klebeschicht 2 auf der einen Seite des Substrats 1 auszubilden und des Weiteren auf der anderen Seite davon eine übliche Klebeschicht auszubilden, die keinerlei hitzeexpandierbare Microsphären enthält. Des weiteren kann eine Zwischenschicht ausgebildet werden, z. B. zwischen dem Substrat 1 und der hitzeexpandierbaren Schicht 2.
  • 2 ist ein Diagrammquerschnitt, der eine andere Ausführungsform der hitzeabziehbaren Klebefolie der Erfindung illustriert. In dieser Ausführungsform wurde eine hitzeexpandierbare Klebeschicht 2 auf einer Seite eines Substrats 1 ausgebildet und ein Trennmittel 3 wurde darauf gelegt. Zudem wurde eine Klebstoffschicht 4 und eine Trennschicht 3 auf die andere Seite des Substrats 1 aufgelegt. Dieser Klebstofffilm unterscheidet sich von dem Klebstofffilm von 1 nur dadurch, dass die Klebstoffschicht 4 und ein Trennmittel 3 auf der einen Seite des Substrats 1 gelegt wurden, die der Seite gegenüber liegt, auf der die hitzeexpandierbare Klebstoffschicht 2 ausgebildet wurde.
  • Die Klebstoffschicht 4 umfasst eine klebende Substanz. Als diese klebende Substanz kann die gleiche Klebstoffsubstanz verwendet werden wie in der hitzeexpandierbaren Klebstoffschicht 2, die oben beschrieben wird. Die Dicke der Klebstoffschicht 4 kann in einem solchen Bereich ausgewählt werden, dass sie die Durchführungseffizienz und Ähnliches bei dem Auftrag auf einen zu verklebenden Gegenstand, dem Schneiden des zu verklebenden Gegenstands, der Trennung und Rückgewinnung der geschnittenen Teile, etc., nicht behindert. Im Allgemeinen beträgt sie jedoch 5 bis 50 μm. Die Klebeschicht 4 kann durch das gleiche Verfahren wie für die oben beschriebene hitzeexpandierbare Klebstoffschicht 2 ausgebildet werden. Als das jeweilige Trennmittel 3 kann das Gleiche wie das Trennmittel 3, das auf der hitzeexpandierbaren Klebstoffschicht 2 oben beschrieben wird, aufgebracht werden. Solch eine Klebstofffolie kann im Zustand der Fixierung auf der Oberfläche eines Fußes durch Verwendung der Klebstoffschicht 4 verwendet werden.
  • 3 und 4 sind Ansichten, die die hitzeabziehbare Klebefolie von 1 illustrierten, wenn diese verwendet wird. Insbesondere ist 3 eine Diagrammquerschnittsansicht, die den Zustand der hitzeabziehbaren Klebstofffolie von 1 illustriert, auf der ein zu verklebender Gegenstand vorliegt, der klebend daran gehalten wird und in eine gegebene Größe geschnitten wurde. 4 ist eine Diagrammquerschnittsansicht, die die hitzeabziehbare Klebefolie illustriert, die in dem in 3 gezeigten Zustand vorlag und eine Hitzebehandlung und eine Dehnungsbehandlung durchlaufen hat.
  • In 3 bedeutet die Zahl 5 einen zu verklebenden Gegenstand (zu schneidende Arbeit) und 6 bedeutet eine Schnittlinie für den zu verklebenden Gegenstand 5. In 4 bedeutet die Zahl 7 ein geschnittenes Teil, das durch Schneiden des zu verklebenden Gegenstands 5 ausgebildet wurde.
  • Der Auftrag der Klebstoffschicht (hitzeexpandierbare Klebstoffschicht 2) der hitzeabziehbaren Klebstofffolie auf den zu verklebenden Gegenstand 5 kann durch Verwendung geeigneter Druckmittel durchgeführt werden, z. B. eine Gummirolle, Laminierungsrolle, Druckvorrichtung zur Durchführung einer Pressbindungsbehandlung oder durch ein anderes Verfahren. In der Auftragsbehandlung kann die klebende Substanz aktiviert werden, falls dies wünschenswert ist, durch Erhitzen auf eine Temperatur in einem Bereich, in dem die hitzeexpandierbaren Microsphären nicht expandieren oder durch das Anwenden von Wasser oder eines organischen Lösungsmittels gemäß der Art der Klebstoffverbindung.
  • Das Schneiden des zu verklebenden Gegenstands 5 kann durch übliche Schneidmittel durchgeführt werden. Die Bedingungen für die Hitzebehandlung können geeigneter Weise gemäß dem Oberflächenzustand und der Hitzewiderstandsfähigkeit des zu verklebenden Gegenstands 5 (oder der geschnittenen Teile 7), der Art der hitzeexpandierbaren Microsphären, der Hitzewiderstandsfähigkeit der Klebstofffolie, etc. eingestellt werden. Jedoch umfassen allgemeine Bedingungen eine Temperatur von 350°C oder weniger und eine Behandlungszeit von 5 Minuten oder weniger und insbesondere umfassen sie vorzugsweise eine Temperatur von 100 bis 200°C und eine Behandlungszeit von 1 bis 90 Sekunden. Die Hitzebehandlung kann in einem geeigneten Zustand gemäß der vorgesehenen Verwendung der Klebstofffolie durchgeführt werden. Verfahren zum Erhitzen umfassen Heißlufterhitzen, in Kontakt bringen mit einer heißen Platte und Infrarotheizen. Jedoch kann jegliches Heizverfahren ohne besondere Einschränkung verwendet werden, so lange sie gleichmäßig Schaum ausbildet oder die hitzeexpandierbare Schicht expandiert und auch nicht den zu beklebenden Gegenstand verschlechtert oder beschädigt.
  • Die Dehnungsbehandlung der Klebefolie kann z. B. durch Verwendung von Dehnungsmitteln durchgeführt werden, die üblicherweise für zweidimensionale Dehnungsfolien verwendet werden. Da die hitzeabziehbare Klebstofffolie der Erfindung eine Klebstoffschicht aufweist, die eine Klebstoffsubstanz umfasst, kann der verklebte Gegenstand in eine gegebene Größe ohne Abrutschen oder Abtrennen der Klebeschicht während des Schneidens geschnitten werden. Des weiteren werden, da die Klebstofffolie eine hitzeexpandierbare Schicht aufweist, die hitzeexpandierbare Microsphären enthält, die hitzeexpandierbaren Microsphären durch eine Hitzebehandlung sofort geschäumt oder expandiert und die hitzeexpandierbare Schicht verändert ihr Volumen, um eine dreidimensionale Struktur mit einer rauen Oberfläche auszubilden. Dementsprechend verringert sich die Fläche, mit der die Klebstoffschicht an die geschnittenen Teile 7 haftet, die aus dem Schneiden resultieren, deutlich und die Klebkraft verringert sich somit erheblich. In dieser Hitzebehandlung deformiert sich das Substrat 1 nicht, da es hitzewiderstandsfähig ist, wodurch die Oberflächenglätte der Klebstoffschicht erhalten bleibt. Zusätzlich, da das Substrat 1 in der hitzeabziehbaren Klebstoffschicht der Erfindung eine Dehnungsfähigkeit aufweist, kann der Zwischenraum zwischen den geschnittenen Teilen 7 leicht auf einen gewünschten Grad durch Dehnen der Klebstofffolie in einer planaren Richtung vergrößert werden. Somit wird eine wesentliche Verringerung der Klebkraft durch die Hitzebehandlung erhalten und eine Vergrößerung in dem Zwischenraum zwischen den geschnittenen Teilen, die durch Dehnungsbehandlung erhalten wird. Als ein Ergebnis werden die Durchführungseffizienz und Arbeitseffizienz in dem Schritt des Abtrennens und der Rückgewinnens der geschnittenen Teile 7 deutlich erhöht und die Herstellungseffizienz kann auch stark verbessert werden.
  • Obwohl die hitzeabziehbare Klebstofffolie der Erfindung in Anwendungen verwendet werden kann, in denen ein zu beklebter Gegenstand permanent gebunden ist, ist sie zur Verwendung in Anwendungen geeignet, in denen der zu verklebende Gegenstand für einen bestimmten Zeitraum gebunden ist, und nach dem Erreichen des Zwecks der Bindung wird der gebundene Zustand notwendigerweise oder wünschenswerterweise beendet. Neben Halbleiter-Wafer-Fixierungsmaterialien umfassen Beispiele solcher Anwendungen Trägerbänder, zeitweise fixierte Materialien oder fixierende Materialien für z. B. die Beförderung oder zeitweilige Fixierung von Teilen in den Schritten zum Zusammenbau verschiedener elektrischer Vorrichtungen, elektronischer Vorrichtungen, Monitore und oberflächenschützende Materialien, und Maskierungsmaterialien, die zur Verhinderung der Beschädigung oder Verschlechterung von Metallplatten, Plastikplatten oder Glasplatten verwendet werden. Die Klebstofffolie ist besonders geeignet zur Verwendung in Verfahren zur Herstellung elektronischer Teile im Falle des Einsetzens einer Aufnahmewiedergewinnungstechnik, in der die geschnittenen Teile wie Halbleiterchips an beiden Seiten davon gehalten werden sowie bei der Abtrennung und Wiedergewinnung derselben und zur Verwendung in der Wiedergewinnung von Mehrschichtkondensatorchips und in ähnlichen Anwendungen.
  • Die Erfindung wird unten in mehr Details basierend auf den Beispielen erklärt, aber diese Erfindung sollte nicht dahingehend ausgelegt werden, dass sie auf diese Beispiele in irgendeiner Weise eingeschränkt sei. Hiernach bedeutet „Teile" „Gewichtsanteile".
  • Beispiel 1
  • Zehn Teile des Harzphenolklebemittels und zwei Anteile eines Isocyanatvernetzungsmittels werden in eine Toluollösung eingebracht, die 100 Anteile Acrylsäurecopolymer enthält, das aus 40 Teilen 2-Ethylhexylacrylat, 60 Teilen Ethylacrylat und 3 Teilen Hydroxyethylacrylat ausgebildet wurde. Somit wurde eine Toluollösung eines Acrylsäure-druckempfindlichen Klebstoffes erhalten. Anschließend wurden 25 Anteile hitzeexpandierbare Microsphären (® Matsumoto Microsphere F-30) zu der Lösung hinzugefügt, um eine Beschichtungsflüssigkeit auszubilden.
  • Ein Harz mit 50 Anteilen an harten Segmenten, die aus Polypropylen bestehen, und 50 Anteilen an weichen Segmenten, die aus einem Ethylen/Propylencopolymer bestehen (® KS-221P; MFR 2,5 Dichte: 0,89 g/cm3) wurden extrusionsgeformt, um einen Polyolefinfilm mit einer Dicke von 75 μm auszubilden. Auf der einen Seite wurde der Film einer Corona-Behandlung ausgesetzt.
  • Ein Polyesterfilm mit einer Silikon-behandelten Oberfläche wurde mit der Beschichtungsflüssigkeit beschichtet und die Beschichtung wurde getrocknet, um eine hitzeexpandierbare Klebeschicht mit einer Dicke von 40 μm auszubilden. Diese hitzeexpandierbare Klebstoffschicht wurde auf die Corona-behandelte Oberfläche des Polyolefinfilms übertragen, um eine hitzeabziehbare Klebstofffolie zu erhalten.
  • Beispiel 2
  • In einer Toluollösung von 100 Anteilen Silikongummiklebstoff wurden 0,9 Anteile eines Silikonhärtungsmittel eingebracht, um eine Toluollösung eines Silikon-basierenden druckempfindlichen Klebstoffes zu erhalten. Anschließend wurden 30 Anteile hitzeexpandierbare Microsphären (® Matsumoto Microsphere F-50) zu der Lösung hinzugefügt, um eine Beschichtungsflüssigkeit herzustellen.
  • Eine Silikongummiverbindung (® KE931-U) wurde extrusionsgeformt, um eine Silikongummifolie mit einer Dicke von 2 mm auszubilden.
  • Diese Silikongummifolie wurde mit der Beschichtungsflüssigkeit beschichtet und die Beschichtung wurde getrocknet, um eine hitzeabziehbare Klebefolie mit einer hitzeexpandierbaren Klebeschicht mit einer Dicke von 45 μm zu erhalten.
  • Beispiel 3
  • 10 Teile eines Terpenphenol-Haftmittels und 2,5 Teile Isocyanat-Vernetzungsmittel wurden in eine Toluollösung eingebracht, die 100 Anteile eines Acrylsäure-Copolymers enthält, das aus 75 Anteilen 2-Ethylhexylacrylat, 25 Anteilen Ethylacrylat, 3 Anteilen Methylmethacrylat und 5 Anteilen Hydroxyethylacrylat ausgebildet wurde. Somit wurde eine Toluollösung eines Acrylsäure- druckempfindlichen Klebstoffes erhalten. Anschließend wurden 30 Anteile hitzeexpandierbare Microsphären (® Matsumoto Microsphere F-30) zu der Lösung hinzugefügt, um eine Beschichtungsflüssigkeit herzustellen.
  • Ein flexibler Polyolefinharz (® CAP350) wurde als Zwischenlagenmaterial zur Coextrusionsformgebung zusammen mit Polyethylen ausgesetzt, um einen Dreischichtfilm mit einer Schichtzusammensetzung aus Polyethylen/flexiblem Polyolefinharz (CAP350)/Polyethylen mit einer Gesamtdicke von 100 μm zu erhalten.
  • Ein Polyesterfilm mit einer Silikon-behandelten Oberfläche wurde mit der Beschichtungsflüssigkeit beschichtet und die Beschichtung wurde getrocknet, um eine hitzeexpandierbare Klebstoffschicht mit einer Dicke von 35 μm auszubilden. Diese hitzeexpandierbare Klebstoffschicht wurde auf eine Oberfläche des dreilagigen Films übertragen, um eine hitzeabziehbare Klebstoffschicht zu erhalten.
  • Vergleichendes Beispiel 1
  • Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 1 durchgeführt, außer dass ein flexibles Poly(vinylchlorid) mit einer Dicke von 25 μm (® KM Film) als ein Substrat anstelle des Polyolefinfilms verwendet wurde. Somit wurde eine hitzeabziehbare Klebefolie erhalten.
  • Vergleichendes Beispiel 2
  • Es wurde das gleiche Verfahren wie in Beispiel 2 durchgeführt, außer dass ein Polyesterfilm mit einer Dicke von 75 μm (® Lumirror S-10) als ein Substrat anstelle der Silikongummifolie verwendet wurde. So wurde eine hitzeabziehbare Klebstofffolie erhalten.
  • Untersuchungsergebnisse
  • Die in den Beispielen und vergleichenden Beispielen erhaltenen Klebstofffolien (20 mm breit) wurden jeweils mit der hitzeexpandierbaren Klebstoffschichtseite auf ein Polyesterband mit einer Dicke von 25 μm (Lumirror S-10, hergestellt durch Toray Industried, Inc.) aufgetragen und die 180° Abziehklebkraft (Haftung) davon (N/20 mm) (Abziehgeschwindigkeit 300 mm/Min.; 23°C) wurde vor und nach dem Erwärmen gemessen. Zudem wurde jede Klebstofffolie, die auf einen Zerhackerring aufgetragen wurde, auf einem Kopfbinder (CSP-100, NEC Machinery Corporation) befestigt und über 10 mm runtergezogen, um das Substrat auf Dehnbarkeit vor und nach der Behandlung zu untersuchen. Jede Klebstoffschicht, die der Erhitzung ausgesetzt worden war, wurde auch durch Sichtung auf Substratdeformation untersucht.
  • Im Übrigen wurde die Hitzebehandlung der Klebstofffolien von Beispiel 2 und des vergleichenden Beispiels 2 auf einer 130°C heißen Platte für 60 Sekunden durchgeführt und die der Klebstofffolien der Beispiele 1 und 3 und des vergleichenden Beispiels 1 wurde auf einer 100°C heißen Platte für 60 Sekunden durchgeführt. Die Ergebnisse werden in Tabelle 1 gezeigt.
  • Tabelle 1
    Figure 00180001
  • Die Klebstofffolien der Beispiele 1, 2 und 3 zeigten eine Dehnbarkeit unabhängig davon, ob sie eine Hitzebehandlung durchlaufen hatten. Im Gegensatz dazu wurde in der Klebstofffolie des vergleichenden Beispiels 1 der Substratfilm durch die Hitzebehandlung aufgeweicht und die Oberflächenglätte der Klebstofffolie selbst ging verloren. Des Weiteren wurde eine Dehnbarkeit nicht in der Klebstofffolie des vergleichenden Beispiels 2 beobachtet. In jedem der Beispiele und der vergleichenden Beispiele wurde kein haftender Rest auf dem Polyesterband nach der Messung der Klebkraft beobachtet.
  • Industrielle Anwendbarkeit
  • Die hitzeabziehbare Klebefolie der Erfindung kann verwendet werden, um einen beklebten Gegenstand zu schneiden, um einen ausreichenden Abstand zwischen den resultierenden, geschnittenen Teilen auszubilden und sicherzustellen, und sie kann einer Wärmebehandlung zur Expandierung der hitzeexpandierbaren Schicht widerstehen. Dem entsprechend kann die Klebefolie die Durchführungseffizienz und Arbeitseffizienz in dem Schritt der Abtrennung und Rückgewinnung der geschnittenen Teile, die durch das Schneiden des verklebten Gegenstands ausgebildet werden, erhöhen, und kann somit wesentlich die Produktionseffizienz von geschnittenen Teilen wie Halbleiterchips verbessern.

Claims (4)

  1. Ein hitzeabziehbarer Klebefilm, der ein Substrat umfasst, und auf dem auf mindestens einer Seite davon eine hitzeexpandierbare Schicht ausgebildet ist, die hitzeexpandierbare Mikrosphären enthält, und eine Klebeschicht, die eine klebende Substanz umfasst, wobei besagtes Substrat eine Hitzewiderstandsfähigkeit, Dehnbarkeit und eine Dehnungsverlängerung am Bruchpunkt von 250% oder höher aufweist, wie mit JIS K 7113 oder JIS K 7127 gemessen wird.
  2. Der hitzeabziehbare Klebefilm von Anspruch 1, wobei das Substrat aus einem flexiblen Vinylchloridfilm oder Folie besteht, der einen Hitzestabilisator, einen dehnbaren Polyesterfilm oder Folie, einen flexiblen Polyolefinfilm oder Folie, einen gummiartigen Polymerfilm oder einen mehrlagigen Film oder Folie enthält, der jegliche dieser Substratmaterialen umfasst.
  3. Ein hitzeabziehbarer Klebefilm, der ein Substrat umfasst, und auf dem auf mindestens einer Seite davon eine hitzeexpandierbare Klebeschicht ausgebildet ist, die eine klebende Substanz umfasst, und hitzeexpandierbare Mikrosphärenenthält enthält, wobei besagte Substanz eine Hitzewiderstandsfähigkeit, Dehnbarkeit und Dehnverlängerung am Bruchpunkt von 250% oder höher aufweist.
  4. Der hitzeabziehbare Klebefilm von Anspruch 1, wobei das Substrat die hitzeexpandierbare Schicht und die Klebeschicht auf einer Seite davon und zusätzlich auf der anderen Seite davon eine Klebeschicht aufweist, die eine klebende Substanz umfasst.
DE69920281T 1998-09-30 1999-09-29 Mit hitze expandierter druckempfindlicher klebefilm Expired - Lifetime DE69920281T2 (de)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27895298 1998-09-30
JP27895298 1998-09-30
JP25509899A JP4540150B2 (ja) 1998-09-30 1999-09-09 熱剥離型粘着シート
JP25509899 1999-09-09
PCT/JP1999/005347 WO2000018848A1 (fr) 1998-09-30 1999-09-29 Feuille adhesive sensible a la pression se detachant par la chaleur

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69920281D1 DE69920281D1 (de) 2004-10-21
DE69920281T2 true DE69920281T2 (de) 2005-01-27

Family

ID=26542020

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69920281T Expired - Lifetime DE69920281T2 (de) 1998-09-30 1999-09-29 Mit hitze expandierter druckempfindlicher klebefilm

Country Status (7)

Country Link
US (2) US7067030B2 (de)
EP (1) EP1154002B1 (de)
JP (1) JP4540150B2 (de)
KR (1) KR100611342B1 (de)
DE (1) DE69920281T2 (de)
TW (1) TWI225088B (de)
WO (1) WO2000018848A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009011163A1 (de) * 2008-12-16 2010-07-08 Tesa Se Klebeband, insbesondere zur Verklebung von Photovoltaik-Modulen

Families Citing this family (68)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9912694D0 (en) * 1999-06-02 1999-08-04 Bain Peter S Adhesive
KR20010055794A (ko) * 1999-12-13 2001-07-04 신현준 분말사출성형용 고강도 결합제
JP3641217B2 (ja) * 2000-03-31 2005-04-20 Tdk株式会社 チップ状電子部品における端部電極形成方法及び装置
JP4703833B2 (ja) * 2000-10-18 2011-06-15 日東電工株式会社 エネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート、及びこれを用いた切断片の製造方法
JP4651799B2 (ja) * 2000-10-18 2011-03-16 日東電工株式会社 エネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート、及びこれを用いた切断片の製造方法
TW490373B (en) 2000-10-23 2002-06-11 Matsushita Electric Works Ltd Laminate with a peelable top layer and method of peeling off the top layer from the laminate
JP5192622B2 (ja) * 2001-02-06 2013-05-08 アキレス株式会社 ダイシング用基体フィルム
US6872635B2 (en) 2001-04-11 2005-03-29 Sony Corporation Device transferring method, and device arraying method and image display unit fabricating method using the same
JP2003045901A (ja) 2001-08-01 2003-02-14 Sony Corp 素子の転写方法及びこれを用いた素子の配列方法、画像表示装置の製造方法
JP2003077940A (ja) 2001-09-06 2003-03-14 Sony Corp 素子の転写方法及びこれを用いた素子の配列方法、画像表示装置の製造方法
JP3853247B2 (ja) * 2002-04-16 2006-12-06 日東電工株式会社 電子部品用加熱剥離型粘着シートおよび電子部品の加工方法並びに電子部品
US7294298B2 (en) 2002-07-24 2007-11-13 Tdk Corporation Functional film for transfer having functional layer, object furnished with functional layer and process for producing the same
JP4005001B2 (ja) * 2002-07-24 2007-11-07 Tdk株式会社 機能性層を有する転写用機能性フィルム、その機能性層が付与された物体及びその製造方法
JP2004300231A (ja) * 2003-03-31 2004-10-28 Nitto Denko Corp 熱剥離性両面粘着シート、被着体の加工方法および電子部品
JP3902186B2 (ja) * 2003-04-21 2007-04-04 日東電工株式会社 帯電防止型光学フィルム、その製造方法、及び画像表示装置
DE10334576B4 (de) * 2003-07-28 2007-04-05 Infineon Technologies Ag Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements mit einem Kunststoffgehäuse
JP2005187501A (ja) * 2003-12-24 2005-07-14 Lintec Corp 粘着シート
US7153629B2 (en) * 2004-01-16 2006-12-26 Lintec Corporation Releasing sheet
JP4346087B2 (ja) * 2004-10-21 2009-10-14 日東電工株式会社 帯電防止性光学フィルム、帯電防止性粘着型光学フィルム、それらの製造方法および画像表示装置
JP4714452B2 (ja) * 2004-10-21 2011-06-29 日東電工株式会社 帯電防止性粘着型光学フィルム及び画像表示装置
JP4509748B2 (ja) * 2004-11-24 2010-07-21 日東電工株式会社 発泡部材用キャリアテープおよび発泡部材搬送体
JP5144003B2 (ja) * 2005-03-18 2013-02-13 ソマール株式会社 再剥離性粘着シート及びそれを用いた被着体加工方法
JP4767573B2 (ja) * 2005-03-31 2011-09-07 株式会社プライムポリマー 粘着フィルム用セパレーター
JP4800778B2 (ja) * 2005-05-16 2011-10-26 日東電工株式会社 ダイシング用粘着シート及びそれを用いた被加工物の加工方法
JP2007035880A (ja) * 2005-07-26 2007-02-08 Matsushita Electric Works Ltd バンプ付きウエハの製造方法、バンプ付きウエハ、半導体装置
JP4891659B2 (ja) * 2006-06-02 2012-03-07 日東電工株式会社 ダイシング用粘着シート
JP4970863B2 (ja) * 2006-07-13 2012-07-11 日東電工株式会社 被加工物の加工方法
JP4849993B2 (ja) * 2006-08-14 2012-01-11 日東電工株式会社 粘着シート、その製造方法および積層セラミックシートの切断方法
JP5021255B2 (ja) * 2006-09-07 2012-09-05 株式会社Dnpファインケミカル 接着剤組成物
JP5283838B2 (ja) * 2006-11-04 2013-09-04 日東電工株式会社 熱剥離性粘着シート及び被着体回収方法
JP2008144116A (ja) * 2006-12-13 2008-06-26 Nitto Denko Corp 両面粘着シートおよび液晶表示装置
JP5101919B2 (ja) * 2007-04-09 2012-12-19 日東電工株式会社 配線回路基板用両面粘着テープ又はシートおよび両面粘着テープ付き配線回路基板
JP2008288285A (ja) * 2007-05-15 2008-11-27 Sharp Corp 積層基板の切断方法、半導体装置の製造方法、半導体装置、発光装置及びバックライト装置
JP2009032458A (ja) * 2007-07-25 2009-02-12 Aisin Seiki Co Ltd 燃料電池用膜電極接合体の解体方法、燃料電池の解体方法
JP5289747B2 (ja) * 2007-10-10 2013-09-11 日東電工株式会社 配線回路基板用両面粘着テープ又はシートおよび配線回路基板
JP5280034B2 (ja) * 2007-10-10 2013-09-04 日東電工株式会社 配線回路基板用両面粘着テープ又はシートおよび配線回路基板
CN101827906A (zh) * 2007-10-19 2010-09-08 日东欧洲股份有限公司 粘合带
JP5483843B2 (ja) * 2007-12-06 2014-05-07 積水化学工業株式会社 両面粘着テープ及び液晶表示装置
DE102008025983A1 (de) 2008-05-30 2009-12-03 Tesa Se Klebeband mit viskoelastischem Polyolefinträger
TWI404786B (zh) * 2010-04-22 2013-08-11 Nanya Plastics Corp An aqueous hot foam adhesive sheet
JP2012007093A (ja) * 2010-06-25 2012-01-12 Nitto Denko Corp 導電性粘着テープ
FR2981010B1 (fr) * 2011-10-05 2014-06-13 Michelin Soc Tech Kit et procede pour la fixation temporaire d'un dispositif electronique sur un support d'une enveloppe pneumatique
KR101920086B1 (ko) * 2011-10-17 2018-11-19 닛토덴코 가부시키가이샤 점착 테이프용 필름 및 점착 테이프
JP5978051B2 (ja) * 2011-10-17 2016-08-24 日東電工株式会社 粘着テープ用フィルムおよび粘着テープ
JP6075832B2 (ja) * 2011-10-17 2017-02-08 日東電工株式会社 粘着テープ用フィルムおよび粘着テープ
KR101924484B1 (ko) * 2011-10-17 2018-12-04 닛토덴코 가부시키가이샤 점착 테이프용 필름 및 점착 테이프
WO2013114955A1 (ja) * 2012-01-30 2013-08-08 日東電工株式会社 加熱剥離型摺動用保護テープ
EP2639277A1 (de) * 2012-03-13 2013-09-18 Nitto Denko Corporation Hitzebeständiges druckempfindliches Klebeband zur Herstellung eines Halbleiterbauelements und Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Verwendung des Klebebandes
JP5921927B2 (ja) * 2012-03-27 2016-05-24 日東電工株式会社 加熱剥離型粘着シート
US9926470B2 (en) 2012-10-22 2018-03-27 Avery Dennison Corporation Hybrid material of crosslinked microgel particles dispersed in an adhesive
US9196535B2 (en) * 2013-06-18 2015-11-24 Infineon Technologies Ag Method and apparatus for separating semiconductor devices from a wafer
JP6184025B2 (ja) * 2014-09-04 2017-08-23 信越ポリマー株式会社 電磁波シールドフィルムおよび電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板の製造方法
US10108011B2 (en) 2015-01-20 2018-10-23 Microsoft Technology Licensing, Llc Microsphere spaced waveguide display
KR101992451B1 (ko) * 2015-02-23 2019-06-24 테사 소시에타스 유로파에아 브릿지 테이프 및 자동차 본체들의 시트 금속 또는 플라스틱 부품들에서 구멍들을 밀봉하기 위한 방법
TWI711681B (zh) * 2015-04-10 2020-12-01 日商寺岡製作所股份有限公司 接著片
JP2017088782A (ja) * 2015-11-13 2017-05-25 日東電工株式会社 積層体および合同体・組み合わせの回収方法・半導体装置の製造方法
JP6989269B2 (ja) * 2016-05-11 2022-01-05 積水化学工業株式会社 半導体パッケージの製造方法
CN109075048A (zh) * 2016-06-30 2018-12-21 琳得科株式会社 半导体加工用片
JP6712916B2 (ja) * 2016-07-11 2020-06-24 日東電工株式会社 粘着シート
JP6783570B2 (ja) * 2016-07-11 2020-11-11 日東電工株式会社 粘着シート
US10480656B2 (en) 2016-08-22 2019-11-19 Tesa Se Bridge tape with directed foam expansion and method for sealing holes in sheet metal or plastic parts of automobile bodies
CN106479386A (zh) * 2016-10-25 2017-03-08 深圳市美信电子有限公司 一种导电热敏压敏胶带
CN110023438B (zh) * 2016-11-25 2022-01-25 三井化学东赛璐株式会社 粘着性层叠膜及电子装置的制造方法
WO2018181766A1 (ja) * 2017-03-31 2018-10-04 リンテック株式会社 半導体装置の製造方法及び両面粘着シート
JP2019015899A (ja) * 2017-07-10 2019-01-31 株式会社ブイ・テクノロジー 表示装置の製造方法、チップ部品の転写方法、および転写部材
KR102235987B1 (ko) * 2018-06-05 2021-04-02 주식회사 엘지화학 신축성 점착 필름 및 이를 포함하는 디스플레이 장치
DE102019203286A1 (de) * 2019-03-11 2020-09-17 Tesa Se Haftklebmasse
CN112521876A (zh) * 2019-09-18 2021-03-19 达迈科技股份有限公司 用于湿式、高温制程的可热剥离感压黏着片

Family Cites Families (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5661468A (en) * 1979-10-23 1981-05-26 Matsumoto Yushi Seiyaku Kk Releasable adhesive
JPS5661467A (en) * 1979-10-23 1981-05-26 Matsumoto Yushi Seiyaku Kk Thermally expansible adhesive
JPS6178887A (ja) * 1984-09-27 1986-04-22 Shinko Kagaku Kogyo Kk 熱剥離性を有する粘着シ−ト
JPS61168935A (ja) * 1985-01-22 1986-07-30 Shin Etsu Polymer Co Ltd ダイシングフイルム
JPH068403B2 (ja) * 1985-11-21 1994-02-02 三井石油化学工業株式会社 ウエハダイシング用接着シ−ト
JPS63186791A (ja) * 1987-01-27 1988-08-02 Nitto Electric Ind Co Ltd 発泡型粘着部材
JP2613389B2 (ja) * 1987-04-17 1997-05-28 日東電工株式会社 発泡型粘着シート
JP2709353B2 (ja) * 1989-03-14 1998-02-04 日東電工株式会社 自着性粘着剤及び接着テープ
JP2698881B2 (ja) * 1989-05-19 1998-01-19 日東電工株式会社 膨脹型粘着部材
US4994322A (en) * 1989-09-18 1991-02-19 Minnesota Mining And Manufacturing Pressure-sensitive adhesive comprising hollow tacky microspheres and macromonomer-containing binder copolymer
JP3060417B2 (ja) * 1990-11-27 2000-07-10 リンテック株式会社 ウエハ貼着用粘着シート
JP2970963B2 (ja) * 1991-08-14 1999-11-02 日東電工株式会社 剥離性感圧接着剤及びその粘着部材
JP2728333B2 (ja) * 1992-02-24 1998-03-18 リンテック株式会社 ウェハ貼着用粘着シートおよびチップのピックアップ方法
JP3308672B2 (ja) * 1993-02-26 2002-07-29 日東電工株式会社 接着シート
JPH0761458A (ja) * 1993-08-19 1995-03-07 Nitto Denko Corp 接着シート
JPH07145357A (ja) * 1993-11-24 1995-06-06 Nitto Denko Corp 加熱剥離シート及び剥離方法
JPH07183195A (ja) * 1993-12-24 1995-07-21 Nitto Denko Corp レジスト剥離用シート類、及びそれを用いたレジストの剥離除去方法
JPH07179828A (ja) * 1993-12-24 1995-07-18 Nichiban Co Ltd 接着シート及び接着シートの剥離方法
DE4429118C2 (de) 1994-08-17 1997-01-16 Siemens Ag Radarsensor
US5555466A (en) * 1994-10-12 1996-09-10 Asa Electronics Corporation Vehicular audio/visual system having distribution box for connecting individual passenger monitors to multiple program sources
JP3487313B2 (ja) * 1995-01-05 2004-01-19 日東電工株式会社 剥離ライナーならびに両面粘着テープまたはシート
JPH10150007A (ja) * 1996-11-18 1998-06-02 Toyo Chem Co Ltd 半導体ウエハ固定用シート
JPH10168401A (ja) * 1996-12-13 1998-06-23 Nitto Denko Corp 印刷用シート
JP3695874B2 (ja) * 1997-01-29 2005-09-14 三井化学株式会社 半導体ウエハのダイシング方法及び該方法に用いる粘着フィルム
JPH10242084A (ja) * 1997-02-24 1998-09-11 Lintec Corp ウェハ貼着用粘着シートおよび電子部品の製造方法
JPH10335836A (ja) * 1997-05-29 1998-12-18 Hitachi Chem Co Ltd Ivh付多層配線板製造用粘着フィルム
JP3847904B2 (ja) * 1997-06-13 2006-11-22 日東電工株式会社 接着シート及び切断片の製造方法
US5971468A (en) * 1998-06-16 1999-10-26 Ut Automotive Dearborn, Inc. Incorporation of vehicle display into vehicle sunvisor
US6339455B1 (en) * 1999-12-29 2002-01-15 William L. Allan Digital video disc vehicle television
US6256837B1 (en) * 2000-01-05 2001-07-10 Usa Spec, Inc. Hinge assembly for car-mounted video display unit
US6330337B1 (en) * 2000-01-19 2001-12-11 Visteon Global Technologies, Inc. Automotive entertainment system for rear seat passengers
US6522368B1 (en) * 2000-05-19 2003-02-18 Timely Innovations, Lp Portable vehicle video system

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009011163A1 (de) * 2008-12-16 2010-07-08 Tesa Se Klebeband, insbesondere zur Verklebung von Photovoltaik-Modulen
US8597447B2 (en) 2008-12-16 2013-12-03 Tesa Se Adhesive tape, particularly for bonding photovoltaic modules

Also Published As

Publication number Publication date
US20050186419A1 (en) 2005-08-25
KR20010079937A (ko) 2001-08-22
KR100611342B1 (ko) 2006-08-11
JP2000169808A (ja) 2000-06-20
US20030203192A1 (en) 2003-10-30
JP4540150B2 (ja) 2010-09-08
EP1154002B1 (de) 2004-09-15
WO2000018848A1 (fr) 2000-04-06
US7175728B2 (en) 2007-02-13
US7067030B2 (en) 2006-06-27
EP1154002A4 (de) 2002-05-08
EP1154002A1 (de) 2001-11-14
TWI225088B (en) 2004-12-11
DE69920281D1 (de) 2004-10-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69920281T2 (de) Mit hitze expandierter druckempfindlicher klebefilm
DE60102949T2 (de) Strahlenhärtbare, wärmeabziehbare druckempfindliche Klebefolie sowie Verfahren zum Herstellen von Zuschnittteilen mit derselben
DE602004001796T2 (de) Durch Wärmeeinwirkung wieder abziehbare druckempfindliche doppelseitige Klebefolie, Klebeverfahren von bearbeitetem Material mit der Klebefolie und elektronisches Bauteil
DE60102618T2 (de) Wärmeabziehbare druckempfindliche Klebefolie
DE60109951T2 (de) Durch energetische strahlung härtbare, thermisch entfernbare, druckempfindliche klebefolie sowie verfahren zum zerschneiden von teilen unter verwendung dieser folie
DE60018525T2 (de) Wärmeabziehbare druckempfindliche Klebefolie
DE102005058259A1 (de) Verfahren zur thermischen Freisetzung eines haftenden Körpers und Vorrichung zur thermischen Freisetzung des haftenden Körpers
DE60201209T2 (de) Verfahren zur thermischen Ablösung einer Klebefläche und Vorrichtung zur thermischen Ablösung einer Klebefläche
DE60304763T2 (de) Durch Wärme abziehbare druckempfindliche Klebefolie, Verarbeitungsmethode für ein elektronisches Bauteil und ein elektronisches Bauteil
EP2935498B1 (de) Wiederablösbarer haftklebestreifen
DE602004007183T2 (de) Druckempfindlicher Klebefilm oder druckempfindliches Klebeband sowie Verfahren zu deren Herstellung
DE60108659T2 (de) Durch wärme abziehbare druckempfindliche klebefolie
EP1033393A2 (de) Wärmeabziehbare druckempfindliche Klebefolie
EP1955370B1 (de) Verfahren zum bearbeiten eines wafers
EP1570017B1 (de) Antistatisches haftklebeband
WO2005087888A1 (ja) 加熱剥離型粘着シートおよび該加熱剥離型粘着シートを用いた被着体の加工方法
WO2002091433A2 (de) Verfahren zum rückseitenschleifen von wafern
DE602004010983T2 (de) Luftdichtes druckempfindliches Dichtungsklebeband
JP3847904B2 (ja) 接着シート及び切断片の製造方法
DE1569870A1 (de) Klebeband
US6404121B1 (en) Explosion-proof tape for cathode-ray tube and explosion-proof structure thereof

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition