TW505605B - In/out load port transfer mechanism - Google Patents

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TW505605B
TW505605B TW088122313A TW88122313A TW505605B TW 505605 B TW505605 B TW 505605B TW 088122313 A TW088122313 A TW 088122313A TW 88122313 A TW88122313 A TW 88122313A TW 505605 B TW505605 B TW 505605B
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TW
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loading port
conveyor
carrier
support
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TW088122313A
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Anthony C Bonora
Richard H Gould
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Asyst Technologies
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Description

505605 Α7 _Β7____ 五、發明說明（1 ) 相關申請案的參考 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本案主張1 9 9 8年1 2月1 8曰申請的美國專利臨 時申請案序號第60/1 12，947號的優先權，因而 其整個皆是在此倂爲參考。 發明的簡要敘述 。 本發明相關於將物品傳遞至裝載口的系統，尤其相關 於在運送器與裝載口之間移動物品的系統。 發明背景 自動化 。物品典型 遞系統上。 傳遞系統及 附近蓄積， 包括半導體 個位置處從 在:½後回至 作站或出口 物品可能很 系統韵操作 下在傳遞系 系統。 物品在 Γρ & % 讨 i 傳遞系統被用在各種不 上是使用控制物品流的 自動化設備也被用來在 /或移去設備被設計成 以防止相鄰物品之間的 處理，物品必須 傳遞系統暫時移 傳遞系統，然後 點。在傳遞系統與沿著 複雜，因此必須小心以 f達成傳遞。想要有在 統與工作站之間有效率 同的應用中來運輸物品 自動化設備而裝載至傳 出口點處移去物品，而 容許數個物品在接觸點 碰撞。在某些應用下， 在沿著傳遞系統路徑的一或多 動至一站，例如工作站。物品 傳遞系統將物品運輸至下一工 路徑的工作站之間移動 確保在不顯著中斷傳遞 不干擾傳—遞系+統的操作 地且方便地傳遞物品的 中間位置處從傳遞系統暫時移去的領域的一例 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格(210 X 297公发） -4 - 505605 A7 B7 五、發明說明（2 ) 爲半導體處理的領域。在此領域中，傳遞系統可被用來運 輸半導體晶圓或其他基板至數個不同的處理機器。晶圓必 須被傳遞至用來處理的機器，並且在處理完成後回至傳遞 系統以送至下一處理機器。晶圓典型上被扣持在例如密封 的運輸裝置或箱的保護容器中，以將基板至處理機器外部 的環境的任何暴露減至最小，、以及保護晶圓不受粒子污染 。每一處理機器的入口設儷有被設計來在被保護的環境中 將晶圓從運輸箱自動地移去的裝載口。在設備的操作期間 ，運輸箱必須經常地在裝載口與傳遞系統之間移動。 典型上，半導體製造設備被組織成各包含數個處理機 器的多個場。各種不同的系統被採用來在一場內的機器之 間移動運輸箱。例如，許多系統依賴人工來使用台車將運 輸箱從一裝載口傳遞至另一裝載口。工人典型上致動手動 機械臂連桿或其他的升降裝置來將運輸箱移動至裝載口， 以及在處理完成後使運輸箱回至台車。此過程在下一機器 處重複。另一場內運輸系統依賴自動引導運載工具（ A G V )，其在機器之間托運運輸箱，並且將運輸箱自動 移入裝載口。人力推進台車及A GV在不中斷傳遞系統的 .操作下避免將運輸箱傳遞至裝載口的問題。但是，台車及 A G V也缺乏與可沿著傳遞系統路徑有效率地及快速地移 動物品的自動化傳遞系緣相關聯的有利處。 一- — 也使用高架傳遞系統來沿著場內迴路運輸運輸箱。運 輸箱是藉著將運輸箱降低至裝載口上的吊車或類似裝置而 被傳遞至裝載口。爲將運輸箱從傳遞系統成功地傳遞至機^ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格(210 X 297公策):"""~"""" (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
505605 A7 B7__ 五、發明說明（3 ) ---------------裝—— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 器，運輸箱必須與裝載口精確對準，並且以將運輸箱的任 何擺動減至最小的受控制方式降低至裝載口上。在處理之 後，吊車或其他裝置必須嚙合運輸箱，並且將運輸箱升高 至傳遞系統以運輸至下一機器。使用吊車或類似裝置來傳 遞運輸箱至裝載口很複雜，並且此方法只能在傳遞系統位 在裝載口上方時使用。高架傳遞系統可能難以維護。另外 ，在高架傳遞系統下，任何粒子污染或由傳遞系統所產生 或承載的瓦礫會被引入機器及裝載口上方的場環境內。因 此，有這些污染物會落入或飄入機器的裝載口或其他敏感 區域的危險。將傳遞系統定位在裝載口的高度或下方減小 此種危險。但是，可能不能使用吊車裝置來將運輸箱從位 在裝載口的高度處或高度下方處的傳遞系統傳遞至裝載口 。想要有將物品從位在裝載口的前方的傳遞系統傳遞至工 作站的系統。 . · 半導體晶圓很精緻，尤其是在處理的後面階段相當貴 重。積體電路是藉著在半導體晶圓或其他基板上形成多個 層而製造。隨著技術的推進，積體電路越來越複雜，並且 典型上包含多個錯綜複雜的接線層。位在單一晶圓上的積 體電路的數目也由於積體電路的減小的尺寸而增加。半導 體晶圓的標準尺寸在接下來的幾年中會從2 0 0mm (毫 米）增加至3 0 0 πΓ ιη「因而進一步增加可能形成在單— 晶圓上的積體電路的數目。由於稹體電路日益增加的複雜 性及日益減小的.尺寸，半導體晶圓的價値隨著晶圓的進行 通過不同的處理階段而顯著增加。因此，必須非常·小心地 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公芨) " — ~ -6- 505605 A7 B7 五、發明說明（4) --------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 來處理半導體晶圓，尤其是在後面的處理階段期間，因爲 受損的晶圓可能導致鉅額的金錢損失。用來處理晶圓的無 粒子污染的淸潔室環境的需求進一步限制可用來傳遞運輸 箱的系統。想要有適合用於淸潔室環境中的操作的在傳遞 系統與裝載口之間傳遞物品的系統。 想要有用來在一傳遞系統與一裝載口或其他工作站之 間移動例如半導體晶圓的物品，托運半導體晶圓的運輸箱 ，或其他容器的傳遞系統。也想要有可用在半導體處理以 外的包括藥品，醫療系統，平坦面板顯示器，例如磁碟驅 動系統，數據機，及類似者的電腦硬體，半導體晶圓，及 石印術線網（但不受限於這些）領域的傳遞系統。 發明目的及槪說 %· 本發明的主要目的爲提供用來在運送器與工作站之間 傳遞物品的系統。 本發明的另一目的爲提供用來在淸潔室環境中在運送 器與工作站之間移動物品的系統。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印絜 本發明的另一目的爲提供可用來在不顯著中斷運送器 ·‘ 的操作下在運送器與工作站之間自動傳遞物品的傳遞系統 0 本發明的另一目的爲_提供用來在運送器與處理機的裝 ~ 載口之.間移動扣持多個半導體晶圓的運輸箱或其他容器的 傳遞系統。 本發明的較一般的目的爲提展可被有效率地建構，操 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公笼） 505605 A7 B7 五、發明説明（5 ) 作，及維護且與多種不同的標準裝載口相容的傳遞系統。 --------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 總括而言，本發明提供用來在一運送器與一站之間移 動物品的傳遞系統。例如，物品可爲收容諸如半導體晶圓 的一或多個物品的諸如運輸箱的運輸裝置或是其他容器， 而站可爲半導體處理機器或工作站。或者，傳遞系統可被 用來運輸空的容器。此系統包含用來移動物品的傳遞總成 。傳遞總成一般包含形成爲嚙合由運送器所托運的物品且 將物品升高至運送器上方的升高位置的升降機構。升降機 構也形成爲在物品轉回時將物品從升高位置降低至運送器 。傳遞總成也包含移位裝置，其形成爲將物品從在運送器 上方的升高位置移動至一站，將物品定位在工作站處，以 及使物品從該站轉回至在運送器上方的升高位置。 本發明的傳遞系統也包含在具有一對隔開的軌條的一 運送器與定位於運送器的一側的一站之間傳遞_品的方法 。此方法包含的步驟爲在軌條之間嚙合物品的底側且將物 品升高至升高位置，以及將物品從升高位置移動至站附近 的位置。 經濟部智慧时I局3工消f合作社却裂 從以下連同圖式的詳細敘述以及附隨的申請專利範圍 可使本發明的另外目的及特徵更顯明。 圖式簡要敘述 _ 圖1爲結合根據本發明的傳遞總成的運送器系統的例 子的示意圖。 圖2 a爲根據本發明的一實施例的圖1所示的運送器 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇·χ 297公爱） -8- 505605 A7 _B7______ 五、發明說明（6 ) 系統的一部份的立體圖。 圖2 b爲根據本發明的另一實施例的圖1所示的運送 器系統的一部份的立體圖。 圖3 a爲沿圖2 a的線3 a — 3 a所取的剖面圖。 圖3 b爲沿圖2 b的線3 b - 3 b所取的剖面圖。 圖4爲根據本發明的一對„傳遞總成的立體圖。' 圖5至8爲圖4的傳遞總成的剖面圖，顯示運輸箱從 運送器至工作站的移動。 圖9爲根據本發明的另一實施例的顯示於退回位置的 傳遞總成的立體圖。 圖1 0爲顯示於升高位置的圖9的傳遞總成的側視圖 〇 圖1 1爲顯示於將運輸箱從裝載口升高之前的伸出位 置的圖9的傳遞總成的立體圖。 圖1 2爲顯示於圖1 1的位置的圖9的傳遞總成的僩 視圖。 圖13爲顯示於支撐運輸箱的升高位置的圖9的傳遞 總成的側視圖。 圖1 4爲顯示於運輸繪被定位在運送器上的退回位置 的圖9的傳遞總成的側視圖。 圖1 5爲顯示於伸出位置的谓9"~的傳遞ΙΪ成的示意圖 〇 圖1 6爲顯示於退回位置的根據本發明的另一實施例 的傳遞總成的頂視圖、 / _ 本紙張尺度適用中a國家標準(CNS)A4規格（210x297公楚) _ --------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) . -9- 505605 A7 B7 五、發明說明（7 ) 圖17爲顯示於支撐運輸箱的伸出位置的圖16的傳 遞總成的側視圖 〇 元件對照表 10 傳遞總成 12 物品，運輸、箱 14 運送器，運送器系統 16 站，工作站 16 處理機器 18 場 2 1 動力匯流排 2 2 裝載口 2 3 運動銷 2 4 堆料機 3 2 驅動軌條 3 4 空載軌條，支撐軌條 3 6 驅動系統 3、8 _動輪子 4 0 凹槽 4 1 滾子 4 4 — — 連接器 4 6 襯墊或緩衝材料. 4 8 底扳 4 9 ' 固定支座〜 --------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 'f·- 本紙張尺度適請國家標準議a娜_ 一 505605 A7 B7 嶝濟部智慧时產局員工消费合泎fl印沒 五’ •發明說明（8 ) 6 0 支座 6 2 升降機構 6 4 第一部份 6 6 第二部份 7 0 凹處 7 2 固定板 。 7 4 水平引導槽 溝 7 6 鉛垂引導槽 溝 7 8 凸輪總成 8 0 轉子 8 2 凸輪連桿組 8 4 銷 8 6 引導銷 9 0 移位系統 9 2 輪子 9 4 馬達 9 6 減速齒輪 9 8 無端皮帶 1 1 0 傳遞總成 1 1 2 支座 1 1 4 — 移1立總成 1 1 5 支撐軌條 1 1 6 支撐構件 1 1 7 X軸輪子 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 505605 A7 B7 五 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 經濟邡智慧財產局員工消費合作；^^¾ 發明說明 18 19 2 0 2 2 2 4 2 6 2 8 3 0 3 2a 3 2b 3 2c 3 2 d 3 2 e 3 2 f 3 4 3 6 3 6a 3 6b 3 8 4 0 4 2 4 8 5 0 5 2 (9 ) 凸緣 板件 圓緣 隙孔 基板 滑動總成 外殼 外殼 連桿 連桿 連桿 連桿 連桿 連桿 滑輪 皮帶. 皮帶 皮帶 馬達 第一塊件 第二通件 升降總成 線性滑件 支座 _ --------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) . 表紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公笼） •12 505605 Α7 Β7 五、發明說明（10) 熳濟邨智慧財產局3工消費合作钍印製 1 5 4 螺母 1 5 6 導螺桿 1 5 8 馬達 1 6 0 皮帶 1 6 2 支座 1 6 8 滑動總成 2 0 0 傳遞總成 2 0 2 升降機構 2 0 4 銷 2 0 6 致動器 2 1 6 延伸總成 2 1 8 支座 2 2 0 機械臂 2 2 2 機械臂 2 2 4 驅動總成 2 2 6 外殼 2 2 8 齒輪 2 3 0 齒輪 2 3 2 第一連桿 2 3 4 第二連桿 2 3 6 樞軸. 2 3 8 齒輪· 2 4 0 齒輪 2 4 2 致動器 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 表紙張尺度適用中S國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公楚） -13- 505605 A7 B7 五、發明說明（11) 本發明的詳細敘述 ^ _ 以下詳細參考圖式中所示的本發明的較佳實施例。在 圖中，相同的組件由相同的參考數字表示。首先參考圖 1至3。 本發明的傳遞總成1 0特別適合於用來在運送器1 4 與例如工作站的站1 6之間傳遞一或多個物品1 2。在所 示的本發明的實施例中所述的一應用中，傳遞總成1 〇被 用來在運送器與處理機器之間移動收容半導體晶圓W的運 輸箱或其他容器。但是，應瞭解傳遞總成1 〇不受限於半 導體的處理。除了晶圓運輸，傳遞總成可被用來在運送器 與站之間傳遞其他類型的材料，特別是處理材料時必須非 常小心的精緻材料，例如藥品，醫療系統，平坦面板顯示 器，硬碟驅動器及其他類型的電腦設備，以及石印術線網 。爲方便起見在整個敘述中使用術語「運輸裝置」或「運 輸箱」，但是應瞭解本發明的傳遞總成可與任何物品一起 使用，包括運輸箱，固持半導體晶圓或其他物件的容器， 托板，或在不須分開的運輸裝置下可由運送器直接運輸的 i - ； 物品，以及空的容器（但是不受限於這些）。 y \ 在半導體處理的領域中，製造設備典型上被組織成各 ； 包含數個處理機器的多個場。圖1顯示具有數個處理機器 i ： 1 6的場1 8的可能例子，處理機器1 6包含用來將膜澱 ： 積在晶圓上的設備，用來在不同階段淸潔及/或調整晶圓 ； 的設備，及類似者·（但是不受限於這些）。如此領域中所 I . 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） --------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一· -14- 505605 A7 ___B7__ 五、發明說明（12 ) 熟知的，處理機器的入口通常設置有裝載口2 2，晶圓可 於裝載口 2 2處在被保護的環境中從運輸箱或其他容器被 自動地移去。如以下會更詳細地敘述的，本發明的傳遞總 成1 0將運輸箱堆積在裝載口 2 2上。一旦運輸箱被正確 地定位在裝載口處，運輸箱自動地打開，並且晶圓由機械 臂裝置從運輸箱取出。應瞭解本發明的傳遞總成可與不包 含裝載口的工作站1 6 —起使用，只要工作站包含可放置 物品1 2的架子，表面，或其他支座即可。或者，傳遞總 成1 0可被用來在工作站處將物品1 2支撐於定位，在此 情況中物品1 2不會堆積在工作站上。 運送器14將物品從處理機器1 6移動至處理機器 1 6。在所示的例子中，運送器1 4配置成環繞場1 8的 連續路徑。但是，在其他的路徑組態中，運送器1 4可包 含一或多個交叉部份，其可被使用成爲至場18的其他區 域的捷徑，或是成爲在不中斷主迴路上的交通流下將運輸 箱從主運送器迴路暫時移去的保持區域。運送器1 4的組 態根據特定製造設備的限制而有大幅的變化。場間運送器 在場之間運輸運輸箱，而堆料機2 4在場間運送器與運送 器1 4之間傳遞運輸箱。^ 傳遞總成10特別適合於與待審中的美國專利申請案 序號^第09/ 1 0 3，479號中所示~~的運送器系統類型 一起使用，上述申請案的整個揭示在此倂爲參考。如圖1 至3中所示，運送器系統14 一般包含一對軌條3 2， 3 4，用來在運輸箱沿著運送器路徑移動時支撐運輸箱。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · 經濟部智慧財產局3工消費合作社却製 15〃 505605 A7 _ B7__ 五、發明說明（13) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 軌條3 2作用成爲沿著軌條3 2，3 4推進及選擇性地引 導運輸箱1 2的驅動軌條。眉來f動運輸箱1 2的所有推 進動力是經由驅動軌條3 2供應。動力可經由傳統機構而 供應至驅動軌條32。或者，動力可藉著動力匯流排21 (顯示於圖3 a中）而供應至驅動軌條3 2。軌條3 4爲 無載軌條或支撐軌條，其主要功能爲支撐運輸箱，’使得運 輸箱在沿著運送器路徑移動時保持於水平方向。選擇性地 ’支撐軌條3 4可與驅動軌條3 2相對地被用來在運輸箱 沿著運送器系統行進時引導運輸箱。運送器系統1 4也包 含用來移動晶圓或其他材料的運輸裝置。在此實施例中， 如圖2及3所示，運輸裝置爲運輸箱的一部份。在本發明 的另一實施例中，運輸裝置可爲另一容器或物品的一部份 ，或是運輸裝置可爲可被用來沿著運送器運輸材料的分開 的裝置。
驅動軌條3 2包含以3 6槪括指示的驅動系統，用來 沿著軌條3 2，3 4推進運輸箱1 2。在所示的本發明的 實施例中，驅動系統3 6包含從驅動軌條3 2的上表面凸 多個輪子3 8。驅動輪子3 8摩擦性地嚙合運輸箱的 i .. I 底側，以沿著驅動軌條3 2推進運輸箱。驅動系統3 6也 | 包含用來驅動輪子的機構，例如連接於輪子的馬達及皮帶 i 。馬達最好獨立地操作，以提供多個獨立受控制的驅動區 ί ： 域，使得每一區域的驅動速率及.方向（向前或反向）可被 ： 獨立地控制。相鄰操作區域的輪子3 8以相同的比率被加 ； 速及減速，使得在傳遞時，在相鄰區域中由輪子加於運輸
I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格(210 X 297公;Ϊ ) _ 16 _ 505605 Α7 .· _Β7 _ 五、發明說明（14) 箱上的速率在區域之間的傳遞時被同步化。當運輸箱沿著 谭篆器被推進時，只有正在運輸箱Τ兔的操作區域以及相 鄰於運輸箱的一或多個區域在任何時刻均作動。此減小系 統的功率消耗，並且延長驅動系統3 6的組件的操作壽命 。在其他運輸箱下方及相鄰於其他運輸箱的驅動區域可保 持於靜止或不作動模式，容許多個運輸箱蓄積在運送器的 一區域中，例如在處理機器1 6之一的前面。運輸箱可藉 著至少一其中沒有任何運輸箱的空區域而互相分開，或者 運輸箱可放在相鄰的區域中。驅動系統3 6的操作是由一 控制系統來控制。控制系統也較佳地包含一或多個感測器 來監視運輸箱沿著運送器的行進。控制系統在待審中的美 國專利申請案序號第09/212，002號中有更完全 的敘述，此申請案的整個敘述在此倂爲參考。 μ. I ，才 4 μ (淆先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如圖3所示*驅動輪子3 8與在此實施例中爲運輸箱 的一部份的運輸裝置合作，以沿著路徑推進及選擇性地引 導運輸箱。驅動輪子38嚙合形成於運輸箱的底側的凹槽 4 0或其他合適的表面。凹槽4 0界定其中運輸箱坐在驅 動輪子3 8上的水平平面。驅動輪子3 8與凹槽4 0之間 的嚙合控制運輸箱的橫向或側邊至側邊的移動以及運輸箱 的鉛垂移動。雖然凹槽4 0與驅動輪子3 8的組合較佳， 但是應瞭解可完全不需要凹槽4 0，只要運輸裝置，驅動 軌條3 2，或空載軌條3 4包含用來在運輸箱沿著軌條 3 2，3 4移動時引導運輸箱的引導裝置即可。在另一實 施例中，空載軌條3 4引導運輸裝置，亦即其與運輸裝置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公« ) -17- 505605 A7 ____'_ B7_, 五、發明說明（15) 合作來限制裝置於鉛垂及橫向方向的移動，並且在此·情況 中，驅動軌條J 2只會限制運輸裝置的鉛垂移動^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 空載軌條34平行於驅動軌條32且與其隔開。一或 多個連接器44安裝於驅動及空載軌條32，34,以在 軌條之間保持預定的間隔，並且方便運送器的安裝。驅動 軌條3 2及連接器4 4可安裝於合適的安裝框架，或藉著 高架框架（未顯示）而從天花板懸吊，或是由處理工具或 工作站直接或間接地支撐。運輸箱沿著空載軌條3 4的上 表面跨騎，而空載軌條3 4與運輸裝置合作以支撐運輸箱 的一側。在所示的實施例中，襯墊或緩衝材料4 6沿著軌 條3 4的上表面設置，以對運輸箱提供較平滑的騎乘，但 是如果想要可省略襯墊4 6，並且運輸箱可直接騎乘在軌 條3 4的上表面上。或者，襯墊，緩衝，或彈性材料可結 合於驅動輪子的外周邊。由在此處爲運輸箱的運輸裝置承 載的至少一底板4 8沿著空載軌條3 4的上表面跨騎。底 板4 8較佳地由輪子提供，但是底板也可採取其他形式， 包括具有抗摩擦塑膠表面的固定支座λ空氣軸承，以及磁 浮軸承（但是不受限於這些）。當運輸箱沿著運送器14 Λ I 推進時，底板4 8沿著空載軌條3 4跨騎，以用將運輸箱 r I 的碰撞，顛簸，或震顫減至最小的方式來支撐運輸箱，因 而容許運輸箱以平滑受控制的方式移動。 在圖2 b及3 b所示的另一實施例中，底板4 8是由 固定支座4 9提供。在此實施例中，空載軌條3 4包含用 來支撐固定支座4 9的多個滾子4 1。滾子4 1在運輸箱 本纸張尺度適用中國S家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） • 18 - 505605 A7 B7 五、發明說明 沿著空載軌 底舰上。固 一實施例中 。爲提供引 引導裝置結 底板可結合 未顯示）的 滾子4 1。 4 8可採取 其他形式。 雖然在 案序號第0 (16) 條3 4 定支座 ，空載 導，底 合於空 引導裝 固定支 應瞭解 許多對 行進時 4 9較 軌條3 板4 8 載軌條 置。例 座提供 雖然敘 運輸裝 將固定 佳地具 4對運 或空載 的一例 如，底 ，而凹 述底板 置提供 支座4 有Jt赛 輸裝置 軌條3 子爲利 板4 8 槽嚙合 的特定 支撐或 9支撐在 擦塑膠表 提供引導 4包含引 用v軌條 可由形成 空載軌條 實施例， 支撐及引 運輸箱的 面。在另 以及支撐 導裝置。 。或者， 有凹槽（ 3 4上的 但是底板 導功能的 較佳實施例中，傳遞總成1 0與待審中的申請 9/103，479號的運送器系統14 一起 使用，但是應瞭解傳遞總成1 0也可與其他類型的運送器 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Θ i裝 - 一起使用。
運輸箱1 2藉著傳遞總成1 0而從運送器1 4被自動 移至工作站1 6以用於處理，測量，及/或只是儲存，然 後回至運送器1 4。如上所討論，傳遞總成1 〇特別適合 於用於半導體處理的領域，但是在本發明的範圍內也可用 於其他的應用。在所示的實施例中，其中傳遞總成1 0與 運送器1 4 一起使用，運輸箱1 2必須從運送器1 4脫離 ，亦即運輸箱1 2必須充分地升高至驅動及空載軌條3 2 ，34上方，使得凹槽· 40離開驅動軌條32，而底板 4 8離開驅動及空載軌條3 2，3 4。在運輸箱1 2回至 運送器之後，運輸箱必須與運送器1 4準確地對準，使得 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -19 - 505605 A7 _____ B7____ 五、發明說明（17) 凹槽4 0或其他合適的表面坐在驅動輪子3 8上，並且底 板4 8坐在空載軌條3 4上_。導輸箱1 2與裝載口 2 2的 對準也必須被精確地控制。如此技術中所熟知的，裝載口 2 2包含嚙合在運輸箱的底側上的槽溝（未顯示）的多個 運動銷2 3 (圖4)。用來對準運輸箱的運動銷或聯結器 的使用及敘述可參考某些半導體設備及材料國際（（ Semiconductor Equipment and Material International ( SEMI®))工業標準，例如SEMI E47·1— 0298，SEMI E57-0298，SEMI E15· 1-0298，及 SEMI E19 .4-94 (但是不受限於這些），其相關的規定在此倂爲參考。在 運輸箱1 2下降至裝載口 2 2上之前，槽溝必須與裝載口 上的運動銷2 3小心地對準。運送器上的一或多個感測器 (未顯示）證實運送器上的運輸箱12準確地放置在裝載 /卸載位置，以藉著傳遞總成1 0在運送器與裝載口之間 傳遞運輸箱。以下參考圖4至8更詳細地敘述傳遞總成 10° 〜 傳遞總成1 0 —般包含連接於升降機構6 2的支座 ξ 60。在圖4至8所示的實施例中，支座60在運送器 j I 1 4與工作站1 6之間延伸。支座6 0包含嚙合運輸箱 1 2的底側且將運輸箱從運送器1 4升高的第一部份6 4
I : ，以及在運輸箱下降至裝載口22上時支撐運輸箱的第二 : 部份6 6。第一部份6 4形成爲與運送器1 4的組態互補 ； ，亦即第一部份6 4形成爲當支座6 0相對於運送器升高
I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 0L ——裳
-20- 505605 ·· A7 ^___B7_______ 五、發明說明（18) 時容納驅動及空載軌條32，34。在所示的實施例中， 第一部份6 4大笔位在驅Jl與空載軌條3 2，3 4之間' 凹處7 0形成爲較佳地在不接觸軌條之下接收驅動及空載 軌條3 2，3 4，使得第一部份6 4嚙合運輸箱1 2在軌 條之間的區域的底側。但是，在本發明的其他實施例中， 支座的第一部份6 4可向空載軌條3 4的外側延伸，以升 高運輸箱1 2延伸超過空載軌條3 4的部份。在驅動與空 載軌條3 2，3 4較靠近地放置在一起的情況中，或是在 運輸箱1 2或其他裝置比軌條3 2，3 4之間的間隔寬很 多的情況中，此可能爲想要有的組態。應瞭解支座6 0的 第一部份6 4的形狀大致上是由軌條之間的間隔及運輸箱 1 2如何坐在軌條上來決定。 支座6 0的第二部份6 6形成爲與裝載口 2 2的組態 互補。在所示的實施例中，特別是如圖4所示，第二部份 6 6是由被定位在裝載口 2 2的相反兩側的一對懸臂腿提 供。此組態容許支座的第二部份6 6在運輸箱從運送器移 動至處理機器時被升高至裝載口的表面上方。當運輸箱與 t 裝載口 2 2鉛垂對準時，運輸箱1 2可藉著降低支座6 0 \ 以將第二部份6 6的表面移動至裝載口的表面下方而被放 y \ 在裝載口上。所示實施例的第二部份6 6的組態特別有利 ，因爲不須修改現有的裝載口，只要裝載口比運輸箱1 2 ( 的寬度窄。但是，應瞭解在本發明的範圍內’第二部份
I :6 6可具有其他的組態，並且本發明不受限於剛剛敘述的 ； 持定實施例。例如，裝載口可設置有一或多個向內延伸的 j 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公发〉 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Θ 丨丨裝 -
-21 - 505605 A7 ___ B7__ • - _ - 五、發明說明（19) 槽溝，並且第二部份可被定位在槽溝中。 在所示的實施例年，特別是如圖5所示，第二部份_ 6 6與支座6 0的第一部份成整體地形成。.如果想要，第 一及第二部份可由利用適當的安裝裝置固定在一起的分開 的組件形成，或是由個別安裝於升降機構6 2的分開的組 件形成，以使得一升降機構可被用來同時升高及降低第一 及第二部份6' 4，66。或者，第一及第二部份64， 6 6可爲個別由不伺的升降機構升高的分開的組件。.此選 擇在運輸箱或其他物品是藉著支座6 0的第二部份而非裝 載口或類似結構而被固持於工作站處的應用中很有用，容 許支座的第一部份下降成使得第一部份不會干涉運送器的 操作。 升降機構6 2控制支座6 0相對於運送器1 4及裝載 口的升高及降低。升降機構一般包含安裝於適當的框架（ 未顯示）的一對固定板7 2。固定板7 2可安裝於支撐運 送器1 4的相同框架或是安裝於分開的框架。固定板7 2 包含水平引導槽溝7 4及鉛垂引導槽溝7 6。特別是如圖 5:全8所示，升降機構6 2也包含用來升降支座6 0的凸 .· · 輪總成7 8。凸輪總成7 8包含安裝於支座6 0的一對隔 開的轉子8 0，以及在轉子8 0之間延伸且經由由轉子 8 0承載的銷8 4而連接於轉子8 0的凸輪連桿組8 2。 銷8 4延伸通過形成於固定扳7 2的水平引導槽溝7 4。 當銷8 4藉著轉子8 0的旋轉而於圓形路徑移動時，銷 8 4沿著引導槽溝7 4滑動。由支座承載的引導銷8 6沿 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） — ' " -22- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Θ —裝 •laj·.
505605 A7 ___B7_— 五、發明說明（20) 著鉛垂引導槽溝7 6滑動，以確保支座6 〇在小g _任 何橫向搖動下f給垂方向上下移動。或者，升降機構6 2 可包含具有單一馬達驅動器（未顯示）的數個同# 。另外，升降機構可包含其他合適的組件來取代這些特定 例子中所給予的，例如連桿組系統或氣動缸筒系統 圖5顯示在下降位置的支座6 0，其中轉子8 〇的方 向成爲使得銷8 4被定位在轉子的中心軸線的上方。轉子 於任一方向的1 8 0度的旋轉使銷8 4移動至在轉子8 〇 -的軸線的下方的位置，如圖6所示。當銷84在圖5與6 所示的位置之間行進時，銷8 4沿著槽溝7 4行進，並且 相對於固定板7 2升高支座6 0，以將運輸箱1 2升高至 運送器1 4的高度的上方。支座6 0是藉著旋轉轉子 1 8 0度而下降，以使銷8 4回至在轉子軸線上方的位置 ，如圖8所示。 傳遞總成1 0另外包含移位系統9 0，用來將運輸箱 1 2從運送器1 4移動至裝載口上方的位置，以及在完成 處理或其他目的之後使運輸箱1 2回至運送器1 4。在所 示的實施例中，多個輪子9 2沿著支座6 0設置。特別是 如圖6及7所示，運輸箱1 2被直接支撐在輪子9 2上。 輪子9 2被配置成二平行列，以支撐運輸箱1 2的相反兩 側。輪子9 2經由減速齒輪96及無端皮帶9 8而連接於 馬達9 4，其驅動輪子9 2以推進運輸箱1 2橫越支座 6 0而至支座的第二部份6 6。馬達9 4也於反向操作， 以於相反方向驅動輪子9 2，並且使運輸箱1 2回至支座 本紙張心度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公《 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) § !裝
-23- 505605 A7 _______Β7____ 五、發明說明（21) 6 0的第一部份6 4。在支座6 0的兩側的輪子9 2可被 _相同的馬達或被不同的馬達驅動1應^解可使用其他的機 構來對輪子9 2提供動力，或是推進運輸箱1 2橫越支座 6 0。 雖然未顯示，但是轉子8 0及馬達9 4連接於控制升 降機構及移位系統的啓動及操作的控制裝置。控制’裝置較 佳地連接於運送器1 4的控制系統，以使傳遞總成與運送 器的操作同步化0也可設置一或多個感測器（未顯示）來 偵測運輸箱1 2在支座上的位置。 所示實施例的傳遞總成1 0的操作順序顯示在圖5至 8中。在圖5中，運輸箱1 2已經被運送器1 4移動至在 裝載口 2 2的前方的位置。轉子8 0啓動以將支座6 0升 高至圖6所示的位置。當支座6 0向上移動時，支座嚙合 運輸箱12的底側，並且將運輸箱1 2升高至運送器1 4 的高度的上方。一旦在升高位置，馬達94啓動以於向前 方向旋轉輪子9 2，以從圖6所示的位置推進運輸箱1 2 橫越支座6 0至圖7所示的位置，運輸箱1 2於該處與裝 載口 2 2上的運動銷對準。當運輸箱1 2被定位在支座 ； 6 0的第二部份6 6上時，轉子8 0啓動以降低支座6 〇 | ，並且將運輸箱12放在裝載口22上，如圖8所示。 i 在運輸箱12已經移至裝載口22上之後，支座6〇 i 、' 停留在圖8所示的下降位置，容許一或多個運輸箱1 2在 ! 丨 不受干擾下沿著運送器14行進。如此，傳遞總成10提 ； 供在不中斷運送器14的操作下用來傳遞運輸箱至工作站
I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公《 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) § —裝 線· -24- 505605 A7 _ B7_ 五、發明說明（22) 的方便且有效率的機構。在處理機器包含如圖4所示的多 個裝載口的情況中，此特徵特別有利，因爲運輸箱1 2可 經過位在一裝載口.處的運輸箱而移動至空的裝載口或是下 一處理機器。此特徵也在製造設備可能包含在處理場中緊 鄰定位的完全相同的機器的情況中特別有利。 在由運輸箱1 2托運的晶圓已經被處理之後，'升降機 構6 2啓動以升高支座6 0，使得支座將運輸箱1 2從裝 載口 2 2升高。一旦運輸箱在升高位置，馬達9 4啓動以 於反方向轉動輪子，並且使運輸箱轉回橫越運送器。當馬 達停止怍動以停止運輸箱的移動時，運輸箱是在運輸箱底 側上的凹槽4 0或其他合適表面以及底板4 8與驅動及空 載軌條32，3 4鉛垂對準的位置。然後，升降機構啓動 以降低支座6 0，因而將運輸箱1 2放在運送器1 4上， 並且運送器開始將運輸箱12推進至下一處理機器。 以圖4至8所示的傳遞總成1 0，運輸箱1 2藉著從 運送器1 4延伸至裝載口 2 2的支座而升高至運送器的上 方。然後，運輸箱1 2藉著推進運輸箱橫越支座而從運送 器1 4移至裝載口 2 2以及轉回。圖9至1 5顯示用來在 ί 運送器14與工作站之間移動運輸箱12的傳遞總成 ； 1 1 0的另一實施例。圖9顯示在運輸箱1 2已經下降至 ; 裝載口 2 2上之後的在退回位置的傳遞總成1 1 0。在此 ： 位置時，傳遞總成1 1 0在驅動及空載軌條3 2，3 4的 ； 高度的下方，使得一或多個運輸箱1 2可在上述的運輸箱 ； 1 2位在裝載口之一上的同時移動經過裝載口 2 2。如此 i 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Θ ——裝
• 25 - 505605 A7 ______B7___ 五、發明說明（23 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ，傳遞總成1 1 0不會干擾運送器1 4的操作。在本發明 的某—些鼠用中’例如在不容許運輸箱1 2霞其他物品跳過 工作站或移動經過其他運輸箱1 2的情況中，或是在傳遞 總成1 1 0也作用來在工作站處支撐物品的情況中，傳遞 總成1 1 0不須退回至運送器1 4的下方。 傳遞總成1 10 —般包含支座1 1 2，以及藉1著相對 於運送器1 4及裝載口 2 2的高度升降支座1 1 2且在運 送器1 4與裝載口 2 2之間伸出及退回支座1 1 2的移位 總成1 1 4。爲使運輸箱1 2回至運送器，移位總成 1 1 4被致動，以將支座1 1 2從圖9所示的退回位置移 動至圖1 0所示的升高位置。其次，移位總成1 1 4被致 動’以將支座1 12移動至圖1 1及1 2所示的伸出位置 ’因而將支座11 2在裝載口 2 2的任一側定位在運輸箱 1 2 1的下方。然後，移位總成1 1 4被致動，以相對於 裝載口 2 2升高支座1 1 2，使得支座1 1 2嚙合運輸箱 1 2的底側，並且將運輸箱升高至裝載口 2 2的上方。然 後，支座1 1 2被移位總成1 1 4退匣至圖1 3所示的位 置，然後下降至圖1 4所示的位置，而傳遞總成1 1 〇退 回至運送器1 4以及定位在驅動及空載軌條3 2，3 4上 的運輸箱12的高度的下方。 爲將運輸箱1 2傳遞至裝載口 2 2，支座1 1 2從圖 1 4所示的退回位置移至圖1 3所示的升高位置，因而將 運輸箱1 2從運送器1 4升高。在此位置時，不像在圖 10所示的升高位置，支座112被升高至完全上升的位 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -26- 505605 . A7 ____B7___ 五、發明說明（24) 置’使得運輸箱1 2在裝載口 2 2的高度的上方。在圖 10中，支座11 2被升高至較低货高度，使得支座 1 1 2比被支撐在裝載口上的運輸箱1 2的高度低。移位 總成1 1 4將升高的支座1 1 2及運輸箱1 2伸出以將運 輸箱1 2定位在裝載口 2 2的上方。然後，支座1 1 2降 低，以將運輸箱1 2定位在裝載口 2 2上，如圖1 1、及 12所示。一旦在定位，支座112回至運送器14，如 圖1 0所示，並且退回至驅動及空載軌條3 2，3 4的高 度的下方，如圖9所示。 特別是如圖1 0所示，支座1 1 2 —般包含一對隔開 的支撐構件1 1 6。支撐構件1 1 6各包含形成爲支撐運 輸箱1 2的外部邊緣的L形凸緣1 1 8。從凸緣1 1 8向 上凸出的圓緣12 0坐在形成於運輸箱的基板1 2 4的隙 孔1 2 2中，以在運輸箱在運送器1 4與裝載口 2 2之間 移動時穩定運輸箱1 2以不使其移位。取代圓緣1 2 0及 L形凸緣1 1 8或是除了在圓緣1 2 0及L形凸緣11 8 之外，可使用其他機構來將運輸箱1 2固定於支撐構件 1 1 6。應瞭解支撐構件1 1 6的組態可能有很大的變化 ，並且部份取決於運輸箱1 2的基座的組態。 移位總成1 1 4 一般包含一對隔開的滑動總成1 2 6 ，其中之一顯示在圖1 5中，用來在裝載口. 2 2與運送器 1 4之間伸出及退回支座。滑動總成1 2 6包含設置在外 殻128，130及支撐構件116中的多個連桿 1 3 2 a至1 3 2 f ，特別是如圖1 1及1 2所示。連桿 ^纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公芨）— 一 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) β ---裝 -
505605 A7 ________B7____ 五、發明說明（25) 13 2 b至1 3 2 e被限制成於箭頭的線性方向滑動。連 桿1 3 2 a至1 3 2 d的每一個包含設置於連桿1 3 2a 至1 3 2 d的任一端處的一對滑輪1 3 4，以及繞滑輪 1 3 4延伸的連續皮帶1 3 6。皮帶1 3 6較佳地由可抵 抗拉伸的材料形成，以在滑動總成1 2 6的重複操作期間 使滑動總成1 2 6由可靠的操作。馬達1 3 8連接於滑輪 1 3 4之一，較佳地爲連桿1 3 2 a的第一滑輪1 3 4。 在所示的實施例中"，馬達1 3 8連接於二滑動總成1 2 6 的第一滑輪1 3 4，但是應瞭解在本發明的其他實施例中 ，可採用分開的馬達。馬達1 3 8收容在U形外殻1 2 8 內，特別是如圖1 1所示。 第一塊件14 0安裝於連桿1 3 2 b的底側，並且連 接於由連桿13 2 a承載的皮帶1 3 6 a。第二塊件 1 42從連桿1 3 2 a向上延伸，並且連接於由連桿 132b承載的皮帶136b。類似地，連桿132c至 1 3 2 e的每一個包含從連桿1 3 2 b至1 3 2 e向下延 伸且連接於其下連桿的皮帶1 3 6的塊件1 4 0。連桿 l:」3 2b至1 32d也包含從連桿1 32b至1 3 2 d向 上延伸且連接於其上連桿的皮帶1 3 6的塊件1 4 2。塊 件140，142將連桿132a至132e連接在一起 ，以產生連桿1 3 2 a至1 3 2 e的相對線性移動。注意 第一連桿1 3 2 a ，馬達1 3 8交替地於向前及反向方向 驅動第一滑輪1 3 4，以於順時針及逆時針方向繞滑輪 134移動皮帶136a。皮帶136a的此移動造成塊 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) !裝
-28- 505605 A7 ..__B7___ 五、發明說明（2e) 件14 0沿著連桿1 3 2 a前後移動，而承載連桿 1 3 2 b的塊件1 4 _〇相對於連桿1 3 2 a前後移動。當 連桿1 3 2 b相對於連桿1 3 2 a前後移動時，塊件 142使由連桿132b承載的皮帶136b繞連桿 1 3 2 b移動。此過程對連桿1 3 2 b至1 3 2 d的每一 個重複。末端連桿1 3 2 e藉著塊件1 40而相對於連桿 1 32d移動，並且不須滑輪1 34或皮帶1 36。 外殻128連接於連桿132a ，二者保留在驅動與 空載軌條3 2，3 4之間。外殻1 3 0連接於連桿 132c，使得外殻130與連桿132c —起前後移動 。連桿1 3 2 e附著於支撐構件1 1 6，使得支撐構件 116與連桿一起移動。外殼128，130及支撐構件 形成爲使得其在退回時嵌套在一起，如圖1 0所示。 移位總成1 14另外包含用來升降滑動總成1 2 6的 升降總成1 48。如圖1 5所示，升降總成1 48包含安 裝於支座1 5 2及連桿13 2 a的線性滑件1 5 0。螺母 1 5 4安裝於滑件1 5 0且連接於導螺桿1 5 6。馬達 1 5 8經由皮帶1 6 0驅動螺桿1 5 6來使滑件1 5 0相 ； 對於支座152伸出及退回，因而升降滑動總成126。 ； 升降總成1 48可包含一滑件1 50，其連接於附著於二 丨 滑動總成126的連桿132a的支座162。或者，升 降總成1 4 8可包含一對滑件1 5 0，一滑件附著於一滑 動總成126。當採用多個滑件150時，滑件150較 佳地由一共同馬達1 5 8驅動，以確保滑件的移動被精確 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210 X 297公« ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 0L !裝 .
-29- 505605 A7 _ B7___ 五、發明說明（27) 地同步化，並且將升降總成1 4 8的組件減至最少。但是 ，應瞭解_也可採用分開的馬達以及其他合適的組」牛。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖9至1 5所示的傳遞總成1 1 0特別適合與包含多 個裝載口 2 2的處理機器一起使用。不像先前的實施例中 對每一裝載口 2 2需要有分開的傳遞總成，可使用一傳遞 總成1 10於單一處理機器的多個裝載口。傳遞總成 1 1 0另外包含於平行於運送器1 4的方向移動支座 1 1 2及移位總成1 1 4的滑動總成1 6 8，以將支座 1 1 2定位在所選擇的一裝載口 2 2的前方。當支座 1 1 2被定位在所選擇的裝載口的前方時，移位總成 I 1 4升高支座1 1 2以將運輸箱從運送器升高，然後朝 向工作站移動支座1 1 2及運輸箱1 2，以如上所述地將 運輸箱1 2傳遞至裝載口 2 2。
滑動總成1 6 8可包含標準的商業上可得的線性致動 器。線性致動器可爲皮帶驅動或導螺桿驅動。明確地說， 滑動總成16 8可選擇自可從Parker Motion & Contirol獲得 的H L E系列線性驅動器（Series Line a〜r Drives )之一。如 圖9至1 2所示，傳遞總成1 1 0另外包含用來支撐承載 在扳件1 19的底部表面上的X軸輪子1 1 7的支撐軌條 II 5。參考圖1 0及1 2，支撐軌條1 1 5安裝於運送 器1 4，並且支撐安裝於板件1 1 9的底側的輪子1 1 7 。板件1 19安裝於左右滑動的移位總成1 1 4。當傳遞 總成1 1 0在如圖1 1所示的伸出位置時，此配置對滑動 總成1 6 8上的懸臂負荷提供支撐。滑動總成1 6 8及支 表纸張尺度適用中S國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -30- 505605 A7 ____B7_ 五、發明說明（28) 撐軌條1 1 5根據特別的應用而改變長度。 _ 當傳遞總成1 1 0與包含數個裝載口 2 2的處理機器 一起使用時，滑動總成1 6 8提供相當的撓性。當與單一 裝載口機器一起使用時，可不須滑動總成1 6 8，以減小 傳遞總成110的成本及尺寸。 圖16及1 7顯示根據本發明的傳遞總成2 (T0的另 一實施例。傳遞總成2 0 0包含將運輸箱1 2升高至運送 器14的上方的升降機構202。在此實施例中，升降機 構2 0 2包含以與將運輸箱1 2連接於裝載口 2 2的運送 銷相同的圖案定位的多個銷2 0 4。當升降機構2 0 2被 致動器2 0 6升高時，上述的銷嚙合形成於運輸箱1 2的 底側的運動槽溝。 延伸總成2 1 6安裝在運送器1 4與裝載口 2 2之間 。在所示的實施例中，延伸總成2 1 6安裝於裝載口 2 2 的底側，但是應瞭解延伸總成2 1 6可安裝於支撐運送器 1 4的框架或是另一框架或支座。延伸總成2 1 6 —般包 含由一對機械臂220，222承載的支座2 18，其中 機械臂在圖16所示的退回位置與獨17所示的伸出位置 Ϊ 之間移動支座218。機械臂220，222由包含位在 f 外殻2 2 6中的馬達（未顯示）的驅動總成2 2 4移動。 丨 馬達連接於與齒輪2 3 0互相嚙合的齒輪2 2 8 ,使得齒 輪228的旋轉產生齒·輪2 3 0的同步且相反的旋轉。 機械臂220，222的每一個包含在一端處剛性附 ; 著於齒輪228，230之一的第一連桿232。連桿 衣紙張尺度適用中西國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---裝
• 31 - 505605 A7 ___ B7__ 五、發明說明（29) 2 3 2的另一端藉著樞軸2 3 6而可樞轉地連接於第二連 桿234的近末端。各臂2_2 0，222的第二連桿 234的遠末端剛性附著於齒輪238，240。齒輪 238，240互相嚙合以於相反方向同步旋轉。當馬達 驅動齒輪228時，連桿232，234以受控制的同步 方式樞轉，以在伸出與退回位置之間移動支座2 18於一 直線。或者，可採用其他機構來達成想要的運動，例如皮 帶，帶子，及樞轉連桿（但是不受限於這些）。 一旦支座2 1 8從裝載口 2 2上方的原始位置移至就 在升高的運輸箱1 2下方的位置，升降機構2 0 2被致動 以將運輸箱12下降至支座218上。或者，延伸總成 2 1 6可被致動器2 4 2升高以將運輸箱1 2從銷2 0 4 升高。然後，機械臂220，2回至在裝載口上方的 原始位置。然後，延伸總成2 1 6被致動器2 4 2降低， 以將運輸箱1 2放在裝載口 2 2上。可藉著升高延伸總成 2 1 6以將運輸箱1 2從裝載口 2 2升高以及驅動延伸總 成2 1 6以將支座2 1 8移至運送器4上方的位置來使 運輸箱1 2容易地回至運送器。運輸箱1 2藉著升高升降 機構2 0 2及/或降低延伸總成2 1 6而被放在升降機構 202上。在延伸總成216退回之後，升降機構202 將運輸箱1 2下降至運送器上。或者，可採用傳統的Scara/ Bifold型機械臂成爲機械臂總成。 以上爲舉例及說明的目的而敘述本發明的特定實施例 。其並非意欲列舉或限制本發明於所揭示的精確形式，在 本紙張尺度適用中S國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
訂·-
-32 - 505605 ，· A7 ___B7 ___ 五、發明說明（30) 以上的教示下明顯可有許多修正及變化。所選擇及敘述的 實施例是爲了要最隹地說明本發明的原理及其實際應用， 因而使其他熟習此項技術者可最佳地利用本發明，以及設 計具有適合於特別應用的不同修正的不同實施例。本發明 的範圍應由附隨的申請專利範圍及其等效物來界定。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） -33-

Claims (1)

  1. 505605 頁 ο ϊζ II A8 B8 C8 __ D8 ___ 六、申請專利範圍 附件A :第881 2231 3號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 民國90年12月修正 1 . 一種傳遞具有底面的容器之方法，用以將該容器 在具有〜對隔開軌條的運送器與裝載口之間作傳遞，該方 法包含以下步驟： (a )當容器安裝在軌條上時，嚙合容器的底面； (b )沿著預定的路徑，將容器升起到位於蓮送器 上面的〜終端位置上； (c )從步驟（b )所達到之位於運送器上面之終 端位置，水平移動該容器至接近裝載口的位置；及 (d )將該容器放置到裝載口上。 2 ·根據申請專利範圍第1項之方法，進一步包含以 下步驟： (e )將該容器從裝載口移除，且將該容器傳遞至 位於裝載口上面之終端位置； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (f )從步驟（e )所達到之位於裝載口上方之終 端位置，水平移動該容器至步驟（b )所達到之位於運送 器上方之終端位置；及 (g)將該容器送回運送器帶。 3 .根據申請專利範圍第1項之方法，其中在步驟（ c )中容器的移動方式包括藉由旋轉滾子而線性地傳遞該 容器。 本紙張尺度適用家標準(CNS ) A4規格(210χ297公釐）~ 一 ^ 505605
    六、申請專利範圍 (请先聞讀背面之注意事項存填寫本頁) 4 ·根據申請專利範圍第1項之方法，其中在步驟（ c )中容器的移動方式包括藉由支撐該容器的—、滑動機構 而線性地傳遞該容器。 5 ·—種將具有底面的容器傳遞至裝載Q上之系統， 包含： 一運送器，具有兩平行軌條用以支撐該容器，該運透 器係用以將容器在多個裝載口之間傳遞； 一升降機構，包括一第一裝置及一第二裝置，第一裝 置係位於該運送器的該軌條之間，用以將該容器在該運送 器與位於該運送器上面的終端位置之間傳遞，且第二裝置 係用以將該容器在裝載口與位於裝載口上面的終端位置之 間傳遞；及 一移位機構，機械式地裝附到該升降機構之第一與第 二裝置，用以支撐容器的底面且將該容器在該升降機構的 第一與第二裝置之間傳遞。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 6 ·根據申請專利範圍第5項之系統，其中該升降機 構之第一與第二裝置係偶合在一起，致使該第一與第二裝 置操作起來如同一個單元。 7 .根據申請專利範圍第5項之系統，其中該升降機 構之桌一與第二裝置是分開的零件，致使該第一與第二裝 置可以獨立操作。 8 .根據申請專利範圍第5項之系統，其中該移位機 構包括多數輪子，係可旋轉式地安裝在該升降機構之第一 與第二裝置。 本紙張尺度顧t關家標準（CNS )八槻格（210X297公釐）—-- 505605
    A8 B8 C8 D8 斤、申請專利範圍 9 ·根據申請專利範圍第8項之系統，其中該輪子是 以一驅動單元驅動，該驅動單元藉由至少一皮帶而偶合至 該輪子。 1 0 · —種將具有底面的容器傳遞至裝載口上之系統 ，包含： 一運送器，具有兩平行軌條用以支撐該容器，該運送 器係用以將容器在多個裝載口之間傳遞； 一升降機構，係位於該運送器的平行軌條之間，用於 將該容器在該運送器與位於該運送器上方之終端位置之間 作垂直傳遞； 一延伸機構，機械式地固定到該升降機構，用以嚙合 容器的底面’一旦容器從該運送器升起時用以支撐該容器 ，該延伸機構係用以將該容器在位於運送器上方的終端位 置與裝載口之間傳遞。 1 1 ·根據申請專利範圍第1 0項之系統，其中該延 伸機構包括多數互連之可滑動連桿/ 12·—種將具有底面的容器傳遞至裝載口上之系統 ，包含： 一運送器，具有兩平行軌條用以支撐該容器，該運送 器係用以將容器在多個裝載口之間傳遞； 一升降機構，包括一第一裝置及一第二裝置.，第一裝 置係位於該運送器的該軌條之間，用以將該容器在該運送 器與位於該運送器上面的終端位置之間傳遞，且第二裝置 係用以將該容器在裝載口與位於裝載口上面的舉起位置之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ297公釐） » ^ ^ 訂. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -3- 505605
    A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 間傳遞；及 一移位機構，機械式地裝附到該升降機構之第一與第 二裝置，用以嚙合該容器之底面，且將該容器在該升降機 構的第一與第二裝置之間傳遞。 1 3 .根據申請專利範圍第1 2項之系統，其中該移 位機構包括多數輪子，係可旋轉式地安裝在該升降機構之 第一與第二裝置上。 14·一種將具有底面的容器傳遞至裝載口上之系統 ，包含： · 一運送器，具有兩平行軌條用以支撐該容器，該運送 器係用以將容器在多個裝載口之間傳遞； 一支座，用以嚙合該容器之底面； 一移位組件，係位於該運送器的平行軌條之間，用以 將該容器從運送器升起到位於該運送器上方的終端位置，‘ 且用以將該容器送回至該運送器； 一滑動組件，係機械式地固定至該支座與該移位組件 ，具有多個互連的連桿，用以將該容器在運送器上面之終 端位置與裝載口上方的終端位置之間傳遞，且用以將該容 器放置到裝載口上面。 1 5 · —種將具有底面的容器在裝載口與運送器之間 傳遞之系統，該運送器具有良條平行的軌條，用.以支撐該 容器，該系統包含： 一升降機構，包括一第一裝置及一第二裝置，第一裝 置係位於該運送器的該軌條之間，用以將該容器在該運送 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ,--------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、言 經濟部智慧財產局R工消費合作社印製 505605 Α8 Β8 C8 D8
    六、申請專利範圍 器與位於該運送器上面的終端位置之間傳遞，且第二裝置 係用以將δ亥谷器在裝載口與位於裝載口上面的終端位置之 間傳遞；及 一移位機構，機械式地裝附到該升降機構之第一與第 二裝置’用以支撐該容器之底面，且將該容器在該升降機 構的第一與第二裝置之間傳遞。 1 6 · —種將具有底面的容器在裝載口與運送器之間 傳遞之系統，該運送器具有良條平行的軌條，用以支撐該 容器，該系統包含： — 一升降機構，係位於該運送器的平行軌條之間，用以 將該容器在運送器與位於運送器上方的終端位置之間垂直 傳遞； 一延伸機構，係機械式地固定到該升降機構，用以嚙 合容器的底面，一旦容器從該運送器升起時用以支撐該容 器，該延伸機構係用以將該容器在位於運送器上方的終端 位置與裝載口之間傳遞。 „----------------IT------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐）
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