NL2031799B1 - Werkwijze en inrichting voor het nabewerken van behuisde geïntegreerde circuits - Google Patents

Abstract

De onderhavige uitvinding betreft een inrichting voor het nabewerken van behuisde geïntegreerde circuits, omvattende een doorvoerlijn, die zich van een invoerlocatie uitstrekt langs ten minste één nabewerkinrichting voor het 5 nabewerken van behuisde geïntegreerde circuits tot een uitvoerlocatie, voor het over de doorvoerlijn verplaatsen van de behuisde geïntegreerde circuits, ten minste één nabewerkinrichting, gekozen uit de groep van een stans- of triminriching voor het inkorten van aansluitpennen van het geïntegreerde circuit, een buiginrichting voor het buigen van aansluitpennen van het 10 geïntegreerde circuit of een stansinrichting voor het verwijderen van een leadframe van het geïntegreerde circuit en ten minste één transferinrichting voor het van de doorvoerlijn afnemen van een behuisd gei'ntegreerd circuit; en aan de ten minste ene nabewerkinrichting toevoeren van het behuisde geïntegreerde circuit; uit de ten minste ene nabewerkinrichting terugnemen 15 van het nabewerkte behuisde geïntegreerde circuit; en/of op de doorvoerlijn terugplaatsen van het nabewerkte behuisde geïntegreerde circuit waarbij de ten minste ene nabewerkinrichting zich buiten (en dus niet op of in) de doorvoerlijn bevindt. 15

Description

Werkwijze en inrichting voor het nabewerken van behuisde geïntegreerde circuits

De onderhavige uitvinding heeft betrekking op een werkwijze en inrichting voor het nabewerken van behuisde geïntegreerde circuits (IC's). Onder geïntegreerde circuits worden in deze context elektronische circuits verstaan die veelal een siliciumchip omvatten. Dergelijke chips worden op een zogenaamde wafer vervaardigd, waar ze vervolgens uitgesneden worden en waarbij de externe elektrische contactpunten die zich erop bevinden verbonden worden met aansluitpennen, die op dat moment bijeen gehouden worden omdat ze gezamenlijk en met onderlinge verbindingen in een frame zitten. Na het aanbrengen van de elektrische verbindingen tussen de externe elektrische contactpunten en de aansluitpennen wordt er een behuizing aangebracht om de chip en de elektrische verbindingen om deze te beschermen.

Vervolgens dienen de geïntegreerde circuits nabewerkt te worden. Bij dit nabewerken worden bijvoorbeeld ten behoeve van het vervaardigingsproces aangebrachte onderlinge verbindingen tussen de aansluitpennen verwijderd, dienen de aansluitpennen {in de meeste gevallen} omgebogen te worden en moet het geïntegreerde circuit worden losgemaakt uit zijn omringende frame. Een dergelijk frame wordt lead frame genoemd en het is gebruikelijk dat zo’n frame meerdere geïntegreerde circuits omvat, vaak zelfs een {quasi-) eindloos aantal, zodat de geïntegreerde circuits in een onderling door het frame bepaald verband langs verdere nabewerkstappen geleid kunnen worden. Daarbij volgen alle geïntegreerde circuits eenzelfde traject langs diverse nabewerkstappen, veelal in dezelfde volgorde en met dezelfde verwerkingssnelheid of hetzelfde verwerkingsritme. Met een verwerkingsritme wordt hier een stapsgewijze doorvoer bedoeld, waarbij alle geïntegreerde circuits een positie verder schuiven wanneer één van de circuits een bepaalde nabewerkstap verder is. Dit heeft onder andere het nadeel dat de doorvoersnelheid bepaald wordt door de langstdurende nabewerkstap maar ook dat er geen flexibiliteit is in het laten verschillen van de nabewerkingen die diverse geïntegreerde circuits doorlopen en van de bewegingen die ze daarbij maken omdat die ten opzichte van elkaar beperkt zijn doordat de geïntegreerde circuits onderling mechanisch gekoppeld zijn. Ook is het aantal bewegingen en daarmee nabewerkingen 1 dat een geïntegreerd circuit kan ondergaan beperkt door de vaste onderlinge oriëntatie die het in verband doorvoeren van meerdere geïntegreerde circuits oplegt.

Wanneer de geïntegreerde circuits vermogenselektronica omvatten, dat wil zeggen, elektronica bedoeld voor het geleiden van grote stromen {enkele Ampères of meer) of het aankunnen van grote spanningen (tientallen Volts), zijn de circuits, hun behuizingen en hun aansluitingen navenant groter en wordt naast de reeds genoemde nadelen aan de stand van de techniek het nabewerken ervan ook een complexere aangelegenheid, die niet of niet zonder verdere nadelen met de bestaande inrichtingen en werkwijzen uitgevoerd kan worden. De grotere circuits hebben niet alleen een grotere behuizing, maar ook dikkere en langere aanslyitpennen, die als ze moeten worden omgebogen ook nog eens tot extra hoogte- toename leiden.

Een verder nadeel aan de bestaande werkwijzen en inrichtingen voor het nabewerken van behuisde geïntegreerde circuits is dat de mogelijkheid tot het uitvoeren van controle en inspectie door de algemene opbouw, waarbij de na te nabewerken geïntegreerde circuits zich grotendeels in aaneengesloten nabewerkapparatuur bevinden, bemoeilijkt wordt.

Het is daarom een doel van de onderhavige uitvinding om een inrichting en werkwijze te verschaffen voor het nabewerken van behuisde geïntegreerde circuits, met name behuisde geïntegreerde circuits van vermogenselektronica, zoals die voor gebruik in elektrische auto’s. Dergelijke geïntegreerde circuits kunnen in het verdere van deze aanvrage tevens als “component” worden aangeduid.

De uitvinding stelt daartoe een inrichting voor het nabewerken van reeds behuisde geïntegreerde circuits voor, omvattende een doorvoerlijn, die zich van een invoerlocatie in een doorvoerrichting uitstrekt langs ten minste één nabewerkinrichting voor het nabewerken van behuisde geïntegreerde circuits tot een uitvoerlocatie, voor het over de doorvoerlijn verplaatsen van de behuisde geïntegreerde circuits, ten minste één nabewerkinrichting, gekozen uit de groep van een stans- of triminriching voor het inkorten van aansluitpennen van het 2 geïntegreerde circuit, een buiginrichting voor het buigen van aansluitpennen van het geïntegreerde circuit of een stansinrichting voor het verwijderen van een leadframe van het geïntegreerde circuit, ten minste één transferinrichting, voor het van de doorvoerlijn afnemen van een behuisd geïntegreerd circuit en het in een richting met een richtingscomponent dwars op de doorvoerrichting, in het bijzonder parallel aan een oppervlakte van de doorvoerinrichting aan de ten minste ene nabewerkinrichting toevoeren van het behuisde geïntegreerde circuit, het uit de ten minste ene nabewerkinrichting terugnemen van het nabewerkte behuisde geïntegreerde circuit, het op de doorvoerlijn terugplaatsen van het nabewerkte behuisde geïntegreerde circuit, waarbij de ten minste ene nabewerkinrichting zich buiten (bijvoorbeeld naast of boven, maar dus niet op of in} de doorvoerlijn bevindt.

Doordat de ten minste ene nabewerkinrichting zich buiten de doorvoerlijn bevindt stelt de doorvoerlijn geen of in ieder geval minder beperkingen aan de invoerhoogte, nabewerksnelheid en zaken zoals de oriëntatie van aangeleverde behuisde geïntegreerde circuits. Het van de doorvoerlijn afnemen van de behuisde geïntegreerde circuits verschaft de mogelijkheid om van willekeurige nabewerkinrichtingen gebruik te maken en indien er van meerdere nabewerkinrichtingen gebruik gemaakt wordt om het (al dan niet stapsgewijs) doorvoeren van behuisde geïntegreerde circuits asynchroon te laten plaatsvinden,

Doordat de nabewerking buiten de doorvoerlijn plaatsvindt hoeven er aan de nabewerkinrichting geen eisen gesteld te worden met betrekking tot het binnen restricties van de doorvoerlijn ingepast kunnen worden. Ook is het makkelijker om indien er meerdere nabewerkinrichtingen zijn, één nabewerkinrichting over te slaan.

Verder wordt de doorvoerlijn niet belemmerd en dus ook niet in hoogte beperkt door erop geplaatste nabewerkinrichtingen, zoals volgens de stand van de techniek gebruikelijk. Weer een verder voordeel is dat uitgestanste of afgeknipte delen die tijdens een nabewerking ontstaan niet boven de doorvoerinrichting ontstaan, waardoor zijn beter en efficiënter afgevoerd kunnen worden, bij voorkeur ter recycling. 3

De ten minste ene transferinrichting is bij voorkeur ingericht om althans over ten minste en bepaalde afstand meebewegen met de doorvoerlijn tijdens het van de doorvoerlijn afnemen van een behuisd geïntegreerd circuit en/of tijdens het op de doorvoerlijn terugplaatsen van een behuisd geïntegreerd circuit. Hierdoor is het niet langer nodig de snelheid van de doorvoerlijn af te stemmen op de nabewerksnelheid van de nabewerkinrichting, of stapsgewijs door te voeren en daarbij de snelheid af te moeten stemmen op de langzaamste nabewerkinrichting.

De ten minste ene transferinrichting kan verder zijn ingericht om een product ondersteboven te keren alvorens het aan een nabewerkinrichting toe te voeren; en/of nadat het aan een nabewerkinrichting is toegevoerd; en/of tussen het van de doorvoerlijn afnemen van een behuisd geïntegreerd circuit en op de doorvoerlijn terugplaatsen van het nabewerkte behuisde geïntegreerde circuit, Dit laat toe dat er complexere nabewerkingen uitgevoerd worden, zoals het in twee verschillende (tegenovergestelde) richtingen buigen van aansluitpennen, of het aan meerdere zijden nabewerken van een behuisd geïntegreerd circuit.

In een verdere uitvoeringsvorm omvat de inrichting volgens de uitvinding ten minste één optische inspectie-inrichting, zoals een camera, zodanig gepositioneerd dat deze zicht heeft op over de doorvoerlijn verplaatste geïntegreerde circuits en/of aan een nabewerkinrichting toe te voeren geïntegreerde circuits en/of uit een nabewerkinrichting ontvangen circuits.

Daartoe kan de ten minste éne inspectie-inrichting bij voorkeur zodanig gepositioneerd worden dat deze zicht heeft op een locatie waar geïntegreerde circuits voor of na en bij voorkeur zowel voor als na een nabewerkstap voorbij gevoerd worden, in het bijzonder een locatie boven de doorvoerlijn ter hoogte van de ten minste éne nabewerkinrichting.

Door de geïntegreerde circuits voor en na een nabewerkstap te bekijken kan per nabewerking (of deel daarvan) bekeken worden of deze nabewerking op de beoogde wijze uitgevoerd is. Wanneer de geïntegreerde circuits door een transferinrichting van de doorvoerlijn afgenomen worden en daar ook weer op teruggeplaatst worden op 4 dezelfde positie, biedt een dergelijke positie de mogelijkheid om zowel voor als na de nabewerking een visuele controle uit te voeren op het geïntegreerde circuit.

De inspectie-inrichting kan daartoe bij voorkeur boven de doorvoerinrichting gepositioneerd worden ter hoogte van een locatie waar de transferinrichting de geïntegreerd circuits van de doorvoerlijn afneemt en/of een locatie waar de transferinrichting de geïntegreerd circuits aan de ten minste ene nabewerkinrichting toevoert en/of een locatie waar de transferinrichting de geïntegreerd circuits uit de ten minste ene nabewerkinrichting terugneemt en/of een locatie waar de transferinrichting de geïntegreerd circuits op de doorvoerlijn terugplaatst.

In een verdere uitvoeringsvorm omvat de ten minste éne nabewerkinrichting een persinrichting omvat voorzien van een servo-motor ter bekrachtiging van de persinrichting. Het gebruik van een servo-motor heeft boven de gebruikelijke veelal pneumatisch bekrachtigde persinrichtingen het voordeel dat deze eenvoudiger en accurater te bedienen is, en dat een elektrische energietoevoer eenvoudiger te nabewerkstelligen valt dan een pneumatische.

In een verdere uitvoeringsvorm is de inrichting voorzien van sensoren voor het meten van de stroom en/of spanning door, respectievelijk over de servo-motor. Stroom en/of spanningsmeters zijn relatief eenvoudig aan te brengen, hoeven niet noodzakelijkerwijs in de directe nabijheid van de betreffende servomotor worden aangebracht en kunnen een zeer accuraat meetresultaat opleveren. Een combinatie van een stroom- en spanningsmeter geeft de mogelijkheid een momentaan vermogen vast te stellen.

Deze meetwaarden komen in het bijzonder van pas indien de inrichting voorzien is van een beveiligingsinrichting, ingericht voor het vergelijken van een gemeten stroom- en/of spanningswaarde door of over de servo-motor met een verwachtte stroom- en/of spanningswaarde en het nemen van een veiligheidsmaatregel, zoals het stoppen van een beweging, wanneer de gemeten stroom- en/of spanningswaarde meer dan een drempelwaarde verschilt van de verwachtte stroom- en/of spanningswaarde. Een afwijking van de stroom of spanning van een 5 verwachtingswaarde is veelal een indicatie van een onregelmatigheid tijdens het nabewerkproces, zoals een blokkade door of juist het ontbreken van een geïntegreerd circuit.

In een voorkeursuitvoeringsvorm is de inrichting volgens de uitvinding voorzien van ten minste een eerste onafhankelijk over de doorvoerlijn beweegbare carrier, ingericht voor het over de doorvoerlijn verplaatsen van de behuisde geïntegreerde circuits tussen een eerste ontvangstlocatie op de doorvoerlijn en een eerste afgiftelocatie op de doorvoerlijn; ten minste een tweede onafhankelijk over de doorvoerlijn beweegbare carrier, ingericht voor het over de doorvoerlijn verplaatsen van de behuisde geïntegreerde circuits tussen een tweede ontvangstlocatie op de doorvoerlijn en een tweede afgiftelocatie op de doorvoerlijn; waarbij de eerste afgiftelocatie en de tweede opnamelocatie althans in hoofdzaak samenvallen; en de ten minste één nabewerkinrichting, zich bevindt ter hoogte van de eerste afgiftelocatie.

In een verdere uitvoeringsvorm omvat de inrichting een invoerinrichting, in het bijzonder omvattende een door middel van een robotarm verplaatsbare grijper, voor het op de invoerlokatie aangrijpen en aan de inrichting toevoeren van een van een af te werken behuisd geïntegreerd circuit,

In weer een verdere uitvoeringsvorm omvat de inrichting een uitvoerinrichting, voor het op de uitvoerlokatie uit de inrichting uitvoeren van een afgewerkt behuisd geïntegreerd circuit.

De uitvinding heeft tevens betrekking op een werkwijze voor het nabewerken van een behuisd geïntegreerd circuits, omvattende Het over een doorvoerlijn verplaatsen van de behuisde geïntegreerde circuits, het van de doorvoerlijn afnemen van een behuisd geïntegreerd circuit, het aan de ten minste ene nabewerkinrichting toevoeren van het behuisde geïntegreerde circuit, het op het behuisde geïntegreerde circuit uitvoeren van ten minste één nabewerking gekozen uit de groep van het inkorten van aansluitpennen van het geïntegreerde circuit, het buigen van aansluitpennen van het geïntegreerde circuit of het verwijderen van een leadframe van het geïntegreerde 6 circuit en het uit de ten minste ene nabewerkinrichting terugnemen van het nabewerkte behuisde geïntegreerde circuit en het op de doorvoerlijn terugplaatsen van het nabewerkte behuisde geïntegreerde circuit waarbij het aan de ten minste ene nabewerkinrichting toevoeren van het behuisde geïntegreerde circuit het buiten de doorvoerinrichting aan de nabewerkinrichting toevoeren van het nabewerkte behuisde geïntegreerde circuit omvat.

De werkwijze kan verder het optisch inspecteren van de behuisde geïntegreerde circuits omvatten op een locatie waar geïntegreerde circuits zowel voor als na een nabewerkstap voorbij gevoerd worden, in het bijzonder een locatie boven de doorvoerlijn ter hoogte van de ten minste éne nabewerkinrichting.

In weer een verdere uitvoeringsvorm omvat de werkwijze het vergelijken van een gemeten stroom- en/of spanningswaarde door of over een servo-motor van de nabewerkinrichting met een verwachtte stroom- en/of spanningswaarde en het nemen van een veiligheidsmaatregel, zoals het stoppen van een beweging, wanneer de gemeten stroom- en/of spanningswaarde meer dan een drempelwaarde verschilt van de verwachtte stroom- en/of spanningswaarde.

De uitvinding zal nu worden toegelicht aan de hand van de volgende figuren, waarin: - Figuur 1 een eerste detail van een inrichting volgens de uitvinding toont; en - Figuur 2 een tweede detail van een inrichting volgens de uitvinding toont.

Figuur toont 1 een inrichting 1 voor het nabewerken van behuisde geïntegreerde circuits 2, omvattende een doorvoerlijn 3, die zich uitstrekt langs ten minste één nabewerkinrichting 4 voor het nabewerken van behuisde geïntegreerde circuits 2, en is ingericht voor het over de doorvoerlijn 3 verplaatsen van de behuisde geïntegreerde circuits 2 in een doorvoerrichting D en ten minste één nabewerkinrichting 4 gekozen uit de groep van een stans- of triminriching voor het inkorten van aansluitpennen 6 van het geïntegreerde circuit 2, een buiginrichting voor het buigen van aansluitpennen 6 van het geïntegreerde circuit of een stansinrichting voor het verwijderen van een leadframe 7 van het geïntegreerde circuit 2 en een 7 transferinrichting 5, voor het van de doorvoerlijn 3 afnemen van een behuisd geïntegreerd circuit 2 en het in een richting met een richtingscomponent T loodrecht op de doorvoerrichting D aan de ten minste ene nabewerkinrichting 4 toevoeren van het behuisde geïntegreerde circuit 2, het uit de ten minste ene nabewerkinrichting 4 terugnemen van het nabewerkte behuisde geïntegreerde circuit 2, het op de doorvoerlijn 3 terugplaatsen van het nabewerkte behuisde geïntegreerde circuit 2 waarbij de ten minste ene nabewerkinrichting 4 zich buiten, in dit geval naast de doorvoerlijn 2 bevindt.

De transferinrichting 5 is ingericht om althans over ten minste en bepaalde afstand mee te bewegen in de richting D met de doorvoerlijn 3 tijdens het van de doorvoerlijn 3 afnemen van een behuisd geïntegreerd circuit 2; en/of tijdens het op de doorvoerlijn 3 terugplaatsen van een behuisd geïntegreerd circuit 2.

De inrichting omvat verder ten minste één optische inspectie-inrichting 8 gevormd door een camera die zodanig gepositioneerd is dat deze zicht heeft op over de doorvoerlijn 3 verplaatste geïntegreerde circuits 2 en aan de nabewerkinrichting 5 toe te voeren geïntegreerde circuits 2 en uit de nabewerkinrichting 5 ontvangen circuits 2.

Op deze manier kunnen met één optische inspectie-inrichting 8 eventuele fouten gedurende diverse nabewerkstadia van de geïntegreerde circuits 2 vastgesteld worden. Dit zou niet mogelijk zijn wanneer de nabewerkinrichting 4 zich op of boven de doorvoerinrichting 2 zou bevinden zoals gebruikelijk is in de prior art. De inspectie- inrichting 8 is boven de doorvoerinrichting 3 gepositioneerd ter hoogte van een locatie waar de transferinrichting 5 de geïntegreerd circuits 2 van de doorvoerlijn 3 afneemt en de geïntegreerd circuits 2 aan de ten minste ene nabewerkinrichting 4 toevoert en waar de transferinrichting 5 de geïntegreerde circuits 2 uit de nabewerkinrichting 4 terugneemt en een locatie waar de transferinrichting 5 de geïntegreerd circuits 2 op de doorvoerlijn 3 terugplaatst.

Figuur 2 toont een tweede schematisch overzicht van een deel van een inrichting 1 volgens de uitvinding waarin te zien is dat een uitgestanst lead frame 9 dat tijdens een 8 nabewerking ontstaat in een afvoerinrichting 10 die zich naast de doorvoerinrichting 3 bevindt wordt afgevoerd.

De hiervoor gegeven voorbeelden dienen slechts ter verduidelijking van de uitvinding en geenszins als beperking van de beschermingsomvang zoals gedefinieerd in de navolgende conclusies. 9

Claims (15)

Conclusies

1. Inrichting voor het nabewerken van behuisde geïntegreerde circuits, omvattende: - Een doorvoerlijn, die zich van een invoerlocatie uitstrekt langs ten minste één nabewerkinrichting voor het nabewerken van behuisde geïntegreerde circuits tot een uitvoerlocatie, voor het: o over de doorvoerlijn verplaatsen van de behuisde geïntegreerde circuits; - Ten minste één nabewerkinrichting, gekozen uit de groep van: o een stans- of triminriching voor het inkorten van aansluitpennen van het geïntegreerde circuit, o een buiginrichting voor het buigen van aansluitpennen van het geïntegreerde circuit of o een stansinrichting voor het verwijderen van een leadframe van het geïntegreerde circuit; - Ten minste één transferinrichting, voor het: o van de doorvoerlijn afnemen van een behuisd geïntegreerd circuit; en o aan de ten minste ene nabewerkinrichting toevoeren van het behuisde geïntegreerde circuit; o uit de ten minste ene nabewerkinrichting terugnemen van het nabewerkte behuisde geïntegreerde circuit; o op de doorvoerlijn terugplaatsen van het nabewerkte behuisde geïntegreerde circuit; met het kenmerk - dat de ten minste ene nabewerkinrichting zich buiten en dus niet op of in de doorvoerlijn bevindt. 10

2. Inrichting volgens conclusie 1, waarbij de ten minste ene transferinrichting is ingericht om althans over ten minste en bepaalde afstand meebewegen met de doorvoerlijn tijdens het: o van de doorvoerlijn afnemen van een behuisd geïntegreerd circuit; en/of tijdens het o op de doorvoerlijn terugplaatsen van een behuisd geïntegreerd circuit.

3. Inrichting volgens conclusie 1 of 2, waarbij de en minste ene transferinrichting is ingericht om een product ondersteboven te keren: - alvorens het aan een nabewerkinrichting toe te voeren; en/of - nadat het aan een nabewerkinrichting is toegevoerd; en/of - tussen het: - van de doorvoerlijn afnemen van een behuisd geïntegreerd circuit; en - op de doorvoerlijn terugplaatsen van het nabewerkte behuisde geïntegreerde circuit.

4, Jnrichting volgens één van de voorgaande conclusies, omvattende ten minste één optische inspectie-inrichting, zoals een camera, zodanig gepositioneerd dat deze zicht heeft op over de doorvoerlijn verplaatste geïntegreerde circuits.

5. Inrichting volgens conclusie 4, waarbij de ten minste éne inspectie-inrichting zodanig gepositioneerd is dat deze zicht heeft op over de doorvoerlijn verplaatste geïntegreerde circuits en/of aan een nabewerkinrichting toe te voeren geïntegreerde circuits en/of uit een nabewerkinrichting ontvangen circuits.

6. Inrichting volgens conclusie 4 of 5, waarbij de inspectie-inrichting boven de doorvoerinrichting gepositioneerd is ter hoogte van een locatie waar: - de transferinrichting de geïntegreerd circuits van de doorvoerlijn afneemt; en/of 11

- een locatie waar de transferinrichting de geïntegreerd circuits aan de ten minste ene nabewerkinrichting toevoert en/of - een locatie waar de transferinrichting de geïntegreerd circuits uit de ten minste ene nabewerkinrichting terugneemt; en/of - een locatie waar de transferinrichting de geïntegreerd circuits; op de doorvoerlijn terugplaatst.

7. Inrichting volgens één van de voorgaande conclusies, waarbij de ten minste eén nabewerkinrichting een persinrichting omvat voorzien van een servo- motor ter bekrachtiging van de persinrichting.

8. Inrichting volgens conclusie 7, voorzien van sensoren voor het meten van de stroom en/of spanning door respectievelijk over de servo-motor.

9. Inrichting volgens conclusie 8, voorzien van een beveiligingsinrichting, ingericht voor het vergelijken van een gemeten stroom- en/of spanningswaarde door of over de servo-motor met een verwachtte stroom- en/of spanningswaarde en het nemen van een veiligheidsmaatregel, zoals het stoppen van een beweging, wanneer de gemeten stroom- en/of spanningswaarde meer dan een drempelwaarde verschilt van de verwachtte stroom- en/of spanningswaarde.

10. Inrichting volgens één van de voorgaande conclusies, waarbij de doorvoerlijn voorzien is van: - Ten minste een eerste onafhankelijk over de doorvoerlijn beweegbare carrier, ingericht voor het over de doorvoerlijn verplaatsen van de behuisde geïntegreerde circuits tussen een eerste ontvangstlocatie op de doorvoerlijn en een eerste afgiftelocatie op de doorvoerlijn; - Ten minste een tweede onafhankelijk over de doorvoerlijn beweegbare carrier, ingericht voor het over de doorvoerlijn verplaatsen van de behuisde 12 geïntegreerde circuits tussen een tweede ontvangstiocatie op de doorvoerlijn en een tweede afgiftelocatie op de doorvoerlijn; waarbij - de eerste afgiftelocatie en de tweede opnamelocatie althans in hoofdzaak samenvallen; en - de ten minste één nabewerkinrichting, zich bevindt ter hoogte van de eerste afgiftelocatie.

11. Inrichting volgens één van de voorgaande conclusies, omvattende een invoerinrichting, in het bijzonder omvattende een door middel van een robotarm verplaatsbare grijper, voor het op de invoerlokatie aangrijpen en aan de inrichting toevoeren van een van een af te werken behuisd geïntegreerd circuit.

12. Inrichting volgens één van de voorgaande conclusies, omvattende een uitvoerinrichting, voor het op de uitvoerlokatie uit de inrichting uitvoeren van een afgewerkt behuisd geïntegreerd circuit.

13. Werkwijze voor het nabewerken van een behuisd geïntegreerd circuits, omvattende: - Het over een doorvoerlijn verplaatsen van de behuisde geïntegreerde circuits; - Het van de doorvoerlijn afnemen van een behuisd geïntegreerd circuit; - Het aan de ten minste ene nabewerkinrichting toevoeren van het behuisde geïntegreerde circuit; - Het op het behuisde geïntegreerde circuit uitvoeren van ten minste één nabewerking gekozen uit de groep van: o het inkorten van aansluitpennen van het geïntegreerde circuit, o het buigen van aansluitpennen van het geïntegreerde circuit of o het verwijderen van een leadframe van het geïntegreerde circuit; 13

- Het uit de ten minste ene nabewerkinrichting terugnemen van het nabewerkte behuisde geïntegreerde circuit; - Het op de doorvoerlijn terugplaatsen van het nabewerkte behuisde geïntegreerde circuit; met het kenmerk - Dat het aan de ten minste ene nabewerkinrichting toevoeren van het behuisde geïntegreerde circuit het buiten de doorvoerinrichting aan de nabewerkinrichting toevoeren van het nabewerkte behuisde geïntegreerde circuit omvat.

14. Werkwijze volgens conclusie 13, omvattende het optisch inspecteren van de behuisde geïntegreerd circuits op een locatie waar geïntegreerde circuits zowel voor als na een nabewerkstap voorbij gevoerd worden, in het bijzonder een locatie boven de doorvoerlijn ter hoogte van de ten minste éne nabewerkinrichting,

15. Werkwijze volgens conclusie 13 of 14, omvattende het vergelijken van een gemeten stroom- en/of spanningswaarde door of over een servo-motor van de nabewerkinrichting met een verwachtte stroom- en/of spanningswaarde en het nemen van een veiligheidsmaatregel, zoals het stoppen van een beweging, wanneer de gemeten stroom- en/of spanningswaarde meer dan een drempelwaarde verschilt van de verwachtte stroom- en/of spanningswaarde. 14