JPH0290071A - 配線試験法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の背景） ［発明の属する技術分野］ 本発明は、ニレトロニラタデバイスの試験法に関し、特
に導体配線網を有するエレクトロニックデバイスの試験
法に関する。

［従来技術の説明］ ハイブリッド集積回路（Ｉ（Ｉ　Ｃ）及びプリント回路
基板などの多くのデバイスでは、基板上に生成された一
連の導体配線網が用いられている。これらの配線網は、
集積回路等のデバイスからのリード線が接続されるノー
ドを有している。利便性のために、これらの配線網は、
一般に、前記ノードがデカルト格子の交差点に位置する
ように設計されている。前記デバイスが接続されると、
当該配線網が相互接続されて所定の回路が生成される。

一般に、前記デバイスが当該配線網に接続される、例え
ば、・＼ンダ付けされるあるいは溶接される以前に、当
該配線網は、検査されて、各々の配線網内の接続性が、
保証され、かつ配線網間の短絡がないことが保証される
。この試験は慎重に行われる。なぜなら、デバイスの接
続後に欠陥が見出された場合には、欠陥を修復するある
いは完成した回路を廃棄することにより、著しく多くの
費用が必要となるからである。

ノードが格子上に配置されている配線網の試験は、一般
には、埋め込み探針法によってなされる。

この方法においては、試験さるべき配線網のノードと空
間的に一致する一連の注入針を有する試験器具が用いら
れる。この注入針は全てのノードが対応する注入針によ
って接続されるように配列されている。試験装置が用い
られて、配線網内に接続性がありかつ配線網間に短絡が
存在しないか否かが決定される。全ての探針の接触が同
時になされるので、埋め込み探針法は比較的高速である
。

しかしながら、ノード間隔が１２５０μｍ以下にあるい
はノードが規則的に配置されていない場合には、埋め込
み探針法による試験器具を作製することは困難である。

このような配置の場合には、埋め込み探針法は、非常に
大規模の生産が意図されている場合にのみ経済的である
。埋め込み探針法による試験器具が作製不能あるいは不
経済である場合に対しては、２プローブ試験システムが
提案されている。このシステムにおいては、一方のプロ
ーブが通常の機械的手段によっであるノードのところに
配置され、当該配線網の他のノードが順次箱２のプロー
ブによって触診されてゆく。ノード間の接続性は、通常
抵抗のＩＩＩＩＪ定によって試験される。配線網間の短
絡も、例えば、ある配線網の単一のノードと、全ての配
線網に近接した共通導電面との間の静電容量を測定する
ことによって、試験される。（静電容量試験法に関して
は、１９７６年８Ｊ１１７０付けの米国特許箱３，９７
５，８７０号を参照）このようにして、このプロセスは
、全ての配線網が試験されるまで継続される。

２プローブ試験法に係る装置は、一般には、埋め込み探
針法に係るものに比べて安価であるる。

しかしながら、大量の配線網を有する回路に対しては、
各々のノードに対する測定時間の著しい増大によって、
スルーブツトが実質的に減少してしまう。通常２１０−
ブ試験に要する測定時間はおよそ１／３秒である。平均
、１１１定時間が１００ミリ秒以下、というのは、まだ
報告されていない。一方、１００ミリ秒以下、のぞむら
くは７０ミリ秒以下、というＭ１定時間は、試験に関す
る費用を実質的に減少させることになるであろう。すな
わち、２プローブ試験法では、まだ完全に望ましい７＃
Ｊ定速度が得られていない。

（発明の概要） ２プローブ試験システムにおいて、通常の配線網配置に
おける測定時間を許容される正確さを有して、１００　
ミリ秒以下とするために、従来の技法とは実質的に異な
った方法が要求される。プローブの加速度及び速度は、
実際の要件によって制限される。プローブの速度及び加
速度を増大させることによって費用は著しく増大するが
、誘起された振動の付随的増大を押えるために、機械的
な完全さが実質的に増強させられなければならない。

それゆえ、プローブの速度及び加速度を増加させるだけ
では、測定時間の短縮のための解決策とはならない。

８ｐ１定時間を減少させるために、当該配線網に関連し
た規則に基づかない順序で測定がなされる。

配線網によって規定される規則は無視されて、プローブ
の移動距離が実質的に減少させられる。例えば、いわゆ
るセールスマン問題での近似が、あるノードから当該配
線網に関係のない、近接したノードへのプローブの移動
を支持するために用いられる。さらに、実行さるべき抵
抗及び静電容量の測定の双方が個別になされるのではな
く、同様に移動を減少させるように、交互に行われる。

すなわち、抵抗及び静電容量の測定をプローブの移動距
離を減少させるような方法でなすことは可能である。プ
ローブの移動時間を制限するためには、他の要因も制御
されるべきである。本発明は、プローブが移動する平均
距離を実質的に減少させるものであるので、そのような
短距離の移動を行う時間は、最大速度ではなくてプロー
ブの加速度によって制限される。それゆえ、比較的大き
な加速度を用いることができるようなプローブを用いる
ことが望ましい。他の制御用コンピュータとプローブの
ドライバとの間の通信に用する時間等の要因も制限され
るべきである。測定時間及び、減速及びＡＰＩ定点への
七トリング時間も制限されるべきである。

本発明のある具体例においては、セールスマン問題への
思い切った近似アルゴリズムがプローブの移動を指示す
るために用いられる。プローブは、Ｘ、Ｙ方向に移動し
、被試験基板あるいはプローブがＺ方向に移動する。プ
ローブと配ｔＩＡ網との間の接続は、プローブをノード
上に位置させるための、Ｘ、　Ｙ方向の動きと、プロー
ブを基板と接続するためのプローブあるいは基板のＺ方
向への動きとの組合せによって、なされる。Ｘ、　Ｙ方
向移動装置は、それ自体はマイクロプロセシングユニッ
トを有さす、Ｉｒｉ、接並列入／出力によって実行され
る高速通信を行なうことが可能な、ＡＴ＆ＴＰＣ６３０
０等の比較的高速なコンピュータに制御される。

さらに、加速度５６，０００ｒａｄ　／ｓｅｅ　２及び
回転子速度３，０００ｒｐｍの定格を有するモーターが
用いられることが望ましい。これらの要件を組み合わせ
て用いることによって、代表的な混成集積回路に対する
測定時間を、移動時間も含めて６０ミリ秒とすることが
可能である。

（実施例の説明） 既に議論したように、本発明に係るある具体例において
は、２プローブシステムが用いられる。

２プローブシステムは、複雑さを本質的に減少するが、
本発明に関して用いられる試験方法はプローブの数が２
に制限されることは必要ではない。

プローブは総移動距離を制限するために一つのＡｐｊ定
点から他のΔＰＩ定点へ、測定される配！Ｈｌ！ｌとは
無関係に、かつのぞむらくはＡＰＩ定の種類、すなわち
抵抗か静電容量か、と無関係に移動させられるように制
御されなければならない。例えば、測定距離を減少させ
る一つの方法は、セールスマン問題の近似アルゴリズム
を用いることである。この近似においては、プローブの
次位置の組が、要求される移動がそれ以前のプローブの
位置からの総移動距離を最小とするように、選択される
。この近似は、プローブ同志が衝突しないことを保証１
７、かつ全ての必要な測定がなされることを保証するよ
うな移動を用いるように制限される。さらに、抵抗及び
静電容量の測定が、測定される配線網とは係わりなく、
移動を制限するように企図された順序で実行される。

第１図に示した代表的な回路の一部に関する有利な順序
の例は以下の通りである。近似アルゴリズムに基づく測
定の順序は、番号付けをなされたノードに関して示され
ている。まず、プローブがノード３及び４上にある状態
から開始されると仮定する。抵抗の測定のみがなされる
場合には、当該アルゴリズムによって、以下の測定は、
ノード６及び７、次いでノード３及び５、続いてノード
１及び２となる。ここで、これらの測定が、１つの配線
網が終了した後に他の配線網へ継続する、というように
なされるのではないことに留意されたい。（静１区容量
の７１１定を含めることについては、後で説明する）８
ｐＪ定が進んだ時点での移動は決定されていないことが
望ましい。なぜならそのような決定をするための処理に
は通常許容されないほどの時間がかかるからである。一
般に、試験さるべき特定のデバイスに対しては、移動順
序が決定され、当該順序の実行試験の前に試験器がプロ
グラムされる。

使用されるプローブの型はそれほど重要ではない。例え
ば、ラッカー＆コルズ（Ｒｕｃｋｅｒ＆　Ｋｏｌ　Ｉｓ
）製のプローブが、第２図におけるプローブ２０のアー
ムが実質的に基板表面と平行で、接点２１が当該アーム
に対して垂直に伸びている場合に用いられる。この接点
配置の利点の一つは、近接した中心を有するパッド上の
測定が可能である、という点である。一般に、接点に用
いられる材料は、タングステン、ベリリウム−銅合金、
あるいはパラジウムである。これらの材料は、接触抵抗
が大きくならず、かつ機械的な形状がそのまま維持され
るということより選択されたものである。アームを移動
させる手段そのものはそれほど重要ではない。

例えば、アエロチック（Ａｅｒｏｔｅｃｈ）社ＡＴＳ４
０６等の市販のトランスレータが使用可能である。本発
明を用いることによって、平均移動距離は充分に短くな
り、はどんどの移動において移動時間は、プローブの最
大速度ではなくプローブの加速度によって制限されるこ
とになる。ただし、代表的な移動距離に対して、最大速
度は過度に低くてはならない。それゆえ、トランスレー
タは、代表的な１．５から５＋ａｍ＋の移動に対して少
なくとも１００ｉｏ＋／ｓｅｃの最大速度を有している
ことが望ましい。

（最大速度はいずれの軸方向においても到達できるトッ
プスピードとする。）これらの最大速度及び代表的な移
動距離に対して、５Ｉｌ／ｓ２から１５ｍ／ｓ２の範囲
の加速度が望ましい結果を与える。

平均移動距離は、試験されるデバイスの型に応じて変化
する。代表的な移動距離は、混成集積回路、アドヴアン
スト・ラージスケール・パッケージング、及びプリント
回路基板に対してそれぞれ、３、ｈｓ　、　　１．Ｆ＋
ｇ＊及び５．０＋ａｍである。（１５ｍ／　ｓ　２以上
の加速度は、除外されてはいないが、装置に機械的スト
レスを生成する傾向があり不利である。

）プローブのノードの間の不要な摩滅を避けるために、
ＸＹ一方向の移動によってプローグをノード上に位置さ
せ、非試験基板がおかれる基台のＺ方向の移動を用いる
ことによって、位置決めされたプローブとノードとの接
続をなすことが望ましい。この配置が有利であることは
証明されているが、他の配置も可能である。例えば、固
定された基台及びＺ方向に動くプローブを用いることも
可能である。この場合には、プローブが接触すべきノー
ドに対してオーバーシュートしないように、プローブの
動きを充分敏速に停止しなければならない。プリント回
路基板において、通常見られるような、　５００μｍ以
上、というような大きなノドに対しては、オーバーシュ
ートは特に問題にはならない。アドヴアンスト・ラージ
スケール・パッケージングにおいて見られるような１０
０７１ｍ程の小さなノードに対しては適切な制止精度を
得るために、予防策が講じられなければならない。例え
ば、このような制止精度は、クローズド・ループＤＣサ
ーボモータあるいはピッチの細かい親ねじを有するオー
ブンループスチッピングモータ等の代表的な手段によっ
て得られる。

プローブの位置決めがなされると、抵抗のｎ１定が通常
、定電圧あるいは定電流法によって実行される。これら
のＭｊ定法については、ジエームズ・デイフエンダフｙ
　−（Ｊａｍｅｓ　Ｄｉ［’ｅｎｄｅｒ（’ｅｒ　）著
のプリンシブルズ・イブ・エレクトロニック・インスツ
ルメンテーション（Ｐｒｌｎｃｌｐｉｅｓ　ｏｌ’　Ｅ
ｌｅｃｔｒｏｎＩｃ　Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔａｔｉｏｎ
）　　（ダブリュービー・ラージダース（Ｗ、　　ｂ、
　５ａｕｎｄｅｒｓ）　Ｃｏ社、ペンシルヴアニア州フ
ィラデルフィア、１９７２年）第１１０−１１３頁を参
照。そのような測定には比較的従来技術に係る試験装置
が用いられる。同様に、静電容量の測定が、一方のプロ
ーブを配線網のノードに位置させ、第２プローブを基板
から離すことによって実行される（第２プローブが配線
網に静電容量を付与するので離す必要がある）。静ｉＫ
容量の測定は、ある具体例においては、米国特許第３，
９７５．８７０号に記載されている方法で実行される。

ある具体例においては、デバイスを保持するための導体
基台が、’１１１１定を実行するための接地板として用
いられる。一方のプローブが、静電容量の測定中、基板
の周囲から離れたところに配置されることが望ましいが
、このことは要求されてはいない。実際には、プローブ
を、静電容量の測定後に次に試験されるべきノードに迅
速に位置決めできるような位置に移動させておくことは
可能である。

多くのノードを有する配置に対して既に議論したように
、測定速度は静電容量のＡｌ１定と抵抗の測定を混ぜて
行うことによってさらに向上させられる。この場合にお
いても目的は移動距離を減少させることである。それゆ
え、第１図に示した例においては、有利な順序は次のよ
うになる二ノード３及び４上にプローブを配置させた状
部でまず抵抗を測定する；ノード３上のプローブを上げ
て静電容量を測定する；プローブをノード６及び７上に
移動し、抵抗を測定する；ノード６上のプローブを上げ
て静電容量を測定する；プローブをノード３及び５上に
移動し、抵抗を測定する；プローブをノード１及び２上
に移動し抵抗を測定する；ノード１上のプローブを上げ
て静電容量を測定する。

プローブの移動以外のａＰＪ定時間に寄与する要因は制
限されなければならない。特に、全回路の試験に因って
平均した、測定時間に対して寄与している付加的な要因
の総和は（ｔ−８Ｄ）の２５９６未Ｖ 満てなければならない。（ここで、ｔ　は、前回ｖ 路の試験に因って平均した移動のための時間であり、Ｓ
Ｄは移動時間の集合の１標準偏差分である。

）移動に要するものではない測定時間に対して実質的に
寄与する要因は、プローブへ移動のための指示を通信す
るための時間、ｎ１定をするための時間及びブロー・ブ
のセトリング時間を含む。既に議論した後者の要因に関
しては、プローブは実質的にノードをオーバーシュート
してはならない。

般に、Ｊｌ定時間は、抵抗及び静電容量に対して、それ
ぞれ５ミリ秒、１５ミリ秒未満であるべきである。その
ような測定時間は、セントラル・プロセシング・ユニッ
トと全ての測定用エレクトロニクスとの間が直接パラレ
ル人／出力によって接続された、既述の１１Ｐｊ定手続
き等の手段によって、可能である。プローブトランスレ
ータへの支持の迅速な通信はプローブトランスレータと
は異なったコントローラを用いることによって実現され
うる。

特に、デジタル信号に応答するプローブ及びこれらの信
号を供給するためのコンピュータ等の個別の手段を用い
ることが有利であることが見出された。コンピュータと
移動コントローラとの間の迅速な通信は、ハンドシェイ
クを用いた直接パラレル入／出力によって行なわれる。

一般に、コンピュータとトランスレータ間の全ての２プ
ローブ移動コマンドの通信に要する時間は、トランスレ
ータでの全ての処理時間を含めて、２ミリ秒未満である
ことが望ましい。

既に記述した測定法は素晴らしい結果を産み出すが、い
くつかの付加的な具体例がさらにこれらの結果を向上さ
せる。静電容量の測定に対しては、許容されうる値が設
定されていなければならない。

これらの値を超過した場合には、被試験基板は修理され
るかあるいは廃棄される。これらの値の設定は、測定の
精度を考慮してなされなければならない。通常、前述の
Δ１１定法においては、期待されている容量値を包含す
る範囲が許容されうるちのとして選択される。この範囲
が大きい場合には、短絡した配線網対を特定することが
しばしば困難になる。この範囲が比較的小さい場合には
、ＩＩＣ等のデバイスに対しては誘電体層厚の差異及び
配線網の金属線幅の差異が、この比較的小さなＡｌｌ定
範囲よりもかなり大きいΔｐ１定偏差を誘導してしま′
う。しかしながら、全ての測定値が、誘電体層厚あるい
は金属線幅の差異によっ゛Ｃ１期待された値から比較し
て異なる場合には、当該回路は、設定した基準を通過し
ないが、慣用されうるちのでありうる。この可能性を回
避するために、あらゆる被試練基板に対して、限定され
た個数の配線網に対する試行的な静電容量測定を行うこ
とが望ましい。これらの試行１（ＰＩ定は、当該配線網
に対する期待された値と比較されて、ＡｐＪ定値のメジ
アンと期待された値との比を計算することによって、ス
ケーリングファクターが決定される。このスケーリング
ファクターは、参照（基準）ｒｆｉにスケーリングファ
クターを乗じてこの補正された数値を実測値と比較する
ことによって、全回路のｆｌｌｌ＋定に対して用いられ
る。スケーリングファクターを用いることによって、ノ
ード間の不一致に対する、基板間の不一致が平均化によ
って低減され、許容される回路が誤って拒否されてしま
う割合が非常に減少する。

各々のノードの静電容量から特定の回路の配線網バクー
ンを決定することが可能である。全てのノードの静電容
量が測定される。同一の静電容量を有するノード対間の
抵抗がＡｐＪ定される。（ここで同一とは、一般には、
−群の値であり、それらの中の全ての値が、そのむれに
属する他の少なくとも一つのものの値と、所定の割合十
ある絶対量（通常３％＋０．２ｐＰ）以下しか異ならな
いもののことと考えられている。）全てのノード対が測
定される訳ではない。まず静電容量が最も近いノード対
に関して抵抗が測定され、前述のようにアルゴリズムに
よってノード対間の適切な移動が決定される。

毎回、より近い値ではない静電容量値を有するノルド対
に対して多くのバスが設定されてチエツクされる。ある
ノードが他のノードに対して接続されていることか見出
されると、このノードはそれ以降のバスにおいて再び試
験される必要がなくなる。各々のバスの間、アルゴリズ
ムが、プローブが動作中に計算することによって適用さ
れる。

このプロセスは全てのノードがグループ分け、すなわち
配線網内に配置された場合に完成する。以下の例は、本
発明の一例である。

ナ１１ 装置は数多くのコンポーネントを有している。

ｎ１定さるべき基板を保持するための真空チャックが台
座にマウントされている。この台座は、Ｚ方向の移動手
段を有している。移動速度は２０Ｅり秒で０．７５　ｍ
ｔｘである。Ｚの正負双方の方向への移動がカムを用い
ることによってなされる。

２つのＸ、　　Ｙ移動ステージも供えている。これらの
ステージは、１インチ厚の共通鋼板の、真空チャック台
座の反対側にマウントされている。真空チャック台座及
びＸ、Ｙステージは、同−Ｘ。

Ｙ平面内にあるようにアラインメントされている。

移動ステージは、台座から離れたところに、各々のステ
ージにマウントされたプローブが、台座を越えて、真空
チャック上にマウントされた基板の遠くの側に到達でき
るように位置させられている。

各々のステージのＸ、Ｙ移動方向は、双方のＸ方向が弔
行でかつＸ方向がＹ方向に対して直交するようにアライ
ンメントされている。移動ステージは、最大速度２５０
ｍｍ　／　ｓ及び最大加速度約６ｍ／ｓ２を何するよう
に選択されている。トランスレータは、ロータリエンコ
ーダを有するクローズド・ループＤＣサーボモーターに
よって駆動される。

第２図に示したようなプローブが、各々の移動ステージ
にマウントされ、上述のようにカンチレバーによって、
被測定基板の遠くの側に到達できるように、保持される
。第２図に示すような配置を有するタングステン針が各
々のプローブの端部にマウントされている。この針のチ
ップの大きさは、直径約５０μｍである。各々のプロー
ブに対して微小範囲マニュピユレータが供えられていて
、各々のプローブのチップが同−Ｘ、Ｙ平面内に位置す
るようになされる。

アラインメントのために、各々ビデオカメラ及びビデオ
デイスプレーを有する２組のビデオ顕微鏡がＯ（えられ
ている。これらのビデオ顕微鏡は、オペレータが操作中
に占める位置から離れた、台座の遠い側に配置された共
通のＸ、　　Ｙステージにマウントされている。カメラ
はカンチレバーによって保持され。共通のＸ方向にマウ
ントされて、この方向のカメラの間隔が調節できるよう
になっている。（この配置により、２ケ所のアラインメ
ント用マークを同時に見ることが可能となる。）台座の
カムは、アップ及びダウンの双方の方向に対して制限フ
ラグを有するＤＣステッピングモーターによって制御さ
れる。当該モーターは、適切なアップ及びダウン位置を
モニターする専用回路基板によって制御される。各々の
Ｘ、Ｙステージには、サーボコントローラが供えられて
いる。

このコントローラは、リニアアンプ、デジタル入力信号
を前記リニアアンプに適合する信号に変換するインデク
サ、エンコーダ回路、リミッタ回路、及び帰還回路を有
する。ロークリエンコーダ及びその付随エレクトロニク
スにより、最小ステップ距ｊｌｌｌＯｕｍが得られる。

コントローラはＸ、Ｙステージに取り付けられたプロー
ブの最大速度、加速度を制御する回路を有している。コ
ントローラはＡＴ＆ＴのＰ　Ｃ６３００型マイクロコン
ピユータからの入力信号を受信する。このコンピュータ
には、Ｘ、Ｙコントローラとコンピュータとの間の高速
相互接続を可能ならしめるインターフェースボードがそ
のＩ１０バスに接続されている。コンピュタは、さらに
、個別のインターフェースを通じて台座のＺ方向移動用
コントローラに接続されている（コンピュータからの信
号は台座の上下方向への異動を指示するが、その距離は
コントローラが制御する）。コンピュータシステムは、
Ｘ、　Ｙ方向の移動がＺ方向と同時に起こらないように
プログラムされている。（インターロックシステムも供
えられていて、プローブ領域上に保護材がある場合にの
みＸ、Ｙ方向の移動が可能であるようになっている。） 台座は、リレーの動作を通じて、測定システムのグラウ
ンドに接地されたり、電気的に浮かされて接続されてい
る。一方のプローブは、Ｊｌ定システムのグラウンドに
接続され、他方のプローブは、抵抗及び静電容量の測定
をシステムグラウンドに対してなすために、適した回路
に接続されている。

測定回路は、従来技術に係るもので、抵抗値を電流及び
電圧のＡ１１１定から、また静電容量をＲＣ時定数の測
定から、それぞれモニターする。（静電容量Δｐ１定回
路は、実際に時間間隔の設定を行っているコンピュータ
にインターフェースされている。）７７１１定回路のア
ナログ部は、雑音を防止し、浮遊容量を減少させるため
に、プローブ近傍に配置される。このアナログ部は、コ
ンピュータ内部の、Ａ／Ｄコンバータを備え静電容量Ｉ
Ｉ定に必要なタイミング信号を生成するための手段を回
路基板に接続されている。静電容量分解能０．０２ｐＦ
及び抵抗分解能０．１Ωが与えられる回路か備えられて
いる。

コンピュータは、Ｘ、　　Ｙ方向の移動中にも常時測定
回路をモニタする能力を有している。プローブ間の機械
的接触を示す信号が検出されると、コンピュータは全て
の動きを停止する。既述の回路を通してコンピュータは
コントローラに支持を出し、適切な動きをさせ、次いで
、コントローラはこの動きが実行されたことを示す信号
をコンピュータに返送する。

端末及びエレクトロニクス機器間の通信を可能ならしめ
るソフトウェアが備えられている。この通信により、英
語型のコマンドが所定の電気信号のシーケンスに変換さ
れる。このソフトウェア言語の使用を通じて被試験基板
のテストポイントのＸ、　Ｙ位置に関するリストがコン
ピュータにロードされる。このリストに加えてこれらの
テストポイント間の移動シーケンス及びテストポイント
でのｔ−１定シーケンスもロードされる。リアルタイム
処理を行なうためのソフトウェアも備えられている。１
ｌＦ１定が開始される前に、２つのアラインメント位置
が前述のカメラシステムを用いて決定される。この決定
は、オペレータによる基板の台座上への配置における偏
移のために必要とされる補正を可能ならしめるものであ
る。アラインメント位置の測定は、テストポイント位置
におけるこの偏移補正を可能ならしめるものである。各
々のプローブの動作の前に、コンピュータはテストポイ
ントの位置を、アラインメント位置の測定によって示さ
れた５８整値によって補正する。さらに、コンピュータ
は、それ以降の動作がなされる経路をプローブ間の衝突
が生じないことを保証するためにチエツクし、衝突が生
ずるこが示された場合には、その可能性を回避するため
に経路を変更する。

（回路試験用のシーケンスが正確であれば、このチエツ
クは不要であるが、人為的エラーを回避するために付加
的なチエツクがなされる。　コンピュータにロードされ
た初期の回路試験シーケンスは、アルゴリズムに基ずく
変形を用いてプローブの動きを減少させるように選択さ
れている。利便性から、このアルゴリズムは、システム
に電気的に接続されていないコンピュータに適応される
が、必要とあらば、測定を開始する前に、テストシステ
ム自体に適切なシーケンスを決定させることも可能であ
る。静電容ｆｆ１ｎｌ定のスケーリング及び電気的測定
の所定の許容度を与えるために、試験結果を記録し表示
する為のプログラムも備えられている。さらに、配線網
パターンがあらかじめ知られていない場合に、配線網の
接続性を決定するためのソフトウェアも備えられている
。試験測定中に基板がおかしいことを示す結果がでた場
合、再び試験を行って、＃ｌ＃１定がおかしいのではな
く、基板そのものが正常ではないことを保証するための
ソフトウェアが備えられている。計算によって試験が遅
らされないことを保証するために、コンビ二一夕はいつ
でも、プローブの動作がなされている期間のうちに実行
される。

実際の動作では、オペレータが試験シーケンスを開始す
る。この開始動作は、特定の被試験基板に関するプロー
ブの動作が既にロードされている場合には、所定の試験
動作を内部ロードすることを要求するのみである。新た
な基板配線網配置に対しては、開始動作は、適切なプロ
ーブ動作及び７Ｉ−１定順序を外部からロードすること
を含む。被試験基板が台座上に置かれ、真空チャックが
動作させられる。支持を与える目的でオペレーターは特
定の被試験基板を識別するデータを入力する。その後、
オペレータはキーボード上のカーソルキーを用いて、各
々のプローブを対応するアラインメントマークに合致さ
せる。正確さを保証するために、双方のプローブがまず
第１アラインメントマークに合致させられ、その後に一
方のプローブが第二アラインメントマークに対して合致
させられる。その後、オペレーターは、４−１定を開始
させる。

、ＩＦ５定が完了するとコンピュータは、測定結果をビ
デオデイスプレー上に表示させる。

例２ 例１における装置及び手続きが用いられる。但し、Ｚ方
向への動きは、台座ではなくプローブの動作によってな
される。各々のプローブのマウントは、ロークリエンコ
ーダを有するワローズドルーブＤＣモーターを用いたラ
ック・ビニオニ式Ｚ方針トランスレータを有している。

台座用コントローラの代イつりにマイクロコンピュータ
に基づくサーボコントローラが用いられ、このコントロ
ーラはコンピュータのＩ１０バスに直接接続されている
。プローブのＺ方向のアラインメントは、それらが双方
とも導電性のＸ、　Ｙ平面に接触するように動かすこと
によって自動的に実行される。Ｚ方向の移動動作によっ
て発生するトルクはモニターされ、プローブが基板の非
導電性部等の障害物と接触しないことか保証される。こ
のシステムは、例１に示したシステムよりもいくらか大
きい自由度を有する。なぜなら、静電容量の４Ｐｊ定が
、一方のプローブを上げておき、他方のプローブを基板
に接触させておくことによって可能だからである。

このシステムは、同−Ｘ、Ｙ平面内に存在しないノード
の試験も行うこともできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の具体例によってａｔ定されつつある
回路の一部を模式的に示し図；及び第２図は、本発明に
おいて用いられるのに適したプローブを模式的に示した
図である。 １〜７・・・ノード ２０・・・プローブ ２１・・・接点 出 願 人：アメリカン テレフォン アンド 日Ｇ。 ＦＴｏ、　　２

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）導電性材料よりなる複数のノードを相互接続する、
   配線網を有する主体の作製プロセスにおいて、 前記プロセスは、前記ノード間の接続段階、前記ノード
   間の適切な導電性を保証するための試験段階、及び前記
   試験段階に基づいて当該主体を用いる段階よりなり、前
   記試験段階が、それぞれ第１及び第２プローブによって
   接続された第１及び第２ノードの一連の組のそれぞれの
   ものの間の電気抵抗の一連の測定よりなり、 前記プローブの、前記一連の電気抵抗の測定の間の動作
   が、第２の配線網のノード間の測定の進む前に、前記配
   線網内の全てのノード間の電気抵抗を測定するという制
   限なしに行われることを特徴とする配線試験法。 ２）前記主体が、プリント回路ボードよりなることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の配線試験法。 ３）前記主体が、混成集積回路よりなることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載の配線試験法。 ４）前記主体が、アドウァンスト・ＶＬＳＩパッケージ
   ングよりなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
   載の配線試験法。 ５）３個以上のプローブが用いられることを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載の配線試験法。 ６）前記試験が、静電容量の測定を含むことを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載の配線試験法。 ７）前記静電容量の測定がスケーリングされることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の配線試験法。 ８）前記試験に要する時間が、前記プローブの動作に要
   する時間を主とすることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載の配線試験法。 ９）前記試験に要する時間が、前記プローブの動作に要
   する時間を主とすることが、前記測定をなし、電気信号
   を伝達し、かつ前記動作時間に関係した信号を準備する
   ために要する時間を短く保つことによって保証されるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第８項記載の配線試験法
   。 １０）前記プローブが前記動作中充分に加速されて、当
   該動作が完了する前に最大速度に達することを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載の配線試験法。 １１）前記試験のための、前記プローブと前記主体との
   間の接続が、前記主体の前記主体平面に垂直な方向の動
   きを含む動作によってなされることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項記載の配線試験法。 １２）前記試験のための、前記プローブと前記主体との
   間の接続が、前記プローブの前記主体平面に垂直な方向
   の動きを含む動作によってなされることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載の配線試験法。 １３）前記制限が、前記測定中に実質的に、当該一連の
   測定において、以前のノード対に対して最近接の前記試
   験さるべきノード対へ移動することによって、前記動作
   がなされてそのために回避されることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載の配線試験法。 １４）前記ノードの各々が、前記複数の配線網のうちの
   一つに属していることによって識別されることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載の配線試験法。