JPS62282277A - 導通検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 この発明は、高密度化されたプリント配線板の配線異常
を検査する導通検査装置に関する。

〔従来の技術〕

−Ｓに、プリント配線板は、パターンの高密度化によっ
てパターン線幅が狭くなると共に、線間の間隔もますま
す狭くなってきており、しかもパターン層を何層にも重
ねた多層基板も多くなってきている。

このようなプリント配線板においては、電子部品等を実
装する前に、配線パターンの検査を行い不良基板への電
子部品等の実装を避ける必要があり、特に、多層基板で
は、不良を発見出来ずに積層すると、全体が不良となる
ので、これを廃棄処分としなければならず、歩留まりの
低下につながると共に、生産コストの増大を招く。しか
も、高密度化されたプリント配ｍＦｉは、コストが高い
ので、検査によって不良個所が発見された場合には、そ
の不良状態が修正可能であるときに、これを修正してコ
ストの低減を図ることが望まれている。

このため、従来、プリント配線板上に形成された銅箔等
の配線パターンの断線或いは短絡を検査する場合に光学
的検査方式、容量測定方式等が採用されている。

ここで、光学的検査方式は、プリント配線板上に光線を
照射し、その反射光又は透過光を読み取って配線パター
ンに断線或いは短絡等の不良が生じているか否かを検査
ものであり、実際の導通状態を測定するものではなく、
分解能の点で細かな破断或いは短絡を検出することがで
きないと共に、プリント配線板の表面にレジストが塗ら
れていたり付着物があるときには正確な検査を行うこと
ができない問題点がある。

また、容量測定方式は、上下パターンの容量を計測する
ようにしており、断線、短絡等の不良個所を特定するこ
とができず、不良個所の特定には、人が視覚によって行
わなければならず、高密度化されたプリント配線板にあ
っては視覚による不良個所の特定が困難である問題点が
あった。

これらの問題点を解決するために、従来、多ピン式の導
通検査方式が提案されている。この導通検査方式は、例
えば特開昭４７−２１０８２号公報に開示されているよ
うに、プリント配線板のソケットピンにアダプタを介し
て第１及び第２の測定点選択部を接続し、これら測定点
選択部で選択した２つの測定点間の導通抵抗を抵抗判定
回路で測定すると共に、これを基準値と比較判定し、各
測定点選択部及び抵抗判定回路をコントｏ−ラ部で制御
すると共に、抵抗判定回路からの情報を解析することに
より、測定点間の導通を自動的に検査するように構成さ
れている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上記多ピン式の導通検査方式にあっては
、プリント配線板の全てのランドを検査するためには、
その制御が複雑となると共に、被測定点に接触させるピ
ン間は電気的に絶縁する必要があるからピン間の間隔を
狭くするには物理的に限度があるので、高密度化された
プリント配線板上の全てのランドを検査することができ
ない場合があり、通常は関連する複数のランドを有する
パタンの両端のランド間について導通検査を行い、断線
又は他のパターンとの短絡による不良ネットが存在する
場合には、目視によって不良個所を見つけるようにして
いる。特に、高密度化されたプリント配線板では目視に
より不良個所を特定することがきわめて困難であるとい
う問題点があった。

このため、不良ネットの各ランド間の抵抗を測定して不
良個所を特定することも考えられるが、配線パターンを
構成する銅箔の抵抗値は、その幅を０．４　鶴、厚さを
２０μ、長さを１０ｕとしてとき２０ｍΩ程度であり、
通常の２端子法による抵抗測定では、銅箔に接触させる
プローブピン自体の接触抵抗が１０〜４０ｍΩ程度であ
るので、これが銅箔の測定抵抗値に加算されることにな
り、近距離の銅箔の微小抵抗を正確に測定することが困
難である。

そこで、この発明は、上記従来例の問題点に着目してな
されたものであり、ＸＹ方向に移動可能なそれぞれ２つ
の接触子を存する２つの測定子を所望の被測定点に接触
させることにより、それら間の微小抵抗を計測して導通
状態を検査し、何れか一方の測定子を移動合せながら順
次測定点間の抵抗を測定することによって、不良個所の
特定を容易に行うことが可能な導通検査装置を提供する
ことを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕 上記目的を達成するために、この発明は、互いに直交す
るＸ方向及びＹ方向にそれぞれ独立に移動可能とされた
第１の測定ヘッド及び第２の測定ヘッドを有し、前記第
１の測定ヘッドは第１の測定子を有し、前記第２の測定
ヘッドは第２の測定子を有し、該第２の測定子と前記第
１の測定子を被検査パターンの多数の測定点に順次接触
させて第１の測定子と第２の測定子間の導通を測定する
導通検査装置であって、前記各々の測定子は互いに近接
し独立した２つの接触子を有し、前記第１の測定子の一
方の接触子と前記第２の測定子の一方の接触子は該一方
の接触子を含んで形成される閉回路に定電流を供給する
定電流供給手段に接続され、前記第１の測定子の他方の
接触子と前記第２の測定子の他方の接触子は当該他方の
接触子間の電圧を測定する電圧検出手段に接続され、該
電圧検出手段により測定された電圧から被検査パターン
の測定点間の測定値を得、該測定値を予め取込んだ回路
測定点間の値（基準値、最小値等）と比較することを、
各測定点間について行うことにより被検査パターンの配
線異常部の近傍の測定点を検出することを特徴としてい
る。

〔作用〕

この発明においては、第１及び第２の測定子を、互いに
近接し独立した２つの接触子で構成し、それらの一方を
定電流供給手段に接続し、他方を電圧検出手段に接続す
ることにより、電圧検出手段により測定された電圧から
被検査パターンの測定点間の測定値抵抗値に相当するを
得、この測定値を予め設定された当該測定点間の基準値
と比較することにより、測定点間に不良個所があるか否
かを判定し、不良個所がある場合に、第１及び第２の測
定子の何れか一方を被検査パターンに沿って移動させな
がら測定子間の電圧を測定することにより、両者間の不
良個所を特定する。

〔実施例） 以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図乃至第６図はこの発明の一実施例を示す図である
。

第１図において、■はテーブルＴに載置された測定対象
としてのプリント配線板、２ａ及び２ｂはそれぞれ第１
及び第２の測定ヘッド３ａ及び３ｂを保持してこれをＸ
Ｙ方向に移動させる移動機構である。

各移動機構２ａ、２ｂは、それぞれプリント配線板１の
側縁に沿う方向に案内される台車４を有し、これら台車
４間にコ字状枠５が橋架されてＸ軸方向移動部６が形成
され、このＸ軸方向移動部６のコ字状枠５にＹ軸方向に
移動可能な測定ヘッド３ａ、３ｂが配設され、この測定
ヘッド３ａ。

３ｂにそれぞれＺ軸方向（図において上下方向）に移動
可能される第１及び第２の測定子としてのプローブピン
７ａ、７ｂが保持されている。

そして、移動部６がパルスモータ、直流モータ等の駆動
機構８によって、測定ヘッド３ａ、３ｂがそれぞれパル
スモータ、直流モータ等の回転駆動部とこれと測定ヘッ
ド３ａ、３ｂに取付けたプーリとの間に張設されたタイ
ミングベルト又はワイヤとで構成される駆動機構９によ
って、プローブピン７ａ、７ｂが電磁石等の駆動機構１
０によってそれぞれ駆動され、これら駆動機構８〜１０
が第３図に示す制御装置１１によって駆動制御される。

各プローブピン７ａ及び７ｂは、それぞれ第２図に示す
如（、導電性材によって円柱状に形成され、その下端部
に円錐部１２が形成され、その中央部に絶縁体１３を介
在させることにより左右半部をそれぞれ互いに絶縁され
て独立した接触子１４Ｌ１４ｒとしている。

そして、各プローブピン７ａ、７ｂの接触子１４１．１
４ｒが測定回路１５に接続されている。

制御装置１１は、第３図に示す如く、インタフェース回
路１６、演算処理装置１７及び記憶装置１８を少な（と
も備えたマイクロコンピュータ１９で構成されている。

インタフェース回路１６の入力側には、測定回路１５か
らの測定値が入力されると共に、出力側に各駆動機’ｒ
Ｒ８，９及び１０が接続され、さらに必要に応じてプリ
ンタ或いはＣＲＴディスプレイ等の出力装置２０が接続
されている。

演算処理装置１７は、インタフェース回路１６に入力さ
れる測定回路工５からの測定値と予め設定された測定点
間の基準値とを比較して測定点間に断線、短絡等の不良
個所が存在するか否かを判定し、不良個所が存在する場
合には、何れか一方のプローブピン７ａ又は７ｂをプリ
ント配線板１の配線パターン１ａに沿って隣接するラン
ドＬまで移動するように駆動機構８，９及びＩＯに移動
指令を出力し、測定回路１５の電圧計２２からの測定値
Ｖを定電流電源２１の定電流値■、で除して抵抗値Ｒを
算出し、この抵抗値Ｒの最小値又は最大値となる測定点
を短絡、断線等の近傍点として判断し、その座標情報を
記憶装置１８の座標情報記憶領域に記憶する。

記憶装置１８は、前記演算処理装置１７の演算処理に必
要な処理プログラムを予め記憶しており、且つ演算過程
での最大値及び最小値を記憶すると共に、演算処理装置
１７により近傍点として判断された測定点の位置座標を
記憶する。

測定回路１５は、第４図に示すように、各プローブピン
７ａ、７ｂの一方の接触子１４１が両端に接続される定
電流電源２１と、プローブピン７ａ、７ｂの他方の接触
子１４ｒが両端に接続される電圧検出手段としての電圧
計２２とを備えている。そして、定電流電源２１からの
電流値■。

（例えば０．１　Ａ程度）に比較して電圧計２２に流れ
る電流値■９を例えば０．０２μＡ程度に極めて少なく
することにより（Ｉｖ？Ｉ＋）、プローブピン？ａ、７
ｂの各接触子１４Ｉｌ及び１４ｒ自体の抵抗をそれぞれ
ｒｌ＋ｒ２及びｒ　３　＊　　ｒ　４　、銅箔の抵抗を
Ｒｏとしたとき、銅箔の電流値■は■＝工、となり、こ
のため、電圧計２２に流れる電流値■９はＩｖ”０とな
る。したがって、電圧計２２の端子間電圧Ｅは、銅箔に
かかる電圧をＥ。

とすると、Ｅ””Ｅｏ　＋　Ｉｖ　　（ｒ３　＋ｒａ　
）＝Ｅ＠となり、各プローブピン７ａ、７ｂの接触抵抗
及び線路抵抗は、無視することが可能となり、配線パタ
ーン１ａの微小抵抗値（銅箔の幅を０．４鰭、厚さを２
０μ、長さを１０ｍとしたとき２０ｍΩ程度）に正確に
対応した測定電圧Ｖを電圧計２２から制御装置１１に出
力する。

次に、上記実施例の動作を制御装置１１の演算処理装置
１７の処理手順を示す第６図を伴って説明する。

今、プリント配線板１上に第５図に示すようなランドＬ
Ａ””＝Ｌｔ間及びランドＬｒ−Ｌｒ間にそれぞれ銅箔
による配線パターン１ａ＋、ｌａ２が正常時非導通状態
となるように形成されているものとし、例えば多ピン式
導通検査装置で検査した結果、ランドＬＡ及びＬＦ間で
短絡状態が発見されたものとする。また、配線パターン
ｉａｌ、ｌａ２によって接続される各ランドＬ、〜Ｌ、
及びＬｒ−Ｌｒの位置座標と、ランドＬＡ及びり２間が
非短絡状態である旨とがそれぞれ側扉装置１１の記憶装
置１８に予め記憶されているものとする。

ここで、記憶装置１８への各ランドＬＡ−Ｌ、及びＬｒ
”Ｌｒの位置座標の記憶は、プリント配線板１を作成す
る際に使用したＣＡＤシステムのデータを記憶するか、
或いはプリント配線板ｌのランドの穴位置を穴位置読取
装置で読み取り、これを記憶させるようにしてもよい。

まず、外部から検査指令を制御装置１１に入力すること
により、その演算処理装置１７で第６図の処理が実行さ
れる。

すなわち、ステップ■で、移動機構２ａ、２ｂに対して
移動指令を出力して、プローブピン７ａ。

７ｂをそれぞれ上昇させた状態で、これらを測定開始点
となるランド例えばＬＡ、ＬＦ上に移動させ、この状態
で、駆動機構１０によってプローブピン７ａ、７ｂを下
降させてランドＬＡ、ＬＦに設けられた穴に挿入し、そ
れらの接触子１４１゜１４ｒをランドＬＡ、ＬＦ位置の
銅箔に接触させる。

この状態となると、測定回路１５の定電流電源２１から
定電流１．がプローブピン７ａ、７ｂの接触子１４Ｎを
通じて配線パターンＬａ＋　　ｌａｚに供給される。こ
のとき、配線パターンｌａｌｌｌａｇ間が非導通状態で
あって抵抗値が無限大である筈であるのに短絡状態とな
っているので、短絡位置を含む配線パターンの長さに応
じた電圧値ＶＡＦが測定回路１５の電圧計２２で検出さ
れる。

次いで、ステップ■に移行して、測定開始点での基準値
即ち非導通状態であるときには無限大に近い比較的大き
な抵抗値Ｒ３１をセットし、導通状態であるときには配
線パターンの長さに応じた比較的小さな抵抗値Ｒｓｚを
セットする。このとき、測定対象となる配線パターン１
ａＩ＋　　ｌａｚが非導通状態である筈であるので、基
準値として抵抗値Ｒ３Ｉがセントされる。

次いで、ステップ■に移行して、測定回路１５の電圧計
２２の測定電圧ＶＡＦを読込み、この測定電圧■。を予
め設定された定電流電Ｂ２１からの定電流値■、で除し
てランドＬＡ及びり１間の配線パターンの抵抗値Ｒ（＝
ＲＡｙ）を算出してからステップ■に移行する。

このステップ■では、上記ステップ■で基準値として抵
抗値Ｒ３＋がセットされているか否かを判定する。この
判定は、短絡個所を探索するか断線個所を探索するかを
判断するものであり、基準値として抵抗値Ｒ３Ｉがセン
トされているので、短絡個所を探索するものと判断して
ステップ■に移行する。

このステップ■では、前記ステップ■で算出した抵抗値
Ｒが基準抵抗値Ｒ３１以上であるか否かを判定する。こ
の判定は、プローブビン７ａ、７ｂが接触しているラン
ドＬＡ、Ｌ、間が正常であるか否かを判定するものであ
り、この場合、ランドＬＡ、ＬＦ間が短絡状態であるの
で、ステップ■で算出した抵抗値ＲＡＦが基準抵抗値Ｒ
ｓ＋未満となるので、ステップ■に移行する。

このステップ■では、前記ステップ■で算出した抵抗値
ＲＡＦが記憶装置１８の最小値記憶領域に記憶された最
小抵抗値Ｒｍｉｎ未満であるか否かを判定する。このと
き、検査開始時点であるので、最小値記憶領域の記憶内
容はクリアされており、ステップ■に移行して、測定抵
抗値Ｒが最小値Ｒｍｉｎとして最小値記憶領域に記憶さ
れ、且つそのときのランドＬＡの座標位置が記憶装置１
８に形成された第１の座標位置記憶領域に記憶される。

次いで、ステップ■に移行して、移動機構２ａに対して
プローブビン７ａを隣接する次のランドＬａに移動させ
る移動指令を出力してからステップ■に移行する。この
場合の移動指令は、移動機構２ａの駆動機構１０に対し
て上昇用駆動指令が出力されて、プローブビン７ａがラ
ンドＬＡから上方に離間し、その後駆動機構９に対して
移動指令が出力されて、プローブビン７ａがランドＬ。

上に移動され、次いで、駆動機構１０に下降用駆う 動指令が出力されて、プローブビン７ａが下降してラン
ドＬ、に接触子１４Ｃ１４ｒが接触する。

ステップ■では、前記ステップ■と同様に、電圧計２２
の測定電圧■を読込み、これに基づいて抵抗値Ｒを算出
してから前記ステップ■に戻る。

その後、上記と同様の動作が繰り返され、測定回路１５
で、プローブビン７ａ、７ｂが接触しているランドＬ、
及びＬＦ間の電圧値ＶＩＩＦが測定され、これが制御装
置１１に読み込まれて、抵抗値ＲＢＦが算出される。

このとき、第５図の例ではランドＬ８とＬｏの近くが短
絡しているので今回の測定抵抗値Ｒ［ＩＦは、前回の測
定抵抗値ＲＡＦに比較してランドＬＡ及びり、間の抵抗
値を差し引いた分小さな値となるので、今回の測定抵抗
値ＲＩＩＦが最小値Ｒｍｉｎ、として最小値記憶領域に
更新記憶され、且つ座標位置記憶領域にランドＬ、の座
標情報が更新記憶される。

このようにして、順次プローブビン７ａをランドＬｃ−
ＬＥに移動させながら、抵抗値を測定して行き、抵抗値
が最小となるランドを検索する。

この場合、第４図に示すように、配線パターン１ａ＋＋
１３ｚのランドＬｌｌ　　　ＬＥ間のランドＬ。

寄り位置Ｐ、とＬ）ｌ　　Ｌ１間のランドＬ、寄り位置
Ｐ２との間で短絡が生じているので、ランドＬＤ及びラ
ンド上２間の抵抗値Ｒ０Ｆが最小値Ｒｍｉｎとなり、こ
れが最小値記憶領域に更新記憶され、且つランドＬ、の
座標情報が第１の座標情報記憶領域に更新記憶される。

この状態で、次のランドＬＥの抵抗値ＲＥＦを算出した
ときに、この抵抗値ＲＥＦは前回の抵抗値ＲＩより大き
な値となるので、ステップ■からステップ［相］に移行
して、移動機構２ａに対してプローブビン７ａを座標位
置記憶領域に記憶されている座標情報即ちランド上９位
置に戻す移動指令を出力し・プローブビン７ａがランド
Ｌ、に接触する状態となったら、ステップ■に移行する
。

このステップ■では、他方のプローブビン７ｂを隣接す
る次のランドＬ、に移動させる移動１旨令を移動機構２
ｂに対して出力し、その移動が完了すると、ステップ＠
に移行して、ステップ■、■と同様に、測定回路１５か
らのランドＬ、とランドし、の測定値ＶＤＧを読込んで
抵抗値ＲＩＩＧを算出し、次いでステップ０に移行して
、最小値記憶領域に記憶されている最小値Ｒｍｉｎ　　
（−ＲｏＦ）未満であるか否かを判定する。このとき、
抵抗値ＲＤＧがＲＩＩＦ未満となるので、ステップ■に
移行し、抵抗値ＲＤＧを最小値Ｒｍｉｎとして最小値記
憶領域に更新記憶すると共に、そのときのランドＬｒ、
の座標情報を記憶装置１８に形成された第２の座標情報
記憶領域に記憶してからステップ■に戻る。

そして、上記ステップ■〜ステップ■の処理を繰り返し
て、プローブピン７ｂについての最小抵抗値を示すラン
ドＬにを探索し、その抵抗値Ｒ１＋１１が最小値記憶領
域に記憶され、且つランドＬＨの座標情報を第２の座標
情報記憶領域に記憶し、次いでステップ■に戻って、ラ
ンドＬ１について抵抗値ＲＤＩを算出すると、このとき
の抵抗値ＲＤＩは前回の最小値Ｒｍｉｎ（−Ｒ１１＋１
）より大きな値となるので、ステップ０からステップ０
に移行する。

このステップ■では、第１及び第２の座標情報記憶領域
に記憶されている座標情報をそれぞれ記憶装置１８に形
成された不良個所座標情報記憶領域に記憶してからステ
ップ［株］に移行する。

このステップ［相］では、検査を継続するか否かを判定
し、検査を継続する場合には、ステップ０に移行して基
準値Ｒ３１をリセットすると共に、第１〜第４の座標情
報記憶領域及び最小値記憶領域をクリアしてからステッ
プ■に戻り、検査を終了する場合にはステップ［相］に
移行して、不良個所座標情報記憶領域に記憶されている
座標情報即ち上側の場合にはランドＬｏ、ＬＨの座標情
報を読出し、これをプリンタ又はＣＲＴディスプレイで
なる出力装置２０に出力することにより、短絡状態を生
じている不良個所を特定することができる。

また、被検査対象となるプリント配線板１上の配線パタ
ーン１ａ＋、ｌａｇのランドし、とランドＬ、間がパタ
ンＰ、で導通するように接続されていなければならない
パターンであるにもかかわらず、ランドＬＡ、ＬＦ間が
非導通状態であるときには、前記第６図の処理において
、ステップ■で基準抵抗値Ｒ５２がセットされるので、
ステップ■からステップ＠に移行して、ステップ■で算
出した抵抗値Ｒ（−ＲＡｒ）が基準抵抗値Ｒｓｚ以下で
あるか否かを判定する。この判定は、ランドＬ。

、Ｌｒ間が正常状態であるか否かを判定するものであり
、この状態では、ランドＬＡ、ＬＦ間に断線が生じてい
るので、ステップ■で算出した抵抗値ＲＡＦは無限大と
なり、基準抵抗値Ｒ３Ｚより大きくなるので、ステップ
［相］に移行する。

このステップ［相］では、プローブピン７ａ、７ｂの何
れか一方例えば７ａを固定したままで、プローブピン７
ｂをランドＬＲに移動させてから、ステップ０に移行す
る。このステップ■では、ステップ■、■、■と同様に
、測定回路１５の測定値■を読込んで抵抗値Ｒを算出し
、次いでステップ［相］に移行して、上記ステップ■で
算出した抵抗値Ｒが基準値Ｒ１を越えているか否かを判
定し、Ｒ≦Ｒ３Ｚであるときには、ステップ■に移行し
てそのときのランドＬ、の座標情報を記憶装置１８に形
成した第３の座標情報記憶領域に記憶する。

次いで、ステップ［相］に移行して、プローブピン７ｂ
を隣接する次のランドＬ、に移動させてからステップ＠
に戻り、上記と同様の処理を繰り返す。

そして、プローブピン７ａをランドＬＡに固定したまま
、プローブピン７ｂを順次ランドＬＣ＋Ｌ、、Ｌ、、、
Ｌ、と移動させて行き、これらランドとランドＬａとの
間の抵抗値を順次測定して行く。この場合に、ランドＬ
、までは、プローブピン７ｂがランドＬＡから離れる毎
に、配線パターンｌａＩの抵抗値が増加するが、その抵
抗値ＲＡＣ〜ＲＡＥは基準値Ｒ８２より大きくなること
はなく、ステップ＠からステップ［株］に移行して、第
３の座標情報記憶領域に順次ランドＬ、〜Ｌ、の座標情
報が更新されて行く。その後、プローブピン７ｂがラン
ドＬｔからランドＬ１に移動した時点で、パターンＰ、
は中央部Ｐ、に断線があるので抵抗値ＲＡＩが無限大と
なり、このため、ステップ＠からステップＯに移行して
、そのときのランドＬ。

の座標情報を記憶装置１８に形成した第４の座標情報記
憶領域に記憶してからステップ［相］に移行し、第３及
び第４の座標情報記憶領域に記憶されている座標情報を
それぞれ前記不良座標情報記憶領域に格納し、次いでス
テップ［相］に移行する。したがって、ランドＬ、及び
Ｌ＋間で断線が生じていることを判断することができる
。

そして、該当する測定ネットについて不良個所を１個所
発見したら測定を終了し、このネットについての補修を
終了した後、再度導通検査を行って確認することにより
、労力をかけることなく、不良品の補修を行うことがで
きる。

なお、上記実施例においては、記憶装置１８に記憶され
ている不良個所座標情報を出力装置２０に出力して印字
又は表示するようにした場合について説明したが、これ
に限定されるものではなく、プリント配線板１上に透明
シートを載置し、この透明シートにＸＹブロック構成を
有するマーク装置（移動機構２ａ、２ｂの何れかにプロ
ーブビン７ａ又は７ｂに代えて印字ペンを装着して兼用
することも可能）で、ランドＬｏ、ＬＨに対応する位置
に所定のマークを印字するようにしてもよい。

また、上記実施例においては、多ピン式導通検査装置に
よって、予め導通検査を行い、゛その結果不良ネットが
存在するときにこの発明による導通検査装置を適用する
場合について説明したが、これに限定されるものではな
（、最初からこの発明による導通検査装置を使用して、
予め設定された所定のランド間の抵抗値を測定し、その
測定抵抗値が予め設定された基準値Ｒ３１，Ｒ３□と比
較して両者が正常であるか否かを判定し、不良状態であ
るときにプローブビン７ａ、７ｂの何れかを順次隣接す
るランドに移動させてランド間の抵抗値を測定して不良
個所に隣接するランドの座標情報を記憶装置１８の不良
個所記憶領域に記憶するようにしてもよいこと勿論であ
る。

さらに、上記実施例においては、プローブビン７ａ、７
ｂが第２図に示すように構成されている場合について説
明したが、これに限らず、第７図に示すように、絶縁材
で形成した円柱体３０の外周面に導電性を有する金属３
１を鍍金し、その鍍金層を中心軸を通る対称位置で除去
して絶縁部３２を形成することにより、互いに絶縁され
た接触子１４６，１４ｒを形成するようにしてもよい。

またさらに、本実施例では、抵抗値を用いて比較判断す
る例としたが抵抗値に比例する値とか、抵抗値と一義的
に対応する他の値を用いても良い。

また、本実施例では、プリント配線板１の上面側に２つ
のヘッド３ａ、３ｂを配置するようにした場合について
説明したが基板を挾んで上下に１つづつヘッドを設けて
も良い。

〔発明の効果］ 以上説明したように、この発明によれば、互いに直交す
るＸ方向及びＹ方向にそれぞれ独立に移動可能とされた
第１の測定ヘッド及び第２の測定ヘッドを存し、前記第
１の測定ヘッドは第１の測定子を有し、前記第２の測定
ヘッドは第２の測定子を有し、該第２の測定子と前記第
１の測定子を被検査パターンの多数の測定点に順次接触
させて第１の測定子と第２の測定子間の導通を測定する
導通検査装置であって、前記各々の測定子は互いに近接
し独立した２つの接触子を有し、前記第１の測定子の一
方の接触子と前記第２の測定子の一方の接触子は該一方
の接触子を含んで形成される閉回路に定電流を供給する
定電流供給手段に接続され、前記第１の測定子の他方の
接触子と前記第２の測定子の他方の接Ｍ子は当該他方の
接触子間の電圧を測定する電圧検出手段に接続され、該
電圧検出手段により測定された電圧から被検査パターン
の測定点間の測定値を得、該測定値を予め取込んだ回路
測定点間の値と比較することを各測定点間について行う
ことにより被検査パターンの配線異常部の近傍の測定点
を検出する構成としたので、被検査パターンの配線異常
個所を自動的に正確に特定することができ、この場合２
つの測定子のみで測定点を探索するので、被検査パター
ンの間隔が狭い場合であっても、容易確実に導通検査を
行うことができ、しかも配線異常個所の特定を第１及び
第２の測定子を２つの独立した接触子で構成し、その一
方を定電流電源に、他方を電圧検出手段にそれぞれ接続
したので、測定子の接触抵抗、線路抵抗を無視すること
ができ、銅箔等で形成される被検査パターンの微小抵抗
値を正確に検出することができ、誤検出を生じることが
ない等の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第２図はこ
の発明に適用し得る測定子の一例を示す拡大断面図、第
３図はこの発明に適用し得る制御装置の一例を示すブロ
ック図、第４図はこの発明に適用し得る測定回路の一例
を示す回路図、第５図はプリント配線板の配線パターン
の一例を示す平面図、第６図はこの発明に適用し得る制
御装置の処理手順の一例を示すフローチャート、第７図
はこの発明に適用し得る測定子の他の実施例を示す断面
図である。 図中、１はプリント配線板、１ａ＋＋１ａ２は配線パタ
ーン、２ａ、２ｂは移動機構、３ａ、３ｂは測定ヘッド
、７ａ、７ｂはプローブピン（測定子）、１１は制御装
置、１４Ｃ１４ｒは接触子、１５は測定回路、１６はイ
ンタフェース回路、１７は演算処理装置、１８は記憶装
置、１９はマイクロコンピュータ、２０は出力装置、２
１は定電流電源、２２は電圧計、ＬＡ−Ｌ＋はランドで
ある。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 互いに直交するＸ方向及びＹ方向にそれぞれ独立に移動
   可能とされた第１の測定ヘッド及び第２の測定ヘッドを
   有し、前記第１の測定ヘッドは第１の測定子を有し、前
   記第２の測定ヘッドは第２の測定子を有し、該第２の測
   定子と前記第１の測定子を被検査パターンの多数の測定
   点に順次接触させて第１の測定子と第２の測定子間の導
   通を測定する導通検査装置であって、前記各々の測定子
   は互いに近接し独立した２つの接触子を有し、前記第１
   の測定子の一方の接触子と前記第２の測定子の一方の接
   触子は該一方の接触子を含んで形成される閉回路に定電
   流を供給する定電流供給手段に接続され、前記第１の測
   定子の他方の接触子と前記第２の測定子の他方の接触子
   は当該他方の接触子間の電圧を測定する電圧検出手段に
   接続され、該電圧検出手段により測定された電圧から被
   検査パターンの測定点間の測定値を得、該測定値を予め
   取込んだ回路測定点間の値と比較することを、各測定点
   間について行うことにより被検査パターンの配線異常部
   の近傍の測定点を検出することを特徴とする導通検査装
   置。