JP2015052454A - 配線回路基板の導通検査方法および配線回路基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定プローブ54,55が電極パッド21,31にそれぞれ接触するとともに、測定プローブ56,57が電極パッド21,31にそれぞれ接触する。測定プローブ54,55を通して電極パッド21,31および複数の線路LA1〜LA5を含む電流経路に電流が流される。電流経路の電流の値が測定され、測定プローブ56,57間の電圧の値が測定される。測定された電流の値および測定された電圧の値に基づいて、電極パッド21,31間の導通が検査される。
【選択図】図7
Description
図1は、本発明の一実施の形態に係る導通検査方法により検査されるサスペンション基板の上面図である。図1に示すように、サスペンション基板1は、金属製の長尺状基板により形成されるサスペンション本体部10を備える。サスペンション本体部10上には、太い点線で示すように、書込用配線パターンW1,W2および読取用配線パターンR1,R2が形成されている。書込用配線パターンW1と書込用配線パターンW2とは、一対の信号線路対を構成する。また、読取用配線パターンR1と読取用配線パターンR2とは、一対の信号線路対を構成する。
次に、書込用配線パターンW1,W2の詳細な構成について説明する。図2は、書込用配線パターンW1,W2の構成を示す模式図である。図2に示すように、書込用配線パターンW1は、線路LA1〜LA5により構成される。電極パッド21に線路LA1が接続され、電極パッド31に線路LA2が接続される。
(a)通常の導通検査方法
サスペンション基板1の製造工程において、導通試験器を用いて電極パッド21,31間、電極パッド22,32間、電極パッド23,33間および電極パッド24,34間の導通検査が行われる。図5は、通常の導通検査を行う場合の導通試験器の接続を示す回路図である。図5に示すように、通常の導通試験器60は、電源61、電流測定部62、電圧測定部63および2つの測定プローブ(プローブピン)64,65を含む。
図7は、本実施の形態に係る導通検査を行う場合の導通試験器の接続を示す回路図である。図7に示すように、本実施の形態における導通試験器50は、電源51、電流測定部52、電圧測定部53および4つの測定プローブ(プローブピン)54,55,56,57を含む。
図8は、電極パッド21および測定プローブ54,56の寸法を示す図である。図8に示すように、電極パッド21は、略矩形状を有する。電極パッド21の長手方向の長さはL1であり、電極パッド21の幅方向の長さはL2である。電極パッド22〜24の形状および寸法は、電極パッド21の形状および寸法と同様である。図8には、測定プローブ54,56の断面形状が示される。
次に、サスペンション基板1の製造方法について説明する。本例においては、長尺状の支持基板上にロール・トゥ・ロール方式により複数のサスペンション基板1が形成される。図9、図10および図11は、本発明の一実施の形態に係る導通検査方法により検査されるサスペンション基板1の製造方法の一例を示す工程断面図である。
本実施の形態に係る導通検査方法によれば、測定プローブ54,55が電極パッド21,31にそれぞれ接触し、測定プローブ56,57が電極パッド21,31にそれぞれ接触する。この状態で、測定プローブ54,55を通して電極パッド21,31および書込用配線パターンW1を含む電流経路に電流が流される。
(a)上記実施の形態において、電極パッド23,33間および電極パッド24,34間の導通検査は、通常の導通試験器60を用いて行われるが、これに限定されない。電極パッド23,33間および電極パッド24,34間の導通検査は、本実施の形態における導通試験器50を用いて行われてもよい。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
10 サスペンション本体部
11 開口部
12 タング部
21〜24,31〜34 電極パッド
41 ベース絶縁層
41a,41b 異物
42 カバー絶縁層
50,60 導通試験器
51,61 電源
52,62 電流検出部
53,63 電圧検出部
54〜57,64,65 測定プローブ
CN1,CN2 交差領域
G1,G2 接続部
H 孔部
H11,H12 貫通孔
LA1〜LA5,LB1〜LB5 線路
OP 開口
R1,R2 読取用配線パターン
RG1 領域
V1,V2 ビア
W1,W2 書込用配線パターン
Claims (10)
- 第1および第2の電極パッドが複数の線路により互いに電気的に接続された配線回路基板の導通検査方法であって、
第1および第2の測定プローブを前記第1および第2の電極パッドにそれぞれ接触させるとともに、第3および第4の測定プローブを前記第1および第2の電極パッドにそれぞれ接触させるステップと、
前記第1および第2の測定プローブを通して前記第1および第2の電極パッドならびに前記複数の線路に電流が流れるように電流経路を形成するステップと、
前記電流経路の電流の値を測定するステップと、
前記第3および第4の測定プローブ間の電圧の値を測定するステップと、
測定された電流の値および測定された電圧の値に基づいて、前記第1および第2の電極パッド間の導通を検査するステップとを含む、配線回路基板の導通検査方法。 - 前記第1および第3の測定プローブの直径は、それぞれ20μm以上50μm以下である、請求項1記載の配線回路基板の導通検査方法。
- 前記接触させるステップは、前記第1および第3の測定プローブの中心間の距離が30μm以上150μm以下となるように、前記第1および第3の測定プローブを前記第1の電極パッドに接触させることを含む、請求項2記載の配線回路基板の導通検査方法。
- 前記第1および第2の電極パッド間の導通を検査するステップは、
測定された電流の値と測定された電圧の値との比を算出することと、
算出された比を予め定められたしきい値と比較し、比較結果に基づいて前記配線回路基板における前記第1および第2の電極パッド間の前記複数の線路の導通が異常であるか否かを判定することとを含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の配線回路基板の導通検査方法。 - 前記複数の線路は、前記第1の電極パッドに接続された単一の線路から分岐し、前記第2の電極パッドに接続された単一の線路に合流するように形成される、請求項1〜4のいずれか一項に記載の配線回路基板の導通検査方法。
- 前記複数の線路の少なくとも1つには、ビアが介挿される、請求項1〜5のいずれか一項に記載の配線回路基板の導通検査方法。
- 絶縁層の一面または他面に第1および第2の電極パッドを形成し、前記絶縁層の前記一面に前記第1および第2の電極パッド間を電気的に接続する複数の線路を形成するステップと、
請求項1〜6のいずれか一項に記載の配線回路基板の導通検査方法により前記第1および第2の電極パッド間の導通を検査するステップとを含む、配線回路基板の製造方法。 - 前記複数の線路を形成するステップは、
前記絶縁層の前記他面に接続層を形成することと、
前記絶縁層に第1および第2の貫通孔を形成することと、
第1の線路を前記第1の電極パッドに電気的に接続することと、
第2の線路を前記第2の電極パッドに電気的に接続することと、
第3の線路を前記第1の線路に電気的に接続するとともに、前記第1の貫通孔を通して前記接続層に電気的に接続することと、
第4の線路を前記第1および第2の線路に電気的に接続することと、
第5の線路を前記第2の線路に電気的に接続するとともに、前記第2の貫通孔を通して前記接続層に電気的に接続することとを含む、請求項7記載の配線回路基板の製造方法。 - 前記接続層を形成することは、
前記絶縁層の他面に金属層を形成することと、
前記金属層を加工することにより、前記金属層の一部を前記接続層として前記金属層の他の部分から電気的に絶縁することを含む、請求項8記載の配線回路基板の製造方法。 - 第1の方向における前記第1の電極パッドの最大寸法は20μm以上100μm以下であり、前記第1の方向に直交する第2の方向における前記第1の電極パッドの最大寸法は40μm以上200μm以下である、請求項7〜9のいずれか一項に記載の配線回路基板の製造方法。
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