JP4223640B2 - プローブ方法及びプローブシステム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、プローブ方法及びプローブシステムに関し、更に詳しくはスループットを高めることができるプローブ方法及びプローブシステムに関する。
【0002】
【従来の技術】
プローブ装置10は、例えば図6に示すように、カセットC内に収納されたウエハWを1枚ずつ取り出して搬送するローダ室11と、このローダ室11に隣接しローダ室11から搬送されたウエハWを検査するプローバ室12と、このプローバ室12及びローダ室11を制御するコントローラ13と、このコントローラ13を操作する操作パネルを兼ねる表示装置14とを備えている。
【0003】
上記ローダ室11にはウエハWの搬送機構としてピンセット15が回転軸を介して立設され、このピンセット15が水平方向で進退動すると共に正逆回転することによりカセットC内のウエハWを1枚ずつ取り出してプローバ室12へ搬送する。また、ピンセット15の近傍にはウエハWのプリアライメントを行うサブチャック16が配設され、このサブチャック16がピンセット15からウエハWを受け取った後、θ方向に正逆回転し、その間にウエハWのオリエンテーションフラット(以下、単に「オリフラ」と称す。)を光学的に検出し、オリフラを基準にしてウエハWをプリアライメントする。
【0004】
上記ローダ室11に隣接するプローバ室12にはウエハWを載置するメインチャック17が配設され、このメインチャック17はX、Yステージ18、19を介してX、Y方向に移動すると共に内蔵の駆動機構を介してZ、θ方向に移動するようになっている。また、プローバ室12内にはアライメント手段20が配設され、このアライメント手段20を介してウエハWのアライメントを行う。このアライメント手段20はウエハWを撮像するCCDカメラ等からなる第1撮像手段21を有するアライメントブリッジ22と、このアライメントブリッジ22のY方向への往復移動を案内する一対のガイドレール23、23と、メインチャック17に付設されたCCDカメラ等からなる第2撮像手段(図示せず)とを備えている。また、プローバ室12の上面には図示しないプローブカードが配設され、このプローブカードの上面には図示しないテストヘッドが接続リング(図示せず)を介して電気的に接続されている。そして、テスタからのテスト信号をテストヘッド及び接続リングを介してプローブカードにおいて受信し、プローブと接触したウエハWについて電気的特性検査を行う。
【0005】
ウエハWの検査を行う場合には、まず、ローダ室11内でピンセット15が駆動してカセットC内から1枚のウエハWを取り出し、ピンセット15を介してウエハWをプローバ室12へ搬送する間にサブチャック16においてウエハWのプリアライメントを行い、その後、ピンセット15からプローバ室12内のメインチャック17へウエハWを引き渡す。その後、アライメントブリッジ22がプローブセンタへ移動すると共に、アライメントブリッジ22の第1撮像手段21の下方へ移動し、第1撮像手段21とメインチャック17側の第2撮像手段とが協働してメインチャック17上のウエハWのアライメントを行う。その後、メインチャック17がX、Y方向に移動してウエハWをインデックス送りすると共にメインチャック17がZ方向に上昇し、ウエハWとプローブとが接触した後、メインチャック17がオーバドライブしてウエハWの各ICチップとプローブとが電気的に接触し、各ICチップについて電気的特性検査を行う。
【0006】
ウエハサイズが例えば200mmまでのウエハWの場合には、図7の(a)で示すようにメインチャック17のオーバドライブにより、載置されたウエハWが一点鎖線で示す位置から実線で示す位置まで上昇しても、ウエハWは同図の実線で示すように殆ど傾くことなく水平状態のままZ方向に上昇する。この際、プローブカード24のプローブ24Aは同図(a)の一点鎖線で示す位置から実線で示す位置まで弾力的に持ち上げられ針先が太い線の始点Sから終点Eまで移動する。この状態を平面的に観ると、針先の始点Sから終点Eに至る移動距離は同図(b)の斜線の矢印で示すようにICチップの電極パッドP内にあり、プローブ24Aと電極パッドPが電気的に接触し、ICチップの検査を行う。
【0007】
ところで、ウエハサイズが例えば300mmの時代になると、ウエハサイズが大きくなるばかりでなく、ICチップが超微細化して電極パッド間のピッチが狭くなる。これに伴ってプローブカードが多ピン化してピン数が例えば約2000ピンにも達すると、オーバドライブ時に全プローブ24Aからメインチャック17に働く荷重が例えば10数Kg〜20Kgにもなるため、ウエハWが図8(a)の一点鎖線で示す位置からオーバドライブしてプローブ24Aと電気的に接触すると、この時の偏荷重でメインチャック17の回転軸(図示せず)が撓み、ウエハWが同図の実線で示すように例えば20〜30μm程度傾いて本来の上昇位置よりも外側へ偏倚する。この時、プローブ24Aは、その針先が同図(a)の一点鎖線で示す位置から実線で示す位置まで弾力的に持ち上げられて図7に示す場合よりも長い針跡を図8(a)の太い線で示すように残す。この時の針先の始点Sは図7で示す場合と同じ位置でも終点Eが図8の(b)に斜線の矢印で示すように電極パッドPからはみ出した位置に達し、検査時には針先が電極パッドPから外れる虞があり、ひいてはプローブ24Aから電極パッドPにテスト信号を送れず、検査の信頼性を損なう虞がある。
【0008】
そこで、本出願人は特願平9−202476号明細書においてオーバドライブ時に偏荷重を受けてもプローブが確実にウエハの電極パッドと接触し信頼性の高い検査を行うことができるプローブ方法及びプローブ装置を提案した。このプローブ方法では、オーバドライブ時の荷重によりウエハチャックが傾斜する時には、ウエハチャックの情報、ウエハの情報及びプローブカードの情報に基づいてオーバドライブ時の載置台のX、Y及びZ方向の移動補正量を求め、これらの移動補正量に基づいてX、Y及びZ方向への移動量を補正して載置台をオーバドライブさせるようにしている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図9に示すようにウエハチャック17をX、Y方向へ移動させる駆動機構にはサーボモータ31、32が使用され、Z方向へ移動させる駆動機構にはサーボモータ31、32とは動作特性が異なるステッピングモータ33が使用されているため、サーボモータ31、32とステッピングモータ33を同時に駆動させ、同時に停止させることは実質的に不可能で、各モータ31、32、33はばらばらに駆動し、停止する。尚、以下の説明では、サーボモータ31、32及びステッピングモータ33をそれぞれX軸モータ31、Y軸モータ32及びZ軸モータ33と称す。そこで、本出願人は上述したプローブ方法においては、ホストコンピュータ40からの指令により作動するドライバー31A、32A及びステッピングドライバー33Aからの信号に基づいてX軸モータ31、Y軸モータ32とZ軸モータ33がそれぞれの交互に駆動して斜め上方へ移動し、しかも各モータは交互に複数段階に分けて駆動することで図10、図11に示すようにプローブ24Aが略補正軌道に従って電極パッドP上をジグザクに移動して目標位置(終点E)に達する。しかし、この方法ではプローブ24Aと電極パッドとを確実に接触させることができるが、各モータを複数回に渡って駆動、停止を繰り返し、ジグザク移動するため、スループットが低下するという課題があった。
【0010】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、動作特性が相違する駆動機構が混在していても各駆動機構を分割して駆動させる必要がなく、スループットを高めることができるプローブ方法及びプローブシステムを提供することを目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1に記載のプローブ方法は、制御機構の制御下で、X軸駆動機構、Y軸駆動機構及びZ軸駆動機構により載置台をX、Y及びZ方向へ移動させ、上記載置台上に載置された被検査体とプローブカードのプローブとを接触させた後、上記載置台をオーバドライブさせて上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ方法において、上記載置台に上記被検査体を載置する工程と、上記載置台上の上記被検査体の電極パッドと上記プローブとが接触するように上記X軸駆動機構、Y軸駆動機構及びZ軸駆動機構により上記載置台をX、Y及びZ方向へ移動させる工程と、上記制御機構は、ソフト的に設定され且つ上記各駆動機構それぞれと信号回線で接続された一つの仮想コントローラを含み、上記仮想コントローラは、上記電極パッドと上記プローブが接触した後、上記各駆動機構それぞれを、同一の位置情報及び速度情報を含む一回の指令信号に基づいて同時に一括して制御することにより、上記プローブが上記電極パッド内に留まるように、上記載置台を上記プローブカードの方向へオーバドライブさせる工程と、を備えたことを特徴とするものである。
【0012】
また、本発明の請求項2に記載のプローブ方法は、請求項1に記載の発明にいて、上記仮想コントローラがコンピュータから受信する上記指令信号に基づいて上記各駆動機構を補間制御することを特徴とするプものである。
【0013】
また、本発明の請求項3に記載のプローブ方法は、制御機構の制御下で、X軸駆動機構及びY軸駆動機構とこれらの駆動機構と動作特性を異にするZ軸駆動機構とを用いて載置台をX、Y及びZ方向へ移動させ、上記載置台上に載置された被検査体とプローブカードのプローブとを接触させた後、上記載置台をオーバドライブさせて上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ方法において、上記載置台に上記被検査体を載置する工程と、上記載置台上の上記被検査体の電極パッドと上記プローブとが接触するように上記X軸駆動機構、Y軸駆動機構及びZ軸駆動機構により上記載置台をX、Y及びZ方向へ移動させる工程と、コンピュータからの指令信号が付与される一つの仮想コントローラが上記制御機構に含まれ、上記仮想コントローラは、上記電極パッドと上記プローブが接触した後、上記各駆動機構それぞれを、同一の位置情報及び速度情報を含む一回の指令信号に基づいて同時に一括して制御することにより、上記プローブが上記電極パッド内に留まるように、上記載置台を上記プローブカードの方向へオーバドライブさせる工程と、を備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項4に記載のプローブ方法は、請求項3に記載の発明において、上記仮想コントローラは、上記制御機構にソフト的に設定されることを特徴とすることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項5に記載のプローブ方法は、請求項3または請求項4に記載の発明において、上記コンピュータからの指令信号は、オーバドライブされる載置台上の上記被検査体の電極パッド内の目標位置及び各駆動機構により駆動する載置台のX、Y及びZ方向の移動速度を含むことを特徴とするものである。
【0014】
また、本発明の請求項6に記載のプローブシステムは、被検査体を載置する載置台と、この載置台をX方向、Y方向及びZ方向へそれぞれ移動させるX軸駆動機構、Y軸駆動機構及びZ軸駆動機構と、上記載置台の上方に配置され且つ上記被検査体に電気的に接触する複数のプローブを有するプローブカードとを備え、且つ、上記載置台がオーバドライブする時に上記プローブの先端が上記被検査体の電極パッド内に留まるように上記載置台を上記プローブカードの方向へオーバドライブさせるために、上記各駆動機構それぞれと信号回線で接続され且つ上記各駆動機構それぞれを、同一の位置情報及び速度情報を含む一回の指令信号に基づいて同時に一括して補間制御する制御機構を備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項7に記載のプローブシステムは、請求項7に記載の発明において、上記制御機構は、コンピュータとネットワーク回線を介して接続された仮想コントローラを有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項8に記載のプローブシステムは、被検査体を載置する載置台と、この載置台をX方向、Y方向及びZ方向へそれぞれ移動させる駆動機構と、上記載置台の上方に配置され且つ上記被検査体に電気的に接触する複数のプローブを有するプローブカードと、上記各駆動機構を介して上記載置台をX、Y及びZ方向へ移動させ、上記被検査体と上記プローブカードの複数のプローブを接触させた後、上記載置台をオーバドライブするように、各駆動機構を制御する制御機構と、を備え、上記制御機構は、コンピュータと、上記コンピュータからの指令信号に基づいて動作する一つの仮想コントローラと、を有し、且つ上記仮想コントローラはソフト的に設定され、更に、上記仮想コントローラは、上記載置台のオーバドライブ時に、上記プローブが上記被検査体の電極パッド内に留まるように、上記載置台を駆動させる上記各駆動機構それぞれを、同一の位置情報及び速度情報を含む一回の指令信号に基づいて同時に一括して補間制御することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項9に記載のプローブシステムは、請求項8に記載の発明において、上記コンピュータからの指令信号は、オーバドライブする載置台上の上記被検査体の電極パッド内の目標位置及び各駆動機構により駆動する載置台のX、Y及びZ方向の移動速度を含むことを特徴とするものである。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、図1〜図5に示す実施形態に基づいて従来と同一または相当部分には同一符号を附して本発明を説明する。
本実施形態のプローブ方法は図1に示すプローブシステム100を用いて実施する。このプローブシステム100は、同図に示すように、プローブ装置10と、プローブ装置10に各種の指令信号を授受するホストコンピュータ40と、これら両者10、40を互いに接続するネットワーク回線(フィールドバス)50と、プローブ装置10のX軸モータ31、Y軸モータ32及びZ軸モータ33を一括制御するためにソフト的に設定された単一の仮想コントローラ34とを備え、単一の仮想コントローラ34によってX軸モータ31、Y軸モータ32及びZ軸モータ33を同時に一括制御するようになっている。
【0016】
そして、仮想コントローラ34(実際には各モータのドライバー31A、32A、33A)はホストコンピュータ40から受信した指令信号に基づいて各モータ31、32、33を補間制御するようにしてある。即ち、メインチャックのオーバードライブ時に、仮想コントローラ34は、ホストコンピュータ40からウエハの電極パッド上のプローブに関する始点及び終点(目標位置)の位置情報(三次元アドレス)及び各モータ31、32、33に関する速度情報を受信すると、図2に示すようにプローブがウエハの電極パッド上の始点及び終点(目標位置)間にある時にもこれらの位置情報及び速度情報に基づいて常にプローブのウエハ上での現在位置を把握、監視し、結果的にプローブが始点から終点(目標位置)まで最短距離(後述する理想軌道)を通って移動する。
【0017】
上記各モータ31、32、33はそれぞれ独自のドライバー31A、32A、33A(図9参照)を具備しているものの、仮想コントローラ34が設定されているため、これらのドライバー31A、32A、33Aはホストコンピュータ40から単一の仮想コントローラ34があたかも指令信号を受信したかのように振る舞って各モータ31、32、33を駆動させてメインチャックを移動させ、ひいてはプローブが電極パッド上の始点から終点(目標位置)まで最短距離を通って移動する。従って、ホストコンピュータ40から仮想コントローラ34に対してオーバドライブのウエハ上の始点Sと終点Eの三次元アドレスを与え、更に、各モータ31、32、33の速度情報を与えれば、これらの情報に基づいてメインチャックが移動しプローブが電極パッドP上の始点Sから終点Eまで最短距離を通って移動し(図3参照)、電極パッドPと確実に接触する。
【0018】
従って、各モータ31、32、33の動作特性によりプローブの現在位置が所定の理想軌道から外れれば、そのずれ量を自動的且つ瞬時に補正する。この補正は極めて短時間で実行されるため、仮想コントローラ34と各モータのアンプ部31B、32B、33B間が高速応答可能なバス51によって接続されている。その結果、プローブは図2に示すようにウエハW上の始点Sから終点Eまで最短距離を移動し、短時間でオーバドライブを終了する。この際、ウエハの電極パッドPにはプローブの移動軌跡が図3に示す直線状の針跡Tとして残る。
【0019】
ところで、プローブからウエハに偏荷重がかかるとメインチャックが傾斜し、図8に示したようにプローブが電極パッドPから外れることがある。そのため、本実施形態の前提として本出願人が提案したプローブ方法によってプローブの位置補正を行う。即ち、検査時にメインチャックがZ方向に上昇すると、ウエハWは図4の一点鎖線位置でプローブ24Aと接触し、一点鎖線位置から実線位置までオーバドライブする。この時、ウエハW上でプローブ24Aから掛かる偏荷重が発生し、この偏荷重によりメインチャック17の回転軸が傾いてウエハWが本来の上昇位置よりも外側へ偏倚して傾斜し、プローブ24Aの針先の始点Sが同図の矢印Aで示す方向へ移動しようとする。
【0020】
この際、コントローラ13(図6参照)においてメインチャック17のX、Y及びZ方向への移動補正量を求め、図4に示すようにこの移動補正量に基づいてメインチャック17を介してウエハWを同図の矢印A方向への移動量に見合った量だけ同図の矢印B方向へ移動させて移動方向を矯正するため、あたかもウエハWが水平を保持したまま上昇するかのようにプローブ24Aの針先が同図の矢印Cで示すように垂直上方に持ち上げられる。この結果、針先は図5の(a)で太い線で示すようにウエハWが水平に持ち上げられた場合(図7参照)と殆ど変わらない軌道を描いて移動し、同図の(b)で示すように針先の終点Eが電極パッドP内に留まり、検査時にプローブ24Aが電極パッドPと確実に接触し、チップの検査を確実に行うことができる。
【0021】
上記メインチャック17の移動量を補正する際に、X、Yステージ18、19間の重量の違いやプローブ24Aとの接触毎の移動距離の違い、更にX、Y方向とZ方向の移動分解能の違い等があるため、メインチャック17をX、Y及びZ方向へ同時に始動させ、あるいは同時に停止させることができず、X、Y及びZ方向の移動開始に時間的な遅れが生じ、メインチャック17を補正後の理想軌道に従って正確に移動させることができない。そして、各方向での移動時の時間的なずれが大きいほどメインチャック17の理想軌道からのずれも大きく、メインチャック17の正確な動作を実現できなくなる。しかしながら、本実施形態では各モータ31、32、33があたかも単一の仮想コントローラ34の制御下で単一制御され、各モータがあたかも同期駆動しているかの如くに見え、プローブは補正後の理想軌道に倣って移動する。
【0022】
以上説明したように本実施形態によれば、X軸モータ31、Y軸モータ32及びZ軸モータ33を一括制御する単一の仮想コントローラ34をソフト的に設定し、単一の仮想コントローラ34により各モータ31、32、33を、同一の位置情報及び速度情報を含む一回の指令信号で補間制御すると共に各モータ31、32、33によるプローブの移動軌跡を監視するようにしたため、プローブは電極パッドP上を理想軌道に補正しながら始点Sから終点Eまで移動することができ、検査のスループットを高めることができる。
【0023】
また、本実施形態によれば、ホストコンピュータ40から仮想コントローラ34へプローブの始点S、終点Eの三次元アドレス及び各モータ31、32、33の速度情報を与えるだけで、電極パッドP上でプローブを理想軌道(偏荷重による補正軌道)に則って移動することができる。
【0024】
尚、本発明は上記実施形態に何等制限されるものではない。要は、X軸モータ31、Y軸モータ32及びZ軸モータ33の各ドライバーに代えて単一の仮想コントローラ34の制御下に各モータ31、32、33を駆動するようにしたものであれば、本発明に包含される。
【0025】
【発明の効果】
本発明によれば、動作特性が相違する駆動機構が混在していても、同一の位置情報及び速度情報を含む一回の指令信号で各駆動機構を同時に駆動させることにより、複数回の指令信号で各駆動機構を段階的に分割して駆動制御する必要がなく、検査のスループットを高めることができるプローブ方法及びプローブシステムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のプローブ方法に用いられるプローブ装置を示すブロック図である。
【図2】本発明のプローブ方法におけるオーバドライブ時の時間とZ方向移動量の関係を説明するためのグラフである。
【図3】本発明のプローブ方法によって電極パッド上に形成された針跡を示す平面図である。
【図4】オーバドライブ時のメインチャックの補正量を説明する説明図である。
【図5】(a)はメインチャックの移動量を補正した後のメインチャックとプローブ針との関係を部分的に拡大して示す概念図、(b)は電極パッドと針跡との関係を示す説明図である。
【図6】プローブ装置の一部を破断して示す斜視図である。
【図7】(a)は多ピン化前のプローブカードを用いて従来のプローブ方法によりメインチャックをオーバドライブした時のメインチャックとプローブとの関係を部分的に拡大して示す概念図、(b)は(a)の状態における電極パッドと針跡との関係を示す説明図である。
【図8】(a)は多ピン化したプローブカードを用いて従来のプローブ方法によりメインチャックをオーバドライブした時のメインチャックとプローブとの関係を部分的に拡大して示す概念図、(b)は(a)の状態における電極パッドと針跡との関係を示す説明図である。
【図9】メインチャックの各モータとホストコンピュータとの関係を示す概念図である。
【図10】従来のプローブ方法におけるオーバドライブ時の時間とZ方向移動量の関係を説明するためのグラフである。
【図11】従来のプローブ方法によって電極パッド上に形成された針跡を示す平面図である。
【符号の説明】
10 プローブ装置
24 プローブカード
24A プローブ
31 X軸モータ(駆動機構)
31A サーボドライバー
32A サーボドライバー
33A ステッピングドライバー
32 Y軸モータ(駆動機構)
33 Z軸モータ(動作特性を異にする駆動機構)
34 仮想コントローラ
40 ホストコンピュータ
50 ネットワーク回線
100 プローブシステム
W ウエハ(被検査体)
Claims (9)
- 制御機構の制御下で、X軸駆動機構、Y軸駆動機構及びZ軸駆動機構により載置台をX、Y及びZ方向へ移動させ、上記載置台上に載置された被検査体とプローブカードのプローブとを接触させた後、上記載置台をオーバドライブさせて上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ方法において、
上記載置台に上記被検査体を載置する工程と、
上記載置台上の上記被検査体の電極パッドと上記プローブとが接触するように上記X軸駆動機構、Y軸駆動機構及びZ軸駆動機構により上記載置台をX、Y及びZ方向へ移動させる工程と、
上記制御機構は、ソフト的に設定され且つ上記各駆動機構それぞれと信号回線で接続された一つの仮想コントローラを含み、上記仮想コントローラは、上記電極パッドと上記プローブが接触した後、上記各駆動機構それぞれを、同一の位置情報及び速度情報を含む一回の指令信号に基づいて同時に一括して制御することにより、上記プローブが上記電極パッド内に留まるように、上記載置台を上記プローブカードの方向へオーバドライブさせる工程と、を備えた
ことを特徴とするプローブ方法。 - 上記仮想コントローラがコンピュータから受信する上記指令信号に基づいて上記各駆動機構を補間制御することを特徴とする請求項1に記載のプローブ方法。
- 制御機構の制御下で、X軸駆動機構及びY軸駆動機構とこれらの駆動機構と動作特性を異にするZ軸駆動機構とを用いて載置台をX、Y及びZ方向へ移動させ、上記載置台上に載置された被検査体とプローブカードのプローブとを接触させた後、上記載置台をオーバドライブさせて上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ方法において、
上記載置台に上記被検査体を載置する工程と、
上記載置台上の上記被検査体の電極パッドと上記プローブとが接触するように上記X軸駆動機構、Y軸駆動機構及びZ軸駆動機構により上記載置台をX、Y及びZ方向へ移動させる工程と、
コンピュータからの指令信号が付与される一つの仮想コントローラが上記制御機構に含まれ、上記仮想コントローラは、上記電極パッドと上記プローブが接触した後、上記各駆動機構それぞれを、同一の位置情報及び速度情報を含む一回の指令信号に基づいて同時に一括して制御することにより、上記プローブが上記電極パッド内に留まるように、上記載置台を上記プローブカードの方向へオーバドライブさせる工程と、を備えた
ことを特徴とするプローブ方法。 - 上記仮想コントローラは、上記制御機構にソフト的に設定されることを特徴とすることを特徴とする請求項3に記載のプローブ方法。
- 上記コンピュータからの指令信号は、オーバドライブされる載置台上の上記被検査体の電極パッド内の目標位置及び各駆動機構により駆動する載置台のX、Y及びZ方向の移動速度を含むことを特徴とする請求項3または請求項4に記載のプローブ方法。
- 被検査体を載置する載置台と、この載置台をX方向、Y方向及びZ方向へそれぞれ移動させるX軸駆動機構、Y軸駆動機構及びZ軸駆動機構と、上記載置台の上方に配置され且つ上記被検査体に電気的に接触する複数のプローブを有するプローブカードとを備え、且つ、上記載置台がオーバドライブする時に上記プローブの先端が上記被検査体の電極パッド内に留まるように上記載置台を上記プローブカードの方向へオーバドライブさせるために、上記各駆動機構それぞれと信号回線で接続され且つ上記各駆動機構それぞれを、同一の位置情報及び速度情報を含む一回の指令信号に基づいて同時に一括して補間制御する制御機構を備えたことを特徴とするプローブシステム。
- 上記制御機構は、コンピュータとネットワーク回線を介して接続された仮想コントローラを有することを特徴とする請求項6に記載のプローブシステム。
- 被検査体を載置する載置台と、この載置台をX方向、Y方向及びZ方向へそれぞれ移動させる駆動機構と、上記載置台の上方に配置され且つ上記被検査体に電気的に接触する複数のプローブを有するプローブカードと、上記各駆動機構を介して上記載置台をX、Y及びZ方向へ移動させ、上記被検査体と上記プローブカードの複数のプローブを接触させた後、上記載置台をオーバドライブするように、各駆動機構を制御する制御機構と、を備え、
上記制御機構は、コンピュータと、上記コンピュータからの指令信号に基づいて動作する一つの仮想コントローラと、を有し、且つ
上記仮想コントローラはソフト的に設定され、更に、上記仮想コントローラは、上記載置台のオーバドライブ時に、上記プローブが上記被検査体の電極パッド内に留まるように、上記載置台を駆動させる上記各駆動機構それぞれを、同一の位置情報及び速度情報を含む一回の指令信号に基づいて同時に一括して補間制御する
ことを特徴とするプローブシステム。 - 上記コンピュータからの指令信号は、オーバドライブする載置台上の上記被検査体の電極パッド内の目標位置及び各駆動機構により駆動する載置台のX、Y及びZ方向の移動速度を含むことを特徴とする請求項8に記載のプローブシステム。
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