KR101234986B1 - 다중 막 와이어 그리드 편광 장치 - Google Patents

다중 막 와이어 그리드 편광 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101234986B1
KR101234986B1 KR1020077013807A KR20077013807A KR101234986B1 KR 101234986 B1 KR101234986 B1 KR 101234986B1 KR 1020077013807 A KR1020077013807 A KR 1020077013807A KR 20077013807 A KR20077013807 A KR 20077013807A KR 101234986 B1 KR101234986 B1 KR 101234986B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wire grid
film
array
insulating
substrate
Prior art date
Application number
KR1020077013807A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20070092233A (ko
Inventor
레이몬드 티. 퍼킨스
쳉 쳉-유안
더글라스 피. 한센
에릭 가드너
Original Assignee
목스테크, 인크
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=36573849&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=KR101234986(B1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by 목스테크, 인크 filed Critical 목스테크, 인크
Publication of KR20070092233A publication Critical patent/KR20070092233A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101234986B1 publication Critical patent/KR101234986B1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/30Polarising elements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/30Polarising elements
    • G02B5/3025Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state
    • G02B5/3058Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state comprising electrically conductive elements, e.g. wire grids, conductive particles

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Polarising Elements (AREA)

Abstract

빛(12)을 편광하는 다중 막 와이어 그리드 편광기(10a)가 기판(14)에 배치된 한 스택의 박막(18)을 포함하며, 연장된 금속 소자(26)의 와이어 그리드 어레이(22)가 상기 빛의 파장보다 긴 길이와 상기 빛의 파장의 절반보다 짧은 주기를 가진다. 위의 막 중 하나가 기판의 굴절률보다 큰 굴절률을 가지는 박막(18a-c)을 포함할 수 있다. 박막 중 하나가 비금속 소자(38, 46)로 이루어진 절연 어레이를 포함할 수 있다.

Description

다중 막 와이어 그리드 편광 장치{Multilayer Wire-Grid Polarizer}
본 발명은 가시 및 근 가시 스펙트럼을 위한 와이어 그리드 편광기(WGP: Wire Grid Polarizer)에 관한 것이다.
와이어 그리드 편광기(WGP: Wire Grid Polarizer)는 유리와 같은 기판의 표면에 배치된 평행 와이어의 어레이이다. 보통, 와이어 그리드 편광기는 기판상의 단일한, 주기적인 어레이이다. 와이어의 주기가 빛의 파장의 절반보다 큰 경우에, 그리드가 회절 격자 역할을 한다. 와이어의 주기가 빛의 파장의 절반보다 작은 경우에 그리드는 편광기 역할을 한다.
WGP는 하나의 편광된 빛 모두를 전송하고 다른 편광된 빛 모두를 반사하는 반면, 편광기가 완벽하지 않다. 실제 WGP는 양쪽의 편광된 빛 중 일부를 전송하고, 양쪽의 편광된 빛의 일부를 반사할 것이다. 빛이 투명 물질(가령, 한 시트의 유리)의 표면에 입사할 때, 적은 양의 빛이 반사된다. 예를 들어, 일반적인 입사시에, 입사한 빛의 약 4%가 유리의 각 표면으로부터 반사된다.
파랑 빛과 같은 가시 스펙트럼의 일부에서 성능을 향상시키기 위해, WGP 하에 또는 와이어와 기판의 사이에 필름을 배치하도록 더 짧은 파장에 대해 제 1 회절 차수로 이동된다. 미국특허 제6,122,103호를 참조한다. 필름은 기판의 굴절률보 다 작은 굴절률을 가진다. 또한 기판이나 하부 막으로 식각을 하여 와이어 그리드 하부의 유효 굴절률을 더 감소시키는 것이 제안되고 있다. 미국 특허 제6,122,103호를 보면, 각각의 와이어를 금속과 절연막이 교대되는 구성으로 형성하는 것이 추가로 제안되어 있다. 미국특허 제6,532,111호를 참조한다.
향상된 성능을 가지는 와이어 그리드 편광기나, 하나의 상태(예, p 편광 상태)의 증가한 투과율 및 다른 편광 상태(s 편광 상태)의 감소된 투과율(또는 증가된 반사율)을 가지는 와이어 그리드 편광기를 개발하는 것이 필요하다. 또한, 편광기가 하나의 편광 상태를 반사하기 위한 금속의 역할을 하며, 다른 편광 상태에 대한 손실 절연체로 이루어진 박막의 역할을 한다. 따라서, 형태 복굴절 및 유효 굴절률이 와이어 그리드 편광기에 적용될 수 있다. 또한, 와이어 그리드 편광기는 박막으로 취급될 수 있으며 광학 스택(stack)에 포함될 수 있다.
간략하게, 일반적인 용어로서, 본 발명은 빛을 편광하는 다중막 와이어 그리드 편광기를 목적으로 한다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 편광기는 기판(14)에 배치되고 상기 기판의 굴절률보다 큰 굴절률을 가지는 박막을 포함한다. 와이어 그리드 막은 하나 이상의 박막 상부에 배치된다. 와이어 그리드 막은 상기 빛의 파장보다 긴 길이와 상기 빛의 파장의 절반보다 작은 주기를 가지는 연장된 금속 소자로 이루어진 어레이를 포함한다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 편광기는 기판 상부에 배치된 와이어 그리드 막을 포함한다. 상기 와이어 그리드 막은 상기 빛의 파장보다 긴 길이와 상기 빛의 파장의 절반보다 작은 주기를 가지는 연장된 금속 소자로 이루어진 어레이를 포함한다. 절연막은 상기 와이어 그리드 막 상부에 배치된다. 상기 절연막은 비금속 소자로 이루어진 어레이를 포함한다. 하나 이상의 박막(thin film layer)이 상기 와이어 그리드 막과 상기 절연막 사이에 배치된다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 편광기가 기판 상부에 배치된 한 스택의 박막으로서, 상기 기판을 가로질러 확장하는 박막을 포함한다. 상기 박막 중 하나 이상이 구조 및 물질 면에서 균일하다. 상기 박막 중 하나 이상이 상기 빛의 파장보다 긴 길이와 상기 빛의 파장의 절반보다 짧은 주기를 가지는 연장된 금속 소자로 이루어진 와이어 그리드 어레이를 포함한다. 상기 박막 중 하나 이상이 비금속 소자의 절연 어레이를 포함한다.
도 1 및 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 다중 막 와이어 그리드 편광기를 나타내는 단면도이다(이 도면은 계측을 위한 것이 아니며, 명확한 표현을 위해 형태가 과장될 수 있다).
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 다중 막 와이어 그리드 편광기를 나타내는 단면도이다(이 도면은 계측을 위한 것이 아니며, 명확한 표현을 위해 형태가 과장될 수 있다).
도 4a는 다른 편광기와 비교하여, 도 3의 다중 막 와이어 그리드 편광기에 대한 p 편광 반사율 대 파장을 나타내는 그래프이다.
도 4b는 다른 편광기와 비교하여, 도 3의 다중막 와이어 그리드 편광기에 대 한 s 편광 투과율 대 파장을 나타내는 그래프이다.
도 4c는 다른 편광기와 비교하여, 도 3의 다중막 와이어 그리드 편광기에 대한 p 편광 투과율 대 파장을 나타내는 그래프이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따라 다중 막 와이어 그리드 편광기의 단면도를 나타내는 도면이다(이 도면은 계측을 위한 것이 아니며, 명확한 표현을 위해 형태가 과장될 수 있다).
도 6a은 다른 편광기에 비교하여, 도 5의 다중막 와이어 그리드 편광기에 대한 s-편광 반사율 대 파장을 나타내는 그래프이다.
도 6b는 다른 편광기와 비교하여, 도 5의 다중막 와이어 그리드 편광기에 대한 p-편광 투과율 대 파장을 나타내는 그래프이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라 다중 막 와이어 그리드 편광기의 단면도를 나타내는 도면이다(이 도면은 계측을 위한 것이 아니며, 명확한 표현을 위해 형태가 과장될 수 있다).
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따라 다중 막 와이어 그리드 편광기의 단면도를 나타내는 도면이다(이 도면은 계측을 위한 것이 아니며, 명확한 표현을 위해 형태가 과장될 수 있다).
도 9는 다른 편광기와 비교하여, 도 7 및 8 의 다중막 와이어 그리드 편광기에 대한 p 편광 반사율 대 파장을 나타내는 그래프이다.
도 10a 및 b는 본 발명의 일 실시예에 따라 다중 막 와이어 그리드 편광기의 단면도를 나타내는 도면이다(이 도면은 계측을 위한 것이 아니며, 명확한 표현을 위해 형태가 과장될 수 있다).
도 11은 다른 편광기와 비교하여, 도 10a 및 b의 다중막 와이어 그리드 편광기에 대한 s 편광 반사율 대 파장을 나타내는 그래프이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따라 또 다른 다중 막 와이어 그리드 편광기의 단면도를 나타내는 도면이다(이 도면은 계측을 위한 것이 아니며, 명확한 표현을 위해 형태가 과장될 수 있다).
도 13은 다른 편광기와 비교하여, 도 12의 다중막 와이어 그리드 편광기에 대한 s 편광 투과율 대 파장을 나타내는 그래프이다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따라 와이어 그리드 막의 금속 소자 구성요소 사이의 공간에 존재하는 절연막을 포함하는 와이어 그리드 막의 단면도를 나타내는 도면이다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따라, 두 개의 서로 다른 물질로 구성되는 두 개의 절연 그리드를 포함하는 절연 그리드 막을 나타내는 단면도이다.
빛의 하나의 편광에 대해, 와이어-그리드 편광기가 빛(이 빛의 하나의 편광)을 반사하는 금속의 역할을 한다. 반면에, 빛의 다른 편광에 대해, 와이어-그리 편광기가 빛(또는 다른 편광)을 전송하는 손실 절연체(lossy dielectric)로 이루어진 박막의 역할을 한다. 따라서, 두 개의 개념 즉, 형태 복굴절 및 유효 굴절률이 편광기의 성능을 향상시킬 수 있다는 것이 알려졌다.
일반적으로 와이어-그리드 편광기가 형태 복굴절의 일 예로 간주되는 것은 아니다. 보통, 복굴절은 서로 다른 편광에 대해 물질이 서로 다른 굴절률을 가지는 것을 의미한다. 수정과 같은 결정 물질과 인장 중합체(stretched polymer)에 공통적이다. 형태 복굴절은 물질의 형태에 의해 야기되는 복굴절을 일컫는다.
빛의 파장보다 작은 변형 크기에서, 물질이 물질 속성(예, 밀도)에 대한 변형이 이루어질 때, 굴절률이 일정한 벌크 물질의 인덱스와 다르다. 균일한 박막이 빛에 대해 동일한 효과를 나타내는 유효 굴절률이 존재한다. 이러한 효과에 대한 이론적인 처리를 유효 매체 이론이라 한다. 이러한 현상은 절연 물질을 이용하여 초미세 무반사 코팅(moth-eye antireflection coating)과 같은 물질을 만드는 데 이용된다.
추가로, 와이어-그리드 편광기는 일반적으로 박막으로 간주되지 않는다. 광학에서, 형태 복굴절 및 유효 굴절률 모두는 일반적으로 절연 물질에 대해서만 고려된다. 그러나 유효 굴절률을 이용하여, 와이어-그리드 편광기를 등가 복굴절 박막으로 다루는 것은 편광기를 박막 스택 내의 소자로 간주하고, 특정 성능 목표를 가지는 박막 디자인 기술을 사용하도록 한다.
본 발명은 금속 와이어 그리드 편광기와 함께 박막을 이용하여 편광기의 성능을 향상시킨다. 일반적으로 이는 와이어 그리드의 하부 및 상부에 필름을 포함할 수 있다. 이러한 필름 중 어느 하나가 균일하거나, 또는 절연 그리드일 수 있다. 와이어 그리드는 복합 그리드일 수 있으며, 복합 와이어를 포함할 수 있다. 서로 다른 물질로 이루어진 다중 막과 와이어 그리드를 조합함으로써, 서로 다른 굴절률이 전송될 편광의 반사율을 감소시킬 수 있다. 예를 들어, 와이어 그리드는 s 편광 된 빛을 반사시킬 수 있으며, p 편광된 빛을 전송한다. 상술한 바와 같이, p 편광된 모든 빛을 전송하고 s 편광된 모든 빛을 반사하는 것이 바람직한 반면, 전형적인 와이어 그리드는 양쪽의 편광 중 일부를 전송하고 양쪽의 편광 중 일부를 반사할 것이다. 그러나, 와이어 그리드를 복굴절 박막으로 취급하는 것 및 와이어 그리드를 다중 박막과 조합하는 것은 p 편광된 빛의 반사를 줄일 수 있다.
도 1 및 2에 도시된 바와 같이, 다중 막 와이어-그리드 편광 장치(일반적으로 10a 및 10b로 각각 표시됨)가, 빛(12)을 편광 시키거나 직교 편광 상태로부터 하나의 편광 상태를 분리하기 위한 본 발명에 따라 구현된 실시예를 나타낸다. 이러한 실시예에 따르면 원하지 않는 편광의 반사 및/또는 전송을 더 개선된 방식으로 줄일 수 있다. 이러한 장치는 가시 광선 애플리케이션에 대하여 효용성을 가지며, 약 400-700nm(나노미터)이나 0.4-0.7um(마이크로미터 또는 미크론) 범위의 가시광선에 대하여 실질적 효용성을 가진다. 이러한 가시 광선 애플리케이션은 프로젝터(projector)와 같은 프로젝션 디스플레이 장치를 포함할 수 있다. 여기에 도시된 중 막 와이어-그리드 장치는, 편광기, 빔 스플리터, 분석 등과 같은 다양한 종류의 서로 다른 용량으로 사용될 수 있다. 이 명세서의 장치는 자외선 및/또는 적외선 애플리케이션과 같은 근-가시광 애플리케이션에서 사용된다. 또는 약 250-400나노미터 나 700-10,000나노미터 범위의 빛에 대해 효용성이 있다. 따라서, "빛(light)"이란 용어는 이 명세서에서, 가시광선, 자외선, 및 적외선과 250-10,000 나노미터 범위의 전자파를 일컫는데 폭넓게 사용된다.
편광기(10a 및 10b)는 복수의 또는 한 스택의 박막(18)을 운반하거나 지지하는 기판(14)을 포함한다. 여기서 편광기는 와이어 그리드 또는 와이어 그리드 막(22)을 포함한다. 기판(14)은 처리될 빛에 대해 투명할 수 있다. 예를 들어, 기판은 유리(Bk7)일 수 있다. 다른 기판은 수정이나 플라스틱일 수 있다. 추가로, 기판(14)이 잔여 필름 막에 대하여 실질 두께(ts)를 가질 수 있다. 나아가, 기판이 굴절률(ns)을 가질 수 있다. 예를 들어, 유리 기판(Bk7)은 1.52(550나노미터에서)의 굴절률을 가진다 (굴절률은 파장에 대해 약간 변한다).
와이어 그리드 또는 와이어 그리드 막(22)은 연장된 금속 소자(26)의 와이어 그리드 어레이를 포함한다. 소자(26)는 빛의 파장 길이 보다 긴 길이를 가지며, 빛의 파장 길이의 절반보다 작은 주기(P)를 가지는 일반적으로 평행한 배열에 배치된다. 따라서, 가시 광의 사용을 위해, 소자(26)는 가시 광의 파장보다 긴 길이를 가지거나 700나노미터(0.7 마이크로미터)보다 크다. 그러나, 길이는 훨씬 더 길 수 있다. 소자(26)는 센터-투-센터 공간을 가질 수 있으며, 가시 광의 파장 길이의 절반 보다 짧은 또는 200나노미터(0.2마이크로미터) 이하의 피치나 주기(P)를 가진다. 소자(26)는 피치나 주기의 10 내지 90퍼센트의 범위 내에서 폭(w)을 가질 수 있다. 소자(26)는 빛의 파장보다 작거나 가시 광선 애플리케이션에 대해 400나노미터(0.4um)보다 작은 두께나 높이(t)를 가진다. 일 측면에서, 두께는 가시광선 애플리케이션에 대해 0.2마이크로미터보다 작을 수 있다.
소자(26) 또는 어레이는 1)일반적으로 실질적으로 균일하며 일정한 선형 편광 상태(p 편광)를 가지는 전송된 빔(30)을 전송하고, 2)실질적으로 균일하며 일정한 선형 편광 상태(s 편광)를 가지는 반사된 빔(34)을 반사한다. 소자는 일반적으로, 소자에 대해 부분적으로 수직이거나 소자를 가로지르는 방향을 가진, 제 1 편광 상태(p 편광)로 빛을 전송하며, 소자에 대해 평행한 방향을 가진 제 2 편광 상태(s 편광)로 빛을 반사한다. 와이어-그리드 편광기가 특정 정도의 효율로 빛의 편광 상태를 분리하며, 양쪽의 편광 상태 중 일부가 전송 및/또는 반사된다. 소자의 일부가 서로 다른 편광 상태를 전송 또는 반사하도록 구성될 수 있다.
소자(26)나 어레이는 사진 식각에 의해 기판상에 또는 그 상부에 형성될 수 있다. 소자(26)는 전도체일 수 있으며, 알루미늄, 은, 금이나 구리로 형성될 수 있다.
복수의 박막(18)이 와이어 그리드 막(22) 하부 및/또는 상부의 막을 포함할 수 있다. 따라서, 하나 이상의 막(18a-c)은 기판(14)과 와이어 그리드 막(22) 사이에 배치될 수 있다. 또한, 하나 이상의 막이 와이어 그리드 막(22) 상부에 배치될 수 있다. 막(18)은 서로 다른 물질 또는, 기판(14)과 다른 물질로 형성될 수 있다. 따라서, 막(18)이 기판(14)의 굴절률(ns)과 다른 굴절률(n)을 가질 수 있다. 나아가, 기판(14)의 굴절률(ns)보다 큰 굴절률(n1-3)을 가지는 막(18a-c) 중 하나 이상이 p 편광된 빛의 반사율을 감소시킨다는 것을 알 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 측면에 따르면, 편광기(10a 또는 10b)는 기판(14)과 와이어 그리드 막(22) 사이에 배치된 하나 이상의 박막(18a)을 포함하며, 박막(18a)은 기판(14)의 굴절률(ns)보다 큰 굴절률(n1)을 가진다. 본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 편광기(10a 또는 10b)는 둘 이상의 박막(18a 및 b) 또는 셋 이상의 박막(18a-c)을 포함할 수 있다.
박막(18a-c)은 기판(14)을 가로질러 확장할 수 있으며, 변하지 않는 또는 일정한 막(18a 및 18c로 표시됨)일 수 있다. 막(18a-c)은 절연 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 막은 다음의 물질로 구성될 수 있다. 즉, 알루미늄 옥사이드, 안티모니 트리옥사이드, 안티모니 설파이드, 베릴륨 옥사이드, 비스무스 옥사이드, 비스무스, 트리플루오라이드, 카드뮴 설파이드, 카드뮴 텔루라이드, 칼슘 플루오라이드, 세릭 옥사이드, 치올라이트, 크리올라이트, 게르마늄, 하프늄 다옥사이드, 란탄 플로라이드, 란탄 옥사이드, 레드(lead) 클로라이드, 레드(lead) 플루오라이드, 레드(lead) 텔루라이드, 리튬 플루오라이드, 마그네슘 플루오라이드, 마그네슘 옥사이드, 네오지미늄 플루오라이드, 네오지미늄 옥사이드, 프라세오디뮴 옥사이드, 스칸듐 옥사이드, 실리콘, 실리콘 옥사이드, 다이실리콘 트리옥사이드, 실리콘 다이옥사이드, 소듐 플루오라이드, 탄탈룸 펜트옥사이드, 텔루르, 티타늄 다이옥사이드, 탈루스 클로라이드, 이트륨 옥사이드, 징크 셀레나이드, 징크 설파이드, 및 지르코늄 다이옥사이드이다. 박막은 기판에 증착될 수 있다. 금속 옥사이드의 경우에, 옥사이드 증착 물질(필요한 경우에 산소 백필(backfill)을 추가함)로 시작함으로써 증착될 수 있다. 그러나, 기반 물질을 증착시키고, 후방으로 산소를 포함하는 증착된 물질을 산화시킴으로써 물질이 증착될 수 있다.
이하에서 상세히 설명되는 바와 같이, p 편광된 빛의 반사율을 낮추도록, 박막(18a-c)의 두께(t1-3) 및 물질(또는 굴절률 n1-3)이 조절될 수 있다.
하나 이상의 박막(18a-c)은 비금속 소자(38)의 어레이를 포함하는 절연 그리드를 포함할 수 있다. 어레이의 비금속 및 금속 소자(38, 26)가 서로 평행한 방향을 향할 수 있다. 추가로, 어레이들은 실질적으로 동일한 주기 및/또는 폭을 가질 수 있다. 하나의 측면에서, 도 1 에 도시된 바와 같이, 절연 그리드의 비금속 소자(38) 및 금속 소자(26)가 정렬되며, 즉 비금속 소자(38)가 와이어 그리드 막의 금속 소자(26)와 관련하여 정렬된다. 또 다른 측면에서, 도 2에 도시된 바와 같이, 절연 그리드의 비금속 소자(38) 및 금속 소자(26)가 오프-셋(off-sef) 되는데, 즉 비금속 소자(38)가 와이어 그리드 막의 금속 소자(26)에 관하여 오프-셋 된다.
상술한 바와 같이, 복수의 박막(18)은 와이어-그리드 막(22) 상부에 배치된 하나 이상의 박막을 포함할 수 있다. 다른 박막은 절연 물질을 포함하며, 연속적이거나 일정할 수 있다. 추가로, 다른 박막(42)이 비금속 소자(46)로 이루어진 어레이를 포함하는 절연 그리드를 포함할 수 있다. 어레이의 비금속 및 금속 소자(46, 26)는 서로에 대해 실질적으로 평행하게 배치될 수 있으며, 실질적으로 동일한 주기를 가진다. 일 측면에서, 비금속 소자(46) 및 금속 소자(26)가 정렬되거나, 절연 그리드의 비금속 소자(46)가 와이어 그리드 막(도 1에 도시된 바와 같음)의 금속 소자(26)의 상부에 정렬된다. 다른 측면에서, 비금속 소자(46) 및 금속 소자(26)가 오프-셋 되거나, 절연 그리드의 비금속 소자(46)가 와이어 그리드 막(22)의 금속 소자(26)의 상부로 오프-셋 된다.
상술한 바와 같이, 박막(18)의 개수, 두께(t) 및 물질(또는 굴절률)이 p 편광된 빛의 반사율을 감소시키도록(p 편광된 빛의 전송률을 증가하도록) 그리고/또는 s 편광된 빛의 전송률을 감소시키도록(s 편광된 빛의 반사율을 증가시키도록) 변경될 수 있다. 막(18a, c)의 일부가 구조 및 물질 면에서 균일할 수 있다. 반면에 다른 막은 그리드(와이어 그리드 막(22)의 금속 소자(26)나 절연 그리드의 비금속 소자(38))를 포함할 수 있다. 특정 구조의 예가 이하에서 논의된다.
도 3을 참조하면, 다중 막 와이어 그리드 편광기(10c)의 일 실시예가 도시된다. 편광기는 유리(BK7) 기판(14) 상에 그리고 기판과 와이어 그리드(또는 와이어 그리드 막(22)) 사이에 세 개의 균일한 박막(50a-c)을 포함한다. 기판(14)은 1.52의 귤절률(ns)을 가진다. 제 1 박막(50a)이 65나노미터의 두께(t1)를 가지는 마그네슘 옥사이드(MgO)로 이루어진 균일한 물질이다. 따라서, 제 1 막(50a)은 (550나노미터의 파장에 대해) 1.74의 굴절률(n1)을 가지며, 이는 기판(14)의 굴절률(ns)보다 크다. 제 2 박막(50b)은 130나노미터의 두께(t2)와 2.0의 굴절률을 가지는 ZrO2로 이루어진 균일한 물질이다. 따라서, 제 2 막(50b)은 기판(14)의 굴절률(ns)보다 큰 굴절률(n2)을 가질 수 있다. 제 3 박막(50c)은 70나노미터의 두께를 가지는 마그네슘 플루오라이드(MgF2)로 이루어진 균일한 물질이다.
와이어 그리드 막(22)이나 와이어 그리드가 제 3 막(50c)의 상부에 배치된다. 와이어 그리드는 알루미늄으로 만들어진 소자들을 포함한다. 소자는 144나노미터의 주기(P)와, 39.5%의 폭(w)이나 57나노미터, 그리고 twg의 두께나 155나노미터의 높이를 가질 수 있다.
도 4a-c를 참조하면, 도 3의 편광기(10c)의 성능이, 와이어 그리드와 기판 사이의 박막을 포함하지 않는 유사한 편광기와 비교되며, 와이어 그리드와 기판 사이의 마그네슘 플루오라드(MgF2)로 이루어진 30나노미터의 막을 포함하는 유사한 편광기(따라서, 기판보다 작은 굴절률을 가지는 박막을 포함한다)와 비교된다. 빛(12)이 45도의 입사 각으로 편광기(10c)에 입사한다. 이 경우에, p 편광(30)이 먼저 전송되고, s 편광(34)이 먼저 반사된다. 도 4a를 참조하면, 곡선(54)에 도시된 바와 같이, 편광기(10c)를 통한 p 편광의 전송이 다른 두 개의 편광기들보다 크다(또는 편광기로부터의 p 편광의 반사가 적다). 더 낮은 굴절률의 박막을 가지는 편광기가 평범한 편광기보다 더 잘 동작한다는 것을 알 수 있는 반면, 세 개의 박막(50a-c)을 가지는 편광기(10c)가 이보다 더 나은 성능을 가진다. 도 4b를 참조하면, 곡선(56)에 도시된 바와 같이, s 편광의 투과율(누설(leakage))이 다른 편광기 중 어느 하나를 사용하는 것보다 편광기(10c)를 사용하는 것이 더 적다. (또한, 편광기를 통한 s 편광의 투과율이 더 적다). 도 4c를 참조하면, 곡선(58)에 도시된 바와 같이, p 편광의 반사가 다른 편광기를 사용할 때보다 편광기(10c)를 사용할 때 더 적다(또는 p 편광의 투과율이 더 크다). 더 전송된 p 편광과, 전송 및 반사 측면에서 강화된 콘트라스트가 존재하는 것이 기본결과이다. 이는 전송되고 반사된 복수의 편광이 다중 막 편광기(10c)를 이용할 때보다 더 크다.
도 5를 참조하면, 다중 막 와이어-그리드 편광기(10d)의 다른 실시예가 도시된다.
편광기(10d)는, 와이어 그리드 막(22)의 상부 즉 알루미늄 소자를 가지는 와이어 그리드의 상부 바로 위에 배치되는, 두 개의 절연 막 즉 두 개의 절연 그리드(60a 60b)를 포함한다. 와이어 그리드 또는 와이어 그리드 막(22)은 유리(BK7) 기판(14) 상에 배치된다. 와이어 그리드의 소자(26)의 두께나 높이(twg)는 160나노미터이다. 제 1 절연 그리드(60a)가 와이어 그리드 상에 배치되고, 100나노미터의 두께(t1)을 가진다. 또한 1.45의 굴절률(n1)을 가지는 실리콘 옥사이드(SiO2)로 형성된다. 제 2 절연 그리드(60b)는 100나노미터의 두께(t2)를 가지며, 2.5의 굴절률(n2)을 가지는 물질로 형성된다. 그리드의 주기(P)가 144나노미터이다. 소자의 폭이 주기(P)의 45%이거나 57나노미터이다. 빛(12)이 45도에서 입사된다.
도 6a 및 b를 참조하면, 도 5에 도시된 편광기(10d)의 성능이 상부에 절연 그리드를 포함하지 않는 유사한 편광기와 비교된다. 그리드의 주기(P)가 가시 광선의 파장보다 작기 때문에, 이들은 주요하게 모두 박막으로 역할을 한다. 도 6a에서, 곡선(62)에 도시된 바와 같이, 반사된 s 편광이 편광기(10d)보다 실질적으로 더 크다. 도 6b에서, 곡선(64)에 도시된 바와 같이, 전송된 p 편광이 편광기 10d를 사용할 때보다 더 크다.
도 7을 참조하면, 다중 막 와이어 그리드 편광기(10e)의 다른 예가 도시된다.
편광기(10e)는 와이어 그리드(또는 와이어 그리드 막(22))과 유리(BK7) 기판(14) 사이에 세 개의 균일한 박막(70a-c)을 포함한다. 제 1 막(70a)이 기판(14) 상에 배치되며, 33나노미터의 두께를 가지고, 1.8의 굴절률(n1)을 가진다. 제 2 막(70b)이 1.38의 굴절률(n2)과 30나노미터의 두께를 가지는 마그네슘 플루오라드(MgF2)로 구성된 물질이다. 제 3막(70c)은 20나노미터의 두께(t3)를 가지며, 1.8의 굴절률(n3)을 가진다. 따라서, 제 1 및 제 3 막(70a 및 c)가 기판(14)의 굴절률(ns)보다 큰 굴절률(n1 및 n3)을 가진다. 와이어 그리드 또는 와이어 그리드 막(22)은 144나노미터의 주기(P)를 가지는 알루미늄 소자를 포함한다. 소자 높이(twg)는 160나노미터이고, 소자 폭(w)은 주기의 45%이거나 57나노미터이다. 빛(12)이 통사적으로 입사한다(0도).
도 8을 참조하면, 다중 막 와이어 그리드 편광기(10f)의 다른 실시예에가 도시된다. 편광기(10e)는 세 개의 박막(80a-c)을 포함하며, 이는 다음을 제외하고 도 7에 도시된 바와 유사하다. 즉, 제 1 막(80a)가 28나노미터의 두께(t1)을 가지고, 제 2 막(80b)가 25나노미터의 두께(t2)를 가지며, 제 3 막(80c)가 17나노미터의 두께(t3)를 가진다. 추가로, 편광기(10f)가 와이어 그리드 막(22) 상부의 박막(84)을 포함한다. 박막(84)은 와이어 그리드의 금속 소자에 배치된 비금속 소자를 포함하는 절연 그리드를 포함한다. 와이어 그리드 또는 와이어 그리드 막(22)이 도 7에 대해 상부에 기술된 와이어 그리드와 유사하다. 절연 막(84)의 소자는 100나노미터의 두께(t4)를 포함한다. 절연 막(84)의 소자가 실리콘 다이옥사이드(SiO2)로 형성될 수 있다.
도 9를 참조하면, 편광기(10e 및 f)의 성능이, 박막을 포함하지 않는, 유사한 와이어 그리드 편광기와 비교된다. 곡선(86, 88)에 도시된 바와 같이, 양쪽의 편광기(102 및 f)는 p 편광을 덜 반사한다(즉, 더 많은 p 편광을 통과시킨다). 와이어 그리드 막의 하부에 박막을 포함하는 편광기(10f)와 와이어 그리드 상부의 절연 그리드는, 곡선(88)에 의해 도시된 바와 같이, 확연한 개선점을 나타낸다.
도 10a 및 b를 참조하면, 다중 막 와이어 그리드 편광기(10g 및 h)의 예가 도시된다. 두 개의 편광기(10g 및 h)는 기판(14) 상에 배치된 와이어 그리드 또는 와이어 그리드 막(22)을 포함한다. 와이어 그리드의 주기(P)는 144나노미터이고 소자는 150나노미터의 두께(twg)를 가진다. 소자의 폭(w)은 주기의 45%이거나 65나노미터이다. 추가로, 소자(26)는 그 사이의 공간(92)을 정의한다. 이 공간은 1.17의 굴절률(n1)을 가지는 물질을 포함한다. 제 2 균일 막(96)이 소자(26) 및 공간(92), 또는 100 나노미터의 두께(t2)와 1.17의 굴절률을 가지는 와이어 그리드(22) 상부에 배치된다. 제 3 박막(100)은 제 2 막(96)의 상부에 배치된다. 제 3 막(100)은 실리콘 다이옥사이드(SiO2)의 균일막 및 60나노미터의 두께(t3)를 가진다. 따라서, 제 3 막(100)은 1.45의 굴절률(n3)을 가진다. 제 4 막(104)은 제 3 막(100) 상에 배치되고, 비금속 소자를 포함하는 절연 그리드를 포함한다. 절연 그리드의 소자는 50나노미터의 두께(t4)를 가진다. 절연 그리드의 소자는 실리콘 다이옥사이드(SiO2)로 형성되고, 2.0의 굴절률(n4)을 가진다. 절연막 소자의 폭(w)은 주기의 50%이다. 절연막의 소자가 와이어 그리드의 소자 바로 상부에 배치된다(도 10a 도시됨). 선택적으로, 절연막의 소자가 와이어 그리드의 소자에 대해 오프-셋 되거나 반 주기 쉬프트 되어, 도 10b에 도시된 바와 같이, 와이어 그리드의 소자 사이의 공간 위로 위치한다. 빛(12)이 45도에서 입사된다.
도 11을 참조하면, 편광기(10g 및 h)의 성능이 유리 기판 상에 와이어 그리드만을 가지는 유사한 편광기와 비교된다. 곡선(104)에 의해 도시된 바와 같이(서로 겹침), 편광기(10g, h)가 향상된 s 편광 반사율을 가진다. 추가로, 유효 매체 이론 적용 조건 적용시 와이어 그리드에 대한 절연 그리드의 배치가 적절하지 않다는 것을 나타낸다. 이러한 실시예는 또한 균일 막과 절연막이 결합되고 유리하게 사용된다는 것을 나타낸다. 추가로, 이러한 실시예는 유효 매체 이론의 주요 원리 를 구현한다.
도 12를 참조하면, 다중 막 와이어 그리드 편광기(10i)의 다른 실시예가 도시된다. 편광기(10i)가 도 3에 도시된 편광기(10c)와 유사하나, 복합 소자를 포함하는 와이어 그리드 또는 와이어 그리드 막(112)을 포함한다. 복합 소자는 금속과 비금속 막이 교대되는 막을 포함한다. 이러한 복합 소자의 실시예가 미국 특허 제6,532,111호에 기술되며, 이 명세서에 참조문헌으로 첨부된다. 예를 들어, 각 소자는 알루미늄과 마그네슘 플루오라이드가 교대되는 막을 포함한다.
도 13을 참조하면, 편광기(10i)의 성능이 복합 소자를 가지는 유사한 편광기와 비교된다. 다만, 이 편광기는 기판과 와이어 그리드 막 사이의 박막을 포함하지 않는다. 곡선(116)에 의해 도시된 바와 같이, 편광기(10i)는 누설이나 투과율이 적다.
도 14를 참조하면, 와이어 그리드 막(22) 상술한 막과 유사하나, 와이어 그리드 막의 금속 소자들 사이에 공간 내에 절연 물질(120)을 포함한다. 이러한 와이어 그리드 또는 와이어 그리드 막은 위에서 설명한 어느 예시를 대신하여 사용될 수 있다.
도 15를 참조하면, 절연 그리드 막이, 각각 서로 다른 굴절률(n1, n2)을 가지는 서로 다른 두 개의 물질로 이루어진 소자를 포함하는 두 개의 절연 그리드(124, 128)로 도시된다. 따라서, 절연막이나 그리드가 서로 다른 물질로 이루어진 교대되는 소자를 포함하거나, 다른 그리드의 공간에 배치된 하나의 그리드로 이루어진 소자를 포함한다. 이러한 절연 그리드나 막이 상술한 예시 중 어느 하나로 대용될 수 있다.
이 명세서에 실시예들이 표현되었으나, 이는 본 발명으로부터 실현 가능한 여러 가능성 중 일부이다. 일반적으로, 균일 막 및 절연 그리드의 조합이, 빛의 지정된 밴드의 입사 각의 지정 범위를 넘는 전송 및 반사를 최적화하는 것과 같은 특정 애플리케이션을 위해 조합될 수 있다. 최적화가 전송이나 반사 또는 둘 모두에 대해 이루어질 수 있다. 편광기에 대한 공기 측으로부터 또는 기판 측으로부터 또는 양쪽 모두로부터의 입사에 대해 만들어질 수도 있다.
와이어-그리드 편광기의 다양한 측면, 광학 트레인 및/또는 프로젝션/디스플레이 시스템이 미국특허 제5,986,730호, 제6,081,367호, 제3,122,103호, 제6,208,463호, 제6,243,199호, 제6,288,840호, 제6,348,995호, 제6,108,131호, 제6,452,724호, 제6,710,921호, 제6,234,634호, 제6,447,120호, 및 제6,666,556호에 기술되어 있으며, 이들은 이 명세서에 참조문헌으로 포함된다.
와이어-그리드 편광기가 광원을 접하는 것으로 도시되거나, 광원을 향하는 연장된 소자를 포함하는 것으로 도시되었으나, 이는 단지 도시를 위한 목적인 것으로 이해되어야 한다. 본 발명이 속하는 분야의 당업자는, 이미징 베어링 빔이 기판을 통하하는 것을 방지하는 간단한 목적을 위해, 와이어 그리드 편광기가 액정 어레이로부터 이미징 베어링 빔(imaging bearing beam)을 향하도록 배치될 수 있으며, 이에 따라 기판과 같은 매체를 통과하는 빛과 관련된 고스트 이미지나 다중 반사를 방지할 수 있다. 이러한 구조는 광원으로부터 떨어져 광원을 향하는 와이어 그리드 편광기를 구현할 수 있다.
상술한 본 발명의 실시예들은 단지 예시와 설명을 위한 것일 뿐이며, 본 발명을 설명된 형태로 한정하려는 것이 아니다. 따라서, 다양한 변화 및 변경을 할 수 있음은 본 발명이 속하는 분야의 당업자에게 자명하다. 또한, 이 명세서의 상세한 설명이 본 발명의 범위를 제한하는 것은 아니다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구항에 의해서 정의된다.

Claims (25)

  1. 빛을 편광하기 위한 와이어 그리드 편광 장치에 있어서, 상기 편광 장치는
    a) 기판과;
    b) 상기 기판상에 배치된 둘 이상의 연속적인 박막으로서, 서로에 대해 다른 굴절률을 가지는 상기 박막과;
    c) 상기 기판의 굴절률보다 큰 두 개의 박막 중 하나 이상의 굴절률과; 그리고
    d) 상기 둘 이상의 박막 상부에 배치된 와이어 그리드 막으로서, 상기 빛의 파장보다 긴 길이와 상기 빛의 파장의 절반보다 작은 주기를 가지는 연장된 금속 소자로 이루어진 어레이를 포함하는 상기 와이어 그리드 막;
    을 포함하고,
    e) 상기 박막 중 하나 이상은 절연 소자로 이루어진 어레이를 포함하는 절연 그리드를 포함하고, 상기 어레이의 상기 절연 소자 및 상기 금속 소자는 서로에 대해 평행하게 배치되며, 그리고 상기 어레이들은 동일한 주기를 가지며, 상기 박막 중 하나 이상은 상기 와이어 그리드 막과 상기 절연 소자로 이루어진 어레이를 포함하는 상기 둘 이상의 박막 중 하나 이상의 박막 사이에 배치됨을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 와이어 그리드 막의 상부에 배치된 하나 이상의 박막을 더 포함하되,
    상기 하나 이상의 박막은 절연 소자의 어레이를 포함하는 절연 그리드를 포함하고,
    상기 어레이의 절연 소자 및 금속 소자는 서로에 대해 평행하게 배치되며, 그리고
    상기 어레이들은 동일한 주기를 가지는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광 장치.
  4. 빛을 편광하는 와이어 그리드 편광 장치에 있어서, 상기 편광 장치는
    a) 굴절률을 가지는 기판과;
    b) 상기 기판상에 배치된 하나 이상의 박막으로서, 상기 박막은 상기 기판의 상기 굴절률보다 큰 굴절률을 가지는 상기 박막과;
    c) 상기 하나 이상의 박막 상부에 배치된 와이어 그리드 막으로서, 상기 빛의 파장보다 긴 길이와 상기 빛의 파장의 절반보다 작은 주기를 가지는 연장된 금속 소자로 이루어진 어레이를 포함하는 상기 와이어 그리드 막; 그리고
    d) 상기 와이어 그리드 막 상부에 배치된 하나 이상의 다른 박막;
    을 포함하며,
    상기 기판상에 배치된 하나 이상의 박막과 상기 와이어 그리드 막 상부에 배치된 하나 이상의 다른 박막 중 하나 이상은 금속 소자의 어레이와 평행하게 배치되고 금속 소자의 어레이에 관하여 오프셋(offset) 된 절연 소자의 어레이를 포함하는 절연 그리드를 포함하는 것을 특징으로 하는 그리드 편광 장치.
  5. 삭제
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 와이어 그리드 막 상부에 배치된 하나 이상의 다른 박막을 더 포함하고, 상기 하나 이상의 다른 박막은 절연 소자로 이루어진 어레이를 포함하며, 상기 어레이의 절연 소자 및 금속 소자는 서로에 대해 평행하게 배치되며, 그리고 상기 어레이들은 동일한 주기를 가지는 것을 특징으로 하는 그리드 편광 장치.
  7. 빛을 편광하는 와이어 그리드 장치에 있어서, 상기 장치는:
    a) 기판과;
    b) 상기 기판 상부에 배치된 와이어 그리드 막으로서, 상기 와이어 그리드 막은 상기 빛의 파장보다 긴 길이와 상기 빛의 파장의 절반보다 작은 주기를 가지는 연장된 금속 소자로 이루어진 어레이를 포함하는 상기 와이어 그리드 막과;
    c) 상기 와이어 그리드 막 상부에 배치된 절연막으로서, 상기 절연막은 절연 소자로 이루어진 어레이를 포함하는 상기 절연막과; 그리고
    d) 상기 와이어 그리드 막과 절연막 사이에 배치된 하나 이상의 박막
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 기판과 상기 와이어 그리드 막 사이에 배치된 하나 이상의 박막을 더 포함하되, 상기 하나 이상의 박막은 서로에 대해 서로 다른 굴절률을 각각 가지는 복수의 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 기판과, 상기 기판의 굴절률보다 큰 굴절률을 가지는 상기 와이어 그리드 막 사이에 하나 이상의 박막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 장치.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 기판과 절연 소자의 어레이를 포함하는 상기 와이어 그리드 막 사이의 절연 그리드를 더 포함하되, 상기 어레이의 절연 소자 및 금속 소자는 서로에 대해 평행하게 배치되며, 그리고 상기 어레이들은 동일한 주기를 가지는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 장치.
  11. 빛을 편광하는 와이어 그리드 편광 장치에 있어서, 상기 장치는:
    a) 기판과;
    b) 상기 기판 상부에 배치된 한 스택의 박막으로서, 상기 기판을 가로질러 확장하는 상기 한 스택의 박막과;
    c) 상기 박막 중 하나 이상이 상기 빛의 파장보다 긴 길이와 상기 빛의 파장의 절반보다 작은 주기를 가지는 연장된 금속 소자로 이루어진 와이어 그리드 어레이를 포함하는 상기 박막 중 하나 이상의 박막과;
    d) 상기 박막 중 하나 이상이 절연 소자의 절연 어레이를 포함하는 상기 박막 중 하나 이상의 박막과; 그리고
    e) 상기 박막 중 하나 이상이 구조 및 물질 면에서 균일하고, 상기 와이어 그리드 어레이를 포함하는 상기 하나 이상의 상기 박막과 상기 절연 어레이를 포함하는 상기 하나 이상의 박막 사이에 배치된 상기 박막 중 하나 이상의 박막;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 어레이의 절연 소자 및 금속 소자가 서로에 대해 평행하게 배치되며, 상기 어레이들은 동일한 주기를 가지는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광 장치.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 기판과 상기 와이어 그리드 어레이 사이에 배치된 하나 이상의 박막을 더 포함하되,
    상기 하나 이상의 박막은 서로에 대해 서로 다른 굴절률을 각각 가지는 복수의 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광 장치.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 기판과 상기 와이어 그리드 막 사이의 박막 중 하나 이상이 상기 기판 의 굴절률보다 큰 굴절률을 가지는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광 장치.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 어레이의 상기 절연 소자 및 금속 소자가 서로에 대해 평행하게 배치되며, 상기 어레이들은 동일한 주기를 가지는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광 장치.
  16. a) 기판과;
    b) 상기 기판의 상부에 배치되고 빛의 파장보다 긴 길이와 빛의 파장의 절반보다 작은 주기를 가지는 연장된 금속 소자의 와이어 그리드 어레이와;
    c) 상기 와이어 그리드 어레이의 상부 또는 하부에 배치되고, 서로 다른 굴절률을 가지는 서로 다른 물질로부터 형성되는 절연 소자로 구성된 둘 이상의 서로 다른 절연 어레이로서, 상기 굴절률 중 하나 이상의 굴절률이 상기 기판의 굴절률보다 큰 상기 절연 어레이와;
    d) 상기 절연 어레이의 절연 소자 및 상기 와이어 그리드 어레이의 금속 소자로서, 서로에 대해 평행하게 배열되며, 상기 어레이들은 동일한 주기를 가지는 상기 절연 소자 및 상기 금속 소자와; 그리고
    e) 구조 및 물질 면에서 균일하고, 상기 둘 이상의 절연 어레이 중 하나 이상과 상기 와이어 그리드 어레이 사이에 배치된 하나 이상의 박막;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 와이어 그리드 편광 장치가 자외선을 편광 시키는 자외선 편광기이며,
    상기 연장된 금속 소자로 구성된 상기 와이어 그리드 어레이가 150나노미터보다 작은 주기를 가지는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광 장치.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 절연 어레이로 구성된 상기 물질이 카드뮴 텔루라이드, 게르마늄, 리드 텔루라이드, 실리콘 옥사이드, 텔루르, 티타늄 다이옥사이드, 카드뮴 설파이드, 징크 설파이드 또는 이들의 혼합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광 장치.
  19. 제 16 항에 있어서,
    상기 와이어 그리드 편광 장치가 가시광을 편광 시키는 가시광 편광기이고,
    상기 연장된 금속 소자로 구성된 와이어 그리드 어레이가 200 나노미터보다 작은 주기를 가지는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광 장치.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 절연 어레이로 구성된 물질이 카드뮴 텔루라이드, 게르마늄, 리드 텔루라이드, 실리콘 옥사이드, 텔루르, 티타늄 다이옥사이드, 실리콘 또는 이들의 혼합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광 장치.
  21. 제 16 항에 있어서,
    상기 와이어 그리드 편광 장치가 적외선을 편광 시키는 적외선 편광기이고,
    상기 연장된 금속 소자로 구성된 와이어 그리드 어레이가 5000 나노미터보다 작은 주기를 가지는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광 장치.
  22. 빛을 편광하기 위한 와이어 그리드 편광 장치에 있어서, 상기 편광 장치는
    a) 기판과;
    b) 상기 기판상에 배치된 와이어 그리드 막으로서, 상기 빛의 파장보다 긴 길이와 상기 빛의 파장의 절반보다 작은 주기를 가지는 연장된 금속 소자들로 이루어진 어레이를 포함하며 상기 소자들은 상기 소자들 사이의 간격을 정의하는 상기 와이어 그리드 막과;
    c) 상기 와이어 그리드 막 상부에 배치되고 서로 경계를 짓는 복수의 경계 절연 그리드 막으로서, 상기 절연 그리드 막 중 하나 이상은 절연 물질 소자의 어레이를 포함하는 상기 복수의 경계 절연 그리드 막과; 그리고
    d) 서로 평행하게 배열된 절연 물질 소자의 어레이와 금속 소자의 어레이;
    를 포함하는, 와이어 그리드 편광 장치.
  23. 삭제
  24. 제 1 항에 있어서, 상기 연장된 금속 소자는 알루미늄을 포함하고; 상기 둘 이상의 박막 중 둘 이상은 실리콘을 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광 장치.
  25. 제 24 항에 있어서, 상기 둘 이상의 박막 중 하나 이상은 실리콘 다이옥사이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광 장치.
KR1020077013807A 2004-12-06 2005-12-05 다중 막 와이어 그리드 편광 장치 KR101234986B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/005,927 US7570424B2 (en) 2004-12-06 2004-12-06 Multilayer wire-grid polarizer
US11/005,927 2004-12-06
PCT/US2005/044259 WO2006063049A1 (en) 2004-12-06 2005-12-05 Multilayer wire-grid polarizer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070092233A KR20070092233A (ko) 2007-09-12
KR101234986B1 true KR101234986B1 (ko) 2013-02-20

Family

ID=36573849

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020077013807A KR101234986B1 (ko) 2004-12-06 2005-12-05 다중 막 와이어 그리드 편광 장치

Country Status (8)

Country Link
US (4) US7570424B2 (ko)
EP (2) EP1820051B1 (ko)
JP (1) JP4843617B2 (ko)
KR (1) KR101234986B1 (ko)
CN (1) CN101073024A (ko)
AU (1) AU2005314134A1 (ko)
BR (1) BRPI0518402A2 (ko)
WO (1) WO2006063049A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10088704B2 (en) 2016-03-18 2018-10-02 Samsung Display Co., Ltd. Display device including wire grid polarizer and manufacturing method thereof

Families Citing this family (113)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4363029B2 (ja) * 2002-11-06 2009-11-11 ソニー株式会社 分割波長板フィルターの製造方法
US7294851B2 (en) * 2004-11-03 2007-11-13 Infineon Technologies Ag Dense seed layer and method of formation
US7570424B2 (en) 2004-12-06 2009-08-04 Moxtek, Inc. Multilayer wire-grid polarizer
US20080055719A1 (en) * 2006-08-31 2008-03-06 Perkins Raymond T Inorganic, Dielectric Grid Polarizer
US7961393B2 (en) 2004-12-06 2011-06-14 Moxtek, Inc. Selectively absorptive wire-grid polarizer
US7800823B2 (en) 2004-12-06 2010-09-21 Moxtek, Inc. Polarization device to polarize and further control light
JP2006163291A (ja) * 2004-12-10 2006-06-22 Canon Inc 光学素子及びその製造方法
JP2008527400A (ja) * 2004-12-21 2008-07-24 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 光源
JP4760135B2 (ja) * 2005-05-24 2011-08-31 ソニー株式会社 光学装置及び光学装置の製造方法
US7582857B2 (en) * 2006-04-18 2009-09-01 The Trustees Of The University Of Pennsylvania Sensor and polarimetric filters for real-time extraction of polarimetric information at the focal plane
JP4762804B2 (ja) * 2006-06-28 2011-08-31 チェイル インダストリーズ インコーポレイテッド 偏光分離素子およびその製造方法
US7639414B2 (en) * 2006-08-10 2009-12-29 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Polarizer and flat panel display apparatus including the same
WO2008022099A2 (en) * 2006-08-15 2008-02-21 Api Nanofabrication And Research Corp. Polarizer films and methods of making the same
US8755113B2 (en) 2006-08-31 2014-06-17 Moxtek, Inc. Durable, inorganic, absorptive, ultra-violet, grid polarizer
JP4778873B2 (ja) * 2006-10-20 2011-09-21 株式会社 日立ディスプレイズ 液晶表示装置
KR101294004B1 (ko) * 2006-11-02 2013-08-07 삼성디스플레이 주식회사 편광판, 이를 갖는 표시패널 및 표시장치
JP4488033B2 (ja) 2007-02-06 2010-06-23 ソニー株式会社 偏光素子及び液晶プロジェクター
US7789515B2 (en) 2007-05-17 2010-09-07 Moxtek, Inc. Projection device with a folded optical path and wire-grid polarizer
JP5010527B2 (ja) * 2007-06-04 2012-08-29 住友化学株式会社 導光板ユニット、面光源装置及び液晶表示装置
JP2009031392A (ja) * 2007-07-25 2009-02-12 Seiko Epson Corp ワイヤーグリッド型偏光素子、その製造方法、液晶装置および投射型表示装置
JP4412372B2 (ja) * 2007-09-12 2010-02-10 セイコーエプソン株式会社 偏光素子の製造方法
JP4412388B2 (ja) * 2007-10-31 2010-02-10 セイコーエプソン株式会社 光学素子、液晶装置及び電子機器
JP4979549B2 (ja) * 2007-11-20 2012-07-18 キヤノン株式会社 偏光分離素子及びそれを有する光学機器
EP2264492B1 (en) * 2008-04-08 2014-07-02 Asahi Glass Company, Limited Manufacturing method for a wire grid polarizer
KR20110031440A (ko) * 2008-07-10 2011-03-28 아사히 가라스 가부시키가이샤 와이어 그리드형 편광자 및 그 제조 방법
JP5606052B2 (ja) * 2009-01-13 2014-10-15 キヤノン株式会社 光学素子
JP2010169722A (ja) * 2009-01-20 2010-08-05 Seiko Epson Corp 光学素子の製造方法及び光学素子
JP2010204626A (ja) * 2009-02-05 2010-09-16 Asahi Glass Co Ltd ワイヤグリッド型偏光子およびその製造方法
KR101610376B1 (ko) * 2009-04-10 2016-04-08 엘지이노텍 주식회사 와이어 그리드 편광자, 이를 포함하는 액정 표시 장치 및 와이어 그리드 편광자의 제조 방법
CN101943843B (zh) * 2009-05-22 2012-03-07 上海丽恒光微电子科技有限公司 集成微型显示投影及成像系统
US8248696B2 (en) 2009-06-25 2012-08-21 Moxtek, Inc. Nano fractal diffuser
US8411146B2 (en) * 2009-09-04 2013-04-02 Lockheed Martin Corporation Single camera color and infrared polarimetric imaging
CN102834749B (zh) * 2010-03-30 2015-02-04 日本电气株式会社 光学元件、光源装置和投影显示装置
US8913321B2 (en) 2010-09-21 2014-12-16 Moxtek, Inc. Fine pitch grid polarizer
US8611007B2 (en) 2010-09-21 2013-12-17 Moxtek, Inc. Fine pitch wire grid polarizer
KR20120032776A (ko) * 2010-09-29 2012-04-06 엘지이노텍 주식회사 와이어 그리드 편광자 및 이를 포함하는 백라이트유닛
JP5760388B2 (ja) 2010-11-01 2015-08-12 セイコーエプソン株式会社 偏光素子とその製造方法、プロジェクター、液晶装置、電子機器
BR112013013806A2 (pt) 2010-12-10 2016-09-13 3M Innovative Properties Co artigos de vitrificação de redução de ofuscamento
US20150077851A1 (en) 2010-12-30 2015-03-19 Moxtek, Inc. Multi-layer absorptive wire grid polarizer
JP5682312B2 (ja) * 2011-01-05 2015-03-11 ソニー株式会社 固体撮像装置の製造方法
JP2012181420A (ja) * 2011-03-02 2012-09-20 Sony Chemical & Information Device Corp 偏光素子
JP5765984B2 (ja) 2011-03-28 2015-08-19 キヤノン株式会社 偏光分離素子および画像投射装置
US8552439B2 (en) * 2011-04-07 2013-10-08 Himax Display, Inc. Light-emitting diode package
JP2012238632A (ja) * 2011-05-10 2012-12-06 Sony Corp 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、及び、電子機器
US8913320B2 (en) 2011-05-17 2014-12-16 Moxtek, Inc. Wire grid polarizer with bordered sections
US8873144B2 (en) 2011-05-17 2014-10-28 Moxtek, Inc. Wire grid polarizer with multiple functionality sections
JP5177266B2 (ja) * 2011-08-26 2013-04-03 ウシオ電機株式会社 偏光素子ユニットおよびこの偏光素子ユニットを用いた光照射装置並びに偏光素子ユニットの透過率設定方法
CN102323677B (zh) * 2011-09-29 2013-06-19 上海丽恒光微电子科技有限公司 偏振分光器件及其形成方法
TWI472813B (zh) * 2012-02-17 2015-02-11 Nat Univ Tsing Hua 反射式偏光片
JP5938241B2 (ja) * 2012-03-15 2016-06-22 日立マクセル株式会社 光学素子およびその製造方法
US8922890B2 (en) 2012-03-21 2014-12-30 Moxtek, Inc. Polarizer edge rib modification
KR101979233B1 (ko) * 2012-07-27 2019-05-17 삼성디스플레이 주식회사 와이어 그리드 편광 구조물, 와이어 그리드 편광 구조물의 제조 방법 및 와이어 그리드 편광 구조물을 포함하는 유기 발광 표시 장치
JP5972100B2 (ja) * 2012-08-13 2016-08-17 キヤノン株式会社 反射型回折素子
KR102038693B1 (ko) * 2013-04-15 2019-10-31 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR20140137734A (ko) 2013-05-23 2014-12-03 삼성디스플레이 주식회사 반사형 편광판 제조방법 및 인셀 반사형 편광판 제조방법
KR102069179B1 (ko) * 2013-06-26 2020-02-12 삼성디스플레이 주식회사 편광 소자, 이를 포함하는 표시 패널 및 이의 제조 방법
US9354374B2 (en) 2013-10-24 2016-05-31 Moxtek, Inc. Polarizer with wire pair over rib
JP5983596B2 (ja) 2013-12-26 2016-08-31 ウシオ電機株式会社 紫外線偏光光照射方法及び光配向層付き基板の製造方法
US10268046B2 (en) * 2014-05-28 2019-04-23 Moxtek, Inc. Cube polarizer
US9726897B2 (en) 2014-05-28 2017-08-08 Motex, Inc. Cube polarizer with minimal optical path length difference
IL232866B (en) 2014-05-29 2020-08-31 Elta Systems Ltd Polarization rotator
US9632224B2 (en) 2014-06-25 2017-04-25 Moxtek, Inc. Broadband, selectively-absorptive wire grid polarizer
KR20170023826A (ko) 2014-06-25 2017-03-06 목스테크, 인크 이중 흡수성 영역을 가진 와이어 그리드 편광기
AU2015286420B2 (en) * 2014-07-11 2018-09-20 Sony Corporation Information processing device
KR102215134B1 (ko) 2014-07-28 2021-02-15 삼성디스플레이 주식회사 편광자 및 이를 포함하는 표시 패널
KR20160031612A (ko) * 2014-09-12 2016-03-23 삼성디스플레이 주식회사 와이어 그리드 편광자, 이를 포함하는 표시 장치 및 이의 제조방법
US10088616B2 (en) 2014-09-19 2018-10-02 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Panel with reduced glare
EP3023820B1 (en) 2014-11-18 2023-12-27 Samsung Display Co., Ltd. Wire grid polarizing plate, display device including the same, and method of fabricating said display device
KR102332948B1 (ko) 2015-01-13 2021-12-01 삼성디스플레이 주식회사 편광 소자 및 이를 포함하는 표시장치
WO2016114847A1 (en) * 2015-01-16 2016-07-21 Moxtek, Inc. Broadband, selectively-absorptive wire grid polarizer
US10234613B2 (en) 2015-02-06 2019-03-19 Moxtek, Inc. High contrast inverse polarizer
US10534120B2 (en) 2015-04-03 2020-01-14 Moxtek, Inc. Wire grid polarizer with protected wires
CN104865629B (zh) * 2015-06-05 2017-09-29 京东方科技集团股份有限公司 一种反射型偏光片及液晶显示装置
CN105118400B (zh) * 2015-09-29 2018-09-11 京东方科技集团股份有限公司 一种透明显示装置
US11231544B2 (en) 2015-11-06 2022-01-25 Magic Leap, Inc. Metasurfaces for redirecting light and methods for fabricating
US10175401B2 (en) 2015-11-12 2019-01-08 Moxtek, Inc. Dual-purpose, absorptive, reflective wire grid polarizer
CN105487160B (zh) * 2016-01-15 2018-12-18 京东方科技集团股份有限公司 金属线栅偏振器及其制作方法、显示装置
US10330946B1 (en) 2016-05-04 2019-06-25 Moxtek, Inc. Symmetric cube polarizing beam splitter
KR20230159898A (ko) 2016-05-06 2023-11-22 매직 립, 인코포레이티드 광을 재지향시키기 위한 비대칭 격자들을 가진 메타표면들 및 제조를 위한 방법들
CN105867025B (zh) * 2016-06-01 2019-02-01 武汉华星光电技术有限公司 背光模组
US10571614B2 (en) 2016-08-16 2020-02-25 Moxek, Inc. Wire grid polarizer heat sink having specified reflective layer, absorptive layer, and heat-dissipation layer
US10408983B2 (en) 2016-08-16 2019-09-10 Moxtek, Inc. Durable, high performance wire grid polarizer having permeable junction between top protection layer
US10444410B2 (en) 2016-08-16 2019-10-15 Moxtek, Inc. Overcoat wire grid polarizer having conformal coat layer with oxidation barrier and moisture barrier
KR102602238B1 (ko) 2016-08-29 2023-11-15 삼성디스플레이 주식회사 편광 소자, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 표시 장치
US10069211B2 (en) * 2016-09-16 2018-09-04 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Broadband circularly polarized patch antenna and method
US10139537B2 (en) * 2016-11-22 2018-11-27 Moxtek, Inc. Multiple-stack wire grid polarizer
JP6953662B2 (ja) * 2016-11-22 2021-10-27 モックステック・インコーポレーテッド ワイヤグリッド偏光子ヒートシンク
CN110476090B (zh) 2017-01-27 2023-04-25 奇跃公司 用于超表面的抗反射涂层
WO2018140651A1 (en) 2017-01-27 2018-08-02 Magic Leap, Inc. Diffraction gratings formed by metasurfaces having differently oriented nanobeams
US10838220B2 (en) 2017-04-14 2020-11-17 Moxtek, Inc. Miniature, durable polarization devices
CN110770612A (zh) * 2017-06-13 2020-02-07 3M创新有限公司 光控制膜
WO2019009151A1 (ja) * 2017-07-03 2019-01-10 Scivax株式会社 光学部材およびこれを用いた光学系装置
US10353239B2 (en) 2017-07-07 2019-07-16 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Method of manufacturing nanowire grid polarizer
CN107167863B (zh) * 2017-07-07 2019-09-10 深圳市华星光电技术有限公司 纳米线栅偏光片的制作方法
JP6401837B1 (ja) * 2017-08-10 2018-10-10 デクセリアルズ株式会社 偏光板及び光学機器
US10690828B2 (en) 2017-08-30 2020-06-23 Moxtek, Inc. Adhesive-free polarizer
US10649121B2 (en) * 2017-10-05 2020-05-12 Moxtek, Inc. Low Ts wire grid polarizer
CN107783220A (zh) * 2017-11-28 2018-03-09 浙江科技学院 多层金属线栅结构薄膜宽带太赫兹偏振器及其制造方法
KR102559836B1 (ko) * 2018-01-31 2023-07-27 삼성디스플레이 주식회사 편광자, 상기 편광자를 포함한 광학 장치, 상기 편광자를 포함한 디스플레이 장치 및 상기 편광자의 제조 방법
US10852464B2 (en) 2018-03-01 2020-12-01 Moxtek, Inc. High-contrast polarizer
US11079528B2 (en) * 2018-04-12 2021-08-03 Moxtek, Inc. Polarizer nanoimprint lithography
WO2020072060A1 (en) * 2018-10-03 2020-04-09 Moxtek, Inc. Durable, high performance wire grid polarizer
US20200124779A1 (en) * 2018-10-22 2020-04-23 Board Of Regents, The University Of Texas System Layered sheet polarizers and isolators
TWI713214B (zh) 2018-10-26 2020-12-11 友達光電股份有限公司 偏光基板及顯示面板
JP2020098259A (ja) * 2018-12-18 2020-06-25 セイコーエプソン株式会社 表示装置、および反射型偏光素子
KR102168744B1 (ko) * 2019-05-24 2020-10-22 한국과학기술원 와이어 그리드 편광자
PH12020050192A1 (en) 2019-07-17 2021-05-17 Moxtek Inc Reflective wire grid polarizer with transparent cap
JP7356291B2 (ja) 2019-08-23 2023-10-04 デクセリアルズ株式会社 偏光板及び光学機器
WO2021056323A1 (zh) * 2019-09-26 2021-04-01 京东方科技集团股份有限公司 显示面板、其驱动方法及显示装置
US11624916B2 (en) 2020-03-26 2023-04-11 Innovega Inc. Apparatus and method for pixelated occlusion
JP2023543539A (ja) * 2020-07-06 2023-10-17 ホーヤ オプティカル ラブス オブ アメリカ,インコーポレイテッド ワイヤグリッド偏光子の反射制御
US11353644B2 (en) * 2020-10-01 2022-06-07 A. U. Vista, Inc. Display device having blended display panel
WO2024102766A1 (en) * 2022-11-07 2024-05-16 Magic Leap, Inc. Polarization insensitive diffraction grating and display including the same

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040070829A1 (en) * 2002-10-15 2004-04-15 Kurtz Andrew F. Wire grid polarizer
US20040174596A1 (en) * 2003-03-05 2004-09-09 Ricoh Optical Industries Co., Ltd. Polarization optical device and manufacturing method therefor

Family Cites Families (408)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2224214A (en) 1937-12-28 1940-12-10 Polaroid Corp Light polarizing body
US2287598A (en) * 1937-12-28 1942-06-23 Polaroid Corp Method of manufacturing lightpolarizing bodies
US2237567A (en) 1939-05-04 1941-04-08 Polaroid Corp Light polarizer and process of manufacturing the same
CH230613A (de) 1939-11-08 1944-01-15 Ges Foerderung Forschung Technische Physik Eth Zuerich Anordnung zur Wiedergabe eines Fernsehbildes.
US2605352A (en) 1940-08-28 1952-07-29 Fischer Ernst Friedrich Deformable medium for controlling a light stream
US2403731A (en) * 1943-04-01 1946-07-09 Eastman Kodak Co Beam splitter
US2748659A (en) * 1951-02-26 1956-06-05 Jenaer Glaswerk Schott & Gen Light source, searchlight or the like for polarized light
US2887566A (en) * 1952-11-14 1959-05-19 Marks Polarized Corp Glare-eliminating optical system
USRE25169E (en) 1954-06-01 1962-05-15 Colored light system
US2815452A (en) 1954-11-12 1957-12-03 Baird Associates Inc Interferometer
US3046839A (en) * 1959-01-12 1962-07-31 Polaroid Corp Processes for preparing light polarizing materials
US3084590A (en) 1959-02-26 1963-04-09 Gen Electric Optical system
NL254460A (ko) 1960-08-02
US3235630A (en) 1962-07-17 1966-02-15 Little Inc A Method of making an optical tool
US3291871A (en) 1962-11-13 1966-12-13 Little Inc A Method of forming fine wire grids
US3293331A (en) 1962-11-13 1966-12-20 Little Inc A Method of forming replicas of contoured substrates
US3479168A (en) 1964-03-09 1969-11-18 Polaroid Corp Method of making metallic polarizer by drawing fusion
US3291550A (en) 1965-04-16 1966-12-13 Polaroid Corp Metallic grid light-polarizing device
US3436143A (en) * 1965-11-30 1969-04-01 Bell Telephone Labor Inc Grid type magic tee
US3566099A (en) * 1968-09-16 1971-02-23 Polaroid Corp Light projection assembly
US3627431A (en) 1969-12-22 1971-12-14 John Victor Komarniski Densitometer
US3631288A (en) 1970-01-23 1971-12-28 Polaroid Corp Simplified polarized light projection assembly
US3653741A (en) 1970-02-16 1972-04-04 Alvin M Marks Electro-optical dipolar material
US3731986A (en) * 1971-04-22 1973-05-08 Int Liquid Xtal Co Display devices utilizing liquid crystal light modulation
CH558023A (de) * 1972-08-29 1975-01-15 Battelle Memorial Institute Polarisationsvorrichtung.
US3877789A (en) 1972-11-08 1975-04-15 Marie G R P Mode transformer for light or millimeter electromagnetic waves
US4049944A (en) * 1973-02-28 1977-09-20 Hughes Aircraft Company Process for fabricating small geometry semiconductive devices including integrated components
US3969545A (en) * 1973-03-01 1976-07-13 Texas Instruments Incorporated Light polarizing material method and apparatus
US3857628A (en) 1973-08-29 1974-12-31 Hoffmann La Roche Selective polarizer arrangement for liquid crystal displays
US3857627A (en) 1973-08-29 1974-12-31 Hoffmann La Roche Polarizer arrangement for liquid crystal displays
US3912369A (en) 1974-07-02 1975-10-14 Gen Electric Single polarizer reflective liquid crystal display
US4025688A (en) * 1974-08-01 1977-05-24 Polaroid Corporation Polarizer lamination
CH582894A5 (ko) * 1975-03-17 1976-12-15 Bbc Brown Boveri & Cie
US4009933A (en) * 1975-05-07 1977-03-01 Rca Corporation Polarization-selective laser mirror
US4104598A (en) * 1975-06-09 1978-08-01 Hughes Aircraft Company Laser internal coupling modulation arrangement with wire grid polarizer serving as a reflector and coupler
DE2529112C3 (de) 1975-06-30 1978-03-23 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Ultraschall-Applikator für die zeilenweise Ultraschallabtastung von Körpern
JPS6034742B2 (ja) 1976-02-20 1985-08-10 ミノルタ株式会社 光学的ロ−パスフイルタ−
US4073571A (en) * 1976-05-05 1978-02-14 Hughes Aircraft Company Circularly polarized light source
US4181756A (en) * 1977-10-05 1980-01-01 Fergason James L Process for increasing display brightness of liquid crystal displays by bleaching polarizers using screen-printing techniques
DE2818103A1 (de) * 1978-04-25 1979-11-08 Siemens Ag Verfahren zur herstellung von aus einer vielzahl von auf einer glastraegerplatte angeordneten parallel zueinander ausgerichteten elektrisch leitenden streifen bestehenden polarisatoren
JPS6033246B2 (ja) * 1978-07-26 1985-08-01 三立電機株式会社 多色表示用偏光板の製造方法
DE2915847C2 (de) * 1978-09-29 1986-01-16 Nitto Electric Industrial Co., Ltd., Ibaraki, Osaka Elektrooptisch aktivierbare Anzeige
US4221464A (en) * 1978-10-17 1980-09-09 Hughes Aircraft Company Hybrid Brewster's angle wire grid infrared polarizer
US4289381A (en) 1979-07-02 1981-09-15 Hughes Aircraft Company High selectivity thin film polarizer
US4308079A (en) 1980-06-16 1981-12-29 Martin Marietta Corporation Durability of adhesively bonded aluminum structures and method for inhibiting the conversion of aluminum oxide to aluminum hydroxide
US4514479A (en) * 1980-07-01 1985-04-30 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Method of making near infrared polarizers
EP0045104B1 (de) * 1980-07-28 1985-04-10 BBC Aktiengesellschaft Brown, Boveri & Cie. Homöotrop nematisches Display mit internem Reflektor
US4441791A (en) 1980-09-02 1984-04-10 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror light modulator
US4466704A (en) * 1981-07-20 1984-08-21 Polaroid Corporation Patterned polarizer having differently dyed areas
DE3376172D1 (en) 1982-01-22 1988-05-05 Hitachi Ltd Method and apparatus for reducing semiconductor laser optical noise
US4512638A (en) * 1982-08-31 1985-04-23 Westinghouse Electric Corp. Wire grid polarizer
US4515441A (en) * 1982-10-13 1985-05-07 Westinghouse Electric Corp. Dielectric polarizer for high average and high peak power operation
DE3244885A1 (de) * 1982-12-02 1984-06-07 Merck Patent Gmbh, 6100 Darmstadt Farbselektiver zirkularpolarisator und seine verwendung
US4515443A (en) 1982-12-29 1985-05-07 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Passive optical system for background suppression in starring imagers
US4560599A (en) 1984-02-13 1985-12-24 Marquette University Assembling multilayers of polymerizable surfactant on a surface of a solid material
FR2564605B1 (fr) 1984-05-18 1987-12-24 Commissariat Energie Atomique Cellule a cristal liquide susceptible de presenter une structure homeotrope, a birefringence compensee pour cette structure
SU1283685A1 (ru) 1985-02-20 1987-01-15 Предприятие П/Я А-1705 Решетка-пол ризатор
US4679910A (en) * 1985-03-20 1987-07-14 Hughes Aircraft Company Dual liquid-crystal cell-based visible-to-infrared dynamic image converter
US4688897A (en) * 1985-06-17 1987-08-25 Hughes Aircraft Company Liquid crystal device
US4712881A (en) 1985-06-21 1987-12-15 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Birefringent artificial dielectric structures
JPS626225A (ja) * 1985-07-02 1987-01-13 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 液晶表示装置
JPS6231822A (ja) * 1985-08-02 1987-02-10 Hitachi Ltd 液晶表示素子
US4743093A (en) * 1985-09-16 1988-05-10 Eastman Kodak Company Optical disc player lens
FR2588093B1 (fr) 1985-09-27 1987-11-20 Thomson Csf Polariseur par absorption differentielle, son procede de realisation et dispositif mettant en oeuvre ledit procede
JPS6275418A (ja) 1985-09-27 1987-04-07 Alps Electric Co Ltd 液晶素子
US4724436A (en) 1986-09-22 1988-02-09 Environmental Research Institute Of Michigan Depolarizing radar corner reflector
US4743092A (en) * 1986-11-26 1988-05-10 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Polarizing grids for far-infrared and method for making same
US4759611A (en) * 1986-12-19 1988-07-26 Polaroid Corporation, Patent Department Liquid crystal display having silylated light polarizers
US4795233A (en) 1987-03-09 1989-01-03 Honeywell Inc. Fiber optic polarizer
DE3707984A1 (de) 1987-03-12 1988-09-22 Max Planck Gesellschaft Polarisierender spiegel fuer optische strahlung
US4840757A (en) * 1987-05-19 1989-06-20 S. D. Warren Company Replicating process for interference patterns
FR2623649B1 (fr) 1987-11-23 1992-05-15 Asulab Sa Cellule d'affichage a cristal liquide
US4865670A (en) 1988-02-05 1989-09-12 Mortimer Marks Method of making a high quality polarizer
FR2629924B1 (fr) 1988-04-08 1992-09-04 Comp Generale Electricite Polariseur a couches dielectriques
US4893905A (en) 1988-06-10 1990-01-16 Hughes Aircraft Company Optical light valve system for providing phase conjugated beam of controllable intensity
JP2703930B2 (ja) 1988-06-29 1998-01-26 日本電気株式会社 複屈折回折格子型偏光子
JPH0212105A (ja) * 1988-06-29 1990-01-17 Nec Corp 複屈折回折格子型偏光子
JPH0215238A (ja) 1988-07-04 1990-01-18 Stanley Electric Co Ltd 異方性補償ホメオトロピック液晶表示装置
JPH0223304A (ja) * 1988-07-12 1990-01-25 Toray Ind Inc 可視偏光フイルム
US4895769A (en) * 1988-08-09 1990-01-23 Polaroid Corporation Method for preparing light polarizer
US4915463A (en) 1988-10-18 1990-04-10 The United States Of America As Represented By The Department Of Energy Multilayer diffraction grating
US4939526A (en) 1988-12-22 1990-07-03 Hughes Aircraft Company Antenna system having azimuth rotating directive beam with selectable polarization
US4913529A (en) * 1988-12-27 1990-04-03 North American Philips Corp. Illumination system for an LCD display system
US4870649A (en) 1988-12-28 1989-09-26 American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories Tranverse mode control in solid state lasers
US4946231A (en) * 1989-05-19 1990-08-07 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Polarizer produced via photographic image of polarizing grid
US5599551A (en) 1989-06-06 1997-02-04 Kelly; Patrick D. Genital lubricants containing zinc as an anti-viral agent
US5486949A (en) * 1989-06-20 1996-01-23 The Dow Chemical Company Birefringent interference polarizer
US5279689A (en) * 1989-06-30 1994-01-18 E. I. Du Pont De Nemours And Company Method for replicating holographic optical elements
EP0405582A3 (en) 1989-06-30 1992-07-08 E.I. Du Pont De Nemours And Company Method for making optically readable media containing embossed information
US5235443A (en) * 1989-07-10 1993-08-10 Hoffmann-La Roche Inc. Polarizer device
DE59010516D1 (de) 1989-07-10 1996-10-31 Hoffmann La Roche Polarisator
EP0416157A1 (de) * 1989-09-07 1991-03-13 Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Polarisator
FR2653234A1 (fr) * 1989-10-13 1991-04-19 Philips Electronique Lab Dispositif du type miroir dans le domaine des rayons x-uv.
JPH03132603A (ja) 1989-10-18 1991-06-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 偏光子
JP2924055B2 (ja) * 1989-12-08 1999-07-26 セイコーエプソン株式会社 反射型液晶表示素子
US5267029A (en) 1989-12-28 1993-11-30 Katsumi Kurematsu Image projector
US5235449A (en) * 1990-03-02 1993-08-10 Hitachi, Ltd. Polarizer with patterned diacetylene layer, method for producing the same, and liquid crystal display device including such polarizer
US5401587A (en) 1990-03-27 1995-03-28 Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho Anisotropic nanophase composite material and method of producing same
JPH03289692A (ja) * 1990-04-06 1991-12-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 空間光変調素子及びこれを用いたホログラム画像情報記録装置
JP2681304B2 (ja) * 1990-05-16 1997-11-26 日本ビクター株式会社 表示装置
KR920010809B1 (ko) 1990-05-19 1992-12-17 주식회사 금성사 Lcd 프로젝터의 광학 시스템
US5083857A (en) 1990-06-29 1992-01-28 Texas Instruments Incorporated Multi-level deformable mirror device
US5115305A (en) * 1990-07-05 1992-05-19 Baur Thomas G Electrically addressable liquid crystal projection system with high efficiency and light output
US5157526A (en) 1990-07-06 1992-10-20 Hitachi, Ltd. Unabsorbing type polarizer, method for manufacturing the same, polarized light source using the same, and apparatus for liquid crystal display using the same
JP2902456B2 (ja) * 1990-08-09 1999-06-07 株式会社豊田中央研究所 無機偏光薄膜
US5113285A (en) * 1990-09-28 1992-05-12 Honeywell Inc. Full color three-dimensional flat panel display
JPH07104450B2 (ja) 1990-10-17 1995-11-13 スタンレー電気株式会社 二軸性光学素子とその製造方法
FR2669126B1 (fr) 1990-11-09 1993-01-22 Thomson Csf Systeme de visualisation d'images fournies par un modulateur spatial avec transfert d'energie.
US5387953A (en) 1990-12-27 1995-02-07 Canon Kabushiki Kaisha Polarization illumination device and projector having the same
US5092774A (en) 1991-01-09 1992-03-03 National Semiconductor Corporation Mechanically compliant high frequency electrical connector
JP2698218B2 (ja) * 1991-01-18 1998-01-19 シャープ株式会社 反射型液晶表示装置及びその製造方法
US5122887A (en) * 1991-03-05 1992-06-16 Sayett Group, Inc. Color display utilizing twisted nematic LCDs and selective polarizers
EP0518111B1 (en) 1991-05-29 1997-04-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Projection image display system
CA2110807A1 (en) 1991-06-13 1992-12-23 Michael F. Weber Retroreflecting polarizer
EP0518333B1 (en) 1991-06-14 2002-08-28 Hughes Aircraft Company Method for inducing tilted perpendicular alignment in liquid crystals
US5245471A (en) 1991-06-14 1993-09-14 Tdk Corporation Polarizers, polarizer-equipped optical elements, and method of manufacturing the same
DE69221968T2 (de) * 1991-06-28 1998-03-05 Philips Electronics Nv Bildwiedergabeanordnung
US5122907A (en) 1991-07-03 1992-06-16 Polatomic, Inc. Light polarizer and method of manufacture
JP2754964B2 (ja) 1991-08-13 1998-05-20 日本電気株式会社 多極コネクタの嵌合構造
US5196953A (en) 1991-11-01 1993-03-23 Rockwell International Corporation Compensator for liquid crystal display, having two types of layers with different refractive indices alternating
EP0543061B1 (en) 1991-11-20 1998-07-15 Hamamatsu Photonics K.K. Light amplifying polarizer
JP2796005B2 (ja) * 1992-02-10 1998-09-10 三菱電機株式会社 投影露光装置及び偏光子
US5383053A (en) 1992-04-07 1995-01-17 Hughes Aircraft Company Virtual image display having a high efficiency grid beamsplitter
US5422756A (en) * 1992-05-18 1995-06-06 Minnesota Mining And Manufacturing Company Backlighting system using a retroreflecting polarizer
EP0816897B1 (en) * 1992-06-30 2001-01-03 Citizen Watch Co. Ltd. Liquid crystal display unit and liquid crystal projector using this liquid crystal display unit
WO1994009401A1 (en) 1992-10-20 1994-04-28 Hughes-Jvc Technology Corporation Liquid crystal light valve with minimized double reflection
US5480748A (en) * 1992-10-21 1996-01-02 International Business Machines Corporation Protection of aluminum metallization against chemical attack during photoresist development
JPH06138413A (ja) * 1992-10-29 1994-05-20 Canon Inc プレート型偏光分離装置及び該偏光分離装置を用いた偏光照明装置
JP3250853B2 (ja) 1992-11-09 2002-01-28 松下電器産業株式会社 液晶表示装置およびそれを用いた投写型表示装置
JP2698521B2 (ja) 1992-12-14 1998-01-19 キヤノン株式会社 反射屈折型光学系及び該光学系を備える投影露光装置
US5325218A (en) * 1992-12-31 1994-06-28 Minnesota Mining And Manufacturing Company Cholesteric polarizer for liquid crystal display and overhead projector
US5333072A (en) * 1992-12-31 1994-07-26 Minnesota Mining And Manufacturing Company Reflective liquid crystal display overhead projection system using a reflective linear polarizer and a fresnel lens
TW289095B (ko) * 1993-01-11 1996-10-21
US5477359A (en) 1993-01-21 1995-12-19 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal projector having a vertical orientating polyimide film
US5522111A (en) 1993-03-02 1996-06-04 Marshalltown Trowel Company Finishing trowel handle
US5594561A (en) * 1993-03-31 1997-01-14 Palomar Technologies Corporation Flat panel display with elliptical diffuser and fiber optic plate
JP3168765B2 (ja) 1993-04-01 2001-05-21 松下電器産業株式会社 偏光装置および該偏光装置を用いた投写型表示装置
US5349192A (en) 1993-05-20 1994-09-20 Wisconsin Alumni Research Foundation Solid state detector for polarized x-rays
US5486935A (en) * 1993-06-29 1996-01-23 Kaiser Aerospace And Electronics Corporation High efficiency chiral nematic liquid crystal rear polarizer for liquid crystal displays having a notch polarization bandwidth of 100 nm to 250 nm
US5391091A (en) 1993-06-30 1995-02-21 American Nucleonics Corporation Connection system for blind mate electrical connector applications
CA2168106C (en) * 1993-07-27 2002-08-20 Joel Petersen High brightness directional viewing screen
DE69433486T2 (de) 1993-09-10 2004-10-14 Nippon Kayaku K.K. Polarisator,polarisationsplatte und verfahren zu deren herstellung
JPH0784252A (ja) * 1993-09-16 1995-03-31 Sharp Corp 液晶表示装置
KR0181725B1 (ko) 1993-10-01 1999-05-01 스튜어트 아이. 무어 통합 광을 제한하는 활성 매트릭스 액정 감색 디스플레이
US5576854A (en) 1993-11-12 1996-11-19 Hughes-Jvc Technology Corporation Liquid crystal light valve projector with improved contrast ratio and with 0.27 wavelength compensation for birefringence in the liquid crystal light valve
US5499126A (en) 1993-12-02 1996-03-12 Ois Optical Imaging Systems, Inc. Liquid crystal display with patterned retardation films
US5517356A (en) * 1993-12-15 1996-05-14 Corning Incorporated Glass polarizer for visible light
BE1007993A3 (nl) * 1993-12-17 1995-12-05 Philips Electronics Nv Belichtingsstelsel voor een kleurenbeeldprojectie-inrichting en circulaire polarisator geschikt voor toepassing in een dergelijk belichtingsstelsel en kleurenbeeldprojectie-inrichting bevattende een dergelijk belichtingsstelsel met circulaire polarisator.
US5882774A (en) 1993-12-21 1999-03-16 Minnesota Mining And Manufacturing Company Optical film
US6096375A (en) 1993-12-21 2000-08-01 3M Innovative Properties Company Optical polarizer
JP3501299B2 (ja) 1993-12-28 2004-03-02 日本ビクター株式会社 半導体装置
US5455589A (en) 1994-01-07 1995-10-03 Millitech Corporation Compact microwave and millimeter wave radar
GB2286058A (en) 1994-01-21 1995-08-02 Sharp Kk Switchable holographic apparatus
JP3278521B2 (ja) 1994-01-28 2002-04-30 松下電器産業株式会社 背面投写型画像表示装置
US5969861A (en) 1994-02-07 1999-10-19 Nikon Corporation Polarizing optical system
JP2765471B2 (ja) 1994-02-15 1998-06-18 日本電気株式会社 投写型液晶表示装置
US5504603A (en) 1994-04-04 1996-04-02 Rockwell International Corporation Optical compensator for improved gray scale performance in liquid crystal display
US5619352A (en) 1994-04-04 1997-04-08 Rockwell International Corporation LCD splay/twist compensator having varying tilt and /or azimuthal angles for improved gray scale performance
US5638197A (en) 1994-04-04 1997-06-10 Rockwell International Corp. Inorganic thin film compensator for improved gray scale performance in twisted nematic liquid crystal displays and method of making
CN1152358A (zh) 1994-05-31 1997-06-18 菲利浦电子有限公司 具有散射显示板的显示装置
US5485499A (en) * 1994-08-05 1996-01-16 Moxtek, Inc. High throughput reflectivity and resolution x-ray dispersive and reflective structures for the 100 eV to 5000 eV energy range and method of making the devices
US5513023A (en) * 1994-10-03 1996-04-30 Hughes Aircraft Company Polarizing beamsplitter for reflective light valve displays having opposing readout beams onto two opposing surfaces of the polarizer
KR0147607B1 (ko) 1994-11-25 1998-09-15 김광호 반사형 액정 투사장치의 광학계
US5917562A (en) 1994-12-16 1999-06-29 Sharp Kabushiki Kaisha Autostereoscopic display and spatial light modulator
JP2864464B2 (ja) 1994-12-22 1999-03-03 日本ビクター株式会社 反射型アクティブ・マトリクス・ディスプレイ・パネル及びその製造方法
JPH08184711A (ja) * 1994-12-29 1996-07-16 Sony Corp 偏光光学素子
EP0722253A3 (en) * 1995-01-10 1996-10-30 Ibm Arrangements for projection display devices using optical valves in reflection
US5510215A (en) 1995-01-25 1996-04-23 Eastman Kodak Company Method for patterning multilayer dielectric color filter
US5652667A (en) 1995-02-03 1997-07-29 Victor Company Of Japan, Ltd. Liquid crystal display apparatus
EP0731456A2 (en) 1995-03-04 1996-09-11 Sony Corporation Optical pickup and optical recording medium reproducing apparatus
US5808795A (en) 1995-03-06 1998-09-15 Nikon Corporation Projection type display apparatus
US6062694A (en) 1995-03-06 2000-05-16 Nikon Corporation Projection type display apparatus
JP3005706B2 (ja) 1995-03-13 2000-02-07 極東開発工業株式会社 ダンプトラック用荷台の床組み
US5719695A (en) 1995-03-31 1998-02-17 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator with superstructure light shield
US5751388A (en) 1995-04-07 1998-05-12 Honeywell Inc. High efficiency polarized display
US5535047A (en) 1995-04-18 1996-07-09 Texas Instruments Incorporated Active yoke hidden hinge digital micromirror device
DE69625642T2 (de) 1995-05-23 2003-05-28 Kyocera Corp Methode zu Herstellung eines optischen Polarisators
US5686979A (en) 1995-06-26 1997-11-11 Minnesota Mining And Manufacturing Company Optical panel capable of switching between reflective and transmissive states
EP0753785B1 (de) 1995-07-11 2016-05-11 Rolic AG Übertragung von Polarisationsmustern auf polarisationsempfindliche Photoschichten
EP0786684A4 (en) 1995-07-17 1998-04-29 Seiko Epson Corp REFLECTIVE COLOR LIQUID CRYSTAL DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE USING THIS
US5978056A (en) 1995-10-15 1999-11-02 Victor Company Of Japan, Ltd Reflection-type display apparatus having antireflection films
JPH09146061A (ja) 1995-11-17 1997-06-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶プロジェクション装置
JPH09159988A (ja) * 1995-12-12 1997-06-20 Nikon Corp 投射型表示装置
US6181386B1 (en) 1995-12-29 2001-01-30 Duke University Projecting images
CA2193790C (en) 1995-12-29 2001-03-13 Duke University Projecting images
US5751466A (en) 1996-01-11 1998-05-12 University Of Alabama At Huntsville Photonic bandgap apparatus and method for delaying photonic signals
US5838403A (en) 1996-02-14 1998-11-17 Physical Optics Corporation Liquid crystal display system with internally reflecting waveguide for backlighting and non-Lambertian diffusing
JP3282986B2 (ja) 1996-02-28 2002-05-20 富士通株式会社 液晶表示装置
US5867316A (en) 1996-02-29 1999-02-02 Minnesota Mining And Manufacturing Company Multilayer film having a continuous and disperse phase
US5828489A (en) 1996-04-12 1998-10-27 Rockwell International Corporation Narrow wavelength polarizing beamsplitter
JP3767047B2 (ja) 1996-04-26 2006-04-19 セイコーエプソン株式会社 投写型表示装置
US5826959A (en) 1996-05-09 1998-10-27 Pioneer Electronic Corporation Projection image display apparatus
JP3738505B2 (ja) 1996-05-10 2006-01-25 株式会社ニコン 投射型表示装置
US5841494A (en) 1996-06-26 1998-11-24 Hall; Dennis R. Transflective LCD utilizing chiral liquid crystal filter/mirrors
US5982541A (en) 1996-08-12 1999-11-09 Nationsl Research Council Of Canada High efficiency projection displays having thin film polarizing beam-splitters
US5912762A (en) 1996-08-12 1999-06-15 Li; Li Thin film polarizing device
US6291797B1 (en) 1996-08-13 2001-09-18 Nippon Sheet Glass Co., Ltd. Laser machining method for glass substrate, diffraction type optical device fabricated by the machining method, and method of manufacturing optical device
JPH1073722A (ja) 1996-08-30 1998-03-17 Sony Corp 偏光光学素子及びその製造方法
JP3557317B2 (ja) 1996-09-02 2004-08-25 テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド プロジエクタ装置及び色分離合成装置
EP0829744B1 (en) 1996-09-12 2005-03-23 Sharp Kabushiki Kaisha Parallax barrier and display
US6096155A (en) * 1996-09-27 2000-08-01 Digital Optics Corporation Method of dicing wafer level integrated multiple optical elements
US6390626B2 (en) 1996-10-17 2002-05-21 Duke University Image projection system engine assembly
US5833360A (en) 1996-10-17 1998-11-10 Compaq Computer Corporation High efficiency lamp apparatus for producing a beam of polarized light
US5991075A (en) 1996-11-25 1999-11-23 Ricoh Company, Ltd. Light polarizer and method of producing the light polarizer
US5914818A (en) 1996-11-29 1999-06-22 Texas Instruments Incorporated Offset projection lens for use with reflective spatial light modulators
US6056407A (en) 1996-12-18 2000-05-02 Seiko Epson Corporation Projection display device
JPH10186302A (ja) 1996-12-27 1998-07-14 Fujitsu Ltd 表示装置及び偏光光源装置
US6008951A (en) 1996-12-31 1999-12-28 Texas Instruments Incorporated Offset projection zoom lens with fixed rear group for reflective spatial light modulators
US6075235A (en) * 1997-01-02 2000-06-13 Chun; Cornell Seu Lun High-resolution polarization-sensitive imaging sensors
US5886754A (en) 1997-01-17 1999-03-23 Industrial Technology Research Institute Liquid crystal display projector
US5890095A (en) 1997-01-21 1999-03-30 Nichols Research Corporation System for receiving and enhancing electromagnetic radiation input signals
US6249378B1 (en) 1997-02-28 2001-06-19 Nikon Corporation Mirror and projection type display apparatus
KR100490967B1 (ko) 1997-03-10 2005-08-01 후지 샤신 필름 가부시기가이샤 액정 디스플레이 및 광보상 시이트
US5958345A (en) 1997-03-14 1999-09-28 Moxtek, Inc. Thin film sample support
US6010221A (en) 1997-05-22 2000-01-04 Nikon Corporation Projection type display apparatus
US5844722A (en) 1997-06-05 1998-12-01 Hughes-Jvc Technology Corporation Internal aperture mask for embedded optics
US6055103A (en) 1997-06-28 2000-04-25 Sharp Kabushiki Kaisha Passive polarisation modulating optical element and method of making such an element
US6247816B1 (en) 1997-08-07 2001-06-19 International Business Machines Corporation Optical system for projection displays using spatial light modulators
US5973833A (en) 1997-08-29 1999-10-26 Lightware, Inc. High efficiency polarizing converter
US5930050A (en) 1997-10-21 1999-07-27 Texas Instruments Incorporated Anamorphic lens for providing wide-screen images generated by a spatial light modulator
US5907427A (en) 1997-10-24 1999-05-25 Time Domain Corporation Photonic band gap device and method using a periodicity defect region to increase photonic signal delay
US6486997B1 (en) 1997-10-28 2002-11-26 3M Innovative Properties Company Reflective LCD projection system using wide-angle Cartesian polarizing beam splitter
US7023602B2 (en) 1999-05-17 2006-04-04 3M Innovative Properties Company Reflective LCD projection system using wide-angle Cartesian polarizing beam splitter and color separation and recombination prisms
US6005918A (en) 1997-12-19 1999-12-21 Picker International, Inc. X-ray tube window heat shield
JP3372466B2 (ja) * 1997-12-22 2003-02-04 ティーディーケイ株式会社 偏光板の製造方法
US5899511A (en) 1997-12-30 1999-05-04 Dinatale; Regis C. Ball retrieval device mountable upon end of grip of golf club
US6016173A (en) 1998-02-18 2000-01-18 Displaytech, Inc. Optics arrangement including a compensator cell and static wave plate for use in a continuously viewable, reflection mode, ferroelectric liquid crystal spatial light modulating system
US5900976A (en) 1998-02-20 1999-05-04 Displaytech, Inc. Display system including a polarizing beam splitter
US6654168B1 (en) 1998-03-31 2003-11-25 Corning Incorporated Inorganic visible light reflection polarizer
US6496287B1 (en) 1998-04-09 2002-12-17 Rolic Ag Optical identification element
US6208463B1 (en) 1998-05-14 2001-03-27 Moxtek Polarizer apparatus for producing a generally polarized beam of light
US6108131A (en) 1998-05-14 2000-08-22 Moxtek Polarizer apparatus for producing a generally polarized beam of light
US5943171A (en) 1998-06-03 1999-08-24 International Business Machines Corporation Head mounted displays utilizing reflection light valves
EP1042705A1 (en) * 1998-07-02 2000-10-11 Koninklijke Philips Electronics N.V. Image projection system
US6081376A (en) * 1998-07-16 2000-06-27 Moxtek Reflective optical polarizer device with controlled light distribution and liquid crystal display incorporating the same
IL141536A (en) 1998-08-21 2005-07-25 Olivier M Parriaux Device for measuring translation, rotation or velocity via light beam interference
US6082861A (en) * 1998-09-16 2000-07-04 International Business Machines Corporation Optical system and method for high contrast projection display
US6331060B1 (en) 1998-10-08 2001-12-18 Sony Corporation Projection-type display device and method of adjustment thereof
US6172816B1 (en) 1998-10-23 2001-01-09 Duke University Optical component adjustment for mitigating tolerance sensitivities
US6172813B1 (en) 1998-10-23 2001-01-09 Duke University Projection lens and system including a reflecting linear polarizer
US6185041B1 (en) 1998-10-23 2001-02-06 Duke University Projection lens and system
JP2000147487A (ja) 1998-11-06 2000-05-26 Ricoh Co Ltd 液晶表示装置
US6215547B1 (en) 1998-11-19 2001-04-10 Eastman Kodak Company Reflective liquid crystal modulator based printing system
US5986730A (en) 1998-12-01 1999-11-16 Moxtek Dual mode reflective/transmissive liquid crystal display apparatus
US6490017B1 (en) 1999-01-28 2002-12-03 Duke University Separating white light into polarized, colored light
JP3743190B2 (ja) 1999-02-02 2006-02-08 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置取り付けユニット及びそれを利用した投写型表示装置
JP3603650B2 (ja) 1999-03-08 2004-12-22 セイコーエプソン株式会社 調整機構及びこれを用いた投写型表示装置
US6426837B1 (en) 1999-03-22 2002-07-30 Mems Optical, Inc. Diffractive selectively polarizing beam splitter and beam routing prisms produced thereby
JP2000284117A (ja) 1999-03-30 2000-10-13 Fuji Elelctrochem Co Ltd グリッド偏光子及びその製造方法
JP3371846B2 (ja) 1999-04-06 2003-01-27 日本電気株式会社 ホログラム素子
EP1045272A3 (en) 1999-04-12 2004-02-25 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Reflective color liquid crystal display device
US6010121A (en) 1999-04-21 2000-01-04 Lee; Chi Ping Work piece clamping device of workbench
US6515785B1 (en) 1999-04-22 2003-02-04 3M Innovative Properties Company Optical devices using reflecting polarizing materials
US6288840B1 (en) 1999-06-22 2001-09-11 Moxtek Imbedded wire grid polarizer for the visible spectrum
US6122103A (en) 1999-06-22 2000-09-19 Moxtech Broadband wire grid polarizer for the visible spectrum
EP1065559B1 (en) 1999-07-01 2008-04-23 Sanyo Electric Co., Ltd. Rear projection display device
US6447120B2 (en) * 1999-07-28 2002-09-10 Moxtex Image projection system with a polarizing beam splitter
US6234634B1 (en) * 1999-07-28 2001-05-22 Moxtek Image projection system with a polarizing beam splitter
US6666556B2 (en) 1999-07-28 2003-12-23 Moxtek, Inc Image projection system with a polarizing beam splitter
US6282025B1 (en) 1999-08-02 2001-08-28 New Focus, Inc. Optical polarization beam combiner/splitter
JP4427837B2 (ja) 1999-09-03 2010-03-10 住友化学株式会社 ワイヤーグリッド型偏光光学素子
US6243199B1 (en) 1999-09-07 2001-06-05 Moxtek Broad band wire grid polarizing beam splitter for use in the visible wavelength region
US6398364B1 (en) 1999-10-06 2002-06-04 Optical Coating Laboratory, Inc. Off-axis image projection display system
US6310345B1 (en) 1999-10-12 2001-10-30 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Polarization-resolving infrared imager
US6781640B1 (en) 1999-11-15 2004-08-24 Sharp Laboratories Of America, Inc. Projection display having polarization compensator
US6375330B1 (en) 1999-12-30 2002-04-23 Gain Micro-Optics, Inc. Reflective liquid-crystal-on-silicon projection engine architecture
ATE524170T1 (de) 2000-02-14 2011-09-15 Merck Sharp & Dohme Östrogenrezeptor modulatoren
US6340230B1 (en) * 2000-03-10 2002-01-22 Optical Coating Laboratory, Inc. Method of using a retarder plate to improve contrast in a reflective imaging system
EP1143744B1 (en) 2000-03-17 2008-09-24 Hitachi, Ltd. Image display device
US6661475B1 (en) 2000-03-23 2003-12-09 Infocus Corporation Color video projection system employing reflective liquid crystal display device
US6624936B2 (en) 2000-05-11 2003-09-23 3M Innovative Properties Company Color-compensated information displays
US6411749B2 (en) 2000-05-11 2002-06-25 Micro-Optice, Inc. In-line fiber optic polarization combiner/divider
JP2001330728A (ja) 2000-05-22 2001-11-30 Jasco Corp ワイヤーグリット型偏光子及びその製造方法
JP2001343512A (ja) 2000-05-31 2001-12-14 Canon Inc 回折光学素子及びそれを有する光学系
EP1306715B1 (en) 2000-07-05 2008-05-14 Sony Corporation Image display element, and image display device
JP3642267B2 (ja) 2000-07-05 2005-04-27 セイコーエプソン株式会社 照明光学系およびこれを備えたプロジェクタ
US6704469B1 (en) 2000-09-12 2004-03-09 Finisar Corporation Polarization beam combiner/splitter
US6409525B1 (en) 2000-12-11 2002-06-25 Tyco Electronics Corporation Terminal position housing assembly
US6972906B2 (en) 2000-12-27 2005-12-06 Technion Research And Development Foundation Ltd. Space-variant subwavelength polarization grating and applications thereof
US6532111B2 (en) 2001-03-05 2003-03-11 Eastman Kodak Company Wire grid polarizer
GB0106050D0 (en) 2001-03-12 2001-05-02 Suisse Electronique Microtech Polarisers and mass-production method and apparatus for polarisers
US6585378B2 (en) * 2001-03-20 2003-07-01 Eastman Kodak Company Digital cinema projector
US20020167727A1 (en) 2001-03-27 2002-11-14 Hansen Douglas P. Patterned wire grid polarizer and method of use
US7375887B2 (en) 2001-03-27 2008-05-20 Moxtek, Inc. Method and apparatus for correcting a visible light beam using a wire-grid polarizer
CN1503915A (zh) 2001-04-20 2004-06-09 3M创新有限公司 用于定位光学棱镜的方法及设备
WO2002095487A1 (en) 2001-05-18 2002-11-28 3M Innovative Properties Company Polarization arrangement
DE10124803A1 (de) 2001-05-22 2002-11-28 Zeiss Carl Polarisator und Mikrolithographie-Projektionsanlage mit Polarisator
US20020181824A1 (en) 2001-05-30 2002-12-05 Shangyuan Huang Compact polarization beam combiner/splitter
US6669343B2 (en) 2001-05-31 2003-12-30 Koninklijke Philips Electronics N.V. Image display system
US6511183B2 (en) 2001-06-02 2003-01-28 Koninklijke Philips Electronics N.V. Digital image projector with oriented fixed-polarization-axis polarizing beamsplitter
US6609795B2 (en) 2001-06-11 2003-08-26 3M Innovative Properties Company Polarizing beam splitter
US6813077B2 (en) 2001-06-19 2004-11-02 Corning Incorporated Method for fabricating an integrated optical isolator and a novel wire grid structure
US6510200B1 (en) 2001-06-29 2003-01-21 Osmic, Inc. Multi-layer structure with variable bandpass for monochromatization and spectroscopy
US6893130B2 (en) 2001-08-06 2005-05-17 Advanced Digital Optics, Inc. Color management system having a field lens
US6857747B2 (en) 2001-08-06 2005-02-22 Advanced Digital Optics, Inc. Color management system
GB0119176D0 (en) 2001-08-06 2001-09-26 Ocuity Ltd Optical switching apparatus
US6899432B2 (en) 2001-08-06 2005-05-31 Advanced Digital Optics, Inc. Color management system having a transmissive panel and optical isolator
WO2003019247A1 (fr) 2001-08-24 2003-03-06 Asahi Glass Company, Limited Polariseur multicouches a diffraction et element a cristaux liquides
US6547396B1 (en) 2001-12-27 2003-04-15 Infocus Corporation Stereographic projection system
DE60227854D1 (de) 2001-10-01 2008-09-04 Sony Corp Polarisationsselektives Prisma für einen Projektor
US6922287B2 (en) 2001-10-12 2005-07-26 Unaxis Balzers Aktiengesellschaft Light coupling element
US6714350B2 (en) 2001-10-15 2004-03-30 Eastman Kodak Company Double sided wire grid polarizer
JP2003202523A (ja) 2001-11-02 2003-07-18 Nec Viewtechnology Ltd 偏光ユニット、該偏光ユニットを用いた偏光照明装置及び該偏光照明装置を用いた投写型表示装置
US6739723B1 (en) 2001-12-07 2004-05-25 Delta Electronics, Inc. Polarization recapture system for liquid crystal-based data projectors
US20030117708A1 (en) * 2001-12-21 2003-06-26 Koninklijke Philips Electronics N.V. Sealed enclosure for a wire-grid polarizer and subassembly for a display system
US6947215B2 (en) 2001-12-27 2005-09-20 Canon Kabushiki Kaisha Optical element, optical functional device, polarization conversion device, image display apparatus, and image display system
US6909473B2 (en) 2002-01-07 2005-06-21 Eastman Kodak Company Display apparatus and method
US7061561B2 (en) 2002-01-07 2006-06-13 Moxtek, Inc. System for creating a patterned polarization compensator
US20050008839A1 (en) 2002-01-30 2005-01-13 Cramer Ronald Dean Method for hydrophilizing materials using hydrophilic polymeric materials with discrete charges
US6884500B2 (en) 2002-02-12 2005-04-26 Unaxis Balzers Ltd. Component comprising submicron hollow spaces
US6590695B1 (en) 2002-02-26 2003-07-08 Eastman Kodak Company Micro-mechanical polarization-based modulator
WO2003075076A1 (en) 2002-02-28 2003-09-12 3M Innovative Properties Company Compound polarization beam splitters
KR20030079268A (ko) 2002-04-03 2003-10-10 삼성에스디아이 주식회사 프로젝션 디스플레이 시스템
US7050234B2 (en) 2002-05-01 2006-05-23 Adc Telecommunications, Inc. Lossless beam combination in a dual fiber collimator using a polarizing beamsplitter
US6785050B2 (en) * 2002-05-09 2004-08-31 Moxtek, Inc. Corrosion resistant wire-grid polarizer and method of fabrication
US6899440B2 (en) 2002-05-17 2005-05-31 Infocus Corporation Polarized light source system with mirror and polarization converter
TW523119U (en) 2002-05-24 2003-03-01 Coretronic Corp Structure of polarizer module
US6876784B2 (en) 2002-05-30 2005-04-05 Nanoopto Corporation Optical polarization beam combiner/splitter
JP2004062148A (ja) 2002-06-04 2004-02-26 Canon Inc 光学部品及びその製造方法
US7131737B2 (en) 2002-06-05 2006-11-07 Moxtek, Inc. Housing for mounting a beamsplitter and a spatial light modulator with an output optical path
US6805445B2 (en) 2002-06-05 2004-10-19 Eastman Kodak Company Projection display using a wire grid polarization beamsplitter with compensator
US6823093B2 (en) 2002-06-11 2004-11-23 Jds Uniphase Corporation Tunable micro-optic architecture for combining light beam outputs of dual capillary polarization-maintaining optical fibers
US20040047039A1 (en) 2002-06-17 2004-03-11 Jian Wang Wide angle optical device and method for making same
JP4310080B2 (ja) 2002-06-17 2009-08-05 キヤノン株式会社 回折光学素子およびこれを備えた光学系、光学装置
US7386205B2 (en) 2002-06-17 2008-06-10 Jian Wang Optical device and method for making same
EP1520203A4 (en) 2002-06-18 2005-08-24 Nanoopto Corp OPTICAL COMPONENT WITH ADVANCED FUNCTIONALITY AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
JP2004045672A (ja) 2002-07-11 2004-02-12 Canon Inc 偏光分離素子およびそれを用いた光学系
JP2005534981A (ja) 2002-08-01 2005-11-17 ナノオプト コーポレーション 精密位相遅れ装置およびそれを製造する方法
WO2004019070A2 (en) * 2002-08-21 2004-03-04 Nanoopto Corporation Method and system for providing beam polarization
JP4736430B2 (ja) 2002-08-29 2011-07-27 ソニー株式会社 光ヘッド及び光記録媒体駆動装置
US7324180B2 (en) 2002-09-06 2008-01-29 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Laminated retardation optical element, process of producing the same, and liquid crystal display
US6751003B2 (en) 2002-09-12 2004-06-15 Eastman Kodak Company Apparatus and method for selectively exposing photosensitive materials using a reflective light modulator
US7013064B2 (en) * 2002-10-09 2006-03-14 Nanoopto Corporation Freespace tunable optoelectronic device and method
US6920272B2 (en) 2002-10-09 2005-07-19 Nanoopto Corporation Monolithic tunable lasers and reflectors
JP4376507B2 (ja) 2002-11-01 2009-12-02 リコー光学株式会社 偏光光学素子
JP4363029B2 (ja) 2002-11-06 2009-11-11 ソニー株式会社 分割波長板フィルターの製造方法
US6811274B2 (en) 2002-12-04 2004-11-02 General Electric Company Polarization sensitive optical substrate
JP3599052B2 (ja) 2002-12-13 2004-12-08 ソニー株式会社 画像表示装置
US7113335B2 (en) * 2002-12-30 2006-09-26 Sales Tasso R Grid polarizer with suppressed reflectivity
US7113336B2 (en) 2002-12-30 2006-09-26 Ian Crosby Microlens including wire-grid polarizer and methods of manufacture
JP2006517307A (ja) * 2003-02-10 2006-07-20 ナノオプト コーポレーション 汎用広帯域偏光器、それを含むデバイスおよびその製造方法
US6943941B2 (en) 2003-02-27 2005-09-13 Asml Netherlands B.V. Stationary and dynamic radial transverse electric polarizer for high numerical aperture systems
EP1602947A4 (en) 2003-03-13 2007-03-28 Asahi Glass Co Ltd Diffraction element and optical device
US20060192960A1 (en) 2003-03-24 2006-08-31 Rencs Erik V Polarization detection
JP2004309903A (ja) 2003-04-09 2004-11-04 Ricoh Opt Ind Co Ltd 無機偏光素子および偏光光学素子および液晶素子
US7159987B2 (en) 2003-04-21 2007-01-09 Seiko Epson Corporation Display device, lighting device and projector
US6846089B2 (en) 2003-05-16 2005-01-25 3M Innovative Properties Company Method for stacking surface structured optical films
US20040227994A1 (en) 2003-05-16 2004-11-18 Jiaying Ma Polarizing beam splitter and projection systems using the polarizing beam splitter
WO2004106982A2 (en) 2003-05-22 2004-12-09 Optical Research Associates Optical combiner designs and head mounted displays
US20040258355A1 (en) 2003-06-17 2004-12-23 Jian Wang Micro-structure induced birefringent waveguiding devices and methods of making same
DE10327963A1 (de) 2003-06-19 2005-01-05 Carl Zeiss Jena Gmbh Polarisationsstrahlteiler
US6769779B1 (en) 2003-07-22 2004-08-03 Eastman Kodak Company Housing for mounting modulation and polarization components in alignment with an optical path
US6821135B1 (en) 2003-08-06 2004-11-23 Tyco Electronics Corporation Alignment plate for aligning connector terminals
EP1660240A2 (en) 2003-08-19 2006-05-31 Nanoopto Corporation Sub-micron-scale patterning method and system
JP4386413B2 (ja) * 2003-08-25 2009-12-16 株式会社エンプラス ワイヤーグリッド偏光子の製造方法
JP4593894B2 (ja) 2003-09-01 2010-12-08 キヤノン株式会社 光学式エンコーダ
DE10341596B4 (de) * 2003-09-05 2009-01-29 Carl Zeiss Polarisationsstrahlteiler
JP4475501B2 (ja) 2003-10-09 2010-06-09 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション 分光素子、回折格子、複合回折格子、カラー表示装置、および分波器
JP2005121906A (ja) 2003-10-16 2005-05-12 Fuji Photo Film Co Ltd 反射型光変調アレイ素子及び露光装置
TWI223103B (en) 2003-10-23 2004-11-01 Ind Tech Res Inst Wire grid polarizer with double metal layers
JP2005172844A (ja) 2003-12-05 2005-06-30 Enplas Corp ワイヤグリッド偏光子
KR20050057767A (ko) 2003-12-11 2005-06-16 엘지전자 주식회사 해상도 향상 장치 및 방법 그리고 이를 이용한디스플레이장치
US7203001B2 (en) 2003-12-19 2007-04-10 Nanoopto Corporation Optical retarders and related devices and systems
TWI230834B (en) 2003-12-31 2005-04-11 Ind Tech Res Inst High-transmissivity polarizing module constituted with sub-wavelength structure
JP4527986B2 (ja) 2004-01-07 2010-08-18 旭化成イーマテリアルズ株式会社 ワイヤグリッド型偏光子
CN1910672A (zh) 2004-01-16 2007-02-07 皇家飞利浦电子股份有限公司 光学系统
US7234816B2 (en) 2004-02-03 2007-06-26 3M Innovative Properties Company Polarizing beam splitter assembly adhesive
US7142375B2 (en) 2004-02-12 2006-11-28 Nanoopto Corporation Films for optical use and methods of making such films
JP2005242080A (ja) 2004-02-27 2005-09-08 Victor Co Of Japan Ltd ワイヤグリッドポラライザ
CN100337143C (zh) 2004-03-03 2007-09-12 株式会社日立制作所 光学单元以及使用该光学单元的投影型图像显示装置
JP4451268B2 (ja) 2004-03-04 2010-04-14 株式会社リコー 光学素子及びその製造方法と、これを用いた光学製品、光ピックアップ及び光情報処理装置
US7256938B2 (en) 2004-03-17 2007-08-14 General Atomics Method for making large scale multilayer dielectric diffraction gratings on thick substrates using reactive ion etching
US7025464B2 (en) 2004-03-30 2006-04-11 Goldeneye, Inc. Projection display systems utilizing light emitting diodes and light recycling
US20050275944A1 (en) 2004-06-11 2005-12-15 Wang Jian J Optical films and methods of making the same
US7670758B2 (en) 2004-04-15 2010-03-02 Api Nanofabrication And Research Corporation Optical films and methods of making the same
US7155073B2 (en) 2004-05-07 2006-12-26 Canon Kabushiki Kaisha Polarization element and optical device using polarization element
US20060001969A1 (en) 2004-07-02 2006-01-05 Nanoopto Corporation Gratings, related optical devices and systems, and methods of making such gratings
JP4442760B2 (ja) 2004-08-06 2010-03-31 旭化成イーマテリアルズ株式会社 無機物の選択的パターン形成方法及びグリッド型偏光素子
DE102004041222A1 (de) 2004-08-26 2006-03-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Photonische Kristallstruktur
US7414784B2 (en) 2004-09-23 2008-08-19 Rohm And Haas Denmark Finance A/S Low fill factor wire grid polarizer and method of use
US7466484B2 (en) 2004-09-23 2008-12-16 Rohm And Haas Denmark Finance A/S Wire grid polarizers and optical elements containing them
KR100623026B1 (ko) 2004-10-06 2006-09-19 엘지전자 주식회사 선 격자 편광자 및 그 제조방법
JP2006126338A (ja) * 2004-10-27 2006-05-18 Nippon Sheet Glass Co Ltd 偏光子およびその製造方法
JP2006133403A (ja) 2004-11-04 2006-05-25 Canon Inc 偏光分離素子
JP2006133402A (ja) 2004-11-04 2006-05-25 Canon Inc 偏光分離素子及びそれを有する光学系
JP2008522226A (ja) 2004-11-30 2008-06-26 アグーラ テクノロジーズ インコーポレイテッド 大規模ワイヤ・グリッド偏光子の応用および作製技術
US7351346B2 (en) 2004-11-30 2008-04-01 Agoura Technologies, Inc. Non-photolithographic method for forming a wire grid polarizer for optical and infrared wavelengths
US7630133B2 (en) 2004-12-06 2009-12-08 Moxtek, Inc. Inorganic, dielectric, grid polarizer and non-zero order diffraction grating
US7800823B2 (en) 2004-12-06 2010-09-21 Moxtek, Inc. Polarization device to polarize and further control light
US7570424B2 (en) * 2004-12-06 2009-08-04 Moxtek, Inc. Multilayer wire-grid polarizer
US7619816B2 (en) 2004-12-15 2009-11-17 Api Nanofabrication And Research Corp. Structures for polarization and beam control
JP2006201540A (ja) 2005-01-21 2006-08-03 Asahi Kasei Corp ワイヤグリッド偏光板及びその製造方法
JP4652110B2 (ja) 2005-04-21 2011-03-16 株式会社日立製作所 投射型映像表示装置
US8237876B2 (en) 2005-05-25 2012-08-07 Kim Leong Tan Tilted C-plate retarder compensator and display systems incorporating the same
US20070022349A1 (en) 2005-07-07 2007-01-25 Agilent Technologies, Inc. Test apparatus with tester channel availability identification
JP4275692B2 (ja) 2005-10-17 2009-06-10 旭化成株式会社 ワイヤグリッド偏光板及びそれを用いた液晶表示装置
US20070183035A1 (en) 2005-10-31 2007-08-09 Koji Asakawa Short-wavelength polarizing elements and the manufacture and use thereof
US7475991B2 (en) 2005-12-22 2009-01-13 3M Innovative Properties Company Polarizing beamsplitter assembly
US20070217008A1 (en) 2006-03-17 2007-09-20 Wang Jian J Polarizer films and methods of making the same
JP2007257750A (ja) 2006-03-24 2007-10-04 Hitachi Media Electoronics Co Ltd 光ピックアップおよび光ディスク装置
JP3126910U (ja) 2006-04-04 2006-11-16 シンク精機株式会社 版面潰版装置
US20070242352A1 (en) 2006-04-13 2007-10-18 Macmaster Steven William Wire-grid polarizers, methods of fabrication thereof and their use in transmissive displays
US20070242228A1 (en) 2006-08-01 2007-10-18 Colorlink, Inc. Compensation schemes for LCoS projection systems using form birefringent polarization beam splitters
US20080316599A1 (en) 2007-06-22 2008-12-25 Bin Wang Reflection-Repressed Wire-Grid Polarizer
US7755718B2 (en) 2007-08-10 2010-07-13 Seiko Epson Corporation Optical element, liquid crystal device, and display
JP4412388B2 (ja) 2007-10-31 2010-02-10 セイコーエプソン株式会社 光学素子、液晶装置及び電子機器
CN101981479A (zh) 2008-04-03 2011-02-23 旭硝子株式会社 线栅型偏振器及其制造方法
KR20110031440A (ko) 2008-07-10 2011-03-28 아사히 가라스 가부시키가이샤 와이어 그리드형 편광자 및 그 제조 방법

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040070829A1 (en) * 2002-10-15 2004-04-15 Kurtz Andrew F. Wire grid polarizer
US20040174596A1 (en) * 2003-03-05 2004-09-09 Ricoh Optical Industries Co., Ltd. Polarization optical device and manufacturing method therefor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10088704B2 (en) 2016-03-18 2018-10-02 Samsung Display Co., Ltd. Display device including wire grid polarizer and manufacturing method thereof

Also Published As

Publication number Publication date
CN101073024A (zh) 2007-11-14
US7570424B2 (en) 2009-08-04
EP3570081A1 (en) 2019-11-20
US20060119937A1 (en) 2006-06-08
US20120008205A1 (en) 2012-01-12
US20090168171A1 (en) 2009-07-02
BRPI0518402A2 (pt) 2008-11-18
JP2008523422A (ja) 2008-07-03
US8027087B2 (en) 2011-09-27
US7813039B2 (en) 2010-10-12
KR20070092233A (ko) 2007-09-12
US20100328770A1 (en) 2010-12-30
EP1820051A4 (en) 2010-01-20
EP1820051A1 (en) 2007-08-22
EP1820051B1 (en) 2019-07-03
JP4843617B2 (ja) 2011-12-21
WO2006063049A1 (en) 2006-06-15
AU2005314134A1 (en) 2006-06-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101234986B1 (ko) 다중 막 와이어 그리드 편광 장치
US7961393B2 (en) Selectively absorptive wire-grid polarizer
JP4688394B2 (ja) 可視スペクトル用の埋込み型ワイヤ・グリッド偏光子
JP7187745B2 (ja) 両側において高い反射率を有するワイヤグリッド偏光子
JP2005172844A (ja) ワイヤグリッド偏光子
KR20170073598A (ko) 유전체 편광 빔 스플리터
JP3584257B2 (ja) 偏光ビームスプリッタ
EP0845111B1 (en) Thin film polarizing device
US8809890B2 (en) Reflective phase retarder and semiconductor light-emitting device including such reflecting phase retarder
JP2003066231A (ja) 偏光ビームスプリッタ

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160126

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180131

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190220

Year of fee payment: 7