JP2008523422A - 多層ワイヤグリッド偏光子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
光（１２）を偏光させるための多層ワイヤグリッド偏光子は、基板（１４）に亘って配置された薄膜層のスタック（１８）を備え、該薄膜層は、光の波長よりも長い長さと該光の波長の半分より短い周期とを有する細長い金属要素（２６）のワイヤグリッドアレイ（２２）を備える。これらの層の１つは、基板の屈折率よりも大きい屈折率を有する薄膜層（１８ａ〜１８ｃ）を備える。薄膜層の１つは、非金属要素の誘電アレイ（３８，４６）を備える。
【選択図】 図１
光（１２）を偏光させるための多層ワイヤグリッド偏光子は、基板（１４）に亘って配置された薄膜層のスタック（１８）を備え、該薄膜層は、光の波長よりも長い長さと該光の波長の半分より短い周期とを有する細長い金属要素（２６）のワイヤグリッドアレイ（２２）を備える。これらの層の１つは、基板の屈折率よりも大きい屈折率を有する薄膜層（１８ａ〜１８ｃ）を備える。薄膜層の１つは、非金属要素の誘電アレイ（３８，４６）を備える。
【選択図】 図１
Description
本発明は、概して、可視光スペクトル及び可視光近傍のスペクトルのためのワイヤグリッド偏光子に関する。
ワイヤグリッド偏光子（ＷＧＰ）は、例えばガラス等の基板の表面上に配置された平行なワイヤのアレイである。通常、ワイヤグリッド偏光子は、基板上の単一で周期的なワイヤアレイである。グリッドは、ワイヤの周期が光の波長の約半分よりも大きいとき、回折格子として作用する。グリッドは、ワイヤの周期が光の波長の約半分よりも小さいとき、偏光子として作用する。
ＷＧＰが一つの偏光状態の光の全てを透過し、他の偏光状態の全てを反射することが望ましいが、偏光子は完全ではない。実際のＷＧＰは、両方の偏光状態の光の一部を透過し、両方の偏光状態の光の一部を反射する。光が例えばガラスシート等の透明材料の表面上に入射するとき、少量の光が反射される。例えば、通常の入射では、入射光の約４％がガラスの各表面から反射される。
ＷＧＰの下方、又は、ワイヤと基板との間にフィルム膜を配置し、例えば、青色光等の可視スペクトルの一部において性能を改善するため、より短い波長に第１の回折次数を移動させることが提案された。米国特許番号６，１２２，１０３号を参照せよ。フィルム膜は、基板の屈折率よりも小さい屈折率を有する。ワイヤグリッドの下方の有効屈折率を更に減少させるため基板又は下層のいずれかにエッチングすることが提案された。米国特許番号６，１２２，１０３号を参照せよ。各ワイヤを、金属と誘電層とが交互に並んだ複合物として形成することが更に提案された。米国特許番号６，５３２，１１１号を参照せよ。
改善された性能を有するワイヤグリッド偏光子、即ち例えばｐ偏光などの所望の偏光状態の透過率を増大させ、例えばｓ偏光などの別の偏光状態の透過率を減少させたワイヤグリッド偏光子を開発することが有利であろうと認識された。更には、ワイヤグリッド偏光子は、一つの偏光状態の光を反射させるための金属として機能し、他の偏光状態の光に対して損失の多い誘電性を持つ薄膜として機能することができる。かくして、構造性複屈折及び有効屈折率をワイヤグリッド偏光子に対して適用することができることが認識された。更には、ワイヤグリッド偏光子を、薄膜層として取り扱うことができ、光学的スタックへと組み込むことができることが認識された。
一般的な用語で手短に説明すると、本発明は光を偏光させるための多層ワイヤグリッド偏光子に関する。本発明の一態様によれば、偏光子は、基板に配置され、基板の屈折率よりも大きい屈折率を有する少なくとも１つの薄膜層を備える。ワイヤグリッド層は、少なくとも１つの薄膜層に亘って配置されている。ワイヤグリッド層は、光の波長より長い長さと、光の波長の半分より短い周期とを有する細長い金属要素のアレイを備える。
本発明の別の態様によれば、偏光子は、基板に亘って配置されたワイヤグリッド層を備える。該ワイヤグリッド層は、光の波長より長い長さと、光の波長の半分より短い周期とを有する細長い金属要素のアレイを備える。誘電層がワイヤグリッド層に亘って配置されている。誘電層は光金属要素のアレイを備える。少なくとも１つの薄膜層がワイヤグリッド層と誘電層との間に配置されている。
本発明の別の態様によれば、偏光子は、基板に亘って配置され、該基板を連続的に横断して延在する薄膜層のスタックを備える。薄膜層の少なくとも１つは、構造及び材料が均一である。薄膜層の少なくとも１つは、光の波長よりも長い長さと該光の波長の半分より短い周期とを有する細長い金属要素のワイヤグリッドアレイを備える。薄膜層の少なくと
も１つは、非金属要素の誘電アレイを備える。
も１つは、非金属要素の誘電アレイを備える。
本発明の追加の特徴及び利点は、本発明の特徴を例を用いて示した添付図面を参照して、後述する詳細な説明から明らかとなろう。
以下、図示された一例としての実施例を参照する。特定の用語は該実施例を説明するため使用される。しかし、本発明の範囲がこれによっては制限されないことが理解されよう。
一つの偏光光に対して、ワイヤグリッド偏光子は、光（又はその一つの偏光状態の光）を反射する金属として実質的に機能し、その一方で、他の偏光光に対しては、ワイヤグリッド偏光子は、光（又は別の偏光状態の光）を透過する損失のある誘電体の薄膜として実質的に機能する。かくして、２つのコンセプト、即ち、構造性複屈折及び有効屈折率を、偏光子の性能を改善するために適用することができることが認識された。
ワイヤグリッド偏光子は、典型的には構造性複屈折の一例としてはみなされていない。一般に、複屈折は、材料が異なる偏光状態に対して異なる屈折率を有するということを意味している。複屈折は、例えば、石英等の結晶材料や伸張されたポリマーで非常に一般的である。構造性複屈折は、材料の形状により引き起こされた複屈折に言及している。
材料が、例えば密度等の材料特性でばらつきを有し、ばらつきのスケールが光の波長よりも小さいとき、当該屈折率は、均一なバルク材料の屈折率とは異なっている。均一な薄膜が光に対して同じ効果を引き起こしたであろう屈折率となる有効屈折率が存在している。この効果の理論的な取り扱いは、有効媒体理論と称されている。この現象は、無反射構造の反射防止膜等のようなものを作るための誘電材料で使用されている。
更には、ワイヤグリッド偏光子は、典型的には薄膜とはみなされない。光学的には、構造性複屈折及び有効屈折率の両方が、誘電材料に対してのみ考慮される。しかし、有効屈折率と等価な複屈折薄膜としてワイヤグリッド偏光子を取り扱うことは、それを薄膜スタックにおける要素としてみなすことを可能にし、薄膜設計技術を特定の性能目標で使用することを可能にするということが認識されてきた。
本発明は、偏光子の性能を改善するため金属ワイヤグリッド偏光子と組み合わせた薄膜を利用する。一般に、これは、ワイヤグリッドの下方及び頂部で膜を備えていてもよい。これらの膜のいずれも、均一な又は誘電性のグリッドであってもよい。ワイヤグリッドは、複合グリッド又は複合ワイヤのいずれであってもよい。ワイヤグリッドを多層の異なる材料、よって異なる屈折率の層と組み合わせることは、透過されることが望ましい偏光光の反射率を減少させることができる。例えば、ワイヤグリッドは、ｓ偏光光を反射し、ｐ偏光光を透過させるように構成することができる。上述されたように、ｐ偏光光の全てを透過し、ｓ偏光光の全てを反射することが望ましいが、典型的なワイヤグリッドは、両偏光光を部分的に透過し、両偏光光を部分的に反射させる。しかし、ワイヤグリッドを複屈折薄膜として取り扱い、ワイヤグリッドを多層の薄膜と結合させることは、ｐ偏光光の反射率を減少させる。
図１及び図２に示されるように、一般に１０ａ及び１０ｂで示された多層ワイヤグリッド偏光デバイスは、偏光光１２のための本発明に係る一例としての実施態様として、即ち望ましくない偏光光の反射及び／又は透過を少なくした改善態様で、一つの偏光状態を直交する偏光状態から実質的に分離するものとして示されている。そのようなデバイスは、可視光用途、或いは、約４００〜７００ｎｍ（ナノメートル）又は０．４〜０．７μｍ（マイクロメートル即ちミクロン）の範囲の可視光を使用する際に、での実質的な有用性を持っていると考えられている。そのような可視光用途は、例えばプロジェクター等の投影表示デバイスを備えることができる。本明細書に記載された多層ワイヤグリッド偏光子は、例えば、偏光子、ビームスプリッター、分析器等の様々に異なる容量で利用することができる。本明細書の装置は、例えば紫外線及び／又は赤外線用途等近可視光用途、即ち約２５０〜４００ｎｍ若しくは７００〜１０，０００ｎｍの範囲の光で使用する上で有用性を有すると考えられる。かくして、「光」という用語は、可視光、紫外光、赤外光、又は、２５０〜１０，０００ｎｍの範囲の電磁波を指すものとして、本明細書では幅広く使用
されている。
されている。
偏光子１０ａ及び１０ｂは、ワイヤグリッド又はワイヤグリッド層２２を備える複数の薄膜層１８又はそれらのスタックを載せるか又は支持する基板１４を備える。基板１４は、取り扱う光に対して透明であり得る。例えば、基板は、ガラス（Ｂｋ７）であってもよい。他の基板は、石英か又はプラスティックであってもよい。加えて、基板１４は、残りの薄膜層に関して実質的な厚さｔｓを有することができる。更には、基板は、屈折率（又は屈折の指数）ｎｓを有することができる。例えば、ガラス基板（Ｂｋ７）は、（５５０ｎｍで）１．５２の屈折率ｎｓを有する（屈折率は波長に関して僅かに変化することが認められよう）。
ワイヤグリッド又はワイヤグリッド層２２は、細長い金属要素２６のワイヤグリッドアレイを備えている。要素２６は、光の波長よりも長い波長を有し、光の波長の半分より小さい周期Ｐで略平行な配列で配置されている。かくして、可視光で使用するために、要素２６は、可視光の波長よりも大きい長さ、即ち７００ｎｍ（０．７μｍ）より大きい長さを有する。しかし、当該長さは、遙かに長くてもよい。要素２６は、可視光の波長の半分より短い、即ち２００ｎｍ（０．２μｍ）より小さい、中心間隔、ピッチ又は周期Ｐを有し得る。要素２６は、ピッチ又は周期の１０から９０％の範囲の幅を有していてもよい。要素２６は、可視光用途のため、光の波長よりも短い、即ち４００ｎｍ（０．４μｍ）より小さい厚さ即ち高さｔを持っていてもよい。一態様では、当該厚さは、可視光用途に対して、０．２μｍより小さくすることができる。
要素２６又はアレイは、一般に、（１）実質的に均一で一定の直線偏光状態（例えば、ｐ偏光）を有する透過ビーム３０を透過させるため、及び、（２）実質的に均一で一定の直線偏光状態（例えば、ｓ偏光）を有する反射ビーム３４を反射させるため可視光と相互作用する。要素は、要素に対して局所的に直交するか又は横断して方向付けられた、第１の偏光状態（ｐ偏光）の光を透過させ、要素に平行に方向付けられた、第２の偏光状態（ｓ偏光）の光を反射させる。ワイヤグリッド偏光子は、一定度合いの効率で光の偏光状態を分離するか、又は、両方の偏光状態の一部を透過及び／又は反射することができることが認められよう。要素の一部分は、異なる偏光状態の光を透過又は反射するように構成することができると認められよう。
要素２６又はアレイを、フォトリソグラフィーによって基板上に又は基板を覆って形成することができる。要素２６は、導電性とすることができ、アルミニウム、銀、金又は銅から形成することができる。
複数の薄膜１８は、ワイヤグリッド層２２の下方及び／又は該層を覆って、層を備えることができる。かくして、１つ以上の層１８ａ〜ｃを基板１４とワイヤグリッド層２２との間に配置することができる。加えて、１つ以上の層を、ワイヤグリッド層２２に亘って配置することができる。層１８を、様々に異なる材料から形成され、又は、基板１４とは異なる材料で且つ互いとも異なる材料からさえ形成することができる。かくして、層１８は、基板１４の屈折率ｎｓとは異なる屈折率ｎを持つことができる。更には、基板１４の屈折率ｎｓより大きい屈折率ｎ１〜ｎ３を有する層１８ａ〜ｃの少なくとも１つはｐ偏光光の反射率を減少させることが発見された。かくして、本発明の一態様によれば、偏光子１０ａ又は１０ｂは、基板１４とワイヤグリッド層２２との間に配置された少なくとも１つの薄膜層１８ａを有し、薄膜層１８ａは、基板１４の屈折率ｎｓより大きい屈折率ｎ１を有する。本発明の別の態様によれば、偏光子１０ａ又は１０ｂは、少なくとも２つの薄膜層１８ａ及びｂを持ち、或いは、少なくとも３つの薄膜層１８ａ〜ｃを持つことができる。
薄膜層１８ａ〜ｃは、基板１４に亘って連続的に延在することができ、１８ａ及び１８ｃによって示されるように、首尾一貫した層又は一定の層であってもよい。層１８ａ〜ｃは、誘電材料から形成することができる。例えば、層は、酸化アルミニウム、三酸化アンチモン、硫化アンチモン、酸化ベリリウム、酸化ビスマス、三フッ化ビスマス、硫化カドミウム、テルル化カドミウム、フッ化カルシウム、酸化セリウム、チオライト、氷晶石、ゲルマニウム、二酸化ハフニウム、フッ化ランタン、酸化ランタン、塩化鉛、フッ化鉛、
テルル化鉛、フッ化リチウム、フッ化マグネシウム、酸化マグネシウム、フッ化ネオジウム、酸化ネオジウム、酸化プラセオジム、酸化スカンジウム、シリコン、酸化シリコン、三酸化ディシリコン、二酸化シリコン、フッ化ナトリウム、五酸化タンタル、テルル、二酸化チタニウム、塩化タリウム、酸化イットリウム、セレン化亜鉛、硫化亜鉛、及び、二酸化ジルコニウムから形成することができる。膜層を基板上に堆積することができる。金属酸化物の場合には、それらを、酸化物蒸着材料（必要時には追加の酸素裏込め材料）から開始することによって堆積することができる。しかし、当該材料を、ベースとなる金属を蒸発させ、次に背景にＯ２が存在する状態で堆積材料を酸化させることによっても堆積することができる。
テルル化鉛、フッ化リチウム、フッ化マグネシウム、酸化マグネシウム、フッ化ネオジウム、酸化ネオジウム、酸化プラセオジム、酸化スカンジウム、シリコン、酸化シリコン、三酸化ディシリコン、二酸化シリコン、フッ化ナトリウム、五酸化タンタル、テルル、二酸化チタニウム、塩化タリウム、酸化イットリウム、セレン化亜鉛、硫化亜鉛、及び、二酸化ジルコニウムから形成することができる。膜層を基板上に堆積することができる。金属酸化物の場合には、それらを、酸化物蒸着材料（必要時には追加の酸素裏込め材料）から開始することによって堆積することができる。しかし、当該材料を、ベースとなる金属を蒸発させ、次に背景にＯ２が存在する状態で堆積材料を酸化させることによっても堆積することができる。
薄膜層１８ａ〜１８ｃの厚さｔ１〜ｔ３及び材料（又は屈折率ｎ１〜ｎ３）は、更に詳細に後述されるように、ｐ偏光光の反射率を減少させるように取り扱うことができる。
薄膜層１８ａ〜１８ｃのうち１つ以上は、非金属要素３８のアレイを有する誘電グリッドを備えることができる。当該アレイの非金属及び金属要素３８及び２６は、互いに実質的に平行に方向付けることができる。更には、アレイは、実質的に等しい周期及び／又は幅を有することができる。一態様では、誘電グリッドの非金属要素３８及び金属要素２６は、整列され、非金属要素３８は、図１に示されるように、ワイヤグリッド層の金属要素２６と整列されている。別の態様では、誘電グリッドの非金属要素３８及び金属要素２６は、図２に示されるように、ワイヤグリッド層の金属要素２６に関してオフセットされている。
薄膜層１８ａ〜１８ｃのうち１つ以上は、非金属要素３８のアレイを有する誘電グリッドを備えることができる。当該アレイの非金属及び金属要素３８及び２６は、互いに実質的に平行に方向付けることができる。更には、アレイは、実質的に等しい周期及び／又は幅を有することができる。一態様では、誘電グリッドの非金属要素３８及び金属要素２６は、整列され、非金属要素３８は、図１に示されるように、ワイヤグリッド層の金属要素２６と整列されている。別の態様では、誘電グリッドの非金属要素３８及び金属要素２６は、図２に示されるように、ワイヤグリッド層の金属要素２６に関してオフセットされている。
上述したように、複数の薄膜層１８は、ワイヤグリッド層２２に亘って配置された１つ以上の他の薄膜層を備えることができる。他の薄膜層は、誘電材料を含むことができ、連続又は一定となり得る。更には、他の薄膜層４２は、非金属要素４６のアレイを有する誘電グリッドを含むことができる。当該アレイの非金属要素４６及び金属要素２６は、互いに略平行に方向付けすることができ、略等しい周期を持つことができる。一態様では、図１に示されるように、非金属要素４６及び金属要素２６が整列され、誘電グリッドの非金属要素４６は、ワイヤグリッド層２２の金属要素２６の上方に又は該要素を覆って整列されている。別の態様では、非金属要素４６及び金属要素２６はオフセットされるか、又は、誘電グリッドの非金属要素４６がワイヤグリッド層２２の金属要素２６の上方にオフセットされている。
上記したように、薄膜層１８の数、厚さｔ及び材料（又は屈折率）は、ｐ偏光光の反射率を減少させ（ｐ偏光光の透過率を増加させ）、及び／又は、ｓ偏光光の透過率を減少させる（ｓ偏光光の反射率を増大させる）ため変えることができる。層１８ａ及びｃの幾つかは、構造及び材料において均一であってもよく、他の層は、ワイヤグリッド層２２の金属要素２６又は誘電グリッドの非金属要素３８及び４６等のグリッドを備えていてもよい。特定の構成例を以下で説明する。
図３を参照すると、多層ワイヤグリッド偏光子１０ｃの一例が示されている。偏光子は、ガラス（ＢＫ７）の基板１４上で、基板とワイヤグリッド又はワイヤグリッド層２２との間に３つの均一薄膜層５０ａ〜５０ｃを備えている。基板１４は、１．５２の屈折率ｎｓを有する。第１の薄膜層５０ａは、６５ｎｍの厚さｔ１を有する酸化マグネシウム（ＭｇＯ）の均一材料である。かくして、第１の層５０ａは、基板１４の屈折率ｎｓより大きい１．７４の屈折率ｎ１（５５０ｎｍの波長に対して）を有する。第２の薄膜層５０ｂは、１３０ｎｍの厚さｔ２と２．０の屈折率とを有するＺｒＯ２の均一材料である。かくして、第２の層５０ｂは、基板１４の屈折率ｎｓより大きい屈折率ｎ２を有する。第３の薄膜層５０ｃは、７０ｎｍの厚さｔ３を有するフッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）の均一材料である。かくして、第３の層５０ｃは、１．３８の屈折率ｎ３（５５０ｎｍの波長に対して）を有する。
ワイヤグリッド層２２又はワイヤグリッドは、第３の層５０ｃの頂部に配置されている。ワイヤグリッドは、アルミニウムから作られた要素を備える。要素は、１４４ｎｍの周期Ｐ、当該周期の３９．５％の幅ｗ、即ち５７ｎｍ、１５５ｎｍの厚さｔｗｇ即ち高さを有することができる。
図４ａから図４ｃを参照すると、図３の偏光子１０ｃの性能が、ワイヤグリッドと基板との間に薄膜層が存在しない類似した偏光子、及び、ワイヤグリッドと基板との間にフッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）の３０ｎｍの層を備えた（かくして、基板よりも低い屈折率の薄膜層を有する）類似した偏光子と、比較されている。光１２は、４５度の入射角度で偏光子１０ｃに入射する。この場合には、ｐ偏光光３０は、主要には透過され、ｓ偏光光は、主要には反射される。図４ａを参照すると、偏光子１０ｃを通したｐ偏光光の透過率は、５４の曲線により示されるように、他の２つの偏光子のものよりも大きい（即ち当該偏光子からのｐ偏光光の反射率がより小さい）。より低い屈折率の薄膜を有する偏光子が平面偏光子よりも良好に働くことを理解することができるが、三層薄膜５０ａ〜５０ｃを有する偏光子１０ｃは、更に良好に働く。図４ｂを参照すると、ｓ偏光光の透過率（漏れ）は、曲線５６により示されるように、偏光子１０ｃに関して他の偏光子のいずれの透過率よりも低い（即ち、当該偏光子を通したｓ偏光光の透過率が小さい）。図４ｃを参照すると、ｐ偏光光の反射率は、曲線５８により示されるように、偏光子１０ｃに関して他の偏光子よりも、一般により小さい（即ち、ｐ偏光光の透過率がより大きい）。正味の結果は、透過したｐ偏光光がより多く、透過率及び反射率の両方においてコントラストが改善されるということであり、このことは、透過偏光光及び反射偏光光の純度が、多層偏光子１０ｃに関して、より大きくなることを意味している。
図５を参照すると、多層ワイヤグリッド偏光子１０ｄの別の例が示されている。
偏光子１０ｄは、アルミニウムの要素を有するワイヤグリッド層２２又はワイヤグリッドの頂部に直接配置された２つの誘電層又は２つの誘電グリッド６０ａ及び６０ｂを備えている。ワイヤグリッド又はワイヤグリッド層２２は、ガラス（ＢＫ７）基板上に配置されている。ワイヤグリッドの要素２６の厚さ即ち高さｔｗｇは、１６０ｎｍである。第１の誘電グリッド６０ａは、ワイヤグリッド上に配置され、厚さｔ１は、１００ｎｍであり、１．４５の屈折率ｎ１を有する二酸化シリコン（ＳｉＯ２）から形成されている。第２の誘電グリッド６０ｂも、厚さｔ２が、１００ｎｍであり、２．５の屈折率ｎ２を有する材料から形成されている。グリッドの周期Ｐは１４４ｎｍである。要素の幅は、周期Ｐの４５％、即ち５７ｎｍである。光１２は４５度で入射する。
偏光子１０ｄは、アルミニウムの要素を有するワイヤグリッド層２２又はワイヤグリッドの頂部に直接配置された２つの誘電層又は２つの誘電グリッド６０ａ及び６０ｂを備えている。ワイヤグリッド又はワイヤグリッド層２２は、ガラス（ＢＫ７）基板上に配置されている。ワイヤグリッドの要素２６の厚さ即ち高さｔｗｇは、１６０ｎｍである。第１の誘電グリッド６０ａは、ワイヤグリッド上に配置され、厚さｔ１は、１００ｎｍであり、１．４５の屈折率ｎ１を有する二酸化シリコン（ＳｉＯ２）から形成されている。第２の誘電グリッド６０ｂも、厚さｔ２が、１００ｎｍであり、２．５の屈折率ｎ２を有する材料から形成されている。グリッドの周期Ｐは１４４ｎｍである。要素の幅は、周期Ｐの４５％、即ち５７ｎｍである。光１２は４５度で入射する。
図６ａ及び図６ｂを参照すると、図５の偏光子１０ｄの性能は、頂部上に誘電グリッドが存在しない類似の偏光子と比較されている。グリッドの周期Ｐは、可視光の波長よりも小さいので、それらは全て、事実上薄膜として振舞う。図６ａでは、６２で曲線により示されるように、反射したｓ偏光が偏光子１０ｄに関して実質的に大きいということが理解されよう。図６ｂでは、透過したｐ偏光光が、曲線６４により示されているように、偏光子１０ｄに関してより大きい。
図７を参照すると、多層ワイヤグリッド偏光子１０ｅの別の例が示されている。
偏光子１０ｅは、ワイヤグリッド即ちワイヤグリッド層２２と、ガラス（ＢＫ７）基板１４との間に３つの均一薄膜層７０ａ〜７０ｃを備えている。第１の層７０ａは、基板上１４に配置され、３３ｎｍの厚さｔ１を持ち、１．８の屈折率ｎ１を有する。第２の層７０ｂは、１．３８の屈折率ｎ２及び３０ｎｍの厚さｔ２を有するフッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）の材料である。第３の層７０ｃは、２０ｎｍの厚さｔ３を持ち、１．８の屈折率ｎ３を有する。かくして、第１の層７０ａ及び第３の層７０ｃは、基板１４の屈折率ｎｓよりも大きい屈折率ｎ１及びｎ３を有する。ワイヤグリッド又はワイヤグリッド層２２は、１４４ｎｍの周期Ｐを有するアルミニウムの要素を備えている。要素の高さｔｗｇは１６０ｎｍであり、要素の幅ｗは周期の４５％即ち５７ｎｍである。光１２は、直角に入射する（０度）。
偏光子１０ｅは、ワイヤグリッド即ちワイヤグリッド層２２と、ガラス（ＢＫ７）基板１４との間に３つの均一薄膜層７０ａ〜７０ｃを備えている。第１の層７０ａは、基板上１４に配置され、３３ｎｍの厚さｔ１を持ち、１．８の屈折率ｎ１を有する。第２の層７０ｂは、１．３８の屈折率ｎ２及び３０ｎｍの厚さｔ２を有するフッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）の材料である。第３の層７０ｃは、２０ｎｍの厚さｔ３を持ち、１．８の屈折率ｎ３を有する。かくして、第１の層７０ａ及び第３の層７０ｃは、基板１４の屈折率ｎｓよりも大きい屈折率ｎ１及びｎ３を有する。ワイヤグリッド又はワイヤグリッド層２２は、１４４ｎｍの周期Ｐを有するアルミニウムの要素を備えている。要素の高さｔｗｇは１６０ｎｍであり、要素の幅ｗは周期の４５％即ち５７ｎｍである。光１２は、直角に入射する（０度）。
図８を参照すると、多層ワイヤグリッド偏光子１０ｆの別の例が示されている。偏光子１０ｅは、第１の層８０ａが２８ｎｍの厚さｔ１を有し、第２の層８０ｂが２５ｎｍの厚さｔ２を有し、第３の層８０ｃが１７ｎｍの厚さｔ３を有するということを除いて、図７に関して上述されたものと類似した三層薄膜８０ａ〜８０ｃを備えている。更には、偏光子１０ｆは、ワイヤグリッド層２２の上方に薄膜層８４を備える。薄膜層８４は、ワイヤグリッドの金属要素上に配置された非金属要素を有する誘電グリッドを備える。ワイヤグ
リッド又はワイヤグリッド層２２は、図７に関して上述されたワイヤグリッドと類似している。誘電層８４の要素は、１００ｎｍの厚さｔ４を有する。誘電層８４の要素は、二酸化シリコン（ＳｉＯ２）から形成されている。
リッド又はワイヤグリッド層２２は、図７に関して上述されたワイヤグリッドと類似している。誘電層８４の要素は、１００ｎｍの厚さｔ４を有する。誘電層８４の要素は、二酸化シリコン（ＳｉＯ２）から形成されている。
図９を参照すると、偏光子１０ｅ及び１０ｆの性能が、薄膜層無しの類似したワイヤグリッド偏光子と比較されている。偏光子１０ｅ及び１０ｆの両方は、曲線８６及び８８により示されるように、ｐ偏光光をより少なく反射する（より多くのｐ偏光光を通過させる）。ワイヤグリッド層の下方に薄膜層を備え、ワイヤグリッドの上方に誘電グリッドを備える偏光子１０ｆは、曲線８８により示されるように、有意な改善を示す。
図１０ａ及び図１０ｂを参照すると、多層ワイヤグリッド偏光子１０ｇ及び１０ｈの例が示されている。偏光子１０ｇ及び１０ｈの両方が、基板１４上に配置されたワイヤグリッド又はワイヤグリッド層２２を備えている。ワイヤグリッドは、アルミニウムの要素を備えていてもよく、基板はガラス（ＢＫ７）であってもよい。ワイヤグリッドの周期Ｐは、１４４ｎｍであり、要素は、１５０ｎｍの厚さｔｗｇを有する。要素の幅ｗは周期の４５％即ち６５ｎｍである。更には、要素２６は、それらの間に空間９２を画定し、該空間は１．１７の屈折率ｎ１を有する材料を含んでいる。第２の均一層９６は、要素２６の頂部上及び空間９２、即ちワイヤグリッド層２２上に、１００ｎｍの厚さｔ２で１．１７の屈折率ｎ２を有して配置されている。第３の層１００は、二酸化シリコン（ＳｉＯ２）の均一層で６０ｎｍの厚さｔ３を有している。かくして、第３の層１００は、１．４５の屈折率ｎ３を有している。第４の層１０４は、第３の層１００上に配置され、非金属要素を有する誘電グリッドを備えている。誘電グリッドの要素は、５０ｎｍの厚さｔ４を有する。誘電グリッドの要素は、二酸化シリコン（ＳｉＯ２）から形成され、２．０の屈折率ｎ４を有する。誘電層の要素の幅ｗは、周期の５０％である。誘電層の要素は、図１０ａに示されるように、ワイヤグリッドの要素の実質的に直接上方に配置されている。代替例として、誘電層の要素は、ワイヤグリッドの要素に対してオフセットすることができ、又は、誘電層の要素は、図１０ｂに示されるように、ワイヤグリッドの要素の間の空間の実質的に上方にあるように半周期だけシフトされてもよい。光１２は、４５度で入射する。
図１１を参照すると、偏光子１０ｇ及び１０ｈの性能は、ガラス基板上にワイヤグリッドのみを有する類似の偏光子と比較されている。偏光子１０ｇ及び１０ｈは、曲線１０４により示されるように（互いに重なり合っている）、ｓ偏光光の反射率を改善する。更には、誘電グリッドのワイヤグリッドに対する整列は、有効媒体理論の条件が当てはまるとき、関連していないように見える。これらの例は、均一層及びワイヤグリッドを組み合わせることができ、利点を奏することができるように使用される。加えて、これらの例は、有効媒体理論の原理を実証している。
図１２を参照すると、多層ワイヤグリッド偏光子１０ｉの別の例が示されている。偏光子１０ｉは、図３の偏光子１０ｃに類似しているが、複合要素を有するワイヤグリッド又はワイヤグリッド層１１２を備えている。複合要素は、交互に配置された金属層及び非金属層を備えている。そのような複合要素の例は、米国特許番号６，５３２，１１１号に見出されており、参照により本願に組み込まれる。例えば、各要素は、アルミニウム及びフッ化マグネシウムの交互に配置された層を備えることができる。
図１３を参照すると、偏光子１０ｉの性能は、複合要素を有するが、基板とワイヤグリッド層との間に薄膜層が存在しない類似の偏光子と比較されている。偏光子１０ｉは、１１６の曲線により示されるように、ｓ偏光光の漏れ即ち透過率をより少なくさせている。
図１４を参照すると、ワイヤグリッド２２は、上述されたものに類似しているが該ワイヤグリッドの金属要素間の空間内に誘電材料１２０を備えている。そのようなワイヤグリッド又はワイヤグリッド層は、上述した任意のものと置き換えることができる。
図１５を参照すると、誘電グリッド層が、２つの異なる屈折率ｎ１及びｎ２を各々有する２つの材料の要素を備えた２つの誘電グリッド１２４及び１２８を備えている。かくして、誘電層又はグリッドは、異なる材料の交互に配置した要素を持ち、又は、一方のグリッドの要素が別のグリッドの空間内に配置されている要素を持っている。そのような誘電グリッド又は層は、上述した任意のものと置き換えることができる。
本明細書で与えられた例は、本発明から実現することができる多くの可能な態様のうちの数例にしか過ぎない。一般に、均一層及び誘電グリッドの組み合わせは、与えられた帯域の光の入射角度の与えられた範囲に亘って、例えば最適透過率又は反射率等の特定の用途のために組み合わせることができる。最適化は、透過率若しくは反射率、又は、それらの両方共に対してなすことができる。最適化は、偏光子の空気側若しくは基板側から、又は、それらの両方側からの入射に対してなすことができる。
ワイヤグリッド偏光子、最適なトレイン、及び／又は、投影／ディスプレイシステムの様々な態様は、米国特許番号５，９８６，７３０号、６，０８１，３７６号、６，１２２，１０３号、６，２０８，４６３号、６，２４３，１９９号、６，２８８，８４０号、６，３４８，９９５号、６，１０８，１３１号、６，４５２，７２４号、６，７１０，９２１号、６，２３４，６３４号、６，４４７，１２０号、及び、６，６６６，５５６号に示されている。これらの内容は参照により本願に組み込まれる。
ワイヤグリッド偏光子は、光源に面するものとして示され、或いは、光源に対面する細長い要素を備えたものとして示されたが、これは、例示の目的のためにしか過ぎないことが理解されよう。ワイヤグリッド偏光子が、画像を載せたビームが基板を通過することを回避し、かくして例えば基板等の媒体を通過する光と連係するゴースト画像又は多重反射を回避する、という単純な目的のため、例えば、液晶アレイから、ワイヤグリッド偏光子を画像を載せたビームに対面するようにワイヤグリッド偏光子を方向付けることができることを当業者は認めるであろう。そのような構成は、光源から離れて面するワイヤグリッド偏光子をもたらすことができる。
前述した例は、１つ以上の特定の用途において本発明の原理を示すものであるが、実施の態様、使用法及び詳細における多数の変更を、進歩的な技能を実行すること無しに、本発明の原理及びコンセプトから逸脱すること無く、なすことができることは当業者には明らかであろう。従って、添付された請求の範囲によるものを除いて、本発明は制限されない。
Claims (15)
- 光を偏光させるためのワイヤグリッド偏光子デバイスであって、
（ａ）基板と、
（ｂ）前記基板に配置された少なくとも２つの薄膜層であって、該薄膜層は互いに異なる屈折率を有する、前記少なくとも２つの薄膜層と、
（ｃ） 前記２つの薄膜層のうち少なくとも１つの屈折率は前記基板の屈折率よりも大きいものであり、
（ｄ） 前記少なくとも２つの薄膜層に亘って配置されたワイヤグリッド層であって、該ワイヤグリッド層は光の波長よりも長い長さと該光の波長の半分より短い周期とを有する細長い金属要素のアレイを備える、前記ワイヤグリッド層と、
を備える、ワイヤグリッド偏光子デバイス。 - 前記薄膜層の一つは、非金属要素のアレイを有する誘電グリッドを備え、前記アレイの非金属要素及び金属要素は、互いに略平行に方向付けられ、前記アレイは実質的に等しい周期を有する、請求項１に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
- 前記ワイヤグリッド層に亘って配置された少なくとも１つの薄膜層を更に備え、少なくとも１つの他の薄膜層は非金属要素のアレイを有する誘電グリッドを備え、前記アレイの非金属要素及び金属要素は、互いに略平行に方向付けられ、前記アレイは実質的に等しい周期を有する、請求項１に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
- 光を偏光させるためのワイヤグリッド偏光子デバイスであって、
（ａ）所定の屈折率を有する基板と、
（ｂ）前記基板に配置された少なくとも１つの薄膜層であって、該薄膜層は前記基板の屈折率よりも大きい屈折率を有する、前記少なくとも１つの薄膜層と、
（ｃ） 前記少なくとも１つの薄膜層に亘って配置されたワイヤグリッド層であって、該ワイヤグリッド層は光の波長よりも長い長さと該光の波長の半分より短い周期とを有する細長い金属要素のアレイを備える、前記ワイヤグリッド層と、
を備える、ワイヤグリッド偏光子デバイス。 - 前記少なくとも１つの薄膜層は、非金属要素のアレイを有する誘電グリッドを備え、前記アレイの非金属要素及び金属要素は、互いに略平行に方向付けられ、前記アレイは実質的に等しい周期を有する、請求項４に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
- 前記ワイヤグリッド層に亘って配置された少なくとも１つの他の薄膜層を更に備え、該少なくとも１つの他の薄膜層は非金属要素のアレイを有する誘電グリッドを備え、前記アレイの非金属要素及び金属要素は、互いに略平行に方向付けられ、前記アレイは実質的に等しい周期を有する、請求項４に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
- 光を偏光させるためのワイヤグリッド偏光子デバイスであって、
（ａ）基板と、
（ｂ） 前記基板に亘って配置されたワイヤグリッド層であって、該ワイヤグリッド層は光の波長よりも長い長さと該光の波長の半分より短い周期とを有する細長い金属要素のアレイを備える、前記ワイヤグリッド層と、
（ｃ） 前記ワイヤグリッド層に亘って配置された誘電層であって、該誘電層は非金属要素のアレイを備える、前記誘電層と、
（ｄ） 前記ワイヤグリッド層と前記誘電層との間に配置された少なくとも１つの薄膜層と、
を備える、ワイヤグリッド偏光子デバイス。 - 前記基板と前記ワイヤグリッド層との間に配置された少なくとも１つの薄膜層を更に備え、前記少なくとも１つの薄膜層は、互いに異なる屈折率を有する複数の薄膜層を備える、請求項７に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
- 前記基板と、該基板の屈折率よりも大きい屈折率を有する前記ワイヤグリッド層と、の間に配置された少なくとも１つの薄膜層を更に備える、請求項７に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
- 前記基板と、非金属要素のアレイを有する前記ワイヤグリッド層との間に誘電グリッドを更に備え、前記アレイの非金属要素及び金属要素は、互いに略平行に方向付けられ、前記アレイは実質的に等しい周期を有する、請求項７に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
- 光を偏光させるためのワイヤグリッド偏光子デバイスであって、
（ａ）基板と、
（ｂ）前記基板に亘って配置され、該基板を連続的に横断して延在する薄膜層のスタックと、
（ｃ）構造及び材料が均一である、前記薄膜層の少なくとも１つと、
（ｄ）光の波長よりも長い長さと該光の波長の半分より短い周期とを有する細長い金属要素のワイヤグリッドアレイを備える、前記薄膜層の少なくとも１つと、
（ｅ）非金属要素の誘電アレイを備える、前記薄膜層の少なくとも１つと、
を備える、ワイヤグリッド偏光子デバイス。 - 前記アレイの非金属要素及び金属要素は、互いに略平行に方向付けられ、前記アレイは実質的に等しい周期を有する、請求項１１に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
- 前記基板と前記ワイヤグリッド層との間に配置された少なくとも１つの薄膜層を更に備え、前記少なくとも１つの薄膜層は、互いに異なる屈折率を有する複数の薄膜層を備える、請求項１１に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
- 前記基板と前記ワイヤグリッド層との間に配置された少なくとも１つの薄膜層は、該基板の屈折率よりも大きい屈折率を有する、請求項１１に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
- 前記アレイの非金属要素及び金属要素は、互いに略平行に方向付けられ、前記アレイは実質的に等しい周期を有する、請求項１１に記載のワイヤグリッド偏光子デバイス。
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Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006330178A (ja) * | 2005-05-24 | 2006-12-07 | Sony Corp | 光学装置及び光学装置の製造方法 |
| JP2008046637A (ja) * | 2006-08-10 | 2008-02-28 | Samsung Sdi Co Ltd | 偏光子及びそれを備える平板表示装置 |
| JP2010186164A (ja) * | 2009-01-13 | 2010-08-26 | Canon Inc | 光学素子 |
| JP2010530994A (ja) * | 2007-06-22 | 2010-09-16 | モックステック・インコーポレーテッド | 選択吸収性ワイヤーグリッド偏光素子 |
| JP2012203329A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Canon Inc | 偏光分離素子および画像投射装置 |
| JP2013117727A (ja) * | 2006-08-15 | 2013-06-13 | Polarization Solutions Llc | Ｕｖ露光システム |
| WO2019009151A1 (ja) * | 2017-07-03 | 2019-01-10 | Ｓｃｉｖａｘ株式会社 | 光学部材およびこれを用いた光学系装置 |
| JP2019505081A (ja) * | 2016-06-01 | 2019-02-21 | 武漢華星光電技術有限公司 | バックライトモジュール |
| JP2019523895A (ja) * | 2016-05-06 | 2019-08-29 | マジック リープ， インコーポレイテッドＭａｇｉｃ Ｌｅａｐ，Ｉｎｃ． | 光を再指向させるための非対称格子を有するメタ表面および製造方法 |
| JP2019536073A (ja) * | 2016-11-22 | 2019-12-12 | モックステック・インコーポレーテッド | ワイヤグリッド偏光子ヒートシンク |
| JP2019536080A (ja) * | 2016-11-22 | 2019-12-12 | モックステック・インコーポレーテッド | 両側において高い反射率を有するワイヤグリッド偏光子 |
| US10877363B2 (en) | 2018-12-18 | 2020-12-29 | Seiko Epson Corporation | Display device and reflective polarizing element |
| JP2021517980A (ja) * | 2018-04-12 | 2021-07-29 | モックステック・インコーポレーテッド | 偏光子ナノインプリントリソグラフィ |
| JP2022510085A (ja) * | 2018-10-03 | 2022-01-26 | モックステック・インコーポレーテッド | 耐久性のある高性能ワイヤグリッド偏光子 |
| US11243338B2 (en) | 2017-01-27 | 2022-02-08 | Magic Leap, Inc. | Diffraction gratings formed by metasurfaces having differently oriented nanobeams |
| US11681153B2 (en) | 2017-01-27 | 2023-06-20 | Magic Leap, Inc. | Antireflection coatings for metasurfaces |
| US11789198B2 (en) | 2015-11-06 | 2023-10-17 | Magic Leap, Inc. | Metasurfaces for redirecting light and methods for fabricating |
Families Citing this family (96)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4363029B2 (ja) * | 2002-11-06 | 2009-11-11 | ソニー株式会社 | 分割波長板フィルターの製造方法 |
| US7294851B2 (en) * | 2004-11-03 | 2007-11-13 | Infineon Technologies Ag | Dense seed layer and method of formation |
| US7570424B2 (en) | 2004-12-06 | 2009-08-04 | Moxtek, Inc. | Multilayer wire-grid polarizer |
| US7800823B2 (en) | 2004-12-06 | 2010-09-21 | Moxtek, Inc. | Polarization device to polarize and further control light |
| US20080055719A1 (en) * | 2006-08-31 | 2008-03-06 | Perkins Raymond T | Inorganic, Dielectric Grid Polarizer |
| JP2006163291A (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-22 | Canon Inc | 光学素子及びその製造方法 |
| US20090316381A1 (en) * | 2004-12-21 | 2009-12-24 | Koninklijke Philips Electronics, N.V. | Light source |
| US7582857B2 (en) * | 2006-04-18 | 2009-09-01 | The Trustees Of The University Of Pennsylvania | Sensor and polarimetric filters for real-time extraction of polarimetric information at the focal plane |
| JP4762804B2 (ja) * | 2006-06-28 | 2011-08-31 | チェイル インダストリーズ インコーポレイテッド | 偏光分離素子およびその製造方法 |
| US8755113B2 (en) | 2006-08-31 | 2014-06-17 | Moxtek, Inc. | Durable, inorganic, absorptive, ultra-violet, grid polarizer |
| JP4778873B2 (ja) * | 2006-10-20 | 2011-09-21 | 株式会社 日立ディスプレイズ | 液晶表示装置 |
| KR101294004B1 (ko) * | 2006-11-02 | 2013-08-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | 편광판, 이를 갖는 표시패널 및 표시장치 |
| JP4488033B2 (ja) | 2007-02-06 | 2010-06-23 | ソニー株式会社 | 偏光素子及び液晶プロジェクター |
| US7789515B2 (en) | 2007-05-17 | 2010-09-07 | Moxtek, Inc. | Projection device with a folded optical path and wire-grid polarizer |
| JP5010527B2 (ja) * | 2007-06-04 | 2012-08-29 | 住友化学株式会社 | 導光板ユニット、面光源装置及び液晶表示装置 |
| JP2009031392A (ja) * | 2007-07-25 | 2009-02-12 | Seiko Epson Corp | ワイヤーグリッド型偏光素子、その製造方法、液晶装置および投射型表示装置 |
| JP4412372B2 (ja) * | 2007-09-12 | 2010-02-10 | セイコーエプソン株式会社 | 偏光素子の製造方法 |
| JP4412388B2 (ja) * | 2007-10-31 | 2010-02-10 | セイコーエプソン株式会社 | 光学素子、液晶装置及び電子機器 |
| JP4979549B2 (ja) * | 2007-11-20 | 2012-07-18 | キヤノン株式会社 | 偏光分離素子及びそれを有する光学機器 |
| CN101981478B (zh) * | 2008-04-08 | 2012-11-07 | 旭硝子株式会社 | 线栅型偏振器的制造方法 |
| EP2299299A4 (en) * | 2008-07-10 | 2013-05-29 | Asahi Glass Co Ltd | WIRE GRID TYPE POLARIZER, AND METHOD FOR MANUFACTURING THE POLARIZER |
| JP2010169722A (ja) * | 2009-01-20 | 2010-08-05 | Seiko Epson Corp | 光学素子の製造方法及び光学素子 |
| JP2010204626A (ja) * | 2009-02-05 | 2010-09-16 | Asahi Glass Co Ltd | ワイヤグリッド型偏光子およびその製造方法 |
| KR101610376B1 (ko) * | 2009-04-10 | 2016-04-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 와이어 그리드 편광자, 이를 포함하는 액정 표시 장치 및 와이어 그리드 편광자의 제조 방법 |
| CN101943843B (zh) * | 2009-05-22 | 2012-03-07 | 上海丽恒光微电子科技有限公司 | 集成微型显示投影及成像系统 |
| US8248696B2 (en) | 2009-06-25 | 2012-08-21 | Moxtek, Inc. | Nano fractal diffuser |
| US8411146B2 (en) * | 2009-09-04 | 2013-04-02 | Lockheed Martin Corporation | Single camera color and infrared polarimetric imaging |
| WO2011122555A1 (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | 日本電気株式会社 | 光学素子、光源装置、および投射型表示装置 |
| US8913321B2 (en) | 2010-09-21 | 2014-12-16 | Moxtek, Inc. | Fine pitch grid polarizer |
| US8611007B2 (en) | 2010-09-21 | 2013-12-17 | Moxtek, Inc. | Fine pitch wire grid polarizer |
| KR20120032776A (ko) * | 2010-09-29 | 2012-04-06 | 엘지이노텍 주식회사 | 와이어 그리드 편광자 및 이를 포함하는 백라이트유닛 |
| JP5760388B2 (ja) | 2010-11-01 | 2015-08-12 | セイコーエプソン株式会社 | 偏光素子とその製造方法、プロジェクター、液晶装置、電子機器 |
| US10520655B2 (en) | 2010-12-10 | 2019-12-31 | 3M Innovative Properties Company | Glare reducing glazing articles |
| US20150077851A1 (en) | 2010-12-30 | 2015-03-19 | Moxtek, Inc. | Multi-layer absorptive wire grid polarizer |
| JP5682312B2 (ja) * | 2011-01-05 | 2015-03-11 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置の製造方法 |
| JP2012181420A (ja) * | 2011-03-02 | 2012-09-20 | Sony Chemical & Information Device Corp | 偏光素子 |
| US8552439B2 (en) * | 2011-04-07 | 2013-10-08 | Himax Display, Inc. | Light-emitting diode package |
| JP2012238632A (ja) * | 2011-05-10 | 2012-12-06 | Sony Corp | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、及び、電子機器 |
| US8913320B2 (en) | 2011-05-17 | 2014-12-16 | Moxtek, Inc. | Wire grid polarizer with bordered sections |
| US8873144B2 (en) | 2011-05-17 | 2014-10-28 | Moxtek, Inc. | Wire grid polarizer with multiple functionality sections |
| JP5177266B2 (ja) * | 2011-08-26 | 2013-04-03 | ウシオ電機株式会社 | 偏光素子ユニットおよびこの偏光素子ユニットを用いた光照射装置並びに偏光素子ユニットの透過率設定方法 |
| CN102323677B (zh) * | 2011-09-29 | 2013-06-19 | 上海丽恒光微电子科技有限公司 | 偏振分光器件及其形成方法 |
| TWI472813B (zh) * | 2012-02-17 | 2015-02-11 | Nat Univ Tsing Hua | 反射式偏光片 |
| JP5938241B2 (ja) * | 2012-03-15 | 2016-06-22 | 日立マクセル株式会社 | 光学素子およびその製造方法 |
| US8922890B2 (en) | 2012-03-21 | 2014-12-30 | Moxtek, Inc. | Polarizer edge rib modification |
| KR101979233B1 (ko) * | 2012-07-27 | 2019-05-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | 와이어 그리드 편광 구조물, 와이어 그리드 편광 구조물의 제조 방법 및 와이어 그리드 편광 구조물을 포함하는 유기 발광 표시 장치 |
| JP5972100B2 (ja) * | 2012-08-13 | 2016-08-17 | キヤノン株式会社 | 反射型回折素子 |
| KR102038693B1 (ko) * | 2013-04-15 | 2019-10-31 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 |
| KR20140137734A (ko) | 2013-05-23 | 2014-12-03 | 삼성디스플레이 주식회사 | 반사형 편광판 제조방법 및 인셀 반사형 편광판 제조방법 |
| KR102069179B1 (ko) * | 2013-06-26 | 2020-02-12 | 삼성디스플레이 주식회사 | 편광 소자, 이를 포함하는 표시 패널 및 이의 제조 방법 |
| US9348076B2 (en) | 2013-10-24 | 2016-05-24 | Moxtek, Inc. | Polarizer with variable inter-wire distance |
| JP5983596B2 (ja) | 2013-12-26 | 2016-08-31 | ウシオ電機株式会社 | 紫外線偏光光照射方法及び光配向層付き基板の製造方法 |
| US9726897B2 (en) | 2014-05-28 | 2017-08-08 | Motex, Inc. | Cube polarizer with minimal optical path length difference |
| US10268046B2 (en) * | 2014-05-28 | 2019-04-23 | Moxtek, Inc. | Cube polarizer |
| IL232866B (en) | 2014-05-29 | 2020-08-31 | Elta Systems Ltd | Polarization rotator |
| US9632224B2 (en) | 2014-06-25 | 2017-04-25 | Moxtek, Inc. | Broadband, selectively-absorptive wire grid polarizer |
| US9684203B2 (en) | 2014-06-25 | 2017-06-20 | Moxtek, Inc. | Wire grid polarizer with dual absorptive regions |
| CA2953541C (en) * | 2014-07-11 | 2023-01-31 | Sony Corporation | Information processing device, information processing method, and program |
| KR102215134B1 (ko) | 2014-07-28 | 2021-02-15 | 삼성디스플레이 주식회사 | 편광자 및 이를 포함하는 표시 패널 |
| KR20160031612A (ko) * | 2014-09-12 | 2016-03-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 와이어 그리드 편광자, 이를 포함하는 표시 장치 및 이의 제조방법 |
| US10088616B2 (en) | 2014-09-19 | 2018-10-02 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Panel with reduced glare |
| EP3023820B1 (en) * | 2014-11-18 | 2023-12-27 | Samsung Display Co., Ltd. | Wire grid polarizing plate, display device including the same, and method of fabricating said display device |
| KR102332948B1 (ko) | 2015-01-13 | 2021-12-01 | 삼성디스플레이 주식회사 | 편광 소자 및 이를 포함하는 표시장치 |
| WO2016114847A1 (en) * | 2015-01-16 | 2016-07-21 | Moxtek, Inc. | Broadband, selectively-absorptive wire grid polarizer |
| US10234613B2 (en) | 2015-02-06 | 2019-03-19 | Moxtek, Inc. | High contrast inverse polarizer |
| US10534120B2 (en) | 2015-04-03 | 2020-01-14 | Moxtek, Inc. | Wire grid polarizer with protected wires |
| CN104865629B (zh) * | 2015-06-05 | 2017-09-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种反射型偏光片及液晶显示装置 |
| CN105118400B (zh) * | 2015-09-29 | 2018-09-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种透明显示装置 |
| US10175401B2 (en) | 2015-11-12 | 2019-01-08 | Moxtek, Inc. | Dual-purpose, absorptive, reflective wire grid polarizer |
| CN105487160B (zh) * | 2016-01-15 | 2018-12-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 金属线栅偏振器及其制作方法、显示装置 |
| KR102567008B1 (ko) | 2016-03-18 | 2023-08-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 금속선 편광자를 포함하는 표시 장치 및 그 제조 방법 |
| US10330946B1 (en) | 2016-05-04 | 2019-06-25 | Moxtek, Inc. | Symmetric cube polarizing beam splitter |
| US10444410B2 (en) | 2016-08-16 | 2019-10-15 | Moxtek, Inc. | Overcoat wire grid polarizer having conformal coat layer with oxidation barrier and moisture barrier |
| US10408983B2 (en) | 2016-08-16 | 2019-09-10 | Moxtek, Inc. | Durable, high performance wire grid polarizer having permeable junction between top protection layer |
| US10571614B2 (en) | 2016-08-16 | 2020-02-25 | Moxek, Inc. | Wire grid polarizer heat sink having specified reflective layer, absorptive layer, and heat-dissipation layer |
| KR102602238B1 (ko) | 2016-08-29 | 2023-11-15 | 삼성디스플레이 주식회사 | 편광 소자, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 표시 장치 |
| US10069211B2 (en) * | 2016-09-16 | 2018-09-04 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Broadband circularly polarized patch antenna and method |
| US10838220B2 (en) | 2017-04-14 | 2020-11-17 | Moxtek, Inc. | Miniature, durable polarization devices |
| WO2018229600A1 (en) * | 2017-06-13 | 2018-12-20 | 3M Innovative Properties Company | Light control films |
| US10353239B2 (en) | 2017-07-07 | 2019-07-16 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Method of manufacturing nanowire grid polarizer |
| CN107167863B (zh) * | 2017-07-07 | 2019-09-10 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 纳米线栅偏光片的制作方法 |
| JP6401837B1 (ja) * | 2017-08-10 | 2018-10-10 | デクセリアルズ株式会社 | 偏光板及び光学機器 |
| US10690828B2 (en) * | 2017-08-30 | 2020-06-23 | Moxtek, Inc. | Adhesive-free polarizer |
| US10649121B2 (en) * | 2017-10-05 | 2020-05-12 | Moxtek, Inc. | Low Ts wire grid polarizer |
| CN107783220A (zh) * | 2017-11-28 | 2018-03-09 | 浙江科技学院 | 多层金属线栅结构薄膜宽带太赫兹偏振器及其制造方法 |
| KR102559836B1 (ko) * | 2018-01-31 | 2023-07-27 | 삼성디스플레이 주식회사 | 편광자, 상기 편광자를 포함한 광학 장치, 상기 편광자를 포함한 디스플레이 장치 및 상기 편광자의 제조 방법 |
| US10852464B2 (en) | 2018-03-01 | 2020-12-01 | Moxtek, Inc. | High-contrast polarizer |
| US20200124779A1 (en) * | 2018-10-22 | 2020-04-23 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Layered sheet polarizers and isolators |
| TWI713214B (zh) | 2018-10-26 | 2020-12-11 | 友達光電股份有限公司 | 偏光基板及顯示面板 |
| KR102168744B1 (ko) * | 2019-05-24 | 2020-10-22 | 한국과학기술원 | 와이어 그리드 편광자 |
| PH12020050192A1 (en) | 2019-07-17 | 2021-05-17 | Moxtek Inc | Reflective wire grid polarizer with transparent cap |
| JP7356291B2 (ja) | 2019-08-23 | 2023-10-04 | デクセリアルズ株式会社 | 偏光板及び光学機器 |
| US11829026B2 (en) * | 2019-09-26 | 2023-11-28 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Display panel, driving method thereof and display device |
| US11624916B2 (en) * | 2020-03-26 | 2023-04-11 | Innovega Inc. | Apparatus and method for pixelated occlusion |
| EP4182741A1 (en) * | 2020-07-06 | 2023-05-24 | Vision Ease, LP | Wire grid polarizer reflection control |
| US11353644B2 (en) * | 2020-10-01 | 2022-06-07 | A. U. Vista, Inc. | Display device having blended display panel |
Family Cites Families (410)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2224214A (en) | 1937-12-28 | 1940-12-10 | Polaroid Corp | Light polarizing body |
| US2287598A (en) * | 1937-12-28 | 1942-06-23 | Polaroid Corp | Method of manufacturing lightpolarizing bodies |
| US2237567A (en) | 1939-05-04 | 1941-04-08 | Polaroid Corp | Light polarizer and process of manufacturing the same |
| CH230613A (de) | 1939-11-08 | 1944-01-15 | Ges Foerderung Forschung Technische Physik Eth Zuerich | Anordnung zur Wiedergabe eines Fernsehbildes. |
| US2605352A (en) | 1940-08-28 | 1952-07-29 | Fischer Ernst Friedrich | Deformable medium for controlling a light stream |
| US2403731A (en) * | 1943-04-01 | 1946-07-09 | Eastman Kodak Co | Beam splitter |
| US2748659A (en) * | 1951-02-26 | 1956-06-05 | Jenaer Glaswerk Schott & Gen | Light source, searchlight or the like for polarized light |
| US2887566A (en) * | 1952-11-14 | 1959-05-19 | Marks Polarized Corp | Glare-eliminating optical system |
| NL197714A (ja) | 1954-06-01 | 1900-01-01 | ||
| US2815452A (en) | 1954-11-12 | 1957-12-03 | Baird Associates Inc | Interferometer |
| US3046839A (en) * | 1959-01-12 | 1962-07-31 | Polaroid Corp | Processes for preparing light polarizing materials |
| US3084590A (en) | 1959-02-26 | 1963-04-09 | Gen Electric | Optical system |
| NL254460A (ja) | 1960-08-02 | |||
| US3235630A (en) | 1962-07-17 | 1966-02-15 | Little Inc A | Method of making an optical tool |
| US3293331A (en) | 1962-11-13 | 1966-12-20 | Little Inc A | Method of forming replicas of contoured substrates |
| US3291871A (en) | 1962-11-13 | 1966-12-13 | Little Inc A | Method of forming fine wire grids |
| US3479168A (en) | 1964-03-09 | 1969-11-18 | Polaroid Corp | Method of making metallic polarizer by drawing fusion |
| US3291550A (en) | 1965-04-16 | 1966-12-13 | Polaroid Corp | Metallic grid light-polarizing device |
| US3436143A (en) * | 1965-11-30 | 1969-04-01 | Bell Telephone Labor Inc | Grid type magic tee |
| US3566099A (en) * | 1968-09-16 | 1971-02-23 | Polaroid Corp | Light projection assembly |
| US3627431A (en) | 1969-12-22 | 1971-12-14 | John Victor Komarniski | Densitometer |
| US3631288A (en) | 1970-01-23 | 1971-12-28 | Polaroid Corp | Simplified polarized light projection assembly |
| US3653741A (en) | 1970-02-16 | 1972-04-04 | Alvin M Marks | Electro-optical dipolar material |
| US3731986A (en) * | 1971-04-22 | 1973-05-08 | Int Liquid Xtal Co | Display devices utilizing liquid crystal light modulation |
| CH558023A (de) * | 1972-08-29 | 1975-01-15 | Battelle Memorial Institute | Polarisationsvorrichtung. |
| US3877789A (en) | 1972-11-08 | 1975-04-15 | Marie G R P | Mode transformer for light or millimeter electromagnetic waves |
| US4049944A (en) * | 1973-02-28 | 1977-09-20 | Hughes Aircraft Company | Process for fabricating small geometry semiconductive devices including integrated components |
| US3969545A (en) * | 1973-03-01 | 1976-07-13 | Texas Instruments Incorporated | Light polarizing material method and apparatus |
| US3857628A (en) | 1973-08-29 | 1974-12-31 | Hoffmann La Roche | Selective polarizer arrangement for liquid crystal displays |
| US3857627A (en) | 1973-08-29 | 1974-12-31 | Hoffmann La Roche | Polarizer arrangement for liquid crystal displays |
| US3912369A (en) | 1974-07-02 | 1975-10-14 | Gen Electric | Single polarizer reflective liquid crystal display |
| US4025688A (en) * | 1974-08-01 | 1977-05-24 | Polaroid Corporation | Polarizer lamination |
| CH582894A5 (ja) * | 1975-03-17 | 1976-12-15 | Bbc Brown Boveri & Cie | |
| US4009933A (en) * | 1975-05-07 | 1977-03-01 | Rca Corporation | Polarization-selective laser mirror |
| US4104598A (en) * | 1975-06-09 | 1978-08-01 | Hughes Aircraft Company | Laser internal coupling modulation arrangement with wire grid polarizer serving as a reflector and coupler |
| DE2529112C3 (de) | 1975-06-30 | 1978-03-23 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Ultraschall-Applikator für die zeilenweise Ultraschallabtastung von Körpern |
| JPS6034742B2 (ja) | 1976-02-20 | 1985-08-10 | ミノルタ株式会社 | 光学的ロ−パスフイルタ− |
| US4073571A (en) * | 1976-05-05 | 1978-02-14 | Hughes Aircraft Company | Circularly polarized light source |
| US4181756A (en) * | 1977-10-05 | 1980-01-01 | Fergason James L | Process for increasing display brightness of liquid crystal displays by bleaching polarizers using screen-printing techniques |
| DE2818103A1 (de) * | 1978-04-25 | 1979-11-08 | Siemens Ag | Verfahren zur herstellung von aus einer vielzahl von auf einer glastraegerplatte angeordneten parallel zueinander ausgerichteten elektrisch leitenden streifen bestehenden polarisatoren |
| JPS6033246B2 (ja) * | 1978-07-26 | 1985-08-01 | 三立電機株式会社 | 多色表示用偏光板の製造方法 |
| DE2915847C2 (de) * | 1978-09-29 | 1986-01-16 | Nitto Electric Industrial Co., Ltd., Ibaraki, Osaka | Elektrooptisch aktivierbare Anzeige |
| US4221464A (en) * | 1978-10-17 | 1980-09-09 | Hughes Aircraft Company | Hybrid Brewster's angle wire grid infrared polarizer |
| US4289381A (en) | 1979-07-02 | 1981-09-15 | Hughes Aircraft Company | High selectivity thin film polarizer |
| US4308079A (en) | 1980-06-16 | 1981-12-29 | Martin Marietta Corporation | Durability of adhesively bonded aluminum structures and method for inhibiting the conversion of aluminum oxide to aluminum hydroxide |
| US4514479A (en) * | 1980-07-01 | 1985-04-30 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Method of making near infrared polarizers |
| EP0045104B1 (de) * | 1980-07-28 | 1985-04-10 | BBC Aktiengesellschaft Brown, Boveri & Cie. | Homöotrop nematisches Display mit internem Reflektor |
| US4441791A (en) | 1980-09-02 | 1984-04-10 | Texas Instruments Incorporated | Deformable mirror light modulator |
| US4466704A (en) * | 1981-07-20 | 1984-08-21 | Polaroid Corporation | Patterned polarizer having differently dyed areas |
| EP0084871B1 (en) | 1982-01-22 | 1988-03-30 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for reducing semiconductor laser optical noise |
| US4512638A (en) * | 1982-08-31 | 1985-04-23 | Westinghouse Electric Corp. | Wire grid polarizer |
| US4515441A (en) * | 1982-10-13 | 1985-05-07 | Westinghouse Electric Corp. | Dielectric polarizer for high average and high peak power operation |
| DE3244885A1 (de) * | 1982-12-02 | 1984-06-07 | Merck Patent Gmbh, 6100 Darmstadt | Farbselektiver zirkularpolarisator und seine verwendung |
| US4515443A (en) | 1982-12-29 | 1985-05-07 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Passive optical system for background suppression in starring imagers |
| US4560599A (en) | 1984-02-13 | 1985-12-24 | Marquette University | Assembling multilayers of polymerizable surfactant on a surface of a solid material |
| FR2564605B1 (fr) | 1984-05-18 | 1987-12-24 | Commissariat Energie Atomique | Cellule a cristal liquide susceptible de presenter une structure homeotrope, a birefringence compensee pour cette structure |
| SU1283685A1 (ru) | 1985-02-20 | 1987-01-15 | Предприятие П/Я А-1705 | Решетка-пол ризатор |
| US4679910A (en) * | 1985-03-20 | 1987-07-14 | Hughes Aircraft Company | Dual liquid-crystal cell-based visible-to-infrared dynamic image converter |
| US4688897A (en) * | 1985-06-17 | 1987-08-25 | Hughes Aircraft Company | Liquid crystal device |
| US4712881A (en) | 1985-06-21 | 1987-12-15 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Birefringent artificial dielectric structures |
| JPS626225A (ja) * | 1985-07-02 | 1987-01-13 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 液晶表示装置 |
| JPS6231822A (ja) * | 1985-08-02 | 1987-02-10 | Hitachi Ltd | 液晶表示素子 |
| US4743093A (en) * | 1985-09-16 | 1988-05-10 | Eastman Kodak Company | Optical disc player lens |
| FR2588093B1 (fr) | 1985-09-27 | 1987-11-20 | Thomson Csf | Polariseur par absorption differentielle, son procede de realisation et dispositif mettant en oeuvre ledit procede |
| JPS6275418A (ja) | 1985-09-27 | 1987-04-07 | Alps Electric Co Ltd | 液晶素子 |
| US4724436A (en) | 1986-09-22 | 1988-02-09 | Environmental Research Institute Of Michigan | Depolarizing radar corner reflector |
| US4743092A (en) * | 1986-11-26 | 1988-05-10 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Polarizing grids for far-infrared and method for making same |
| US4759611A (en) * | 1986-12-19 | 1988-07-26 | Polaroid Corporation, Patent Department | Liquid crystal display having silylated light polarizers |
| US4795233A (en) | 1987-03-09 | 1989-01-03 | Honeywell Inc. | Fiber optic polarizer |
| DE3707984A1 (de) | 1987-03-12 | 1988-09-22 | Max Planck Gesellschaft | Polarisierender spiegel fuer optische strahlung |
| US4840757A (en) * | 1987-05-19 | 1989-06-20 | S. D. Warren Company | Replicating process for interference patterns |
| FR2623649B1 (fr) | 1987-11-23 | 1992-05-15 | Asulab Sa | Cellule d'affichage a cristal liquide |
| US4865670A (en) | 1988-02-05 | 1989-09-12 | Mortimer Marks | Method of making a high quality polarizer |
| FR2629924B1 (fr) | 1988-04-08 | 1992-09-04 | Comp Generale Electricite | Polariseur a couches dielectriques |
| US4893905A (en) | 1988-06-10 | 1990-01-16 | Hughes Aircraft Company | Optical light valve system for providing phase conjugated beam of controllable intensity |
| JPH0212105A (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-17 | Nec Corp | 複屈折回折格子型偏光子 |
| JP2703930B2 (ja) | 1988-06-29 | 1998-01-26 | 日本電気株式会社 | 複屈折回折格子型偏光子 |
| JPH0215238A (ja) | 1988-07-04 | 1990-01-18 | Stanley Electric Co Ltd | 異方性補償ホメオトロピック液晶表示装置 |
| JPH0223304A (ja) * | 1988-07-12 | 1990-01-25 | Toray Ind Inc | 可視偏光フイルム |
| US4895769A (en) * | 1988-08-09 | 1990-01-23 | Polaroid Corporation | Method for preparing light polarizer |
| US4915463A (en) | 1988-10-18 | 1990-04-10 | The United States Of America As Represented By The Department Of Energy | Multilayer diffraction grating |
| US4939526A (en) | 1988-12-22 | 1990-07-03 | Hughes Aircraft Company | Antenna system having azimuth rotating directive beam with selectable polarization |
| US4913529A (en) * | 1988-12-27 | 1990-04-03 | North American Philips Corp. | Illumination system for an LCD display system |
| US4870649A (en) | 1988-12-28 | 1989-09-26 | American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories | Tranverse mode control in solid state lasers |
| US4946231A (en) * | 1989-05-19 | 1990-08-07 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Polarizer produced via photographic image of polarizing grid |
| US5599551A (en) | 1989-06-06 | 1997-02-04 | Kelly; Patrick D. | Genital lubricants containing zinc as an anti-viral agent |
| US5486949A (en) * | 1989-06-20 | 1996-01-23 | The Dow Chemical Company | Birefringent interference polarizer |
| CA2020180C (en) | 1989-06-30 | 2000-01-04 | Stephen A. Zager | Method for making optically readable media containing embossed information |
| US5279689A (en) * | 1989-06-30 | 1994-01-18 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method for replicating holographic optical elements |
| SG50550A1 (en) | 1989-07-10 | 2002-04-16 | Rolic Ag | Polarisator |
| US5235443A (en) * | 1989-07-10 | 1993-08-10 | Hoffmann-La Roche Inc. | Polarizer device |
| EP0416157A1 (de) | 1989-09-07 | 1991-03-13 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Polarisator |
| FR2653234A1 (fr) * | 1989-10-13 | 1991-04-19 | Philips Electronique Lab | Dispositif du type miroir dans le domaine des rayons x-uv. |
| JPH03132603A (ja) | 1989-10-18 | 1991-06-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 偏光子 |
| JP2924055B2 (ja) * | 1989-12-08 | 1999-07-26 | セイコーエプソン株式会社 | 反射型液晶表示素子 |
| US5267029A (en) | 1989-12-28 | 1993-11-30 | Katsumi Kurematsu | Image projector |
| US5235449A (en) * | 1990-03-02 | 1993-08-10 | Hitachi, Ltd. | Polarizer with patterned diacetylene layer, method for producing the same, and liquid crystal display device including such polarizer |
| US5401587A (en) | 1990-03-27 | 1995-03-28 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Anisotropic nanophase composite material and method of producing same |
| JPH03289692A (ja) * | 1990-04-06 | 1991-12-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 空間光変調素子及びこれを用いたホログラム画像情報記録装置 |
| JP2681304B2 (ja) * | 1990-05-16 | 1997-11-26 | 日本ビクター株式会社 | 表示装置 |
| KR920010809B1 (ko) | 1990-05-19 | 1992-12-17 | 주식회사 금성사 | Lcd 프로젝터의 광학 시스템 |
| US5083857A (en) | 1990-06-29 | 1992-01-28 | Texas Instruments Incorporated | Multi-level deformable mirror device |
| US5115305A (en) * | 1990-07-05 | 1992-05-19 | Baur Thomas G | Electrically addressable liquid crystal projection system with high efficiency and light output |
| US5157526A (en) | 1990-07-06 | 1992-10-20 | Hitachi, Ltd. | Unabsorbing type polarizer, method for manufacturing the same, polarized light source using the same, and apparatus for liquid crystal display using the same |
| JP2902456B2 (ja) * | 1990-08-09 | 1999-06-07 | 株式会社豊田中央研究所 | 無機偏光薄膜 |
| US5113285A (en) * | 1990-09-28 | 1992-05-12 | Honeywell Inc. | Full color three-dimensional flat panel display |
| JPH07104450B2 (ja) | 1990-10-17 | 1995-11-13 | スタンレー電気株式会社 | 二軸性光学素子とその製造方法 |
| FR2669126B1 (fr) | 1990-11-09 | 1993-01-22 | Thomson Csf | Systeme de visualisation d'images fournies par un modulateur spatial avec transfert d'energie. |
| US5387953A (en) | 1990-12-27 | 1995-02-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Polarization illumination device and projector having the same |
| US5092774A (en) | 1991-01-09 | 1992-03-03 | National Semiconductor Corporation | Mechanically compliant high frequency electrical connector |
| JP2698218B2 (ja) * | 1991-01-18 | 1998-01-19 | シャープ株式会社 | 反射型液晶表示装置及びその製造方法 |
| US5122887A (en) | 1991-03-05 | 1992-06-16 | Sayett Group, Inc. | Color display utilizing twisted nematic LCDs and selective polarizers |
| EP0518111B1 (en) | 1991-05-29 | 1997-04-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Projection image display system |
| KR940701548A (ko) | 1991-06-13 | 1994-05-28 | 게리 리 그리스월드 | 역반사 편광자 |
| US5245471A (en) | 1991-06-14 | 1993-09-14 | Tdk Corporation | Polarizers, polarizer-equipped optical elements, and method of manufacturing the same |
| EP0518333B1 (en) | 1991-06-14 | 2002-08-28 | Hughes Aircraft Company | Method for inducing tilted perpendicular alignment in liquid crystals |
| EP0522620B1 (en) * | 1991-06-28 | 1997-09-03 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Display device |
| US5122907A (en) * | 1991-07-03 | 1992-06-16 | Polatomic, Inc. | Light polarizer and method of manufacture |
| JP2754964B2 (ja) | 1991-08-13 | 1998-05-20 | 日本電気株式会社 | 多極コネクタの嵌合構造 |
| US5196953A (en) | 1991-11-01 | 1993-03-23 | Rockwell International Corporation | Compensator for liquid crystal display, having two types of layers with different refractive indices alternating |
| DE69129807T2 (de) | 1991-11-20 | 1999-02-25 | Hamamatsu Photonics Kk | Lichtverstärkungspolarisator |
| JP2796005B2 (ja) * | 1992-02-10 | 1998-09-10 | 三菱電機株式会社 | 投影露光装置及び偏光子 |
| US5383053A (en) * | 1992-04-07 | 1995-01-17 | Hughes Aircraft Company | Virtual image display having a high efficiency grid beamsplitter |
| US5422756A (en) * | 1992-05-18 | 1995-06-06 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Backlighting system using a retroreflecting polarizer |
| WO1994000792A1 (en) * | 1992-06-30 | 1994-01-06 | Citizen Watch Co., Ltd. | Liquid crystal display unit and liquid crystal projector using this liquid crystal display unit |
| EP0730755A1 (en) | 1992-10-20 | 1996-09-11 | Hughes-Jvc Technology Corporation | Liquid crystal light valve with minimized double reflection |
| US5480748A (en) * | 1992-10-21 | 1996-01-02 | International Business Machines Corporation | Protection of aluminum metallization against chemical attack during photoresist development |
| JPH06138413A (ja) * | 1992-10-29 | 1994-05-20 | Canon Inc | プレート型偏光分離装置及び該偏光分離装置を用いた偏光照明装置 |
| JP3250853B2 (ja) | 1992-11-09 | 2002-01-28 | 松下電器産業株式会社 | 液晶表示装置およびそれを用いた投写型表示装置 |
| JP2698521B2 (ja) | 1992-12-14 | 1998-01-19 | キヤノン株式会社 | 反射屈折型光学系及び該光学系を備える投影露光装置 |
| US5333072A (en) * | 1992-12-31 | 1994-07-26 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Reflective liquid crystal display overhead projection system using a reflective linear polarizer and a fresnel lens |
| US5325218A (en) * | 1992-12-31 | 1994-06-28 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Cholesteric polarizer for liquid crystal display and overhead projector |
| TW289095B (ja) | 1993-01-11 | 1996-10-21 | ||
| GB2274922B (en) | 1993-01-21 | 1996-10-23 | Sharp Kk | Liquid crystal projector |
| US5522111A (en) | 1993-03-02 | 1996-06-04 | Marshalltown Trowel Company | Finishing trowel handle |
| US5594561A (en) * | 1993-03-31 | 1997-01-14 | Palomar Technologies Corporation | Flat panel display with elliptical diffuser and fiber optic plate |
| JP3168765B2 (ja) | 1993-04-01 | 2001-05-21 | 松下電器産業株式会社 | 偏光装置および該偏光装置を用いた投写型表示装置 |
| US5349192A (en) | 1993-05-20 | 1994-09-20 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Solid state detector for polarized x-rays |
| US5486935A (en) * | 1993-06-29 | 1996-01-23 | Kaiser Aerospace And Electronics Corporation | High efficiency chiral nematic liquid crystal rear polarizer for liquid crystal displays having a notch polarization bandwidth of 100 nm to 250 nm |
| US5391091A (en) | 1993-06-30 | 1995-02-21 | American Nucleonics Corporation | Connection system for blind mate electrical connector applications |
| CA2168106C (en) * | 1993-07-27 | 2002-08-20 | Joel Petersen | High brightness directional viewing screen |
| EP1275988A3 (en) | 1993-09-10 | 2006-03-22 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | Polarizing element, and polarizing plate |
| JPH0784252A (ja) * | 1993-09-16 | 1995-03-31 | Sharp Corp | 液晶表示装置 |
| DE69427282T2 (de) | 1993-10-01 | 2001-11-29 | Raytheon Co | Subtraktive fluessigkristall-farbanzeigevorrichtung mit aktiver matrix mit integrierter raeumlicher lichtbegrenzung |
| US5576854A (en) | 1993-11-12 | 1996-11-19 | Hughes-Jvc Technology Corporation | Liquid crystal light valve projector with improved contrast ratio and with 0.27 wavelength compensation for birefringence in the liquid crystal light valve |
| US5499126A (en) | 1993-12-02 | 1996-03-12 | Ois Optical Imaging Systems, Inc. | Liquid crystal display with patterned retardation films |
| US5517356A (en) * | 1993-12-15 | 1996-05-14 | Corning Incorporated | Glass polarizer for visible light |
| BE1007993A3 (nl) * | 1993-12-17 | 1995-12-05 | Philips Electronics Nv | Belichtingsstelsel voor een kleurenbeeldprojectie-inrichting en circulaire polarisator geschikt voor toepassing in een dergelijk belichtingsstelsel en kleurenbeeldprojectie-inrichting bevattende een dergelijk belichtingsstelsel met circulaire polarisator. |
| US6096375A (en) | 1993-12-21 | 2000-08-01 | 3M Innovative Properties Company | Optical polarizer |
| US5882774A (en) | 1993-12-21 | 1999-03-16 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Optical film |
| JP3501299B2 (ja) | 1993-12-28 | 2004-03-02 | 日本ビクター株式会社 | 半導体装置 |
| US5455589A (en) | 1994-01-07 | 1995-10-03 | Millitech Corporation | Compact microwave and millimeter wave radar |
| GB2286058A (en) | 1994-01-21 | 1995-08-02 | Sharp Kk | Switchable holographic apparatus |
| JP3278521B2 (ja) | 1994-01-28 | 2002-04-30 | 松下電器産業株式会社 | 背面投写型画像表示装置 |
| US5969861A (en) | 1994-02-07 | 1999-10-19 | Nikon Corporation | Polarizing optical system |
| JP2765471B2 (ja) | 1994-02-15 | 1998-06-18 | 日本電気株式会社 | 投写型液晶表示装置 |
| US5504603A (en) | 1994-04-04 | 1996-04-02 | Rockwell International Corporation | Optical compensator for improved gray scale performance in liquid crystal display |
| US5638197A (en) | 1994-04-04 | 1997-06-10 | Rockwell International Corp. | Inorganic thin film compensator for improved gray scale performance in twisted nematic liquid crystal displays and method of making |
| US5619352A (en) | 1994-04-04 | 1997-04-08 | Rockwell International Corporation | LCD splay/twist compensator having varying tilt and /or azimuthal angles for improved gray scale performance |
| CN1152358A (zh) | 1994-05-31 | 1997-06-18 | 菲利浦电子有限公司 | 具有散射显示板的显示装置 |
| US5485499A (en) * | 1994-08-05 | 1996-01-16 | Moxtek, Inc. | High throughput reflectivity and resolution x-ray dispersive and reflective structures for the 100 eV to 5000 eV energy range and method of making the devices |
| US5513023A (en) * | 1994-10-03 | 1996-04-30 | Hughes Aircraft Company | Polarizing beamsplitter for reflective light valve displays having opposing readout beams onto two opposing surfaces of the polarizer |
| KR0147607B1 (ko) | 1994-11-25 | 1998-09-15 | 김광호 | 반사형 액정 투사장치의 광학계 |
| JPH08240790A (ja) | 1994-12-16 | 1996-09-17 | Sharp Corp | 自動立体表示装置および空間光変調器 |
| JP2864464B2 (ja) | 1994-12-22 | 1999-03-03 | 日本ビクター株式会社 | 反射型アクティブ・マトリクス・ディスプレイ・パネル及びその製造方法 |
| JPH08184711A (ja) * | 1994-12-29 | 1996-07-16 | Sony Corp | 偏光光学素子 |
| EP0722253A3 (en) * | 1995-01-10 | 1996-10-30 | Ibm | Arrangements for projection display devices using optical valves in reflection |
| US5510215A (en) | 1995-01-25 | 1996-04-23 | Eastman Kodak Company | Method for patterning multilayer dielectric color filter |
| US5652667A (en) | 1995-02-03 | 1997-07-29 | Victor Company Of Japan, Ltd. | Liquid crystal display apparatus |
| EP0731456A2 (en) | 1995-03-04 | 1996-09-11 | Sony Corporation | Optical pickup and optical recording medium reproducing apparatus |
| US5808795A (en) | 1995-03-06 | 1998-09-15 | Nikon Corporation | Projection type display apparatus |
| US6062694A (en) | 1995-03-06 | 2000-05-16 | Nikon Corporation | Projection type display apparatus |
| JP3005706B2 (ja) | 1995-03-13 | 2000-02-07 | 極東開発工業株式会社 | ダンプトラック用荷台の床組み |
| US5719695A (en) | 1995-03-31 | 1998-02-17 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator with superstructure light shield |
| US5751388A (en) | 1995-04-07 | 1998-05-12 | Honeywell Inc. | High efficiency polarized display |
| US5535047A (en) | 1995-04-18 | 1996-07-09 | Texas Instruments Incorporated | Active yoke hidden hinge digital micromirror device |
| US5864427A (en) | 1995-05-23 | 1999-01-26 | Kyocera Corporation | Polarizer and production method thereof |
| US5686979A (en) | 1995-06-26 | 1997-11-11 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Optical panel capable of switching between reflective and transmissive states |
| EP0753785B1 (de) | 1995-07-11 | 2016-05-11 | Rolic AG | Übertragung von Polarisationsmustern auf polarisationsempfindliche Photoschichten |
| US6147728A (en) | 1995-07-17 | 2000-11-14 | Seiko Epson Corporation | Reflective color LCD with color filters having particular transmissivity |
| DE69614337T2 (de) | 1995-10-15 | 2002-06-13 | Victor Company Of Japan | Anzeigevorrichtung von Reflexionstyp |
| JPH09146061A (ja) | 1995-11-17 | 1997-06-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶プロジェクション装置 |
| JPH09159988A (ja) * | 1995-12-12 | 1997-06-20 | Nikon Corp | 投射型表示装置 |
| CA2193790C (en) | 1995-12-29 | 2001-03-13 | Duke University | Projecting images |
| US6181386B1 (en) | 1995-12-29 | 2001-01-30 | Duke University | Projecting images |
| US5751466A (en) | 1996-01-11 | 1998-05-12 | University Of Alabama At Huntsville | Photonic bandgap apparatus and method for delaying photonic signals |
| US5838403A (en) | 1996-02-14 | 1998-11-17 | Physical Optics Corporation | Liquid crystal display system with internally reflecting waveguide for backlighting and non-Lambertian diffusing |
| JP3282986B2 (ja) | 1996-02-28 | 2002-05-20 | 富士通株式会社 | 液晶表示装置 |
| US5867316A (en) | 1996-02-29 | 1999-02-02 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Multilayer film having a continuous and disperse phase |
| US5828489A (en) | 1996-04-12 | 1998-10-27 | Rockwell International Corporation | Narrow wavelength polarizing beamsplitter |
| JP3767047B2 (ja) | 1996-04-26 | 2006-04-19 | セイコーエプソン株式会社 | 投写型表示装置 |
| US5826959A (en) | 1996-05-09 | 1998-10-27 | Pioneer Electronic Corporation | Projection image display apparatus |
| JP3738505B2 (ja) | 1996-05-10 | 2006-01-25 | 株式会社ニコン | 投射型表示装置 |
| US5841494A (en) | 1996-06-26 | 1998-11-24 | Hall; Dennis R. | Transflective LCD utilizing chiral liquid crystal filter/mirrors |
| US5982541A (en) | 1996-08-12 | 1999-11-09 | Nationsl Research Council Of Canada | High efficiency projection displays having thin film polarizing beam-splitters |
| US5912762A (en) | 1996-08-12 | 1999-06-15 | Li; Li | Thin film polarizing device |
| EP0959051A4 (en) | 1996-08-13 | 1999-12-15 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Laser machining method for glass substrate, diffraction type optical device fabricated by the machining method, and method of manufacturing optical device |
| JPH1073722A (ja) | 1996-08-30 | 1998-03-17 | Sony Corp | 偏光光学素子及びその製造方法 |
| JP3557317B2 (ja) | 1996-09-02 | 2004-08-25 | テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド | プロジエクタ装置及び色分離合成装置 |
| US6046849A (en) | 1996-09-12 | 2000-04-04 | Sharp Kabushiki Kaisha | Parallax barrier, display, passive polarisation modulating optical element and method of making such an element |
| US6096155A (en) * | 1996-09-27 | 2000-08-01 | Digital Optics Corporation | Method of dicing wafer level integrated multiple optical elements |
| US5833360A (en) | 1996-10-17 | 1998-11-10 | Compaq Computer Corporation | High efficiency lamp apparatus for producing a beam of polarized light |
| US6390626B2 (en) | 1996-10-17 | 2002-05-21 | Duke University | Image projection system engine assembly |
| US5991075A (en) | 1996-11-25 | 1999-11-23 | Ricoh Company, Ltd. | Light polarizer and method of producing the light polarizer |
| US5914818A (en) | 1996-11-29 | 1999-06-22 | Texas Instruments Incorporated | Offset projection lens for use with reflective spatial light modulators |
| WO1998027453A1 (fr) | 1996-12-18 | 1998-06-25 | Seiko Epson Corporation | Affichage par projection |
| JPH10186302A (ja) | 1996-12-27 | 1998-07-14 | Fujitsu Ltd | 表示装置及び偏光光源装置 |
| US6008951A (en) | 1996-12-31 | 1999-12-28 | Texas Instruments Incorporated | Offset projection zoom lens with fixed rear group for reflective spatial light modulators |
| US6075235A (en) * | 1997-01-02 | 2000-06-13 | Chun; Cornell Seu Lun | High-resolution polarization-sensitive imaging sensors |
| US5886754A (en) | 1997-01-17 | 1999-03-23 | Industrial Technology Research Institute | Liquid crystal display projector |
| US5890095A (en) | 1997-01-21 | 1999-03-30 | Nichols Research Corporation | System for receiving and enhancing electromagnetic radiation input signals |
| US6249378B1 (en) | 1997-02-28 | 2001-06-19 | Nikon Corporation | Mirror and projection type display apparatus |
| EP0864906B1 (en) | 1997-03-10 | 2008-08-13 | FUJIFILM Corporation | Optical compensatory sheet for liquid crystal displays |
| US5958345A (en) | 1997-03-14 | 1999-09-28 | Moxtek, Inc. | Thin film sample support |
| US6010221A (en) | 1997-05-22 | 2000-01-04 | Nikon Corporation | Projection type display apparatus |
| US5844722A (en) | 1997-06-05 | 1998-12-01 | Hughes-Jvc Technology Corporation | Internal aperture mask for embedded optics |
| US6055103A (en) | 1997-06-28 | 2000-04-25 | Sharp Kabushiki Kaisha | Passive polarisation modulating optical element and method of making such an element |
| US6247816B1 (en) | 1997-08-07 | 2001-06-19 | International Business Machines Corporation | Optical system for projection displays using spatial light modulators |
| US5973833A (en) | 1997-08-29 | 1999-10-26 | Lightware, Inc. | High efficiency polarizing converter |
| US5930050A (en) | 1997-10-21 | 1999-07-27 | Texas Instruments Incorporated | Anamorphic lens for providing wide-screen images generated by a spatial light modulator |
| US5907427A (en) | 1997-10-24 | 1999-05-25 | Time Domain Corporation | Photonic band gap device and method using a periodicity defect region to increase photonic signal delay |
| US7023602B2 (en) | 1999-05-17 | 2006-04-04 | 3M Innovative Properties Company | Reflective LCD projection system using wide-angle Cartesian polarizing beam splitter and color separation and recombination prisms |
| US6486997B1 (en) | 1997-10-28 | 2002-11-26 | 3M Innovative Properties Company | Reflective LCD projection system using wide-angle Cartesian polarizing beam splitter |
| US6005918A (en) | 1997-12-19 | 1999-12-21 | Picker International, Inc. | X-ray tube window heat shield |
| JP3372466B2 (ja) * | 1997-12-22 | 2003-02-04 | ティーディーケイ株式会社 | 偏光板の製造方法 |
| US5899511A (en) | 1997-12-30 | 1999-05-04 | Dinatale; Regis C. | Ball retrieval device mountable upon end of grip of golf club |
| US6016173A (en) | 1998-02-18 | 2000-01-18 | Displaytech, Inc. | Optics arrangement including a compensator cell and static wave plate for use in a continuously viewable, reflection mode, ferroelectric liquid crystal spatial light modulating system |
| US5900976A (en) | 1998-02-20 | 1999-05-04 | Displaytech, Inc. | Display system including a polarizing beam splitter |
| US6654168B1 (en) | 1998-03-31 | 2003-11-25 | Corning Incorporated | Inorganic visible light reflection polarizer |
| US6496287B1 (en) | 1998-04-09 | 2002-12-17 | Rolic Ag | Optical identification element |
| US6108131A (en) * | 1998-05-14 | 2000-08-22 | Moxtek | Polarizer apparatus for producing a generally polarized beam of light |
| US6208463B1 (en) | 1998-05-14 | 2001-03-27 | Moxtek | Polarizer apparatus for producing a generally polarized beam of light |
| US5943171A (en) | 1998-06-03 | 1999-08-24 | International Business Machines Corporation | Head mounted displays utilizing reflection light valves |
| EP1042705A1 (en) * | 1998-07-02 | 2000-10-11 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Image projection system |
| US6081376A (en) * | 1998-07-16 | 2000-06-27 | Moxtek | Reflective optical polarizer device with controlled light distribution and liquid crystal display incorporating the same |
| IL141536A (en) | 1998-08-21 | 2005-07-25 | Olivier M Parriaux | Device for measuring translation, rotation or velocity via light beam interference |
| US6082861A (en) * | 1998-09-16 | 2000-07-04 | International Business Machines Corporation | Optical system and method for high contrast projection display |
| US6331060B1 (en) | 1998-10-08 | 2001-12-18 | Sony Corporation | Projection-type display device and method of adjustment thereof |
| US6172816B1 (en) | 1998-10-23 | 2001-01-09 | Duke University | Optical component adjustment for mitigating tolerance sensitivities |
| US6172813B1 (en) | 1998-10-23 | 2001-01-09 | Duke University | Projection lens and system including a reflecting linear polarizer |
| US6185041B1 (en) | 1998-10-23 | 2001-02-06 | Duke University | Projection lens and system |
| JP2000147487A (ja) | 1998-11-06 | 2000-05-26 | Ricoh Co Ltd | 液晶表示装置 |
| US6215547B1 (en) | 1998-11-19 | 2001-04-10 | Eastman Kodak Company | Reflective liquid crystal modulator based printing system |
| US5986730A (en) | 1998-12-01 | 1999-11-16 | Moxtek | Dual mode reflective/transmissive liquid crystal display apparatus |
| US6490017B1 (en) | 1999-01-28 | 2002-12-03 | Duke University | Separating white light into polarized, colored light |
| JP3743190B2 (ja) | 1999-02-02 | 2006-02-08 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置取り付けユニット及びそれを利用した投写型表示装置 |
| JP3603650B2 (ja) | 1999-03-08 | 2004-12-22 | セイコーエプソン株式会社 | 調整機構及びこれを用いた投写型表示装置 |
| WO2000057215A1 (en) | 1999-03-22 | 2000-09-28 | Mems Optical, Inc. | Diffractive selectively polarizing beam splitter and beam routing prisms produced thereby |
| JP2000284117A (ja) | 1999-03-30 | 2000-10-13 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | グリッド偏光子及びその製造方法 |
| JP3371846B2 (ja) | 1999-04-06 | 2003-01-27 | 日本電気株式会社 | ホログラム素子 |
| EP1045272A3 (en) | 1999-04-12 | 2004-02-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Reflective color liquid crystal display device |
| US6010121A (en) | 1999-04-21 | 2000-01-04 | Lee; Chi Ping | Work piece clamping device of workbench |
| US6515785B1 (en) | 1999-04-22 | 2003-02-04 | 3M Innovative Properties Company | Optical devices using reflecting polarizing materials |
| US6122103A (en) | 1999-06-22 | 2000-09-19 | Moxtech | Broadband wire grid polarizer for the visible spectrum |
| US6288840B1 (en) | 1999-06-22 | 2001-09-11 | Moxtek | Imbedded wire grid polarizer for the visible spectrum |
| EP1065559B1 (en) | 1999-07-01 | 2008-04-23 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Rear projection display device |
| US6666556B2 (en) | 1999-07-28 | 2003-12-23 | Moxtek, Inc | Image projection system with a polarizing beam splitter |
| US6234634B1 (en) * | 1999-07-28 | 2001-05-22 | Moxtek | Image projection system with a polarizing beam splitter |
| US6447120B2 (en) * | 1999-07-28 | 2002-09-10 | Moxtex | Image projection system with a polarizing beam splitter |
| US6282025B1 (en) | 1999-08-02 | 2001-08-28 | New Focus, Inc. | Optical polarization beam combiner/splitter |
| JP4427837B2 (ja) | 1999-09-03 | 2010-03-10 | 住友化学株式会社 | ワイヤーグリッド型偏光光学素子 |
| US6243199B1 (en) | 1999-09-07 | 2001-06-05 | Moxtek | Broad band wire grid polarizing beam splitter for use in the visible wavelength region |
| US6398364B1 (en) | 1999-10-06 | 2002-06-04 | Optical Coating Laboratory, Inc. | Off-axis image projection display system |
| US6310345B1 (en) | 1999-10-12 | 2001-10-30 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Polarization-resolving infrared imager |
| US6781640B1 (en) | 1999-11-15 | 2004-08-24 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Projection display having polarization compensator |
| US6375330B1 (en) | 1999-12-30 | 2002-04-23 | Gain Micro-Optics, Inc. | Reflective liquid-crystal-on-silicon projection engine architecture |
| US7087599B2 (en) | 2000-02-14 | 2006-08-08 | Merck & Co., Inc. | Estrogen receptor modulators |
| US6340230B1 (en) * | 2000-03-10 | 2002-01-22 | Optical Coating Laboratory, Inc. | Method of using a retarder plate to improve contrast in a reflective imaging system |
| EP1143744B1 (en) | 2000-03-17 | 2008-09-24 | Hitachi, Ltd. | Image display device |
| US6661475B1 (en) | 2000-03-23 | 2003-12-09 | Infocus Corporation | Color video projection system employing reflective liquid crystal display device |
| US6624936B2 (en) | 2000-05-11 | 2003-09-23 | 3M Innovative Properties Company | Color-compensated information displays |
| US6411749B2 (en) | 2000-05-11 | 2002-06-25 | Micro-Optice, Inc. | In-line fiber optic polarization combiner/divider |
| JP2001330728A (ja) | 2000-05-22 | 2001-11-30 | Jasco Corp | ワイヤーグリット型偏光子及びその製造方法 |
| JP2001343512A (ja) | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Canon Inc | 回折光学素子及びそれを有する光学系 |
| JP3642267B2 (ja) | 2000-07-05 | 2005-04-27 | セイコーエプソン株式会社 | 照明光学系およびこれを備えたプロジェクタ |
| EP1306715B1 (en) | 2000-07-05 | 2008-05-14 | Sony Corporation | Image display element, and image display device |
| US6704469B1 (en) | 2000-09-12 | 2004-03-09 | Finisar Corporation | Polarization beam combiner/splitter |
| US6409525B1 (en) | 2000-12-11 | 2002-06-25 | Tyco Electronics Corporation | Terminal position housing assembly |
| AU2002241632A1 (en) | 2000-12-27 | 2002-07-08 | Technion Research And Development Foundation Ltd. | Space-variant subwavelength polarization grating and applications thereof |
| US6532111B2 (en) | 2001-03-05 | 2003-03-11 | Eastman Kodak Company | Wire grid polarizer |
| GB0106050D0 (en) | 2001-03-12 | 2001-05-02 | Suisse Electronique Microtech | Polarisers and mass-production method and apparatus for polarisers |
| US6585378B2 (en) * | 2001-03-20 | 2003-07-01 | Eastman Kodak Company | Digital cinema projector |
| US20020167727A1 (en) | 2001-03-27 | 2002-11-14 | Hansen Douglas P. | Patterned wire grid polarizer and method of use |
| US7375887B2 (en) | 2001-03-27 | 2008-05-20 | Moxtek, Inc. | Method and apparatus for correcting a visible light beam using a wire-grid polarizer |
| CN1503915A (zh) | 2001-04-20 | 2004-06-09 | 3M创新有限公司 | 用于定位光学棱镜的方法及设备 |
| CN1232866C (zh) | 2001-05-18 | 2005-12-21 | 3M创新有限公司 | 偏振装置 |
| DE10124803A1 (de) | 2001-05-22 | 2002-11-28 | Zeiss Carl | Polarisator und Mikrolithographie-Projektionsanlage mit Polarisator |
| US20020181824A1 (en) | 2001-05-30 | 2002-12-05 | Shangyuan Huang | Compact polarization beam combiner/splitter |
| US6669343B2 (en) | 2001-05-31 | 2003-12-30 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Image display system |
| US6511183B2 (en) | 2001-06-02 | 2003-01-28 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Digital image projector with oriented fixed-polarization-axis polarizing beamsplitter |
| US6609795B2 (en) | 2001-06-11 | 2003-08-26 | 3M Innovative Properties Company | Polarizing beam splitter |
| US6813077B2 (en) | 2001-06-19 | 2004-11-02 | Corning Incorporated | Method for fabricating an integrated optical isolator and a novel wire grid structure |
| US6510200B1 (en) | 2001-06-29 | 2003-01-21 | Osmic, Inc. | Multi-layer structure with variable bandpass for monochromatization and spectroscopy |
| US6893130B2 (en) | 2001-08-06 | 2005-05-17 | Advanced Digital Optics, Inc. | Color management system having a field lens |
| GB0119176D0 (en) | 2001-08-06 | 2001-09-26 | Ocuity Ltd | Optical switching apparatus |
| US6899432B2 (en) | 2001-08-06 | 2005-05-31 | Advanced Digital Optics, Inc. | Color management system having a transmissive panel and optical isolator |
| US6857747B2 (en) | 2001-08-06 | 2005-02-22 | Advanced Digital Optics, Inc. | Color management system |
| EP1420275B1 (en) | 2001-08-24 | 2008-10-08 | Asahi Glass Company, Limited | Isolator and optical attenuator |
| US6547396B1 (en) | 2001-12-27 | 2003-04-15 | Infocus Corporation | Stereographic projection system |
| EP1300698B1 (en) | 2001-10-01 | 2011-11-02 | Sony Corporation | Polarization selecting prism for a projection device |
| US6922287B2 (en) | 2001-10-12 | 2005-07-26 | Unaxis Balzers Aktiengesellschaft | Light coupling element |
| US6714350B2 (en) | 2001-10-15 | 2004-03-30 | Eastman Kodak Company | Double sided wire grid polarizer |
| JP2003202523A (ja) | 2001-11-02 | 2003-07-18 | Nec Viewtechnology Ltd | 偏光ユニット、該偏光ユニットを用いた偏光照明装置及び該偏光照明装置を用いた投写型表示装置 |
| US6739723B1 (en) | 2001-12-07 | 2004-05-25 | Delta Electronics, Inc. | Polarization recapture system for liquid crystal-based data projectors |
| US20030117708A1 (en) * | 2001-12-21 | 2003-06-26 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Sealed enclosure for a wire-grid polarizer and subassembly for a display system |
| US6947215B2 (en) | 2001-12-27 | 2005-09-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical element, optical functional device, polarization conversion device, image display apparatus, and image display system |
| US6909473B2 (en) | 2002-01-07 | 2005-06-21 | Eastman Kodak Company | Display apparatus and method |
| US7061561B2 (en) | 2002-01-07 | 2006-06-13 | Moxtek, Inc. | System for creating a patterned polarization compensator |
| US20050008839A1 (en) | 2002-01-30 | 2005-01-13 | Cramer Ronald Dean | Method for hydrophilizing materials using hydrophilic polymeric materials with discrete charges |
| US6884500B2 (en) | 2002-02-12 | 2005-04-26 | Unaxis Balzers Ltd. | Component comprising submicron hollow spaces |
| US6590695B1 (en) | 2002-02-26 | 2003-07-08 | Eastman Kodak Company | Micro-mechanical polarization-based modulator |
| US6719426B2 (en) | 2002-02-28 | 2004-04-13 | 3M Innovative Properties Company | Compound polarization beam splitters |
| KR20030079268A (ko) | 2002-04-03 | 2003-10-10 | 삼성에스디아이 주식회사 | 프로젝션 디스플레이 시스템 |
| US7050234B2 (en) | 2002-05-01 | 2006-05-23 | Adc Telecommunications, Inc. | Lossless beam combination in a dual fiber collimator using a polarizing beamsplitter |
| US6785050B2 (en) * | 2002-05-09 | 2004-08-31 | Moxtek, Inc. | Corrosion resistant wire-grid polarizer and method of fabrication |
| US6899440B2 (en) | 2002-05-17 | 2005-05-31 | Infocus Corporation | Polarized light source system with mirror and polarization converter |
| TW523119U (en) | 2002-05-24 | 2003-03-01 | Coretronic Corp | Structure of polarizer module |
| US6876784B2 (en) | 2002-05-30 | 2005-04-05 | Nanoopto Corporation | Optical polarization beam combiner/splitter |
| JP2004062148A (ja) | 2002-06-04 | 2004-02-26 | Canon Inc | 光学部品及びその製造方法 |
| US6805445B2 (en) | 2002-06-05 | 2004-10-19 | Eastman Kodak Company | Projection display using a wire grid polarization beamsplitter with compensator |
| US7131737B2 (en) | 2002-06-05 | 2006-11-07 | Moxtek, Inc. | Housing for mounting a beamsplitter and a spatial light modulator with an output optical path |
| US6823093B2 (en) | 2002-06-11 | 2004-11-23 | Jds Uniphase Corporation | Tunable micro-optic architecture for combining light beam outputs of dual capillary polarization-maintaining optical fibers |
| JP4310080B2 (ja) | 2002-06-17 | 2009-08-05 | キヤノン株式会社 | 回折光学素子およびこれを備えた光学系、光学装置 |
| US7386205B2 (en) | 2002-06-17 | 2008-06-10 | Jian Wang | Optical device and method for making same |
| US20040047039A1 (en) | 2002-06-17 | 2004-03-11 | Jian Wang | Wide angle optical device and method for making same |
| EP1520203A4 (en) | 2002-06-18 | 2005-08-24 | Nanoopto Corp | OPTICAL COMPONENT WITH ADVANCED FUNCTIONALITY AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF |
| JP2004045672A (ja) | 2002-07-11 | 2004-02-12 | Canon Inc | 偏光分離素子およびそれを用いた光学系 |
| US7050233B2 (en) | 2002-08-01 | 2006-05-23 | Nanoopto Corporation | Precision phase retardation devices and method of making same |
| JP2006514751A (ja) * | 2002-08-21 | 2006-05-11 | ナノオプト コーポレーション | ビームの偏光を提供するための方法およびシステム |
| US7177259B2 (en) | 2002-08-29 | 2007-02-13 | Sony Corporation | Optical head and optical recording medium drive device |
| US7324180B2 (en) | 2002-09-06 | 2008-01-29 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Laminated retardation optical element, process of producing the same, and liquid crystal display |
| US6751003B2 (en) | 2002-09-12 | 2004-06-15 | Eastman Kodak Company | Apparatus and method for selectively exposing photosensitive materials using a reflective light modulator |
| US6920272B2 (en) | 2002-10-09 | 2005-07-19 | Nanoopto Corporation | Monolithic tunable lasers and reflectors |
| US7013064B2 (en) * | 2002-10-09 | 2006-03-14 | Nanoopto Corporation | Freespace tunable optoelectronic device and method |
| US6665119B1 (en) * | 2002-10-15 | 2003-12-16 | Eastman Kodak Company | Wire grid polarizer |
| JP4376507B2 (ja) | 2002-11-01 | 2009-12-02 | リコー光学株式会社 | 偏光光学素子 |
| JP4363029B2 (ja) | 2002-11-06 | 2009-11-11 | ソニー株式会社 | 分割波長板フィルターの製造方法 |
| US6811274B2 (en) | 2002-12-04 | 2004-11-02 | General Electric Company | Polarization sensitive optical substrate |
| JP3599052B2 (ja) | 2002-12-13 | 2004-12-08 | ソニー株式会社 | 画像表示装置 |
| US7113336B2 (en) | 2002-12-30 | 2006-09-26 | Ian Crosby | Microlens including wire-grid polarizer and methods of manufacture |
| US7113335B2 (en) * | 2002-12-30 | 2006-09-26 | Sales Tasso R | Grid polarizer with suppressed reflectivity |
| EP1597616A4 (en) * | 2003-02-10 | 2008-04-09 | Nanoopto Corp | UNIVERSAL BROADBAND POLARIZER, DEVICES COMPRISING THE POLARIZER, AND METHOD FOR MANUFACTURING THE POLARIZER |
| US6943941B2 (en) | 2003-02-27 | 2005-09-13 | Asml Netherlands B.V. | Stationary and dynamic radial transverse electric polarizer for high numerical aperture systems |
| US20040174596A1 (en) * | 2003-03-05 | 2004-09-09 | Ricoh Optical Industries Co., Ltd. | Polarization optical device and manufacturing method therefor |
| WO2004081620A1 (ja) | 2003-03-13 | 2004-09-23 | Asahi Glass Company Limited | 回折素子および光学装置 |
| US20060192960A1 (en) | 2003-03-24 | 2006-08-31 | Rencs Erik V | Polarization detection |
| JP2004309903A (ja) | 2003-04-09 | 2004-11-04 | Ricoh Opt Ind Co Ltd | 無機偏光素子および偏光光学素子および液晶素子 |
| US7159987B2 (en) | 2003-04-21 | 2007-01-09 | Seiko Epson Corporation | Display device, lighting device and projector |
| US20040227994A1 (en) | 2003-05-16 | 2004-11-18 | Jiaying Ma | Polarizing beam splitter and projection systems using the polarizing beam splitter |
| US6846089B2 (en) | 2003-05-16 | 2005-01-25 | 3M Innovative Properties Company | Method for stacking surface structured optical films |
| WO2004106982A2 (en) | 2003-05-22 | 2004-12-09 | Optical Research Associates | Optical combiner designs and head mounted displays |
| US20040258355A1 (en) | 2003-06-17 | 2004-12-23 | Jian Wang | Micro-structure induced birefringent waveguiding devices and methods of making same |
| DE10327963A1 (de) | 2003-06-19 | 2005-01-05 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Polarisationsstrahlteiler |
| US6769779B1 (en) | 2003-07-22 | 2004-08-03 | Eastman Kodak Company | Housing for mounting modulation and polarization components in alignment with an optical path |
| US6821135B1 (en) | 2003-08-06 | 2004-11-23 | Tyco Electronics Corporation | Alignment plate for aligning connector terminals |
| EP1660240A2 (en) | 2003-08-19 | 2006-05-31 | Nanoopto Corporation | Sub-micron-scale patterning method and system |
| JP4386413B2 (ja) * | 2003-08-25 | 2009-12-16 | 株式会社エンプラス | ワイヤーグリッド偏光子の製造方法 |
| JP4593894B2 (ja) | 2003-09-01 | 2010-12-08 | キヤノン株式会社 | 光学式エンコーダ |
| DE10341596B4 (de) * | 2003-09-05 | 2009-01-29 | Carl Zeiss | Polarisationsstrahlteiler |
| JP4475501B2 (ja) | 2003-10-09 | 2010-06-09 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | 分光素子、回折格子、複合回折格子、カラー表示装置、および分波器 |
| JP2005121906A (ja) | 2003-10-16 | 2005-05-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | 反射型光変調アレイ素子及び露光装置 |
| TWI223103B (en) | 2003-10-23 | 2004-11-01 | Ind Tech Res Inst | Wire grid polarizer with double metal layers |
| JP2005172844A (ja) | 2003-12-05 | 2005-06-30 | Enplas Corp | ワイヤグリッド偏光子 |
| KR20050057767A (ko) | 2003-12-11 | 2005-06-16 | 엘지전자 주식회사 | 해상도 향상 장치 및 방법 그리고 이를 이용한디스플레이장치 |
| US7203001B2 (en) | 2003-12-19 | 2007-04-10 | Nanoopto Corporation | Optical retarders and related devices and systems |
| TWI230834B (en) | 2003-12-31 | 2005-04-11 | Ind Tech Res Inst | High-transmissivity polarizing module constituted with sub-wavelength structure |
| JP4527986B2 (ja) | 2004-01-07 | 2010-08-18 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | ワイヤグリッド型偏光子 |
| US20070195676A1 (en) | 2004-01-16 | 2007-08-23 | Koninklijke Philips Electronic, N.V. | Optical system |
| US7234816B2 (en) | 2004-02-03 | 2007-06-26 | 3M Innovative Properties Company | Polarizing beam splitter assembly adhesive |
| US7142375B2 (en) | 2004-02-12 | 2006-11-28 | Nanoopto Corporation | Films for optical use and methods of making such films |
| JP2005242080A (ja) | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Victor Co Of Japan Ltd | ワイヤグリッドポラライザ |
| CN100337143C (zh) | 2004-03-03 | 2007-09-12 | 株式会社日立制作所 | 光学单元以及使用该光学单元的投影型图像显示装置 |
| JP4451268B2 (ja) | 2004-03-04 | 2010-04-14 | 株式会社リコー | 光学素子及びその製造方法と、これを用いた光学製品、光ピックアップ及び光情報処理装置 |
| US7256938B2 (en) | 2004-03-17 | 2007-08-14 | General Atomics | Method for making large scale multilayer dielectric diffraction gratings on thick substrates using reactive ion etching |
| US7025464B2 (en) | 2004-03-30 | 2006-04-11 | Goldeneye, Inc. | Projection display systems utilizing light emitting diodes and light recycling |
| US7670758B2 (en) | 2004-04-15 | 2010-03-02 | Api Nanofabrication And Research Corporation | Optical films and methods of making the same |
| US20050275944A1 (en) | 2004-06-11 | 2005-12-15 | Wang Jian J | Optical films and methods of making the same |
| US7155073B2 (en) | 2004-05-07 | 2006-12-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Polarization element and optical device using polarization element |
| US20060001969A1 (en) | 2004-07-02 | 2006-01-05 | Nanoopto Corporation | Gratings, related optical devices and systems, and methods of making such gratings |
| JP4442760B2 (ja) | 2004-08-06 | 2010-03-31 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | 無機物の選択的パターン形成方法及びグリッド型偏光素子 |
| DE102004041222A1 (de) | 2004-08-26 | 2006-03-02 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Photonische Kristallstruktur |
| US7414784B2 (en) | 2004-09-23 | 2008-08-19 | Rohm And Haas Denmark Finance A/S | Low fill factor wire grid polarizer and method of use |
| US7466484B2 (en) | 2004-09-23 | 2008-12-16 | Rohm And Haas Denmark Finance A/S | Wire grid polarizers and optical elements containing them |
| KR100623026B1 (ko) | 2004-10-06 | 2006-09-19 | 엘지전자 주식회사 | 선 격자 편광자 및 그 제조방법 |
| JP2006126338A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 偏光子およびその製造方法 |
| JP2006133403A (ja) | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Canon Inc | 偏光分離素子 |
| JP2006133402A (ja) | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Canon Inc | 偏光分離素子及びそれを有する光学系 |
| US7351346B2 (en) | 2004-11-30 | 2008-04-01 | Agoura Technologies, Inc. | Non-photolithographic method for forming a wire grid polarizer for optical and infrared wavelengths |
| WO2007044028A2 (en) | 2004-11-30 | 2007-04-19 | Agoura Technologies, Inc. | Applications and fabrication techniques for large scale wire grid polarizers |
| US7630133B2 (en) | 2004-12-06 | 2009-12-08 | Moxtek, Inc. | Inorganic, dielectric, grid polarizer and non-zero order diffraction grating |
| US7570424B2 (en) * | 2004-12-06 | 2009-08-04 | Moxtek, Inc. | Multilayer wire-grid polarizer |
| US7800823B2 (en) | 2004-12-06 | 2010-09-21 | Moxtek, Inc. | Polarization device to polarize and further control light |
| US7619816B2 (en) | 2004-12-15 | 2009-11-17 | Api Nanofabrication And Research Corp. | Structures for polarization and beam control |
| JP2006201540A (ja) | 2005-01-21 | 2006-08-03 | Asahi Kasei Corp | ワイヤグリッド偏光板及びその製造方法 |
| JP4652110B2 (ja) | 2005-04-21 | 2011-03-16 | 株式会社日立製作所 | 投射型映像表示装置 |
| US8237876B2 (en) | 2005-05-25 | 2012-08-07 | Kim Leong Tan | Tilted C-plate retarder compensator and display systems incorporating the same |
| US20070022349A1 (en) | 2005-07-07 | 2007-01-25 | Agilent Technologies, Inc. | Test apparatus with tester channel availability identification |
| JP4275692B2 (ja) | 2005-10-17 | 2009-06-10 | 旭化成株式会社 | ワイヤグリッド偏光板及びそれを用いた液晶表示装置 |
| US20070183035A1 (en) | 2005-10-31 | 2007-08-09 | Koji Asakawa | Short-wavelength polarizing elements and the manufacture and use thereof |
| US7475991B2 (en) | 2005-12-22 | 2009-01-13 | 3M Innovative Properties Company | Polarizing beamsplitter assembly |
| US20070217008A1 (en) | 2006-03-17 | 2007-09-20 | Wang Jian J | Polarizer films and methods of making the same |
| JP2007257750A (ja) | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Hitachi Media Electoronics Co Ltd | 光ピックアップおよび光ディスク装置 |
| JP3126910U (ja) | 2006-04-04 | 2006-11-16 | シンク精機株式会社 | 版面潰版装置 |
| US20070242352A1 (en) | 2006-04-13 | 2007-10-18 | Macmaster Steven William | Wire-grid polarizers, methods of fabrication thereof and their use in transmissive displays |
| JP2009545773A (ja) | 2006-08-01 | 2009-12-24 | リアル・ディ | 形態複屈折型偏光ビームスプリッタを用いたＬＣｏＳプロジェクションシステム用の補償スキーム |
| US20080316599A1 (en) | 2007-06-22 | 2008-12-25 | Bin Wang | Reflection-Repressed Wire-Grid Polarizer |
| US7755718B2 (en) | 2007-08-10 | 2010-07-13 | Seiko Epson Corporation | Optical element, liquid crystal device, and display |
| JP4412388B2 (ja) | 2007-10-31 | 2010-02-10 | セイコーエプソン株式会社 | 光学素子、液晶装置及び電子機器 |
| EP2261704A4 (en) | 2008-04-03 | 2012-10-10 | Asahi Glass Co Ltd | ROTATING GRID POLARIZER AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME |
| EP2299299A4 (en) | 2008-07-10 | 2013-05-29 | Asahi Glass Co Ltd | WIRE GRID TYPE POLARIZER, AND METHOD FOR MANUFACTURING THE POLARIZER |
-
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-
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-
2011
- 2011-09-16 US US13/234,444 patent/US20120008205A1/en not_active Abandoned
Cited By (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006330178A (ja) * | 2005-05-24 | 2006-12-07 | Sony Corp | 光学装置及び光学装置の製造方法 |
| JP2008046637A (ja) * | 2006-08-10 | 2008-02-28 | Samsung Sdi Co Ltd | 偏光子及びそれを備える平板表示装置 |
| JP4694541B2 (ja) * | 2006-08-10 | 2011-06-08 | 三星モバイルディスプレイ株式會社 | 偏光子及びそれを備える平板表示装置 |
| JP2014219697A (ja) * | 2006-08-15 | 2014-11-20 | ポラリゼーション ソリューションズ エルエルシー | 直線偏光子、システムと方法、及び製作方法 |
| JP2013117727A (ja) * | 2006-08-15 | 2013-06-13 | Polarization Solutions Llc | Ｕｖ露光システム |
| JP2010530994A (ja) * | 2007-06-22 | 2010-09-16 | モックステック・インコーポレーテッド | 選択吸収性ワイヤーグリッド偏光素子 |
| JP2012256055A (ja) * | 2007-06-22 | 2012-12-27 | Moxtek Inc | 選択吸収性ワイヤーグリッド偏光素子 |
| JP2010186164A (ja) * | 2009-01-13 | 2010-08-26 | Canon Inc | 光学素子 |
| US8777416B2 (en) | 2011-03-28 | 2014-07-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Polarization beam splitting element and image projection apparatus |
| JP2012203329A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Canon Inc | 偏光分離素子および画像投射装置 |
| US11789198B2 (en) | 2015-11-06 | 2023-10-17 | Magic Leap, Inc. | Metasurfaces for redirecting light and methods for fabricating |
| US11360306B2 (en) | 2016-05-06 | 2022-06-14 | Magic Leap, Inc. | Metasurfaces with asymmetric gratings for redirecting light and methods for fabricating |
| KR102603675B1 (ko) * | 2016-05-06 | 2023-11-16 | 매직 립, 인코포레이티드 | 광을 재지향시키기 위한 비대칭 격자들을 가진 메타표면들 및 제조를 위한 방법들 |
| JP2019523895A (ja) * | 2016-05-06 | 2019-08-29 | マジック リープ， インコーポレイテッドＭａｇｉｃ Ｌｅａｐ，Ｉｎｃ． | 光を再指向させるための非対称格子を有するメタ表面および製造方法 |
| US11796818B2 (en) | 2016-05-06 | 2023-10-24 | Magic Leap, Inc. | Metasurfaces with asymetric gratings for redirecting light and methods for fabricating |
| KR20230021190A (ko) * | 2016-05-06 | 2023-02-13 | 매직 립, 인코포레이티드 | 광을 재지향시키기 위한 비대칭 격자들을 가진 메타표면들 및 제조를 위한 방법들 |
| JP2019505081A (ja) * | 2016-06-01 | 2019-02-21 | 武漢華星光電技術有限公司 | バックライトモジュール |
| JP2019536080A (ja) * | 2016-11-22 | 2019-12-12 | モックステック・インコーポレーテッド | 両側において高い反射率を有するワイヤグリッド偏光子 |
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| US11243338B2 (en) | 2017-01-27 | 2022-02-08 | Magic Leap, Inc. | Diffraction gratings formed by metasurfaces having differently oriented nanobeams |
| US11681153B2 (en) | 2017-01-27 | 2023-06-20 | Magic Leap, Inc. | Antireflection coatings for metasurfaces |
| JPWO2019009151A1 (ja) * | 2017-07-03 | 2020-06-18 | Ｓｃｉｖａｘ株式会社 | 光学部材およびこれを用いた光学系装置 |
| WO2019009151A1 (ja) * | 2017-07-03 | 2019-01-10 | Ｓｃｉｖａｘ株式会社 | 光学部材およびこれを用いた光学系装置 |
| JP2021517980A (ja) * | 2018-04-12 | 2021-07-29 | モックステック・インコーポレーテッド | 偏光子ナノインプリントリソグラフィ |
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| JP2022510085A (ja) * | 2018-10-03 | 2022-01-26 | モックステック・インコーポレーテッド | 耐久性のある高性能ワイヤグリッド偏光子 |
| JP7175390B2 (ja) | 2018-10-03 | 2022-11-18 | モックステック・インコーポレーテッド | 耐久性のある高性能ワイヤグリッド偏光子 |
| US10877363B2 (en) | 2018-12-18 | 2020-12-29 | Seiko Epson Corporation | Display device and reflective polarizing element |
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