JP2019536080A - 両側において高い反射率を有するワイヤグリッド偏光子 - Google Patents
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Abstract
Description
本明細書で使用するとき、用語「細長い」は、ワイヤ16の長さLがワイヤの幅Wまたはワイヤの厚さTh16よりも相当に大きいことを意味する(例えば、Lは、ワイヤの幅Wおよび/またはワイヤの厚さTh16よりも少なくとも10倍、少なくとも100倍、少なくとも1000倍または少なくとも10,000倍大きいことができる)。
1.WGP10の第1の側10fおよびWGP10の第2の側10sの両方における入射光の一方の偏光(例えば、s偏光)の等しい反射率のために(例えば、Rs1=Rs2のために)、以下:第1の厚さTh1を画定する第1の透明層11の厚さ、第2の厚さTh2を画定する第2の透明層12の厚さ、第3の厚さTh3を画定する第3の透明層13の厚さおよび第4の厚さTh4を画定する第4の透明層14の厚さを算出するステップ、
2.以下の順序で以下の薄膜のスタック:
a.第1の厚さTh1を有する第1の透明層41の材料、
b.第2の厚さTh2を有する第2の透明層42の材料、
c.反射層45の材料、
d.第3の厚さTh3を有する第3の透明層43の材料、および
e.第4の厚さTh4を有する第4の透明層44の材料
を堆積させるステップ(図4を参照されたい)、
3.薄膜のスタックをエッチングしてワイヤ16のアレイを形成するステップ(図1を参照されたい)。
Claims (10)
- ワイヤグリッド偏光子(WGP)であって、
第1の側と、前記第1の側と反対の第2の側とを有する透明基板、
前記透明基板の前記第1の側の上に配置されたワイヤのアレイであって、隣接するワイヤ間のチャネルを有するワイヤのアレイ
を含み、
前記ワイヤの各々は、以下の順序で以下の層:前記透明基板の最も近くに配置された第1の透明層、第2の透明層、反射層、第3の透明層および前記透明基板から最も遠くに配置された第4の透明層を含む層のスタックを含み、および
光の可視スペクトル内の少なくとも100nmの波長範囲について、前記第1の透明層の屈折率(n1)は、前記第2の透明層の屈折率(n2)よりも大きく、かつ前記第4の透明層の屈折率(n4)は、前記第3の透明層の屈折率(n3)よりも大きい、ワイヤグリッド偏光子(WGP)。 - 光の可視スペクトル内の少なくとも100nmの波長範囲について、n1−n2>0.5およびn4−n3>0.5である、請求項1に記載のWGP。
- 光の可視スペクトル内の少なくとも100nmの波長範囲について、n1>2.0、n4>2.0、n2<1.55およびn3<1.55である、請求項1に記載のWGP。
- 前記第1の透明層の材料組成は、前記第4の透明層の材料組成と同じであり、および
前記第2の透明層の材料組成は、前記第3の透明層の材料組成と同じであるが、前記第1の透明層および前記第4の透明層の前記材料組成と異なる、請求項1〜3のいずれか一項に記載のWGP。 - 前記第1の透明層の前記材料組成および前記第4の透明層の前記材料組成は、二酸化チタンを含み、および
前記第2の透明層の前記材料組成および前記第3の透明層の前記材料組成は、二酸化ケイ素を含む、請求項4に記載のWGP。 - 光の可視スペクトル内の少なくとも100nmの波長範囲について、Rs1>93%およびRs2>93%であり、ここで、Rs1は、前記WGPの第1の側からのs偏光の反射率であり、Rs2は、前記WGPの第2の側からのs偏光の反射率であり、s偏光は、入射光の主として反射された偏光であり、前記WGPの前記第1の側は、前記ワイヤのアレイが配置される前記WGPの側であり、および前記WGPの前記第2の側は、前記WGPの前記第1の側の反対にあり、かつ前記透明基板が配置される前記WGPの側である、請求項1〜5のいずれか一項に記載のWGP。
- 光の可視スペクトル内の少なくとも100nmの波長範囲について、|Rs1−Rs2|<2%である、請求項6に記載のWGP。
- 2つのプリズム間に挟まれており、キューブ偏光ビームスプリッタを形成する、請求項1〜7のいずれか一項に記載のWGP。
- 前記層のスタックは、第5の透明層、第6の透明層、第7の透明層および第8の透明層をさらに含み、
前記層のスタックは、以下の順序で以下の層:前記透明基板の最も近くに配置された前記第5の透明層、前記第6の透明層、前記第1の透明層、前記第2の透明層、前記反射層、前記第3の透明層、前記第4の透明層、前記第7の透明層、次に前記透明基板から最も遠くに配置された前記第8の透明層を含み、
光の可視スペクトル内の少なくとも100nmの波長範囲について、前記第5の透明層の屈折率は、前記第6の透明層の屈折率よりも大きく、かつ前記第8の透明層の屈折率は、前記第7の透明層の屈折率よりも大きい、請求項1〜8のいずれか一項に記載のWGP。 - 請求項1〜9のいずれか一項に記載のWGPを製作する方法であって、以下の順序で以下のステップ:
前記透明基板の前記第1の側および前記透明基板の前記第2の側の両方における入射光の一方の偏光の等しい反射率のために、以下の厚さ:第1の厚さを画定する前記第1の透明層の厚さ、第2の厚さを画定する前記第2の透明層の厚さ、第3の厚さを画定する前記第3の透明層の厚さおよび第4の厚さを画定する前記第4の透明層の厚さを算出するステップと、
以下の順序で以下の薄膜のスタック:前記第1の厚さを有する前記第1の透明層の材料、前記第2の厚さを有する前記第2の透明層の材料、前記反射層の材料、前記第3の厚さを有する前記第3の透明層の材料、次に前記第4の厚さを有する前記第4の透明層の材料を堆積させるステップと、
前記薄膜のスタックをエッチングして前記ワイヤのアレイを形成するステップと
を含む方法。
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