JPH0342514B2 - - Google Patents

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JPH0342514B2
JPH0342514B2 JP57192478A JP19247882A JPH0342514B2 JP H0342514 B2 JPH0342514 B2 JP H0342514B2 JP 57192478 A JP57192478 A JP 57192478A JP 19247882 A JP19247882 A JP 19247882A JP H0342514 B2 JPH0342514 B2 JP H0342514B2
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capacitor
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switch transistor
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Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は半導体メモリに係り、特に平面面積を
増大することなく大容量を実現し、大規模化に適
する１トランジスタ型ダイナミツクMOSメモリ
に関する。
〔従来技術〕
MOSダイナミツクメモリは1970年初頭に1Kb
のダイナミツクランダムアクセスメモリ（以下
dRAMと略す）が発売されてから、３年に４倍
の大規模化が達成されてきた。しかるに、このメ
モリチツプを入れるパツケージは、主に16ピン
DIP（デユアルインランパツケージ）が用いられ
てきており、チツプを入れるキヤビテイサイズも
制限されていることから、メモリチツプも４倍の
大規模化に伴なつてもたかだか1.4倍程度にしか
増大していない。（またdRAMは大量に用いられ
ることから、コスト面でもチツプ増大をおさえる
必要がある。）従つて、１記憶容量単位たる１ビ
ツト分のメモリセル面積も大きく減少しており、
４倍の大規模化に伴なつて、約1/3に微小化して
いる。キヤパシタ容量ＣはＣ＝εA／Ti（ここで
ε：絶縁膜の誘電率、Ａ：キヤパシタ面積、Ti：
絶縁膜厚）で表わされるので、面積Ａが1/3にな
ればεとＴが同じである限りＣもまた1/3になる。
記憶容量としての信号量Ｓは、貯えられる電荷量
QSに比例しており、QSはＣと記憶電圧VSとの積
であることから、Ａが小さくなれば比例してQS
も小さくなり、信号Ｓはそれに伴なつて小さくな
る。
雑音電圧をＮとすれば信号対雑音比（Ｓ／Ｎ
比）はＳの減少に伴なつて小さくなり、回路動作
上大きな問題となる。従つて通常はＡの減少分を
Tiの減少で補なつてきており、4Kb、16Kb、
64KbとdRAMが大規模化されるに伴ない、絶縁
膜としてのSiO2膜の典型的な厚さTiは、100nｍ、
75nｍ、50nｍと小さくなつてきた。
このような状態を解決する為に、溝型容量を用
いた半導体メモリセルが考えられている（例え
ば、特開昭51−130178号や特開昭52−154390号公
報参照）。
さらに最近、パツケージなどに含まれる重金属
（Ｕ、Th等）から放射されるα粒子によつてSi基
板内に約200fCの電荷が発生して、これが雑音と
なることが確認され高信頼動作上信号量としての
電荷もほぼ200fC以下にすることが困難となつて
きた。
従つて絶縁膜をさらに加速して薄くすることが
実行されており、この場合には絶縁膜の絶縁破壊
が問題となつてきた。SiO2膜の絶縁耐圧電界は、
最大107V／cmであり、従つて10nｍのSiO2膜は
10V印加によつてほとんど永久破壊を起すか、あ
るいは劣化する。また永久破壊を起さないまでも
最大電界付近で使用することは、長期信頼上大き
な問題である。
〔発明の目的〕
本発明の目的はこれらのメモリセルの微小化に
伴なうα粒子による擾乱、Ｓ／Ｎ比の悪化、絶縁
耐圧の問題の深刻化に対処し、メモリセルを微小
化してもなお絶縁膜厚を減少することなく、キヤ
パシタ面積Ａを保つか、あるいは増大できる方法
を提供することである。
〔発明の概要〕
本発明の骨子は、Si基板に堀り込んだ溝の側壁
部をプレートとし、この溝に絶縁膜でへだてて埋
め込んだ電極をキヤパシタ電極の主部として用い
ることにより平面面積を増大することなく電極面
積を増大することにある。これにより、絶縁膜を
薄くしてその絶縁膜の破壊、劣化の恐れを増大さ
せることなしに所望のキヤパシタ容量を得ること
ができる。
〔発明の実施例〕
第１図は１トランジスタ型dRAMメモリセル
の構成図を示すものであり、電荷を貯えるキヤパ
シタ１とスイツチトランジスタ２で構成され、ス
イツチトランジスタのドレインはビツト線３に接
続されており、ゲートはワード線４に接続されて
いる。
このメモリセルは、キヤパシタ１に貯えた信号
電荷をスイツチトランジスタ２によつて読み出す
ことによつて動作が行われる。実際にＮビツトの
メモリを構成するにはメモリアレーを形成する
が、大別して以下に述べる２つの方法がある。
第２図には信号を差動で増幅するセンスアンプ
５に対し、両側にビツト線３−１と３−２を配列
するいわゆる“開放ビツト線”構成を示す。これ
は１本のワード線４−１に対して一方のビツト線
３−１のみが電気的に交叉しているものであり、
ビツト線３−１と３−２の信号の差をセンスアン
プ５で検出するものである。
第３図は他方の“折り返しビツト線”構成を示
すものであり、センスアンプ５に接続されている
二本のビツト線３−１，３−２が平行に配列され
ており、一本のワード線４−１が二本のビツト線
３−１，３−２と交叉している。
後述する本発明の実施例は主に折り返しビツト
線構成の場合を示すが、同様に開放ビツト線構成
にも適用可能である。
第２図と第３図に示すようにビツト線３−２の
寄生容量６の値をCDとし、メモリセルのキヤパ
シタ１−２の値をCSとすれば、このメモリアレー
の主要な性能指標の一つがCS／CDとなる。この
メモリアレーのＳ／Ｎ比はCS／CDと一対一対応
しており、メモリセルのキヤパシタの値を大きく
すると同時に、ビツト線３の寄生容量CDの値を
小さくすることも同様にＳ／Ｎ比を向上すること
になる。
第４図に折り返しビツト線方式のメモリセルの
平面の１例を示す。通常100nｍ以上の厚いフイ
ールド酸化膜に囲まれた活性領域７の一部がキヤ
パシタを形成するため、プレート８で覆われてい
る。スイツチトランジスタを形成する部分と、Si
基板上のドレインへビツト線電極接続を行うコン
タクト孔９の部分はプレート・８が選択的に除去
されており、この部分にワード線４−１，４−２
が被着されて、スイツチトランジスタ２を形成し
ている。理解を助けるため第５図には、第４図の
AA′断面図を示す。
以後説明の便のためトランジスタはｎチヤネル
型を用いた例を示す。ｐチヤネル型にするには、
一般にSi基板と拡散層の導電型をそれぞれｎチヤ
ネルの場合と逆にすればよい。
第５図に示した従来のメモリセルは、ｐ型、10
Ω−cm程度のSi基板１０上に、通常は100〜1000n
ｍ厚程度のフイールドSiO2膜１１をSi3N4を熱酸
化マスクとして用いるいわゆるLOCOS法によつ
て選択的に被着する。この後リンやAs添加した
多結晶Si（以下poly Siと略す）に代表されるプレ
ート８を選択的に被着し、このpoly Siのプレー
ト８を酸化して、第１層間酸化膜１３を形成す
る。しかる後に、poly SiやMoシリサイド、ある
いはリフラクトリー金属（MoやＷ等）に代表さ
れるワード線４を被着し、リンやAsをイオン打
込みすると、プレート８とワード線４の被着され
ていない活性領域にn+の拡散層１５が形成され
て、スイツチトランジスタ２のソースとドレイン
となる。この後リンを含んだいわゆるCVD法に
よるPSG（phosoho−silicate glass）を200〜
1000nｍ厚に被着して第２層間絶縁膜１４を形成
しAl電極で代表されるビツト線３の拡散層１５
への接続を行う部分にコンタクト孔９を形成して
ビツト線３を選択的に被着する。
このメモリセルにおいては、記憶容量となるキ
ヤパシタ１の領域１６は第４図の斜線で示される
部分であり、メモリセル自体が小さくなればまた
領域１６も小さくなり、ゲート酸化膜１２を薄く
しない限り、前述したようにキヤパシタ容量CSが
小さくなりメモリ動作上大きな障害となる。
上記説明では、便宜上、プレート８とワード線
４（すなわちスイツチトランジスタ２のゲート）
下の絶縁膜は同じSiO2膜１２としたが、メモリ
セルのキヤパシタの値CSを大きくすることを主目
的とし、プレート８下の絶縁膜は、SiO2とSi3N4
のどちらか一方あるいは両方を用いて１層〜３層
構造の絶縁膜が用いられることもある。
本発明は従来の上記構造の欠点を補ない、平面
面積を拡大することなくCSを増大することを目的
としている。
以下実施例を用いて本発明を詳細に説明する。
まず第６図に本発明の１つの実施例の平面図を示
す。第４図に示した従来のメモリセルと対比して
異なる点はSi基板１０に堀り込んだ溝１７の側壁
部にSi基板と同導型の低い抵抗層を設け、これを
プレート８とし、この溝に埋め込んだ電極をキヤ
パシタ電極２０としたところにある。
以下本発明にかかる半導体メモリの製造工程を
詳細に記す。まず第８図に示すように、ｐ型、１
〜20Ω−cmのSi基板１０に前述のLOCOS法でフ
イールド酸化膜１１を形成した後ＦやClを含むガ
ス例えばSF6やCCl4等を主成分とした平行平板型
プラズマエツチングで所定の大きさの溝１７を形
成する。通常は１〜5μｍ深さのエツチング溝を
形成するので、通常のホトレジストで一旦
CVDSiO2膜に溝のパターンを転写し、この
CVDSiO2膜をマスクとして溝１７を形成する。
この後よく知られた拡散法等によつてSi基板と同
導電型の導電率１Ω−cm以下のp+層８を溝の側
壁と下部に形成しプレート８とする。その後第９
図に示すように、SiO2やSi3N4の単層あるいはそ
れらの複合膜、あるいはTa2O5等で代表されるキ
ヤパシタ絶縁膜１８を被着する。このキヤパシタ
絶縁膜１８の所定の部分にSi基板１０に達するキ
ヤパシタ電極接続孔２０を形成し、この接続孔２
０を介して、poly Siのキヤパシタ電極１９をSi
基板１０に接続されるように所定の部分に被着す
る。poly Si１９の厚さが溝１７の内壁間幅の1/2
以上であれば第９図に示すごとく溝１７はほぼ
poly Si１９で埋めることができる。poly Si１９
は導電性を持たせるため、ＰやAsを添加するの
で結果としてSi基板１０中にn+の拡散層１５が形
成される。
その後第１０図に示すように、poly Si１９を
800〜1100℃の乾燥あるいは湿式酸化法で酸化し、
100〜200nｍの第１層間絶縁膜１３を形成し、ス
イツチトランジスタ２を形成すべき部分に10〜
50nｍ厚のゲート酸化膜１２を形成しさらにその
上にpoly Siや、Moシリサイド、あるいはMo、
Ｗ等のゲート（ワード線４）を被着する。その後
イオン打込み法でAs等を打込み、n+拡散層１５
を形成する。
さらにCVDPSGで代表される第２層間絶縁膜
１４を被着してn+拡散層１５へのコンタクト孔
９を形成し、Alに代表されるビツト線３を被着
する。
このようにすることによつて、キヤパシタ１
は、キヤパシタ絶縁膜１８とそれをはさんだ二つ
の電極すなわちキヤパシタ電極１９とプレート８
によつて形成される。プレート８がSi基板１０と
同じｐ型であるとすると、キヤパシタ電極１９が
正電位になるので最大の電位でプレート８表面が
空乏化あるいは反転層が形成されないように十分
にｐ型不純物濃度を高めておく必要がある。一
方、プレート８をｎ型にした本発明の他の実施例
の場合にはキヤパシタ電極１９が正電位となつた
としても、プレート８表面は蓄積態であるから問
題はない。プレート８をｎ型とした場合には、第
６図の溝１７に示すように、溝１７の周辺にn+
層が離間して設けられているので、これらを接続
する必要があり、第１１図に示すようにSi基板に
ｎ型を用い、この表面上にｐ型のエピタキシヤル
層を形成すれば離間したプレート８はすべてｎ型
のSi基板１０に接続される。このSi基板は接地電
位にしうるので雑音電圧の影響も小さい。製造法
は第８図〜第１０図で説明した前実施例のSi基板
のかわりに、エピタキシヤル層２１積層したSi基
板１０を用いればよい。
第１２図に本発明の他の実施例を示す。前述の
実施例のキヤパシタ電極１９はプレート８との間
でキヤパシタ１を形成しているが、本例は、第１
層間絶縁膜１３を介して第２プレート２２を被着
し、この間でもキヤパシタを形成している点に特
徴がある。この場合プレート８との間のキヤパシ
タに本キヤパシタが加わるのでより大容量のキヤ
パシタを得ることができる。また接地電位にしう
る第２プレート１３はキヤパシタ電極１９のシー
ルドともなり、雑音に強い。
以上の本発明の実施例はスイツチトランジスタ
２をSi基板１０かエピタキシヤル層２１表面上に
形成したものである。第１３図に本発明の他の実
施例を示す。
すでに上記実施例で説明したようにキヤパシタ
絶縁膜１８を被着した後にSiの単結晶膜を形成
し、後の工程でキヤパシタ電極１９と拡散層部１
５になる部分を含むSOI（Ｓilicon Ｏｎ Ｉ
nsulatorの略）構造を形成する。これは全面ある
いは一部の面に多結晶あるいは無定形
（amorphous）のSi膜を被着しておき、全面ある
いは一部の面をレーザー光や熱ヒーターで加熱
し、一度溶解するかあるいは固相のままで絶縁膜
上に単結晶層２３を成長させるものである。（第
１３図には示していないが、SOI構造のSi膜の一
部をSi基板１０に接触しておくと、単結晶化が容
易に行えるので利点が大きい。） その後SOI部２３上にゲート酸化膜１２さらに
はゲート４を被着し、n+層を形成して一方はキ
ヤパシタ電１９とし、他方はビツト線３に接続さ
れる拡散層１５とする。その後の工程は前実施例
と同様である。本実施例は、スイツチトランジス
タ２がSi基板１１上にないので、基板１１は任意
の導電型をとりうる。すなわちｎ型にすれば特に
プレート８を設けなくてもSi基板１０そのものが
プレートとなる。
一般に本ダイナミツクメモリはメモリセルの周
辺に程々な機能をもつた周辺回路を形成するので
Si基板１０全体をｎ型にはし難いが、この場合に
はプレート８を設ければよいし、メモリセルの部
分だけｎ型にすればよい。
また第１３図の実施例には第２プレートを用い
ていないが、第１２図に示した実施例で用いた第
２プレート２２を設けることもできる。
以上本発明の実施例の説明では第６図に示した
ごとく溝１７の平面パターンは単純な長方形の場
合を用いたが、キヤパシタ電極１９のプレート８
に対向する面は大きければ大きい程キヤパシタ容
量は増大するので、第１４図ａ〜ｃに示すよう
に、ａくし型に溝１７が入りくんでいる場合、ｂ
小さな溝が２つ以上設けられている場合、ｃリン
グ状に溝１７が形成されている場合は単純な長方
形よりは同平面面積でいづれもキヤパシタ容量を
増大しうる。
以上説明した実施例は多くの選択肢あるプロセ
スの中から選んでいる。従つて各工程には種々な
代替が可能であるが、いずれの場合においても、
基板に形成した溝の側壁をキヤパシタの一部とす
ることは共通している。
上記実施例では、本発明を、ワード線４がメモ
リセルアレー内で連続的なゲートとして説明した
が、メモリセル内のスイツチングトランジスタ２
のpoly Siのトランスフアーゲート４をメモリセ
ル間で連続して形成することなく離間して形成
し、新たなコンタクト孔を介してAlのワード線
４で接続することもできる。こうすると従来から
多くの実績のある多結晶Siゲートの信頼性と、
Alの抵抗の低いことから、高速のメモリのスイ
ツチング時間をうることができる。
上記のように、本発明の趣旨は、基板に堀り込
んだ溝の側壁をキヤパシタの１部とすることにあ
る。従つて基板の溝以外の部分、たとえば基板表
面部、あるいは従来から知られている多結晶Si−
Si3N4膜−多結晶Siで構成されるすなわち第にプ
レート２２等の積層コンデンサーを基板表面上に
形成して、これを側壁部のキヤパシタと並列に接
続してさらにCSを大としても、本発明の趣旨は損
われることはない。
またスイツチトランジスタは、SOI層中でSi基
板と平行に形成されているが、第１５図に示すよ
うにSOI層２３の縦方向に、トランジスタチヤネ
ル部２４を形成することもできる。本縦型チヤネ
ルトランジスタは、SOIを用いるすべてのメモリ
セルに適用しうる。
また、本発明は冒頭にも述べたように、ｎチヤ
ネル型MOSトランジスタを用いて説明したが、
Ｐチヤネル型にするにはすべての不純物の導電型
を逆にする不純物を用いることで達成できる。リ
ンやAsはＢやAlに、Ｂはリン、As、Sbなどに置
換すればよい。
〔発明の効果〕
以上本発明を詳細な実施例によつて説明してき
たが、スイツチトランジスタを基板面に形成した
ものでは同平面面積で従来型のメモリセルよりキ
ヤパシタ容量CSで２〜３倍、SOI層中に形成した
ものは数倍のCS増加が可能である。実際には、溝
の形状の完全に直平面で構成されるわけではな
く、多少丸みを帯び、また微細部でのリソグラフ
イの解像力低下のため設計形状が正方形であつた
としても、円形になる場合があるが、この場合で
もCSの減少は10〜20％にとどまる。
α線によるダイナミツクメモリの誤動作は、CS
が10％増加しても１桁以上改善される場合が多い
ので、CSの２倍以上の増加はその規模のメモリの
信頼性を上昇するばかりでなく、さらに大規模の
メモリ実現を可能とする。
また本発明は構造上、α線によつてSi基板内に
発生する大量の電子−正孔対は、直接キヤパシタ
電極１９に流入することが極めて少なく、特に
SOIを用いたものでは全く流入しないので特にα
線に対して強い特長を有する。
【図面の簡単な説明】
第１図〜第５図は従来のメモリセルを説明する
図、第６図〜第１５図はそれぞれ本発明の実施例
を示す図である。 符号の説明、１……キヤパシタ、２……スイツ
チトランジスタ、３……ビツト線、４……ワード
線、５……センスアンプ、６……寄生容量、７…
…活性領域、８……プレート、９……コンタクト
孔、１０……Si基板、１１……フイールド酸化
膜、１２……ゲート酸化膜、１３……第１層間絶
縁膜、１４……第２層間絶縁膜、１５……拡散
層、１６……キヤパシタ領域、１７……溝、１８
……キヤパシタ絶縁膜、１９……キヤパシタ電
極、２０……キヤパシタ電極接続孔、２１……エ
ピタキシヤル層、２２……第２プレート、２３…
…SOI部、２４……トランジスタチヤネル部。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 複数のワード線と、該ワード線と交叉して設
    けられた複数のビツト線と、該ワード線とビツト
    線との交点に設けられた複数のメモリセルと、 上記メモリセルは情報を蓄積するための容量
    と、該容量への情報の読み書きを制御するスイツ
    チトランジスタとを含み、 上記容量は半導体基体に設けられた溝と、該溝
    の表面に設けられた不純物領域と、該不純物領域
    上に設けられた絶縁膜と、該絶縁膜上に設けられ
    た電極を有し、上記半導体基体を他方の電極と
    し、該絶縁膜上に設けられた電極に情報を蓄積し
    てなり、 上記不純物領域の不純物濃度は、上記半導体基
    体の不純物濃度より高濃度に設けられ、 上記不純物領域は、上記半導体基体と同一の導
    電型からなり、 上記スイツチトランジスタの第一の電極は上記
    ワード線に電気的に接続され、上記スイツチトラ
    ンジスタの第二の電極は上記ビツト線に電気的に
    接続され、上記スイツチトランジスタの第三の電
    極は上記絶縁膜上に設けられた電極に電気的に接
    続されていることを特徴とする半導体メモリ。 ２ 上記絶縁膜は、SiO2とSi3N4の複合膜よりな
    ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
    半導体メモリ。 ３ 上記絶縁膜上に設けられた電極上には、さら
    に絶縁膜を介して第二の電極が設けられてなるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項
    のいずれかに記載の半導体メモリ。 ４ 上記ビツト線は、上記ワード線上に絶縁膜を
    介して設けられてなることを特徴とする特許請求
    の範囲第１項乃至第３項のいずれかに記載の半導
    体メモリ。
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