JP6799544B2 - 物体視野を像視野内に結像するための結像光学ユニット及びそのような結像光学ユニットを含む投影露光装置 - Google Patents
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Description
16 主光線
19a、20a 補助デバイス
dOIS 物体−像オフセット
M1 ミラー
Claims (13)
- 投影リソグラフィのための結像光学ユニット(7;21;22;23;26;27;29)であって、
結像光(3)を結像光ビーム経路に沿って物体平面(5)内の物体視野(4)から像平面(9)内の像視野(8)の中に案内するための複数のミラー(M1からM8;M1からM6;M1からM7;M1からM9;M1からM10)を含み、
前記物体視野(4)は、
第1の直交物体視野座標(x)と、
第2の直交物体視野座標(y)と、
によって張られ、
第3の直交法線座標(z)が、両方の物体視野座標(x,y)に対して垂直であり、
結像光学ユニット(7;21;22;23;26;27;29)が、
前記結像光(3)が、結像光主伝播方向(zHR)が位置する第1の結像光平面(xzHR)内を伝播し、かつ
前記結像光(3)が、前記結像光主伝播方向(zHR)が位置し、かつ前記第1の結像光平面(xzHR)に対して垂直である第2の結像光平面(yz)内を伝播する、
ように具現化され、
前記第1の結像光平面(xzHR)内を伝播する前記結像光(3)の第1の平面中間像(18)の個数と前記第2の結像光平面(yz)内を伝播する結像光(3)の第2の平面中間像(19,20;24,19,25)の個数が、互いに異なっている、
ことを特徴とする結像光学ユニット(7;21;22;23;26;27;29)。 - 前記ミラーの少なくとも1つ(M2,M3,M5,M6;M2,M3,M4,M5;M1,M2,M3,M5,M6,M7;M2,M3,M4,M5,M6,M7;M2,M3,M4,M5,M6,M7,M8)が、GIミラーとして具現化されることを特徴とする請求項1に記載の結像光学ユニット。
- 前記GIミラー(M2,M3,M5,M6;M2,M3,M4,M5;M1,M2,M3,M5,M6,M7;M2,M3,M4,M5,M6,M7;M2,M3,M4,M5,M6,M7,M8)の使用反射面が、最大で3のその面寸法のアスペクト比(y/x)を有することを特徴とする請求項2に記載の結像光学ユニット。
- より多くの中間像(19,20;24,19,25)が存在する前記結像光平面(yz)は、前記少なくとも1つのGIミラー(M2,M3,M5,M6;M2,M3,M4,M5;M1,M2,M3,M5,M6,M7;M2,M3,M4,M5,M6,M7;M2,M3,M4,M5,M6,M7,M8)の折り返し平面(yz)と一致することを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の結像光学ユニット。
- 前記中間像のうちの1つ(19;24)が、前記GIミラー(M2;M3;M4)とその直ぐ上流の前記ビーム経路に配置されたミラーとの間の該GIミラー(M2;M3;M4)の上流の該ビーム経路内の前記折り返し平面と一致する前記結像光平面(yz)に具現化され、該中間像のうちの更に別の1つ(20;19;25)が、該GIミラー(M2;M3;M4)とその直ぐ下流の該ビーム経路に配置されたミラーとの間の該GIミラー(M2;M3;M4)の下流の該ビーム経路内の該折り返し平面と一致する該結像光平面(yz)に具現化されることを特徴とする請求項2から請求項4のいずれか1項に記載の結像光学ユニット。
- 前記結像光(3)の前記ビーム経路内で互いに続く少なくとも2つのミラーが、同じ折り返し平面(yz)を有するGIミラー(M2,M3,M5,M6;M2,M3,M4,M5;M1,M2,M3,M5,M6,M7;M2,M3,M4,M5,M6,M7;M2,M3,M4,M5,M6,M7,M8)として具現化され、該折り返し平面と一致する前記結像光平面(yz)内の中間像(19,20)が、これらの2つのGIミラー(M2,M3;M3,M4;M4,M5;M6,M7)の間の該ビーム経路に具現化されることを特徴とする請求項2から請求項5のいずれか1項に記載の結像光学ユニット。
- 前記ミラーの少なくとも1つ(M8;M6;M7;M9;M10)が、前記結像光(3)の通過のための通過開口部(17)を有し、該ミラーの該少なくとも1つは、該結像光(3)を反射するように該通過開口部(17)の周りに具現化され、少なくとも1つの中間像(18)が、該通過開口部(17)の領域に位置することを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の結像光学ユニット。
- 前記ミラーの少なくとも1つ(M1,M4,M7,M8;M1からM6;M1,M6,M7;M4,M8,M9;M1,M8,M9;M1,M9,M10)が、NIミラーとして具現化されることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の結像光学ユニット。
- 前記物体視野(4)と前記像視野(8)の間の前記結像ビーム経路内の奇数個のミラー(M1からM7;M1からM9)を特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の結像光学ユニット。
- 請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の結像光学ユニットを含み、
中間像のうちの1つ(18;19,20;24,19,25)の中間像平面に配置された補助デバイス(19a,20a)を含む、
ことを特徴とする光学系。 - 請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の結像光学ユニットを含み、
光源(2)からの照明光(3)で物体視野(4)を照明するための照明光学ユニット(6)を含む、
ことを特徴とする光学系。 - 請求項10又は請求項11に記載の光学系を含み、
照明光(3)を生成するための光源(2)を含む、
ことを特徴とする投影露光装置。 - 構造化構成要素を生成する方法であって、
レチクル(10)及びウェーハ(11)を与える段階と、
請求項12に記載の投影露光装置を用いて前記レチクル(10)上の構造を前記ウェーハ(11)の感光層の上に投影する段階と、
前記ウェーハ(11)上に微細構造又はナノ構造を生成する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
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