DE102022212120A1

DE102022212120A1 - Verfahren und fasereinblasvorrichtung

Info

Publication number: DE102022212120A1
Application number: DE102022212120.1A
Authority: DE
Inventors: Eduard SCHWEIGERT; Olaf Segschneider
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2022-11-15
Filing date: 2022-11-15
Publication date: 2023-11-23

Abstract

Ein Verfahren zum Austausch eines Spiegelheizkopfs (102) einer Projektionsbelichtungsanlage (1) gegen einen Austauschspiegelheizkopf (102'), mit folgenden Schritten: a) Zerteilen (S1) eines ein Faserbündel (104) umhüllenden Faserbündelschutzschlauchs (106) in einen ersten Faserbündelschutzschlauchabschnitt (108), der dem Spiegelheizkopf (102) zugeordnet ist, und einen zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt (110), b) Zerteilen (S2) des Faserbündels (104) in einen ersten Faserbündelabschnitt (118), der dem Spiegelheizkopf (102) zugeordnet ist, und einen zweiten Faserbündelabschnitt (120), c) Entfernen (S3) des Spiegelheizkopfs (102) mitsamt dem ersten Faserbündelschutzschlauchabschnitt (108) und dem ersten Faserbündelabschnitt (118), d) Einführen (S4) eines Faserbündels (104') des Austauschspiegelheizkopfs (102') in den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt (110), und e) Einblasen (S5) eines Gases (G) in den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt (110), so dass das Faserbündel (104') des Austauschspiegelheizkopfs (102') mit Hilfe des Gases (G) durch den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt (110) gefördert wird.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Austausch eines Spiegelheizkopfs einer Projektionsbelichtungsanlage gegen einen Austauschspiegelheizkopf und eine Fasereinblasvorrichtung zum Durchführen des vorgenannten Verfahrens.
Die Mikrolithographie wird zur Herstellung mikrostrukturierter Bauelemente, wie beispielsweise integrierter Schaltkreise, angewendet. Der Mikrolithographieprozess wird mit einer Lithographieanlage durchgeführt, welche ein Beleuchtungssystem und ein Projektionssystem aufweist. Das Bild einer mittels des Beleuchtungssystems beleuchteten Maske (Retikel) wird hierbei mittels des Projektionssystems auf ein mit einer lichtempfindlichen Schicht (Photoresist) beschichtetes und in der Bildebene des Projektionssystems angeordnetes Substrat, beispielsweise einen Siliziumwafer, projiziert, um die Maskenstruktur auf die lichtempfindliche Beschichtung des Substrats zu übertragen.
Getrieben durch das Streben nach immer kleineren Strukturen bei der Herstellung integrierter Schaltungen werden derzeit EUV-Lithographieanlagen entwickelt, welche Licht mit einer Wellenlänge im Bereich von 0,1 nm bis 30 nm, insbesondere 13,5 nm, verwenden. Bei solchen EUV-Lithographieanlagen müssen wegen der hohen Absorption der meisten Materialien von Licht dieser Wellenlänge reflektierende Optiken, das heißt Spiegel, anstelle von - wie bisher - brechenden Optiken, das heißt, Linsen, eingesetzt werden.
Im Betrieb einer derartigen Lithographieanlage kann es erforderlich sein, einzelne Spiegel oder alle Spiegel zu temperieren oder zu heizen. Hierzu können sogenannte Spiegelheizköpfe vorgesehen sein. Ein derartiger Spiegelheizkopf ist über ein von einem Faserbündelschutzschlauch umhülltes Faserbündel mit einer Laserquelle verbunden. Der Faserbündelschutzschlauch verbindet den Spiegelheizkopf mit einer Spleißbox. In der Spleißbox wird das Faserbündel mit einem weiteren Faserbündel verbunden, das wiederum mit der zuvor erwähnten Laserquelle verbunden ist.
Zum Austausch des Spiegelheizkopfs wird das Faserbündel durchtrennt. Ein neuer Spiegelheizkopf mit einem neuen Faserbündel wird an das durchtrennte Faserbündel angeschlossen und dann durch den Faserbündelschutzschlauch gezogen. Durch die Reibung zwischen dem neuen Faserbündel und dem Faserbündelschutzschlauch kann es zu unerwünscht hohen Zugspannungen in dem Faserbündel kommen, die zu einer Beschädigung des Faserbündels führen können.
Vor diesem Hintergrund besteht eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, ein verbessertes Verfahren bereitzustellen.
Demgemäß wird ein Verfahren zum Austausch eines Spiegelheizkopfs einer Projektionsbelichtungsanlage gegen einen Austauschspiegelheizkopf vorgeschlagen. Das Verfahren umfasst die folgenden Schritte: a) Zerteilen eines ein Faserbündel umhüllenden Faserbündelschutzschlauchs in einen ersten Faserbündelschutzschlauchabschnitt, der dem Spiegelheizkopf zugeordnet ist, und einen zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt, b) Zerteilen des Faserbündels in einen ersten Faserbündelabschnitt, der dem Spiegelheizkopf zugeordnet ist, und einen zweiten Faserbündelabschnitt, c) Entfernen des Spiegelheizkopfs mitsamt dem ersten Faserbündelschutzschlauchabschnitt und dem ersten Faserbündelabschnitt, d) Einführen eines Faserbündels des Austauschspiegelheizkopfs in den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt, und e) Einblasen eines Gases in den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt, so dass das Faserbündel des Austauschspiegelheizkopfs mit Hilfe des Gases durch den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt gefördert wird.
Dadurch, dass das Faserbündel des Austauschspiegelheizkopfs mit Hilfe des Gases durch den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt gefördert wird, kann auf ein Durchschieben des Faserbündels des Austauschspiegelheizkopfs durch den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt verzichtet werden. Ein unerwünschtes Knicken des Faserbündels wird hierdurch zuverlässig verhindert.
Der Spiegelheizkopf ist vorzugsweise Teil einer Spiegelheizkopfanordnung. Die Spiegelheizkopfanordnung umfasst neben dem Spiegelheizkopf den Faserbündelschutzschlauch, in dem das Faserbündel aufgenommen ist. Der Faserbündelschutzschlauch verbindet den Spiegelheizkopf mit einer Spleißbox. Innerhalb der Spleißbox ist das Faserbündel bevorzugt mit einem weiteren Faserbündel verbunden, welches wiederum mit einer Laserquelle gekoppelt ist.
Bei dem Schritt a) wird der Faserbündelschutzschlauch vorzugsweise an einer Schraubverbindung in den ersten Faserbündelschutzschlauchabschnitt und in den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt aufgeteilt. Der erste Faserbündelschutzschlauchabschnitt ist dabei insbesondere fest mit dem Spiegelheizkopf verbunden. Der zweite Faserbündelschutzschlauchabschnitt ist mit der Spleißbox verbunden. Die Verbindung zwischen dem zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt und der Spleißbox ist lösbar. Der Faserbündelschutzschlauch ist vorzugsweise gasdicht, insbesondere luftdicht.
Bei dem Schritt b) wird das Faserbündel bevorzugt an einer Trennstelle in den ersten Faserbündelabschnitt und in den zweiten Faserbündelabschnitt zerteilt. Hierbei kann das Faserbündel beispielsweise an der Trennstelle durchschnitten werden. Der erste Faserbündelabschnitt ist insbesondere fest mit dem Spiegelheizkopf verbunden. Der zweite Faserbündelabschnitt verbleibt zunächst in dem zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt. Alternativ kann der zweite Faserbündelabschnitt auch aus dem zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt entfernt werden.
Bei dem Schritt c) werden bevorzugt der Spiegelheizkopf, der ausgetauscht werden soll, der mit dem Spiegelheizkopf verbundene erste Faserbündelschutzschlauchabschnitt und der mit dem Spiegelheizkopf verbundene erste Faserbündelabschnitt entfernt und gegebenenfalls entsorgt.
Die Schritte d) und e) können gleichzeitig durchgeführt werden, so dass das Faserbündel des Austauschspiegelheizkopfs in den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt eingeführt und gleichzeitig das Gas in den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt eingeblasen wird. Es bildet sich dabei ein Gaspolster zwischen dem Faserbündel des Austauschspiegelheizkopfs und dem zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt. Dieses Gaspolster fördert das Faserbündel des Austauschspiegelheizkopfs durch den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt.
Gemäß einer Ausführungsform wird vor dem Schritt d) das Faserbündel des Austauschspiegelheizkopfs mit dem zweiten Faserbündelabschnitt verbunden, wobei nach dem Schritt e) das Faserbündel des Austauschspiegelheizkopfs von dem zweiten Faserbündelabschnitt getrennt wird.
Dies ermöglicht es, das Faserbündel des Austauschspiegelheizkopfs zusätzlich zu der Förderwirkung des Gases mit Hilfe des zweiten Faserbündelabschnitts durch den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt hindurchzuziehen. Dies vereinfacht und beschleunigt das Einbringen des Faserbündels des Austauschspiegelheizkopfs in den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt. Das Verbinden des Faserbündels des Austauschspiegelheizkopfs mit dem zweiten Faserbündelabschnitt ist jedoch optional. Das heißt insbesondere, dass das Faserbündel des Austauschspiegelheizkopfs auch ohne den zweiten Faserbündelabschnitt durch den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt hindurchgeführt werden kann.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform wird bei dem Schritt b) der zweite Faserbündelabschnitt innerhalb einer Spleißbox von einem weiteren Faserbündel getrennt.
Alternativ kann der zweite Faserbündelabschnitt auch außerhalb der Spleißbox von dem weiteren Faserbündel getrennt werden. Das weitere Faserbündel ist mit der zuvor erwähnten Laserquelle verbunden. Der Faserbündelschutzschlauch ist mit der Spleißbox verbunden. Insbesondere ist der zweite Faserbündelschutzschlauchabschnitt mit der Spleißbox verbunden. Die Verbindung zwischen dem zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt und der Spleißbox ist jedoch lösbar.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform wird vor dem Schritt d) der zweite Faserbündelschutzschlauchabschnitt von der Spleißbox getrennt, wobei nach dem Schritt e) der zweite Faserbündelschutzschlauchabschnitt wieder mit der Spleißbox verbunden wird.
Zum Verbinden des zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitts mit der Spleißbox und zum Lösen von derselben kann eine lösbare Schraubverbindung vorgesehen sein.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform wird nach dem Schritt e) das Faserbündel des Austauschspiegelheizkopfs innerhalb der Spleißbox mit dem weiteren Faserbündel verbunden.
Insbesondere wird das Faserbündel des Austauschspiegelheizkopfs innerhalb der Spleißbox mit dem weiteren Faserbündel gespleißt. Das Verbinden des Faserbündels des Austauschspiegelheizkopfs mit dem weiteren Faserbündel kann jedoch auch außerhalb der Spleißbox erfolgen.
Ferner wird eine Fasereinblasvorrichtung zum Durchführen des vorgenannten Verfahrens vorgeschlagen. Die Fasereinblasvorrichtung umfasst einen Fasereinblasadapter, der mit dem zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt verbindbar ist, um das Gas in den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt einzublasen, und eine Gasquelle zum Zuführen des Gases zu dem Fasereinblasadapter.
Insbesondere wird mit Hilfe der Fasereinblasvorrichtung der Schritt e) des vorgenannten Verfahrens durchgeführt. Beispielsweise kann der Fasereinblasadapter hierzu mit dem zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt verschraubt werden. Das Gas kann beispielsweise Luft sein. Das Gas kann jedoch auch Stickstoff oder ein anderes Schutzgas sein. Das Gas kann in einem Kreislauf wiederverwendet werden. Ferner kann auch ein Partikelfilter vorgesehen sein, der mit dem Gas transportierte Partikel zurückhält. Die Gasquelle kann eine Gasflasche sein. Die Gasquelle kann jedoch auch ein Kompressor sein. Die Gasquelle ist mit Hilfe einer Gasleitung mit dem Fasereinblasadapter, insbesondere mit einem Gasanschluss des Fasereinblasadapters, verbunden.
Gemäß einer Ausführungsform weist der Fasereinblasadapter einen Führungsabschnitt auf, durch den das Faserbündel des Austauschspiegelheizkopfs hindurchführbar ist.
Vorzugsweise ist dem Fasereinblasadapter eine Mittel- oder Symmetrieachse zugeordnet, zu welcher der Fasereinblasadapter im Wesentlichen rotationssymmetrisch aufgebaut ist. Der Führungsabschnitt ist insbesondere rotationssymmetrisch zu der Symmetrieachse aufgebaut und weist eine mittige Bohrung auf, durch welche das Faserbündel des Austauschspiegelheizkopfs hindurchführbar ist. Dabei ist ein Durchmesser der Bohrung nur geringfügig größer als ein Durchmesser des Faserbündels des Austauschspiegelheizkopfs. Hierdurch wird eine Rückströmung des Gases verhindert. Der Führungsabschnitt ist insbesondere torpedoförmig. Unter „torpedoförmig“ ist vorliegend insbesondere zu verstehen, dass sich der Führungsabschnitt auf eine Spitze hinzu verjüngt.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist der Fasereinblasadapter einen trichterförmigen Einführabschnitt zum Einführen des Faserbündels des Austauschspiegelheizkopfs in den Führungsabschnitt auf.
Der trichterförmige Einführabschnitt weist vorzugsweise eine Verrundung auf. Mit Hilfe des Einführabschnitts wird das Einführen des Faserbündels des Austauschspiegelheizkopfs vereinfacht, ohne dass das Faserbündel des Austauschspiegelheizkopfs abknickt. Der Einführabschnitt mündet insbesondere in die Bohrung des Führungsabschnitts ein. Beispielsweise kann der Fasereinblasadapter ein Gussbauteil, ein Dreh- und/oder Fräsbauteil oder ein Bauteil sein, das mit Hilfe eines additiven oder generativen Fertigungsverfahrens hergestellt ist.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform verjüngt sich der Führungsabschnitt ausgehend von dem Einführabschnitt in Richtung einer Spitze des Führungsabschnitts, wobei das Faserbündel des Austauschspiegelheizkopfs an der Spitze aus dem Führungsabschnitt austritt.
Dass sich der Führungsabschnitt „verjüngt“ bedeutet vorliegend insbesondere, dass sich ein Durchmesser des Führungsabschnitts ausgehend von dem Einführabschnitt in Richtung der Spitze verkleinert. Der Führungsabschnitt läuft somit kegelförmig oder konusförmig auf die Spitze hinzu. Die Spitze ragt insbesondere in einen Gaskanal des Fasereinblasadapters hinein. Der Gaskanal ist somit ringförmig um den Führungsabschnitt herum angeordnet. An der Spitze des Führungsabschnitts endet der Führungsabschnitt und ragt nicht weiter in den Gaskanal hinein.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist der Fasereinblasadapter einen Gasverteilraum auf, der ringförmig um den Führungsabschnitt herumläuft.
Insbesondere ist der Gasverteilraum rotationssymmetrisch zu der Symmetrieachse aufgebaut. Aus dem Gasverteilraum mündet der zuvor erwähnte Gaskanal aus, der den Führungsabschnitt umspült. In den Gasverteilraum mündet ein ausgehend von dem Gasanschluss führender Gaskanal ein. Der Gaskanal kann eine senkrecht zu der Symmetrieachse angeordnete Bohrung sein.
„Ein“ ist vorliegend nicht zwingend als beschränkend auf genau ein Element zu verstehen. Vielmehr können auch mehrere Elemente, wie beispielsweise zwei, drei oder mehr, vorgesehen sein. Auch jedes andere hier verwendete Zählwort ist nicht dahingehend zu verstehen, dass eine Beschränkung auf genau die genannte Anzahl von Elementen gegeben ist. Vielmehr sind zahlenmäßige Abweichungen nach oben und nach unten möglich, soweit nichts Gegenteiliges angegeben ist.
Die für das Verfahren beschriebenen Ausführungsformen und Merkmale gelten für die vorgeschlagene Fasereinblasvorrichtung entsprechend und umgekehrt.
Weitere mögliche Implementierungen der Erfindung umfassen auch nicht explizit genannte Kombinationen von zuvor oder im Folgenden bezüglich der Ausführungsbeispiele beschriebenen Merkmalen oder Ausführungsformen. Dabei wird der Fachmann auch Einzelaspekte als Verbesserungen oder Ergänzungen zu der jeweiligen Grundform der Erfindung hinzufügen.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Aspekte der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche sowie der im Folgenden beschriebenen Ausführungsbeispiele der Erfindung. Im Weiteren wird die Erfindung anhand von bevorzugten Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigelegten Figuren näher erläutert.

1 zeigt einen schematischen Meridionalschnitt einer Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Projektionslithographie;
2 zeigt eine schematische Ansicht einer Ausführungsform einer Spiegelheizkopfanordnung für die Projektionsbelichtungsanlage gemäß 1;
3 zeigt eine weitere schematische Ansicht der Spiegelheizkopfanordnung;
4 zeigt eine weitere schematische Ansicht der Spiegelheizkopfanordnung;
5 zeigt eine weitere schematische Ansicht der Spiegelheizkopfanordnung;
6 zeigt eine weitere schematische Ansicht der Spiegelheizkopfanordnung;
7 zeigt eine schematische Schnittansicht einer Ausführungsform eines Fasereinblasadapters; und
8 zeigt ein schematisches Blockdiagramm einer Ausführungsform eines Verfahrens zum Austausch eines Spiegelheizkopfs der Projektionsbelichtungsanlage gemäß 1 gegen einen Austauschspiegelheizkopf.

In den Figuren sind gleiche oder funktionsgleiche Elemente mit denselben Bezugszeichen versehen worden, soweit nichts Gegenteiliges angegeben ist. Ferner sollte beachtet werden, dass die Darstellungen in den Figuren nicht notwendigerweise maßstabsgerecht sind.
In den Figuren sind gleiche oder funktionsgleiche Elemente mit denselben Bezugszeichen versehen worden, soweit nichts Gegenteiliges angegeben ist. Ferner sollte beachtet werden, dass die Darstellungen in den Figuren nicht notwendigerweise maßstabsgerecht sind.
1 zeigt eine Ausführungsform einer Projektionsbelichtungsanlage 1 (Lithographieanlage), insbesondere einer EUV-Lithographieanlage. Eine Ausführung eines Beleuchtungssystems 2 der Projektionsbelichtungsanlage 1 hat neben einer Licht- beziehungsweise Strahlungsquelle 3 eine Beleuchtungsoptik 4 zur Beleuchtung eines Objektfeldes 5 in einer Objektebene 6. Bei einer alternativen Ausführung kann die Lichtquelle 3 auch als ein zum sonstigen Beleuchtungssystem 2 separates Modul bereitgestellt sein. In diesem Fall umfasst das Beleuchtungssystem 2 die Lichtquelle 3 nicht.
Belichtet wird ein im Objektfeld 5 angeordnetes Retikel 7. Das Retikel 7 ist von einem Retikelhalter 8 gehalten. Der Retikelhalter 8 ist über einen Retikelverlagerungsantrieb 9, insbesondere in einer Scanrichtung, verlagerbar.
In der 1 ist zur Erläuterung ein kartesisches Koordinatensystem mit einer x-Richtung x, einer y-Richtung y und einer z-Richtung z eingezeichnet. Die x-Richtung x verläuft senkrecht in die Zeichenebene hinein. Die y-Richtung y verläuft horizontal und die z-Richtung z verläuft vertikal. Die Scanrichtung verläuft in der 1 längs der y-Richtung y. Die z-Richtung z verläuft senkrecht zur Objektebene 6.
Die Projektionsbelichtungsanlage 1 umfasst eine Projektionsoptik 10. Die Projektionsoptik 10 dient zur Abbildung des Objektfeldes 5 in ein Bildfeld 11 in einer Bildebene 12. Die Bildebene 12 verläuft parallel zur Objektebene 6. Alternativ ist auch ein von 0° verschiedener Winkel zwischen der Objektebene 6 und der Bildebene 12 möglich.
Abgebildet wird eine Struktur auf dem Retikel 7 auf eine lichtempfindliche Schicht eines im Bereich des Bildfeldes 11 in der Bildebene 12 angeordneten Wafers 13. Der Wafer 13 wird von einem Waferhalter 14 gehalten. Der Waferhalter 14 ist über einen Waferverlagerungsantrieb 15 insbesondere längs der y-Richtung y verlagerbar. Die Verlagerung einerseits des Retikels 7 über den Retikelverlagerungsantrieb 9 und andererseits des Wafers 13 über den Waferverlagerungsantrieb 15 kann synchronisiert zueinander erfolgen.
Bei der Lichtquelle 3 handelt es sich um eine EUV-Strahlungsquelle. Die Lichtquelle 3 emittiert insbesondere EUV-Strahlung 16, welche im Folgenden auch als Nutzstrahlung, Beleuchtungsstrahlung oder Beleuchtungslicht bezeichnet wird. Die Nutzstrahlung 16 hat insbesondere eine Wellenlänge im Bereich zwischen 5 nm und 30 nm. Bei der Lichtquelle 3 kann es sich um eine Plasmaquelle handeln, zum Beispiel um eine LPP-Quelle (Engl.: Laser Produced Plasma, mit Hilfe eines Lasers erzeugtes Plasma) oder um eine DPP-Quelle (Engl.: Gas Discharged Produced Plasma, mittels Gasentladung erzeugtes Plasma). Es kann sich auch um eine synchrotronbasierte Strahlungsquelle handeln. Bei der Lichtquelle 3 kann es sich um einen Freie-Elektronen-Laser (Engl.: Free-Electron-Laser, FEL) handeln.
Die Beleuchtungsstrahlung 16, die von der Lichtquelle 3 ausgeht, wird von einem Kollektor 17 gebündelt. Bei dem Kollektor 17 kann es sich um einen Kollektor mit einer oder mit mehreren ellipsoidalen und/oder hyperboloiden Reflexionsflächen handeln. Die mindestens eine Reflexionsfläche des Kollektors 17 kann im streifenden Einfall (Engl.: Grazing Incidence, GI), also mit Einfallswinkeln größer als 45°, oder im normalen Einfall (Engl.: Normal Incidence, NI), also mit Einfallwinkeln kleiner als 45°, mit der Beleuchtungsstrahlung 16 beaufschlagt werden. Der Kollektor 17 kann einerseits zur Optimierung seiner Reflektivität für die Nutzstrahlung und andererseits zur Unterdrückung von Falschlicht strukturiert und/oder beschichtet sein.
Nach dem Kollektor 17 propagiert die Beleuchtungsstrahlung 16 durch einen Zwischenfokus in einer Zwischenfokusebene 18. Die Zwischenfokusebene 18 kann eine Trennung zwischen einem Strahlungsquellenmodul, aufweisend die Lichtquelle 3 und den Kollektor 17, und der Beleuchtungsoptik 4 darstellen.
Die Beleuchtungsoptik 4 umfasst einen Umlenkspiegel 19 und diesem im Strahlengang nachgeordnet einen ersten Facettenspiegel 20. Bei dem Umlenkspiegel 19 kann es sich um einen planen Umlenkspiegel oder alternativ um einen Spiegel mit einer über die reine Umlenkungswirkung hinaus bündelbeeinflussenden Wirkung handeln. Alternativ oder zusätzlich kann der Umlenkspiegel 19 als Spektralfilter ausgeführt sein, der eine Nutzlichtwellenlänge der Beleuchtungsstrahlung 16 von Falschlicht einer hiervon abweichenden Wellenlänge trennt. Sofern der erste Facettenspiegel 20 in einer Ebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet ist, die zur Objektebene 6 als Feldebene optisch konjugiert ist, wird dieser auch als Feldfacettenspiegel bezeichnet. Der erste Facettenspiegel 20 umfasst eine Vielzahl von einzelnen ersten Facetten 21, welche auch als Feldfacetten bezeichnet werden können. Von diesen ersten Facetten 21 sind in der 1 nur beispielhaft einige dargestellt.
Die ersten Facetten 21 können als makroskopische Facetten ausgeführt sein, insbesondere als rechteckige Facetten oder als Facetten mit bogenförmiger oder teilkreisförmiger Randkontur. Die ersten Facetten 21 können als plane Facetten oder alternativ als konvex oder konkav gekrümmte Facetten ausgeführt sein.
Wie beispielsweise aus der DE 10 2008 009 600 A1 bekannt ist, können die ersten Facetten 21 selbst jeweils auch aus einer Vielzahl von Einzelspiegeln, insbesondere einer Vielzahl von Mikrospiegeln, zusammengesetzt sein. Der erste Facettenspiegel 20 kann insbesondere als mikroelektromechanisches System (MEMS-System) ausgebildet sein. Für Details wird auf die DE 10 2008 009 600 A1 verwiesen.
Zwischen dem Kollektor 17 und dem Umlenkspiegel 19 verläuft die Beleuchtungsstrahlung 16 horizontal, also längs der y-Richtung y.
Im Strahlengang der Beleuchtungsoptik 4 ist dem ersten Facettenspiegel 20 nachgeordnet ein zweiter Facettenspiegel 22. Sofern der zweite Facettenspiegel 22 in einer Pupillenebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet ist, wird dieser auch als Pupillenfacettenspiegel bezeichnet. Der zweite Facettenspiegel 22 kann auch beabstandet zu einer Pupillenebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet sein. In diesem Fall wird die Kombination aus dem ersten Facettenspiegel 20 und dem zweiten Facettenspiegel 22 auch als spekularer Reflektor bezeichnet. Spekulare Reflektoren sind bekannt aus der US 2006/0132747 A1 , der EP 1 614 008 B1 und der US 6,573,978 .
Der zweite Facettenspiegel 22 umfasst eine Mehrzahl von zweiten Facetten 23. Die zweiten Facetten 23 werden im Falle eines Pupillenfacettenspiegels auch als Pupillenfacetten bezeichnet.
Bei den zweiten Facetten 23 kann es sich ebenfalls um makroskopische Facetten, die beispielsweise rund, rechteckig oder auch hexagonal berandet sein können, oder alternativ um aus Mikrospiegeln zusammengesetzte Facetten handeln. Diesbezüglich wird ebenfalls auf die DE 10 2008 009 600 A1 verwiesen.
Die zweiten Facetten 23 können plane oder alternativ konvex oder konkav gekrümmte Reflexionsflächen aufweisen.
Die Beleuchtungsoptik 4 bildet somit ein doppelt facettiertes System. Dieses grundlegende Prinzip wird auch als Wabenkondensor (Engl.: Fly's Eye Integrator) bezeichnet.
Es kann vorteilhaft sein, den zweiten Facettenspiegel 22 nicht exakt in einer Ebene, welche zu einer Pupillenebene der Projektionsoptik 10 optisch konjugiert ist, anzuordnen. Insbesondere kann der zweite Facettenspiegel 22 gegenüber einer Pupillenebene der Projektionsoptik 10 verkippt angeordnet sein, wie es zum Beispiel in der DE 10 2017 220 586 A1 beschrieben ist.
Mit Hilfe des zweiten Facettenspiegels 22 werden die einzelnen ersten Facetten 21 in das Objektfeld 5 abgebildet. Der zweite Facettenspiegel 22 ist der letzte bündelformende oder auch tatsächlich der letzte Spiegel für die Beleuchtungsstrahlung 16 im Strahlengang vor dem Objektfeld 5.
Bei einer weiteren, nicht dargestellten Ausführung der Beleuchtungsoptik 4 kann im Strahlengang zwischen dem zweiten Facettenspiegel 22 und dem Objektfeld 5 eine Übertragungsoptik angeordnet sein, die insbesondere zur Abbildung der ersten Facetten 21 in das Objektfeld 5 beiträgt. Die Übertragungsoptik kann genau einen Spiegel, alternativ aber auch zwei oder mehr Spiegel aufweisen, welche hintereinander im Strahlengang der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet sind. Die Übertragungsoptik kann insbesondere einen oder zwei Spiegel für senkrechten Einfall (NI-Spiegel, Normal Incidence Spiegel) und/oder einen oder zwei Spiegel für streifenden Einfall (GI-Spiegel, Grazing Incidence Spiegel) umfassen.
Die Beleuchtungsoptik 4 hat bei der Ausführung, die in der 1 gezeigt ist, nach dem Kollektor 17 genau drei Spiegel, nämlich den Umlenkspiegel 19, den ersten Facettenspiegel 20 und den zweiten Facettenspiegel 22.
Bei einer weiteren Ausführung der Beleuchtungsoptik 4 kann der Umlenkspiegel 19 auch entfallen, so dass die Beleuchtungsoptik 4 nach dem Kollektor 17 dann genau zwei Spiegel aufweisen kann, nämlich den ersten Facettenspiegel 20 und den zweiten Facettenspiegel 22.
Die Abbildung der ersten Facetten 21 mittels der zweiten Facetten 23 beziehungsweise mit den zweiten Facetten 23 und einer Übertragungsoptik in die Objektebene 6 ist regelmäßig nur eine näherungsweise Abbildung.
Die Projektionsoptik 10 umfasst eine Mehrzahl von Spiegeln Mi, welche gemäß ihrer Anordnung im Strahlengang der Projektionsbelichtungsanlage 1 durchnummeriert sind.
Bei dem in der 1 dargestellten Beispiel umfasst die Projektionsoptik 10 sechs Spiegel M1 bis M6. Alternativen mit vier, acht, zehn, zwölf oder einer anderen Anzahl an Spiegeln Mi sind ebenso möglich. Bei der Projektionsoptik 10 handelt es sich um eine doppelt obskurierte Optik. Der vorletzte Spiegel M5 und der letzte Spiegel M6 haben jeweils eine Durchtrittsöffnung für die Beleuchtungsstrahlung 16. Die Projektionsoptik 10 hat eine bildseitige numerische Apertur, die größer ist als 0,5 und die auch größer sein kann als 0,6 und die beispielsweise 0,7 oder 0,75 betragen kann.
Reflexionsflächen der Spiegel Mi können als Freiformflächen ohne Rotationssymmetrieachse ausgeführt sein. Alternativ können die Reflexionsflächen der Spiegel Mi als asphärische Flächen mit genau einer Rotationssymmetrieachse der Reflexionsflächenform gestaltet sein. Die Spiegel Mi können, genauso wie die Spiegel der Beleuchtungsoptik 4, hochreflektierende Beschichtungen für die Beleuchtungsstrahlung 16 aufweisen. Diese Beschichtungen können als Multilayer-Beschichtungen, insbesondere mit alternierenden Lagen aus Molybdän und Silizium, gestaltet sein.
Die Projektionsoptik 10 hat einen großen Objekt-Bildversatz in der y-Richtung y zwischen einer y-Koordinate eines Zentrums des Objektfeldes 5 und einer y-Koordinate des Zentrums des Bildfeldes 11. Dieser Objekt-Bild-Versatz in der y-Richtung y kann in etwa so groß sein wie ein z-Abstand zwischen der Objektebene 6 und der Bildebene 12.
Die Projektionsoptik 10 kann insbesondere anamorphotisch ausgebildet sein. Sie weist insbesondere unterschiedliche Abbildungsmaßstäbe βx, βy in x- und y-Richtung x, y auf. Die beiden Abbildungsmaßstäbe βx, βy der Projektionsoptik 10 liegen bevorzugt bei (βx, βy) = (+/- 0,25, +/- 0,125). Ein positiver Abbildungsmaßstab 6 bedeutet eine Abbildung ohne Bildumkehr. Ein negatives Vorzeichen für den Abbildungsmaßstab 6 bedeutet eine Abbildung mit Bildumkehr.
Die Projektionsoptik 10 führt somit in x-Richtung x, das heißt in Richtung senkrecht zur Scanrichtung, zu einer Verkleinerung im Verhältnis 4:1.
Die Projektionsoptik 10 führt in y-Richtung y, das heißt in Scanrichtung, zu einer Verkleinerung von 8:1.
Andere Abbildungsmaßstäbe sind ebenso möglich. Auch vorzeichengleiche und absolut gleiche Abbildungsmaßstäbe in x- und y-Richtung x, y, zum Beispiel mit Absolutwerten von 0,125 oder von 0,25, sind möglich.
Die Anzahl von Zwischenbildebenen in der x- und in der y-Richtung x, y im Strahlengang zwischen dem Objektfeld 5 und dem Bildfeld 11 kann gleich sein oder kann, je nach Ausführung der Projektionsoptik 10, unterschiedlich sein. Beispiele für Projektionsoptiken mit unterschiedlichen Anzahlen derartiger Zwischenbilder in x- und y-Richtung x, y sind bekannt aus der US 2018/0074303 A1 .
Jeweils eine der zweiten Facetten 23 ist genau einer der ersten Facetten 21 zur Ausbildung jeweils eines Beleuchtungskanals zur Ausleuchtung des Objektfeldes 5 zugeordnet. Es kann sich hierdurch insbesondere eine Beleuchtung nach dem Köhlerschen Prinzip ergeben. Das Fernfeld wird mit Hilfe der ersten Facetten 21 in eine Vielzahl an Objektfeldern 5 zerlegt. Die ersten Facetten 21 erzeugen eine Mehrzahl von Bildern des Zwischenfokus auf den diesen jeweils zugeordneten zweiten Facetten 23.
Die ersten Facetten 21 werden jeweils von einer zugeordneten zweiten Facette 23 einander überlagernd zur Ausleuchtung des Objektfeldes 5 auf das Retikel 7 abgebildet. Die Ausleuchtung des Objektfeldes 5 ist insbesondere möglichst homogen. Sie weist vorzugsweise einen Uniformitätsfehler von weniger als 2 % auf. Die Felduniformität kann über die Überlagerung unterschiedlicher Beleuchtungskanäle erreicht werden.
Durch eine Anordnung der zweiten Facetten 23 kann geometrisch die Ausleuchtung der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 definiert werden. Durch Auswahl der Beleuchtungskanäle, insbesondere der Teilmenge der zweiten Facetten 23, die Licht führen, kann die Intensitätsverteilung in der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 eingestellt werden. Diese Intensitätsverteilung wird auch als Beleuchtungssetting oder Beleuchtungspupillenfüllung bezeichnet.
Eine ebenfalls bevorzugte Pupillenuniformität im Bereich definiert ausgeleuchteter Abschnitte einer Beleuchtungspupille der Beleuchtungsoptik 4 kann durch eine Umverteilung der Beleuchtungskanäle erreicht werden.
Im Folgenden werden weitere Aspekte und Details der Ausleuchtung des Objektfeldes 5 sowie insbesondere der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 beschrieben.
Die Projektionsoptik 10 kann insbesondere eine homozentrische Eintrittspupille aufweisen. Diese kann zugänglich sein. Sie kann auch unzugänglich sein.
Die Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 lässt sich regelmäßig mit dem zweiten Facettenspiegel 22 nicht exakt ausleuchten. Bei einer Abbildung der Projektionsoptik 10, welche das Zentrum des zweiten Facettenspiegels 22 telezentrisch auf den Wafer 13 abbildet, schneiden sich die Aperturstrahlen oftmals nicht in einem einzigen Punkt. Es lässt sich jedoch eine Fläche finden, in welcher der paarweise bestimmte Abstand der Aperturstrahlen minimal wird. Diese Fläche stellt die Eintrittspupille oder eine zu ihr konjugierte Fläche im Ortsraum dar. Insbesondere zeigt diese Fläche eine endliche Krümmung.
Es kann sein, dass die Projektionsoptik 10 unterschiedliche Lagen der Eintrittspupille für den tangentialen und für den sagittalen Strahlengang aufweist. In diesem Fall sollte ein abbildendes Element, insbesondere ein optisches Bauelement der Übertragungsoptik, zwischen dem zweiten Facettenspiegel 22 und dem Retikel 7 bereitgestellt werden. Mit Hilfe dieses optischen Elements kann die unterschiedliche Lage der tangentialen Eintrittspupille und der sagittalen Eintrittspupille berücksichtigt werden.
Bei der in der 1 dargestellten Anordnung der Komponenten der Beleuchtungsoptik 4 ist der zweite Facettenspiegel 22 in einer zur Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 konjugierten Fläche angeordnet. Der erste Facettenspiegel 20 ist verkippt zur Objektebene 6 angeordnet. Der erste Facettenspiegel 20 ist verkippt zu einer Anordnungsebene angeordnet, die vom Umlenkspiegel 19 definiert ist. Der erste Facettenspiegel 20 ist verkippt zu einer Anordnungsebene angeordnet, die vom zweiten Facettenspiegel 22 definiert ist.
2 bis 6 zeigen jeweils eine schematische Ansicht einer Ausführungsform einer Spiegelheizkopfanordnung 100 für die Projektionsbelichtungsanlage 1. Nachfolgend wird auf die 2 bis 6 gleichzeitig Bezug genommen.
Die Spiegelheizkopfanordnung 100 ist Teil der Projektionsoptik 10. Mit Hilfe der Spiegelheizkopfanordnung 100 ist es möglich, in ein optisches Element, beispielsweise in einen der Spiegel M1 bis M6, Wärme einzubringen. Die Spiegelheizkopfanordnung 100 umfasst einen Spiegelheizkopf 102. Der Spiegelheizkopf 102 ist über ein Faserbündel 104 mit einer nicht gezeigten Laserquelle verbunden. Das Faserbündel 104 ist dabei fest an dem Spiegelheizkopf 102 befestigt. Das Faserbündel 104 umfasst eine Vielzahl von Lichtwellenleitern.
Das Faserbündel 104 ist in einem Faserbündelschutzschlauch 106 aufgenommen. Der Faserbündelschutzschlauch 106 umfasst zwei Faserbündelschutzschlauchabschnitte 108, 110, nämlich einen ersten Faserbündelschutzschlauchabschnitt 108 und einen zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110, die mit Hilfe einer Schraubverbindung miteinander verbunden sein können.
Der Faserbündelschutzschlauch 106 verbindet den Spiegelheizkopf 102 mit einer Spleißbox 112. In der Spleißbox 112 wird das Faserbündel 104 mit einem weiteren Faserbündel 114 verbunden, das mit der zuvor erwähnten Laserquelle verbunden ist. Das Faserbündel 114 umfasst eine Vielzahl von Lichtwellenleitern. Der Faserbündelschutzschlauch 106 kann ein Edelstahl-Wickelschlauch sein.
Der Spiegelheizkopf 102 soll im Feld austauschbar sein. Unter „im Feld“ ist vorliegend zu verstehen, dass der Spiegelheizkopf 102 an einem Betriebsort der Projektionsbelichtungsanlage 1 austauschbar sein soll. Da der Faserbündelschutzschlauch 106 größtenteils von außen unzugänglich verlegt ist, ist ein Austausch des Spiegelheizkopfs 102 mitsamt dem Faserbündel 104 und dem Faserbündelschutzschlauch 106 nicht ohne weiteres möglich.
Aus diesem Grund werden zum Austausch des Spiegelheizkopfs 102 die Faserbündelschutzschlauchabschnitte 108, 110 voneinander getrennt. Dann wird das Faserbündel 104 durchtrennt. Ein neuer Spiegelheizkopf 102 mit einem neuen Faserbündel 104 wird an das sich in dem zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110 befindliche alte Faserbündel 104 angekoppelt.
Anschließend wird das neue Faserbündel 104 mit Hilfe des alten Faserbündels 104 durch den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110 gezogen und in der Spleißbox 112 mit dem Faserbündel 114 verbunden. Durch die Reibung zwischen dem neuen Faserbündel 104, das durch den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110 gezogen wird, kann es zu hohen Zugspannungen in dem Faserbündel 104 kommen, die zu einer Beschädigung des Faserbündels 104 führen können. Dies gilt es zu verbessern.
Zum Austauschen des Spiegelheizkopfs 102 werden daher, wie in der 3 gezeigt, zunächst die Faserbündelschutzschlauchabschnitte 108, 110 voneinander getrennt. Das Faserbündel 104 wird an einer Trennstelle 116 in einen ersten Faserbündelabschnitt 118, der fest mit dem Spiegelheizkopf 102 verbunden ist, und in einen zweiten Faserbündelabschnitt 120 aufgetrennt. Beispielsweise kann das Faserbündel 104 an der Trennstelle 116 durchschnitten werden. Innerhalb der Spleißbox 112 werden der zweite Faserbündelabschnitt 120 und das Faserbündel 114 an einer Trennstelle 122 voneinander getrennt.
Wie in der 4 gezeigt, kann der Spiegelheizkopf 102 mit dem ersten Faserbündelabschnitt 118 und dem ersten Faserbündelschutzschlauchabschnitt 108 entfernt werden. Der zweite Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110 wird von der Spleißbox 112 getrennt. Ein Austauschspiegelheizkopf 102' mit einem ersten Faserbündelschutzschlauchabschnitt 108', durch den ein Faserbündel 104' geführt ist, wird herangeführt. Das Faserbündel 104' kann mit dem zweiten Faserbündelabschnitt 120 verbunden werden. Dies ist jedoch nicht zwingend erforderlich.
Mit Hilfe einer Fasereinblasvorrichtung 124 wird das Faserbündel 104' durch den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110 geführt. Die Fasereinblasvorrichtung 124 bläst ein Gas G, beispielsweise Druckluft, durch den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110, wodurch sich ein Gaskissen zwischen dem Faserbündel 104' und dem zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110 bildet. Dies reduziert die Reibung zwischen dem Faserbündel 104' und dem zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110.
Die Fasereinblasvorrichtung 124 umfasst einen Fasereinblasadapter 126, der lösbar mit dem zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110 verbunden ist. Dem Fasereinblasadapter 126 wird über eine Gasleitung 128 von einer Gasquelle 130 das Gas G zugeleitet. Das Gas G kann beispielsweise Luft oder Stickstoff sein. Die Gasquelle 130 kann eine Gasflasche oder ein Kompressor sein.
Wenn das Faserbündel 104' vollständig durch den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110 hindurchgeführt ist, werden, wie in der 5 gezeigt, die Faserbündelschutzschlauchabschnitte 108', 110 wieder miteinander verbunden und das Faserbündel 104' sowie der zweite Faserbündelabschnitt 120 an einer Trennstelle 132 wieder voneinander getrennt. Zuvor wird der Fasereinblasadapter 126 von dem zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110 getrennt.
Abschließend wird, wie in der 6 gezeigt, der zweite Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110 mit der Spleißbox 112 verbunden und das Faserbündel 104' in der Spleißbox 112 mit dem Faserbündel 114 verbunden.
7 zeigt eine schematische Schnittansicht einer Ausführungsform eines wie zuvor erwähnten Fasereinblasadapters 126.
Der Fasereinblasadapter 126 weist eine Mittel- oder Symmetrieachse 134 auf, zu welcher der Fasereinblasadapter 126 im Wesentlichen rotationssymmetrisch aufgebaut sein kann. Ferner ist dem Fasereinblasadapter 126 eine Radialrichtung R zugeordnet. Die Radialrichtung R ist senkrecht zu der Symmetrieachse 134 orientiert und weist von dieser weg.
Der Fasereinblasadapter 126 umfasst einen Gasanschluss 136, an dem die Gasleitung 128 angeschlossen ist. Der Gasanschluss 136 weist einen Gaskanal 138 auf, der in einen ringförmig um die Symmetrieachse 134 umlaufenden Gasverteilraum 140 mündet. Durch den Gaskanal 138 wird das Gas G in den Gasverteilraum 140 geleitet. Der Gasverteilraum 140 sorgt für eine gleichmäßige Druckverteilung über einen Umfang des Gasverteilraums 140.
Durch den Gasverteilraum 140 führt ein Führungsabschnitt 142, der rotationssymmetrisch zu der Symmetrieachse 134 aufgebaut ist. Der Führungsabschnitt 142 weist eine mittige Bohrung 144 auf, durch die das Faserbündel 104' hindurchgeführt ist. Ein Durchmesser der Bohrung 144 ist nur geringfügig größer als ein Durchmesser des Faserbündels 104', so dass ein Rückstrom des Gases G in die Bohrung 144 verhindert wird.
Der Führungsabschnitt 142 verjüngt sich bis auf eine Spitze 146, an der das Faserbündel 104' aus dem Führungsabschnitt 142 heraustritt. Der Gasverteilraum 140 ist in der Orientierung der 7 nach links von einem Einführabschnitt 148 verschlossen. Der Einführabschnitt 148 weist eine Rundung auf, die ein Knicken des Faserbündels 104' bei einem Einführen desselben in den Fasereinblasadapter 126 verhindert. Mittig an dem Einführabschnitt 148 ist die Bohrung 144 vorgesehen. Der Führungsabschnitt 142 erstreckt sich aus dem Einführabschnitt 148 in den Gasverteilraum 140 hinein.
Ausgehend von dem Gasverteilraum 140 umschließt den Führungsabschnitt 142 ein ringförmig um die Symmetrieachse 134 umlaufender Gaskanal 150. Der Gaskanal 150 läuft, wie der Führungsabschnitt 142, konusförmig oder kegelstumpfförmig zu. Der Gaskanal 150 erstreckt sich über die Spitze 146 hinaus und verläuft bis in einen zylinderförmigen Befestigungsabschnitt 152 hinein. Der Befestigungsabschnitt 152 kann mit dem zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110 verbunden werden. Hierzu kann eine Schraubverbindung vorgesehen sein. Der Gasverteilraum 140 und der Gaskanal 150 sind von einer Außenwand 154 umschlossen.
Der Fasereinblasadapter 126 ermöglicht das gleichzeitige Einschieben des Faserbündels 104' und das Einblasen des Gases G in den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110. Das Faserbündel 104' wird dabei entlang einer Förderrichtung F gefördert. Ein Knicken und eine übermäßige Zugbelastung des Faserbündels 104' wird zuverlässig verhindert. Der zweite Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110 ist hierzu luftdicht ausgestaltet. Dadurch, dass eine Strömungsrichtung des Gases G und die Förderrichtung F gleichsinnig orientiert sind, wird ein Rückströmen des Gases G zuverlässig verhindert.
8 zeigt ein schematisches Blockdiagramm einer Ausführungsform eines Verfahrens zum Austausch des Spiegelheizkopfs 102 gegen den Austauschspiegelheizkopf 102'.
Das Verfahren wird mit Hilfe der Einblasvorrichtung 124 durchgeführt. Bei dem Verfahren wird in einem Schritt S1 der das Faserbündel 104 umhüllende Faserbündelschutzschlauchs 106 in den ersten Faserbündelschutzschlauchabschnitt 108, der dem Spiegelheizkopf 102 zugeordnet ist, und den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110 zerteilt. Hierzu kann eine Schraubverbindung zwischen den Faserbündelschutzschlauchabschnitten 108, 110 vorgesehen sein. Der zweite Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110 ist der Spleißbox 112 zugeordnet.
In einem Schritt S2 wird das Faserbündel 104 an der Trennstelle 116 in den ersten Faserbündelabschnitt 118, der dem Spiegelheizkopf 102 zugeordnet ist, und den zweiten Faserbündelabschnitt 120 zerteilt. Das Faserbündel 104 kann hierbei zerschnitten werden. Der zweite Faserbündelabschnitt 120 ist der Spleißbox 112 zugeordnet.
In einem Schritt S3 wird der auszutauschende Spiegelheizkopf 102 mitsamt dem ersten Faserbündelschutzschlauchabschnitt 108 und dem ersten Faserbündelabschnitt 118 entfernt.
In einem Schritt S4 wird das Faserbündel 104' des Austauschspiegelheizkopfs 102' in den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110 eingeführt. Gleichzeitig wird in einem Schritt S5 das Gas G in den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110 eingeblasen, so dass das Faserbündel 104' des Austauschspiegelheizkopfs 102' mit Hilfe des Gases G durch den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110 gefördert wird.
Vor dem Schritt S4 kann das Faserbündel 104' des Austauschspiegelheizkopfs 102' mit dem zweiten Faserbündelabschnitt 120 verbunden werden. Nach dem Schritt S5 wird das Faserbündel 104' des Austauschspiegelheizkopfs 102' wieder von dem zweiten Faserbündelabschnitt 120 getrennt. Dies ist jedoch optional.
Bei dem Schritt S2 kann der zweite Faserbündelabschnitt 120 innerhalb der Spleißbox 112 von dem weiteren Faserbündel 114 getrennt werden. Ferner kann vor dem Schritt S4 der zweite Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110 von der Spleißbox 112 getrennt werden, wobei nach dem Schritt S5 der zweite Faserbündelschutzschlauchabschnitt 110 wieder mit der Spleißbox 112 verbunden werden kann. Nach dem Schritt S5 kann das Faserbündel 104' des Austauschspiegelheizkopfs 102' innerhalb der Spleißbox 112 mit dem weiteren Faserbündel 114 verbunden werden.
Obwohl die vorliegende Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen beschrieben wurde, ist sie vielfältig modifizierbar.
BEZUGSZEICHENLISTE

1: Projektionsbelichtungsanlage
2: Beleuchtungssystem
3: Lichtquelle
4: Beleuchtungsoptik
5: Objektfeld
6: Objektebene
7: Retikel
8: Retikelhalter
9: Retikelverlagerungsantrieb
10: Projektionsoptik
11: Bildfeld
12: Bildebene
13: Wafer
14: Waferhalter
15: Waferverlagerungsantrieb
16: Beleuchtungsstrahlung
17: Kollektor
18: Zwischenfokusebene
19: Umlenkspiegel
20: erster Facettenspiegel
21: erste Facette
22: zweiter Facettenspiegel
23: zweite Facette
100: Spiegelheizkopfanordnung
102: Spiegelheizkopf
102': Austauschspiegelheizkopf
104: Faserbündel
104': Faserbündel
106: Faserbündelschutzschlauch
108: Faserbündelschutzschlauchabschnitt
108': Faserbündelschutzschlauchabschnitt
110: Faserbündelschutzschlauchabschnitt
112: Spleißbox
114: Faserbündel
116: Trennstelle
118: Faserbündelabschnitt
120: Faserbündelabschnitt
122: Trennstelle
124: Fasereinblasvorrichtung
126: Fasereinblasadapter
128: Gasleitung
130: Gasquelle
132: Trennstelle
134: Symmetrieachse
136: Gasanschluss
138: Gaskanal
140: Gasverteilraum
142: Führungsabschnitt
144: Bohrung
146: Spitze
148: Einführabschnitt
150: Gaskanal
152: Befestigungsabschnitt
154: Außenwand
F: Förderrichtung
G: Gas
M1: Spiegel
M2: Spiegel
M3: Spiegel
M4: Spiegel
M5: Spiegel
M6: Spiegel
R: Radialrichtung
S1: Schritt
S2: Schritt
S3: Schritt
S4: Schritt
S5: Schritt
x: x-Richtung
y: y-Richtung
z: z-Richtung

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

DE 102008009600 A1 [0047, 0051]
US 2006/0132747 A1 [0049]
EP 1614008 B1 [0049]
US 6573978 [0049]
DE 102017220586 A1 [0054]
US 2018/0074303 A1 [0068]

Claims

Verfahren zum Austausch eines Spiegelheizkopfs (102) einer Projektionsbelichtungsanlage (1) gegen einen Austauschspiegelheizkopf (102'), mit folgenden Schritten: a) Zerteilen (S1) eines ein Faserbündel (104) umhüllenden Faserbündelschutzschlauchs (106) in einen ersten Faserbündelschutzschlauchabschnitt (108), der dem Spiegelheizkopf (102) zugeordnet ist, und einen zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt (110), b) Zerteilen (S2) des Faserbündels (104) in einen ersten Faserbündelabschnitt (118), der dem Spiegelheizkopf (102) zugeordnet ist, und einen zweiten Faserbündelabschnitt (120), c) Entfernen (S3) des Spiegelheizkopfs (102) mitsamt dem ersten Faserbündelschutzschlauchabschnitt (108) und dem ersten Faserbündelabschnitt (118), d) Einführen (S4) eines Faserbündels (104') des Austauschspiegelheizkopfs (102') in den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt (110), und e) Einblasen (S5) eines Gases (G) in den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt (110), so dass das Faserbündel (104') des Austauschspiegelheizkopfs (102') mit Hilfe des Gases (G) durch den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt (110) gefördert wird.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei vor dem Schritt d) das Faserbündel (104') des Austauschspiegelheizkopfs (102') mit dem zweiten Faserbündelabschnitt (120) verbunden wird, und wobei nach dem Schritt e) das Faserbündel (104') des Austauschspiegelheizkopfs (102') von dem zweiten Faserbündelabschnitt (120) getrennt wird.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei bei dem Schritt b) der zweite Faserbündelabschnitt (120) innerhalb einer Spleißbox (112) von einem weiteren Faserbündel (114) getrennt wird.
Verfahren nach Anspruch 3, wobei vor dem Schritt d) der zweite Faserbündelschutzschlauchabschnitt (110) von der Spleißbox (112) getrennt wird, und wobei nach dem Schritt e) der zweite Faserbündelschutzschlauchabschnitt (110) wieder mit der Spleißbox (112) verbunden wird.
Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, wobei nach dem Schritt e) das Faserbündel (104') des Austauschspiegelheizkopfs (102') innerhalb der Spleißbox (112) mit dem weiteren Faserbündel (114) verbunden wird.
Fasereinblasvorrichtung (124) zum Durchführen des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1-5, aufweisend einen Fasereinblasadapter (126), der mit dem zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt (110) verbindbar ist, um das Gas (G) in den zweiten Faserbündelschutzschlauchabschnitt (110) einzublasen, und eine Gasquelle (130) zum Zuführen des Gases (G) zu dem Fasereinblasadapter (126).
Fasereinblasvorrichtung nach Anspruch 6, wobei der Fasereinblasadapter (126) einen Führungsabschnitt (142) aufweist, durch den das Faserbündel (104') des Austauschspiegelheizkopfs (102') hindurchführbar ist.
Fasereinblasvorrichtung nach Anspruch 7, wobei der Fasereinblasadapter (126) einen trichterförmigen Einführabschnitt (148) zum Einführen des Faserbündels (104') des Austauschspiegelheizkopfs (102') in den Führungsabschnitt (142) aufweist.
Fasereinblasvorrichtung nach Anspruch 8, wobei sich der Führungsabschnitt (142) ausgehend von dem Einführabschnitt (148) in Richtung einer Spitze (146) des Führungsabschnitts (142) verjüngt, und wobei das Faserbündel (104') des Austauschspiegelheizkopfs (102') an der Spitze (146) aus dem Führungsabschnitt (142) austritt.
Fasereinblasvorrichtung nach einem der Ansprüche 7-9, wobei der Fasereinblasadapter (126) einen Gasverteilraum (140) aufweist, der ringförmig um den Führungsabschnitt (142) herumläuft.