DE102017216893A1

DE102017216893A1 - Abbildende Optik zur Abbildung eines Objektfeldes in ein Bildfeld

Info

Publication number: DE102017216893A1
Application number: DE102017216893.5A
Authority: DE
Inventors: Johannes Ruoff; Susanne Beder; Hans-Jürgen Rostalski; Alexander Wolf
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2017-09-25
Filing date: 2017-09-25
Publication date: 2019-03-28
Also published as: JP7411542B2; CN111133358B; CN111133358A; US11119413B2; WO2019057803A1; US20200218045A1; JP2020535466A; TW201923475A; TWI805619B

Abstract

Eine abbildende Optik (7) dient zur Abbildung eines Objektfeldes (4) in ein Bildfeld (8). Eine Mehrzahl von Spiegeln (M1 bis M10) dient dabei zur Führung von Abbildungslicht (3) längs eines Abbildungsstrahlengangs. Die Mehrzahl von Spiegeln (M1 bis M10) hat mehrere Spiegel (M2 bis M8) für streifenden Einfall (GI-Spiegel), die einen Hauptstrahl (16) eines zentralen Objektfeldpunktes mit einem Einfallswinkel von mehr als 45° umlenken. Mindestens zwei der GI-Spiegel (M2 bis M8) sind im Abbildungsstrahlengang als Ausgangs-GI-Spiegel (M2 bis M7) derart angeordnet, dass sich deren Umlenkwirkung für den Hauptstrahl addiert. Mindestens ein weiterer der GI-Spiegel (M2 bis M8) ist im Abbildungsstrahlengang als Konter-GI-Spiegel (M8) derart angeordnet, dass dessen Umlenkwirkung für den Hauptstrahl (16) subtraktiv zur Umlenkwirkung der Ausgangs-GI-Spiegel (M2 bis M7) wirkt. Es resultiert eine abbildende Optik, deren Anordnungsflexibilität in Bezug auf einen von Spiegelkörpern der Spiegel der abbildenden Optik beanspruchten Bauraum erhöht ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine abbildende Optik bzw. Projektionsoptik zur Abbildung eines Objektfeldes in ein Bildfeld. Ferner betrifft die Erfindung ein optisches System mit einer derartigen abbildenden Optik und einer Beleuchtungsoptik zur Beleuchtung eines Beleuchtungsfeldes, in dem das Objektfeld liegt oder welches mit dem Objektfeld zusammenfällt, eine Projektionsbelichtungsanlage mit einem derartigen optischen System und einer EUV-Lichtquelle, ein Verfahren zur Herstellung eines mikro- beziehungsweise nanostrukturierten Bauteils mit einer derartigen Projektionsbelichtungsanlage sowie ein mit diesem Verfahren hergestelltes mikro- beziehungsweise nanostrukturiertes Bauelement.
Projektionsoptiken der eingangsgenannten Art sind bekannt aus der WO 2016/166 080 A1 , besonders der dortigen Ausführung nach den 26 ff., der JP 2002-048977 A , der US 5,891,806 , die eine Projektionsbelichtungsanlage vom „Proximity-Type“ beschreibt, und aus der WO 2008/141 686 A1 sowie aus der WO 2015/014 753 A1 .
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine abbildende Optik der eingangsgenannten Art derart weiterzubilden, dass deren Anordnungsflexibilität in Bezug auf einen von Spiegelkörpern der Spiegel der abbildenden Optik beanspruchten Bauraum erhöht ist.
Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch eine abbildende Optik mit den im Anspruch 1 angegebenen Merkmalen.
Erfindungsgemäß wurde erkannt, dass der Einsatz mindestens eines Konter-GI-Spiegels, dessen Spiegelfläche Abbildungslicht auf einer in Bezug auf eine durch den Abbildungsstrahlengang vorgegebenen Lichtröhre gegenüberliegenden Seite wie die Spiegelflächen der Ausgangs-GI-Spiegel reflektiert, zur Beeinflussung einer von den GI-Spiegeln insgesamt erzeugten Gesamt-Umlenkungswirkung genutzt werden kann. Bei einer vorgegebenen Anzahl einzusetzender GI-Spiegel kann dann eine optimale Kombination aus Korrekturwirkung der GI-Spiegel und Gesamt-Umlenkwirkung der GI-Spiegel erreicht werden. Der durch den Einsatz des mindestens einen Konter-GI-Spiegels eröffnete zusätzliche Design-Freiheitsgrad kann zur Gestaltung abbildender Optiken mit guter Gesamttransmission bei gegebenen Mindestanforderungen für die Abbildungsqualität sowie Bauraum-Vorgaben für die Spiegelkörper der Spiegel der abbildenden Optik genutzt werden. Der Konter-GI-Spiegel kann als reiner Umlenkspiegel, also als Planspiegel, ausgeführt sein. Alternativ kann der Konter-GI-Spiegel auch eine die Abbildungseigenschaften der abbildenden Optik beeinflussende Wirkung haben.
Genau ein Konter-GI-Spiegel nach 2 hat sich für viele Designausgaben bewährt.
Mehr als drei Ausgangs-GI-Spiegel ermöglichen eine gute Korrektur bei gleichzeitig geringem Gesamt-Transmissionsverlust.
Dies gilt insbesondere für genau sechs Ausgangs-GI-Spiegel nach Anspruch 4.
Eine Anordnung des Konter-GI-Spiegels nach Anspruch 5 ermöglicht es, auf bestehende Designs für die vorhergehenden GI-Spiegel zurückzugreifen.
Ein Konter-GI-Spiegel mit mindestens einem nachgeordneten Ausgangs-GI-Spiegel ermöglicht eine kompakte Anordnung des Konter-GI-Spiegels im Verhältnis zum direkt nachfolgenden Ausgangs-GI-Spiegel und zum gegebenenfalls vorgeordneten Ausgangs-GI-Spiegel. Grundsätzlich können auch alle Ausgangs-GI-Spiegel dem im Strahlengang dann führenden Konter-GI-Spiegel nachgeordnet sein.
Die Anordnung des Konter-GI-Spiegels nach Anspruch 7 hat sich für bestimmte Bauraumanforderungen als besonders geeignet herausgestellt.
Dies gilt insbesondere für die Spiegelanordnung nach Anspruch 8.
Eine abbildende Optik mit mindestens einem zusätzlichen NI-Spiegel hat sich bewährt. Ein letzter Spiegel im Abbildungsstrahlengang der abbildenden Optik kann als NI-Spiegel ausgeführt sein. Ein erster Spiegel im Abbildungsstrahlengang der abbildenden Optik kann als NI-Spiegel ausgeführt sein. Ein vorletzter Spiegel im Abbildungsstrahlengang der abbildenden Optik kann als NI-Spiegel ausgeführt sein. Der letzte Spiegel im Abbildungsstrahlengang der abbildenden Optik kann eine Durchtrittsöffnung für das Abbildungslicht aufweisen. Der vorletzte Spiegel im Abbildungsstrahlengang der abbildenden Optik kann ohne eine derartige Durchtrittsöffnung ausgeführt sein.
Eine Spiegelanordnung nach Anspruch 10 vermeidet, dass der erste und der vorletzte Spiegel der abbildenden Optik auf der gleichen Seite einer Lichtröhre zwischen dem letzten Spiegel der abbildenden Optik und dem Bildfeld angeordnet sind. Dies verhindert Bauraumkonflikte.
Die Vorteile eines optischen Systems nach Anspruch 11, einer Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 12, eines Herstellungsverfahrens nach Anspruch 13 sowie eines mikro- bzw. nanostrukturierten Bauteils nach Anspruch 14 entsprechen denen, die vorstehend unter Bezugnahme auf die abbildende Optik bereits beschrieben wurden. Das Beleuchtungsfeld kann mit dem Objektfeld zusammenfallen. Mit der Projektionsbelichtungsanlage kann insbesondere ein Halbleiter-Bauteil, beispielsweise ein Speicherchip, hergestellt werden. Die abbildende Optik kann zum Einsatz in der EUV-Projektionslithographie ausgelegt sein.
Die Spiegel der abbildenden Optik können eine für das EUV-Abbildungslicht hoch reflektierende Beschichtung tragen. Diese Beschichtung kann als Einlagen- oder Mehrlagenbeschichtung ausgeführt sein.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnung näher erläutert. In dieser zeigen:

1 schematisch eine Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Mikrolithographie;
2 eine schematische Seitenansicht einer Ausführung einer abbildenden Optik, die als Projektionsobjektiv in der Projektionsbelichtungsanlage nach 1 einsetzbar ist, wobei Spiegelkörper der abbildenden Optik ohne Halterungen zur Veranschaulichung eines Abbildungsstrahlengangs zwischen einem Objektfeld und einem Bildfeld dargestellt sind; und
3 bis 5 in zur 2 ähnlichen Darstellungen weitere Ausführungen einer abbildenden Optik, die anstelle der abbildenden Optik nach 2 in der Projektionsbelichtungsanlage nach 1 einsetzbar sind.

Eine Projektionsbelichtungsanlage 1 für die Mikrolithographie hat eine Lichtquelle 2 für Beleuchtungslicht beziehungsweise Abbildungslicht 3. Bei der Lichtquelle 2 handelt es sich um eine EUV-Lichtquelle, die Licht in einem Wellenlängenbereich beispielsweise zwischen 5 nm und 30 nm, insbesondere zwischen 5 nm und 15 nm, erzeugt. Bei der Lichtquelle 2 kann es sich um eine plasmabasierte Lichtquelle (lasererzeugtes Plasma (laser-produced plasma, LPP), gasentladungserzeugtes Plasma (gas-discharge produced plasma, GDP)) oder auch um eine synchrotronbasierte Lichtquelle, zum Beispiel einen Freie-Elektronen-Laser (FEL) handeln. Bei der Lichtquelle 2 kann es sich insbesondere um eine Lichtquelle mit einer Wellenlänge von 13,5 nm oder um eine Lichtquelle mit einer Wellenlänge von 6,9 nm handeln. Auch andere EUV-Wellenlängen sind möglich. Generell sind sogar beliebige Wellenlängen, zum Beispiel sichtbare Wellenlängen oder auch andere Wellenlängen, die in der Mikrolithographie Verwendung finden können (zum Beispiel DUV, tiefes Ultraviolett) und für die geeigneten Laserlichtquellen und/oder LED-Lichtquellen zur Verfügung stehen (beispielsweise 365 nm, 248 nm, 193 nm, 157 nm, 129 nm, 109 nm), für das in der Projektionsbelichtungsanlage 1 geführte Beleuchtungslicht 3 möglich. Ein Strahlengang des Beleuchtungslichts 3 ist in der 1 äußerst schematisch dargestellt.
Zur Führung des Beleuchtungslichts 3 von der Lichtquelle 2 hin zu einem Objektfeld 4 in einer Objektebene 5 dient eine Beleuchtungsoptik 6. Mit einer Projektionsoptik beziehungsweise abbildenden Optik 7 wird das Objektfeld 4 in ein Bildfeld 8 in einer Bildebene 9 mit einem vorgegebenen Verkleinerungsmaßstab abgebildet.
Zur Erleichterung der Beschreibung der Projektionsbelichtungsanlage 1 sowie der verschiedenen Ausführungen der Projektionsoptik 7 ist in der Zeichnung ein kartesisches xyz-Koordinatensystem angegeben, aus dem sich die jeweilige Lagebeziehung der in den Figuren dargestellten Komponenten ergibt. In der 1 verläuft die x-Richtung senkrecht zur Zeichenebene in diese hinein. Die y-Richtung verläuft nach links und die z-Richtung nach oben.
Das Objektfeld 4 und das Bildfeld 8 sind bei der Projektionsoptik 7 gebogen beziehungsweise gekrümmt und insbesondere teilringförmig ausgeführt. Eine Grundform einer Randkontur des Objektfeldes 4 beziehungsweise des Bildfeldes 8 ist entsprechend gebogen. Alternativ ist es möglich, das Objektfeld 4 und das Bildfeld 8 rechteckförmig auszuführen. Das Objektfeld 4 und das Bildfeld 8 haben ein xy-Aspektverhältnis größer als 1. Das Objektfeld 4 hat also eine längere Objektfelddimension in der x-Richtung und eine kürzere Objektfelddimension in der y-Richtung. Diese Objektfelddimensionen verlaufen längs der Feldkoordinaten x und y.
Das Objektfeld 4 ist dementsprechend aufgespannt von der ersten kartesischen Objektfeldkoordinate x und der zweiten kartesischen Objektfeldkoordinate y. Die dritte kartesische Koordinate z, die senkrecht auf diesen beiden Objektfeldkoordinaten x und y steht, wird nachfolgend auch als Normalkoordinate bezeichnet.
Die Projektionsoptik 7 nach 2 verkleinert in einer Sagittalebene xz um einen Faktor 4 und in einer Meridionalebene yz um einen Faktor -8. Bei der Projektionsoptik 7 handelt es sich um eine anamorphotische Projektionsoptik. Auch andere Verkleinerungsmaßstäbe in den beiden Abbildungslicht-Ebenen xz, yz sind möglich, zum Beispiel 3x, 5x, 6x, 7x oder auch Verkleinerungsmaßstäbe, die größer sind als 8x. Alternativ kann die Projektionsoptik 7 auch in den beiden Abbildungslicht-Ebenen xz, yz den jeweils gleichen Verkleinerungsmaßstab aufweisen, beispielsweise eine Verkleinerung um einen Faktor 8. Auch andere Verkleinerungsmaßstäbe sind dann möglich, zum Beispiel 4x, 5x oder auch Verkleinerungsmaßstäbe, die größer sind als 8x. Der jeweilige Verkleinerungsmaßstab kann mit einer Bildumkehr (image flip) einhergehen oder nicht, was nachfolgend auch durch eine entsprechende Vorzeichenangabe des Verkleinerungsmaßstabes verdeutlicht ist.
Die Bildebene 9 ist bei der Projektionsoptik 7 in der Ausführung nach 2 parallel zur Objektebene 5 angeordnet. Abgebildet wird hierbei ein mit dem Objektfeld 4 zusammenfallender Ausschnitt einer Reflexionsmaske 10, die auch als Retikel bezeichnet wird. Das Retikel 10 wird von einem Retikelhalter 10a getragen. Der Retikelhalter 10a wird von einem Retikelverlagerungsantrieb 10b verlagert.
Die Abbildung durch die Projektionsoptik 7 erfolgt auf die Oberfläche eines Substrats 11 in Form eines Wafers, der von einem Substrathalter 12 getragen wird. Der Substrathalter 12 wird von einem Wafer- beziehungsweise Substratverlagerungsantrieb 12a verlagert.
In der 1 ist schematisch zwischen dem Retikel 10 und der Projektionsoptik 7 ein in diese einlaufendes Strahlenbündel 13 des Beleuchtungslichts 3 und zwischen der Projektionsoptik 7 und dem Substrat 11 ein aus der Projektionsoptik 7 auslaufendes Strahlenbündel 14 des Beleuchtungslichts 3 dargestellt. Eine bildfeldseitige numerische Apertur (NA) der Projektionsoptik 7 ist in der 1 nicht maßstäblich wiedergegeben.
Die Projektionsbelichtungsanlage 1 ist vom Scannertyp. Sowohl das Retikel 10 als auch das Substrat 11 werden beim Betrieb der Projektionsbelichtungsanlage 1 in der y-Richtung gescannt. Auch ein Steppertyp der Projektionsbelichtungsanlage 1, bei dem zwischen einzelnen Belichtungen des Substrats 11 eine schrittweise Verlagerung des Retikels 10 und des Substrats 11 in der y-Richtung erfolgt, ist möglich. Diese Verlagerungen erfolgen synchronisiert zueinander durch entsprechende Ansteuerung der Verlagerungsantriebe 10b und 12a.
Die 2 zeigt die Projektionsoptik 7 in einer Seitenansicht. Die Zeichenebene der 2 ist parallel zur yz-Ebene entsprechend 1. Zum Strahlengang des Abbildungslichts 3 gehört ein Hauptstrahl 16 eines zentralen Feldpunktes und gehören als weitere Einzelstrahlen den Strahlengang in der yz-Ebene, die auch als Meridionalebene bezeichnet ist, randseitig begrenzende Öffnungs- bzw. Komastrahlen. Dargestellt ist der Verlauf eines Abbildungsstrahlengangs des Abbildungslichts 3 zwischen dem Objektfeld 4 und dem Bildfeld 8.
Der Hauptstrahl 16 verläuft durch das Zentrum einer Pupille in einer Pupillenebene der Projektionsoptik 7. Ausgehend vom Objektfeld 4 schließen die Hauptstrahlen 16 mit einer Normalen auf die Objektebene 5 einen Winkel CRA von 5,0° ein. Auch andere derartige Winkel CRA im Bereich beispielsweise zwischen 3° und 8° sind möglich.
Die Projektionsoptik 7 hat eine bildseitige numerische Apertur von zum Beispiel 0,55. Auch andere bildseitige numerische Aperturen im Bereich beispielsweise zwischen 0,4 und 0,7 sind möglich.
Die Projektionsoptik 7 nach 2 hat insgesamt zehn Spiegel, die in der Reihenfolge des Strahlengangs des Abbildungslichts 3, ausgehend vom Objektfeld 4, mit M1 bis M10 durchnummeriert sind.
Dargestellt sind in der 2 Spiegelkörper der Spiegel M1 bis M10. Diese Spiegelkörper tragen die für die Reflexion des Abbildungslichts 3 genutzten Spiegel-Reflexionsflächen. Spiegelflächen der Spiegel M1 bis M10 sind schematisch plan dargestellt, sind in der Praxis aber regelmäßig gekrümmt ausgeführt.
Bei der Projektionsoptik 7 nach 2 sind die Spiegel M1, M9 und M10 als Spiegel für normalen Einfall ausgeführt, also als Spiegel, auf die das Abbildungslicht 3 mit einem Einfallswinkel trifft, der kleiner ist als 45 °. Insgesamt hat die Projektionsoptik 7 nach 2 also drei Spiegel M1, M9 und M10 für normalen Einfall. Diese Spiegel für normalen Einfall werden auch als NI(Normal Incidence)-Spiegel bezeichnet.
Die Spiegel M2 bis M8 sind Spiegel für streifenden Einfall des Beleuchtungslichts 3, also Spiegel, auf die das Beleuchtungslicht 3 mit Einfallswinkeln auftritt, die größer sind als 45 ° und insbesondere größer sind als 60 °. Ein typischer Einfallswinkel der Einzelstrahlen 15 des Abbildungslichts 3 auf den Spiegeln M2 bis M8 für streifenden Einfall liegt im Bereich von 80 °. Insgesamt hat die Projektionsoptik 7 nach 2 genau sieben Spiegel M2 bis M8 für streifenden Einfall. Diese Spiegel für streifenden Einfall werden auch als GI(Grazing Incidence)-Spiegel bezeichnet.
Die Spiegel M2 bis M7 reflektieren das Abbildungslicht 3 so, dass sich die Ausfallswinkel der Einzelstrahlen 15 auf den jeweiligen Spiegeln M2 bis M7 addieren. Die Spiegel M2 bis M7 haben also - zusätzlich zu einer die Abbildungseigenschaften der Projektionsoptik 7 beeinflussenden Wirkung - alle die gleiche Richtung der Spiegel-Umlenkwirkung. Bei den Spiegeln M2 bis M7 addiert sich die Umlenkwirkung für den Hauptstrahl 16 also jeweils. Diese Spiegel M2 bis M7 werden auch als Ausgangs-GI-Spiegel bezeichnet.
Der Spiegel M8 ist derart angeordnet, dass dessen Umlenkwirkung für den Hauptstrahl 16 subtraktiv zur Umlenkwirkung der Ausgangs-GI-Spiegel M2 bis M7 wirkt. Der Spiegel M8 wird daher auch als Konter-GI-Spiegel bezeichnet.
Die Projektionsoptik 7 hat genau einen Konter-GI-Spiegel, nämlich den Spiegel M8.
Der Konter-GI-Spiegel M8 ist der letzte GI-Spiegel der Projektionsoptik 7 im Abbildungsstrahlengang vor dem Bildfeld 8.
Die Spiegel M2 bis M8 für streifenden Einfall haben jeweils sehr große absolute Radiuswerte, weichen von einer ebenen Fläche also vergleichsweise gering ab. Diese Spiegel M2 bis M8 für streifenden Einfall haben eine vergleichsweise geringe Brechkraft, also eine geringere bündelformende Wirkung, wie ein insgesamt konkaver oder konvexer Spiegel. Die Spiegel M2 bis M8 tragen zur spezifischen und insbesondere zur lokalen Abbildungsfehlerkorrektur bei.
Die Spiegel M1 bis M10 tragen eine die Reflektivität der Spiegel M1 bis M10 für das Abbildungslicht 3 optimierende Beschichtung. Hierbei kann es sich um eine Einlagen-Ruthenium-Beschichtung oder um einen Multilayer mit jeweils einer obersten Schicht aus beispielsweise Ruthenium handeln. Bei den Spiegeln M2 bis M8 für streifenden Einfall kann eine Beschichtung mit beispielsweise einer Lage aus Molybdän oder Ruthenium zum Einsatz kommen. Diese hoch reflektierenden Schichten insbesondere der Spiegel M1, M9 und M10 für normalen Einfall können als Mehrlagen-Schichten ausgeführt sein, wobei aufeinanderfolgende Schichten aus unterschiedlichen Materialien gefertigt sein können. Auch alternierende Materialschichten können zum Einsatz kommen. Eine typische Mehrlagenschicht kann fünfzig Bilagen aus jeweils einer Schicht Molybdän und einer Schicht Silizium aufweisen. Diese können zusätzliche Trennschichten aus beispielsweise C (Kohlenstoff), B₄C (Borcarbid) beinhalten und können durch eine Schutzschicht oder ein Schutzschichtsystem zum Vakuum abgeschlossen sein.
Zur Berechnung einer Gesamt-Reflektivität der Projektionsoptik 7 wird eine Systemtransmission wie folgt berechnet: Eine Spiegel-Reflektivität wird in Abhängigkeit vom Einfallswinkel eines Führungsstrahls, also eines Hauptstrahls eines zentralen Objektfeldpunktes, an jeder Spiegelfläche bestimmt und multiplikativ zur Systemtransmission zusammengefasst.
Details zur Reflektivitätsberechnung sind erläutert in der WO 2015/014 753 A1 .
Weitere Informationen zur Reflexion an einem GI-Spiegel (Spiegel für streifenden Einfall) finden sich in der WO 2012/126 867 A1 . Weitere Informationen zur Reflektivität von NI-Spiegeln (Normal Incidence Spiegeln) finden sich in der DE 101 55 711 A1 .
Eine Gesamt-Reflektivität beziehungsweise Systemtransmission der Projektionsoptik 7, die sich als Produkt der Reflektivitäten aller Spiegel M1 bis M10 der Projektionsoptik 7 ergibt, beträgt zum Beispiel R = 6,5 %.
Der Spiegel M10, also der im Abbildungsstrahlengang letzte Spiegel vor dem Bildfeld 8, hat eine Durchtrittsöffnung 17 zum Durchtritt des Abbildungslichts 3, das vom drittletzten Spiegel M8 hin zum vorletzten Spiegel M9 reflektiert wird. Der Spiegel M10 wird um die Durchtrittsöffnung 17 herum reflektiv genutzt. Alle anderen Spiegel M1 bis M9 haben keine Durchtrittsöffnung und werden in einem lückenlos zusammenhängenden Bereich reflektiv genutzt.
Der gesamte Abbildungsstrahlengang der Projektionsoptik 7 gibt eine Lichtröhre 18 vor, innerhalb der das Abbildungslicht 3 geführt ist. Eine Spiegel- beziehungsweise Reflexionsfläche des Konter-GI-Spiegels M8 reflektiert das Abbildungslicht 3 auf einer in Bezug auf die durch den Abbildungsstrahlengang des Abbildungslichts 3 vorgegebenen Lichtröhre 18 gegenüberliegenden Seite wie die Spiegelflächen der Ausgangs-GI-Spiegel M2 bis M7.
Insbesondere der vorletzte Spiegel M9, der das durch die Durchtrittsöffnung 17 geführte Abbildungslicht 3 hin zum die bildseitige numerische Apertur vorgebenden Spiegel M10 reflektiert, wird in einem lückenlos zusammenhängenden Bereich reflektiv genutzt. Dieser vorletzte Spiegel M9 ist im Abbildungsstrahlengang auf einer Seite der Lichtröhre 18 zwischen dem letzten Spiegel M10 und dem Bildfeld 8 angeordnet, die vom ersten Spiegel M1 abgewandt ist. Die Lichtröhre 18 zwischen dem letzten Spiegel M10 im Abbildungsstrahlengang der Projektionsoptik 7 und dem Bildfeld 8 liegt also zwischen dem ersten Spiegel M1 im Abbildungsstrahlengang und dem vorletzten Spiegel M9 im Abbildungsstrahlengang.
Die Spiegel M1 bis M10 sind als nicht durch eine rotationssymmetrische Funktion beschreibbare Freiformflächen ausgeführt. Es sind auch andere Ausführungen der Projektionsoptik 7 möglich, bei denen mindestens einer der Spiegel M1 bis M10 als rotationssymmetrische Asphäre ausgeführt ist. Eine Asphärengleichung für eine solche rotationssymmetrische Asphäre ist bekannt aus der DE 10 2010 029 050 A1 . Auch alle Spiegel M1 bis M10 können als derartige Asphären ausgeführt sein.
Eine Freiformfläche kann durch folgende Freiformflächengleichung (Gleichung 1) beschrieben werden: $\begin{array}{l} Z = \frac{c_{x} x^{2} + c_{y} y^{2}}{1 + \sqrt{1 - (1 + k_{x}) {(c_{x} x)}^{2} - (1 + k_{y}) {(c_{y} y)}^{2}}} \\ \begin{array}{l} + C_{1} x + C_{2} y \\ + C_{3} x^{2} + C_{4} xy + C_{5} y^{2} \\ + C_{6} x^{3} + \dots + C_{9} y^{3} \\ + C_{10} x^{4} + \dots + C_{12} x^{2} y^{2} + \dots + C_{14} y^{4} \\ + C_{15} x^{5} + \dots + C_{20} y^{5} \\ + C_{21} x^{6} + \dots + C_{24} x^{3} y^{3} + \dots + C_{27} y^{6} \\ + \dots \end{array} \end{array}$
Für die Parameter dieser Gleichung (1) gilt:
Z ist die Pfeilhöhe der Freiformfläche am Punkt x, y, wobei x² + y² = r². r ist hierbei der Abstand zur Referenzachse der Freiformflächengleichung
(x = 0; y = 0).
In der Freiformflächengleichung (1) bezeichnen C₁, C₂, C₃... die Koeffizienten der Freiformflächen-Reihenentwicklung in den Potenzen von x und y.
Im Falle einer konischen Grundfläche ist c_x, c_y eine Konstante, die der Scheitelpunktkrümmung einer entsprechenden Asphäre entspricht. Es gilt also c_x = 1/R_x und c_y = 1/R_y. k_x und k_y entsprechen jeweils einer konischen Konstante einer entsprechenden Asphäre. Die Gleichung (1) beschreibt also eine bikonische Freiformfläche.
Eine alternativ mögliche Freiformfläche kann aus einer rotationssymmetrischen Referenzfläche erzeugt werden. Derartige Freiformflächen für Reflexionsflächen der Spiegel von Projektionsoptiken von Projektionsbelichtungsanlagen für die Mikrolithographie sind bekannt aus der
US 2007-0058269 A1 .
Alternativ können Freiformflächen auch mit Hilfe zweidimensionaler Spline-Oberflächen beschrieben werden. Beispiele hierfür sind Bezier-Kurven oder nicht-uniforme rationale Basis-Splines (non-uniform rational basis splines, NURBS). Zweidimensionale Spline-Oberflächen können beispielsweise durch ein Netz von Punkten in einer xy-Ebene und zugehörige z-Werte oder durch diese Punkte und ihnen zugehörige Steigungen beschrieben werden. Abhängig vom jeweiligen Typ der Spline-Oberfläche wird die vollständige Oberfläche durch Interpolation zwischen den Netzpunkten unter Verwendung zum Beispiel von Polynomen oder Funktionen, die bestimmte Eigenschaften hinsichtlich ihrer Kontinuität und Differenzierbarkeit haben, gewonnen. Beispiele hierfür sind analytische Funktionen.
Eine pupillendefinierende Aperturblende AS ist bei der Projektionsoptik 7 im Abbildungslichtstrahlengang zwischen den Spiegeln M9 und M10 angeordnet. Zusätzlich zu dieser Aperturblende AS kann die Projektionsoptik 7 auch noch mindestens eine weitere Aperturblende sowie mindestens eine Obskurationsblende zur Vorgabe einer Pupillenobskuration der Projektionsoptik 7 aufweisen.
Anhand der 3 wird nachfolgend eine weitere Ausführung einer Projektionsoptik 19 beschrieben, die anstelle der Projektionsoptik 7 bei der Projektionsbelichtungsanlage 1 zum Einsatz kommen kann. Komponenten, die denjenigen entsprechen, die vorstehend unter Bezugnahme auf die 1 und 2 und insbesondere auf die 2 bereits erläutert wurden, tragen die gleichen Bezugsziffern und werden nicht nochmals im Einzelnen diskutiert.
Bei der Projektionsoptik 19 ist der Konter-GI-Spiegel M8 räumlich dem vorhergehenden Ausgangs-GI-Spiegel M7 sehr nahe benachbart, sodass die Lichtröhre 18, gesehen in der yz-Ebene im Umlenkbereich der Spiegel M7 und M8 sehr schmal ist. Ein Abstand zwischen den Reflexionsflächen der Spiegel M7 und M8 beträgt weniger als die Hälfte einer Reflexionsflächen-Abmessung der kleineren Reflexionsfläche dieser Spiegel M7 und M8 in der yz-Ebene. Tatsächlich beträgt der Abstand weniger als ein Viertel und sogar weniger als ein Fünftel dieser Reflexionsflächen-Abmessung. Die einander gegenüberliegenden Reflexionsflächen der Spiegel M7 und M8 überlappen zu mehr als einem Drittel der Reflexionsflächen-Abmessung des größeren der beiden Spiegel M7 und M8 in der yz-Ebene. Dieser Überlapp kann größer sein als 40 % der Reflexionsflächen-Abmessung des größeren der beiden Spiegel in der yz-Ebene.
Die optischen Designdaten der Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M10 der Projektionsoptik 19 können den nachfolgenden Tabellen entnommen werden. Diese optischen Designdaten gehen jeweils von der Bildebene 9 aus, beschreiben die jeweilige Projektionsoptik also in umgekehrter Laufrichtung des Abbildungslichts 3 zwischen der Bildebene 9 und der Objektebene 5.
Die erste dieser Tabellen gibt einen Überblick über die Designdaten der Projektionsoptik 19 und fasst zusammen die numerische Apertur NA, die gerechnete Designwellenlänge für das Abbildungslicht 3, die Verkleinerungsfaktoren βx und βy in den beiden Abbildungslicht-Ebenen xz und yz, die Größen des Bildfeldes in x- und y-Richtung, ein Bildfehlerwert rms, eine Bildfeldkrümmung sowie einen Blendenort. Diese Krümmung ist definiert als der inverse Krümmungsradius des Feldes. Der Bildfehlerwert ist angegeben in mλ(ml), also abhängig von der Designwellenlänge. Es handelt sich hierbei um den rms (Root Mean Square)-Wert des Wellenfrontfehlers.
Die zweite dieser Tabellen gibt zu den optischen Oberflächen der optischen Komponenten Scheitelpunktsradien (Radius_x = R_x, Radius_y = R_y) und Brechkraftwerte (Power_x, Power_y) an. Negative Radienwerte bedeuten zum einfallenden Beleuchtungslicht 3 hin konkave Kurven im Schnitt der jeweiligen Oberfläche mit der betrachteten Ebene (xz, yz), die von einer Flächennormalen im Scheitelpunkt mit der jeweiligen Krümmungsrichtung (x, y) aufgespannt wird. Die beiden Radien Radius_x, Radiux_y können explizit verschiedene Vorzeichen haben.
Die Scheitelpunkte an jeder optischen Fläche sind definiert als Auftreffpunkte eines Führungsstrahls, der von einer Objektfeldmitte entlang einer Symmetrieebene x=0, also der Zeichenebene der 3 (Meridionalebene) hin zum Bildfeld 8 geht.
Die Brechkräfte Power_x (P_x), Power_y (P_y) an den Scheitelpunkten sind definiert als: $P_{x} = - \frac{2 cos A O I}{R_{x}}$
$P_{y} = - \frac{2}{R_{y} cos A O I}$
AOI bezeichnet hierbei einen Einfallswinkel des Führungsstrahls zur Oberflächennormalen.
Die dritte Tabelle gibt für die Spiegel M1 bis M10 in mm die konischen Konstanten k_x und k_y, den Scheitelpunktradius R_x (= Radius_x) und die Freiformflächen-Koeffizienten C_n an. Koeffizienten C_n, die nicht tabelliert sind, haben jeweils den Wert 0.

In der vierten Tabelle ist noch der Betrag angegeben, längs dem der jeweilige Spiegel, ausgehend von einer Bezugsfläche in der y-Richtung dezentriert (DCY), in der z-Richtung verschoben (DCZ) und verkippt (TLA, TLB, TLC) wurde. Dies entspricht einer Parallelverschiebung und einer Verkippung beim Freiformflächen-Designverfahren. Verschoben wird dabei in y- und in z-Richtung in mm und verkippt um die x-Achse, um die y-Achse und um die z-Achse. Der Verdrehwinkel ist dabei in Grad angegeben. Es wird zunächst dezentriert, dann verkippt. Die Bezugsfläche bei der Dezentrierung ist jeweils die erste Fläche der angegebenen optischen Designdaten. Auch für das Objektfeld 4 ist eine Dezentrierung in y- und in z-Richtung angegeben. Neben den den einzelnen Spiegeln zugeordneten Flächen sind in der vierten Tabelle auch die Bildebene als erste Fläche, die Objektebene als letzte Fläche sowie ggf. eine Blendenfläche (mit der Bezeichnung „AS“) tabelliert. Tabelle 1 zu Fig. 3

Ausführungsbeispiel	3
NA	0.55
Wellenlaenge	13.5 nm
beta_x	4.0
beta_y	-8.0
Feldgroesse_x	26 mm
Feldgroesse_y	1.2 mm
Feldkruemmung	0.0125 1/mm
rms	8.0 ml
Blende	AS

Tabelle 2 zu Fig. 3

Oberfläche	Radius_x[mm]	Power_x[1/mm]	Radius_y[mm]	Power_y[1/mm]	Betriebsmodus
M10	-737.7002884	-0.0020905	-633.4535619	-0.0040947	REFL
M9	2241.8669864	0.0006879	269.7564979	0.0096152	REFL
M8	3218.5207127	0.0004792	6600.8174156	0.0003929	REFL
M7	-1083.5412233	-0.0014233	-4219.2293539	-0.0006147	REFL
M6	-850.8144305	-0.0018126	1996.6577333	0.0012991	REFL
M5	-1214.3360968	-0.0012700	-2752.0982230	-0.0009425	REFL
M4	-4844.4922120	-0.0003183	-2774.9436283	-0.0009347	REFL
M3	1039.1036038	0.0014841	-14863.6449196	-0.0001745	REFL
M2	1207.9400573	0.0012767	13442.6073106	0.0001930	REFL
M1	-1893.2083333	-0.0008146	-1437.8461797	-0.0018039	REFL

Tabelle 3a zu Fig. 3

Koeffizient	M10	M9	M8
KY	0.00000000	0.00000000	0.00000000
KX	0.00000000	0.00000000	0.00000000
RX	-737.70028840	2241.86698600	3218.52071300

C7	-2.52953768e-08	1.85996796e-06	-6.02315191e-07
C9	-9.42682976e-09	2.10952079e-06	-9.71049195e-08
C10	-1.00726994e-11	7.69181554e-10	-5.70785317e-10
C12	-8.0114505e-11	5.94540219e-09	1.21851277e-09
C14	-3.30038053e-11	9.60604895e-09	9.44666422e-11
C16	-7.17473475e-14	3.56640596e-12	-7.67472963e-14
C18	-8.93511719e-14	3.55337589e-11	-2.40577505e-12
C20	-2.38650879e-14	2.68169415e-11	-1.41865804e-13
C21	-3.20260633e-17	9.80977019e-16	9.40579349e-15
C23	-2.64455105e-16	4.6084951e-14	4.79805556e-15
C25	-3.20537216e-16	1.95721217e-13	4.17058841e-15
C27	-9.89040614e-17	3.72626767e-13	1.00375431e-16
C29	-1.64127869e-19	4.62267137e-17	-6.31417794e-17
C31	-3.47081822e-19	4.53783503e-16	-1.60492355e-17
C33	-2.5614288e-19	1.95279002e-15	-1.07941402e-17
C35	-6.64266865e-20	2.76512226e-15	-9.86260073e-21
C36	-1.00886341e-22	4.19194717e-20	-2.22836909e-19
C38	-6.78548665e-22	5.34686858e-19	2.92897157e-19
C40	-1.38045052e-21	4.64641533e-18	6.35584351e-20
C42	-1.02526733e-21	1.4470467e-17	2.51165468e-20
C44	-2.55045104e-22	2.36633145e-17	1.25207435e-20
C46	-3.97699642e-25	1.49558347e-22	3.90742013e-22
C48	-1.15119899e-24	5.90345874e-21	-1.30544908e-21
C50	-1.428202e-24	3.81451386e-20	-8.04927808e-23
C52	-8.12536145e-25	1.01742723e-19	-1.64007777e-22
C54	-1.61603643e-25	-1.24735309e-20	-1.08974232e-24
C55	1.84180509e-29	-1.47448514e-24	2.33265267e-23
C57	-1.72423129e-27	2.37642842e-24	-2.1212686e-24
C59	-4.97516571e-27	4.00374207e-23	-7.23102807e-24
C61	-5.8725875e-27	2.10030263e-22	-3.17986177e-24
C63	-3.22030515e-27	3.47971049e-22	-4.62224534e-25
C65	-5.15023462e-28	-1.86808181e-21	-4.82930644e-25
C67	-2.60518715e-31	4.41795309e-27	-1.0459071e-25
C69	-9.41856142e-31	-8.31660551e-26	9.4315448e-26
C71	-1.61660111e-30	-1.0948192e-24	1.61742576e-26
C73	-1.92426968e-30	-4.28959816e-24	1.51906612e-26
C75	-1.23962374e-30	-6.7802472e-24	1.17939552e-26
C77	-3.29553453e-31	2.36753731e-23	4.72478538e-29
C78	-3.7589451e-34	4.70929669e-29	-1.25579334e-27
C80	-2.73929414e-33	5.85036626e-30	3.57153739e-28
C82	-7.36477596e-33	-6.52331078e-28	1.19367884e-27
C84	-1.38793833e-32	-8.67286688e-28	1.01092214e-27
C86	-1.54072895e-32	8.94972697e-28	7.39825557e-29
C88	-6.63592286e-33	9.17068893e-26	1.82984162e-29
C90	-2.34164556e-33	5.74323742e-25	1.45444448e-29
C92	-7.58191608e-36	-2.58594601e-32	8.25577005e-30
C94	-2.95455374e-35	6.97316689e-30	-1.1813869e-29
C96	-7.0880133e-35	1.25041182e-28	-9.96420116e-30
C98	-8.41224613e-35	9.1731174e-28	-3.68757717e-30
C100	-5.2558588e-35	2.51032632e-27	-1.44005534e-30
C102	-1.70946779e-35	2.75018768e-27	-3.74395366e-31
C104	-2.81022204e-36	-3.17669175e-27	1.21306508e-32
C105	-3.46916013e-39	-8.45060045e-34	3.135363e-32
C107	-1.30771055e-38	2.7409071e-33	-2.82194502e-32
C109	-1.02894699e-37	1.19836389e-31	-8.79007343e-33
C111	-2.30255963e-37	1.2058866e-30	-6.24304172e-32
C113	-2.56594195e-37	6.03178257e-30	-1.29247753e-32
C115	-1.48070791e-37	1.29329509e-29	2.42437524e-33
C117	-5.86769226e-38	5.74021848e-31	-3.68053071e-34
C119	3.51003749e-40	-8.08265879e-29	-2.29928503e-34
C121	3.09490304e-41	-7.52901723e-37	-2.16163217e-34
C123	1.11687189e-40	-1.63982826e-34	4.66910267e-34
C125	3.53766728e-40	-3.76444362e-33	7.10274185e-34
C127	5.4189201e-40	-4.18691499e-32	4.72208877e-34
C129	4.48991905e-40	-2.03675605e-31	1.1881458e-34
C131	2.14171913e-40	-3.77387428e-31	2.537269e-35
C133	5.67006588e-41	-3.20732685e-31	4.24876888e-36
C135	1.02833671e-41	2.98651868e-31	-2.2408905e-37
C136	2.18056219e-45	9.25694698e-39	-1.96940731e-37
C138	6.65625339e-45	-8.24070688e-38	5.77576156e-37
C140	2.78218977e-43	-3.75314872e-36	-2.54712323e-36
C142	8.46138255e-43	-5.40543135e-35	-1.42349179e-36
C144	1.32235214e-42	-4.28980072e-34	-8.88516983e-37
C146	1.09198506e-42	-1.61896253e-33	-2.31433305e-37
C148	4.73265401e-43	-2.65196031e-33	-7.61402068e-38
C150	1.85602119e-43	-1.14792438e-33	2.3815721e-39
C152	-1.29426355e-44	6.87203829e-33	1.41839801e-39
C154	-7.3591102e-47	2.03419279e-41	0
C156	-3.7998948e-46	1.88501402e-39	0
C158	-1.42331753e-45	4.87327355e-38	0
C160	-2.79531223e-45	7.02089392e-37	0
C162	-3.29100865e-45	5.35494227e-36	0
C164	-2.39940765e-45	1.84358653e-35	0
C166	-1.10261495e-45	2.76282366e-35	0
C168	-2.93698115e-46	2.14607653e-35	0
C170	-4.5992141e-47	-9.44452254e-36	0
C171	-8.40057037e-51	-4.66073034e-44	0
C173	-1.49981231e-49	1.07512057e-42	0
C175	-1.25812111e-48	4.8932231e-41	0
C177	-4.32495513e-48	8.69758887e-40	0
C179	-8.60706947e-48	9.6909921e-39	0
C181	-1.06314123e-47	5.80907348e-38	0
C183	-7.92098167e-48	1.7422191e-37	0
C185	-3.64116793e-48	2.3569088e-37	0
C187	-1.12593209e-48	1.71555243e-37	0
C189	-6.41444882e-50	-2.28900198e-37	0

Tabelle 3b zu Fig. 3

Koeffizient	M7	M6	M5
KY	0.00000000	0.00000000	0.00000000
KX	0.00000000	0.00000000	0.00000000
RX	-1083.54122300	-850.81443050	-1214.33609700

C7	4.35239739e-07	-3.42423269e-07	2.34482742e-07
C9	-3.9425202e-08	2.02627837e-07	7.55108276e-08
C10	3.14587759e-10	6.21736475e-11	-2.97062834e-10
C12	-7.07570232e-10	-4.28960931e-10	-1.28788857e-10
C14	-1.75013055e-10	5.44734919e-09	-2.43007969e-10
C16	3.97768115e-13	-5.43713839e-13	-2.58155687e-13
C18	3.72057353e-13	2.36360885e-13	3.97031598e-13
C20	-3.31835577e-13	-1.2279898e-11	8.58576e-13
C21	-4.17541181e-16	1.78704523e-16	2.2672077e-16
C23	-2.51091832e-15	-2.62597761e-15	-5.52733195e-16
C25	-2.38795241e-15	-5.46466834e-15	-1.8017403e-15
C27	-8.98268359e-16	2.51135286e-13	-3.23260512e-15
C29	3.49416755e-18	1.53910429e-18	7.13056422e-19
C31	1.38679155e-18	-2.02764012e-17	1.39144592e-18
C33	-1.64830861e-18	3.37383232e-17	8.11191139e-18
C35	-1.61482656e-18	-1.69757341e-15	1.32384768e-17
C36	2.50665511e-20	-7.25158577e-23	-2.15599556e-21
C38	-7.56240423e-21	1.83680009e-20	-1.79354319e-21
C40	4.12043797e-21	1.96333073e-20	-8.54302454e-21
C42	-2.22051851e-22	-1.02604492e-18	-3.95912742e-20
C44	-7.52035104e-21	2.25999161e-17	-5.99838547e-20
C46	-1.92587772e-23	-1.96328265e-23	8.11548674e-24
C48	1.37230819e-22	1.67794918e-22	-3.83874949e-24
C50	1.09424094e-22	-8.85150107e-22	3.92265281e-23
C52	1.40686364e-23	1.35228017e-20	1.84742279e-22
C54	-6.90834407e-23	-5.67030873e-20	2.47315335e-22
C55	-1.12308317e-24	-6.19428253e-27	3.53835569e-26
C57	-1.36887345e-24	-4.1039408e-25	5.71071149e-26
C59	-1.15924761e-24	1.33915493e-24	8.25047975e-28
C61	-4.91298545e-25	-1.9360465e-23	-1.14630069e-25
C63	-7.10057829e-25	-1.26928245e-22	-4.63533881e-25
C65	-8.14254729e-26	-9.48056636e-22	-7.66454537e-25
C67	3.57149017e-27	3.68680309e-28	-1.99892877e-28
C69	-4.57742699e-27	-5.66794597e-27	4.05243648e-28
C71	-4.28337433e-27	7.09517123e-26	4.51093759e-28
C73	-6.35333697e-27	-3.62625514e-25	-4.22999135e-28
C75	-4.3546202e-27	1.6036788e-24	1.51287886e-27
C77	1.94260202e-27	-8.32969325e-23	3.57398422e-27
C78	2.7962358e-29	1.86657896e-31	-4.52332611e-31
C80	4.52835727e-29	1.03713204e-29	-1.61350682e-30
C82	8.40881918e-29	-5.47803505e-29	-2.45779503e-30
C84	7.17370574e-30	7.92345741e-28	-1.80610747e-30
C86	1.36451507e-29	1.34368553e-26	-6.23379683e-30
C88	9.46642362e-30	-3.21125555e-26	-3.47649285e-29
C90	2.17099112e-30	1.80611858e-24	-3.68548731e-29
C92	-1.50780461e-31	-3.81511828e-33	2.31771191e-33
C94	1.97360449e-31	1.16527868e-31	-4.22915072e-33
C96	1.66732164e-31	-1.72596667e-30	-8.7882227e-33
C98	8.66792989e-32	-3.22245293e-29	2.36441723e-32
C100	2.74996235e-31	1.35508796e-28	1.5499864e-31
C102	1.14631371e-31	-1.56493002e-27	3.09993266e-31
C104	-6.51186113e-32	1.62374489e-26	2.6823205e-31
C105	-2.97497557e-34	-2.72505099e-36	2.95184353e-36
C107	-2.21033914e-34	-1.40784466e-34	1.85276319e-35
C109	-2.91743484e-33	4.58228404e-34	6.34292829e-35
C111	-8.25719604e-34	1.27622158e-32	6.93222525e-35
C113	1,29666797e-34	-1.97014256e-31	-2.32551733e-34
C115	-1.0524956e-34	-2.0587634e-30	-1.00763802e-33
C117	-6.18825384e-36	1.07359892e-29	-1.197412e-33
C119	-1.65211803e-34	-3.79365429e-28	-1.11723213e-33
C121	1.8942758e-36	1.35156509e-38	-1.20135025e-38
C123	-3.35505428e-36	-9.01995939e-37	-3.17946662e-38
C125	-3.52627315e-36	8.72434623e-36	-1.88714797e-37
C127	-9.7140295e-37	6.96176238e-34	-1.37349577e-37
C129	-2.09508359e-36	3.88981949e-33	9.14583631e-37
C131	-5.23388133e-36	-2.05402709e-32	2.82700258e-36
C133	-1.42079342e-36	4.64686944e-31	2.01193467e-36
C135	6.73961936e-37	-2.77224207e-30	2.55035198e-36
C136	6.25198255e-40	1.36151539e-41	-8.22170107e-42
C138	-4.43295127e-39	7.9048891e-40	-4.21591506e-41
C140	3.54853899e-38	3.9751672e-39	-3.54508747e-41
C142	2.54324412e-38	-3.18646591e-37	3.24841504e-40
C144	4.67631932e-40	-4.9394219e-36	-9.31220065e-41
C146	-2.63469358e-39	5.38039052e-36	-1.13046478e-39
C148	-8.355395e-39	1.30413915e-34	-3.06075522e-39
C150	-2.38311538e-39	-4.2813083e-33	-9.86820737e-40
C152	2.25179826e-39	4.88252735e-32	-2.52198421e-39

Tabelle 3c zu Fig. 3

Koeffizient	M4	M3	M2
KY	0.00000000	0.00000000	0.00000000
KX	0.00000000	0.00000000	0.00000000
RX	-4844.49221200	1039.10360400	1207.94005700

C7	-2.47966681e-07	9.30208098e-08	3.07066591e-07
C9	3.07707579e-08	1.66336998e-09	-5.95819001e-08
C10	-7.02700514e-10	1.19342834e-09	8.16206464e-10
C12	1.59765952e-10	-2.01168364e-10	7.34760714e-10
C14	-5.57210455e-11	-1.84433388e-10	3.0960887e-11
C16	1.09197519e-12	-1.4931534e-12	2.85193185e-12
C18	-4.14344918e-13	7.933183e-13	1.53341948e-12
C20	7.29939066e-14	1.09390529e-12	2.82966637e-13
C21	5.29789789e-16	8.6311582e-15	1.0845313e-16
C23	-1.51056351e-15	-2.13418837e-15	7.32725236e-15
C25	7.33317245e-16	-1.08838844e-14	5.19879687e-15
C27	-5.57150884e-17	-1.81316739e-15	2.19764407e-15
C29	1.25234135e-19	-1.48940717e-17	-1.41310446e-18
C31	2.69518342e-18	4.37737036e-17	6.65317978e-18
C33	-1.48544713e-18	1.86374744e-17	5.97649715e-18
C35	5.32109359e-19	-4.06001427e-19	7.24697268e-18
C36	2.1076938e-20	-6.873481e-20	1.60902967e-21
C38	-1.62263725e-21	-1.25643486e-19	2.41849995e-20
C40	-4.50092303e-21	-1.51776858e-19	1.84656906e-20
C42	8.40483525e-21	-2.65239944e-20	1.20157009e-20
C44	-3.30601801e-21	-3.26167916e-21	1.26941206e-20
C46	-1.33801598e-22	5.62467079e-22	5.75237661e-23
C48	-1.2588797e-23	1.11310938e-21	1.90864329e-22
C50	2.06726684e-23	-8.73689917e-23	1.62891521e-22
C52	-3.39514743e-23	-8.93147353e-22	2.4690831e-22
C54	-8.24983885e-24	-1.13281704e-22	2.83153421e-23
C55	-9.56491426e-25	6.95246809e-24	5.20796412e-26
C57	2.17598183e-25	7.96302553e-26	-1.56838547e-25
C59	-4.44016763e-26	6.77568896e-25	1.74090117e-25
C61	-2.19739432e-25	5.78085501e-24	8.38079164e-25
C63	-1.57483559e-25	7.82373496e-24	1.28359283e-24
C65	8.4647673e-26	1.96636517e-24	2.24533978e-25
C67	6.14929533e-27	-3.09537053e-26	-1.97234038e-27
C69	7.36058049e-28	-6.34055324e-26	-3.63221986e-27
C71	4.93224022e-28	-9.34116619e-26	-4.39620934e-27
C73	-2.89600162e-28	-1.95352271e-26	-7.31861765e-27
C75	9.49226153e-28	6.31499929e-26	-3.71627879e-27
C77	3.67777982e-28	3.16953793e-27	1.13557523e-28
C78	1.66651318e-29	-1.66446672e-28	-5.21858988e-30
C80	-1.20501246e-29	-3.6454199e-29	2.00963529e-30
C82	4.32373715e-30	2.90983273e-28	3.73547623e-29
C84	1.4667022e-30	2.01178384e-28	-3.33988004e-29
C86	6.95259698e-30	-4.19193546e-28	-6.71999917e-29
C88	5.20101181e-30	-6.94579085e-28	-9.75147313e-31
C90	-3.02537182e-30	-1.38428018e-28	-4.01068872e-30
C92	-1.15327645e-31	6.99835263e-31	4.45264526e-32
C94	-7.33627626e-33	3.14023769e-30	7.83686995e-32
C96	-3.08049501e-32	7.76706043e-30	2.20008707e-31
C98	1.59615153e-35	8.31706225e-30	6.41095213e-32
C100	2.07044262e-32	1.47453311e-30	3.66799092e-31
C102	-3.23834756e-32	-2.84874857e-30	4.6918853e-31
C104	-3.38852445e-33	2.187538e-31	-2.3522725e-33
C105	-1.23046912e-34	1.79308231e-33	1.35439262e-34
C107	2.44432868e-34	-3.83812995e-34	3.34195642e-34
C109	-1.70597904e-34	-2.39637049e-32	-1.05615066e-33
C111	-1.49515883e-34	-4.60935228e-32	4.51367437e-34
C113	2.62646093e-35	-3.01948872e-32	1.95864942e-33
C115	-2.1953273e-34	1.24117689e-32	2.61687031e-33
C117	-1.52895176e-35	3.12688656e-32	1.42252035e-33
C119	4.23770866e-35	4.44364821e-33	-6.11470441e-35
C121	7.47070273e-37	-4.68848806e-36	-4.83117818e-37
C123	-9.35902632e-38	-5.11834793e-35	-3.21857252e-37
C125	4.16043417e-37	-2.0186479e-34	-3.17390316e-36
C127	3.51467543e-37	-3.40746312e-34	1.44736403e-36
C129	-3.29429474e-37	-2.80646681e-34	-2.31796393e-36
C131	-1.02387436e-37	-4.53020188e-35	-8.79432588e-36
C133	2.81704969e-37	4.08940167e-35	-5.49264717e-36
C135	1.54111898e-38	-1.15882534e-35	-7.83001588e-37
C136	3.45496686e-40	-8.25130005e-39	-1.159619e-39
C138	-1.42987239e-39	2.97456217e-39	-6.31951257e-39
C140	2.27839852e-39	5.59447229e-37	7.83532784e-39
C142	3.51699921e-39	1.62251099e-36	3.49270994e-39
C144	4.22877785e-40	2.19385506e-36	-1.00936518e-38
C146	-1.24908298e-40	1.49884255e-36	-4.27623389e-38
C148	1.96932407e-39	2.24199833e-38	-5.03025544e-38
C150	-3.09338143e-40	-5.11770228e-37	-2.10528359e-38
C152	-2.539525e-40	-3.82021219e-38	-1.80085041e-39

Tabelle 3d zu Fig. 3

Koeffizient	M1
KY	0.00000000
KX	0.00000000
RX	-1893.20833300

C7	-2.54674636e-08
C9	5.35751754e-08
C10	-1.61152904e-11
C12	2.45999392e-11
C14	-1.50858996e-10
C16	-2.28419788e-14
C18	-8.50461514e-14
C20	6.53637341e-13
C21	-7.58292053e-18
C23	-3.65038151e-17
C25	-2.25942262e-16
C27	-6.00148701e-16
C29	1.32386892e-20
C31	-1.32572699e-19
C33	-1.02094817e-18
C35	-4.07990757e-18
C36	-1.84459905e-24
C38	9.89588452e-24
C40	2.31961466e-21
C42	9.06990934e-21
C44	-3.04175928e-20
C46	-1.12870413e-25
C48	2.12199545e-24
C50	4.80376149e-24
C52	-4.45498062e-23
C54	1.32832859e-22
C55	-1.17730708e-28
C57	-5.04814612e-27
C59	-1.40527539e-25
C61	-9.05824679e-25
C63	-1.59785099e-24
C65	2.80915647e-24
C67	1.06124096e-30
C69	-1.15902903e-28
C71	-1.10563764e-27
C73	-3.55297637e-28
C75	1.36213013e-26
C77	-1.01427406e-28
C78	3.02117088e-33
C80	1,68333352e-31
C82	4.79173264e-30
C84	4.39797394e-29
C86	1.4362538e-28
C88	1.54996747e-28
C90	-1.70473184e-28
C92	-2.24134436e-35
C94	2.30900355e-33
C96	3.57648039e-32
C98	1.65965606e-31
C100	-2.16630359e-31
C102	-1.56723725e-30
C104	-3.32701852e-31
C105	-2.88060296e-38
C107	-2.55575237e-36
C109	-8.62671877e-35
C111	-1.01544973e-33
C113	-5.40304678e-33
C115	-9.86880544e-33
C117	-6.233427e-33
C119	8.6484607e-33
C121	2.33577596e-40
C123	-1.90764629e-38
C125	-4.29166391e-37
C127	-3.51708627e-36
C129	-8.00268927e-36
C131	3.02281369e-35
C133	8.2686591e-35
C135	1.9657161e-35
C136	9.46875124e-44
C138	1.77700314e-41
C140	7.59898736e-40
C142	1.11449901e-38
C144	8.20038947e-38
C146	2.80142881e-37
C148	2.32683607e-37
C150	4.57237015e-38
C152	-2.6991073e-37
C154	-8.15160966e-46
C156	5.80809114e-44
C158	1.7391558e-42
C160	2.07202731e-41
C162	1.04060367e-40
C164	7.06491483e-41
C166	-1.07727813e-39
C168	-1.6874952e-39
C170	-3.75039214e-40
C171	5.54656874e-50
C173	-4.60105212e-47
C175	-2.54308714e-45
C177	-4.64410575e-44
C179	-4.32183268e-43
C181	-2.25212672e-42
C183	-4.73925918e-42
C185	8.00175336e-43
C187	2.16374959e-42
C189	3.69467144e-42

Tabelle 4a zu Fig. 3

Oberfläche	DCX	DCY	DCZ
Bildfeld	0.00000000	0.00000000	0.00000000
M10	0.00000000	0.00000000	611.14209011
AS	0.00000000	102.54822285	201.65649724
M9	0.00000000	126.86427509	104.56000163
M8	0.00000000	-114.33985457	1067.70669742
M7	0.00000000	-78.97504388	1276.98627700
M6	0.00000000	-184.25734401	1631.78326634
M5	0.00000000	-386.22075129	1764.51543801
M4	0.00000000	-1174.84658785	1908.13092797
M3	0.00000000	-1748.81451877	1788.10111210
M2	0.00000000	-2093.87398199	1544.22556776
M1	0.00000000	-2467.42832422	811.54078651
Objektfeld	0.00000000	-2600.48223240	2300.03797735

Tabelle 4b zu Fig. 3

Oberfläche	TLA[deg]	TLB[deg]	TLC[deg]
Bildfeld	0.00000000	0.00000000	0.00000000
M10	7.02976363	0.00000000	0.00000000
AS	-0.57096788	180.00000000	0.00000000
M9	14.05957060	180.00000000	0.00000000
M8	92.23408971	0.00000000	0.00000000
M7	-86.53186444	0.00000000	180.00000000
M6	-53.39278619	0.00000000	0.00000000
M5	-21.81711346	0.00000000	180.00000000
M4	0.74534404	0.00000000	0.00000000
M3	23.53146219	0.00000000	180.00000000
M2	49.11841827	0.00000000	0.00000000
M1	-10.95323342	180.00000000	0.00000000
Objektfeld	0.00000000	0.00000000	0.00000000

Anhand der 4 wird nachfolgend eine weitere Ausführung einer Projektionsoptik 20 erläutert, die anstelle der Projektionsoptik 7 bei der Projektionsbelichtungsanlage 1 zum Einsatz kommen kann. Komponenten und Funktionen, die vorstehend unter Bezugnahme auf die 1 bis 3 und besonders unter Bezugnahme auf die 2 und 3 erläutert wurden, tragen die gleichen Bezugsziffern und werden nicht nochmals im Einzelnen diskutiert.
In Bezug auf die räumliche Nachbarschaft der Spiegel M7 und M8 sowie in Bezug auf deren Reflexionsflächen-Überlapp kann die Projektionsoptik 20 als Ausführungsform zwischen den Ausführungen der Projektionsoptiken 7 und 19 verstanden werden. Die räumliche Nachbarschaft der Spiegel M7 und M8 der Projektionsoptik 20 ist stärker als bei der Projektionsoptik 7, aber weniger stark als bei der Projektionsoptik 19. Der Reflexionsflächen-Überlapp der Projektionsoptik 20 ist stärker als bei der Projektionsoptik 7, allerdings weniger stark als bei der Projektionsoptik 19.
Insgesamt haben die Projektionsoptiken 19 und 20 genau sechs Ausgangs-GI-Spiegel M2 bis M7.

Die optischen Designdaten der Projektionsoptik 20 können den nachfolgenden Tabellen entnommen werden, die in ihrem Aufbau den Tabellen zur Projektionsoptik 19 nach 3 entsprechen. Tabelle 1 zu Fig. 4

Ausführungsbeispiel	4
NA	0.55
Wellenlaenge	13.5 nm
beta_x	4.0
beta_y	-8.0
Feldgroesse_x	26 mm
Feldgroesse_y	1.2 mm
Feldkruemmung	0.0125 1/mm
rms	10.0 ml
Blende	AS

Tabelle 2 zu Fig. 4

Oberfläche	Radius_x[mm]	Power_x[1/mm]	Radius_y[mm]	Power_y[1/mm]	Betriebsmodus
M10	-756.0398198	-0.0020398	-686.2786049	-0.0037795	REFL
M9	917.1037020	0.0016815	232.3538575	0.0111630	REFL
M8	866.3217446	0.0017801	4187.4007455	0.0006194	REFL
M7	-584.9621881	-0.0026363	-2327.9519862	-0.0011142	REFL
M6	-906.7242818	-0.0017008	2747.1972792	0.0009442	REFL
M5	-2112.9750107	-0.0007298	-3783.8850528	-0.0006855	REFL
M4	-4211.9740606	-0.0003661	-2913.7318990	-0.0008902	REFL
M3	2312.4644296	0.0006669	-2729.8970512	-0.0009501	REFL
M2	1599.8893494	0.0009639	3829.7125883	0.0006773	REFL
M1	-1676.1663605	-0.0009200	-1217.0757942	-0.0021312	REFL

Tabelle 3a zu Fig. 4

Koeffizient	M10	M9	M8
KY	0.00000000	0.00000000	0.00000000
KX	0.00000000	0.00000000	0.00000000
RX	-756.03981980	917.10370200	866.32174460

C7	-9.67849123e-09	1.97516112e-06	-1.45129283e-06
C9	1.16907273e-09	2.81237683e-07	-1.00311962e-07
C10	-2.63192602e-11	1.83949056e-09	2.63079916e-09
C12	-5.29906349e-11	8.10390282e-09	2.96253993e-09
C14	-2.14459335e-11	1.6755763e-08	1.57568886e-10
C16	-1.70240228e-14	8.85821598e-12	-1.83541904e-11
C18	-1.9414126e-14	4.10211201e-11	-3.82359848e-12
C20	-1.90954605e-16	-2.47912165e-11	-8.77974451e-13
C21	-5.31180495e-17	8.61814492e-15	4.82048708e-14
C23	-1.86586987e-16	1.46836395e-13	3.78623946e-14
C25	-1.77920357e-16	3.878147e-13	2.31629976e-14
C27	-5.2451483e-17	7.62884827e-13	1.34665994e-15
C29	-3.0611636e-20	1.32491125e-16	-2.45927379e-16
C31	-7.23438841e-20	1.09681819e-15	-2.28805419e-16
C33	-4.67435487e-20	2.95732182e-15	-6.68252665e-17
C35	-1.55233318e-21	-9.68173527e-16	8.23078181e-18
C36	-1.01249699e-22	8.62066209e-20	4.2231685e-19
C38	-4.75328161e-22	2.23145599e-18	1.55457644e-18
C40	-7.46593571e-22	1.30794581e-17	1.00016137e-18
C42	-4.89600995e-22	2.54181597e-17	-1.26064045e-19
C44	-1.28876304e-22	4.51203277e-17	-6.45932451e-20
C46	-5.53443886e-26	1.53526097e-21	-3.96178739e-21
C48	-1.82548762e-25	2.01006341e-20	-8.53972712e-21
C50	-2.1425866e-25	7.75084541e-20	3.12954853e-22
C52	-1.2669351e-25	2.88366342e-19	1.98778793e-21
C54	-4.66381419e-26	4.06872172e-19	5.75403837e-22
C55	-1.7244354e-28	1.62892766e-24	-6.96627221e-24
C57	-9.91289351e-28	2.87839055e-23	3.47798307e-23
C59	-2.1150144e-27	3.16955092e-22	1.80768003e-23
C61	-2.09096116e-27	1.91379499e-21	-2.57393832e-23
C63	-1.01010614e-27	5.84186396e-21	-5.68056914e-24
C65	-3.64454907e-29	-7.44234987e-21	-1.86690634e-24
C67	-1.65668388e-31	3.9799793e-26	8.32089797e-26
C69	-7.31353552e-31	8.21833088e-25	-3.05924004e-25
C71	-1.35472206e-30	5.44640782e-24	2.91298447e-25
C73	-1.25971211e-30	1.36917031e-23	-9.17222049e-26
C75	-3.3262142e-31	-6.18934004e-23	7.4901677e-26
C77	2.93524934e-31	-1.80963883e-22	-1.04079055e-26
C78	-5.08298082e-34	-1.11830057e-30	-2.28037986e-28
C80	-3.47178366e-33	7.51908316e-28	2.87680497e-28
C82	-1.01453613e-32	5.02940775e-27	-1.60670197e-27
C84	-1.57639969e-32	-1.26450356e-26	1.68805462e-27
C86	-1.38698312e-32	-3.45140872e-25	-1.15209625e-27
C88	-5.79393526e-33	-1.32459178e-24	-4.7883816e-28
C90	-1.5670881e-33	1.72071318e-24	-1.10213599e-29
C92	1.55009244e-37	-9.36992104e-31	-6.02549417e-30
C94	9.09288647e-37	-2.56169394e-29	2.69072797e-29
C96	2.62556177e-36	-2.22498413e-28	-2.75565462e-29
C98	3.80356129e-36	-8.38420347e-28	8.97118096e-30
C100	3.24607079e-36	-1.12289864e-27	8.90036614e-30
C102	-6.17165061e-38	1.64206617e-26	1.42729344e-30
C104	-1.66228017e-36	4.30002184e-26	9.60794074e-31
C105	3.70160016e-40	-1.17529689e-34	3.55547295e-32
C107	3.21671227e-39	-2.44507894e-32	-8.62263346e-32
C109	1.36780146e-38	-2.30154162e-31	3.89601702e-32
C111	3.22803802e-38	3.52609118e-31	5.11553081e-32
C113	4.53324384e-38	1.34009751e-29	-6.18934598e-32
C115	3.7693364e-38	1.10414955e-28	-7.94895554e-33
C117	1.3027114e-38	3.72303298e-28	-2.4506764e-33
C119	1.93698005e-39	-1.1221103e-28	-3.71822378e-33
C121	-1.38206476e-42	2.94178932e-35	0
C123	-9.91907613e-42	1.00070997e-33	0
C125	-2.97356923e-41	1.16440385e-32	0
C127	-4.88612927e-41	6.96442407e-32	0
C129	-4.79554734e-41	2.10362619e-31	0
C131	-2.90781626e-41	5.0731106e-31	0
C133	-6.66604897e-42	-1.469458e-30	0
C135	1.88113189e-42	-3.08238593e-30	0
C136	-3.95084092e-45	7.20853827e-39	0
C138	-3.75932628e-44	9.52596359e-37	0
C140	-1.56293065e-43	1.70786856e-35	0
C142	-3.65316639e-43	1.23993628e-34	0
C144	-5.32750338e-43	3.75236437e-34	0
C146	-4.90852776e-43	3.03741054e-34	0
C148	-2.82272688e-43	-8.90253948e-33	0
C150	-8.35600233e-44	-2.52038978e-32	0
C152	-6.49241312e-45	-2.68346677e-33	0

Tabelle 3b zu Fig. 4

Koeffizient	M7	M6	M5
KY	0.00000000	0.00000000	0.00000000
KX	0.00000000	0.00000000	0.00000000
RX	-584.96218810	-906.72428180	-2112.97501100

C7	7.53485098e-07	1.10824155e-07	1.80212415e-07
C9	-1.87784905e-07	6.47879954e-07	-3.90541862e-08
C10	-6.04041074e-10	6.27379687e-11	9.31262875e-11
C12	-7.5871394e-10	9.9951419e-10	4.33426167e-11
C14	-7.26195403e-10	2.55483639e-09	-1.72969807e-11
C16	4.37538857e-12	9.052033e-13	-8.37155771e-14
C18	6.41136857e-13	7.23388448e-12	-2.78000499e-13
C20	-2.57137183e-12	1.42081335e-11	-1.5169657e-13
C21	-6.67189975e-15	9.1465848e-16	1.24398757e-15
C23	-5.624087e-15	4.03546747e-15	8.23035081e-16
C25	-2.99081587e-15	5.2468777e-14	7.03487059e-16
C27	-9.68478121e-15	5.0910352e-14	1.23441871e-15
C29	3.49740619e-17	3.72901996e-18	7.89723949e-19
C31	2.02403486e-17	5.24484094e-17	-2.91125761e-18
C33	1.83466458e-18	3.0216654e-16	-6.88669831e-18
C35	-4.49159804e-17	7.8405899e-16	-7.72065789e-18
C36	-5.1048349e-20	4.79968046e-21	5.3406224e-21
C38	-9.43704299e-20	5.21575658e-20	3.39430252e-21
C40	-2.73022747e-20	5.75733638e-19	2.06874915e-20
C42	-1.12729775e-20	1.24072277e-18	3.71500682e-20
C44	-1.89880795e-19	-5.3949945e-19	3.69874372e-20
C46	2.60079563e-22	5.00337239e-23	5.69921958e-24
C48	2.44679732e-22	5.71748973e-22	-6.61168565e-24
C50	6.9898746e-23	5.4471192e-21	-4.99206726e-23
C52	-3.76786544e-22	3.66648185e-22	-1.71709587e-22
C54	-1.27399636e-21	-1.51814956e-19	-7.09486734e-23
C55	-8.12765771e-26	3.10004448e-26	-6.36931608e-26
C57	-1.12915425e-24	5.32066466e-25	-3.74935222e-25
C59	3.87552326e-26	-2.97777669e-24	-6.61302986e-25

Koeffizient	M7	M6	M5
C61	3.50461813e-24	7.60703675e-23	1.35336337e-25
C63	1.13078906e-24	1.24144786e-21	1.3450849e-24
C65	-4.94854126e-24	1.58437587e-21	-1.85398706e-25
C67	-4.5994381e-28	1.26406643e-27	3.8277512e-29
C69	1.59333434e-27	4.60980535e-27	7.56181965e-28
C71	-1.06166274e-26	-1.45683183e-26	-1.82035919e-28
C73	2.40466898e-26	2.73404153e-25	-4.41574977e-27
C75	2.13760175e-26	8.46675441e-24	-8.00387763e-27
C77	-2.53306641e-28	5.81843387e-23	-3.34198233e-27
C78	-1.77614502e-30	2.79995175e-32	1.42993379e-30
C80	1.42978263e-29	8.65815678e-30	6.63042134e-30
C82	-6.8036292e-31	3.50375976e-28	1.72895495e-29
C84	-1.03629431e-28	1.40969817e-27	3.41546468e-29
C86	-1.62161875e-28	-3.90597755e-26	1.23082444e-29
C88	7.92205131e-30	-3.3823143e-25	1.71707571e-29
C90	-8.83997801e-29	-4.7553486e-25	5.19259161e-29
C92	3.70413334e-32	-1.41882191e-32	2.41809148e-33
C94	-3.9482394e-33	3.36179075e-33	-1.71908838e-32
C96	4.71756742e-31	2.13442757e-30	-9.56875124e-32
C98	5.99170422e-32	2.189317e-29	-1.49788909e-31
C100	-8.64039007e-31	-3.92600885e-29	1.04955463e-31
C102	-1.42857547e-31	-1,30618003e-27	2.02829178e-32
C104	-1.65759256e-30	-6.65007392e-27	-2.3173835e-31
C105	-4.61468002e-35	-2.9187629e-36	-6.62954378e-36
C107	-7.80241667e-35	-1.88444748e-34	-4.14859929e-35
C109	-5.25406984e-34	-2.7076715e-33	1.4355938e-35
C111	-9.69235737e-34	-7.8426388e-33	1.63060687e-34
C113	3.61276618e-33	2.00276958e-31	1.68155536e-34
C115	4.3551963e-33	8.54223422e-30	-4.02739697e-34
C117	9.62619491e-34	3.28929269e-29	-8.84761694e-35
C119	-5.34930125e-33	5.94671725e-29	3.58873748e-34

Tabelle 3c zu Fig. 4

Koeffizient	M4	M3	M2
KY	0.00000000	0.00000000	0.00000000
KX	0.00000000	0.00000000	0.00000000
RX	-4211.97406100	2312.46443000	1599.88934900

C7	7.63569102e-08	4.14309049e-07	1.70927115e-07
C9	3.63615189e-08	-7.43362809e-08	-1.30455483e-07
C10	3.34604671e-10	1.21435942e-09	6.78320196e-10
C12	-2.04099419e-11	1.33975274e-10	1.56700313e-09
C14	-1.2127289e-10	-2.16334331e-10	-3.86257578e-11
C16	2.10737563e-14	-8.88778241e-13	1.20179274e-12
C18	-1.26135108e-13	4.13372465e-14	7.38456588e-12
C20	-3.53277153e-15	-6.2839805e-14	1.08374511e-12
C21	-3.89807264e-15	3.52107261e-15	3.20547178e-16
C23	-1.36378248e-16	-2.69697154e-15	-3.57562358e-15
C25	2.54044128e-17	-3.85599727e-15	3.1079411e-14
C27	-2.09804462e-16	-3.12281156e-15	1.88775611e-14
C29	1.69340482e-17	1.20867781e-18	-2.25821356e-18
C31	3.26672205e-18	7.63202533e-18	-4.16012889e-17
C33	3.83222003e-19	-4.33495699e-19	4.60178042e-17
C35	-6.03705702e-20	-1.38798671e-17	6.5159047e-17
C36	-5.35759475e-22	9.09803453e-21	-5.62989191e-21
C38	-4.34807778e-20	1.891683e-20	-3.50157913e-20
C40	-5.66331807e-21	6.34686321e-20	-4.24415858e-20
C42	-4.96731963e-21	6.11321888e-20	1.8037433e-19
C44	1.85106054e-21	-5.9638637e-20	8.86602417e-19
C46	-2.49699176e-23	-9.28957038e-23	-4.5057437e-23
C48	1.19350553e-22	-3.88406266e-22	-7.2895619e-22
C50	3.40774921e-24	-2.71596407e-22	-9.26505481e-22
C52	-1.67677873e-23	3.68331796e-22	-1.09412663e-21
C54	5.1327169e-24	-2.09721693e-22	6.57104299e-21
C55	-5.34455754e-26	-2.65811467e-24	-2.91062595e-26
C57	-9.82080874e-25	-1.18029047e-25	-1.47608232e-25
C59	-6.78872235e-25	-2.10070444e-24	-6.8545236e-24
C61	-5.59630106e-26	-2.74347685e-24	-7.56967018e-24
C63	-4.72590629e-26	2.02161219e-24	-1.05650657e-23
C65	-3.3761453e-27	-2.45299379e-25	-1.78330433e-23
C67	-3.62978258e-27	6.30834991e-27	3.15427939e-27
C69	-1.81736217e-27	1.76670574e-26	1.37132576e-26
C71	5.2244416e-28	3.67714526e-26	1.96841087e-26
C73	1.15103878e-27	1.14743923e-26	6.42453056e-26
C75	6.66420423e-28	1.33322774e-26	9.13915741e-26
C77	-5.46264784e-29	1.73664404e-27	-3.04500913e-25
C78	1.4066384e-29	4.50371558e-29	-8.07441129e-31
C80	6.26314162e-29	4.89686973e-29	1.99940786e-29
C82	3.16575352e-29	6.63120393e-29	2.31706993e-28
C84	9.46253111e-30	1.53773538e-28	5.27246224e-28
C86	2.20385817e-30	3.52091464e-29	5.36738897e-28
C88	1.72171389e-30	5.48149306e-29	6.08977697e-28
C90	1.8116673e-32	9.12582887e-31	1.53580537e-27
C92	6.47104975e-32	-3.96375995e-33	-5.46988454e-32
C94	5.61995998e-32	-1.0481644e-31	-2.11574533e-31
C96	2.39733792e-32	-1.11237457e-30	-7.31853362e-31
C98	-4.71594874e-33	-1.04423815e-30	-1.33233912e-30
C100	-2.38952448e-32	-7.78951102e-31	-4.15033349e-30
C102	-5.64366636e-33	-1.30506114e-31	-4.59133674e-30
C104	3.53118257e-33	-1.40631306e-31	2.27243196e-29
C105	-2.69426182e-34	-2.12355519e-34	2.04337028e-35
C107	-1.25416439e-33	-2.29899864e-33	-1.32629666e-34
C109	-8.2366887e-34	-1.87411059e-33	-3.45627823e-33
C111	-3.20212857e-34	-3.28509533e-33	-1.31533043e-32
C113	-1.60326762e-34	-1.74182954e-33	-2.082204e-32
C115	-5.09087084e-35	-2.57333394e-33	-3.03289871e-32
C117	-2.68242838e-35	-1.28771226e-33	-3.04136026e-32
C119	1.12957244e-35	-6.69771852e-34	5.8456613e-32

Tabelle 3d zu Fig. 4

Koeffizient	M1
KY	0.00000000
KX	0.00000000
RX	-1676.16636100
C7	-1.80915546e-08
C9	1.05034694e-07
C10	-1.59196664e-11
C12	6.3198562e-12
C14	-1.20656007e-10
C16	-6.77095712e-15
C18	-1.54355108e-13
C20	3.11501854e-13
C21	-6.41541743e-18
C23	-2.64475391e-18
C25	-1.76867321e-16
C27	-2.15309192e-15
C29	-1.55338638e-20
C31	-2.56032427e-19
C33	-3.30276454e-18
C35	-7.51241081e-18
C36	8.69339082e-24
C38	-9.45827706e-23
C40	9.25256765e-22
C42	6.66443065e-21
C44	-4.1132661e-20
C46	3.19021967e-25
C48	8.20021842e-24
C50	9.13600579e-23
C52	2.29353906e-22
C54	-6.25407857e-22
C55	-7.67595332e-29
C57	5.20758639e-27
C59	3.70962245e-26
C61	-2.35151473e-25
C63	9.70538952e-26
C65	7.35329782e-24
C67	-7.8687906e-30
C69	-1.66919547e-28
C71	-2.3462001e-27
C73	-1.4406112e-26
C75	-1.40770607e-26
C77	5.84689069e-26
C78	3.35674846e-33
C80	-1.0019774e-31
C82	-1.58497327e-30
C84	4.12862681e-30
C86	6.51498794e-29
C88	8.36595576e-30
C90	-2.79339731e-28
C92	7.41841412e-35
C94	1.6153715e-33
C96	3.20982808e-32
C98	2.96204367e-31
C100	1.27723515e-30
C102	5.28694144e-31
C104	-3.0071137e-30
C105	-3.79331388e-38
C107	1.18797099e-36
C109	2.50717357e-35
C111	-2.07145377e-36
C113	-1.50215413e-33
C115	-7.13586857e-33
C117	-3.51585625e-33
C119	7.60381186e-33
C121	-2.30114358e-40
C123	-4.62500534e-39
C125	-1.55300799e-37
C127	-1.98153075e-36
C129	-1.34600018e-35
C131	-4.45969495e-35
C133	-1.56152196e-36
C135	6.26247542e-35
C136	1.50702699e-43
C138	-6.55654576e-42
C140	-1.54936496e-40
C142	-3.08465905e-40
C144	8.82894248e-39
C146	9.16930279e-38
C148	2.67510585e-37
C150	1.25776322e-37
C152	-2.11853441e-37

Tabelle 4a zu Fig. 4

Oberfläche	DCX	DCY	DCZ
Bildfeld	0.00000000	0.00000000	0.00000000
M10	0.00000000	0.00000000	671.82105326
AS	0.00000000	85.97515843	256.64690784
M9	0.00000000	118.91125243	97.59846956
M8	0.00000000	-83.73277469	1076.16672484
M7	0.00000000	-16.07030618	1299.59279249
M6	0.00000000	-95.48084106	1558.45190447
M5	0.00000000	-277.58593472	1705.63635388
M4	0.00000000	-1011.20707560	1893.38348779
M3	0.00000000	-1573.98503691	1834.30595202
M2	0.00000000	-1853.05968308	1647.89331657
M1	0.00000000	-2186.58723257	1005.20728742
Objektfeld	0.00000000	-2302.78653480	2300.00059053

Tabelle 4b zu Fig. 4

Oberfläche	TLA[deg]	TLB[deg]	TLC[deg]
Bildfeld	0.00000000	0.00000000	0.00000000
M10	5.84978339	0.00000000	0.00000000
AS	11.69956678	180.00000000	0.00000000
M9	11.69956678	180.00000000	0.00000000
M8	87.42556365	0.00000000	0.00000000
M7	-89.89696563	0.00000000	180.00000000
M6	-55.94599444	0.00000000	0.00000000
M5	-26.65072235	0.00000000	180.00000000
M4	-4.18113978	0.00000000	0.00000000
M3	19.86714069	0.00000000	180.00000000
M2	48.15708096	0.00000000	0.00000000
M1	-11.14963231	180.00000000	0.00000000
Objektfeld	0.00000000	0.00000000	0.00000000

Anhand der 5 wird nachfolgend eine weitere Ausführung einer Projektionsoptik 21 beschrieben, die anstelle der Projektionsoptik 7 bei der Projektionsbelichtungsanlage 1 zum Einsatz kommen kann. Komponenten und Funktionen, die denjenigen entsprechen, die vorstehend unter Bezugnahme auf die 1 bis 4 und besonders unter Bezugnahme auf die 2 bis 4 bereits erläutert wurden, tragen die gleichen Bezugsziffern und werden nicht nochmals im Einzelnen diskutiert.
Bei der Projektionsoptik 21 ist der Spiegel M5 als Konter-GI-Spiegel ausgeführt. Die im Abbildungsstrahlengang vor dem Spiegel M5 angeordneten Ausgangs-GI-Spiegel M2 bis M4 haben eine sich zunächst addierende Umlenkwirkung auf den Hauptstrahl 16. Die Umlenkwirkung des dann folgenden Konter-GI-Spiegels M5 ist subtraktiv zur Umlenkwirkung der Ausgangs-GI-Spiegel M2 bis M4. Die Umlenkwirkung der nachfolgenden GI-Spiegel M6 bis M8 ist wiederum additiv zur Umlenkwirkung der Ausgangs-GI-Spiegel M2 bis M4, sodass auch diese Spiegel Ausgangs-GI-Spiegel sind.
Auch die Projektionsoptik 21 hat somit genau sechs Ausgangs-GI-Spiegel, nämlich die Spiegel M2 bis M4 sowie M6 bis M8. Bei der Projektionsoptik 21 sind im Abbildungsstrahlengang nach dem Konter-GI-Spiegel M5 noch weitere drei Ausgangs-Spiegel, nämlich die GI-Spiegel M6 bis M8 angeordnet.
Der Konter-GI-Spiegel M5 ist bei der Projektionsoptik 21 den beiden im Abbildungsstrahlengang benachbarten Spiegeln M4 und M6 sehr nahe benachbart angeordnet. Ein Abstand zwischen den Reflexionsflächen der Spiegel M4 und M5 einerseits sowie zwischen den Spiegeln M5 und M6 andererseits beträgt lediglich einen Bruchteil einer Abmessung der kleinsten Reflexionsfläche dieser drei Spiegel M4, M5, M6 in der yz-Ebene und beträgt weniger als die Hälfte dieser Abmessung und tatsächlich auch weniger als ein Fünftel dieser Abmessung. Sowohl die Spiegel M4 und M5 einerseits als auch die Spiegel M5 und M6 andererseits haben einander in der yz-Ebene überlappende Reflexionsflächen. Die im Abbildungsstrahlengang dem Konter-GI-Spiegel M5 benachbarten Ausgangs-GI-Spiegel M4 und M6 sind einander sehr nahe benachbart, sodass ein Abstand zwischen den beiden Spiegelkörpern dieser Spiegel M4 und M6 kleiner ist als eine Hälfte einer Abmessung des Spiegelkörpers des kleineren Spiegels M6 in der yz-Ebene. Tatsächlich ist dieser Abstand kleiner als ein Viertel dieser Abmessung des Spiegels M6.

Die optischen Designdaten der Projektionsoptik 21 können den nachfolgenden Tabellen entnommen werden, die in ihrem Aufbau den Tabellen zur Projektionsoptik 19 nach 3 entsprechen. Tabelle 1 zu Fig. 5

Ausführungsbeispiel	5
NA	0.55
Wellenlaenge	13.5 nm
beta_x	4.0
beta_y	-8.0
Feldgroesse_x	26 mm
Feldgroesse_y	1.2 mm
Feldkruemmung	0.0125 1/mm
rms	10 ml
Blende	AS

Tabelle 2 zu Fig. 5

Oberfläche	Radius_x[mm]	Power_x[1/mm]	Radius_y[mm]	Power_y[1/mm]	Betriebsmodus
M10	-863.2339209	-0.0017865	-797.3832302	-0.0032529	REFL
M9	2402.6363245	0.0006419	430.9084016	0.0060193	REFL
M8	-676.4572256	-0.0022798	8269.5733381	0.0003137	REFL
M7	-714.0142294	-0.0021598	18738.3530257	0.0001384	REFL
M6	-2584.1589899	-0.0005968	-10830.9756551	-0.0002395	REFL
M5	-4217.9100002	-0.0003656	-14071.0191565	-0.0001843	REFL
M4	2494.8467548	0.0006181	-29650.3383064	-0.0000875	REFL
M3	-3916.9773892	-0.0003937	-18506.7282475	-0.0001401	REFL
M2	747.3451650	0.0020635	-1151.0909597	-0.0022533	REFL
M1	-2055.0743921	-0.0007504	-1142.7083577	-0.0022698	REFL

Tabelle 3a zu Fig. 5

Koeffizient	M10	M9	M8
KY	0.00000000	0.00000000	0.00000000
KX	0.00000000	0.00000000	0.00000000
RX	-863.23392090	2402.63632400	-676.45722560
C7	3.82677921e-08	1.71217165e-06	7.68354024e-07
C9	-8.36266529e-09	-3.00331968e-07	-3.8804756e-08
C10	-7.01651837e-12	1.80427688e-09	4.60363613e-10
C12	-3.70478704e-11	3.89175563e-09	-1.59770548e-09
C14	-1.51273795e-11	2.78586301e-09	2.00534664e-10
C16	6.9995946e-14	9.41828318e-12	-2.41389971e-12
C18	3.3648348e-14	9.32057313e-12	2.49755478e-12
C20	-9.63635595e-15	-7.80016379e-12	2.57817104e-13
C21	-6.51863557e-17	6.52498121e-15	2.79858239e-16
C23	-8.32172066e-17	2.97390527e-14	1.22257166e-14
C25	-1.01114279e-16	2.09065894e-14	-6.6269338e-15
C27	-2.93833223e-17	5.19682947e-14	1.13071967e-15
C29	5.49306814e-20	6.03822351e-17	1.27506832e-17
C31	1.28423809e-19	7.70605461e-17	-5.06880006e-17
C33	3.21472641e-20	9.72122205e-17	5.73276538e-18
C35	-1.24637451e-20	-1.70404994e-16	3.96175853e-19
C36	-2.21675166e-24	6.36394634e-20	7.53276246e-21
C38	-2.44783453e-22	3.89909304e-19	-1.0596816e-19
C40	-3.01257682e-22	2.77959646e-19	1.62028337e-19
C42	-2.09045969e-22	1.30515643e-19	-5.09577715e-20
C44	-4.56069741e-23	5.61597667e-19	-1.10437995e-20
C46	1.55100468e-25	7.29278541e-22	-1.75320764e-22
C48	2.38643393e-25	2.21819989e-21	6.51075947e-22
C50	1.96508163e-25	3.65128071e-21	-5.06027649e-22
C52	1.21019527e-26	1.0839994e-21	1.7317793e-22
C54	-2.21632953e-26	-3.62162309e-21	7.70590678e-23
C55	-1.59005873e-28	1.83696203e-25	-1.33288183e-26
C57	-3.29945933e-28	3.54851531e-24	1.23894368e-24
C59	-8.57051285e-28	2.57993306e-23	-3.73574446e-24
C61	-8.35513328e-28	5.48083207e-23	7.72245847e-25
C63	-4.32387793e-28	7.35402923e-23	1.54030963e-24
C65	-9.82547906e-29	8.46711652e-23	2.63295323e-24
C67	5.4659877e-32	-5.32368097e-27	1.09655443e-27
C69	7.59098058e-31	-8.77489151e-27	-9.86658541e-27
C71	9.99453723e-31	-7.62079893e-26	1.08994856e-26
C73	6.9747696e-31	-1.37383524e-25	-1.54758797e-27
C75	1.91200686e-31	1.31971661e-25	9.28181049e-27
C77	1.10807573e-32	-3.93168574e-26	1.66314285e-26
C78	-3.06118688e-35	-8.17151024e-30	-5.49976948e-31
C80	-6.82574204e-34	-4.31748104e-29	-6.68133525e-30
C82	-1.6306267e-33	-8.50309382e-28	7.06204727e-29
C84	-2.46013519e-33	-3.56777536e-27	2.41439526e-29
C86	-1.75983735e-33	-7.81891073e-27	9.09941974e-29
C88	-5.8063783e-34	-1.01329267e-26	8.39480306e-30
C90	-1.31958643e-35	-6.07345135e-27	-1.11009396e-29
C92	3.47225959e-37	2.48089788e-31	2.01923868e-33
C94	-4.04095339e-37	7.250162e-31	9.77112371e-32
C96	-7.79414103e-37	4.91335618e-30	-7.72948622e-32
C98	-1.28923822e-36	1.5233218e-29	1.47974314e-31
C100	-1.55000112e-36	1.22756291e-29	3.83344948e-32
C102	-7.99342316e-37	-1.23573914e-29	-4.07977052e-31
C104	-1.75473031e-37	-1.13850015e-29	-4.96176054e-31
C105	-2.57863853e-40	3.57646033e-34	5.02337524e-36
C107	-1.04194626e-39	3.0257706e-33	-6.11919301e-35
C109	-1.99350749e-39	2.81759048e-32	-6.43544266e-34
C111	-1.69049679e-39	1.4553779e-31	1.32587793e-34
C113	-1.82547203e-39	4.16311735e-31	-1.45661547e-33
C115	-2.02981579e-39	6.94013278e-31	-2.26697932e-33
C117	-1.40718399e-39	7.38391617e-31	-1.60797549e-33
C119	-4.22260082e-40	3.92265839e-31	-1.51763535e-33
C121	3.78639365e-43	-7.19125871e-37	0
C123	5.95762505e-42	9.36607672e-36	0
C125	1.42403916e-41	-1.54362059e-35	0
C127	1.84010782e-41	-2.54532484e-34	0
C129	1.41812803e-41	-6.14900625e-34	0
C131	6.74435727e-42	-2.58701438e-34	0
C133	1.38646107e-42	5.27544615e-34	0
C135	9.36768792e-44	2.79784497e-34	0
C136	-1.27442771e-46	-2.70169186e-39	0
C138	-4.05024965e-45	-1.24641306e-38	0
C140	-1.83808125e-44	-1.78149813e-37	0
C142	-4.33175446e-44	-1.71202575e-36	0
C144	-5.86373227e-44	-7.34629506e-36	0
C146	-4.56134384e-44	-1.67227744e-35	0
C148	-2.09308827e-44	-2.33558147e-35	0
C150	-4.7397699e-45	-2.18021541e-35	0
C152	-3.20839997e-46	-9.23438668e-36	0

Tabelle 3b zu Fig. 5

Koeffizient	M7	M6	M5
KY	0.00000000	0.00000000	0.00000000
KX	0.00000000	0.00000000	0.00000000
RX	-714.01422940	-2584.15899000	-4217.91000000
C7	-1.43206677e-07	4.56346214e-07	-6.95058232e-07
C9	1.61072662e-07	7.99202448e-08	-3.43008381e-08
C10	-5.20143465e-11	-1.71402308e-09	2.14842116e-09
C12	1.84812512e-10	2.53308571e-10	-6.87686261e-10
C14	2.15103403e-10	5.00392645e-11	-1.93046503e-10
C16	-1.2303231e-12	-3.10367633e-14	-5.4823746e-12
C18	-3.09126873e-14	1.32118164e-12	-1.9631618e-12
C20	1.19026098e-12	2.50921305e-13	-1.92039352e-14
C21	3.89879118e-17	-1.14666444e-14	2.32097727e-14
C23	-2.7777983e-15	-1.04300268e-14	1.21951065e-14
C25	-8.63530648e-16	-7.10290222e-16	-1.76879207e-15
C27	2.43855458e-15	2.71819513e-16	-8.99176474e-16
C29	8.216122e-18	1.24261969e-17	2.50333003e-17
C31	-2.97185473e-18	1.18836415e-17	-2.37013831e-17
C33	-7.68806826e-19	5.62916031e-18	-6.06456686e-18
C35	8.80092931e-18	-6.41746051e-19	1.08317173e-18
C36	-6.54819219e-21	-5.22605328e-21	-3.21411291e-20
C38	1.23373495e-20	6.11446498e-20	-1.56866433e-19
C40	-1.27926594e-20	-6.15773419e-20	2.8671319e-21
C42	1.36295062e-20	-5.88112446e-22	-5.17329912e-21
C44	7.30688326e-21	1.66317975e-20	5.68424037e-22
C46	-4.28410638e-23	-3.78796833e-22	1.67331511e-22
C48	-4.33957896e-23	1.53093195e-22	-1.244575e-22
C50	3.92578937e-23	1.59703769e-22	-8.76808409e-23
C52	3.54286373e-22	1.72715247e-23	-3.64738102e-23
C54	-7.94338378e-24	1.07450627e-22	-1.98881682e-23
C55	-5.04437839e-26	6.37152216e-25	-5.46884277e-25
C57	2.98574857e-25	3.34464182e-27	1.15739017e-24
C59	-6.77796479e-25	8.70197764e-26	-5.19282788e-25
C61	-1.26545836e-24	-7.33568552e-25	-1.28990358e-25
C63	2.49557001e-24	-6.47186423e-25	-5.22838045e-26
C65	-1.13097993e-24	-5.97861707e-25	-2.87148592e-25
C67	2.30106541e-29	4.10217454e-28	3.36040762e-27
C69	4.35004306e-27	-4.93565647e-27	2.1165387e-27
C71	-1.84978735e-27	7.8876002e-28	-8.64234479e-28
C73	-1.97388153e-26	2.87176097e-27	2.14283869e-28
C75	1.80722006e-26	-1.4468683e-27	2.15226223e-27
C77	-5.22791877e-27	-8.1160285e-27	1.16751402e-27
C78	9.02493723e-31	-5.91634426e-30	3.51316773e-30
C80	-7.48249869e-30	4.61951989e-31	-1.42674089e-30
C82	6.96767077e-30	8.51510377e-30	9.73416079e-30
C84	4.71981054e-29	-9.47079923e-30	3.76386267e-30
C86	-8.77213527e-29	9.9660133e-30	-3.44226753e-30
C88	1.00984962e-28	1.05866991e-29	1.23583465e-29
C90	-2.11382982e-29	1.54713369e-29	1.05483253e-29
C92	1.59973419e-33	3.47620459e-34	-7.99553076e-33
C94	-4.22438947e-32	2.56228924e-32	-8.35007847e-33
C96	-9.52665049e-33	-2.22811943e-32	9.88417232e-33
C98	3.6671459e-31	8.71253265e-33	-7.99855746e-33
C100	-3.40739564e-31	6.47082446e-32	-2.92837876e-32
C102	9.55575374e-32	6.01020226e-32	-3.16371139e-32
C104	-1.10358025e-31	1.86858061e-31	-2.47231126e-32
C105	-5.49460119e-36	2.17994554e-35	-3.01130647e-35
C107	5.01929767e-35	-8.16185794e-36	-1.30958851e-34
C109	7.30481766e-35	-3.8805348e-35	-1.63820001e-34
C111	-5.99288526e-34	1.49599429e-34	-4.92610886e-35
C113	2.02611541e-34	-2.40347146e-34	2.39922667e-34
C115	-6.83214928e-34	-5.08009249e-34	-2.96686637e-34
C117	1.01516824e-33	1.43293532e-34	-1.7213121e-34
C119	4.93933317e-34	1.41416799e-34	-1.92335123e-34

Tabelle 3c zu Fig. 5

Koeffizient	M4	M3	M2
KY	0.00000000	0.00000000	0.00000000
KX	0.00000000	0.00000000	0.00000000
RX	2494.84675500	-3916.97738900	747.34516500
C7	4.20494577e-07	4.27811182e-07	8.61535827e-07
C9	-3.25558033e-08	-2.23154402e-07	-9.84891858e-08
C10	-1.56850359e-09	9.29477024e-11	-1.97704958e-09
C12	1.59798484e-10	-4.58418919e-10	1.88811393e-10
C14	-2.10440478e-11	3.24576896e-10	-1.20457793e-10
C16	5.5545941e-12	-4.81805659e-13	-1.88161764e-12
C18	7.92754215e-13	4.09682377e-12	3.11162695e-13
C20	-1.59612632e-13	-1.54862924e-12	-3.16268483e-13
C21	9.50411675e-16	1.55680425e-15	6.72161753e-15
C23	-1.37489029e-15	-2.59997793e-16	2.70629653e-15
C25	1.18119976e-15	-1.4918121e-14	3.41237229e-15
C27	-2.03733763e-16	5.45836829e-15	3.74958709e-16
C29	-4.1858519e-17	-1.54989111e-17	-5.24721834e-18
C31	2.0279531e-17	-3.4086531e-17	-1.79543856e-17
C33	4.06314855e-18	7.19684556e-17	-1.09677375e-17
C35	-1.0958265e-18	-2.07898985e-17	-6.09125722e-18
C36	3.09841577e-20	-4.3228869e-20	-1.94493006e-20
C38	9.00895547e-20	7.17929047e-20	1.33473043e-20
C40	5.53790388e-20	2.34166699e-19	7.90357841e-20
C42	9.7065564e-21	-3.2872605e-19	8.79965144e-20
C44	-1.80954708e-21	7.02978354e-20	2.98138571e-20
C46	1.11308381e-22	5.14181146e-22	7.16876026e-23
C48	1.81846889e-22	7.21970697e-23	-1.6894211e-22
C50	1.91119793e-22	-1.50954026e-21	-7.46610892e-22
C52	3.97090656e-23	1.41224604e-21	-7.36082852e-22
C54	4.31410015e-24	-2.77481721e-22	2.35670133e-22
C55	-8.3143171e-25	2.10648958e-25	-3.63697713e-26
C57	-7.33786314e-25	-1.97161803e-24	9.07784458e-25
C59	8.52268706e-25	-2.39323251e-24	3.10207865e-24
C61	3.25523645e-25	9.81765015e-24	4.67649198e-24
C63	1.39372851e-25	-6.78241212e-24	-7.25370617e-26
C65	-2.62522642e-26	2.36500045e-24	-1.85957355e-24
C67	-3.16740403e-27	-7.13979815e-27	-1.12882605e-27
C69	1.76414934e-27	6.96757002e-27	-5.34324978e-27
C71	3.94880105e-27	2.79685449e-26	-8.32655141e-27
C73	8.74821947e-28	-6.03037869e-26	2.85410827e-26
C75	-5.34496469e-28	5.00022472e-26	4.37095198e-26
C77	-6.01649925e-28	-1.3466908e-26	-1.14283182e-26
C78	1.37694065e-29	1.06904363e-29	1.57371068e-30
C80	-5.81638689e-30	3.55032922e-29	-1.80777962e-29
C82	1.5645482e-29	5.14021144e-29	-3.690644e-29
C84	3.40135937e-29	-2.59761795e-28	-2.09807622e-28
C86	1.60087251e-29	3.53506706e-28	-3.26452214e-28
C88	-6.77977613e-30	-2.40105637e-28	-1.54927914e-28
C90	-8.74325237e-31	1.34736759e-29	8.25416721e-29
C92	1.56971544e-32	3.92114271e-32	8.53730377e-33
C94	-4.15952603e-32	-9.63296276e-32	1.02858961e-31
C96	7.7239283e-32	-4.48636838e-31	7.26873208e-31
C98	2.0445703e-31	1.31604232e-30	1.04908777e-30
C100	7.4626815e-32	-1.26976109e-30	2.14856177e-31
C102	6.27102591e-33	1.20964408e-31	-9.8259043e-31
C104	7.25818813e-33	1.42863663e-31	3.86479498e-31
C105	-2.10342329e-35	-1.40328642e-34	-1.98969464e-35
C107	5.67200953e-35	-2.67654071e-34	1.67917144e-34
C109	-1.05681512e-34	-1.0433197e-33	-6.92944706e-34
C111	2.21441835e-34	3.36266676e-33	-1.77391446e-33
C113	4.05920059e-34	-3.89898503e-33	-4.53866231e-34
C115	9.17898713e-35	1.35223819e-33	3.49292017e-33
C117	1.0929522e-34	1.74984781e-33	4.77333112e-33
C119	1.57707661e-35	-3.71730799e-34	-2.52323937e-33

Tabelle 3d zu Fig. 5

Koeffizient	M1
KY	0.00000000
KX	0.00000000
RX	-2055.07439200
C7	1.5100701e-07
C9	1.73166281e-07
C10	-2.05022428e-11
C12	-2.08976778e-10
C14	-1.13481004e-10
C16	1.32013743e-13
C18	3.45979694e-13
C20	2.17302183e-13
C21	-1.82166792e-17
C23	-2.99181761e-16
C25	-4.26838881e-16
C27	-6.75136655e-17
C29	1.20419985e-19
C31	5.75761428e-19
C33	2.32147983e-19
C35	5.73024749e-19
C36	-1.84309318e-23
C38	-3.7947114e-22
C40	-4.70309514e-22
C42	-5.51620051e-22
C44	5.45228222e-21
C46	4.64020014e-26
C48	-7.45273099e-26
C50	-6.30642437e-24
C52	-1.15223593e-23
C54	1.48566881e-23
C55	-4.35788214e-30
C57	-1.60995056e-27
C59	-4.69283966e-27
C61	6.42417402e-28
C63	-2.20409742e-26
C65	-6.04885241e-25
C67	1.78233386e-30
C69	2.17747712e-29
C71	1.74481379e-28
C73	7.10626546e-28
C75	9.49683217e-28
C77	-7.33366013e-28
C78	-1.77609463e-34
C80	1.60876656e-32
C82	6.77014561e-32
C84	-1.05062011e-31
C86	-1.6066208e-30
C88	1.07156242e-30
C90	3.51928827e-29
C92	-1.32616248e-35
C94	-1.89359311e-34
C96	-2.11322988e-33
C98	-9.65905688e-33
C100	-3.21145354e-32
C102	-3.07729242e-32
C104	2.36341356e-32
C105	1.36902756e-39
C107	-1.25241681e-37
C109	-5.41649853e-37
C111	3.55801993e-37
C113	2.24801875e-35
C115	1.01598395e-34
C117	-6.57502488e-35
C119	-1.17160577e-33
C121	4.38429949e-41
C123	6.61750201e-40
C125	9.48344766e-39
C127	5.56461559e-38
C129	1.66397511e-37
C131	5.63925796e-37
C133	2.93756535e-37
C135	-4.28687316e-37
C136	-3.94291716e-45
C138	3.78495154e-43
C140	1.26376752e-42
C142	-2.29509018e-42
C144	-8.2443098e-41
C146	-4.93061877e-40
C148	-1.62722919e-39
C150	2.07928492e-39
C152	1.74046666e-38

Tabelle 4a zu Fig. 5

Oberfläche	DCX	DCY	DCZ
Bildfeld	0.00000000	0.00000000	0.00000000
M10	0.00000000	0.00000000	745.95851012
AS	0.00000000	-108.32600673	269.83088242
M9	0.00000000	-145.34893549	107.10320716
M8	0.00000000	102.48533001	1196.41448581
M7	0.00000000	399.64552167	1489.06147921
M6	0.00000000	795.27055880	1602.87678784
M5	0.00000000	959.35959326	1578.46423267
M4	0.00000000	1152.92848469	1629.47549331
M3	0.00000000	1581.94197191	1599.74449701
M2	0.00000000	2188.02661963	1278.34773528
M1	0.00000000	2618.99938557	353.53617993
Objektfeld	0.00000000	2768.76700617	2038.27880910

Tabelle 4b zu Fig. 5

Oberfläche	TLA[deg]	TLB[deg]	TLC[deg]
Bildfeld	0.00000000	0.00000000	0.00000000
M10	-6.40872264	0.00000000	0.00000000
AS	-12.81744528	180.00000000	0.00000000
M9	167.18255472	0.00000000	0.00000000
M8	60.87206829	0.00000000	0.00000000
M7	30.30565222	0.00000000	0.00000000
M6	3.79377036	0.00000000	0.00000000
M5	3.15066620	180.00000000	0.00000000
M4	5.39960334	0.00000000	0.00000000
M3	-15.95029122	0.00000000	0.00000000
M2	-46.47510855	0.00000000	0.00000000
M1	9.95301034	180.00000000	0.00000000
Objektfeld	0.00000000	0.00000000	0.00000000

Bei weiteren, nicht dargestellten Ausführungen von Projektionsoptiken, die anstelle der dargestellten Projektionsoptiken 7 sowie 19 bis 21 bei der Projektionsbelichtungsanlage 1 zum Einsatz kommen können, ist ein anderer der GI-Spiegel M2 bis M4, M6 oder M7 als Konter-GI-Spiegel ausgeführt.
Aufgrund der Wirkung des Konter-GI-Spiegels ergibt sich ein Hauptstrahlverlauf des Hauptstrahls 16 zwischen den Spiegeln M8 und M9, dessen Winkel mit einer Normalen auf die Objektebene 5 größer ist als der Hauptstrahlwinkel CRA.
Zur Herstellung eines mikro- oder nanostrukturierten Bauteils wird die Projektionsbelichtungsanlage 1 folgendermaßen eingesetzt: Zunächst werden die Reflexionsmaske 10 beziehungsweise das Retikel und das Substrat beziehungsweise der Wafer 11 bereitgestellt. Anschließend wird eine Struktur auf dem Retikel 10 auf eine lichtempfindliche Schicht des Wafers 11 mithilfe der Projektionsbelichtungsanlage 1 projiziert. Durch Entwicklung der lichtempfindlichen Schicht wird dann eine Mikro- oder Nanostruktur auf dem Wafer 11 und somit das mikrostrukturierte Bauteil erzeugt.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

WO 2016/166080 A1 [0002]
JP 2002048977 A [0002]
US 5891806 [0002]
WO 2008/141686 A1 [0002]
WO 2015/014753 A1 [0002, 0042]
WO 2012/126867 A1 [0043]
DE 10155711 A1 [0043]
DE 102010029050 A1 [0048]
US 20070058269 A1 [0054]

Claims

Abbildende Optik (7; 19; 20; 21) zur Abbildung eines Objektfeldes (4) in ein Bildfeld (8), - mit einer Mehrzahl von Spiegeln (M1 bis M10) zur Führung von Abbildungslicht (3) längs eines Abbildungsstrahlengangs vom Objektfeld (4) hin zum Bildfeld (8), - wobei die Mehrzahl von Spiegeln (M1 bis M10) mehrere Spiegel (M2 bis M8) für streifenden Einfall (GI-Spiegel) umfasst, die einen Hauptstrahl (16) eines zentralen Objektfeldpunktes mit einem Einfallswinkel von mehr als 45° umlenken, - wobei mindestens zwei der GI-Spiegel (M2 bis M8) im Abbildungsstrahlengang als Ausgangs-GI-Spiegel (M2 bis M7; M2 bis M4, M6 bis M8) derart angeordnet sind, dass sich deren Umlenkwirkung für den Hauptstrahl (16) addiert, - wobei mindestens ein weiterer der GI-Spiegel (M2 bis M8) im Abbildungsstrahlengang als Konter-GI-Spiegel (M8; M5) derart angeordnet ist, dass dessen Umlenkwirkung für den Hauptstrahl (16) subtraktiv zur Umlenkwirkung der Ausgangs-GI-Spiegel (M2 bis M7; M2 bis M4, M6 bis M8) wirkt.
Abbildende Optik nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch genau einen Konter-GI-Spiegel (M8; M5).
Abbildende Optik nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch mehr als drei Ausgangs-GI-Spiegel (M2 bis M7; M2 bis M4, M6 bis M8).
Abbildende Optik nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch genau sechs Ausgangs-GI-Spiegel (M2 bis M7; M2 bis M4, M6 bis M8).
Abbildende Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Konter-GI-Spiegel (M8) der letzte GI-Spiegel im Abbildungsstrahlengang vor dem Bildfeld (8) ist.
Abbildende Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass im Abbildungsstrahlengang nach dem Konter-GI-Spiegel (M5) noch mindestens ein weiterer Ausgangs-GI-Spiegel (M6 bis M8) angeordnet ist.
Abbildende Optik nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass im Abbildungsstrahlengang nach dem Konter-GI-Spiegel (M5) noch mehrere weitere Ausgangs-GI-Spiegel (M6 bis M8) angeordnet sind.
Abbildende Optik nach Anspruch 7, gekennzeichnet durch genau drei Ausgangs-GI-Spiegel (M6 bis M8) im Abbildungsstrahlengang nach dem Konter-GI-Spiegel (M5).
Abbildende Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 8, gekennzeichnet durch mindestens einen Spiegel (M1, M9, M10) für senkrechten Einfall (NI-Spiegel), der einen Hauptstrahl (16) eines zentralen Objektfeldpunktes mit einem Einfallswinkel von weniger als 45° umlenkt.
Abbildende Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 9, gekennzeichnet durch einen vorletzten Spiegel (M9) ohne Durchtrittsöffnung für das Abbildungslicht (3), der im Abbildungsstrahlengang auf einer Seite einer Lichtröhre (18) angeordnet ist, die durch den Abbildungsstrahlengang zwischen einem letzten Spiegel (M10) im Abbildungsstrahlengang und dem Bildfeld (8) vorgegeben ist, wobei die Seite der Lichtröhre, auf der der vorletzte Spiegel (M9) angeordnet ist, derjenigen des ersten Spiegels (M1) abgewandt ist.
Optisches System mit einer abbildenden Optik (7) nach einem der Ansprüche 1 bis 10 und einer Beleuchtungsoptik (6) zum Beleuchten eines Beleuchtungsfeldes, in dem das Objektfeld (4) angeordnet ist.
Projektionsbelichtungsanlage mit einem optischen System nach Anspruch 11 und mit einer EUV-Lichtquelle (2) zur Erzeugung des Abbildungslichts (3).
Verfahren zur Herstellung eines strukturierten Bauteils mit folgenden Verfahrensschritten: - Bereitstellen eines Retikels (10) und eines Wafers (11), - Projizieren einer Struktur auf dem Retikel (10) auf eine lichtempfindliche Schicht des Wafers (11) mithilfe der Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 12, - Erzeugen einer Mikro- beziehungsweise Nanostruktur auf dem Wafer (11).
Strukturiertes Bauteil, hergestellt nach einem Verfahren nach An-spruch 13.