DE102022212382A1

DE102022212382A1 - Verfahren zum Design einer Projektionsoptik sowie Projektionsoptik

Info

Publication number: DE102022212382A1
Application number: DE102022212382.4A
Authority: DE
Inventors: Michael Patra
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2022-11-21
Filing date: 2022-11-21
Publication date: 2023-02-23
Also published as: DE102023208850A1

Abstract

Beim Design einer Projektionsoptik (7) mit einer Mehrzahl von Spiegeln (M1 bis M6) zur Abbildung eines Objektfeldes (4) in ein Bildfeld (8) werden zwei sich voneinander unterscheidende Abbildungsmaßstäbe vorgegeben. Vorgegeben wird weiterhin eine Mehrzahl von Punkt-Zuordnungen aus jeweils einem Objektpunkt auf dem Objektfeld (4) und Soll-Bildpunkten auf dem Bildfeld (8), die über die Abbildung des jeweiligen Objektpunktes mit allen vorgegebenen Abbildungsmaßstäben entstehen. Die Objektpunkte der vorgegebenen Punkt-Zuordnungen sind voneinander beabstandet. Formen von Reflexionsflächen der Spiegel (M1 bis M6) werden variiert, bis ein berechneter Abweichungs-Toleranzwert, der eine Abweichung von einer jeweiligen Berechnung zugrundeliegenden Formen der Reflexionsflächen von idealen, abbildungsfehlerfreien Formen der Reflexionsflächen repräsentiert, nicht mehr größer ist als ein Toleranzwert. Als Randbedingung für das Variieren ist die Form der Reflexionsfläche jedes Spiegels (M1 bis M6) für jeden Abbildungsmaßstab unveränderlich, sodass die Form der Reflexionsfläche jedes Spiegels (M1 bis M6) jeweils für alle vorgegebenen Abbildungsmaßstäbe gemeinsam variiert wird. Die Positionen der Spiegel (M 1 bis M6) sind bei den verschiedenen Abbildungsmaßstäben variabel. Es resultiert eine Projektionsoptik, mit der wechselnden Bedingungen beim Betrieb einer Projektionsbelichtungsanlage Rechnung getragen werden kann.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Design einer Projektionsoptik mit einer Mehrzahl von Spiegeln zur Abbildung eines Objektfeldes in ein Bildfeld. Ferner betrifft die Erfindung eine derartige Projektionsoptik.
Eine Projektionsoptik ist bekannt aus der DE 10 2019 219 209 A1 .
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Projektionsoptik der eingangs genannten Art derart zu verbessern, dass wechselnden Bedingungen beim Betrieb einer Projektionsbelichtungsanlage, zu der die Projektionsoptik gehört, Rechnung getragen werden kann.
Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch ein Designverfahren für eine Projektionsoptik mit den im Anspruch 1 angegebenen Merkmalen.
Erfindungsgemäß wurde erkannt, dass Fertigungsprobleme beim Betrieb einer Projektionsbelichtungsanlage dadurch begründet sein können, dass während des Betriebs unvermeidliche thermische Ausdehnungs- beziehungsweise Kontraktionseffekte, beispielsweise eines abzubildenden Objektes und/oder eines Substrates, auf welches eine Struktur des Objektes abgebildet werden soll, auftreten. Es wurde weiterhin erkannt, dass derartige unerwünschte Effekte mit Hilfe einer Projektionsoptik mit variablem Abbildungsmaßstab kompensiert werden können. Das erfindungsgemäße Designverfahren schafft die Möglichkeit, eine Projektionsoptik so auszulegen, dass sie in einem vorgegebenen Bereich von Abbildungsmaßstäben eine hohe Abbildungsqualität hat. Innerhalb dieses vorgegebenen Abbildungsmaßstab-Bereiches kann dann eine Zoom-Funktion der Projektionsoptik bereitgestellt werden und die Projektionsoptik kann an sich ändernde Abbildungsmaßstab-Anforderungen durch entsprechende Änderung des Abbildungsmaßstabes der Projektionsoptik angepasst werden, ohne dass dies zu unerwünscht hohen Abbildungsfehlern führt. Eine derartige Anpassung kann gesteuert oder, beispielsweise nach Erfassung entsprechender Anlagenparameter über entsprechende Sensoren, geregelt erfolgen. Eine entsprechende Sensorik kann mindestens einen Temperatursensor und/oder mindestens einen Metrologie-Sensor zur Erfassung mindestens einer relevanten Objektdimension beinhalten.
Ergebnis des Designverfahrens kann eine katoptrische Projektionsoptik sein. Der Abweichungs-Toleranzwert, dessen Einhaltung im Rahmen des Variationsschrittes des Designverfahrens überwacht wird, kann als Summe über die Quadrate von Einzelabweichungen jedes Ist-Bildpunktes vom zugehörigen Soll-Bildpunkt der beim Designverfahren vorgegebenen Punkt-Zuordnungen ermittelt werden. Alternativ kann der Abweichungs-Toleranzwert auch als Summe über die Quadrate von Einzelabweichungen optischer Weglängen, typischerweise als Wellenfrontfehler bezeichnet, von Abbildungs-Einzelstrahlen ermittelt werden. Ein korrigiertes Bildfeld kann längs einer kleinsten Felderstreckung eine Ausdehnung von mindestens 1 mm und beispielsweise von 2 mm haben.
Die Randbedingung „unveränderliche Form der Spiegel-Reflexionsflächen für jeden Abbildungsmaßstab“ bedeutet, dass eine Variation einer Reflexionsflächenform nur dann zulässig ist, wenn diese für alle vorgegebenen Abbildungsmaßstäbe unveränderlich Bestand hat. Ergebnis des Designverfahrens ist eine Projektionsoptik, bei der über eine Positionsvariation der Spiegel sowie gegebenenfalls auch des Objektes und/oder des Bildes eine Variation des Abbildungsmaßstabes erfolgen kann.
Der Abbildungsmaßstab der Projektionsoptik kann innerhalb eines vorgegebenen Abbildungsmaßstab-Bereiches variiert werden.
Ein Bereich δβ, innerhalb dem die Designverfahren vorgegebenen Abbildungsmaßstäbe sich maximal unterscheiden, kann im Verhältnis zum Mittelwert β der vorgegebenen Abbildungsmaßstäbe folgender Relation genügen: $δβ / \bar{β} 1 mal 10^{- 6} .$
Dieses, den Bereich des korrigierten Abbildungsmaßstabes vorgebende Verhältnis kann im Bereich von 5 × 10^-6 bis 20 × 10^-6 (parts per million, ppm) liegen.
Eine Vorgabe von mehr als zwei unterschiedlichen Abbildungsmaßstäben nach Anspruch 2 erhöht die Qualität des Designverfahrens. Es können beispielsweise drei bis fünf unterschiedliche Abbildungsmaßstäbe im Rahmen des Designverfahrens vorgegeben werden.
Die Berücksichtigung einer Überlagerung von mehr als zehn Abbildungs-Einzelstrahlen nach Anspruch 3 erhöht die Qualität des Designverfahrens, insbesondere die Ermittlung der Ist-Bildpunkte. Es kann eine Überlagerung von 100 Abbildungs-Einzelstrahlen, die von einem jeweiligen Objektpunkt ausgehen, oder von noch mehr Abbildungs-Einzelstrahlen berücksichtigt werden.
Eine Vorgabe von Punkt-Zuordnungen nach Anspruch 4 erhöht die Qualität des Designverfahrens, insbesondere die Qualität der Sicherstellung einer hohen Abbildungsqualität über das gesamte Bildfeld. Es können Punkt-Zuordnungen mit beispielsweise 100 verschiedenen Objektpunkten oder mit noch mehr verschiedenen Objektpunkten vorgegeben werden.
Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist es, eine Projektionsoptik anzugeben, die die vorstehend bereits erläuterten, insbesondere thermischen Abweichungen berücksichtigen und kompensieren kann.
Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch eine Projektionsoptik mit den im Anspruch 5 angegebenen Merkmalen.
Bei der Projektionsoptik handelt es sich insbesondere um eine Optik, die in einer Lithographie-Projektionsbelichtungsanlage zum Einsatz kommen kann, insbesondere in einer EUV-Projektionsbelichtungsanlage. Die Projektionsoptik kann mehrere Spiegel aufweisen, die über entsprechende Spiegel-Manipulatoren verlagerbar sind. Auch eine Ausführung der Projektionsoptik ist möglich, bei der genau ein Spiegel-Manipulator eine Verlagerung mehrerer Spiegel herbeiführt, insbesondere über ein entsprechendes Umlenkgetriebe und/oder über eine entsprechende Umlenk-Kulisse. Zusätzlich zu mindestens einem verlagerbaren Spiegel kann die Projektionsoptik einen über einen entsprechende Manipulator verlagerbaren Objekt- beziehungsweise Retikelhalter und/oder einen über einen entsprechenden Manipulator verlagerbaren Substrat- beziehungsweise Bildhalter aufweisen. Die Projektionsoptik kann mehrere NI-Spiegel, also mehrere Spiegel für im Wesentlichen senkrechten Einfallswinkel (Einfallswinkel höchstens 45 °) aufweisen. Die Projektionsoptik kann mehrere GI-Spiegel, also mehrere Spiegel für streifenden Einfall (grazing incidence) aufweisen, also Spiegel mit Einfallswinkeln größer als 45 °. Die Projektionsoptik kann mittels eines Designverfahrens hergestellt sein, welches vorstehend erläutert wurde.
Eine variabel vorgehbare Aperturblende nach Anspruch 6 ermöglicht eine Anpassung einer Apertur der Projektionsoptik an den jeweils eingestellten Abbildungsmaßstab.
Bei der Aperturblende kann es sich um eine mehrteilige Blende handeln. Die Aperturblende kann mindestens einen Blenden-Manipulator zur Vorgabe einer Blendenweite der Aperturblende aufweisen. Die Aperturblende kann nach Art einer Irisblende gestaltet sein.
Die Vorteile eines optischen Systems nach Anspruch 7, eines Beleuchtungssystems nach Anspruch 8, einer Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 9, eines Herstellungsverfahrens nach Anspruch 10 und eines mikro- beziehungsweise nanostrukturierten Bauteils nach Anspruch 11 entsprechen denen, die vorstehend unter Bezugnahme auf die erfindungsgemäße abbildende Optik bereits erläutert wurden.
Hergestellt werden kann insbesondere ein Halbleiter-Bauteil, beispielsweise ein Speicherchip.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnung näher erläutert. In dieser zeigen:

1 stark schematisch eine Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Mikrolithographie;
2 im Vergleich zur 1 weniger stark schematisch eine Projektionsoptik der Projektionsbelichtungsanlage in einer Seitenansicht, wobei gestrichelt alternative Komponentenpositionen von Komponenten der Projektionsoptik zur Erzeugung eines veränderten Abbildungsmaßstabes der Projektionsoptik angedeutet sind;
3 wiederum stark schematisch die Projektionsoptik der Projektionsbelichtungsanlage bei der Abbildung eines Objektfeldes in ein Bildfeld mit einem ersten Abbildungsmaßstab, der einer Verkleinerung um etwa einen Faktor 2 entspricht, wobei dies durch die Abbildung von vier Objektpunkten auf zugeordnete Bildpunkte verdeutlicht ist;
4 in einer zur 3 ähnlichen Darstellung die Projektionsoptik, bei der die Positionen von Spiegeln der Projektionsoptik so umgestellt sind, dass eine geringere Verkleinerung im Vergleich zur 3 resultiert, also ein anderer Abbildungsmaßstab;
5 in einer zur 3 ähnlichen Darstellung die Projektionsoptik, bei der die Positionen von Spiegeln der Projektionsoptik so umgestellt sind, dass eine stärkere Verkleinerung im Vergleich zur 3 resultiert, also ein anderer Abbildungsmaßstab;
6 in einer wiederum zur 3 ähnlichen Darstellung die Situation nach 5 mit stärkerer Verkleinerung, wobei dies anders als bei der Situation bei 5 nicht durch eine Verkleinerung des Bildfeldes, sondern durch eine Vergrö-ßerung des Objektfeldes verdeutlicht ist;
7 wiederum in einer zur 3 ähnlichen Darstellung die Situation nach 4 mit geringerer Verkleinerung, wobei dies bei der Situation nach 7 durch ein stärkeres Zusammenrücken der abgebildeten Objektpunkte, also durch eine Verkleinerung des Objektfeldes verdeutlicht ist;
8 eine Aufsicht auf eine Aperturblende zum Einsatz in der Projektionsoptik, wobei durchgezogen eine erste Position von Blendenabschnitten zur Vorgabe einer ersten, kleineren Blendenöffnung und gestrichelt eine zweite Position der Blendenabschnitte zur Vorgabe einer zweiten, größeren Blendenöffnung veranschaulicht ist;
9 in einem Meridionalschnitt eine Ausführung einer abbildenden Optik, die als Projektionsoptik in der Projektionsbelichtungsanlage einsetzbar ist, wobei ein Abbildungsstrahlengang für Hauptstrahlen und für einen oberen und einen unteren Komastrahl dreier ausgewählter Feldpunkte dargestellt ist;
10 in einem Diagramm eine Abhängigkeit eines Wellenfrontfehlers WFR von einer Änderung ε des Abbildungsmaßstabes der Projektionsoptik, hervorgerufen durch eine jeweilige Änderung beziehungsweise Variation der Positionen der Spiegel sowie gegebenenfalls des Objektfeldes und/oder des Bildfeldes der Projektionsoptik nach 9;
11 in einer zur 9 ähnlichen Darstellung eine weitere Ausführung einer abbildenden Optik, einsetzbar als Projektionsoptik in der Projektionsbelichtungsanlage;
12 in einer zur 10 ähnlichen Darstellung die Abhängigkeit des Wellenfrontfehlers WFR von der Variation ε des Abbildungsmaßstabes bei der Projektionsoptik nach 11;
13 schematisch einen Abbildungsstrahlengang dreier Einzelstrahlen 29, die von einem Objektfeld ausgehen, zur Verdeutlichung einer abbildenden Wirkung der Projektionsoptik; und
14 und 15 Ausschnittsvergrößerungen der 13 im Bereich eines Bildfeldes, ergänzt durch weitere, erläuternde Darstellungsdetails.

Eine Projektionsbelichtungsanlage 1 für die Mikrolithographie hat eine Lichtquelle 2 für Beleuchtungslicht bzw. Abbildungslicht 3. Bei der Lichtquelle 2 handelt es sich um eine EUV-Lichtquelle, die Licht in einem Wellenlängenbereich beispielsweise zwischen 5 nm und 30 nm, insbesondere zwischen 5 nm und 15 nm, erzeugt. Bei der Lichtquelle 2 kann es sich insbesondere um eine Lichtquelle mit einer Wellenlänge von 13,5 nm oder um eine Lichtquelle mit einer Wellenlänge von 6,7 nm handeln. Auch andere EUV-Wellenlängen sind möglich. Generell sind sogar beliebige Wellenlängen, zum Beispiel sichtbare Wellenlängen oder auch andere Wellenlängen, die in der Mikrolithographie Verwendung finden können (z. B. DUV, tiefes Ultraviolett) und für die geeigneten Laserlichtquellen und/oder LED-Lichtquellen zur Verfügung stehen (beispielsweise 365 nm, 248 nm, 193 nm, 157 nm, 129 nm, 109 nm), für das in der Projektionsbelichtungsanlage 1 geführte Beleuchtungslicht 3 möglich. Ein Strahlengang des Beleuchtungslichts 3 ist in der 1 äußerst schematisch dargestellt.
Zur Führung des Beleuchtungslichts 3 von der Lichtquelle 2 hin zu einem Objektfeld 4 in einer Objektebene 5 dient eine Beleuchtungsoptik 6. Mit einer Projektionsoptik bzw. abbildenden Optik 7 wird das Objektfeld 4 in ein Bildfeld 8 in einer Bildebene 9 mit einem vorgegebenen, gegebenenfalls anamorphotischen Verkleinerungsmaßstab abgebildet. Der Verkleinerungsmaßstab der Projektionsoptik 7, der auch als Abbildungsmaßstab bezeichnet ist, kann variabel innerhalb eines abbildungsfehlerkorrigierten Bereiches von Abbildungsmaßstäben vorgegeben werden, wie nachfolgend noch erläutert wird.
Zur Erleichterung der Beschreibung der Projektionsbelichtungsanlage 1 sowie der verschiedenen Ausführungen der Projektionsoptik 7 ist in der Zeichnung ein kartesisches xyz-Koordinatensystem angegeben, aus dem sich die jeweilige Lagebeziehung der in den Figuren dargestellten Komponenten ergibt. In der 1 verläuft die x-Richtung senkrecht zur Zeichenebene in diese hinein. Die y-Richtung verläuft nach links und die z-Richtung nach oben.
Das Objektfeld 4 und das Bildfeld 8 sind rechteckförmig. Alternativ ist es auch möglich, das Objektfeld 4 und Bildfeld 8 gebogen bzw. gekrümmt, also insbesondere teilringförmig auszuführen. Das Objektfeld 4 und das Bildfeld 8 haben ein xy-Aspektverhältnis größer als 1. Das Objektfeld 4 hat also eine längere Objektfelddimension in der x-Richtung und eine kürzere Objektfelddimension in der y-Richtung. Diese Objektfelddimensionen verlaufen längs der Feldkoordinaten x und y.
Die Projektionsoptik 7 ist in der 2 schematisch in einer Meridional-Seitenansicht (Zeichenebene parallel zur yz-Ebene) dargestellt. Für die Projektionsoptik 7 kann eines der in den 9 oder 11 dargestellten Ausführungsbeispiele eingesetzt werden, die nachfolgend noch näher erläutert werden.
Die Projektionsoptik 7 ist anamorphotisch ausgeführt. In der yz-Ebene, also in der Meridionalebene der Ansicht hat die Projektionsoptik 7 einen Verkleinerungsmaßstab |β_y| von 8. In der Meridionalebene yz wird das Objektfeld 4 also um einen Faktor 8 verkleinert auf das Bildfeld 8 abgebildet. In der senkrecht auf der Meridionalebene stehenden Sagittalebene xz beträgt ein Verkleinerungsmaßstab der Projektionsoptik 7 |β_x| 4. Das Objektfeld 4 wird in dieser Ebene xz also um einen Faktor 4 verkleinert in das Bildfeld 8 zwischen der Objektebene 5 und der Bildebene 9 abgebildet. Auch andere ganzzahlige oder nicht ganzzahlige absolute Verkleinerungsmaßstäbe β_x, β_y sind möglich, wie nachfolgend noch erläutert.
Das Bildfeld 8 hat eine x-Erstreckung von z.B. 26 mm und eine y-Erstreckung von z.B. 2 mm.
Die Bildebene 9 ist bei der Projektionsoptik 7 parallel zur Objektebene 5 angeordnet. Abgebildet wird hierbei ein mit dem Objektfeld 4 zusammenfallender Ausschnitt einer Reflexionsmaske 10, die auch als Retikel bezeichnet wird. Das Retikel 10 wird von einem Retikelhalter 10a getragen. Der Retikelhalter 10a wird von einem Retikelverlagerungsantrieb 10b verlagert.
Die Abbildung durch die Projektionsoptik 7 erfolgt auf die Oberfläche eines Substrats 11 in Form eines Wafers, der von einem Substrathalter 12 getragen wird. Der Substrathalter 12 wird von einem Wafer- bzw. Substratverlagerungsantrieb 12a verlagert.
In der 1 ist schematisch zwischen dem Retikel 10 und der Projektionsoptik 7 ein in diese einlaufendes Strahlenbündel 13 des Beleuchtungslichts 3 und zwischen der Projektionsoptik 7 und dem Substrat 11 ein aus der Projektionsoptik 7 auslaufendes Strahlenbündel 14 des Beleuchtungslichts 3 dargestellt. Eine bildfeldseitige numerische Apertur (NA) der Projektionsoptik 7 ist in der 1 nicht maßstäblich wiedergegeben.
Die Projektionsbelichtungsanlage 1 ist vom Scannertyp. Sowohl das Retikel 10 als auch das Substrat 11 werden beim Betrieb der Projektionsbelichtungsanlage 1 in der y-Richtung gescannt. Auch ein Steppertyp der Projektionsbelichtungsanlage 1, bei dem zwischen einzelnen Belichtungen des Substrats 11 eine schrittweise Verlagerung des Retikels 10 und des Substrats 11 in der y-Richtung erfolgt, ist möglich. Diese Verlagerungen erfolgen synchronisiert zueinander durch entsprechende Ansteuerung der Verlagerungsantriebe 10b und 12a.
2 zeigt im Vergleich zur 1 weniger schematisch, aber immer noch in stark schematisierter Form die Projektionsoptik 7. Ein Abbildungsstrahlengang zwischen dem Objektfeld 4 und dem Bildfeld 8 ist durch drei Einzelstrahlen angedeutet. In der schematischen Ausführung nach 2 hat die Projektionsoptik 7 sechs Spiegel M1 bis M6, die in der Reihenfolge ihrer Beaufschlagung längs des Abbildungsstrahlengangs durchnummeriert sind. Die beiden letzten Spiegel M5 und M6 haben jeweils eine Durchtrittsöffnung 14a für das Abbildungslicht 3.
Durchgezogen ist in der 2 eine erste Position der Komponenten der Projektionsoptik 7, also des Retikelhalters 10a mit dem Retikel 10, der Spiegel M1 bis M6 und des Substrathalters 12 mit dem Wafer 11 dargestellt. In dieser ersten Position der Komponenten der Projektionsoptik 7 bildet diese das Objektfeld 4 in das Bildfeld 8 mit einem ersten Abbildungsmaßstab β₁ ab.
Gestrichelt ist in der 2 eine weitere Position der Komponenten der Projektionsoptik 7 dargestellt. Zur Verlagerung der Spiegel M1 bis M6 zwischen der jeweiligen durchgezogenen und der jeweiligen gestrichelten Position hat jeder der Spiegel M1 bis M6 einen Spiegel-Manipulator 14b, was in der 2 lediglich für den Spiegel M1 schematisch dargestellt ist. Auch der Retikelhalter 10a und der Substrathalter 12 haben zur Verlagerung entsprechend 2 einen Manipulator 14c. Diese Manipulatoren 14c des Retikelhalters 10a und des Substrathalters 12 dienen wie die Spiegel-Manipulatoren 14b zur Variation des Abbildungsmaßstabes β und können unabhängig von dem Retikelverlagerungsantrieb 10b und von dem Substratverlagerungsantrieb 12a ausgeführt sein. Alternativ können die Verlagerungsantriebe 10b, 12a auch die Funktion der Manipulatoren 14c haben.
Durch die Verlagerung der Komponenten der Projektionsoptik 7 in die gestrichelte Position der 2 ändert sich der Abbildungsmaßstab vom Abbildungsmaßstab β₁ in einen Abbildungsmaßstab β₂. Die relative Differenz zwischen den beiden Abbildungsmaßstäben β₁ und β₂ wird auch als ε bezeichnet.
Die 3 bis 7 verdeutlichen eine Wirkung der Veränderung des Abbildungsmaßstabes β über die Verlagerung der Komponenten der Projektionsoptik 7 mit Hilfe der Manipulatoren 14b, 14c.
3 zeigt schematisch eine Ausgangsposition der Projektionsoptik 7 mit dem Abbildungsmaßstab β₁. Dargestellt ist eine Abbildung von Objektpunkten 4i (i = 1 bis 4) im Objektfeld 4 in Bildpunkte 8_i (i = 1 bis 4) im Bildfeld 8.
4 zeigt eine Situation der Projektionsoptik 7 mit verlagerten Komponenten, beispielsweise die Situation, die in der 2 gestrichelt dargestellt ist. Die vier Objektpunkte 4i werden nun mit einem anderen Abbildungsmaßstab, nämlich mit im Vergleich zur 3 schwächerem Verkleinerungsmaßstab, in Bildpunkte 8_j (j = 1 bis 4) abgebildet. Benachbarte der Bildpunkte 8_j haben im Vergleich zu Benachbarten der Bildpunkte 8_i nach 3 einen größeren Abstand zueinander.
5 zeigt eine weitere Verlagerungssituation der Komponenten der Projektionsoptik 7 zur Erzeugung eines weiteren Abbildungsmaßstabes β₃, bei dem die Komponenten der Projektionsoptik 7 in einer weiteren Position vorliegen, die in der 2 nicht dargestellt ist. Im Vergleich zur Situation nach 3 verkleinert die Projektionsoptik 7 in der Komponentenposition nach 5 stärker. Die Objektpunkte 4i werden in Bildpunkte 8_k (k = 1 bis 4) abgebildet, wobei ein Abstand zwischen Benachbarten der Bildpunkte 8_k kleiner ist, als der Abstand zwischen benachbarten Bildpunkten 8_i in der 3. Wenn β als Verkleinerungsmaßstab verstanden wird, also als Verhältnis zwischen einer Erstreckung des Objektfeldes 4 längs einer Dimension und einer Erstreckung des Bildfeldes 8 in einer hierzu korrespondierenden Abbildungsdimension, dann gilt β₃ > β₁ > β₂.
Der sich veränderte Abbildungsmaßstab kann nicht nur über eine Veränderung einer Größe des Bildfeldes 8 verstanden werden, wie vorstehend anhand der 3 bis 5 erläutert, sondern kann auch anhand einer Veränderung einer Größe des Objektfeldes 4 verstanden werden.
6 zeigt wiederum die Situation mit dem größten Verkleinerungsmaßstab β₃, also der stärksten Verkleinerung, wobei hier Objektpunkte 4_j (j = 1 bis 4) in die Bildpunkte 8_i entsprechend 3 abgebildet werden. Ein Abstand zwischen benachbarten Objektpunkten 4_j ist bei der Verlagerungssituation der Projektionsoptik 7 nach 6 größer als der Abstand zwischen Benachbarten der Objektpunkte 4i nach 3.
7 zeigt entsprechend die Projektionsoptik 7 in der Verlagerungssituation zur Erzeugung des kleinsten Verkleinerungsmaßstabs β₂, also der schwächsten Verkleinerung, wobei hier Objektpunkte 4_k in die Bildpunkte 8_i abgebildet werden. Ein Abstand zwischen Benachbarten der Objektpunkte 4_k ist kleiner als der Abstand zwischen benachbarten Objektpunkten 4i in der Verlagerungssituation nach 3.
Eine maximale Differenz zwischen den Abbildungsmaßstäben, in denen die Projektionsoptik 7 ausreichend gut korrigiert ist, also insbesondere einen RMS-Wellenfrontfehler unterhalb eines vorgegebenen Toleranzwertes aufweist, wird nachfolgend auch als δβ bezeichnet. Ein Mittelwert zwischen dem kleinsten und dem größten nutzbaren Abbildungsmaßstab wird auch mit β̅ bezeichnet.
8 zeigt eine Aperturblende 15, die zur Vorgabe einer Apertur der Projektionsoptik 7 in einer Pupillenebene der Projektionsoptik 7 angeordnet wird und nachfolgend auch die Bezeichnung AS hat. Die Aperturblende 15 hat eine Mehrzahl von Blendenabschnitten 15i, wobei bei der dargestellten Ausführung gilt: i = 14. Je nach Ausführung der Aperturblende 15 kann die Anzahl der Blendenabschnitte 15i beispielsweise zwischen 2 und 50 liegen, insbesondere zwischen 5 und 25, beispielsweise zwischen 10 und 15.
Die Blendenabschnitte 15i sind in der 8 im Uhrzeigersinn durchnummeriert.
Zur Vorgabe unterschiedlicher Blendenweiten stehen die Blendenabschnitte 15i mit mindestens einem Blenden-Manipulator 16 in Wirkverbindung. Durchgezogen ist in der 8 eine erste Position der Blendenabschnitte 15i zur Vorgabe einer ersten, kleineren Blendenweite und entsprechend zur Vorgabe einer kleineren Apertur der Projektionsoptik 7. Gestrichelt ist in der 8 eine über den mindestens einen Blenden-Manipulator erzeugte weitere Position der jeweiligen Blendenabschnitte 15i zur Vorgabe einer weiteren, größeren Blendenweite und entsprechend größeren Apertur der Projektionsoptik 7 angedeutet.
Benachbarte Blendenabschnitte 15_i, 15_i+1 überlappen miteinander im Bereich der vorzugebenden Blendenweite, wie in der 8 durch Überlappungsabschnitte 17 angedeutet. Je nach vorgegebener Blendenweite verändern sich die Größen dieser Überlappungsabschnitte.
Alternativ zur Ausführung, die in der 8 dargestellt ist, kann die Aperturblende 15 auch nach Art einer Irisblende in einem Fotoobjektiv gestaltet sein. Insbesondere können die einzelnen Blendenabschnitte 15i über jeweils zwei Achsen mit zwei Ringen derart verbunden sein, dass durch Verdrehung der beiden Ringe zueinander alle Blendenabschnitte gemeinsam bewegt werden.
9 zeigt das optische Design einer im Detail, wie nachfolgend noch über Designtabellen angegeben, designten Ausführung der Projektionsoptik 7 mit insgesamt acht Spiegeln M1 bis M8. Dargestellt ist in der 9 der Strahlengang jeweils dreier Einzelstrahlen 29, die von drei in der 9 zueinander in der y-Richtung beabstandeten Objektfeldpunkten ausgehen. Dargestellt sind Hauptstrahlen 30, also Einzelstrahlen 29, die durch das Zentrum einer Pupille in einer Pupillenebene der Projektionsoptik 7 verlaufen, sowie jeweils ein oberer und ein unterer Komastrahl, also Strahlen, die durch den oberen bzw. unteren Rand der Pupille gehen, dieser beiden Objektfeldpunkte. Ausgehend vom Objektfeld 4 schließen die Hauptstrahlen 30 mit einer Normalen auf die Objektebene 5 einen Winkel CRAO von 5,37 ° ein.
Die Projektionsoptik 7 hat eine bildseitige numerische Apertur von 0,75.
Die Projektionsoptik 7 nach 9 hat insgesamt acht Spiegel, die in der Reihenfolge des Strahlengangs der Einzelstrahlen 29, ausgehend vom Objektfeld 4, mit M1 bis M8 durchnummeriert sind. Die abbildende Optik 7 kann auch eine andere Spiegelanzahl haben, beispielsweise vier Spiegel, sechs Spiegel, neun Spiegel, zehn Spiegel, elf Spiegel oder auch noch mehr Spiegel.
Dargestellt sind in der 9 die berechneten Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M8. Genutzt wird ggf. nur ein Teilbereich dieser berechneten Reflexionsflächen. Lediglich dieser tatsächlich genutzte Bereich der Reflexionsflächen ist bei den realen Spiegeln M1 bis M8 tatsächlich vorhanden. Diese Nutz-Reflexionsflächen werden in bekannter Weise von Spiegelkörpern getragen. Die Spiegel M1 bis M8 sowie der Retikelhalter 10a und der Substrathalter 12 der Projektionsoptik 7 nach 9 können wiederum Manipulatoren 14b, 14c zur Verlagerung der jeweiligen Komponenten aufweisen, wie vorstehend im Zusammenhang mit der 2 erläutert.
Bei der Projektionsoptik 7 nach 9 sind die Spiegel M1, M4, M7 und M8 als Spiegel für normalen Einfall (NI-Spiegel) ausgeführt, also als Spiegel, auf die das Abbildungslicht 3 mit einem Einfallswinkel trifft, der kleiner ist als 45 °. Insgesamt hat die Projektionsoptik 7 nach 9 also vier Spiegel M1, M4, M7 und M8 für normalen Einfall.
Die Spiegel M2, M3, M5 und M6 sind Spiegel für streifenden Einfall (GI-Spiegel) des Beleuchtungslichts 3, also Spiegel, auf die das Beleuchtungslicht 3 mit Einfallswinkeln auftritt, die größer sind als 60 °. Ein typischer Einfallswinkel der Einzelstrahlen 29 des Abbildungslichts 3 auf den Spiegeln M2, M3, M5 und M6 für streifenden Einfall liegt im Bereich von 80 °. Insgesamt hat die Projektionsoptik 7 nach 9 genau vier Spiegel M2, M3, M5 und M6 für streifenden Einfall.
Die Spiegel M2, M3 einerseits sowie M5, M6 andererseits sind als Paare aufeinanderfolgender Spiegel ausgeführt und reflektieren das Abbildungslicht 3 so, dass sich die Ausfallswinkel der Einzelstrahlen 29 auf den jeweiligen Spiegeln der Paare M2, M3 einerseits und M5, M6 andererseits addieren, sich also in ihrer Umlenkwirkung verstärken.
Die Spiegel M1 bis M8 tragen eine die Reflektivität der Spiegel M1 bis M8 für das Abbildungslicht 3 optimierende Beschichtung. Hierbei kann es sich um eine Beschichtung aus Molybdän-Silizium-Bilayern, um eine Ruthenium-Beschichtung, um eine Molybdän-Beschichtung, um eine Silizium-Beschichtung oder um eine Molybdän-Beschichtung mit einer obersten Schicht aus Ruthenium handeln. Bei den Spiegeln M2, M3, M5 und M6 für streifenden Einfall kann eine Beschichtung mit beispielsweise einer Lage aus Molybdän oder Ruthenium zum Einsatz kommen. Diese hoch reflektierenden Schichten insbesondere der Spiegel M1, M4, M7 und M8 für normalen Einfall können als Mehrlagen-Schichten ausgeführt sein, wobei aufeinanderfolgende Schichten aus unterschiedlichen Materialien gefertigt sein können. Auch alternierende Materialschichten können zum Einsatz kommen. Eine typische Mehrlagenschicht kann fünfzig Bi-Lagen aus jeweils einer Schicht Molybdän und einer Schicht Silizium aufweisen. Eine Mehrlagenschicht kann mit einer zusätzlichen Deckschicht z.B. aus Ruthenium vorsehen sein.
Zur Berechnung einer Gesamt-Reflektivität der Projektionsoptik 7 kann eine Systemtransmission wie folgt berechnet werden: Eine Spiegel-Reflektivität wird in Abhängigkeit vom Einfallswinkel eines Führungsstrahls, also eines Hauptstrahls eines zentralen Objektfeldpunktes, an jeder Spiegelfläche bestimmt und multiplikativ zur Systemtransmission zusammengefasst.
Weitere Informationen zur Systemtransmission finden sich in der US 2016/0085061 A1 .
Weitere Informationen zur Reflexion an einem GI-Spiegel (Spiegel für streifenden Einfall) finden sich in der WO 2012/126867 A. Weitere Informationen zur Reflektivität von NI-Spiegeln (Normal Incidence Spiegeln) finden sich in der DE 101 55 711 A.
Der Spiegel M8, also der im Abbildungsstrahlengang letzte Spiegel vor dem Bildfeld 8, hat eine Durchtrittsöffnung 14a zum Durchtritt des Abbildungslichts 3, das vom drittletzten Spiegel M6 hin zum vorletzten Spiegel M7 reflektiert wird. Der Spiegel M8 wird um die Durchtrittsöffnung 14a herum reflektiv genutzt. Alle anderen Spiegel M1 bis M7 haben keine Durchtrittsöffnung und werden in einem lückenlos zusammenhängenden Bereich reflektiv genutzt.
Im Abbildungsstrahlengang zwischen den Spiegeln M6 und M7 ist eine Blende AS angeordnet, die sowohl die Funktion einer Aperturblende als auch die Funktion einer Obskurationsblende hat. Die Blende AS gibt also einerseits die bildseitige numerische Apertur der Projektionsoptik 7 vor und gibt andererseits die Größe einer inneren Pupillenobskuration vor. Die Blende AS kann als geteilte Blende ausgeführt sein, wie dies beispielsweise aus der US 10,527,832 bekannt ist.
Eine alternative oder zusätzliche Position für eine Aperturblende der Projektionsoptik 7 ist in der 9 über eine Anordnungsebene AS` im Abbildungsstrahlengang zwischen den Spiegeln M1 und M2 angedeutet. Dort ist eine Pupillenebene der Projektionsoptik 7. In der Anordnungsebene AS` kann beispielsweise eine Aperturblende nach Art der Aperturblende 15 nach 8 angeordnet sein.
Die Projektionsoptik 7 ist objektseitig näherungsweise telezentrisch. Die Eintrittspupille liegt, wenn der Abbildungsstrahlengang ausschließlich in Bezug auf die Einzelstrahlen, die das Objektfeld 4 passieren, berücksichtigt wird, in der xz-Ebene und in der yz-Ebene mehrere Meter vom Objektfeld 4 beabstandet.
Eine erste Zwischenbildebene liegt im Strahlengang des Abbildungslichts 3 zwischen den Spiegeln M2 und M3 vor. Eine weitere Zwischenbildebene liegt im Strahlengang zwischen den Spiegeln M5 und M6 vor. Im Bereich der Durchtrittsöffnung 14a liegt keine Zwischenbildebene bei der Projektionsoptik 7 vor. Die Anzahl der Zwischenbildebenen unterscheidet sich von der Zwischenbild-Anzahl in der Meridionalebene nach 7 von der Zwischenbild-Anzahl in der hierzu senkrechten Ebene. Derartige Projektionsoptiken mit unterschiedlichen Zwischenbild-Anzahlen in zueinander senkrechten Ebenen sind grundsätzlich bekannt aus der WO 2016/166080 A1 und der DE 10 2015 226 531 A1 .
Die Blende AS liegt im Strahlengang zwischen den Spiegeln M7 und M8 im Bereich einer weiteren Pupillenebene der Projektionsoptik 7.
Die Spiegel M1 bis M8 sind als nicht durch eine rotationssymmetrische Funktion beschreibbare Freiformfläche ausgeführt. Es sind auch andere Ausführungen der Projektionsoptik 7 möglich, bei denen mindestens einer der Spiegel M1 bis M8 als rotationssymmetrische Asphäre ausgeführt ist. Auch alle Spiegel M1 bis M8 können als derartige Asphären ausgeführt sein.
Eine Freiformfläche kann durch folgende Freiformflächengleichung (Gleichung 1) beschrieben werden: $\begin{array}{l} Z = \frac{c_{x} x^{2} + c_{y} y^{2}}{1 + \sqrt{1 - (1 + k_{x}) {(c_{x} x)}^{2} - (1 + k_{y}) {(c_{y} y)}^{2}}} \\ + C_{1} x + C_{2} y \\ + C_{3} x^{2} + C_{4} xy + C_{5} y^{2} \\ + C_{6} x^{3} + \dots + C_{9} y^{3} \\ + C_{10} x^{4} + \dots + C_{12} x^{2} y^{2} + \dots + C_{14} y^{4} \\ + C_{15} x^{5} + \dots + C_{20} y^{5} \\ + C_{21} x^{6} + \dots + C_{24} x^{3} y^{3} + \dots + C_{27} y^{6} \\ + \dots \end{array}$
Für die Parameter dieser Gleichung (1) gilt:

Z ist die Pfeilhöhe der Freiformfläche am Punkt x, y, wobei x² + y² = r². r ist hierbei der Abstand zur Referenzachse der Freiformflächengleichung (x = 0; y = 0).

In der Freiformflächengleichung (1) bezeichnen C₁, C₂, C₃... die Koeffizienten der Freiformflächen-Reihenentwicklung in den Potenzen von x und y.
Im Falle einer konischen Grundfläche ist c_x, c_y eine Konstante, die der Scheitelpunktkrümmung einer entsprechenden Asphäre entspricht. Es gilt also c_x = 1/R_x und c_y = 1/R_y. k_x und k_y entsprechen jeweils einer konischen Konstante einer entsprechenden Asphäre. Die Gleichung (1) beschreibt also eine bikonische Freiformfläche.
Eine alternativ mögliche Freiformfläche kann aus einer rotationssymmetrischen Referenzfläche erzeugt werden. Derartige Freiformflächen für Reflexionsflächen der Spiegel von Projektionsoptiken von Projektionsbelichtungsanlagen für die Mikrolithographie sind bekannt aus der US 2007-0058269 A1 .
Alternativ können Freiformflächen auch mit Hilfe zweidimensionaler Spline-Oberflächen beschrieben werden. Beispiele hierfür sind Bezier-Kurven oder nicht-uniforme rationale Basis-Splines (non-uniform rational basis splines, NURBS). Zweidimensionale Spline-Oberflächen können beispielsweise durch ein Netz von Punkten in einer xy-Ebene und zugehörigen z-Werte oder durch diese Punkte und ihnen zugehörige Steigungen beschrieben werden. Abhängig vom jeweiligen Typ der Spline-Oberfläche wird die vollständige Oberfläche durch Interpolation zwischen den Netzpunkten unter Verwendung z. B. von Polynomen oder Funktionen, die bestimmte Eigenschaften hinsichtlich ihrer Kontinuität und Differenzierbarkeit haben, gewonnen. Beispiele hierfür sind analytische Funktionen.
Die optischen Designdaten der Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M8 (= M01 bis M08) der Projektionsoptik 7 können den nachfolgenden Tabellen entnommen werden.
Die erste dieser Tabellen gibt zu den optischen Oberflächen der optischen Komponenten Scheitelpunktsradien (Radiusx = R_x, Radiusy = R_y) und Brechkraftwerte (Powerx, Powery) an. Negative Radienwerte bedeuten zum einfallenden Beleuchtungslicht 3 hin konkave Kurven im Schnitt der jeweiligen Oberfläche mit der betrachteten Ebene (xz, yz), die von einer Flächennormalen im Scheitelpunkt mit der jeweiligen Krümmungsrichtung (x, y) aufgespannt wird. Die beiden Radien Radiusx, Radiusy können explizit verschiedene Vorzeichen haben.
Die Scheitelpunkte an jeder optischen Fläche sind definiert als Auftreffpunkte eines Führungsstrahls, der von einer Objektfeldmitte entlang einer Symmetrieebene x=0, also der Zeichenebene der 7 (Meridionalebene) hin zum Bildfeld 8 geht.
Die Brechkräfte Powerx (P_x), Powery (P_y) an den Scheitelpunkten sind definiert als: $P_{x} = - \frac{2 cos A O I}{R_{x}}$
$P_{y} = - \frac{2}{R_{y} cos A O I}$
AOI bezeichnet hierbei einen Einfallswinkel des Führungsstrahls zur Oberflächennormalen.
In einer weiteren Tabelle ist der Betrag angegeben, längs dem zur Vorgabe des jeweiligen Abbildungsmaßstabes der jeweilige Spiegel, ausgehend von einer Bezugsfläche in der y-Richtung dezentriert (D_y), in der z-Richtung verschoben (D_z) und verkippt (α_x, α_y, α_z) wurde. Dies entspricht einer Parallelverschiebung und einer Verkippung beim Freiformflächen-Designverfahren. Verschoben wird dabei in y- und in z-Richtung in mm und verkippt um die x-Achse, um die y-Achse und um die z-Achse. Der Verdrehwinkel ist dabei in Grad angegeben. Es wird zunächst dezentriert, dann verkippt. Die Bezugsfläche bei der Dezentrierung ist jeweils die erste Fläche der angegebenen optischen Designdaten. Auch für das Objektfeld 4 (Retikel) ist eine Dezentrierung in y- und in z-Richtung angegeben. Neben den den einzelnen Spiegeln M1 bis M8 zugeordneten Werten sind in dieser Tabelle auch die Objektebene (Retikel) als erste Fläche, die Bildebene (Wafer) als letzte Fläche und eine Blendenfläche (mit der Bezeichnung „Blende“) als Anordnungsebene für eine Apertur- bzw. Obskurationsblende tabelliert.
Die zweite Tabelle (Tabellen 2a bis 2c) gibt für die Spiegel M1 bis M8 die Freiformflächen-Koeffizienten C_n, zugeordnet jeweils zu den Polynomen x^k, y¹ an. Koeffizienten C_n, die nicht tabelliert sind, haben jeweils den Wert 0.
Die dritte Tabelle (Tabellen 3a und 3b) gibt für einen nominalen Verkleinerungsmaßstab (ε = 0), beispielsweise den Verkleinerungsmaßstab β₁ (Faktor 8 in Scanrichtung, Faktor 4 in Crossscanrichtung) Manipulationsdaten für die Komponenten der Projektionsoptik 7, ausgehend von der Position des Objektfeldes („Retikel“) als Referenz, an. Die Tabelle 3a zeigt dabei die Translationsdaten D_x, D_y, D_z für die Komponenten der Projektionsoptik 7 längs der kartesischen Koordinaten xyz an. Diese Translationswerte werden auch als Dezentrierungen bezeichnet. Die Tabelle 3b zeigt eine jeweilige Verkippung dieser Komponenten, beziehungsweise deren optisch wirksamen Flächen, um die jeweiligen Koordinatenachsen xyz, also Kippwinkel α_x, α_y, und α_z an.
Eine weitere Tabelle (Tabelle 4) gibt, ebenfalls für ε = 0, eine Berandung der Blende AS als Polygonzug in lokalen Koordinaten xy an. Die Blende wird noch wie oben beschrieben dezentriert und verkippt. In dieser Tabelle sind die Koordinaten in zwei Spalten angeben. Die erste Spalte (bestehend aus einer x- und einer y-Koordinate) enthält die Koordinaten der Eckpunkte 1 bis N/2 des Polgyons, die zweite Spalte die Koordinaten der Eckpunkte N/2+1 bis N. Jede Zeile enthält damit also vier Zahlen, nämlich x_i, y_i, x_i+N/2, y_i+N/2.

Radien der Flächen Tabelle 1 zu Fig. 9

	Radiusx [mm]	Powerx [1/mm]	Radiusy [mm]	Powery [1/mm]
M01	-4005.37273897	0.00048849	-1909.60004667	0.00102461
M02	3009.70988497	-0.00008603	9701.71970507	-0.00002669
M03	-17969.64393705	0.00004552	-3059.29900859	0.00026737
M04	-2950.55727569	0.00066716	-4007.00224492	0.00049127
M05	-6388.04593711	0.00009202	-5636.50209353	0.00010429
M06	83544.15803990	-0.00000085	9778.63253111	-0.00000728
M07	9664.53107125	-0.00018220	590.74869375	-0.00298082
M08	-1014.00649719	0.00194138	-862.10157764	0.00228346

Freiformkoeffizienten der Flächen Tabelle 2a zu Fig. 9

Koeffizient	Formel	M01	M02	M03
C2	y	-2.6501041177e-05	-2.8736254789e-04	-3.4218637511e-04
C7	x2y	-2.3204407023e-08	-1.1791431951e-07	1.3948662579e-07
C9	y3	-7.3691414379e-09	3.4664494723e-07	-3.4166839098e-08
C10	x4	6.1417864308e-12	1.3396746489e-11	-6.4519087731e-11
C12	x2y2	1.2561968267e-11	-1.6046380093e-10	7.0999463814e-11
C14	y4	-4.0555616172e-11	8.4218434384e-10	1.1156618638e-11
C16	x4 y	-1.8791346372e-14	-1.6062721572e-13	-3.1770134887e-14
C18	x2y3	-4.613 752270 1 e-14	6.4253563937e-14	1.7024183430e-14
C20	y5	7.4936522838e-14	1.9106341463e-12	5.2450811215e-14
C21	x6	7.4103550289e-18	-1.9862656230e-17	4.1043436462e-18
C23	x4y2	9.0537653050e-18	9.7114381975e-17	1.3927741217e-17
C25	x2y4	9.2083500540e-17	2.0110331881e-16	-4.3716867522e-17
C27	y6	-1.6961590682e-16	6.0982698928e-15	8.2307602840e-17
C29	x6y	1.2535474171e-20	-2.1415473897e-19	-1.5943732226e-20
C31	x4y3	7.4273295945e-21	5.5433771588e-19	6.3693521234e-20
C33	x2y5	-1.3558340000e-19	9.0486675610e-19	-2.8812137556e-20
C35	y7	1.1501331278e-19	-6.8457489860e-18	-1.1337378099e-19
C36	x8	-4.1361689149e-24	6.0090661617e-22	5.6835113382e-23
C38	x6y2	-9.1214815586e-24	-8.0431715335e-23	-4.0882628571e-23
C40	x4y4	4.1763897246e-23	-8.5040917649e-22	1.7289651121e-22
C42	x2 y6	3.1611621695e-22	6.2310311761e-21	1.3864222346e-21
C44	y8	-1.0184874558e-22	-4.5270519128e-19	2.0378312078e-21
C46	x8y	-4.6000115085e-26	9.2209592406e-25	6.0755492137e-26
C48	x6y3	-1.9781331978e-25	4.1623653840e-24	-1.5738441302e-25
C50	x4y5	-1.0696562842e-24	2.5849558095e-23	-1.1141303779e-24
C52	x2y7	1.6552520892e-24	1.7074241037e-24	-8.9496033843e-25
C54	y9	1.3346422415e-23	-3.4483460951e-21	1.9247756630e-23
C55	x10	-2.1917141841e-29	-2.3117291918e-27	-2.1179378273e-28
C57	x8y2	1.2479018371e-28	9.3677217856e-27	1.4072993171e-28
C59	x6y4	-9.7517449373e-28	3.8622902151e-26	-1.3443528385e-27
C61	x4y6	-5.5735800538e-27	1.7366051337e-25	-1.5560675646e-26
C63	x2y8	-8.5213566305e-27	-1. 1307319705e-24	-1.1529586352e-25
C65	y10	-1.2869625486e-25	-8.7873603660e-24	-4.1652968416e-26
C67	x10y	1.9257325757e-31	-4.1827921406e-30	-3.4536263251e-31
C69	x8y3	3.1151496143e-30	-2.9902697795e-29	-4.8590951536e-31
C71	x6y5	2.5799446854e-29	-5.4581764174e-28	2.9980750131e-30
C73	x4y7	5.2692526282e-29	-2.2566081255e-27	8.9938332595e-29
C75	x2y9	-1.6884546299e-28	-9.3547108687e-27	-8.9114158447e-29
C77	y11	2.3615419269e-28	2.8280335129e-26	-5.9937197980e-28
C78	x12	2.0363212068e-34	9.2123338159e-33	-1.7259668783e-34
C80	x10y2	-8.3082433482e-34	-1.1672343306e-31	5.4068814022e-35
C82	x8y4	3.8274781135e-33	-3.1066717356e-31	2.3330750568e-32
C84	x6y6	1.5617732780e-31	-3.4208882705e-30	1.2756402368e-31
C86	x4y8	2.4754521897e-31	-2.1162773572e-29	1.2426765325e-30
C88	x2y10	1.0264492760e-30	-6.5931678343e-30	4.4753218304e-30
C90	y12	2.1575905624e-30	2.8940250625e-28	2.2001838518e-31
C92	x12y	-9.7370896153e-37	-3.6729720810e-35	1.2548115928e-36
C94	x10y3	-2.0955808869e-35	-8.8105533590e-35	1.5613032398e-35
C96	x8y5	-2.3512556698e-34	5.0015838080e-33	8.1115398703e-35
C98	x6y7	-1.1891039370e-33	4.4181231720e-32	-2.5315947086e-34
C100	x4y9	-2.2985514733e-34	-1.3399281916e-31	-3.0746919500e-33
C102	x2y11	1.8247647876e-33	-3.7867782224e-31	5.9135895539e-33
C104	y13	-1.0147910563e-32	-2.5327474618e-31	9.7217035445e-33
C105	x14	-5.5669367918e-40	-4.7136790334e-38	2.3552546593e-39
C107	x12y2	3.7828419310e-39	1.0341500070e-36	-6.4696621738e-39
C109	x10y4	-1.0591083875e-38	6.6479926649e-37	-2.0453946022e-37
C111	x8y6	-1.0362593978e-36	2.2153075207e-35	-1.3361163527e-36
C113	x6y8	-6.8151361692e-36	1.3440086825e-34	-6.8521438827e-36
C115	x4y10	-6.3241463006e-36	-1. 1289969360e-33	-4.6056816969e-35
C117	x2y12	-1.4946946830e-35	-8.7311194846e-33	-8.9188193444e-35
C119	y14	7.7397497255e-36	-1.9107975943e-32	6.9495950282e-36
C121	x14y	4.1145740566e-42	2.1265694103e-40	-1.2381828007e-42
C123	x12y3	6.13 963 81411 e-41	1.7193261953e-39	-9.7100325830e-41
C125	x10y5	1.1302980114e-39	-2.0829101057e-38	-6.5711530745e-40
C127	x8y7	6.4960897691e-39	-3.9208210419e-37	-1.7156005709e-39
C129	x6y9	2.6383671470e-38	-2.3969179359e-36	7.2858650703e-39
C131	x4y11	-3.1605268287e-38	3.9261845471e-36	4.7035493873e-38
C133	x2y13	5.3448175838e-38	-6.4067372285e-35	-1.2804554847e-37
C135	y15	1.1445376023e-37	-1.4421844933e-34	-6.7043967728e-38
C136	x16	5.2396378843e-46	1.9102623471e-43	-5.0383154350e-45
C138	x14y2	-9.3847305497e-45	-5.0109416090e-42	3.5396714004e-44
C140	x12y4	5.0748436221e-44	3.4131049252e-42	8.2441218496e-43
C142	x10y6	3.1961559507e-42	-7.1602824226e-41	6.9137184350e-42
C144	x8y8	3.7807648547e-41	-1.3380137000e-39	3.8000008045e-41
C146	x6y10	1.1799808346e-40	-3.8969482331e-39	1.5399623844e-40
C148	x4y12	1.2314160937e-40	1.1600933907e-37	8.1248571065e-40
C150	x2y14	-1.8463232249e-40	-2.2963476676e-37	8.3691468294e-40
C152	y16	-6.0404536644e-40	-5.2397098310e-37	-6.0543414230e-41
C154	x16 y	-6.8687405782e-48	-5.0569308900e-46	-2.6460563134e-48
C156	x14y3	-5.8106940230e-47	-6.3483256635e-45	1.8704456905e-46
C158	x12y5	-1.8390074911e-45	2.4900402059e-44	1.5652728348e-45
C160	x10y7	-1.4644495132e-44	8.3852213639e-43	5.9016410914e-45
C162	x8y9	-6.0885542334e-44	1.3725130722e-41	2.3501548461e-44
C164	x6y11	-2.1661436659e-43	7.2988581117e-41	-1.1519178985e-43
C166	x4y13	5.6856036160e-43	5.7261249105e-40	-1.5964970964e-43
C168	x2y15	-1.310537983 le-42	-4.3291898971e-40	8.2727717910e-43
C170	y17	2.5584462785e-43	-9.6136413933e-40	1.7880018560e-43
C171	x18	1.2443857087e-53	-2.6348512539e-49	3.0333293953e-51
C173	x16y2	8.2354755681e-51	1.0966852435e-47	-5.5454401637e-50
C175	x14y4	-7.3434121234e-50	-3.9116481162e-48	-1.3161671775e-48
C177	x12y6	-4.7005641829e-48	2.7790313199e-47	-1.2656954684e-47
C179	x10y8	-5.9906276546e-47	4.2974509994e-45	-9.3083399057e-47
C181	x8y10	-4.0888297980e-46	5.7149700630e-44	-3.2414407816e-46
C183	x6y12	-6.6425506020e-46	2.2012646668e-43	-1.4456667421e-45
C185	x4y14	-1.4840690370e-45	8.8612595564e-43	-5.0818213023e-45
C187	x2y16	5.7445331223e-45	-3.6636458618e-43	-3.1568792839e-45
C189	y18	2.5540175110e-45	-7.0808156405e-43	3.7964700784e-47

Tabelle 2b zu Fig. 9

Koeffizient	Formel	M04	M05	M06
C2	y	-2.7803265448e-04	-5.4246877450e-05	6.7859673665e-05
C7	x2y	-2.8281915814e-08	-3.1217752505e-08	3.9945851043e-08
C9	y3	-1.6567940934e-07	-5.0384463135e-08	3.723142723le-08
C10	x4	3.4048628238e-12	1.0197501753e-12	6.8868643303e-11
C12	x2y2	1.6118418335e-10	-2.6574656921e-1 1	9.4508660635e-11
C14	y4	1.4038564891e-09	-9.7798879182e-11	5.9141710753e-11
C16	x4y	-2.4158625142e-14	1.2093440872e-14	-2.8715195858e-14
C18	x2y3	-7.8676093518e-13	4.0051539278e-14	-2.2890773578e-14
C20	y5	-6.0343091141e-13	-2.0508160050e-13	1. 1428289074e-13
C21	x6	1.3836899649e-18	1.0746473889e-17	-2.0649910783e-16
C23	x4y2	1.5958229954e-16	3.3560068089e-17	3.9462928829e-16
C25	x2y4	2.4576259192e-15	1.9737904567e-16	1.3706841410e-16
C27	y6	-2.1262855752e-14	-4.6410730118e-16	1.0181985393e-15
C29	x6y	-1.9851143768e-20	3.7750220802e-20	-1.3854810730e-18
C31	x4y3	-7. 1220796674e-19	-5.8965292760e-20	-5.4034621854e-18
C33	x2y5	1.2065225177e-17	6.7472577316e-19	4.0541458057e-18
C35	y7	5.9705649010e-16	-1.5162654415e-18	1.2483042666e-17
C36	x8	-2.5319479449e-24	3.3806960545e-22	-2.7520548089e-21
C38	x6y2	1.6029151022e-22	-2.5791758313e-22	4.5081796325e-20
C40	x4y4	-1.2564149436e-21	-1.6686817359e-21	4.0652148901e-21
C42	x2y6	-1.6814025051e-19	-7.0501358218e-22	4.4140790825e-20
C44	y8	3.6478999753e-17	-1.4569202406e-20	3.2773149675e-20
C46	x8y	-1.3280558024e-26	1.5271048279e-24	4.1363669909e-22
C48	x6y3	-1.8234803691e-24	-8.7153960093e-25	4.4994663878e-22
C50	x4y5	7.1668119803e-23	-1.1619673713e-23	6.6721769939e-22
C52	x2y7	-2.2504225871e-20	1.6610445430e-24	3.0116810409e-22
C54	y9	-1.8240999749e-19	-4.0549590091e-23	-8.1057362099e-22
C55	x10	1.1588002254e-29	-4.5538984142e-27	3.7326254553e-25
C57	x8y2	2.3077749524e-28	5.5433548839e-27	-1.1649555224e-23
C59	x6y4	-1.9814048572e-26	1.7343901568e-26	-7.2224916486e-24
C61	x4y6	9.2709509034e-24	5.7486560660e-26	6.4193435318e-24
C63	x2y8	3.0319944333e-23	2.0765597600e-25	-8.8086909158e-25
C65	y10	-8.1703227194e-21	8.9762617697e-25	-7.4347111619e-24
C67	x10y	9.9816878807e-32	-3.4000893218e-29	-3.1587289171e-26
C69	x8y3	1.9318852186e-29	1.8756479342e-29	1.0901251470e-26
C71	x6y5	-1.0132076194e-27	1.9530206424e-28	2.6087364175e-26
C73	x4y7	-8.0301056867e-26	6.4121255989e-28	2.7262261113e-29
C75	x2y9	2.6962935581e-24	7.8274149691e-28	-4.7319688907e-26
C77	y11	-6.2649387274e-24	3.0875292518e-27	1.1298371693e-27
C78	x12	-1.4009415903e-35	2.2340644850e-32	-6.2657867118e-30
C80	x10y2	-4.6048085384e-33	-9.8518228912e-32	1.0575495172e-27
C82	x8y4	-1. 1882497236e-31	-1.2031745222e-31	1.4461695373e-27
C84	x6y6	9.3128028443e-31	2.1077902843e-31	2.0084808269e-28
C86	x4y8	-8.7550362771e-28	-5.1883407590e-30	-7.6690598150e-28
C88	x2y10	8.7663176542e-26	-6.9578998776e-31	-3.7079002123e-28
C90	y12	2.7268278335e-24	-5.3493758116e-29	3.3600183519e-28
C92	x12y	-2.6285806707e-37	2.7654636153e-34	1.1971393873e-30
C94	x10y3	-4.9564205463e-35	-2.4307302362e-34	-2.4707854932e-30
C96	x8y5	-1.3036766202e-32	-1.3560016143e-33	-8.9580874694e-30
C98	x6y7	-5.6872750029e-32	-9.5554039022e-33	-1.2402925621e-29
C100	x4y9	-1.6580469937e-29	-3.0240326796e-32	-6.2300646394e-30
C102	x2y11	-1.4757743104e-27	-4.3871650459e-32	3.4691374995e-31
C104	y13	-1.0529173368e-26	-1.5389646696e-31	1.9315633471e-30
C105	x14	1.6286781436e-41	-2.3035874815e-38	-2.5037145472e-34
C107	x12y2	2.0147215593e-38	9.3115078457e-37	-4.5747422047e-32
C109	x10y4	4.4854644482e-36	2.2168224747e-37	-1.2261520321e-31
C111	x8y6	3.7808723905e-34	-9.6704924568e-36	-8.4355948117e-32
C113	x6y8	1.7603798989e-32	6.6822641868e-36	-3.7511691326e-32
C115	x4y10	3.9603161764e-31	1.4452177141e-34	7.5400862102e-33
C117	x2y12	-1.0295276491e-29	-3.0205954777e-34	2.2228025754e-32
C119	y14	-4.2812601182e-28	1.7715638531e-33	3.1415895043e-33
C121	x14y	-2.6623514257e-43	-9.0096402778e-40	-2.1943360682e-35
C123	x12y3	-4.1116421391e-40	1.8658664774e-39	8.5094586739e-35
C125	x10y5	-3.4734155136e-38	4.9415699124e-39	5.5045159720e-34
C127	x8y7	-2.9936923200e-36	-2. 1398491542e-38	1.2293489597e-33
C129	x6y9	-2.3590584262e-34	5.5276587693e-37	6.8062617988e-34
C131	x4y11	2.8520180207e-33	1.5046906795e-37	3.1089804669e-34
C133	x2y13	2.5764220654e-31	1.9566676766e-36	1.4948075636e-34
C135	y15	4.9009417266e-30	3.2210128566e-36	-1.0940581800e-35
C136	x16	-5.0135068488e-47	-1.2351059617e-43	9.8335610929e-39
C138	x14y2	-1.1673404004e-44	-3.6267356745e-42	9.3786393599e-37
C140	x12y4	-3.8275138408e-42	3.0831610267e-42	4.4507393152e-36
C142	x10y6	-9.8180490628e-40	3.7033218117e-41	7.3153588673e-36
C144	x8 y8	-3.6126170671e-38	1.2328748122e-40	4.7130484655e-36
C146	x6 y 10	-1.6782140520e-36	3.8436964349e-40	4.1629894535e-36
C148	x4 y12	-3.7566086005e-35	-1.9560786466e-39	1.5817819226e-36
C150	x2 y14	-2.1729065254e-33	1.1146893522e-38	4.8175411194e-37
C152	y16	2.5124099249e-35	-3.0430080035e-38	-6.0670760561e-38
C154	x16 y	5.9377736376e-49	6.6560556917e-46	1.498661923 8e-40
C156	x14 y3	7.1942167511e-46	-5.6311881529e-45	-8.8126879270e-40
C158	x12 y5	1.5543055734e-43	-1.5003965026e-44	-8.8330954884e-39
C160	x10 y7	1.5304752874e-41	4.1138253412e-43	-3.8344059882e-38
C162	x8 y9	1.0337012337e-39	-1.0198171792e-42	-3.5262921474e-38
C164	x6 y 11	3.0719248235e-38	-7.5681740928e-42	6.6935338752e-39
C166	x4 y13	-1.0847760646e-37	8.6876480798e-42	3.4201513819e-39
C168	x2 y15	1.8960830486e-35	-3.6064018054e-41	7.8913897926e-40
C170	y17	-2.5667894725e-34	-2.1037681503e-41	-1.0957845912e-40
C171	x18	7.6272784734e-53	1.6533783213e-49	-9.2756605531e-44
C173	x16 y2	-8.8780462471e-51	3.2937017236e-48	-7.2334566726e-42
C175	x14 y4	-8.5752729638e-48	-1.5950788978e-47	-5.5073411992e-41
C177	x12 y6	-5.5595631269e-46	-3.1390169148e-49	-1.7072919452e-40
C179	x10 y8	-9.7397858780e-44	1.2183600621e-45	-2.4644669343e-40
C181	x8 y10	-4.2301554988e-42	-8.1051247847e-45	-1.3623465078e-40
C183	x6 y 12	-1.3616329086e-40	2.4204895791 e-45	1.2931914634e-42
C185	x4 y 14	2.3239738781e-39	-5.9914694046e-45	2.8260807932e-42
C187	x2 y16	-1.1117671527e-37	-1.0009605952e-43	5.2803394039e-43
C189	y18	1.2631395770e-36	1.7980147379e-43	-7.3027317909e-44

Tabelle 2c zu Fig. 9

Koeffizient	Formel	M07	M08
C2	y	-9.6535542721e-05	-2.3268109950e-05
C7	x2 y	-6.7247845585e-07	7.9524214454e-09
C9	y3	6.0243454454e-07	-2.1183447221e-08
C10	x4	3.9545710790e-10	-1.2269775862e-11
C12	x2 y2	1. 1202799764e-09	-5.8093053305e-11
C14	y4	2.3972776807e-09	-1.5181264595e-11
C16	x4 y	-1.0214307374e-12	2.3286969969e-14
C18	x2 y3	-3.3725711647e-12	-3.7308306900e-15
C20	y5	7.2488377161e-12	-2.1552788662e-14
C21	x6	4.6199474232e-16	-2.3075402444e-17
C23	x4 y2	5.1743825104e-15	-1.0326290682e-16
C25	x2 y4	6.7123682062e-16	-1.1166350511e-16
C27	y6	2.6193409416e-14	-2.5759222803e-17
C29	x6y	-3.8305843738e-18	2.4799871295e-20
C31	x4 y3	-9.5797744179e-18	2.5638268996e-20
C33	x2y5	-2.5847695316e-17	-2.3652357250e-20
C35	y7	1.2115597322e-16	-2.6414728543e-20
C36	x8	1.6747285883e-21	-3.6926135754e-23
C38	x6 y2	1.5716356879e-20	-1.4746670529e-22
C40	x4 y4	5.2642853020e-20	-2.5924566612e-22
C42	x2 y6	-9.5485222263e-20	-1.7488503073e-22
C44	y8	4.2202596385e-19	-3.2939754939e-23
C46	x8 y	-8.3763309328e-24	7.4060865575e-27
C48	x6 y3	-6.4454433011e-23	6.5231320013e-26
C50	x4 y5	5.1003345262e-23	1.1490423872e-26
C52	x2 y7	-7.3860777215e-22	-5.3277858019e-26
C54	y9	-1.5921312218e-21	-2.1929468189e-26
C55	x10	4.4647248933e-27	-2.1195924622e-29
C57	x8 y2	6.0455934139e-26	-3.1024187295e-28
C59	x6 y4	2.7035531547e-25	-7.9540708614e-28
C61	x4 y6	2.0592380165e-24	-9.4781813868e-28
C63	x2 y8	7.23 54627531 e-24	-4.6397107368e-28
C65	y10	8.3194600762e-24	-1.0044513809e-28
C67	x10 y	-5.4165491008e-30	3.6442119762e-32
C69	x8 y3	-2.9487308082e-28	-2.1184952725e-32
C71	x6 y5	-4.4596737482e-27	8.7878929603e-32
C73	x4 y7	-1.1555840764e-26	7.8422344397e-32
C75	x2 y9	2.3792898931e-26	-1.9463177882e-32
C77	y11	3.5163569232e-25	-4.9676245511e-32
C78	x12	-2.5833883252e-32	-1.8257645008e-35
C80	x10 y2	5.3077202971e-31	4.3824052041e-34
C82	x8 y4	2.5231884942e-30	2. 1654629804e-33
C84	x6 y6	-2.2166581968e-29	4.5364742147e-33
C86	x4 y8	-1.4684635713e-28	3.9454180364e-33
C88	x2 y10	-9.7545758143e-28	1.2048555412e-33
C90	y12	9.6608049973e-28	1.8488954282e-34
C92	x12y	-1.0677421959e-33	2.3105119970e-37
C94	x10 y3	-9.9719844042e-33	1.3119702926e-36
C96	x8 y5	4.8855799759e-32	1.2700019589e-36
C98	x6 y7	4.2471561785e-31	-6.4851101585e-37
C100	x4 y9	1.1423058003e-30	-1.8238957939e-36
C102	x2 y 11	-5.0503993732e-30	-1.2545678492e-36
C104	y13	-1.6045974860e-29	-2.0681231285e-37
C105	x14	4.1358274151e-37	-1.6849516434e-40
C107	x12 y2	-1.0266164846e-36	-3.9123952013e-39
C109	x10 y4	-3.0566742100e-35	-2.1002566008e-38
C111	x8 y6	2.6795325363e-34	-5.3106829970e-38
C113	x6 y8	2.7415932744e-33	-6.6812806692e-38
C115	x4 y10	1.4021639834e-32	-4.3062991798e-38
C117	x2 y12	5.2112203440e-32	-1. 1300453494e-38
C119	y14	-9.6388405282e-32	-1. 1546307943e-39
C121	x14y	1.2852352584e-38	-8.6056541258e-43
C123	x12 y3	2.1419758232e-37	-5.7530298551e-42
C125	x10 y5	9.0441443953e-38	-9.5011106844e-42
C127	x8 y7	-7.5531995226e-36	-1.4801525399e-42
C129	x6 y9	-2.9876312272e-35	1.1805383845e-41
C131	x4 y11	-4.6692748376e-35	1.2671457919e-41
C133	x2 y13	4.2751148043e-34	6.8980222894e-42
C135	y15	3.0216662492e-34	1.2831910827e-42
C136	x16	-3.0912740645e-42	4.7838107049e-46
C138	x14 y2	-1.9087013230e-41	1.2130831522e-44
C140	x12 y4	2.3165939343e-40	7.8289147345e-44
C142	x10 y6	-5.4980489883e-41	2.4818392324e-43
C144	x8 y8	-2.9399283056e-38	4. 1678625982e-43
C146	x6 y10	-1.6350225429e-37	3.9097467951e-43
C148	x4 y12	-7.9628939347e-37	1.9997570366e-43
C150	x2 y14	-1.0120498693e-36	4.2073424992e-44
C152	y16	4.1963462969e-36	3.0780061801e-45
C154	x16 y	-1.1423934112e-43	2.2043403396e-48
C156	x14 y3	-2.7154308493e-42	1.8313677898e-47
C158	x12 y5	-1.3373438054e-41	4.5206985822e-47
C160	x10 y7	3.6431309613e-41	4.1277456240e-47
C162	x8 y9	4. 1745408776e-40	-2.4293341654e-47
C164	x6 y 11	1.0984897711e-39	-7.0878648194e-47
C166	x4 y13	3.2179230916e-40	-5.7061389899e-47
C168	x2 y15	-1.7847854212e-38	-2.7323725949e-47
C170	y17	9.0250040137e-39	-5.3117407329e-48
C171	x18	2.1408248047e-47	-1.3570925901e-51
C173	x16 y2	6.0676861059e-46	-2.9278350082e-50
C175	x14 y4	5.0854207752e-45	-2.0508903552e-49
C177	x12 y6	1.7498862044e-44	-7.5328097242e-49
C179	x10 y8	1.2590615779e-43	-1.5666700140e-48
C181	x8 y10	1.4331426154e-42	-1.9468771866e-48
C183	x6 y12	5.5091383125e-42	-1.4531689964e-48
C185	x4 y14	2.6361556273e-41	-6.1837517407e-49
C187	x2 y16	-3.1653301001e-41	-1. 1283816436e-49
C189	y18	-3.8151924739e-41	-7.1738652306e-51
C191	x18 y	5.3017111100e-49	-2.9408381846e-54
C193	x16 y3	1.6023172257e-47	-2.9190142290e-53
C195	x14 y5	1.3329877653e-46	-9.3246986945e-53
C197	x12 y7	2.2229605184e-46	-1.4052489978e-52
C199	x10 y9	-2.1113427370e-45	-4.0707736242e-53
C201	x8 y11	-1.0466213171e-44	1.4677928801e-52
C203	x6 y13	-2.2630519500e-44	1.9836756981e-52
C205	x4 y15	5.5143622906e-44	1.2703437634e-52
C207	x2 y17	2.2154768345e-43	5.2803621320e-53
C209	y19	-2.4885897724e-43	9.8925950994e-54
C210	x20	-8.7201125812e-53	1.8495279575e-57
C212	x18 y2	-4.2830691158e-51	3.8269899418e-56
C214	x16 y4	-6.2380207345e-50	2.9033478783e-55
C216	x14 y6	-3.7529865126e-49	1.2072010070e-54
C218	x12 y8	-1.0019701930e-48	2.9727557060e-54
C220	x10 y10	-4.2016204702e-48	4.6132369301e-54
C222	x8 y12	-3.2637577826e-47	4.5575541421e-54
C224	x6 y14	-1.0651765407e-46	2.8307043982e-54
C226	x4 y16	-3.0218590570e-46	1.0291427957e-54
C228	x2 y18	1.0674483343e-45	1.6544371798e-55
C230	y20	-5.7126079829e-46	9.3390928366e-57
C232	x20 y	-1. 1840058714e-54	1.9655381848e-60
C234	x18 y3	-4.1926193828e-53	2.2061748467e-59
C236	x16 y5	-4.6791473472e-52	8.7533335799e-59
C238	x14 y7	-1.9662564347e-51	1.8326179889e-58
C240	x12 y9	5.2958567721e-53	1.7272111531e-58
C242	x10 y11	3.3186945034e-50	-2.7468540476e-59
C244	x8 y13	9.3055553029e-50	-2.3109965539e-58
C246	x6 y15	1.9886169133e-49	-2.3489562467e-58
C248	x4 y17	-1.3119787095e-48	-1.3252430118e-58
C250	x2 y19	1.5590003338e-48	-4.8368661130e-59
C252	y21	-6.5982971703e-49	-8.3274342403e-60
C253	x22	1.7899041272e-58	-1.2959413723e-63
C255	x20 y2	1.2813848642e-56	-2.5467774188e-62
C257	x18 y4	2.4315742761e-55	-2.0075803422e-61
C259	x16 y6	1.9901291382e-54	-9.0539571063e-61
C261	x14 y8	7.7641830993e-54	-2.5253284260e-60
C263	x12y10	1.1853318382e-53	-4.6362680378e-60
C265	x10 y12	5.8457468713e-53	-5.7109510308e-60
C267	x8 y14	2.7167155453e-52	-4.6952595229e-60
C269	x6 y16	9.0477907751e-52	-2.5178415613e-60
C271	x4 y18	-1.3344821176e-51	-8.1273063194e-61
C273	x2 y20	5.5439739029e-52	-1.2415113326e-61
C275	y22	-3.6110650867e-52	-7.2221496529e-63

Tabelle 3a zu Fig. 9

ε = 0	D _x [mm]	D _y [mm]	D _z [mm]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	-0.000000000	215.095478579	2248.478312396
M02	-0.000000000	581.181276106	971.010426298
M03	-0.000000000	1212.503870501	384.806976808
M04	-0.000000000	2835.684400105	320.230797021
M05	-0.000000000	2229.318579844	615.746109207
M06	-0.000000000	1910.788548291	1022.275882362
M07	-0.000000000	1410.329854053	2368.812727404
Blende	-0.000000000	1425.978758791	2313.575566525
M08	-0.000000000	1649.313238097	1725.131329811
Wafer	-0.000000000	1649.269840932	2502.644536446

ε = 0 Tabelle 3b zu Fig. 9

	α _x [°]	α _y [°]	α _z [°]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	5.236106386	0.000000000	0.000000000
M02	-58.511759677	180.000000000	0.000000000
M03	157.353074482	0.000000000	0.000000000
M04	75.930676376	180.000000000	0.000000000
M05	141.045469157	0.000000000	0.000000000
M06	-60.818514656	180.000000000	0.000000000
M07	20.365200889	-0.000000000	0.000000000
Blende	-1.413421544	180.000000000	0.000000000
M08	10.188916801	180.000000000	0.000000000
Wafer	0.004140627	-0.000000000	-0.000000000

ε = 0 Tabelle 4 zu Fig. 9

x_i [mm]	y _i [mm]	x _i+N/2 [mm]	y _i+N/2 [mm]
-403.540603	72.745847	403.087986	59.537883
-403.330708	79.292843	402.426430	52.885225
-402.830204	85.796497	401.476172	46.205822
-402.039855	92.252951	400.238921	39.504060
-400.960914	98.658479	398.716861	32.784390
-399.595112	105.009491	396.912638	26.051321
-397.944645	111.302538	394.829346	19.309395
-396.012154	117.534316	392.470506	12.563183
-393.800712	123.701657	389.840048	5.817266
-391.313795	129.801539	386.942287	-0.923774
-388.555261	135.831077	383.781900	-7.655368
-385.529324	141.787519	380.363904	-14.372964
-382.240527	147.668249	376.693629	-21.072037
-378.693712	153.470774	372.776691	-27.748096
-374.893992	159.192725	368.618972	-34.396680
-370.846722	164.831845	364.226586	-41.013371
-366.557469	170.385989	359.605862	-47.593784
-362.031982	175.853111	354.763312	-54.133574
-357.276165	181.231261	349.705608	-60.628426
-352.296051	186.518575	344.439555	-67.074061
-347.097775	191.713267	338.972065	-73.466226
-341.687548	196.813628	333.310135	-79.800690
-336.071640	201.818008	327.460816	-86.073246
-330.256354	206.724823	321.431193	-92.279696
-324.248013	211.532537	315.228358	-98.415857
-318.052941	216.239666	308.859385	-104.477547
-311.677447	220.844767	302.331310	-110.460588
-305.127817	225.346437	295.651105	-116.360795
-298.410300	229.743308	288.825661	-122.173973
-291.531097	234.034046	281.861766	-127.895912
-284.496355	238.217345	274.766090	-133.522381
-277.312158	242.291924	267.545164	-139.049125
-269.984518	246.256531	260.205372	-144.471857
-262.519372	250.109934	252.752931	-149.786256
-254.922570	253.850922	245.193884	-154.987963
-247.199878	257.478304	237.534091	-160.072583
-239.356965	260.990909	229.779217	-165.035679
-231.399400	264.387584	221.934730	-169.872783
-223.332652	267.667193	214.005893	-174.579393
-215.162081	270.828621	205.997765	-179.150984
-206.892939	273.870769	197.915194	-183.583014
-198.530366	276.792559	189.762824	-187.870936
-190.079389	279.592934	181.545093	-192.010208
-181.544922	282.270859	173.266238	-195.996301
-172.931764	284.825325	164.930300	-199.824715
-164.244605	287.255348	156.541131	-203.490986
-155.488021	289.559973	148.102404	-206.990697
-146.666485	291.738277	139.617620	-210.319488
-137.784365	293.789371	131.090122	-213.473065
-128.845929	295.712404	122.523106	-216.447211
-119.855352	297.506562	113.919638	-219.237800
-110.816720	299.171076	105.282665	-221.840807
-101.734037	300.705220	96.615031	-224.252330
-92.611232	302.108318	87.919493	-226.468610
-83.452164	303.379741	79.198738	-228.486051
-74.260629	304.518914	70.455391	-230.301257
-65.040370	305.525319	61.692036	-231.911056
-55.795078	306.398490	52.911219	-233.312538
-46.528406	307.138022	44.115462	-234.503089
-37.243968	307.743570	35.307273	-235.480427
-27.945353	308.214848	26.489145	-236.242631
-18.636123	308.551636	17.663568	-236.788175
-9.319827	308.753772	8.833025	-237.115951
0.000000	308.821162	0.000000	-237.225284
9.319827	308.753772	-8.833025	-237.115951
18.636123	308.551636	-17.663568	-236.788175
27.945353	308.214848	-26.489145	-236.242631
37.243968	307.743570	-35.307273	-235.480427
46.528406	307.138022	-44.115462	-234.503089
55.795078	306.398490	-52.911219	-233.312538
65.040370	305.525319	-61.692036	-231.911056
74.260629	304.518914	-70.455391	-230.301257
83.452164	303.379741	-79.198738	-228.486051
92.611232	302.108318	-87.919493	-226.468610
101.734037	300.705220	-96.615031	-224.252330
110.816720	299.171076	-105.282665	-221.840807
119.855352	297.506562	-113.919638	-219.237800
128.845929	295.712404	-122.523106	-216.447211
137.784365	293.789371	-131.090122	-213.473065
146.666485	291.738277	-139.617620	-210.319488
155.488021	289.559973	-148.102404	-206.990697
164.244605	287.255348	-156.541131	-203.490986
172.931764	284.825325	-164.930300	-199.824715
181.544922	282.270859	-173.266238	-195.996301
190.079389	279.592934	-181.545093	-192.010208
198.530366	276.792559	-189.762824	-187.870936
206.892939	273.870769	-197.915194	-183.583014
215.162081	270.828621	-205.997765	-179.150984
223.332652	267.667193	-214.005893	-174.579393
231.399400	264.387584	-221.934730	-169.872783
239.356965	260.990909	-229.779217	-165.035679
247.199878	257.478304	-237.534091	-160.072583
254.922570	253.850922	-245.193884	-154.987963
262.519372	250.109934	-252.752931	-149.786256
269.984518	246.256531	-260.205372	-144.471857
277.312158	242.291924	-267.545164	-139.049125
284.496355	238.217345	-274.766090	-133.522381
291.531097	234.034046	-281.861766	-127.895912
298.410300	229.743308	-288.825661	-122.173973
305.127817	225.346437	-295.651105	-116.360795
311.677447	220.844767	-302.331310	-110.460588
318.052941	216.239666	-308.859385	-104.477547
324.248013	211.532537	-315.228358	-98.415857
330.256354	206.724823	-321.431193	-92.279696
336.071640	201.818008	-327.460816	-86.073246
341.687548	196.813628	-333.310135	-79.800690
347.097775	191.713267	-338.972065	-73.466226
352.296051	186.518575	-344.439555	-67.074061
357.276165	181.231261	-349.705608	-60.628426
362.031982	175.853111	-354.763312	-54.133574
366.557469	170.385989	-359.605862	-47.593784
370.846722	164.831845	-364.226586	-41.013371
374.893992	159.192725	-368.618972	-34.396680
378.693712	153.470774	-372.776691	-27.748096
382.240527	147.668249	-376.693629	-21.072037
385.529324	141.787519	-380.363904	-14.372964
388.555261	135.831077	-383.781900	-7.655368
391.313795	129.801539	-386.942287	-0.923774
393.800712	123.701657	-389.840048	5.817266
396.012154	117.534316	-392.470506	12.563183
397.944645	111.302538	-394.829346	19.309395
399.595112	105.009491	-396.912638	26.051321
400.960914	98.658479	-398.716861	32.784390
402.039855	92.252951	-400.238921	39.504060
402.830204	85.796497	-401.476172	46.205822
403.330708	79.292843	-402.426430	52.885225
403.540603	72.745847	-403.087986	59.537883
403.459619	66.159493	-403.459619	66.159493

Die Spiegel M1, M3, M4, M5 und M8 haben negative Radiuswerte, sind also grundsätzlich Konkavspiegel. Die Spiegel M2, M6 und M7 haben positive Radiuswerte, sind grundsätzlich also Konvexspiegel. Die Spiegel M1 bis M8 der Projektionsoptik 7 nach 9 haben keine R_x, R_y-Radiuswerte mit jeweils sich unterscheidenden Vorzeichen. Keiner der Spiegel M1 bis M8 hat also grundsätzlich die Form einer Sattelfläche.
Die GI-Spiegel M2, M3, M5, M6 haben stark von eins abweichende x/y-Aspektverhältnisse ihrer Reflexionsflächen, wobei die x-Dimension regelmäßig deutlich größer ist als die y-Dimension, sodass Aspektverhältnisse resultieren, die auch deutlich größer sind als 2 und die auch deutlich größer sein können als 3. Eine Ausnahme ist der Spiegel M6, bei dem eine y-Dimension der Erstreckung der Nutz-Reflexionsfläche in etwa so groß ist wie die x-Dimension.
Der NI-Spiegel M4 hat ein sehr großes x/y-Aspektverhältnis, das in der Größenordnung von 10 liegt. Senkrecht zur Meridionalebene der 9 hat der NI-Spiegel M4 also eine viel größere Erstreckung als in der Meridionalebene.
Eine Berandung einer Blendenfläche der Blende AS ergibt sich durch Durchstoßpunkte an der Blendenfläche aller Strahlen des Beleuchtungslichts 3, die bildseitig am Feldmittelpunkt mit einer vollen bildseitigen telezentrischen Apertur in Richtung der Blendenfläche propagieren. Bei der Ausführung der Blende als Aperturblende handelt es sich bei der Berandung um eine innere Berandung.
Die Blende AS kann in einer Ebene liegen oder auch dreidimensional ausgeführt sein. Die Ausdehnung der Blende AS kann in Scanrichtung (y) kleiner sein als in Crossscanrichtung (x).
Weitere Daten der Projektionsoptik 7 ergeben sich aus der nachfolgenden Tabelle: Tabelle 3 zu Fig. 9

NA Numerische Apertur 0,75

|β_x| Verkleinerungsmaßstab in Crossscanrichtung 4

|β_y| Verkleinerungsmaßstab in Scanrichtung 8

N Anzahl der Spiegel 8
Der in der Tabelle 3 angegebene Wert NA bezeichnet die bildseitige numerische Apertur der Projektionsoptik.
Die Projektionsoptik 7 ist ausgelegt auf eine Wellenlänge des Beleuchtungslichts 3 von 13,5 nm.
10 zeigt in einem Diagramm eine Abhängigkeit eines mittleren Wellenfrontfehlers WFR (rms) von der Differenz ε des jeweils bei der Projektionsoptik 7 durch entsprechende Komponentenverlagerung herbeigeführten Abbildungsmaßstabes β, ausgehend vom nominalen Verkleinerungsmaßstab, beispielsweise dem Verkleinerungsmaßstab β₁ (Faktor 8 in Scanrichtung, Faktor 4 in Crossscanrichtung).
Dargestellt ist in der 10 der Unterschied WFR des Wellenfrontfehlers vom Wellenfrontfehler beim nominalen Verkleinerungsmaßstab β₁.
Der mittlere Wellenfrontfehler WFR (gescannte Wellenfrontabweichung) ist ein Maß für die Abbildungsqualität der Projektionsoptik 7.
Die Projektionsoptik 7 ist bildseitig zumindest näherungsweise telezentrisch.
ε ist angegeben in ppm. Eine relative Änderung des Abbildungsmaßstabes β ist also klein und liegt im Bereich von 10 mal 10^-6 um den nominalen Verkleinerungsmaßstab β₁.
Der Unterschied des Wellenfrontfehlers WFR steigt mit dem Absolutwert der Differenz ε des Abbildungsmaßstabes linear an und liegt bei |ε| = 6 ppm bei einem Wert von 8 mλ. Bei einer über eine Verlagerung der Komponenten der Projektionsoptik 7, also der Spiegel M1 bis M8, des Retikelhalters 10a und des Substrathalters 12 herbeigeführten Variation ε des Abbildungsmaßstabes β um 5 ppm nimmt der rms-Wellenfrontfehler WFR der Projektionsoptik 7 um nicht mehr als 8 mλ zu.
Entsprechend liegt der Wert für WFR bei |ε| = 3 ppm bei 4 mλ.
Nachfolgend tabelliert sind entsprechend den oben diskutierten Tabellen 3 und 4 für die Projektionsoptik 7 die Manipulationsdaten D_x, D_y, D_z, α_x, α_y, α_z für die Komponenten sowie die Blendenberandungsdaten für relative Abbildungsmaßstab-Differenzen ε = +5,6 ppm (Tabellen 5/6), ε = +2,8 ppm (Tabellen 7/8), ε = -5,6 ppm (Tabellen 9/10), ε = -2,8 ppm (Tabellen 11/12).

ε = +5,6 ppm Tabelle 5a zu Fig. 9

	D _x [mm]	D _y [mm]	D _z [mm]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	-0.000000000	215.082973867	2248.460368086
M02	-0.000000000	581.192978996	970.980831783
M03	-0.000000000	1212.511694794	384.780458596
M04	-0.000000000	2835.679294144	320.196519808
M05	-0.000000000	2229.310688349	615.713303902
M06	-0.000000000	1910.768986204	1022.259179008
M07	-0.000000000	1410.312111086	2368.770994298
Blende	-0.000000000	1425.959255107	2313.534205107
M08	-0.000000000	1649.300324032	1725.091454349
Wafer	-0.000000000	1649.250966854	2502.628331825

ε = +5,6 ppm Tabelle 5b zu Fig. 9

	α _x [°]	α _y [°]	α _z [°]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	5.236824467	0.000000000	0.000000000
M02	-58.511418134	180.000000000	0.000000000
M03	157.352949463	0.000000000	0.000000000
M04	75.930610226	180.000000000	0.000000000
M05	141.045763403	0.000000000	0.000000000
M06	-60.818008550	180.000000000	0.000000000
M07	20.365614045	-0.000000000	0.000000000
Blende	-1.413367255	180.000000000	0.000000000
M08	10.189359702	180.000000000	0.000000000
Wafer	0.004140627	-0.000000000	-0.000000000

ε = +5,6 ppm Tabelle 6 zu Fig. 9

x_i [mm]	y _i [mm]	x _i+N/2 [mm]	y _i+N/2 [mm]
-403.540672	72.746382	403.087987	59.538665
-403.330802	79.293248	402.426389	52.886125
-402.830317	85.796767	401.476083	46.206836
-402.039981	92.253082	400.238779	39.505185
-400.961048	98.658464	398.716660	32.785625
-399.595248	105.009326	396.912373	26.052661
-397.944778	111.302219	394.829013	19.310839
-396.012279	117.533835	392.470101	12.564728
-393.800824	123.701009	389.839566	5.818912
-391.313889	129.800718	386.941725	-0.922030
-388.555333	135.830077	383.781255	-7.653527
-385.529370	141.786335	380.363174	-14.371026
-382.240544	147.666874	376.692811	-21.070005
-378.693697	153.469203	372.775784	-27.745968
-374.893942	159.190951	368.617974	-34.394459
-370.846634	164.829863	364.225498	-41.011057
-366.557341	170.383794	359.604683	-47.591378
-362.031813	175.850698	354.762043	-54.131076
-357.275954	181.228624	349.704249	-60.625837
-352.295797	186.515709	344.438107	-67.071382
-347.097478	191.710169	338.970532	-73.463457
-341.687208	196.810293	333.308518	-79.797834
-336.071257	201.814433	327.459119	-86.070301
-330.255929	206.721004	321.429420	-92.276666
-324.247547	211.528472	315.226513	-98.412741
-318.052435	216.235352	308.857472	-104.474349
-311.676903	220.840202	302.329333	-110.457308
-305.127237	225.341620	295.649070	-116.357436
-298.409686	229.738238	288.823574	-122.170536
-291.530451	234.028722	281.859634	-127.892400
-284.495680	238.211767	274.763918	-133.518797
-277.311457	242.286093	267.542959	-139.045471
-269.983793	246.250448	260.203140	-144.468136
-262.518626	250.103600	252.750680	-149.782471
-254.921807	253.844339	245.191621	-154.984117
-247.199100	257.471475	237.531824	-160.068680
-239.356176	260.983838	229.776953	-165.031723
-231.398603	264.380273	221.932476	-169.868777
-223.331850	267.659648	214.003657	-174.575340
-215.161279	270.820846	205.995553	-179.146888
-206.892139	273.862769	197.913014	-183.578880
-198.529572	276.784340	189.760684	-187.866767
-190.078605	279.584502	181.542999	-192.006008
-181.544150	282.262222	173.264197	-195.992074
-172.931008	284.816489	164.928319	-199.820465
-164.243867	287.246320	156.539217	-203.486717
-155.487306	289.550762	148.100563	-206.986413
-146.665795	291.728891	139.615857	-210.315192
-137.783703	293.779819	131.088443	-213.468760
-128.845297	295.702695	122.521516	-216.442901
-119.854753	297.496705	113.918142	-219.233487
-110.816157	299.161081	105.281267	-221.836495
-101.733513	300.695097	96.613736	-224.248021
-92.610748	302.098076	87.918304	-226.464305
-83.451723	303.369392	79.197658	-228.481753
-74.260232	304.508469	70.454425	-230.296966
-65.040019	305.514787	61.691185	-231.906773
-55.794775	306.387884	52.910485	-233.308262
-46.528151	307.127352	44.114848	-234.498821
-37.243763	307.732848	35.306780	-235.476165
-27.945198	308.204086	26.488774	-236.238375
-18.636020	308.540844	17.663320	-236.783924
-9.319775	308.742963	8.832901	-237.111702
0.000000	308.810347	0.000000	-237.221037
9.319775	308.742963	-8.832901	-237.111702
18.636020	308.540844	-17.663320	-236.783924
27.945198	308.204086	-26.488774	-236.238375
37.243763	307.732848	-35.306780	-235.476165
46.528151	307.127352	-44.114848	-234.498821
55.794775	306.387884	-52.910485	-233.308262
65.040019	305.514787	-61.691185	-231.906773
74.260232	304.508469	-70.454425	-230.296966
83.451723	303.369392	-79.197658	-228.481753
92.610748	302.098076	-87.918304	-226.464305
101.733513	300.695097	-96.613736	-224.248021
110.816157	299.161081	-105.281267	-221.836495
119.854753	297.496705	-113.918142	-219.233487
128.845297	295.702695	-122.521516	-216.442901
137.783703	293.779819	-131.088443	-213.468760
146.665795	291.728891	-139.615857	-210.315192
155.487306	289.550762	-148.100563	-206.986413
164.243867	287.246320	-156.539217	-203.486717
172.931008	284.816489	-164.928319	-199.820465
181.544150	282.262222	-173.264197	-195.992074
190.078605	279.584502	-181.542999	-192.006008
198.529572	276.784340	-189.760684	-187.866767
206.892139	273.862769	-197.913014	-183.578880
215.161279	270.820846	-205.995553	-179.146888
223.331850	267.659648	-214.003657	-174.575340
231.398603	264.380273	-221.932476	-169.868777
239.356176	260.983838	-229.776953	-165.031723
247.199100	257.471475	-237.531824	-160.068680
254.921807	253.844339	-245.191621	-154.984117
262.518626	250.103600	-252.750680	-149.782471
269.983793	246.250448	-260.203140	-144.468136
277.311457	242.286093	-267.542959	-139.045471
284.495680	238.211767	-274.763918	-133.518797
291.530451	234.028722	-281.859634	-127.892400
298.409686	229.738238	-288.823574	-122.170536
305.127237	225.341620	-295.649070	-116.357436
311.676903	220.840202	-302.329333	-110.457308
318.052435	216.235352	-308.857472	-104.474349
324.247547	211.528472	-315.226513	-98.412741
330.255929	206.721004	-321.429420	-92.276666
336.071257	201.814433	-327.459119	-86.070301
341.687208	196.810293	-333.308518	-79.797834
347.097478	191.710169	-338.970532	-73.463457
352.295797	186.515709	-344.438107	-67.071382
357.275954	181.228624	-349.704249	-60.625837
362.031813	175.850698	-354.762043	-54.131076
366.557341	170.383794	-359.604683	-47.591378
370.846634	164.829863	-364.225498	-41.011057
374.893942	159.190951	-368.617974	-34.394459
378.693697	153.469203	-372.775784	-27.745968
382.240544	147.666874	-376.692811	-21.070005
385.529370	141.786335	-380.363174	-14.371026
388.555333	135.830077	-383.781255	-7.653527
391.313889	129.800718	-386.941725	-0.922030
393.800824	123.701009	-389.839566	5.818912
396.012279	117.533835	-392.470101	12.564728
397.944778	111.302219	-394.829013	19.310839
399.595248	105.009326	-396.912373	26.052661
400.961048	98.658464	-398.716660	32.785625
402.039981	92.253082	-400.238779	39.505185
402.830317	85.796767	-401.476083	46.206836
403.330802	79.293248	-402.426389	52.886125
403.540672	72.746382	-403.087987	59.538665
403.459657	66.160153	-403.459657	66.160153

ε = +2,8 ppm Tabelle 7a zu Fig. 9

	D _x [mm]	D _y [mm]	D _z [mm]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	-0.000000000	215.090994449	2248.469343030
M02	-0.000000000	581.188899695	970.995633874
M03	-0.000000000	1212.509556865	384.793724512
M04	-0.000000000	2835.683621214	320.213671038
M05	-0.000000000	2229.316410398	615.729716637
M06	-0.000000000	1910.780548172	1022.267532288
M07	-0.000000000	1410.322757158	2368.791872528
Blende	-0.000000000	1425.970767950	2313.554885263
M08	-0.000000000	1649.308555889	1725.111403814
Wafer	-0.000000000	1649.262164575	2502.636420820

ε = +2,8 ppm Tabelle 7b zu Fig. 9

	α _x [°]	α _y [°]	α _z [°]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	5.236465596	0.000000000	0.000000000
M02	-58.511588758	180.000000000	0.000000000
M03	157.353012160	0.000000000	0.000000000
M04	75.930643447	180.000000000	0.000000000
M05	141.045616348	0.000000000	0.000000000
M06	-60.818261609	180.000000000	0.000000000
M07	20.365407485	-0.000000000	0.000000000
Blende	-1.413401622	180.000000000	0.000000000
M08	10.189138269	180.000000000	0.000000000
Wafer	0.004140627	-0.000000000	-0.000000000

ε = +2,8 ppm Tabelle 8 zu Fig. 9

x_i [mm]	y _i [mm]	x _i+N/2 [mm]	y _i+N/2 [mm]
-403.540659	72.746104	403.088009	59.538263
-403.330776	79.293036	402.426432	52.885664
-402.830281	85.796623	401.476151	46.206318
-402.039938	92.253008	400.238874	39.504611
-400.961000	98.658463	398.716785	32.784996
-399.595198	105.009400	396.912531	26.051979
-397.944729	111.302371	394.829205	19.310104
-396.012234	117.534067	392.470329	12.563943
-393.800785	123.701326	389.839833	5.818076
-391.313858	129.801122	386.942032	-0.922915
-388.555312	135.830570	383.781605	-7.654461
-385.529362	141.786921	380.363566	-14.372009
-382.240550	147.667556	376.693247	-21.071035
-378.693718	153.469983	372.776265	-27.747046
-374.893980	159.191833	368.618500	-34.395584
-370.846691	164.830850	364.226070	-41.012229
-366.557417	170.384888	359.605300	-47.592596
-362.031909	175.851901	354.762705	-54.132340
-357.276071	181.229940	349.704956	-60.627147
-352.295935	186.517140	344.438858	-67.072737
-347.097637	191.711717	338.971326	-73.464857
-341.687388	196.811959	333.309353	-79.799278
-336.071458	201.816221	327.459994	-86.071790
-330.256151	206.722914	321.430333	-92.278197
-324.247790	211.530506	315.227462	-98.414316
-318.052697	216.237511	308.858454	-104.475965
-311.677184	220.842487	302.330347	-110.458965
-305.127536	225.344031	295.650113	-116.359132
-298.410001	229.740777	288.824642	-122.172272
-291.530782	234.031389	281.860724	-127.894173
-284.496026	238.214561	274.765027	-133.520606
-277.311815	242.289015	267.544084	-139.047316
-269.984163	246.253497	260.204278	-144.470014
-262.519006	250.106775	252.751827	-149.784381
-254.922196	253.847639	245.192774	-154.986058
-247.199496	257.474899	237.532977	-160.070649
-239.356577	260.987383	229.778104	-165.033719
-231.399008	264.383939	221.933621	-169.870798
-223.332257	267.663432	214.004793	-174.577384
-215.161686	270.824746	205.996676	-179.148954
-206.892545	273.866782	197.914121	-183.580964
-198.529975	276.788464	189.761770	-187.868869
-190.079003	279.588733	181.544061	-192.008125
-181.544541	282.266556	173.265232	-195.994205
-172.931391	284.820923	164.929323	-199.822608
-164.244241	287.250851	156.540187	-203.488869
-155.487668	289.555385	148.101495	-206.988572
-146.666145	291.733602	139.616750	-210.317357
-137.784038	293.784614	131.089293	-213.470929
-128.845617	295.707569	122.522321	-216.445073
-119.855056	297.501654	113.918899	-219.235660
-110.816442	299.166099	105.281974	-221.838668
-101.733778	300.700180	96.614391	-224.250192
-92.610993	302.103219	87.918905	-226.466474
-83.451946	303.374588	79.198204	-228.483918
-74.260433	304.513714	70.454914	-230.299128
-65.040196	305.520076	61.691615	-231.908930
-55.794928	306.393210	52.910856	-233.310416
-46.528280	307.132710	44.115159	-234.500971
-37.243867	307.738232	35.307029	-235.478312
-27.945276	308.209491	26.488962	-236.240519
-18.636072	308.546264	17.663445	-236.786065
-9.319801	308.748392	8.832964	-237.113842
0.000000	308.815778	0.000000	-237.223176
9.319801	308.748392	-8.832964	-237.113842
18.636072	308.546264	-17.663445	-236.786065
27.945276	308.209491	-26.488962	-236.240519
37.243867	307.738232	-35.307029	-235.478312
46.528280	307.132710	-44.115159	-234.500971
55.794928	306.393210	-52.910856	-233.310416
65.040196	305.520076	-61.691615	-231.908930
74.260433	304.513714	-70.454914	-230.299128
83.451946	303.374588	-79.198204	-228.483918
92.610993	302.103219	-87.918905	-226.466474
101.733778	300.700180	-96.614391	-224.250192
110.816442	299.166099	-105.281974	-221.838668
119.855056	297.501654	-113.918899	-219.235660
128.845617	295.707569	-122.522321	-216.445073
137.784038	293.784614	-131.089293	-213.470929
146.666145	291.733602	-139.616750	-210.317357
155.487668	289.555385	-148.101495	-206.988572
164.244241	287.250851	-156.540187	-203.488869
172.931391	284.820923	-164.929323	-199.822608
181.544541	282.266556	-173.265232	-195.994205
190.079003	279.588733	-181.544061	-192.008125
198.529975	276.788464	-189.761770	-187.868869
206.892545	273.866782	-197.914121	-183.580964
215.161686	270.824746	-205.996676	-179.148954
223.332257	267.663432	-214.004793	-174.577384
231.399008	264.383939	-221.933621	-169.870798
239.356577	260.987383	-229.778104	-165.033719
247.199496	257.474899	-237.532977	-160.070649
254.922196	253.847639	-245.192774	-154.986058
262.519006	250.106775	-252.751827	-149.784381
269.984163	246.253497	-260.204278	-144.470014
277.311815	242.289015	-267.544084	-139.047316
284.496026	238.214561	-274.765027	-133.520606
291.530782	234.031389	-281.860724	-127.894173
298.410001	229.740777	-288.824642	-122.172272
305.127536	225.344031	-295.650113	-116.359132
311.677184	220.842487	-302.330347	-110.458965
318.052697	216.237511	-308.858454	-104.475965
324.247790	211.530506	-315.227462	-98.414316
330.256151	206.722914	-321.430333	-92.278197
336.071458	201.816221	-327.459994	-86.071790
341.687388	196.811959	-333.309353	-79.799278
347.097637	191.711717	-338.971326	-73.464857
352.295935	186.517140	-344.438858	-67.072737
357.276071	181.229940	-349.704956	-60.627147
362.031909	175.851901	-354.762705	-54.132340
366.557417	170.384888	-359.605300	-47.592596
370.846691	164.830850	-364.226070	-41.012229
374.893980	159.191833	-368.618500	-34.395584
378.693718	153.469983	-372.776265	-27.747046
382.240550	147.667556	-376.693247	-21.071035
385.529362	141.786921	-380.363566	-14.372009
388.555312	135.830570	-383.781605	-7.654461
391.313858	129.801122	-386.942032	-0.922915
393.800785	123.701326	-389.839833	5.818076
396.012234	117.534067	-392.470329	12.563943
397.944729	111.302371	-394.829205	19.310104
399.595198	105.009400	-396.912531	26.051979
400.961000	98.658463	-398.716785	32.784996
402.039938	92.253008	-400.238874	39.504611
402.830281	85.796623	-401.476151	46.206318
403.330776	79.293036	-402.426432	52.885664
403.540659	72.746104	-403.088009	59.538263
403.459660	66.159813	-403.459660	66.159813

ε = -5,6 ppm Tabelle 9a zu Fig. 9

	D _x [mm]	D _y [mm]	D _z [mm]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	-0.000000000	215.092939361	2248.496225987
M02	-0.000000000	581.154512888	971.039970732
M03	-0.000000000	1212.480970347	384.833430837
M04	-0.000000000	2835.674430976	320.264965454
M05	-0.000000000	2229.311373601	615.778824395
M06	-0.000000000	1910.792963735	1022.292585083
M07	-0.000000000	1410.332526716	2368.854356056
Blende	-0.000000000	1425.983270097	2313.616860443
M08	-0.000000000	1649.311074002	1725.171098285
Wafer	-0.000000000	1649.273727573	2502.660870975

ε = -5,6 ppm Tabelle 9b zu Fig. 9

	α _x [°]	α _y [°]	α _z [°]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	5.235387254	0.000000000	0.000000000
M02	-58.512102139	180.000000000	0.000000000
M03	157.353198027	0.000000000	0.000000000
M04	75.930741541	180.000000000	0.000000000
M05	141.045174491	0.000000000	0.000000000
M06	-60.819020891	180.000000000	0.000000000
M07	20.364787040	-0.000000000	0.000000000
Blende	-1.413414506	180.000000000	0.000000000
M08	10.188473241	180.000000000	0.000000000
Wafer	0.004140627	-0.000000000	-0.000000000

ε = -5,6 ppm Tabelle 10 zu Fig. 9

x_i [mm]	y _i [mm]	x _i+N/2 [mm]	y _i+N/2 [mm]
-403.540394	72.745468	403.087835	59.537258
-403.330479	79.292593	402.426316	52.884483
-402.829961	85.796381	401.476102	46.204966
-402.039604	92.252974	400.238900	39.503094
-400.960660	98.658645	398.716895	32.783317
-399.594861	105.009806	396.912731	26.050142
-397.944401	111.303008	394.829503	19.308113
-396.011924	117.534945	392.470733	12.561800
-393.800500	123.702452	389.840348	5.815784
-391.313605	129.802506	386.942663	-0.925354
-388.555097	135.832220	383.782357	-7.657044
-385.529190	141.788846	380.364445	-14.374735
-382.240427	147.669764	376.694255	-21.073903
-378.693648	153.472484	372.777405	-27.750055
-374.893967	159.194634	368.619775	-34.398733
-370.846739	164.833960	364.227479	-41.015516
-366.557528	170.388315	359.606846	-47.596021
-362.032085	175.855653	354.764387	-54.135901
-357.276313	181.234023	349.706772	-60.630843
-352.296245	186.521562	344.440807	-67.076568
-347.098014	191.716484	338.973405	-73.468821
-341.687833	196.817077	333.311559	-79.803374
-336.071970	201.821694	327.462322	-86.076016
-330.256728	206.728748	321.432778	-92.282553
-324.248430	211.536705	315.230018	-98.418798
-318.053399	216.244078	308.861116	-104.480572
-311.677945	220.849425	302.333107	-110.463694
-305.128353	225.351343	295.652963	-116.363981
-298.410871	229.748463	288.827575	-122.177236
-291.531701	234.039449	281.863730	-127.899250
-284.496990	238.222996	274.768097	-133.525793
-277.312820	242.297824	267.547209	-139.052607
-269.985205	246.262678	260.207447	-144.475406
-262.520080	250.116326	252.755030	-149.789869
-254.923297	253.857556	245.196000	-154.991638
-247.200620	257.485179	237.536217	-160.076315
-239.357718	260.998021	229.781346	-165.039466
-231.400162	264.394929	221.936853	-169.876621
-223.333419	267.674768	214.008005	-174.583278
-215.162850	270.836419	205.999856	-179.154913
-206.893707	273.878786	197.917259	-183.586982
-198.531129	276.800790	189.764855	-187.874940
-190.080144	279.601372	181.547083	-192.014244
-181.545665	282.279498	173.268180	-196.000365
-172.932492	284.834158	164.932187	-199.828804
-164.245314	287.264367	156.542957	-203.495096
-155.488710	289.569170	148.104163	-206.994824
-146.667150	291.747645	139.619306	-210.323628
-137.785003	293.798901	131.091729	-213.477214
-128.846537	295.722087	122.524630	-216.451367
-119.855928	297.516389	113.921073	-219.241960
-110.817261	299.181037	105.284006	-221.844968
-101.734542	300.715306	96.616274	-224.256490
-92.611698	302.118517	87.920635	-226.472766
-83.452589	303.390045	79.199775	-228.490203
-74.261011	304.529312	70.456321	-230.305403
-65.040708	305.535800	61.692855	-231.915195
-55.795370	306.409043	52.911925	-233.316670
-46.528651	307.148637	44.116054	-234.507215
-37.244166	307.754235	35.307748	-235.484547
-27.945502	308.225554	26.489503	-236.246746
-18.636223	308.562369	17.663807	-236.792286
-9.319877	308.764522	8.833145	-237.120059
0.000000	308.831918	0.000000	-237.229392
9.319877	308.764522	-8.833145	-237.120059
18.636223	308.562369	-17.663807	-236.792286
27.945502	308.225554	-26.489503	-236.246746
37.244166	307.754235	-35.307748	-235.484547
46.528651	307.148637	-44.116054	-234.507215
55.795370	306.409043	-52.911925	-233.316670
65.040708	305.535800	-61.692855	-231.915195
74.261011	304.529312	-70.456321	-230.305403
83.452589	303.390045	-79.199775	-228.490203
92.611698	302.118517	-87.920635	-226.472766
101.734542	300.715306	-96.616274	-224.256490
110.817261	299.181037	-105.284006	-221.844968
119.855928	297.516389	-113.921073	-219.241960
128.846537	295.722087	-122.524630	-216.451367
137.785003	293.798901	-131.091729	-213.477214
146.667150	291.747645	-139.619306	-210.323628
155.488710	289.569170	-148.104163	-206.994824
164.245314	287.264367	-156.542957	-203.495096
172.932492	284.834158	-164.932187	-199.828804
181.545665	282.279498	-173.268180	-196.000365
190.080144	279.601372	-181.547083	-192.014244
198.531129	276.800790	-189.764855	-187.874940
206.893707	273.878786	-197.917259	-183.586982
215.162850	270.836419	-205.999856	-179.154913
223.333419	267.674768	-214.008005	-174.583278
231.400162	264.394929	-221.936853	-169.876621
239.357718	260.998021	-229.781346	-165.039466
247.200620	257.485179	-237.536217	-160.076315
254.923297	253.857556	-245.196000	-154.991638
262.520080	250.116326	-252.755030	-149.789869
269.985205	246.262678	-260.207447	-144.475406
277.312820	242.297824	-267.547209	-139.052607
284.496990	238.222996	-274.768097	-133.525793
291.531701	234.039449	-281.863730	-127.899250
298.410871	229.748463	-288.827575	-122.177236
305.128353	225.351343	-295.652963	-116.363981
311.677945	220.849425	-302.333107	-110.463694
318.053399	216.244078	-308.861116	-104.480572
324.248430	211.536705	-315.230018	-98.418798
330.256728	206.728748	-321.432778	-92.282553
336.071970	201.821694	-327.462322	-86.076016
341.687833	196.817077	-333.311559	-79.803374
347.098014	191.716484	-338.973405	-73.468821
352.296245	186.521562	-344.440807	-67.076568
357.276313	181.234023	-349.706772	-60.630843
362.032085	175.855653	-354.764387	-54.135901
366.557528	170.388315	-359.606846	-47.596021
370.846739	164.833960	-364.227479	-41.015516
374.893967	159.194634	-368.619775	-34.398733
378.693648	153.472484	-372.777405	-27.750055
382.240427	147.669764	-376.694255	-21.073903
385.529190	141.788846	-380.364445	-14.374735
388.555097	135.832220	-383.782357	-7.657044
391.313605	129.802506	-386.942663	-0.925354
393.800500	123.702452	-389.840348	5.815784
396.011924	117.534945	-392.470733	12.561800
397.944401	111.303008	-394.829503	19.308113
399.594861	105.009806	-396.912731	26.050142
400.960660	98.658645	-398.716895	32.783317
402.039604	92.252974	-400.238900	39.503094
402.829961	85.796381	-401.476102	46.204966
403.330479	79.292593	-402.426316	52.884483
403.540394	72.745468	-403.087835	59.537258
403.459437	66.158989	-403.459437	66.158989

ε = -2,8 ppm Tabelle 11a zu Fig. 9

	D _x [mm]	D _y [mm]	D _z [mm]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	-0.000000000	215.096203493	2248.487274099
M02	-0.000000000	581.169889089	971.025206217
M03	-0.000000000	1212.494416799	384.820213054
M04	-0.000000000	2835.681411859	320.247895758
M05	-0.000000000	2229.316976502	615.762479228
M06	-0.000000000	1910.792763433	1022.284232193
M07	-0.000000000	1410.333184954	2368.833556145
Blende	-0.000000000	1425.983002487	2313.596212728
M08	-0.000000000	1649.314152379	1725.151229052
Wafer	-0.000000000	1649.273771594	2502.652674892

ε = -2,8 ppm Tabelle 11b zu Fig. 9

	α _x [°]	α _y [°]	α _Z [°]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	5.235746910	0.000000000	0.000000000
M02	-58.511930828	180.000000000	0.000000000
M03	157.353136435	0.000000000	0.000000000
M04	75.930709057	180.000000000	0.000000000
M05	141.045321860	0.000000000	0.000000000
M06	-60.818767735	180.000000000	0.000000000
M07	20.364994123	-0.000000000	0.000000000
Blende	-1.413426140	180.000000000	0.000000000
M08	10.188695172	180.000000000	0.000000000
Wafer	0.004140627	-0.000000000	-0.000000000

ε = -2,8 ppm Tabelle 12 zu Fig. 9

x_i [mm]	y _i [mm]	x _i+N/2 [mm]	y _i+N/2 [mm]
-403.540524	72.745637	403.087937	59.537550
-403.330618	79.292699	402.426400	52.884832
-402.830106	85.796420	401.476165	46.205372
-402.039752	92.252944	400.238939	39.503554
-400.960809	98.658544	398.716907	32.783831
-399.595008	105.009630	396.912714	26.050708
-397.944544	111.302756	394.829455	19.308730
-396.012059	117.534614	392.470650	12.562467
-393.800625	123.702039	389.840229	5.816501
-391.313719	129.802007	386.942506	-0.924589
-388.555197	135.831634	383.782160	-7.656231
-385.529275	141.788168	380.364207	-14.373875
-382.240494	147.668993	376.693974	-21.072996
-378.693696	153.471616	372.777081	-27.749102
-374.893995	159.193668	368.619406	-34.397733
-370.846746	164.832891	364.227066	-41.014470
-366.557513	170.387141	359.606387	-47.594930
-362.032047	175.854372	354.763882	-54.134765
-357.276253	181.232633	349.706223	-60.629663
-352.296161	186.520060	344.440214	-67.075343
-347.097907	191.714868	338.972767	-73.467552
-341.687703	196.815346	333.310879	-79.802062
-336.071817	201.819846	327.461601	-86.074661
-330.256553	206.726781	321.432017	-92.281154
-324.248233	211.534617	315.229220	-98.417357
-318.053181	216.241869	308.860282	-104.479090
-311.677707	220.847094	302.332239	-110.462172
-305.128096	225.348889	295.652064	-116.362419
-298.410596	229.745886	288.826647	-122.175636
-291.531409	234.036749	281.862777	-127.897612
-284.496682	238.220173	274.767122	-133.524118
-277.312499	242.294878	267.546214	-139.050898
-269.984871	246.259609	260.206436	-144.473663
-262.519735	250.113136	252.754006	-149.788094
-254.922943	253.854246	245.194968	-154.989832
-247.200258	257.481749	237.535178	-160.074481
-239.357350	260.994474	229.780305	-165.037605
-231.399789	264.391266	221.935815	-169.874734
-223.333043	267.670992	214.006971	-174.581368
-215.162473	270.832532	205.998832	-179.152980
-206.893331	273.874791	197.916247	-183.585030
-198.530755	276.796689	189.763859	-187.872970
-190.079774	279.597168	181.546106	-192.012258
-181.545300	282.275195	173.267226	-195.998365
-172.932135	284.829759	164.931260	-199.826791
-164.244966	287.259876	156.542060	-203.493073
-155.488372	289.564591	148.103298	-206.992792
-146.666824	291.742981	139.618477	-210.321590
-137.784690	293.794157	131.090938	-213.475171
-128.846239	295.717267	122.523880	-216.449321
-119.855645	297.511498	113.920367	-219.239911
-110.816995	299.176080	105.283346	-221.842919
-101.734294	300.710287	96.615662	-224.254441
-92.611469	302.113442	87.920073	-226.470719
-83.452380	303.384918	79.199264	-228.488158
-74.260824	304.524139	70.455863	-230.303361
-65.040541	305.530585	61.692452	-231.913156
-55.795227	306.403793	52.911577	-233.314635
-46.528530	307.143356	44.115762	-234.505182
-37.244069	307.748929	35.307514	-235.482517
-27.945428	308.220228	26.489326	-236.244718
-18.636174	308.557030	17.663689	-236.790261
-9.319852	308.759175	8.833086	-237.118035
0.000000	308.826567	0.000000	-237.227368
9.319852	308.759175	-8.833086	-237.118035
18.636174	308.557030	-17.663689	-236.790261
27.945428	308.220228	-26.489326	-236.244718
37.244069	307.748929	-35.307514	-235.482517
46.528530	307.143356	-44.115762	-234.505182
55.795227	306.403793	-52.911577	-233.314635
65.040541	305.530585	-61.692452	-231.913156
74.260824	304.524139	-70.455863	-230.303361
83.452380	303.384918	-79.199264	-228.488158
92.611469	302.113442	-87.920073	-226.470719
101.734294	300.710287	-96.615662	-224.254441
110.816995	299.176080	-105.283346	-221.842919
119.855645	297.511498	-113.920367	-219.239911
128.846239	295.717267	-122.523880	-216.449321
137.784690	293.794157	-131.090938	-213.475171
146.666824	291.742981	-139.618477	-210.321590
155.488372	289.564591	-148.103298	-206.992792
164.244966	287.259876	-156.542060	-203.493073
172.932135	284.829759	-164.931260	-199.826791
181.545300	282.275195	-173.267226	-195.998365
190.079774	279.597168	-181.546106	-192.012258
198.530755	276.796689	-189.763859	-187.872970
206.893331	273.874791	-197.916247	-183.585030
215.162473	270.832532	-205.998832	-179.152980
223.333043	267.670992	-214.006971	-174.581368
231.399789	264.391266	-221.935815	-169.874734
239.357350	260.994474	-229.780305	-165.037605
247.200258	257.481749	-237.535178	-160.074481
254.922943	253.854246	-245.194968	-154.989832
262.519735	250.113136	-252.754006	-149.788094
269.984871	246.259609	-260.206436	-144.473663
277.312499	242.294878	-267.546214	-139.050898
284.496682	238.220173	-274.767122	-133.524118
291.531409	234.036749	-281.862777	-127.897612
298.410596	229.745886	-288.826647	-122.175636
305.128096	225.348889	-295.652064	-116.362419
311.677707	220.847094	-302.332239	-110.462172
318.053181	216.241869	-308.860282	-104.479090
324.248233	211.534617	-315.229220	-98.417357
330.256553	206.726781	-321.432017	-92.281154
336.071817	201.819846	-327.461601	-86.074661
341.687703	196.815346	-333.310879	-79.802062
347.097907	191.714868	-338.972767	-73.467552
352.296161	186.520060	-344.440214	-67.075343
357.276253	181.232633	-349.706223	-60.629663
362.032047	175.854372	-354.763882	-54.134765
366.557513	170.387141	-359.606387	-47.594930
370.846746	164.832891	-364.227066	-41.014470
374.893995	159.193668	-368.619406	-34.397733
378.693696	153.471616	-372.777081	-27.749102
382.240494	147.668993	-376.693974	-21.072996
385.529275	141.788168	-380.364207	-14.373875
388.555197	135.831634	-383.782160	-7.656231
391.313719	129.802007	-386.942506	-0.924589
393.800625	123.702039	-389.840229	5.816501
396.012059	117.534614	-392.470650	12.562467
397.944544	111.302756	-394.829455	19.308730
399.595008	105.009630	-396.912714	26.050708
400.960809	98.658544	-398.716907	32.783831
402.039752	92.252944	-400.238939	39.503554
402.830106	85.796420	-401.476165	46.205372
403.330618	79.292699	-402.426400	52.884832
403.540524	72.745637	-403.087937	59.537550
403.459554	66.159221	-403.459554	66.159221

11 zeigt eine weitere Ausführung einer Projektionsoptik bzw. abbildenden Optik 31, die anstelle der Projektionsoptik 7 bei der Projektionsbelichtungsanlage 1 zum Einsatz kommen kann. Komponenten und Funktionen, die denjenigen entsprechen, die vorstehend unter Bezugnahme auf die 1 bis 10 bereits erläutert wurden, tragen die gleichen Bezugsziffern und werden nicht nochmals im Einzelnen diskutiert.
Die Projektionsoptik 31 hat eine bildseitige numerische Apertur von 0,75.
Die Projektionsoptik 31 hat insgesamt neun Spiegel M1 bis M9. Die Spiegel M1, M8 und M9 sind als Spiegel für normalen Einfall ausgeführt. Die Spiegel M2 bis M7 sind als Spiegel für streifenden Einfall des Beleuchtungslichts 3 ausgeführt. Die Projektionsoptik 31 hat genau sechs Spiegel für streifenden Einfall.
Auch bei der Projektionsoptik 31 können die Spiegel M1 bis M9 sowie der Retikelhalter 10a und der Substrathalter 12 Manipulatoren 14b, 14c aufweisen, wie vorstehend im Zusammenhang mit der Projektionsoptik 7 nach 2 beziehungsweise 9 erläutert.
Die Spiegel M2 bis M7 der Projektionsoptik 31 reflektieren das Abbildungslicht 3 so, dass sich die Ausfallswinkel der Einzelstrahlen 29 auf den jeweiligen Spiegel M2 bis M7 addieren, sich also in ihrer Umlenkwirkung verstärken. Entsprechend der Regeln für die umliegende Wirkung der Spiegel, die im Zusammenhang mit den Projektionsoptik-Ausführungen der DE 10 2019 219 209 A1 genannt sind, hat die Projektionsoptik 31 für die Spiegel M1 bis M9 folgende Abfolge umlenkender Wirkungen:

RLLLLLL0L.

Die Projektionsoptik 31 ist objektseitig näherungsweise telezentrisch. Die Eintrittspupille liegt, wenn der Abbildungsstrahlengang ausschließlich in Bezug auf die Einzelstrahlen, die das Objektfeld 4 passieren, berücksichtigt wird, in der xz-Ebene und in der yz-Ebene mehrere Meter beabstandet zum Objektfeld 4.
Die Projektionsoptik 31 hat eine Pupillenebene im Strahlengang zwischen den Spiegeln M1 und M2. Eine Zwischenbildebene liegt im Bereich einer Reflexion am Spiegel M3. Eine weitere Pupillenebene liegt im Abbildungslicht-Strahlengang zwischen den Spiegeln M3 und M4. Eine weitere Zwischenbildebene liegt im Bereich einer Reflexion am Spiegel M5. Die Anzahl der Zwischenbildebenen unterscheidet sich von der Zwischenbild-Anzahl in der Meridionalebene nach 11 von der Zwischenbild-Anzahl in der hierzu senkrechten Ebene. Derartige Projektionsoptiken mit unterschiedlichen Zwischenbild-Anzahlen in zueinander senkrechten Ebenen sind grundsätzlich bekannt aus der WO 2016/166080 A1 und der DE 10 2015 226 531 A1 .
Die optischen Designdaten für die Projektionsoptik 31 nach 11 ergeben sich aus den nachfolgenden Tabellen, die wiederum vom Grundaufbau her den Tabellen zur Ausführung nach 9 entsprechen.

Radien der Flächen Tabelle 1 zu Fig. 11

	Radiusx [mm]	Powerx [1/mm]	Radiusy [mm]	Powery [1/mm]
M01	-4076.15364624	0.00048074	-1632.83453627	0.00120010
M02	48591.87770867	-0.00000379	2175.64039109	-0.00008458
M03	-9563.30620182	0.00004363	-3443.88025445	0.00012115
M04	-5514.73661939	0.00007135	-5148.22662813	0.00007643
M05	597076.16796656	-0.00000021	-188502.48027025	0.00000067
M06	-1661.60750966	0.00050854	-25489.38218185	0.00003315
M07	-1747.84565863	0.00022955	98672.33305217	-0.00000407
M08	3795.66432359	-0.00048046	425.96631704	-0.00428122
M09	-965.69301385	0.00203897	-846.29095112	0.00232665

Freiformkoeffizienten der Flächen Tabelle 2a zu Fig. 11

Koeffizient	Formel	M01	M02	M03
C2	y	2.4104597178e-04	1.9006997921e-03	2.1128769189e-04
C7	x2 y	1.4233279204e-09	2.0686349189e-08	9.6775859184e-08
C9	y3	1.5991849131e-08	-5.9274760769e-07	-2.0790010491e-08
C10	x4	1.7530231524e-11	2.4721899841 e-11	-1.5767689975e-11
C12	x2 y2	6.5872502559e-13	-3.7001524403e-10	2.5662074831e-11
C14	y4	-6.4869992113e-12	2.0281550904e-10	-2.7442749618e-11
C16	x4 y	-1.9438325604e-14	-6.4660651093e-14	-7.0617554566e-14
C18	x2 y3	2.1796057056e-14	1.3393735754e-12	2.25 81277831 e-14
C20	y5	4.2610614491e-14	5.4678021703e-12	-2.0756683183e-14
C21	x6	1.0933259195e-17	-1.8558840032e-17	-2.2833302337e-16
C23	x4 y2	3.2370556055e-17	2.1173233942e-16	1.0924931696e-16
C25	x2 y4	-5.4343588489e-17	-5.5270465030e-15	8.0976401953e-17
C27	y6	-2.9573151090e-16	-3.1898335750e-14	2.0410639334e-16
C29	x6 y	-6.6931642222e-21	-2.9819767848e-19	1.4150095929e-20
C31	x4 y3	-9.0311167807e-20	2.1721352826e-18	5.2692015451 e-20
C33	x2 y5	3.3490552953e-19	1.0361076297e-17	1.3192461282e-19
C35	y7	1.6528112628e-18	1.0592512807e-16	-1.6245261738e-18
C36	x8	2.7981239125e-24	2.6248120278e-22	3.0124339186e-22
C38	x6 y2	3.2020618014e-23	6.4114381297e-22	-7.0865139324e-23
C40	x4 y4	1.0133073531e-21	-9.2131197877e-21	1.9341503832e-22
C42	x2 y6	5.0582583013e-21	5.5424934153e-20	-2.7177280912e-21
C44	y8	1.4054567674e-20	-1.4005156011e-19	-2.3678953979e-20
C46	x8 y	9.9739935779e-26	-1.7638952217e-25	-3.5229279798e-26
C48	x6 y3	1.7301569528e-24	-1.5230617434e-24	4.8707527117e-25
C50	x4 y5	2.6114100029e-24	-1.6611901968e-23	1.9278301753e-25
C52	x2 y7	-7.3669578013e-23	-6.9397752036e-22	-1.1378238295e-23
C54	y9	-2.4960465851e-22	8.9132896034e-22	5.7113688291e-23
C55	x10	-4.7713603063e-29	-1.3616863449e-27	3.0646913456e-28
C57	x8 y2	-8.5326337162e-28	-5.1929789278e-27	-7.3910312729e-28
C59	x6 y4	-9.4850054952e-27	4.8069692183e-26	1.8157232696e-27
C61	x4 y6	-1.5142827242e-25	4.9888141207e-25	2.3319485298e-26
C63	x2 y8	-4.4922051164e-25	-5.3100280642e-25	5.6759784394e-25
C65	y10	2.4450951589e-26	-1.9252412758e-23	2.2981048000e-25
C67	x10 y	-1.5220491068e-30	6.8025777297e-30	-1.1964620239e-30
C69	x8 y3	-4.1991396433e-29	6.9259527856e-29	-6.0148712066e-30
C71	x6 y5	-2.9025057101e-28	1.8063583976e-28	-9.6101816463e-30
C73	x4 y7	6.1738727747e-28	2.4403508107e-27	6.9549111826e-28
C75	x2 y9	9.3763943545e-27	2.7680327191e-26	5.9672666232e-28
C77	y11	1.7367436654e-26	-4.9059078175e-26	7.6767155975e-29
C78	x12	4.7619751798e-34	5.4542598323e-33	-8.8299166046e-33
C80	x10 y2	1. 67423 3 9111 e-3 2	-1.1280087572e-32	-2.6199837070e-33
C82	x8 y4	5.3821438942e-32	-5.2958838948e-31	-1.8549461671e-32
C84	x6 y6	1.0789956467e-30	-6.9863237121e-30	-1.3762314095e-31
C86	x4 y8	1.4843627083e-29	-3.7409358118e-29	-5.0162169791e-30
C88	x2 y10	1.9171548189e-29	3.0091307060e-28	-2.9951228567e-29
C90	y12	-5.3692373751e-29	2.3988318623e-27	3.2034600597e-29
C92	x12 y	1.6563788018e-35	-3.5865301708e-35	6.6940923471e-36
C94	x10 y3	6.2643989198e-34	-3.5039735389e-34	1.9720421403e-35
C96	x8 y5	6.3940800425e-33	-2.2106948336e-33	2.4993540326e-34
C98	x6 y7	1.6707196396e-32	5.6249423736e-33	-4.4241673237e-33
C100	x4 y9	-1.4858067213e-31	-2.3078158966e-31	-5.9785739524e-32
C102	x2 y 11	-6.9119031884e-31	-4.1159622766e-30	5.5594243097e-32
C104	y13	-6.8269006692e-31	-1.0676316844e-29	-2.6596341395e-31
C105	x14	-4.3047417471e-39	-2.8025612150e-38	3.9555505948e-38
C107	x12 y2	-2.4086850111e-37	1.9173683796e-38	1.7215687271e-38
C109	x10 y4	-9.6060772189e-37	2.4393317929e-36	-3.0974459821e-38
C111	x8 y6	1.0851996017e-35	5.5109475816e-35	1.6241085437e-36
C113	x6 y8	-8.4013124658e-35	4.6009579587e-34	8.7175207831e-36
C115	x4 y10	-8.3584278058e-34	2.4461685652e-33	3.5555665712e-34
C117	x2 y12	-2.3607675567e-34	-9.9523904811e-34	3.9674842183e-34
C119	y14	3.4021628212e-33	-4.9875430215e-32	-1.1438921284e-33
C121	x14 y	-1.1705158842e-40	1.8214582060e-40	-6.7963748018e-42
C 123	x12 y3	-6.0295403371e-39	1.1243289535e-39	-7.8547877201e-41
C125	x10 y5	-8.0212442734e-38	4.7570922937e-39	-8.1191050192e-40
C127	x8 y7	-4.6182522670e-37	-1.5820662953e-37	-6.4030007739e-39
C129	x6 y9	2.7868279552e-37	-1.1734595309e-36	4.8416231386e-37
C131	x4 y11	1.3145951895e-35	7.6941847452e-36	1.0792597371e-36
C133	x2 y13	3.2641695394e-35	1.8082613935e-34	-8.8098639700e-37
C135	y15	1.5674746217e-35	5.7824579182e-34	9.8599651940e-36
C136	x16	3.3227520931e-44	7.0949026917e-44	-7.2224247085e-44
C138	x14 y2	2.2425686907e-42	7.5615243155e-44	-3.1467850019e-44
C140	x12 y4	2.0172201821e-41	-2.7958628006e-42	2.4785937378e-43
C142	x10 y6	-1.9270782778e-40	-1.3189873389e-40	-6.9685067742e-42
C144	x8 y8	-1.3341083393e-39	-1.4999249359e-39	1.7818719967e-41
C146	x6 y10	4.3884644138e-39	-1.1012509892e-38	-8.4594922796e-40
C148	x4 y12	2.7537177396e-38	-1.0492255903e-37	-5.4204537631e-39
C150	x2 y14	-1.4316871480e-38	-8.4260815244e-37	2.9270999593e-39
C152	y16	-1.0182156540e-37	-1.8558660096e-36	7.3211842196e-39
C154	x16 y	4.7253529531e-46	-4.5596533499e-46	-2.8990689552e-47
C156	x14 y3	3.5700219350e-44	-1.5171512943e-45	2.1752835489e-46
C158	x12 y5	6.2203040025e-43	-6.7172534618e-45	-5.8530418203e-46
C160	x10 y7	5.4116187523e-42	5.7469525111e-43	5.0722026564e-44
C162	x8 y9	1.5740071305e-41	6.7619983093e-42	-7.9461876346e-43
C164	x6 y11	-8.0072255667e-41	4.0304405732e-41	-7.7901590441e-42
C166	x4 y13	-6.3179531461e-40	2.2520220993e-40	-4.5025867433e-42
C168	x2 y15	-1.0126580733e-39	1.2161194147e-39	-1.9392065263e-41
C170	y17	-2.0842199862e-40	2.0933627011e-39	-9.2430023917e-41
C171	x18	-1.8404682242e-49	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C173	x16 y2	-1.3142943635e-47	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C175	x14 y4	-2.0668401299e-46	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C177	x12 y6	8.5409703540e-46	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C179	x10 y8	1.9978970282e-44	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C181	x8 y10	6.2759683626e-44	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C183	x6 y12	-1.4323932857e-43	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C185	x4 y14	-4.9887680752e-43	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C187	x2 y16	7.7562195704e-43	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C189	y18	1.5183195028e-42	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C191	x18 y	-6.9124585670e-52	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C193	x16 y3	-1.1403996310e-49	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C195	x14 y5	-2.8360840103e-48	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C197	x12 y7	-3.5911642242e-47	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C199	x10 y9	-2.0182323370e-46	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C201	x8 y11	-1.4584787148e-46	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C203	x6 y13	4.1251729448e-45	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C205	x4 y15	1.7942252862e-44	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C207	x2 y17	2.0486066740e-44	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C209	y19	2.0324534309e-45	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C210	x20	6.6279486454e-55	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C212	x18 y2	4.6975710369e-53	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C214	x16 y4	1.1037169979e-51	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C216	x14 y6	4.5727501709e-52	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C218	x12 y8	-1.0066988782e-49	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C220	x10 y10	-7.5317887484e-49	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C222	x8 y12	-1.5011435423e-48	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C224	x6 y14	2.8103035805e-48	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C226	x4 y16	3.6868512247e-48	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C228	x2 y18	-1.7255045237e-47	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C230	y20	-7.0967892098e-48	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C232	x20 y	-2.0799382719e-57	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C234	x18 y3	1.0359698689e-55	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C236	x16 y5	6.3127883888e-54	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C238	x14 y7	1.3408448174e-52	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C240	x12 y9	1.1353554953e-51	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C242	x10 y11	4.0762898576e-51	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C244	x8 y13	-5.5838915268e-51	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C246	x6 y15	-1.0242753 596e-49	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C248	x4 y17	-3.0036111454e-49	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C250	x2 y19	-2.5880095186e-49	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C252	y21	-3.3112890426e-50	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C253	x22	-1.3730098528e-60	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C255	x20 y2	-9.3639947327e-59	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C257	x18 y4	-3.0215432667e-57	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C259	x16 y6	-1.3036872356e-56	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C261	x14 y8	2.1181313856e-55	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C263	x12 y10	2.7726287013e-54	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C265	x10 y12	1.2975538775e-53	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C267	x8 y14	1.7796669344e-53	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C269	x6 y16	-3.0488443554e-53	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C271	x4 y18	1.5189599010e-53	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C273	x2 y20	1.9367824435e-52	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C275	y22	-7.6082945005e-53	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C277	x22 y	1.0077402775e-62	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C279	x20 y3	3.8052026078e-61	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C281	x18 y5	-1.8584858800e-60	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C283	x16 y7	-2.4345439800e-58	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C285	x14 y9	-3.1118469760e-57	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C287	x12 y11	-1.8188170935e-56	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C289	x10 y13	-4.0166597752e-56	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C291	x8 y15	1.6405825820e-55	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C293	x6 y17	1.2809369977e-54	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C295	x4 y19	2.7316259536e-54	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C297	x2 y21	1.8352059453e-54	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C299	y23	5.2232903807e-55	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C300	x24	1.2287693687e-66	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C302	x22 y2	7.9783558093e-65	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C304	x20 y4	3.3678761522e-63	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C306	x18 y6	2.6552352532e-62	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C308	x16 y8	-1.3144404829e-61	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C310	x14 y10	-3.4265755853e-60	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C312	x12 y12	-2.5071972693e-59	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C314	x10 y14	-8.5111480302e-59	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C316	x8 y16	-8.0315343962e-59	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C318	x6 y18	1.4109707690e-58	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C320	x4 y20	-2.9402896680e-58	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C322	x2 y22	-8.9793104823e-58	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C324	y24	7.7867081350e-58	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C326	x24 y	-1.2127911779e-68	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C328	x22 y3	-8.3261467278e-67	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C330	x20 y5	-1.1158726815e-65	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C332	x18 y7	1.3326385896e-64	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C334	x16 y9	3.2754172198e-63	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C336	x14 y11	2.6967829290e-62	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C338	x12 y13	1.1627480380e-61	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C340	x10 y15	1.3516381246e-61	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C342	x8 y17	-1.2882815022e-60	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C344	x6 y19	-6.4739625993e-60	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C346	x4 y21	-1.0347534728e-59	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C348	x2 y23	-5.4890770898e-60	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C350	y25	-3.2634870280e-60	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00

Tabelle 2b zu Fig. 11

Koeffizient	Formel	M04	M05	M06
C2	y	2.4553381655e-04	8.0965470940e-05	5.9567989086e-04
C7	x2 y	1.9330904512e-08	2.9836568752e-08	-6.6915170836e-08
C9	y3	-2.4615710616e-08	-5.9983540890e-09	-5.7895152941e-09
C10	x4	5.0621948628e-11	-4.6979467463 e-11	2.8189118697e-11
C12	x2 y2	5.3578657785e-11	-1.2442500151e-11	3.0739374440e-11
C14	y4	1.9734440394e-11	6.9588104029e-13	1.1993089101e-11
C16	x4 y	1.5488974121e-14	-1.0402421422e-13	-4.9699597003e-14
C18	x2 y3	4.3872332134e-14	2.7189711243e-14	-7.1230171534e-14
C20	y5	7.8297882211e-15	-9.7556036791e-15	1.3343368294e-13
C21	x6	-8.3999673833e-17	5.9166940920e-17	4.9797181700e-17
C23	x4 y2	9.1948124499e-18	-1.2540367598e-17	9.9028137073e-17
C25	x2 y4	-4.7614229013e-17	-1.0731398270e-17	-4.6458142219e-16
C27	y6	-1.4698536527e-17	-2.5630500592e-16	-1.1156766454e-15
C29	x6 y	-8.1904585029e-21	5.6580783829e-20	-1.8258843065e-19
C31	x4 y3	-1.1777896105e-19	-1.2999680472e-19	1.0930237627e-18
C33	x2 y5	-3.9264598316e-20	-5.2755511591e-19	6.4376190672e-18
C35	y7	-5.3304990100e-20	-8.9723340265e-19	-2.6906658831e-18
C36	x8	1.5676826949e-23	7.8358504942e-23	1.2598134757e-22
C38	x6 y2	-1.0746934414e-22	-2.5099298523e-22	-1.0973775224e-21
C40	x4 y4	3.1288211479e-22	-1.5931584811e-21	-1.6202379530e-20
C42	x2 y6	-3.4818396086e-22	1.6938740106e-24	1.3364524714e-20
C44	y8	-1.7681504323e-22	3.0031026768e-20	1.6466014888e-20
C46	x8 y	3.6364000360e-25	2.5518731820e-25	7.6754086591e-25
C48	x6 y3	9.8423779511e-25	-7.9503925840e-25	1.9280097040e-23
C50	x4 y5	-1.5937130150e-25	1.8288393763e-24	-2.5774991702e-23
C52	x2 y7	2.0841936908e-24	7.8775388246e-23	-1.6407242061e-22
C54	y9	2.3619839122e-25	2.1889381777e-22	1.8363738546e-22
C55	x10	6.3530867409e-28	-1.7512564578e-27	-9.4665186576e-29
C57	x8 y2	7.6945466324e-28	2.4552537254e-27	-1.3989837392e-26
C59	x6 y4	-3.0919589037e-28	3.0329243346e-26	2.3412593180e-26
C61	x4 y6	1.2659555861e-26	1.5826417650e-25	6.8427035044e-25
C63	x2 y8	2.2921677813e-26	1.8953099771e-25	-8.8141014476e-25
C65	y10	2.0591093207e-26	-1.1998906907e-24	5.6024809529e-26
C67	x10 y	-1.1180508471e-31	-2.0255299080e-31	5.8067670791e-30
C69	x8 y3	-3.5771418722e-30	2.4314725124e-29	3.1136394663e-29
C71	x6 y5	5.3187898001e-30	2.5547541282e-28	-1.5409923698e-27
C73	x4 y7	1.0748329495e-29	3.8830494721e-28	2.5196521378e-27
C75	x2 y9	-7.2100247157e-29	-4.6439797918e-27	-5.2565373117e-29
C77	y11	1.3301029011e-29	-1.8953756890e-26	-7.0819666832e-27
C78	x12	-3.3296148555e-33	1.3239941400e-32	-2.0729002740e-33
C80	x10 y2	-4.4315007030e-33	-9.1641447314e-33	-7.4225192102e-32
C82	x8 y4	-5.4668428180e-33	-1.2672002943e-31	1.7401517248e-30
C84	x6 y6	-1.5841891782e-31	-7.4993975030e-31	-4.0774480891e-30
C86	x4 y8	-6.4532760303e-31	-3.6442646667e-30	-8.5350496998e-30
C88	x2 y10	-6.8750421982e-31	-2.9961221520e-29	3.6204462043e-29
C90	y12	-8.5297719245e-31	-4.3360426174e-29	-1.4622041202e-29
C92	x12 y	-4.0212834897e-36	1.0507264515e-35	6.0402379514e-35
C94	x10 y3	1.6894902927e-35	-1.5777856793e-34	-1.3410185962e-33
C96	x8 y5	-6.6241368001e-35	-2.9267364596e-33	5.4000134366e-33
C98	x6 y7	-3.4592358157e-34	-1.2121004249e-32	3.5539620030e-32
C100	x4 y9	-8.4618703733e-34	-1.0529950289e-32	-1.1553229034e-31
C102	x2 y11	1.6857671901e-33	3.1075804968e-32	1.8876628811e-31
C104	y13	-3.1620346971e-34	4.5078475400e-31	9.3952888401e-32
C105	x14	1.0006173957e-38	-4.7173392505e-38	-3.1611260974e-38
C107	x12 y2	1.2606072095e-38	5.3945672442e-38	7.2686958799e-37
C109	x10 y4	-1.3769117698e-38	-4.0949730465e-37	-2.6856409589e-37
C111	x8 y6	1.1653583695e-36	-7.0588388648e-36	-7.9009064966e-35
C113	x6 y8	5.3415178959e-36	-5.1710980076e-35	2.2692743090e-34
C115	x4 y 10	1.5183025247e-35	1.2222894861e-34	-5.3519263558e-34
C117	x2 y 12	6.5717180735e-36	9.2712109505e-34	-3.3530775957e-34
C119	y14	1.8930163900e-35	3.7230408021e-33	-1.1676385781e-34
C121	x14 y	1.9156423575e-41	-5.2481460546e-41	-1.9430378714e-40
C123	x12 y3	-9.6526522975e-41	4.8749151093e-40	-3.2109411342e-39
C125	x10 y5	2.5976650734e-40	1.0128517038e-38	7.4480844935e-38
C 127	x8 y7	3.6841487043e-39	2.2739382598e-38	-3.0640169251e-37
C129	x6 y9	1.4848159225e-38	-1.5178190141e-37	1.0405896222e-36
C131	x4 y 11	1.7087485119e-38	8.7138854455e-37	4.3892374590e-37
C133	x2 y13	-1.4202211694e-38	3.7836901980e-36	-9.4843249855e-37
C135	y15	-9.3071378412e-39	1.2291411237e-35	-7.6646591874e-37
C136	x16	-1.2321358664e-44	7.2524742057e-44	1.8666440251e-43
C138	x14 y2	-8.5627997438e-45	-1.6771563823e-43	2.4528726105e-42
C140	x12 y4	1.8980935782e-43	3.4497879408e-42	-5.8179573641e-41
C142	x10 y6	-2.5770678558e-42	6.1063434002e-41	3.5083746920e-40
C144	x8 y8	-2.0077588188e-41	7.3243693089e-41	-8.8339453305e-40
C146	x6 y 1 0	-5.4806874518e-41	-3.1471559662e-40	-1.4611021872e-39
C148	x4 y12	-1.3350667699e-40	2.2003923023e-39	1.9519492699e-39
C150	x2 y 14	3.7311819683e-41	6.6393335022e-39	5.0719281479e-39
C152	y16	-2.0333209336e-40	2.0037532539e-38	1.7782589225e-39
C154	x16 y	-4.3659638286e-47	9.2415996013e-47	-2.0178429814e-45
C156	x14 y3	2.5197400860e-46	-1.0059179734e-45	2.7052640304e-44
C158	x12 y5	1.9465252624e-46	1.2155645874e-44	-1.3091308056e-43
C160	x10 y7	-1.2479206495e-44	7.9915423766e-44	1.2213749900e-43
C162	x8 y9	-6.5896848383e-44	2.1222052043e-44	8.5514865155e-43
C164	x6 y 11	-1.7588209587e-43	-2.8063844279e-43	7.2246193014e-43
C166	x4 y13	-5.2069132088e-44	2.0388657427e-42	-5.1043660371e-42
C168	x2 y15	-1.6305076286e-43	4.4231853086e-42	-3.5774652257e-42
C170	y17	3.6997125156e-43	1.3319654288e-41	-1.4430765958e-42

Tabelle 2c zu Fig. 11

Koeffizient Formel		M07	M08	M09
C2	y	-1.1348774928e-02	-1.4920605714e-01	-3.5731904881e-02
C7	x2 y	1.3752006801e-07	6.0376231988e-07	-1.1820043730e-08
C9	y3	-2.2253390513e-08	-2.2028692249e-06	-5.2251179034e-08
C10	x4	6.1840627352e-11	3.4815167454e-10	-1.3919062298e-11
C12	x2 y2	-1.6291462426e-10	1.1293567394e-09	-5.8883107633e-11
C14	y4	-4.4929267365e-12	7.8691010564e-09	-1.6161000327e-11
C16	x4 y	-1.7893043926e-13	7.4415193698e-13	-7.1390483160e-15
C18	x2 y3	2.1530589161e-14	5.1298993653e-13	-6.0542884313e-14
C20	y5	-6.0544689534e-16	-4.1513524605e-11	-5.7584073886e-14
C21	x6	-1.4092009628e-16	3.4326366053e-16	-1.3541593900e-17
C23	x4 y2	4.5160531122e-17	5.3426628848e-15	-1.1446846353e-16
C25	x2 y4	-4.6184345527e-17	1.4452684505e-14	-1.1997477640e-16
C27	y6	8.1101941542e-17	2.1130604675e-13	-3.1370580760e-17
C29	x6 y	1.6806362365e-19	2.2784857821e-18	1.3527597264e-21
C31	x4 y3	-6.1847530898e-21	-8.0710977910e-19	-7.5827992451e-20
C33	x2 y5	6.9683527703e-19	-5.3482180021e-17	-1.3912492629e-19
C35	y7	2.0479838179e-19	-1.1838503578e-15	-6.8041255305e-20
C36	x8	-2.8687549310e-22	3.2469040566e-22	-2.6005720664e-23
C38	x6 y2	-4.5075225219e-22	1.8220882524e-20	-1.7230443056e-22
C40	x4 y4	2.9155792772e-21	1.2082087376e-19	-3.0813925515e-22
C42	x2 y6	1.8297876976e-21	2.9885471677e-20	-2.1217282081e-22
C44	y8	-1.4016809719e-22	6.1775015986e-18	-4.1916884927e-23
C46	x8 y	3.3182148994e-24	1.2427519344e-23	-2.8346767516e-27
C48	x6 y3	7.1065874783e-24	9.2772761164e-23	-7.7516377661e-26
C50	x4 y5	6.7411544184e-24	-4.8521227065e-22	-2.4544647178e-25
C52	x2 y7	-2.7233589056e-24	-2.7360125656e-21	-2.7653360284e-25
C54	y9	-6.0426415076e-25	-4.8491183366e-20	-1.3358853512e-25
C55	x10	4.1816695835e-27	1.8567550583e-26	-2.6335926351e-29
C57	x8 y2	3.5731298179e-28	4.0705317229e-26	-2.1091583236e-28
C59	x6 y4	1.7046561148e-26	-8.9404225814e-25	-5.7209969806e-28
C61	x4 y6	-3.0722653874e-26	5.6647986443e-24	-7.7053680693e-28
C63	x2 y8	-1.8433964307e-26	9.3101986866e-23	-4.0585658664e-28
C65	y10	2.3212510459e-27	6.4942388530e-22	-1.0631866226e-28
C67	x10 y	-3.1964779713e-29	-1.5059812979e-29	-3.3915092601e-32
C69	x8 y3	5.7871121598e-29	-1.4827723959e-28	-3.1387758715e-31
C71	x6 y5	-1. 1382204863e-28	-1.6570506016e-26	-9.0101284431e-31
C73	x4 y7	-1.2422338864e-28	-1.0657853891e-25	-1.1356574602e-30
C75	x2 y9	-4.0212940174e-29	-2.5511262487e-25	-6.0208036777e-31
C77	y11	1.5249140850e-30	-5.4827902590e-24	5.5955638713e-32
C78	x12	1.3495422472e-32	-1.7671041634e-31	-3.4449684686e-35
C80	x10 y2	1.3630216775e-31	1.0168590667e-30	-7.4491311940e-34
C82	x8 y4	-4.4595068144e-31	2.9174040043e-29	-2.4485436893e-33
C84	x6 y6	-6.9110794712e-31	3.2163244600e-28	-2.6538149677e-33
C86	x4 y8	3.9072875265e-32	4.7882468210e-28	-8.6438392359e-34
C88	x2 y10	-4.2776082559e-32	-9.9496339208e-27	-5.4474417965e-34
C90	y12	-4.0382449589e-32	1.0800182841e-26	-4.4646078728e-35
C92	x12 y	9.4644776392e-35	3.6780170792e-34	4.2630004770e-37
C94	x10 y3	-1.0063782845e-33	-4.9985363341e-32	1.6027482386e-36
C96	x8 y5	-1.1990133129e-33	1.3155724940e-31	3.9979121743e-36
C98	x6 y7	-3.7244108989e-34	3.1964525029e-30	6.0600084441e-36
C100	x4 y9	7.6046344423e-34	9.3157742698e-30	4.7806792055e-36
C102	x2 y 11	5.9670494241 e-34	6.7612074962e-29	1.6580704954e-36
C104	y13	-1.0418777099e-34	1.8156402326e-28	-1.8212418339e-37
C105	x14	-3.9242477191 e-3 7	1.5876793343e-36	1.7896667356e-41
C107	x12 y2	-6.3794431095e-37	3.5199078304e-36	3.0309063583e-39
C109	x10 y4	-9.0455895990e-38	-1.9145393537e-35	1.4134546366e-38
C111	x8 y6	7.7213146022e-36	-7.7489976400e-33	2.1066167956e-38
C113	x6 y8	1.0850277852e-35	-6.3736910953e-32	8.4777394018e-39
C115	x4 y10	1.8213027599e-36	-8.9164225749e-32	-4.1649262064e-39
C117	x2 y12	2.7964211905e-36	5.8835687653e-31	-5.7888107792e-40
C119	y14	2.2965007624e-37	-1.5299854287e-30	-1.3661200429e-39
C121	x14 y	1.9254518668e-39	-4.2291498460e-39	-2.4931321940e-42
C123	x12 y3	3.7421518584e-39	1.6489953905e-36	-1.0118109989e-41
C125	x10 y5	1.0052325815e-38	1.0784194609e-35	-3.0452024280e-41
C127	x8 y7	4.7994984960e-38	-2.6765415444e-35	-6.4683125585e-41
C129	x6 y9	2.7805437843e-38	-1.0521751371e-34	-8.1808981995e-41
C131	x4 y11	5.0098959703e-39	-2.8450868963e-34	-6.4024783418e-41
C133	x2 y13	1.9707120610e-39	-9.7510362851e-33	-2.3129849468e-41
C135	y15	1.8068292101e-39	4.4032298032e-33	-4.7879162483e-42
C136	x16	1.7964732547e-42	-8.0043717536e-42	-3.1119690638e-46
C138	x14 y2	-3.4634876875e-42	-4.9769245890e-40	-1.7153569527e-44
C140	x12 y4	8.8197714245e-42	-1.4039625881e-38	-1.0358681312e-43
C 142	x10 y6	1.8459439364e-41	-1.0778920328e-38	-2.3233762017e-43
C 144	x8 y8	-7.5266441625e-41	1.5145997773e-36	-2.4694802799e-43
C146	x6 y10	-1.0068619059e-41	6.0070819847e-36	-1.1907412192e-43
C148	x4 y12	1.1703769681e-41	7.0247838528e-36	-2.9497705292e-44
C150	x2 y14	-7.9077184768e-42	5.0575488445e-35	-1.3171783272e-44
C152	y16	3.7906685258e-42	-2.4910032531e-36	1.1004026410e-44
C154	x16 y	-1.5960963919e-44	1.6679941911e-43	1.0320235529e-47
C156	x14 y3	-2.9048634618e-44	-2.3184492652e-41	3.9638558105e-47
C158	x12 y5	1.1858283715e-44	-3.2113942523e-40	1.1167527714e-46
C160	x10 y7	-2.2236632751e-43	-6.4856244604e-40	2.9283090118e-46
C162	x8 y9	-3.2975036687e-43	-5.9604652308e-39	4.7666066660e-46
C164	x6 y11	-5.6396011495e-44	-2.4450313680e-38	5.0501459894e-46
C166	x4 y13	1.0631470521e-44	-3.1932679124e-38	3.5985778781e-46
C168	x2 y15	-1.1144530927e-44	-9.1923799747e-38	9.5970458680e-47
C170	y17	2.7851214136e-45	1.1343290974e-38	2.0664533936e-47
C171	x18	0.0000000000e+00	3.9375732596e-48	5.9753258254e-52
C173	x16 y2	0.0000000000e+00	1.0307087267e-44	5.0721583942e-50
C175	x14 y4	0.0000000000e+00	3.6368228412e-43	3.8954973616e-49
C177	x12 y6	0.0000000000e+00	3.3814660153e-42	1.1175885430e-48
C179	x10 y8	0.0000000000e+00	-6.8968291066e-42	1.6561486421e-48
C181	x8 y10	0.0000000000e+00	-8.2305365297e-41	1.3521563199e-48
C183	x6 y12	0.0000000000e+00	-1.1918889581e-40	6.0966832906e-49
C185	x4 y14	0.0000000000e+00	4.5355037739e-41	2.2913122918e-49
C187	x2 y16	0.0000000000e+00	-1.7189922804e-40	7.7282788994e-50
C189	y18	0.0000000000e+00	-1.8713127632e-40	-4.9194440929e-50
C191	x18 y	0.0000000000e+00	-2.9206369406e-48	-2.9426280532e-53
C193	x16 y3	0.0000000000e+00	1.5360958094e-46	-1.0963860864e-52
C195	x14 y5	0.0000000000e+00	3.4383591823e-45	-2.5444802201e-52
C197	x12 y7	0.0000000000e+00	1.3293399038e-44	-8.1449465180e-52
C199	x10 y9	0.0000000000e+00	1.0362589116e-43	-1.7602650853e-51
C201	x8 y11	0.0000000000e+00	8.7261631414e-43	-2.3361031675e-51
C203	x6 y13	0.0000000000e+00	1.1225507032e-42	-2.1740594933e-51
C205	x4 y15	0.0000000000e+00	-2.9972727489e-43	-1.3861739697e-51
C207	x2 y17	0.0000000000e+00	1.0621264710e-42	-2.5782074215e-52
C209	y19	0.0000000000e+00	6.4846224645e-43	-4.4224002569e-53
C210	x20	0.0000000000e+00	2.1780935246e-52	-1.2652530920e-57
C212	x18 y2	0.0000000000e+00	-1.0018027351e-49	-1.0183880379e-55
C214	x16 y4	0.0000000000e+00	-4.3237998991e-48	-9.3616783757e-55
C216	x14 y6	0.0000000000e+00	-5.965679003 8e-4 7	-3.2943507940e-54
C218	x12 y8	0.0000000000e+00	-1.8942905369e-46	-6.2250961218e-54
C220	x10 y10	0.0000000000e+00	1.9395036004e-46	-7.1673055907e-54
C222	x8 y12	0.0000000000e+00	-2.8773625465e-45	-5.1209723011e-54
C224	x6 y14	0.0000000000e+00	-1.8253899663e-45	-2.4592281370e-54
C226	x4 y16	0.0000000000e+00	3.9499717746e-45	-1.0825944878e-54
C228	x2 y18	0.0000000000e+00	-1.7744005721e-45	-3.1636322876e-55
C230	y20	0.0000000000e+00	-6.2860151552e-46	1.0677067809e-55
C232	x20 y	0.0000000000e+00	2.7907248679e-53	5.4170493815e-59
C234	x18 y3	0.0000000000e+00	-1.7536376717e-52	2.0040025669e-58
C236	x16 y5	0.0000000000e+00	-1.0741780319e-50	2.6778693468e-58
C23 8	x14 y7	0.0000000000e+00	-1.9565630173e-50	9.5174079031e-58
C240	x12 y9	0.0000000000e+00	-2.4336263050e-49	3.0277013019e-57
C242	x10 y11	0.0000000000e+00	-7.4674339668e-48	5.4607525129e-57
C244	x8 y13	0.0000000000e+00	-1.3245707001e-48	6.0367208461e-57
C246	x6 y15	0.0000000000e+00	-9.1798389155e-48	5.0735080872e-57
C248	x4 y17	0.0000000000e+00	-1.9359588901e-47	2.8943396125e-57
C250	x2 y19	0.0000000000e+00	2.3118623009e-48	3.0155025077e-58
C252	y21	0.0000000000e+00	-2.7373247463e-49	3.5059948849e-59
C253	x22	0.0000000000e+00	-1.2241194491e-57	1.6521910090e-63
C255	x20 y2	0.0000000000e+00	4.9093968450e-55	1.1507014469e-61
C257	x18 y4	0.0000000000e+00	2.5554407873e-53	1.2335001759e-60
C259	x16 y6	0.0000000000e+00	4.4647838054e-52	5.1759972347e-60
C261	x14 y8	0.0000000000e+00	2.5266956588e-51	1.1832935678e-59
C263	x12 y10	0.0000000000e+00	5.1193057790e-51	1.7209970170e-59
C265	x10 y12	0.0000000000e+00	4.2116673522e-50	1.6697044761e-59
C267	x8 y14	0.0000000000e+00	4.5607056988e-50	1.1073693092e-59
C269	x6 y16	0.0000000000e+00	5.3930502282e-50	5.4790439700e-60
C271	x4 y18	0.0000000000e+00	4.3433417566e-50	2.3940422055e-60
C273	x2 y20	0.0000000000e+00	-6.0102304790e-51	6.3433124458e-61
C275	y22	0.0000000000e+00	-1.3021240966e-51	-1.1434205406e-61
C277	x22 y	0.0000000000e+00	-1.3752006651e-58	-5.7591473331e-65
C279	x20 y3	0.0000000000e+00	-3.1336221519e-57	-2.2401979300e-64
C281	x18 y5	0.0000000000e+00	-5.8471897904e-56	-3.8720525899e-65
C283	x16 y7	0.0000000000e+00	-9.7405855780e-55	1.4935062627e-64
C285	x14 y9	0.0000000000e+00	-5.3928439732e-54	-1.3836098017e-63
C287	x12 y11	0.0000000000e+00	-1.6286330402e-54	-4.8200427136e-63
C289	x10 y13	0.0000000000e+00	-1.1081308543e-52	-7.7439366071e-63
C291	x8 y15	0.0000000000e+00	-1.9572566549e-52	-7.1061315979e-63
C293	x6 y17	0.0000000000e+00	-1.4806798269e-52	-5.6944505177e-63
C295	x4 y19	0.0000000000e+00	-3.8987189992e-53	-2.9277864067e-63
C297	x2 y21	0.0000000000e+00	3 . 8027778077e-54	-2.6253067823e-66
C299	y23	0.0000000000e+00	4.2738668138e-54	1.2057545326e-65
C300	x24	0.0000000000e+00	2.3494752094e-63	-1.3215257890e-69
C302	x22 y2	0.0000000000e+00	-9.6716043230e-61	-6.3655068463e-68
C304	x20 y4	0.0000000000e+00	-6.0319071247e-59	-7.4750655067e-67
C306	x18 y6	0.0000000000e+00	-1.2711678181e-57	-3.6406079137e-66
C308	x16 y8	0.0000000000e+00	-9.0578730657e-57	-9.8446295868e-66
C310	x14 y10	0.0000000000e+00	-2.4445820324e-56	-1.7442893102e-65
C312	x12 y12	0.0000000000e+00	-5.9263467408e-56	-2.1511650130e-65
C314	x10 y14	0.0000000000e+00	1.5556377832e-55	-1.9059452317e-65
C316	x8 y16	0.0000000000e+00	4.3296606082e-55	-1.2448006553e-65
C318	x6 y18	0.0000000000e+00	2.6471465669e-55	-6.2076071151 e-66
C320	x4 y20	0.0000000000e+00	-5.1155182377e-57	-2.4942731863e-66
C322	x2 y22	0.0000000000e+00	2.0828902387e-56	-5.9481583250e-67
C324	y24	0.0000000000e+00	2.4371663593e-57	3.6919832501e-68
C326	x24 y	0.0000000000e+00	2.7817901576e-64	2.7253381840e-71
C328	x22 y3	0.0000000000e+00	1.2193036485e-62	1.1402529442e-70
C330	x20 y5	0.0000000000e+00	3.6048109800e-61	-1.2811478597e-70
C332	x18 y7	0.0000000000e+00	5.2538923556e-60	-1.1260098742e-69
C334	x16 y9	0.0000000000e+00	2.9822451128e-59	-2.0745917249e-69
C336	x14 y11	0.0000000000e+00	6.9528798459e-59	-2.2961841694e-69
C338	x12 y13	0.0000000000e+00	1.0498697699e-58	-1.1696313890e-69
C340	x10 y15	0.0000000000e+00	-1.0808255980e-58	-5.3335610140e-70
C342	x8 y17	0.0000000000e+00	-4.0893649314e-58	-8.2391936460e-70
C344	x6 y19	0.0000000000e+00	-2.3139763174e-58	3.3440602997e-70
C346	x4 y21	0.0000000000e+00	1.9648385462e-59	3.1070101717e-70
C348	x2 y23	0.0000000000e+00	-2.9734963487e-59	-3.5390326863e-70
C350	y25	0.0000000000e+00	-8.7594579702e-60	-4.0271815412e-71

ε = 0 Tabelle 3a zu Fig. 11

	D _x [mm]	D _y [mm]	D _z [mm]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	0.000000000	210.953389771	2249.839628297
M02	-0.000000000	460.071505770	1182.097903052
M03	-0.000000000	849.718200587	696.185056353
M04	-0.000000000	1619.066243992	212.593708336
M05	-0.000000000	2353.538171440	46.424871688
M06	-0.000000000	3223.744899167	57.126817942
M07	-0.000000000	3602.716008089	437.691467561
M08	0.000000000	4078.944368160	2395.721730466
Blende	0.000000000	4053.365493857	2311.011725448
M09	0.000000000	3917.484802747	1733.878201039
Wafer	0.000000000	3917.476056173	2500.291807211

ε = 0 Tabelle 3b zu Fig. 11

	α _x [°]	α _y [°]	α _z [°]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	3.885023905	0.000000000	0.000000000
M02	115.943625294	-0.000000000	-0.000000000
M03	138.241476516	-0.000000000	-0.000000000
M04	157.606189264	-0.000000000	-0.000000000
M05	174.019444651	-0.000000000	0.000000000
M06	202.945779189	-0.000000000	0.000000000
M07	240.680417048	-0.000000000	0.000000000
M08	-13.717935288	0.000000000	0.000000000
Blende	181.654886249	-0.000000000	-0.000000000
M09	173.143877325	-0.000000000	-0.000000000
Wafer	-0.000000302	0.000000000	180.000000000

ε = 0 Tabelle 4 zu Fig. 11

x_i [mm]	y _i [mm]	x _i+N/2 [mm]	y _i+N/2 [mm]
-383.633094	8.389883	383.344871	-4.811814
-383.343588	14.927986	382.766174	-11.468625
-382.766741	21.419925	381.898227	-18.158031
-381.904642	27.862596	380.742232	-24.876359
-380.759976	34.253006	379.300058	-31.619830
-379.335984	40.588272	377.574232	-38.384561
-377.636424	46.865620	375.567918	-45.166576
-375.665527	53.082376	373.284886	-51.961810
-373.427947	59.235962	370.729485	-58.766118
-370.928712	65.323889	367.906603	-65.575292
-368.173178	71.343750	364.821629	-72.385060
-365.166974	77.293211	361.480412	-79.191107
-361.915959	83.170004	357.889212	-85.989075
-358.426168	88.971918	354.054657	-92.774577
-354.703773	94.696794	349.983696	-99.543195
-350.755039	100.342520	345.683553	-106.290491
-346.586283	105.907024	341.161678	-113.012003
-342.203840	111.388267	336.425703	-119.703252
-337.614030	116.784245	331.483398	-126.359740
-332.823130	122.092983	326.342627	-132.976958
-327.837349	127.312532	321.011310	-139.550389
-322.662807	132.440970	315.497381	-146.075512
-317.305516	137.476401	309.808754	-152.547807
-311.771370	142.416953	303.953293	-158.962765
-306.066132	147.260784	297.938774	-165.315880
-300.195427	152.006076	291.772862	-171.602659
-294.164741	156.651045	285.463081	-177.818610
-287.979421	161.193937	279.016793	-183.959236
-281.644672	165.633032	272.441175	-190.020027
-275.165567	169.966649	265.743202	-195.996444
-268.547049	174.193146	258.929627	-201.883910
-261.793940	178.310922	252.006974	-207.677799
-254.910948	182.318420	244.981526	-213.373427
-247.902676	186.214126	237.859318	-218.966045
-240.773629	189.996575	230.646132	-224.450843
-233.528229	193.664344	223.347499	-229.822945
-226.170816	197.216060	215.968694	-235.077412
-218.705661	200.650395	208.514743	-240.209242
-211.136972	203.966067	200.990425	-245.213376
-203.468905	207.161842	193.400276	-250.084685
-195.705567	210.236529	185.748595	-254.817980
-187.851025	213.188986	178.039453	-259.407996
-179.909310	216.018113	170.276701	-263.849394
-171.884427	218.722858	162.463979	-268.136757
-163.780354	221.302212	154.604725	-272.264589
-155.601054	223.755213	146.702195	-276.227320
-147.350474	226.080943	138.759465	-280.019317
-139.032550	228.278531	130.779455	-283.634903
-130.651212	230.347150	122.764939	-287.068373
-122.210387	232.286021	114.718557	-290.314032
-113.714000	234.094410	106.642834	-293.366219
-105.165979	235.771634	98.540191	-296.219353
-96.570256	237.317053	90.412958	-298.867971
-87.930766	238.730079	82.263388	-301.306775
-79.251452	240.010172	74.093669	-303.530682
-70.536266	241.156842	65.905932	-305.534870
-61.789165	242.169650	57.702263	-307.314837
-53.014117	243.048206	49.484713	-308.866449
-44.215096	243.792172	41.255305	-310.185991
-35.396085	244.401263	33.016041	-311.270225
-26.561073	244.875243	24.768906	-312.116426
-17.714054	245.213931	16.515876	-312.722432
-8.859029	245.417196	8.258919	-313.086671
0.000000	245.484960	0.000000	-313.208191
8.859029	245.417196	-8.258919	-313.086671
17.714054	245.213931	-16.515876	-312.722432
26.561073	244.875243	-24.768906	-312.116426
35.396085	244.401263	-33.016041	-311.270225
44.215096	243.792172	-41.255305	-310.185991
53.014117	243.048206	-49.484713	-308.866449
61.789165	242.169650	-57.702263	-307.314837
70.536266	241.156842	-65.905932	-305.534870
79.251452	240.010172	-74.093669	-303.530682
87.930766	238.730079	-82.263388	-301.306775
96.570256	237.317053	-90.412958	-298.867971
105.165979	235.771634	-98.540191	-296.219353
113.714000	234.094410	-106.642834	-293.366219
122.210387	232.286021	-114.718557	-290.314032
130.651212	230.347150	-122.764939	-287.068373
139.032550	228.278531	-130.779455	-283.634903
147.350474	226.080943	-138.759465	-280.019317
155.601054	223.755213	-146.702195	-276.227320
163.780354	221.302212	-154.604725	-272.264589
171.884427	218.722858	-162.463979	-268.136757
179.909310	216.018113	-170.276701	-263.849394
187.851025	213.188986	-178.039453	-259.407996
195.705567	210.236529	-185.748595	-254.817980
203.468905	207.161842	-193.400276	-250.084685
211.136972	203.966067	-200.990425	-245.213376
218.705661	200.650395	-208.514743	-240.209242
226.170816	197.216060	-215.968694	-235.077412
233.528229	193.664344	-223.347499	-229.822945
240.773629	189.996575	-230.646132	-224.450843
247.902676	186.214126	-237.859318	-218.966045
254.910948	182.318420	-244.981526	-213.373427
261.793940	178.310922	-252.006974	-207.677799
268.547049	174.193146	-258.929627	-201.883910
275.165567	169.966649	-265.743202	-195.996444
281.644672	165.633032	-272.441175	-190.020027
287.979421	161.193937	-279.016793	-183.959236
294.164741	156.651045	-285.463081	-177.818610
300.195427	152.006076	-291.772862	-171.602659
306.066132	147.260784	-297.938774	-165.315880
311.771370	142.416953	-303.953293	-158.962765
317.305516	137.476401	-309.808754	-152.547807
322.662807	132.440970	-315.497381	-146.075512
327.837349	127.312532	-321.011310	-139.550389
332.823130	122.092983	-326.342627	-132.976958
337.614030	116.784245	-331.483398	-126.359740
342.203840	111.388267	-336.425703	-119.703252
346.586283	105.907024	-341.161678	-113.012003
350.755039	100.342520	-345.683553	-106.290491
354.703773	94.696794	-349.983696	-99.543195
358.426168	88.971918	-354.054657	-92.774577
361.915959	83.170004	-357.889212	-85.989075
365.166974	77.293211	-361.480412	-79.191107
368.173178	71.343750	-364.821629	-72.385060
370.928712	65.323889	-367.906603	-65.575292
373.427947	59.235962	-370.729485	-58.766118
375.665527	53.082376	-373.284886	-51.961810
377.636424	46.865620	-375.567918	-45.166576
379.335984	40.588272	-377.574232	-38.384561
380.759976	34.253006	-379.300058	-31.619830
381.904642	27.862596	-380.742232	-24.876359
382.766741	21.419925	-381.898227	-18.158031
383.343588	14.927986	-382.766174	-11.468625
383.633094	8.389883	-383.344871	-4.811814
383.633794	1.808838	-383.633794	1.808838

ε = +5,6 ppm Tabelle 5a zu Fig. 11

	D _x [mm]	D _y [mm]	D _z [mm]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	0.000000000	210.937512954	2249.835844067
M02	-0.000000000	460.079282034	1182.097677043
M03	-0.000000000	849.739979051	696.181047935
M04	-0.000000000	1619.101866137	212.601785949
M05	-0.000000000	2353.577523631	46.451530159
M06	-0.000000000	3223.776386814	57.148701814
M07	-0.000000000	3602.768483393	437.731500550
M08	0.000000000	4078.999912276	2395.753580454
Blende	0.000000000	4053.402202061	2311.043043106
M09	0.000000000	3917.536759940	1733.911165053
Wafer	0.000000000	3917.513445886	2500.299769149

ε = +5,6 ppm Tabelle 5b zu Fig. 11

	α _x [°]	α _y [°]	α _z [°]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	3.886342463	0.000000000	0.000000000
M02	115.944372884	-0.000000000	-0.000000000
M03	138.242466886	-0.000000000	-0.000000000
M04	157.607317604	-0.000000000	-0.000000000
M05	174.019961951	-0.000000000	0.000000000
M06	202.945843186	-0.000000000	0.000000000
M07	240.680495408	-0.000000000	0.000000000
M08	-13.718226439	0.000000000	0.000000000
Blende	181.654980033	-0.000000000	-0.000000000
M09	173.143554762	-0.000000000	-0.000000000
Wafer	-0.000000302	0.000000000	180.000000000

ε = +5,6 ppm Tabelle 6 zu Fig. 11

x_i [mm]	y _i [mm]	x _i+N/2 [mm]	y _i+N/2 [mm]
-383.633103	8.369170	383.344937	-4.832778
-383.343580	14.907404	382.766280	-11.489707
-382.766722	21.399480	381.898381	-18.179227
-381.904621	27.842293	380.742439	-24.897666
-380.759960	34.232849	379.300326	-31.641243
-379.335980	40.568268	377.574567	-38.406078
-377.636439	46.845773	375.568325	-45.188194
-375.665566	53.062691	373.285369	-51.983524
-373.428016	59.216445	370.730049	-58.787928
-370.928818	65.304546	367.907252	-65.597193
-368.173325	71.324586	364.822366	-72.407050
-365.167166	77.274231	361.481238	-79.213184
-361.916200	83.151212	357.890129	-86.011237
-358.426461	88.953320	354.055667	-92.796821
-354.704121	94.678395	349.984798	-99.565520
-350.755444	100.324325	345.684747	-106.312895
-346.586745	105.889036	341.162963	-113.034483
-342.204361	111.370492	336.427076	-119.725806
-337.614609	116.766686	331.484858	-126.382366
-332.823768	122.075643	326.344170	-132.999654
-327.838045	127.295416	321.012932	-139.573153
-322.663559	132.424080	315.499078	-146.098341
-317.306323	137.459740	309.810522	-152.570699
-311.772229	142.400524	303.955127	-158.985717
-306.067039	147.244588	297.940667	-165.338890
-300.196381	151.990116	291.774809	-171.625723
-294.165738	156.635322	285.465076	-177.841725
-287.980458	161.178451	279.018830	-183.982399
-281.645745	165.617784	272.443247	-190.043235
-275.166672	169.951640	265.745302	-196.019693
-268.548182	174.178375	258.931748	-201.907197
-261.795096	178.296388	252.009109	-207.701119
-254.912123	182.304123	244.983669	-213.396775
-247.903865	186.200064	237.861461	-218.989419
-240.774829	189.982745	230.648269	-224.474238
-233.529435	193.650745	223.349622	-229.846357
-226.172023	197.202688	215.970797	-235.100836
-218.706864	200.637247	208.516820	-240.232675
-211.138169	203.953139	200.992469	-245.236812
-203.470090	207.149130	193.402281	-250.108121
-195.706736	210.224028	185.750555	-254.841411
-187.852174	213.176690	178.041363	-259.431418
-179.910435	216.006017	170.278556	-263.872804
-171.885524	218.710956	162.465772	-268.160150
-163.781420	221.290498	154.606454	-272.287961
-155.602086	223.743679	146.703853	-276.250669
-147.351467	226.069583	138.761050	-280.042640
-139.033501	228.267336	130.780964	-283.658196
-130.652119	230.336112	122.766366	-287.091636
-122.211246	232.275132	114.719901	-290.337261
-113.714809	234.083662	106.644092	-293.389415
-105.166736	235.761017	98.541360	-296.242514
-96.570958	237.306558	90.414036	-298.891098
-87.931410	238.719696	82.264374	-301.329869
-79.252038	239.999892	74.094560	-303.553742
-70.536791	241.146654	65.906726	-305.557900
-61.789628	242.159543	57.702960	-307.337838
-53.014516	243.038170	49.485313	-308.889422
-44.215431	243.782197	41.255806	-310.208942
-35.396354	244.391338	33.016442	-311.293156
-26.561275	244.865357	24.769207	-312.139341
-17.714190	245.204073	16.516077	-312.745336
-8.859097	245.407355	8.259020	-313.109568
0.000000	245.475124	0.000000	-313.231085
8.859097	245.407355	-8.259020	-313.109568
17.714190	245.204073	-16.516077	-312.745336
26.561275	244.865357	-24.769207	-312.139341
35.396354	244.391338	-33.016442	-311.293156
44.215431	243.782197	-41.255806	-310.208942
53.014516	243.038170	-49.485313	-308.889422
61.789628	242.159543	-57.702960	-307.337838
70.536791	241.146654	-65.906726	-305.557900
79.252038	239.999892	-74.094560	-303.553742
87.931410	238.719696	-82.264374	-301.329869
96.570958	237.306558	-90.414036	-298.891098
105.166736	235.761017	-98.541360	-296.242514
113.714809	234.083662	-106.644092	-293.389415
122.211246	232.275132	-114.719901	-290.337261
130.652119	230.336112	-122.766366	-287.091636
139.033501	228.267336	-130.780964	-283.658196
147.351467	226.069583	-138.761050	-280.042640
155.602086	223.743679	-146.703853	-276.250669
163.781420	221.290498	-154.606454	-272.287961
171.885524	218.710956	-162.465772	-268.160150
179.910435	216.006017	-170.278556	-263.872804
187.852174	213.176690	-178.041363	-259.431418
195.706736	210.224028	-185.750555	-254.841411
203.470090	207.149130	-193.402281	-250.108121
211.138169	203.953139	-200.992469	-245.236812
218.706864	200.637247	-208.516820	-240.232675
226.172023	197.202688	-215.970797	-235.100836
233.529435	193.650745	-223.349622	-229.846357
240.774829	189.982745	-230.648269	-224.474238
247.903865	186.200064	-237.861461	-218.989419
254.912123	182.304123	-244.983669	-213.396775
261.795096	178.296388	-252.009109	-207.701119
268.548182	174.178375	-258.931748	-201.907197
275.166672	169.951640	-265.745302	-196.019693
281.645745	165.617784	-272.443247	-190.043235
287.980458	161.178451	-279.018830	-183.982399
294.165738	156.635322	-285.465076	-177.841725
300.196381	151.990116	-291.774809	-171.625723
306.067039	147.244588	-297.940667	-165.338890
311.772229	142.400524	-303.955127	-158.985717
317.306323	137.459740	-309.810522	-152.570699
322.663559	132.424080	-315.499078	-146.098341
327.838045	127.295416	-321.012932	-139.573153
332.823768	122.075643	-326.344170	-132.999654
337.614609	116.766686	-331.484858	-126.382366
342.204361	111.370492	-336.427076	-119.725806
346.586745	105.889036	-341.162963	-113.034483
350.755444	100.324325	-345.684747	-106.312895
354.704121	94.678395	-349.984798	-99.565520
358.426461	88.953320	-354.055667	-92.796821
361.916200	83.151212	-357.890129	-86.011237
365.167166	77.274231	-361.481238	-79.213184
368.173325	71.324586	-364.822366	-72.407050
370.928818	65.304546	-367.907252	-65.597193
373.428016	59.216445	-370.730049	-58.787928
375.665566	53.062691	-373.285369	-51.983524
377.636439	46.845773	-375.568325	-45.188194
379.335980	40.568268	-377.574567	-38.406078
380.759960	34.232849	-379.300326	-31.641243
381.904621	27.842293	-380.742439	-24.897666
382.766722	21.399480	-381.898381	-18.179227
383.343580	14.907404	-382.766280	-11.489707
383.633103	8.369170	-383.344937	-4.832778
383.633828	1.787997	-383.633828	1.787997

ε = +2,8 ppm Tabelle 7a zu Fig. 11

	D _x [mm]	D _y [mm]	D _z [mm]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	0.000000000	210.941510012	2249.837746679
M02	-0.000000000	460.071492698	1182.097809043
M03	-0.000000000	849.725208553	696.183069583
M04	-0.000000000	1619.080185252	212.597786750
M05	-0.000000000	2353.553965926	46.438258042
M06	-0.000000000	3223.756771620	57.137825535
M07	-0.000000000	3602.738371017	437.711558583
M08	0.000000000	4078.968243464	2395.737728144
Blende	0.000000000	4053.379967206	2311.027532469
M09	0.000000000	3917.506891039	1733.894754201
Wafer	0.000000000	3917.490872170	2500.295871501

ε = +2,8 ppm Tabelle 7b zu Fig. 11

	α _x [°]	α _y [°]	α _Z [°]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	3.885685230	0.000000000	0.000000000
M02	115.944000744	-0.000000000	-0.000000000
M03	138.241973179	-0.000000000	-0.000000000
M04	157.606754830	-0.000000000	-0.000000000
M05	174.019704201	-0.000000000	0.000000000
M06	202.945811825	-0.000000000	0.000000000
M07	240.680456860	-0.000000000	0.000000000
M08	-13.718080313	0.000000000	0.000000000
Blende	181.654919612	-0.000000000	-0.000000000
M09	173.143716605	-0.000000000	-0.000000000
Wafer	-0.000000302	0.000000000	180.000000000

ε = +2,8 ppm Tabelle 8 zu Fig. 11

x_i [mm]	y _i [mm]	x _i+N/2 [mm]	y _i+N/2 [mm]
-383.633038	8.379576	383.344840	-4.822245
-383.343525	14.917743	382.766162	-11.479114
-382.766674	21.409750	381.898237	-18.168576
-381.904575	27.852491	380.742267	-24.886958
-380.759913	34.242973	379.300123	-31.630482
-379.335928	40.578314	377.574329	-38.395264
-377.636380	46.855739	375.568050	-45.177328
-375.665496	53.072575	373.285055	-51.972609
-373.427932	59.226244	370.729694	-58.776964
-370.928717	65.314257	367.906853	-65.586183
-368.173204	71.334206	364.821923	-72.395995
-365.167025	77.283758	361.480750	-79.202084
-361.916035	83.160644	357.889595	-86.000094
-358.426271	88.962653	354.055086	-92.785636
-354.703905	94.687628	349.984171	-99.554294
-350.755200	100.333454	345.684074	-106.301628
-346.586474	105.898060	341.162244	-113.023178
-342.204061	111.379408	336.426314	-119.714463
-337.614281	116.775493	331.484053	-126.370986
-332.823411	122.084339	326.343324	-132.988239
-327.837660	127.303998	321.012047	-139.561703
-322.663147	132.432547	315.498156	-146.086857
-317.305884	137.468091	309.809566	-152.559184
-311.771765	142.408758	303.954139	-158.974171
-306.066551	147.252703	297.939651	-165.327315
-300.195870	151.998112	291.773767	-171.614120
-294.165207	156.643198	285.464011	-177.830096
-287.979907	161.186206	279.017746	-183.970746
-281.645176	165.625419	272.442147	-190.031559
-275.166088	169.959153	265.744189	-196.007996
-268.547585	174.185767	258.930626	-201.895481
-261.794488	178.303660	252.007983	-207.689386
-254.911506	182.311274	244.982540	-213.385028
-247.903242	186.207097	237.860334	-218.977659
-240.774201	189.989660	230.647147	-224.462467
-233.528805	193.657542	223.348509	-229.834578
-226.171393	197.209370	215.969696	-235.089050
-218.706237	200.643816	208.515734	-240.220886
-211.137545	203.959596	200.991401	-245.225021
-203.469473	207.155477	193.401234	-250.096330
-195.706128	210.230268	185.749533	-254.829623
-187.851577	213.182826	178.040369	-259.419635
-179.909851	216.012051	170.277591	-263.861027
-171.884954	218.716892	162.464840	-268.148382
-163.780867	221.296338	154.605556	-272.276204
-155.601551	223.749428	146.702992	-276.238923
-147.350952	226.075243	138.760228	-280.030908
-139.033008	228.272912	130.780182	-283.646479
-130.651649	230.341609	122.765627	-287.079934
-122.210801	232.280553	114.719205	-290.325577
-113.714390	234.089012	106.643440	-293.377747
-105.166344	235.766299	98.540755	-296.230865
-96.570594	237.311779	90.413478	-298.879466
-87.931077	238.724860	82.263864	-301.318254
-79.251735	240.005003	74.094099	-303.542144
-70.536519	241.151719	65.906316	-305.546318
-61.789389	242.164566	57.702600	-307.326270
-53.014310	243.043157	49.485003	-308.877869
-44.215258	243.787153	41.255547	-310.197400
-35.396215	244.396269	33.016235	-311.281624
-26.561171	244.870268	24.769052	-312.127818
-17.714120	245.208970	16.515973	-312.733818
-8.859062	245.412243	8.258968	-313.098054
0.000000	245.480010	0.000000	-313.219572
8.859062	245.412243	-8.258968	-313.098054
17.714120	245.208970	-16.515973	-312.733818
26.561171	244.870268	-24.769052	-312.127818
35.396215	244.396269	-33.016235	-311.281624
44.215258	243.787153	-41.255547	-310.197400
53.014310	243.043157	-49.485003	-308.877869
61.789389	242.164566	-57.702600	-307.326270
70.536519	241.151719	-65.906316	-305.546318
79.251735	240.005003	-74.094099	-303.542144
87.931077	238.724860	-82.263864	-301.318254
96.570594	237.311779	-90.413478	-298.879466
105.166344	235.766299	-98.540755	-296.230865
113.714390	234.089012	-106.643440	-293.377747
122.210801	232.280553	-114.719205	-290.325577
130.651649	230.341609	-122.765627	-287.079934
139.033008	228.272912	-130.780182	-283.646479
147.350952	226.075243	-138.760228	-280.030908
155.601551	223.749428	-146.702992	-276.238923
163.780867	221.296338	-154.605556	-272.276204
171.884954	218.716892	-162.464840	-268.148382
179.909851	216.012051	-170.277591	-263.861027
187.851577	213.182826	-178.040369	-259.419635
195.706128	210.230268	-185.749533	-254.829623
203.469473	207.155477	-193.401234	-250.096330
211.137545	203.959596	-200.991401	-245.225021
218.706237	200.643816	-208.515734	-240.220886
226.171393	197.209370	-215.969696	-235.089050
233.528805	193.657542	-223.348509	-229.834578
240.774201	189.989660	-230.647147	-224.462467
247.903242	186.207097	-237.860334	-218.977659
254.911506	182.311274	-244.982540	-213.385028
261.794488	178.303660	-252.007983	-207.689386
268.547585	174.185767	-258.930626	-201.895481
275.166088	169.959153	-265.744189	-196.007996
281.645176	165.625419	-272.442147	-190.031559
287.979907	161.186206	-279.017746	-183.970746
294.165207	156.643198	-285.464011	-177.830096
300.195870	151.998112	-291.773767	-171.614120
306.066551	147.252703	-297.939651	-165.327315
311.771765	142.408758	-303.954139	-158.974171
317.305884	137.468091	-309.809566	-152.559184
322.663147	132.432547	-315.498156	-146.086857
327.837660	127.303998	-321.012047	-139.561703
332.823411	122.084339	-326.343324	-132.988239
337.614281	116.775493	-331.484053	-126.370986
342.204061	111.379408	-336.426314	-119.714463
346.586474	105.898060	-341.162244	-113.023178
350.755200	100.333454	-345.684074	-106.301628
354.703905	94.687628	-349.984171	-99.554294
358.426271	88.962653	-354.055086	-92.785636
361.916035	83.160644	-357.889595	-86.000094
365.167025	77.283758	-361.480750	-79.202084
368.173204	71.334206	-364.821923	-72.395995
370.928717	65.314257	-367.906853	-65.586183
373.427932	59.226244	-370.729694	-58.776964
375.665496	53.072575	-373.285055	-51.972609
377.636380	46.855739	-375.568050	-45.177328
379.335928	40.578314	-377.574329	-38.395264
380.759913	34.242973	-379.300123	-31.630482
381.904575	27.852491	-380.742267	-24.886958
382.766674	21.409750	-381.898237	-18.168576
383.343525	14.917743	-382.766162	-11.479114
383.633038	8.379576	-383.344840	-4.822245
383.633749	1.798468	-383.633749	1.798468

ε = -5,6 ppm Tabelle 9a zu Fig. 11

	D _x [mm]	D _y [mm]	D _z [mm]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	0.000000000	211.003279257	2249.843355367
M02	-0.000000000	460.097492952	1182.098017940
M03	-0.000000000	849.730057491	696.188936610
M04	-0.000000000	1619.064224783	212.585331401
M05	-0.000000000	2353.532422630	46.397815883
M06	-0.000000000	3223.746942637	57.104474825
M07	-0.000000000	3602.697114368	437.650962931
M08	0.000000000	4078.922516576	2395.689385583
Blende	0.000000000	4053.362371994	2310.979738161
M09	0.000000000	3917.466499975	1733.844750929
Wafer	0.000000000	3917.472250291	2500.283261685

ε = -5,6 ppm Tabelle 9b zu Fig. 11

	α _x [°]	α _y [°]	α _z [°]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	3.883692674	0.000000000	0.000000000
M02	115.942866635	-0.000000000	-0.000000000
M03	138.240475801	-0.000000000	-0.000000000
M04	157.605051949	-0.000000000	-0.000000000
M05	174.018921702	-0.000000000	0.000000000
M06	202.945711800	-0.000000000	0.000000000
M07	240.680335451	-0.000000000	0.000000000
M08	-13.717647417	0.000000000	0.000000000
Blende	181.654910210	-0.000000000	-0.000000000
M09	173.144196595	-0.000000000	-0.000000000
Wafer	-0.000000302	0.000000000	180.000000000

ε = -5,6 ppm Tabelle 10 zu Fig. 11

x_i [mm]	y _i [mm]	x _i +N/2 [mm]	y _i +N/2 [mm]
-383.633298	8.410008	383.345041	-4.791431
-383.343797	14.947975	382.766316	-11.448118
-382.766947	21.439773	381.898334	-18.137406
-381.904839	27.882299	380.742296	-24.855619
-380.760157	34.272558	379.300072	-31.598979
-379.336142	40.607668	377.574191	-38.363603
-377.636553	46.884855	375.567814	-45.145513
-375.665620	53.101445	373.284714	-51.940645
-373.427999	59.254859	370.729240	-58.744856
-370.928719	65.342611	367.906280	-65.553933
-368.173135	71.362290	364.821226	-72.363609
-365.166878	77.311565	361.479924	-79.169564
-361.915807	83.188166	357.888636	-85.967444
-358.425957	88.989884	354.053992	-92.752860
-354.703502	94.714561	349.982942	-99.521394
-350.754705	100.360082	345.682708	-106.268608
-346.585887	105.924377	341.160743	-112.990040
-342.203380	111.405408	336.424679	-119.681210
-337.613508	116.801170	331.482286	-126.337623
-332.822547	122.109688	326.341430	-132.954767
-327.836706	127.329014	321.010030	-139.528126
-322.662105	132.457227	315.496021	-146.053180
-317.304758	137.492430	309.807319	-152.525408
-311.770559	142.432753	303.951786	-158.940301
-306.065270	147.276352	297.937201	-165.293355
-300.194517	152.021412	291.771227	-171.580075
-294.163788	156.666146	285.461390	-177.795970
-287.978427	161.208803	279.015053	-183.936543
-281.643642	165.647663	272.439391	-189.997285
-275.164505	169.981046	265.741380	-195.973656
-268.545960	174.207309	258.927774	-201.861080
-261.792827	178.324851	252.005097	-207.654930
-254.909816	182.332117	244.979632	-213.350522
-247.901528	186.227594	237.857413	-218.943110
-240.772472	190.009814	230.644223	-224.427881
-233.527066	193.677358	223.345592	-229.799959
-226.169651	197.228852	215.966797	-235.054407
-218.704498	200.662969	208.512862	-240.186224
-211.135817	203.978427	200.988566	-245.190347
-203.467761	207.173991	193.398445	-250.061650
-195.704438	210.248473	185.746799	-254.794943
-187.849915	213.200729	178.037698	-259.384961
-179.908224	216.029662	170.274991	-263.826365
-171.883367	218.734219	162.462320	-268.113738
-163.779325	221.313391	154.603122	-272.241583
-155.600059	223.766217	146.700652	-276.204330
-147.349515	226.091779	138.757987	-279.996347
-139.031631	228.289206	130.778046	-283.611955
-130.650336	230.357673	122.763602	-287.045450
-122.209557	232.296400	114.717296	-290.291134
-113.713219	234.104654	106.641652	-293.343349
-105.165249	235.781751	98.539090	-296.196511
-96.569578	237.327052	90.411941	-298.845158
-87.930143	238.739970	82.262458	-301.283991
-79.250887	240.019964	74.092827	-303.507925
-70.535759	241.166545	65.905179	-305.512140
-61.788718	242.179274	57.701601	-307.292132
-53.013732	243.057761	49.484144	-308.843766
-44.214773	243.801669	41.254829	-310.163328
-35.395826	244.410712	33.015659	-311.247579
-26.560878	244.884655	24.768619	-312.093794
-17.713924	245.223316	16.515684	-312.699810
-8.858964	245.426565	8.258823	-313.064055
0.000000	245.494323	0.000000	-313.185576
8.858964	245.426565	-8.258823	-313.064055
17.713924	245.223316	-16.515684	-312.699810
26.560878	244.884655	-24.768619	-312.093794
35.395826	244.410712	-33.015659	-311.247579
44.214773	243.801669	-41.254829	-310.163328
53.013732	243.057761	-49.484144	-308.843766
61.788718	242.179274	-57.701601	-307.292132
70.535759	241.166545	-65.905179	-305.512140
79.250887	240.019964	-74.092827	-303.507925
87.930143	238.739970	-82.262458	-301.283991
96.569578	237.327052	-90.411941	-298.845158
105.165249	235.781751	-98.539090	-296.196511
113.713219	234.104654	-106.641652	-293.343349
122.209557	232.296400	-114.717296	-290.291134
130.650336	230.357673	-122.763602	-287.045450
139.031631	228.289206	-130.778046	-283.611955
147.349515	226.091779	-138.757987	-279.996347
155.600059	223.766217	-146.700652	-276.204330
163.779325	221.313391	-154.603122	-272.241583
171.883367	218.734219	-162.462320	-268.113738
179.908224	216.029662	-170.274991	-263.826365
187.849915	213.200729	-178.037698	-259.384961
195.704438	210.248473	-185.746799	-254.794943
203.467761	207.173991	-193.398445	-250.061650
211.135817	203.978427	-200.988566	-245.190347
218.704498	200.662969	-208.512862	-240.186224
226.169651	197.228852	-215.966797	-235.054407
233.527066	193.677358	-223.345592	-229.799959
240.772472	190.009814	-230.644223	-224.427881
247.901528	186.227594	-237.857413	-218.943110
254.909816	182.332117	-244.979632	-213.350522
261.792827	178.324851	-252.005097	-207.654930
268.545960	174.207309	-258.927774	-201.861080
275.164505	169.981046	-265.741380	-195.973656
281.643642	165.647663	-272.439391	-189.997285
287.978427	161.208803	-279.015053	-183.936543
294.163788	156.666146	-285.461390	-177.795970
300.194517	152.021412	-291.771227	-171.580075
306.065270	147.276352	-297.937201	-165.293355
311.770559	142.432753	-303.951786	-158.940301
317.304758	137.492430	-309.807319	-152.525408
322.662105	132.457227	-315.496021	-146.053180
327.836706	127.329014	-321.010030	-139.528126
332.822547	122.109688	-326.341430	-132.954767
337.613508	116.801170	-331.482286	-126.337623
342.203380	111.405408	-336.424679	-119.681210
346.585887	105.924377	-341.160743	-112.990040
350.754705	100.360082	-345.682708	-106.268608
354.703502	94.714561	-349.982942	-99.521394
358.425957	88.989884	-354.053992	-92.752860
361.915807	83.188166	-357.888636	-85.967444
365.166878	77.311565	-361.479924	-79.169564
368.173135	71.362290	-364.821226	-72.363609
370.928719	65.342611	-367.906280	-65.553933
373.427999	59.254859	-370.729240	-58.744856
375.665620	53.101445	-373.284714	-51.940645
377.636553	46.884855	-375.567814	-45.145513
379.336142	40.607668	-377.574191	-38.363603
380.760157	34.272558	-379.300072	-31.598979
381.904839	27.882299	-380.742296	-24.855619
382.766947	21.439773	-381.898334	-18.137406
383.343797	14.947975	-382.766316	-11.448118
383.633298	8.410008	-383.345041	-4.791431
383.633985	1.829095	-383.633985	1.829095

ε = -2,8 ppm Tabelle 11a zu Fig. 11

	D _x [mm]	D _y [mm]	D _z [mm]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	0.000000000	210.973859947	2249.841494943
M02	-0.000000000	460.080044244	1182.097968045
M03	-0.000000000	849.719684825	696.187009419
M04	-0.000000000	1619.060786586	212.589551701
M05	-0.000000000	2353.530860524	46.411381763
M06	-0.000000000	3223.741491788	57.115690058
M07	-0.000000000	3602.702123789	437.671252898
M08	0.000000000	4078.929002073	2395.705602468
Blende	0.000000000	4053.359494084	2310.995934930
M09	0.000000000	3917.471213138	1733.861520000
Wafer	0.000000000	3917.469718669	2500.287590978

ε = -2,8 ppm Tabelle 11b zu Fig. 11

	α _x [°]	α _y [°]	α _z [°]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	3.884359275	0.000000000	0.000000000
M02	115.943246962	-0.000000000	-0.000000000
M03	138.240977162	-0.000000000	-0.000000000
M04	157.605621364	-0.000000000	-0.000000000
M05	174.019183604	-0.000000000	0.000000000
M06	202.945745619	-0.000000000	0.000000000
M07	240.680376342	-0.000000000	0.000000000
M08	-13.717791170	0.000000000	0.000000000
Blende	181.654882577	-0.000000000	-0.000000000
M09	173.144037135	-0.000000000	-0.000000000
Wafer	-0.000000302	0.000000000	180.000000000

ε = -2,8 ppm

x_i [mm]	y _i [mm]	x _i +N/2 [mm]	y _i +N/2 [mm]
-383.633079	8.399954	383.344835	-4.801608
-383.343577	14.937986	382.766122	-11.458354
-382.766730	21.429851	381.898156	-18.147698
-381.904629	27.872446	380.742137	-24.865966
-380.759956	34.262778	379.299937	-31.609378
-379.335955	40.597963	377.574082	-38.374053
-377.636383	46.875227	375.567736	-45.156013
-375.665470	53.091896	373.284669	-51.951193
-373.427871	59.245393	370.729230	-58.755450
-370.928615	65.333229	367.906309	-65.564572
-368.173058	71.352996	364.821294	-72.374291
-365.166830	77.302361	361.480034	-79.180290
-361.915788	83.179054	357.888790	-85.978211
-358.425969	88.980867	354.054190	-92.763667
-354.703546	94.705639	349.983184	-99.532241
-350.754782	100.351260	345.682996	-106.279494
-346.585996	105.915655	341.161077	-113.000963
-342.203523	111.396789	336.425058	-119.692170
-337.613683	116.792655	331.482710	-126.348618
-332.822754	122.101279	326.341898	-132.965797
-327.836945	127.320713	321.010540	-139.539190
-322.662375	132.449035	315.496572	-146.064276
-317.305057	137.484348	309.807910	-152.536536
-311.770886	142.424782	303.952414	-158.951459
-306.065623	147.268493	297.937864	-165.304542
-300.194896	152.013665	291.771923	-171.591290
-294.164190	156.658513	285.462116	-177.807211
-287.978851	161.201284	279.015806	-183.947809
-281.644085	165.640258	272.440169	-190.008573
-275.164966	169.973754	265.742179	-195.984966
-268.546436	174.200130	258.928591	-201.872410
-261.793317	178.317785	252.005929	-207.666278
-254.910316	182.325164	244.980475	-213.361886
-247.902038	186.220751	237.858265	-218.954488
-240.772988	190.003082	230.645080	-224.439272
-233.527587	193.670736	223.346451	-229.811361
-226.170174	197.222337	215.967654	-235.065817
-218.705022	200.656559	208.513715	-240.197640
-211.136339	203.972121	200.989411	-245.201767
-203.468280	207.167787	193.399279	-250.073074
-195.704951	210.242369	185.747619	-254.806367
-187.850420	213.194722	178.038501	-259.396383
-179.908719	216.023749	170.275775	-263.837784
-171.883851	218.728396	162.463081	-268.125152
-163.779796	221.307657	154.603859	-272.252990
-155.600515	223.760567	146.701362	-276.215729
-147.349955	226.086211	138.758668	-280.007736
-139.032053	228.283716	130.778697	-283.623332
-130.650739	230.352257	122.764220	-287.056815
-122.209939	232.291053	114.717879	-290.302486
-113.713579	234.099373	106.642199	-293.354687
-105.165585	235.776531	98.539600	-296.207835
-96.569891	237.321889	90.412413	-298.856468
-87.930430	238.734859	82.262890	-301.295287
-79.251148	240.014902	74.093218	-303.519207
-70.535993	241.161526	65.905528	-305.523409
-61.788925	242.174293	57.701909	-307.303389
-53.013910	243.052813	49.484408	-308.855011
-44.214923	243.796749	41.255051	-310.174564
-35.395946	244.405815	33.015837	-311.258806
-26.560968	244.879776	24.768752	-312.105015
-17.713984	245.218451	16.515773	-312.711026
-8.858994	245.421707	8.258868	-313.075268
0.000000	245.489468	0.000000	-313.196788
8.858994	245.421707	-8.258868	-313.075268
17.713984	245.218451	-16.515773	-312.711026
26.560968	244.879776	-24.768752	-312.105015
35.395946	244.405815	-33.015837	-311.258806
44.214923	243.796749	-41.255051	-310.174564
53.013910	243.052813	-49.484408	-308.855011
61.788925	242.174293	-57.701909	-307.303389
70.535993	241.161526	-65.905528	-305.523409
79.251148	240.014902	-74.093218	-303.519207
87.930430	238.734859	-82.262890	-301.295287
96.569891	237.321889	-90.412413	-298.856468
105.165585	235.776531	-98.539600	-296.207835
113.713579	234.099373	-106.642199	-293.354687
122.209939	232.291053	-114.717879	-290.302486
130.650739	230.352257	-122.764220	-287.056815
139.032053	228.283716	-130.778697	-283.623332
147.349955	226.086211	-138.758668	-280.007736
155.600515	223.760567	-146.701362	-276.215729
163.779796	221.307657	-154.603859	-272.252990
171.883851	218.728396	-162.463081	-268.125152
179.908719	216.023749	-170.275775	-263.837784
187.850420	213.194722	-178.038501	-259.396383
195.704951	210.242369	-185.747619	-254.806367
203.468280	207.167787	-193.399279	-250.073074
211.136339	203.972121	-200.989411	-245.201767
218.705022	200.656559	-208.513715	-240.197640
226.170174	197.222337	-215.967654	-235.065817
233.527587	193.670736	-223.346451	-229.811361
240.772988	190.003082	-230.645080	-224.439272
247.902038	186.220751	-237.858265	-218.954488
254.910316	182.325164	-244.980475	-213.361886
261.793317	178.317785	-252.005929	-207.666278
268.546436	174.200130	-258.928591	-201.872410
275.164966	169.973754	-265.742179	-195.984966
281.644085	165.640258	-272.440169	-190.008573
287.978851	161.201284	-279.015806	-183.947809
294.164190	156.658513	-285.462116	-177.807211
300.194896	152.013665	-291.771923	-171.591290
306.065623	147.268493	-297.937864	-165.304542
311.770886	142.424782	-303.952414	-158.951459
317.305057	137.484348	-309.807910	-152.536536
322.662375	132.449035	-315.496572	-146.064276
327.836945	127.320713	-321.010540	-139.539190
332.822754	122.101279	-326.341898	-132.965797
337.613683	116.792655	-331.482710	-126.348618
342.203523	111.396789	-336.425058	-119.692170
346.585996	105.915655	-341.161077	-113.000963
350.754782	100.351260	-345.682996	-106.279494
354.703546	94.705639	-349.983184	-99.532241
358.425969	88.980867	-354.054190	-92.763667
361.915788	83.179054	-357.888790	-85.978211
365.166830	77.302361	-361.480034	-79.180290
368.173058	71.352996	-364.821294	-72.374291
370.928615	65.333229	-367.906309	-65.564572
373.427871	59.245393	-370.729230	-58.755450
375.665470	53.091896	-373.284669	-51.951193
377.636383	46.875227	-375.567736	-45.156013
379.335955	40.597963	-377.574082	-38.374053
380.759956	34.262778	-379.299937	-31.609378
381.904629	27.872446	-380.742137	-24.865966
382.766730	21.429851	-381.898156	-18.147698
383.343577	14.937986	-382.766122	-11.458354
383.633079	8.399954	-383.344835	-4.801608
383.633770	1.818978	-383.633770	1.818978

Weitere Daten der Projektionsoptik 31 ergeben sich aus der nachfolgenden Tabelle: Tabelle 3 zu Fig. 11

NA Numerische Apertur 0,75

|βx| Verkleinerungsmaßstab in Crossscanrichtung 4,3

|βy| Verkleinerungsmaßstab in Scanrichtung 8,0

N Anzahl der Spiegel 11
Die Spiegel M1, M3, M4, M6 und M9 haben negative Radiuswerte, sind also grundsätzlich Konkavspiegel. Die Spiegel M2 und M8 haben positive Radiuswerte, sind grundsätzlich also Konvexspiegel. Die Spiegel M5 und M7 haben R_x, R_y-Radiuswerte mit jeweils sich unterscheidenden Vorzeichen, haben also grundsätzlich die Form einer Sattelfläche.
Wie vorstehend im Zusammenhang mit den Spiegel M1 bis M8 der Projektionsoptik 7 erläutert, haben einige der Spiegel M1 bis M9 der Projektionsoptik 31 ein stark von 1 abweichendes x/y-Aspektverhältnis. Dies gilt besonders für die einige der GI-Spiegel M2 bis M7.
12 zeigt die Abhängigkeit einer Änderung des Wellenfrontfehlers WFR von einer durch entsprechende Komponentenverlagerung der Projektionsoptik 31 herbeigeführten Abweichung ε des Abbildungsmaßstabes vom nominalen Abbildungsmaßstab β₁. Diese Abhängigkeit ist bei der Projektionsoptik 31 sehr vergleichbar zu derjenigen der Projektionsoptik 7, wobei der Projektionsoptik 31 die sich bei einer gegebenen Abweichung ε einstellende Abweichung des Wellenfrontfehlers WFR als noch etwas geringer zeigt als bei der Projektionsoptik 7. Auch hier resultiert ein linearer Zusammenhang WFR (ε). Bei einer Abweichung |ε| von 6 ppm ergibt sich eine Abweichung des Wellenfrontfehlers WFR im Bereich von 7 mλ.
Die Projektionsoptik 7 hat beim nominalen Abbildungsmaßstab β₁ einen Wellenfrontfehler von 17,4 mλ.
Die Projektionsoptik 31 hat beim nominalen Abbildungsmaßstab β₁ einen Wellenfrontfehler von 10,1 mλ.
Bei den Projektionsoptiken 7 beziehungsweise 31 handelt es sich jeweils um katoptrische Projektionsoptiken.
Beim Design der Projektionsoptiken 7 beziehungsweise 31 wird folgendermaßen vorgegangen:

Zunächst werden mindestens zwei sich voneinander unterscheidende Abbildungsmaßstäbe vorgegeben, beispielsweise die vorstehend erläuterten Abbildungsmaßstäbe β₁, β₂, β₃ oder beispielsweise die fünf Abbildungsmaßstäbe, die die Stützstellen der in den 10 und 12 angegebenen Abhängigkeiten WFR (ε) wiedergeben.

Anschließend wird eine Mehrzahl von Punkt-Zuordnungen aus jeweils einem Objektpunkt 4_i, 4_j, 4_k auf dem Objektfeld 4 und Soll-Bildpunkten 8_i, 8_j, 8_k auf dem Bildfeld 8 vorgegeben. Derartige Punkt-Zuordnungen wurden vorstehend im Zusammenhang mit den 3 bis 7 bereits erläutert. Die jeweiligen Soll-Bildpunkte 8_i, 8_j, 8_k entstehen über die Abbildung des jeweiligen Objektpunktes 4_i, 4_j, 4_k mit dem jeweils vorgegebenen Abbildungsmaßstab β₁, β₂, β₃. Benachbarte der Objektpunkte 4_i, 4_j, 4_k dieser vorgegebenen Punkt-Zuordnungen sind jeweils voneinander beabstandet.
13 zeigt schematisch die abbildende Wirkung der Projektionsoptiken 7 beziehungsweise 31 bei der Abbildung eines Objektpunktes 4; in einem Bildpunkt 8_i. Dargestellt ist ein Strahlengang dreier Einzelstrahlen 29, die zu dieser Abbildung beitragen. Jeder dieser drei Einzelstrahlen 29 schneidet die Bildebene 8 am Ort eines jeweils eigenen Ist-Bildpunktes 8_i ⁽¹⁾, 8_i ⁽²⁾, 8_i ⁽³⁾. Im Allgemeinen sind diese Ist-Bildpunkte 8_i ⁽¹⁾ voneinander und vom Soll-Bildpunkt 8_i beabstandet.
Im Rahmen des Designverfahrens für die Projektionsoptiken 7 beziehungsweise 31 werden dann Formen der Reflexionsflächen der Spiegel Mi (i = 1 bis 8) der Projektionsoptiken 7 beziehungsweise 31 variiert, bis eine Abweichung von Ist-Bildpunkten 8_i ^(k), die bei jeweils vorgegebener Kandidaten-Form dieser Reflexionsflächen als Überlagerung der Abbildungs-Einzelstrahlen 29 ausgehend von den Objektpunkten 4_i, 4_j, 4_k der vorgegebenen Punkt-Zuordnungen längs des Abbildungsstrahlengangs im Bildfeld 8 bei allen vorgegebenen Abbildungsmaßstäben (3; entstehen, von den Soll-Bildpunkten 8_i, 8_j, 8_k der vorgegebenen Punkt-Zuordnungen nicht mehr größer ist als ein Toleranzwert. Dieser Abweichungs-Toleranzwert kann als Summe über die Quadrate der Einzelabweichungen jedes Ist-Bildpunktes vom zugehörigen Soll-Bildpunkt 8_i, 8_j, 8_k berechnet werden.
Es können insbesondere fünf verschiedene Werte (3; für den Abbildungsmaßstab bei dieser Variation simultan optimiert werden.
Das eben beschriebene Optimierungsverfahren, bei dem nach Vorgabe von Objektpunkten 4_i, 4_j, 4_k und Soll-Bildpunkten 8_i, 8_j, 8_k die Abweichung der Soll-Bildpunkte von den entsprechenden Ist-Punkten betrachtet wird, kann so abgewandelt werden, dass stattdessen entsprechende Wellenfrontabweichungen betrachtet werden. Für jeden Strahl von einem Objektpunkt 4; wird die optische Roh-Weglänge OPL'_i ^(k) zum Ist-Bildpunkt 8_i ^(k) berechnet.
In der folgenden 14 ist nur ein stark vergrößerter Ausschnitt der vorherigen Figur dargestellt.
Diese optische Roh-Weglänge OPL'_i ^(k) wird nun in eine optische Weglänge OPL_i ^(k) zum Vorgabe-Bildpunkt 8i umgerechnet.
Dies wird an Hand der folgenden 15 erläutert. Es wird nicht die optische Weglänge OPL'_i ^(k) entlang des Strahls 29 bis zum Ist-Bildpunkt 8_i ^(k) bestimmt, sondern stattdessen die Weglänge OPL_i ^(k) bis zu dem Punkt auf dem Strahl, der sich durch das Lot vom Soll-Bildpunkt 8_i auf den Strahl ergibt.
Der Abweichungs-Toleranzwert bezüglich des Soll-Bildpunkte 8_i ergibt sich aus den Unterschieden von OPL_i ⁽¹⁾, OPL_i ⁽²⁾, OPL_i ⁽³⁾, d.h., alle OPL_i ^(k)-Werte für identisches i und unterschiedliches k sollen möglichst identisch sind; es gibt keine Forderung bezüglich der Werte OPL_i ^(k) und OPL_j ^(m) mit i≠j. Ansonsten gelten die Erläuterungen bezüglich der Positionsabweichungen von Ist-Bildpunkten 8_i ^(k) relativ zum zugehörigen Soll-Bildpunkt 8_i sinngemäß.
Es ist möglich, eine Optimierung zuerst bezüglich Abweichungen von Ist-Bildpunkten 8_i ^(k) relativ zum zugehörigen Soll-Bildpunkt 8_i durchzuführen und, z.B. sobald eine vorgegebene maximale Abweichung von Ist-Bildpunkten und Soll-Bildpunkten erreicht ist, auf eine Optimierung bezüglich Wellenfrontabweichungen zu wechseln.
Als Randbedingung für dieses Variieren ist die Form der Reflexionsfläche jedes Spiegels Mi für jeden Abbildungsmaßstab unveränderlich. Die Positionen der Spiegel und gegebenenfalls auch des Retikelhalters 10a und des Substrathalters 12 sind bei den verschiedenen Abbildungsmaßstäben β; variabel.
Soll eine Projektionsoptik aus N Spiegeln M_i (i = 1 bis N) mit M unterschiedlichen Abbildungsmaßstäben simultan optimiert werden, so lauten die Freiheitsgrade der Optimierung:

- N Sätze aus Parametern, die die Form der optischen Oberfläche jeweils eines Spiegels M_i beschreiben; es kann sich hierbei insbesondere um Krümmungsradien entlang einer x- und einer y-Richtung, konische Konstanten entlang einer x- und einer y-Richtung und Koeffizienten von Polynomen in x und y halten
- N x M Sätze aus Parametern, die die geometrische Lage eines Spiegels M_i beschreiben; hierbei kann es sich um eine (x, y, z)-Translation relativ zu einem wie auch immer definierten Koordinatenursprung sowie um Drehwinkel um die x-, y- und z-Achse handeln - aus Symmetriegründen (weil es typischerweise eine Symmetrieebene gibt) sind oftmals zwei Parameter für die Translation und einer für die Rotation ausreichend
- M Sätze aus Parametern, die die geometrische Lage des Retikels 10 beschreiben
- M Sätze aus Parametern, die die geometrische Lage des Wafers 11 beschreiben

Randbedingung des Designverfahrens ist, dass unabhängig vom gerade einzustellenden Abbildungsmaßstab β_i die Form aller optischen Komponenten, also insbesondere der Spiegel M_i, unverändert bleibt, diese Komponenten jedoch abhängig vom gerade einzustellenden Abbildungsmaßstab in ihre Wunschlage bewegt werden dürfen.
Bei der Variation im Rahmen des Designverfahrens, also bei der Variation der Formen der Spiegel-Reflexionsflächen, kann für jeden Objektpunkt 4_i, 4_j, 4_k eine Überlagerung von mehr als zehn Abbildungs-Einzelstrahlen 29, die von diesem Objektpunkt 4_i, 4_j, 4_k ausgehen, berücksichtigt werden, insbesondere 100 derartige Abbildungs-Einzelstrahlen oder noch mehr.
Beim Variieren werden im Rahmen des Designverfahrens Punkt-Zuordnungen mit mindestens zehn verschiedenen Objektpunkten 4_i, 4_j, 4_k vorgegeben. Es können 100 oder noch mehr verschiedene Objektpunkte dabei vorgegeben werden.
Die Projektionsoptiken 7 beziehungsweise 31 sind also als Zoom-Projektionsoptiken ausgeführt, die innerhalb eines vorgegebenen Bereichs von Abbildungsmaßstäben einen Wellenfrontfehler haben, der kleiner ist als ein vorgegebener Toleranzwert.
Aus den vorstehenden Tabellen 3 bis 12 zu den 9 und 11 ist ersichtlich, dass sich alle Komponenten der Projektionsoptiken 7 beziehungsweise 31 bis auf das definitionsgemäß festgehaltene Retikel bewegen, insbesondere also auch der Wafer durch Verlagerung des Substrathalters. In der Praxis würde man das Retikel nicht festhalten, sondern gegenüber dem „Gehäuse“ der Projektionsbelichtungsanlage bewegen, indem der Retikelhalter verlagert wird. Man würde die im vorherigen Absatz beschriebene willkürliche globale Bewegung aller Komponenten derart wählen, dass die Aktuatorwege der Komponenten gegenüber ihrer „Befestigung am Gehäuse“ möglichst klein werden, also ein jeweils über alle Komponenten der Projektionsoptiken 7 beziehungsweise 31 gewinkelter Aktuatorweg beziehungsweise Aktuatorwinkel möglichst klein wird.
Zur Herstellung eines mikro- oder nanostrukturierten Bauteils wird die Projektionsbelichtungsanlage 1 folgendermaßen eingesetzt: Zunächst werden die Reflexionsmaske 10 beziehungsweise das Retikel und das Substrat beziehungsweise der Wafer 11 bereitgestellt. Anschließend wird eine Struktur auf dem Retikel 10 auf eine lichtempfindliche Schicht des Wafers 11 mithilfe der Projektionsbelichtungsanlage 1 projiziert. Durch Entwicklung der lichtempfindlichen Schicht wird dann eine Mikro- oder Nanostruktur auf dem Wafer 11 und somit das mikrostrukturierte Bauteil erzeugt.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

DE 102019219209 A1 [0002, 0119]
US 20160085061 A1 [0059]
WO 2012126867 [0060]
DE 10155711 [0060]
US 10527832 [0062]
WO 2016166080 A1 [0065, 0121]
DE 102015226531 A1 [0065, 0121]
US 20070058269 A1 [0072]

Claims

Verfahren zum Design einer Projektionsoptik (7; 31) mit einer Mehrzahl von Spiegeln (M1 bis M6; M1 bis M8) zur Abbildung eines Objektfeldes (4) in ein Bildfeld (8) mit folgenden Schritten: - Vorgeben mindestens zweier sich voneinander unterscheidender Abbildungsmaßstäbe (β_i), - Vorgeben einer Mehrzahl von Punkt-Zuordnungen aus -- jeweils einem Objektpunkt (4_i, 4_j, 4_k) auf dem Objektfeld (4) und -- Soll-Bildpunkten (8_i, 8_j, 8_k) auf dem Bildfeld (8), die über die Abbildung des jeweiligen Objektpunktes (4_i, 4_j, 4_k) mit allen vorgegebenen Abbildungsmaßstäben (β_i) entstehen, -- wobei die Objektpunkte (4_i, 4_j, 4_k) der vorgegebenen Punkt-Zuordnungen voneinander beabstandet sind, - Variieren von Formen von Reflexionsflächen der Spiegel (M1 bis M6; M1 bis M8), bis ein berechneter Abweichungs-Toleranzwert, der eine Abweichung von einer jeweiligen Berechnung zugrundeliegenden Formen der Reflexionsflächen von idealen, abbildungsfehlerfreien Formen der Reflexionsflächen repräsentiert, nicht mehr größer ist als ein Toleranzwert, - wobei als Randbedingung für das Variieren die Form der Reflexionsfläche jedes Spiegels (M1 bis M6; M1 bis M8) für jeden Abbildungsmaßstab (β_i) unveränderlich ist, sodass die Form der Reflexionsfläche jedes Spiegels (M1 bis M6) jeweils für alle vorgegebenen Abbildungsmaßstäbe (β_i) gemeinsam variiert wird, wobei die Positionen der Spiegel (M1 bis M6; M1 bis M8) bei den verschiedenen Abbildungsmaßstäben (β_i) variabel sind, wobei der Abweichungs-Toleranzwert aus einer Abweichung von Ist-Bildpunkten, die bei jeweils vorgegebener Kandidaten-Form der Reflexionsflächen als Überlagerung von Abbildungs-Einzelstrahlen (29) ausgehend von den Objektpunkten (4_i, 4_j, 4_k) der vorgegebenen Punkt-Zuordnungen längs eines Abbildungsstrahlenganges im Bildfeld (8) bei allen vorgegebenen Abbildungsmaßstäben (β_i) entstehen, von den Soll-Bildpunkten (8_i, 8_j, 8_k) der vorgegebenen Punkt-Zuordnungen berechnet wird, und/oder wobei der Abweichungs-Toleranzwert aus Unterschieden der auf die Soll-Bildpunkte (8_i, 8_j, 8_k) bezogenen optischen Weglängen (OPL_i ^(k)) von Abbildungs-Einzelstrahlen (29) ausgehend von den Objektpunkten (4_i, 4_j, 4_k) der vorgegebenen Punkt-Zuordnungen längs eines Abbildungsstrahlenganges im Bildfeld (8) bei allen vorgegebenen Abbildungsmaßstäben (β_i), berechnet wird.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mehr als zwei unterschiedliche Abbildungsmaßstäbe (β_i) vorgegeben werden.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass beim Variieren der Formen der Spiegel-Reflexionsflächen für jeden Objektpunkt (4_i, 4_j, 4_k) eine Überlagerung von mehr als zehn Abbildungs-Einzelstrahlen (29), die von diesem Objektpunkt (4_i, 4_j, 4_k) ausgehen, berücksichtigt wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass Punkt-Zuordnungen mit mindestens zehn verschiedenen Objektpunkten (4_i, 4_j, 4_k) vorgegeben werden.
Projektionsoptik (7; 31) mit einer Mehrzahl von Spiegeln (M1 bis M6; M1 bis M8) zur Abbildung eines Objektfeldes (4) in ein Bildfeld (8), ausgeführt als Zoom-Projektionsoptik, - wobei mindestens einer der Spiegel (M1 bis M6; M1 bis M8) über einen Spiegel-Manipulator (14b) zur Variation eines Abbildungsmaßstabes (β_i) der Projektionsoptik (7; 31) verlagerbar ist, - wobei die Projektionsoptik (7; 31) so ausgeführt ist, dass bei einer über eine Verlagerung des Spiegels (M1 bis M6; M1 bis M8) herbeigeführten Variation (ε) des Abbildungsmaßstabes ((3;) um 5 ppm ein rms-Wellenfrontfehler (WFR) der Projektionsoptik (7; 31) um nicht mehr als 8 mλ zunimmt.
Projektionsoptik (7; 31) nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch eine Aperturblende (15), deren Blendenweite abhängig von einem vorgegebenen Abbildungsmaßstab (β_i) der Projektionsoptik (7; 31) variabel vorgebbar ist.
Optisches System mit einer Projektionsoptik (7; 31) nach einem der Ansprüche 1 bis 6 und mit einer Beleuchtungsoptik (6) zur Beleuchtung des Objektfeldes (4) mit Beleuchtungs- und Abbildungslicht (3).
Beleuchtungssystem mit einem optischen System nach Anspruch 7 und mit einer Lichtquelle (2) zur Erzeugung des Beleuchtungs- und Abbildungslichts (3).
Projektionsbelichtungsanlage für die Projektionslithographie mit einem Beleuchtungssystem nach Anspruch 8.
Verfahren zur Herstellung eines strukturierten Bauteils mit folgenden Verfahrensschritten: - Bereitstellen eines Retikels (10) und eines Wafers (11), - Projizieren einer Struktur auf dem Retikel (10) auf eine lichtempfindliche Schicht des Wafers (11) mithilfe der Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 9, - Erzeugen einer Mikro- und/oder Nanostruktur auf dem Wafer (11).
Strukturiertes Bauteil, hergestellt nach einem Verfahren nach Anspruch 10.