JP2014501184A - 研磨物品及び形成方法 - Google Patents
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Abstract
Description
基材として所定長さの高強度カーボンスチールワイヤを準備する。高強度カーボンスチールワイヤは約125ミクロンの平均直径を有する。タッキング薄膜を電気メッキによって基材の外側表面上に形成させる。電気メッキプロセスにより約4ミクロンの平均厚さを有するタッキング薄膜を形成する。そのタッキング薄膜は、錫/鉛が60/40のはんだ組成物で形成される。
基材として所定長さの高強度カーボンスチールワイヤを準備する。高強度カーボンスチールワイヤは約125ミクロンの平均直径を有する。タッキング薄膜を電気メッキによって基材の外側表面上に形成させる。電気メッキプロセスにより約6ミクロンの平均厚さを有するタッキング薄膜を形成する。そのタッキング薄膜は、錫/鉛が60/40のはんだ組成物で形成される。
基材として所定長さの高強度カーボンスチールワイヤを準備する。高強度カーボンスチールワイヤは約120ミクロンの平均直径を有する。タッキング薄膜を電気メッキによって基材の外側表面上に形成させる。電気メッキプロセスにより約2ミクロンの平均厚さを有するタッキング薄膜を形成する。そのタッキング薄膜は、高純度錫はんだ付け組成物で形成される。
基材として所定長さの高強度カーボンスチールワイヤを準備する。高強度カーボンスチールワイヤは約120ミクロンの平均直径を有する。タッキング薄膜を電気メッキによって基材の外側表面上に形成させる。電気メッキプロセスにより約2ミクロンの平均厚さを有するタッキング薄膜を形成する。そのタッキング薄膜は、高純度錫はんだ付け組成物で形成される。
100mm四方のシリコンのレンガ12個を加工物として準備する。実施例4に従って製造された365mのワイヤを準備する。ワイヤはワイヤ1m当たり約1.0カラットの研磨剤粒子濃度を有する。ワイヤには約14ニュートンのワイヤ張力があり、9m/秒の速度で操作する。切断時間は120分である。ワイヤは順調に加工物を切断しシングルカットで12個のウエハを生産した。
実施例4のワイヤのEDS解析により、ワイヤ上に形成された金属間化合物の徴候は認められない。図7を参照して、EDS解析の結果によりスチールワイヤ702及びスチールワイヤ702上に付着される錫704の層が示される。更にニッケルの層が錫704の上に付着される。図8では、同様にEDS解析の結果は、ニッケル層802がダイヤモンド804の周囲に形成され、その結果ダイヤモンド804は殆ど完全にニッケル層802でコーティングされていることを示す。更にニッケル層802はスチールコア808の上に付着される錫層806と界面を形成する。
基材として所定長さの高強度カーボンスチールワイヤを準備する。高強度カーボンスチールワイヤは約120ミクロンの平均直径を有する。タッキング薄膜を浸漬コーティングによって基材の外側表面上に形成させる。浸漬コーティング工程により約2ミクロンの平均厚さを有するタッキング薄膜を形成する。そのタッキング薄膜は、高純度錫はんだ付け組成物で形成される。
基材として所定長さの高強度カーボンスチールワイヤを準備する。高強度カーボンスチールワイヤは約125ミクロンの平均直径を有する。タッキング薄膜を電気メッキによって基材の外側表面上に形成させる。電気メッキプロセスにより約4ミクロンの平均厚さを有するタッキング薄膜を形成する。そのタッキング薄膜は、錫/鉛が60/40のはんだ組成物で形成される。
基材として所定長さの高強度カーボンスチールワイヤを準備する。高強度カーボンスチールワイヤは約125ミクロンの平均直径を有する。タッキング薄膜を電気メッキによって基材の外側表面上に形成させる。電気メッキプロセスにより約6ミクロンの平均厚さを有するタッキング薄膜を形成する。そのタッキング薄膜は、錫/鉛が60/40のはんだ組成物で形成される。
基材として所定長さの高強度カーボンスチールワイヤを準備する。高強度カーボンスチールワイヤは約120ミクロンの平均直径を有する。タッキング薄膜を電気メッキによって基材の外側表面上に形成させる。電気メッキプロセスにより約2ミクロンの平均厚さを有するタッキング薄膜を形成する。そのタッキング薄膜は、高純度錫はんだ付け組成物で形成される。
基材として所定長さの高強度カーボンスチールワイヤを準備する。高強度カーボンスチールワイヤは約120ミクロンの平均直径を有する。タッキング薄膜を電気メッキによって基材の外側表面上に形成させる。電気メッキプロセスにより約2ミクロンの平均厚さを有するタッキング薄膜を形成する。そのタッキング薄膜は、高純度錫はんだ付け組成物で形成される。
100mm四方のシリコンのレンガ12個を加工物として準備する。実施例4に従って製造された365mのワイヤを準備する。ワイヤはワイヤ1km当たり約1.0カラットの研磨剤粒子濃度を有する。ワイヤには約14ニュートンのワイヤ張力があり、9m/秒の速度で操作する。切断時間は120分である。ワイヤは順調に加工物を切断しシングルカットで12個のウエハを生産した。
実施例4のワイヤのEDS解析により、ワイヤ上に形成された金属間化合物の徴候は認められない。図7を参照して、EDS解析の結果によりスチールワイヤ702及びスチールワイヤ702上に付着される錫704の層が示される。更にニッケルの層が錫704の上に付着される。図8では、同様にEDS解析の結果は、ニッケル層802がダイヤモンド804の周囲に形成され、その結果ダイヤモンド804は殆ど完全にニッケル層802でコーティングされていることを示す。更にニッケル層802はスチールコア808の上に付着される錫層806と界面を形成する。
基材として所定長さの高強度カーボンスチールワイヤを準備する。高強度カーボンスチールワイヤは約120ミクロンの平均直径を有する。タッキング薄膜を浸漬コーティングによって基材の外側表面上に形成させる。浸漬コーティング工程により約2ミクロンの平均厚さを有するタッキング薄膜を形成する。そのタッキング薄膜は、高純度錫はんだ付け組成物で形成される。
Claims (104)
- 基材と、
前記基材を覆うタッキング薄膜と、
前記タッキング薄膜に接合した研磨剤粒子を覆うコーティング層を含む研磨剤粒子であって、前記コーティング層と前記タッキング層との間の接合が金属結合領域を画定する、研磨剤粒子と、
前記研磨剤粒子及び前記タッキング薄膜を覆う接合層と
を含む、研磨物品。 - 長さ:幅のアスペクト比が少なくとも10:1である、細長い本体を含む基材と、
約450℃以下の融点を有するはんだ材料を含む基材を覆うタッキング薄膜と、
前記タッキング薄膜に接合した研磨剤粒子と、
前記研磨剤粒子及び前記タッキング薄膜を覆う接合層と
を含む、研磨物品。 - 加工物を切断するための研磨物品であって、
ワイヤ基材を準備する工程と、
前記ワイヤ基材の表面を覆う金属材料を含むタッキング薄膜を形成する工程と、
前記タッキング薄膜中に研磨剤粒子を配置する工程と、
前記タッキング薄膜を処理して、前記研磨剤粒子と前記タッキング薄膜との間に金属結合領域を形成する工程と、
前記タッキング薄膜及び前記研磨剤粒子を覆う接合層を形成する工程と
を含む方法によって形成された、研磨物品。 - 加工物を切断するための研磨物品であって、
ワイヤ基材を準備する工程と、
前記ワイヤ基材の表面を覆う金属材料を含むタッキング薄膜を形成する工程と、
中に研磨剤粒子を含む融剤材料を前記タッキング薄膜に適用する工程と、
前記タッキング薄膜を処理して、前記研磨剤粒子と前記タッキング薄膜との間に金属結合領域を形成する工程と、
前記タッキング薄膜及び前記研磨剤粒子を覆う接合層を形成する工程と、
を含む方法によって形成された、研磨物品。 - 前記基材が無機材料を含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記基材が金属、合金、及びそれらの組み合わせからなる材料の群から選択される材料を含む、請求項5に記載の研磨物品。
- 前記基材が遷移金属元素を含む金属を含む、請求項6に記載の研磨物品。
- 前記基材がスチールを含む、請求項7に記載の研磨物品。
- 前記基材は、長さ:幅のアスペクト比が少なくとも約10:1、少なくとも約100:1,又は少なくとも約10000:1、である細長い部材を含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記基材が少なくとも約50mの平均長さを有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記基材が少なくとも約100m,少なくとも約500m,又は少なくとも約1000mの平均長さを有する、請求項12に記載の研磨物品。
- 前記基材が約1cm以下の平均幅を有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記基材は、平均幅が約1mm以下、約0.8mm以下、約0.5mm以下、少なくとも約0.03mm、又は少なくとも約0.01mmである、請求項12に記載の研磨物品。
- 前記基材がワイヤを含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記基材が複数の編み込まれたフィラメント含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記タッキング薄膜が前記基材の表面と直接的に接触している、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記タッキング薄膜が前記基材の表面と直接的に接合している、請求項16に記載の研磨物品。
- 前記タッキング薄膜が前記基材の外側表面の大部分を覆う、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記タッキング薄膜が前記基材の本質的に外側表面全体を覆う、請求項18に記載の研磨物品。
- 前記タッキング薄膜が金属、合金、金属マトリックスの複合材、及びそれらの組み合わせからなる材料の群から選択される材料を含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記タッキング薄膜が遷移金属元素を含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記タッキング薄膜が遷移金属元素の合金を含む、請求項21に記載の研磨物品。
- 前記タッキング薄膜が、鉛、銀、銅、亜鉛、錫、チタン、モリブデン、クロム、鉄、マンガン、コバルト、ニオブ、タンタル、タングステン、パラジウム、白金、金、ルテニウム、及びこれらの組み合せからなる金属の群から選択される金属を含む、請求項21に記載の研磨物品。
- 前記タッキング薄膜が錫及び鉛の合金からなる、請求項21に記載の研磨物品。
- 前記タッキング薄膜が錫を含む、請求項21に記載の研磨物品。
- 前記タッキング薄膜が本質的に錫からなる、請求項25に記載の研磨物品
- 前記タッキング薄膜がはんだ材料を含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記タッキング薄膜が約450℃以下の融点を有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記タッキング薄膜が約400℃以下の融点を有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記タッキング薄膜が、約375℃以下、約350℃以下、約300℃以下、又は約250℃以下の融点を有する、請求項29に記載の研磨物品。
- 前記タッキング薄膜が、少なくとも約100℃、少なくとも約125℃、又は少なくとも約150℃、の融点を有する材料を含む、請求項28に記載の研磨物品。
- 前記タッキング薄膜が、前記研磨剤粒子の平均粒径の約80%以下の平均厚さを有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記タッキング薄膜の前記平均厚さが、前記研磨剤粒子の平均粒径の約70%以下、前記研磨剤粒子の平均粒径の約60%以下、前記研磨剤粒子の平均粒径の約50%以下、前記研磨剤粒子の平均粒径の約40%以下、又は前記研磨剤粒子の平均粒径の約30%以下である、請求項32に記載の研磨物品。
- 前記研磨剤粒子が、酸化物、炭化物、窒化物、ホウ化物、オキシ窒化物、オキシホウ化物、ダイヤモンド、及びそれらの組み合わせからなる材料の群から選択される材料を含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記研磨剤粒子が超砥粒材料を含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記研磨剤粒子がダイヤモンドを含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記研磨剤粒子が本質的にダイヤモンドからなる、請求項36に記載の研磨物品。
- 前記研磨剤粒子が少なくとも約10GPaのビッカース硬度を有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記研磨剤粒子が約500ミクロン以下の平均粒径を有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記研磨剤粒子は、平均粒径が、約300ミクロン以下、約250ミクロン以下、約200ミクロン以下、約150ミクロン以下、又は約100ミクロン以下である、請求項39に記載の研磨物品。
- 前記研磨剤粒子が、少なくとも約0.1ミクロン、少なくとも約0.5ミクロン、又は少なくとも約1ミクロンの平均粒径を有する、請求項39に記載の研磨物品。
- 前記コーティング層が、金属、合金及びそれらに組み合わせからなる材料の群から選択される材料を含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記コーティング層が遷移金属元素を有する、請求項42に記載の研磨物品。
- 前記コーティング層がチタン、バナジン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、銀、亜鉛、マンガン、タンタル、タングステン、及びこれらの組み合わせからなる金属の群から選択される金属を含む、請求項43に記載の研磨物品。
- 前記コーティング層は、含有物の大部分がニッケルである、請求項44に記載の研磨物品。
- 前記コーティング層が本質的にニッケルからなる、請求項45に記載の研磨物品。
- 前記コーティング層が、前記研磨剤粒子の外側表面積の少なくとも約50%、前記研磨剤粒子の外側表面積の少なくとも約75%、又は前記研磨剤粒子の外側表面積の少なくとも約90%を覆う、請求項42に記載の研磨物品。
- 前記コーティング層が、前記研磨剤粒子の本質的に外側表面積全体を覆う、請求項47に記載の研磨物品。
- 前記金属結合領域が、前記コーティング層中の少なくとも1種の化学種と前記タッキング層中の1種の化学種との間の相互拡散領域によって特徴付けられる拡散結合領域を含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記接合層が前記研磨剤粒子を覆うコーティング層に直接的に接合している、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記接合層が前記タッキング薄膜の一部と直接的に接合している、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記接合層が、前記研磨剤粒子及び前記タッキング薄膜の表面の少なくとも約90%を覆う、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記接合層が前記研磨剤粒子及び前記タッキング薄膜の本質的に表面の全体を覆う、請求項52に記載の研磨物品。
- 前記接合層が、金属、合金、サーメット、セラミック、複合材、及びそれらの組み合わせからなる材料の群から選択される材料を含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記接合層が遷移金属元素を含む、請求項54に記載の研磨物品。
- 前記接合層が遷移金属元素の合金を含む、請求項55に記載の研磨物品。
- 前記接合層が、鉛、銀、銅、亜鉛、錫、チタン、モリブデン、クロム、鉄、マンガン、コバルト、ニオブ、タンタル、タングステン、パラジウム、白金、金、ルテニウム、及びこれらの組み合せからなる金属の群から選択される金属を含む、請求項54に記載の研磨物品。
- 前記接合層がニッケルを含む、請求項54に記載の研磨物品。
- 前記接合層が本質的にニッケルからなる、請求項58に記載の研磨物品。
- 前記接合層が、前記研磨剤粒子の平均的粒径の少なくとも約10%の平均厚さを有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記接合層が、前記研磨剤の平均粒径の少なくとも約20%、前記研磨剤の平均粒径の少なくとも約30%、前記研磨剤の平均粒径の少なくとも約40%、又は前記研磨剤の平均粒径の少なくとも約50%の平均厚さを有する、請求項60に記載の研磨物品。
- 前記接合層が、前記研磨剤の平均粒径の約130%以下、前記研磨剤の平均粒径の約110%以下、前記研磨剤の平均粒径の約100%以下、前記研磨剤の平均粒径の約95%以下、又は前記研磨剤の平均粒径の約90%以下の平均厚さを有する、請求項60に記載の研磨物品。
- 前記接合層が少なくとも約2ミクロンの平均厚さを有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記接合層が、少なくとも約5ミクロン、少なくとも約10ミクロン、少なくとも約15ミクロン、又は少なくとも約20ミクロンの平均厚さを有する、請求項63に記載の研磨物品。
- 前記接合層が、約100ミクロン以下、約90ミクロン以下、約80ミクロン以下、又は約70ミクロン以下の平均厚さを有する、請求項63に記載の研磨物品。
- ワイヤ1mm当たり少なくとも約60個粒子の砥粒濃度を更に有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- 前記砥粒濃度が、ワイヤ1mm当たり少なくとも約100個、ワイヤ1mm当たり少なくとも約150個、ワイヤ1mm当たり少なくとも約200個、ワイヤ1mm当たり少なくとも約250個、又はワイヤ1mm当たり少なくとも約300個である、請求項66に記載の研磨物品。
- 前記砥粒濃度が、ワイヤ1mm当たり約750個粒子以下、ワイヤ1mm当たり約700個粒子以下、ワイヤ1mm当たり約650個粒子以下、又はワイヤ1mm当たり約600個粒子以下である、請求項66に記載の研磨物品。
- ワイヤ1m当たり少なくとも約0.5カラットのダイヤモンドの砥粒濃度を更に有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の研磨物品。
- ワイヤ1m当たり少なくも約1.0カラットのダイヤモンド、ワイヤ1m当たり少なくも約1.5カラットのダイヤモンド、ワイヤ1m当たり少なくも約2.0カラットのダイヤモンド、ワイヤ1m当たり少なくも約3.0カラットのダイヤモンド、ワイヤ1m当たり少なくも約4.0カラットのダイヤモンド、又はワイヤ1m当たり少なくも約5.0カラットのダイヤモンドの砥粒濃度を更に有する、請求項69に記載の研磨物品。
- ワイヤ1m当たり約15.0カラットのダイヤモンド以下、ワイヤ1m当たり約14.0カラットのダイヤモンド以下、ワイヤ1m当たり約13.0カラットのダイヤモンド以下、ワイヤ1m当たり約12.0カラットのダイヤモンド以下、ワイヤ1m当たり約11.0カラットのダイヤモンド以下、又はワイヤ1m当たり約10.0カラットのダイヤモンド以下の砥粒濃度を更に有する、請求項69に記載の研磨物品。
- 基材を準備する工程と、
前記基材の表面を覆う、はんだ材料を含むタッキング薄膜を形成する工程と、
前記タッキング薄膜上にコーティング層を有する研磨剤粒子を配置する工程と、
前記タッキング薄膜を処理して前記コーティング層及び前記タッキング薄膜を互いに接合する工程と、
前記タッキング薄膜及び前記研磨粒子を覆って接合層を形成する工程と
を含む研磨物品の形成方法。 - 長さ:幅のアスペクト比が少なくとも約10:1である細長い本体を含む基材を準備する工程と、
約450℃以下の融点を有し、前記基材の表面を覆う金属を含む、タッキング薄膜を形成する工程と、
前記タッキング薄膜中に研磨剤粒子を配置する工程と、
前記タッキング薄膜及び前記研磨剤粒子を覆って接合層を形成する工程と
を含む、研磨物品の形成方法。 - ワイヤで構成される基材を準備する工程と、
前記基材の表面を覆う金属材料を含むタッキング薄膜を形成する工程と、
前記タッキング薄膜の中に研磨剤粒子を配置する工程と、
前記タッキング薄膜を処理して、前記研磨剤粒子と前記タッキング薄膜との間に金属結合領域を形成する工程と、
前記タッキング薄膜及び前記研磨剤粒子を覆って接合層を形成する工程と
を含む、研磨物品の形成方法。 - 基材を準備する工程が、供給スプール及び巻取りスプールに接続されたワイヤを準備することを含む、請求項72〜74のいずれか一項に記載の方法。
- 基材を準備する工程が、前記ワイヤを約5m/分以上の速度で前記供給スプールから前記巻取りスプールまでスプール巻きすることを含む、請求項75に記載の方法。
- 前記基材は、長さ:幅のアスペクト比が少なくとも約10:1である細長い本体を含む、請求項72〜74のいずれか一項に記載の方法。
- タッキング薄膜を形成する工程が、付着、スプレー、印刷、浸漬、ダイコーティング、電気メッキ、及びそれらの組み合わせからなる群から選択される方法を含む、請求項72〜74のいずれか一項に記載の方法。
- 前記タッキング薄膜が前記基材の表面に直接的に接合している、請求項72〜74のいずれか一項に記載の方法。
- 前記タッキング薄膜が、前記タッキング薄膜及び前記基材の要素の相互拡散によって画定された結合領域で前記基材と接合している、請求項72〜74のいずれか一項に記載の方法。
- 前記タッキング薄膜が前記基材の外側表面の大部分を覆う、請求項72〜74のいずれか一項に記載の方法。
- 前記タッキング薄膜が前記基材の本質的に外側表面全体を覆う、請求項81に記載の方法。
- 前記タッキング薄膜が、金属、合金、金属マトリックスの複合材、及びそれらの組み合わせからなる材料の群から選択される材料を含む、請求項72〜74のいずれか一項に記載の方法。
- 前記タッキング薄膜が遷移金属元素を含む、請求項83に記載の方法。
- 前記タッキング薄膜が錫及び鉛の合金を含む、請求項84に記載の方法。
- 前記タッキング薄膜が錫を含む、請求項84に記載の方法。
- 前記タッキング薄膜が約450℃以下の融点を有する、請求項72〜74のいずれか一項に記載の方法。
- 前記タッキング薄膜が約250℃以下の融点を有する、請求項87に記載の方法。
- 前記タッキング薄膜が、前記研磨剤粒子の平均粒径の約80%以下の平均厚さを有する、請求項72〜74のいずれか一項に記載の方法。
- 前記タッキング薄膜が約25ミクロン以下の平均厚さを有する、請求項72〜74のいずれか一項に記載の方法。
- 前記タッキング薄膜上に前記研磨剤粒子を配置する工程が、前記研磨剤粒子を前記タッキング薄膜に直接接触させて配置し、前記研磨剤粒子を前記タッキング薄膜と接合させることを含む、請求項72〜74のいずれか一項に記載の方法。
- 前記研磨剤粒子を前記タッキング薄膜上に配置する工程が、スプレー、重力コーティング、浸漬、ダイコーティング、静電塗装、及びそれらの組み合わせからなる群から選択されるプロセスを含む、請求項72〜74のいずれか一項に記載の方法。
- 前記研磨剤粒子を前記タッキング薄膜上に配置する工程は、前記研磨剤粒子を前記タッキング薄膜を覆う追加層の上に配置することを含むことができる、請求項72〜74のいずれか一項に記載の方法。
- 追加層を配置することは融剤材料を含む、請求項93に記載の方法。
- 前記追加層が前記タッキング薄膜の本質的に表面の全てを覆うコーティングである、請求項93に記載の方法。
- 前記追加層が付着プロセスによって形成される、請求項93に記載の方法。
- 処理する工程が、加熱、硬化、乾燥、及びそれらの組み合わせからなる群から選択される方法を含む、請求項72〜74のいずれか一項に記載の方法。
- 処理する工程が、前記タッキング薄膜を約450℃以下の温度に加熱することを含む、請求項72〜74のいずれか一項に記載の方法。
- 処理する工程が、前記タッキング薄膜を加熱して前記タッキング薄膜を融解し、前記タッキング薄膜と前記コーティング層との間に金属結合領域を形成することを含む、請求項72〜74のいずれか一項に記載の方法。
- 接合層を形成する工程が、前記接合層を前記研磨剤粒子及び前記タッキング薄膜の上に直接コーティングするプロセスを含む、請求項72〜74のいずれか一項に記載の方法。
- 前記接合層を形成する工程が、メッキ、スプレー、印刷、浸漬、及びそれらの組み合わせを含むプロセスの群から選択されるプロセスを含む、請求項72〜74のいずれか一項に記載の方法。
- 前記接合層が、有機材料、無機材料、及びそれらの組み合わせからなる材料の群から選択される材料を含む、請求項72〜74のいずれか一項に記載の方法。
- 前記接合層がフィラーを含む、請求項72〜74のいずれか一項に記載の方法。
- 前記フィラーが研磨剤の2次粒子を含む、請求項103に記載の方法。
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