JP2021523839A - コーティングを含む研磨物品 - Google Patents

Abstract

研磨物品は、基材と、接着材料によって基材に結合されている研磨粒子と、接着材料の外面の上に少なくとも部分的に重なるコーティングと、を含み得る。コーティングは、蒸着を介して適用されるポリ（ｐ−キシリレン）ポリマーであり得、接着材料への強度の向上、および研磨物品への寿命の延長を提供することができる。【選択図】図１

Description

以下は、研磨物品、具体的には、ポリ（ｐ−キシリレン）ポリマーを含むコーティングを含む研磨物品を対象とする。

固定研磨物品は、様々な材料除去作業に使用することができる。この業界では、固定研磨物品の改善が継続的に求められている。

添付の図面を参照することにより、本開示は、よりよく理解されることができ、その多くの特徴および利点は、当業者には明らかになるであろう。

一実施形態に従った研磨物品の断面図を含む。 一実施形態に従った研磨物品の断面図を含む。 一実施形態に従った研磨物品の断面図を含む。 一実施形態に従った研磨物品の一部分の図を含む。 一実施形態に従った研磨物品の断面図を含む。 一実施形態に従った研磨物品の図を含む。 一実施形態に従った研磨物品の図を含む。 いくつかの実施形態に従ったコーティングに含まれる、ポリマー材料の化学構造式を含む。 一実施形態に従った研磨物品の図を含む。 一実施形態に従ったパリレンＨＴコーティングを含有する単層研磨ディスクの研削性能を示し、研削性能を２つの比較単層ディスクと比較するグラフを含む。 一実施形態に従った研磨物品の一部の断面図を含む。

図と組み合わせた以下の説明は、本明細書に提供される教示を理解するのを助けるために提供される。以下の開示は、本教示の具体的な実装および実施形態に焦点を当てる。この焦点は、本教示を説明するのを助けるために提供されており、本教示の範囲または適用性に対する限定として解釈されるべきではない。しかしながら、本出願では他の教示が使用されることができる。

本明細書で使用される場合、用語「備える（ｃｏｍｐｒｉｓｅｓ）」、「備える（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」、「含む（ｉｎｃｌｕｄｅｓ）」、「含む（ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ）」、「有する（ｈａｓ）」、「有する（ｈａｖｉｎｇ）」、またはそれらの任意の他の変形は、非排他的包含を含むことを意図している。例えば、特徴のリストを備える方法、物品、または装置は、必ずしもそれらの特徴のみに限定されず、そのような方法、物品、または装置に明示的にリスト化されていないかまたは固有ではない他の特徴を含んでもよい。さらに、そうではないと明示的に述べられていない限り、「または（ｏｒ）」は、包含的な「または」を指し、排他的な「または」を指さない。例えば、条件ＡまたはＢは、以下のいずれかによって満たされる：Ａは真（または存在する）かつＢは偽（または存在しない）、Ａは偽（または存在しない）かつＢは真（または存在する）、およびＡとＢの両方が真（または存在する）である。

また、「ａ」または「ａｎ」の使用は、本明細書に記載の要素およびコンポーネントを説明するために使用される。これは、単に便宜上および本発明の範囲の一般的な意味を与えるために行われている。この説明は、他を意味することが明確でない限り、１つまたは少なくとも１つおよび複数も含む単数形、またはその逆を含むように読む必要がある。例えば、本明細書で単一の物品が説明される場合、単一の物品の代わりに複数の物品が使用され得る。同様に、本明細書で複数の物品が説明される場合、それら複数の物品に代えて単一の物品が使用され得る。

他に定義されない限り、本明細書において使用される全ての技術的および科学的用語は、本発明が属する分野の当業者によって一般的に理解されるのと同じ意味を有する。材料、方法、および例は、例示的なものにすぎず、限定的であることを意図しない。具体的な材料および加工行為に関するある特定の詳細が記載されない限り、そのような詳細は、製造技術分野の参考文献および他の情報源に見出され得る従来のアプローチを含み得る。

本明細書に開示される実施形態は、基材と、接着材料によって基材に結合した研磨粒子とを含む、研磨物品を対象とする。接着材料は、コーティングをさらに含み得る。コーティングは、ポリマー材料を含み得、接着材料の少なくとも一部分、研磨粒子の少なくとも一部分、または接着材料および研磨粒子の少なくとも一部分を覆い得る。コーティングは、接着材料の強度を増加させ、接着材料が冷却液、具体的には水性冷却剤に曝露すると、腐食および劣化から保護する利点を提供することができる。

本明細書のいくつかの実施形態に記載の接着されている研磨物品、具体的にはコーティング研磨材および単層金属接着研磨工具などの単層研磨物品に好適なものは、様々な材料除去作業に好適であり得る。そのような研磨物品は、接着されている研磨物品が、接着材料中に含有されている研磨粒子を含む接着材料の３次元マトリクスを含む、接着されている研磨物品とは異なるものであり得る。対照的に、単層研磨物品は、典型的には、少なくとも１種の接着材料によって基材に付着した研磨粒子の単層を含む。

図１は、基材（１０１）と、接着材料（１０２）によって基材（１０１）に結合している研磨粒子（１０３）とを含む、本開示の一実施形態に従った研磨物品（１００）を示す。研磨物品（１００）は、接着材料の少なくとも一部分の上に重なり得るコーティング（１０５）をさらに含有し得る。適用されるコーティング（１０５）は、限定されないが、冷却剤の影響による損傷からの好適な保護を接着材料（１０２）に提供することを含む、研磨物品の性能を改善するのに好適であり得る。

本開示はさらに、研磨物品を作製する方法に関する。一実施形態において、コーティングされていない研磨物品は、接着材料によって基材に結合している研磨粒子を有する基材を備えることを条件とし得る。基材、接着材料、および研磨粒子の組成に応じて、研磨物品を形成するために様々な好適な方法を使用することができる。例えば、研磨粒子は、加熱、冷却、硬化、堆積、ろう付け、めっき（例えば、電解めっきまたは無電解めっき）、照射、噴霧、乾燥、またはこれらの任意の組み合わせからなる群から選択される１種以上のプロセスを使用して形成することができる接着材料を介して、基材に接着することができる。

コーティングは、限定されないが、蒸着プロセスを含む様々な堆積プロセスを使用して適用することができる。

本開示のコーティングは、以下、パリレンとも呼ばれる、置換または非置換ポリ（ｐ−キシリレン）ポリマーを含み得る。いくつかの態様において、ポリ（ｐ−キシリレン）ポリマーは、ハロゲン化されていてもよく、フッ素、塩素、臭素、またはこれらの任意の組み合わせを含んでもよい。さらなる態様において、ポリ（ｐ−キシリレン）ポリマーは、アルキル基またはアルコキシ基を含み得る。なおさらなる態様において、ポリ（ｐ−キシリレン）ポリマーは、線状ポリマー、クロスポリマー、またはコポリマーであり得る。特定の実施形態において、コーティングは、フッ素化ポリ（ｐ−キシリレン）を含み得る。

特定の実施形態において、フッ素化ポリ（ｐ−キシリレン）は、パリレンＨＴと呼ばれる図８に示される構造を有し得る。他の特定の実施形態において、図８に示されるように、ポリ（ｐ−キシリレン）ポリマーはまた、塩化されていてもよく、パリレンＣまたはパリレンＤとして示される構造を有し得る。別のある特定の実施形態において、図８の構造パリレンＮとして示される非置換ポリ（ｐ−キシリレン）は、コーティングに使用することができる。特定の実施形態において、コーティングは、本質的にパリレンＨＴからなり得る。別の特定の実施形態において、コーティングは、不可避な不純物を除いて、パリレンＨＴのみを含有し得る。不可避な不純物は、コーティングの総体積に基づいて０．１体積％以下の量の不純物であると理解されるべきである。本明細書で使用されるとき、「コーティング」を指す場合、接着材料および研磨粒子の上に重なるパリレンコーティングを意味することが意図される。研磨物品の任意の他のコーティング、例えば、多層接着構造およびその中のコーティング層（例えば、メイクコートおよび／またはサイズコート）は、「コーティング」と呼ばれるだけではなく、名称によって明確に記載されるであろう。

さらなる実施形態において、本開示のコーティングは、少なくとも２７０℃、または少なくとも２９０℃、または少なくとも３１０℃、または少なくとも３３０℃、または少なくとも３５０℃、または少なくとも３８０℃、または少なくとも４００℃、または少なくとも４２０℃、または少なくとも４４０℃、または少なくとも４６０℃、または少なくとも４８０℃、または少なくとも５００℃などの少なくとも２５０℃の融解温度を有し得る。別の実施形態において、コーティングは、６００℃以下、または５８０℃以下、または５５０℃以下、または５３０℃以下、または５１０℃以下、または５００℃以下、または４６０℃以下、または４２０℃以下、または３９０℃以下の融点を有し得る。コーティングの融解温度は、２５０℃〜６００℃、または２９０℃〜５３０℃、または３５０℃〜５１０℃、または３８０℃〜５００℃などの上記の最小値および最大値のうちのいずれかの間の値であり得る。

一実施形態において、コーティングの平均厚さは、少なくとも０．１マイクロメートル、または少なくとも０．３マイクロメートル、または少なくとも０．５マイクロメートル、または少なくとも１マイクロメートル、または少なくとも２マイクロメートル、または少なくとも３マイクロメートル、または少なくとも５マイクロメートル、または少なくとも７マイクロメートル、または少なくとも１０マイクロメートルであり得る。別の実施形態において、コーティングの平均厚さは、５００マイクロメートル以下、または３００マイクロメートル以下、または２００マイクロメートル以下、または１００マイクロメートル以下、または７５マイクロメートル以下、または５０マイクロメートル以下、または２５マイクロメートル以下、または１０マイクロメートル以下、または７マイクロメートル以下、または５マイクロメートル以下であり得る。コーティングの厚さは、少なくとも０．１マイクロメートル〜５００マイクロメートル以下、少なくとも１マイクロメートル〜１００マイクロメートル以下、または少なくとも２マイクロメートル〜２０マイクロメートル以下、または少なくとも３マイクロメートル〜１０マイクロメートル以下を含む範囲内などの上記の最小値および最大値のうちのいずれかの間の値であり得る。特に好ましい実施形態において、コーティングの厚さは、１マイクロメートル〜１０マイクロメートルの範囲内である。

本開示の研磨物品の接着材料は、本開示の研磨物品の改善された製造および性能を促進することができる、特定の接着における化学的性質を有し得る。接着材料は、無機材料、有機材料、またはこれらの組み合わせであり得る。接着材料は、ある特定の多孔性を有しても、多孔性を有しなくてもよい。接着材料は、接着材料の表面に、限定的な小さな孔などの多孔性含有物を有し得る。少なくとも１つの実施形態において、接着材料は、多孔性を有しなくてもよい。

一実施形態において、接着材料は、金属、金属合金、セラミック、ガラス、セラミック、サーメット、またはこれらの任意の組み合わせなどの無機材料であり得る。接着材料は、単結晶相、多結晶相、非晶相、またはこれらの任意の組み合わせのうちの少なくとも１種を有し得る。なおさらなる態様において、接着材料は、酸化物、ホウ化物、窒化物、炭化物、またはこれらの任意の組み合わせを含み得る。

特定の実施形態において、接着材料に含有される金属は、ニッケル、鉛、銀、銅、亜鉛、スズ、チタン、モリブデン、クロム、鉄、マンガン、コバルト、ニオブ、タンタル、タングステン、パラジウム、白金、金、ルテニウム、またはこれらの任意の組み合わせであり得る。一実施形態において、接着材料は、本質的にニッケルからなり得る。さらなる実施形態において、接着材料が、ニッケルおよびいくらかの不可避な不純物のみを含み、不可避な不純物が、総ニッケル材料の０．１体積％以下であり得るように、接着材料は、本質的にニッケルからなり得る。別のある特定の実施形態において、接着材料は、真鍮を含んでもよい。なおさらなるある特定の実施形態において、接着材料は、はんだであり得る。はんだは、少なくとも１００℃かつ４５０℃以下の融解温度を有し得る。別の態様において、接着材料は、少なくとも１種の遷移金属元素を含有する金属合金を含んでもよい。接着材料は、本質的に前述の無機材料のうちのいずれかからなり得る。

別の実施形態において、接着材料は、天然材料、合成材料、ポリマー、樹脂、エポキシ、熱硬化性物質、熱可塑性物質、エラストマー、またはこれらの任意の組み合わせなどの有機材料であり得る。ある特定の実施形態において、有機材料としては、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタン、ポリエステル、ポリイミド、ポリベンゾイミダゾール、芳香族ポリアミド、修飾フェノール樹脂（エポキシ修飾およびゴム修飾樹脂、または可塑剤とブレンドされたフェノール樹脂など）、またはこれらの任意の組み合わせを挙げることができる。特定の実施形態において、接着材料に含有される有機材料としては、フェノール樹脂を挙げることができる。例示的なフェノール樹脂は、レゾール樹脂またはノボラック樹脂であり得る。接着材料は、本質的に前述の有機材料のうちのいずれかからなり得る。

接着材料は、層の形態で基材および研磨粒子の上に重なり得る。接着材料によって形成される層は、連続層または非連続層であり得る。特定の実施形態において、接着材料は、実質的に均一な厚さを有する連続層であり得る。別の実施形態において、接着材料は、ギャップ領域によって分離されている接着領域を有する非連続層であり得、ギャップ領域が、接着材料を含まない研磨物品の部分を画定する。一態様において、接着材料を含まないギャップ領域は、基材の表面領域であり得る（例えば、図５を参照されたい）。

一実施形態において、接着材料は、第１の層と第１の層の上に重なる第２の層とを含む、複数の層であり得る。例えば、接着材料は、複数のフィルムを含み得、フィルムの各々が、本明細書に開示されるのと同じかまたは異なるプロセスによって形成され得る。フィルムの各々は、接着材料としての使用に好適である、本明細書に記載の有機および／または無機材料のうちの１種以上を含み得る。

接着材料は、研磨粒子を基材に結合することができる。一実施形態において、研磨粒子は、接着材料の厚さ方向に１つのみの研磨粒子が含有され得るように、接着材料内に配置され得、これは、一般に、単層固定研磨物品であると理解される。特定の実施形態において、例えば図１に示されるように、研磨粒子（１０３）のある特定の部分は、接着材料（１０２）の外面上に延在してもよく、接着材料で覆われなくてもよい。なお他の実施形態において、接着材料内に複数の研磨粒子の層が含有されてもよく、接着材料の外面に近い研磨粒子のみが接着材料から部分的に突出していてもよい。

ある特定の具体的な実施形態において、本開示の研磨物品は、金属単層研磨物品であり得る。本明細書で使用されるとき、金属単層研磨物品は、研磨粒子の単層が接着材料によって基材に結合され、接着材料が、金属または金属合金から本質的になる、研磨物品に関することが意図される。

研磨粒子の材料としては、酸化物、炭化物、窒化物、ホウ化物、酸窒化物、酸ホウ化物、ダイヤモンド、またはこれらの任意の組み合わせを挙げることができる。ある特定の態様において、研磨粒子としては、超研磨材料、例えば、ダイヤモンドまたは立方晶窒化ホウ素を挙げることができる。特定の実施形態において、研磨粒子は、本質的にダイヤモンドからなり得る。別の態様において、研磨粒子は、少なくとも約１０ＧＰａのビッカーズ硬度を有し得る。

さらなる態様において、研磨粒子は、第１の種類の研磨粒子と、第２の種類の研磨粒子とを含み得、第１の種類の研磨粒子および第２の種類の研磨粒子が、硬度、破砕性、強靭性、粒子形状、結晶構造、平均粒径、組成、粒子コーティング、グリットサイズ分布、またはこれらの任意の組み合わせからなる群から選択される少なくとも１つの粒子特徴に基づいて互いに異なり得る。

一実施形態において、研磨粒子の平均粒径（Ｄ５０）は、少なくとも０．１マイクロメートル、または少なくとも０．５マイクロメートル、または少なくとも１マイクロメートル、または少なくとも２マイクロメートル、または少なくとも５マイクロメートル、または少なくとも８マイクロメートルであり得る。別の実施形態において、研磨粒子の平均粒径は、５０００マイクロメートル以下、または３０００マイクロメートル以下、または２０００マイクロメートル以下、または１５００マイクロメートル以下、または１０００マイクロメートル以下、または９００マイクロメートル以下、または８００マイクロメートル以下、または５００マイクロメートル以下、または３００マイクロメートル以下であり得る。研磨粒子の平均粒径は、少なくとも０．１マイクロメートル〜５０００マイクロメートル以下、または少なくとも１０マイクロメートル〜３０００マイクロメートル以下、または少なくとも３０マイクロメートル〜１０００マイクロメートル以下を含む範囲内などの、上記の最小値および最大値のうちのいずれか以内の値であり得る。

一実施形態において、研磨粒子が接着材料の厚さ方向に含有されていない領域では、研磨粒子は、接着材料の平均厚さＴ_ＢＭを超える平均粒径（Ｄ５０）を有し得る（例えば、図１を参照されたい）。一態様において、接着材料の平均厚さＴ_ＢＭ対研磨粒子の平均粒径の比（Ｔ_ＢＭ／Ｄ５０）は、０．９以下、または０．８以下、または０．７以下、または０．６以下、または０．５以下、または０．４以下、または０．３以下、または０．２以下、または０．１以下などの、１以下であり得る。一態様において、比（Ｔ_ＢＭ／Ｄ５０）は、少なくとも０．２、または少なくとも０．３、または少なくとも０．４、または少なくとも０．５、または少なくとも０．６、または少なくとも０．７、または少なくとも０．８、または少なくとも０．９などの、少なくとも０．１であり得る。比（Ｔ_ＢＭ／Ｄ５０）は、１以下〜少なくとも０．１、０．７以下〜少なくとも０．２、または０．５以下〜少なくとも０．１を含む範囲内などの、上記の最大値および最小値のうちのいずれかの間の値であり得る。

本開示の研磨物品の基材は、少なくとも約１０：１の長さ：幅のアスペクト比を有する細長い部材を備え得る。一態様において、基材は、少なくとも７０ｍ、または少なくとも１００ｍなどの、少なくとも５０ｍの平均長さを有し得る。特定の態様において、基材は、ワイヤであり得る。別の特定の態様において、基材は、一緒に編まれた複数のフィラメントであり得る。基材などは、単層研磨ワイヤの形成に好適であり得る。

別の特定の実施形態において、基材は、丸い形状、例えば、単層研磨砥石の支持構造としてのディスクの形状を有し得る。

別の実施形態において、本開示の研磨物品は、複雑な形状を有する基材に基づく複雑な形状の工具であり得る。本明細書で使用されるとき、複雑な形状の基材は、非単調な曲率、より具体的には凸曲率および凹曲率の組み合わせなどの異なる曲率の組み合わせを有する表面を有し得る。基材（本明細書において時折バッキングとも呼ばれる）は、有機材料、無機材料、またはこれらの組み合わせであり得る。特に好適な有機基材材料としては、ポリエステル、ポリウレタン、ポリプロピレン、および／またはポリイミド、例えばＤｕＰｏｎｔからのＫＡＰＴＯＮなどのポリマー、ならびに紙を挙げることができる。いくつかの好適な無機材料としては、金属、金属合金、具体的には銅、アルミニウム、鋼、またはこれらの任意の組み合わせの箔を挙げることができる。ある特定の場合において、基材としては、織布材料または不織布材料を挙げることができる。基材は、触媒、カップリング剤、硬化剤、静電防止剤、懸濁化剤、増量防止剤、潤滑剤、湿潤剤、染料、充填剤、粘度調整剤、分散剤、消泡剤、および研削剤の群から選択される１種以上の添加剤を含み得る。そのような基材材料は、コーティング研磨物品での使用に好適であり得る。

本開示の研磨物品のコーティングは、少なくとも部分的に接着材料の外面の上に重なっていてもよく、それにより、接着材料、および研磨粒子を保持する接着材料の能力を強化および保護することができる。

一実施形態において、図１に示されるように、コーティング（１０５）は、接着材料と直接接触してもよく、さらに接着材料（１０２）の上に延在する研磨粒子（１０３）の外面の大部分の上に重なっていてもよい。

別の実施形態において、コーティング（２０５）は、図２に示されるように、基材（２０１）の上に重なる接着材料（２０２）と直接接触してもよく、接着材料（２０２）の上に延在する研磨粒子（２０３）の外面の大部分は、コーティング（２０５）を含まない。

さらなる実施形態において、コーティング（３０５）は、研磨粒子（３０３）と直接接触してもよく、基材（３０１）の上に重なる接着材料（３０２）の外面の大部分は、コーティング（３０５）を含まなくてもよい（図３を参照されたい）。

なお別の実施形態において、研磨物品（４００）の基材（４０１）は、接着材料（４０２）によって繊維に結合している研磨粒子（４０３）を含有する、互いにねじれた不織布繊維であってもよく、接着材料（４０２）および延在する研磨粒子（４０３）は、図４に示されるように、本開示のコーティング（４０５）によって少なくとも部分的にコーティングされている。

さらなる特定の実施形態において、コーティングは、研磨粒子および接着材料の上に延在するコンフォーマルコーティングであってもよい。ある特定の態様において、コーティングは、研磨物品の外面を画定することができる。図５は、コンフォーマルコーティング（５０５）の実施形態を示し、接着材料（５０２）が、非連続層であり得、コーティング（５０５）が、基材（５０１）、研磨粒子（５０３）の延在部分、および接着材料（５０２）の外面の一部分の上に直接重なってもよい。

一実施形態において、コーティングは、平均厚さ（Ｔ_Ｃ）を有し得、接着材料は、接着材料層の厚さ方向に研磨粒子が含まれていない領域において、平均厚さ（Ｔ_ＢＭ）を有し得、Ｔ_Ｃが、Ｔ_ＢＭよりも低い。一実施形態において、比（Ｔ_Ｃ／Ｔ_ＢＭ）は、０．９以下、または０．８以下、または０．７以下、または０．６以下、または０．５以下、または０．４以下、または０．３以下、または０．２以下、または０．１以下、または０．０８以下、または０．０５以下、または０．０３以下などの、０．９９以下であり得る。別の態様において、比（Ｔ_Ｃ／Ｔ_ＢＭ）は、少なくとも０．００３、または少なくとも０．００５、または少なくとも０．００８、または少なくとも０．０１、または少なくとも０．０３、または少なくとも０．０５、または少なくとも０．０８、または少なくとも０．１、または少なくとも０．２、または少なくとも０．３、または少なくとも０．４、または少なくとも０．５、または少なくとも０．６、または少なくとも０．７、または少なくとも０．８、または少なくとも０．９などの、少なくとも０．００１であり得る。比（Ｔ_Ｃ／Ｔ_ＢＭ）は、０．９９以下〜少なくとも０．００１、または０．５以下〜少なくとも０．００５、または０．２以下〜少なくとも０．０１を含む範囲内などの、上記の最大値および最小値のうちのいずれかの間の値であり得る。

本開示の研磨物品は、当技術分野で既知の任意の好適なサイズおよび形状を有し得ることが理解されるであろう。

一実施形態において、図６Ａに示されるように、本開示の研磨物品は、第１の表面（６０１）と、第２の表面（６０２）と、第１の表面と第２の表面との間に延在する側面（６０３）と、を有し得る。基材の第１の表面（６０１）は、平面状であり得、研磨粒子は、接着材料によって第１の表面（６０１）に結合され得る。研磨物品に蒸着を施して、研磨物品の外側の第１の表面上にパリレンコーティングを形成してもよい。

別の実施形態において、図７に示されるように、研磨物品は、第１の表面（７０１）と、第２の表面（７０２）と、第１の表面と第２の表面との間に延在する側面（７０３）と、を有し得る。側面（７０３）は、湾曲した表面であり得、研磨粒子は、接着材料によって側面（７０３）に結合され得る。研磨物品に蒸着を施して、研磨物品の外側の側面上にパリレンコーティングを形成してもよい。

なおさらなる実施形態において、本開示の研磨物品は、複雑な形状を有する基材に基づく複雑な形状の工具であり得る。本明細書で使用されるとき、複雑な形状の基材は、非単調な曲率、より具体的には凸曲率および凹曲率の組み合わせなどの異なる曲率の組み合わせを有する表面を有し得る。例えば、図９に示されるように、研磨物品は、複雑な形状を有する軸付けクイルＳＡ工具であってもよく、基材が、第１の表面（９０１）と、第２の表面（９０２）と、複雑な形状の側面（９０３）とを有し得る。研磨粒子の単層は、接着材料によって基材の湾曲した側面（９０３）に結合させることができる。研磨物品に蒸着を施して、外側の側面（９０３）上にパリレンコーティングを形成してもよい。

接着材料が、基材（本明細書ではバッキングとも呼ばれる）に研磨粒子の単層を付着させるための複数のフィルムである、研磨物品の図は、図１１に見ることができる。図１１に示される物品は、バッキング１１１を備え、バッキング１１１上には、「メイクコート」とも呼ばれる第１のバインダー層１１３が適用される。研磨粒子１１９の単層は、メイクコートに部分的に埋め込まれ、それによってバッキングに固定することができる。メイクコート１１３および研磨粒子１１９の上部に、典型的には「サイズコート」と呼ばれる第２のバインダー層１１５をさらに適用してもよく、これは、メイクコートおよびバッキングへのより確実な研磨粒子の付着を提供することができる。特に好ましい態様において、パリレンコーティング１１７は、サイズコート１１５の上部に直接堆積される。

図１１に示される研磨物品のバッキング１１１は、可撓性であっても剛性であってもよい。バッキング１１１は、コーティング研磨材の製造においてバッキングとして従来使用されているものを含む、多数の様々な材料で作製するができる。例示的な可撓性バッキングとして、ポリオレフィンフィルム（例えば、二軸延伸ポリプロピレンを含むポリプロピレン）、ポリエステルフィルム（例えばポリエチレンテレフタレート）、ポリアミドフィルム、またはセルロースエステルフィルムなどの、ポリマーフィルム（例えば、下塗りフィルム）；金属箔；網；発泡体（例えば、天然スポンジ材料またはポリウレタンフォーム）；布（例えば、ポリエステル、ナイロン、絹、綿、ポリコットン、レーヨン、もしくはこれらの組み合わせからなる繊維または糸から作られた布）；紙；加硫紙；加硫ゴム；加硫繊維；不織布材料；これらの組み合わせ；または、これらを処理したものを挙げることができる。布バッキングは、織るまたはステッチで接合することができる。特定の例では、バッキングは、紙、ポリマーフィルム、布（例えば、綿、ポリコットン、レーヨン、ポリエステル、ポリナイロン）、加硫ゴム、加硫繊維、金属箔、金属繊維、およびこれらの任意の組み合わせからなる群から選択され得る。他の例では、バッキングは、ポリプロピレンフィルムまたはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを含む。

メイクコート１１３およびサイズコート１１５の材料は、同じであっても異なっていてもよい。ある特定の実施形態において、メイクコートおよびサイズコートは、有機ポリマー材料、例えば、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル、ポリウレタン、またはポリマーの複数の種類の組み合わせを含み得る。メイクコート１１３および／またはサイズコート１１５は、当技術分野で一般的に既知であり、上述の非ポリマー添加剤をさらに含有してもよい。

さらなる態様において、スーパーサイズコート（図１２に図示せず）の形態の第３のバインダー層は、サイズコート１１５の上に重なり、サイズコート１１５と本開示のパリレンコーティング１１７との間にあり得る。スーパーサイズコートは、サイズコートおよび／またはメイクコートを形成するために使用されるバインダー組成物と、同一であっても異なっていてもよい。

ある特定の具体的な実施形態において、図１〜８および１１に示されるパリレンコーティングは、パリレンＨＴコーティングであり得る。

本開示の本体のコーティングは、腐食および機械的破壊に対する接着材料の良好な保護を提供することができ、それにより研磨物品の寿命を向上することができる。

多くの異なる態様および実施形態が可能である。それらの態様および実施形態のいくつかが本明細書に記載されている。本明細書を読んだ後、当業者は、それらの態様および実施形態が例示にすぎず、本発明の範囲を限定しないことを理解するであろう。実施形態は、以下にリスト化される実施形態のうちのいずれか１つ以上に従うことができる。

実施形態：
実施形態１．基材と、接着材料によって基材に結合されている研磨粒子と、少なくとも１種の接着材料の少なくとも一部分の上に重なるコーティングと、を備える研磨物品であって、コーティングが、ポリ（ｐ−キシリレン）ポリマーまたはポリ（ｐ−キシリレン）コポリマーを含む、研磨物品。

実施形態２．基材が、少なくとも約１０：１の長さ：幅のアスペクト比を有する細長い部材を備える、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態３．基材が、少なくとも約５０ｍの平均長さを備える、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態４．基材が、ワイヤを備える、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態５．基材が、一緒に編まれた複数のフィラメントを備える、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態６．基材が、第１の表面と、第２の表面と、第１の表面と第２の表面との間に延在する側面と、を備える、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態７．第１の表面が、平面状の表面であり、研磨粒子が、接着材料によって第１の表面に結合されている、実施形態６に記載の研磨物品。

実施形態８．側面が、湾曲した表面であり、研磨粒子が、接着材料によって側面に結合されている、実施形態６に記載の研磨物品。

実施形態９．基材が、有機または無機材料を含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態１０．基材が、金属、金属合金、ポリマー、織布材料、不織布材料、繊維性材料、紙、またはこれらの任意の組み合わせからなる群から選択される材料を含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態１１．接着材料が、ポリエステル、ポリウレタン、ポリプロピレン、ポリイミド、またはこれらの任意の組み合わせからなる群から選択される材料を含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態１２．接着材料が、銅、アルミニウム、鋼、またはこれらの任意の組み合わせからなる群から選択される材料を含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態１３．基材が、触媒、カップリング剤、硬化剤、静電防止剤、懸濁化剤、増量防止剤、潤滑剤、湿潤剤、染料、充填剤、粘度調整剤、分散剤、消泡剤、および研削剤の群から選択される１種以上の添加剤を含む、バッキングを含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態１４．接着材料が、有機材料、無機材料、またはこれらの任意の組み合わせからなる群から選択される材料を含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態１５．接着材料が、金属、金属合金、セラミック、サーメット、ガラス、複合素材、またはこれらの任意の組み合わせからなる群から選択される材料を含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態１６．接着材料が、ポリエステル、エポキシ樹脂、ポリウレタン、ポリアミド、ポリアクリレート、ポリメタクリレート、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリシロキサン、シリコーン、酢酸セルロース、ニトロセルロース、天然ゴム、デンプン、シェラック、またはこれらの任意の組み合わせからなる群から選択される材料を含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態１７．接着材料が、遷移金属元素を含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態１８．接着材料が、少なくとも１種の遷移金属元素を含む合金を含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態１９．接着材料が、ニッケル、鉛、銀、銅、亜鉛、スズ、チタン、モリブデン、クロム、鉄、マンガン、コバルト、ニオブ、タンタル、タングステン、パラジウム、白金、金、ルテニウム、またはこれらの任意の組み合わせからなる金属の群から選択される金属を含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態２０．接着材料が、ニッケルを含む、実施形態１または１９に記載の研磨物品。

実施形態２１．接着材料が、本質的にニッケルからなる、実施形態１、１８、または１９に記載の研磨物品。

実施形態２２．接着材料が、真鍮を含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態２３．接着材料が、約４５０℃以下かつ少なくとも１００℃の融点を有するはんだを含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態２４．接着材料が、材料層の形態である、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態２５．接着材料が、ギャップ領域によって分離された接着領域を有する非連続層の形態であり、ギャップ領域が、接着材料を含まない基材の表面の部分を画定する、実施形態１または２４に記載の研磨物品。

実施形態２６．接着材料が、基材の表面の少なくとも一部分の上に延在する材料の連続層の形態である、実施形態１または２４に記載の研磨物品。

実施形態２７．接着材料が、実質的に均一な厚さを有する連続層を画定する、実施形態１または２４に記載の研磨物品。

実施形態２８．接着材料が、真鍮、電解めっき材料、無電解めっき材料、はんだ、またはこれらの任意の組み合わせのうちの少なくとも１種を含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態２９．接着材料が、硬化性材料を含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態３０．接着材料が、第１の層と、第１の層の上に重なる第２の層とを含む、複数の層を備える、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態３１．基材が、可撓性であり、基材コーティングを備える、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態３２．基材が、不織布材料を含む、実施形態１または３０に記載の研磨物品。

実施形態３３．基材が、織布材料を含む、実施形態１または３０に記載の研磨物品。

実施形態３４．実施形態１に記載の研磨物品を含む、固定ダイヤモンドワイヤ。

実施形態３５．実施形態１に記載の研磨物品を含む、金属単層研磨物品。

実施形態３６．研磨粒子が、基材の上に重なる単層に配置されている、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態３７．接着材料が、多孔性を含まない、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態３８．研磨粒子が、接着材料の平均厚さを超える平均粒径（Ｄ５０）を有する、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態３９．研磨粒子が、平均粒径（Ｄ５０）を有し、接着材料が、平均厚さ（Ｔ_ＢＭ）を備え、１以下、または０．９以下、または０．８以下、または０．７以下、または０．６以下、または０．５以下、または０．４以下、または０．３以下、または０．２以下、または０．１以下の接着材料の厚さ対粒径の比（Ｔ_ＢＭ／Ｄ５０）をさらに備える、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態４０．研磨粒子が、平均粒径（Ｄ５０）を有し、接着材料が、平均厚さ（Ｔ_ＢＭ）を備え、少なくとも０．１、または少なくとも０．２、または少なくとも０．３、または少なくとも０．４、または少なくとも０．５、または少なくとも０．６、または少なくとも０．７、または少なくとも０．８、または少なくとも０．９の接着材料の厚さ対粒径の比（Ｔ_ＢＭ／Ｄ５０）をさらに備える、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態４１．ポリ（ｐ−キシリレン）ポリマーまたはポリ（ｐ−キシリレン）コポリマーが、フッ素、塩素、臭素、またはこれらの任意の組み合わせを含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態４２．ポリ（ｐ−キシリレン）またはポリ（ｐ−キシリレン）コポリマーが、アルキル基またはアルコキシ基を含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態４３．ポリ（ｐ−キシリレン）ポリマーまたはポリ（ｐ−キシリレン）コポリマーが、線状ポリマーまたは架橋ポリマーである、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態４４．コーティングが、パリレンＮ、パリレンＣ、パリレンＤ、パリレンＨＴ、またはこれらの任意の組み合わせを含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態４５．コーティングが、本質的にパリレンＮ、パリレンＣ、パリレンＤ、パリレンＨＴ、またはこれらの任意の組み合わせからなる、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態４６．コーティングが、フッ素を含むパリレンを含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態４７．コーティングが、接着材料上に優先的に配置されている、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態４８．コーティングが、接着材料と直接接触している、実施形態４７に記載の研磨物品。

実施形態４９．コーティングが、接着材料と直接接触し、接着材料の上に延在する研磨粒子の外面の大部分が、コーティングを含まない、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態５０．コーティングが、接着材料の表面および研磨粒子の表面と直接接触している、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態５１．コーティングが、優先的に研磨粒子の上に重なっている、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態５２．コーティングが、研磨粒子と直接接触し、接着材料の外面の大部分が、コーティングを含まない、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態５３．コーティングが、研磨粒子および接着材料上に延在するコンフォーマルコーティングである、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態５４。コーティングが、研磨物品の外面を画定する、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態５５．研磨粒子が、平均粒径（Ｄ５０）を有し、コーティングが、平均厚さ（Ｔ_Ｃ）を備え、１以下、または０．９以下、または０．８以下、または０．７以下、または０．６以下、または０．５以下、または０．４以下、または０．３以下、または０．２以下、または０．１以下、または０．０８以下、または０．０５以下、または０．０３以下のコーティングの厚さ対粒径の比（Ｔ_Ｃ／Ｄ５０）をさらに備える、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態５６．研磨粒子が、平均粒径（Ｄ５０）を有し、コーティングが、平均厚さ（Ｔ_Ｃ）を備え、少なくとも０．００１、または少なくとも０．００３、または少なくとも０．００５、または少なくとも０．００８、または少なくとも０．０１、または少なくとも０．０３、または少なくとも０．０５、または少なくとも０．０８、または少なくとも０．１、または少なくとも０．２、または少なくとも０．３、または少なくとも０．４、または少なくとも０．５、または少なくとも０．６、または少なくとも０．７、または少なくとも０．８、または少なくとも０．９のコーティングの厚さ対粒径の比（Ｔ_Ｃ／Ｄ５０）をさらに備える、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態５７．接着材料が、平均厚さ（Ｔ_ＢＭ）を備え、コーティングが、平均厚さ（Ｔ_Ｃ）を備え、１以下、または０．９以下、または０．８以下、または０．７以下、または０．６以下、または０．５以下、または０．４以下、または０．３以下、または０．２以下、または０．１以下、または０．０８以下、または０．０５以下、または０．０３以下のコーティングの厚さの厚さ対接着材料の厚さの比（Ｔ_Ｃ／Ｔ_ＢＭ）をさらに備える、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態５８．接着材料が、平均厚さ（Ｔ_ＢＭ）を備え、コーティングが、平均厚さ（Ｔ_Ｃ）を備え、少なくとも０．００１、または少なくとも０．００３、または少なくとも０．００５、または少なくとも０．００８、または少なくとも０．０１、または少なくとも０．０３、または少なくとも０．０５、または少なくとも０．０８、または少なくとも０．１、または少なくとも０．２、または少なくとも０．３、または少なくとも０．４、または少なくとも０．５、または少なくとも０．６、または少なくとも０．７、または少なくとも０．８、または少なくとも０．９のコーティングの厚さ対接着材料の厚さの比（Ｔ_Ｃ／Ｔ_ＢＭ）をさらに備える、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態５９．コーティングが、少なくとも０．１マイクロメートル、または少なくとも０．３マイクロメートル、または少なくとも０．５マイクロメートル、または少なくとも１マイクロメートル、または少なくとも２マイクロメートル、または少なくとも３マイクロメートル、または少なくとも５マイクロメートル、または少なくとも１０マイクロメートルの平均厚さを備える、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態６０．コーティングが、５００マイクロメートル以下、または３００マイクロメートル以下、または２００マイクロメートル以下、または１００マイクロメートル以下、または７５マイクロメートル以下、または５０マイクロメートル以下、または２５マイクロメートル以下、または１０マイクロメートル以下、または５マイクロメートル以下の平均厚さを備える、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態６１．研磨粒子が、酸化物、炭化物、窒化物、ホウ化物、酸窒化物、酸ホウ化物、ダイヤモンド、またはこれらの任意の組み合わせからなる群から選択される材料を含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態６２．研磨粒子が、超研磨材料を含み、研磨粒子が、ダイヤモンドまたは立方晶窒化ホウ素を含み、研磨粒子が、本質的にダイヤモンドからなり、研磨粒子が、少なくとも約１０ＧＰａのビッカーズ硬度を有する材料を含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態６３．研磨粒子が、第１の種類の研磨粒子と、第２の種類の研磨粒子とを含み、第１の種類の研磨粒子および第２の種類の研磨粒子が、硬度、破砕性、強靭性、粒子形状、結晶構造、平均粒径、組成、粒子コーティング、グリットサイズ分布、またはこれらの任意の組み合わせからなる群から選択される少なくとも１つの粒子特徴に基づいて互いに異なる、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態６４．研磨粒子が、約５０００マイクロメートル以下、または約３０００マイクロメートル以下、または約２０００マイクロメートル以下、または約１５００マイクロメートル以下、または約３００マイクロメートル以下の平均粒径を含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態６５．研磨粒子が、少なくとも約０．１マイクロメートル、または少なくとも約０．５マイクロメートル、または少なくとも約１マイクロメートル、または少なくとも約２マイクロメートル、または少なくとも約５マイクロメートル、または少なくとも約８マイクロメートルの平均粒径を含む、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態６６．コーティングが、少なくとも３５０℃、または少なくとも３８０℃、または少なくとも４００℃、または少なくとも４２０℃、または少なくとも４４０℃、または少なくとも４６０℃、または少なくとも４８０℃、または少なくとも５００℃の融点を有する、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態６７．コーティングが、５８０℃以下、５５０℃以下、５３０℃以下、５１０℃以下、５００℃以下、または４６０℃以下、または４２０℃などの、６００℃以下の融点を有する、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態６８．基材が、織布または不織布繊維を含み、接着材料が、第１の層および第２の層を備え、接着材料の第１の層が、基材の上に直接重なり、研磨粒子の単層を基材に付着させ、接着材料の第２の層が、接着材料の第１の層および研磨粒子の上に重なり、コーティングが、第２の接着層の外面の上に重なっている、実施形態１に記載の研磨物品。

実施形態６９．研磨物品を形成する方法であって、接着材料によって基材の表面に結合されている研磨粒子を有する基材を提供することと、蒸着によってコーティングを適用することであって、コーティングが、接着材料および研磨粒子の上に重なり、コーティングが、ポリ（ｐ−キシリレン）ポリマーを含む、適用することと、を含む、方法。

実施形態７０．ポリ（ｐ−キシリレン）ポリマーが、パリレンＨＴを含む、実施形態６９に記載の方法。

実施形態７１．コーティングが、少なくとも０．５マイクロメートルかつ２５マイクロメートル以下の平均厚さを有する、実施形態６９に記載の方法。

実施例１
パリレンＨＴコーティング繊維ディスクの研削性能の調査
Ｓａｉｎｔ−ＧｏｂａｉｎからのタイプＦ９７０ＳＨの単層研磨繊維ディスクを、蒸着によって薄いパリレンＨＴコーティングでコーティングした。パリレンＨＴコーティングの下のＦ９７０ＳＨディスクは、メイクコートである３６グリットサイズを有するセラミック粒子の層を介して付着させた基材材料としての繊維バッキングを含有した。Ｆ９７０ＳＨディスクは、研磨粒子を固定するためのメイクコートの上部のサイズコート、および研磨粒子をさらに含有した。

パリレンＨＴ蒸着プロセスは、二量体化合物１，１，２，２，９，９，１０，１０−オクタフルオロ［２．２］パラシクロファンの気化、二量体のモノマーへの熱分解、および堆積中にパリレンＨＴポリマーを形成することを含んだ。堆積チャンバ内の堆積中の真空は、２５℃の温度で０．１Ｔｏｒｒであった。

適用されたパリレンＨＴコーティングは、約５〜７マイクロメートルの平均厚さを有した。パリレンＨＴコーティングディスクは、本明細書では試料Ｓ１と呼ばれる。

比較試料Ｃ２は、上の試料Ｓ１について記載されているのと同じ種類のディスクＦ９７０ＳＨを使用したので、Ｓ１との唯一の違いは、パリレンＨＴコーティングを含有しないことであった。

３６グリット対照とも呼ばれ、３６グリットサイズのセラミック粒子の層が標準メイクコートおよび標準サイズコートによって付着した、さらなる比較繊維ディスクＣ３を研削試験に使用し、これはまた、パリレンコーティングを含有しなかった。

研削試験は、試験材料の比研削エネルギーＳＧＥ（エネルギー／単位体積）対累積材料除去を測定することによって行った。試験材料は、Ａ３６熱圧延鋼片であった。図１０に示されるように、パリレンＨＴコーティングディスク（Ｓ１）は、パリレンＨＴコーティングを含有しないディスクＣ２を著しく上回る性能を有した。比較標準対照ディスクＣ３は、ＳＧＥに関して最も低い材料除去を有した。さらに、パリレンコーティングを添加することにより、必要な比研削エネルギー（ＳＧＥ）がはるかに低く、はるかに長い研削作業、それによってより高い累積材料除去を可能にしたことを見ることができる。

前述の実施形態は、接着された研磨製品、具体的には研削砥石を対象とし、最先端技術とは異なることを表している。

特定の実施形態に関して、利益、他の利点、および課題の解決策が上述されている。しかしながら、利益、利点、課題の解決策、および任意の利益、利点、または解決策を発生させるまたはより明確にさせることができる任意の特徴は、任意または全ての請求項の重要な、必要な、または本質的な特徴として解釈されるべきではない。本明細書において、１つ以上の構成要素を含む材料に対する言及は、材料が特定される１つ以上の構成要素から本質的になる、少なくとも１つの実施形態を含むと解釈することができる。用語「本質的にからなる」は、特定される材料を含む組成物を含み、材料の特性を著しく変化させない少量の含有物（例えば、不純物含有物）を除く全ての他の材料を除外すると解釈されるであろう。加えて、または代替的に、ある特定の非限定的な実施形態において、本明細書で特定される組成物のうちのいずれかは、明示的に開示されていない材料を本質的に含まなくてもよい。本明細書の実施形態は、材料中のある特定の構成成分をある範囲の含有量で含み、所与の材料中の構成成分の含有量が合計１００％であることが理解されるであろう。

本明細書に記載された実施形態の明細書および例示は、様々な実施形態の構造の一般的な理解を提供することを意図している。明細書および例示は、本明細書に記載の構造または方法を使用する装置およびシステムの全ての要素および特徴の網羅的かつ包括的な説明として役立つことを意図するものではない。別個の実施形態はまた、単一の実施形態において組み合わせて提供されてもよく、逆に、簡潔にするために、単一の実施形態の文脈で説明されている様々な特徴もまた、別個にまたは任意のサブコンビネーションで提供されてもよい。さらに、範囲に記載されている値への言及は、言及された終了範囲の値を含む、その範囲内の全ての値を含む。本明細書を読んだ後であれば、他の多くの実施形態が当業者にとって明らかであろう。本開示の範囲から逸脱することなく、構造的置換、論理的置換、または他の変更が行われ得るように、他の実施形態が使用され、本開示から導出され得る。したがって、本開示は、限定的ではなく例示的とみなされるべきである。

Claims (15)

1. 研磨物品であって、
   基材と、
   接着材料によって前記基材に結合している研磨粒子と、
   前記少なくとも１種の接着材料の少なくとも一部分の上に重なるコーティングであって、前記コーティングが、ポリ（ｐ−キシリレン）ポリマーを含む、コーティングと、を含む、研磨物品。
2. 前記研磨粒子が、前記基材の上に重なる単層に配置されている、請求項１に記載の研磨物品。
3. 前記研磨粒子が、前記接着材料の平均厚さを超える平均粒径（Ｄ５０）を有する、請求項１に記載の研磨物品。
4. 前記接着材料が、第１の層と、前記第１の層の上に重なる第２の層とを含む、複数の層を備える、請求項１、２、または３に記載の研磨物品。
5. 前記基材が、金属、金属合金、ポリマー、織布材料、不織布材料、繊維性材料、紙、またはこれらの任意の組み合わせからなる群から選択される材料を含む、請求項１、２、または３に記載の研磨物品。
6. 前記接着材料が、有機材料、無機材料、またはこれらの組み合わせから選択される材料を含む、請求項１、２、または３に記載の研磨物品。
7. 前記接着材料が、金属、金属合金、セラミック、サーメット、ガラス、複合素材、またはこれらの任意の組み合わせを含む材料を含む、請求項６に記載の研磨物品。
8. 前記接着材料が、ポリエステル、エポキシ樹脂、ポリウレタン、ポリアミド、ポリアクリレート、ポリメタクリレート、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリシロキサン、シリコーン、酢酸セルロース、ニトロセルロース、天然ゴム、デンプン、またはこれらの任意の組み合わせを含む材料を含む、請求項６に記載の研磨物品。
9. 前記コーティングが、パリレンＮ、パリレンＣ、パリレンＤ、パリレンＨＴ、またはこれらの任意の組み合わせを含む、請求項１、２、または３に記載の研磨物品。
10. 前記コーティングが、本質的にパリレンＨＴからなる、請求項９に記載の研磨物品。
11. 前記コーティングが、少なくとも０．５マイクロメートルかつ２５マイクロメートル以下の平均厚さを備える、請求項１、２、または３に記載の研磨物品。
12. 前記研磨粒子が、酸化物、炭化物、窒化物、ホウ化物、酸窒化物、酸ホウ化物、ダイヤモンド、またはこれらの任意の組み合わせの群から選択される材料を含む、請求項１、２、または３に記載の研磨物品。
13. 前記基材が、第１の表面と、第２の表面と、前記第１の表面と第２の表面との間に延在する側面と、を備え、前記第１の表面が、平面状の表面であり、前記研磨粒子が、前記接着材料によって前記第１の表面に結合されている、請求項１、２、または３に記載の研磨物品。
14. 研磨物品を形成する方法であって、
    接着材料によって前記基材の表面に結合されている研磨粒子を有する基材を提供することと、
    蒸着によってコーティングを適用することと、を含み、前記コーティングが、前記接着材料および研磨粒子の上に重なり、前記コーティングが、ポリ（ｐ−キシリレン）ポリマーを含む、方法。
15. 前記ポリ（ｐ−キシリレン）ポリマーが、パリレンＨＴを含む、請求項１４に記載の方法。
    

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