JP2005305954A - 光素子の樹脂封止成形方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、離型フィルム7を成形金型面に被覆する際に、下型3と中間型4とを上下方向へ嵌装させて、下型キャビティ面5の上面側と中間型4の下面11側とに離型フィルム7を張設し、更に、この状態で、下型キャビティ面5の外周囲にキャビティ部材20を嵌入させることによって、少なくとも下型キャビティ面5とキャビティ部材20により構成されるキャビティ面21とを含むキャビティ全面5・21の形状に沿って、離型フィルム7をフィットさせる。
【選択図】図2
Description
第一に、透光性樹脂は、金型全体を加熱状態として当該樹脂を加熱溶融化して溶融樹脂として用いるわけだが、この溶融樹脂は非常に粘性が低いことから、前記金型に形成されたキャビティの外周囲に樹脂が漏出しやすく樹脂漏れの問題が発生しやすい。
第二に、前記キャビティへ当該樹脂を注入充填するために樹脂通路(例えば、カル・ランナ・ゲート・スプル等)を形成するわけだが、樹脂封止後の光電子部品には、光電子部品の製品領域と樹脂通路とが一体となって溶融樹脂が硬化樹脂となって形成される。その硬化樹脂形成後の一体となった光電子部品(成形品)は高温状態にあり、この透光性樹脂における硬化樹脂は高温時の硬度が低いことから、硬化樹脂を金型から離型する際に、金型の型面に付着しやすく、この場合におけるレンズ状の略半球状となる特有の曲面形状であれば、より一層キャビティ面から硬化樹脂をうまく離型させることが困難であると考えられ、さらに、この状態で、レンズ部分を金型の型面から離型できたとしても、レンズ面には凹凸が発生しやすく、鏡面状態を確保することが困難であると考えられる。
第三に、前記レンズ部分は、光素子が放射する光を透過する重要な部位であって、レンズ内部にボイド(気泡)が少しでも含んだ状態で透光性樹脂にて封止成形すると、光素子から放射された光が不均一となって輝度ムラを発生させて、光電子部品(製品)の品質劣化を招くことになる。
また、その他におけるトランスファー成形用の金型を用いて、光素子を透光性樹脂にて封止成形するが、依然として前述した樹脂成形上の問題を効率良く解決することが困難であると考えられる。
本装置とは、金型が三型(上型・下型・中間プレート)構造と離型フィルムとを備えた装置であって、離型フィルム成形と真空引き成形とを併用して行うものである。この装置の特徴としては、従来のトンスファーレス成形用の二型構造の金型では効率良く解決することができなかった、下型と中間プレートとを型締めして、下型の外周囲に設けたフィルム狭持部材で離型フィルムを弾性支受し、さらに、下型の傾斜部にて中間プレートの下型側金型面と下型用金型面との間に離型フィルムを緊張して被覆させる構成を採用しているので、緊張した離型フィルムによってフィルム皺を効率良く防止することができるように構成されている(例えば、特許文献2参照。)。
また、本金型構造では、下型用金型面が略水平状態であればフィルム皺を発生させることなく効率良く離型フィルムを被覆できるが、下型金型面に形成されたレンズ形状の略半球状をした特有の曲面形状を有するキャビティの形状に沿って、緊張した状態の離型フィルムをうまく被覆させることができないと云う問題が発生することである。
図1(1)は、対象となる光素子を装着した基板の断面図および側面図を示す。
図1(2)は、本発明に係わる樹脂封止成形方法を実施するために用いる樹脂封止成形用金型の断面図を示す。
図2乃至図5は、図1(2)に対応する前記金型要部の断面図であって、図1(1)に対応する基板を樹脂封止成形する実施方法を段階的に示す。
この封止成形体25には、レンズ形状の略半球状における曲面部31と曲面部31の周囲に平面部32とで形成される。この場合においては、四個の曲面部31と各曲面部31間にある三個所の平面部32および両側に形成された二個所の平面部32が示されているが、近年における基板15の種類やボンディングの有無・方式のいかんを問わず、コストダウンのために基板15について大型化の要請が強くなることに加えて、基板15の厚みが薄型化すること、光素子16の取れ数を一枚の基板15で大量に確保できるように、光素子16自体の極薄化、光素子16間隔の狭小化という傾向に起因して、従来の短冊状の基板15に加えて、様々な大型化・薄型化した基板15等のマップ型(マトリクス型)の基板15、すなわち、マップ型(マトリクス型)基板15に装着された表面実装タイプの大量の光素子16を透光性樹脂17にて効率良く封止成形することができるように、図例における封止成形体25を、例えば、光素子16一個に対して曲面部31一個を各別に形成する基板15ではなく、所定数の光素子16を一群として所要複数群を曲面部31を一括して形成する基板15、或いは、封止成形体25における平面部32すなわち所定の厚みを有さない全く平面部32を形成せずに曲面部31のみで形成する基板15であってもよい。さらに、レンズ状の曲面部31に代えて多角形状を有する封止成形体25であってもよい。
この透光性樹脂17(樹脂材料)は、光素子16を保護樹脂およびレンズとして機能するわけだが、例えば、エポキシ樹脂またはシリコーン樹脂を用いる。また、顆粒状樹脂でなく、液状樹脂、或いは、シート状樹脂を採用してもよい。
従って、従来のトランスファー成形用の金型を用いずに、トランスファーレス成形用の金型1、すなわち、樹脂通路部分を全く形成しない環境問題を十分に考慮した不要な樹脂部分を最小限に抑制させることができると共に、様々な基板15に装着された光素子16(封止成形体25)に対応して、例えば、レンズ形状の略半球状で形成された基板15であっても、効率良く以下に示す樹脂封止成形用金型1を用いて対応することができるように構成される。
また、上型面8と上型側金型面10との間では、封止前基板24の供給または光電子部品28の取出または透光性樹脂17の供給、下型側金型面11と下型面9(下型キャビティ面5)との間では、離型フィルム7の供給・送出を行って、離型フィルム7を介して下型3と中間型4とが上下方向に嵌装自在に型締め・型開きするように構成される。
なお、可動可能な下型3・中間型4の型締め・型開き動作において、油圧、水圧、空気圧、機械式等による適宜なプレス手段(図示なし)が設けられると共に、上下型2・3とは別に中間型4は、独立した別の適宜なプレス手段(図示なし)が設けられる。各プレス手段が、単動・連動に制御することで、各金型1が図の上下方向に嵌装自在に型締め・型開きできるように構成される。
また、基板狭持固定方式では、基板吸着固定方式とシール部材13との間における外周囲に設けることが好ましく、基板15の基板外周部26を載置可能にし、且つ、封止成形体25部分が開口された適宜なチャック機構(図示なし)によって、例えば、大型化・薄型化した基板15であれば、基板外周部26全体をチャック機構で狭持固定する構成にして、従来で用いる短冊状の基板15であれば、基板外周部26の所要複数箇所にチャック爪を備えた別のチャック機構(図示なし)を設けて、基板外周部26をチャック爪で狭持固定する構成でもよい。
従って、基板装着固定手段34における基板吸着固定方式と基板狭持固定方式とを組み合わせた構成であれば、基板15(封止前基板24或いは光電子部品28)において、図例のとおり、確実に上型面8の所定位置に保持されるので、基板15自体が下方に向けて移動する基板15の反りを効率良く防止できて、基板15を効率良く装着固定することができるように構成される。
この真空引き成形を行う場合、少なくともシール部材13、吸引排出孔35、真空引き機構を用いて、シール部材13に中間型4の上型側金型面10が上動して当接して、上型2と中間型4とがシール部材13を介在させることによって、外気遮断状態にして外気遮断空間部14を形成すると略同時に、外気遮断空間部14内を真空引きする真空引き機構に連絡する所要複数個の吸引排出孔35より、真空引きを行うことができるように構成される(図4(2)参照)。
従って、金型1構造にて真空引き成形を行ったとしても、下型キャビティ面5を含む成形金型面に被覆されたキャビティ全面5・21における離型フィルム7を上方に移動させることがないので、真空度を任意に調整できて、真空引き時間を削減し且つ十分にボイド(気泡)を除去して樹脂封止成形することができるように構成される。
このキャビティ部材20の断面形状は、図例のとおり、L字形状をしている。当該部材20におけるL字形状の垂直部分には、主に、離型フィルム7を介して基板外周部26を当接する基板当接部位40と、下型キャビティ面5の外周囲に配置され且つ下型キャビティ面5と下型キャビティ底面を形成するキャビティ外周面22と、基板当接部位40面からキャビティ外周面22との間のキャビティ側面23とで形成されると共に、キャビティ部材20におけるL字形状の水平部分には、狭持部材12を載置する上面と、キャビティ部材20が下動すると下型面9と当接する下面とを形成していると共に、当該部材20を上下動に弾性的に摺動させるスプリング等からなる適宜な弾性部材41を下型面9よりも凹んだ部分に嵌装するように構成される。
つまり、図1(2)に示す型開き状態では、キャビティ部材20の基板当接部位40面およびキャビティ面21(キャビティ外周面22・キャビティ側面23)が、下型キャビティ面5よりも上方に突出し且つ狭持部材12天面よりも低い位置で待機し、且つ、弾性部材41が復元した状態で待機すると共に、中間型4と下型3とが嵌装して型締めする図5(2)に示す状態になると、キャビティ部材20における水平部分の上面と狭持部材12の底面、および、キャビティ部材における水平部分の下面と下型面9が下動して当接して、弾性部材41が最も縮んだ状態になるように構成される。
このことからも、キャビティ部材20のキャビティ面21(キャビティ外周面22とキャビティ外周面23)と、凸所33天面の下型キャビティ面5とから構成されるものが、キャビティ全面5・21を構成している。
また、図3(1)に示すように、キャビティ全面5・21に離型フィルム7を被覆し且つ離型フィルム7を確実にフィットさせるわけだが、キャビティ部材20の基板当接部位40面より低くなるまで、狭持部材12天面が離型フィルム7を中間型4と狭持した状態で下動すると、狭持されない基板当接部位40内の離型フィルム7が、金型1の加熱状態で離型フィルム7が伸張することもあいまって、伸張した離型フィルム7がキャビティ全面5・21の形状にフィットして、少なくとも下型キャビティ面5に形成されたレンズ形状の曲面部31に対応して形成された特有の曲面形状にも確実にフィットすることができるように構成される。
従って、キャビティ全面5・21の形状に沿って、離型フィルム7を効率良く被覆し且つ確実にフィットさせているので、高密度な樹脂材料(透光性樹脂17)を用いても型面に付着することなく効率良く離型することができるように構成される。
このフィルム装着固定手段で、少なくとも下型面9の所定位置(下型キャビティ面5)に離型フィルム7を強制的に吸引して吸着固定することができるように構成される。そして、光電子部品28(成形品)を樹脂封止後に中間型4と下型3とを型開きして下型3のみを下動する図5(3)に示す状態になると、吸引排出作用と同様の経路を用いて、硬化された封止成形体25(硬化樹脂19)部分を離型フィルム7を介して、下型面9から光電子部品28(成形品)を離型するための圧送作用も併用できるように構成される。この場合であれば、基板15の大型化・薄型化に伴って、従来のエジェクタピン等の突き出し部材を用いずに、圧送して離型することにより、硬化した封止成形体25部分をより一層損傷しないように効率良く離型することができると共に、この透光性樹脂17における硬化樹脂19は高温時の硬度が低いことから、硬化樹脂19を金型1から離型する際に、金型1の型面に付着しやすくなるが、フィットしたフィルム皺のない離型フィルム7によって硬化樹脂19部分を効率良く離型することができるように構成される。
さらに、離型フィルム7をフィットさせるために、好ましくは、キャビティ全面5・21に被覆される離型フィルム7に、特に、特有の曲面形状に対してエアブローするエアブロー機構42を設ける構成にしてもよい(図2(2)参照。)。このエアブロー機構42によれば、より一層キャビティ全面(下型キャビティ面5・キャビティ面21)の形状に沿って、伸張した離型フィルム7をフィットさせることができるように構成される。
従って、離型フィルム7を確実にフィットさせるために、前述した方法を適宜に組み合わせることにより、基板15に装着された様々な光素子16に対応する様々な特有の曲面形状を含む任意の形状で形成されたキャビティ(下型キャビティ面5)に離型フィルム7を効率良く被覆でき且つ確実にフィットすることができるように構成される。
ここまでの図1(2)乃至図4(1)に示す実施方法において、封止前基板24の上型面8への装着固定、キャビティ空間部6の形成、金型1全体の予備加熱、或いは、キャビティ空間部6への透光性樹脂17の供給等における実施順序については、後述する図4(2)に示す真空引き工程までに実施できれば、適宜に変更することができる。
このことから、キャビティ空間部6における突出した基板当接部位40部分で基板外周部26を確実に当接するので、図5(2)に示す完全型締め状態で、溶融樹脂18が封止成形体25部分に完全に封止成形したとしても、基板外周部26上に溶融樹脂18が漏出することを効率良く防止することができる。
この図5(2)に示す状態が、狭持部材12とキャビティ部材20とが当接状態のままで、一体となって両部材12・20が下動して、キャビティ部材20の水平部分の下面と下型面9とが当接すると共に、下型2に設けた各弾性部材39・41が最も縮んだ状態となる、つまり、金型1(三型2・3・4)の完全型締め状態となる。
なお、金型1の完全型締め状態は、キャビティ空間部6底面を形成する下型キャビティ面5とキャビティ外周面22とを略同一平面上で実施するように説明しているが、様々な基板15に対応して、キャビティ空間部6で樹脂量を調整することができるように、例えば、キャビティ外周面22よりも下型キャビティ面5を図の垂直方向に高い位置、或いは、低い位置に適宜設定することで、封止成形体25の厚み、この場合、封止成形体25の平面部32の厚みを任意に変更する構成にしてもよい。
例えば、平面部32の厚みを完全になくすのであれば、キャビティ空間部6内に透光性樹脂17を供給する際には、キャビティ空間部6内全体に透光性樹脂17を供給するのではなく、該曲面形状の当該空間部6部分のみに、所要量の透光性樹脂17を供給することができるように構成されている。
そして、従来のトランスファー成形での樹脂成形圧力と同じか、或いは、低い樹脂成形圧力で、適宜に変更して実施できる。この場合、下型3の凸所33天面である下型キャビティ面5に被覆された離型フィルム7を介して型締め圧力をモニタリングできるように圧力センサー等の測定機器(図示なし)を凸所33部分に埋設する構成にしてもよい。
また、真空引きを解除するタイミングは、中間型締め状態(図4(2)参照。)から完全型締め状態(図5(2)参照。)になるまでの間で、適宜に変更して実施できる。この場合において、好ましくは、図5(2)に示す完全型締め状態である樹脂封止完了まで真空引きを継続して、樹脂封止完了後に解除する。
従って、金型1を弾性的に支受して水平状態を保持するので、金型1を各プレス手段のみで上下動するための型締め時の各金型面8乃至11が合致する際の衝撃を和らげることができると共に、従来のトランスファーレス成形の三型構造の金型において、離型フィルム7が特有の曲面形状で形成されたキャビティの形状に沿ってうまく被覆されないこと、キャビティ全面に離型フィルムが被覆されていないこと等による樹脂成形上の問題を効率良く解決することができる。
また、顆粒状樹脂である透光性樹脂17にて封止成形する構成にて説明してきたが、顆粒状樹脂ではなく液状樹脂・粉末状樹脂、或いは、粉末よりも粒径が大きく顆粒よりも粒径の小さい微粒状樹脂を採用して実施することも適宜可能である。
また、光素子16のみを樹脂封止する構成にて説明してきたが、ワイヤで基板15と光素子16をワイヤボンディングするワイヤボンディング基板、ワイヤの無いバンプを介して光素子16と接続するフリップチップ基板、或いは、ウェーハ基板等においても前述の樹脂封止成形を適応することは可能である。
2 上型
3 下型
4 中間型
5 下型キャビティ面
6 キャビティ空間部
7 離型フィルム
8 上型面
9 下型面
10 上型側金型面
11 下型側金型面
12 狭持部材
13 シール部材
14 外気遮断空間部
15 基板
16 光素子
17 透光性樹脂(樹脂材料)
18 溶融樹脂
19 硬化樹脂
20 キャビティ部材
21 キャビティ面
22 キャビティ外周面
23 キャビティ側面
24 封止前基板
25 封止成形体
26 基板外周部
27 非装着面
28 光電子部品(成形品)
29 切断部位(切断仮想線)
30 個々の光電子部品(製品)
31 曲面部
32 平面部
33 凸所
34 基板装着固定手段
35 吸引排出孔
36 金型貫通孔
37 貫通孔
38 取付棒
39・41 弾性部材
40 基板当接部位
42 エアブロー機構
43 搬送手段
Claims (3)
- 上型と該上型に対向配置した下型と前記上型と下型との間に配置した中間型との三型の構成を備えた樹脂封止成形用金型、および、少なくとも前記下型側に設けたキャビティ面を含む成形金型面の上面側と中間型の下面側とに被覆して張設する離型フィルムを用いると共に、前記した中間型と前記下型側に設けた離型フィルム用の狭持部材とで前記離型フィルムを狭持した状態で少なくとも前記下型キャビティ面を被覆し、更に、この状態で、前記上型と中間型とを型締めし、且つ、前記上型と中間型との間に外気遮断形成用のシール部材を介在させることによって、外気遮断空間部を形成して当該空間部内を真空引きした状態で、基板に装着される光素子を前記離型フィルムを被覆して形成されたキャビティ空間部内に嵌入させ、且つ、前記キャビティ空間部内に供給した加熱溶融化された樹脂材料にて前記光素子を封止成形する光素子の樹脂封止成形方法であって、
前記離型フィルムを前記成形金型面に被覆する際に、前記下型と中間型とを上下方向へ嵌装させて、前記下型キャビティ面の上面側と中間型の下面側とに前記離型フィルムを張設し、更に、この状態で、前記下型キャビティ面の外周囲となる該下型と中間型との間にキャビティ部材を嵌入させることによって、少なくとも前記した下型キャビティ面とキャビティ部材により構成されるキャビティ面とを含むキャビティ全面の形状に沿って、前記離型フィルムをフィットさせることを特徴とする光素子の樹脂封止成形方法。 - 前記離型フィルムをフィットさせる際に、少なくとも前記下型キャビティ面に被覆させる離型フィルムを強制的に吸引することを特徴とする請求項1に記載の光素子の樹脂封止成形方法。
- 前記離型フィルムをフィットさせる際に、少なくとも前記下型キャビティ面に被覆させる離型フィルムにエアブローすることを特徴とする請求項1および/または請求項2に記載の光素子の樹脂封止成形方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004129395A JP5004410B2 (ja) | 2004-04-26 | 2004-04-26 | 光素子の樹脂封止成形方法および樹脂封止成形装置 |
US11/178,400 US7811491B2 (en) | 2004-04-26 | 2005-07-12 | Method for manufacturing optical electronic component |
US11/702,638 US8696951B2 (en) | 2004-04-26 | 2007-02-06 | Manufacturing method of optical electronic components and optical electronic components manufactured using the same |
US12/210,148 US8193558B2 (en) | 2004-04-26 | 2008-09-12 | Optical electronic component |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004129395A JP5004410B2 (ja) | 2004-04-26 | 2004-04-26 | 光素子の樹脂封止成形方法および樹脂封止成形装置 |
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Publications (3)
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JP2005305954A true JP2005305954A (ja) | 2005-11-04 |
JP2005305954A5 JP2005305954A5 (ja) | 2007-05-24 |
JP5004410B2 JP5004410B2 (ja) | 2012-08-22 |
Family
ID=35186236
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2004129395A Expired - Lifetime JP5004410B2 (ja) | 2004-04-26 | 2004-04-26 | 光素子の樹脂封止成形方法および樹脂封止成形装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
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JP7121763B2 (ja) | 2020-02-14 | 2022-08-18 | アピックヤマダ株式会社 | 樹脂モールド装置及び樹脂モールド方法 |
CN113334667B (zh) * | 2020-02-14 | 2023-03-07 | 山田尖端科技株式会社 | 树脂模制装置及树脂模制方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8193558B2 (en) | 2012-06-05 |
JP5004410B2 (ja) | 2012-08-22 |
US8696951B2 (en) | 2014-04-15 |
US7811491B2 (en) | 2010-10-12 |
US20070132135A1 (en) | 2007-06-14 |
US20050242452A1 (en) | 2005-11-03 |
US20090258189A1 (en) | 2009-10-15 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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