JP2004538618A - 集積回路 - Google Patents

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Abstract

【課題】半導体層を介したトランジスタ間の漏れ電流の発生を抑制する集積回路を提供する。
【解決手段】集積回路(1)は、通常パターン成形されていない半導体層(5)を介して隣り合うトランジスタ(10、20)の間に生じる漏れ電流を抑止する。第1の層(3)内で、回路(10)は、半導体層(5)と接触している電気伝導性配線路(4)を含み、その配線路(4)のいくつかは、ソースおよびドレイン電極(14、15、24、25)として使用され、フォーク状のインターディジタル構造であるのが好ましい。漏れ電流の抑止は、異なるトランジスタ(10、20)の隣り合う電極(14、24)を同じ電圧にし、さらに、それらの隣り合う電極(14、24)の間に他の電気伝導性配線路が存在しないようにすることで達成される。入力信号または出力信号を伝える相互接続線(39)は、できるだけ第2の層(7)内に位置しており、その第2の層(7)は電気伝導性配線路(8)を含み、半導体層(5)と接触していない。本発明の集積回路(1)はNAND構造のアレイを含むのに非常に適している。
【選択図】図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気絶縁表面を有する基板を備える集積回路に関し、その表面には、
絶縁層と、
少なくとも実質的にパターン成形されていない半導体層と、
電極および他の電気導体のパターンを含む第1のパターン成形された層と、
電気導体のパターンを含み、かつ、第1のパターン成形された層および半導体層から絶縁層によって分離されている第2のパターン成形された層とが存在し、
第1のパターン成形された層が、半導体層と接触し、さらに、第1のトランジスタおよび第2のトランジスタを含み、前記のトランジスタ各々が第1の電極および第2の電極を有し、これらの電極のうち少なくとも第1の電極が、少なくとも実質的に平行ないくつかの電気伝導性配線路を含む。
【0002】
【従来の技術】
このような集積回路は、ICとも呼ばれ、D.M.de Leeuw et al.,IEDM 97,331〜336から知られている。この集積回路は、高分子材料で製造され、2入力NANDゲートおよびインバータ内に電界効果トランジスタの組合せを含む。パターン成形された層は、ポリアニリンで製造され、電気絶縁性部分と電気伝導性部分を有する。第1の電極はソース電極であり、第2の電極はドレイン電極であり、または、その逆である。第1の電極および第2の電極はインターディジタル構造を形成している。すなわち、各々の電極の平行な配線路は、2個のフォークの歯のように、他方の平行な配線路の横に並んでいる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
この回路の欠点は、パターン成形されていない半導体層を介してトランジスタ間に漏れ電流が生じることである。この漏れ電流によって、トランジスタの独立動作が妨げられ、したがって、回路の入力信号と出力信号の干渉が生じる。
【0004】
本発明の目的は、半導体層を介したトランジスタ間の漏れ電流の発生を抑制した、最初に述べたような集積回路を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、この目的は、第1のトランジスタの第1の電極および第2のトランジスタの第1の電極が両方ともソースおよびドレイン電極の同じ機能を行うことで達成される。
【0006】
この回路は、第1のパターン成形された層内の、第1のトランジスタの第1の電極および第2のトランジスタの第1の電極に動作条件の同じ電位を与える手段を含み、さらに、第1のトランジスタと第2のトランジスタとの間の第1のパターン成形された層は、動作条件で第1のトランジスタの第1の電極の電位以外の電位を持つ電気導体から遊離している。
【0007】
互いに隣り合って位置する2個のトランジスタの第1の電極が同じ電位にあるので、例えば第1のトランジスタの、第1の電極から第1のトランジスタの外の電気導体に電荷を移動させるための駆動力は、存在しない。これにより、半導体層を介した漏れ電流が抑止される。本発明にかかる回路の利点は、半導体層をパターン成形する必要がないということである。余分なリソグラフィパターン成形のステップを省略することは、製造コストの節約になる。
【0008】
上記のトランジスタが異なる機能ブロックの部分である場合、第1のトランジスタと第2のトランジスタとの間の漏れ電流を低減することは特に重要である。このようなブロックは、例えばNANDブロックかNORブロックであり、または異なるメモリユニットに関係するブロックである。隣り合うブロックを機能的に関係付ける必要がないことは、集積回路設計の通常の慣例である。したがって、第1のブロック内の第1のトランジスタから第2のブロック内の第2のトランジスタへの漏れ電流によって(従来技術による集積回路内で)、第2のブロックの出力に雑音が導入される。この雑音は、ブロック自体の信号には全く無関係であり、おそらく集積回路の誤動作の重要な原因となる。本発明の集積回路では、上記漏れ電流(したがって、上記雑音)が抑止され、信号体雑音比が実質的に改善される。
【0009】
トランジスタの例は、電界効果トランジスタおよびバイポーラトランジスタである。電界効果トランジスタは、TFTと呼ばれる薄膜の形およびMISFETと呼ばれる導体−絶縁体−半導体構造の形で構成される可能性がある。トランジスタは、スイッチとして、およびメモリ要素内の構成要素として使用される可能性がある。
【0010】
使用される基板材料は、例えば、シリコン、石英、ガラス、セラミック材料、またはポリイミドのような高分子である可能性がある。基板材料はポリイミドであることが好ましい。パターン成形された層は、有機高分子材料で構成されることが好ましいが、主構成要素としてか、または、有機高分子材料上の薄膜の形かのいずれかで、金、銀、またはドープドシリコンのような金属または無機導体を含む可能性もある。半導体層は、例えば、ドープドシリコン、または半導体として適している有機材料で構成される。半導体層の厚さは、約5nmから数マイクロメートルである。絶縁層は、例えば、SiO、Si、ポリビニルフェノール、ポリビニルアルコール、またはシアノエチルプランのような材料で構成される。
【0011】
本発明にかかるICの一実施態様では、上記手段は、第1のトランジスタの第1の電極と第2のトランジスタの第1の電極とを相互に接続する、第1のパターン成形された層内の電気導体である。このような電気導体は相互接続線である。相互接続線は、トランジスタ内の複数の第1の電極を互いに接続する可能性がある。さらに、相互接続線は、同時に、いわゆる電源電圧を加える電源線である可能性がある。代替の手段は、追加のパターン成形された層内の上記第1の電極間の相互接続線で形成される。ここで、この相互接続線は、第1のパターン成形された層と接触しているが、半導体層と接触していない。そのような相互接続線は、また、別個に設けられる可能性がある。
【0012】
他の実施態様は、第1のトランジスタの第1の電極および第2の電極がインターディジタル構造を形成し、互いに対を形成し、この対がいくつかの少なくとも実質的に平行な電気伝導性配線路を有し、さらに、インターディジタル対の2つの一番外側の配線路が、第1の電極に属することを特徴とする。第1のトランジスタおよび第2のトランジスタが独立であることが望ましく、かつこれらのトランジスタの第1の電極を相互に接続するために、第2の電極は第2のトランジスタ内の電極に接続されていない。電位差が生じないようにするために、したがって漏れ電流が生じないようにするために、第2の電極は第2のトランジスタ内の電極から仕切られる。この仕切りは、第1の電極の伝導性配線路によって行われる。ここで、この伝導性配線路はインターディジタル電極対の外側にある。外側は、その電極の対のどの電極も別の電気導体に接続されていない、パターン成形された層内の側、という意味である。第1および第2のトランジスタの第1の電極内の隣り合う一番外側の配線路を、1つの配線路に一体化することができる。一番外側の配線路は、分岐されるか、または分割されている可能性がある。
【0013】
この回路の特定の実施態様では、第1の電極が、少なくとも3つの配線路を有し、これらのうちの2つの一番外側の配線路が最も長い。延長された形によって、第2の電極の一番外側の配線路および隣接するトランジスタからこれに接続される他の電気導体を最適に仕切ることができる。
【0014】
本発明にかかるICのさらに他の実施態様では、第1の電極を相互に接続する導体が第1の電源線であり、
第1のトランジスタおよび第2のトランジスタが第1のNAND機能ブロックの部分を形成し、このNAND機能ブロックがさらに第3のトランジスタを含み、
NAND機能ブロックが、第1のパターン成形された層内に第3のトランジスタのソースおよびドレイン電極のインターディジタル対を含み、このインターディジタル対の第1の電極が第2の電源線に接続され、その結果、NAND機能ブロックが第1のパターン成形された層内に存在する限りで、この機能ブロックは第1の電源線と第2の電源線との間にあり、さらに、第2の電源線が第3のトランジスタの第1の電極と第2のNAND機能ブロックの第1の電極を相互に接続する。NAND機能ブロックの動作は、半導体製造の当業者には公知である。2つの電源線の一方がゼロよりも大きな電源電圧を有し、他方の電源線は接地されている。この実施態様のICが持つ利点は、NAND機能ブロックを、簡単なやり方で1列のNAND機能ブロックに収納できることである。そのような列はデータ記憶用メモリでの使用に非常に適している。
【0015】
本発明にかかるICのさらに他の実施態様では、入力信号および出力信号のグループから選ばれた信号を第1のトランジスタに伝達する電気導体が、第2のパターン成形された層内に存在する。そのような機能を持った導体は、信号線として当業者には公知である。少なくとも1つの信号線が各トランジスタに対して存在している。第2のパターン成形された層は、少なくとも実質的にパターン成形されていない半導体層と接触しないので、この実施態様で、半導体層を介して信号線から他の電気導体に流れる漏れ電流はない。NAND機能ブロックがIC内に存在する場合に、ICの信号線がNAND機能ブロックの領域の第2のパターン成形された層内に存在すると有利である。したがって、第1のパターン成形された層の部分は2つのトランジスタ間の電気導体から遊離している。入力信号または出力信号をトランジスタに伝送する信号線が全て第2のパターン成形された層内にある場合、これらの信号線のうち少なくとも1つを、第1のパターン成形された層内の電気導体に接続することが必要である。ビアまたは縦方向相互接続領域により、そのような接続を行う。最小の接触抵抗を得るために、ICは底面ゲート構造にすると好都合である。この構造では、第2のパターン成形された層は、最初に基板、次に絶縁体、次に第2のパターン成形された層、最後に半導体層にある。
【0016】
本発明にかかるICの他の実施態様では、電源線の1つと接触している補助導体が、第1のパターン成形された層内の第1の電気導体と第2の電気導体との間にあり、第1と第2の電気導体がトランジスタの外に位置している。補助導体は、漏れ電流トラップとして作用する。通常、漏れ電流は、パターン成形されていない半導体層を介して第1の電気導体と第2の電気導体との間で生じる可能性があり、これは、制御されない状態で導体内の信号の伝送に影響を及ぼす可能性がある。本発明にかかるICのこの実施態様では、これとは対照的に、発生する2つの漏れ電流のいずれもが、一定電源電圧を有する電源線に枝分かれする。2つの漏れ電流、すなわち、第1の導体と補助導体との間の1つの漏れ電流および第2の導体と補助導体との間のもう1つの漏れ電流は、このようにして制御された状態で上記の信号伝送に影響を及ぼすか、または、全く影響を与えない。第1および第2の導体は、例えば、いくつかのトランジスタの入力信号および供給信号を結合する信号線である。これらの導体は、トランジスタから遊離した電源線の側に存在することが好ましい。
【0017】
本発明にかかるICのさらに他の実施態様では、少なくとも1つのパターン成形された層が、起伏構造を持つように構成されている。この実施態様により、この層の絶縁部分を介したパターン成形された層内の導体間の漏れ電流が抑止される。両方のパターン成形された層が起伏構造で構成されることが好ましい。高分子材料の起伏構造は、本質的に、WO−A99/10939から公知である。高分子材料としてポリアニリンの起伏構造が使用される時、ポリアニリンを秒の時間だけドープすることで、起伏構造の導電率は大きくなる。構造内のパターンは、電気導体および幅が10μmより狭い凹部を含むことが好ましい。このような微小寸法によって、トランジスタの特性が向上する。特に、オン/オフの比に関して向上する。
【0018】
本発明にかかるICの一実施態様において、半導体層は、主に有機材料で構成される。本発明にかかるICの他の実施態様では、少なくとも1つのパターン成形された層が、主に有機高分子材料で構成される。高分子材料で製造された集積回路は、特に、安価であるという利点がある。さらに、回路は、基板材料に依存して高い適応性を有する。
【0019】
半導体材料に使用することができる有機材料の例には、ポリチニレンビニレン、ポリチオフェン、ポリフェニレンビニレン、ポリフラニレンビニレン、ポリピロール、ポリフェニレン、ポリアセチレン、ポリフラン、およびポリアニリンがある。これらの高分子材料の置換型変形体もまた使用される可能性がある。置換基の例には、アルキレンディオキシ基のような環状構造を有するアルキル基およびアルコキシ基がある。そのようなグループは、好ましくは、C〜C10のアルキル、アルコキシ、またはアルキレンである。
【0020】
様々な高分子材料のドープされた態様が電気伝導性材料として公知である。そのような材料の例は、ポリアニリン、ポリイミド、ポリチオフェン、ポリピロール、ポリ(pフェニレンサルファイド)およびこれらの共重合体である。使用される可能性のある他の材料は、これらの材料の置換型変形体である。置換基の例には、アルキル基、アルコキシ基、およびアルキルアルコキシ基がある。例は、特に、ポリ3アルキルチオフェン、ポリ3、4ディアルコキシチオフェン、ポリ3、4アルキルチオフェン、およびポリ3、4アルキレンディオキシチオフェンであり、さらにUS−A4,959,430およびEP−A628560から知られるような環状置換基を有する他のポリチオフェンである。そのような置換基は、好ましくは、C〜C10のアルキル、アルコキシ、またはアルキレンディオキシである。
【0021】
本発明にかかる集積回路のこれらおよび他の態様は、図面を参照して以下においてより詳細に説明する。
【0022】
【発明の実施形態】
実施形態1
図1は、本発明にかかる集積回路1の特徴部分の概略の断面図である。この特徴部分は、2個のトランジスタ10および20を含み、この場合、のトランジスタはMISFET型の電界効果トランジスタである。回路1は、電気絶縁表面を有する基板2を含む。この表面に、電気導体4を有する第1のパターン成形された層3、パターン成形されていない半導体層5、絶縁層6、および第2のパターン成形された層7が存在する。この層7は、ゲート電極18および28を構成する電気導体8、および第1のトランジスタ10および第2のトランジスタ20の付随する信号線19および29を含む。電気導体4は、とりわけ、第1のトランジスタ10の第1の電極14および第2の電極15として、さらに第2のトランジスタ20の第1の電極24および第2の電極25として使用される。電極14と24の間に流れる可能性のある漏れ電流は、これらの電極が同じ電位に設定されることで阻止される。これを実現する手段は、第1の電極14および24を相互に接続する電気導体で形成される。そのような接続は第1の電源線91であることが好ましい。
【0023】
図2は、本発明にかかるICの第1の実施形態の一部の平面図であり、その等価回路図を図3に示す。基板、絶縁層、半導体層、および可能な保護層は透明であると想定している。図2aは、図2の第1のパターン成形された層を別個に示す。図2bは、図2の第2のパターン成形された層を別個に示す。
【0024】
図2は、電源線91と92の間に位置するNAND機能ブロック51を示す。NAND機能ブロック51は、3個のトランジスタ10、20、および30を含む。各々のトランジスタは、19、29および39でそれぞれ参照される信号線を備える。信号線39は、ビア(縦方向の相互接続領域)42を介しても制御される。
【0025】
図2aは、第1のトランジスタ10の一組13のソースおよびドレイン電極14、15を示す。これらの電極14、15はインターディジタル構造になっている。トランジスタ20および30もまた各々、電極24、25と34、35で構成されるそのような電極の組23、33を含む。電極14および24は、電源線91に接続され、実質的に平行な電気伝導性配線路61、62と63、64を含む。電極34は電源線92に接続されている。電極15、25および35は、相互に接続されている。これらの電極15、25、および35は、ビア42を介して図2bに示す信号線39に接続されている。この信号線はNAND機能ブロック51の出力信号を伝える。
【0026】
図2bは、さらに、信号線19と29、およびゲート電極18、28、および38を示す。ビア42の位置もまた示す。信号線19、29各々はNAND機能ブロック51の入力信号を伝える。基本的に、信号は2値であるとする。すなわち、HIGH(または、1)およびLOW(または、0)である。
【0027】
NAND機能ブロック51は、通常、一連の独立したNAND機能ブロックの中の第1のブロックにすぎない。一番外側の伝導性配線路61、64およびトランジスタ30の一番外側の伝導性配線路は、上述の独立したNAND機能ブロック内の伝導性配線路間の半導体層を介した漏れ電流を阻止する機能を有する。
【0028】
実施形態2
図4は、本発明にかかるICの第2の実施形態101の一部の平面図である。この図は、5個のトランジスタ110、120、130、160、および170を示し、それぞれ、信号線119、129、139、169および179を有する。ビア142はその接続を行う。上述のトランジスタは、電源線191と192の間に位置している。これらの導体と信号線の間のいくつかの電気導体181、182、183、184、185、および186並びにビア143もまた示す。基板、絶縁層、半導体層、および可能な保護層は、透明であると想定している。第1の導体181および第2の導体182は両方とも第1のパターン成形された層内にあり、パターン成形されない半導体層と接触している。補助導体183は、第2のトランジスタ120と第4のトランジスタ160の間の第2のパターン成形された層内にある。導体183は、ビア144を介して電源線191と接続される。導体183は漏れ電流トラップとして作用して、信号線139とトランジスタ160の間、および信号線139と169の間の漏れ電流を阻止する。一方の信号線139および他方のトランジスタ160と信号線169は、集積回路1内の機能的に独立している異なる機能ブロックの部分である。補助導体183は2個の電源線191、192の1つと接触している。この実施形態では第1の電源線191と接触している。
【0029】
図5は、本発明にかかる集積回路の第2の実施形態101の、図4の線V−Vでの概略の断面図である。第1のパターン成形された層は、ここで起伏構造を与えられ、基板102の上に形成されている。電気導体104は、凹部144で互いに分離されている。半導体層105は、凹部144のために平面でない。したがって、絶縁層は、平坦化表面146を有する絶縁層106として形成される。電気導体108は平坦化表面146に存在する。
【0030】
実施形態3
図6は、本発明にかかる集積回路の第3の実施形態201の一部の平面図である。基板、絶縁層、半導体層、および保護層は透明であると想定する。図に斜線でハッチングして示した第1のパターン成形された層は、第1および第2のトランジスタ210、220を含み、その各々はインターディジタル電極対213、223を有し、その組はそれぞれ電極214、215、および224、225を含む。第1の電極214は、配線路261、262、263および264を含む。第2の電極215は、配線路271、272および273を含む。配線路261および264はインターディジタル電極対213の一番外側の配線路である。第1のトランジスタ210の第1の電極214は、相互接続線291で、第2のトランジスタ220の第1の電極224に接続されている。第2の電極215および225は、それぞれ、第1の電極214および224の一番外側の配線路264および281で互いに仕切られている。第2のパターン成形された層は、第1のトランジスタ210の電極218および信号線217および219を含む。信号線219は、入力信号を第1のトランジスタ210に伝える。第2の信号線217は第1のトランジスタ210からの出力信号を伝える。この信号線217は、ビア(縦方向の相互接続領域)242により、第1のパターン成形された層内で第1のトランジスタ210の第2の電極215に接続されている。第2のパターン成形された層は、さらに、第2のトランジスタ220の電極228および信号線227および229を含む。
【0031】
図7は、本発明にかかる集積回路の第3の実施形態201の一部の、線VII−VIIでの概略の断面図を示す。この底面ゲート構造において、第2のパターン成形された層は、基板202と絶縁層206の間にある。回路201内の第2のパターン成形された層は、電気導体208を有する起伏構造で作られている。起伏構造204を有する第1のパターン成形された層は、電極214および224を含み、平坦化表面246を有する絶縁層206の上にある。この構造の層は、非平面半導体層205で覆われ、その上に保護層209が存在する。保護層209は、機械的な損傷、光入射、および/または半導体層への酸素の拡散に対してICを保護する。電極228に入力信号を伝える相互接続線229は、また、第2のパターン成形された層内に存在する。
【図面の簡単な説明】
【図1】
本発明にかかるICの第1の実施形態の特徴部分の概略の断面図である。
【図2】
本発明にかかるICの第1の実施形態のNAND機能ブロックの平面図である。
【図2a】
第1のパターン成形された層だけを示す図2の平面図である。
【図2b】
第2のパターン成形された層だけを示す図2の平面図である。
【図3】
本発明にかかるICの第1の実施形態のNAND機能ブロックの回路図である。
【図4】
本発明にかかるICの第2の実施形態の一部の平面図である。
【図5】
本発明にかかるICの第2の実施形態の、図4の線V−Vでの概略の断面図である。
【図6】
本発明にかかるICの第3の実施形態の一部の平面図である。
【図7】
本発明にかかるICの第3の実施形態の、図6の線VII−VIIでの概略の断面図である。
【符号の説明】
1,101,201 集積回路
2 基板
3 第1のパターン成形された層
4 電気導体
5 パターン成形されていない半導体層
6 絶縁層6
7 第2のパターン成形された層
8 電気導体
10,210 第1のトランジスタ
14,24,214 第1の電極
15,25,215 第2の電極
19 信号線
20 第2のトランジスタ
30 トランジスタ
33 電極の組
34,35 電極
51 NAND機能ブロック
61〜64 伝導性配線路
91,92 電源線
181〜186 電気導体
213 インターディジタル電極対
261〜264,271〜273 配線路
291 相互接続線

Claims (10)

  1. 電気絶縁表面を有する基板を備える集積回路であって、その基板表面に、
    絶縁層と、
    少なくとも実質的にパターン成形されていない半導体層と、
    電気導体のパターンを含む第1のパターン成形された層と、
    電気導体のパターンを含み、かつ前記第1のパターン成形された層および前記半導体層から前記絶縁層で分離されている第2のパターン成形された層とが存在し、
    前記第1のパターン成形された層が、前記半導体層と接触し、さらに第1のトランジスタおよび第2のトランジスタを含み、前記第1および第2のトランジスタ各々が第1の電極および第2の電極を有し、これらの電極のうちの少なくとも前記第1の電極が、少なくとも実質的に平行ないくつかの電気伝導性配線路を含み、
    前記第1のトランジスタの前記第1の電極および前記第2のトランジスタの前記第1の電極が両方とも、ソースおよびドレイン電極の同じ機能を行うこと、
    前記回路が、前記第1のパターン成形された層内の前記第1のトランジスタの前記第1の電極および前記第2のトランジスタの前記第1の電極に、動作条件の同じ電位を与える手段を含むこと、および、
    前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタとの間の前記第1のパターン成形された層が、動作条件で、前記第1のトランジスタの前記第1の電極の電位以外の電位を持つ電気導体から遊離していることを特徴とする集積回路。
  2. 前記手段は、前記第1のパターン成形された層内の電気導体を含み、この導体は、前記第1のトランジスタおよび前記第2のトランジスタの前記第1の電極を相互に接続することを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
  3. 前記第1のトランジスタの前記第1の電極および前記第2の電極がインターディジタル構造に形成され、互いに対を形成し、この対がいくつかの少なくとも実質的に平行な電気伝導性配線路を有し、さらに、
    前記インターディジタル対の2つの一番外側の配線路が、前記第1の電極に属することを特徴とする、請求項2に記載の集積回路。
  4. 前記第1の電極は、少なくとも3つの配線路を有し、これらのうちの2つの一番外側の配線路が最も長いことを特徴とする、請求項3に記載の集積回路。
  5. 前記第1の電極を相互に接続する前記導体は、第1の電源線であり、
    前記第1のトランジスタおよび前記第2のトランジスタは、第1のNAND機能ブロックの部分を形成し、このNAND機能ブロックは、さらに第3のトランジスタを含み、
    前記NAND機能ブロックは、前記第1のパターン成形された層内に前記第3のトランジスタのソースおよびドレイン電極のインターディジタル対を含み、このインターディジタル対の第1の電極が第2の電源線に接続され、その結果、前記NAND機能ブロックが前記第1のパターン成形された層内に存在する限りで、この機能ブロックが前記第1の電源線と前記第2の電源線との間にあり、さらに、
    前記第2の電源線は、前記第3のトランジスタの前記第1の電極と第2のNAND機能ブロックの第1の電極とを相互に接続する、ことを特徴とする請求項2に記載の集積回路。
  6. 入力信号および出力信号のグループから選ばれた信号を前記第1のトランジスタに伝達する前記電気導体が、前記第2のパターン成形された層内に存在することを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
  7. 前記電源線の1つと接触する補助導体は、前記第1のパターン成形された層内の第1の電気導体と第2の電気導体との間にあり、前記第1と第2の電気導体がトランジスタの外に位置することを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
  8. 少なくとも1つのパターン成形された層は、起伏構造を持つように構成されていることを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
  9. 前記半導体層は、主に有機材料を含むことを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
  10. 少なくとも1つのパターン成形された層は、主に有機高分子材料を含むことを特徴とする、請求項1に記載の集積回路。
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