-
Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Gassteuervorrichtung zur Verwendung
mit einem Zylinder für
komprimiertes Gas.
-
Der
Begriff Gas umschließt
sowohl ein permanentes Gas als auch einen Dampf aus einem verflüssigten
Gas. Permanente Gase sind Gase, die nicht durch Druck allein verflüssigt werden
können und
zum Beispiel in Zylindern bei Drücken
bis zu 300 bar g geliefert werden können. Beispiele sind Argon und
Stickstoff. Dämpfe
von verflüssigten
Gasen sind in einem Zylinder für
komprimiertes Gas über
der Flüssigkeit
vorhanden. Gase, die sich unter Druck verflüssigen, wenn sie zum Füllen in
einen Zylinder komprimiert werden, sind keine permanenten Gase und
werden genauer als verflüssigte
Gase unter Druck oder als Dämpfe
von verflüssigten
Gasen beschrieben. Als ein Beispiel wird Salpeteroxid in einem Zylinder
in flüssiger
Form bei einem Dampf-Ausgleichsdruck von 44,4 bar g bei 15°C geliefert.
Solche Dämpfe
sind keine permanenten oder echten Gase, da sie durch Druck oder
Temperaturen um die Umgebungsbedingungen herum verflüssigbar
sind.
-
Der
herkömmliche
Ansatz zur Handhabung von Gas aus Hochdruckzylindern ist die Verwendung einer
Anzahl von diskreten bzw. getrennten Komponenten, die an der Außenseite
des Zylinders angebracht sind, um solche Funktionen wie Druck, Strömung, das
Absperren des Gases und den Sicherheitsüberdruck zu steuern. Solche
Anordnungen sind komplex und bringen Probleme wie undichte Stellen, ungenutzter
Raum und zahlreiche Verbindungen mit sich, wobei Schwierigkeiten
bei der Produktqualität und
-reinheit verursacht werden. Häufig
muss die Baugruppe in einem Gasgehäuse eingeschlossen werden,
das groß und
daher kostspielig sein kann.
-
Zylinder
für komprimiertes
Gas werden in einem breiten Absatzbereich verwendet. Im preisgünstigen,
allgemeinen industriellen Markt sind gegenwärtige Standard-Zylinderventile sehr
preisgünstig, wobei
es aber eine Anforderung für
zusätzliche
Funktionen gibt, die in das Ventil eingebaut werden, um dem Kunden
zusätzliche
Vorteile wie eine direkte Drucksteuerung und Strömungssteuerung bei medizinischen Anwendungen
zu bieten. Am kostspieligeren Ende wie elektronischen Anlagen gibt
es einen Bedarf, die mit Korrosion, Verunreinigung und dem Kontakt
mit Menschen beim Herstellen und Unterbrechen von Verbindungen zum
Gaszylinder verbundenen Probleme, wenn korrosive, toxische und selbst entzündliche
elektronische Spezialgase mit hoher Reinheit verwendet werden, zu
beseitigen.
-
Ein
Beispiel dieser Schwierigkeiten entsteht beim Nachfüllverfahren
für einen
Gaszylinder. Normalerweise enthalten Zylinder Hochdruckgase, die
in der Regel durch ein einfaches Zylinder-Absperrventil (in den
USA mit einer eingebauten Bruchscheibe) gesteuert werden. In der
Regel wird das Gas bei einem Druck verwendet, der wesentlich niedriger
ist als der des Zylinders, wobei der Anwender in dem Kreislauf eine
Druckreduzierungsanordnung wie ein Entspannungsventil anschließen wird.
Wenn es einen Bedarf gibt, den Gaszylinder nachzufüllen, wird
das Absperrventil am Zylinder geschlossen, wobei der Hochdruck-Kreislauf
getrennt wird. Dieses "Make and
Brake" und Unterbrechen
bei dem hohen Druck des Zylinders verursacht die Möglichkeit
einer undichten Stelle und einer Verunreinigung. Es wurden Versuche
unternommen, dieses durch Nachfüllen
zu überwinden,
ohne die Hochdruck-Unterbrechung herzustellen.
-
In
der EP-A-0 275 242 (AGA AKTIEBOLAG), veröffentlicht am 20. Juli 1988,
ist eine integrierte Zylinderventil-Steuerungsvorrichtung offenbart,
die für die
Anwendung hauptsächlich
in der Gastherapie vorgesehen ist und dazu dient ist, um dauerhaft
mit einem Gaszylinder verbunden und von einer Schutzkappe umgeben
zu sein, die fest am Zylinder befestigt ist. Das Ventil hat ein
Ventilgehäuse
mit einer Verbindungshülse
für den
Gaszylinder und einem Restgasventil und einem Rückschlagventil. Die Steuerungsvorrichtung
weist des Weiteren einen Regler, der im Ventilgehäuse angeordnet
und wirksam ist, um den Zylinderdruck auf einen geeigneten Arbeitsdruck
zu reduzieren, ein Absperrventil für das Gas, eine Schnellkupplungsvorrichtung
für den
Anschluss einer Verbrauchsleitung, eine Vorrichtung für den Anschluss
einer Gas-Nachfüllleitung
zum Zylinder und eine Vorrichtung zur Anzeige des Gasinhalts im
Zylinder auf.
-
In
der EP-A-0 308 875 (Union Carbide Corporation), veröffentlicht
am 29. März
1989, ist eine Ventil-Regler-Baugruppe offenbart, um eine Hochdruck-Gasquelle
mit einer Niederdruck-Anlage kompatibel zu machen, wobei der Ventilregler
versiegelt werden kann oder von der Hochdruck-Gasquelle entfernt
ist und ein Wiederauffüllen
bei hohem Druck ermöglicht
wird. Bei einem Ausführungsbeispiel
wird ein einziger Auslass für
einen Niederdruck-Auslass verwendet, nachdem der Druck durch einen
Regler reduziert wurde, wobei der gleiche Auslass mit einem Adapter
verwendet wird, um den Zylinder wieder aufzufüllen. Wenn der Adapter verwendet
wird, bewegt die Verschlussanordnung auf dem Adapterstopfen den
Regler in eine feste Stellung, die die Gasströmung von der Hauptleitung ohne
Beachtung des Gasdrucks, der ansonsten auf den Regler wirkt, abdichtet.
Das Wiederauffüllen
des Zylinders findet durch den Adapter statt. Dies ermöglicht ein
vollständiges
Absperren des Hochdruckgases vor dem Wiederauffüllen, um so das Herstellen
und Unterbrechen bei hohem Druck zu vermeiden.
-
Eine ähnliche
Vorrichtung ist in der US-A-5 033 499 (Patel et al), veröffentlicht
am 23. Juli 1991, offenbart. Ein Druckreduzierungsventil ist direkt
an einem Hochdruck-Gaszylinder
befestigt. Wenn ein Standard-Adapter in den Auslass eingesetzt und
ein Steuerungshandrad geöffnet
wird, steht am Auslass Gas mit einem erforderlichen niedrigen Druck,
zum Beispiel ein maximaler Druck von 200 Bar, zur Verfügung. Wenn
ein spezieller Fülladapter
in den Auslass eingesetzt wird, kann der Zylinder auf seinen maximalen
Druck von 300 Bar nachgefüllt
werden. Der spezielle Fülladapter
hat eine Dichtung, die die Gasströmung von einer Kammer in der
Ventilbaugruppe über
einen Durchgang in der Baugruppe zur umgebenden Atmosphäre hemmt.
Dies hemmt wiederum einen Kolben, sich nach unten zu bewegen, um
den Einlass des Druckreduzierungsventils zu schließen, wie
es beim normalen Service der Fall sein würde.
-
Diese
früheren
Offenbarungen stellen jedoch nur eine begrenzte Funktion im Körper der
Baugruppe bereit, nämlich
die normale Niederdruck-Regelung durch manuelle Steuerung und/oder
die Fähigkeit
zum Nachfüllen.
Weitere Funktionen, die vom Anwender gefordert werden, werden durch
diskrete bzw. getrennte Komponenten zur Verfügung gestellt, die auf übliche Weise
mit dem Niederdruck-Auslass verbunden werden.
-
Es
wurden Versuche unternommen, um für eine Anzahl von unterschiedlichen
Funktionen zu sorgen, die durch Komponenten ausgeführt werden, die
direkt am Kopf des Zylinders für
komprimiertes Gas befestigt sind. In der US-A-5 086 807 (Lasnier
et al/L'Air Liquide),
veröffentlicht
am 11. Februar 1992, ist ein Druckminderer offenbart, der einen
Druckmindererkörper
mit entgegengesetzt angeordneten Bohrungen zum Befestigen von Einlass-
und Auslass-Verbindungsvorrichtungen aufweist, wobei das äußere Ende
einer weiteren Bohrung eine Hochdruck-Kammer definiert, in der das
Regulierventil befestigt ist. Der Druckmindererkörper ist angepasst, um eine
Verbindungsvorrichtung für
ein Hochdruck-Manometer aufzunehmen, das eine Auflage für eine Feder
eines Regulierventils definiert, das eine ringförmige, verkürzte Auskleidung aufweist,
die durch Presspassung mit einer Verbindungsstange zwischen dem
Regulierventil und dem Kolben in Eingriff kommt, der die Niederdruck-Kammer
begrenzt. Diese Erfindung schlägt
einen industriellen Druckminderer mit einer vereinfachten Ausführung vor,
der ein Hochdruck-Manometer
und ein Niederdruck-Manometer aufweist.
-
in
der US-A 5 127 436 (Campion et al/L'Air Liquide), veröffentlicht am 7. Juli 1992,
sind ein Gasverteilungsadapter und eine Druckreduziervorrichtung
für einen
Hochdruck-Gaszylinder offenbart. Die Vorrichtung umfasst eine Baugruppe,
die auf einem Verschlussventil eines Hochdruck-Gaszylinders befestigt
werden soll und eine manuelle Steuervorrichtung umfasst, die ein
Verteilungsventil bedient, bei der das stromaufwärts gelegene Ende mit dem Verschlussventil,
einem Druckminderer und einer Sicherheitsvorrichtung gegen Überdruck
zwischen dem Verteilungsventil und einem Auslass für die Verbindung
mit einem Anwender-Kreislauf sowie einem Manometer kommuniziert,
das den Druck stromaufwärts
zu dem Verteilungsventil misst.
-
Die
Anzahl von Funktionen, die in diesen am Zylinderkopf befestigten
Vorrichtungen zur Verfügung
gestellt werden, ist jedoch wiederum begrenzt, wobei eine weitere
erforderliche Funktionalität
durch herkömmliche
Komponenten zur Verfügung
gestellt wird, die mit dem Auslass der Zylinderkopf-Steuervorrichtung
verbunden sind.
-
In
der US-A-5 163 475 (Gregoire/Praxair Technology, Inc.), veröffentlicht
am 17. November 1992, ist eine Mikro-Bedienungstafel für die Zuführung von
Gas aus einem Zuführungszylinder
zu einem Geräte-Ort
offenbart, die eine Anordnung aus Ventilen, Druckregler und damit
verbundenen Komponenten umfasst, die angepasst sind, um die Reinheit
des gelieferten Gases und die Sicherheit der Gaszuführungs-Bedienungstafel zu
erhöhen.
Die Aufgabe der Erfindung ist es, eine Mikro-Bedienungstafel mit reduzierter Größe zur Verfügung zu stellen,
die für
die Steuerung von gefährlichen
Gasen mit extrem hoher Reinheit angepasst ist. Die Komponenten der
Bedienungstafel werden so angeordnet und gehalten, dass der Gasströmungspfad
vorzugsweise gerade durchfließend
mit einem Minimum an Biegungen und stockenden Gastaschen ist. Die Komponenten
der Mikro-Bedienungstafel
sind so angeordnet, dass die Teile des Gasdurchgangs darin im Wesentlichen
in der gleichen Ebene ausgerichtet sind. Ein einzelner oder einheitlicher
Block aus Metall, zum Beispiel rostfreier Stahl, kann so bearbeitet werden,
dass er Fluid-Durchgangsöffnungen
für die Verbindung
der Ventile und Druckregler-Komponenten miteinander zur Verfügung stellt.
Obwohl die Größe der Mikro-Bedienungstafel
reduziert ist, bleibt jedoch die Komplexität einer Gas-Bedienungstafel einer normalen Größe erhalten
und enthält
zahlreiche Verbindungen zwischen den einzelnen bzw. getrennten Komponenten.
Außerdem
sind die durch die Bedienungstafel zur Verfügung gestellten Funktionen
in der Anzahl begrenzt, und wenn weitere Funktionen erforderlich
sind, werden diese durch zusätzliche, herkömmliche
Komponenten zur Verfügung
gestellt. Wenn es des Weiteren gewünscht wird, den Zylinder für komprimiertes
Gas nachzufüllen,
wird ein herkömmliches
Herstellen und Unterbrechen im Hochdruckteil des Kreislaufs vorgenommen,
um den Zylinder zum Nachfüllen
zu entfernen.
-
In
einem Artikel mit dem Titel "A
Revolutionary Actuator For Microstructures" in SENSORS, Februar 1993 von Helmers
Publishing, Inc., wo Produkte von Redwood MicroSystems, Inc. beschrieben
werden, wird ein Festkörper-Druckregler
erläutert,
der aus einem mikrobearbeiteten Drucksensor und einer elektronischen
Rückkopplungsschleife
besteht und mit einem thermopneumatischen Stellglied kombiniert
ist, das durch die Handelsmarke "Fluistor" bekannt ist. In
einem Siliziumsubstrat wird ein Hohlraum eingeätzt und mit einer Steuerflüssigkeit
gefüllt. Wenn
diese Flüssigkeit
erwärmt
wird, biegt sich die Siliziummembran nach außen über den Ventilsitz. Die Siliziummembran
biegt sich nach außen,
um auf einen zweiten Wafer zu treffen, der mit der Unterseite verbunden
ist, die genaue Kanäle und
Löcher
enthält, die
so ausgeführt
sind, dass sie die Strömung
des zu steuernden Fluides lenken. Das Mikroventil kann mit einem
mikrobearbeiteten Druck- oder Strömungssensor und einer elektronischen
Rückkopplungsschaltung
kombiniert werden, um ein kleines, genaues und kosteneffektives
Steuerungssystem mit geschlossener Schleife zu erzeugen. Das Ventil
kann für
eine proportionale Steuerung von Gasströmungsraten von Mikrolitern
pro Minute bis zu Litern pro Minute verwendet werden. Das Integrieren
des Mikroventils mit einem Drucksensor oder einem Strömungssensor
und der elektronischen Rückkopplungsschaltung
stellt eine geschlossene Schleife, einen programmierbaren Druckregler
oder einen Strömungsregler
zur Verfügung.
Da der Regler durch digitale oder analoge Signale gesteuert werden
kann, können
Druck und Strömung
mit einem Personalcomputer oder einem bestehenden Steuerungssystem
gesteuert werden. Solche Komponenten finden bei Ausführungsbeispielen
der vorliegenden Erfindung besondere Anwendung.
-
In
der US-A-5 409 526 (Zheng et al/Air Products and Chemicals Inc.),
veröffentlicht
am 25. April 1995, umfasst die Vorrichtung zum Zuführen von
Gas mit hoher Reinheit einen Zylinder, der ein Ventil mit zwei internen
Anschlüssen
hat. Ein interner Anschluss wird verwendet, um den Zylinder zu füllen, während der
andere mit einem Reinigungsgerät
ausgestattet ist, das Partikel und Verunreinigungen aus dem Gas
entfernt, wenn es aus dem Zylinder austritt. Das gereinigte Gas
tritt aus dem Zylinder über
das Ventil aus und gelangt nach dem Hindurchführen durch einen Regler, eine
Strömungssteuervorrichtung
und verschiedene Längen
der Rohrleitung, die sich alle außen an der Vorrichtung und
dem Zylinder befinden, durch ein herkömmliches Reinigungsgerät zum Nutzungspunkt.
Das interne Reinigungsgerät
reduziert die Belastung am externen Reinigungsgerät und mindert
die Häufigkeit,
mit der das Reinigungsgerät
wieder aufgeladen werden muss. Die Bereitstellung von zwei internen Öffnungen
und der internen Ventilsteuerung ermöglicht die Bereitstellung zum
Füllen
des Zylinders, ohne dass das Füllgas durch
die interne Filtereinheit gelangt. Der Druckregler befindet sich
jedoch außen
an der Zylinderkopfeinheit, so dass das Wechseln des Zylinders zum
Nachfüllen
ein herkömmliches
Herstellen und Unterbrechen bei hohem Druck stromaufwärts zu der vom
Druckregler erzeugten Druckreduzierung einschließt. Außerdem sind funktionelle Komponenten wie
der Druckregler durch eine herkömmliche
Anordnung mit der Zylinderkopfeinheit verbunden und nicht am Zylinder
befestigt. Diese Offenbarung ist ein Beispiel einer am Zylinder
befestigen Steuervorrichtung, in der eine zusätzliche Funktionalität, die für den Anwender
transparent ist, in der Zylinderpackung enthalten ist. Das Reinigungsgerät und die
Filtrierungsmedien werden als Patronen bzw. Kassetten dem Zylinderventil
hinzugefügt.
Um die Unversehrtheit der Zylinderinhalte aufrechtzuerhalten, wurde
ein Restdruckventil am Auslassanschluss des Zylinderventils einbezogen.
Das Restdruckventil verhindert, dass der Zylinder durch atmosphärische Verunreinigungen oder
durch fremde Gase vom Anwender verunreinigt wird. Um den Zylinder
zu füllen
und die Unversehrtheit des Reinigungsgerätes und der Zylinderpackung beizubehalten,
wird der zweite interne Anschluss zur Verfügung gestellt und enthält ein zusätzliches
Isolationsventil für
Zylinderfüllungen.
-
In
der US-A-5 440 477 (Rohrberg et al/Creative Pathways, Inc.), veröffentlicht
am 8. August 1995, ist ein Kleinst-Gasverwaltungssystem mit einer kompletten
Gasverteilung offenbart, die computergesteuerte Ventile, Stellelemente,
Regler und Wandler aufweist. Das gesamte System befindet sich in
einem Gehäuse,
das auf dem oberen Ende eines herkömmlichen Gaszylinders sitzt,
der normalerweise in einem Gasgehäuse eingeschlossen wäre. Außerhalb
des Gehäuses
enthält
eine obere Steuerungs-Bedienungstafel eine LCD-Anzeige, wobei eine
untere Steuerungs-Bedienungstafel eine Tastenblock-Steuerung, ein
entfernbares Datenpaket, LED-Anzeigelampen und einen Not-Absperrschalter
aufnimmt. Innerhalb des Gehäuses
steht ein Hals vom Gaszylinder nach oben vor und stellt eine Verbindung
für eine Zuführung von
Gas darin zur Gasverteilung zur Verfügung. Die Gasverteilung ist
eine Baugruppe aus Ventilen, Stellelementen, Druckreglern, geschweißten Formstücken und
Wandlern. Das obere Ende des Gehäuses
ist mit einem Verfahrensgas-Auslass, der von der Achse des Gaszylinders
versetzt ist, einer Entlüftungsverbindung
und einem Spülgas-Einlass ausgestattet.
Die Vorrichtung versucht die Größe zu verringern,
indem sie Schweißungen
von Komponente zu Komponente aufweist, um die Anzahl der mechanischen
Verbindungen zu reduzieren.
-
Obwohl
die Offenbarung ein Konzept einer miniaturisierten Gas-Bedienungstafel
zur Verfügung stellt,
die an dem Zylinder befestigt ist, beabsichtigt das System immer noch,
die Verbindung zwischen dem Zylinder und der Gas-Bedienungstafel
bei vollem Druck des Gaszylinders herzustellen und zu unterbrechen,
wenn der Zylinder nachgefüllt
wird. Das Konzept ist, dass die gesamte miniaturisierte Gas-Bedienungstafel
vom Zylinder entfernt wird, wenn ein neuer Zylinder installiert
und der alte Zylinder nachgefüllt
wird. Damit werden das Herstellen und Unterbrechen bei dem relativ
hohen Druck des Zylinders fortgesetzt. Obwohl des Weiteren die Anzahl
der funktionellen Komponenten, die in der miniaturisierten Gas-Bedienungstafel
zur Verfügung
gestellt werden, größer ist
als die, die herkömmlich
am Gaszylinder befestigt sind, wird die erforderliche Kombination
für die
Gas-Bedienungstafel eingestellt oder durch herkömmliche Verbindungen und Schweißungen einzeln
angefertigt. Wenn eine zusätzliche Funktionalität erforderlich
ist, kann diese nur zur Verfügung
gestellt werden, indem weitere diskrete bzw. getrennte Komponenten
in einer herkömmlichen Weise
verbunden werden.
-
In
der FR-A-2 735 209 (L'Air
Liquide), veröffentlicht
am 13. Dezember 1996, ist eine Gassteuervorrichtung für die Verwendung
mit einem Zylinder für komprimiertes
Gas offenbart, die einen Halterungskörper mit einem Haupt-Gasdurchflussweg
durch den Körper
hat, wobei der Halterungskörper
eine Eingang-Verbindungsanordnung hat, die den Körper am Zylinder für komprimiertes
Gas befestigt und den Gasströmungspfad
anschließt,
um mit dem Gaszylinder zu kommunizieren. Im Halterungskörper ist
ein Entspannungsventil ausgebildet, das eine Druckreduzierungsanordnung,
um Gas im Durchflussweg bei einem ausgewählten Druck bereitzustellen,
der wesentlich niedriger ist als der im Zylinder, und ein Hochdruck-Absperrventil
im Haupt-Gasdurchflussweg stromaufwärts zu der Druckreduzierungsanordnung
zur Verfügung
stellt. Eine Ausgang-Verbindungsanordnung
wird stromabwärts
zu der Druckreduzierungsanordnung zur Verfügung gestellt, um den Haupt-Gasdurchflussweg
mit einer nachfolgenden Vorrichtung zu verbinden, die das Gas nutzt.
Der Halterungskörper
der Gassteuervorrichtung hat eine Füllanordnung zum Füllen des
Zylinders mit komprimiertem Gas durch die Eingang-Verbindungsanordnung
mittels eines Durchlassweges, der von dem Durchlassweg getrennt
ist, durch den der Haupt-Gasdurchflussweg
mit dem unter Druck stehenden Gaszylinder kommuniziert. Ein Hochdruck-Messgerät wird stromaufwärts zu der
Druckreduzierungsanordnung zur Verfügung gestellt, um eine Anzeige
des Drucks im Zylinder für
komprimiertes Gas bereitzustellen, wobei ein Niederdruck-Messgerät stromabwärts zu der
Druckreduzierungsanordnung zur Verfügung gestellt wird. Das gezeigte
Entspannungsventil befindet sich in einer geformten Abdeckung, die
eine Zylinder-Handhabungshaube
bildet, durch die der Gaszylinder bei der Nutzung manövriert werden
kann. Die Ventil-Baugruppe befindet sich vorzugsweise vollständig innerhalb
der Haube, die Zugangsöffnungen
für verschiedene
Baugruppeneinlässe
und -auslässe
hat.
-
Obwohl
die offenbarte Gassteuervorrichtung zusätzliche Funktionen in einem
einzigen, auf dem oberen Ende des Gaszylinders befestigten Körper zur
Verfügung
stellt, die vorher nicht zusammen bereitgestellt wurden, sind die
zur Verfügung
gestellten Funktionen auf ein Hochdruck-Absperrventil, eine Druckreduzierungsanordnung
und Hoch- und Niederdruck-Messgeräte und das Füllen des
Gaszylinders durch einen separaten Einlassweg begrenzt, während die
Gassteuervorrichtung auf dem Gaszylinder befestigt ist. Jegliche
anderen Funktionen, die für
den Anwender erforderlich sind, werden durch herkömmliche
Komponenten zur Verfügung
gestellt, die in Reihe an der Auslass-Verbindung der Gassteuervorrichtung
mittels diskreter bzw. getrennter Komponenten in der normalen Weise
befestigt werden. Der Auslass der Hauptgasströmung durch die Steuervorrichtung
ist im Allgemeinen rechtwinklig zur Richtung der Hauptgasströmung durch
den Körper, wobei
die mit Gewinde versehene Ausgangsverbindung eine herkömmliche
Form für
die Verbindung mit weiteren herkömmlichen
Komponenten hat. Damit sind zusammenfassend die von der Vorrichtung
zur Verfügung
gestellten Funktionen begrenzt, wobei die Anordnungen zum Hinzufügen weiterer
Komponenten durch das Hinzufügen
diskreter bzw. getrennter Komponenten durch normale Verbindungsstellen herkömmlich sind.
Zusätzliche
Funktionen, die durch den Anwender des Zylinders für komprimiertes
Gas erforderlich sein können,
zum Beispiel Spülfunktionen,
müssen
durch herkömmliche
Komponenten ausgeführt
werden, die mit verschiedenen Anschlüssen der Steuervorrichtung
separat verbunden sind. Es bleibt ein Bedarf, ein System zur Verfügung zu stellen,
das zusätzliche
Funktionen in einem kompakten Raum mit einer Flexibilität ermöglichen
wird, um unterschiedliche Anforderungen für unterschiedliche Anwender
der Zylinder für
komprimiertes Gas zu erfüllen.
-
In
einem Artikel mit dem Titel "Benefits
Of A Minimalist Gas System Design" von Phillips und Sheriff in Solid State
Technology, Oktober 1996, wird die Ausführung und der Aufbau einer
Herstellungsanlage für
elektronische Ausrüstung
beschrieben, die ein Gassteuersystem aufweist. Das hauptsächliche
neue Merkmal war, dass der Druck im Verteilungssystem für jedes
Verfahrensgas durch einen einzigen Regler an der Gasquelle gesteuert
wurde. Dies war ein Gegensatz zu herkömmlichen Anordnungen, in denen eine
separate, örtliche
Druckregelung in der Regel für jeden
Gaskreislauf der Verfahrenskammern installiert wird, und Wechselwirkungen
zwischen mehreren Gassystemen zu verhindern. Die vorliegende Erfindung
findet Anwendung bei der Gassteuerung für Herstellungssysteme, wie
sie im zitierten Artikel beschrieben sind.
-
In
einem Artikel mit dem Titel "The
Next Step In Process Gas Delivery: A Fully Integrated System" von Cestari, Laureta
und Itafugi in Semiconductor International, Januar 1997, wird ein
integriertes Gas-Zuführungssystem,
das innere Volumen reduzieren und Einschlussbereiche eliminieren
soll, um Verunreinigungen zu reduzieren, für die Verwendung bei Halbleiter-Herstellungsverfahren
beschrieben. Der Artikel beschreibt den Bedarf zur Integrierung
in das Gassteuersystem durch Konfigurieren eines Standardsatzes
von modularen Komponenten in ein System, um jegliche Verfahrensanforderungen
für die
Gas-Zuführung
zu erfüllen.
Die Komponenten müssen
ausgelegt sein, um miteinander direkt oder an einer gemeinsamen
Sammelleitung ohne die Verwendung von Formstücken oder Schweißungen verbunden
zu sein. Die Modularität
und Austauschbarkeit der Komponenten erfordert einen Standard-Formfaktor
für Ventile,
Regler, Wandler, Filter, Massenströmungs-Steuergeräte und weitere
Komponenten. Der Vorteil der austauschbaren modularen Komponenten
soll der sein, dass sie ungeachtet der spezifischen Funktionen der
Komponente in einem integrierten Gassystem in der gleichen Weise
verbunden werden und in den gleichen Raum passen. Es wird der Vorteil
zum Spülen
des Gassteuersystems erwähnt,
ohne die Notwendigkeit, die Gasleitung vom Gaszylinder zu trennen.
Es wird der Bedarf erläutert,
den herkömmlichen,
gewundenen Gasdurchflussweg und das große Volumen im Gaszuführungssystem
durch einen verbesserten Durchflussweg zu eliminieren. Die in dem
Artikel beschriebenen Systeme setzen die Verwendung diskreter bzw. getrennter
Komponenten jedoch fort und befassen sich kaum mit der Miniaturisierung
von Verbindungen zwischen den diskreten bzw. getrennten Komponenten.
-
Die
US-A-5 566 713 (Lhomer et al), veröffentlicht am 22. Oktober 1996,
betrifft eine Gassteuerungs- und Verteilerbaugruppe, die mit einem
Tank verbunden werden soll, der das Gas unter einem hohen Druck
enthält,
mit einem Niederdruck-Auslass und in Reihe zwischen dem Tank und
dem Niederdruck-Auslass einem Absperrventil, das dem hohen Druck
ausgesetzt ist, einer Druckreduzierungsanordnung, die mit dem Absperrventil
gekoppelt ist, und einer Strömungs-Regleranordnung.
Es soll die Aufgabe sein, eine Steuerungs- und Verteilerbaugruppe zur
Verfügung
zu stellen, die eine kompakte und ergonomische Einheitsform hat,
typischerweise dauerhaft an dem Gastank oder der -flasche befestigt
ist und alle sowohl für
die Verteilung des Gases als auch zum Füllen des Tanks erforderlichen
funktionellen und Sicherheitsmerkmale zur Verfügung stellt. Die Gassteuerungs-
und Verteilerbaugruppe umfasst einen unteren Block, der an einer
Gasflasche befestigt ist und ein Manometer und einen Füllverbinder
aufweist und an dem eine Unterbaugruppe dauerhaft befestigt ist,
die in Reaktion auf die Drehung eines röhrenförmigen Steuerungs- und Betätigungselements axial
bewegbar ist, das die Unterbaugruppe umgibt, die einen Druckminderer
und einen schaltbaren Strömungsregler
enthält
und einen Niederdruck-Auslass und einen Mitteldruck-Auslass hat.
-
Die
EP-A-0 588 531 (Kabushiki Kaisha Neriki), veröffentlicht am 23. März 1994,
betrifft eine Ventilbaugruppe, die angepasst ist, um an einem Gaszylinder
befestigt zu sein, der ein komprimiertes Gas und ein verflüssigtes
Gas zur Verwendung beim Ablassen und Auffüllen des Gases enthält. Ein
Gaseinlass, ein Sperrventil, ein Druckreduzierungsventil und ein
Gasauslass sind in Reihe in einem Ventilgehäuse angeordnet. Der Gasauslass
und ein Auslass des Sperrventils kommunizieren miteinander durch
einen Gas-Auffülldurchgang,
der mit einem Rückschlagventil
versehen ist. Der Gasauslass kommuniziert mit einem sekundären Sicherheitsventil
durch einen Gas-Einführungsdurchgang.
Wenn ein Gaszylinder mit einem Gas gefüllt wird, ist am Gasauslass
ein Gasfüll-Ansatzrohr
angebracht. Daraufhin wird ein Öffnungs-
oder Schließteil,
das im Gas-Einführungsdurchgang
zur Verfügung
gestellt wird, durch ein Betätigungsteil
geschlossen, das im Ansatzrohr zur Verfügung gestellt wird. Dadurch
wird das Hochdruck-Gas nicht vom sekundären Sicherheitsventil freigegeben.
-
Die
EP-A-0 459 966 (GCE Gas Control Equipment AB), veröffentlicht
am 4. Dezember 1991, betrifft eine Anordnung in einem Gasregler,
die mit einem Gassammler verbunden werden soll, um die Verwendung
des Reglers auch als Absperr- und Füllventil für den Gassammler zu ermöglichen.
Der Regler ist vom Gleichstrom-Typ und enthält einen Differenzdruckkolben
mit unterschiedlichen Querschnittsbereichen an dessen oberen und
unteren Teil, wobei die Teile in Bezug auf das Reglergehäuse versiegelt sind.
Zwischen dem oberen Teil des Kolbens und dem Reglergehäuse wird
eine Feder zur Verfügung gestellt,
die dazu neigt, den Kolben vom Ventilsitz weg zu bewegen. Der Kolben
ist zum Ventilsitz durch ein Betätigungselement
manuell verschiebbar, das auf den oberen Teil des Kolbens wirkt.
Der Regler umfasst außerdem
ein Sicherheitsventil.
-
Die
WO-A-9 607 843 (L'Air
Liquide; die der US-B-6 314 986 entspricht), veröffentlicht am 14. März 1996,
offenbart eine Ventilbaugruppe ähnlich der,
die in der vorliegenden Abbildung 9c diagrammatisch
veranschaulicht ist. Die Vorrichtung umfasst einen zweiteiligen
Körper,
in dem es einen Ausström-Kreislauf
gibt, der ein kombiniertes Sperr- und Druckreduzierungsventil aufnimmt
und einen Hochdruckzylinder mit einem Niederdruck-Auslass verbindet.
Der untere Teil des Körpers
hat außerdem einen
diskreten bzw. getrennten Gas-Ausströmkreislauf, der den Zylinder
mit einem Rückschlag-Füllverbinder
verbindet.
-
Die
WO-A-9 629 529 (Insync Systems), veröffentlicht am 26. September
1996, offenbart eine integrierte Gas-Bedienungstafel, in der mehrere
Module zusammen mit verschachtelten Dichtungen gekoppelt sind. Jedes
Modul hat Durchgänge,
die abhängig von
der Dichtung mit einem oder beiden Modulen verbunden sind, um einen
gemeinsamen Durchgang zu bilden, oder mit einem Blindflansch versehen
werden. In jedem Modul werden Gas-Einlasskreisläufe und -Auslasskreisläufe zur
Verfügung
gestellt und kommunizieren mit wenigstens einem der Durchgänge. In
Verfahrens- und Edelgasmodulen erstrecken sich die Kreisläufe durch
das Modul zur Verbindung mit einem jeweiligen Massenströmungs-Steuergerät (mass
flow controller – MFC),
wobei aber in Spülgas-Modulen
ein derartiges Steuergerät
nicht erforderlich ist. Isolationsventile und Spülventile steuern und lenken
die Strömung
in den Kreisläufen,
wobei ein Druckregler in dem Einlass-Kreislauf aufgenommen werden
kann.
-
Die
EP-A-0 688 983 (Kabushiki Kaisha Neriki), veröffentlicht am 29. November
2000, offenbart in seiner weitesten Ausführungsform (siehe 2)
eine an einem Hochdruck-Gaszylinder befestigte Ventilbaugruppe,
die einen Körper
mit einem Gas-Ausströmkreislauf
umfasst, der ein Rückschlagventil
aufnimmt und einen Gasauslass mit dem Hochdruck-Zylinder parallel
mit einem Sperrventil im Gas-Ausströmkreislauf verbindet, der außerdem den
Zylinder mit dem Auslass verbindet. Zwischen dem Sperrventil und
dem Gasauslass kann ein Druckreduzierungsventil angeordnet sein.
-
Die
JP-A-05 215 299 (Kabushiki Kaisha Neriki), veröffentlicht am 19. Februar 1993,
offenbart (siehe 18) eine an einem
Hochdruck-Gaszylinder befestigte Ventilbaugruppe, wie sie in 9b der vorliegenden
Anmeldung diagrammatisch gezeigt wird. Speziell umfasst die Ventilbaugruppe
einen Körper
mit einem Ausströmkreislauf,
der ein Sperrventil stromabwärts
zu einem Druckreduzierungsventil aufnimmt und den Hochdruck-Zylinder
mit einem Niederdruck-Gasauslass verbindet. Der Körper hat
außerdem
einen Gas-Auffüllkreislauf,
der ein Rückschlagventil
aufnimmt und einen speziell dafür vorgesehenen
Hochdruck-Gaseinlass mit dem Ausströmkreislauf stromaufwärts zum
Sperrventil verbindet.
-
Die
JP-A-05 215 299 offenbart außerdem (siehe 13 & 14) eine Modifikation, in der der Auffüll-/Ausströmkreislauf
und der Auffüllkreislauf
diskret bzw. getrennt sind. In dem Ausströmkreislauf wird kein Druckreduzierungsventil
gezeigt.
-
Die
JP-A-05 039 898 (Kabushiki Kaisha Neriki), ebenfalls am 19. Februar
1993 veröffentlicht,
offenbart (siehe 1 und 2) eine
am Hochdruck-Gaszylinder befestigte Ventilbaugruppe, die einen Körper mit
einem Ausströmkreislauf
umfasst, der ein Sperrventil stromabwärts zu einem Druckreduzierungsventil
aufnimmt und den Hochdruck-Zylinder mit einem Niederdruck-Gasauslass
verbindet. Der Körper
hat außerdem
einen Gas-Auffüllkreislauf,
der ein Rückschlagventil
aufnimmt und einen speziell dafür
vorgesehenen Hochdruck-Gaseinlass mit dem Ausströmkreislauf stromaufwärts zu dem
Sperrventil verbindet.
-
Die
JP-A-03 219 172 (Kabushiki Kaisha Neriki), ebenfalls veröffentlicht
am 26. September 1991, offenbart (siehe 1, 2, 25 und 26)
eine an einem Hochdruck-Gaszylinder
befestigte Ventilbaugruppe mit einem Sperrventil stromaufwärts zu einem
Druckreduzierungsventil in einem Ausströmkreislauf, von denen die meisten
außerdem
verwendet werden, um Gas in den Zylinder aufzufüllen. Der Auffüllkreislauf
umgeht das Druckreduzierungsventil, um den Ausströmkreislauf
stromabwärts
zum Sperrventil wieder anzuschließen.
-
Die
EP-A-0 588 531 (Kabushiki Kaisha Neriki), ebenfalls veröffentlicht
am 23. März
1994, offenbart eine am Hochdruck-Gaszylinder befestigte Ventilbaugruppe,
die einen Körper
mit einem Gas-Auffüllkreislauf
umfasst, der einen Gasauslass mit dem Zylinder parallel verbindet,
wobei ein Druckreduzierungsventil in einem Gas-Ausströmkreislauf den Zylinder ebenfalls
mit dem Auslass verbindet und ein Sperrventil stromaufwärts zu der
Verbindungsstelle der zwei Kreisläufe aufweist. Da sich der Auffüllkreislauf
mit dem Ausströmkreislauf
stromabwärts
zum Sperrventil verbindet, sind die zwei Kreislaufe nicht diskret
bzw. getrennt.
-
Die
vorliegende Erfindung stellt eine Gassteuervorrichtung zur Verwendung
mit einem Zylinder für
komprimiertes Gas mit einem diskreten bzw. einzelnen bzw. separaten "primären" Modul mit einem
Körper
zur Verfügung,
mit:
einem Haupt-Gasdurchflussweg durch den Körper, wobei
der Weg einen Hochdruck-Gasausgabeeinlass
und einen Niederdruck-Gasausgabeauslass hat,
einem Hochdruck-Gasfüllweg durch
den Körper,
wobei der Weg einen Hochdruck-Gasfülleinlass
und einen Hochdruck-Gasfüllauslass
hat,
einer Eingang-Verbindungsanordnung zur Befestigung und
Halterung des Körpers
auf einem Zylinder für
komprimiertes Gas und für
die Verbindung des Zylinders mit dem Körper sowohl mit dem Hochdruck-Gasausgabeeinlass
als auch mit dem Hochdruck-Gasfüllauslass,
der mit dem Gaszylinder in Verbindung steht, um eine Strömung des
Gases von dem Zylinder in den Hochdruck-Gasausgabeeinlass oder die
Strömung
des Gases von dem Hochdruck-Gasfüllauslass
in den Zylinder zu ermöglichen,
einer
Druckreduzierungsanordnung in dem Haupt-Gasdurchflussweg, um an
den Niederdruck-Gasausgabeauslass Gas bei einem ausgewählten Druck
zur Verfügung
zu stellen, der wesentlich geringer als der Druck in dem Zylinder
ist,
einem Hochdruck-Absperrventil für den Haupt-Gasdurchflussweg
in dem Haupt-Gasdurchflussweg stromaufwärts zu der
Druckreduzierungsanordnung, um den Durchlassweg selektiv zu öffnen und
abdichtend zu schließen,
und
einem Hochdruck-Absperrventil für den Hochdruck-Gasfüllpfad in
dem Hochdruck-Gasfüllpfad,
um den Durchlassweg selektiv zu öffnen
und abdichtend zu schließen,
und
einer Ausgang-Verbindungsanordnung, die mit dem Niederdruck-Gasausgabeauslass
in Verbindung steht;
unter der Voraussetzung, dass, wenn die
Ausgang-Verbindungsanordnung nicht angepasst ist, um direkt einen
diskreten bzw. getrennten sekundären Modul
mit einem Gas-Strömungspfad-Einlass
auf dem primären
Modul mit dem Niederdruck-Gasausgabeauslass
des primären
Moduls in Verbindung mit dem Gasströmungseinlass des sekundären Moduls zu
befestigen, der Hochdruck-Gasfüllpfad von
dem Haupt-Gasdurchflussweg diskret bzw. getrennt ist und der Hochdruck-Gasausgabeeinlass
und der Hochdruck-Gasfüllauslass
getrennt mit dem Gaszylinder in Verbindung stehen.
-
Ein
diskreter bzw. getrennter sekundärer
Modul mit einem Gasdurchflussweg-Einlass in Verbindung mit dem Niederdruck-Gasausgabeauslass
für den
primären
Modul kann direkt an der Ausgang-Verbindungsanordnung des primären Moduls
befestigt werden.
-
Der
primäre
Modul kann außerdem
einen Spülgas-Durchflussweg
mit einem Spülgas-Einlass, der
mit dem Haupt-Gasdurchflussweg des primären Moduls stromaufwärts zu der
Druckreduzierungsanordnung in Verbindung steht, um Spülgas zu
dem Haupt-Gasdurchflussweg des primären Moduls zuzulassen, und
ein Spülgasventil
umfassen, um den Spülgas-Durchflussweg
selektiv zu öffnen
und abdichtend zu schließen.
-
Der
sekundäre
Modul umfasst vorzugsweise einen Körper mit:
einem Haupt-Gasdurchflussweg
durch den Körper, wobei
der Weg einen Gas-Ausgabeeinlass
und einen Gasausgabe-Auslass hat,
einer Eingang-Verbindungsanordnung,
die mit der Ausgang-Verbindungsanordnung des primären Moduls
zusammenwirkt, um direkt den Körper
an dem sekundären
Modul auf dem primären
Modul zu befestigen, wobei der Gasausgabeeinlass des sekundären Moduls
mit dem Niederdruck-Ausgabeauslass des primären Moduls kommuniziert, um
eine Strömung des
Niederdruck-Gases von dem primären
Modul zu dem sekundären
Modul zu ermöglichen,
einer
Ausgabe-Verbindungsanordnung, die mit dem Gas-Ausgabeauslass des
sekundären
Moduls kommuniziert, und
einer Kombination von wenigstens zwei
funktionellen Komponenten für
die Ausführung
der Funktionen, die sich auf den Gasstrom durch den sekundären Modul beziehen.
-
Vorzugsweise
umfassen die wenigstens zwei funktionellen Komponenten eine Anordnung zum
Messen und/oder Ändern
der Parameter der Gasströmung
im sekundären
Modulkörper
und/oder zum Umschalten und/oder zum Ablassen und/oder zum Mischen
der Gasströmung
im sekundären
Modulkörper.
-
Vorzugsweise
ist jeder Körper
von jedem Modul ein einzelner Körper
aus einem Material, auf oder in dem die funktionellen Komponenten
befestigt sind. Bei einigen Anordnungen kann der Modulkörper jedoch
zwei oder mehrere untergeordnete Körper aufweisen, die miteinander
befestigt sind, um den Modulkörper
zu erzeugen, auf dem oder in dem die Komponenten befestigt sind.
Bei einigen Anordnungen kann der Modulkörper aus Metall mit Öffnungen sein,
die gebohrt oder anderweitig im Metall ausgebildet werden, um funktionelle
Komponenten wie Ventile aufzunehmen. Bei weiteren Anordnungen kann
die Vorrichtung jedoch in Übereinstimmung
mit der Technologie für
mikro-elektromechanische Systeme (micro electro-mechanical system – MEMS),
zum Beispiel unter Verwendung eines thermopneumatischen Mikroventils,
das in einem Körper
aus Silizium ausgebildet ist, aufgebaut sein. Günstigerweise kann der gleiche
Siliziumkörper
dann verwendet werden, um ein Substrat für elektronische, gedruckte
Schaltungen zur Verfügung
zu stellen, die geeignete elektronische Steuerschaltungen zur Steuerung
des Ventils definieren.
-
Es
wird besonders bevorzugt, dass der Körper des primären Moduls
strukturell auf dem Zylinder lediglich durch die Eingang-Verbindungsanordnung, zum
Beispiel durch einen herkömmlichen
Gewindeansatz, der in die herkömmliche
Gewindeöffnung
auf dem oberen Ende eines Zylinders für komprimiertes Gas eingesetzt
wird, gehalten wird. Vorzugsweise weist jeder Modul ein Gehäuse auf,
das den Modulkörper
umgibt und im Abstand davon angeordnet ist, wobei das Gehäuse so geformt
ist, dass es eine Anordnung zur Handhabung des Gaszylinders zur
Verfügung
stellt. Günstigerweise
können Öffnungen
im Gehäuse
angefertigt sein, um den Zugang zu Öffnungen und Komponenten des
Modulkörpers
zu ermöglichen,
wobei günstigerweise
elastisches Material in dem Raum zwischen dem Modulkörper und
dem Gehäuse
zur Verfügung
gestellt werden kann.
-
Es
wird besonders bevorzugt, dass für
jeden Modul der Haupt-Gasdurchflussweg durch den Modul im Allgemeinen
wenigstens zum Teil (vorzugsweise wenigstens die Mehrheit) seiner
Länge längs der Hauptachse
des Halterungskörpers
ausgerichtet ist, wobei sich die Hauptachse durch die Eingang-Verbindungsanordnung
und die Ausgang-Verbindungsanordnung des Moduls erstreckt und die
Hauptachsen der zwei Module koaxial sind. Wo der Gaszylinder ein herkömmlicher
Gaszylinder ist, wird es bevorzugt, dass die Gassteuervorrichtung
an dem Gaszylinder mit den Hauptachsen der Module koaxial mit der
Achse des Zylinders befestigt ist.
-
Bei
einigen Anordnungen kann der primäre Modulkörper auch eine Hochdruck-Anzeigevorrichtung
stromaufwärts
zu der Druckreduzierungsanordnung, um den Druck im Zylinder anzuzeigen,
und eine Sicherheits-Überdruckvorrichtung
haben, die eine Bruchscheibe oder ein Überdruckventil aufweist.
-
Vorzugsweise
umfasst die Eingang-Verbindungsanordnung des primären Moduls
einen ersten und einen zweiten Durchflussweg, wobei der erste Durchflussweg
vom Zylinder zum Haupt-Gasdurchflussweg durch den Modulkörper führt und
der zweite Durchflussweg vom Zylinder zum Gasfüllweg des Moduls führt. In
einem derartigen Fall kann eine Reinigungsanordnung zur Verfügung gestellt
werden, die in dem Gaszylinder positioniert und zwischen dem ersten
Durchflussweg und dem Inneren des Zylinders angeordnet ist, um das
Gas zu reinigen, das aus dem Zylinder austritt und in den Haupt-Gasdurchflussweg
gelangt.
-
Im
Allgemeinen kann dies bei den verschiedenen Ausführungsformen der Erfindung,
in denen die Vorrichtung eine Reinigungsanordnung aufweist, günstigerweise
eine Einheit umfassen, die eine Substanz enthält, die aus Adsorptionsmitteln,
Absorptionsmitteln und deren Gemischen ausgewählt wird, wodurch Verunreinigungen
aus dem Gas entfernt werden, wenn es aus dem Zylinder durch die
Einheit abgezogen wird. Die Einheit kann günstigerweise sein, wie in der
US-A-5 409 526 (Zheng et al) beschrieben ist.
-
Der
primäre
Modul wird vorzugsweise Komponenten aufweisen, die weitere Funktionen
ermöglichen,
wobei bei einem bevorzugten Beispiel der primäre Modulkörper außerdem im Haupt-Gasdurchflussweg
stromaufwärts
zu der Druckreduzierungsanordnung eine Hochdruck-Sicherheitsüberdruckvorrichtung
oder einen Hochdruck-Sicherheitsüberdruckbereich,
der angepasst ist, um eine Struktur zum Befestigen einer Sicherheitsüberdruckvorrichtung
zur Verfügung
zu stellen, und/oder stromabwärts
zu der Druckreduzierungsanordnung ein Niederdruck-Anzeigegerät oder einen
Niederdruck-Anzeigebereich hat, der angepasst ist, um eine Struktur für ein Druck-Anzeigegerät zur Verfügung zu
stellen, um den Druck im Haupt-Gasdurchflussweg stromabwärts zu der
Druckreduzierungsanordnung anzuzeigen. Der primäre Modul hat außerdem vorzugsweise ein
Hochdruck-Anzeigegerät stromaufwärts zu der Druckreduzierungsanordnung,
um den Druck im Zylinder anzuzeigen. Die Sicherheitsüberdruckvorrichtung
kann eine Bruchscheibe oder ein Überdruckventil
sein. Die Struktur, die zum Befestigen einer funktionellen Komponente
zur Verfügung
gestellt wird, kann einen geformten Abschnitt des primären Modulkörpers umfassen,
der angepasst ist, um während der
Fertigung der Gassteuervorrichtung heraus gebohrt zu werden, wenn
die funktionelle Komponente im Endprodukt erforderlich ist.
-
Man
wird erkennen, dass sich die Erfindung auf die Bereitstellung einer
Gassteuervorrichtung erstreckt, in der bestimmte funktionelle Komponenten abhängig von
den Anforderungen des Kunden nicht immer zur Verfügung gestellt
werden. Für
die Flexibilität
und Einfachheit der Fertigung schließt die Erfindung jedoch Strukturen
ein, in denen Vorkehrungen getroffen werden, um die weiteren funktionellen
Komponenten zu liefern, falls und wenn sie erforderlich sind. Beispielsweise
kann die Struktur, die zum Befestigen einer funktionellen Komponente
zur Verfügung
gestellt wird, einen geformten Abschnitt des primären Modulkörpers umfassen,
der angepasst ist, um während
der Fertigung der Gassteuervorrichtung heraus gebohrt zu werden,
wenn die funktionelle Komponente im Endprodukt erforderlich ist.
-
Der
sekundäre
Modul kann durch die Anforderungen des Kunden aus einer Anzahl von
kompatiblen sekundären
Modulen ausgewählt
werden. Bei einem Beispiel ist der sekundäre Modul ein Vakuum- bzw. Unterdruckmodul
mit einer Entlüftungsöffnung und
einer schaltbaren Ventilanordnung, um die sekundäre Modul-Eingang- und Ausgang-Verbindungsanordnung
in einem Durchflussweg in der Weise zu verbinden, dass Gas vom Zylinder
für komprimiertes Gas
durch die Entlüftungsöffnung entlüftet wird
und an der Ausgang-Verbindungsanordnung einen Unterdruck erzeugt,
um ein weiteres Gerät
zu evakuieren, das mit der Ausgang-Verbindungsanordnung des sekundären Moduls
verbunden werden kann, wobei die Ventilanordnung schaltbar ist,
um die Gasströmung von
der Eingang-Verbindungsanordnung des sekundären Moduls entweder zur Entlüftungsanordnung oder
zu der Ausgang-Verbindungsanordnung selektiv zu lenken. Bei einem
weiteren Beispiel ist der sekundäre
Modul ein Spülmodul
mit einer schaltbaren Ventilanordnung, um Spülgas durch einen Spülgas-Einlass
zuzulassen und das Spülgas
durch den Modul, durch eine Auslass-Verbindungsanordnung heraus und von
dort zum Spülen
eines Benutzungsgerätes
zu leiten. Bei einem weiteren Beispiel ist der sekundäre Modul
ein Mischermodul mit einer steuerbaren Ventilanordnung zum Hinzufügen zu der
Gasströmung
durch den Haupt-Gasdurchflussweg des zweiten Moduls ein weiteres
Gas, um an der Ausgang-Verbindungsanordnung
ein Gemisch von Gasen zuzuführen,
wobei bei einem Beispiel der sekundäre Modul eine Quelle des weiteren
Gases aufweisen kann. Bei einem weiteren Beispiel kann der sekundäre Modul
eine weitere Eingangsanordnung aufweisen, die angepasst ist, um
mit einer Quelle des weiteren Gases außerhalb des sekundären Moduls verbunden
zu werden.
-
Die
Vorrichtung kann wenigstens zwei sekundäre Module aufweisen, wobei
der zuerst erwähnte
sekundäre
Modul auf dem primären
Modul befestigt ist und der oder jeder weitere sekundäre Modul
so befestigt ist, dass er einen Stapel von sekundären Modulen
einer über
den anderen bildet.
-
Die
modulare Gassteuervorrichtung der vorliegenden Erfindung stellt
außerdem
einen Satz von Modulen zur Verfügung,
die miteinander verbunden werden können, um die modulare Gassteuervorrichtung
zur Verfügung
zu stellen, wobei der Satz von Modulen den primären Modul und mehrere sekundäre Module
aufweist, die jeweils angepasst sind, um auf dem primären Modul
oder auf einem weiteren sekundären
Modul befestigt zu werden, wobei jeder sekundäre Modul einen Halterungskörper mit
einem Haupt-Gasdurchflussweg durch den Körper umfasst, wobei der Körper eine
Eingang-Verbindungsanordnung zum Befestigen des Körpers auf
dem primären Modul
oder auf einem weiteren sekundären
Modul und zum Verbinden des Haupt-Gasdurchflussweges des sekundären Moduls
mit dem Haupt-Gasdurchflussweg des primären Moduls oder des weiteren
sekundären
Moduls und eine Ausgang-Verbindungsanordnung hat, um einen Auslass
vom Haupt-Gasdurchflussweg des sekundären Moduls zur Verfügung zu
stellen, wobei der Halterungskörper
von jedem sekundären
Modul eine Kombination von zwei oder mehreren funktionellen Komponenten
zum Ausführen
von Funktionen hat, die sich auf die Gasströmung beziehen.
-
Der
primäre
Modulkörper
hat vorzugsweise außerdem
ein Hochdruck-Spülgas-Einlassventil stromaufwärts zu der
Druckreduzierungsanordnung, um Spülgas für die Haupt-Gasströmung zuzulassen.
-
Bei
einigen Anordnungen hat der primäre Modulkörper außerdem ein
Spülgas-Einlassventil stromaufwärts zu der
Druckreduzierungsanordnung, um Spülgas für die Haupt-Gasströmung zuzulassen.
-
Es
soll erkannt werden, dass die Positionierung der Ausgang-Verbindungsanordnung
einer Gassteuervorrichtung entweder auf einer oberen Fläche oder
einer seitlichen Fläche
des Halterungskörpers
eine Überlegung
ist, die die Erfindung bei allen oben dargelegten Ausführungsformen
beeinflusst. Im Allgemeinen ist es ein besonders bevorzugtes Merkmal,
dass ein Modul mit einer nach oben gerichteten oder gewandten Ausgang-Verbindungsanordnung zur
Verfügung
gestellt werden kann, wenn es beabsichtigt ist, dass ein weiterer
Modul mit der Gassteuervorrichtung mittels der nach oben gerichteten
Ausgang-Verbindungsanordnung gekoppelt werden soll. Wo es jedoch
beabsichtigt ist, dass der betreffende Modul einzeln auf dem oberen
Ende eines Gaszylinders angebaut werden soll, ohne dass weitere
Module involviert sind, oder wo es beabsichtigt ist, dass der Modul
der oberste Modul einer Reihe von Modulen ist, die auf dem oberen
Ende eines Gaszylinders befestigt werden, dann wird es bei derartigen
Umständen
bevorzugt, dass die Ausgang-Verbindungsanordnung
seitlich von dem Modul gerichtet oder gewandt ist. Vorzugsweise
liegt die Ausgang-Verbindungsanordnung seitlich horizontal vom Halterungskörper, obwohl
bei bestimmten Umständen
die Ausgang-Verbindungsanordnung
in einem Winkel nach oben oder nach unten von einer Seitenfläche des
Moduls gerichtet sein kann. Bei einer noch weiteren Variation kann
die Ausgang-Verbindungsanordnung auf einer oberen Oberfläche des
Moduls befestigt sein, kann aber so angeordnet sein, dass sie an
ihrer Öffnung
horizontal seitlich gerichtet ist, wenn sie nicht mit einer anderen
Anlage verbunden ist.
-
Die
bevorzugte Anordnung für
einen einzelnen oder obersten Modul ist jedoch die, dass die Ausgang-Verbindungsanordnung
auf einer Seitenfläche des
Moduls befestigt ist und vom Modul horizontal seitlich liegt. Eine
derartige Anordnung ergibt einen Vorteil bei der Verringerung der
Wahrscheinlichkeit von Verunreinigungen, die in die Ausgang-Verbindungsanordnung
eindringen, wenn die Ausgang-Verbindungsanordnung nicht mit einer
weiteren Anlage verbunden ist.
-
Die
vorliegende Erfindung, wenigstens bei deren bevorzugten Ausführungsbeispielen,
stellt eine Anzahl von Vorteilen gegenüber früheren Gassteuervorrichtungen
und -verfahren zur Verfügung.
Anstatt eine Anzahl von diskreten bzw. getrennten Komponenten in
ein kleineres Steuerungs-Bedienungstafelsystem
nur zu verbinden, was bei einigen miniaturisierten Gas- Steuerungssystemen
vorgeschlagen wurde, schließt
die vorliegende Erfindung die Umgestaltung und Bearbeitung einer
Gruppe von Komponenten direkt in einen einzigen Körper (für mechanische
Einheiten) oder auf einen elektronischen Chip (zum Beispiel in mikro-elektromechanischen
Systemeinheiten) ein. Die Erfindung kann eine Reihe von Modulen
zur Verfügung
stellen. Jeder von diesen ist unabhängig und hat unterschiedliche
Funktionen. Durch das Kombinieren der Druckregelung mit anderen
Modulen kann das System erweitert werden, um zusätzlichen Erfordernissen des
Kunden wie Reinigung, Verdampfung, Erzeugung eines Gemisches usw.
zu entsprechen. Bei bevorzugten Formen können alle Module elektrische
Ausgangssignale zur Anzeige abgeben und elektrische Eingangssignale
zur Steuerung empfangen. Es kann eine integrierte Ausführung erreicht
werden, besonders mit den Haupt-Gasdurchflusswegen, die längs der
Achse eines Zylinders für
komprimiertes Gas ausgerichtet sind, um undichte Stellen zu minimieren,
ungenutzten Raum und überflüssige Verbindungen
zu beseitigen, um die Produktqualität und -reinheit zu verbessern,
während
die Kosten des Systems gesenkt werden.
-
Durch
das Entwerfen einer Anzahl von unterschiedlichen Steuermodulen für unterschiedliche
Anwendungen können
die Module kombiniert werden, um verschiedenen Erfordernissen des
Kunden und das Marktes zu entsprechen, die die folgenden Funktionen
umfassen:
- – eingebaute
Restdrucksteuerung & Sicherheitsentlastung
- – Druckmodul
zum Regeln des Gasdrucks aus den Zylindern
- – Strömungssteuerungsmodul
- – Filtrations-
und/oder Reinigungsmodul zur Steuerung von UHP-Gasen für elektronische
Anlagen
- – Venturi-Modul
zur Evakuierung bei korrosiven, toxischen und selbst entzündlichen
Anwendungen
- – elektronische
Steuerung der Druckregelung für elektronische
Anlagen
- – Verdampfermodul
zum Umwandeln verflüssigter Produkte
in Gas
- – Analysatormodul
zum Überwachen
der Gasqualität
- – Gemischmodul
zur Erzeugung von Bezugsgasgemischen
- – Gas-Vermengungsmodul
zur Bearbeitung von Gasgemischen
- – voll
automatisierte Steuerungsfunktionen für elektronische Anlagen
- – Ferndaten-Erfassung,
-Speicherung und -Steuerung, z. B. Fernmesseinrichtung.
-
Die
Erfindung findet besondere Anwendung bei der Fertigung von integrierten
Schaltungen, die normalerweise die Verwendung eines Gasgehäuses zur
Handhabung von toxischen, korrosiven und/oder selbst entzündlichen
Gasen erfordern.
-
Es
werden nun Ausführungsbeispiele
der Erfindung beispielhaft mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen
beschrieben, in denen zeigen:
-
1 eine
diagrammatische Darstellung eines typischen bekannten Steuerungssystems
für Zylinder
für komprimiertes
Gas in einer industriellen Anwendung;
-
2 eine
diagrammatische Darstellung eines typischen Gasgehäuses, die
die Konfiguration und Technik von Strömungskomponenten für ein gefährliches
und/oder korrosives Gas zeigt;
-
3 eine
diagrammatische Darstellung eines Gassteuersystems, das die vorliegende
Erfindung verkörpert,
um die Funktionen auszuführen,
die in einem herkömmlichen
Gasgehäuse
nach 2 gezeigt werden;
-
4 eine
diagrammatische Seitenansicht des physikalischen Aufbaus des Gassteuersystems nach 3;
-
5 eine
diagrammatische dreidimensionale Ansicht, teilweise im Schnitt,
einer Gassteuervorrichtung für
den primären
Modul, die in 3 diagrammatisch gezeigt wird;
-
5a eine
weitere diagrammatische dreidimensionale Ansicht, die die interne
Anordnung nach 5 ausführlicher zeigt;
-
5b eine
dreidimensionale diagrammatische Darstellung des Äußeren der
Komponenten gemäß 5a,
mit der Hinzufügung
weiterer Komponenten an der Basis;
-
5c eine
dreidimensionale Perspektivansicht der entfernten Seite der Vorrichtung
gemäß 5b;
-
6 eine
diagrammatische Darstellung einer alternativen Vorrichtung, die
von der nach 3 modifiziert ist;
-
7a und 7b jeweils
eine Seitenansicht und eine diagrammatische Darstellung einer Gassteuervorrichtung,
die die Erfindung verkörpert, in
der ein sekundärer
Modul ein Mischermodul mit einer Gasquelle ist;
-
8 und 8a diagrammatische
Darstellungen eines alternativen Ausführungsbeispiels der Erfindung
zum Mischen von Gas mit einem zweiten Zylinder für komprimiertes Gas;
-
9a bis 9d eine
Reihe von alternativen Füllsystemen,
die in Verbindung mit beliebigen der hier dargelegten Ausführungsbeispiele
verwendet werden können,
wobei 9d speziell eine Füllanordnung
zeigt, die eine Ausführungsform
der Erfindung verkörpert;
-
10a bis 10m jeweils:
einen Stapel von Modulen, die die Erfindung verkörpern, einen einzelnen Modul,
der am oberen Ende eines Gaszylinders befestigt ist, der eine Ausführungsform
der Erfindung verkörpert,
und eine interne Schaltungsanordnung eines Beispiels eines derartigen
Moduls: und zehn Ansichten von Beispielen von 10c;
-
11a bis 11c eine
Reihe von Beispielen des Aufbaus von Komponenten, die in Verbindung
mit Ausführungsbeispielen
der Erfindung verwendet werden können,
die in 3 und weiteren Abbildungen dieser Anmeldung gezeigt
werden.
-
Als
erstes werden zwei Beispiele von gegenwärtigen Anwendungen von Zylindern
für komprimiertes
Gas beschrieben. 1 zeigt einen grundlegenden
Aufbau, der üblicherweise
bei der Forschung, analytischen, medizinischen, Bildungs- und einigen
anderen industriellen Anwendungen verwendet wird. 2 zeigt
ein typisches Gasgehäuse,
das häufig
in Anlagen zur Halbleiterherstellung verwendet wird.
-
Nach 1 hat
ein Zylinder 11 für
komprimiertes Gas ein herkömmliches
Zylinderventil 12 und eine Bruchscheibe 13, um
eine Sicherheitsüberdruckanordnung
zur Verfügung
zu stellen. Eine Standardkupplung 14 entsprechend den Standards
der Compressed Gas Association wird am Auslass des Zylinderventils 12 zur
Verfügung
gestellt und ist mit einem Druckregler 15 gekoppelt, der
eine ausgewählte
Druckreduzierung zur Verfügung
stellt und ein Hochdruck-Messgerät 16 und
ein Niederdruck-Messgerät 17 hat.
Das Zylinderventil 12 und die Bruchscheibe 13 sind
am Zylinder 11 befestigt, wobei aber alle nachfolgenden
Komponenten nicht am Zylinder befestigt sind und durch herkömmliche
Kupplungen oder geschweißte
Verbindungen damit verbunden sind. Die Gasströmungsleitung setzt sich vom
Druckregler 15 durch ein Isolationsventil 18,
ein Rückschlagventil 19,
ein Reinigungsgerät 20,
einen Filter 21 und ein Isolationsventil 22 zu
einem Ausgang 23 fort, der mit dem Gerät verbunden ist, das das Gas nutzt.
Zwischen dem Isolationsventil 18 und dem Rückschlagventil 19 wird
ein Niederdruck-Sicherheitsentlastungsventil 24 zur
Verfügung
gestellt.
-
In 2 stellt
ein typisches Gasgehäuse 25 ein
belüftetes
Gehäuse
zur Verfügung,
das den Zylinder 11 und die Gassteuerkomponenten einschließt. Das
Gasgehäuse
ist als Erstes für
den Einschluss irgendwelcher katastrophalen undichten Stellen der Zylinderinhalte
vorgesehen. Das Gehäuse
wird durch ein zentrales Entlüftungssystem
am Punkt 26 abgepumpt. Abhängig von den Anwendungen kann
das Entlüftungssystem
vor dem Abpumpen in die Umgebung ein Gaswäschersystem zur wirksamen Entfernung
der Zylinderinhalte aufweisen. Der zweite Zweck des Gasgehäuses ist
es, eine wirksame Gasverwaltung zur Verfügung zu stellen, indem Funktionen
wie Druck, Filtrierung, Zylinderpegel, periodisch wiederkehrende
Spülung,
Reinigung und Sicherheitsüberwachung
gesteuert werden. Das elektronische Steuersystem des Gasgehäuses stellt
eine Echtzeitrückkopplung
für Verfahrensgeräte und Bediener
mit Informationen bezüglich
der Gasnutzung, der Arbeitsweise der Anlage, der Zylinderinhalte,
des Verfahrensgasdrucks und des Sicherheitsalarmzustands zur Verfügung.
-
Es
wird nun die Gasdurchflussleitung aus dem Zylinder 11 beschrieben,
wobei Komponenten, die denen in 1 entsprechen,
durch gleiche Bezugszahlen gekennzeichnet werden. Die Ausgabe des
Zylinders 11 gelangt vom Zylinder-Absperrventil 12 durch ein
Steuerventil 27 und einen Strömungsschalter 28 zu
einem weiteren Ventil 29. Ein Hochdruck-Wandler 5 stromaufwärts zu dem
Ventil 27 zeigt den Druck des Zylinders 11 an.
Die Ausgabe des Ventils 29 gelangt durch ein weiteres Steuerventil 30 zu
einem Druckregler 31, um eine ausgewählte Druckreduzierung zu erzeugen.
Die Niederdruck-Ausgabe gelangt durch einen Strömungsschalter 32 und
einen Filter 33 zu einem weiteren Ventil 34 und
von dort durch weitere Steuerventile 35 und 36 zu
einem Auslass 37, der zu einem Gerät 38 führt, das
das Gas verwendet. Zwischen dem Druckregler 31 und dem
Strömungsschalter 32 zeigt
ein Niederdruck-Wandler 39 den niedrigen Druck in der Strömungsleitung
an.
-
Die
Steuerventile 40 und 41 führen jeweils von den Ventilen 29 und 34 zu
einer gemeinsamen Druckleitung 42 durch eine Venturi-Pumpe 43 zum
einen Venturi-Auslass 44.
Ein Spülgas-Einlass 45 lässt Stickstoff
durch die Ventile 46, 47 und 48 zur Venturi-Pumpe 43,
um die Evakuierung des Hauptströmungskreislaufs
zuzulassen. Die Wirkung des Venturi-Stickstoffs, der am Punkt 45 eintritt
und am Punkt 44 austritt, ist es, einen Unterdruck zu erzeugen,
um restliche Luft oder Verunreinigungen aus der Haupt-Verfahrensströmungsleitung
zu entfernen. Zwischen dem Ventil 27 und dem Strömungsschalter 28 ist
im Haupt-Durchflussweg ein Ventil 49 mit einem Hochdruck-Spülgaseinlass 50 angeschlossen, um
Hochdruck-Stickstoff von extrem hoher Reinheit zur Spülung der
Haupt-Durchflussleitung
zuzulassen.
-
Während des
Zylinder-Austausches vom verbrauchten Zylinder auf einen vollen
Zylinder muss das Hochdruck-System wirksam vom Verfahrensgas gespült werden.
Nach dem Spülen
wird die Hochdruck-Anschlussleitungsverbindung zum Zylinder-Absperrventil 12 vom
verbrauchten Zylinder getrennt und ein voller Zylinder angeschlossen.
Die Gas-Bedienungstafel stellt die Ventilsteuerung und das durch
Unterdruck unterstützte
Spülen
zur Verfügung,
das notwendig ist, um die Anschlussleitungsverbindung wirksam zu
reinigen. Der Unterdruck-Spülkreislauf
wird durch aufeinander folgendes, gegenphasiges Öffnen und Schließen der
Ventile 49 und 29 durchgeführt. Auf diese Weise wird das Verfahrensgas
entfernt und durch das Spülgas,
in diesem Fall Stickstoff von extrem hoher Reinheit, ausgetauscht,
das von einer Zylinderquelle zur Verfügung gestellt werden könnte. Die
Ventile der Gas-Bedienungstafel
werden typischerweise automatisch über eine programmierbare logische
Steuerungseinrichtung oder einen Mikroprozessor gesteuert. Die logische
Steuerung gewährleistet,
dass die Folgesteuerung der Ventile für den Zylinderaustausch folgerichtig
ist, und verhindert Fehler des menschlichen Bedieners.
-
Während des
Anschließens
des vollen Zylinders entfernt eine ähnliche Folgesteuerung dieser Ventile
atmosphärische
Verunreinigungen. Die atmosphärische
Verunreinigung bildet das größte Risiko
für den
Beginn der Korrosion oder der Bildung von schädlichen reaktiven Nebenprodukten,
die die Wirkungsweise von Steuerungskomponenten stromabwärts nachteilig
beeinflussen können.
Bei vollem Zylinderdruck sind viele wichtige korrosive Gase sehr empfindlich
gegenüber
der einsetzenden Korrosion durch restliche atmosphärische Verunreinigungen. Zum
Beispiel werden Säuregase
wie HBr und HCl, die als Dämpfe
zugeführt
werden, eine Korrosion einleiten, wenn sich eine kondensierte Phase
mit einem korrodierbaren Material in Kontakt befindet. Es folgt, dass,
wenn die Hochdruck-Verbindung eliminiert werden kann, die Empfindlichkeit
gegenüber
atmosphärischen
Verunreinigungen auf Grund des Trennens und des erneuten Anschließens des
Zylinders gesenkt oder beseitigt werden kann.
-
Nun 3 zugewandt
werden in diagrammatischer Form Gassteuervorrichtungen gezeigt,
die die Erfindung verkörpern
und angeordnet sind, um die Funktionen gemäß 2 auszuführen. Ein
erster Zylinder 11 für
komprimiertes Gas enthält Verfahrensgas,
wobei ein zweiter Zylinder 111 für komprimiertes Gas Spülgas wie
Stickstoff enthält.
Jede Zylinder enthält
ein eingebautes Reinigungsgerät 9 bzw. 109,
die in der Weise angeordnet sind, die in der US-A-5 409 526 beschrieben
ist und auf die sich oben bezogen wird. Auf den Zylindern 11 und 111 ist jeweils
eine modulare Gassteuervorrichtung mit einem primären Modul 52 bzw. 152 befestigt.
Die primären
Module sind identisch, führen
aber abhängig von
der Funktionsweise der inneren Komponenten unterschiedliche Funktionen
aus. Auf der oberen Seite des primären Moduls 152 ist
ein sekundärer
Modul 252 befestigt, der in diesem Fall ein Unterdruckmodul ist.
-
Betrachtet
man anfänglich
den primären
Modul 52, umfasst dieser einen ersten Halterungskörper (in 3 diagrammatisch
an 54 gekennzeichnet, aber vollständiger in 5 gekennzeichnet,
wie nachfolgend beschrieben wird). Der Halterungskörper 54 hat
einen ersten Haupt-Gasdurchflussweg durch den Körper, der im Allgemeinen an 55 gekennzeichnet
ist. Es wird eine Eingang-Verbindungsanordnung 56 zur Verfügung gestellt,
um den Körper 54 am
Behälter 11 für komprimiertes
Gas zu befestigen und den Gasdurchflussweg 55 anzuschließen, so dass
er mit dem Gasbehälter 11 kommuniziert.
Die Eingang-Verbindungsanordnung 56 umfasst einen ersten
Verbindungs-Durchflussweg 57, der mit dem eingebauten Reinigungsgerät 9 über ein
Restdruckventil 10 in Verbindung steht, wobei ein zweiter
Verbindungs-Durchflussweg 59 zwischen
dem Inneren des Zylinders 11 und einem Füllventil 60 im
Halterungskörper 54 des
primären
Moduls 52 direkt in Verbindung steht. Das Füllventil 60 kommuniziert
mit einem Fülleinlass 61.
Außerdem
ist mit dem zweiten Durchflussweg 59 ein Sicherheits-Freigabeventil oder
eine Bruchscheibe 62 verbunden.
-
Der
erste Durchflussweg 57 der Eingang-Verbindungsanordnung 56 verbindet
den Zylinder 11 mit dem Haupt-Durchflussweg 55,
indem er zuerst zu einem Haupt-Zylinderventil 64 geführt wird. Der
Ausgang des Haupt-Zylinderventils 64 ist mit einem Filter 65 verbunden,
der mit einem Druckregler 66 verbunden ist, um den Druck
von etwa 200 Bar auf annähernd
0–20 Bar
zu reduzieren. Zwischen dem Filter 65 und dem Druckregler 66 ist
ein Hochdruck-Messgerät 67 angeschlossen.
Dieses dient dazu, den Druck im Zylinder 11 anzuzeigen
und damit den Zustand des Inhalts des Zylinders anzuzeigen, so dass
der Zylinder gewechselt werden kann, wenn er leer ist. Der Auslass
des Druckreglers 66 ist mit einem Druckschalter oder Strömungsschalter 68 verbunden,
um die Niederdruck-Strömung
zum Verfahrensgerät
durch ein Isolationsventil 69 zu steuern, das zu einer
Schnellverbindungs-Ausgabeverbindungsanordnung 70 führt. Der
Druckschalter oder Strömungsschalter 68 kann
zum Beispiel ein manuell bedientes Nadelventil oder Strombegrenzungsventil sein.
-
Ein
Niederdruck-Messgerät 71 ist
mit dem Druck-/Strömungsschalter 68 verbunden,
um den Druck im Niederdruck-Abschnitt des primären Moduls 52 anzuzeigen.
Der primäre
Modul 52 hat außerdem
ein Spülgas-Einlassventil 72,
das mit dem Haupt-Durchflussweg 55 über ein
Rückschlagventil 63 an
einer Position stromaufwärts
zum Druckregler 66, an einer Position zwischen dem Filter 65 und
dem Zylinderventil 64 in Verbindung steht. Das Spülgasventil 72 ist
mit einer Spülgas-Einlassanordnung 73 verbunden,
die im vorliegenden Fall mit einer Spülleitung 74 verbunden
ist, die nachfolgend vollständiger beschrieben
wird.
-
4 ist
eine diagrammatische Darstellung einer Seitenansicht der Vorrichtung
gemäß 3.
-
5, 5a, 5b und 5c zugewandt
werden die Komponenten der Gassteuervorrichtung 52 ausführlich,
aber in diagrammatischer Form in einer perspektivischen Seitenansicht
der Vorrichtung, teilweise im Schnitt gezeigt. 5b und 5c sind
dreidimensionale diagrammatische Darstellungen des Äußeren der
Komponenten gemäß 5a,
unter Hinzufügung
weiterer Komponenten an der Basis.
-
Der
Halterungskörper 54 der
Gassteuervorrichtung 52 wird als ein länglicher Körper mit einer Hauptachse 51 gezeigt,
die im Allgemeinen mit der Achse des Gaszylinders (nicht dargestellt)
koaxial ist. Die Eingang-Verbindungsanordnung 56 hat eine
innere Bohrung, die nach oben zu dem Haupt-Gasdurchflussweg durch
den Körper 54 führt und äußerlich
mit einem Gewinde versehen ist (nicht dargestellt), um mit einer
herkömmlichen
Gewindeöffnung im
oberen Ende des Druckgas-Zylinders gekoppelt zu werden.
-
Das
Haupt-Absperrventil 64 wird durch einen Steuerungsknopf 75 betätigt. Auf
den Hochdruck-Wandler oder das Druck-Messgerät 67 hat man Zugang
durch einen Querdurchgang 76. Der Spülanschluss 73, der
mit dem Spülgas-Ventil 72 gekoppelt
ist, ist an der entfernten Seite der Vorrichtung positioniert und
wird in 5 nicht dargestellt. Das Niederdruck-Absperrventil 69 wird
durch einen Steuerungsknopf betätigt.
Auf den Füllanschluss 61 erhält man Zugang
durch eine abdichtende Abdeckung (nicht dargestellt). Der Druckregler 66 wird
durch einen Knopf 78 gesteuert. Der Druckregler besteht
aus einem Entspannungsventil 66. Das Rückschlagventil, das in 5 nicht
gezeigt wird, ist am oberen Ende des Haupt-Durchflussweges 55 positioniert,
wobei jenseits davon eine Schnellverbindungs-Ausgabeverbindungsanordnung 70 zur
Verfügung
gestellt wird, die von einer abnehmbaren Abdeckung 79 bedeckt
ist. Ein Metallgehäuse 50 umgibt
den Halterungskörper 54.
Auf der Oberseite des Gehäuses 50 ist
ein Kunststoffring 48A aufgepasst, um einen äußeren Aufprall
zu absorbieren, wobei die Verbindung zwischen dem primären Modul
und dem sekundären Modul
und die Handhabung geschützt
werden.
-
Es
wird nun die normale Funktionsweise des primären Moduls 52 beschrieben,
wenn er als eine einzelne Gassteuervorrichtung während der normalen Zuführung des
Verfahrensgases aus dem Zylinder 11 zum Benutzungsgerät (nicht
dargestellt) verwendet wird.
-
Nach 3 wird
das Spülgas-Ventil 72 normalerweise
geschlossen sein, so wie das Füllventil 60 und
das Sicherheits-Freigabeventil 62. Wenn Verfahrensgas angefordert
wird, wird das Zylinderventil 64 geöffnet, wobei das Verfahrensgas
an der Auslass-Verbindungsanordnung 70,
gesteuert durch den einstellbaren Druckregler 66 und den
Druck-/Strömungsschalter 68 und überwacht
durch das Hochdruck-Messgerät 67 und
das Niederdruck-Messgerät 71,
zugeführt
wird. Wenn der Zylinder 11 leer geworden ist, wird er an
der Ausgang-Verbindungsanordnung 70 im Niederdruck-Teil
des Durchflussweges bei einem Druck im Bereich von 0–20 Bar
und an der Spüleinlass-Verbindungsanordnung 73 getrennt, wenn
das Ventil 72 geschlossen ist. Die gesamte Einheit aus
Zylinder 11 und Gassteuervorrichtung 52 wird dann
zum Gasversorger zum Füllen
zurückgeführt. Ein
neuer gefüllter
Gaszylinder wird zusammen mit seinem eigenen primären Modul 52 (wirkt
als eine Gassteuervorrichtung), der bereits dauerhaft auf dem Zylinder
befestigt ist, zur Verfügung
gestellt, wobei der Haupt-Durchflussweg 55 durch die Gassteuervorrichtung 52 gespült wird
(wie nachfolgend beschrieben wird) und der neue Zylinder und die
Gassteuervorrichtung mit dem Benutzungssystem durch die Ausgang-Verbindungsanordnung 70 des
neuen Gaszylinders und mit dem Spülsystem durch die Spüleinlass-Verbindungsanordnung 73 gekoppelt werden.
Damit werden das Herstellen und Unterbrechen bei einem relativ niedrigen
Druck im Bereich von 0–20
Bar ausgeführt.
Die Verbindung zwischen der Gassteuervorrichtung 52 und
dem Zylinder 11 wird durch den Anwender des Gaszylinders
nicht unterbrochen. Das Nachfüllen
des leeren Zylinders wird durch den Gasversorger nach der Rückführung des unversehrten
Zylinders und der Steuervorrichtung durch eine versiegelte Eingangshaube
ausgeführt, die
durch den Anwender nicht entfernt werden kann. Das Füllen wird
durch den Gasversorger durch den Füllanschluss 61 und
das Füllventil 60 nach
einer angemessenen Spülung
durchgeführt.
-
Es
wird nun die Struktur der verbleibenden Komponenten gemäß 3 beschrieben.
Der Spülgas-Zylinder 111 und
der primäre
Modul 152 können den
identischen Aufbau wie der Zylinder 11 und der primäre Modul 52 haben,
wobei der Einfachheit halber gleiche Komponenten durch gleiche Bezugszahlen
mit der Vorziffer 1 gekennzeichnet werden. Auf der Auslass-Verbindungsanordnung 170 des
primären
Moduls 152 ist der sekundäre Modul 252 befestigt.
Der sekundäre
Modul umfasst einen zweiten Halterungskörper, der im Allgemeinen mit 254 gekennzeichnet
ist und im Allgemeinen einen ähnlichen Charakter
hat wie der Halterungskörper 54 gemäß 5.
Der sekundäre
Modul hat einen Haupt-Gasdurchflussweg 255 durch den Körper und
eine zweite Eingang-Verbindungsanordnung 256 und eine zweite Ausgang-Verbindungsanordnung 270.
Der Halterungskörper 254 ist
an der Verbindung zwischen der zweiten Eingang-Verbindungsanordnung 256 und der
Ausgang-Verbindungsanordnung 170 des primären Moduls 152 befestigt
und wird dadurch gehalten.
-
Die
Eingang-Verbindungsanordnung 256 ist längs des Haupt-Gasdurchflussweges 255 mit
einem Rückschlagventil 280 und
von dort mit einem Steuerventil 281 verbunden, dem ein
Steuerventil 282 folgt, dessen Ausgang mit der Ausgang-Verbin dungsanordnung 270 verbunden
ist. An der Verbindungsstelle zwischen den Steuerventilen 281 und 282 ist
ein Steuerventil 283, das zu einer Eingang-/Ausgang-Verbindungsanordnung 284 führt, und
außerdem
ein Steuerventil 285 angeschlossen, das durch eine Venturi-Pumpe 286 zu
deren Entlüftung 287 führt. Zwischen
dem Steuerventil 285 und der Venturi-Pumpe 286 ist
ein Wandler 288 positioniert. Die Einlass-Verbindungsanordnung 256 ist
mit einem weiteren Gasdurchflussweg verbunden, der durch ein Steuerventil 289 zu
einem Rückschlagventil 290 und
von dort zu der Venturi-Pumpe 286 geführt wird. Die Ausgang-Verbindungsanordnung 270 ist
durch eine Druck-/Unterdruckleitung 74 mit dem Spülgas-Einlass 73 des
primären
Moduls 52 verbunden.
-
Alle
Haupt-Eingang- und Ausgang-Verbindungsanordnungen sind in zwei Verbindungsformen standardisiert.
Die Eingang-Verbindungsanordnungen 56 und 156 sind
so hergestellt, dass sie an den Standard-Auslass eines Druckgaszylinders
passen. Die Auslass-Verbindungsanordnungen 70, 170 und 270 haben
alle den gleichen Aufbau und sind so angeordnet, dass sie mit der
entsprechenden Eingang-Verbindungsanordnung 256 eines
beliebigen sekundären
Moduls zusammenpassen. Die Verbindung zwischen der Ausgang-Verbindungsanordnung 170 und
der Eingang-Verbindungsanordnung 256 ist angeordnet, um
eine strukturelle Halterung für
den dadurch befestigten sekundären
Modul zur Verfügung
zu stellen und um eine Strömungsverbindung zwischen
den Haupt-Gasdurchflusswegen der so verbundenen Module zur Verfügung zu
stellen. Jede Ausgang-Verbindungsanordnung 70, 170 und 270 kann
jedoch auch, wenn nötig,
mit einer herkömmlichen
Druckleitung wie der Leitung 74 zusätzlich dazu verbunden werden,
dass sie mit einem sekundären oder
einem weiteren sekundären
Modul verbunden werden kann. Damit kann auf dem sekundären Modul 252 ein
weiterer sekundärer
Modul (nicht dargestellt) befestigt sein.
-
Die
Funktionsweise des sekundären
Moduls 252 wird nun in einer typischen Anwendung beschrieben.
Es werden zwei Arten von Spülung
ausgeführt, eine
von ihnen bei relativ hohem Druck (zum Beispiel 200 Bar) durch den
Gasversorger, und die andere bei relativ niedrigem Druck (zum Beispiel
0–20 Bar) durch
den Anwender. Der Grund ist, dass es Luft im Zylinder geben wird,
wenn der Zylinder und sein primärer
Modul erstmalig zusammengebaut werden. Selbst wenn der Zylinder mit
Unterdruck gespült
wurde, wird dies nicht alle Verunreinigungen von den Auslasskomponenten
entfernen, so dass die restliche Luft oder Feuchtigkeit darin reagieren
und die Komponenten beeinträchtigen
würde,
wenn der Zylinder mit einem korrosiven oder entzündlichen Gas gefüllt ist
und zugelassen wird, dass es durch den Auslasspfad herauskommt.
Daher wird eine erste Hochdruck-Form der Spülung ganz am Anfang des Stadiums
ausgeführt,
wenn der Zylinder das erste Mal mit der Drucksteuervorrichtung zusammengebaut
wird. Die Hochdruck-Spülung
wird durch den Gasversorger am primären Modul auch beim Nachfüllen des
Zylinders ausgeführt.
Diese Hochdruck-Spülung
wird ausgeführt,
indem das Spülgas-Ventil 72 mit
einer Quelle von Hochdruck-Spülgas
(nicht dargestellt) verbunden wird, die dann durch den primären Modul 52 gespült wird.
Dies wird nur durch den Gasversorger und nicht durch den Kunden
ausgeführt.
-
Eine
erste Form der Niederdruck-Spülung durch
den Anwender wird in 3 gezeigt, wo der sekundäre Modul 252 eine
Niederdruck-Spülung
des primären
Moduls 52 bei der Installation eines nachgefüllten Zylinders 11 ausführen soll.
Anfänglich
ist in dem sekundären
Modul 252 das Ventil 281 geschlossen und die Ventile 289 und 285 geöffnet, so
dass das Spülgas
aus dem Zylinder 111 durch die Venturi-Pumpe 286 und
die Venturi-Entlüftung 287 herausgeführt wird
und stromaufwärts
zu dem Ventil 282 einen Unterdruck erzeugt. Wenn das Ventil 282 geöffnet ist,
findet die Unterdruck-Spülung
des primären Moduls 52 durch
die Spülleitung 74 statt.
Nach der Unterdruck-Spülung
werden die Ventile 285 und 289 des Venturi-Entlüftungskreislaufs
geschlossen und das Ventil 281 im Haupt-Durchflussweg durch
den sekundären
Modul geöffnet.
Das Spülgas
aus dem Zylinder 111 wird dann bei niedrigem Druck durch
die Spülleitung 74 geführt, um
eine Niederdruck-Spülung zur
Verfügung
zu stellen. Die Spülleitung 74 wird über diesen
Unterdruck/Spülungszyklus
gereinigt. Das Ventil 72 wird geöffnet, um eine Niederdruck-Spülung des
primären
Moduls 52 zur Verfügung
zu stellen.
-
Eine
alternative Form der Niederdruck-Spülung wird in 6,
einer Modifikation der Anordnung von 3, veranschaulicht.
Die Zylinder 11 und 111 und die primären Module 52 und 152 sind
in 6 und 3 gleich. Der Spülgas-Zylinder 111 hat
keinen darauf befestigten sekundären
Modul, wobei auf dem primären
Modul 52 für
das Verfahrensgas ein sekundärer
Modul 352 mit einer vom sekundären Modul 252 abweichenden
internen Ventilanordnung befestigt ist. Der Zweck der alternativen
Spülanordnung von 6 ist
es, die Notwendigkeit einer Venturi-Pumpe zu vermeiden.
-
Betrachtet
man die Struktur und die Verbindungen der Anordnung von 6,
wird die Eingang-Verbindungsanordnung 356 des sekundären Moduls 352 mit
seiner Ausgang-Verbindungsanordnung 370 längs eines
Haupt-Gasdurchflussweges 255 durch zwei Steuerventile 380 und 382 verbunden.
Die Verbindungsstelle zwischen den Ventilen 380 und 382 wird
zuerst durch ein Steuerventil 393 mit einem Spülgas-Einlass 394 und
außerdem
durch ein Steuerventil 395 mit dem Anschluss 396 verbunden.
Der Spülgas-Einlass 394 wird
mit einer Spülgas-Leitung 78 verbunden,
die von der Ausgang-Verbindungsanordnung 170 des primären Moduls 152 führt. Die
Auslassanordnung 370 des sekundären Moduls 352 wird
durch die Verfahrensgasleitung 79 mit dem Verfahrensgerät (nicht
dargestellt) verbunden. Wenn ein leerer Zylinder 11 in
der Anordnung von 6 ausgetauscht wird, wird das
Herstellen und Unterbrechen zwischen der Ausgang-Verbindungsanordnung 70 des
primären
Moduls 52 und der Eingang-Verbindungsanordnung 356 des
sekundären
Moduls 352 vorgenommen. Wenn der neue, gefüllte Zylinder
zur Verfügung
gestellt wird, wurde der primäre
Modul 52 durch den Gasversorger mit Hochdruck gespült und wird
mit Hochdruck-Spülgas
gefüllt geliefert.
Der neue Zylinder wird mit der Eingang-Verbindung 356 verbunden,
wobei ein Niederdruck-Spülgas
längs der
Spülgas-Leitung 78 zugeführt wird,
um den sekundären
Modul 352 und die Verbindung zwischen dem Modul 52 und
dem Modul 352 zu spülen.
Nach dem Spülen
wird das Spülgas-Ventil 393 geschlossen,
wobei das Hochdruck-Spülgas
im primären
Modul 52 durch den sekundären Modul 352 durch Öffnen des
Hauptzylinderventils 64 gezwängt wird, um Hochdruck-Verfahrensgas
in den primären
Modul zu lassen. Der Vorteil des alternativen Verfahrens gemäß 6 ist
der, dass die Möglichkeit
von Verunreinigungen während der
Venturi-Spülung
vermieden wird.
-
7a und 7b zeigen
zwei Ansichten eines Gaszylinders 111 mit einem primären Modul 152 und
einem weiteren sekundären
Modul 452 zum Ausführen
einer Mischerfunktion. In 7a wird
die Baugruppe diagrammatisch in einer dreidimensionalen Seitenansicht
gezeigt, wobei in 7b die Durchflusswege und Komponenten
gezeigt werden. Der Zylinder 111 und der primäre Modul 152 sind
mit dem gemäß 3 identisch,
wobei gleiche Bezugszahlen verwendet werden.
-
Der
sekundäre
Modul 452 hat eine Einlass-Verbindungsanordnung 456 und
einen Haupt-Durchflussweg 455, der zu einer Ausgang-Verbindungsanordnung 470 führt. Die
Eingang-Verbindungsanordnung 456 ist mit einem Strömungs-Steuerventil 401 verbunden,
dessen Ausgang erstens mit einem Mischerventil 402 und
zweitens mit dem Eingang einer Dampfquelle 403 verbunden
ist. Der Ausgang der Dampfquelle 403 ist ebenfalls mit
dem Mischerventil 402 verbunden. Der Ausgang des Mischerventils 402 ist
mit der Ausgang-Verbindungsanordnung 470 verbunden, die
wiederum mit dem Verfahrensgerät
längs einer
Verfahrensgasleitung 479 verbunden ist. Die Quelle 403 ist
ein kleiner Gemischgenerator, der ein Diffusionsrohr oder ein Permeations-
bzw. Durchdringungsrohr sein könnte.
Wenn das Verfahrensgas aus dem Zylinder 111 durch die Gasquelle 403 geführt wird,
wird ein Gemisch aus dem zweiten Gas und dem Verfahrensgas erzeugt,
das durch das Strömungs-Steuerventil 401 eingestellt
werden kann, um ein Gemisch zu ergeben, das ein feines Gemisch in
der Größenordnung
von Teilen pro Million des zweiten Gases oder ein prozentuales Gemisch
der Komponenten sein kann, um es dem Gasstrom hinzuzufügen. In
diesem Fall bildet das Verfahrensgas aus dem Zylinder 111 ein
Null-Bezugsgas, wobei die Schaltanordnung im Modul 452 die
Bereitstellung für
das Verfahrensgerät von
entweder dem Null-Bezugsgas direkt aus dem Zylinder 111 oder
dem ausgewählten
Gemisch zulässt.
Das Null-Bezugsgas muss für
die Verfahrensleitung für
Eichzwecke verfügbar
sein. Die Quelle 403 kann günstigerweise ein Rohr mit aktiven
Chemikalien, die darin in gasförmiger
oder flüssiger
Form versiegelt sind, mit einer halb durchlässigen Membran sein, durch
die das Material relativ langsam in den Gasstrom aus dem Zylinder 111 dringen
oder diffundieren kann.
-
Damit
stellt, um zusammenzufassen, der sekundäre Modul 452 zwei
Wege zur Verfügung.
Einer wird es ermöglichen,
dass das Gas direkt aus dem Zylinder zur Ausgang-Verbindungsanordnung 470 gelangt,
wobei der zweite Weg das Gas durch die Quellenvorrichtung 403 führen wird.
Die Dampfmenge, die von der Quelle 403 hinzugefügt wird,
wird durch die Strömungsrate,
die an der Strömungssteuerung 401 eingestellt
wird, und den Dampfdruck der Quelle bestimmt, der von der Geometrie
der Vorrichtung und der Temperatur der Quelle abhängt.
-
8a zeigt
eine alternative Mischanordnung, in der zwei Verfahrensgase in den
Zylindern 11 und 511 zur Verfügung gestellt werden. Auf jedem dieser
Zylinder ist ein primärer
Modul befestigt, der mit 52 und 552 gekennzeichnet
ist, wobei die primären
Module mit dem Modul 52 gemäß 3 identisch sind.
Auf dem oberen Ende des Moduls 552 befindet sich ein sekundärer Modul 553 zum
Mischen der Gase aus den zwei Zylindern. Wie in der eingesetzten
Darstellung in 8a gezeigt wird, hat der sekundäre Modul 553 eine
erste Eingang-Verbindungsanordnung 556, durch die der Modul 553 auf
dem primären
Modul 552 befestigt ist, und einen zweiten Gaseinlass an 584.
Der sekundäre
Modul 553 ist durch einen Halterungskörper ausgebildet, der im Allgemeinen
an 554 gekennzeichnet ist, der zwei Durchflusswege dort
hindurch hat, die jeweils von den Gaseingängen 556 und 584 zu
einer Ausgang-Verbindungsanordnung 520 führen, die
durch eine Verfahrensgasleitung 579 mit einem Benutzungsgerät (nicht dargestellt)
verbunden wird.
-
Der
Haupt-Gasdurchflussweg 555 führt von der Einlass-Verbindungsanordnung 556 durch
ein variables Ventil 510 und einen Filter 511 zu
einem Strömungsmesser 512 und
von dort zu einem Mischventil 513. Der Auslass des Mischventils 513 ist
mit der Ausgang-Verbindungsanordnung 520 verbunden. Der
zweite Gaseinlass 584 ist durch ein variables Ventil 514,
einen Filter 515, einen Strömungsmesser 516 mit
dem Mischventil 513 verbunden. Der Gaseinlass 584 ist
durch eine Gasleitung 530 mit der Ausgang-Verbindungsanordnung 70 des
primären Moduls 52 verbunden.
Bei Betrieb können
die Gase aus den zwei Zylindern 11 und 511 in
einem gewünschten
Verhältnis
durch Betätigung
der variablen Ventile 510 und 514 gemischt werden.
Im Vergleich mit dem mit Bezug auf 7a und 7b beschriebenen
Verfahren ist diese Anordnung geeigneter, um Gemische auf prozentualer
Ebene herzustellen, um zum Beispiel ein Zwei-Komponentengemisch
aus Argon und Wasserstoff herzustellen, wenn in dem Argon-Wasserstoff-Gemisch
ein Wasserstoffanteil von 10% gewünscht wird. Die Anordnung von 8a ermöglicht die
Bereitstellung von zwei individuellen Zylindern, zum Beispiel für Wasserstoff
und Argon, zum Mischen. Dieses Verfahren ist auch für die Herstellung
von ppm- oder ppb-Gemischen (ppm für Teile pro Million und ppb
für Teile
pro Milliarde) geeignet, wenn einer der Zylinder ein geeignetes
Gemisch und der andere das Ausgleichsgas enthält.
-
In
einer Modifikation eines primären
Moduls (nicht dargestellt) kann das Modul weitere Steuer- und Erfassungsvorrichtungen
aufweisen, wobei zum Beispiel ein mit einem Sender verbundener Mikrochip
mit einer Fernsteuerstation kommuniziert, so dass Schaltfunktionen
innerhalb des primären
Moduls durch Fernsteuerung ausgeführt werden können.
-
Wie
erwähnt
wurde, können
die Komponenten innerhalb der Module durch die Verfahren von mikro-elektromechanischen
Systemen hergestellt werden, wie sie zum Beispiel in dem in der
Einführung
erwähnten
Dokument "A Revolutionary
Actuator For Microstructures" SENSORS,
Februar 1993 dargelegt wurden. Mikromechanische Vorrichtungen und
Systeme sind von Natur aus kleiner, leichter, schneller und in der
Regel genauer als ihre makroskopischen Gegenstücke. Zusätzlich wird die MEMS-Technologie die Kosten
von funktionellen Systemen relativ zu herkömmlich bearbeiteten Systemen
reduzieren, indem der Vorteil von Silizium verarbeitenden Technologien ähnlich denen übernommen
wird, die bei integrierten Schaltungen verwendet werden. Die Entwicklung
solcher Systeme ermöglicht:
die Definition einer kleinen Geometrie, genaue Abmessungssteuerung,
Ausführungsflexibilität und Schnittstellen
mit der Steuerelektronik. Die Technologie kann mikrobearbeitetes
Silizium verwenden, wo ein Bereich von unterschiedlichen Sensoren
wie Druck, Position, Beschleunigung, Geschwindigkeit, Strömung und
Kraft verwendet werden kann.
-
Es
wird nun mit Bezug auf 9a bis 9d zusammen
mit den vorhergehenden Zeichnungen eine weitere Ausführungsform
der Erfindung beschrieben, die sich mit der Bereitstellung eines
Füllkreislaufs
in einer Gassteuervorrichtung beschäftigt, ob diese Vorrichtung
für die
Verwendung in einem modularen System geeignet ist oder nicht. 9a zeigt
ein bekanntes System. 9d zeigt ein Füllsystem,
das diese Ausführungsform
der Erfindung verkörpert
und dem System gemäß 3 und
anderen früheren
Abbildungen entspricht. Der Komponenten, die denen entsprechen,
die in früheren
Abbildungen gefunden wurden, werden mit ähnlichen Bezugszahlen nummeriert,
beginnen aber mit der Bezugszahl 6. Die in 9a bis 9d gezeigten
Füllsysteme
werden jeweils als Systeme A bis D bezeichnet.
-
Die
Komponenten, die in 9a, 9b, 9c und 9d gemeinsam
sind, sind wie folgt. Ein Zylinder 611 ist durch einen
ersten Verbindungspfad 657 mit einer oberen Zylinder-Gassteuervorrichtung
verbunden, die einen Halterungskörper 654 hat, der
diagrammatisch angezeigt wird. Der Halterungskörper 654 wird auf
dem Zylinder 611 durch eine Eingang-Verbindungsanordnung
gehalten, die diagrammatisch an 656 angezeigt wird. Der
Halterungskörper 654 hat
einen Haupt-Gasdurchflussweg durch den Körper, der im Allgemeinen an 655 angezeigt
wird. Die Eingang-Verbindungsanordnung 656 wird zum Befestigen
des Körpers 654 auf
dem Behälter 611 für komprimiertes
Gas und zum Verbinden des Gasdurchflussweges 655 zur Verfügung gestellt,
um mit dem Gasbehälter 611 zu
kommunizieren. Das Füllen wird
durch die Eingang-Verbindungsanordnung 656 durch einen
Fülleinlass 661 ausgeführt. In
jedem Fall wird das Füllen
durch ein Füllventil
ausgeführt.
In den Systemen A, B und C ist das Füllventil ein Rückschlagventil 608,
wobei im System D das Füllventil ein
Hochdruck-Absperrventil 660 ist. Die Gassteuervorrichtung
hat eine Ausgang-Verbindungsanordnung 670 zum Verbinden
mit einem Benutzungsgerät.
Der Haupt-Gasdurchflussweg 655 führt von
der Eingang-Verbindungsanordnung 656 zur Ausgang-Verbindungsanordnung 670 durch
das Haupt-Absperrventil 664 und einen Druckregler 666, um
den Druck von etwa 200 Bar auf annähernd 0–20 Bar zu reduzieren. Es können weitere
Komponenten zur Verfügung
gestellt werden, wie im Allgemeinen in 3 und anderen
Abbildungen dieser Anmeldung gezeigt wird.
-
Betrachtet
man wieder das bekannte Füllsystem
gemäß 9a,
gibt es drei Problemfaktoren bei dieser herkömmlichen Füllanordnung für eine obere
Zylinder-Baugruppe,
die einen Druckminderer aufweist. Bei diesen Anordnungen kommuniziert
der Füllanschluss 661 mit
dem Benutzungskreislauf zwischen dem Hochdruck-Absperrventil 664 und
dem Druckminderer 666. Der Füllanschluss 661 ist
bei normaler Anwendung durch ein Rückschlagventil 608 geschlossen,
durch das das Füllen
stattfindet. Die drei Anforderungen sind:
- (i)
den Druckregler während
des Füllvorgangs
zu schützen;
- (ii) ein funktionelles Element wie ein BIP (built-in purifier – eingebautes
Reinigungsgerät),
einen Filter oder ein Rückschlagventil
zum Auslass des Gaszylinders bei normaler Anwendung hinzufügen zu können und
noch durch die Baugruppe füllen
zu können;
und
- (iii) den Gaszylinder zwangsläufig durch Absperrventile an
allen Auslässen
zu versiegeln, wenn er nicht verwendet wird (ohne die Notwendigkeit, während des
Füllens
zwei Absperrventile zu bedienen).
-
Gemäß 9b und 9c sind
verschiedene Kombinationen möglich,
um einige dieser Anforderungen zu erreichen, wobei aber die einzige
Anordnung, die alle diese Anforderungen erfüllt, die gemäß 9d ist.
-
Mit
ausführlicherem
Bezug nun zu den vier Füllsystemen,
zuerst in 9a, ist das System A eine bekannte
Füllanordnung,
die in medizinischen und Helium-Zylinder-Versorgungssystemen verwendet wird.
Das Füllen
geschieht durch das Rückschlagventil 608,
das sich mit dem Haupt-Durchflussweg 655 zwischen dem Absperrventil 664 und
dem Druckminderer 666 verbindet. Der Vorteil ist, dass das
Absperrventil 664 den hohen Druck vom System und dem Bediener
isoliert hält,
bis er verwendet wird. Das Rückschlagventil 608 wird
im Füllkreislauf
verwendet, wobei dieser aber nicht den hohen Druck während der
Nichtnutzung des Systems enthalten muss, da dieser durch das Absperrventil 664 behandelt
wird. Der Nachteil des Systems A ist, dass während des Füllens des Zylinders 611 der
Druckminderer 666 dem hohen Fülldruck ausgesetzt ist.
-
Im
System B nach 9b verbindet sich der Füllkreislauf
mit dem Haupt-Durchflussweg 655 stromaufwärts zum
Absperrventil 664. Der Nachteil ist, dass das Rückschlagventil 608 im
Füllkreislauf immer
dem vollen Druck aus dem Zylinder 611 ausgesetzt ist, ob
der Zylinder in Gebrauch ist oder nicht. Das Verschließen des
Absperrventils 664 dichtet den Zylinder 611 nicht
vollständig
ab, so dass es eine gewisse Möglichkeit
einer undichten Stelle durch das Rückschlagventil 608 gibt.
-
Nach 9c ist
das System im Allgemeinen gemäß 3,
außer
dass das Rückschlagventil 608 an
Stelle des Absperrventils 60 im Füllkreislauf von 3 gezeigt
wird.
-
Nach 9d wird
ein System D gezeigt, dass das bevorzugte System gemäß der Erfindung ist.
Es gibt einen völlig
separaten Füllkreislauf
mit einem Absperrventil 660 anstatt des Rückschlagventils 608 im
Füllkreislauf.
Dies stellt ein erfinderisches Merkmal unabhängig von der Modularität zur Verfügung. Die
Verbesserung hier ist die Kombination eines separaten Füllkreislaufs
mit einem Absperrventil im Füllkreislauf
anstatt des Rückschlagventils.
Dies ergibt die Fähigkeit
zum Füllen
bei nur einem zu bedienenden Ventil und zur vollständigen Abdichtung des
Zylinders durch die zwei Absperrventile, wenn er nicht in Gebrauch
ist.
-
Es
soll erkannt werden, das beliebige der Füllsysteme gemäß 9a bis 9d mit
weiteren Merkmalen der Erfindung wie der Modularität verwendet
werden können,
um Ausführungsbeispiele der
Erfindung in einer oder mehreren Ausführungsformen der Erfindung
zur Verfügung
zu stellen.
-
Eine
besonders bevorzugte Form der Anordnung gemäß 9d ist
die Anordnung gemäß 3 und
weiterer Abbildungen, in denen ein eingebautes Reinigungsgerät 9 innerhalb
des Zylinders 11 zur Verfügung gestellt wird, das mit
dem ersten Verbindungs-Durchflussweg 57 durch das Druck-Rückhalteventil 10 verbunden
ist.
-
Es
wird nun eine Anzahl von Vorteilen der verschiedenen Ausführungsformen
der Erfindung dargelegt.
-
Die
Kombination des Absperrventils im Füllkreislauf und des Druckreglers
am Zylinder stellt eine Anzahl von Vorteilen zur Verfügung. Das
eingebaute Reinigungsgerät
kann das Gas auf einen Standard von Teilen pro Milliarde von Verunreinigungen
oder sogar Teilen pro Billion reinigen, was mit früheren Filtern
nicht erreicht werden kann. Auf die herkömmliche Art erreicht das gereinigte
Gas das Gerät
im Benutzungskreislauf, indem es durch eine Reihe von diskreten
bzw. getrennten Strömungs-Steuerkomponenten
geführt
wird, die miteinander über
Ventile und Formstücke
verbunden sind. Diese Art von Anordnung wird unvermeidlich große Oberflächen, die
mit dem Gas in Kontakt kommen, undichte Stellen und ungenutzte Räume einführen, die
das gereinigte Gas wieder verunreinigen werden. Das direkte Anordnen eines
Druckreglers über
dem eingebauten Reinigungsgerät
in einer auf einem Zylinderkopf befestigten Gassteuervorrichtung
mit verringertem Volumen und einer geringsten Anzahl von Verbindungen
im stromabwärts
gelegenen Pfad zum eingebauten Reinigungsgerät ist ein wirksamer Weg, um
die Verunreinigungen zu minimieren.
-
Ein
eingebautes Reinigungsgerät
kann außerdem
Partikel filtern, um eine sehr hohe Vorgabe von Zylindergasen zu
erzielen, die normalerweise bei bekannten Zylinder-Gasprodukten nicht
verfügbar war.
Formstücke
in den Gasströmungs-Kreisläufen erzeugen
häufig
Partikel. Aus diesem Grund reduziert das Konzept zum direkten Kombinieren
eines Druckreglers mit einem eingebauten Reinigungsgerät ohne irgendwelche
Verbindungen die Erzeugung von Partikeln.
-
Obwohl
das eingebaute Reinigungsgerät Partikel
wirksam entfernen kann, können
Partikel stromabwärts
erzeugt werden, wenn Hochdruck-Gas durch ein Reduzierstück wie einem
Absperrventil plötzlich
expandiert. Die Verwendung eines Druckreglers in Kombination mit
einem eingebauten Reinigungsgerät
reduziert den Ausgangsdruck und wird einige Partikelprobleme vermeiden
und die Partikelmessung viel einfacher machen.
-
Einige
korrosive Gase sind gegenüber
dem Gas-Zuführungssystem
bei einem niedrigeren Druck weniger korrosiv. Das eingebaute Reinigungsgerät kann Feuchtigkeit
entfernen, um die Korrosivität
des Gases zu reduzieren, wobei der Druckregler den Auslassdruck
reduzieren kann, um die Korrosivität weiter zu reduzieren.
-
Bei
dieser Anmeldung ist mit Reinigungsanordnung eine Anordnung zur
Entfernung von gasförmigen
und/oder festen Verunreinigungen gemeint. Ähnlich dazu kennzeichnet der
Begriff Reinigungsgerät
oder eingebautes Reinigungsgerät
eine Reinigungsanordnung zur Entfernung von gasförmigen und/oder festen Verunreinigungen.
Günstigerweise kann
dies durch Adsorptionsmittel, Absorptionsmittel, Katalysatoren und/oder
Filtermedien und/oder deren Gemischen erreicht werden.
-
Es
wird nun mit Bezug auf 10a und 10b eine Modifikation der Auslass-Verbindungsanordnung
einer modularen Gassteuervorrichtung beschrieben, die die Erfindung
verkörpert.
Bei den oben beschriebenen Ausführungsbeispielen
wurden bevorzugte Anordnungen beschrieben, in denen für jedes
Modul der Haupt-Gasdurchflussweg für wenigstens einen Teil seiner
Länge längs einer
Hauptachse des Halterungskörpers
ausgerichtet ist, wobei sich die Hauptachse durch die Eingang-Verbindungsanordnung
und die Ausgang-Verbindungsanordnung des Moduls erstreckt. Es wurde
auch ein bevorzugtes Merkmal beschrieben, in dem die Ausgang-Verbindungsanordnung
eines Moduls auf oder an einer oberen Fläche des primären Moduls
zum Befestigen eines sekundären
Moduls über
dem primären
Modul positioniert ist. Unter gewissen Umständen kann es jedoch bevorzugt
werden, dass das obere Modul einer Reihe von Modulen seinen Niederdruck-Auslass an
einem Seitenanschluss anstatt an einem oberen Anschluss haben sollte.
Der Vorteil davon ist es, den Eintritt von Verunreinigungen zu vermeiden,
wenn die Auslassanordnung nicht mit einem Benutzungskreislauf verbunden
ist, besonders bei industriellen Anwendungen. Damit wird entsprechend
einer alternativen bevorzugten Form die Auslassanordnung von jedem
einer Reihe von Modulen, die einer auf dem oberen Ende des anderen
gestapelt sind, für
jeden Modul auf oder an einer oberen Fläche des Moduls zur Verfügung gestellt,
abgesehen vom obersten Modul, wenn die Auslassanordnung an einer
Seitenfläche
des Moduls zur Verfügung
gestellt wird.
-
In 10a wird ein Zylinder 711 gezeigt, an dem
zwei aufeinander folgende Module 752A und 752B befestigt
sind. In jedem Fall ist die Ausgang-Verbindungsanordnung 770A bzw. 770B des Moduls
auf oder an der oberen Oberfläche
des Moduls koaxial mit der Achse des Zylinders 711 positioniert.
Für das
letzte gezeigte Modul 752C ist die Ausgang-Verbindungsanordnung 770C auf
oder an einer Seitenfläche
des Moduls positioniert. Typischerweise wird der erste Modul 752A einen
Druckregler aufweisen und wird im Allgemeinen so sein, wie an 52 und 152 in 3 gezeigt
wird. Ein derartiges Reglermodul kann mit einer Ausgang-Verbindungsanordnung 770A an
der oberen Oberfläche
gemäß 10a oder mit einer Ausgang-Verbindungsanordnung 770C an einer
Seitenfläche
gemäß 10b versehen sei. Günstigerweise können die
zwei Module gemäß 10a und 10b 752A und 752D aus
einem gemeinsamen Schmiedestück
hergestellt sein. Die Auslässe
können
entweder auf der oberen Oberfläche
oder an einer Seitenfläche
ausgearbeitet werden, so dass sich die zwei Auslassformen ergeben, die
in 10a und 10b gezeigt
werden. Damit kann ein Druckreglermodul zwei Auslassarten, vertikal
und horizontal, haben, die abhängig
von ihren Anwendungsgebieten unterschiedlich angewendet werden.
Die vertikale Auslassversion ist der Modul, der mit wenigstens einem
Modul mehr in einem vertikalen Stapel verbunden wird. Die horizontale
Auslassversion ist ein Modul, der der letzte Modul sein soll, wie
ein industriell oder medizinisch integriertes Ventil, wo der einzige
Modul ein Druckreglermodul sein wird.
-
In 10c wird die interne Schalttechnik eines typischen
oberen Zylinder-Moduls wie das gemäß 10b diagrammatisch
gezeigt. In 10c entsprechen die gezeigten
Komponenten den Komponenten in der Vorrichtung 52 in 3.
Die entsprechenden Komponenten werden durch gleiche Bezugszahlen
gekennzeichnet, wobei aber vor der Bezugszahl die Ziffer 7 hinzugefügt wird.
Der Unterschied zwischen dem Ausführungsbeispiel von 10c und dem von 3 ist der,
dass die Auslassanordnung 70 von 3 von der
oberen Oberfläche des
Körpers 54 verschoben
ist und in 10c als Auslassanordnung 770 an
der Seitenfläche
des Körpers 754 positioniert
gezeigt wird.
-
Am
bevorzugtesten liegt die Auslassanordnung 770 seitlich
relativ zu dem Modul, vorzugsweise in eine horizontale Richtung
gewandt. Wie erläutert wurde,
ist der Vorteil der, dass besonders bei industriellen Anwendungen
die Auslassanordnung 770 weniger wahrscheinlich durch herabfallende
Verunreinigungen verunreinigt wird, wenn sie in einer Seitenfläche der
Einheit, die zur Seite gewandt ist, anstatt in einer oberen Fläche, die
nach oben gewandt ist, befestigt ist.
-
Bei
Beispielen des Ausführungsbeispiels
von 10c kann der Druckregler 766 ein
fester Regler oder ein variabler Druckregler sein. Der Spülgas-Kreislauf 773, 772 und 763 ist
optional und kann vollständig
weggelassen werden. Ähnlich
dazu ist das Isolationsventil 769 optional und kann vollständig weggelassen
werden. Wo es enthalten ist, kann das Ventil 769 ein Absperrventil,
wie es gezeigt wird, oder ein Nadelventil sein, das als Strömungs-Steuerventil anstatt
als Absperrventil wirkt.
-
10a bis 10m zeigen
jeweils: einen Stapel aus Modulen, die die Erfindung verkörpern (10a); ein einzelner Modul, der an dem oberen Ende
eines Gaszylinders angebracht ist, der eine Ausführungsform der Erfindung verkörpert (10b); die interne Schalttechnik eines Beispiels eines
derartigen Moduls (10c); und zehn Ansichten von
Beispielen des Moduls gemäß 10c. Die zehn Ansichten bestehen aus den Ansichten
gemäß 10d bis 10m.
Die Ansichten in 10d bis 10i betreffen
ein Beispiel der Vorrichtung gemäß 10c, wobei 10j bis 10m ein zweites Beispiel der Vorrichtung gemäß 10c zeigen.
-
Mit
Bezug zuerst auf 10d bis 10g werden
vier orthogonale Seitenansichten eines Beispiels der oberen Zylinder-Vorrichtung
von 10c gezeigt. In diesem Beispiel
werden fünf
Funktionen in der Gassteuervorrichtung 752, nämlich das
Absperrventil 764, das Inhalts-Messgerät 767, die Auslassverbindung 770,
der Druckregler 766 und der Fülleinlass 761 zur
Verfügung
gestellt. 10h und 10i sind
teilweise Schnittansichten, die denen von 10d und 10e entsprechen. Wie gezeigt wird, weist die Vorrichtung
ein Gehäuse 750 auf,
das den Haupt-Halterungskörper
der Vorrichtung umgibt und davon beanstandet ist, wobei das Gehäuse eine Anzahl
von Öffnungen
hat, die einen Zugang oder eine Sicht auf verschiedenen Komponenten
ermöglicht,
die die aufgelisteten Funktionen ausführen. Günstigerweise kann das Gehäuse 750 so
geformt sein, dass es eine Anordnung zur Handhabung des Gasbehälters zur
Verfügung
stellt, mit dem die Vorrichtung an der Einlass-Verbindungsanordnung 756 verbunden
ist. (Der Griff und der Gaszylinder werden in 10d bis 10m nicht
gezeigt.) Das Bedeutende von 10d bis 10i ist, dass eine bequeme Anordnung der Komponenten
gezeigt wird, um einen Zugang und eine Sicht auf die Komponenten,
die fünf
Funktionen durchführen,
durch vier orthogonale Löcher
oder Öffnungen
im Gehäuse 750 zu
ermöglichen.
Man wird erkennen, dass das Beispiel gemäß 10d bis 10i eines ist, in dem bestimmte Komponenten von 10c weggelassen werden können, zum Beispiel der Spülgas-Kreislauf 773, 772 und 763.
-
10j bis 10m zeigen
vier orthogonale Seitenansichten eines weiteren Beispiels der Vorrichtung
von 10c. In diesen Abbildungen wird
in dem Beispiel ebenfalls ein einstellbarer Druckregler 766A mit
einem manuell bedienbaren Hebel, um den Druck einzustellen, und
ein Niederdruck-Auslass-Messgerät 771 (777 in 10l) zur Verfügung gestellt,
das verwendet werden kann, um die Strömung anzuzeigen. Damit zeigen 10j bis 10m,
wie die Komponenten angesichts von sieben Funktionen in einer oberen
Zylinder-Vorrichtung anzuordnen sind, so dass die Komponenten durch vier
orthogonale Öffnungen
zugänglich
sind oder gesehen werden können.
-
Es
werden nun mit Bezug auf 11a bis 11e Beispiele von Komponenten beschrieben,
die in früheren
Abbildungen durch diagrammatische Symbole gezeigt wurden.
-
In 11a wird eine diagrammatische Darstellung eines
Beispiels eines Druckreglers 66 gemäß 3, auch
als Druckreduzierungsanordnung und auch als Druck-Entspannungsventil
bezeichnet, gezeigt. Das Beispiel nach 11a ist
ein Druckregler 886 mit einem Einlassdurchgang 880 und
einem Auslassdurchgang 881. Hochdruck-Gas, das in den Durchgang 880 eintritt,
gelangt durch eine zentrale Öffnung
in einem Kolben 882 in eine Kammer 883 und von
dort zu einem Reduzierstück 884.
Der Druck in der Kammer 883 bestimmt die Position des Kolbens 882.
Wenn der Druck in der Kammer 883 über den erforderlichen Druck
ansteigt, wird der Kolben 882 zur rechten Seite in der
Abbildung gegen eine Feder 885 bewegt und engt den Spalt
ein, durch den das Gas vom Einlassdurchgang 880 geführt wird. Das
in 11a gezeigte Beispiel ist ein fester Druckminderer,
obwohl es bei anderen Beispielen eine manuell einstellbare Druckreduzierung
geben kann.
-
In 11b wird eine diagrammatische Darstellung eines
Beispiels eines Absperrventils 64 gemäß 3, auch
als das Haupt-Zylinderventil und als ein Hochdruck-Absperrventil
bezeichnet, gezeigt. Die Komponente von 11b kann
mit entsprechenden Modifikationen auch verwendet werden, um das
Füllventil 60,
das Isolationsventil 69 und die Steuerventile 281, 282, 285 und 289,
ebenfalls gemäß 3,
zur Verfügung
zu stellen.
-
Bei
dem Beispiel gemäß 11b hat ein Absperrventil 864 einen Einlassdurchgang 890 für Hochdruck-Gas
und einen Auslassdurchgang 891. Ein bewegbares Ventilelement 892 ist
in der Abbildung zur linken Seite, um das Ventil zu schließen, und
zur rechten Seite in der Abbildung bewegbar, um das Ventil durch
Steuerung einer manuell bedienbaren Spindel 893 zu öffnen.
-
In
dieser Anmeldung ist mit Absperrventil ein steuerbares Ventil gemeint,
das einen offenen Zustand und einen geschlossenen Zustand und eine Steuerungsanordnung
zum Wechseln des Ventils zwischen den Zuständen hat.
-
11c ist eine diagrammatische Darstellung eines
Beispiels des Rückschlagventils 63 gemäß 3.
Das Beispiel gemäß 11c kann mit entsprechenden Modifikationen auch
verwendet werden, um die Rückschlagventile 280 und 290 in 3 zu
bilden.
-
Bei
dem Beispiel gemäß 11c umfasst ein Rückschlagventil einen Einlassdurchgang 895, der
an einem bewegbaren Ventilelement 896 vorbei zu einem Auslassdurchgang 897 führt. Das
bewegbare Ventilelement wird auf einer Membran 898 gehalten
und wird in der Abbildung in der offenen Position gezeigt, wenn
Hochdruck-Gas im Einlassdurchgang 895 das Ventilelement 896 gegen
den Druck der Membran 898 vom Ventilsitz 899 weg
hält. Wenn der
Druck im Einlassdurchgang 895 unter einen vorgegebenen
Pegel fällt,
spannt die Membran 898 das bewegbare Ventilelement 896 gegen
den Sitz 899 vor, um das Ventil zu schließen.
-
Man
wird erkennen, dass allgemein, wo ähnliche Komponenten in weiteren
Ausführungsbeispielen
gezeigt werden, die in 11a bis 11c angegebenen Beispiele verwendet werden können.