DE4209337C3 - Vakuum-Transportvorrichtung - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuum- Transportvorrichtung nach dem Oberbegriff des An­ spruchs 1, wie sie aus der US 48 06 070 bekannt ist. Hier­ bei ist die Anordnung und Verbindung der Komponen­ ten sehr aufwendig, was insbesondere bei einer Verän­ derung nachteilig ist.

Im Hinblick auf automatische Überwachungs- und Steuervorgänge in einer Fabrik und zur Verringerung des Arbeitsaufwands werden häufig Saugnäpfe verwen­ det, bei welchen ein Vakuum zum Anziehen und Trans­ portieren eines Gegenstandes, insbesondere eines Werkstückes, eingesetzt wird.

Bei einer solchen Ansaug- und Transportvorrichtung wird im allgemeinen eine Saugstrahlpumpe (Ejektor) oder dgl. zur Erzeugung eines Vakuums mittels Druck­ luft und ein Vakuumpumpensystem oder dgl. zum Be­ treiben einer Vakuumpumpe für die Erzeugung eines Vakuums verwendet. Normalerweise ist z. B. entweder ein magnetisch gesteuertes Ventil oder ein magnetisch gesteuertes Vorsteuerventil mit den beiden genannten Elementen verbunden. Bei Bedarf ist es insbesondere notwendig, den Ejektor wahlweise gegen eine Vakuum­ pumpe auszutauschen. Entsprechend den unterschiedli­ chen Verwendungsmöglichkeiten sind hierzu Einzeltei­ le, wie ein magnetisch gesteuertes Ventil, ein magne­ tisch gesteuertes Vorsteuerventil etc. gegen andere aus­ zutauschen. Da die einzelnen Einheiten miteinander über Leitungen oder Rohrleitungen verbunden sind, ist die Anordnung sehr aufwendig. Außerdem bringt die Verwendung eine Vielzahl von Einheiten Probleme mit sich, wenn eine Vakuum-Transportvorrichtung verklei­ nert wird.

Gleiches gilt für die US 52 75 165, die einen mit Druckluft betriebenen Sauggreifer beschreibt, bei dem die einzelnen Einheiten über Schlauchverbindungen miteinander verbunden sind.

Die Literaturstelle Maschinenmarkt-Industriejournal 77 (1971), Seite 991 ff. beschreibt mittels Kanalplatten verschaltete Turbulenzverstärker, die zur Signalüber­ tragung Ströme von Gasen und/oder Flüssigkeiten statt elektrischer Ströme benutzen. Eine derartige Steuerung findet bspw. in der Steuer- und Regelungstechnik der chemischen Industrie Anwendung und weist u. a. den Vorteil der grundsätzlichen Explosionssicherung auf. Derartige Fluidelemente für Prozeßsteuerungen finden jedoch bei Vakuum-Transportvorrichtungen der gat­ tungsgemäßen Art keine Anwendung.

Aus der Literaturstelle Steuerungstechnik 4 (1971), Nr. 2 ist ein Universalelement bekannt, das als Radial­ steuerventil ausgebildet ist und als Universalventil im Baukastenprinzip in Mehrkontaktanordnung zur Lö­ sung verschiedenartigster Steuerungs- und Verriege­ lungsaufgaben eingesetzt werden kann. Der Grundbau­ stein ist ein kleines aus zwei Baueinheiten bestehendes 5-Wegeventil, was auch als pneumatisches Relais be­ zeichnet werden kann. Als Anwendungsbeispiele und Einsatzmöglichkeiten des Radialsteuerventils sind eine Motorumkehrsteuerung oder auch die Automatisierung eines pistolenförmigen Werkzeuges, welches für ein Verbindungsverfahren eingesetzt wird, angegeben. Da­ bei sollen möglichst wenig Schläuche nach außen ge­ führt werden.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine Vakuum-Transportvorrichtung mit einem einfachen Rohrleitungsverlauf vorzuschlagen, welche in kleinen Abmaßen hergestellt und den unterschiedlichen Einsat­ zerfordernissen schnell und unkompliziert angepaßt werden kann.

Diese Aufgabe wird bei einer Vakuum-Transportvor­ richtung der eingangs genannten Art mit den Merkma­ len des Anspruchs 1 gelöst.

Bei einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung sind über einen Verteiler mehrere Vakuumeinheiten ne­ beneinander vorgesehen.

Bei einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung weist die Ventileinheit einen Ventilmechanismus mit einem Wegeventil für die Zufuhr bzw. Absperrung entweder eines unter Druck stehenden Fluids oder eines Vakuums an einer gewünschten Stelle, eine Vorsteuerventilein­ heit mit einem Vorsteuerventil für das Wegeventil, und eine zwischen dem Ventilmechanismus und der Vor­ steuerventileinheit angebrachte Platte zur wahlweisen Herstellung der Verbindung zwischen dem Ventilme­ chanismus und der Vorsteuerventileinheit über einen Fluidkanal bzw. zur Absperrung des Fluidkanals, wobei bei einer Veränderung der Vorsteuerventileinheit das Vorsteuerventil und die Platte jeweils gegen andere ausgetauscht werden, ohne daß der Fluidkanal in dem Ventilmechanismus geändert wird.

In Weiterbildung der Erfindung weist die Ventilein­ heit ein Wegeventil für die Zufuhr bzw. Absperrung entweder eines unter Druck stehenden Fluids oder eines Vakuums an einer gewünschten Stelle auf, und das We­ geventil weist einen Ventilsitz und einen Ventilkörper auf, wobei in beiden Enden des Ventilkörpers Umfangs­ nuten ausgebildet sind, in denen erste und zweite flexi­ ble Ringe angeordnet sind und wobei der Ventilkörper einen Mittelabschnitt aufweist, auf welchem ein dritter flexibler Ring mit einer abgeschrägten Seitenfläche fi­ xiert ist, während der Ventilsitz gegenüberliegende spit­ ze Enden aufweist, welche gegen die abgeschrägte Flä­ che des dritten flexiblen Ringes anliegen, wenn der Ven­ tilkörper gegen den Ventilsitz gedrückt wird.

Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist in den Zwischenraum zwischen der Ventileinheit und einem daran angrenzenden Element eine Platte einsetz­ bar, welche gegen eine andere austauschbar ist, um die Ventileinheit und das Element miteinander derart zu verbinden, daß sie luftdicht aneinander liegen und daß wahlweise eine Vielzahl von zwischen der Ventileinheit und dem Element gebildeten Fluidkanälen abgesperrt wird.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist eine Platte zwischen der Ventileinheit und einem daran angrenzenden Element anordenbar und die Platte ist gegen eine andere austauschbar, um die Ventileinheit und das Element derart miteinander zu verbinden, daß sie luftdicht aneinander liegen, daß wahlweise eine Viel­ zahl von zwischen der Ventileinheit und dem Element gebildeten Fluidpassagen abgesperrt und wahlweise der Übergang zu einer Vielzahl von Fluidkanälen in der Ventileinheit ermöglicht wird.

Zweckmäßigerweise weist die Platte eine erste Platte zur Verbindung zwischen der Ventileinheit und einem Element mit einem darin ausgebildeten Fluidkanal auf, der mit der Ventileinheit in Verbindung steht, wobei die Ventileinheit und das Element luftdicht aneinander lie­ gen und wobei die erste Platte gegen eine andere aus­ tauschbar ist, um wahlweise eine Vielzahl zwischen der Ventileinheit und dem Element ausgebildeter Fluidka­ näle abzusperren, sowie eine zweite Platte, welche ge­ gen eine andere ausgetauscht wird, um wahlweise die Verbindung zu einer Vielzahl von Fluidkanälen in der Ventileinheit herzustellen, wobei die erste und die zwei­ te Platte gemeinsam verwendet werden, um wahlweise die Vielzahl von Fluidkanälen zwischen der Ventilein­ heit und dem Element abzusperren und um wahlweise die Verbindung zu einer Vielzahl von Fluidkanälen in der Ventileinheit herzustellen.

Weitere Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungs­ beispielen und der Zeichnung.

Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung der Kombina­ tion von erfindungsgemäßen Vakuum-Transportvor­ richtungen,

Fig. 2 einen Schnitt durch eine Vakuum-Transport­ vorrichtung mit einem darin angeordneten Ejektor nach einer ersten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 3 eine schematische Darstellung des Fluidkreis­ laufs der Vakuum-Transportvorrichtung nach Fig. 2,

Fig. 4A und 4B einen Schnitt durch ein Zufuhrventil der Vakuum-Transportvorrichtung gemäß Fig. 2,

Fig. 5 einen Schnitt durch ein erstes magnetisch ge­ steuertes Vorsteuerventil der Vakuum-Transportvor­ richtung in geöffnetem Zustand,

Fig. 6 einen Schnitt durch ein zweites magnetisch ge­ steuertes Vorsteuerventil der Vakuum-Transportvor­ richtung in geschlossenem Zustand,

Fig. 7 einen Querschnitt eines dritten magnetisch ge­ steuerten Vorsteuerventils der Vakuum-Transportvor­ richtung in geöffnetem Zustand,

Fig. 8 eine perspektivische Ansicht einer ersten Ver­ bindungsplatte der erfindungsgemäßen Vakuum-Trans­ portvorrichtung,

Fig. 9A und 9B Teilschnitte durch ein Kontrollventil in einer Druckerfassungseinheit,

Fig. 10 einen Querschnitt des ersten magnetisch ge­ steuerten Vorsteuerventils der Vakuum-Transportvor­ richtung in geschlossenem Zustand,

Fig. 11 einen Teilschnitt durch eine Ventileinheit der Vakuum-Transportvorrichtung,

Fig. 12 ein Querschnitt des zweiten magnetisch ge­ steuerten Vorsteuerventils der Vakuum-Transportvor­ richtung in geöffnetem Zustand,

Fig. 13 einen vergrößerten Teilschnitt des ersten ma­ gnetisch gesteuerten Vorsteuerventils der Vakuum- Transportvorrichtung in geschlossenem Zustand,

Fig. 14 einen Querschnitt des dritten magnetisch ge­ steuerten Vorsteuerventils der Vakuum-Transportvor­ richtung in geschlossenem Zustand,

Fig. 15 einen Querschnitt einer Vakuum-Transport­ vorrichtung mit einer extern damit verbundenen Vaku­ umpumpe nach einer zweiten Ausführungsform der Er­ findung,

Fig. 16 eine schematische Darstellung des Fluidkreis­ laufs der Vakuum-Transportvorrichtung gemäß Fig. 15,

Fig. 17 eine perspektivische Ansicht eines Verteilers der erfindungsgemäßen Vakuum-Transportvorrichtung,

Fig. 18 eine perspektivische Ansicht eines anderen Verteilers der erfindungsgemäßen Vakuum-Transport­ vorrichtung,

Fig. 19 eine perspektivische Ansicht einer mit einem Verteiler verbindbaren Vakuum-Transportvorrichtung mit einem darin integrierten Ejektor nach einer dritten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 20 einen Längsschnitt durch eine mit einem Ver­ teiler verbindbaren Vakuum-Transportvorrichtung, bei welcher eine Schalldämpfungseinheit in einen Verteiler integriert ist,

Fig. 21 eine perspektivische Ansicht einer zweiten Verbindungsplatte der erfindungsgemäßen Vakuum- Transportvorrichtung,

Fig. 22 eine schematische Darstellung des Fluidkreis­ laufs einer mit einem Verteiler verbindbaren Vakuum- Transportvorrichtung mit einem integrierten Ejektor nach einer vierten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 23 eine schematische Darstellung des Fluidkreis­ laufs einer mit einem Verteiler verbindbaren Vakuum- Transportvorrichtung mit einem integrierten Ejektor nach einer fünften Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 24 eine perspektivische Ansicht einer dritten Verbindungsplatte der erfindungsgemäßen Vakuum- Transportvorrichtung,

Fig. 25 eine schematische Darstellung des Fluidkreis­ laufs einer mit einem Verteiler verbindbaren Vakuum- Transportvorrichtung mit integriertem Ejektor nach ei­ ner sechsten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 26 eine Ansicht von vorne einer ersten Funk­ tionsplatte der erfindungsgemäßen Vakuum-Transport­ vorrichtung,

Fig. 27 einen Querschnitt der ersten Funktionsplatte der Vakuum-Transportvorrichtung entlang der Linie A-A in Fig. 26,

Fig. 28 eine Ansicht von hinten der ersten Funktions­ platte der erfindungsgemäßen Vakuum-Transportvor­ richtung,

Fig. 29 eine schematische Darstellung des Fluidkreis­ laufs einer Vakuum-Transportvorrichtung mit einem in­ tegrierten Ejektor nach einer siebten Ausführungsform der Erfindung

Fig. 30 eine Ansicht von vorne einer zweiten Funk­ tionsplatte der erfindungsgemäßen Vakuum-Transport­ vorrichtung,

Fig. 31 eine schematische Darstellung des Fluidkreis­ laufs einer Vakuum-Transportvorrichtung mit einer ex­ tern damit verbundenen Vakuumpumpe nach einer ach­ ten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 32 eine Ansicht von vorne einer dritten Funk­ tionsplatte der erfindungsgemäßen Vakuum-Transport­ vorrichtung,

Fig. 33 eine perspektivische Ansicht einer vierten Verbindungsplatte der erfindungsgemäßen Vakuum- Transportvorrichtung

Fig. 34 eine schematische Darstellung des Fluidkreis­ laufs einer Vakuum-Transporteinrichtung mit integrier­ tem Ejektor nach einer neunten Ausführungsform der Erfindung

Fig. 35 eine perspektivische Ansicht einer fünften Verbindungsplatte der erfindungsgemäßen Vakuum- Transportvorrichtung,

Fig. 36 eine schematische Darstellung des Fluidkreis­ laufs einer Vakuumtransportvorrichtung mit integrier­ tem Ejektor nach einer zehnten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 37 einen Längsschnitt durch eine Vakuum-Trans­ portvorrichtung nach einer elften Ausführungsform der Erfindung, und

Fig. 38 einen Längsschnitt durch eine Vakuum-Trans­ portvorrichtung nach einer zwölften Ausführungsform der Erfindung.

Unter Bezugnahme auf Fig. 1 wird die Verbindung erfindungsgemäßer Vakuum-Transportvorrichtungen beschrieben. Die Funktionen und Betriebsweisen der einzelnen kombinierten Vakuum-Transportvorrichtun­ gen werden später beschrieben.

Wie in Fig. 1 dargestellt sind Ventileinheiten, Vaku­ umeinheiten Filtereinheiten etc., welche die vorliegende Erfindung darstellen, jeweils in Form von Blöcken oder Einheiten für die jeweilige Funktion ausgebildet. Als Ventileinheiten zur Zufuhr eines unter Druck stehenden Fluids oder eines Vakuums bzw. zur Absperrung dieser Zufuhr werden bspw. doppelte magnetisch gesteuerte Ventileinheiten 10a, eine luftbetriebene Ventileinheit 10b oder eine Arbeitsventileinheit (normally-opened valve) 10c, welche kompatibel miteinander sind, ver­ wendet.

Eine Funktionsplatte 12a ist an jeder der Ventileinhei­ ten 10a bis 10c vorgesehen, wenn ein interner Fluid­ kreislauf gewechselt wird. Zusätzlich wird eine Verbin­ dungsplatte 14a verwendet, um aneinander angrenzen­ de Einheiten hermetisch miteinander zu verbinden. Als Vakuumeinheit kann auch ein Ejektor (eine Saugstrahl­ pumpe) 16 verwendet werden.

Außerdem sind Filtereinheiten 20a, 20b vorgesehen, welche aus Kompatibilitätsgründen jeweils einstückig mit einer Druckerfassungseinheit 18 ausgebildet sind.

Werden mehrere Vakuum-Transportvorrichtungen nebeneinander vorgesehen, so kann ein Verteiler 22 verwendet werden.

Diese Einheiten können je nach Bedarf oder Verwen­ dung passend miteinander verbunden werden.

Nun wird beispielhaft eine durch Kombination der Komponenten zusammengesetzte Vakuum-Transport­ vorrichtung beschrieben. Zunächst wird eine Vakuum- Transportvorrichtung 24a mit einem Ejektor beschrie­ ben, welche die doppelte magnetisch gesteuerte Ventil­ einheit 10a, die Verbindungsplatte 14a den Ejektor 16 und die einstückig mit der Druckerfassungseinheit 18 ausgebildete Filtereinheit 20a wie in Fig. 1 dargestellt aufweist. Die Vakuum-Transportvorrichtung 24a ist wie in den Fig. 2 und 3 dargestellt aufgebaut. Insbesondere weist die Ventileinheit 10a einen rechteckig ausgeform­ ten Ventilmechanismus 26 auf. Eine magnetisch gesteu­ erte Vorsteuerventileinheit 29 ist mittels Schrauben an einem oberen Abschnitt der Ventileinheit 10a befestigt. Die Verbindungsplatte 14a liegt an einer Seitenfläche des Ventilmechanismus 26 an. Eine Dichtung ist an dem Ventilmechanismus 26 jeweils gegenüber den Fluidlei­ tungen oder -kanälen befestigt. Die Dichtung liegt an der flachen Verbindungsplatte 14a an, so daß der Ventil­ mechanismus 26 und die Verbindungsplatte 14a luft­ dicht verbunden sind. Der Ventilmechanismus 26 hat eine Einlaßöffnung 30, eine Einlaßöffnung 32 für ein Vorsteuerventil, eine Vakuumunterbrechungsöffnung 34 und eine Auslaß oder Auspufföffnung 36 für ein Vor­ steuerventil, welche jeweils an der von unten gesehen anderen Seitenfläche des Ventilmechanismus 26 ausge­ bildet sind. Außerdem sind in der Nähe der Einlaßöff­ nungen 32 und der Vakuumunterbrechungsöffnung 34 Löcher oder Bohrungen mit Innengewinde vorgesehen. Ein Ventilkörper 58, welcher im wesentlichen ein Durchflußkontrollventil bildet, ist in die entsprechende mit einem Innengewinde versehene Bohrung einge­ schraubt. Der Ventilmechanismus 26 weist ein in zwei Positionen schaltbares Zufuhrventil 40 mit zwei Aus­ gängen und einen Vakuumunterbrecher oder ein Vaku­ umunterbrechungsventil 42 auf, welcher in dem Ventil­ mechanismus 26 angeordnet, und deren Längsachsen sich jeweils senkrecht zur Zeichnungsebene der Fig. 2 erstrecken. Außerdem sind in dem Ventilmechanismus 26 Leitungen oder Kanäle ausgebildet, über welche das Zufuhrventil 40, das Vakuumunterbrechungsventil 42, die jeweiligen Öffnungen 30, 32, 34, 36, die magnetisch gesteuerte Vorsteuerventileinheit 29 und die Verbin­ dungsplatte 14a miteinander in Verbindung stehen. An einem Ende des Kanals, welcher mit der Zufuhröffnung 32 in Verbindung steht, ist ein Kontrollventil 43a ange­ ordnet. Das Kontrollventil 43a wird zur Verlängerung der Zeit verwendet, die notwendig ist, den auf den Ven­ tilkörper ausgeübten Druck aufrecht zu halten, wenn die Druckluftzufuhr unterbrochen wird.

Unter Bezugnahme auf die Fig. 4A und 4B wird nun der Aufbau des Zufuhrventils 40 beschrieben. Das Zu­ fuhrventil 40 weist einen Ventilkörper 44 und einen Ventilsitz 46 auf. Erste und zweite flexible Ringe 50, 52 sind jeweils in entsprechenden, in beiden Enden des Ventilkörpers 44 ausgebildeten Umfangsnuten 48 ange­ ordnet. Zusätzlich ist ein dritter flexibler Ring 54, wel­ cher eine abgeschrägte Fläche aufweist, an einem mitt­ leren Abschnitt des Ventilkörpers 44 angeordnet. In dem wie oben beschrieben aufgebauten Zufuhrventil 40 erreicht von der magnetisch gesteuerten Vorsteuerven­ tileinheit 29 zugeführtes Fluid entweder eine erste Vor­ steuerkammer 56 oder eine zweite Vorsteuerkammer 58, um den Ventilkörper 44 in eine gewünschte Position zu verschieben, wodurch die Verbindung der Kammern 60, 62 getrennt wird, bzw. die Verbindung zwischen ih­ nen hergestellt wird. Das Vakuumunterbrechungsventil 42 ist im wesentlichen genauso aufgebaut wie das Zu­ fuhrventil 40. In Fig. 4B ist dargestellt, wie der Ventil­ körper 44 gegenüber der in Fig. 4A dargestellten Stel­ lung nach links verschoben wird. Wie sich aus Fig. 4B ergibt, wird der dritte Ring 54 von seinem Sitz abgeho­ ben, so daß Druckluft in die Kammer 62 eintreten kann.

Die Verwendung eines derartigen Vorsteuerventils ermöglicht bei dem Zufuhrventil 40 den Verzicht auf Schmierfett, welches bei normalen Vorsteuerventilen zur Erreichung eines sanften Betriebs verwendet wird. Dadurch werden Verunreinigungen in dem Abgasstrom vermieden.

Die magnetisch gesteuerte Vorsteuerventileinheit 29, welche über erste und zweite Zwischenelemente 27, 28 und eine Dichtung 63 auf dem Ventilmechanismus 26 angeordnet ist, weist erste, zweite und dritte magnetisch gesteuerte Vorsteuerventile 64, 66, 68 auf, die jeweils zum Ein- bzw. Ausschalten des Zufuhrventils 40 und des Vakuumunterbrechungsventils 42 des Ventilmechanis­ mus 26 verwendet werden und jeweils fünf Ausgänge und zwei Schaltpositionen aufweisen.

Wie in Fig. 5 dargestellt weist das erste magnetisch gesteuerte Vorsteuerventil 64 im wesentlichen ein ma­ gnetisch gesteuertes Ventil 70a, einen Sitzabschnitt 72a, einen Vorsteuerventilgrundkörper 74a und eine End­ platte 76a auf. In dem Sitzabschnitt 72a sind eine erste Öffnung 78a, eine zweite Öffnung 80a, eine dritte Öff­ nung 82a, eine vierte Öffnung 84a und eine fünfte Öff­ nung 86a ausgebildet, welche mit der Auslaßöffnung 36, der zweiten Vorsteuerkammer 58 des Zufuhrventils 40, der Zufuhröffnung 32, der ersten Vorsteuerkammer 56 des Zufuhrventils 40 bzw. der Auslaßöffnung 36 in Ver­ bindung stehen.

Wie in Fig. 6 dargestellt ist das zweite magnetisch gesteuerte Vorsteuerventil 66 im wesentlichen ähnlich aufgebaut wie das erste magnetisch gesteuerte Vorsteu­ erventil 64. Eine zweite Öffnung 80b und eine vierte Öffnung 84b sind jedoch ständig verschlossen, da ein Grundkörper 74b dem zweiten magnetisch gesteuerten Vorsteuerventils 66 fest fixiert ist. Der Grundkörper 74b weist eine in seiner Mitte ausgebildete Durchgangsöff­ nung 88 auf.

In den Endplatten 76a, 76b des ersten und zweiten magnetisch gesteuerten Vorsteuerventils 64, 66 sind Vorsteuerkammern 90a, 90b ausgebildet, die über eine Öffnung 92 miteinander in Verbindung stehen.

Wie in Fig. 7 dargestellt ist das dritte magnetisch ge­ steuerte Vorsteuerventil 68 ebenfalls im wesentlichen ähnlich aufgebaut wie das erste magnetisch gesteuerte Vorsteuerventil 64. Sie weichen jedoch dadurch vonein­ ander ab, daß ein Grundkörper 74c des dritten magne­ tisch gesteuerten Vorsteuerventils 68 und eine Endplat­ te 76c eine andere Form aufweisen als die des ersten magnetisch gesteuerten Vorsteuerventils 64 und daß ei­ ne Vorsteuerkammer 90c in der Endplatte 76c mit einem Kanal 130 in dem Sitzabschnitt 72c in Verbindung steht.

Die flache Verbindungsplatte 14a liegt mit einer Sei­ tenfläche an dem Ventilmechanismus 26 an und mit der anderen Seitenfläche an dem Ejektor 16. Wie in Fig. 8 dargestellt ist in der Verbindungsplatte 14a eine erste Öffnung 94 ausgebildet, über welche das Zufuhrventil 40 und der Ejektor 16 miteinander in Verbindung stehen, sowie eine zweite Öffnung 98, über welche das Vakuum­ unterbrechungsventil 42 und eine Vakuumöffnung 96, welche später beschrieben wird, in Verbindung stehen, und sechs dritte Öffnungen 100 für Gewindebolzen.

Wie aus Fig. 2 ersichtlich ist der Ejektor 16 rechteck­ förmig und weist an seiner Innenseite eine Düse 102 mit einem festgelegten Bohrungsdurchmesser sowie einen in Verlängerung der Düse 102 vorgesehenen Diffusor 104 auf. Der Diffusor 104 steht in Verbindung mit einer Vakuumerzeugungseinheit 106. Der Diffusor 104 steht mit der Umgebung über einen Schalldämpfer 108 in Verbindung, welcher Dämpfungselemente aus Aktiv­ kohlefilter zur Geruchsbeseitigung aufweist. Der Diffu­ sor 104 ist als einseitig offene Box ausgebildet. Die Öff­ nung der Box ist mit einer Abdeckung 105 verschlossen oder abgedeckt, welche eine Vielzahl von in gleichen Abständen ausgebildeten zylindrischen Schlitzen 103 aufweist.

Eine Druckerfassungseinheit 18 zur Feststellung ei­ nes Vakuums, welche zur Überprüfung einer Arbeits­ einheit ein von dem Vakuum abhängiges Signal erzeugt, und eine Vakuumzufuhreinheit 21 sind an dem Ejektor 16 befestigt. Die Druckerfassungseinheit 18 ist kasten­ förmig und weist einen darin angeordneten Vakuum­ schalter 110 auf. Vorzugsweise ist der Vakuumschalter 110 entweder als widerstandsabhängiger Halbleiter- Drucksensor oder als kapazitätsabhängiger Halbleiter- Drucksensor ausgebildet und erfaßt ein von der Vaku­ umerzeugungseinheit 106 aufgebautes Vakuum über ei­ nen Kanal 112, welcher mit der Vakuumöffnung 96 in Verbindung steht, um ein Signal für die Überprüfung der Arbeitseinheit zu überzeugen. Ein Mikrocomputer, bspw. ein Ein-Chip-Mikrocomputer, welcher auf einem Substrat 19, bspw. einem flexiblen Substrat, das inner­ halb der Druckerfassungseinheit 18 vorgesehen ist, be­ festigt ist, wird eingeschaltet um ein Outputsignal eines elektronischen Drucksensors zu empfangen, wodurch ein Druck-Set-up, eine Druckeinstellung, eine Alarm­ auslösung/-abschaltung, Ein/Aus-Schaltungen, Hystere­ sebeseitigung, ein Betriebsartwechsel, Fehlervorhersa­ ge über einen den inneren Zustand einer Vakuumerzeu­ gungseinheit überwachenden Monitor und die Kontrol­ le des gesamten Betriebszustands der Vakuumerzeu­ gungseinheit ermöglicht wird. Der Mikrocomputer kann über ein Programm, welches automatisch die Ein- /Aus-Vorgänge festlegt und welches einen nach Ein­ schalten des Mikrocomputers über einen anderen Sen­ sor festgestellten Referenzdruckwechsel zurückmeldet, automatisch eingeschaltet werden, wodurch automa­ tisch vorher festgesetzte Werte gegen andere Werte ausgetauscht werden. Es ist auch möglich, über eine unscharfe Logik (fuzzy-logic) den Anziehungszustand eines Gegenstandes vorausschauend zu überwachen. Außerdem können in Verbindung mit den o. g. Funktio­ nen digitale Anzeigen, wie eine nicht dargestellte Flüs­ sigkristallanzeige (Farb-LCD), eine nicht dargestellte Licht aussendende Diode (LED) oder dgl. vorgesehen sein. Ein Filter 114 ist an der Berührungsfläche zwischen der Druckerfassungseinheit 18 und der Vakuumzufuhr­ einheit 21 angeordnet. Wie in Fig. 9a dargestellt ist an dem Filter 114 ein lamellenartiges flexibles Kontroll- bzw. Rückschlagventil 115 befestigt. In dem Kontroll­ ventil 115 ist eine Vielzahl kleiner Öffnungen 117 ausge­ bildet Fig. 9B zeigt ein anderes Ausführungsbeispiel ei­ nes Kontrollventils 115. Bei dieser Ausführungsform weist das Kontrollventil 115 einen verkleinerten oder abnehmenden Abschnitt 115a mit einem Durchgang auf, dessen Querschnitt teilweise konisch abnimmt. Außer­ dem ist eine Kugel 115c vorgesehen, welche über eine Feder 115b nachgiebig gegen den Abschnitt 115a ge­ preßt wird. Außerdem ist in dem Kontrollventil 115 ein Kanal 115d mit geringem Durchmesser ausgebildet, über welchen die stromaufwärts und stromabwärts des Abschnitts 115a gelegenen Seiten miteinander in Ver­ bindung stehen.

Die Vakuumzufuhreinheit 21 ist rechteckförmig aus­ gebildet und weist einen Kanal 118 auf, welcher mit einem Kontrollventil 116 aus flexiblem Material und der Filtereinheit 20a in Verbindung steht und sich von einer Seitenfläche der Vakuumzufuhreinheit 21 auf der dem Ejektor zugeordneten Seite erstreckt. An seiner ande­ ren Seitenfläche weist die Vakuumzufuhreinheit 21 die Vakuumöffnung 96 auf. Außerdem ist in der Vakuumzu­ fuhreinheit 21 ein Kanal 112 ausgebildet, welcher über die Vakuumöffnung 96 direkt mit der Druckerfassungs­ einheit 18 in Verbindung steht.

Die Filtereinheit 20a ist in der Nähe der Druckerfas­ sungseinheit 18 angeordnet und an der Druckerfas­ sungseinheit 18 und der Vakuumzufuhreinheit 21 befe­ stigt. Die Filtereinheit 20a weist einen Filterkörper 122 auf, welcher über eine transparente Abdeckung 120 ver­ schlossen oder abgedeckt ist. Die Filtereinheit 20a, in welcher der Filterkörper 122 angeordnet ist, ist über einen Befestigungsmechanismus 126, welcher einen Bol­ zen 124 aufweist, an dessen vorderem Ende Gewinderil­ len ausgebildet sind, fest an der Vakuumzufuhreinheit 21 befestigt. Somit kann der Filterkörper 122 gegen einen anderen ausgetauscht werden, indem der Befesti­ gungsmechanismus 126 spiralförmig gedreht wird.

Der Filterkörper 122 und das Filterelement 114 kön­ nen ein ölabsorbierendes Element zur Aufnahme von über die Vakuumöffnung 96 eingebrachtem Öl, ein hy­ drophobes Element zur Beseitigung eingebrachter Feuchtigkeit oder von Wasser und ein wasserabschei­ dendes Element, wie eine Fluor enthaltende Harzmem­ brane, ein Hohlgarn (hollow yarn) oder dgl. aufweisen. Genausogut können diese Elemente auch gemeinsam verwendet werden. Auf diese Art und Weise können Ventile, Vakuumschalter, Schalldämpfer usw. gegen Feuchtigkeit oder Wasser geschützt werden. Zusätzlich können Abflußeinrichtungen vorgesehen sein um die Feuchtigkeit oder das Wasser abzuführen. Über eine Spiralfeder 131 wird eine handbetriebene Kontrollein­ richtung 132, von der der Ventilkörper 44 ein Teil ist, nach oben gedrückt während ein Anschlag 133 die Kon­ trolleinrichtung 132 daran hindert, sich nach oben über eine bestimmte Position hinauszubewegen. Die Kon­ trolleinrichtung 132 wird mit den Fingern eines Bedie­ ners nach unten gepreßt, um den einstückig damit aus­ gebildeten Ventilkörper 44 abzusenken, wodurch ein Betriebszustand des Grundkörpers 74a bestätigt wird, in welchem ein Kanal 130, eine Vorsteuerkammer 152a und eine Öffnung 134 in Verbindung miteinander ste­ hen.

Als nächstes wird die Funktion der wie oben beschrie­ ben aufgebauten Vakuum-Transportvorrichtung 24a beschrieben.

Zunächst wird eine nicht dargestellte Druckluftquelle, bspw. ein Kompressor eingeschaltet, um Druckluft durch die Zufuhröffnung 32 der Ventileinheit 10a und das Innere des Ventilmechanismus 26 zu der dritten Öffnung 82a des ersten magnetisch gesteuerten Vor­ steuerventils 64 zu führen. Wird das magnetisch gesteu­ erte Ventil 70a ausgeschaltet, so steht die dritte Öffnung 82a mit der vierten Öffnung 84a in Verbindung (vgl. Fig. 10). Dadurch fließt das unter Druck stehende Fluid zuerst durch die vierte Öffnung 84a und erreicht dann die erste Vorsteuerkammer 56 des Zufuhrventils 40 über einen Kanal 128, wodurch das Zufuhrventil 40 ge­ schlossen wird (vgl. Fig. 11).

Andererseits wird das unter Druck stehende Fluid auch über den Kanal 130 und die um die Kontrollein­ richtung 132 herum ausgebildete Öffnung 134 von der dritten Öffnung 82a zu einem ersten Kanal 136 des ma­ gnetisch gesteuerten Ventils 70a gefördert.

Wird ein Gegenstand durch einen Saugnapf angezo­ gen und zu einer gewünschten Position transportiert, so ist das magnetisch gesteuerte Ventil 70a eingeschaltet. Genauer gesagt wird ein bewegbarer Eisenkern oder -element 138 nach oben bewegt, um ein Sitzelement 140 nach oben zu bewegen, so daß es von dem Ventilsitz 142 abgehoben wird. Entsprechend steht der erste Kanal 136 mit einem dritten Kanal 148 über einen Kanal 144 und eine ringförmige Kammer 146 in Verbindung (vgl. Fig. 5). Als Folge davon gelangt Druckluft in den dritten Kanal 148 und fließt dann durch einen unteren Ab­ schnitt der um die Kontrolleinrichtung 132 ausgebilde­ ten Öffnung 134 und durch eine Öffnung 150, wonach sie die Vorsteuerkammer 152a erreicht, wodurch der Grundkörper 74a nach rechts bewegt wird (vgl. Fig. 5). Zu diesem Zeitpunkt erreicht die Luft in der Vorsteuer­ kammer 90b der Endplatte 76a die Vorsteuerkammer 90b des zweiten magnetisch gesteuerten Vorsteuerven­ tils 66 über die Öffnung 92. Außerdem fließt die Luft durch die Durchgangsöffnung 88 des Grundkörpers 74b des zweiten magnetisch gesteuerten Vorsteuerventils 66 und durch die Öffnung 150 der Kontrolleinrichtung 132 und erreicht einen dritten Kanal 148 eines magnetisch gesteuerten Ventils 70b. Danach erreicht die Luft eine fünfte Öffnung 86b über einen zweiten Kanal 154, einen Kanal 156 und einen konkav geformten Abschnitt, bspw. eine Aussparung 158 und fließt dann durch den in dem Ventilmechanismus 26 ausgebildeten Kanal, um schließlich aus der Auslaßöffnung 36 auszuströmen (vgl. Fig. 6).

Dadurch wird der Grundkörper 74a des ersten ma­ gnetisch gesteuerten Vorsteuerventils 64 in der Zeich­ nung nach rechts bewegt. Die dritte Öffnung 82a steht mit der zweiten Öffnung 80a in Verbindung, während die vierte Öffnung 84a mit der fünften Öffnung 86a in Verbindung steht (vgl. Fig. 5). Entsprechend fließt das der dritten Öffnung 82a zugeführte unter Druck stehen­ de Fluid von der zweiten Öffnung 80a über einen Kanal 160 in die zweite Vorsteuerkammer 58, um das Vorsteu­ erventil 40 in der Zeichnung nach links zu bewegen (vgl. Fig. 11). Der Ventilkörper 44 wird also nach links be­ wegt, um den dritten flexiblen Ring 54 von dem Ventil­ sitz 46 abzuheben, so daß die Kammern 60, 62 miteinan­ der in Verbindung treten, wodurch das Zufuhrventil 40 sich öffnen kann (vgl. Fig. 4). In diesem Moment wird die Luft in der ersten Vorsteuerkammer 56 über den Kanal 128 in die vierte Öffnung 84a geführt, um über die fünfte Öffnung 86a in die Auslaßöffnung 36 abzufließen (vgl. Fig. 5 und 11).

Wird das Zufuhrventil 40 auf diese Art und Weise geöffnet, stehen die Zufuhröffnung 30 der Ventileinheit 10a und der Ejektor 16 miteinander in Verbindung, so daß die Druckluft dem Ejektor 16 zugeführt wird (vgl. Fig. 3). So wird in dem Ejektor 16 ein Vakuum aufge­ baut um das aus flexiblem Material bestehende Kon­ trollventil 116 zu öffnen, so daß Luft aus einem Saug­ napf abgesaugt oder abgezogen wird, und dadurch ei­ nen gewünschten Gegenstand angezogen und gehalten wird. Die Luft in der Vakuumöffnung 96 durchdringt den Filterkörper 122, um Staub zu entfernen, und den Kanal 118 um das Kontrollventil 116 zu öffnen. Danach strömt die Luft durch die Vakuumerzeugungseinheit 106, um durch den Diffusor 104 gefördert zu werden.

In dieser Zeit mißt der Vakuumschalter 110 der Vaku­ umerfassungseinheit 18 ein in der Vakuumöffnung 96 entwickeltes Vakuum über den Kanal 112, welcher von der Vakuumöffnung 96 ausgeht und mit der Druckerfas­ sungseinheit 18 in Verbindung steht, und erzeugt ent­ sprechend dem Vakuum ein Output-Signal, auf dessen Grundlage eine Arbeitseinheit überwacht wird.

Andererseits wird die von der Vakuumöffnung 96 in den Diffusor 104 gesaugte Luft und die von der Düse 102 eingeführte oder ausgestoßene Druckluft von dem Diffusor 104 über den Schalldämpfer 108 an die Umge­ bung abgegeben (vgl. Fig. 2).

Nachdem der Gegenstand transportiert wurde, wird auf folgende Weise der Gegenstand von dem Saugnapf gelöst. Das magnetisch gesteuerte Ventil 70a des ersten magnetisch gesteuerten Vorsteuerventils 64 wird abge­ schaltet und das magnetisch gesteuerte Ventil 70b des zweiten magnetisch gesteuerten Vorsteuerventils 66 und ein magnetisch gesteuertes Ventil 70c des dritten magnetisch gesteuerten Vorsteuerventils 68 werden eingeschaltet. Wird das magnetisch gesteuerte Ventil 70a des ersten magnetisch gesteuerten Vorsteuerventils 64 ausgeschaltet so wird der bewegbare Eisenkern 138 nach unten bewegt. Das in der oberen Position angeord­ nete Sitzelement 140 wird gegen den Sitz 142 gepreßt, so daß der zweite Kanal 154 mit dem dritten Kanal 148 in Verbindung steht (vgl. Fig. 10). Wenn das magnetisch gesteuerte Ventil 70b des zweiten magnetisch gesteuer­ ten Vorsteuerventil 66 eingeschaltet wird erreicht die Druckluft, welche durch einen Kanal 130 und eine Öff­ nung 134 aus einer dritten Öffnung 82b des Sitzab­ schnitts 72b in einen ersten Kanal 136 des magnetisch gesteuerten Ventils 70b geströmt ist einen dritten Ka­ nal 148 ebenso wie das magnetisch gesteuerte Ventil 70a (vgl. Fig. 12). Außerdem fließt die Druckluft durch eine Öffnung 150 in die Durchgangsöffnung 88 des Grund­ körpers 74b und erreicht die Vorsteuerkammer 90a der Endplatte 76a des ersten magnetisch gesteuerten Vor­ steuerventils 64 von der Vorsteuerkammer 90b der End­ platte 76b über die Öffnung 92, wodurch der Grundkör­ per 74a des ersten magnetisch gesteuerten Vorsteuer­ ventils 64 in der Zeichnung nach links verschoben wird (vgl. Fig. 10). Danach fließt die Luft entsprechend der oben beschriebenen Verschiebung in der Vorsteuer­ kammer 152a des ersten magnetisch gesteuerten Vor­ steuerventils 64 durch die Öffnung 150 in den dritten Kanal 148 des magnetisch gesteuerten Ventils 70a (vgl. Fig. 5). Da der dritte Kanal 148 und der zweite Kanal 154 miteinander in Verbindung stehen, fließt die Luft durch den zweiten Kanal 154 und danach durch den Kanal 156, um dann die Aussparung 158 zu erreichen. Die Luft, welche auf diese Weise die Aussparung 158 erreicht hat, verschiebt den Grundkörper 74a nach links und wird von der fünften Öffnung 86a durch eine Kon­ trolldichtung 162 des Grundkörpers 74a in die Auslaß­ öffnung 36 der Ventileinheit 10a ausgelassen (vgl. Fig. 13).

So wird der Grundkörper 74a des ersten magnetisch gesteuerten Vorsteuerventils 64 in der Zeichnung nach links verschoben, so daß die dritte Öffnung 82a und die vierte Öffnung 84a miteinander in Verbindung stehen und so daß die zweite Öffnung 80a mit der ersten Öff­ nung 78a in Verbindung steht (vgl. Fig. 10). Entspre­ chend wird das der dritten Öffnung 82a zugeleitete, un­ ter Druck stehende Fluid von der vierten Öffnung 84a über den Kanal 128 in die erste Vorsteuerkammer 56 fließen, wodurch das Zufuhrventil 40 geschlossen wird (vgl. Fig. 11). Zu dieser Zeit fließt die Luft in der zweiten Vorsteuerkammer 58 durch den Kanal 160 in die zweite Öffnung 80a. Außerdem erreicht die Luft die Auslaßöff­ nung 36 der Ventileinheit 10a über die erste Öffnung 78a, um von dort abgeführt zu werden. Somit wird dem Ejektor 16 keine Druckluft und dem Saugnapf kein Va­ kuum mehr zugeführt (vgl. Fig. 3).

Wenn das magnetisch gesteuerte Ventil 70c des drit­ ten magnetisch gesteuerten Vorsteuerventils 68 einge­ schaltet wird, erreicht die Druckluft, die von einer drit­ ten Öffnung 82c eines Sitzabschnitts 72c durch einen Kanal 130 in einen ersten Kanal 136 des magnetisch gesteuerten Ventils 70c geflossen ist, einen dritten Ka­ nal 148 in einer ähnlichen Weise wie das erste magne­ tisch gesteuerte Ventil 70a (vgl. Fig. 7). Außerdem fließt die Druckluft durch eine Öffnung 150 einer Kontrollein­ richtung 132 in eine Vorsteuerkammer 152c. Anderer­ seits erreicht die von der dritten Öffnung 82c zugeführte Druckluft durch einen Kanal 130 eine Vorsteuerkam­ mer 90c der Endplatte 76c. Die Druckluft, welche beide Enden des Grundkörpers 74c in der oben beschriebenen Art und Weise erreicht hat, weicht in ihrer Druckkraft jedoch voneinander ab, da die der Druckluft ausgesetz­ ten Flächen der beiden Enden unterschiedlich groß sind (die Fläche auf der Seite der Kontrolleinrichtung 132 ist größer als die Fläche auf der Seite der Endplatte 76c), so daß der Grundkörper 74c des dritten magnetisch gesteuerten Vorsteuerventils 68 in der Zeichnung nach rechts verschoben wird (vgl. Fig. 7).

So wird der Grundkörper 74c des dritten magnetisch gesteuerten Vorsteuerventils 68 in der Zeichnung nach rechts verschoben, so daß die dritte Öffnung 82c mit einer zweiten Öffnung 80c in Verbindung steht und so daß eine vierte Öffnung 84c mit einer fünften Öffnung 86c in Verbindung steht. Entsprechend fließt der dritten Öffnung 82c zugeführtes, unter Druck stehendes Fluid von einer zweiten Öffnung 80c über einen Kanal 164 in eine zweite Vorsteuerkammer 166, um das Vakuumun­ terbrechungsventil 42 zu Öffnen (vgl. Fig. 11). Zu dieser Zeit fließt das unter Druck stehende Fluid einer ersten Vorsteuerkammer 168 durch einen Kanal 170 in die vierte Öffnung 84c und erreicht dann über die fünfte Öffnung 86c die Auslaßöffnung 36, um von dort abge­ führt zu werden. Entsprechend fließt die Druckluft von der Vakuumunterbrechungsöffnung 34 der Ventilein­ heit 10a durch das Vakuumunterbrechungsventil 42 in die Vakuumöffnung 96, und befreit damit sofort den Saugnapf von dem Vakuum, so daß der Gegenstand von dem Saugnapf gelöst wird (vgl. Fig. 3).

Das magnetisch gesteuerte Ventil 70c des dritten ma­ gnetisch gesteuerten Vorsteuerventils 68 wird, während der Gegenstand erneut von dem Saugnapf angezogen wird, nachdem der Gegenstand von dem Saugnapf ge­ trennt wurde, abgeschaltet. Ähnlich wie bei dem magne­ tisch gesteuerten Ventil 70a wird ein beweglicher Eisen­ kern 138 des magnetisch gesteuerten Ventils 70c nach unten bewegt. Damit wird ein in einer oberen Position angeordnetes Sitzelement 140 gegen einen Ventilsitz 142 gepreßt, so daß ein erster Kanal 136 und ein dritter Kanal 148 abgesperrt oder blockiert werden (vgl. Fig. 14). Da eine unten angeordnete Dichtung 172 eben­ falls nach unten verschoben wird, tritt ein zweiter Kanal 154 mit dem dritten Kanal 148 in Verbindung Entspre­ chend wird die Druckluft nicht über eine Öffnung 150 von dem dritten Kanal 148 zu einer Vorsteuerkammer 152 geführt. Außerdem wird der Grundkörper 74c auf­ grund der Druckluft, welche von einer dritte Öffnung 82c des Sitzabschnitts 72c über einen Kanal 130 in einer Vorsteuerkammer 90c einer Endplatte 76c fließt, in der Zeichnung nach links verschoben (vgl. Fig. 14).

So wird der Grundkörper 74c des dritten magnetisch gesteuerten Vorsteuerventils 68 in der Zeichnung nach links verschoben, so daß die dritte Öffnung 82c mit einer vierten Öffnung 84c in Verbindung steht und so daß eine zweite Öffnung 80c mit einer ersten Öffnung 78c in Verbindung steht. Entsprechend fließt das unter Druck stehende, der dritten Öffnung 82c zugeführte Fluid von der vierten Öffnung 84c durch den Kanal 170 in die erste Vorsteuerkammer 168 des Vakuumunterbrechungsven­ tils 42, um den Grundkörper 74c nach rechts zu ver­ schieben, wodurch das Vakuumunterbrechungsventil 42 geschlossen wird (vgl. Fig. 11). Zur gleichen Zeit er­ reicht die Luft in der zweiten Vorsteuerkammer 166 durch den Kanal 164 die zweite Öffnung 80c und dann durch die erste Öffnung 78c die Auslaßöffnung 36, um von dort abgeführt zu werden. Entsprechend fließt das unter Druck stehende Fluid nicht von der Vakuumun­ terbrechungsöffnung 34 der Ventileinheit 10a in die Va­ kuumöffnung 96, weil das Vakuumunterbrechungsventil 42 geschlossen wurde (vgl. Fig. 3). Dadurch ist es bspw. möglich, eine Verschwendung der Druckluft während ein Gegenstand durch einen Saugnapf wieder angezo­ gen wird, nachdem der Gegenstand von dem Saugnapf getrennt wurde, zu vermeiden.

Außerdem stehen das erste magnetisch betriebene Vorsteuerventil 64 und das zweite magnetisch betriebe­ ne Vorsteuerventil 66 miteinander über die Endplatte 76a in Verbindung und weisen jeweils ein doppeltes Solenoid auf. Daher wechselt der Grundkörper 74a selbst bei einem Stromausfall nicht zu einer anderen Stellung über. Selbst wenn der Stromausfall eintritt, während ein Gegenstand durch einen Saugnapf gehal­ ten und unter Ansaugung transportiert wird, besteht nicht die Möglichkeit, daß der Gegenstand aus der An­ saugung durch den Saugnapf gelöst von dem Saugnapf herabfällt.

Nun wird eine zweite Ausführungsform einer Vaku­ um-Transportvorrichtung 24b mit einer Vakuumpumpe beschrieben. Dabei werden gleiche Aufbauelemente wie bei der ersten Ausführungsform mit gleichen Be­ zugszeichen bezeichnet, so daß auf ihre erneute detail­ lierte Beschreibung verzichtet werden kann.

Die Vakuum-Transportvorrichtung 24a mit dem dar­ in integrierten Ejektor kann einfach durch eine Vaku­ um-Transportvorrichtung 24b mit einer daran befestig­ ten Vakuumpumpe ersetzt werden. Die Vakuum-Trans­ portvorrichtung 24b wird dadurch gebildet wird, daß eine Vakuumpumpe an einer Zufuhröffnung 30 einer Ventileinheit 10a angeschlossen wird als Alternative zu dem von der Vakuum-Transportvorrichtung 24a ent­ fernten Ejektor 16 (vgl. Fig. 15 und 16).

Die Vakuum-Transportvorrichtung 24b wird in einer ähnlichen Weise betrieben wie die Vakuum-Transport­ vorrichtung 24a. D. h., daß unter Druck stehendes, von einer Zufuhröffnung 32 für ein Vorsteuerventil zuge­ führtes Fluid in ein erstes magnetisch gesteuertes Vor­ steuerventil 64 fließt, um ein Zufuhrventil 40 zu öffnen. Die Vakuumpumpe und eine Vakuumöffnung 96 stehen demnach miteinander in Verbindung, um ein Vakuum an eine Arbeitseinheit, wie einen Saugnapf, anzulegen, wo­ durch ein gewünschtes Werkstück angezogen wird. Dann fließt die eingeführte Luft durch einen Filterkör­ per 122, einen Kanal 118 und ein Kontrollventil 116 von der Zufuhröffnung 30 in die Vakuumpumpe (vgl. Fig. 16). Andere Betriebsweisen der Vakuum-Trans­ portvorrichtung 24b stimmen genau mit denen der Va­ kuum-Transportvorrichtung 24a überein.

Die wie oben beschrieben aufgebaute Vakuum- Transportvorrichtungen 24a, 24b werden häufig mehr­ fach nebeneinander unter Verwendung entsprechender Verteiler genutzt. Mit den Verteilern zusammenwirken­ de Vakuum-Transportvorrichtungen 24c, 24d, welche ei­ nen Ejektor bzw. eine Vakuumpumpe verwenden, wer­ den nun als dritte bzw. vierte Ausführungsformen be­ schrieben.

Ein Verteiler 22 hat einen im wesentlichen rechteck­ förmigen Querschnitt und weist im wesentlichen einen Verteilergrundkörper 182 und ein Paar von Endplatten 184, 186 auf, welche an beiden Enden des Verteiler­ grundkörpers 182 angebracht sind und mit dessen Vor­ der- bzw. Rückseite in Verbindung stehen (vgl. Fig. 19).

In diesem Fall hat der Verteilergrundkörper 182 ei­ nen Zufuhrkanal 188, welcher sich durch dessen beide Enden, an welchen die Endplatten 184, 186 befestigt sind, erstreckt, einen Zufuhrkanal 190 für ein Vorsteuer­ ventil, einen Vakuumunterbrechungskanal 192, und ei­ nen Ausgangs- oder Auslaßkanal 194 für ein Vorsteuer­ ventil, welche jeweils voneinander in bestimmten Inter­ vallen beabstandet sind (vgl. Fig. 17 und 18).

Fig. 20 zeigt einen Längsschnitt durch eine Kombina­ tion eines Ventilmechanismus 26, eines Ejektors 16, ei­ ner Vakuumzufuhreinheit 21 und eines Verteilers 22. Der Verteiler 22 weist einen Zufuhrkanal 188, einen Zufuhrkanal 190 für ein Vorsteuerventil, einen Vakuum­ unterbrechungskanal 192 und einen Ausgangs- oder Auslaßkanal 194 für ein Vorsteuerventil auf, welche je­ weils in dem Verteiler ausgebildet sind. Außerdem ist in dem Verteiler 22 eine Verbindungsöffnung 198 ausge­ bildet, über welche ein Zufuhrventil 40 und ein Ejektor 16 in Verbindung stehen, sowie eine Verbindungsöff­ nung 196, über welche ein Vakuumunterbrechungsven­ til 42 und eine Vakuumöffnung 96 in Verbindung stehen. Vorzugsweise ist ein Schalldämpfungselement 195 in ei­ nem Wandabschnitt des Auslaßkanals 194 angeordnet, um dadurch eine Geräuschreduzierung zu erreichen. Das Schalldämpfungselement 195 besteht entweder aus schallabsorbierendem Material oder aus Schallisolie­ rungsmaterial. Zweckmäßigerweise ist ein Kontrollven­ til 199 in einer Verbindungsöffnung 198 angeordnet, so daß das Zufuhrventil 40 und der Ejektor 16 miteinander in Verbindung stehen. Alternativ ist vorzugsweise eine flexibles und flaches Kontrollventil 201 zwischen einer Seitenfläche des Ejektors und dem Auslaßkanal 194 des Verteilers 22 vorgesehen.

Wird der Ejektor 16 ausgeschaltet, so wird das Kon­ trollventil 199 durch den Auslaßkanal 194 des Verteilers 22 dem Auslaßdruck einer anderen Vakuumerzeu­ gungseinheit ausgesetzt und dadurch geschlossen. Es ist daher möglich, den Eintritt des Auspuffgases einer an­ deren Vakuumerzeugungseinheit aus dem Auslaßkanal in den Ejektor zu verhindern. Außerdem hindert das Kontrollventil 201 verbleibende Ansaugluft daran, von der Vakuumöffnung über den Ejektor in ein Luftzufuhr­ ventil zu fließen. Dadurch kann einer Verschlechterung des Betriebsverhaltens und der Haltbarkeit des Luftzu­ fuhrventils aufgrund von Schmutz oder verunreinigter Ansaugluft vermieden werden. Kontrollventile 197a, 197b sind an den Endplatten 184 bzw. 186 des Zufuhrka­ nals 190 angeordnet. Die Kontrollventile 197a, 197b werden zur Verlängerung der Zeit verwendet, die not­ wendig ist, um den auf den Ventilkörper ausgeübten Druck aufrecht zu erhalten, wenn die Druckluftzufuhr unterbrochen ist (vgl. Fig. 22).

Innengewinde 195 zur Befestigung der Endplatten 184, 186 sind über dem Auslaßkanal 194 und unter dem Zufuhrkanal 188 jeweils an den beiden Endseiten vorge­ sehen.

Eine der Seitenflächen des Verteilers 22 liegt an einer Seitenfläche einer Verbindungsplatte 14b an, während deren andere an einer Seitenfläche des Ejektors 16 an­ liegt, wenn eine Vakuum-Transportvorrichtung 24a mit darin integriertem Ejektor verwendet wird. Außerdem wird die andere Seite an der Vakuumzufuhreinheit 21 zur Anlage gebracht, wenn die Vakuum-Transportvor­ richtung 24b mit daran befestigter Vakuumpumpe ver­ wendet wird.

Wie in Fig. 17 dargestellt, sind an der Seitenfläche des Verteilers 22, die an der Verbindungsplatte 14b anliegt, in bestimmten Abständen erste bis sechste Verbin­ dungsöffnungen 196, 198, 200, 202, 204, 206 ausgebildet. Eine Dichtnut 208 ist um diese Verbindungsöffnungen ausgebildet und eine Dichtung ist in der Dichtnut 208 angeordnet. Der Verteiler 22 weist außerdem Bohrun­ gen 210 mit Innengewinde zur Befestigung einer exter­ nen Einrichtung auf.

Die dritte bis sechste Verbindungsöffnung 200, 202, 204, 206 stehen mit dem Zufuhrkanal 188, dem Zufuhr­ kanal 190, dem Vakuumunterbrechungskanal 192 bzw. dem Auslaßkanal 194 in Verbindung. Die erste und zweite Verbindungsöffnung 196, 198 erstrecken sich durch die gegenüberliegende Seitenfläche des Vertei­ lers 22.

Wie in Fig. 18 dargestellt, ist in einer der Seitenflä­ chen des Verteilers 22, welche an dem Ejektor 16 an­ liegt, eine siebte Verbindungsöffnung 212 ausgebildet, und erste und zweite Verbindungsöffnungen 196, 198, welche sich von der Seitenfläche des Verteilers 22 an der der Verbindungsplatte 14b zugeordneten Seite er­ strecken, sind darunter in einem geöffneten Zustand ausgebildet. Um die erste und zweite Verbindungsöff­ nung 196, 198 ist eine Dichtnut 208 ausgebildet. Außer­ dem sind in der Seitenfläche des Verteilers 22 eine Viel­ zahl von Bohrungen 210 mit Innengewinde. Zur Befesti­ gung einer externen Einrichtung ausgebildet.

Wie in Fig. 21 dargestellt, sind in der Verbindungs­ platte 14b erste bis dritte Öffnungen 94, 98, 100 sowie vierte bis siebte Öffnungen 214, 216, 218, 220 ausgebil­ det, welche mit den dritten bis sechsten Verbindungsöff­ nungen 200, 202, 204, 206 des Verteilers 22 in einer ähnli­ chen Art in Verbindung stehen wie bei der Verbin­ dungsplatte 14a.

In wie oben beschrieben aufgebauten, einem Vertei­ ler zuordenbaren Vakuum-Transportvorrichtungen 24c, 24d werden die nichtbenutzten Öffnungen 30, 32, 34, 36 der Ventileinheit 10a jeweils über Schrauben verschlos­ sen (vgl. Fig. 22). Unter Druck stehendes Fluid oder ein Vakuum gelangt von den jeweiligen Kanälen 188, 190, 192, 194 des Verteilers 22 statt durch die Öffnungen 30, 32, 34, 36 über die dritten bis sechzehn Verbindungsöff­ nungen 200, 202, 204, 206 und die vierten bis siebten Verbindungsöffnungen 214, 216, 218, 220 der Verbin­ dungsplatte 14b in die Ventileinheit 10a (vgl. Fig. 17, 21 und 22). Die Vakuum-Transportvorrichtung 24c mit in­ tegriertem Ejektor ist derart aufgebaut, daß das Abgas des Ejektors 16 über ein Kontrollventil 109 in den Aus­ laßkanal 194 des Verteilers 22 fließt (vgl. Fig. 22). Wird die Vakuum-Transportvorrichtung 24c mit integriertem Ejektor in mehrfacher Form nebeneinander vorgese­ hen, so dient das Kontroll- bzw. Rückschlagventil 109 dazu, zu vermeiden, daß das Abgas von einer in Betrieb befindlichen Transportvorrichtung 24c zu einer ausge­ schalteten Vakuum-Transportvorrichtung 24c zurück­ fließt und daß es über die Vakuumöffnung 96 abgeführt wird. Weitere Betriebsweisen der Vakuum-Transport­ vorrichtungen 24c, 24d entsprechen denen der Vakuum- Transportvorrichtungen 24a, 24b.

Werden die oben beschriebenen, mit einem Verteiler verbindbaren Vakuum-Transportvorrichtungen 24c, 24d mehrfach nebeneinander vorgesehen, so wird unter Druck stehendes Fluid wie Druckluft oder Vakuum, über die Verteiler 22 allen Vakuum-Transportvorrich­ tungen 24 zugeführt. Wird eine einzige Vakuum-Trans­ portvorrichtung eingeschaltet, um durch Verwendung von Stickstoff durch die Öffnung 30, 32, 34, 36 einer Ventileinheit 10a einen gewünschten Arbeitsprozeß durchzuführen, so ist es notwendig, die Vakuum-Trans­ portvorrichtung von dem Verteiler 22 abzunehmen. Dies ist notwendig, da Druckluft und Stickstoff zu einer Vermischung neigen, wenn die stickstoffverwendende Vakuum-Transportvorrichtung 24 an dem Verteiler 22 angebracht ist, so daß der gewünschte Zweck nicht er­ reicht werden kann. In diesem Fall wird die bei einer fünften Ausführungsform eingesetzte Verbindungsplat­ ze 14a (vgl. Figur B) anstelle der Verbindungsplatte 14b (vgl. Fig. 21) verwendet. Da in der Verbindungsplatte 14a lediglich erste bis dritte Öffnungen 94, 98, 100 ausge­ bildet sind, dient die Verbindungsplatte 14a zur Absper­ rung eines Zufuhrkanals 188, eines Zufuhrkanals 190 für ein Vorsteuerventil, eines Vakuumunterbrechungska­ nals 192, eines Auslaßkanals 194 für ein Vorsteuerventil, jeweils in einem Verteiler 22, und einer Ventileinheit 10a (vgl. Fig. 23). Auf diese Weise kann eine gewünschte Vakuum-Transportvorrichtung 24c mit einem anderen unter Druck stehenden Fluid verwendet werden, als dem, das in den Verteiler 22 fließt.

Der Stickstoff wird benötigt um das Haften von Ver­ unreinigungen, wie Staub oder dgl., an einem Gegen­ stand, wie einem IC-Substrat, unter Druckluft zu verhin­ dern, wenn das Vakuum unterbrochen wird, und um ein Fehlverhalten zu vermeiden. Der Stickstoff kann somit lediglich für die Vakuumunterbrechungen verwendet werden, was Kostenvorteile mit sich bringt.

Als nächstes wird eine in einer sechsten Ausführungs­ form verwendete Verbindungsplatte 14c beschrieben, welche in diesem Fall eingesetzt wird. Wie in Fig. 24 dargestellt ist die Verbindungsplatte 14c derart aufge­ baut, daß sie die sechste Öffnung 218 der Verbindungs­ platte 14b nicht aufweist. Die Verbindungsplatte 14c dient also zur Absperrung eines Vakuumunterbre­ chungskanal 192 eines Verteilers 22 einer Vakuum- Transportvorrichtung 24c sowie eines Vakuumunter­ brechungsventils einer Ventileinheit 10a (vgl. Fig. 25). Entsprechend wird der Stickstoff über eine Vakuumun­ terbrechungsöffnung 34 der Ventileinheit 10a verwen­ det. Andere Öffnungen 30, 32, 34 werden jeweils mit Schrauben abgesperrt, so daß die Kanäle 188, 190, 194 des Verteilers 22 verwendbar sind.

Wie beschrieben ist bei der fünften und sechsten Aus­ führungsform der Ejektor in der Vakuum-Transport­ vorrichtung 24c integriert. Selbstverständlich kann je­ doch auch die Vakuum-Transportvorrichtung 24d mit einer Vakuumpumpe in derselben Weise betrieben wer­ den wie die Vakuum-Transportvorrichtung 24c. Die Verbindungsplatte ist nicht auf die dargestellten Aus­ führungsformen beschränkt und nach Bedarf kann jede geeignete Verbindungsplatte verwendet werden.

Bei den wie oben beschrieben verwendeten Vakuum- Transportvorrichtungen 24a bis 24d wird vorzugsweise die Druckluft nur über eine einzige Öffnung zugeführt, wenn die Druckluft allen der ersten bis dritten magne­ tisch gesteuerten Vorsteuerventile 64, 66, 68, dem Zu­ fuhrventil 40 und dem Vakuumunterbrechungsventil 42 zugeführt wird. Dadurch wird die Rohrleitungsanord­ nung einfach und effizient. Die Verwendung des Ventil­ mechanismus 26 für die verschiedensten Verwendungs­ zwecke bringt jedoch für den Benutzer Kostenproble­ me mit sich. Daher wird bspw. die Funktionsplatte 12a in einem Zwischenraum zwischen dem Ventilmechanismus 26 und die Verbindungsplatte 14a eingesetzt, um einen Fluidkreislauf zu verändern.

Die plattenähnliche Funktionsplatte 12a wird mit ih­ rer einen Seitenfläche gegen den Ventilmechanismus 26 angelegt und mit der anderen Seitenfläche gegen die Verbindungsplatte 14a. Fig. 26 zeigt eine Vorderansicht der Funktionsplatte 12a (auf der der Ventileinheit 10a zugewandten Seite). Fig. 27 zeigt einen Längsschnitt der Funktionsplatte 12a und Fig. 28 eine Ansicht von hinten der Funktionsplatte 12a (auf der einer Vakuumzufuhr­ einheit 21 zugeordneten Seite).

Beide Seiten der Funktionsplatte 12a sind über Dich­ tungen 230a bzw. 230b jeweils ungefähr in sieben Ab­ schnitte unterteilt. Bei der Funktionsplatte 12a sind sechs der sieben Abschnitte als Vertiefungen ausgebil­ det, d. h. als erste bis sechste Kammern 232, 234, 236, 238, 240, 242. Die Dichtungen 230a, 230b verhindern, daß Fluid zwischen den jeweiligen Abschnitten hin und herfließt und außerdem die Leckage von Fluid durch einen Spalt zwischen der Funktionsplatte 12a und dem jeweils anderen Element. Bei der vorliegenden Ausfüh­ rungsform ist die Dichtung 230a zur Abtrennung der dritten bis fünften Kammer 236, 238, 240 teilweise weg­ geschnitten, so daß die dritte bis fünfte Kammer 236, 238, 240 miteinander in Verbindung stehen (vgl. Fig. 26).

Unter Bezugnahme auf die Fig. 26 und 29 wird nun die Funktionsweise der wie oben beschrieben aufgebau­ ten Vakuum-Transportvorrichtung beschrieben.

Bei einer siebten Ausführungsform ist das unter Druck stehende Fluid zunächst auf eine Sorte be­ schränkt. Es wird nun eine Vakuum-Transportvorrich­ tung 24a mit integriertem Ejektor beschrieben. Das un­ ter Druck stehende Fluid, bspw. Druckluft, wird von einer Zufuhröffnung 30 einer Ventileinheit 10a zuge­ führt und über eine Auslaßöffnung 36 eines Ventilme­ chanismus 26 der Ventileinheit 10a abgeführt Dement­ sprechend sind eine Zufuhröffnung 32 für ein Vorsteuer­ ventil des Ventilmechanismus 26 und eine Vakuumun­ terbrechungsöffnung 34 jeweils über Schrauben abge­ sperrt (vgl. Fig. 29). Wird ein Gegenstand oder dgl. von einem Saugnapf angezogen, um in diesem Zustand zu einer gewünschten Position transportiert zu werden, wird zunächst eine nicht dargestellte Druckluftzufuhr­ quelle, wie ein Kompressor, eingeschaltet, um Druckluft zu der Zufuhröffnung 30 des Ventilmechanismus 26 zu führen, um von dort eine dritte Kammer 236 einer Funk­ tionsplatte 12a zu erreichen. Da eine Dichtung 230a teilweise weggeschnitten ist, stehen die dritte bis fünfte Kammer 236, 238, 240 der Funktionsplatte 12a miteinan­ der in Verbindung (vgl. Fig. 26 und 29). Daher fließt die Druckluft von der dritten Kammer 236 der Funktions­ platte 12a in die vierte und fünfte Kammer 238, 240 und danach zu einem Vakuumunterbrechungsventil 42 und ersten bis dritten magnetisch gesteuerten Vorsteuer­ ventilen 64, 66, 68. Entsprechend kann ein Wechsel der Durchgänge oder Kanäle des Ventilmechanismus 26 einfach durch Einsetzen der Funktionsplatte 12a zwi­ schen eine Verbindungsplatte 14a und die Vakuum- Transportvorrichtung erreicht werden, wodurch eine effiziente Rohrleitungsanordnung ermöglicht wird.

Auf ähnliche Weise wird nun eine Vakuum-Trans­ portvorrichtung 24b mit einer extern damit verbun­ denen Vakuumpumpe als achte Ausführungsform be­ schrieben. In diesem Fall wird eine Funktionsplatte 12b zwischen eine Verbindungsplatte 14a und die Vakuum- Transportvorrichtung aus ähnlichen Gründen wie bei der siebten Ausführungsform eingesetzt. Wie in Fig. 30 dargestellt, ist die Funktionsplatte 12b im wesentlichen genauso aufgebaut wie die Funktionsplatte 12a. Jedoch ist die Dichtung 244a auf der einer Ventileinheit 10a zugeordneten Seite teilweise weggeschnitten, so daß vierte und fünfte Kammer 238, 240 miteinander in Ver­ bindung stehen. Auch in diesem Fall kann die Effizienz der Rohrleitungsanordnung durch Absperren einer Zu­ fuhröffnung 32 für ein Vorsteuerventil durch Schrauben verbessert werden (vgl. Fig. 31).

Bei für eine Verwendung mit einem Verteiler geeig­ neten Vakuum-Transportvorrichtungen 24c, 24d wird ein Wechsel der Durchgänge und Kanäle eines Ventil­ mechanismus 26 über eine Kombination einer Verbin­ dungsplatte und einer Funktionsplatte erreicht. Eine Va­ kuum-Transportvorrichtung 24c wird nun als neuntes und zehntes Ausführungsbeispiel beschrieben.

Ähnlich der sechsten Ausführungsform wird für eine Vakuumunterbrechung Stickstoff oder dgl. verwendet, wenn ein Gegenstand, wie ein IC-Substrat verwendet wird. Für andere Zwecke als die Vakuumunterbrechung wird Druckluft verwendet. Im vorliegenden Fall wird eine Funktionsplatte 12c verwendet. Die Funktionsplat­ te 12c ist im wesentlichen genauso aufgebaut wie die Funktionsplatte 12a. Jedoch ist eine Dichtung 246a auf der einer Ventileinheit 10a zugewandten Seite teilweise weggeschnitten, so daß eine dritte Kammer 236 und eine vierte Kammer 238 miteinander in Verbindung steht (vgl. Fig. 32). Fließt der Stickstoff durch einen Va­ kuumunterbrechungskanal 192 eines Verteilers 22, so wird eine Verbindungsplatte 14d gegen die Funktions­ platte 12c gesetzt. Die Verbindungsplatte 14d ist derart ausgeformt, daß die fünfte Öffnung 216 der Verbin­ dungsplatte 14d weggelassen ist (vgl. Fig. 33). Die Ver­ bindungsplatte 14d dient somit dazu, einen Zufuhrkanal 190 für ein Vorsteuerventil des Verteilers 22 und die vierte Kammer 238 der Funktionsplatte 12c abzusper­ ren (vgl. Fig. 34). Die Druckluft wird über einen Zufuhr­ kanal 188 des Verteilers 22 einem Zufuhrventil 40 und zunächst durch magnetisch gesteuerte Vorsteuerventile 64, 66, 68 zugeführt. Die nicht verwendeten Öffnungen 30, 32, 34, 36 des Ventilmechanismus 26 sind selbstver­ ständlich über Schrauben abgesperrt. Fließt die Druck­ luft in den Vakuumunterbrechungskanal 192 des Vertei­ lers 22, so wird eine Verbindungsplatte 14e gegen eine Funktionsplatte 12c gesetzt. Bei der Verbindungsplatte 14e sind die fünften und sechsten Öffnungen 216, 218 der Verbindungsplatte 14d weggelassen (vgl. Fig. 35). Ent­ sprechend dient die Verbindungsplatte 14e dazu, einen Zufuhrkanal 190 für ein Vorsteuerventil eines Verteilers 22, einen Vakuumunterbrechungskanal 192 des Vertei­ lers 22 und vierte und fünfte Kammern 238, 240 einer Funktionsplatte 12c abzusperren (vgl. Fig. 36). Der Stickstoff wird über eine Vakuumunterbrechungsöff­ nung 34 eines Ventilmechanismus 26 zugeführt. Nicht verwendete Öffnungen 30, 32, 36 des Ventilmechanis­ mus 26 sind jeweils über Schrauben abgesperrt. Selbst­ verständlich kann die vorliegende Ausführungsform auch bei einer Vakuum-Transportvorrichtung 24d mit einer damit verbundenen Vakuumpumpe verwendet werden.

Bei den oben beschriebenen Vakuum-Transportvor­ richtungen 24a bis 24d werden die Funktionsplatten 12a bis 12c und die Verbindungsplatten 14a bis 14e nach Bedarf in Kombination verwendet. Alternativ können die Verbindungsplatten 14a bis 14e auch allein verwen­ det werden. Somit kann ein Austausch der internen Durchgänge oder Kanäle des Ventilmechanismus 26 der Ventileinheit 10a oder ein Wechsel der Rohrleitungsan­ ordnung des Ventilmechanismus 26 durchgeführt wer­ den. Ebenso kann selbstverständlich mit anders ausge­ stalteten Ventileinheiten 10b, 10c verfahren werden.

Die ersten und zweiten Zwischenelemente 27, 28 wer­ den in einen Zwischenraum zwischen dem Ventilmecha­ nismus 26, der Ventileinheit 10 und der magnetisch ge­ steuerten Vorsteuerventileinheit 29 eingesetzt und der­ art angeordnet, daß ein Wechsel in Durchgängen oder Kanälen des Ventilmechanismus 26 und der magnetisch gesteuerten Vorsteuerventileinheit 29 erfolgt, wodurch ein Wechsel in dem Vorsteuerventilsystem erfolgt. So­ mit kann das in einer oberen Position befestigte Vor­ steuerventilsystem durch einen Wechsel des ersten und zweiten Zwischenelements 27, 28 verändert werden, so daß die Ventileinheit 10 auch gegen Ventileinheiten wie die Ventileinheiten 10b, 10c, also luftbetriebene oder normalerweise offene Einheiten, ausgetauscht werden kann.

Fig. 37 zeigt ein von den oben beschriebenen Ausfüh­ rungsformen abweichendes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.

Bei dieser Ausführungsform sind eine Ventileinheit 10, eine Verteilereinheit 22, eine Ejektoreinheit 16, eine Druckerfassungseinheit 18 und Filtereinheiten 20a, 20b aus transparentem Material, wie Acrylharz, einstückig ausgebildet. Damit können im Innern auftretende Ver­ stopfungen oder dgl. erkannt werden. Wie sich aus der Zeichnung ergibt sind sowohl eine Düse als auch ein Diffusor transparent ausgebildet.

Fig. 38 zeigt eine von dem Ausführungsbeispiel ge­ mäß Fig. 37 und den vorher beschriebenen Ausfüh­ rungsbeispielen abweichende Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Bei dieser Ausführungsform sind zwischen einem Ejektorkörper und einem anderen Element, bspw. einem Verteilerblock 14 und einer Druckerfassungseinheit 18, Zwischenräume 300 ausge­ bildet um den Schall in einem Luftdurchflußkanal, der durch Pfeile dargestellt ist, zu dämpfen. Außerdem kann die Anzahl der verwendeten Teile verringert werden.

Entsprechend der vorliegenden Erfindung kann eine einzelne Vakuum-Transportvorrichtung 24 gegen eine andere entweder mit einem Ejektor oder einer Vakuum­ pumpe ausgewechselt werden, indem Elemente der Va­ kuum-Transportvorrichtung 24 leicht umarrangiert werden. Außerdem kann die Vakuum-Transportvor­ richtung 24 mehrfach nebeneinander vorgesehen wer­ den, indem ein entsprechender Verteiler 22 verwendet wird. Eine Änderung der Durchgänge oder Kanäle oder ein Ändern der Rohrleitungsanordnung kann ohne ein Auswechseln eines Ventilmechanismus 26 einer Ventil­ einheit 10 erfolgen, indem eine Verbindungsplatte ge­ gen eine andere ausgetauscht wird. Somit wird die Va­ kuum-Transportvorrichtung durch die Kombination von als Blöcke oder Einheiten für die jeweilige Funktion ausgeführten Komponenten gebildet. Somit kann die Vakuum-Transportvorrichtung bei minimaler Ände­ rung der Komponenten für die Verwendung eines Ejek­ tors, einer Vakuumpumpe bzw. für die Verwendung mit einem Verteiler umgebaut werden. Außerdem kann eine Änderung der Durchgänge oder Kanäle und eine Ände­ rung der mit einem Ventilmechanismus gekoppelten Rohrleitungen ohne Austausch des Ventilmechanismus erfolgen, in dem eine Platte in den Zwischenraum zwi­ schen einen Ventilmechanismus einer Ventileinheit und ein daran angrenzendes anderes Element eingesetzt wird. Somit können Benutzer mit einer geringen Anzahl von Ersatzteilen eine Vakuum-Transportvorrichtung verändern und die veränderte Vorrichtung bei verrin­ gerter Größe für unterschiedliche Verwendungszwecke einsetzen.

Aufgrund der obigen Beschreibung der Erfindung ist es offensichtlich, daß noch viele im Rahmen der Erfin­ dung liegende Änderungen und Modifikationen möglich sind.

Bezugszeichenliste

10

a, b, cVentileinheiten

12

a, b, cFunktionsplatte

14

a, b, c, d, eVerbindungsplatte

16

Ejektor

18

Druckerfassungseinheit

19

Substrat

20

a, bFiltereinheiten

21

Vakuumzufuhreinheit

22

Verteiler

24

a, b, c, dVakuum-Transportvorrichtung

26

Ventilmechanismus

27

Zwischenelement

28

Zwischenelement

29

Vorsteuerventileinheit

30

Einlaßöffnung

32

Einlaßöffnung

34

Vakuumunterbrechungsöffnung

36

Auslaßöffnung

38

Ventilkörper

40

Zufuhrventil

42

Vakuumunterbrechungsventil

43

a, bKontrollventil

44

Ventilkörper

46

Ventilsitz

48

Nuten

50

Ring

52

Ring

54

Ring

56

Vorsteuerkammer

58

Vorsteuerkammer

60

Kammer

62

Kammer

63

Dichtung

64

Vorsteuerventil

66

Vorsteuerventil

68

Vorsteuerventil

70

a, b, cVentil

72

a, b, cSitzabschnitt

74

a, b, cGrundkörper

76

a, b, cEndplatte

78

a, b, cÖffnung

80

a, b, cÖffnung

82

a, b, cÖffnung

84

a, b, cÖffnung

86

a, b, cÖffnung

88

Durchgangsöffnung

90

a, b, cVorsteuerkammer

92

Öffnung

94

Öffnung

96

Vakuumöffnung

98

Öffnung

100

Öffnungen

102

Düse

103

Schlitze

104

Diffusor

105

Abdeckung

106

Vakuumerzeugungseinheit

108

Schalldämpfer

110

Vakuumschalter

112

Kanal

114

Filter

115

Kontrollventil

115

aAbschnitt

115

bFeder

115

cKugel

115

dKanal

116

Kontrollventil

117

Öffnungen

118

Kanal

120

Abdeckung

122

Filterkörper

124

Bolzen

126

Befestigungsmechanismus

128

Kanal

130

Kanal

131

Spiralfeder

132

Kontrolleinrichtung

133

Anschlag

134

Öffnung

136

Kanal

138

Eisenkern

140

Sitzelement

142

Ventilsitz

144

Kanal

146

Kammer

148

Kanal

150

Öffnung

152

a, cVorsteuerkammer

154

Kanal

156

Kanal

158

Aussparung

160

Kanal

162

Kontrolldichtung

164

Kanal

166

Vorsteuerkammer

168

Vorsteuerkammer

170

Kanal

172

Dichtung

182

Verteilergrundkörper

184

Endplatte

186

Endplatte

188

Zufuhrkanal

190

Zufuhrkanal

192

Vakuumunterbrechungskanal

194

Auslaßkanal

195

Innengewinde

196

Verbindungsöffnung

197

a, bKontrollventile

198

Verbindungsöffnung

199

Kontrollventil

200

Verbindungsöffnung

201

Kontrollventil

202

Verbindungsöffnung

204

Verbindungsöffnung

206

Verbindungsöffnung

208

Dichtnut

210

Bohrungen

212

Verbindungsöffnung

214

Öffnung

230

a, bDichtung

216

Öffnung

218

Öffnung

220

Öffnung

232

Kammer

234

Kammer

236

Kammer

238

Kammer

240

Kammer

242

Kammer

244

aDichtung

246

aDichtung

300

Zwischenräume

Claims (7)

1. Vakuum-Transportvorrichtung (24a, 24b, 24c) mit einer Arbeitseinheit, welche mit einem Saugnapf oder dgl. in Verbin­ dung steht, damit die Arbeitseinheit einen Gegenstand, wie ein Werkstück, halten oder zu einer gewünschten Position transpor­ tieren kann, mit einer Ventileinheit (10a, 10b, 10c) mit einem Wegeventil (40, 42) für die Zufuhr oder Absperrung eines unter Druck stehenden Fluids oder eines Vakuums an einer gewünschten Stelle und mit einer Einheit (21, 16) zur Erzeugung eines Vakuums in der Arbeitseinheit, gekennzeichnet durch, eine Filtereinheit (20a, 20b) zur Entfernung von Verunreinigungen aus dem Fluid, welche über die Arbeitseinheit herangeführt wurden, wobei eine Druckerfassungseinheit (18, 110) zur Erfassung des auf die Arbeitseinheit ausgeübten Druckes und eine Schalldämpfereinheit (108) zur Reduzierung des Lärms einschließlich von Auspuffgeräuschen oder dgl., wahlweise in eine Kombination der jeweiligen Einheiten integrierbar sind.

2. Vakuum-Transportvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß über einen entspre­ chenden Verteiler (22) mehrere Vakuumeinheiten (21) nebeneinander vorgesehen sind.

3. Vakuum-Transportvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ventilein­ heit (10a, 10b, 10c) einen Ventilmechanismus (26) mit einem Wegeventil (40, 42) für die Zufuhr bzw. Absperrung entweder eines unter Druck stehenden Fluids oder eines Vakuums an einer gewünschten Stelle, eine Vorsteuerventileinheit (29) mit einem Vorsteuerventil (64, 66, 68) für das Wegeventil (40), und eine zwischen dem Ventilmechanismus (26) und der Vorsteuerventileinheit (29) angebrachte Platte (12, 14, 27, 28) zur wahlweisen Herstellung der Verbindung zwischen dem Ventilmechanismus (26) und der Vorsteuerventileinheit (29) über einen Fluidkanal bzw. zur Absperrung des Fluidkanals aufweist, wobei zur Veränderung der Vorsteuer­ ventileinheit (29) ohne Wechsel des Fluidkanals (128, 160, 164, 170) in dem Ventilmechanismus (26) das Vorsteuerventil (64, 66, 68) und die Platte (12, 14) jeweils gegen andere austauschbar sind.

4. Vakuum-Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Ventileinheit (10a, 10b, 10c) ein Wegeventil (40) für die Zufuhr bzw. Absperrung entweder eines unter Druck stehenden Fluids oder eines Vakuums an einer gewünschten Stelle aufweist, und daß das We­ geventil (40) einen Ventilsitz (46) und einen Ventil­ körper (44) aufweist, wobei in beiden Enden des Ventilkörpers (44) Umfangsnuten (48) ausgebildet sind, in denen erste und zweite flexible Ringe (50, 52) angeordnet sind, und wobei der Ventilkörper (44) einen Mittelabschnitt aufweist, auf welchem ein dritter flexibler Ring (54) mit einer abgeschräg­ ten Seitenfläche festgelegt ist, während der Ventil­ sitz (46) gegenüberliegende spitze Enden aufweist, welche gegen die abgeschrägte Fläche des dritten flexiblen Rings (54) anliegen, wenn der Ventilkör­ per (44) gegen den Ventilsitz (46) gedrückt wird.

5. Vakuum-Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine Platte (12, 14, 27, 28) in den Zwischenraum zwischen der Ventileinheit (10a, 10b, 10c) und ei­ nem daran angrenzenden Element eingesetzt ist, und daß die Platte (12, 14) gegen eine andere aus­ tauschbar ist, um die Ventileinheit (10a, 10b, 10c) und das Element miteinander derart zu verbinden, daß sie luftdicht aneinanderliegen und daß wahl­ weise eine Vielzahl von zwischen der Ventileinheit (10a, 10b, 10c) und dem Element gebildeten Fluid­ kanälen absperrbar sind.

6. Vakuum-Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Ventileinheit (10a, 10b, 10c) und ei­ nem daran angrenzenden Element eine Platte (12, 14, 27, 28) angeordnet ist und daß die Platte (12, 14) gegen eine andere austauschbar ist, um die Ventil­ einheit (10a, 10b, 10c) und das Element derart mit­ einander zu verbinden, daß sie luftdicht aneinander liegen, daß wahlweise eine Vielzahl von zwischen der Ventileinheit (10a, 10b, 10c) und dem Element gebildeten Fluidpassagen absperrbar und wahlwei­ se die Verbindung zu einer Vielzahl von Fluidkanä­ len (128, 160, 164, 170) in der Ventileinheit (10a, 10b, 10c) herstellbar ist.

7. Vakuum-Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte (12, 14) eine erste Platte (14a-e, 27) zur Verbindung der Ventileinheit (10a, 10b, 10c) und einem Element mit einem darin ausgebildeten Fluidkanal aufweist, der mit der Ventileinheit (10a, 10b, 10c) in Verbindung steht, wobei die Ventilein­ heit (10a, 10b, 10c) und das Element luftdicht anein­ ander liegen und wobei die erste Platte (14a-e) gegen eine andere ausgetauscht wird, um wahlwei­ se eine Vielzahl von zwischen der Ventileinheit (10a, 10b, 10c) und dem Element ausgebildeten Fluidkanälen abzusperren, sowie eine zweite Platte (12a-c, 28) welche gegen eine andere austausch­ bar ist, um wahlweise die Verbindung zu einer Viel­ zahl von Fluidkanälen in der Ventileinheit (10a, 10b, 10c) herzustellen, wobei die erste und die zweite Platte (14a-e, 12a-c) gemeinsam verwendbar sind, um wahlweise die Vielzahl von Fluidkanälen zwischen der Ventileinheit (10a, 10b, 10c) und dem Element abzusperren und um wahlweise die Ver­ bindung zu einer Vielzahl von Fluidkanälen (128, 160, 164, 170) in der Ventileinheit (10a, 10b, 10c) herzustellen.