KR950014800B1 - 진공이송장치 - Google Patents

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KR950014800B1
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vacuum
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vacuum transfer
manifold
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시게가즈 나가이
히로시 마쓰시마
아끼오 사이또오
마사미찌 다지마
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에스엠씨 가부시끼가이샤
다까다 요시유끼
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Priority claimed from JP072795U external-priority patent/JPH0524643U/ja
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Abstract

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Description

진공이송장치
제1도는 본 발명에 따른 진공이송장치가 결합되는 방식을 설명하는 도면.
제2도는 본 발명의 제1실시예에 따라 이젝터가 결합된 진공이송장치의 단면도.
제3도는 제2도의 진공이송장치의 유체회로도.
제4a 및 b도는 제2도에 도시된 진공이송장치의 이송밸브의 단면도.
제5도는 진공이송장치의 제1솔레노이드 제어 파일롯 밸브가 개방된 상태의 단면도.
제6도는 진공이송장치의 제2솔레노이드 제어 파일롯 밸브가 폐쇄된 상태의 단면도.
제7도는 진공이송장치의 제3솔레노이드 제어밸브가 개방된 상태의 단면도.
제8도는 본 발명에 따른 진공이송장치의 제1연결판을 도시하는 사시도.
제9a 및 b도는 압력검출유니트에 장착된 체크밸브를 도시하는 부분단면도.
제10도는 진공이송장치의 제1솔레노이드 제어 파일롯 밸브가 폐쇄된 상태의 단면도.
제11도는 진공이송장치의 밸브유니트를 도시하는 부분단면도.
제12도는 진공이송장치의 제2솔레노이드 제어 파일롯 밸브가 개방된 상태의 단면도.
제13도는 진공이송장치의 제3솔레노이드 제어 파일롯 밸브가 폐쇄된 상태의 부분확대단면도.
제14도는 진공이송장치의 제3솔레노이드 제어 파일롯 밸브가 폐쇄된 상태의 단면도.
제15도는 본 발명의 제2실시예에 따라 진공이송장치에 진공펌프가 외부에서 장착된 상태의 단면도.
제16도는 제15도의 진공이송장치의 유체회로도.
제17도는 본 발명에 따른 진공이송장치의 매니폴드의 사시도.
제18도는 본 발명에 따른 진공이송장치의 다른 매니폴드의 사시도.
제19도는 본 발명의 제3실시예에 따라 이젝터가 결합된 매니폴드 대응형 진공이송장치의 사시도.
제20도는 소음유니트가 매니폴드에 결합된 매니폴드 대응형 진공이송장치의 수직단면도.
제21도는 본 발명에 따른 진공이송장치의 제2연결판의 사시도.
제22도는 본 발명의 제4실시예에 따라 이젝터가 결합된 매니폴드 대응형 진공이송장치의 유체회로도.
제23도는 본 발명의 제5실시예에 따라 이젝터가 결합된 매니폴드 대응형 진공이송장치의 유체회로도.
제24도는 본 발명에 따른 진공이송장치의 제3연결판의 사시도.
제25도는 본 발명의 제6실시예에 따라 이젝터가 결합된 매니폴드 대응형 진공이송장치의 유체회로도.
제26도는 본 발명에 따른 진공이송장치의 제1기능판의 정면도.
제27도는 제26도의 선 A-A를 따라 취한 진공이송장치의 제1기능판의 단면도.
제28도는 본 발명에 따른 진공이송장치의 제1기능판의 배면도.
제29도는 본 발명의 제7실시예에 따라 이젝터가 결합된 진공이송장치의 회로도.
제30도는 본 발명에 따른 진공이송장치의 제2기능판의 정면도.
제31도는 본 발명의 제8실시예에 따라 진공펌프가 외부에 장착된 진공이송장치의 회로도.
제32도는 본 발명에 따른 진공이송장치의 제3기능판의 정면도.
제33도는 본 발명에 따른 진공이송장치의 제4연결판의 사시도.
제34도는 본 발명의 제9실시예에 따라 이젝터가 결합된 진공이송장치의 유체회로도.
제35도는 본 발명에 따른 진공이송장치의 제5연결판의 사시도.
제36도는 본 발명의 제10실시예에 따라 이젝터가 결합된 진공이송장치의 유체회로도.
제37도는 제1 내지 제10실시예와 제37도에 도시된 실시예가 아닌 본 발명의 실시예의 수직단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 밸브유니트 16 : 이젝터
20a,20b : 필터유니트 22 : 매니폴드
24a,24b,24c,24d : 진공이송장치 26 : 밸브기구
29 : 솔레노이드 제어 파일롯 밸브유니트
[발명의 배경]
[발명의 분야]
본 발명은 진공이송장치에 관한 것이며, 더욱 상세히는 진공이송장치의 구성부분인 밸부부, 진공부, 필터부, 압력검출부, 매니폴드부 등이 블록 또는 유니트의 형태로 제작되어 이렇게 제작된 블록이 선택적으로 결합사용될 수 있도록 하고, 판을 사용하여 블록속에 형성되는 복수의 유체통로를 차단하거나 유체통로를 선택적으로 변환할 수 있는 진공이송장치에 관한 것이다.
[종래의 기술]
근래에 공장에서 노동력을 절감하고 자동화를 도모하기 위해 가공물 흡착 및 이송장치로서 진공을 이용한 흡인패드가 폭넓게 사용되고 있다. 이러한 가공물 흡착 및 이송장치에는 압축공기로써 진공을 발생시키는 이젝터 시스템 또는 이젝터 방식과, 진공을 발생시키는 진공펌프를 여자화시키는 진공펌프시스템 또는 진공펌프방식이 많이 사용되었다. 예를들면 솔레노이드 제어밸브 또는 솔레노이드 제어 파일롯 밸브가 통상 전술한 방식에 결합된다. 이러한 선행기술은 아래와 같은 문제점을 내포하고 있다.
구체적으로 설명하면, 이젝터 방식 및 진공펌프방식을 필요한대로 선택적으로 변환시키는 것이 필요하다.
이런 경우에는 솔레노이드 제어밸브, 솔레노이드 제어 파일롯 밸브 등의 구성장치들이 다양한 용도에 따라 다른 것으로 교체되어야 한다.
이때 이러한 장치는 라인이나 파이프에 의해 서로 연결되어 있으므로 파이프 배관공정은 아주 번거롭다. 더욱이 진공이송장치의 크기가 작아질 때에 여러개의 장치의 설치는 문제를 야기시킨다.
[발명의 요약]
본 발명의 주된 목적은 간단한 배관공정을 가능케하고 소형으로 제작가능한 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 장치의 각각의 구성부품이 블록형태로 제작되고 그 블록은 필요에 따라 선택될 수 있으며 이로써 원하는 기능을 달성할 수 있는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 블록형태의 인접하는 구성요소 사이의 공간에 판이 삽입되어 유체통로를 변환시키거나 유체통로를 차단할 수 있는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 진공도를 더욱 정밀하게 검출할 수 있는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 이물질 등이 덜 쌓이고 사용수명을 연장할 수 있는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 흡입패드 등을 포함하는 가공장치가 진공포오트와 연통되어 가공장치가 가공물을 유지하거나 소요위치로 이송할 수 있도록 하는 진공이송장치를 제공하는 것이며 이것은 내부에 형성된 복수의 통로를 각각 가지며 그 통로는 적어도 하나의 압축공기 이송통로와 배출통로를 가지는 복수의 블록부재와, 블록부재의 대응하는 것에 장착된 적어도 하나의 판으로서 복수의 유체통로중의 어느 것이라도 선택적으로 변환하거나 선택적 통로를 차단하는데 사용되는 판으로 구성된다.
본 발명의 또다른 목적은 가압유체나 진공을 소요위치에 공급하거나 차단하기 위한 방향제어밸브를 구비한 밸브유니트와, 밸브기구에 구비된 유체회로를 변화시키기 위해 다른판으로 교체가능한 판을 더 구비하는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 복수의 형태로 연속적으로 구비된 진공이송장치에 연결가능하고 복수의 형태로 구비된 진공이송장치에 대하여 공통적이며 소요위치로 유체를 공급하고 유체를 배출시키는데 사용되는 매니폴드를 더 구비한 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 밸브유니트와 매니폴드를 서로 연결하는 유체회로에 삽입되어 유체회로를 차단할 수 있는 교체가능한 판을 더 포함하는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 체크밸브가 인접하는 블록부재 사이에 끼워져서 유체회로를 차단할 수 있는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 가공장치가 가공물을 유지하거나 소요위치로 이송하도록 흡입패드 등을 포함하는 가공장치와 연통하도록 작동될 수 있는 진공이송장치를 제공하는 것이며, 이 장치는 가압유체나 진공을 소요위치로 공급하거나 차단할 수 있는 방향제어밸브를 가진 밸브유니트, 가공장치에 사용되도록 진공을 공습하는 진공유니트, 및 가공장치로 유입되는 유체로부터 오물을 제거시키는 필터유니트로 구성되며, 이에따라 가공장치에 작용하는 압력을 검출하는 압력검출유니트, 및 배출소음 등을 포함하는 소음을 감소시키는 소음유니트가 각각의 유니트와 조합되어 결합된다.
본 발명의 또다른 목적은 진공유니트가 이젝터인 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 밸브유니트와 매니폴드를 서로 연결하는 유체회로를 차단할 수 있는 교체가능한 판을 더 포함하는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 진공유니트 및 진공펌프가 서로 선택적으로 연결될 수 있는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 밸브유니트가 가압유체나 진공을 소요위치로 공급하거나 차단시키는 방향제어밸브를 구비한 밸브기구, 방향제어밸브용 파일롯밸브를 구비한 파일롯 밸브유니트, 밸브기구와 파일롯 밸브유니트 사이에 장착되어 밸브기구와 파일롯 밸브유니트가 서로 연통되거나 유체통로를 차단하도록 유체통로를 선택적으로 변환시킬 수 있는 판으로 구성되어, 파일롯 밸브시스템이 서로 변화할 때 파일롯 밸브와 판이 각각 서로 교체되어 밸브기구내의 유체통로에 변화를 주지 않고 파일롯 밸브시스템을 변경시킬 수 있도록 하는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 밸브유니트가 강압유체나 진공을 소요위치로 공급하거나 차단하는 방향제어밸브를 가지며, 방향제어밸브는 밸브시트와 밸브몸체를 포함하고 밸브몸체는 그 양단에 형성된 원주홈을 가지며, 여기에 제1 및 제2가요성링이 장착되며, 하나의 경사측면을 가지는 제3가요성링이 고정적으로 장착된 중간부를 가지며 밸브몸체가 밸브시트에 대해 차단될 때 대향 첨단부를 가진 밸브시트는 제3가요성링의 경사면에 맞닿게 될 수 있는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 판이 밸브유니트와 거기에 인접한 부재 사이에 삽입되고, 판이 서로 교체됨으로써 기밀한 상태로 밸브유니트와 부재를 서로 연결시켜, 밸브유니트와 부재 사이에 형성되는 복수의 유체통로를 선택적으로 차단할 수 있도록 하는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 판이 밸브유니트와 인접부재 사이에 장착되며, 판이 서로 교체되어 기밀한 상태로 밸브유니트와 부재를 연결시키며, 밸브유니트와 부재 사이에 형성되는 복수의 유체통로를 선택적으로 차단하고, 밸브유니트내의 복수개의 유체통로를 선택적으로 변환할 수 있도록 하는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 판이 밸브유니트와, 내부에 유체통로를 가지는 부재를 연결시키는 내부에 유체통로를 가지는 부재를 연결시키는데 사용되는 제1판을 포함하고, 상기 유체통로는 밸브유니트와 부재가 기밀한 상태로 부재와 밸브유니트를 서로 연통시키며, 제1판은 다른판으로 교체되어 밸브유니트와 부재 사이에 형성되는 복수개의 유체통로를 선택적으로 차단하도록 하며, 또한 판이 밸브유니트속의 복수개의 유체통로의 변환을 선택적으로 수행할 수 있도록 다른판으로 교체가능한 제2판을 포함하며, 이에따라 제1 및 제2판이 서로 결합되어 사용되어 밸브유니트와 부재 사이에 형성되는 복수의 유체통로를 선택적으로 차단하고, 밸브유니트의 복수개의 유체통로를 선택적으로 변환할 수 있도록 하는 진공이송단치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 전원공급이 중단될 때 작동된 상태를 유지할 수 있는 파일롯 밸브를 더 포함하는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 파일롯 밸브가 제1 및 제2솔레노이드를 포함하며 솔레노이드 제어 파일롯 밸브로 기능하여 제1솔레노이드가 여자화될 때 먼저 방향제어밸브를 제어하도록 작동되어 거기로부터 진공을 공급하고, 제2솔레노이드가 여자화될 때 방향제어밸브를 제어하도록 작동되어 거기로부터 진공공급을 차단하도록 하는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 진공유니트가 그안에 형성되어 진공포오트와 연통하는 통로와, 그 안에 형성되며 진공포오트에 작용되는 압력검출용 검출유니트를 직접 진공포오트와 연통하게 하는 통로를 가지는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 체크밸브가 통로안에 장착되어 검출유니트가 진공포오트와 직접 연통하도록 하는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 체크밸브가 그 몸체에 형성된 복수의 작은 구멍을 가져서 상류측이 하류측과 연통할 수 있는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 원추형 감소부가 통로에 형성되어 단면에서 볼 때 감소부의 반경이 필터부쪽으로 점진적으로 감소되도록 검출유니트가 직접 진공포오트와 연통되며, 구체가 탄성부재에 의해 감소부의 벽면에 대하여 맞닿게 되는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 작은 직경의 통로가 형성되어 그 부분의 상류측과 하류측이 서로 연통하도록 된 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 작은 홈이 감소부의 벽면이나 구체의 표면에 형성되는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 매니폴드를 더 포함하고, 매니폴드의 배출통로를 통하여 이젝트로 배출유량이 흐르는 것을 방지하는 체크밸브가 매니폴드의 배출통로 및 이젝터 사이에 배치되는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 밸브유니트안의 공기가 내측으로 흐르는 것을 방지하는 체크밸브가, 이젝터의 압축공기 흡입포오트와 연통하는 통로안에 배치되는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 밸브유니트가 링형상 가요성 재료로 된 플로팅 타입 다이아프램이며, 밸브몸체 및 밸브시트의 양쪽에 형성된 오목부에 삽입되는 시일부재를 포함하는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 밸브몸체 및 밸브시트에 형성된 오목부는 밸브몸체가 이동하는 방향으로 각각 위치변위하여 플로팅 타입 다이어그램을 각각 대응하는 오목부에 비스듬히 끼워 위치설정시키도록 하는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 매니폴드의 내부에 형성된 파이프 공간을 통해서 매니폴드와 연통하는 외부장치가 장착되는 둘 또는 그 이상의 표면을 포함하는 매니폴드를 더 포함하며 상기 매니폴드가 개방상태에서 둘 또는 그 이상의 표면에 형성되며 또한 각각 외부장치와 연통하는 유체통로를 포함하며, 패킹홈을 가지며, 일체로 형성된 내부나사형상 보어에 장착되며, 상기 보어는 적어도 외부부품에 연결되도록 형성되는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 매니폴드가 합성수지재로 일체적으로 형성되는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 밸브유니트가 밸브몸체와 밸브시트를 구비한 포핏밸브를 포함하고, 밸브몸체는 그 양단에 형성되고 제1 및 제2가요성링이 장착되는 원주홈과 하나의 경사측면을 가진 제3가용성링이 고정적으로 장착되는 중간부를 가지며, 이에 따라 밸브몸체가 밸브시트에 대해 차단될 때 대향 첨단부를 가지는 밸브시트가 제3가요성링의 경사면에 대하여 맞닿게 되는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 밸브시트가 합성수지재로 일체적으로 형성된 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 유니트중의 어떤 하나의 내부에 구비된 구성요소가 각각 유체장치와 연통하도록 허용하는 유체통로가 시각적으로 인식가능한 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 상기 구성요소가 노즐, 디퓨저, 밸브, 소음기 요소, 필터 요소 및 체크밸브중의 어느 하나인 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 상기 노즐이나 디퓨저의 양자 또는 이들중의 적어도 하나가 투명재질로 형성되고 노즐 및 디퓨저에 형성된 유체통로가 시각적으로 인식가능한 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 구성요소의 몸체가 투명한 합성수지재로서 단일 유니트로 형성되는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 이젝터와 상기 이젝터에 인접배치된 다른 부재 사이에 공간이 형성되어 이젝터의 디퓨저와 연통하도록 하고, 유체배출소음을 감소키시는 유체배출통로로 기능하도록 하는 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 이젝터에 인접배치된 다른 부재가 진공검출용 검출유니트인 진공이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 이젝터에 인접배치된 다른 부재가 매니폴드인 진공이송장치를 제공하는 것이다.
전술한 본 발명의 목적이나 다른 목적 ; 특징 또는 장점들은 본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 도시된 첨부도면과 함께 후술하는 설명 및 특허청구범위를 통하여 명백히 드러날 것이다.
[바람직한 실시예의 상세한 설명]
제1도를 참조하여, 본 발명에 따른 진공이송장치가 서로 결합되는 방식에 대한 개략적인 설명이 이루어질 것이다. 각각 결합된 진공이송장치의 기능 및 작동은 이후에 설명될 것이다.
제1도에 도시된 바와 같이, 본 발명을 구성하는 밸브유니트, 진공유니트, 필터유니트 등은 모든 기능을 위한 블록 또는 유니트의 형태로 각각 형성되어 있다.
가압유체 및 진공을 공급하고 또 이 공급을 차단하는 밸브유니트로서 예컨대 서로 호환성이 있는 이중 솔레노이드 타입 밸브유니트(10a), 공기작동 밸브유니트(10b), 정상개방 밸브유니트(10c) 등이 사용된다.
기능판(12a)은 내부유체회로가 변경될 때 각각의 밸브유니트(10a 내지 10c)상에 장착된다. 게다가, 연결판(14a)은 밀폐상태로 인접한 유니트를 서로 연결시키는데 사용된다.
더욱이, 각각이 압력검출유니트(18)와 일체로 형성되어 있는 필터유니트(20a,20b)는 호환성을 갖도록 구비되어 있다.
진공이송장치가 복수의 복수의 형태로 연속으로 구비될 때 매니폴드(22)가 사용될 수 있다.
이 구성요소들은 사용 또는 목적에 따라 적절히 조합될 수 있다.
실시예와 같이 구성요소들을 결합함으로써 실제 조립되는 진공이송장치에 대한 설명이 이루어질 것이다. 설명은 먼저 이젝터 타입 진공이송장치(24a)에 대해 이루어질 것이며, 이 장치는 이중 솔레노이드 타입 밸브유니트(10a), 연결판(14a), 이젝터(16) 및 제1도에 도시된 바와 같이 압력검출유니트(18)와 일체로 형성된 필터유니트(20a)로 구성되어 있다.
이 진공이송장치(24a)는 제2도 및 제3도에 예시된 바와 같이 구성된다. 보다 더 상세하게는, 밸브유니트(10a)는 직사각형 형태인 밸브기구(26)를 가지고 있다. 솔레노이드 제어 파일롯 밸브유니트(29)는 나사에 의해 밸브유니트의 상부 부분상에 장착되어 있다.
연결판(14a)은 밸브기구(26)의 한쪽 측면에 대하여 맞닿음된다.
패킹은 각각의 유체라인 또는 통로에 면하고 있는 관계로 밸브기구(26) 측면상에 장착되어 있다.
이 패킹은 편평한 연결판(14a)에 맞닿음되므로, 밸브기구(26)와 연결판(14a)은 기밀상태로 유지된다. 이 밸브기구(26)는 이송포오트(30), 파일롯 밸브용 이송포오트(32), 진공차단포오트(34) 및 파일롯 밸브용 방출 또는 배출포오트(36)를 가지고 있는데, 이들 모두는 아래에서 알 수 있는 바와 같이 밸브기구(26)의 다른쪽 측면에 형성되어 있다.
그리하여, 내부나사형상 구멍 또는 보어는 이송포오트(32) 및 진공차단포오트(34) 부근에 형성되어 있다. 실질적으로 유동제어밸브를 구성하는 밸브몸체(38)는 그 대응 내부나사형상 보어와 나사식으로 맞물림되어 있다.
밸브기구(26)는 내부에 배치된 2포오트/2위치 타입 이송밸브(40)와 진공차단기 또는 진공차단밸브(42)를 가지고 있는데, 그 축방향은 제2도면에 수직한 방향으로 연장되어 있다. 게다가, 밸브기구(26)는 또한 자체내에 형성되어 있는 라인 또는 통로를 가지고 있는데, 이것은 이송밸브(40), 진공차단밸브(42), 각각의 포오트(30,32,34,36), 솔레노이드 제어 파일롯 유니트(29) 및 연결판(14a) 등이 서로 연통하도록 야기한다. 이송포오트(32)와 연통하는 통로의 한쪽 끝에는 체크밸브(43a)가 배치되어 있다.
이 체크밸브(43a)는 압축공기의 공급이 정지될 때 밸브몸체에 공급되는 압력을 유지하는데 필요한 시간을 지연하는데 사용된다.
이송밸브(40)의 구조는 이제 제4a 및 b도를 참조로 설명될 것이다. 이송밸브(40)는 밸브몸체(44)와 밸브시트(46)로 구성되어 있다.
제1 및 제2가요성링(50,52)은 밸브몸체(44) 양쪽 끝에 형성되어 있는 각각의 상응하는 원주 홈(48)내에 장착되어 있다. 게다가, 경사면을 갖는 제3가요성링(54)은 밸브몸체(44)의 중간부분상에 장착되어 있다.
상기한 바와 같은 구조의 이송밸브(40)내에서, 솔레노이드 제어 파일롯 밸브 유니트(29)로부터 공급되는 유체는 제1파일롯 챔버(56) 또는 제2파일롯 챔버(58)중 어느 하나에 도달하여 소요방향으로 밸브몸체(44)로 변위시키도록 되어 있어 그에 따라 공간(60,62)의 연통을 차단하거나 또는 서로 연통하도록 한다. 이 진공차단밸브(42)는 또한 이송밸브(40)의 구성과 동일한 구성을 실질적으로 가지고 있다. 제4b도는 밸브몸체(44)가 제4a도에 도시된 바와 같이 좌측 방향으로 변위되는 방식을 도시하고 있다.
제3링(54)이 그 시트부분으로부터 분리되어 압축공기를 공간(62)안으로 유동하도록 할 수 있다는 것은 제4b도로부터 명백하다.
이러한 타입의 파일롯 밸브 즉, 이송밸브(40)는 그 구조상으로 정상 파일롯 밸브를 원활하게 작동시키는데 사용되는 그리이스를 이용할 필요가 없게되므로 따라서 배출을 청결하게 할 수 있다.
이 밸브기구(26)위에서 제1 및 제2중간면(27,28)과 이들사이에 삽입된 패킹(63)이 배치된 솔레노이드 제어 파일롯 밸브 유니트(29)는 각각이 이송밸브(40)의 ON/OFF 작동을 수행하는데 사용되는 제1, 제2 및 제3솔레노이드 제어 파일롯 밸브(64,66,68)와 각각이 5포오트/2위치 타입인 밸브기구(26)의 진공차단밸브(42)를 가지고 있다.
제5도에 도시된 바와 같이, 제1솔레노이드 제어 파일롯 밸브(64)는 솔레노이드 제어밸브(70a), 시트부분(72a), 파일롯 밸브의 본체(74a) 및 끝판(76a)으로 기본적으로 구성되어 있다. 이 시트부분(72a)은 자체내에 형성되어 잇는 제1포오트(78a), 제포오트(80a), 제3포오트(82a), 제4포오트(84a) 및 제5포오트(86a)를 가지고 있으며, 이들 포오트는 각각 배출포오트(36), 이송밸브(40)의 제2파일롯 챔버(58), 이송포오트(32), 이송밸브(40)의 제1파일롯 챔버(56) 및 배출포오트(36)와 연통하고 있다.
제6도에 도시된 바와 같이, 솔레노이드 제어 파일롯 밸브(66)는 제1솔레노이드 제어 파일롯 밸브(64)와 유사한 방식으로 기본적으로 구성되어 있다. 그러나, 제2포오트(80b)와 제4포오트(84b)는 제2솔레노이드 제어 파일롯 밸브(66)의 본체(74b)가 고정되어 있기 때문에 폐쇄되어 있다. 본체(74b)는 자체내의 중앙에 형성된 관통구멍(88)을 가지고 있다.
제1 및 제2솔레노이드 제어 파일롯 밸브(64,66)의 끝판(76a,76b)에 형성된 파일롯 챔버(90a,90b)는 구멍(92)에 의해 서로 연통하고 있다.
제7도에 예시된 바와 같이, 제3솔레노이드 제어 파일롯 밸브(68)는 실질적으로 제1솔레노이드 제어 파일롯 밸브(64)와 유사한 방식으로 기본적으로 구성되어 있다. 그러나, 이들은 제3솔레노이드 제어 파일롯 밸브(68)의 본체(74c)와 끝판(76c)이 제1솔레노이드 제어 파일롯 밸브(64)와 형태상으로 상이하다는 점과, 끝판(76c)의 파일롯 챔버(90c)가 시트부분(72c)의 통로(130)와 연통하는 점에서 서로 다르다.
편평한 연결판(14a)은 밸브기구(26)와 맞닿음되는 한쪽 측면과 이젝터(16)와 맞닿음되는 다른쪽 측면을 가지고 있다.
제8도에 도시된 바와 같이, 이 연결판(14a)은 이송밸브(40)와 이젝터(16)가 서로 연통하도록 하는 자체내에 형성된 제1구멍(94), 아래서 설명될 진공차단밸브(42)와 진공포오트(96)가 서로 연통하도록 하는 제2구멍(98) 및 나사결합용의 6개의 제3구멍(100)을 가지고 있다.
제2도에 도시된 바와 같이, 이젝터(16)는 직사각형 형태이며, 소정의 보어 지름을 가진 노즐(102)과 이 노즐(102)에 연속해서 구비된 디퓨저(104)를 그 내측에 가지고 있다.
이 디퓨저(104)는 진공발생기유니트(106)와 연통한다.
이 디퓨저(104)는 냄새를 제거하는데 사용되는 활성 카아본을 갖는 필터에 의하여 형성되는 소음기 요소로 구성된 소음기(108)를 통하여 외부와 연통한다. 디퓨저(104)는 한쪽이 개방된 상자형태로 되어 있다.
상자의 개방부 또는 구멍은 등간격으로 자체내에 형성된 복수의 원통형 슬릿(103)을 갖는 덮개(105)로 차단되거나 또는 덮혀 있다.
진공을 검출하고 진공에 따라 소망 신호를 발생시켜 가공장치를 제어하도록 되어 있는 압력검출유니트(18)와 진공포오트유니트(21)는 이젝터(16)상에 장착되어 있다. 압력검출유니트(18)는 상자형태로 되어 있으며, 자체내에 배치된 진공스위치(110)를 가지고 있다.
진공스위치(110)는 저항타입 반도체 압력센서 또는 용량타입 반도체 압력센서중에 어느 하나로 구성되어 있으며, 이들은 진공포오트(96)와 연통하는 통로(112)를 통하여 진공발생기유니트(106)에 의해 발생된 진공을 검출하여 가공장치를 제어하는 신호를 발생시키도록 되어 있는 것이 바람직하다.
압력검출유니트(18) 내측에 구비된 가요성 기판과 같은 기판(19)상에 장착된 1칩 마이크로컴퓨터와 같은 마이크로컴퓨터는 전자압력센서로부터 출력신호를 수신하기 위해 작동되어 그에따라 압력설정, 압력조정, 알람발생/정지, ON/OFF 작동, 히스테리시스 제거, 모드 변경, 진공발생유니트의 내부상태모니터의 파손예측 등을 수행하는 기능을 제공하고, 진공발생유니트의 전체작동상태를 제어하는 것을 가능하게 한다.
이 마이크로컴퓨터는 프로그램에 따라 자동적으로 사전작동될 수 있어 ON/OFF 작동을 자동설정하고, 마이크로컴퓨터가 작동된 후에 또 다른 센서에 의해 검출되는 기준압력상의 변화를 피이드백함에 따라 사전 설정값을 다른 값으로 자동변경하도록 되어 있다. 퍼지논리를 사용하는 가공물 흡착상태의 예측제어를 수행하는 것도 또한 가능하다. 더욱이, 예시되지 않은 액정 디스플레이(칼라 LCD), 예시되지 않은 발광 다이오드(LED) 등과 같은 디지탈 디스플레이는 상기의 기능과 연관하여 구비될 수 있다. 필터(114)는 압력검출유니트(18)와 진공포오트유니트(21) 사이의 중간면에 위치한다. 제9a도에 도시된 바와 같이, 적층된 가요성의 체크밸브(115)는 필터(114)상에 장착되어 있다.
이 체크밸브(115)는 자체내에 형성된 다수의 작은 구멍(117)을 가지고 있다. 제9b도는 체크밸브(115)의 또다른 실시예를 도시하고 있다. 이 실시예에 있어서, 체크밸브(115)는 그 단면이 원추형상으로 부분적으로 감소하는 통로를 갖는 감소 또는 축소된 부분(115a)을 가지고 있다. 또한 스프링(115b) 탄성력에 의해 이 부분(115a)에 맞닿음된 구(115c)가 배치되어 있다. 게다가, 체크밸브(115)는 자체내의 형성된 소직경 통로(115d)를 가지고 있으며, 이것은 부분(115a)의 상류 및 하류측이 서로 연통하도록 야기한다.
진공포오트 유니트(21)는 직사각형 형태로 되어 있으며, 가용성 재질로 제작된 체크밸브(116) 및 필터유니트(20a)와 연통하고 있으며 이젝터(16)측면상의 진공포오트 유니트(21)의 한쪽 측면으로부터 뻗어있는 통로(118)와 이 유니트 자체의 다른쪽 측면에 형성되어 있는 진공포오트(86)를 가지고 있다. 게다가, 진공포오트 유니트(21)는 또한 자체내에 형성된 통로(112)를 가지고 있으며, 이것은 진공포오트(96)을 통하여 압력검출유니트(18)와 직접 연통하고 있다. 이 필터유니트(20a)는 압력검출유니트(18) 부근에 배치되어 있으며, 압력검출유니트(18)와 직접 연통하고 있다. 이 필터유니트(20a)는 압력검출유니트(18) 부근에 배치되어 있으며, 압력검출유니트(18)와 진공포오트 유니트(21)에 고정되어 있다.
필터유니트(20a)는 투명덮개(120)로 차단되거나 또는 덮혀 있는 필터몸체(122)를 가지고 있다. 이 필터유니트(20a)는 자체내에 배치된 필터몸체(122)를 가지고 있으며, 나사홈이 선단에 형성되어 잇는 스터드(124)를 갖는 제어부(126)에 의해 진공포오트 유니트(21)에 고정되어 있다. 따라서 필터몸체(122)는 제어부(126)를 나사식으로 회전시킴으로써 서로 교체될 수 있다.
필터몸체(122) 및 필터(114)는 진공포오트(96)로부터 유입되는 오일을 제거하는 오일흡수요소, 공급된 습기 또는 물을 제거하는 소수성(疏水性)요소 및 불소함유수지박막, 중공사(中空絲) 등과 같은 물분리기능을 갖는 요소 등을 이용할 수 있다. 선택적으로, 이러한 요소들은 조합되어 사용될 수 있다. 따라서, 밸브, 진공스위치, 소음기 등은 습기 또는 물로부터 보호될 수 있다. 게다가, 배출수단도 또한 습기 또는 물을 제거하도록 구비될 수 있다.
도면에 있어서, 참조번호 131은 밸브몸체(44)를 포함하고 있는 수동제어부(132)를 상향가압하는 코일스프링을 표시하며, 한편 참조번호 133은 제어부(132)의 주어진 위치로의 또는 더 높은 상향이동을 정지시키는 스토퍼를 표시한다. 부가적으로, 제어부(132)의 목적은 다음과 같다.
즉, 제어부(132)는 작업자의 손가락에 의해 아래로 눌려 그와 일체로 형성된 밸브몸체(44)를 낮추게 되며 그에 따라 통로(130), 파일롯 챔버(152a) 및 구멍(134)이 서로 연통하도록 야기하는 본체(74a)의 작동상태를 확실하게 한다.
상기한 바와 같이 구성된 진공이송장치(24a)의 작동은 이제 아래에서 설명될 것이다.
먼저, 컴프레서와 같은 도시되지 않은 압축공기 공급원은 압축공기가 밸브기구(26) 내부로 밸브유니트(10a)의 이송포오트(32)를 계속적으로 통과하여 제1솔레노이드 제어 파일롯 밸브(64)의 제3포오트(82a)로 도달하게 하도록 여자화된다. 솔레노이드 제어밸브(70a)가 비여자화될 때 제3포오트(82a)는 제4포오트와 연통한다(제10도 참조). 따라서 가압유체는 먼저 제4포오트(84a)를 통과하여 통로(128)를 통하여 이송밸브(40)의 제1파일롯 챔버(56)에 도달하며, 그에 따라 이송밸브(40)를 폐쇄시킨다(제11도 참조). 한편, 가압유체는 또한 제3포오트(82a)로부터 제어부(132) 주위에 형성된 통로(130)와 구멍(134)을 통하여 솔레노이드 제어밸브(70a)의 제1통로(136)로 분배된다.
가공물이 흡인패드에 의해 흡착되어 소요위치로 이송될 때 솔레노이드 제어밸브(70a)는 여자화된다.
보다 더 상세하게는, 이동 아이언 또는 요소(138)는 시트부재(40)를 상향이동시키도록 상향 변위되어 밸브시트(142)로부터 분리되도록 되어 있다. 제1통로(136)는 통로(144)와 링형상 공간(146)을 통하여 제3통로(148)와 연통한다(제5도 참조).
결과적으로, 압축공기는 제3통로(148)에 도달한 다음 제어부(132) 주위에 형성된 구멍(134)의 하부 부분과 개방부 또는 구멍(150)을 통과한 후 파일롯 챔버(152a)로 도달하며, 그에 따라 본체(74a)의 도면에 도시된 우측방향으로의 이동을 가능하게 한다(제5도 참조).
이때, 끝판(76a)의 파일롯 챔버(90b)내의 공기는 구멍(92)을 통하여 제2솔레노이드 제어 파일롯 밸브(66)의 파일롯 챔버(90b)에 도달한다. 더욱이, 공기는 제2솔레노이드 제어 파일롯 밸브(66)의 본체(74b)의 통과구멍(88)과 제어부(132)의 구멍(150)을 통과하여 솔레노이드 제어밸브(70b)의 제3통로(148)에 도달하도록 되어 있다.
그후, 공기는 제2통로(154), 통로(156) 및 오목형상부분 즉, 오목부(158)를 통하여 제5포오트(86b)에 도달한 후 밸브기구(26)내에 형성된 통로를 통과하여 배출포오트(36)로 방출되도록 되어 있다(제6도 참조).
따라서, 제1솔레노이드 제어 파일롯 밸브(64)의 본체(74a)는 도면에 도시된 바와 같이 우측방향으로 변위된다.
제3포오트(82a)는 제2포오트(80a)와 연통하는 반면 제4포오트(84a)는 제5포오트(86a)와 연통한다(제5도 참조).
따라서, 제3포오트(82a)로 공급되는 가압유체는 통로(160)를 통하여 제2포오트(80a)로부터 제2파일롯 챔버(58)로 유입되어 이송밸브(40)를 도면에 도시된 바와같이 좌측방향으로 변위시키도록 되어 있다(제11도 참조).
즉, 밸브몸체(44)는 제3가요성링(54)을 밸브시트(46)로부터 이격이동시키도록 좌측방향으로 변위되어 공간(60,62)이 서로 연통되도록 하며 그에 따라 이송밸브(40)의 개방을 가능하게 한다(제4도를 참조).
이때, 제1파이롯 챔버(56)내의 공기는 통로(128)를 통하여 제4포오트(84a)로 도입되어 제5포오트(86a)를 통하여 배출포오트(36)안으로 방출되도록 되어 있다(제5도 및 제11도 참조).
이송밸브(40)가 이러한 방식으로 개방되기 때문에 밸브유니트(10a)의 이송포오트(30)와 이젝터(16)는 서로 연통하여 압축공기를 이젝터(16)에 공급하도록 되어 있다(제3도 참조).
따라서, 진공은 가요성 재질을 제작된 체크밸브(116)를 개방하도록 이젝터(16) 내에서 발생되어 흡인패드안으로 공기를 흡인 또는 흡기하도록 되어 그에따라 소요 가공물을 흡착 및 파지한다.
즉, 진공포오트(96)측의 공기는 이물질을 제거하기 위해 필터몸체(122)를, 체크밸브(116)를 개방하기 위해 통로(118)를 통과한다. 그 후 공기는 진공 발생기 유니트(106)를 통과하여 디퓨저(104)에 의해 흡기되도록 되어 있다.
이때 압력검축유니트(18)의 진공스위치(110)는 진공포오트(96)으로부터 뻗어 있으며, 압력검출유니트(18)와 연통하는 통로(112)를 통하여 진공포오트(96)내에 발생된 진공을 측정하여 진공으로부터의 출력신호를 발생시키도록 되어 그에 따라 신호에 따른 가공장치를 제어한다.
한편, 진공포오트(96)로부터 디퓨저(104)안으로 흡인되는 공기와 노즐(102)로부터 분사 또는 배출되는 압축공기는 소음기(108)를 통하여 디퓨저(104)로부터 외부로 방출된다(제2도 참조).
그리고, 가공물이 이송된 후 흡인패드로부터 가공물을 분리하는 공정은 다음의 방식으로 수행된다.
보다 더 상세하게는, 제1솔레노이드 제어 파일롯 밸브(64)의 솔레노이드 제어 밸브(70a)는 비여자화되며 제2솔레노이드 제어 파일롯 밸브(66)의 솔레노이드 제어 밸브(70b)와 제3솔레노이드 제어 파일롯 밸브(68)의 소레노이드 제어 밸브(70c)는 여자화된다. 제1솔레노이드 제어 파일롯 밸브(64)의 솔레노이드 제어 밸브(70a)가 비여자화될 때 이동 아이언(138)은 하향 변위된다.
따라서, 상부위치에 배치된 시트부재(40)는 시트(142)에 대해 맞닿음되므로, 제2통로(154)는 제3통로(148)와 연통한다(제10도 참조).
한편, 제2솔레노이드 제어 파일롯 밸브(66)의 솔레노이드 제어 밸브(70b)가 여자화될 때 통로(130)와 구멍(134)을 통하여 시트부분(72b)의 제3포오트(82b)로부터 솔레노이드 제어 밸브(70b)의 제1통로(136)로 유입된 압축 공기는 솔레노이드 제어 밸브(70a)에서와 동일 방식으로 제3통로(148)에 도달한다(제12도 참조).
더욱이 압축공기는 구멍(150)을 통하여 본체(74b)의 관통구멍(88)으로 유입되어 끝판(76b)의 파일롯 챔버(90b)로부터 구멍(92)을 통해 제1솔레노이드 제어 파일롯 밸브(64) 끝판(76a)의 파일롯 챔버(90a)에 도달하며, 그에 따라 제1솔레노이드 제어 파일롯 밸브(64)의 본체(74a)를 도면에 도시된 좌측 방향으로 변위시킨다.(제10도 참조).
그리고 나서, 제1솔레노이드 제어 파일롯 밸브(64)의 파일롯 챔버(152a) 내의 공기(제5도 참조)는 구멍(150)을 통하여 상기한 바를 참조한 변위에 따라 솔레노이드 제어 밸브(70a)의 제3통로(148)로 유입된다. 제3통로(148)와 제2통로(154)가 서로 연통하기 때문에 공기는 제2통로(154)와 통로(156)를 그 순서로 통과하여 오목부(159)에 도달하도록 되어 있다.
이러한 방식으로 오목부(158)에 도달한 공기는 좌측방향으로 본체(74a)를 변위시켜 본체(74a)의 체크시일(162)을 통하여 제5포오트(86a)로부터 밸브 유니트(10a)의 배출포오트(36)로 방출된다(제13도 참조).
따라서, 제1솔레노이드 제어 파일롯 밸브(64)의 본체(74a)는 도면에 도시된 바와같이 좌측방향으로 변위되어 제3포오트(82a) 및 제4포오트(84a)가 서로 연통하도록 하여 제2포오트(80a)가 제1포오트(78a)와 연통하도록 허용하게 되어 있다(제10도 참조).
따라서, 제3포오트(82a)로 공급되는 가압유체는 통로(128)를 통하여 제4포오트(84a)로부터 제1파일롯 챔버(56)로 유입되며 그에 따라 이송밸브(40)를 폐쇄한다(제11도 참조). 이때 제2파일롯 챔버(58)내의 공기는 통로(160)를 통하여 제2포오트(80a)로 유입된다.
더욱이, 공기는 제1포오트(78a)를 통하여 밸브유니트(10a)의 배출포오트(36)에 도달하여 그로부터 방출되도록 되어 있다.
따라서, 압축공기는 더이상 이젝터(16)로 공급되지 않으며 흡인패드에 전혀 진공이 공급되지 않는다(제3도 참조).
제3솔레노이드 제어 파일롯 밸브(68)의 솔레노이드 제어밸브(70c)가 여자화될 때 통로(130)를 통해 시트부분(72c)의 제3포오트(82c)로부터 솔레노이드 제어 밸브(70c)의 제1통로(136)로 유입된 압축공기는 제1솔레노이드 제어밸브(70a)와 유사한 방식으로 제3통로(148)에 도달한다(제7도 참조).
더욱이 압축공기는 제어부(132)의 구멍을 통하여 파일롯 챔버(152c)로 유입된다. 한편, 제3포오트(82c)로부터 공급된 압축공기는 통로(130)를 통하여 끝판(76c)의 파일롯 챔버(90c)에 도달한다.
상기한 방식으로 본체(74c) 양쪽 끝에 도달한 압축공기는 압축공기는 받는 자체의 양끝 면적사이의 차이(제어부(132)측 면적>끈판(76c)측 면적)로 인하여 서로 가압력이 달라지며 그에 따라 제3솔레노이드 제어 파일롯 밸브(68)의 본체(74c)를 도면에 도시된 바와같이 우측 방향으로 변위시킨다(제7도 참조).
따라서, 제3솔레노이드 제어 파일롯 밸브(68)의 본체(74c)는 도면에 도시된 바와같이 우측방향으로 변위되어 제3포오트(82c)가 제2포오트(80c)와 연통하도록 하며, 제4포오트(84c)가 제5포오트(86c)와 연통하도록 허용하게 되어 있다. 따라서, 제3포오트(82c)로 공급된 가압유체는 통로(164)를 통하여 제2포오트(80c)로부터 제2파일롯 챔버(166)로 유입되어 진공차단밸브(42)를 개방하도록 되어 있다.(제11도 참조).
이때 제1파일롯 챔버(168)의 가압유테는 통로(170)를 통하여 제4포오트(84c)로 유입되어 제5포오트(86c)를 통해 배출포오트(36)에 도달하여 그로부터 방출되도록 되어 있다. 따라서, 압축공기는 진공차단밸브(42)를 통하여 밸브유니트(10a)의 진공차단포오트(3)로부터 진공포오트(96)로 유입되며, 그에따라 흡인패드를 진공을 받는 것으로부터 즉시 해제시켜 흡인패드로부터 가공물을 분리시키도록 되어 있다(제3도 참조).
제3솔레노이드 제어 파일롯 밸브(68)의 솔레노이드 제어 밸브(70c)는 가공물이 흡인패드로부터 분리된 후에 흡인패드에 의해 재흡착되는 기간중에 비여자화 된다. 솔레노이드 제어 밸브(70a)와 유사하게, 솔레노이드 제어밸브(70c)의 이동 아이언(138)은 하향 이동된다.
따라서 상부위치에 배치된 시트부재(140)는 밸브시트(142)에 대해 맞닿음되어 제1통로(136)와 제3통로(148)를 차단하도록 되어 있다(제14도 참조). 하부위치에 배치된 패킹(172)도 또한 하향 변위되기 때문에 제2통로(154)는 제3통로(148)와 연통한다. 따라서, 압축공기는 구멍(150)을 통하여 제3통로(148)로부터 파일롯 챔버(152)로 공급되지 않는다.
게다가 본체(74c)는 통로(130)를 통하여 시트부분(72c)의 제3포오트(82c)로부터 끝판(76c)의 파일롯 챔버(90c)로 유입되는 압축공기로 인하여 도면에 도시된 바와같이 좌측방향으로 변위된다(제14도 참조).
따라서, 제3솔레노이드 제어 파일롯 밸브(68)의 본체(74c)는 도면에 도시된 바와같이 좌측방향으로 변위되어 제3포오트(82c)가 제4포오트(84c)와 연통하도록 하며, 제2포오트(80c)가 제1포오트(78c)와 연통하도록 한다.
따라서 제3포오트(82c)는 공급된 가압유체는 통로(170)를 통하여 제4포오트(84c)로부터 진공차단밸브(42)의 제1파일롯 챔버(168)로 유입되어 본체(74c)를 우측방향으로 변위시키도록 되어 있으며, 이에 따라 진공차단밸브(42)를 폐쇄한다(제11도 참조).
이때 제2파일롯 챔버(166)내의 공기는 통로(164)를 통하여 제2포오트(80c)에 도달한 다음 제1포오트(78c)를 통하여 배출포오트(36)에 도달하여 그로부터 방출되도록 되어 있다.
따라서, 가압유체는 진공차단밸브(42)가 폐쇄되었기 때문에 밸브유니트(10a)의 진공차단포오트(34)로부터 진공포오트(96)로 유입된다(제3도 참조).
따라서, 예컨대 공작물이 흡인패드로부터 분리된 후 흡인패드에 의해 재흡착되는 기간중에 압축공기의 소비방지가 가능하다.
게다가, 제1솔레노이드 제어 파일롯 밸브(64)와 제2솔레노이드 제어 파일롯 밸브(66)는 끝판(76a)에 의해 서로 연통하도록 허용되며, 이중 솔레노이드 타입으로 되어 있다. 그러므로 본체(74a)는 동력장치의 파손의 경우에도 다른 것으로 교체되지 않는다.
가공물이 흡인패드에 의해 흡착되어 흡인상태에서 이송됨과 동시에 동력장치의 파손이 발생할 때라도 가공물이 흡인패드에 의한 흡착상태로부터 해제되어 흡인패드로부터 떨어질 가능성은 전혀 없다.
제2실시예로서 진공펌프타입 진공이송장치(24b)에 대해 설명한다. 첨언하면 제1실시예에서 채용된 것과 동일한 요소는 동일한 참조번호를 부여하였으며, 설명은 생략한다.
이젝터가 결합된 진공이송장치(24a)는 진공펌프가 장착된 진공이송장치(24b)로 용이하게 대체될 수 있다.
즉, 진공이송장치(24b)는 진공이송장치(24a)로부터 제거된 이젝터(16) 대신에 진공펌프를 밸브유니트(10a ; 제15도 및 제16도 참조)의 이송포오트(30)에 연결함으로써 이루어진다.
진공이송장치(24b)는 진공이송장치(24a)와 유사한 방식으로 역시 작동된다. 즉, 파일롯 밸브용 이송포오트(32)로부터 공급된 가압유체는 제1솔레노이드 제어 파일롯 밸브(64)내로 흘러서 이송밸브(40)를 개방시킨다.
그러므로, 진공펌프와 진공포오트(96)는 상호 연통되어 흡인패드와 같은 작동 장치에 진공을 공급하여, 원하는 작업을 수행한다.
그리고, 유입된 공기는 필터몸체(122), 통로(118) 및 체크밸브(116)를 통과하고, 이송포오트(30)로부터 진공펌프내로 흐른다(제16도 참조).
진공이송장치(24b)의 다른 작동은 진공이송장치(24a)의 작동과 정확히 동일하다.
상기와 같이 구성된 진공이송장치(24a,24b)는 대응 매티폴드를 사용함으로써 각각 복수의 형태로 연속으로 사용된다.
그리고 이젝터와 진공펌프를 각각 사용하는 매니폴드-대응 타입 진공이송장치(24c,24d)는 제3 및 제4실시예에 각각 설명될 것이다.
매니폴드(22)는 실제로 직사각형의 단면을 갖추고 있으며, 기본적으로 매니폴드 베이스(182) 및 정면 및 후면에 대응하는 매니폴드 베이스(182)의 양끝에 각각 장착된 한쌍의 끝판(184,186)으로 구성되어 있다(제19도 참조).
이 경우에, 매니폴드 베이스(182)는 끝판(184,186)이 장착된 양끝을 통해서 연장된 이송통로(188)를 갖추고 있고, 파일롯 밸브용 이송톨로(190), 진공차단 통로(192), 파일롯 밸브용 방출 또는 배출통로(194) 등은, 제17 및 제18도에 도시된 바와같이, 주어진 간격으로 서로 이격되어 있다.
제20도는 밸브기구(26), 이젝터(16), 진공포오트유니트(21) 및 매니폴드(22)의 조합을 도시한 수직 단면도이다. 매니폴드(22)는 이송통로(188), 파일롯 밸브용 이송통로(190), 진공차단통로(192), 및 파일롯 밸브용 방출 또는 배출통로(194)를 갖추고 있고, 이들 모두는 여기에 형성되어 있다.
또한, 매니폴드(22)는 이송밸브(40)와 이젝터(16)가 서로 연통되도록 형성된 통로(198)와 진공차단밸브(42)와 진공포오트(96)가 서로 연통되도록 형성된 통로(196)를 갖추고 있다. 소리를 억제하는 효과를 얻을 수 있기 때문에 소음기 요소(195)를 배출통로(194)의 벽부분에 장착하는 것이 바람직하다. 소음기 요소(195)는 흡음재질 또는 방음재질로 만들 수 있다. 이송밸브(40)와 이젝터(16)가 서로 연통하도록 체크밸브(199)를 통로(198)에 장착하는 것이 바람직하다. 대안으로써, 가요성이며 평평한 체크밸브(201)를 매니폴드(22)의 배출통로(194)와 이젝터(16)의 한측면 사이에 구비하는 것이 바람직하다.
이젝터(16)가 비작동될 때, 체크밸브(199)는 폐쇄되도록 매니폴드(22)의 배출통로(194)를 통해서 다른 진공발생유니트가 배출압력에 종속된다.
그러므로 다른 진공발생유니트의 배출이 배출통로로부터 이젝터내로 들어가는 것을 방지할 수 있다. 한편 체크밸브(201)는 잔류흡입공기가 이젝터를 통해서 진공포오트로부터 공기이송밸브내로 흐르는 것을 방지한다.
그러므로 오염된 흡입공기로 인하여 발생되는 공기이송밸브의 성능 및 내구성의 저하를 피할 수 있다. 말하자면, 체크밸브(197a,197b)가 이송통로(190)의 각각 끝판(184,186)상에 장착된다.
체크밸브(197a,197b)는 압축공기의 공급이 멈출 때 밸브몸체에 적용된 압력을 유지하는데 필요한 시간을 더 지속시키는데 사용된다(제22도 참조).
끝판(184,186) 고정용 암나사(195)는 각각 양끝쪽에서 배출통로(194) 위에 그리고 이송통로(188) 아래에 배치된다.
매니폴드(22)의 측면중의 하나는 연결판(14b)의 한측면에 대하여 맞닿으며, 다른 측면은 이젝터가 결합된 진공이송장치(24a)를 사용할 때 이젝터(16)의 한측면에 대하여 맞닿는다. 부가하여, 그 다른쪽은 진공펌프가 장착된 진공이송장치(24b)를 사용할 때 진공포오트유니트(21)와 맞닿는다.
제17도에 도시된 바와같이, 제1 내지 제6연통구멍(196,198,200,202,204,206)은 연결판(14b)에 대하여 맞닿는 매니폴드(22)의 한측면에서 주어진 간격으로 형성되어 있다. 패킹홈(208)은 이들 연통구멍 주위에 새겨져 있으며, 패킹은 패킹홈(208)에 장착되어 있다. 매니폴드는 추가적으로 외부장치를 고정하는데 사용되는 내부나사 형성보어(210)를 갖추고 있다.
제3 내지 제6연통구멍(200,202,204,206)은 각각 이송통로(188), 이송통로(190), 진공차단통로(192) 및 배출통로(194)에 연통되어 있다.
또한 제1 및 제2연통구멍(196,198)은 다른 끝쪽에서 매니폴드(22)의 측면을 통해 연장되어 있다.
제18도에 도시된 바와같이, 제7연통구멍(212)은 이젝터(16)에 대하여 맞닿는 매니폴드(22)의 한측면위에 형성되어 있고, 연결판(14b) 상에서 매니폴드(22)의 측면으로부터 연장된 제1 및 제2연통구멍(196,198)은 개방된 상태에서 아래서 형성되어 있다. 또한, 패킹홈(208)은 제1 및 제2연통구멍(196,198) 주위에 형성되어 있다. 외부장치고정용 복수의 내부나사 형성보어(210)는 매니폴드(22)의 측면에 형성되어 있다.
제21도에 도시된 바와같이, 연결판(14b)은 자체에 형성된 제1 내지 제3구멍(94,98,100)과 연결판(14a)과 유사한 방식으로 매니폴드(22)의 제3 내지 제6연통구멍(200,202,204,206)에 대응하여 자체에 형성된 제4 내지 제7구멍(214,216,218,220)을 갖추고 있다.
상기한 바와같이 구성된 매니폴드 대응-타입 진공이송장치(24c,24d)에서, 밸브유니트(10a)의 사용되지 않은 각각의 포오트(30,32,34,36)는 각각 나사로 폐쇄 또는 막히게 된다(제22도 참조).
가압유체 또는 진공은 각각의 포오트(30,32,34,36)에 대체되어 매니폴드(22)의 각각의 통로(188,198,192,194)로부터 연결판(14b)의 제3 내지 제6연통구멍(200,202,204,206) 그리고 제4 내지 제7연통구멍(214,216,218,220)을 통해서 밸브유니트(10a)내로 흐른다(제17, 21 및 22도 참조).
이젝터가 결합된 진공이송장치(24c)는 이젝터(16)로부터의 배출이 체크밸브(109)를 통해서 매니폴드(22)의 배출통로(194) 내로 흐르도록 구성되어 있다(제22도 참조). 이젝터가 결합된 진공이송장치(24c)가 복수의 형태로 연속으로 구비될 때, 체크밸브(109)는 진공이송장치(24c)로부터의 배출을 방지하며, 작동중에 비작동된 진공이송장치(24c)에 후방으로 흐름을 정지시키며 진공포오트(96)로부터 방출을 방지시킨다. 진공이송장치(24c,24d)의 다른 작동은 진공이송장치(24a,24b)의 작동과 동일하다.
상기 매니폴드 대응-타입 장치(24c,24d)가 복수의 형태로 연속으로 구비될 때, 압축공기와 같은 가압유체 또는 진공은 매니폴드(22)로부터 모든 진공이송장치(24)에 공급된다. 이때에, 단일 진공이송장치가 작동하며 밸브유니트(10a)의 포오트(30,32,34,36)를 통해서 질소를 사용함으로써 원하는 공정을 수행할 때, 매니폴드(22)로부터 진공이송장치를 분리하는 것이 필요하다.
이것은 질소를 사용하는 진공이송장치(24)가 매니폴드(22) 상에 장착된 상태에서 압축공기 및 질소가 혼합되는 경향이 있기 때문이며, 원하는 목적은 달성될 수 없다. 이 경우에 제5실시예에서는 채용된 연결판(14a ; 제8도)이 연결판(14b ; 제21도)의 대체로서 사용된다.
연결판(14a)이 거기에 형성된 단지 제1 내지 제3구멍(94,98,100)만을 갖추고 있으므로, 연결판(14a)은 이송통로(188), 파일롯 밸브용 이송통로(190), 진공차단통로(192), 파일롯 밸브용 방출 또는 배출통로(194) 및 밸브유니트(10a)를 막거나 차단하는데 사용한다(제23도 참조).
그러므로, 원하는 진공이송장치(24c)는 매니폴드(22)내로 흐르는 기압유체와 다른 기압유체를 사용할 수 있다.
더욱이, 질소는 진공차단이 이루어질 때 압축된 공기하에서 IC 기판과 같은 가공물에 먼지와 같은 불순물이 달라붙는 것을 방지하며, 고장의 발생을 배제할 수 있다. 이것은 원가 개념에서 유리하다.
이 경우에 적용되는 제6실시예에 채용된 연결판(14C)에 대해 설명할 것이다. 제24도에 예시된 바와같이, 연결판(14c)은 연결판(14b)의 제6구멍(218)을 배제하는 방식으로 구성되어 있다. 즉, 연결판(14c)은 제25도에 예시된 바와같이, 밸브유니트(10a)의 진공차단밸브 및 진공이송장치(24c)의 매니폴드(22)의 진공차단통로(192)를 막거나 차단하는 작용을 한다.
따라서, 질소는 밸브유니트(10a)의 진공차단포오트(34)를 통해 사용된다.
한편, 다른 포오트(30,32,34)는 각각 나사로 막혀서, 매니폴드(22)의 통로(188,190,194)는 사용될 수 있다.
제5 및 제6실시예는 이젝터가 결합된 진공이송장치(24c)를 개시하고 있다. 하지만 당연히 진공펌프를 사용하는 진공이송장치(24d)는 진공이송장치(24c)와 동일한 방식으로 작동될 수 있다.
연결판은 예시된 실시예에 필수적으로 한정되지 않고, 적적한 연결판이 필요에 의해 사용될 수 있다.
상기한 방식으로 사용된 진공이송장치(24a 내지 24d)내에는 압축공기가 모드 제1 내지 제3솔레노이드 제어 파일롯 밸브(64,66,68), 이송밸브(40) 및 진공차단밸브(42)에 공급될 때, 단지 단일 포오트로부터 압축된 공기를 공급하는 것이 바람직하다.
이것은 파이프 장치가 간단하고 효율적이기 때문이다. 하지만, 여러가지 용도 또는 목적에 따라 밸브 기구(26)의 설비는 사용자가 직면하는 원가문제를 야기시킨다. 그러므로, 예를들면, 유체회로를 변경하도록 기능판(12a)이 밸브기구(26)와 연결판(14a) 사이에 일정간격을 두고 삽입되고 있다.
플레이트형 기능판(12a)은 밸브기구(26)에 대하여 맞닿는 한측면과 연결판(14a)에 대하여 접합되 다른 측면을 갖추고 있다.
제26도는 기능판(12a ; 밸브유니트(10a)쪽의)의 정면도이다.
제27도는 기능판(12a)의 수직단면도이고, 제28도는 기능판(12a ; 진공포오트유니트(21)쪽의)의 배면도이다.
기능판(12a)은 각각 패킹(230a,230b)에 의해서 7개의 섹션 또는 공간으로 대략 분할된 양면을 갖추고 있다.
기능판(12a)은 7개의 공간의 동공을 갖춘 6개의 공간, 즉 제1 내지 제6챔버(232,234,236,238,240,242)를 포함하고 있다.
패킹(230a,230b)은 유체가 각각의 공간내로 상호 흐르는 것을 방지하고 또한 유체가 기능판(12a)과 다른 부재 사이의 갭에서 누출되는 것을 방지한다. 본 실시예에서, 제3 내지 제5챔버(236,238,240)를 서로로부터 분리하는 패킹(230a)은 부분적으로 차단하며, 여기에서 제3 내지 제5챔버(236,238,240)는 서로 연통된다(제26도 참조).
상기한 바와같이 구성된 진공이송장치의 작동을 제26 및 29도를 참조하여 개시될 것이다.
제7실시예에서, 공급되는 가압유체는 먼저 한 종류도 제한된다. 이젝터가 결합된 진공이송장치(24a)에 대해 설명할 것이다. 가압유체 즉 압축된 공기는 밸브유니트(10a)의 이송포오트(30)로부터 공급되고 밸브유니트(10a)의 밸브기구(26)의 배출포오트(36)로부터 방출된다. 그러므로, 밸브기구(26)의 파일롯 밸브용 이송포오트(32)와 진공차단포오트(34a)는 각각 나사에 의해서 막힌다(제29도 참조).
이러한 상태하에서 소요 위치에 이송되도록 가공물 등이 흡인패드에 의해 유인될 때, 콤프레서와 같은 예시되지 않은 압축공기 공급원은 먼저 여자화 되어 기능판(12a)의 제3챔버(236)에 도달하도록 밸브기구(26)의 이송포오트(30)에 압축공기를 공급한다. 패킹(230a)이 부분적으로 차단되므로 기능판(12a)의 제3 내지 제5챔버(236,238,240)은 서로 연통한다(제26 및 29도 참조). 그러므로 압축공기는 진공차단밸브(42) 및 제1 내지 제3솔레노이드 제어 파일롯 밸브(64,66,68)에 공급되고 뒤이어 기능판(12a)의 제3챔버(236)으로부터 제4 및 제5챔버(238,240)내로 흐른다.
따라서, 밸브기구의 통로 또는 채널의 변화는 연결판(14a)과 진공이송장치 사이에 기능판(12a)을 간단히 삽입함으로써 이루어질 수 있고, 이것에 의해 효과적인 파이프 배열을 할 수 있다.
유사하게, 진공펌프가 외부에서 연결된 진공이송장치(24b)가 제8실시예로서 개시될 것이다. 이 경우에, 기능판(12b)은 제7실시예의 그것과 유사한 목적으로 연결판(14a)과 진공이송장치 사이에 삽입되어 있다.
제30도에 예시된 바와같이, 기능판(12b)은 기능판(12a)과 실제로 동일한 방식으로 구성되어 있다.
하지만, 밸브유니트(10a) 쪽의 패킹(244a)은 부분적으로 차단되어 제4 및 제5챔버(238,240)가 서로 연통하도록 한다.
이 경우에도, 파이프 배열의 효율은 나사로 파일롯 밸브용 이송 포오트(32)를 막음으로써 개선될 수 있다(제31도 참조).
더욱이, 매니폴드 대응-타입 진공이송장치(24c,24d)에서, 밸브기구(24c,24d)의 통로 또는 채널의 변환은 연결판과 기능판의 조합으로 수행된다.
그리고 진공이송장치(24c)는 제9 및 제10실시예로서 개시될 것이다.
제6실시예와 유사하게, 질소등은 IC 기판과 같은 가공물이 채용될 때 진공 차단용으로 사용된다. 부가하여 압축공기는 진공차단과 다른 목적으로 사용된다. 이 경우에 기능판(12c)이 사용된다.
기능판(12c)은 기능판(12a)가 실제로 동일한 방식으로 구성되어 있다. 하지만, 밸브 유니트(10a)쪽의 패킹(246a)은 제3챔버(236)와 제4챔버(238)가 서로 연통되도록 부분적으로 차단되어 있다(제32도 참조).
질소와 매니폴드(22)의 진공차단통로(192)은 통해 흐를 때, 연결판(14d)은 기능판(12c)과 대향한 관계로 배치되어 있다.
연결판(14d)은 연결판(14b)의 제5구멍(216)이 누락된 형태를 갖추고 있다(제33도 참조). 그러므로, 연결판(14d)은 매니폴드(22)의 파일롯 밸브용 이송통로(190)와 기능판(12c)의 제4챔버(238)를 막거나 차단하는데 사용한다. 압축공기는 매니폴드(22)의 이송통로(188)를 통해서 이송밸브(40)와 제1 내지 제3솔레노이드 제어 파일롯 밸브(64,66,68)에 공급된다.
당연히 사용되지 않은 밸브기구(26)의 각각의 포오트(30,32,34,36)는 나사에 의해서 각각 막힌다.
더욱이, 압축공기가 매니폴드(22)의 진공차단통로(192)내로 흐를 때, 연결판(14e)은 기능판(12c)과 대향 관계로 배치된다.
연결판(14e)은 연결판(14b)의 제5 및 제6구멍(216,218)이 제거된 형상을 갖추고 있다(제35도 참조).
따라서, 연결판(14e)은 매니폴드(22)의 파일롯 밸브용 이송통로(190), 매니폴드(22)의 진공차단통로(192), 기능판(12c)의 제4 및 제5챔버(238,240)를 막거나 차단하는데 사용된다(제36도 참조).
질소는 진공기구(26)의 진공차단포오트(34)로부터 공급된다.
밸브기구(26)의 사용하지 않은 각각의 포오트(30,32,36)는 나사에 의해 각각 막힌다. 당연히 본 실시예는 진공펌프가 연결된 진공이송장치(24d)에도 적용될 수 있다.
상기한 바와 같이 진공이송장치(24a 내지 24d)에서, 기능판(12a 내지 12c) 및 연결판(14a 내지 14e)은 필요에 따라 조합하여 적절히 사용된다. 대안으로써, 연결판(14a 내지 14e)이 사용된다.
결과적으로 밸브유니트(10a)의 밸브기구(26)의 내부통로 또는 채널의 변경 또는 밸브기구(26)에 대한 파이프 배열의 변경은 허용된다.
당연히 이러한 공정은 서로다른 밸브유니트(10b,10c)에도 적용될 수 있다.
더욱이, 제1 및 제2중간면(27,28)은 밸브유니트(10)의 밸브기구(26)와 솔레노이드 제어 파일롯 밸브 유니트(29) 사이의 공간에 삽입되며 솔레노이드 제어 파일롯 밸브 유니트(29)와 밸브기구(26)의 채널 또는 통로의 변경을 이루도록 적절히 재배치되고, 이것에 의해 파일롯 밸브의 시스템에서 변경이 수행된다.
그러므로, 상부에 장착된 파일롯 밸브의 시스템은 제1 및 제2중간면(27,28)에 변경을 가하여 수정할 수 있으며, 이것에 의해 공기작동 및 통상 개방타입인 밸브 유니트(10b,10c)와 같은 밸브 유니트(10)에 각각 변경이 가능하다.
제37도는 본 발명의 상기 실시예와 다른 실시예를 도시하고 있다. 본 실시예에서, 밸브 유니트(10), 매니폴드 유니트(22), 이젝터 유니트(16), 압력 검출 유니트(18) 및 필터 유니트(20a,20b)가 일체로 형성되도록 아크릴 수지와 같은 투명 재질로 형성된다.
그 목적은 내부에서 발생하는 장애 등을 확인하기 위해서이다.
도면에서 알 수 있는 바와같이, 노즐과 디퓨저는 투명하게 만들어졌다.
제38도는 제37도에 도시된 실시예와 상기 다른 실시예들과 다른 본 발명의 실시예를 예시하고 있다. 본 실시예에서, 공간(300,300)은 화살표로 표시된 공기흐름통로내에서 흡음효과를 달성하도록 이젝터 몸체와 다른 구성요소사이에 즉 매니폴드 블록(14)과 압력검출유니트(16) 사이에 형성되어 있다. 부가하여 사용되는 포오트의 수는 감소될 수 있다.
본 발명에 따라서, 단일 진공이송장치(24)는 진공이송장치(24)의 약간 재배열된 구성요소 등에 의해서 이젝터 타입 또는 진공펌프 타입중의 하나로 변경될 수 있다. 또한, 진공이송장치(24)는 대응 매니폴드(22)를 구비함으써 복수의 형태로 연속으로 구비될 수 있다.
더욱이, 통로 또는 채널의 변경 또는 파이프 배열의 변경은 연결판을 다른 것으로 대체함으로써 밸브 유니트(10)의 밸브기구(26)의 변경없이 수행될 수 있다. 즉, 진공이송장치는 모든 기능용 유니트 또는 블록 형태로 구성요소들을 함께 결합함으로써 구성된다.
그러므로, 진공이송장치는 구성요소들의 최소한의 재배열로 이젝터 타입, 진공펌프타입, 그리고 매니폴드 대응 타입중의 어느 하나로 변경될 수 있다. 또한 통로 또는 채널의 변경과 밸브기구에 연결된 파이프 또는 라인의 배열의 변경은 밸브 유니트의 밸브기구와 근처의 다른 부재사이의 공간에 판을 삽입함으로써 밸브기구를 다른 것과 교체하지 않고 수행될 수 있다. 따라서, 사용자는 소량의 재료로 진공이송장치를 용이하게 교체할 수 있으며 사용될 목적에 따라 교체된 장치를 감소된 크기로 다양한 용도에 이용할 수 있다.
본 발명을 상세히 설명하였지만, 당해 분야에 숙련된 자는 여기에 개시된 발명의 범위 및 사상을 벗어나지 않고 많은 개변이 가능함을 알 것이다.

Claims (34)

  1. 가공물을 유지하고 소요위치로 이송하기 위하여 흡인패드를 포함하는 진공이송장치에 있어서, 진공을 상기 흡인패드로 공급하기 위한 진공유니트, 가압유체 또는 진공을 소요위치에 공급하고 차단하는 방향제어밸브, 방향제어밸브를 제어하는 파일롯 밸브, 및 상기 방향제어밸브와 상기 파일롯 밸브가 서로 연통하고 유체통로를 차단하기 위하여 상기 방향제어밸브와 상기 파일롯 밸브사이에 장착되어 유체통로를 선택적으로 변환시키는 판으로 이루어져 있으며 가압된 유체 및 상기 진공을 상기 장치의 소요위치에 공급하고 차단하는 밸브유니트, 진공이송장치내로 유입된 유체로부터 이물질을 제거하기 위한 필터로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 유니트와 진공펌프는 서로 선택적으로 결합될 수 있는 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 방향제어밸브는 밸브시트와 밸브몸체를 포함하고 있으며 상기 밸브몸체는, 그 양끝에 형성되어 제1 및 제2가요성링이 장착되는 원주홈, 및 하나의 경사측면을 가진 제3가요성링이 고정적으로 장착되는 중간부를 가지고 있으며, 대향첨단부를 가진 상기 밸브시트는 상기 밸브몸체가 상기 밸브시트에 대하여 차단될 때 상기 제3가요성링의 경사면에 맞닿는 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 판은 상기 밸브유니트와 상기 파일롯 밸브를 서로 기밀상태로 연결하고 상기 밸브유니트와 상기 부재사이에 형성된 복수의 통로를 선택적으로 차단하도록 다른판으로 교체되는 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 판은 교체가능한 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 판은 기밀상태로 상기 밸브유니트와 상기 파일롯 부재를 서로 연결하고 상기 밸브유니트와 상기 부재사이에 형성된 복수의 통로를 선택적으로 차단시키도록 다른판으로 교체되는 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 판은 상기 판내에 형성된 유체통로를 가진 상기 밸브유니트와 부재를 연결하는데 사용하고 상기 밸브유니트와 상기 부재가 기밀상태로 상기 밸브유니트와 상기 부재를 서로 연통시키고 상기 밸브유니트와 상기 부재사이에 형성된 복수의 유체통로를 선택적으로 차단하기 위하여 다른판으로 교체되는 제1판, 및 상기 밸브유니트내의 복수의 유체통로를 선택적으로 변환시킬 수 있도록 다른 판으로 교체되는 제2판으로 구성되어 있으며, 상기 제1 및 제2판은 상기 밸브유니트와 상기 부재사이에 형성된 복수의 유체통로를 선택적으로 차단하도록 조합하여 사용되는 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 밸브유니트는, 링형상 가요성 재질로 된 플로팅 타입 다이아프램이며 또한 밸브몸체와 밸브시트 양쪽에 형성된 오목부내에 삽입되는 시일링 부재를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 밸브시트 및 상기 밸브몸체내에 형성된 상기 오목부는 상기 플로팅 타입 다이아프램을 각각 대응하는 상기 오목부내에 비스듬히 끼우고 위치시키기 위하여 상기 밸브몸체가 이동되는 방향으로 각각 위치변위되는 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 밸브유니트는 밸브몸체와 밸브시트를 포함하는 포핏밸브를 가지고 있으며, 상기 밸브몸체는, 그 양단에 형성되고 제1 및 제2가요성링이 장착되는 원주홈을 가지고 있고, 하나의 경사진 측면을 가진 제3가요성링이 고정적으로 장착되는 중간부를 가지고 있으며, 대향첨단부를 가진 밸브시트를 상기 밸브몸체가 상기 밸브시트가 상기 밸브시트에 대하여 차단될 때 상기 제3가요성링의 상기 경사진면에 대하여 맞닿는 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 밸브시트는 합성수지로 일체적으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  12. 제1항에 있어서, 파일롯 밸브는 전원공급이 중단될 때 작동된 상태로 유지되는 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 파일롯 밸브는, 제1 및 제2솔레노이드를 포함하며, 먼저 상기 제1솔레노이드가 여자화될 때 진공을 공급하기 위하여 상기 방향제어밸브를 제어하도록 작동되고 그 다음에 상기 제2솔레노이드가 여자화될 때 진공의 차단하기 위하여 상기 방향제어밸브를 제어하도록 작동되는 솔레노이드 제어 파일롯 밸브로서 사용되는 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 진공유니트는 이젝터인 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  15. 제13항에 있어서, 진공유니트는 진공펌프인 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  16. 제1항에 있어서, 상기 진공유니트는 이젝터인 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  17. 제16항에 있어서, 복수의 진공유니트는 통상 매니폴드를 통하여 가압유체를 공급 및 배출하는 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  18. 제15항에 있어서, 매니폴드를 더 포함하고 있으며 상기 매니폴드의 배출통로를 통하여 상기 이젝터내로 배출유량이 흐르는 것을 방지하는 체크밸브는 상기 매니폴드의 배출통로와 상기 이젝터 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  19. 제16항에 있어서, 상기 밸브유니트내의 공기가 내측으로 흐르는 것을 방지하는 체크밸브는 상기 이젝터의 압축공기 흡입포오트와 연통하는 통로내에 배치되는 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  20. 제16항에 있어서, 상기 매니폴드내에서 일체로 형성된 파이프 공간을 통하여 상기 매니폴드와 연통하는 외부장치를 장착시키기 위하여 둘 또는 그 이상의 표면을 가진 매니폴드를 더 포함하고 있으며, 상기 매니폴드는, 개방상태에서 상기 둘 또는 그 이상의 표면을 형성하고 상기 외부장치와 각각 연통하는 유체통로를 포함하며, 패킹홈을 가지며 일체로 형성된 내부-나사 형상 보어에 장착되는 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  21. 제20항에 있어서, 상기 매니폴드는 합성수지로 일체적으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  22. 제16항에 있어서, 공간은 상기 이젝터의 디퓨저와 연통하는 방식으로 상기 이젝터와 상기 이젝터에 인접배치된 다른 부재사이에 형성되어 있고, 유체배출소음 감소용 유체배출통로로서 사용되는 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  23. 제22항에 있어서, 상기 이젝터에 인접배치된 상기 다른 부재는 진공검출용 검출유니트인 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  24. 제22항에 있어서, 상기 이젝터에 인접배치된 상기 다른 부재는 매니폴드인 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  25. 제1항에 있어서, 상기 유니트중의 어느 하나의 내측에 구비된 구성요소가 각각의 유체장치와 연통하는 것을 허용하는 유체통로는 시각적으로 인식가능한 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  26. 제25항에 있어서, 상기 구성요소의 몸체는 단일 유니트의 형상으로 투명한 합성수지로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  27. 제25항에 있어서, 상기 구성요소는 밸브인 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  28. 제25항에 있어서, 상기 구성요소는 소음기 요소인 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  29. 제25항에 있어서, 상기 구성요소는 필터요소인 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  30. 제25항에 있어서, 상기 구성요소는 체크밸브인 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  31. 제25항에 있어서, 상기 구성요소는 노즐인 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  32. 제31항에 있어서, 상기 노즐은 투명한 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  33. 제25항에 있어서, 상기 구성요소는 대퓨저인 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
  34. 제22항에 있어서, 상기 디퓨저는 투명한 재질로 형성되어 있고 상기 디퓨저내에 형성된 유체통로는 시각적으로 인식가능한 것을 특징으로 하는 진공이송장치.
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Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9224041D0 (en) * 1992-11-16 1993-01-06 Portsmouth Tech Consult Vaccum gripper devices
EP0704648B1 (en) * 1994-04-18 2002-12-11 Smc Kabushiki Kaisha Switching valve
EP0704647B1 (en) * 1994-04-18 2001-08-16 SMC Kabushiki Kaisha Combination of output piping connecting device and valve
JPH0893942A (ja) * 1994-09-21 1996-04-12 Smc Corp 弁組立体のシール機構
DE19732056A1 (de) * 1997-07-25 1999-01-28 Schuler Pressen Gmbh & Co Vakuumsystem für ein Transfersystem
JP3678950B2 (ja) * 1999-09-03 2005-08-03 Ｓｍｃ株式会社 真空発生用ユニット
KR20000076911A (ko) * 2000-03-18 2000-12-26 박수안 턱부를 개폐가능하게 한 풀 훼이스 헬멧
US6397885B1 (en) * 2001-02-06 2002-06-04 Norgren Automotive, Inc. Vacuum control apparatus for maintaining the operating condition of a vacuum responsive device during loss and resumption of power
US6397876B1 (en) * 2001-02-06 2002-06-04 Norgren Automotive, Inc. Method for maintaining the operating condition of a vacuum responsive device during loss and resumption of power
FR2830294B1 (fr) * 2001-09-28 2004-03-12 Parker Hannifin Rak Sa Element intercalaire d'isolation dans un ilot de modules de distribution
JP3737730B2 (ja) * 2001-10-02 2006-01-25 Ｓｍｃ株式会社 流体ユニットの製造方法
EP1464842B1 (de) * 2003-04-03 2005-10-12 Festo AG & Co Vakuumerzeugervorrichtung
ES2403078T3 (es) * 2010-12-01 2013-05-14 Festo Ag & Co. Kg Disposición de válvulas
GB2509182A (en) 2012-12-21 2014-06-25 Xerex Ab Vacuum ejector with multi-nozzle drive stage and booster
GB2509184A (en) 2012-12-21 2014-06-25 Xerex Ab Multi-stage vacuum ejector with moulded nozzle having integral valve elements
GB2509183A (en) 2012-12-21 2014-06-25 Xerex Ab Vacuum ejector with tripped diverging exit flow nozzle
US10753373B2 (en) 2012-12-21 2020-08-25 Piab Aktiebolag Vacuum ejector nozzle with elliptical diverging section
JP1525031S (ko) * 2014-08-07 2015-06-01
GB201418117D0 (en) 2014-10-13 2014-11-26 Xerex Ab Handling device for foodstuff
EP3254998B1 (en) * 2016-06-10 2021-11-24 Piab Ab Controlling a vacuum system comprising a vacuum generator
CN109707872B (zh) * 2019-02-28 2023-10-24 星宇电子(宁波)有限公司 一种真空发生器用真空破坏装置
CN109681477B (zh) * 2019-02-28 2023-09-15 星宇电子(宁波)有限公司 一种真空发生器用定时装置
KR102225162B1 (ko) * 2020-06-19 2021-03-09 (주)브이텍 진공 시스템용 에어-밸브 유닛
DE102022106225A1 (de) * 2022-03-17 2023-09-21 Festo Se & Co. Kg Ventilmodulsystem
DE102022106224A1 (de) * 2022-03-17 2023-09-21 Festo Se & Co. Kg Ventilmodulsystem

Family Cites Families (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE36469C (de) * haniel & lueg in Düsseldorf-Grafenberg Caps-Einrichtung
DE250116C (ko) *
DD36469A3 (ko) * 1962-08-30 1965-04-26
US3275165A (en) * 1963-01-29 1966-09-27 Mayer & Co Inc O Transfer mechanism for small elongate articles
AT250116B (de) * 1963-06-07 1966-10-25 Festo Maschf Stoll G Ventilanordnung
FR1538964A (fr) * 1965-11-19 1968-09-13 Dowty Hydraulic Units Ltd Soupape ou distributeur à tiroirs multiples à éléments permutables
FR1523213A (fr) * 1967-01-27 1968-05-03 Seram Dispositif perfectionné de gerbage pour appareils hydrauliques
US3513876A (en) * 1968-04-09 1970-05-26 Akro Tec Inc Valve manifold module and system
FR2031737A5 (ko) * 1969-02-05 1970-11-20 Outillage Air Comprime
US3589387A (en) * 1969-08-22 1971-06-29 Int Basic Economy Corp Integrated manifold circuits and method of assembly
BE790699A (fr) * 1971-11-04 1973-02-15 Hydraulique B G Perfectionnements aux dispositifs de telecommande electrohydraulique dedistributeurs a tiroir
US3933388A (en) * 1974-07-17 1976-01-20 D. W. Zimmerman Mfg. Inc. Interlock control system for a fluid-operated hoist
FR2371365A1 (fr) * 1976-09-13 1978-06-16 Conco Inc Appareil de manutention d'objets
GB1598332A (en) * 1977-11-29 1981-09-16 Gewerk Eisenhuette Westfalia Hydraulic control units and valve assemblies usable therewith
DE3012883A1 (de) * 1980-04-02 1981-10-15 Gewerkschaft Eisenhütte Westfalia, 4670 Lünen Baueigene steuereinheit fuer elektrohydraulische ausbausteuerungen
US4432701A (en) * 1981-04-07 1984-02-21 Yoji Ise Vacuum controlling device
DE3224937C2 (de) * 1982-07-03 1985-05-02 Festo-Maschinenfabrik Gottlieb Stoll, 7300 Esslingen Ventileinrichtung
US4495968A (en) * 1982-07-16 1985-01-29 Combined Fluid Products Company Pneumatic control system
JPS59160900U (ja) * 1983-04-15 1984-10-27 株式会社　妙徳 真空発生装置
JPS60175800A (ja) * 1984-02-21 1985-09-09 Miyoutoku:Kk エゼクタポンプ
JPS619599U (ja) * 1984-06-20 1986-01-21 株式会社 妙徳 エゼクタポンプ
JPS61104516A (ja) * 1984-10-29 1986-05-22 株式会社　妙徳 負圧スイツチ装置
US4723576A (en) * 1985-06-24 1988-02-09 Fluidcircuit Technologies, Inc. Fluid power control system
DE3525857A1 (de) * 1985-07-19 1987-02-05 Festo Kg Ventilanordnung
DE3634349C1 (de) * 1986-10-09 1987-05-21 Daimler Benz Ag Baugruppe aus mehreren unabhaengig voneinander elektromagnetisch schaltbaren Wegeventilen
JP2862535B2 (ja) * 1986-12-18 1999-03-03 エスエムシ−株式会社 真空発生用ユニツト
CH672944A5 (ko) * 1987-02-05 1990-01-15 Walter Ag
JPH0777457B2 (ja) * 1987-02-06 1995-08-16 日本電信電話株式会社 時間スイツチ
US4806070A (en) * 1987-04-13 1989-02-21 General Electric Company Article transfer apparatus
JPH0353040Y2 (ko) * 1987-05-30 1991-11-19
DE3724878A1 (de) * 1987-07-28 1989-02-09 Manfred Klein Hubsauger fuer eine transporteinrichtung
US4828306A (en) * 1988-03-07 1989-05-09 Blatt John A Vacuum cup control system
US4932630A (en) * 1989-04-24 1990-06-12 Teknocraft, Inc. Electropneumatic vacuum supply assembly
DE4001937A1 (de) * 1990-01-24 1991-07-25 Antriebs Steuerungstech Ges Handhabungsvorrichtung mit einem sauggreifer und verfahren zum handhaben und ueberpruefen von fluiddurchstroemten bauteilen
DE4111890C2 (de) * 1991-04-09 1995-04-20 Mannesmann Ag Ventilbatterie, insbesondere für gasförmige Medien

Also Published As

Publication number Publication date
GB9205811D0 (en) 1992-04-29
FR2678344A1 (fr) 1992-12-31
KR930000360A (ko) 1993-01-15
FR2678344B1 (fr) 1994-05-20
DE4209337C2 (de) 1995-07-20
DE4209337C3 (de) 2000-03-09
DE4209337A1 (de) 1993-01-14
GB2257412B (en) 1995-04-19
US5320497A (en) 1994-06-14
GB2257412A (en) 1993-01-13

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