JP3240036B2 - 真空供給装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、吸着用パッド等の作業
機器に連通して物品の保持あるいは搬送等を行うための
真空供給装置に関し、一層詳細には、弁機構部に設けら
れた供給弁のパイロット弁方式をノーマルオープン型と
ノーマルクローズ型との間で相互に簡単に変更すること
が可能な真空供給装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】真空供給装置においては、吸着用パッド
等の作業機器に負圧あるいは空気を供給する供給弁およ
び真空破壊弁等を備えたブロック体を画成し、この内部
にそれぞれのパイロット弁に対して連通する通路を形成
している。

【０００３】例えば、供給弁のパイロット弁方式をノー
マルクローズ型にする場合には、一方の圧力室には、流
体圧が供給されるようにパイロット弁に連通する通路を
形成し、他方の圧力室には、ばねが配設されている。こ
のように供給弁を構成することにより、一方の圧力室に
流体圧が供給されないときには、常に他方の圧力室に配
設されたばねの弾発力によって、供給弁が閉成される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このように構成されて
いる真空供給装置は、接続される作業機器の種類等、使
用目的の変更によって供給弁のパイロット弁方式が変更
になることがある。例えば、通路が内部に一体的に形成
されている場合、この内部通路を変更することはできな
いので、供給弁を内蔵しているブロック体ごと交換せざ
るを得ない。したがって、ユーザーは、供給弁のパイロ
ット弁方式の数だけ、ブロック体を備えなければならな
い。

【０００５】本発明は、この種の問題を解決するために
なされたものであって、供給弁のパイロット弁方式を変
更する際、なるべく少ない部品点数を交換するのみで簡
単にパイロット弁方式が変更できる真空供給装置を提供
することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、吸着用パッド等の作業機器に連通して
物品の保持あるいは搬送等を行うための真空供給装置で
あって、電磁パイロット弁部と、 前記電磁パイロット弁
部に連通する流体通路と、少なくとも圧力流体または負
圧を供給するためのポートとを有し、前記ポートから導
入された圧力流体または負圧の供給または遮断を行う供
給弁が設けられた弁機構部と、 前記電磁パイロット弁部
と前記弁機構部との間に装着され、前記電磁パイロット
弁部と前記弁機構部とを連通する流体通路を選択的に変
更または遮断する孔部が形成されることにより、前記弁
機構部に設けられた供給弁のパイロット弁方式をノーマ
ルオープン型とノーマルクローズ型との間で相互に変更
する流路切換用プレートと、前記供給弁のパイロット弁
方式をノーマルクローズ型とノーマルオープン型との間
で相互に変更する場合、前記供給弁を構成する弁体の一
端部または他端部に付設されて前記弁体をその軸線方向
に沿って押圧するばね部材と、を備えることを特徴とす
る。

【０００７】

【作用】供給弁が設けられた弁機構部と電磁パイロット
弁部との間に、前記弁機構部と電磁パイロット弁部とを
連通する流体通路を選択的に変更または遮断する孔部が
形成された流路切換用プレートを装着する。さらに、前
記供給弁のパイロット弁方式をノーマルクローズ型とノ
ーマルオープン型との間で相互に変更する場合、供給弁
を構成する弁体をその軸線方向に沿って押圧するばね部
材を前記弁体の一端部または他端部に付設することによ
り、前記弁機構部と電磁パイロット弁部とを連通する流
体通路の変更が行える。したがって、弁機構部に設けら
れた供給弁のパイロット弁方式が容易に変更できる。

【０００８】

【実施例】本発明に係る真空供給装置について、好適な
実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説
明する。

【０００９】先ず、図１に示すダブルソレノイド型バル
ブユニット１０ａ、接続プレート１４、エゼクタ１６と
圧力検出ユニット１８とを一体化したフィルタユニット
２０から構成されたエゼクタ仕様の真空供給装置２４ａ
について説明する。

【００１０】この真空供給装置２４ａは、図２および図
３に示すように構成される。すなわち、バルブユニット
１０ａは、矩形体からなる弁機構部２６を有し、その上
部に電磁パイロット弁部２９がねじによって装着され
る。

【００１１】前記弁機構部２６の一側面部には接続プレ
ート１４が当接する。弁機構部２６側には流体通路に対
応してパッキンが装着されており、平板な接続プレート
１４に当接することで気密性を保つ。前記弁機構部２６
の他側面部には、下部より供給ポート３０、パイロット
弁供給ポート３２、真空破壊ポート３４、パイロット弁
排気ポート３６が画成されている。前記パイロット弁供
給ポート３２と真空破壊ポート３４の近傍には螺孔が形
成され、この螺孔に実質的に流量調節弁を構成する弁体
３８を螺合している。

【００１２】前記弁機構部２６の内部には、軸方向が図
面と直交する方向に延在する２ポート２位置型の供給弁
４０、真空破壊弁４２を配設し、前記供給弁４０、真空
破壊弁４２、ポート３０、３２、３４、および３６、電
磁パイロット弁部２９および接続プレート１４を結ぶ通
路が画成されている。パイロット弁供給ポート３２に連
通する通路には、チェック弁４３ａ（図３参照）を備え
る。チェック弁４３ａは圧縮空気の供給が停止した場合
に、弁体への供給圧力保持時間を延長させるためのもの
である。また、チェック弁４３ｂはパイロット弁排気ポ
ート３６から背圧がかかるのを防止するためのものであ
る。

【００１３】供給弁４０の構造を図４を参照して説明す
る。供給弁４０は、弁体４４と弁座４６からなる。弁体
４４の両端部の周溝４８には、第１と第２の可撓性リン
グ体５０、５２が装着され、前記弁体４４の中間部に
は、傾斜面を有する第３の可撓性リング体５４が構成さ
れている。このように構成された供給弁４０は、電磁パ
イロット弁部２９から供給される流体が第１パイロット
室５６あるいは第２パイロット室５８に達して弁体４４
を変位させ、空間６０、６２を遮断、もしくは連通す
る。真空破壊弁４２も略同形状に構成されている。

【００１４】前記弁機構部２６の上部に第１および第２
インタフェース（流路切換用プレート）２７、２８が載
置されている。該インタフェース２７、２８は、内部に
供給弁４０、真空破壊弁４２と後述する第１乃至第３電
磁パイロット弁６４、６６、６８（図１参照）を連通す
る通路（孔部）を形成している。

【００１５】該インタフェース２７、２８を挟んで弁機
構部２６の上部に設置される電磁パイロット弁部２９
は、前記弁機構部２６を構成する供給弁４０、および真
空破壊弁４２のＯＮ／ＯＦＦ動作を行う５ポート２位置
型からなる第１電磁パイロット弁６４、第２電磁パイロ
ット弁６６、第３電磁パイロット弁６８を有する。

【００１６】第１電磁パイロット弁６４は、図５に示す
ように、基本的に電磁弁７０ａ、着座部７２ａ、パイロ
ット弁本体７４ａ、エンドプレート７６ａから構成され
ている。着座部７２ａには、第１ポート７８ａ乃至第５
ポート８６ａが設けられ、パイロット弁排気ポート３
６、供給弁４０の第２パイロット室５８、パイロット弁
供給ポート３２、供給弁４０の第１パイロット室５６、
パイロット弁排気ポート３６に各々連通している。

【００１７】第２電磁パイロット弁６６は、図６に示す
ように、基本的に第１電磁パイロット弁６４と略同様に
構成されているが、パイロット弁本体７４ｂは、固定さ
れているので第２ポート８０ｂと第４ポート８４ｂは閉
塞される。また、パイロット弁本体７４ｂの内部に貫通
孔８８を形成している。

【００１８】第１電磁パイロット弁６４と第２電磁パイ
ロット弁６６のエンドプレート７６に設けられているそ
れぞれのパイロット室９０ａ、９０ｂは、孔部９２によ
って連通している。

【００１９】第３電磁パイロット弁６８は、図７に示す
ように、基本的に第１電磁パイロット弁６４と略同様の
構成をしているが、パイロット弁本体７４ｃとエンドプ
レート７６ｃが異っているのと、前記エンドプレート７
６ｃのパイロット室９０ｃと着座部の通路１３０が連通
している点が異なっている。

【００２０】前記エゼクタ１６は矩形体からなり、図２
に示すように、その内部に所定の口径のノズル部１０２
とこのノズル部１０２に連接されるディフューザ部１０
４を有し、前記ディフューザ部１０４は真空発生部１０
６に連通している。前記ディフューザ部１０４は臭いを
除去する活性炭を有するフィルタでサイレンサエレメン
トを構成したサイレンサ１０８を経て外部に連通してい
る。

【００２１】前記エゼクタ１６には、負圧を検出し、信
号を発して作業機器を制御する圧力検出ユニット１８お
よび真空ポートユニット２１が装着されている。前記圧
力検出ユニット１８は箱型形状を呈し、その内部に真空
スイッチ１１０が設けられている。この真空スイッチ１
１０は、好ましくは、抵抗型あるいは容量型半導体圧力
センサで構成され、真空発生部１０６で発生する負圧を
後述する真空ポート９６に連通する通路１１２を介して
検出し、作業機器を制御するための信号を発する。

【００２２】また、圧力検出ユニット１８の内部にある
基板、例えば、フレキシブル基板には、マイクロコンピ
ュータ、もしくはワンチップマイコンを用い、電子式圧
力センサの出力信号を得て、圧力設定、圧力調整、警報
発生・停止、ＯＮ／ＯＦＦ動作、ヒシテリシス除去、モ
ード切換、真空発生用ユニットの内部状態モニタの故障
予知機能等を備え、真空発生用ユニット全体の作動状況
を含めて制御することが可能である。予め自動的にプロ
グラムに従ってプレ動作させＯＮ／ＯＦＦ設定を自動設
定し、また作動後は他のセンサで検出される基準圧力の
変動をフィードバックし、設定値を自動的に変更させて
もよい。

【００２３】さらに、ファジイ理論を用いて吸着状態の
予測制御も可能である。また、上記機能に関して図示し
ない液晶（カラーＬＣＤ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）
等のデジタル表示装置とともに用いることもできる。前
記圧力検出ユニット１８と真空ポートユニット２１との
境界面にはフィルタ１１４が介装されている。

【００２４】真空ポートユニット２１は、矩形体形状
で、エゼクタ１６側の一側面部から可撓性部材で形成さ
れたチェック弁１１６、フィルタユニット２０へ連通す
る通路１１８と他側面部に設けられた真空ポート９６と
を有し、前記真空ポート９６から圧力検出ユニット１８
へ指向する通路１１２が画成されている。なお、前記真
空破壊弁４２と真空ポート９６との間には、両者を連通
させる通路１１９が画成されている。

【００２５】フィルタユニット２０は、圧力検出ユニッ
ト１８に隣接し、この圧力検出ユニット１８と真空ポー
トユニット２１に対して固定される。フィルタユニット
２０は透明な蓋部材１２０によってフィルタ本体１２２
を閉塞している。フィルタユニット２０の内部には、フ
ィルタ本体１２２が配設されるとともに、このフィルタ
ユニット２０は先端部にねじ溝を形成したスタッド１２
４を有する摘み１２６で真空ポートユニット２１に固着
される。したがって、前記摘み１２６を螺回することに
より前記フィルタ本体１２２を交換することが可能であ
る。

【００２６】また、前記フィルタ本体１２２およびフィ
ルタ１１４は、真空ポート９６から流入する油分を取り
除く吸油エレメントや流入する水分を取り除く疎水性エ
レメント、フッ素樹脂メンブラン、中空糸等の水分分離
機能を有するエレメントを用いたり、また、これらを併
用することが可能である。これにより、弁、真空スイッ
チ、サイレンサ等を水分から保護できる。また、ドレン
手段を設けてその水分を排出することも可能である。

【００２７】以上のように構成される真空供給装置２４
ａについて、次にその動作を説明する。

【００２８】最初に図示しないコンプレッサ等の圧縮空
気供給源が付勢され、圧縮空気はバルブユニット１０ａ
のパイロット弁供給ポート３２を通り、弁機構部２６の
内部の通路を経て第１電磁パイロット弁６４の第３ポー
ト８２ａに達する。電磁弁７０ａを付勢することによ
り、圧縮空気は第３ポート８２ａから電磁弁７０ａを経
て、パイロット室１５２ａに達してパイロット弁本体７
４ａを図面上右向きに変位させる（図５参照）。この
際、エンドプレート７６ａのパイロット室９０ａの空気
は、孔部９２を介して第２電磁パイロット弁６６のパイ
ロット室９０ｂに達する。さらに前記空気は、第５ポー
ト８６ｂに到達し、弁機構部２６の内部の通路を経てパ
イロット弁排気ポート３６に排出される（図６参照）。

【００２９】以上のようにして第１電磁パイロット弁６
４のパイロット弁本体７４ａが図面上右向きに変位し、
第３ポート８２ａは、第２ポート８０ａと連通し、第４
ポート８４ａは、第５ポート８６ａと連通する（図５参
照）。したがって、第３ポート８２ａに供給された圧力
流体は、第２ポート８０ａから通路１６０を介して第２
パイロット室５８に達して供給弁４０を図面上左方向に
変位させる（図８参照）。すなわち、弁体４４が左方向
に変位して第３の可撓性リング体５４を弁座４６から離
し、空間６０と空間６２を連通して前記供給弁４０を開
成する（図４参照）。その際、第１パイロット室５６の
空気は、通路１２８を介して第４ポート８４ａに達し、
第５ポート８６ａからパイロット弁排気ポート３６に排
出される（図５および図８参照）。

【００３０】このようにして供給弁４０が開成されるた
め、バルブユニット１０ａの供給ポート３０とエゼクタ
１６が連通して前記エゼクタ１６に圧縮空気が供給され
る（図３参照）。こうしてエゼクタ１６で負圧が発生
し、この負圧により可撓性部材で形成されたチェック弁
１１６が開き、吸着用パッドの空気を吸引してワークを
吸着する。すなわち、前記負圧によって、真空ポート９
６側の空気は、塵芥を除去するフィルタ本体１２２、通
路１１８を経てチェック弁１１６を開成し、真空発生部
１０６を介して、ディフューザ部１０４に吸引される。

【００３１】その際、真空ポート９６から圧力検出ユニ
ット１８に連通している通路１１２を介して、圧力検出
ユニット１８の真空スイッチ１１０は真空ポート９６に
おける負圧を測定し、その出力信号で作業機器を制御す
る。

【００３２】一方、ディフューザ部１０４に真空ポート
９６より吸引された空気、およびノズル部１０２より噴
出された圧縮空気は、前記ディフューザ部１０４からサ
イレンサ１０８を経て外部に排出される（図２および図
３参照）。

【００３３】次に、搬送後に吸着用パッドからワークを
離脱する場合には、以下に述べるように行う。すなわ
ち、第１電磁パイロット弁６４の電磁弁７０ａを滅勢
し、第２電磁パイロット弁６６の電磁弁７０ｂと第３電
磁パイロット弁６８の電磁弁７０ｃを付勢する。第２電
磁パイロット弁６６の電磁弁７０ｂを付勢すると、電磁
弁７０ａを付勢した場合と同様に、着座部７２ｂの第３
ポート８２ｂから電磁弁７０ｂに達した圧縮空気は、パ
イロット弁本体７４ｂを経てエンドプレート７６のパイ
ロット室９０ｂから孔部９２を介して第１電磁パイロッ
ト弁６４のエンドプレート７６のパイロット室９０ａに
到達し、第１電磁パイロット弁６４のパイロット弁本体
７４ａを図面上左方向に変位させる（図５参照）。この
変位に伴い第１電磁パイロット弁６４のパイロット室１
５２ａの空気（図５参照）は、第５ポート８６ａからバ
ルブユニット１０ａのパイロット弁排気ポート３６に排
気される。

【００３４】以上のようにして第１電磁パイロット弁６
４のパイロット弁本体７４ａが図面上左向きに変位し、
第３ポート８２ａは第４ポート８４ａと連通し、第２ポ
ート８０ａは第１ポート７８ａと連通する（図５参
照）。したがって、第３ポート８２ａに供給された圧力
流体は、第４ポート８４ａから通路１２８を介して第１
パイロット室５６に達して供給弁４０を閉成する（図８
参照）。その際、第２パイロット室５８の空気は、通路
１６０を介して第２ポート８０ａに達し、第１ポート７
８ａからバルブユニット１０ａのパイロット弁排気ポー
ト３６へ達して排出される。したがって、エゼクタ１６
に圧縮空気が供給されず、負圧が吸着用パッドに供給さ
れることはない（図３参照）。

【００３５】第３電磁パイロット弁６８の電磁弁７０ｃ
を付勢すると、第１電磁弁７０ａと同様に、着座部７２
ｃの第３ポート８２ｃから電磁弁７０ｃに達した圧縮空
気はパイロット室１５２ｃに到達する（図６参照）。一
方、第３ポート８２ｃから供給される圧縮空気は、同時
にエンドプレート７６ｃのパイロット室９０ｃに達す
る。上記のようにしてパイロット弁本体７４ｃの両端に
達した圧縮空気は、前記パイロット弁本体７４ｃの両端
部の受圧面積の差異（パイロット室１５２側＞パイロッ
ト室９０ｃ側）により押圧力に差が生じ、第３電磁パイ
ロット弁６８のパイロット弁本体７４ｃを図面上右向き
に変位させる（図７参照）。

【００３６】以上のようにして第３電磁パイロット弁６
８のパイロット弁本体７４ｃが図面上右向きに変位し、
第３ポート８２ｃは第２ポート８０ｃと連通し、第４ポ
ート８４ｃは第５ポート８６ｃと連通する。したがっ
て、第３ポート８２ｃに供給された圧力流体は、第２ポ
ート８０ｃから通路１６４を介して第２パイロット室１
６６に達して真空破壊弁４２を開成する（図８参照）。
その際、第１パイロット室１６８の圧力流体は、通路１
７０を介して第４ポート８４ｃに達し、第５ポート８６
ｃからパイロット弁排気ポート３６へ達して排出され
る。したがって、圧縮空気は、バルブユニット１０ａの
真空破壊ポート３４から真空破壊弁４２および通路１１
９を介して真空ポート９６に達し、吸着用パッドの負圧
状態を素早く解除してワークを離脱させる（図３参
照）。

【００３７】吸着用パッドがワークを離脱した後、再び
ワークを吸着するまでの間は、第３電磁パイロット弁６
８の電磁弁７０ｃを滅勢する。電磁弁７０ａと同様に、
電磁弁７０ｃが作動するため、第３ポート８２ｃからパ
イロット室１５２に供給される圧縮空気はなく、着座部
７２ｃの第３ポート８２ｃから通路１３０を経てエンド
プレート７６ｃのパイロット室９０ｃに達する圧縮空気
により、パイロット弁本体７４ｃは図面上左向きに変位
する（図７参照）。

【００３８】以上のようにして第３電磁パイロット弁６
８のパイロット弁本体７４ｃが図面上左向きに変位し、
第３ポート８２ｃは第４ポート８４ｃと連通し、第２ポ
ート８０ｃは第１ポート７８ｃと連通する。したがっ
て、第３ポート８２ｃに供給された圧力流体は、第４ポ
ート８４ｃから通路１７０を介して真空破壊弁４２の第
１パイロット室１６８に達し、弁体を右方向に変位させ
て、真空破壊弁４２を閉成する（図８参照）。その際、
第２パイロット室１６６の空気は、通路１６４を介して
第２ポート８０ｃに達し、第１ポート７８ｃからパイロ
ット弁排気ポート３６へ達して排出される。したがっ
て、真空破壊弁４２が閉成しているため、圧力流体がバ
ルブユニット１０ａの真空破壊ポート３４から真空ポー
ト９６に達することはない（図３参照）。これにより、
例えば、吸着用パッドがワークを離脱した後に再びワー
クを吸着するまでの間に圧縮空気を無駄に使うことを阻
止できる。

【００３９】また、第１電磁パイロット弁６４と第２電
磁パイロット弁６６をエンドプレート７６ａで連通して
ダブルソレノイド型としているため、停電時にもパイロ
ット弁本体７４ａは切り換わることなく、例えば、ワー
クを吸着搬送中に停電しても吸着状態が解除されること
なく、吸着用パッドからワークが落下するおそれはな
い。

【００４０】次に第２実施例として、真空ポンプ仕様の
真空供給装置２４ｂについて説明する。なお、第１実施
例と同一の構成要素には、同一の参照符号を付し、その
詳細な説明を省略する。

【００４１】エゼクタ仕様の真空供給装置２４ａは、容
易に真空ポンプ仕様の真空供給装置２４ｂに組み換え可
能である。すなわち、真空供給装置２４ａからエゼクタ
１６を取り除き、バルブユニット１０ａの供給ポート３
０に真空ポンプを接続することにより真空ポンプ仕様の
真空供給装置２４ｂとなる（図９および図１０参照）。

【００４２】真空供給装置２４ｂも真空供給装置２４ａ
と同様に、パイロット弁供給ポート３２から供給された
圧力流体が第１電磁パイロット弁６４を経て、供給弁４
０を開成する。したがって、真空ポンプと真空ポート９
６が連通し、負圧が吸着用パッド等の作業機器に供給さ
れ、ワークを吸着する。吸入される空気は、フィルタ本
体１２２、通路１１８、チェック弁１１６を経て、供給
ポート３０から真空ポンプに達する（図１０参照）。他
の動作は、エゼクタ仕様の真空供給装置２４ａと全く同
様である。

【００４３】このように構成される真空供給装置２４
ａ、２４ｂは、供給弁４０のパイロット弁方式がノーマ
ルクローズ型に変更されることがある。

【００４４】この場合には、先ず、真空供給装置２４ａ
の弁機構部２６の上部に載置されてる３個の電磁パイロ
ット弁６４、６６、６８に換えて第３電磁パイロット弁
６８と同型の第１、第２電磁パイロット弁２００、２０
２が載置される（図１１参照）。また、供給弁４０を収
納しているバルブユニット１０ａの蓋２０４を取り外し
て、供給弁４０の第１パイロット室５６にばね２０６ａ
（図４破線部参照）を挿入する。さらに、図１に示す第
１、第２インタフェース２７、２８を新たな第３インタ
フェース３１および第４インタフェース３３に組み換え
て、第１パイロット室５６に連通する通路１２８に第１
電磁パイロット弁２００から空気が流入しないように遮
断する（図８、図１１および図１２参照）。

【００４５】このように構成された真空供給装置２４ｃ
は、図８および図１２に示すように、第１電磁パイロッ
ト弁２００を付勢することにより、真空供給装置２４ａ
と同様に、第２パイロット室５８に圧縮空気が達し、供
給弁４０が開成する。一方、第１電磁パイロット弁２０
０を滅勢するとばね２０６ａの弾発力により弁体４４が
図面上右方向に変位して供給弁４０を閉成させる（図４
参照）。

【００４６】他の動作は、真空供給装置２４ａと同一で
ある。

【００４７】さらに供給弁４０のパイロット弁方式をノ
ーマルクローズ型からノーマルオープン型に変更する場
合には、バルブユニット１０ａの蓋２０４を取り外して
第１パイロット室５６のばね２０６ａを第２パイロット
室５８に移す。なお、図４における参照符号２０６ｂ
は、第２パイロット室５８に移し返されたばねを示す。
また、第１、第２インタフェース２７、２８を組み換え
て、第２パイロット室５８に連通する通路１２８に第１
電磁パイロット弁２００から空気が流入しないように遮
断する（図８および図１３参照）。

【００４８】このように構成された真空供給装置２４ｄ
は、図１３に示すように、第１電磁パイロット弁２００
を付勢しても供給弁４０に圧縮空気が達することはな
い。しかしながら、ばね２０６ａの弾発力により、供給
弁４０が開成する。一方、第１電磁パイロット弁２００
を滅勢すると第１電磁パイロット弁２００から圧縮空気
が供給弁４０の第１パイロット室５６に達し、弁体４４
を図面上右方向に変位させて供給弁４０を閉成させる。

【００４９】他の動作は、真空供給装置２４ａと同一で
ある。

【００５０】このように、真空供給装置２４ａ乃至２４
ｄでは、第１、第２インタフェース２７、２８、電磁パ
イロット弁６４、６６、６８、２００、２０２を適宜、
交換することにより、また、ばね２０６ａ、２０６ｂを
供給弁４０の第１、第２パイロット室５６、５８に挿入
することにより、簡単に少ない部品交換でパイロット弁
方式をノーマルクローズ型、ノーマルオープン型に相互
に変更できる。

【００５１】

【発明の効果】本発明に係る真空供給装置によれば、以
下の効果が得られる。

【００５２】すなわち、供給弁が設けられた弁機構部と
電磁パイロット弁部との間に流路切換用プレートを装着
し、さらに供給弁のパイロット弁方式に応じてばね部材
を弁体の一端部あるいは他端部に適宜付設することによ
り、弁機構部と電磁パイロット弁部とを連通する流体通
路の変更が行える。したがって、供給弁のパイロット弁
方式をその使用目的に合わせて、ノーマルオープン型と
ノーマルクローズ型との間で相互に変更することができ
る。このように、少ない部品交換で簡単に供給弁のパイ
ロット弁方式を変更することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る真空供給装置の斜視図である。

【図２】本発明に係る真空供給装置の断面図である。

【図３】本発明に係る真空供給装置の流体回路図であ
る。

【図４】本発明に係る真空供給装置の供給弁の断面図で
ある。

【図５】本発明に係る真空供給装置の第１電磁パイロッ
ト弁の断面図である。

【図６】本発明に係る真空供給装置の第２電磁パイロッ
ト弁の断面図である。

【図７】本発明に係る真空供給装置の第３電磁パイロッ
ト弁の断面図である。

【図８】本発明に係る真空供給装置のバルブユニットの
一部断面図である。

【図９】本発明に係る真空ポンプ仕様の真空供給装置の
断面図である。

【図１０】本発明に係る真空ポンプ仕様の真空供給装置
の流体回路図である。

【図１１】本発明に係る真空供給装置の斜視図である。

【図１２】本発明に係る真空供給装置の流体回路図であ
る。

【図１３】本発明に係る真空供給装置の流体回路図であ
る。

【符号の説明】

１０…バルブユニット １６…エゼクタ １８…圧力検出ユニット ２０…フィルタ
ユニット ２４…真空供給装置 ２６…弁機構部 ２７…第１インタフェース ２８…第２イン
タフェース ２９…電磁パイロット弁部 ３１…第３イン
タフェース ３３…第４インタフェース

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−154900（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−275860（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−24477（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−40280（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−147379（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−13705（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭64−38304（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B25J 15/06 F15B 11/00 F16K 27/00 F16K 51/00 F04F 5/00

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】吸着用パッド等の作業機器に連通して物品
   の保持あるいは搬送等を行うための真空供給装置であっ
   て、電磁パイロット弁部と、 前記電磁パイロット弁部に連通する流体通路と、少なく
   とも圧力流体または負圧を供給するためのポートとを有
   し、前記ポートから導入された圧力流体または負圧の供
   給または遮断を行う供給弁が設けられた弁機構部と、 前記電磁パイロット弁部と前記弁機構部 との間に装着さ
   れ、前記電磁パイロット弁部と前記弁機構部とを連通す
   る流体通路を選択的に変更または遮断する孔部が形成さ
   れることにより、前記弁機構部に設けられた供給弁のパ
   イロット弁方式をノーマルオープン型とノーマルクロー
   ズ型との間で相互に変更する流路切換用プレートと、 前記供給弁のパイロット弁方式をノーマルクローズ型と
   ノーマルオープン型との間で相互に変更する場合、前記
   供給弁を構成する弁体の一端部または他端部に付設され
   て前記弁体をその軸線方向に沿って押圧するばね部材
   と、 を備えることを特徴とする真空供給装置。