JPH04201084A - 真空発生用ユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、吸着用パッド等の作業機器に負圧を供給する
真空発生用ユニットに関する。

［従来の技術］ 従来より、吸着用パッドや真空パックの動力源として真
空発生用ユニットが利用されている。

この種の真空発生用ユニットは、−船釣に負圧を発生さ
せるエゼクタと、吸着用パッド等の作業機器に連通して
いる真空ポートと、前記エゼクタや真空ポートに圧縮空
気を送給し、あるいは遮断する弁機構部と、前記作業機
器から吸入される空気の汚れを除去するフィルタ部と、
前記作業機器にがかる負圧を測定し作業機器を制御する
検出部を備える。この場合、前記検出部は真空ポートに
対してフィルタ部の下流側に設けられるのが一般的であ
る。

以上のように構成された従来技術に係る真空弁主用ユニ
ットの動作について説明する。

作業機器から空気を吸引する場合、まず、圧縮空気を弁
機構部を介してエゼクタに送給し、負圧を生じさせて行
う。作業機器から吸引される空気は、真空ポートより真
空発生用ユニットに吸入され、フィルタ部で吸入空気の
塵芥、油等の汚れが除去され、前記真空発生用ユニット
内部の通路を通り、排圧される。

その際、検出部において負圧を測定し、作業機器にがか
る負圧を制御しているが、前記検出部の測定機器は吸入
空気の塵芥、油等の汚れにより前記測定機器の性能低下
および誤作動を生ずるおそれがある。そのため、真空ポ
ートより真空発生用ユニットに吸入された空気は、フィ
ルタ部を通過して塵芥、油等の汚れを低減された後、検
出部において負圧が測定されている。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上記の従来の技術では、長期間にわたる
使用により作業機器からの吸入空気の塵芥、油等の汚れ
のため、フィルタ部に目詰まりを生じる。そのため、真
空ポートに対しフィルタ部の上流側と下流側との間で圧
力差を生じ、検出部で測定される圧力の値と作業機器に
実際に印加される圧力の値に差を生じる。この結果、検
出部からのフィードバック信号を得て正確に駆動しよう
とする作業機器の制御が精緻に行われなくなり、吸着用
パッドから被搬送物等の落下、位置ずれ等の問題が惹起
する不都合がある。

本発明は、この種の問題を解決するものであり、検出部
が真空ポートに実際に生じている負圧の値を正確に検出
することが可能な真空発生用ユニットを提供することを
目的とする。

［課題を解決するための手段］ 上記の課題を解決するために、本発明は一端が真空発生
源に連通し、他端が作業機器に連通ずる真空ポートを有
するボディと、 前記ボディ内にあって、前記真空発生源と前記真空ポー
トを連通ずる通路中に設けられたフィルタ部と、 前記真空ポート内の圧力を測定するための検出部とを備
え、 さらに、前記真空ポートと前記検出部を直接連通する通
路を設けることを特徴とする。

［作用Ｊ 上記の本発明に係る真空発生用ユニットでは、真空ポー
トと検出部を直接連通する通路を設けることにより、フ
ィルタ部を介さずに前記検出部で圧力を測定できる。そ
のため、前記フィルタ部の目詰まり等による圧力差が測
定に影響するのを阻止し、前記検出部を介して真空ポー
トに発生する負圧を正確に測定できる。

［実施例］ 本発明に係る真空発生用ユニットについて実施例を挙げ
、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。

第１図および第２図において、参照符号１０は、本実施
例に係る真空発生用ユニットを示す。

真空発生用ユニット１０は、基本的に電磁弁部１２、弁
機構部１４、マニホールド１６、エゼクタ１８、フィル
タ部２０．検出部２２、真空ポート部２４から構成され
る。

矩形体からなる弁機構部１４は、上部に電磁弁部１２を
ねじによって装着し、前記弁機構部１４の一側面部には
マニホールド１６の一側面部が当接するように配設され
ている。前記弁機構部１４の他側面部には、下部より空
気供給ポート２６、パイロット弁供給ポート２８、真空
破壊ポート３０、パイロット弁排気ポート３２が形成さ
れている。前記パイロット弁供給ポート２８と真空破壊
ポート３０の近傍には螺孔が形成され、この螺孔に実質
的に流量調節弁を構成する弁体３４を螺合する。前記弁
機構部１４の内部には、軸方向が図面と直交する方向に
延在する２ポ一ト２位置型の空気供給弁３６、真空破壊
弁３８を配設し、前記弁３６．３８、ポート２６乃至３
２、電磁弁４０乃至４４、マニホールド１６を結ぶ通路
が画成されている。

また、パイロット弁供給ポート２８と後述するマニホー
ルド１６のパイロット弁供給通路４８がら空気供給弁３
６および真空破壊弁３８に連通ずるにはチエツク弁４５
．４７が設けられている（第４図参照）。前記チエツク
弁４５．４７は、コンプレッサ、配管等の事故により供
給されなくなった場合に供給圧力を保持して、パイロッ
ト弁として機能する電磁弁部１２の誤作動を防止する。

すなわち、ワークの落下等を阻止し、安全性が増大させ
るためである。

さらに、空気供給弁３６から後述するマニホールド１６
の通路５４に連通する弁機構部１４の内部にチエツク弁
４９を設けている。このチエツク弁４９は、エゼクタ１
８が作動していない時に、排気がマニホールド１６のパ
イロット弁排気通路５２からエゼクタ１８を介して空気
供給弁３６へ逆流しないようにするためである（第４図
参照）。

前記弁機構部１４邪の上部に設置される電磁弁部１２は
、前記弁機構９１４部を構成する空気供給弁３６、およ
び真空破壊弁３８のオン／オフ動作を行う５ポ一ト２位
置弁からなる第１電磁弁４０、第２電磁弁４２、第３電
磁弁４４を有する。

矩形体からなるマニホールド１６は、−側面を弁機構部
１４に当接し、他側面をエゼクタ１８に当接している。

前記マニホールド１６の内部には、下部から図面と直交
する方向に空気供給通路４６、パイロット弁供給通路４
８、真空破壊通路５０、パイロット弁排気通路５２が形
成され、一方、図面の紙面の延在方向に沿って空気供給
弁３６とエゼクタ１８を連通する通路５４、真空破壊弁
３８と後述する真空ポート７０を連通ずる通路５Ｇを有
する。

前記マニホールド１６の側面部は、前記エゼクタ１８の
一側面部が当接するように配設されている。前記エゼク
タ１８は矩形体からなり、その内部に所定の口径のノズ
ル部５８とこのノズル部５８に連接されるデイフユーザ
部６０を有し、前記デイフユーザ部６０は真空発生部６
１に連通している。

前記エゼクタ１８の外部壁面にはマニホールド１６のパ
イロット弁排気通路５２に連通する開口部６２を形成し
、一方、前記デイフユーザ部６０は、−刃側が開口した
箱型形状であり、この開口部は複数の等間隔に形成され
たスリット６３を有する蓋部材６４で閉塞され、前記開
口部６２と蓋部材６４の間にはサイレンサ６６が装着さ
れている。

前記エゼクタ１８の他側面部には、検出部２２および真
空ボート部２４が装着されている。

前記検出部２２は箱型形状を呈し、その内部に真空スイ
ッチ６８が設けられている。この真空スイッチ６８は、
好ましくは半導体圧力センサで構成され、真空発生部６
１で発生する負圧を後述する真空ポート７０に連通する
通路７２を介して検出し、作業機器を制御するための信
号を発する。また、検出部２２の内部にある基板、例え
ば、フレキシブル基板には、マイクロコンピュータ、も
しくはワンチップマイコンを用い、電子式圧力センサの
出力信号を得て、圧力設定、調整、警報、オン／オフ、
ヒシテリシス、モード切換、真空発生用ユニットの内部
状態モニターの故障予知機能等を備え、真空発生用ユニ
ット全体の作動状況を含めて制御することが可能である
。さらに、ファジィ理論を用いて吸着状態の予測制御も
可能である。また、上記機能に関して図示しない液晶（
ＬＣＤ）　、発光ダイオード（ＬＥＤ）等のデジタル表
示装置を有する。

前記検出部２２と真空ボート部２４との境界面にはフィ
ルタ７４が装着されている。

真空ボート部２４は、矩形体形状で、エゼクタ１８側の
一側面部から可撓性部材で形成されたチエツク弁７６、
フィルタ部２０へ連通する通路７８と他側面部に設けら
れた真空ポート７０とを有し、前記真空ポート７０から
検出部２２へ指向する通路７２を形成している。前記通
路７２の検出部２２との境界面に可撓性部材からなるチ
エツク弁７９を装着している。

フィルタ部２０は、検出部２２に隣接して、この検出部
２２と真空ボート部２４に対して固定される。フィルタ
部２０の内部には、フィル夕本体８０が配設されるとと
もに、このフィルタ部２０は先端部にねじ溝を形成した
スタッド８２を有する摘み８４で真空ポー）Ｂ２４に固
着している。したがって、前記摘み８４を螺回すること
により前記フィルタ本体８０を交換することが可能であ
る。

次に、上記のように構成される真空発生装置の動作につ
いて、第２図乃至第４図を参照して説明する。但し、こ
の動作の説明は、マニホールド１６を用いて真空発生用
ユニット１０を複数個連設し、弁機構部１４のポートを
ねじによって閉塞した場合について行う。したがって、
圧縮空気の供給、パイロット弁を駆動するための供給圧
力、真空破壊用圧力、パイロット弁、およびエゼクタ１
８からの排気については、この動作説明ではマニホール
ド１６を介してのみ行う。

そこで、真空ポート７０に連通している作業機器、例え
ば、吸着用パッドに負圧をかける場合について説明する
。

最初に、図示しないコンプレッサ等の圧縮空気供給源が
付勢され、圧縮空気はマニホールド１６のパイロット弁
供給通路４８を通り、第１電磁弁４０が付勢されること
により、前記圧縮空気が空気供給弁３６を開成する。そ
のため、マニホールド１６の空気供給通路４６とエゼク
タ１８が連通して前記エゼクタ１８に圧縮空気が供給さ
れる。こうしてエゼクタ１８で負圧が発生し、吸着用パ
ッドの空気を吸引する。この負圧により、可撓性部材で
形成されたチエ・ツク弁７６が開く。すなわち、前記負
圧によって、真空ポー）７０側の空気は、塵芥を除去す
るフィルタ部２０、通路７８、真空発生部６１を介して
、デイフユーザ部６０に吸引される。

その際、真空ポート７０から検出部２２に連通している
通路７２では負圧によりチエ・ツク弁７９が開き（第３
図す参照）、検出部２２の真空スイッチ６８は真空ポー
ト７０における負圧を測定し、その出力信号で作業機器
を制御する。

一方、デイフユーザ９６０に真空ポー）７０より吸引さ
れた空気、およびノズル部５８より噴出された圧縮空気
は、前記デイフユーザ部６０から蓋部材６４のスリット
６３を経た後、サイレンサ６６、開口部６２を経てマニ
ホールド１６のパイロット弁排気通路５２より排出され
る。

なお、作業機器にかかる負圧を解除する場合、第２電磁
弁４２が付勢され空気供給弁３６を閉塞し、通路５４お
よびエゼクタ１８に圧縮空気が流入していない状態で、
最初に図示しないコンプレッサ等の圧縮空気供給源が付
勢され、圧縮空気はマニホールド１６のパイロット弁供
給通路４８を通る。第３電磁弁４４が付勢されることに
より、真空破壊弁３８を開成する。そのため、マニホー
ルド１６の真空破壊通路５０は通路５６を介して真空ポ
ート７０と直接連通し、作業機器の負圧を解除する。

その際、真空ポート７０から検出部２２に連通している
通路７２では、空気圧によりチエツク弁７９が閉じ（第
り図ａ参照）、前記空気圧が検出部２２に侵入して真空
スイッチ６８を破壊するのを阻止する。

真空発生用ユニット１０は、以上のような一連の動作を
繰り返すが、本発明のように、圧力測定を行うと、フィ
ルタ部２０の吸入空気の汚れによる目詰まりの影響もな
い。また、検出部２２にもフィルタ７４が備えられてい
るが、通路７２には空気の流れをほとんど生じないため
、前記フィルタ７４の目詰まりは微小である。すなわち
、作業機器に印加されている圧力を検出部２２は正確に
測定することができる。

［発明の効果コ 以上のように構成される本発明に係る真空発生用ユニッ
トでは、次のような効果乃至利点を有する。

すなわち、検出部と真空ポートを直接連通させる通路を
設けることにより、フィルタ部を介さずに前記検出部で
圧力を測定できる。そのたｔ、前記フィルタ部の目詰ま
りによる圧力差が測定に影響するのが阻止される。また
、前記通路にフィルタを装着することは任意であるが、
たとえ装着しても、この検出部に対する空気の流れは微
小なため、該検出部のフィルタは目詰まりをほとんど生
じず、前記検出部は作業機器にかかる圧力を正確に測定
できる。よって、圧力の制御が一層正確に行える効果が
得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る真空発生用ユニットの実施例の斜
視図、 第２図は本発明に係る真空発生用ユニットの実施例の縦
断面図、 第３図ａ、ｂは本発明のチエツク弁の動作状態を示す説
明図、 第４図は本発明に係る真空発生用ユニットの実施例に形
成される流体用通路を説明するた於の空気回路図である
。 １０・・・真空発生用ユニット １２・・・電磁弁部 １４・・・弁機構部 １６・・・マニホールド １８・・・エゼクタ ２０・・・フィルタ部 ２４・・・検出部 ４５．４７．４９．７６．７９・・・チエツク弁５４．
５６．７２．７８・・・通路 特許出願人　　　　　ニスエムシー株式会社比願人代理
人　　　　弁理士　　千葉　剛宏手続補正盲（自発） モ成　３年　：

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）一端が真空発生源に連通し、他端が作業機器に連
   通する真空ポートを有するボディと、前記ボディ内にあ
   って、前記真空発生源と前記真空ポートを連通する通路
   中に設けられたフィルタ部と、 前記真空ポート内の圧力を測定するための検出部とを備
   え、 さらに、前記真空ポートと前記検出部を直接連通する通
   路を設けることを特徴とする真空発生用ユニット。