JPH0524643U - 真空供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】方向制御弁のパイロット弁方式を変更する際、
なるべく少ない部品点数を交換するのみで簡単にパイロ
ット弁方式が変更できる真空供給装置を提供することを
目的とする。 【構成】供給弁４０を内蔵している弁機構部２６は、そ
の上部に第１、第２インタフェィス２７、２８を挟んで
電磁パイロット弁を有する電磁パイロット弁部２９を有
している。このインタフェース２７、２８を組み換える
ことにより、電磁パイロット弁部２９と弁機構部２６の
接続する通路を変更することができる。したがって、供
給弁４０のパイロット弁方式を簡単に変更できる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、吸着用パッド等の作業機器に連通して物品の保持あるいは搬送等を 行うための真空供給装置に関し、一層詳細には、方向制御弁のパイロット弁の方 式をダブルソレノイド型、ノルマルオープン型、ノルマルクローズ型等に簡単に 組み換えることが可能な真空供給装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

真空供給装置においては、吸着用パッド等の作業機器に負圧あるいは空気を供 給する方向制御弁である供給弁および真空破壊弁等を備えたブロック体を画成し 、この内部にそれぞれのパイロット弁に対して連通する通路を形成している。 例えば、供給弁のパイロット弁方式をノルマルクローズ型にする場合には、一方 の圧力室には、流体圧が供給されるようにパイロット弁に連通する通路を形成し 、他方の圧力室には、ばねが配設されている。このように供給弁を構成すること により、一方の圧力室に流体圧が供給されないときには、常に他方の圧力室に配 設されたばねの弾発力によって、供給弁が閉成される。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

このように構成されている真空供給装置は、接続される作業機器の種類等、使 用目的の変更によって方向制御弁のパイロット弁方式が変更になることがある。 この場合、通路が内部に一体的に形成されている場合、この内部通路を変更する ことはできないので、方向制御弁を内蔵しているブロック体ごと交換せざるを得 ない。したがって、ユーザーは、方向制御弁のパイロット弁方式の数だけ、ブロ ック体を備えなければならない。

【０００４】 本考案は、この種の問題を解決するためになされたものであって、方向制御弁 のパイロット弁方式を変更する際、なるべく少ない部品点数を交換するのみで簡 単にパイロット弁方式が変更できる真空供給装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

前記の目的を達成するために、本考案は、吸着用パッド等の作業機器に連通し て物品の保持あるいは搬送等を行うための真空供給装置であって、 圧力流体および負圧の供給および遮断を行う方向制御弁を有する弁機構部と、 該方向制御弁の切換制御を行うパイロット弁を有するパイロット弁部と、 前記弁機構部とパイロット弁部との間に装着され、前記弁機構部とパイロット 弁部とを連通する流体通路を選択的に変更または遮断するプレートと、 を備えることを特徴とする。

【０００６】

【作用】

方向制御弁を有する弁機構部と、パイロット弁部との間にプレートを挟み、該 プレートを変更することにより、方向制御弁とパイロット弁部を連通する流路の 変更が行える。したがって、方向制御弁のパイロット弁方式が容易に変更できる 。

【０００７】

【実施例】

本考案に係る真空供給装置について、好適な実施例を挙げ、添付の図面を参照 しながら以下詳細に説明する。

【０００８】 先ず、図１に示すダブルソレノイド型バルブユニット１０ａ、接続プレート１ ４、エゼクタ１６と圧力検出ユニット１８とを一体化したフィルタユニット２０ から構成されたエゼクタ仕様の真空供給装置２４ａについて説明する。この真空 供給装置２４ａは、図２および図３に示すように構成される。すなわち、バルブ ユニット１０ａは、矩形体からなる弁機構部２６を有し、その上部に電磁パイロ ット弁部２９がねじによって装着される。前記弁機構部２６の一側面部には接続 プレート１４が当接する。弁機構部２６側には流体通路に対応してパッキンが装 着されており、平板な接続プレート１４に当接することで気密性を保つ。前記弁 機構部２６の他側面部には、下部より供給ポート３０、パイロット弁供給ポート ３２、真空破壊ポート３４、パイロット弁排気ポート３６が画成されている。前 記パイロット弁供給ポート３２と真空破壊ポート３４の近傍には螺孔が形成され 、この螺孔に実質的に流量調節弁を構成する弁体３８を螺合している。前記弁機 構部２６の内部には、軸方向が図面と直交する方向に延在する２ポート２位置型 の供給弁４０、真空破壊弁４２を配設し、前記供給弁４０、真空破壊弁４２、ポ ート３０、３２、３４、および３６、電磁パイロット弁部２９および接続プレー ト１４を結ぶ通路が画成されている。パイロット弁供給ポート３２に連通する通 路には、チェック弁４３ａを備える。チェック弁４３ａは圧縮空気の供給が停止 した場合に、弁体への供給圧力保持時間を延長させるためのものである。また、 チェック弁４３ｂはパイロット弁排気ポート３６から背圧がかかるのを防止する ためのものである。

【０００９】 供給弁４０の構造を図４を参照して説明する。供給弁４０は、弁体４４と弁座 ４６からなる。弁体４４の両端部の周溝４８には、第１と第２の可撓性リング体 ５０、５２が装着され、前記弁体４４の中間部には、傾斜面を有する第３の可撓 性リング体５４が構成されている。このように構成された供給弁４０は、電磁パ イロット弁部２９から供給される流体が第１パイロット室５６あるいは第２パイ ロット室５８に達して弁体４４を変位させ、空間６０、６２を遮断、もしくは連 通する。真空破壊弁４２も略同形状に構成されている。

【００１０】 前記弁機構部２６の上部に第１および第２インタフェース２７、２８が載置さ れている。該インタフェース２７、２８は、内部に供給弁４０、真空破壊弁４２ と後述する第１乃至第３電磁パイロット弁６４、６６、６８を連通する通路を形 成している。

【００１１】 該インタフェース２７、２８を挟んで弁機構部２６の上部に設置される電磁パ イロット弁部２９は、前記弁機構部２６を構成する供給弁４０、および真空破壊 弁４２のＯＮ／ＯＦＦ動作を行う５ポート２位置型からなる第１電磁パイロット 弁６４、第２電磁パイロット弁６６、第３電磁パイロット弁６８を有する。

【００１２】 第１電磁パイロット弁６４は、図５に示すように、基本的に電磁弁７０ａ、着 座部７２ａ、パイロット弁本体７４ａ、エンドプレート７６ａから構成されてい る。着座部７２ａには、第１ポート７８ａ乃至第５ポート８６ａが設けられ、パ イロット弁排気ポート３６、供給弁４０の第２パイロット室５８、パイロット弁 供給ポート３２、供給弁４０の第１パイロット室５６、パイロット弁排気ポート ３６に各々連通している。

【００１３】 第２電磁パイロット弁６６は、図６に示すように、基本的に第１電磁パイロッ ト弁６４と略同様に構成されているが、パイロット弁本体７４ｂは、固定されて いるので第２ポート８０ｂと第４ポート８４ｂは閉塞される。また、パイロット 弁本体７４ｂの内部に貫通孔８８を形成している。

【００１４】 第１電磁パイロット弁６４と第２電磁パイロット弁６６のエンドプレート７６ に設けられているそれぞれのパイロット室９０ａ、９０ｂは、孔部９２によって 連通している。

【００１５】 第３電磁パイロット弁６８は、図７に示すように、基本的に第１電磁パイロッ ト弁６４と略同様の構成をしているが、パイロット弁本体７４ｃとエンドプレー ト７６ｃが異っているのと、前記エンドプレート７６ｃのパイロット室９０ｃと 着座部の通路１３０が連通している点が異なっている。

【００１６】 前記エゼクタ１６は矩形体からなり、図２に示すように、その内部に所定の口 径のノズル部１０２とこのノズル部１０２に連接されるディフューザ部１０４を 有し、前記ディフューザ部１０４は真空発生部１０６に連通している。前記ディ フューザ部１０４は臭いを除去する活性炭を有するフィルタでサイレンサエレメ ントを構成したサイレンサ１０８を経て外部に連通している。

【００１７】 前記エゼクタ１６には、負圧を検出し、信号を発して作業機器を制御する圧力 検出ユニット１８および真空ポートユニット２１が装着されている。前記圧力検 出ユニット１８は箱型形状を呈し、その内部に真空スイッチ１１０が設けられて いる。この真空スイッチ１１０は、好ましくは、抵抗型あるいは容量型半導体圧 力センサで構成され、真空発生部１０６で発生する負圧を後述する真空ポート９ ６に連通する通路１１２を介して検出し、作業機器を制御するための信号を発す る。また、圧力検出ユニット１８の内部にある基板、例えば、フレキシブル基板 には、マイクロコンピュータ、もしくはワンチップマイコンを用い、電子式圧力 センサの出力信号を得て、圧力設定、圧力調整、警報発生・停止、ＯＮ／ＯＦＦ 動作、ヒシテリシス除去、モード切換、真空発生用ユニットの内部状態モニタの 故障予知機能等を備え、真空発生用ユニット全体の作動状況を含めて制御するこ とが可能である。予め自動的にプログラムに従ってプレ動作させＯＮ／ＯＦＦ設 定を自動設定し、また作動後は他のセンサで検出される基準圧力の変動をフィー ドバックし、設定値を自動的に変更させてもよい。さらに、ファジイ理論を用い て吸着状態の予測制御も可能である。また、上記機能に関して図示しない液晶（ カラーＬＣＤ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）等のデジタル表示装置とともに用い ることもできる。前記圧力検出ユニット１８と真空ポートユニット２１との境界 面にはフィルタ１１４が介装されている。

【００１８】 真空ポートユニット２１は、矩形体形状で、エゼクタ１６側の一側面部から可 撓性部材で形成されたチェック弁１１６、フィルタユニット２０へ連通する通路 １１８と他側面部に設けられた真空ポート９６とを有し、前記真空ポート９６か ら圧力検出ユニット１８へ指向する通路１１２が画成されている。

【００１９】 フィルタユニット２０は、圧力検出ユニット１８に隣接し、この圧力検出ユニ ット１８と真空ポートユニット２１に対して固定される。フィルタユニット２０ は透明な蓋部材１２０によってフィルタ本体１２２を閉塞している。フィルタユ ニット２０の内部には、フィルタ本体１２２が配設されるとともに、このフィル タユニット２０は先端部にねじ溝を形成したスタッド１２４を有する摘み１２６ で真空ポートユニット２１に固着される。したがって、前記摘み１２６を螺回す ることにより前記フィルタ本体１２２を交換することが可能である。

【００２０】 また、前記フィルタ本体１２２およびフィルタ１１４は、真空ポート９６から 流入する油分を取り除く吸油エレメントや流入する水分を取り除く疎水性エレメ ント、フッ素樹脂メンブラン、中空糸等の水分分離機能を有するエレメントを用 いたり、また、これらを併用することが可能である。これにより、弁、真空スイ ッチ、サイレンサ等を水分から保護できる。また、ドレン手段を設けてその水分 を排出することも可能である。

【００２１】 以上のように構成される真空供給装置２４ａについて、次にその動作を説明す る。

【００２２】 最初に図示しないコンプレッサ等の圧縮空気供給源が付勢され、圧縮空気はバ ルブユニット１０ａのパイロット弁供給ポート３２を通り、弁機構部２６の内部 の通路を経て第１電磁パイロット弁６４の第３ポート８２ａに達する。電磁弁７ ０ａを付勢することにより、圧縮空気は第３ポート８２ａから電磁弁７０ａを経 て、パイロット室１５２ａに達してパイロット弁本体７４ａを図面上右向きに変 位させる（図５参照）。この際、エンドプレート７６ａのパイロット室９０ａの 空気は、孔部９２を介して第２電磁パイロット弁６６のパイロット室９０ｂに達 する。さらに前記空気は、第５ポート８６ｂに到達し、弁機構部２６の内部の通 路を経てパイロット弁排気ポート３６に排出される（図６参照）。

【００２３】 以上のようにして第１電磁パイロット弁６４のパイロット弁本体７４ａが図面 上右向きに変位し、第３ポート８２ａは、第２ポート８０ａと連通し、第４ポー ト８４ａは、第５ポート８６ａと連通する（図５参照）。したがって、第３ポー ト８２ａに供給された圧力流体は、第２ポート８０ａから通路１６０を介して第 ２パイロット室５８に達して供給弁４０を図面上左方向に変位させる（図８参照 ）。すなわち、弁体４４が左方向に変位して第３の可撓性リング体５４を弁座４ ６から離し、空間６０と空間６２を連通して前記供給弁４０を開成する（図４参 照）。その際、第１パイロット室５６の空気は、通路１２８を介して第４ポート ８４ａに達し、第５ポート８６ａからパイロット弁排気ポート３６に排出される （図５および図８参照）。

【００２４】 このようにして供給弁４０が開成されるため、バルブユニット１０ａの供給ポ ート３０とエゼクタ１６が連通して前記エゼクタ１６に圧縮空気が供給される（ 図３参照）。こうしてエゼクタ１６で負圧が発生し、この負圧により可撓性部材 で形成されたチェック弁１１６が開き、吸着用パッドの空気を吸引してワークを 吸着する。すなわち、前記負圧によって、真空ポート９６側の空気は、塵芥を除 去するフィルタ本体１２２、通路１１８を経てチェック弁１１６を開成し、真空 発生部１０６を介して、ディフューザ部１０４に吸引される。

【００２５】 その際、真空ポート９６から圧力検出ユニット１８に連通している通路１１２ を介して、圧力検出ユニット１８の真空スイッチ１１０は真空ポート９６におけ る負圧を測定し、その出力信号で作業機器を制御する。

【００２６】 一方、ディフューザ部１０４に真空ポート９６より吸引された空気、およびノ ズル部１０２より噴出された圧縮空気は、前記ディフューザ部１０４からサイレ ンサ１０８を経て外部に排出される（図２および図３参照）。

【００２７】 次に、搬送後に吸着用パッドからワークを離脱する場合には、以下に述べるよ うに行う。すなわち、第１電磁パイロット弁６４の電磁弁７０ａを滅勢し、第２ 電磁パイロット弁６６の電磁弁７０ｂと第３電磁パイロット弁６８の電磁弁７０ ｃを付勢する。第２電磁パイロット弁６６の電磁弁７０ｂを付勢すると、電磁弁 ７０ａを付勢した場合と同様に、着座部７２ｂの第３ポート８２ｂから電磁弁７ ０ｂに達した圧縮空気は、パイロット弁本体７４ｂを経てエンドプレート７６の パイロット室９０ｂから孔部９２を介して第１電磁パイロット弁６４のエンドプ レート７６のパイロット室９０ａに到達し、第１電磁パイロット弁６４のパイロ ット弁本体７４ａを図面上左方向に変位させる（図５参照）。この変位に伴い第 １電磁パイロット弁６４のパイロット室１５２ａの空気（図５参照）は、第５ポ ート８６ａからバルブユニット１０ａのパイロット弁排気ポート３６に排気され る。

【００２８】 以上のようにして第１電磁パイロット弁６４のパイロット弁本体７４ａが図面 上左向きに変位し、第３ポート８２ａは第４ポート８４ａと連通し、第２ポート ８０ａは第１ポート７８ａと連通する（図５参照）。したがって、第３ポート８ ２ａに供給された圧力流体は、第４ポート８４ａから通路１２８を介して第１パ イロット室５６に達して供給弁４０を閉成する（図８参照）。その際、第２パイ ロット室５８の空気は、通路１６０を介して第２ポート８０ａに達し、第１ポー ト７８ａからバルブユニット１０ａのパイロット弁排気ポート３６へ達して排出 される。したがって、エゼクタ１６に圧縮空気が供給されず、負圧が吸着用パッ ドに供給されることはない（図３参照）。

【００２９】 第３電磁パイロット弁６８の電磁弁７０ｃを付勢すると、第１電磁弁７０ａと 同様に、着座部７２ｃの第３ポート８２ｃから電磁弁７０ｃに達した圧縮空気は パイロット室１５２ｃに到達する（図６参照）。一方、第３ポート８２ｃから供 給される圧縮空気は、同時にエンドプレート７６ｃのパイロット室９０ｃに達す る。上記のようにしてパイロット弁本体７４ｃの両端に達した圧縮空気は、前記 パイロット弁本体７４ｃの両端部の受圧面積の差異（パイロット室１５２側＞パ イロット室９０ｃ側）により押圧力に差が生じ、第３電磁パイロット弁６８のパ イロット弁本体７４ｃを図面上右向きに変位させる（図７参照）。

【００３０】 以上のようにして第３電磁パイロット弁６８のパイロット弁本体７４ｃが図面 上右向きに変位し、第３ポート８２ｃは第２ポート８０ｃと連通し、第４ポート ８４ｃは第５ポート８６ｃと連通する。したがって、第３ポート８２ｃに供給さ れた圧力流体は、第２ポート８０ｃから通路１６４を介して第２パイロット室１ ６６に達して真空破壊弁４２を開成する（図８参照）。その際、第１パイロット 室１６８の圧力流体は、通路１７０を介して第４ポート８４ｃに達し、第５ポー ト８６ｃからパイロット弁排気ポート３６へ達して排出される。したがって、圧 縮空気は、バルブユニット１０ａの真空破壊ポート３４から真空破壊弁４２を介 して真空ポート９６に達し、吸着用パッドの負圧状態を素早く解除してワークを 離脱させる（図３参照）。

【００３１】 吸着用パッドがワークを離脱した後、再びワークを吸着するまでの間は、第３ 電磁パイロット弁６８の電磁弁７０ｃを滅勢する。電磁弁７０ａと同様に、電磁 弁７０ｃが作動するため、第３ポート８２ｃからパイロット室１５２に供給され る圧縮空気はなく、着座部７２ｃの第３ポート８２ｃから通路１３０を経てエン ドプレート７６ｃのパイロット室９０ｃに達する圧縮空気により、パイロット弁 本体７４ｃは図面上左向きに変位する（図７参照）。

【００３２】 以上のようにして第３電磁パイロット弁６８のパイロット弁本体７４ｃが図面 上左向きに変位し、第３ポート８２ｃは第４ポート８４ｃと連通し、第２ポート ８０ｃは第１ポート７８ｃと連通する。したがって、第３ポート８２ｃに供給さ れた圧力流体は、第４ポート８４ｃから通路１７０を介して真空破壊弁４２の第 １パイロット室１６８に達し、弁体を右方向に変位させて、真空破壊弁４２を閉 成する（図８参照）。その際、第２パイロット室１６６の空気は、通路１６４を 介して第２ポート８０ｃに達し、第１ポート７８ｃからパイロット弁排気ポート ３６へ達して排出される。したがって、真空破壊弁４２が閉成しているため、圧 力流体がバルブユニット１０ａの真空破壊ポート３４から真空ポート９６に達す ることはない（図３参照）。これにより、例えば、吸着用パッドがワークを離脱 した後に再びワークを吸着するまでの間に圧縮空気を無駄に使うことを阻止でき る。

【００３３】 また、第１電磁パイロット弁６４と第２電磁パイロット弁６６をエンドプレー ト７６ａで連通してダブルソレノイド型としているため、停電時にもパイロット 弁本体７４ａは切り換わることなく、例えワークを吸着搬送中に停電しても吸着 状態が解除されることなく、吸着用パッドからワークが落下するおそれはない。

【００３４】 次に第２実施例として、真空ポンプ仕様の真空供給装置２４ｂについて説明す る。なお、第１実施例と同一の構成要素には、同一の参照符号を付し、その詳細 な説明を省略する。

【００３５】 エゼクタ仕様の真空供給装置２４ａは、容易に真空ポンプ仕様の真空供給装置 ２４ｂに組み換え可能である。すなわち、真空供給装置２４ａからエゼクタ１６ を取り除き、バルブユニット１０ａの供給ポート３０に真空ポンプを接続するこ とにより真空ポンプ仕様の真空供給装置２４ｂとなる（図９および図１０参照） 。

【００３６】 真空供給装置２４ｂも真空供給装置２４ａと同様に、パイロット弁供給ポート ３２から供給された圧力流体が第１電磁パイロット弁６４を経て、供給弁４０を 開成する。したがって、真空ポンプと真空ポート９６が連通し、負圧が吸着用パ ッド等の作業機器に供給され、ワークを吸着する。吸入される空気は、フィルタ 本体１２２、通路１１８、チェック弁１１６を経て、供給ポート３０から真空ポ ンプに達する（図１０参照）。他の動作は、エゼクタ仕様の真空供給装置２４ａ と全く同様である。

【００３７】 このように構成される真空供給装置２４ａ、２４ｂは、供給弁４０のパイロッ ト弁方式をダブルソレノイド型からノルマルクローズ型に変更することがある。

【００３８】 この場合には、先ず、真空供給装置２４ａの弁機構部２６の上部に載置されて る３個の電磁パイロット弁６４、６６、６８に換えて第３電磁パイロット弁６８ と同型の第１、第２電磁パイロット弁２００、２０２が載置される（図１１参照 ）。また、供給弁４０を収納しているバルブユニット１０ａの蓋２０４を取り外 して、供給弁４０の第１パイロット室５６にばね２０６ａ（図４破線部参照）を 挿入する。さらに、第１、第２インタフェース２７、２８を組み換えて、第１パ イロット室５６に連通する通路１２８に第１電磁パイロット弁２００から空気が 流入しないように遮断する（図８および図１２参照）。

【００３９】 このように構成された真空供給装置２４ｃは、図８および図１２に示すように 、第１電磁パイロット弁２００を付勢することにより、真空供給装置２４ａと同 様に、第２パイロット室５８に圧縮空気が達し、供給弁４０が開成する。一方、 第１電磁パイロット弁２００を滅勢するとばね２０６ａの弾発力により弁体４４ が図面上右方向に変位して供給弁４０を閉成させる（図４参照）。

【００４０】 他の動作は、真空供給装置２４ａと同一である。

【００４１】 さらに供給弁４０のパイロット弁方式をノルマルクローズ型からノルマルオー プン型に変更する場合には、バルブユニット１０ａの蓋２０４を取り外して第１ パイロット室５６のばね２０６ａを第２パイロット室５８に移す（図４破線部参 照）。また、第１、第２インタフェース２７、２８を組み換えて、第２パイロッ ト室５８に連通する通路１２８に第１電磁パイロット弁２００から空気が流入し ないように遮断する（図８および図１３参照）。

【００４２】 このように構成された真空供給装置２４ｄは、図１３に示すように、第１電磁 パイロット弁２００を付勢しても供給弁４０に圧縮空気が達することはない。し かしながら、ばね２０６ａの弾発力により、供給弁４０が開成する。一方、第１ 電磁パイロット弁２００を滅勢すると第１電磁パイロット弁２００から圧縮空気 が供給弁４０の第１パイロット室５６に達し、弁体４４を図面上右方向に変位さ せて供給弁４０を閉成させる。

【００４３】 他の動作は、真空供給装置２４ａと同一である。

【００４４】 このように、真空供給装置２４ａ乃至２４ｄでは、第１、第２インタフェース ２７、２８、電磁パイロット弁６４、６６、６８、２００、２０２を適宜、交換 することにより、また、ばね２０６を供給弁４０の第１、第２パイロット室５６ 、５８に挿入することにより、簡単に少ない部品交換でパイロット弁方式をダブ ルソレノイド型、ノルマルクローズ型、ノルマルオープン型に変更できる。

【００４５】

【考案の効果】

本考案に係る真空供給装置によれば、以下の効果が得られる。

【００４６】 すなわち、方向制御弁を有する弁機構部と、パイロット弁部との間にプレート を挟み、該プレートを交換することにより、方向制御弁とパイロット弁部を連通 する流路の変更が行える。したがって、方向制御弁のパイロット弁方式を使用目 的に合わせて容易に変更できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る真空供給装置の斜視図である。

【図２】本考案に係る真空供給装置の断面図である。

【図３】本考案に係る真空供給装置の流体回路図であ
る。

【図４】本考案に係る真空供給装置の供給弁の断面図で
ある。

【図５】本考案に係る真空供給装置の第１電磁パイロッ
ト弁の断面図である。

【図６】本考案に係る真空供給装置の第２電磁パイロッ
ト弁の断面図である。

【図７】本考案に係る真空供給装置の第３電磁パイロッ
ト弁の断面図である。

【図８】本考案に係る真空供給装置のバルブユニットの
一部断面図である。

【図９】本考案に係る真空ポンプ仕様の真空供給装置の
断面図である。

【図１０】本考案に係る真空ポンプ仕様の真空供給装置
の流体回路説明図である。

【図１１】本考案に係る真空供給装置の斜視図である。

【図１２】本考案に係る真空供給装置の流体回路図であ
る。

【図１３】本考案に係る真空供給装置の流体回路図であ
る。

【符号の説明】

１０…バルブユニット １６…エゼクタ １８…圧力検出ユニット ２０…フィルタユニット ２４…真空供給装置 ２６…弁機構部 ２７…第１インタフェース ２８…第２インタフェース ２９…電磁パイロット弁部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】吸着用パッド等の作業機器に連通して物品
   の保持あるいは搬送等を行うための真空供給装置であっ
   て、 圧力流体および負圧の供給および遮断を行う方向制御弁
   を有する弁機構部と、 該方向制御弁の切換制御を行うパイロット弁を有するパ
   イロット弁部と、 前記弁機構部とパイロット弁部との間に装着され、前記
   弁機構部とパイロット弁部とを連通する流体通路を選択
   的に変更または遮断するプレートと、 を備えることを特徴とする真空供給装置。