JP2019127883A - バキュームジェネレータ - Google Patents
バキュームジェネレータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019127883A JP2019127883A JP2018009756A JP2018009756A JP2019127883A JP 2019127883 A JP2019127883 A JP 2019127883A JP 2018009756 A JP2018009756 A JP 2018009756A JP 2018009756 A JP2018009756 A JP 2018009756A JP 2019127883 A JP2019127883 A JP 2019127883A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- path
- valve
- vacuum generator
- vacuum
- flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract 2
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 abstract description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 94
- 238000000034 method Methods 0.000 description 15
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 7
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000011056 performance test Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
Abstract
Description
本態様に係るバキュームジェネレータは、ボディに入口及び出口が開口した作動ガスの流路に、作動ガスの流れ方向の順に、逆止弁、開閉弁の弁部、ノズル、真空発生部、及び真空発生部に連通する吸引ポートを備えたバキュームジェネレータであって、流路は、弁部とノズルとの間に設けた直線路と、弁部をバイパスする作動ガスの流れを許容するブリード路とを含み、ボディは、入口、逆止弁、及び開閉弁を有する第1部材と、出口、ノズル、真空発生部、及び吸引ポートを有する第2部材とからなり、第1部材と第2部材とを結合することにより直線路が形成され、入口から作動ガスを供給することで真空発生部に負圧を発生させ、真空発生部に吸引ポートを介して接続される排気対象から出口に向けて真空排気を行う。
また、本態様に係る前述したバキュームジェネレータにおいて、入口及び出口はボディの同一側に開口している。
また、本態様に係る前述したバキュームジェネレータにおいて、ブリード路は、第3路と同一の路中心線を有する。
また、本態様に係る前述したバキュームジェネレータにおいて、流路は、第3路と第4路とを滑らかに連続させる第2曲折路を有する。
また、本態様に係る前述したバキュームジェネレータにおいて、第2路及び第4路は直線路であって、流路は、第2路から第4路に亘って2段階に鋭角状に曲折したZ形状をなす。
図1はバキュームジェネレータ1(以下、VG1とも称する)の正面図を示す。VG1は、例えば、図示しないガスボンベ(シリンダ、排気対象)に残留するプロセスガスを真空排気するための排気ユニットである。ガスボンベは、例えば図示しない半導体製造装置に配置されたシリンダキャビネットに一つ又は複数収容されている。VG1により残留したプロセスガスが排気されたガスボンベは、プロセスガスが満充填された新たなガスボンベに交換する等の運用がなされる。
ここで、図4に示すように、流路26は、弁部30をバイパスする作動ガスの流れを許容するブリード路74を備えている。
以上で本発明の一実施形態についての説明を終えるが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更ができるものである。
2 ボディ
12 開閉弁
16 吸引ポート
20 第1部材
22 第2部材
26 流路
26a 入口
26b 出口
28 逆止弁
30 弁部
32 ノズル
34 真空発生部
56 第1路
58 第2路
60 第3路(直線路)
62 第4路
64 第1曲折路
66 第2曲折路
74 ブリード路
78 路中心線
Claims (9)
- ボディに入口及び出口が開口した作動ガスの流路に、作動ガスの流れ方向の順に、逆止弁、開閉弁の弁部、ノズル、真空発生部、及び前記真空発生部に連通する吸引ポートを備えたバキュームジェネレータであって、
前記流路は、
前記弁部と前記ノズルとの間に設けた直線路と、
前記弁部をバイパスする前記作動ガスの流れを許容するブリード路と
を含み、
前記ボディは、
前記入口、前記逆止弁、及び前記開閉弁を有する第1部材と、
前記出口、前記ノズル、前記真空発生部、及び前記吸引ポートを有する第2部材と
からなり、
前記第1部材と前記第2部材とを結合することにより前記直線路が形成され、前記入口から前記作動ガスを供給することで前記真空発生部に負圧を発生させ、前記真空発生部に前記吸引ポートを介して接続される排気対象から前記出口に向けて真空排気を行う、バキュームジェネレータ。 - 前記流路は、
前記逆止弁から延びて前記弁部に至る第1路と、
前記弁部から延びる第2路と、
前記直線路であって前記第2路と交差する方向に延びる第3路と、
前記第3路と交差する方向に延びて前記ノズルに至る第4路と
を有する、請求項1に記載のバキュームジェネレータ。 - 前記入口及び前記出口は前記ボディの同一側に開口している、請求項2に記載のバキュームジェネレータ。
- 前記ブリード路は、前記ボディにおいて前記第1路と前記第3路とを連通し、前記第3路の路長方向に沿い、且つ前記第3路よりも路径が小さいオリフィス孔である、請求項2又は3に記載のバキュームジェネレータ。
- 前記ブリード路は、前記第3路と同一の路中心線を有する、請求項4に記載のバキュームジェネレータ。
- 前記流路は、前記第2路と前記第3路とを滑らかに連続させる第1曲折路を有する、請求項2から5の何れか一項に記載のバキュームジェネレータ。
- 前記流路は、前記第3路と前記第4路とを滑らかに連続させる第2曲折路を有する、請求項2から6の何れか一項に記載のバキュームジェネレータ。
- 前記第2路及び前記第4路は直線路であって、
前記流路は、前記第2路から前記第4路に亘って2段階に直角状に曲折した段形状をなす、請求項2から7の何れか一項に記載のバキュームジェネレータ。 - 前記第2路及び前記第4路は直線路であって、
前記流路は、前記第2路から前記第4路に亘って2段階に鋭角状に曲折したZ形状をなす、請求項2から7の何れか一項に記載のバキュームジェネレータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018009756A JP7044240B2 (ja) | 2018-01-24 | 2018-01-24 | バキュームジェネレータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018009756A JP7044240B2 (ja) | 2018-01-24 | 2018-01-24 | バキュームジェネレータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019127883A true JP2019127883A (ja) | 2019-08-01 |
JP7044240B2 JP7044240B2 (ja) | 2022-03-30 |
Family
ID=67471931
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018009756A Active JP7044240B2 (ja) | 2018-01-24 | 2018-01-24 | バキュームジェネレータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7044240B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04121500A (ja) * | 1990-09-10 | 1992-04-22 | Smc Corp | 真空発生用ユニット |
JPH04201084A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-22 | Smc Corp | 真空発生用ユニット |
JPH051080U (ja) * | 1991-06-26 | 1993-01-08 | エスエムシー株式会社 | 真空供給用ユニツト |
JPH09317698A (ja) * | 1996-05-23 | 1997-12-09 | Nippon Pisuko:Kk | 真空発生器 |
JP4444622B2 (ja) * | 2003-10-28 | 2010-03-31 | 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン | 真空排気装置 |
-
2018
- 2018-01-24 JP JP2018009756A patent/JP7044240B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04121500A (ja) * | 1990-09-10 | 1992-04-22 | Smc Corp | 真空発生用ユニット |
JPH04201084A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-22 | Smc Corp | 真空発生用ユニット |
JPH051080U (ja) * | 1991-06-26 | 1993-01-08 | エスエムシー株式会社 | 真空供給用ユニツト |
JPH09317698A (ja) * | 1996-05-23 | 1997-12-09 | Nippon Pisuko:Kk | 真空発生器 |
JP4444622B2 (ja) * | 2003-10-28 | 2010-03-31 | 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン | 真空排気装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7044240B2 (ja) | 2022-03-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI545266B (zh) | 引射器 | |
US10260530B2 (en) | Aspirator and method of fabricating | |
US10767662B2 (en) | Multi-stage vacuum ejector with molded nozzle having integral valve elements | |
US9822785B2 (en) | Turbocharger compressor recirculation system | |
US10753497B2 (en) | Shutoff-opening device | |
US10753373B2 (en) | Vacuum ejector nozzle with elliptical diverging section | |
US20170122342A1 (en) | High Vacuum Ejector | |
US20090294211A1 (en) | Noise reducing device for a pneumatic tool | |
CN104870830B (zh) | 具有脱扣的发散出口流动管嘴的真空喷射器 | |
WO2018171551A1 (zh) | 压缩机用滑阀及具有其的螺杆压缩机 | |
JP2008201588A (ja) | 流体または粉体搬送装置 | |
JP2015077604A (ja) | 溶接装置 | |
JP2019127883A (ja) | バキュームジェネレータ | |
CN109789381B (zh) | 具有改进的夹带效率的气体至气体抽吸器 | |
JPH10141299A (ja) | 粉体噴出用エゼクタ | |
JP2021008829A (ja) | バキュームジェネレータ | |
JP5943899B2 (ja) | エジェクタ | |
CN107874810A (zh) | 一种气压弹道式冲击波治疗仪的集成气路系统 | |
JP4873887B2 (ja) | チェックバルブ | |
WO2019148855A1 (zh) | 压缩机 | |
JP3938394B2 (ja) | エジェクタ | |
CN100394040C (zh) | 具有真空消除容积的真空发生单元 | |
KR101940143B1 (ko) | 공기 증폭기 | |
JP2020085190A (ja) | 気化供給システム | |
KR102639841B1 (ko) | 다단 진공 이젝터 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201104 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210812 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210901 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210914 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220202 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220304 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7044240 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |