CN100394040C - 具有真空消除容积的真空发生单元 - Google Patents

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Abstract

一种真空发生单元，包括：压力流体控制阀，由导向电子阀控制；主体部分，具有连接到压力流体控制阀的一个侧部；压力流体供应端口；真空端口；和排放端口，通过该排放端口经过压力流体供应端口或真空端口的压力流体被排放，在主体部分中形成通过从压力流体供应端口供应的压力流体在真空端口产生真空的真空发生部分、以及用于储存压力流体以消除在真空端口中形成的真空的第一和第二压力流体储存部分。P-端口、A-端口、B-端口和R2-端口可形成在连接到主体部分的压力流体控制阀中，通过被导向电子阀控制而移动的双位置滑阀可被安装在压力流体控制阀中，使得通过滑阀的移动，P-端口与B-端口和A-端口连通，或者B-端口与R2-端口连通。

Description

具有真空消除容积的真空发生单元
技术领域
本发明涉及用于形成和消除真空的真空发生单元。
背景技术
一般来说，真空发生单元用于通过真空夹(grip)移动物体，例如，当焊接半导体芯片、安装半导体芯片、运载超小型元件、将纸输送到打印机时，并消除(suppress)真空夹以在期望的位置释放物体。
传统上，如在韩国专利注册号10-0387364中公开的真空发生单元包括真空形成阀和真空消除阀。然而，传统真空发生单元应当包括真空形成阀和真空消除阀两者，并引起分别控制各个阀的不便性，而且，传统真空发生单元不能制造成具有较小的尺寸和较轻的重量。
发明内容
本发明提供了一种真空发生单元，其只有一个用于形成和消除真空的阀，从而整个结构可被简化以具有较小的尺寸和较轻的重量。
根据本发明的一个方面，提供了一种真空发生单元，包括：压力流体控制阀，其由导向电子阀控制；主体部分，其具有连接到压力流体控制阀的一个侧部；压力流体供应端口，其设置在主体部分的另一侧并被供以压力流体；真空端口，其用于形成和消除真空；和排放端口，通过该排放端口经过压力流体供应端口或真空端口的压力流体被排放，其中，在主体部分中形成通过从压力流体供应端口供应的压力流体在真空端口产生真空的真空发生部分、以及用于储存压力流体以消除在真空端口中形成的真空的第一和第二压力流体储存部分。P-端口、A-端口、B-端口和R2-端口可形成在连接到主体部分的压力流体控制阀中，通过被导向电子阀控制而移动的双位置滑阀可被安装在压力流体控制阀中，使得通过滑阀的移动，P-端口与B-端口和A-端口连通，或者B-端口与R2-端口连通。
根据本发明的另一方面，提供一种真空发生单元，包括：压力流体控制阀，其由导向电子阀控制；主体部分，其具有连接到压力流体控制阀的一个侧部；压力流体供应端口，其设置在主体部分的另一侧并被供以压力流体；真空端口，其用于形成和消除真空；和排放端口，通过该排放端口经过压力流体供应端口或真空端口的压力流体被排放，其中，在主体部分中形成通过从压力流体供应端口供应的压力流体在真空端口产生真空的真空发生部分、以及用于储存压力流体以消除在真空端口中形成的真空的第一和第二压力流体储存部分。P-端口、A-端口、B-端口、R1-端口和R2-端口可形成在连接到主体部分的压力流体控制阀中，通过被导向电子阀控制而移动的双位置滑阀可被安装在压力流体控制阀中，使得通过滑阀的移动，P-端口与B-端口和A-端口连通，或者B-端口与R2-端口以及A-端口与R1端口连通。
当P-端口通过滑阀的移动与B-端口和A-端口连通，同时通过A-端口的压力流体在通过真空发生部分后被排放到排放端口中时，在真空端口一侧的压力流体可流入真空发生单元，从而在真空端口中产生真空，并且经过B-端口的压力流体被储存在第一压力流体储存部分中。
当B-端口通过滑阀的移动与R2-端口连通时，储存在第一压力流体储存部分中的压力流体可通过B-端口流入R2-端口，然后通过第二压力流体储存部分排放到真空端口中，从而在真空发生部分产生的真空被消除。
真空发生部分可被构造为：喷嘴、第一扩散器和第二扩散器被安装在其宽度方向。
真空发生单元可进一步包括安装在主体部分外侧的副压力流体储存部分，其与第一压力流体储存部分连通，并且具有内部容积以扩充压力流体可被储存的空间。
真空发生单元可进一步包括过滤器，用于从经过真空端口的压力流体中除去杂质。
附图说明
本发明的上述和其它特征和优点通过参照附图对典型实施例的详细描述将变得更清楚。
图1是根据本发明的真空发生单元的剖面图；
图2是在图1的真空发生单元中当导向电子阀处于ON状态时压力流体控制阀的操作状态的剖面图；
图3是在图1的真空发生单元中当导向电子阀处于OFF状态时压力流体控制阀的操作状态的剖面图；
图4示出在图1的真空发生单元中当导向电子阀处于ON状态时通过压力流体在真空端口中形成真空的过程；和
图5示出在图1的真空发生单元中当导向电子阀处于ON状态时通过压力流体在吸入端口中形成真空的过程。
具体实施方式
图1是根据本发明的真空发生单元的剖面图，图2是在图1的真空发生单元中当导向电子阀处于ON状态时压力流体控制阀的操作状态的剖面图，图3是在图1的真空发生单元中当导向电子阀处于OFF状态时压力流体控制阀的操作状态的剖面图。另外，图4示出在图1的真空发生单元中当导向电子阀处于ON状态时通过压力流体在真空端口中形成真空的过程；和图5示出在图1的真空发生单元中当导向电子阀处于ON状态时通过压力流体在吸入端口中形成真空的过程。
图1的真空发生单元包括：压力流体控制阀100，其由导向电子阀100a控制；主体部分10，其具有连接到压力流体控制阀100一个侧部；压力流体供应端口45，其设置在主体部分10的另一侧并被供以压力流体，例如空气或诸如氮气的气体；真空端口35，其与真空喷嘴(未示出)连通，用于夹持被移动的物体(未示出)，并且在其中真空被形成或消除；和排放端口40，在其中经过压力流体供应端口445或真空端口35的压力流体被排放。
在主体部分10中形成通过从压力流体供应端口45供应的压力流体在真空端口35中产生真空的真空发生部分50、用于储存压力流体以消除在真空端口35中形成的真空的第一和第二压力流体储存部分60和70、以及其它压力流体通道。这样，与第一压力流体储存部分60连通并且具有内部容积的副压力流体储存部分30被安装在主体部分10外侧。副压力流体储存部分30具有端部密封的结构并且与第一压力流体储存部分60连通，以扩充压力流体可被储存的空间。
参照图2和3，P-端口1、A-端口2、B-端口3和R1端口4和R2-端口5形成在连接到主体部分10的压力流体控制阀100中，通过被导向电子阀100a控制而移动的双位置滑阀101被安装在压力流体控制阀100中。滑阀101通过导向电子阀100a沿长度方向移动。如图2所示，当滑阀101被放置在向下方向时，P-端口1与B-端口3和A-端口2连通。如图3所示，当滑阀101被放置在向上方向时，B-端口3与R2-端口5连通，A端口2与R1-端口4连通。在本实施例如，五个端口形成在压力流体控制阀100中。然而，本发明不限于此，四个端口可以形成在压力流体控制阀100中。
P-端口1与主体部分10中形成的通道连通，即，通道12、通道11、通道16和通道81。通道81连接到压力流体供应端口45，压力流体供应端口45连接到压力流体供应源(未示出)。
A-端口2通过通道13与真空发生部分50和排放端口40连通。在这种情况下，真空发生部分50被构造为：喷嘴51、第一扩散器52和第二扩散器53被安装在其宽度方向。消音器(未示出)被安装在排放端口40上。
B-端口3与通道15、通道83和通道18连通。通道15、通道83和通道18构成第一压力流体储存部分60。在这种情况下，第一压力流体储存部分60的通道18与副压力流体储存部分30连通。当第一压力流体储存部分60的压力流体的量根据真空端口35的长度或容积而不足时，副压力流体储存部分30扩充了用于储存压力流体的整个容积。
R1-端口4是可被可变地使用的端口。封闭型的R1-端口4如图4所示。然而，如果需要，R1-端口4可与单独的排放端口(未示出)或真空端口35连通。
R2-端口5与通道14、通道82、通道23和通道22连通。通道14、通道82、通道23和通道22构成第二压力流体储存部分70。在这种情况下，第二压力流体储存部分70的通道22与真空端口35连通。
真空端口35与通道17、通道19、通道24和通道20连通。通道19和通道20与真空发生部分50连通。在这种情况下，过滤器25被安装在通道17和通道19之间。过滤器25除去通过真空端口35的压力流体中的杂质。
根据本发明的多个真空发生单元可被连接以形成消音器。在这种情况下，根据本发明的真空发生单元可被安装在支管组(manifold block未示出)上，在支歧管组中安装通常的真空压力电子阀单元，与通道81连通的通道86形成在其长度方向上，然后，压力流体被供应到通道86。
以下将描述具有上述结构的真空发生单元的操作。
参照图2和4，当导向电子阀100a从OFF状态切换到ON状态时，P-端口1与B-端口3和A-端口2通过滑阀101的移动而连通，并且R1-端口4和R2-端口5被关闭。在这种情况下，如果压力流体从单独的流体供应源被供应到压力流体供应端口45或端口86，所供应的压力流体经通道81和通道11、12流入P端口1，然后经过A-端口2和B-端口3。
经过A-端口2的压力流体在流过真空发生单元50(即，通道13、喷嘴51的孔、第一扩散器52和第二扩散器53)后被排放到排放端口40中。在这种情况下，真空发生单元50的内部压力通过压力流体的流动而降低。这样，在真空端口35一侧的压力流体流经通道17和过滤器25，然后通过通道19和通道20被吸入真空发生部分50。通过通道19和通道20被吸入真空发生部分50的压力流体被排放到第一和第二扩散器52和53及排放端口40，从而在真空端口35中产生真空。真空用于夹持被移动的物体。
当压力流体流入A-端口2中时，另一压力流体流入B-端口3。流过B-端口3的压力流体被储存在由通道15、通道83和通道18构成的第一压力流体储存部分60中。在这种情况下，当第一压力流体储存部分60中储存的压力流体的量根据真空端口35的长度或容积而不足时，与通道18连通的副压力流体储存部分30被安装，从而扩充用于储存压力流体的空间可。
为了消除通过上述过程形成在真空端口35中的真空，导向电子阀100a被从ON状态切换到OFF状态。即，如图3和5所示，当导向电子阀100a被从ON状态切换到OFF状态时，在P端口1和A-端口2和B-端口3之间的间隙被压力流体控制阀100的滑阀101的移动封闭，并且B-端口3和R2-端口5以及A-端口2和R1-端口4被打开。在这种情况下，通道16通过由压力流体供应端口45供应的压力流体压滑阀101，从而滑阀101可平滑地移动。为了便于说明，以下将说明R1-端口4被关闭的例子。
当B-端口3和R2-端口5通过滑阀101的移动被打开时，储存在第一压力流体体储存部分60和副压力流体储存部分30中的压力流体通过B-端口3流入R2-端口5，流入的压力流体流过第二压力流体储存部分70，即，通道14、通道82、通道23和通道22，然后被排放到真空端口35。这样，形成在真空端口35中的真空被消除，连接到与真空端口35连通的真空喷嘴的被移动物体被从真空喷嘴分开。
如上所述，在根据本发明的真空发生单元中，仅有一个阀被用于形成和消除真空，从而其整个结构可被简化，以具有小尺寸和轻的重量。因此，缺陷的频率可被减小，真空发生单元的制造成本可被减小。
尽管已经参照典型实施例特别示出和描述了本发明，但本领域的技术人员将会理解，在不偏离由权利要求书所定义的本发明的原理和范围的情况下可对这些实施例进行形式和细节的改变。

Claims (7)

1.一种真空发生单元，包括：
压力流体控制阀，其由导向电子阀控制；
主体部分，其具有连接到压力流体控制阀的一个侧部；
压力流体供应端口，其设置在主体部分的另一侧并被供以压力流体；
真空端口，其用于形成和消除真空；和
排放端口，在该排放端口中经过压力流体供应端口或真空端口的压力流体被排放，
其中，在主体部分中形成通过从压力流体供应端口供应的压力流体在真空端口产生真空的真空发生部分、以及用于储存压力流体以消除在真空端口中形成的真空的第一和第二压力流体储存部分，
而且P-端口、A-端口、B-端口和R2-端口形成在连接到主体部分的压力流体控制阀中，通过被导向电子阀控制而移动的双位置滑阀被安装在压力流体控制阀中，使得通过滑阀的移动，P-端口与B-端口和A-端口连通，或者B-端口与R2-端口连通。
2.一种真空发生单元，包括：
压力流体控制阀，其由导向电子阀控制；
主体部分，其具有连接到压力流体控制阀的一个侧部；
压力流体供应端口，其设置在主体部分的另一侧并被供以压力流体；
真空端口，其用于形成和消除真空；和
排放端口，在该排放端口中经过压力流体供应端口或真空端口的压力流体被排放，
其中，在主体部分中形成通过从压力流体供应端口供应的压力流体在真空端口产生真空的真空发生部分、以及用于储存压力流体以消除在真空端口中形成的真空的第一和第二压力流体储存部分，
而且P-端口、A-端口、B-端口、R1-端口和R2-端口形成在连接到主体部分的压力流体控制阀中，而且通过被导向电子阀控制而移动的双位置滑阀被安装在压力流体控制阀中，使得通过滑阀的移动，P-端口与B-端口和A-端口连通，或者B-端口与R2-端口以及A-端口与R1端口连通。
3.根据权利要求1或2所述的真空发生单元，其特征在于，当P-端口通过滑阀的移动与B-端口和A-端口连通，同时通过A-端口的压力流体在通过真空发生部分后被排放到排放端口中时，在真空端口一侧的压力流体流入真空发生部分，从而在真空端口中产生真空，并且经过B-端口的压力流体被储存在第一压力流体储存部分中。
4.根据权利要求1或2所述的真空发生单元，其特征在于，当B-端口通过滑阀的移动与R2-端口连通时，储存在第一压力流体储存部分中的压力流体通过B-端口流入R2-端口，然后通过第二压力流体储存部分排放到真空端口中，从而消除在真空端口产生的真空。
5.根据权利要求1或2所述的真空发生单元，其特征在于，真空发生部分被构造为：喷嘴、第一扩散器和第二扩散器被安装在其宽度方向。
6.根据权利要求1或2所述的真空发生单元，其特征在于，真空发生单元进一步包括安装在主体部分外侧的副压力流体储存部分，其与第一压力流体储存部分连通，并且具有内部容积以扩充压力流体被储存的空间。
7.根据权利要求1或2所述的真空发生单元，其特征在于，真空发生单元进一步包括过滤器，用于从经过真空端口的压力流体中除去杂质。
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