KR200460937Y1

KR200460937Y1 - 진공발생장치.

Info

Publication number: KR200460937Y1
Application number: KR2020100008695U
Authority: KR
Inventors: 백현진
Original assignee: 신영제어기 주식회사
Priority date: 2010-08-20
Filing date: 2010-08-20
Publication date: 2012-06-15
Also published as: KR20120001436U

Abstract

본 고안은, 진공 상태를 이용하는 진공기기에 진공 상태를 발생시키거나 진공 상태를 해제시키는 장치로서, 부압원과 연결되어 부압을 공급받는 부압공급포트; 정압원과 연결되어 정압을 공급받는 정압공급포트; 상기 진공기기에 연결되어 진공 상태를 발생시키거나 해제시킬 수 있는 진공포트; 상기 부압공급포트와 상기 진공포트를 연결하는 부압유로; 상기 정압공급포트로 유입된 유체를 저장할 수 있는 공간부; 상기 정압공급포트와 상기 공간부를 연결하며 항시 개방되어 있는 정압저장유로; 상기 공간부 내의 유체를 상기 진공포트로 공급하기 위하여 상기 공간부와 상기 진공포트를 연결하는 정압유로; 상기 부압유로의 유체 흐름을 허용하거나 차단하는 진공발생밸브; 상기 정압유로의 유체 흐름을 허용하거나 차단하는 진공해제밸브; 를 구비하며, 상기 공간부는, 제1공간부와, 상기 정압유로에 비하여 작은 단면적을 가지는 공간부연결유로에 의하여 상기 제1공간부와 연결되어 있는 제2공간부를 포함하며, 상기 진공해제밸브가 상기 정압유로를 차단하면, 상기 공간부에 상기 유체가 저장되고, 상기 진공해제밸브가 상기 정압유로를 개방하면, 상기 공간부 내의 유체가 상기 진공포트로 공급되는 것을 특징으로 한다.
본 고안에 따르면, 상기 정압공급포트로 유입된 유체를 저장하는 제1공간부와 제2공간부를 구비함으로써, 진공 해제 작동의 초기에는 상기 제2공간부에 저장된 유체가 이용되고 진공 해제 작동의 후기에는 상기 제1공간부에 저장된 유체가 이용되어, 흡착된 이송물의 튕김 현상이 없도록 부드럽고 신속한 진공 상태의 해제가 이루어질 수 있는 효과가 있다.

Description

진공발생장치.{vacuum generating device.}

본 고안은 진공발생장치에 관한 것으로서, 특히 진공 해제 작동의 초기에는 상기 제2공간부에 저장된 유체가 이용되고 진공 해제 작동의 후기에는 상기 제1공간부에 저장된 유체가 이용되어, 흡착된 이송물의 튕김 현상이 없도록 부드럽고 신속한 진공 상태의 해제가 이루어질 수 있는 진공발생장치에 관한 것이다.

일반적으로, 진공발생장치는 반도체칩 본딩(Bonding), 반도체칩 마운팅(Mounting), 극소형부품의 흡착반송, 인쇄기로의 종이 공급 등의 작업에 사용되는 장치로서, 진공 패드와 같은 진공기기에 부압(negative pressure)을 공급하여 진공 상태를 발생시키거나 정압(positive pressure)을 공급하여 진공 상태를 해제하는 장치이다.

이러한 진공발생장치에 연결된 진공 패드를 사용하면, 반도체 부품과 같은 이송물을 흡착하여 이송하고, 이송을 마친 후에는 진공 상태를 해제하여 흡착된 이송물을 이탈시킬 수 있다.

그러나, 종래에는, 진공 상태를 해제하여 흡착된 이송물을 이탈시키는 과정에서 정압의 공급이 급작스럽게 이루어짐으로써 상기 이송물이 튕겨져나가는 문제점이 있었다.

이러한 이송물 튕김 현상을 방지하기 위해서는 정압의 공급량을 감소시키는 방법을 생각해 볼 수 있으나, 정압의 공급량 감소는 진공 상태의 해제를 더디게 하는 또 다른 문제점이 있으므로 신속한 진공 상태의 해제가 이루어질 수 없다는 문제점이 발생한다.

본 고안은 상기 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로서, 그 목적은 진공 해제 작동의 초기에는 상기 제2공간부에 저장된 유체가 이용되고 진공 해제 작동의 후기에는 상기 제1공간부에 저장된 유체가 이용되어, 흡착된 이송물의 튕김 현상이 없도록 부드럽고 신속한 진공 상태의 해제가 이루어질 수 있도록 구조가 개선된 진공발생장치를 제공하기 위함이다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안에 따른 진공발생장치는, 진공 상태를 이용하는 진공기기에 진공 상태를 발생시키거나 진공 상태를 해제시키는 장치로서, 부압원과 연결되어 부압을 공급받는 부압공급포트; 정압원과 연결되어 정압을 공급받는 정압공급포트; 상기 진공기기에 연결되어 진공 상태를 발생시키거나 해제시킬 수 있는 진공포트; 상기 부압공급포트와 상기 진공포트를 연결하는 부압유로; 상기 정압공급포트로 유입된 유체를 저장할 수 있는 공간부; 상기 정압공급포트와 상기 공간부를 연결하며 항시 개방되어 있는 정압저장유로; 상기 공간부 내의 유체를 상기 진공포트로 공급하기 위하여 상기 공간부와 상기 진공포트를 연결하는 정압유로; 상기 부압유로의 유체 흐름을 허용하거나 차단하는 진공발생밸브; 상기 정압유로의 유체 흐름을 허용하거나 차단하는 진공해제밸브; 를 구비하며, 상기 공간부는, 제1공간부와, 상기 정압유로에 비하여 작은 단면적을 가지는 공간부연결유로에 의하여 상기 제1공간부와 연결되어 있는 제2공간부를 포함하며, 상기 진공해제밸브가 상기 정압유로를 차단하면, 상기 공간부에 상기 유체가 저장되고, 상기 진공해제밸브가 상기 정압유로를 개방하면, 상기 공간부 내의 유체가 상기 진공포트로 공급되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 공간부의 부피를 가변적으로 조절할 수 있는 부피조절장치를 구비하는 것이 바람직하다.

여기서, 상기 부피조절장치는, 내부 공간을 가지는 실린더부; 상기 실린더부 내부에서 길이 방향으로 왕복 이동 가능한 피스톤부; 일단부가 상기 피스톤부에 연결되어 있는 막대형의 로드부; 상기 로드부의 타단부에 나사결합되어 상기 피스톤부의 이동량을 조절하는 조절나사; 를 구비하는 것이 바람직하다.

여기서, 상기 정압저장유로에는, 유량을 조절하기 위한 정압공급유량조절나사가 장착되어 있는 것이 바람직하다.

본 고안에 따르면, 상기 정압공급포트로 유입된 유체를 저장하는 제1공간부와 제2공간부를 구비함으로써, 진공 해제 작동의 초기에는 상기 제2공간부에 저장된 유체가 이용되고 진공 해제 작동의 후기에는 상기 제1공간부에 저장된 유체가 이용되어, 흡착된 이송물의 튕김 현상이 없도록 부드럽고 신속한 진공 상태의 해제가 이루어질 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 일 실시예인 진공발생장치의 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 진공발생밸브가 ON되고 진공해제밸브가 OFF된 경우에 유체의 흐름을 나타내는 도면이다.
도 3은 도 1에 도시된 진공발생밸브가 OFF되고 진공해제밸브가 ON된 경우에 유체의 흐름을 나타내는 도면이다.
도 4는 도 1에 도시된 진공발생밸브가 OFF되고 진공해제밸브가 OFF된 경우에 유체의 흐름을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 실시예인 진공발생장치의 회로도이다.

이하에서, 첨부된 도면들을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명에 따른 일 실시예인 진공발생장치의 단면도이며, 도 2는 도 1에 도시된 진공발생밸브가 ON되고 진공해제밸브가 OFF된 경우에 유체의 흐름을 나타내는 도면이다.

도 1 내지 도 2를 참조하면, 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 진공발생장치(100)는, 진공 패드와 같은 진공 상태를 이용하는 진공기기(미도시)에 진공 상태를 발생시키거나 진공 상태를 해제시키는 장치로서, 몸체부(10)와, 진공포트(13)와, 제1공간부(14)와, 제2공간부(15)와, 진공발생밸브(40)와, 진공해제밸브(50)를 포함하여 구성된다.

상기 몸체부(10)는, 유체가 흐를는 다수의 유로 및 포트가 형성되어 있는 하우징으로서, 제1몸체부(10a)와 제2몸체부(10b)를 구비한다. 본 실시예에서 사용되는 유체는 공기이다.

상기 제1몸체부(10a)에는, 외부의 부압원과 연결되어 부압을 공급받는 부압공급포트(11)와, 외부의 정압원과 연결되어 정압을 공급받는 정압공급포트(12)와, 상기 진공기기에 연결되어 진공 상태를 발생시키거나 해제시킬 수 있는 진공포트(13)가 형성되어 있다. 여기서 상기 부압원은 진공펌프이며 상기 정압원은 가압펌프이다.

상기 제1몸체부(10a)에는, 진공 상태를 측정할 수 있는 진공센서(미도시)가 장착될 수 있는 진공센서포트(17)가 형성되어 있다.

상기 제1몸체부(10a)에는, 내부에서 유체가 이동할 수 있는 제21유로(21)ㆍ제22유로(22)ㆍ제23유로(23)ㆍ제24유로(24)ㆍ공간부연결유로(28)ㆍ정압저장유로(29)가 형성되어 있다.

상기 제1몸체부(10a)에는, 상기 정압공급포트(12)와 연결되며 상기 정압공급포트(12)로부터 공급된 유체를 상기 진공포트(13)로 공급하기 위하여 저장할 수 있는 공간부가 형성되어 있는데, 상기 공간부는 고정된 부피를 가지는 제1공간부(14)와 상기 제1공간부(14)와 후술하는 공간부연결유로(28)에 의하여 연결되어 있는 제2공간부(15)를 포함한다.

상기 정압공급포트(12)는 상기 정압저장유로(29)를 통하여 상기 제23유로(23)와 연결되어 있으며, 상기 제2공간부(15)는 상기 제23유로(23)와 연결되어 있다.

상기 정압저장유로(29)에는, 상기 정압공급포트(12)로부터 상기 제23유로(23)로 공급되는 유체의 유량을 조절하기 위한 정압공급유량조절나사(16)가 장착되어 있다. 따라서, 상기 정압공급유량조절나사(16)가 잠겨지는 경우에는 상기 정압저장유로(29)의 유량이 감소하고, 상기 정압공급유량조절니들(16)이 풀려지는 경우에는 상기 정압저장유로(29)의 유량이 증가하게 된다.

상기 제2공간부(15)는, 원통형 실린더부(19)의 내부에 마련되어 있는데, 후술하는 부피조절장치에 의하여 부피가 가변적으로 조절될 수 있다.

상기 부피조절장치는, 상기 실린더부(19)의 내부 공간을 양분하여 격리시키도록 배치되며 상기 실린더부(19) 내에서 길이 방향으로 왕복 이동 가능한 피스톤부(32)와, 일단부가 상기 피스톤부(32)에 연결되어 있으며 외주면에는 수나사부(35)가 형성되어 있는 막대형의 로드부(33)와, 상기 로드부(33)의 수나사부(35)에 나사결합되는 암나사부(36)를 구비하며 상기 실린더부(19)에 회전가능하게 결합되어 있는 조절나사(34)를 구비한다.

따라서, 상기 조절나사(34)를 회전시키면, 상기 로드부(33)에 연결된 상기 피스톤부(32)가 상하로 위치 이동하게 됨으로써, 상기 제2공간부(15)의 부피가 가변적으로 조절된다. 즉, 상기 피스톤부(32)가 상승하면 상기 제2공간부(15)의 부피가 증가하고, 상기 피스톤부(32)가 하강하면 상기 제2공간부(15)의 부피가 감소하게 된다.

상기 공간부연결유로(28)는, 상기 공간부연결유로(28)를 흐르는 유체의 단위시간당 유량이 상기 제23유로(23)를 흐르는 유체의 단위시간당 유량에 비하여 작아질 수 있도록, 상기 제23유로(23)의 단면적보다 작은 단면적을 가진다.

상기 제2몸체부(10b)에는, 내부에서 유체가 이동할 수 있는 제23유로(23)ㆍ제26유로(26)ㆍ제27유로(27)가 형성되어 있다.

상기 제23유로(23)는, 상기 제2공간부(15)와 상기 진공해제밸브(50)를 연결하는 유로로서, 일부는 제1몸체부(10a)에 나머지는 제2몸체부(10b)에 형성되어 있다.

상기 제27유로(27)에는, 유체의 이물질을 걸러내는 필터(18)가 장착되어 있다.

상기 제26유로(26)는, 상기 제22유로(22)와 상기 제27유로(27)를 연결하는 유로이다.

상기 부압공급포트(11)와 상기 진공포트(13)는, 부압유로에 의하여 연결되어 있다. 이 부압유로는 상기 제21유로(21)와 제22유로(22)와 제26유로(26)와 제27유로(27) 및 상기 진공발생밸브(40) 내의 입력유로(41)와 출력유로(42)를 포함하여 이루어진다.

상기 공간부(14, 15)와 상기 진공포트(13)는, 정압유로에 의하여 연결되어 있다. 이 정압유로는, 상기 공간부(14, 15) 내의 유체를 상기 진공포트(13)로 공급하기 위하여 마련된 유로로서, 상기 제23유로(23)와 제24유로(24)와 제27유로(27) 및 상기 진공해제밸브(50) 내의 입력유로(51)와 출력유로(52)를 포함하여 이루어진다.

상기 진공발생밸브(40)는, 상기 부압유로의 유체 흐름을 허용하거나 차단하는 2포트형 솔레노이드 전자밸브로서, 입력유로(41)와, 출력유로(42)와, 밸브체(43)와, 가동체(44)를 구비한다.

상기 입력유로(41)는, 상기 제22유로(22)와 연결되어 있는 유로로서, 상기 진공포트(13)로부터 흘러오는 유체가 유입되는 유로이다.

상기 출력유로(42)는, 상기 제21유로(21)와 연결되어 있는 유로로서, 상기 입력유로(41)로부터 흘러오는 유체가 유출되는 유로이다.

상기 밸브체(43)는, 마개형 부재로서, 상기 입력유로(41)와 출력유로(42) 사이에 배치되어 상기 입력유로(41)와 출력유로(42)를 연통시키거나 단절시키는 기능을 한다.

상기 가동체(44)는, 전자석의 원리에 의하여 왕복 이동가능한 금속부재로서, 일단에 상기 밸브체(43)가 결합되어 있다.

따라서, 상기 진공발생밸브(40)가 ON상태가 되면, 상기 가동체(44)가 좌측으로 이동하여 상기 밸브체(43)가 상기 입력유로(41)와 출력유로(42)를 연통시키게 된다. 반대로 상기 진공발생밸브(40)가 OFF상태가 되면, 상기 가동체(44)가 우측으로 이동하여 상기 밸브체(43)가 상기 입력유로(41)와 출력유로(42)를 단절시키게 된다.

상기 진공해제밸브(50)는, 상기 정압유로의 유체 흐름을 허용하거나 차단하는 2포트형 솔레노이드 전자밸브로서, 입력유로(51)와, 출력유로(52)와, 밸브체(53)와, 가동체(54)를 구비한다.

상기 입력유로(51)는, 상기 제23유로(23)와 연결되어 있는 유로로서, 상기 정압공급포트(12)로부터 흘러오는 유체가 유입되는 유로이다.

상기 출력유로(52)는, 상기 제24유로(24)와 연결되어 있는 유로로서, 상기 입력유로(51)로부터 유입된 유체가 상기 진공포트(13)를 향하여 유출되는 유로이다.

상기 밸브체(53) 및 가동체(54)의 기능 및 작용은 상술한 진공발생밸브(40)의 밸브체(43) 및 가동체(44)와 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.

따라서, 상기 진공해제밸브(50)가 ON상태가 되면, 상기 가동체(54)가 우측으로 이동하여 상기 밸브체(53)가 상기 입력유로(51)와 출력유로(52)를 연통시키게 된다. 반대로 상기 진공해제밸브(50)가 OFF상태가 되면, 상기 가동체(54)가 좌측으로 이동하여 상기 밸브체(53)가 상기 입력유로(51)와 출력유로(52)를 단절시키게 된다.

이하에서는, 상술한 구성의 진공발생장치(100)의 작동 원리에 대하여 설명하기로 한다. 여기서, 상기 진공포트(13)에는 이송물을 흡착할 수 있는 진공 패드(미도시)가 장착되어 있는 것으로 전제한다.

상기 진공발생밸브(40) 및 진공해제밸브(50)가 모두 OFF인 상태에서, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 진공발생밸브(40)를 ON상태로 변경하면, 상기 진공 패드에 저장되어 있던 유체가 화살표로 표시된 바와 같이 상기 부압유로를 따라 상기 부압공급포트(11)로 유입된다. 상기 유입 과정을 상세히 설명하면 다음과 같다. 유체가 상기 진공포트(13)로 유입되고, 상기 제27유로(27)와 상기 필터(18)를 차례로 거쳐서 상기 제26유로(26)로 유입되면, 이어서 상기 제22유로(22)와 상기 진공발생밸브(40)의 입력유로(41)를 거쳐서 상기 출력유로(42)를 통하여 상기 제21유로(21)를 따라 흘르고, 결국 상기 부압공급포트(11)로 유입되어 상기 부압원으로 이동한다. 이러한 유체의 흐름에 의하여 상기 부압유로 내부에는 부압이 발생하고 결국 상기 진공 패드가 이송물을 흡착하게 되고 그 흡착 상태를 계속 유지할 수 있게 된다.

이때, 상기 진공해제밸브(50)는 계속 OFF상태 이므로, 상기 제1공간부(14), 제2공간부(15), 제23유로(23), 입력유로(51)의 내부는 일정한 크기의 정압 상태로 유지되어 있다.

이어서, 상기 이송물을 상기 진공 패드로부터 분리시키고자 하는 경우에는, 상기 진공발생밸브(40)는 OFF시키고 상기 진공해제밸브(50)를 ON시킨다. 이렇게 하면, 상기 제1공간부(14) 및 제2공간부(15)에 저장되어 있던 유체가 상기 정압유로를 거쳐서 상기 진공 패드로 공급되는데, 그 과정을 상세히 설명하면 다음과 같다. 도 3의 화살표로 도시된 바와 같이, 상기 제1공간부(14) 및 제2공간부(15)에 저장되어 있던 유체는, 상기 제23유로(23)와 상기 진공해제밸브(50)의 입력유로(51) 및 출력유로(52)와 상기 제24유로(24)를 차례로 거쳐서 흐르게 되고, 이어서, 상기 필터(18)와 상기 제27유로(27) 및 진공포트(13)를 차례로 거쳐서 상기 진공 패드로 유입된다. 따라서, 부압 상태에 있던 진공 패드에 정압 유체가 공급됨으로써, 상기 진공 패드에 부착되어 있던 이송물은 상기 진공 패드로부터 분리된다.

이때, 상기 제1공간부(14)와 제2공간부(15)는 상기 정압유로에 비하여 작은 단면적을 가지는 상기 공간부연결유로(28)에 의하여 서로 연결되어 있으므로, 먼저 상기 제2공간부(15)에 저장되어 있던 유체가 일차적으로 상기 진공 패드로 이동하게 되고, 뒤이어 상기 제1공간부(14)에 저장되어 있던 유체가 이차적으로 상기 진공 패드로 이동하게 된다.

한편, 상기 제1공간부(14) 및 제2공간부(15)에 저장되어 있던 유체가 우선적으로 진공 패드로 이동한 뒤에는, 상기 정압원으로부터 상기 정압공급포트(12)로 유입된 유체는, 상기 정압저장유로(29)를 통하여 흘러나와 상기 진공 패드로 직접 이동하여 이송물의 분리에 추가적인 도움을 준다.

마지막으로, 상기 진공 패드로부터 이송물이 분리된 이후에는 상기 진공해제밸브(50)를 OFF시키게 된다. 이렇게 하면, 상기 정압원으로부터 상기 정압공급포트(12)으로 유입된 유체가 상기 제1공간부(14) 및 제2공간부(15)로 유입되어 충전되는데 그 과정을 상세히 설명하면 다음과 같다. 도 4의 화살표로 도시된 바와 같이, 상기 정압공급포트(12)로부터 공급된 유체는 상기 정압저장유로(29)를 통하여 상기 제23유로(23)로 유입되고, 이어서 유체가 상기 제2공간부(15)에 일차적으로 먼저 저장되고, 남은 유체들은 상기 공간부연결유로(28)를 통하여 상기 제1공간부(14)에 이차적으로 저장된다. 이러한 과정을 통하여 상기 제1공간부(14), 제2공간부(15), 제23유로(23), 입력유로(51)의 내부는, 도 2에 도시된 바와 마찬가지로 다시 일정한 크기의 정압 상태로 유지된다.

상술한 구성의 진공발생장치(100)는, 외부의 정압원으로부터 상기 정압공급포트(12)로 유입된 유체를 상기 진공포트(13)로 공급하기 위하여 저장하는 공간부(14, 15)를 구비하고 있으므로, 정압공급포트로부터 직접 유체가 공급되는 종래의 경우와는 달리, 상기 공간부(14, 15)에 저장된 유체에 의하여 진공 상태가 해제되므로 부드럽고 신속한 진공 상태의 해제가 이루어질 수 있다는 장점이 있다. 따라서, 진공 패드를 사용하는 경우에는 흡착된 이송물의 튕김 현상 없이 신속한 진공 상태의 해제가 이루어질 수 있다.

그리고, 상기 진공발생장치(100)는, 상기 공간부가 상기 부피조절장치에 의하여 가변적으로 부피가 조절되는 제2공간부(15)를 포함하고 있으므로, 진공 패드의 크기나 요구되는 흡착력의 크기에 대응하여 상기 제2공간부(15)에 저장되는 유체의 양을 용이하게 조절할 수 있다는 장점이 있다. 즉 진공 패드의 크기나 요구되는 흡착력이 큰 경우에는 상기 제2공간부(15)의 부피를 증가시키고, 진공 패드의 크기나 요구되는 흡착력이 작은 경우에는 상기 제2공간부(15)의 부피를 감소시키면 된다.

또한, 상기 진공발생장치(100)는, 상기 제1공간부(14)와 제2공간부(15)가 상기 정압유로에 비하여 작은 단면적을 가지는 공간부연결유로(28)에 의하여 연결되어 있으므로, 상기 진공해제밸브(50)가 ON상태로 되면 상기 제2공간부(15)에 저장되어 있던 유체가 일차적으로 상기 진공 패드로 방출되고 뒤이어 상기 제1공간부(14)에 저장되어 있던 유체가 이차적으로 상기 진공 패드로 방출되는 2단계 방출 구조를 가지는 바, 진공 상태를 해제하여 흡착된 이송물을 이탈시키는 과정에서 정압의 공급이 급작스럽게 이루어지지 않는다는 장점이 있다.

그리고, 상기 진공발생장치(100)는, 상기 공간부가 상기 정압공급유량조절나사(16)가 장착된 정압저장유로(29)에 의하여 상기 정압공급포트(12)와 연결되어 있으므로, 상기 정압공급포트(12)로부터 상기 공간부에 공급되는 유체의 유량을 상기 정압공급유량조절나사(16)에 의하여 미세하게 조절할 수 있다는 장점이 있다.

본 실시예에서는, 도 5의 좌측 회로도에 도시된 바와 같이, 상기 진공발생밸브(40)가 OFF상태인 경우 진공 패드와 부압원이 서로 단절되는 "노멀 클로즈(normal close)" 타입을 설명하였으나, 도 5의 우측 회로도에 도시된 바와 같이, 상기 진공발생밸브(40)가 OFF상태인 경우 진공 패드와 부압원이 서로 연결되는 "노멀 오픈(normal open)" 타입의 실시예도 가능함은 물론이다. 상기 노멀 오픈 타입의 경우에는 정전 발생 등의 비상시에도 진공 패드로부터 이송물이 분리되지 않으므로 이송물이 파손될 위험이 없다는 장점이 있다.

이상으로 본 고안을 설명하였는데, 본 고안의 기술적 범위는 상술한 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것은 아니며, 해당 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 수정 또는 변경된 등가의 구성은 본 고안의 기술적 사상의 범위를 벗어나지 않는 것임은 명백하다.

＊ 도면의 주요부위에 대한 부호의 설명 ＊
100 : 진공발생장치 10 : 몸체부
10a : 제1몸체부 10b : 제2몸체부
11 : 부압공급포트 12 : 정압공급포트
13 : 진공포트 14 : 제1공간부
15 : 제2공간부 16 : 정압공급유량조절나사
17 : 진공센서포트 18 : 필터
19 : 실린더부 21 : 제21유로
22 : 제22유로 23 : 제23유로
28 : 공간부연결유로 29 : 정압저장유로
32 : 피스톤부 33 : 로드부
34 : 조절나사 35 : 수나사부
36 : 암나사부 40 : 진공발생밸브
41 : 입력유로 42 : 출력유로
43 : 밸브체 44 : 가동체
50 : 진공해제밸브 51 : 입력유로
52 : 출력유로 53 : 밸브체
54 : 가동체

Claims

진공 상태를 이용하는 진공기기에 진공 상태를 발생시키거나 진공 상태를 해제시키는 장치로서,
부압원과 연결되어 부압을 공급받는 부압공급포트;
정압원과 연결되어 정압을 공급받는 정압공급포트;
상기 진공기기에 연결되어 진공 상태를 발생시키거나 해제시킬 수 있는 진공포트;
상기 부압공급포트와 상기 진공포트를 연결하는 부압유로;
상기 정압공급포트로 유입된 유체를 저장할 수 있는 공간부;
상기 정압공급포트와 상기 공간부를 연결하며 항시 개방되어 있는 정압저장유로;
상기 공간부 내의 유체를 상기 진공포트로 공급하기 위하여 상기 공간부와 상기 진공포트를 연결하는 정압유로;
상기 부압유로의 유체 흐름을 허용하거나 차단하는 진공발생밸브;
상기 정압유로의 유체 흐름을 허용하거나 차단하는 진공해제밸브;
를 구비하며,
상기 공간부는, 제1공간부와, 상기 정압유로에 비하여 작은 단면적을 가지는 공간부연결유로에 의하여 상기 제1공간부와 연결되어 있는 제2공간부를 포함하며,
상기 진공해제밸브가 상기 정압유로를 차단하면, 상기 공간부에 상기 유체가 저장되고, 상기 진공해제밸브가 상기 정압유로를 개방하면, 상기 공간부 내의 유체가 상기 진공포트로 공급되는 것을 특징으로 하는 진공발생장치.
제 1항에 있어서,
상기 공간부의 부피를 가변적으로 조절할 수 있는 부피조절장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공발생장치.
제 2항에 있어서,
상기 부피조절장치는,
내부 공간을 가지는 실린더부;
상기 실린더부 내부에서 길이 방향으로 왕복 이동 가능한 피스톤부;
일단부가 상기 피스톤부에 연결되어 있는 막대형의 로드부;
상기 로드부의 타단부에 나사결합되어 상기 피스톤부의 이동량을 조절하는 조절나사;
를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공발생장치.
제 1항에 있어서,
상기 정압저장유로에는, 유량을 조절하기 위한 정압공급유량조절나사가 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 진공발생장치.