KR20000065890A - 솔레노이드 밸브 및 그것을 이용한 진공 공급용 유압 회로 - Google Patents
솔레노이드 밸브 및 그것을 이용한 진공 공급용 유압 회로 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명에 따르면, 본 발명에 따르면, 소정 체적의 내부 공간이 형성된 진공 챔버를 구비하고, 제 1 위치에서 진공이 공급되고 제 2 위치에서 진공이 해제되는 제 1 포트, 제 1 위치 및 제 2 위치에서 상기 진공 챔버에 연결된 제 2 포트, 제 1 위치에서 상기 제 1 포트와 연결됨으로써 주 진공을 공급하고, 제 2 위치에서 상기 제 2 포트를 통해 상기 진공 챔버에 연결됨으로써 상기 진공 챔버로부터 공급되는 진공을 공급받는 제 3 포트 및, 제 1 위치에서 상기 진공 챔버에 연결됨으로써 상기 진공 챔버에 부 진공을 제공하고, 제 2 위치에서 폐쇄되는 제 4 포트가 형성된 진공 공급용 솔레노이드 밸브; 상기 솔레노이드 밸브의 상기 제 3 포트에 연결됨으로써 그로부터 제공되는 진공을 적용하는 진공 작동부;를 구비하는 진공 공급용 유압 회로가 제공된다.
Description
본 발명은 솔레노이드 밸브와 그를 이용한 진공 공급용 유압 회로에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 부품 실장기나 다이 본딩 장치등에서 사용되는 부품 흡착 및 장착용 유압 회로에 적용될 수 있는 솔레노이드 밸브와 그를 이용한 진공 공급용 유압 회로에 관한 것이다.
통상적으로 부품 실장기나 다이 본딩 장치와 같은 장비에서는 진공을 이용하여 부품 흡착용 노즐로 전자 부품을 흡착하고, 흡착된 전자 부품을 회로 기판등의 소정 위치로 이동시켜서 장착하는 작업을 반복한다. 이러한 부품의 흡착 및 장착 작업에서는 속도 및 정확성등이 중요한 인자로서 작용한다. 예를 들면, 흡착용 노즐이 부품을 흡착하여 상승하고 하강하는 속도는 진공이 형성되는 속도 및 해제되는 속도와도 관련되어 있다. 이는 부품을 흡착하는 진공의 형성 및 해제가 빨리 이루어질수록, 부품을 흡착하기 위해 하강하는 시간 및, 부품을 장착한 후에 다시 상승하는 시간을 단축할 수 있기 때문이다. 또한, 진공을 빨리 형성하기 위하여 보다 강력한 진공 펌프를 사용한다면, 그렇게 형성된 진공을 해제하기 위해서는 보다 오랜 시간이 필요할 것이며, 시간을 단축하기 위해서는 별도의 수단이 필요하게 될 것이다.
통상적으로 노즐의 승하강 속도는 7G(G 는 중력 가속도로서 9.8 m/s2)로서 구현되고 있는데, 이는 노즐이 상승하고 하강하는 동안 흡착 노즐 단부에 진공을 형성하고 해제하는데 필요한 시간을 확보하기 위해서였다. 이보다 빨리 노즐을 승하강시킨다면 작업 속도가 배가될 수 있으나, 실제에 있어서는 진공의 형성 및 해제에 필요한 시간을 더 이상 단축할 수 없으므로 노즐의 승하강 속도를 더 이상 빠르게 할 수 없었다.
도 1에는 종래 기술에 따른 진공 공급용 유압 회로의 구성도가 개략적으로 도시되어 있다.
도면을 참조하면, 공기 공급원(1)으로부터 주 진공 공급용 배관(14)과 부 진공 공급용 배관(18)이 분기된다. 주 진공 공급용 배관(14)은 제 1 솔레노이드 밸브(11)로부터 진공 발생기(3)와 제 2 솔레노이드 밸브(12)를 통해 부품 흡착용 노즐(15)로 이루어져 있다. 주 진공 공급용 배관(14)은 제 1 솔레노이드 밸브(11)와 제 2 솔레노이드 밸브(12)의 위치에 따라서 부품 흡착을 위한 진공을 노즐(15)에 제공하거나 해제하는 기능을 가진다. 부 진공 공급용 배관(18)은 부 진공 발생기(19)로부터 스피드 제어부(17) 및, 제 2 솔레노이드 밸브(12)로 이루어지며, 제 2 솔레노이드 밸브(12)의 위치에 따라서 노즐(15)에 진공을 제공하거나 해제하는 기능을 가진다. 부 진공 발생기(19)에서는 주 진공 발생기(3)보다 낮은 진공도의 진공이 형성된다.
도면에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 솔레노이드 밸브(11,12)는 4 포트 2 위치 밸브이다. 제 1 솔레노이드 밸브(11)의 제 1 위치에서, 진공 발생기(3)는 공기 공급원(1)에 연결되지 않는 반면에, 제 2 위치에서는 진공 발생기(3)가 공기 공급원(1)에 연결된다. 한편, 제 2 솔레노이드 밸브(12)의 제 1 위치에서 주 진공 공급용 배관(14)은 노즐(15)과 연결되는 반면에, 제 2 위치에서는 주 진공 공급용 배관(14)이 부 진공 발생기(19)와 연결되고, 부 진공 공급용 배관(18)이 노즐(15)에 연결되도록 한다.
도 1에 도시된 유압 회로의 작용을 간단히 설명하면 다음과 같다. 우선, 부품의 흡착 및 장착이 이루어지지 아니하는 대기 상태는 제 1 및 제 2 솔레노이드 밸브(11,12)가 제 1 위치에 있는 상태에 해당하며, 이때는 노즐(15)에 주 진공이 제공되지 아니하고, 부 진공 발생기(19)에서 발생한 진공은 피드백된다. 다음에, 부품의 흡착시에 제 1 솔레노이드 밸브(1)는 제 2 위치에 있게됨으로써 주 진공이 노즐(15)에 제공되어 부품을 흡착할 수 있게 되고, 제 2 솔레노이드 밸브(12)는 여전히 제 1 위치에 있게 된다. 부품의 장착시에는 제 2 솔레노이드 밸브(12)가 제 2 위치로 변환됨으로써, 주 진공이 해제되는 반면에 부 진공 발생기(19)에서 발생된 부 진공을 노즐(15)에 제공하게 된다. 위에서 설명한 바와 같이, 부 진공 발생기(19)에서 발생하는 진공은 주 진공 발생기(3)에서 발생하는 진공보다 낮은 상태이므로, 노즐(15)에서 부품을 흡착하는데 적용된 주 진공을 급속하게 해제시킬 수 있다.
위와 같은 진공 공급용 유압 회로는 진공을 형성하고 해제하는데 필요한 시간을 단축시킬 수 있다는 장점에도 불구하고, 2 개의 솔레노이드 밸브를 사용하여야 하는등 유압 회로 자체가 복잡해지는 단점이 있다. 또한, 진공의 형성 및 해제 시간을 단축시킨다 할지라도 한계가 있는데, 이는 2 개의 솔레노이드 밸브를 작동시키는데 따른 시간이 소요되기 때문이다.
본 발명은 위와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 진공 공급용 유압 회로에서 진공의 형성 및 해제가 신속하게 이루어질 수 있는 솔레노이드 밸브를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 진공의 형성 및 해제가 신속하게 이루어질 수 있는 진공 공급용 유압 회로를 제공하는 것이다.
도 1은 통상적인 진공 공급용 유압 회로에 대한 개략적인 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 진공 공급용 유압 회로에 대한 개략적인 구성도.
도 3은 본 발명에 따른 솔레노이드 밸브에 대한 개략적인 구성도.
＜ 도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명＞
1. 공기 공급원 11. 제 1 솔레노이드 밸브
12. 제 2 솔레노이드 밸브 13. 진공 센서
15. 부품 흡착용 노즐 19. 진공 발생기
21. 진공 공급용 매니폴드 22. 주 진공 펌프 연결구
23. 주 진공 공급구 24. 부 진공 펌프 연결구
26. 주 진공 공급용 배관 28. 솔레노이드 밸브
29. 진고 챔버 30. 진공 센서
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면, 소정 체적의 내부 공간이 형성된 진공 챔버를 구비하고, 제 1 위치에서 진공이 공급되고 제 2 위치에서 진공이 해제되는 제 1 포트, 제 1 위치 및 제 2 위치에서 상기 진공 챔버에 연결된 제 2 포트, 제 1 위치에서 상기 제 1 포트와 연결됨으로써 주 진공을 공급하고, 제 2 위치에서 상기 제 2 포트를 통해 상기 진공 챔버에 연결됨으로써 상기 진공 챔버로부터 공급되는 진공을 공급받는 제 3 포트 및, 제 1 위치에서 상기 진공 챔버에 연결됨으로써 상기 진공 챔버에 부 진공을 제공하고, 제 2 위치에서 폐쇄되는 제 4 포트가 형성된 진공 공급용 솔레노이드 밸브; 상기 솔레노이드 밸브의 상기 제 3 포트에 연결됨으로써 그로부터 제공되는 진공을 적용하는 진공 작동부;를 구비하는 진공 공급용 유압 회로가 제공된다.
본 발명의 일 특징에 따르면, 상기 진공 챔버의 체적은 상기 제 2 포트로부터 상기 진공 작동부까지의 체적에 대해서 1.2 내지 1.3 배이다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 진공 작동부의 진공 해제시에 상기 진공 챔버로부터 공급되는 진공에 의해 상기 진공 작동부의 압력이 0 내지 30 PSI 이다.
또한 본 발명에 따르면, 소정 체적의 내부 공간이 형성된 진공 챔버를 구비하고, 제 1 위치에서 진공이 공급되고 제 2 위치에서 진공이 해제되는 제 1 포트, 제 1 위치 및 제 2 위치에서 상기 진공 챔버에 연결된 제 2 포트, 제 1 위치에서 상기 제 1 포트와 연결됨으로써 주 진공을 공급하고, 제 2 위치에서 상기 제 2 포트를 통해 상기 진공 챔버에 연결됨으로써 상기 진공 챔버로부터 공급되는 진공을 공급받는 제 3 포트 및, 제 1 위치에서 상기 진공 챔버에 연결됨으로써 상기 진공 챔버에 부 진공을 제공하고, 제 2 위치에서 폐쇄되는 제 4 포트가 형성된 진공 공급용 솔레노이드 밸브; 상기 솔레노이드 밸브의 상기 제 3 포트에 연결됨으로써 그로부터 제공되는 진공을 적용하는 부품 흡착용 노즐;을 구비하는 부품 실장기가 제공된다.
이하 본 발명을 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 보다 상세하게 설명하기로 한다. 도면에 도시된 유압 회로는 부품을 흡착하여 기판에 장착하는 부품 실장기에 사용되는 유압 회로이지만, 당해 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자들은 이와 같은 유압 회로가 다른 것에도 적용될 수 있다는 점을 이해할 것이다.
도 2에는 본 발명에 따른 진공 공급용 유압 회로에 대한 개략적인 구성도가 도시되어 있다.
도면을 참조하면, 진공 공급용 유압 회로는 주 진공 공급구(23)와 부 진공 공급구(25)를 구비한 진공 공급용 매니폴드(21)와; 상기 진공 공급용 매니폴드(21)의 주 진공 공급부(23)로부터 주 진공 공급용 배관(26)을 통해 연결된 솔레노이드 밸브(28)와; 진공 공급용 배관(32)을 통해 연결된 부품 흡착용 노즐(31);을 구비하고, 또한 상기 진공 공급용 매니폴드(21)의 부 진공 공급구(25)는 상기 솔레노이드 밸브(28)와 부 진공 공급용 배관(27)을 통해 연결된다. 솔레노이드 밸브(28)에는 진공 챔버(29)가 구비되며, 진공 챔버(29)에는 부 진공 공급용 배관(27)을 통해서 진공이 제공될 수 있다. 주 진공 공급용 배관(26)을 통해서 공급되는 진공의 진공도는 부 진공 공급용 배관(27)을 통해서 공급되는 진공의 진공도보다 높거나, 또는 대기압 정도의 낮은 진공도가 제공된다. 실제에 있어서는 주 진공 공급용 배관(26)을 통한 진공이 부 진공 공급용 배관(27)에 영향을 미치므로, 부 진공 공급용 배관(27)내의 진공도가 높아지는 경향이 있다. 따라서 부 진공 공급용 배관(27)의 압력을 낮은 진공도 또는 대기압 정도로 유지하기 위해서는 소정압의 공기를 송풍해야만 한다.
진공 공급용 매니폴드(21)에는 주 진공 펌프 연결구(22) 및, 송풍용 펌프 연결구(24)가 형성된다. 주 진공 펌프 연결구(22)를 통해서 제공되는 진공은 주 진공 공급구(23)를 통해서 주 진공 공급용 배관(26)으로 제공된다. 반면에, 송풍용 펌프 연결구(24)를 통해서 제공되는 진공은 부 진공 공급구(25)를 통해 부 진공 공급용 배관(27)에 연결된다.
도 3에는 본 발명에 따른 솔레노이드 밸브의 개략적인 구성도가 도시되어 있다.
도면을 참조하면, 솔레노이드 밸브(28)는 4 포트 2 위치 밸브이다. 도면 번호 41 로 표시된 제 1 위치에서, 제 1 포트(A)는 제 3 포트(C)와 연결되고 제 2 포트(B)는 제 4 포트(D)에 연결된다. 한편, 도면 번호 42 로 표시된 제 2 위치에서는 제 1 포트(A')가 폐쇄되고, 제 2 포트(B')는 제 3 포트(C')에 연결된다.
제 1 포트(A 또는 A')는 도 2에 도시된 주 진공 공급용 배관(26)에 연결되고, 제 2 포트(B 또는 B')는 진공 챔버(29)에 연결된다. 제 3 포트(C 또는 C')는 부품 흡착용 노즐(31)에 연결된다. 제 4 포트(D 또는 D')는 도 2 에서 부 진공 공급용 배관(27)에 연결된다.
진공 챔버(29)는 솔레노이드 밸브(28)의 일측에 설치되는 것으로서, 솔레노이드 밸브(28)의 위치에 따라서 부 진공 공급 배관(27, 도 2)을 통해 진공을 공급받거나 (제 1 위치(41)), 또는 부품 흡착용 노즐(31)에 진공을 제공하는 (제 2 위치(42)) 기능을 가진다. 진공 챔버(29)는 소정 체적의 내부 공간을 가진 부재를 솔레노이드 밸브(28)의 일측에 설치하여 유로를 개폐 가능하게 연결함으로써 사용될 수 있다. 진공 챔버(29)에는 소정압의 진공이 제공된다. 실제에 있어서는 대기압 정도의 낮은 진공도를 가진 진공이 제공되며, 위에 설명된 바와 같이 송풍용 펌프에 의해서 공기를 공급받게 된다. 이렇게 제공된 진공은 부품 장착시에 노즐의 고진공 상태를 급속하게 해제시키는 기능을 하게 된다. 예를 들면, 부품 장착시에 진공 챔버로부터 공급되는 진공에 의해 노즐의 단부에 형성되는 공기의 압력은 약 0 내지 30 PSI(약 0.2 MPa)이며, 이러한 공기압에 의해 진공이 급속하게 해제됨과 동시에, 노즐의 단부에 흡착된 부품이 날라가지 않고 장착될 수 있다. 도면 번호 30 으로 표시된 것은 진공 센서이며, 진공 배관(32)내에 형성된 진공도를 측정한다.
이하, 본 발명에 따른 진공 공급용 유압 회로의 작동을 간단히 설명하기로 한다.
제 2 도를 참조하면, 진공 공급용 매니폴드(21)를 통해서 주 진공 펌프 연결구(22)는 주 진공 공급용 배관(26)에 연결되고, 송풍용 펌프 연결구(24)는 부 진공 공급용 배관(27)에 연결된다. 위에서 언급된 바와 같이, 주 진공 공급용 배관(26)을 통해 공급되는 진공은 부 진공 공급용 배관(27)을 통해 공급되는 진공보다 진공도가 높다.
흡착용 노즐(31)이 부품을 흡착하는 과정은 초기화 단계, 부품 흡착 단계 및, 부품 장착 단계등으로 구분될 수 있다. 부품 흡착 단계에서는 부품 흡착용 노즐(31)에 주 진공이 제공되어 부품을 흡착하게 되며, 부품 장착 단계에서는 주 진공이 해제됨과 동시에, 부품 흡착용 노즐(31)에 진공 챔버(29)로부터 낮은 진공도 또는 대기압 정도의 압력이 제공되어 부품을 신속하게 장착할 수 있게 한다.
초기화 단계에서 솔레노이드 밸브(28)는 제 2 위치(42)에 있게 된다. 이러한 위치에서, 주 진공 공급용 배관(26)을 통해 제공되는 진공은 해제된 상태이며, 따라서 주 진공 공급용 배관(26)에 연결되는 제 1 포트(A')는 폐쇄되어 있다. 진공 챔버(29)는 노즐(31)을 통해서 개방되어 있다.
부품 흡착 단계에서 솔레노이드 밸브(28)는 제 1 위치로 변환된다. 부품 흡착 단계에서는 주 진공 공급용 배관(26)을 통해서 진공이 제공된다. 이때, 주 진공 공급용 배관(26)을 통해서 제공된 진공은 제 1 포트(A) 및, 그에 연결된 제 3 포트(C)를 통해서 부품 흡착용 노즐(31)에 공급됨으로써 부품을 흡착하게 된다. 이와 동시에, 부 진공 공급용 배관(27)을 통해서 공급되는 부 진공은 제 4 포트(D) 및, 그에 연결된 제 2 포트(B)를 통해서 진공 챔버(29)에 제공된다. 진공 챔버(29)는 부 진공에 의해서 진공압이 형성되는데, 이것은 주 진공에 의해서 형성되는 진공압보다는 낮은 진공도를 가지며, 실제에 있어서는 대기압 정도를 유지하기 위해서 송풍용 펌프를 이용하여 공기를 송풍하게 된다.
부품 장착 단계로 변환되면 주 진공이 해제되고 솔레노이드 밸브(28)는 다시 제 2 위치(42)로 변환된다. 즉, 진공 챔버(29)와 노즐(31)이 연결된다. 이때 주 진공이 제공되던 부품 흡착용 노즐(31)에는 주 진공보다 진공도가 낮은 진공이 진공 챔버(29)로부터 작용하게 된다. 즉, 부품 흡착 단계에서 부 진공 배관(27)을 통해서 소정의 공기가 송풍됨으로써 낮은 진공도를 유지하던 진공 챔버(29)로부터의 진공이 부품 흡착용 노즐(31)에 공급되는 것이다. 이렇게 되면, 진공 챔버(29)의 진공도가 주 진공의 진공도보다 낮기 때문에, 급속하게 진공이 해소될 수 있으며, 그에 의해서 신속하게 부품을 소정 위치에 장착할 수 있다.
진공 챔버(29)의 체적은 노즐(31)에 설치된 흡착 노즐의 단부로부터 진공 챔버(29)에 연결되는 제 2 포트(B 또는 B')까지의 배관의 체적을 고려하여 정해지는 것이 바람직스럽다. 예를 들면, 흡착 노즐 단부로부터 제 2 포트(B 또는 B')까지의 배관의 체적보다 진공 챔버(29)의 체적이 1.2 내지 1.3 배인 것이 바람직스럽다. 이러한 체적은 위에서 설명된 바와 같이 부품 장착시에 흡착 노즐 단부의 압력이 약 0 내지 30 PSI(약 0.2 MPa)를 유지하도록 하는 체적이다. 이렇게 되면, 진공 챔버(29)내의 공기가 급속하게 흡착 노즐 단부까지의 공간을 채울수 있으므로 신속한 부품 장착이 이루어질 수 있다.
본 발명에 따른 솔레노이드 밸브 및, 그것을 이용한 진공 공급용 유압 회로는 진공의 공급 및 해제가 신속하게 이루어진다는 장점이 있다. 본 발명에 따른 진공 공급용 유압 회로를 부품 실장기에 적용할 경우, 부품 흡착용 노즐은 최대 9G 의 속도로 승하강할 수 있으므로 부품 실장을 가속화시킬 수 있다. 또한 종래 기술에서 진공 해제시에 공급되는 다른 진공에 의해서 부품이 날아가거나 또는 부품의 실장 위치가 변위되는 현상이 방지될 수 있다는 장점이 있다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자들은 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서 정해져야 할 것이다.
Claims (4)
- 소정 체적의 내부 공간이 형성된 진공 챔버를 구비하고,제 1 위치에서 진공이 공급되고 제 2 위치에서 진공이 해제되는 제 1 포트,제 1 위치 및 제 2 위치에서 상기 진공 챔버에 연결된 제 2 포트,제 1 위치에서 상기 제 1 포트와 연결됨으로써 주 진공을 공급하고, 제 2 위치에서 상기 제 2 포트를 통해 상기 진공 챔버에 연결됨으로써 상기 진공 챔버로부터 공급되는 진공을 공급받는 제 3 포트 및,제 1 위치에서 상기 진공 챔버에 연결됨으로써 상기 진공 챔버에 부 진공을 제공하고, 제 2 위치에서 폐쇄되는 제 4 포트가 형성된 진공 공급용 솔레노이드 밸브;상기 솔레노이드 밸브의 상기 제 3 포트에 연결됨으로써 그로부터 제공되는 진공을 적용하는 진공 작동부;를 구비하는 진공 공급용 유압 회로.
- 제 1 항에에 있어서, 상기 진공 챔버의 체적은 상기 제 2 포트로부터 상기 진공 작동부까지의 체적에 대해서 1.2 내지 1.3 배인 것을 특징으로 하는 진공 공급용 유압 회로.
- 제 1 항에 있어서, 상기 진공 작동부의 진공 해제시에 상기 진공 챔버로부터 공급되는 진공에 의해 상기 진공 작동부의 압력이 0 내지 30 PSI 인 것을 특징으로 하는 진공 공급용 유압 회로.
- 소정 체적의 내부 공간이 형성된 진공 챔버를 구비하고,제 1 위치에서 진공이 공급되고 제 2 위치에서 진공이 해제되는 제 1 포트,제 1 위치 및 제 2 위치에서 상기 진공 챔버에 연결된 제 2 포트,제 1 위치에서 상기 제 1 포트와 연결됨으로써 주 진공을 공급하고, 제 2 위치에서 상기 제 2 포트를 통해 상기 진공 챔버에 연결됨으로써 상기 진공 챔버로부터 공급되는 진공을 공급받는 제 3 포트 및,제 1 위치에서 상기 진공 챔버에 연결됨으로써 상기 진공 챔버에 부 진공을 제공하고, 제 2 위치에서 폐쇄되는 제 4 포트가 형성된 진공 공급용 솔레노이드 밸브;상기 솔레노이드 밸브의 상기 제 3 포트에 연결됨으로써 그로부터 제공되는 진공을 적용하는 부품 흡착용 노즐;을 구비하는 부품 실장기.
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| KR200460937Y1 (ko) * | 2010-08-20 | 2012-06-15 | 신영제어기 주식회사 | 진공발생장치. |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH02240844A (ja) * | 1989-03-15 | 1990-09-25 | Mitsubishi Kasei Corp | 光ディスクの製造方法 |
| FR2679854B1 (fr) * | 1991-07-30 | 1993-10-22 | Bendix Europe Services Technique | Dispositif de regulation de pression pour circuit hydraulique. |
-
1999
- 1999-04-10 KR KR10-1999-0012634A patent/KR100515969B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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