KR20080058240A - 진공흡착장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 압력유체를 공급하는 압력유체공급원(12);상기 압력유체가 공급되는 것에 의해 부압을 발생시키는 진공발생기(16);상기 진공발생기(16)로부터 부압이 공급되고, 상기 부압에 의한 흡착작용 하에 자재를 흡착가능한 흡착부재(20a,20b,20c); 및상기 진공발생기(16)에 접속되고, 상기 흡착부재(20a,20b,20c)에 공급된 부압상태에 따라서 상기 압력유체가 공급되는 통로(48,50)의 연통상태를 전환하는 전환기구를 포함하고,상기 부압에 의한 흡착작용 하에서 자재가 흡착되고, 상기 흡착부재(20a,20b,20c) 내측으로 상기 부압이 소정의 압력에 도달하였을 때에, 상기 전환기구에 의한 전환작용하에 상기 통로(48,50)의 연통상태가 차단되고, 상기 진공발생기(16)에 상기 압력유체의 공급이 차단되는 진공흡착장치.
- 제1항에 있어서,상기 전환기구는, 상기 압력유체가 공급되는 제1포트(24)와, 상기 진공발생기(16)에 접속되고 상기 압력유체가 도출되는 제2포트(26)와, 상기 진공발생기(16)에서 발생한 부압이 유통하는 부압통로(52)에 접속되는 제3포트(28)를 갖는 바디(30); 및상기 바디(30)의 내부에 축선방향을 따라서 변위가 자유롭도록 배치되고, 상 기 제1포트(24)와 상기 제2포트(26) 사이의 연통상태를 전환하는 밸브체(34)를 포함하는 전환밸브(14)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공흡착장치.
- 제2항에 있어서,상기 전환밸브(14)는, 상기 밸브체(34)에 탄발력을 부여하고, 상기 제1포트(24)와 상기 제2포트(26) 사이의 연통상태에서 상기 밸브체(34)를 유지하는 스프링(38)을 가지며, 상기 밸브체(34)가 상기 부압에 의하여 상기 스프링(38)의 탄발력에 대항하여 변위하는 것에 의해, 상기 제1포트(24)와 제2포트(26)와의 연통이 차단되는 것을 특징으로 하는 진공흡착장치.
- 제3항에 있어서,상기 전환밸브(14)는, 상기 밸브체(34)에 부여되는 상기 스프링(38)의 탄발력을 조정할 수 있는 조정기구(36)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공흡착장치.
- 제4항에 있어서,상기 바디(30)내에 배치된 원통의 가이드바디(32)를 더 포함하고, 상기 가이드바디(32) 내부에는 상기 밸브체(34)가 축선 방향을 따라서 변위가능하게 배치되는 것을 특징으로 하는 진공흡착장치.
- 제5항에 있어서,상기 가이드바디(32)에는 상기 가이드바디(32)의 내부와 외부 사이를 반지름 방향으로 관통하는 연통로(60a,60b,60c)가 설치되고, 상기 연통로(60a,60b,60c)는 상기 제1 내지 제3포트(24,26,28)를 직면하는 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 진공흡착장치.
- 제6항에 있어서,상기 밸브체(34)의 외주면에는, 상기 제1포트 및 제2포트(24,26)의 적어도 하나에 면하면서 오목하게 오목부(66)가 형성되며, 상기 제1포트(24) 및 상기 제2포트(26)는 상기 오목부(66)를 통해 연통하는 것을 특징으로 하는 진공흡착장치.
- 제1항에 있어서,상기 전환기구 및 상기 진공발생기(104a,104b)는, 각각 쌍으로 배치되는 것을 특징으로 하는 진공흡착장치.
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